JP2003232733A - Method and device for fluorescent image detection and method and device for dna inspection - Google Patents

Method and device for fluorescent image detection and method and device for dna inspection

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JP2003232733A
JP2003232733A JP2002034805A JP2002034805A JP2003232733A JP 2003232733 A JP2003232733 A JP 2003232733A JP 2002034805 A JP2002034805 A JP 2002034805A JP 2002034805 A JP2002034805 A JP 2002034805A JP 2003232733 A JP2003232733 A JP 2003232733A
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irradiation
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智 高橋
Kenji Yasuda
健二 保田
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太作 清野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that it is difficult to widen the dynamic range for fluorescence detection without sacrificing detecting time by maintaining detection sensitivity in a sufficiently high state although it is needed to increase the dynamic range to about 10,000 or higher at the time of performing DNA expression, analysis, etc., because the ordinary dynamic range for fluorescence detection is <1,000. <P>SOLUTION: While weak exciting light and strong exciting light are alternately projected in one pixel, fluorescence of both intensities is detected and the intensities of the fluorescence are detected from these two data. In addition, at the time of detecting a fluorescent image obtained from the exciting light of one intensity by branching the image, the intensities of the fluorescence are detected by multiplying the intensity ratio between detected light rays by ten to several hundreds times and the intensities of the fluorescence are detected from the data of both intensities. Thus fluorescence detection is performed over a wide dynamic range. In addition, the fluorescence detection is made possible in a three-digit or >4-digit dynamic range by making the detecting time longer by performing photon counting and detection and multi-spot detection. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は蛍光画像を検出する
方法及びその装置並びに蛍光標識したDNAを検出して
DNA検査を行う方法及びその装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting a fluorescence image and an apparatus therefor, and a method for detecting a fluorescently labeled DNA to perform a DNA inspection and an apparatus therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】ガラス基板にプローブDNAの種類に応
じて場所を変えてスポッタで打点したり、フォトリソグ
ラフィの技術により得られる所謂DNAマイクロアレー
に蛍光標識したプローブDNAをハイブリダイズした試
料を読む装置が世の中で使われている。これらの装置で
は一定強度の1励起レーザスポットビームを蛍光標識し
たプローブDNAに照射し、プローブDNAから発生し
た蛍光を1つのフォトマルで検出してその検出信号から
蛍光強度を読むことを、全サンプルに対して順次行って
いく。
2. Description of the Related Art A device for reading a sample in which spots are spotted on a glass substrate by changing the place depending on the type of probe DNA, or a so-called DNA microarray obtained by a photolithography technique is hybridized with fluorescently labeled probe DNA. Is used in the world. These devices irradiate a fluorescent-labeled probe DNA with a constant-intensity 1-excitation laser spot beam, detect the fluorescence generated from the probe DNA with a single photomultiplier, and read the fluorescence intensity from the detected signal. To go to.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】DNA検査を対象とす
る生体組織におけるDNAの発現解析等に用いようとす
ると、対象とするmRNAやこのコピーであるcDNA
の種類間の濃度比は1対10000を超える場合があ
る。このような場合でも対象を確実に検出するには、広
いダイナミックレンジで検出することが非常に重要にな
る。
When an attempt is made to use a DNA test for expression analysis of DNA in a target living tissue, a target mRNA or a cDNA which is a copy thereof is used.
The concentration ratio between the types may exceed 1: 10000. Even in such a case, it is very important to detect with a wide dynamic range in order to reliably detect the target.

【0004】しかるに、上記の従来の検出方法では広い
ダイナミックレンジで検出することが容易でない。また
広いダイナミックレンジで検出することが出来ても、非
常に時間を要するなどの課題があった。
However, it is not easy to detect in a wide dynamic range by the above conventional detection method. Further, there is a problem that it takes much time even if the detection can be performed in a wide dynamic range.

【0005】本発明の目的は、濃度が10000倍以上
異なるようなサンプルに対しても広いダイナミックレン
ジで高感度かつ高速に安定して蛍光画像を検出すること
が可能な、蛍光画像検出方法及びその装置を提供するこ
とにある。また、本発明の目的は、蛍光標識したプローブ
DNAを広いダイナミックレンジで高速高感度で安定に
検出可能な、DNA検査方法及びその装置を提供するこ
とにある。
An object of the present invention is to provide a fluorescence image detecting method and a fluorescence image detecting method capable of stably detecting a fluorescence image with high sensitivity and high speed in a wide dynamic range even for samples having concentrations different by 10,000 times or more. To provide a device. Another object of the present invention is to provide a DNA inspection method and an apparatus therefor capable of stably detecting fluorescently labeled probe DNA in a wide dynamic range at high speed with high sensitivity.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、複数に分割された領域のそれぞれに蛍
光体を含む試料が配置された検査対象物に励起光を照射
し、該励起光の照射により発生する蛍光を検出する方法
において、異なる強度の励起光を検査対象物の複数に分
割されたそれぞれの領域に順次照射し、この照射により
対象物のそれぞれの領域から発生する蛍光を励起光の強
度に対応させて検出し、この励起光の強度に対応させて
検出した蛍光に関する情報を用いて対象物が発生した蛍
光値を求めるようにした。
In order to achieve the above object, in the present invention, an inspection object in which a sample containing a phosphor is placed in each of a plurality of divided regions is irradiated with excitation light, In the method of detecting fluorescence generated by irradiation of excitation light, excitation light having different intensities is sequentially irradiated to each region divided into a plurality of inspection objects, and the fluorescence generated from each region of the object by this irradiation. Is detected according to the intensity of the excitation light, and the fluorescence value generated by the object is obtained using the information on the fluorescence detected according to the intensity of the excitation light.

【0007】また、上記目的を達成するために、本発明
では、複数に分割された領域のそれぞれに蛍光体を含む
試料が配置された検査対象物に励起光を照射し、この励
起光の照射により発生する蛍光を検出する方法におい
て、励起光を検査対象物の複数に分割されたそれぞれの
領域に照射し、この照射により対象物のそれぞれの領域
から発生した蛍光を集光して分岐させ、この分岐させた
それぞれの蛍光画像を検出し、検出したそれぞれの蛍光
画像の情報を用いて対象物が発生した蛍光値を求めるよ
うにした。
In order to achieve the above object, according to the present invention, an inspection object in which a sample containing a phosphor is placed in each of a plurality of divided regions is irradiated with excitation light, and the excitation light is irradiated. In the method of detecting the fluorescence generated by, by irradiating each region that is divided into a plurality of inspection object excitation light, the fluorescence generated from each region of the object by this irradiation is condensed and branched, Each of the branched fluorescence images is detected, and the fluorescence value generated by the object is obtained using the information of each detected fluorescence image.

【0008】また、上記目的を達成するために、本発明
では、蛍光体を含む試料を有する検査対象物に励起光を
照射する照射工程と、この照射工程で励起光を照射する
ことにより試料から発生する蛍光強度の異なる複数の画
像を取得する画像取得工程と、この画像取得工程で取得
した蛍光強度の異なる複数の画像を用いて試料の試料が
発生した蛍光値を求める処理工程とを有して蛍光画像を
検出するようにした。そして、本発明では、求める蛍光
値のダイナミックレンジが1000以上であることを特
徴とする。
Further, in order to achieve the above object, in the present invention, an irradiation step of irradiating an object to be inspected having a sample containing a phosphor with excitation light, and an irradiation step of irradiating excitation light from the sample An image acquisition step of acquiring a plurality of images with different fluorescence intensities to be generated, and a processing step of obtaining a fluorescence value generated by the sample of the sample using the plurality of images of different fluorescence intensities acquired in this image acquisition step The fluorescence image was detected. Further, the present invention is characterized in that the dynamic range of the obtained fluorescence value is 1000 or more.

【0009】更に、上記目的を達成するために、本発明
では、複数に分割された領域のそれぞれに蛍光体を含む
試料が配置された検査対象物に励起光を照射し、該励起
光の照射により発生する蛍光を検出する装置を、強度の
異なる励起光を発生する励起光発生手段と、この励起光
発生手段で発生させた強度の異なる励起光を検査対象物
のそれぞれの領域に順次照射する励起光照射手段と、こ
の励起光照射手段により強度の異なる励起光を順次照射
することにより対象物のそれぞれの領域から発生する蛍
光を励起光の強度に対応させて検出する蛍光検出手段
と、この蛍光検出手段で励起光の強度に対応させて検出
した蛍光の検出信号を処理して対象物の蛍光発生に関す
る情報を得る処理手段とを備えて構成した。
Further, in order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, an inspection object in which a sample containing a phosphor is placed in each of a plurality of divided regions is irradiated with excitation light, and the excitation light is irradiated. The device for detecting the fluorescence generated by the excitation light generation means for generating excitation light having different intensities, and the excitation light having different intensities generated by the excitation light generation means are sequentially irradiated to respective regions of the inspection object. Excitation light irradiation means, and fluorescence detection means for detecting fluorescence generated from each region of the object by sequentially irradiating excitation light having different intensities by the excitation light irradiation means, corresponding to the intensity of the excitation light, and The fluorescence detecting means processes the detection signal of the fluorescence detected corresponding to the intensity of the excitation light to obtain the information on the fluorescence generation of the object.

【0010】更に、上記目的を達成するために、本発明
では、蛍光体を含む対象物に励起光を照射し、この励起
光の照射により発生する蛍光を検出する装置を、励起光
を対象物に照射する照射手段と、この照射手段の照射に
より対象物から発生した蛍光を集光する集光手段と、こ
の集光手段で集光した蛍光を強度の異なる2つの蛍光に
分岐する分岐手段と、この分岐手段で分岐した強度の異
なるそれぞれの蛍光画像を検出する蛍光画像検出手段
と、この蛍光画像検出手段で検出したそれぞれの蛍光画
像の蛍光強度の情報を用いて対象物の蛍光の発生に関す
る情報を得る処理手段とを備えて構成した。
Further, in order to achieve the above object, in the present invention, an apparatus for irradiating an object including a phosphor with excitation light and detecting fluorescence generated by the irradiation of the excitation light is used. Irradiating means for irradiating the object, a condensing means for condensing the fluorescence generated from the object by the irradiation of the irradiating means, and a branching means for branching the fluorescence condensed by the converging means into two fluorescences having different intensities. A fluorescent image detecting means for detecting respective fluorescent images of different intensities branched by the branching means, and generation of fluorescence of an object using information of the fluorescent intensity of each fluorescent image detected by the fluorescent image detecting means And a processing means for obtaining information.

【0011】更に、上記目的を達成するために、本発明
では、DNAに蛍光標識を付加して形成した試料を基板
上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光を照射し
てこの照射により試料から発生する蛍光を検出するDN
A検査方法において、異なる強度の励起光を複数の領域
に配置されたそれぞれの試料に順次照射し、この照射に
よりそれぞれの試料から発生する蛍光を励起光の強度に
対応させて検出し、この励起光の強度に対応させて検出
した蛍光に関する情報を用いて検査対象物の蛍光発生に
関する情報を得るようにした。
Further, in order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is irradiated with excitation light on an inspection target object arranged in a plurality of regions on a substrate, and this irradiation is performed. For detecting fluorescence emitted from a sample by
In the inspection method A, each sample arranged in a plurality of regions is sequentially irradiated with excitation light of different intensities, and the fluorescence emitted from each sample by this irradiation is detected according to the intensity of the excitation light. The information on the fluorescence generation of the inspection object is obtained by using the information on the fluorescence detected corresponding to the light intensity.

