JP2003232692A - Pressure sensor - Google Patents
Pressure sensorInfo
- Publication number
- JP2003232692A JP2003232692A JP2002351692A JP2002351692A JP2003232692A JP 2003232692 A JP2003232692 A JP 2003232692A JP 2002351692 A JP2002351692 A JP 2002351692A JP 2002351692 A JP2002351692 A JP 2002351692A JP 2003232692 A JP2003232692 A JP 2003232692A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- diaphragm
- protective layer
- pressure
- holding portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流体及び気体の被
測定体の圧力を測定するための圧力センサに関し、特
に、半導体製造プロセス、化学、医療、食品加工の分野
等において、腐食性薬品や金属成分等の溶出が問題とな
る圧力測定に最適な圧力センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure sensor for measuring the pressure of a fluid or gas to be measured, and particularly to corrosive chemicals in the fields of semiconductor manufacturing process, chemistry, medical treatment, food processing, etc. The present invention relates to a pressure sensor most suitable for pressure measurement in which elution of metal components is a problem.
【０００２】[0002]
【背景技術】従来から、半導体製造プロセスにおけるウ
エハの表面洗浄やエッチング処理等に超純水や高純度の
腐食性薬品、例えば硝酸、塩酸、フッ化水素酸等が使用
されている。これらの薬品を供給するラインの圧力監視
及び薬品タンクのレベル監視には圧力センサが用いられ
ており、この圧力センサが薬品に腐食されると金属イオ
ン等が溶出してしまう。金属イオン等は製造プロセスに
おいて有害成分となるため、耐食性が高く、金属イオン
等の溶出量の少ない圧力センサが要求されている。ま
た、医療、食品工業、化学分野においても同様に腐食性
薬品等を使用する場合があり、耐食性が高く、金属イオ
ン等の溶出量の少ない圧力センサが求められている。2. Description of the Related Art Conventionally, ultrapure water and highly pure corrosive chemicals such as nitric acid, hydrochloric acid and hydrofluoric acid have been used for cleaning the surface of wafers and etching treatments in semiconductor manufacturing processes. A pressure sensor is used for monitoring the pressure of a line for supplying these chemicals and for monitoring the level of the chemical tank. When the pressure sensor is corroded by the chemical, metal ions and the like are eluted. Since metal ions and the like are harmful components in the manufacturing process, there is a demand for a pressure sensor having high corrosion resistance and a small amount of metal ions and the like eluted. Further, in the medical, food industry, and chemical fields as well, corrosive chemicals may be used in the same manner, and there is a demand for a pressure sensor having high corrosion resistance and a small amount of metal ions eluted.
【０００３】一般的に、圧力センサの圧力を検知する部
分であるダイアフラムは高弾性材料で作る必要があり、
この高弾性材料としては金属、セラミックス、ガラス等
の材料を採用することができる。これらの高弾性材料は
腐食性薬品により腐食されてしまうことがあるため、ダ
イアフラムをフッ素樹脂等の保護皮膜で覆い、耐食性を
向上させた圧力センサが提案されている。Generally, the diaphragm, which is the portion for detecting the pressure of the pressure sensor, must be made of a highly elastic material,
As the highly elastic material, a material such as metal, ceramics or glass can be adopted. Since these highly elastic materials may be corroded by corrosive chemicals, there has been proposed a pressure sensor in which the diaphragm is covered with a protective film such as a fluororesin to improve the corrosion resistance.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、造膜性
（膜成形性）の良好なフッ素樹脂は、腐食性が高い薬品
等に対しては耐食性があまり良好でなく、さらに薬液が
透過しやすいという問題がある。一方、腐食性の高い薬
品に対して良好な耐食性を有するフッ素樹脂は加工工程
上、膜にピンホールが発生し、このピンホールから薬品
等が浸入し、ダイアフラムが腐食されることがある。こ
のため、技術の進歩により金属溶出等に対する管理がよ
り厳しくなっている現状を鑑み、精度を損なわず、この
厳しい管理に対応できる圧力センサが求められている。However, a fluororesin having a good film-forming property (film-forming property) is not so good in corrosion resistance against highly corrosive chemicals, and is more likely to pass a chemical solution. There's a problem. On the other hand, in a fluororesin having good corrosion resistance to a highly corrosive chemical, a pinhole may be generated in the film in the processing step, and the chemical may enter through the pinhole to corrode the diaphragm. Therefore, in view of the present situation where the control of metal elution and the like is becoming more strict due to technological progress, there is a demand for a pressure sensor that can cope with this strict control without impairing accuracy.