【0012】更に、上記目的を達成するために、本発明
では、DNAに蛍光標識を付加して形成した試料を基板
上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光を照射し
て該照射により前記試料から発生する蛍光を検出するD
NA検査方法において、励起光を前記検査対象物の複数
の領域に配置されたそれぞれの試料に照射し、この照射
により対象物のそれぞれの試料から発生した蛍光を集光
し、この集光した蛍光を強度の異なる2つの蛍光に分岐
し、この分岐したそれぞれの蛍光を検出し、この検出し
て得たそれぞれの蛍光に関する情報を用いて対象物の蛍
光発生の情報を得るようにした。
Further, in order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is irradiated with excitation light on an object to be inspected arranged in a plurality of regions on a substrate. To detect fluorescence emitted from the sample by D
In the NA inspection method, excitation light is irradiated to each sample arranged in a plurality of regions of the inspection object, fluorescence generated from each sample of the object by this irradiation is collected, and the collected fluorescence is collected. Was branched into two fluorescences having different intensities, the respective branched fluorescences were detected, and the information on the fluorescence generation of the target object was obtained using the information on the respective fluorescences obtained by the detection.

【0013】そして、得た試料の蛍光画像のダイナミッ
クレンジが1000以上であることを特徴とする。
The fluorescence image of the obtained sample has a dynamic range of 1000 or more.

【0014】更に、上記目的を達成するために、本発明
では、DNAに蛍光標識を付加して形成した試料を基板
上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光を照射し
てこの照射により試料から発生する蛍光を検出するDN
A検査装置を、強度の異なる励起光を発生する励起光発
生手段と、この励起光発生手段で発生させた強度の異な
る励起光を検査対象物のそれぞれの領域に配置した試料
に順次照射する励起光照射手段と、この励起光照射手段
により強度の異なる励起光を順次照射することによりそ
れぞれの領域に配置した試料から発生する蛍光を励起光
の強度に対応させて検出する蛍光検出手段と、この蛍光
検出手段で励起光の強度に対応させて検出した蛍光の検
出信号を処理して検査対象物の蛍光発生に関する情報を
得る処理手段とを備えて構成した。
Further, in order to achieve the above object, in the present invention, a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is irradiated with excitation light on an inspection object arranged in a plurality of regions on a substrate, and this irradiation is performed. For detecting fluorescence emitted from a sample by
A: Excitation device for generating excitation light having different intensities and excitation light having different intensities generated by the excitation light generating device for sequentially irradiating the samples arranged in respective regions of the inspection object A light irradiation means, and a fluorescence detection means for detecting fluorescence generated from a sample arranged in each region by sequentially irradiating excitation light having different intensities by the excitation light irradiation means in correspondence with the intensity of the excitation light, and And a processing means for processing the detection signal of the fluorescence detected by the fluorescence detection means in correspondence with the intensity of the excitation light to obtain information on the fluorescence generation of the inspection object.

【0015】更に、上記目的を達成するために、本発明
では、DNAに蛍光標識を付加して形成した試料を基板
上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光を照射し
て該照射により前記試料から発生する蛍光を検出するD
NA検査装置を、励起光を対象物に照射する励起光照射
手段と、この励起光照射手段の照射により試料から発生
した蛍光を集光して分岐させてこの分岐させたそれぞれ
の蛍光を検出して蛍光画像を得る蛍光画像取得手段と、
この蛍光画像取得手段で取得した蛍光画像を用いて対象
物の蛍光の発生に関する情報を得る処理手段とを備えて
構成した。
Further, in order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is irradiated with excitation light on an inspection object arranged in a plurality of regions on a substrate. To detect fluorescence emitted from the sample by D
The NA inspection apparatus detects excitation light irradiating means for irradiating an object with excitation light and fluorescence emitted from a sample by irradiation of the excitation light irradiating means, which is collected and branched to detect each branched fluorescence. Fluorescence image acquisition means for obtaining a fluorescence image by
And a processing means for obtaining information on the fluorescence generation of the target object using the fluorescence image acquired by the fluorescence image acquisition means.

【0016】以上に説明した蛍光を検出する方法におい
て、蛍光を検出する際、光子1個1個を検出するフォト
ンカウント検出により行うことにより、より高感度に広
いダイナミックレンジで検出することが可能になる。
In the method for detecting fluorescence described above, when detecting fluorescence, it is possible to detect with high sensitivity and in a wide dynamic range by performing photon count detection for detecting each photon. Become.

【0017】上述の手段を施すことにより、フォトンカ
ウントパルス信号のパルス幅ΔTに対し1絵素分のフォ
トンカウント検出時間をTとする時、0.5・T/ΔT
以上のダイナミックレンジで検出することが可能にな
る。
By applying the above-mentioned means, when the photon count detection time for one picture element is T with respect to the pulse width ΔT of the photon count pulse signal, 0.5 · T / ΔT
It becomes possible to detect in the above dynamic range.

【0018】この結果、ダイナミックレンジが1000
以上、更に10000以上で検出することが可能になっ
た。
As a result, the dynamic range is 1000
As described above, it has become possible to detect even more than 10,000.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下に本発明を実施の形態例によ
り詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to embodiments.

【0020】先ず、図1から図4を用いて、本発明の第1
の実施の形態を説明する。図1で、2は波長λ1の励起
光源である。励起光源より出射した光は、励起光ビーム
整形光学系21で対物レンズ3を通して試料5上に所望
のビーム形状となるようにレーザビームが整形される。
試料上に照射される励起光ビームはマルチスポットビー
ムが好ましいが、1スポットビームでもよい。励起光路
の途中には波長選択ビームスプリッタ31が配置されて
いる。波長選択ビームスプリッタ31は波長λ1の励起
光を反射し、試料5に乗っている蛍光物質から発する波
長λ2の蛍光は透過する。
First, the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
An embodiment will be described. In FIG. 1, 2 is an excitation light source of wavelength λ1. The light emitted from the excitation light source is shaped into a laser beam by the excitation light beam shaping optical system 21 through the objective lens 3 so as to have a desired beam shape on the sample 5.
The excitation light beam with which the sample is irradiated is preferably a multi-spot beam, but may be a one-spot beam. A wavelength selection beam splitter 31 is arranged in the middle of the excitation light path. The wavelength selection beam splitter 31 reflects the excitation light of the wavelength λ1 and transmits the fluorescence of the wavelength λ2 emitted from the fluorescent substance on the sample 5.

【0021】具体例として蛍光物質としてCy3(アマ
シャム ファルマシア バイオテク(Amersham
Phamacia Biotech)社の製品名)を
用いる場合には励起光としてYAG第2高調波レーザ用
いればλ1は532nmとなり、蛍光波長λ2のピーク
値は570nmとなる。従って波長選択ミラー31は5
32nmで90%以上反射し、560〜590nmの蛍
光は90%近く透過する。透過した蛍光は干渉フィルタ
32で上記の蛍光波長帯域を透過させ、漏れてくる53
2nmの励起光をほぼ完全に遮光する。
As a specific example, Cy3 (Amersham Pharmacia Biotech (Amersham) is used as a fluorescent substance.
In the case of using the product name of Pharmacia Biotech), λ1 is 532 nm and the peak value of the fluorescence wavelength λ2 is 570 nm when the YAG second harmonic laser is used as the excitation light. Therefore, the wavelength selection mirror 31 has 5
It reflects 90% or more at 32 nm, and nearly 90% transmits fluorescence at 560 to 590 nm. The transmitted fluorescence passes through the above-mentioned fluorescence wavelength band by the interference filter 32 and leaks 53.
The excitation light of 2 nm is shielded almost completely.

【0022】干渉フィルタ32を透過した蛍光はフォト
マル等の高感度検出器11により検出される。高感度検
出器11で検出されたフォトンカウントパルス信号は制
御回路1に送られ、デジタル情報に変換された後、フォ
トンを発生させた試料上の位置情報と共にメモリに保存
される。本実施例では蛍光検出器としてフォトマルを用
いた例を説明したが、冷却CCD等の半導体検出器を用
いてもよい。また励起スポットを広く照射し、2次元画
像として冷却CCDで検出してもよい。
The fluorescence transmitted through the interference filter 32 is detected by the high sensitivity detector 11 such as Photomul. The photon count pulse signal detected by the high-sensitivity detector 11 is sent to the control circuit 1, converted into digital information, and then stored in a memory together with position information on the sample that generated photons. In the present embodiment, an example in which Photomul is used as the fluorescence detector has been described, but a semiconductor detector such as a cooled CCD may be used. Alternatively, the excitation spot may be widely irradiated and a two-dimensional image may be detected by the cooled CCD.

【0023】制御回路1は励起光の強度を変化させる機
能を有している。即ち例えば周知のAO変調器を用いて
励起レーザ光の強度を図2の(a)に示すように時間と
共に変化させる。本実施例における励起レーザ光は試料
上の検出したい1絵素の寸法に相当するビーム径で試料
表面を照射している。図1に示すように試料5を試料の
面内のX方向に図示しないステージにより制御回路1の
制御信号に基づき走査する。
The control circuit 1 has a function of changing the intensity of the excitation light. That is, for example, the intensity of the pump laser light is changed with time using a known AO modulator, as shown in FIG. The excitation laser light in this embodiment irradiates the sample surface with a beam diameter corresponding to the size of one picture element to be detected on the sample. As shown in FIG. 1, the sample 5 is scanned in the in-plane X direction of the sample by a stage (not shown) based on a control signal from the control circuit 1.

【0024】図2の(b)はこのステージの走査に伴う
時間変化と試料の位置の関係を表している。図2の
(a)と(b)の横軸とは同じであり、時刻t0からt1
間に1絵素分通過し、この間に1絵素分の蛍光強度が検
出される。この時刻t0からt1の間を2つの時間帯即ち、
時刻t0から時刻t01と、時刻t01からt1に分ける。前半
は図2の(a)に示すように弱い励起光強度αI,後半
はIの強度で励起光を照射する。次に隣り合う絵素がス
テージの走査により検出されるが、同様にこの隣接絵素
を検出する時刻tからtの間を2つの時間帯即ち、時
刻tから時刻t11と、時刻t11からtに分ける。前
半は図2の(a)に示すように弱い励起光強度αI,後
半はIの強度で励起光を照射する。
FIG. 2B shows the relationship between the position of the sample and the time change associated with the scanning of this stage. The horizontal axes of (a) and (b) of FIG. 2 are the same, and one pixel passes through between time t 0 and t 1 , and the fluorescence intensity of one pixel is detected during this period. There are two time zones between this time t 0 and t 1 , namely
It is divided into time t 0 to time t 01 and time t 01 to t 1 . As shown in FIG. 2A, the first half irradiates the excitation light with a weak excitation light intensity αI, and the second half irradiates the excitation light with the intensity I. Next, the adjacent picture element is detected by scanning the stage. Similarly, two time zones, that is, time t 1 to time t 11 between the time t 1 and t 2 at which the adjacent picture element is detected are detected. Divide from t 11 to t 2 . As shown in FIG. 2A, the first half irradiates the excitation light with a weak excitation light intensity αI, and the second half irradiates the excitation light with the intensity I.

【0025】このように励起光の強度を励起光ビームが
1絵素通過する間に変化させることにより、図3、図4
に示すように広いダイナミックレンジで検出することが
可能になる。図3は3つの絵素を通過する時の蛍光検出
をフォトンカウント法によって行う例である。連続する
3つの絵素における蛍光標識の濃度が時刻t0とtの間
は通常の濃度、時刻tとtの間は非常に低い濃度、時
刻tとtの間は非常に高い濃度の場合を示している。
時刻t0とtの間は通常の濃度であるため、励起光強度
がαIと弱いのでフォトンパルス信号はまばらになり、
フォトンパルスカウント数C01は小さな値になる。し
かし、時刻t01とtの間は励起光強度が強く、飽和に
は達していないが飽和に近い状態であり、フォトンパル
スカウント数C02は大きな値となる。
As described above, the intensity of the excitation light is changed while the excitation light beam passes through one picture element, so that
It becomes possible to detect in a wide dynamic range as shown in. FIG. 3 shows an example in which fluorescence detection when passing through three picture elements is performed by the photon counting method. The concentration of the fluorescent label in the three consecutive picture elements is normal between time t 0 and t 1 , very low between time t 1 and t 2 , and very high between time t 2 and t 3. The case of high concentration is shown.
Since the concentration is normal between the times t 0 and t 1, the photon pulse signal is sparse because the excitation light intensity is as weak as αI.
The photon pulse count number C 01 has a small value. However, the excitation light intensity is high between times t 01 and t 1 , and the saturation is not reached but is close to saturation, and the photon pulse count number C 02 has a large value.

【0026】図4は蛍光検出強度を横軸に、フォトンパ
ルスカウント数を縦軸に示したものである。蛍光検出強
度が強くなると、隣接するフォトンパルスが重なってし
まい、見かけ上、フォトンパルスカウント数が少なくな
る。このため図4の例に示すように、検出器に来るフォ
トンの数が2300程度でフォトンパルスカウント数が
最大に成り、これ以上多くのフォトンが来ると逆にフォ
トンパルスカウント数が減少する。このため時刻t01
tの間のフォトンカウント数は図4にC02の矢印で
示すレベルになるが、このカウント数に対応する真のフ
ォトンパルス数の候補値は2つ存在し、そのいずれが正
しいかは分からない。
FIG. 4 shows the fluorescence detection intensity on the horizontal axis and the photon pulse count number on the vertical axis. When the fluorescence detection intensity increases, adjacent photon pulses overlap each other, and the number of photon pulse counts apparently decreases. Therefore, as shown in the example of FIG. 4, the number of photon pulse counts reaches a maximum when the number of photons coming to the detector is about 2300, and the number of photon pulse counts decreases conversely when more photons come. Therefore, at time t 01
The photon count number during t 1 reaches the level indicated by the arrow C 02 in FIG. 4, but there are two candidate values for the true photon pulse number corresponding to this count number, and it is not clear which is correct. Absent.

【0027】しかし、この検出の前の時刻tとt01
間において弱い励起光強度αIで検出している時のフォ
トンカウント数C01の値が分かれば上記の2つの候補
値のいずれが正しいかが分かる。C02の値がある値よ
り小さければ、わかった候補値における強い励起光Iで
の検出値を用いたほうが高精度の結果が得られるため、
強い励起光Iでの検出値を採用する。逆にC02の値が
ある値より大きければ弱い励起光αIでの検出値を用い
るほうが良い。もちろん図4に示すようにグラフが線形
でないため後述する方法を用いて補正により真の値を計
算する。
However, if the value of the photon count number C 01 at the time of detection with a weak excitation light intensity αI between the times t 0 and t 01 before this detection is known, either of the above two candidate values will be obtained. I know if it's correct. If the value of C 02 is smaller than a certain value, it is possible to obtain a more accurate result by using the detected value with the strong excitation light I at the found candidate value.
The detection value with the strong excitation light I is adopted. Conversely, if the value of C 02 is larger than a certain value, it is better to use the detection value with the weak excitation light αI. Of course, since the graph is not linear as shown in FIG. 4, the true value is calculated by correction using the method described later.

【0028】図3の時刻tとtの間に亘って得られる
検出絵素の蛍光標識密度は非常に小さいため励起光強度
がαIの時にフォトンカウント数が0となる。しかし励
起光強度がIの時には少ないカウント数ではあるがC
12の値が検出できる。このときにも強い励起光で検出
したC12の値を用いて補正により真のフォトンパルス
数を計算する。
Since the fluorescent label density of the detected picture element obtained between the times t 1 and t 2 in FIG. 3 is very small, the photon count number becomes 0 when the excitation light intensity is αI. However, when the excitation light intensity is I, although it is a small count number, C
A value of 12 can be detected. Also at this time, the true number of photon pulses is calculated by correction using the value of C 12 detected with strong excitation light.

【0029】次の時刻tとtの間に亘って得られる検
出絵素の蛍光標識密度は、非常に大きい。このため、弱
い励起光強度αIでも、十分なカウント数C21が得ら
れる。逆に、励起光強度がIの時にはフォトンパルスが
重なり、このときのカウント数C22は、かえってC
12よりも小さくなる。このように強い励起光の時にカ
ウント数C22が小さければ弱い励起光の時のカウント
数C21を採用することになる。
The fluorescent label densities of the detection pixels obtained over the next time points t 2 and t 3 are very high. Therefore, a sufficient count number C 21 can be obtained even with a weak excitation light intensity αI. On the contrary, when the excitation light intensity is I, photon pulses are overlapped, and the count number C 22 at this time is rather C
It becomes smaller than 12 . If the count number C 22 for such strong excitation light is small, the count number C 21 for weak excitation light is adopted.

【0030】以上説明したように励起光が弱い時の値と
強い時の値を共に制御回路1のメモリに記録し、この二
つの値からいずれかの値又は双方の値を用いて真の値を
求める。又上記の実施例ではフォトンカウント法を用い
ているが、検出法として、アナログ検出を行う場合にも
同じように強度の異なる励起光を用いてより正確で、ダ
イナミックレンジの広い検出が可能になる。しかしフォ
トンカウント法を用いる方が微弱な蛍光まで検出するこ
とが可能であり、高感度検出が必要な場合にはフォトン
カウント法を採用する方が有利である。
As described above, both the value when the excitation light is weak and the value when the excitation light is strong are recorded in the memory of the control circuit 1, and one of these two values or both values are used to obtain the true value. Ask for. Further, although the photon counting method is used in the above-described embodiment, when analog detection is performed as a detection method, more accurate detection with a wide dynamic range can be performed by using excitation lights having different intensities. . However, it is possible to detect even weak fluorescence by using the photon counting method, and it is advantageous to adopt the photon counting method when high-sensitivity detection is required.

【0031】また試料に照射する励起光を絵素寸法相当
の寸法のスポットに絞込み、このスポットと試料を相対
的に走査して、試料全体を走査検出する場合には、マル
チスポット光を用いる方が検出の高速度化を実現する上
で有利である。マルチスポット光のスポット数をMとす
ると、例えば1絵素の検出に要する時間を√M倍かけて
も、試料全体を検出する時間を1/√Mにすることが出
来る。フォトンカウント検出をする場合には、1絵素の
検出にかけられる時間に比例してダイナミックレンジを
広げる効果があるので、検出にかける時間がながいほ
ど、より広いダイナミックレンジで検出することができ
る。
In the case where the excitation light irradiating the sample is narrowed down to a spot having a size corresponding to the pixel size, the spot and the sample are relatively scanned, and the entire sample is scanned and detected, the multi-spot light is used. Is advantageous in realizing high speed detection. If the number of spots of the multi-spot light is M, for example, even if the time required to detect one picture element is multiplied by √M, the time required to detect the entire sample can be reduced to 1 / √M. When the photon count detection is performed, there is an effect of expanding the dynamic range in proportion to the time taken to detect one picture element, so that the longer the detection time is, the wider the dynamic range can be detected.

【0032】図5を用いて、本発明の第2の実施形態を
説明する。図5の基本的な構成は図1に示したものと同
じであるので、図1の番号が同じものは同一物を表す。
図1の実施例とは異なり、一定の強い励起光が試料5に
照射される。発生する蛍光は対物レンズ3、波長選択ビ
ームスプリッタ31、干渉フィルタ32を透過した後、
ビームスプリッタ111に入射する。ビームスプリッタ
111は例えば95%は透過、5%は反射する。透過及
び反射後の蛍光はフォトマル11と11´で検出され
る。このようにすれば5%を検出するフォトマルは上記
の図1の実施例における弱い励起光における検出と、9
5%を検出するフォトマルは強い励起光における検出と
ほぼ同じ検出値が得られる。この結果図1の実施例同様
に、フォトマル11´と11の両方の検出結果を制御回
路1´に送り記憶し、この2つの検出結果を用いて、前
述と同様にして、精度の高い、ダイナミックレンジの広
い検出が可能となる。
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Since the basic configuration of FIG. 5 is the same as that shown in FIG. 1, the elements having the same numbers in FIG. 1 represent the same elements.
Unlike the embodiment of FIG. 1, the sample 5 is irradiated with a constant strong excitation light. The generated fluorescence passes through the objective lens 3, the wavelength selection beam splitter 31, and the interference filter 32,
It enters the beam splitter 111. The beam splitter 111 transmits, for example, 95% and reflects 5%. The fluorescence after transmission and reflection is detected by the photomuls 11 and 11 '. In this way, the photomultiplier which detects 5% is detected by the weak excitation light in the embodiment of FIG.
Photomal detecting 5% gives almost the same detection value as that in strong excitation light. As a result, similarly to the embodiment of FIG. 1, the detection results of both the photomultipliers 11 'and 11 are sent to and stored in the control circuit 1', and using these two detection results, in the same manner as described above, with high accuracy, A wide dynamic range can be detected.

【0033】この方式の場合フォトマルを2つ用いる必
要があるが、励起光を強弱制御する必要がなく、また励
起光を強弱と時分割して変えて検出しないので、ほぼ2
倍の検出時間をかけてフォトンカウント検出できるた
め、その分ダイナミックレンジを広げることが可能とな
る。
In the case of this system, it is necessary to use two photomulsers, but it is not necessary to control the intensity of the excitation light, and since the excitation light is not detected by changing the intensity with time division, it is almost 2
Since it is possible to detect the photon count by doubling the detection time, the dynamic range can be widened accordingly.