【０００５】本発明の目的は、性能を損なうことがなく
耐食性をより向上させることができる圧力センサを提供
することである。An object of the present invention is to provide a pressure sensor capable of further improving corrosion resistance without impairing performance.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は以下
の構成を採用して前記目的を達成しようとするものであ
る。具体的には、本発明の圧力センサは、受圧室に導入
される被測定流体の圧力の変化により弾性変形するダイ
アフラムを有する圧力センサであって、前記ダイアフラ
ムの受圧面には、複数のフッ素樹脂層を積層して構成さ
れる保護層が設けられていることを特徴とする。Therefore, the present invention aims to achieve the above object by adopting the following constitution. Specifically, the pressure sensor of the present invention is a pressure sensor having a diaphragm that is elastically deformed by a change in the pressure of the fluid to be measured introduced into the pressure receiving chamber, and the pressure receiving surface of the diaphragm has a plurality of fluororesins. A protective layer formed by stacking layers is provided.
【０００７】フッ素樹脂層への腐食性薬品等の透過量
は、腐食性薬品等が接する層の表面積に比例し、層の厚
さに反比例し、以下の関係式が成り立つ。The permeation amount of a corrosive chemical or the like into the fluororesin layer is proportional to the surface area of the layer in contact with the corrosive chemical or the like and inversely proportional to the layer thickness, and the following relational expression holds.
【０００８】[0008]
【数１】Ｑ＝（Ｓ／ｈ）・Ｙ・ｔ
Ｑ：透過量 Ｙ：透過係数 ｈ：層の厚さ Ｓ：表面積
ｔ：時間[Equation 1] Q = (S / h) · Y · t Q: Permeability Y: Permeability coefficient h: Layer thickness S: Surface area t: Time
【０００９】Ｙは材料によって決まる定数である。従っ
て、透過量を一定とした場合、透過係数の小さいフッ素
樹脂を使用することにより、層の薄型化を図ることがで
きる。例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレ
ン）とＰＣＴＦＥ（ポリクロロトリフルオロエチレン）
の５０％のフッ酸における透過係数を比較した場合、Ｐ
ＴＦＥは６．２×１０-11（ｇ・ｃｍ・ｃｍ-2・ｓ-1）
であり、ＰＣＴＦＥは１．７×１０-12（ｇ・ｃｍ・ｃ
ｍ-2・ｓ-1）である。ＰＣＴＦＥはＰＴＦＥに比べ一桁
以上小さいものとなっており、透過量一定の場合、ＰＣ
ＴＦＥの層の厚さはＰＴＦＥの層の厚さに対して３／１
００となる。また、ＰＴＦＥとＰＦＡ（パーフルオロア
ルコキシアルカン）の透過係数を比較すると、ＰＦＡは
２．５×１０-11（ｇ・ｃｍ・ｃｍ-2・ｓ-1）であり、
透過量を一定とした場合、ＰＦＡの層の厚さは、ＰＴＦ
Ｅの層の厚さの約２／５でよいこととなる。また、ＦＥ
Ｐ（テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレ
ン共重合体）もＰＦＡ（テトラフルオロエチレン−パー
フルオロアルキルビニルエーテル共重合体）と略同様の
透過係数を有するため、透過量を一定とした場合、ＦＥ
Ｐの層の厚さも、ＰＴＦＥの層の厚さの約２／５でよい
こととなる。Y is a constant determined by the material. Therefore, when the amount of permeation is constant, the layer can be thinned by using a fluororesin having a small permeation coefficient. For example, PTFE (polytetrafluoroethylene) and PCTFE (polychlorotrifluoroethylene)
When comparing the permeation coefficient in 50% hydrofluoric acid,
TFE is 6.2 × 10 -11 (g ・ cm ・ cm -2・ s -1 ).