【0034】フォトンパルス信号のパルス幅ΔTに対
し,図2と図3で示した1絵素分のフォトンカウント時
間tn+1-t(n整数)=Tとする時、従来の方法で
は図4に示したようにダイナミックレンジが0.5・T
/ΔT以下になる。図1又は図5に示す本発明による方
式を採用することにより、初めて0.5・T/ΔT以上
のダイナミックレンジで検出することが可能になった。
この具体的な値として、従来法では1000以上を得る
ことが困難であったが、本方法によりこれが可能になっ
た。
[0034] For pulse width ΔT of the photon pulse signal, when the one pixel worth of photon count time t n + 1 -t n (n an integer) = T shown in FIGS. 2 and 3, in the conventional method As shown in Figure 4, the dynamic range is 0.5T
/ ΔT or less. By adopting the method according to the present invention shown in FIG. 1 or 5, it is possible to detect for the first time in a dynamic range of 0.5 · T / ΔT or more.
It was difficult to obtain 1000 or more as a specific value by the conventional method, but this method has made it possible.

【0035】また更に複数段階の励起光強度の採用もし
くは蛍光検出光を複数に分岐し、それぞれの強度比を
1:数十あるいは1:数百にし、並列に検出することによ
り、上記のダイナミックレンジを10000以上にする
ことが初めて可能になった。
Furthermore, by adopting a plurality of stages of excitation light intensity or branching fluorescence detection light into a plurality of intensity ratios of 1: several tens or 1: several hundreds, and detecting in parallel, the above dynamic range can be obtained. For the first time, it was possible to increase the value to 10,000 or more.

【0036】また、上記のフォトンカウント法を用いる
ことにより非常に微弱な蛍光まで検出することが可能に
なり、上記のダイナミックレンジを満足し、かつ蛍光検
出感度が50蛍光分子数以下/絵素で検出することが可
能になった。また上記のダイナミックレンジを満足し、
かつ蛍光検出感度が10蛍光分子以下/mmで検出す
ることが可能になった。
By using the photon counting method described above, even very weak fluorescence can be detected, the above dynamic range is satisfied, and the fluorescence detection sensitivity is 50 fluorescent molecules or less / pixel. It has become possible to detect. Also satisfy the above dynamic range,
In addition, it became possible to detect with a fluorescence detection sensitivity of 10 fluorescent molecules or less / mm 2 .

【0037】図6は、本発明の第3の実施形態を説明す
る図である。2A及び2Bは試料5´のDNA検査対象
を励起する波長の異なる励起レーザ光源である。2Aは
波長488nmのレーザ、2Bは波長532nmのレー
ザである。それぞれのレーザの出力は100〜200m
Wである。試料5´は所謂DNAマイクロアレーであ
る。蛍光標識を付加されたターゲットDNAを基板5´
の上にあるプローブDNAにハイブリダイズした試料で
ある。2種類の励起レーザ光源2A、2Bより発したレ
ーザ光は以下に図10で示すようにマルチビームを形成
する。
FIG. 6 is a diagram for explaining the third embodiment of the present invention. 2A and 2B are excitation laser light sources having different wavelengths for exciting the DNA inspection target of the sample 5 '. 2A is a laser having a wavelength of 488 nm, and 2B is a laser having a wavelength of 532 nm. The output of each laser is 100-200m
W. Sample 5'is a so-called DNA microarray. Substrate 5'with target DNA to which a fluorescent label is added
It is a sample hybridized to the probe DNA above. Laser beams emitted from the two types of excitation laser light sources 2A and 2B form a multi-beam as shown in FIG. 10 below.

【0038】図10は、励起光488nmの系である
が、励起光532nmも同じ構成である。図10で、光
源2Aより発したレーザ光は、周知のAO変調器211
Aによりレーザ光の強度をマイクロ秒の切り替え速度で
制御回路1の信号に基づいて変化させることが可能であ
る。AO変調器の1次回折光として得られる励起光はミ
ラー212A、コリメータレンズ213A、2132A
及び、ピンホールマスク2131Aを通過し、所望のビ
ーム径と広がり角になり、以下に説明するマルチビーム
発生器に入る。
FIG. 10 shows the system of the excitation light 488 nm, but the excitation light 532 nm has the same structure. In FIG. 10, the laser light emitted from the light source 2A is the well-known AO modulator 211.
With A, it is possible to change the intensity of the laser light at a switching speed of microseconds based on a signal from the control circuit 1. The excitation light obtained as the first-order diffracted light of the AO modulator is mirror 212A, collimator lenses 213A and 2132A.
Then, the light passes through the pinhole mask 2131A, has a desired beam diameter and divergence angle, and enters the multi-beam generator described below.

【0039】2141Aと2142Aは方解石から成る
マルチビーム発生器であり、1本のビームを2141A
に入射させたとき、2142Aからは4本のビームに分
岐して出射される。なお両方解石の間及び2142Aの
出射面には図示していない1/4波長板が挿入されてい
る。2142A出射後の4本のビームは交互に右と左の
円偏光になっている。この4本のビームは平行四辺形と
直角2等分三角形が接着され、この接着面が偏光ビーム
スプリッタとなっている2組のプリズム2151Aと2
153Aに入射する。この2組のプリズムは寸法が1対
2となっておりその間と出射面とにそれぞれ1/4波長
板2152Aと5154Aとがある。入射した4本のビ
ームはこれら2つのプリズムで16本のビームとなる。
2141A and 2142A are multi-beam generators made of calcite, and one beam is 2141A.
When it is incident on the beam, the 2142A splits into four beams and emits them. In addition, a quarter-wave plate (not shown) is inserted between the two rocks and on the exit surface of 2142A. The four beams emitted from the 2142A are alternately circularly polarized to the right and left. Two parallel prisms and a right-angled bisector triangle are adhered to these four beams, and the two adhering surfaces are two pairs of prisms 2151A and 2151A which are polarization beam splitters.
It is incident on 153A. The two sets of prisms have a size of 1: 2, and quarter wave plates 2152A and 5154A are provided between them and on the exit surface, respectively. The four incident beams become 16 beams by these two prisms.

【0040】16本のビームはマイクロレンズアレイ2
16Aにより、40μmスポットに絞り込まれると共
に、厚さ(高さ)のわずかに異なる2個の台形プリズム
が底辺の偏光ビームスプリット面で接着さた台形プリズ
ム2171Aに入射する。この台形プリズム2171A
により16本のビームはそれぞれのビームが2本づつに
分岐されてピッチが半分の32本のビームになる。台形
プリズム2171Aの出射面には1/4波長板があり3
2本のビームは交互に右および左回転の円偏光になって
いる。
The 16 beams are the microlens array 2
The 16 A narrows the spot down to a 40 μm spot, and two trapezoidal prisms having slightly different thicknesses (heights) are incident on the trapezoidal prism 2171 A bonded at the bottom polarization beam splitting surface. This trapezoidal prism 2171A
Due to this, each of the 16 beams is branched into two beams to become 32 beams with a half pitch. There is a quarter wave plate on the exit surface of the trapezoidal prism 2171A.
The two beams are alternately left and right circularly polarized.

【0041】台形プリズム2171Aを出射した32本
のビームは上記説明の台形プリズム2171Aと同じ構
造をしており、厚さの差が半分の第2の台形プリズム2
173Aに入射し、それぞれのビームが更に2本づつに
分岐されてピッチが更に半分の64本のビームとなって
出射される。この出射面には1/4波長板2174Aが
あり、これを通過させることにより、交互に右回りと左
回りとの合計64本の円偏光ビーム2110Aが得られ
る。
The 32 beams emitted from the trapezoidal prism 2171A have the same structure as that of the trapezoidal prism 2171A described above, and the second trapezoidal prism 2 having a thickness difference of half.
The light beams are incident on the 173A, and each of the beams is further branched into two beams, and the beams are emitted as 64 beams with a half pitch. There is a quarter-wave plate 2174A on this exit surface, and by passing this, a total of 64 circularly polarized beams 2110A of clockwise rotation and counterclockwise rotation are obtained.

【0042】このようにして488nmの光源2Aから
発してマルチスポット光学系21Aを介して得られた6
4本のマルチビーム2110Aと、全く同様の光学系で
532nmの光源2Bから発してマルチスポット光学系
21Bを介して得られた64本のマルチビーム2110
Bとは、図6に示すようにプリズム2個からなるビーム
間隔調整器22A、22Bにそれぞれ入射する。これら
を通過した2色のマルチビームは波長選択ビームスプリ
ッタ31´で反射し、NAの大きな対物レンズ3を通過
し、試料5´の蛍光標識をマルチスポット状態で励起照
明する。
In this way, 6 emitted from the 488 nm light source 2A and obtained through the multi-spot optical system 21A.
Four multi-beams 2110A and 64 multi-beams 2110 emitted from the 532 nm light source 2B with the same optical system and obtained through the multi-spot optical system 21B.
B is incident on each of beam interval adjusters 22A and 22B including two prisms as shown in FIG. The two-color multi-beams that have passed through these are reflected by the wavelength selection beam splitter 31 ′, pass through the objective lens 3 having a large NA, and excite and illuminate the fluorescent label of the sample 5 ′ in a multi-spot state.

【0043】図7は、この2色のマルチスポットが試料
上を照射する状態を表す。51は対物レンズの視野であ
る。2110Aは488nmの64スポットからなるマ
ルチスポット励起光であり、2110Bは532nmの
64スポットからなるマルチスポット励起光である。試
料5´は図示していないステージとステージ駆動回路に
より図5の矢印の方向、即ち図7の64マルチスポット
アレーのアレー方向と直角の方向に走査される。マルチ
スポットの1個のスポット径は試料の必要分解能により
決められるが、本実施例では2μmであり、スポットの
ピッチは20μmである。
FIG. 7 shows a state in which the multi-spots of these two colors illuminate the sample. Reference numeral 51 is a field of view of the objective lens. 2110A is a multi-spot excitation light having 64 spots of 488 nm, and 2110B is a multi-spot excitation light having 64 spots of 532 nm. The sample 5'is scanned by a stage and a stage drive circuit (not shown) in the direction of the arrow in FIG. 5, that is, in the direction perpendicular to the array direction of the 64 multi-spot array in FIG. The spot diameter of one of the multi-spots is determined by the required resolution of the sample, but in this embodiment it is 2 μm and the spot pitch is 20 μm.

【0044】このような2つの励起光で励起され、発生
する蛍光は図5で対物レンズ3、波長選択ビームスプリ
ッタ31´を通過した後、蛍光分離ミラー112によ
り、それぞれの蛍光波長で分離検出するために、2つの
蛍光波長帯の蛍光に分岐される。即ち、488nmの励
起光で発生した500nm近傍の蛍光は蛍光分離ミラー
112で反射し、500nmに中心を持つ干渉フィルタ
321Aを透過して64チャンネルのフォトマル11A
に入射する。同様に532nmの励起光で発生した57
0nm近傍の蛍光は蛍光分離ミラー112を透過し、5
70nmに中心を持つ干渉フィルタ321Bを透過して
64チャンネルのフォトマル11Bに入射する。
Fluorescence generated by being excited by such two excitation lights passes through the objective lens 3 and the wavelength selection beam splitter 31 ′ in FIG. 5, and is then detected by the fluorescence separation mirror 112 at each fluorescence wavelength. Therefore, the fluorescence is branched into two fluorescence wavelength bands. That is, the fluorescence in the vicinity of 500 nm generated by the excitation light of 488 nm is reflected by the fluorescence separation mirror 112, passes through the interference filter 321A having a center at 500 nm, and passes through the 64-channel photomultiplier 11A.
Incident on. Similarly, 57 generated by excitation light of 532 nm
The fluorescence in the vicinity of 0 nm passes through the fluorescence separation mirror 112 and becomes 5
The light passes through the interference filter 321B having a center at 70 nm and enters the 64-channel photomultiplier 11B.

【0045】蛍光分離ミラー112は図8に示すように
下半分の112Aの部分が500nmを反射し、570
nmを透過する。又上半分の112Bの部分が570n
mを透過し、500nmを反射する。図9はフォトマル
11Aと11Bの詳細図である。この図では、フォトマ
ル11Aとフォトマル11Bとを代表して便宜上フォト
マル11として説明する。フォトマル11の前にはマス
ク1102があり、64チャンネルの開口アレー110
1の前に配置され、中心部に狭いスリット1103が形
成されている。試料5´がマルチスポットで励起されて
発生した各スポットに対応する蛍光は、対物レンズ3を
介してこのマルチチャンネルのフォトマルの各開口に蛍
光スポット像1121として結像する。
As shown in FIG. 8, in the fluorescence separation mirror 112, the lower half 112 A portion reflects 500 nm and 570
nm is transmitted. The upper half 112B is 570n
m is transmitted and 500 nm is reflected. FIG. 9 is a detailed view of the photomultipliers 11A and 11B. In this figure, the Photomalu 11A and the Photomalu 11B are representatively described as the Photomul 11 for convenience. There is a mask 1102 in front of the photomultiplier 11 and an aperture array 110 of 64 channels.
1 is provided in front of the first slit, and a narrow slit 1103 is formed at the center. Fluorescence corresponding to each spot generated when the sample 5 ′ is excited by the multi-spot is imaged as a fluorescence spot image 1121 on each aperture of this multi-channel photomultiplier via the objective lens 3.

【0046】このようにして試料5´上の各スポットか
らの蛍光が分離検出され、図6の制御回路でフォトンカ
ウント信号が各励起光に対し、同時に64のデータが得
られる。試料5´は前述のようにマルチスポットアレー
に直交する方向に走査され、走査端に至れば、マルチス
ポットアレーの並びの方向にスポット径分移動させ、逆
の方向に走査することを繰り返して蛍光検出を行うこと
により、所望の領域の蛍光検出を行うことが出来る。
In this way, the fluorescence from each spot on the sample 5'is separated and detected, and the control circuit of FIG. 6 obtains 64 data of the photon count signal for each excitation light at the same time. As described above, the sample 5'is scanned in the direction orthogonal to the multi-spot array, and when reaching the scanning end, the multi-spot array is moved by the spot diameter in the direction in which the spots are arranged, and scanning is repeated in the opposite direction to repeat fluorescence. By performing the detection, it is possible to detect fluorescence in a desired region.

【0047】この際、1絵素分を通過する時間Tの間を
2つに分け、前述のように、AO変調器211A(21
1B)を用いて励起光強度を変えて検出することによ
り、広いダイナミックレンジで検出することが可能にな
る。
At this time, the time T for passing one picture element is divided into two, and as described above, the AO modulator 211A (21
It is possible to detect in a wide dynamic range by changing the excitation light intensity by using 1B).

【0048】励起光強度を2段階あるいは3段階にして
検出する具体的実施形態を以下に説明する。各励起光強
度の段階での検出時間Tを40μsとし、フォトンパル
ス幅ΔTを10nsとする。このパルス幅ΔTをm(例
えば1000)等分する。以下ΔT/mを時刻のサンプ
ル点とする。検出時間Tの間にフォトンパルスが平均n
個検出されるとする。検出時間T内の任意の時点に着目
し、この着目時点(時刻)tでフォトンパルス信号の
立ち上がりがあったとする。T/ΔTをNとすると、各
サンプル点でフォトンパルス信号が立ち上がる確率pは
n/Nmであるので、上記着目時点から前のm+1個の
サンプル点にフォトンパルスの立ち上がりが発生しない
確率は(1-p)m+1と成る。即ち着目パルスが前方の
パルスと重ならない確率pは次式で与えられる。
A specific embodiment for detecting the excitation light intensity in two steps or three steps will be described below. The detection time T at each excitation light intensity stage is 40 μs, and the photon pulse width ΔT is 10 ns. This pulse width ΔT is equally divided into m (for example, 1000). Hereafter, ΔT / m is set as a time sampling point. During the detection time T, the average number of photon pulses is n.
Suppose that individual pieces are detected. Focusing on an arbitrary time point within the detection time T, it is assumed that the photon pulse signal has risen at this time point (time) t 0 . When T / ΔT is N, the probability p that the photon pulse signal rises at each sample point is n / Nm, so the probability that the photon pulse does not rise at the m + 1 sample points before the point of interest is (1-p) becomes m + 1 . That is, the probability p 0 that the focused pulse does not overlap with the preceding pulse is given by the following equation.

【0049】[0049]

【数1】 p=(1-p)m+1 (数1) 但し[Equation 1] p 0 = (1-p) m + 1 (Equation 1)

【数2】 p=n/Nm (数2) 逆に着目パルスの前方にパルスが発生し、重なる確率は
1-pである。従って2個のパルスが連なっている確
率は、着目パルスの前方の時間ΔT内に1-p の確率
でパルスの立ち上がりがあり、その前方の時間ΔT内に
確率pでパルスの立ち上がりがない場合であるので、
(1-p)となる。同様にmパルス重なる確立は
(1-pとなる。
[Equation 2]     p = n / Nm (Equation 2) On the contrary, a pulse occurs in front of the pulse of interest and the probability of overlapping is
1-p0Is. Therefore, two pulses are connected in succession.
The rate is 1-p within the time ΔT in front of the pulse of interest. 0Probability of
There is a pulse rise at, and within the time ΔT in front of it.
Probability p0Since there is no pulse rise at,
p0(1-p0). Similarly, the probability of overlapping m pulses is
p0(1-p0)mBecomes

【0050】この結果重なりがなければ検出時間Tの間
に平均nパルスカウントされるが、実際は重なりが生じ
パルスカウント数が減少する。この減少数dは下記の
式で与えられる。
As a result, if there is no overlap, the average n pulses are counted during the detection time T, but in reality, overlap occurs and the pulse count number decreases. This reduction number d n is given by the following equation.

【0051】[0051]

【数3】 [Equation 3]

【0052】従って、検出時間Tの間で検出されるパル
スカウント数n
Therefore, the pulse count number n e detected during the detection time T is

【0053】[0053]

【数4】 [Equation 4]

【0054】となる。これはほぼ図4のようになる。It becomes This is almost as shown in FIG.

【0055】図4は1絵素を検出するのに要する時間T
を40μs、フォトンパルス信号の時間幅ΔTを10n
sとしている。従って上記のNの値は、N=T/ΔT=
4000となる。m=1000とし、上記の式(1)〜
(4)を用いて、検出時間T内の平均フォトンパルス数
nに対し、実際に検出されるフォトンパルスカウント数
は表1(但し、表1においては、フォトンパルスカウ
ント数を略してパルスカウント数と記載している)のよ
うになる。
FIG. 4 shows the time T required to detect one picture element.
Is 40 μs, and the time width ΔT of the photon pulse signal is 10 n
s. Therefore, the above N value is N = T / ΔT =
It will be 4000. With m = 1000, the above equations (1) to
Using (4), the number of photon pulse counts n e actually detected with respect to the average number of photon pulses n within the detection time T is shown in Table 1 (however, in Table 1, the number of photon pulse counts is abbreviated to It is described as a count number).

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】図4及び表1からも分かるようにフォトン
パルスnが2200前後で、フォトンパルスカウント数
は1515程度で最大と成り、更にnが大きくなる
とn は減少する。また最大値近辺ではグラフの微分値
が小さくなり、精度が落ちる。従ってフォトンパルスカ
ウント数として、この例では1400程度までを用い
る。
As can be seen from FIG. 4 and Table 1, the photons
The pulse n is around 2200 and the photon pulse count is
neIs maximum around 1515, and n becomes larger.
And n eDecreases. Also, near the maximum value, the differential value of the graph
Becomes smaller and the accuracy decreases. Therefore, the photon pulse
In this example, up to about 1400 is used as the number of und
It

【0058】フォトンパルスカウント数が1400以下
の時のフォトンパルス数は2つの候補値があるので、小
さいほうの候補値を用いる。またnとnの関係は線形
でないので、表1で概略が示されるような関係を数値テ
ーブルとして用意し、検出されるフォトンパルスカウン
ト数nから真のフォトンパルス数nを求める。上記の
数値テーブルを用いずnとn関係を数式で近似して、
即ちnをnの関数式n(n)として近似し、この式
を用いてnからnを求めても良い。
Since the photon pulse number when the photon pulse count number is 1400 or less has two candidate values, the smaller candidate value is used. Since the relationship between n and n e is not linear, the relationship as schematically shown in Table 1 was prepared as a numeric table, the true from the photon pulse count number n e detected Request photon pulses n. Without using the above numerical table, the n e and n relations are approximated by mathematical expressions,
I.e. n is approximated as n e function expression n (n e), may be obtained through n n e using this equation.

【0059】このようにフォトンパルス数が大きくなる
と、フォトンパルスカウント数は減少するため、次に具
体的に示すように励起光を2段階あるいは3段階に変化
させて検出する。表2及び表3にそれぞれ2段階及び3
段階の励起光強度で検出する例を示す。検出時間T及び
フォトンパルス時間幅ΔTは上記の表1の説明で用いた
値を用いる。
As the number of photon pulses increases in this way, the number of photon pulse counts decreases, so that the excitation light is detected in two or three stages, as will be concretely described below. Tables 2 and 3 show two stages and three, respectively.
An example of detection with the excitation light intensity in stages will be shown. The detection time T and the photon pulse time width ΔT use the values used in the description of Table 1 above.

【0060】[0060]

【表2】 [Table 2]

【0061】表2は2段階の励起光強度IとIで励
起する場合であり、Iの強度はI の強度の1/20
である。励起光強度Iによるカウント値が1以上12
00以下で、励起光強度Iによるカウント値が60以
下のときには、表2において真中の列の太枠で囲った励
起光強度Iのカウント値を採用する。励起光強度I
によるカウント値が60以上のときには、表2において
右の列の太枠で囲った励起光強度Iのカウント値を採
用する。このようにすればフォトンパルスが1〜200
00までを80μsで検出できることになる。従来の一
定レベルの励起光強度での検出では80μsかけて1〜
3000程度が限界であったから大幅なダイナミックレ
ンジの向上が図れている。
Table 2 shows the two-step excitation light intensity I.sAnd IwEncouraged by
When it happens, IwStrength of I s1/20 the strength of
Is. Excitation light intensity IsThe count value by 1 is 12 or more
00 or less, excitation light intensity IwCount value by 60 or more
At the bottom, in Table 2, the encircled box in the middle row
Luminous intensity IsThe count value of is adopted. Excitation light intensity I w
When the count value by is more than 60, in Table 2,
Excitation light intensity I surrounded by a thick frame in the right columnwThe count value of
To use. In this way, the photon pulse is 1 to 200.
It is possible to detect up to 00 in 80 μs. Conventional one
For detection with a constant level of excitation light intensity
Since the limit was around 3000, a large dynamic
It is being improved.