In it, PCTFE is 1.7 × 10- 12 (g · cm · c
m −2 · s −1 ). PCTFE is smaller than PTFE by an order of magnitude or more.
The thickness of the TFE layer is 3/1 with respect to the thickness of the PTFE layer.
It becomes 00. Further, comparing the transmission coefficients of PTFE and PFA (perfluoroalkoxy alkane), PFA is 2.5 × 10 -11 (g · cm · cm −2 · s −1 ),
When the permeation amount is constant, the PFA layer thickness is PTF.
It would be about 2/5 of the thickness of the E layer. Also, FE
Since P (tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer) also has a transmission coefficient substantially similar to that of PFA (tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer), when the amount of permeation is constant, FE
The thickness of the P layer will also be about 2/5 of the thickness of the PTFE layer.
【００１０】以上の特性を考慮し、例えば、保護層の積
層のうち、被測定流体に接触する表面層を比較的耐食性
の高いＰＴＦＥやＰＦＡとし、他の層を薬液の透過性に
対して有効なフッ素樹脂であるＦＥＰ、ＰＣＴＦＥとし
て積層することで、耐食性を高め、かつ保護層の厚さを
薄くすることができる。従って、耐食性を向上させて
も、圧力センサの精度は低下することがない。Considering the above characteristics, for example, in the protective layer stack, the surface layer in contact with the fluid to be measured is made of PTFE or PFA having relatively high corrosion resistance, and the other layers are effective for the permeability of the chemical solution. It is possible to increase the corrosion resistance and reduce the thickness of the protective layer by stacking FEP and PCTFE which are different fluororesins. Therefore, even if the corrosion resistance is improved, the accuracy of the pressure sensor does not decrease.
【００１１】この際、前記保護層は、均質かつ均一な厚
さの平板材を打ち抜いてこれを積層したものであること
が好ましい。このようにすれば、打ち抜き加工を行い、
これを積層するだけで保護層を得ることができるから、
保護層は安価で製作が容易なものとなる。In this case, it is preferable that the protective layer is formed by punching flat plate members having a uniform thickness and a uniform thickness. By doing this, punching is performed,
Since a protective layer can be obtained simply by stacking this,
The protective layer is inexpensive and easy to manufacture.
【００１２】また、前記フッ素樹脂の積層、及び前記ダ
イアフラムと前記保護層との接着は、溶融圧着により行
われ、前記ダイアフラム及び前記保護層とが一体化され
ていることが好ましい。フッ素樹脂は接着が困難な非接
着性樹脂であるが、溶融圧着することで接着することが
できる。これにより、各フッ素樹脂層同士が完全に固着
し、また、保護層とダイアフラムとも完全に固着するた
め、圧力の伝達を確実に行うことができ、応答性も優れ
たものとなる。また、保護層を複数層とすることで保護
層の薄型化を図ることができるので、ヒステリシスも小
さく抑えられ、被測定流体側にダイアフラムが撓む負圧
（真空）の測定も行うことができる。Further, it is preferable that the lamination of the fluororesin and the adhesion of the diaphragm and the protective layer are carried out by melt pressure bonding so that the diaphragm and the protective layer are integrated. Fluorine resin is a non-adhesive resin that is difficult to bond, but it can be bonded by melt pressure bonding. As a result, the fluororesin layers are completely fixed to each other, and the protective layer and the diaphragm are also completely fixed to each other, so that the pressure can be surely transmitted and the responsiveness is also excellent. In addition, since the protective layer can be made thin by using a plurality of protective layers, the hysteresis can be suppressed to a small value, and the negative pressure (vacuum) at which the diaphragm bends toward the fluid to be measured can be measured. .