【0062】上記の説明では1カウントが最低レベルと
しているが、フォトンの検出はランダムであるため平均
1カウントでは0になることもある。そこで最低カウン
トを4カウントとすれば、本方式でのダイナミックレン
ジは5000、従来の方法では750が限界となる。
In the above description, 1 count is the lowest level, but since the detection of photons is random, the average count may be 0. Therefore, if the minimum count is set to 4, the dynamic range in this method is 5000, and the conventional method is 750.

【0063】[0063]

【表3】 [Table 3]

【0064】表3は3段階の励起光強度I,I,I
である。それぞれの強度比は100対10対1であ
る。
Table 3 shows three stages of excitation light intensities I s , I m and I.
w . The intensity ratio of each is 100: 10-1.

【0065】励起光強度Iによるカウント値が1以上
1200以下で、励起光強度Iによるカウント値が1
20以下のときには、表2において左から2番目の列
(Iの列)の太枠で囲った励起光強度Iのカウント
値を採用する。
The count value by the excitation light intensity I s is 1 or more and 1200 or less, and the count value by the excitation light intensity I m is 1 or more.
When it is 20 or less, the count value of the excitation light intensity I s surrounded by the thick frame in the second column from the left (column of I s ) in Table 2 is adopted.

【0066】励起光強度Iによるカウント値が120
以上1200以下で、励起光強度I によるカウント値
が120以下のときには、表3において真中の列の太枠
で囲った励起光強度Iのカウント値を採用する。励起
光強度Iによるカウント値が120以上のときには、
表3において右の列の太枠で囲った励起光強度Iのカ
ウント値を採用する。このようにすれば1〜20000
0フォトンパルスまで検出することが出来るようにな
る。
Excitation light intensity ImCount value is 120
Excitation light intensity I above 1200 sCount value by
When is less than 120, the thick frame in the middle row in Table 3
Excitation light intensity I surrounded bymThe count value of is adopted. excitation
Light intensity ImWhen the count value by is more than 120,
In Table 3, the excitation light intensity I surrounded by a thick frame in the right columnwMosquito
Und value is adopted. In this way 1-2000
Being able to detect up to 0 photon pulses
It

【0067】前述の表2と同様に、4カウントを最低検
出値とすればダイナミックレンジは50000となり、
従来に比べけた違いに広いダイナミックレンジ検出が可
能になる。また前述した、最低カウントを4カウントと
すれば、本方式でのダイナミックレンジは12500と
なる。
As in the case of Table 2 above, if 4 counts is the minimum detection value, the dynamic range becomes 50,000,
A wider dynamic range can be detected than the conventional one. Further, if the minimum count is 4 as described above, the dynamic range in this method is 12,500.

【0068】上記表2及び、表3を用いて説明したダイ
ナミックレンジの向上は、励起光強度の2及び3段階変
化による検出である。しかし、図5で説明した検出励起
光を1:20あるいは1:10:100に比で分岐して
複数のフォトマルで検出しても、同じ結果が得られる。
このときには並列で検出しているから検出時間は2段階
では1/2、3段階では1/3になる。
The improvement of the dynamic range described with reference to Tables 2 and 3 above is the detection by the change of the excitation light intensity in two and three steps. However, the same result can be obtained even if the detection excitation light described in FIG. 5 is branched at a ratio of 1:20 or 1: 10: 100 and detected by a plurality of photomuls.
At this time, since the detection is performed in parallel, the detection time is 1/2 in two stages and 1/3 in three stages.

【0069】上記の例では励起光強度の一方のみの値を
最終的な値として採用したが、採用データの切り替え領
域に近いところで2つの情報から重み付け平均を行い、
最終データとしても良い。例えば表2の1000〜20
00の境界では励起光強度がIのカウント値nes
対する前述のテーブルを用いて求めたフォトンパルス数
n(nes)と、Iのカウント値newに対する前述
のテーブルを用いて求めたフォトンパルス数n
(new)とを用いる。
In the above example, the value of only one of the excitation light intensities is adopted as the final value. However, a weighted average is performed from two pieces of information near the switching area of the adopted data,
It may be the final data. For example, 1000 to 20 in Table 2
00 boundary using the above-mentioned table the excitation light intensity with respect to the count value n es of I s is determined photons pulses n (n es), it was determined using the above table for the count value n ew of I w Photon pulse number n
And (n ew ) are used.

【0070】両方のデータから下記の式でフォトンパル
ス数nを求め、この値を採用する。
The photon pulse number n 0 is obtained from both data by the following formula, and this value is adopted.

【0071】[0071]

【数5】 n=(α×20×n(nes)+β×n(new))/(α+β) ・・・(数5) ここで20は励起光強度の比であり、αとβは重み付け
の係数である。重み付け係数として例えば下記の式のも
のを採用する。
N 0 = (α × 20 × n ( nes ) + β × n (n ew )) / (α + β) ( Equation 5) where 20 is the ratio of the excitation light intensity , Α and β are weighting coefficients. For example, the following formula is adopted as the weighting coefficient.

【0072】[0072]

【数6】 α=(1500−nes)×nes/100000 β=(new/1000 ・・・(数6) このようにすればIが約1200以上のときに励起光
強度がIの方に急激に重みが付き、逆にIが約12
00以下のときに励起光強度がIの方に急激に重みが
付く。
[6] α = (1500-n es) × n es / 100000 β = (n ew) 2/1000 ··· ( 6) excitation light intensity when Thus them if I s is about 1200 or more Is suddenly weighted toward I w , and conversely I s is about 12
When it is 00 or less, the excitation light intensity is sharply weighted toward I s .

【0073】この結果、自動的に表2の太枠部分の値を
主に採用していることになる。重み付けの方法は上記の
以外に種々考えられるが、表1や図4のフォトンパルス
数とパルスカウント数の関係を吟味し、決めればよい。
As a result, the values in the thick frame portion of Table 2 are automatically mainly adopted. Although various weighting methods can be considered other than those described above, it may be determined by examining the relationship between the number of photon pulses and the number of pulse counts in Table 1 and FIG.

【0074】このようにして求めたフォトンパルス数n
の情報を、試料上のプローブDNAの位置情報と共に
記憶手段に記憶する。またこのとき、検査の条件や、プ
ローブDNAに関する情報、試料に関する情報なども上
記情報と関連付けて一緒に記憶しておいても良い。
The photon pulse number n thus obtained
The information of 0 is stored in the storage means together with the position information of the probe DNA on the sample. At this time, the test conditions, probe DNA information, sample information, etc. may be stored together with the above information.

【0075】この記憶したデータを別途記憶しておいた
データと比較することにより、蛍光検出したDNAの状
態を検査・評価することができる。また、上記求めたフ
ォトンパルス数nの情報を、試料上のプローブDNA
の位置情報と共に、図示していない画面上に表示して、
オペレータに結果を閲覧できるようにしても良い。
By comparing the stored data with the separately stored data, it is possible to inspect / evaluate the state of the fluorescence-detected DNA. In addition, the information of the photon pulse number n 0 obtained above is used as the probe DNA on the sample.
Displayed on the screen not shown together with the position information of
The operator may be allowed to browse the results.

【0076】更に、この求めたフォトンパルス数n
情報を、試料上のプローブDNAの位置情報と共に、通
信手段を介して解析装置や分析装置、他の検査装置など
に送信して用いることもできる。
Further, the obtained information on the number of photon pulses n 0 may be used together with the positional information of the probe DNA on the sample to an analyzing device, an analyzing device, or another inspection device via a communication means for use. it can.

【0077】上記の実施形態例では、励起光として、2
つの波長の励起光を用いているが3つ以上の励起光を用
いても良い。また上記5´はDNAマイクロアレーとし
て説明したが、蛍光特性を有する物質を含む対象であれ
ば何でも良く、蛋白質等の検査にも本発明は適用でき
る。また検出対象が基板上に固定されたものである必要
はなく、ビーズの1次元あるいは2次元配列のサンプル
でも良いし、キャピラリーチューブ内の蛍光物質を含む
液体、固体でも良い。
In the above embodiment, the excitation light is 2
Although the excitation light of one wavelength is used, three or more excitation lights may be used. Although 5'is described as a DNA microarray, any object containing a substance having a fluorescent property may be used, and the present invention can be applied to the inspection of proteins and the like. Further, the detection target does not have to be fixed on the substrate, and may be a sample of beads in a one-dimensional or two-dimensional array, or a liquid or solid containing a fluorescent substance in a capillary tube.

【0078】又上記の蛍光検出では2次元画像を走査に
より検出した実施例のみを用いて説明したが、強弱の2
段階以上の励起光で高感度の2次元撮像装置で検出する
ことによっても本発明を実現できることは明らかであ
る。
In the above-mentioned fluorescence detection, only the embodiment in which a two-dimensional image is detected by scanning has been described.
It is obvious that the present invention can also be realized by detecting with a high-sensitivity two-dimensional imaging device by using excitation light of steps or more.

【0079】[0079]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明により、
蛍光分子の密度が場所によって千以上、更に1万倍以上
異なるような試料に対しても、広いダイナミックレンジ
を持って定量的に検出できるようになり、またこの広い
ダイナミックレンジを維持した状態で高感度に検出を行
うことも可能になった。
As described above, according to the present invention,
It becomes possible to detect quantitatively with a wide dynamic range even for samples in which the density of fluorescent molecules differs by 1,000 or more by 10,000 times depending on the location. It has become possible to detect with high sensitivity.

【0080】また、このように広いダイナミックレンジ
による高感度な検出にマルチスポットビームを採用する
ことにより、1つの試料全面の蛍光を検出するのに要す
る時間を短くすることが可能になり、スループットが高
い高速検出を行うことができる。
Further, by adopting a multi-spot beam for high-sensitivity detection with such a wide dynamic range, it becomes possible to shorten the time required to detect the fluorescence on the entire surface of one sample, and the throughput is improved. High speed detection can be performed.

【0081】この結果、特に今後のDNA発現解析分野
等の広ダイナミックレンジ・高感度・高速蛍光検出が必
要な分野で効果を発揮する。
As a result, the present invention is particularly effective in the fields that require wide dynamic range, high sensitivity, and high-speed fluorescence detection, such as the field of DNA expression analysis in the future.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明によるDNA検査装置の第1の
実施形態の概略構成を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a first embodiment of a DNA testing device according to the present invention.

【図2】図2(a)は、本発明による励起光強度の時間
変化を示すグラフ、(b)はステージ走査量の時間変化
を示すグラフである。
FIG. 2A is a graph showing a time change of the excitation light intensity according to the present invention, and FIG. 2B is a graph showing a time change of the stage scanning amount.

【図3】図3は、フォトンカウント信号を説明する図で
ある。
FIG. 3 is a diagram illustrating a photon count signal.

【図4】図4は、フォトンパルス信号とフォトンカウン
ト数の関係を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a relationship between a photon pulse signal and a photon count number.

【図5】図5は、本発明によるDNA検査装置の第2の
実施形態の概略構成を示す正面図である。
FIG. 5 is a front view showing a schematic configuration of a second embodiment of the DNA testing device according to the present invention.

【図6】図6は、本発明によるDNA検査装置の第3の
実施形態の概略構成を示す正面図である。
FIG. 6 is a front view showing a schematic configuration of a third embodiment of the DNA testing device according to the present invention.

【図7】図7は、2色励起光での試料上の照射スポット
アレーを示す対物レンズ視野の平面図である。
FIG. 7 is a plan view of the field of view of an objective lens showing an irradiation spot array on a sample with two-color excitation light.

【図8】図8は、2つの蛍光を分離する蛍光分離ミラー
の正面図である。
FIG. 8 is a front view of a fluorescence separation mirror that separates two fluorescences.

【図9】図9は、マルチスポットからの蛍光を検出する
マルチチャンネルフォトマルの斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view of a multi-channel photomultiplier that detects fluorescence from a multi-spot.

【図10】図10は、励起レーザ光源からマルチスポッ
トを得る光学系の基本構成を示す正面図である。
FIG. 10 is a front view showing a basic configuration of an optical system that obtains a multi-spot from an excitation laser light source.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・制御回路 2・・・励起光源 3・・・対物レンズ
5・・・試料 11・・・蛍光検出器 21・・・マルチスポット光学系
31・・・波長選択ビームスプリッタ 32・・・干渉フ
ィルタ
1 ... Control circuit 2 ... Excitation light source 3 ... Objective lens 5 ... Sample 11 ... Fluorescence detector 21 ... Multi-spot optical system
31 ... Wavelength selection beam splitter 32 ... Interference filter

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01N 33/50 G01N 33/53 M 5B047 33/53 37/00 102 5B057 37/00 102 G06T 1/00 295 G06T 1/00 295 400B 400 C12N 15/00 A F (72)発明者 保田 健二 茨城県ひたちなか市市毛882番地 株式会 社日立ハイテクノロジーズ設計・製造統括 本部那珂事業所内 (72)発明者 清野 太作 茨城県ひたちなか市市毛882番地 株式会 社日立ハイテクノロジーズ設計・製造統括 本部那珂事業所内 Fターム(参考) 2G043 AA04 BA16 CA03 DA02 EA01 FA01 FA06 GA02 GB01 GB21 HA02 JA03 KA02 KA05 KA09 LA03 2G045 AA40 DA13 FA11 FB12 4B024 AA11 AA19 CA01 HA12 HA13 4B029 AA07 AA23 BB20 CC03 CC08 FA15 4B063 QA01 QQ42 QR32 QR56 QR66 QR84 QS34 QS36 QX02 5B047 AA17 AB02 BB01 BC07 CA19 DA01 5B057 AA10 BA02 CA02 CA08 CA11 CA16 CB02 CB08 CB12 CB16 DA13 DB01 DB05 DB09 DC05 DC22 Front page continuation (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G01N 33/50 G01N 33/53 M 5B047 33/53 37/00 102 5B057 37/00 102 G06T 1/00 295 G06T 1 / 00 295 400B 400 C12N 15/00 AF (72) Inventor Kenji Yasuda 882 Ichige, Hitachinaka City, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture Incorporated, Hitachi High-Technologies Corporation, Design and Manufacturing Headquarters, Naka Works (72) Inventor Tasaku Seino, Hitachinaka, Ibaraki Prefecture 882 Ichige Ichima Stock Company Hitachi High-Technologies Corporation Design / Manufacturing Headquarters Naka Term F-Term (Reference) 2G043 AA04 BA16 CA03 DA02 EA01 FA01 FA06 GA02 GB01 GB21 HA02 JA03 KA02 KA05 KA09 LA03 2G045 AA40 DA13 FA11 FB12 4B024 CA01A11A HA12 HA13 4B029 AA07 AA23 BB20 CC03 CC08 FA15 4B063 QA01 QQ42 QR32 QR56 QR66 QR84 QS34 QS36 QX02 5B047 AA17 AB02 BB01 BC07 CA19 DA01 5B057 AA10 BA02 CA02 CA08 CA11 CA16 CB02 CB08 CB12 DB01 CB12 CB01 DB12 CB16 DB09 DC05 DC22

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数に分割された領域のそれぞれに蛍光体
を含む試料が配置された検査対象物に励起光を照射し、
該励起光の照射により発生する蛍光を検出する方法であ
って、異なる強度の励起光を検査対象物の複数に分割さ
れたそれぞれの領域に順次照射し、該照射により前記対
象物のそれぞれの領域から発生する蛍光を前記励起光の
強度に対応させて検出し、該励起光の強度に対応させて
検出した蛍光に関する情報を用いて前記対象物が発生し
た蛍光値を求めることを特徴とする蛍光画像検出方法。
1. An excitation object is irradiated with an excitation light in which a sample containing a phosphor is arranged in each of a plurality of divided regions,
A method of detecting fluorescence generated by irradiation of the excitation light, wherein excitation light having different intensities is sequentially irradiated to each of the regions divided into a plurality of inspection objects, and the irradiation is performed to each region of the object. Fluorescence generated from the fluorescence is detected in association with the intensity of the excitation light, and the fluorescence value generated by the object is obtained using information about the fluorescence detected in association with the intensity of the excitation light. Image detection method.
【請求項2】前記励起光が複数のビームにより構成され
ており、該複数のビームをそれぞれ前記対象物の異なる
領域に同時に照射することを特徴とする請求項2記載の
蛍光検出方法。
2. The fluorescence detection method according to claim 2, wherein the excitation light is composed of a plurality of beams, and the plurality of beams are simultaneously irradiated to different regions of the object.
【請求項3】前記蛍光を励起光の強度に対応して検出す
ることにより前記対象物から複数の蛍光検出信号を得、
該得た複数の蛍光検出信号の中から何れかの励起光強度
に対応する蛍光検出信号の情報を用いて前記対象物の蛍
光画像を得ることを特徴とする請求項1記載の蛍光画像
検出方法。
3. A plurality of fluorescence detection signals are obtained from the object by detecting the fluorescence corresponding to the intensity of excitation light,
The fluorescence image detection method according to claim 1, wherein the fluorescence image of the object is obtained by using information of a fluorescence detection signal corresponding to any excitation light intensity from the obtained plurality of fluorescence detection signals. .
【請求項4】複数に分割された領域のそれぞれに蛍光体
を含む試料が配置された検査対象物に励起光を照射し、
該励起光の照射により発生する蛍光を検出する方法であ
って、励起光を前記検査対象物の複数に分割されたそれ
ぞれの領域に照射し、該照射により前記対象物のそれぞ
れの領域から発生した蛍光を集光して分岐させ、該分岐
させたそれぞれの蛍光画像を検出し、該検出したそれぞ
れの蛍光画像の情報を用いて前記対象物が発生した蛍光
値を求めることを特徴とする蛍光画像検出方法。
4. An inspection object in which a sample containing a phosphor is placed in each of a plurality of divided regions is irradiated with excitation light,
A method of detecting fluorescence generated by irradiation of the excitation light, wherein excitation light is irradiated to each of the divided regions of the inspection target, and the irradiation causes generation of light from each region of the target. A fluorescence image characterized by collecting and branching fluorescence, detecting each of the branched fluorescence images, and obtaining the fluorescence value generated by the object using the information of each detected fluorescence image. Detection method.
【請求項5】前記励起光が複数のビームにより構成され
ており、該複数のビームをそれぞれ前記対象物の異なる
領域に同時に照射することを特徴とする請求項4記載の
蛍光画像検出方法。
5. The fluorescence image detection method according to claim 4, wherein the excitation light is composed of a plurality of beams, and the plurality of beams are simultaneously irradiated to different regions of the object.
【請求項6】蛍光体を含む試料を有する検査対象物に励
起光を照射する照射工程と、該照射工程で励起光を照射
することにより前記試料から発生する蛍光強度の異なる
複数の画像を取得する画像取得工程と、該画像取得工程
で取得した蛍光強度の異なる複数の画像を用いて前記試
料の試料が発生した蛍光値を求める処理工程とを有する
ことを特徴とする蛍光画像検出方法。
6. An irradiation step of irradiating an inspection object having a sample containing a phosphor with excitation light, and acquiring a plurality of images of different fluorescence intensities generated from the sample by irradiating excitation light in the irradiation step. And a processing step of obtaining a fluorescence value generated by the sample of the sample using a plurality of images having different fluorescence intensities acquired in the image acquisition step.
【請求項7】前記検査対象物は蛍光体を含む試料が複数
に分割された領域に配置されており、前記照射工程にお
いて前記検査対象物の複数の領域の試料に同時に励起光
を照射し、前期画像取得工程において前記同時に励起光
を照射した複数の領域の画像を同時に取得することを特
徴とする請求項6記載の蛍光画像検出方法。
7. The inspection target is arranged in a region where a sample containing a phosphor is divided into a plurality of regions, and in the irradiation step, the samples in the plurality of regions of the inspection target are simultaneously irradiated with excitation light, 7. The fluorescence image detection method according to claim 6, wherein images of a plurality of regions irradiated with the excitation light at the same time are simultaneously acquired in the image acquisition step of the previous term.
【請求項8】前記蛍光強度の異なる複数の画像を、前記
照射工程において強度の異なる複数の励起光を前記検査
対象物に順次照射することにより得ることを特徴とする
請求項6記載の蛍光画像検出方法。
8. The fluorescence image according to claim 6, wherein the plurality of images having different fluorescence intensities are obtained by sequentially irradiating the inspection object with a plurality of excitation lights having different intensities in the irradiation step. Detection method.
【請求項9】前記求める蛍光値のダイナミックレンジが
1000以上であることを特徴とする請求項1乃至8の
何れかに記載の蛍光画像検出方法。
9. The fluorescence image detecting method according to claim 1, wherein a dynamic range of the obtained fluorescence value is 1000 or more.
【請求項10】複数に分割された領域のそれぞれに蛍光
体を含む試料が配置された検査対象物に励起光を照射
し、該励起光の照射により発生する蛍光を検出する装置
であって、強度の異なる励起光を発生する励起光発生手
段と、該励起光発生手段で発生させた強度の異なる励起
光を前記検査対象物のそれぞれの領域に順次照射する励
起光照射手段と、該励起光照射手段により強度の異なる
励起光を順次照射することにより前記対象物のそれぞれ
の領域から発生する蛍光を前記励起光の強度に対応させ
て検出する蛍光検出手段と、該蛍光検出手段で前記励起
光の強度に対応させて検出した蛍光の検出信号を処理し
て前記対象物の蛍光発生に関する情報を得る処理手段と
を備えたことを特徴とする蛍光画像検出装置。
10. A device for irradiating an inspection object, in which a sample containing a phosphor is placed in each of a plurality of divided regions, with excitation light, and detecting fluorescence generated by the irradiation of the excitation light, Excitation light generation means for generating excitation light having different intensities, excitation light irradiation means for sequentially irradiating the respective regions of the inspection object with the excitation light having different intensities generated by the excitation light generation means, and the excitation light Fluorescence detection means for detecting fluorescence generated from each region of the object by sequentially irradiating excitation light having different intensities by the irradiation means, and the excitation light by the fluorescence detection means. And a processing unit for processing the detection signal of the fluorescence detected corresponding to the intensity of the object to obtain information on the fluorescence generation of the target object.
【請求項11】前記励起光発生手段は励起光として複数
のビームを発射し、該複数のビームをそれぞれ前記対象
物の異なる領域に同時に照射することを特徴とする請求
項10記載の蛍光画像検出装置。
11. The fluorescence image detection according to claim 10, wherein said excitation light generating means emits a plurality of beams as excitation light and irradiates the plurality of beams to different regions of said object simultaneously. apparatus.
【請求項12】前記蛍光を励起光の強度に対応して検出
することにより前記対象物から複数の蛍光検出信号を
得、該得た複数の蛍光検出信号の中から何れかの励起光
強度に対応する蛍光検出信号の情報を用いて前記対象物
の蛍光画像を得ることを特徴とする請求項10記載の蛍
光画像検出装置。
12. A plurality of fluorescence detection signals are obtained from the object by detecting the fluorescence corresponding to the intensity of the excitation light, and one of the plurality of fluorescence detection signals obtained has a desired excitation light intensity. 11. The fluorescence image detection device according to claim 10, wherein a fluorescence image of the object is obtained using information of the corresponding fluorescence detection signal.
【請求項13】蛍光体を含む対象物に励起光を照射し、
この励起光の照射により発生する蛍光を検出する装置で
あって、励起光を対象物に照射する照射手段と、該照射
により前記対象物から発生した蛍光を集光する集光手段
と、該集光手段で集光した蛍光を強度の異なる2つの蛍
光に分岐する分岐手段と、該分岐手段で分岐した強度の
異なるそれぞれの蛍光画像を検出する蛍光画像検出手段
と、該蛍光画像検出手段で検出したそれぞれの蛍光画像
の蛍光強度の情報を用いて前記対象物の蛍光の発生に関
する情報を得る処理手段とを備えたことを特徴とする蛍
光画像検出装置。
13. An object containing a phosphor is irradiated with excitation light,
A device for detecting fluorescence generated by the irradiation of the excitation light, the irradiation means irradiating the object with the excitation light, the condensing means for condensing the fluorescence generated from the object by the irradiation, and the collecting means. A branching unit for branching the fluorescence collected by the light unit into two fluorescences having different intensities, a fluorescence image detecting unit for detecting the respective fluorescence images having different intensities branched by the branching unit, and detection by the fluorescence image detecting unit And a processing unit that obtains information on the fluorescence generation of the object using the fluorescence intensity information of each fluorescence image.
【請求項14】前記対象物が複数の領域に分割され該分
割されたそれぞれの領域に蛍光体が含まれており、前記
励起光を前記複数に分割されたそれぞれの領域に順次照
射することを特徴とする請求項13記載の蛍光画像検出
装置。
14. The object is divided into a plurality of regions, each of the divided regions contains a phosphor, and the excitation light is sequentially irradiated to each of the plurality of divided regions. The fluorescence image detection device according to claim 13, which is characterized in that.
【請求項15】前記励起光が複数のビームにより構成さ
れており、該複数のビームをそれぞれ前記対象物の異な
る領域に同時に照射することを特徴とする請求項13記
載の蛍光画像検出装置。
15. The fluorescence image detection device according to claim 13, wherein the excitation light is composed of a plurality of beams, and the plurality of beams are simultaneously irradiated to different regions of the object.
【請求項16】DNAに蛍光標識を付加して形成した試
料を基板上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光
を照射して該照射により前記試料から発生する蛍光を検
出するDNA検査方法であって、異なる強度の励起光を
前記複数の領域に配置されたそれぞれ試料に順次照射
し、該照射により前記それぞれの試料から発生する蛍光
を前記励起光の強度に対応させて検出し、該励起光の強
度の対応させて検出した蛍光に関する情報を用いて前記
検査対象物の蛍光発生に関する情報を得ることを特徴と
するDNA検査方法。
16. A DNA test in which a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is radiated with excitation light to a test object arranged in a plurality of regions on a substrate, and fluorescence emitted from the sample is detected by the irradiation. A method, which sequentially irradiates the respective samples arranged in the plurality of regions with excitation light of different intensities, and detects fluorescence generated from each of the samples by the irradiation in association with the intensity of the excitation light, A DNA inspection method, wherein information on fluorescence generation of the inspection object is obtained by using information on fluorescence detected corresponding to the intensity of the excitation light.
【請求項17】前記励起光が複数のビームにより構成さ
れており、該複数のビームをそれぞれ前記異なる領域に
配置した試料に同時に照射することを特徴とする請求項
16記載のDNA検査方法。
17. The DNA inspection method according to claim 16, wherein the excitation light is composed of a plurality of beams, and the plurality of beams are simultaneously irradiated to the samples arranged in the different regions, respectively.
【請求項18】DNAに蛍光標識を付加して形成した試
料を基板上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光
を照射して該照射により前記試料から発生する蛍光を検
出するDNA検査方法であって、励起光を前記検査対象
物の複数の領域に配置されたそれぞれの試料に照射し、
該照射により前記対象物のそれぞれの試料から発生した
蛍光を集光し、該集光した蛍光を強度の異なる2つの蛍
光に分岐し、該分岐したそれぞれの蛍光を検出し、該検
出して得たそれぞれの蛍光に関する情報を用いて前記対
象物の蛍光発生の情報を得ることを特徴とするDNA検
査方法。
18. A DNA test in which a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is radiated with excitation light to a test object arranged in a plurality of regions on a substrate, and fluorescence emitted from the sample is detected by the irradiation. A method, irradiating excitation light to each sample arranged in a plurality of regions of the inspection object,
Fluorescence generated from each sample of the object by the irradiation is collected, the collected fluorescence is branched into two fluorescences having different intensities, each of the branched fluorescences is detected, and obtained by the detection. A method for inspecting DNA, characterized in that information on fluorescence generation of the object is obtained by using information on each fluorescence.
【請求項19】前記励起光が複数のビームにより構成さ
れており、該複数のビームをそれぞれ前記検査対象物の
異なる領域に配置した試料に同時に照射することを特徴
とする請求項18記載のDNA検査方法。
19. The DNA according to claim 18, wherein the excitation light is composed of a plurality of beams, and the plurality of beams simultaneously irradiate the samples arranged in different regions of the inspection object. Inspection method.
【請求項20】前記得た試料の蛍光画像のダイナミック
レンジが1000以上であることを特徴とする請求項1
6乃至19の何れかに記載のDNA検査方法。
20. The dynamic range of the fluorescence image of the obtained sample is 1000 or more.
20. The DNA test method according to any one of 6 to 19.
【請求項21】DNAに蛍光標識を付加して形成した試
料を基板上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光
を照射して該照射により前記試料から発生する蛍光を検
出するDNA検査装置であって、強度の異なる励起光を
発生する励起光発生手段と、該励起光発生手段で発生さ
せた強度の異なる励起光を前記検査対象物のそれぞれの
領域に配置した試料に順次照射する励起光照射手段と、
該励起光照射手段により強度の異なる励起光を順次照射
することにより前記それぞれの領域に配置した試料から
発生する蛍光を前記励起光の強度に対応させて検出する
蛍光検出手段と、該蛍光検出手段で前記励起光の強度に
対応させて検出した蛍光の検出信号を処理して前記検査
対象物の蛍光発生に関する情報を得る処理手段とを備え
たことを特徴とするDNA検査出装置。
21. A DNA test in which a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is radiated with excitation light to a test object arranged in a plurality of regions on a substrate, and fluorescence emitted from the sample is detected by the irradiation. In the apparatus, excitation light generating means for generating excitation light having different intensities and excitation light having different intensities generated by the excitation light generating means are sequentially irradiated to the samples arranged in respective regions of the inspection object. Excitation light irradiation means,
Fluorescence detection means for detecting fluorescence generated from a sample arranged in each of the regions in correspondence with the intensity of the excitation light by sequentially irradiating the excitation light irradiation means with excitation light having different intensities, and the fluorescence detection means. 2. A DNA inspection device, comprising: processing means for processing a detection signal of fluorescence detected corresponding to the intensity of the excitation light to obtain information on fluorescence generation of the inspection object.
【請求項22】前記励起光発生手段は励起光として複数
のビームを発射し、該複数のビームをそれぞれ前記対象
物の異なる領域に配置した試料に同時に照射することを
特徴とする請求項21記載のDNA検査装置。
22. The excitation light generating means emits a plurality of beams as the excitation light, and simultaneously irradiates the plurality of beams to the samples arranged in different regions of the object, respectively. DNA tester.
【請求項23】前記蛍光を励起光の強度に対応して検出
することにより前記対象物から複数の蛍光検出信号を
得、該得た複数の蛍光検出信号の中から何れかの励起光
強度に対応する蛍光検出信号の情報を用いて前記対象物
の蛍光画像を得ることを特徴とする請求項21記載のD
NA検査装置。
23. A plurality of fluorescence detection signals are obtained from the object by detecting the fluorescence corresponding to the intensity of the excitation light, and one of the plurality of obtained fluorescence detection signals is set to an excitation light intensity. 22. The fluorescence image of the object is obtained by using the information of the corresponding fluorescence detection signal.
NA inspection device.
【請求項24】DNAに蛍光標識を付加して形成した試
料を基板上の複数の領域に配置した検査対象物に励起光
を照射して該照射により前記試料から発生する蛍光を検
出するDNA検査装置であって、励起光を対象物に照射
する励起光照射手段と、該励起光照射手段の照射により
前記試料から発生した蛍光を集光して分岐させて該分岐
させたそれぞれの蛍光を検出して蛍光画像を得る蛍光画
像取得手段と、該蛍光画像取得手段で取得した蛍光画像
を用いて前記対象物の蛍光の発生に関する情報を得る処
理手段とを備えたことを特徴とするDNA検査装置。
24. A DNA test in which a sample formed by adding a fluorescent label to DNA is placed on a plurality of regions on a substrate and the test object is irradiated with excitation light to detect fluorescence generated from the sample by the irradiation. An apparatus, which is an excitation light irradiating means for irradiating an object with excitation light, and collects and branches the fluorescence generated from the sample by the irradiation of the excitation light irradiating means and detects each of the branched fluorescences. And a processing means for obtaining information on the fluorescence generation of the object using the fluorescence image acquired by the fluorescence image acquisition means. .
【請求項25】前記励起光照射手段は複数のビームより
成る励起光をそれぞれ前記対象物の異なる領域に同時に
照射することを特徴とする請求項24記載のDNA検査
装置。
25. The DNA inspection apparatus according to claim 24, wherein said excitation light irradiating means irradiates excitation light composed of a plurality of beams to different regions of said object at the same time.
【請求項26】前記蛍光画像取得手段は、前記試料の複
数の領域のそれぞれの蛍光画像を同時に取得することを
特徴とする請求項24記載のDNA検査装置。
26. The DNA inspection apparatus according to claim 24, wherein said fluorescence image acquisition means simultaneously acquires each fluorescence image of a plurality of regions of said sample.
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