【００１３】以上において、圧力センサが、前記ダイア
フラムの外周部分で前記ダイアフラムを保持し、内部に
前記受圧室が形成された保持部と、この受圧室に前記被
測定流体を導入する被測定流体導入部とを有するフッ素
樹脂製の継ぎ手を備えている場合、保護層と保持部は次
のような接合構造を採用することができる。In the above, the pressure sensor holds the diaphragm at the outer peripheral portion of the diaphragm and the holding portion in which the pressure receiving chamber is formed, and the fluid to be measured introducing the fluid to be measured into the pressure receiving chamber. When a joint made of a fluororesin having a portion is provided, the protective layer and the holding portion may have the following joining structure.
【００１４】（１）前記保持部及び前記保護層はこれら
のフッ素樹脂と異なる融点で溶融流動するフッ素樹脂を
介して溶融圧着により接合される構造。(1) A structure in which the holding portion and the protective layer are joined by melt pressure bonding through a fluororesin that melts and flows at a melting point different from those of these fluororesins.
【００１５】（２）前記保持部の前記保護層との当接面
には、突起が形成され、前記保護層に前記突起をくい込
ませることにより、前記保持部及び前記保護層が接合さ
れる構造。(2) A structure in which a protrusion is formed on the contact surface of the holding part with the protective layer, and the holding part and the protective layer are joined to each other by pressing the protrusion into the protective layer. .
【００１６】（３）前記保持部及び前記保護層は、シー
ル部材を介して接合固定される構造。(3) The holding portion and the protective layer are joined and fixed via a seal member.
【００１７】（１）では、ダイアフラムを保持する保持
部及びダイアフラムに設けられた保護層は、異なる融点
で溶融流動するフッ素樹脂を介して溶融圧着されるた
め、保持部に形成された受圧室を完全に密閉することが
できる。従って、ダイアフラムと保持部との間に不純物
が浸入し、溜まってしまうことがなく、このような不純
物により被測定流体を汚染してしまうことを防止するこ
とができる。In (1), the holding portion for holding the diaphragm and the protective layer provided on the diaphragm are melt-compressed through the fluororesins that melt and flow at different melting points, so that the pressure receiving chamber formed in the holding portion is formed. Can be completely sealed. Therefore, it is possible to prevent impurities from penetrating between the diaphragm and the holding portion and collecting them, and to prevent the fluid to be measured from being contaminated by such impurities.
【００１８】（２）では、保持部に設けられた突起を保
護層にくい込ませることで、受圧室が密閉されるため、
（１）の発明と同様の効果を奏することができる。ま
た、保持部の突起を保護層にくい込ませるだけで受圧室
を密閉することができるので、受圧室の密閉が容易であ
る。In (2), the pressure receiving chamber is sealed by making the protrusion provided on the holding portion difficult to be inserted into the protective layer.
The same effects as the invention of (1) can be achieved. Further, since the pressure receiving chamber can be sealed only by inserting the protrusion of the holding portion into the protective layer, it is easy to seal the pressure receiving chamber.
【００１９】（３）では、ダイアフラムの保護層と保持
部との間にはシール部材が配置されるため、受圧室を完
全に密閉することができ、（１）の発明と同様の効果を
奏することができる。さらに、シール部材を弾性を有す
るようなものとし、保護層とフランジ部とでシール部材
を挟持すれば、シール部材の反発力により、シール部材
は保護層及び保持部に密着する。これにより、より確実
に受圧室を密閉することができる。In (3), since the seal member is arranged between the protective layer of the diaphragm and the holding portion, the pressure receiving chamber can be completely sealed, and the same effect as that of the invention of (1) can be obtained. be able to. Furthermore, if the seal member is made to have elasticity and the seal member is sandwiched between the protective layer and the flange portion, the repulsive force of the seal member causes the seal member to come into close contact with the protective layer and the holding portion. Thereby, the pressure receiving chamber can be sealed more reliably.
【００２０】この際、前記継ぎ手に係合し、前記ダイア
フラムの周縁を囲む筒状のケースを有する場合、このケ
ースの端部には、前記ダイアフラムの受圧面とは反対側
の面に対向する折曲片が形成され、前記反対側の面と前
記折曲片との間には弾性部材が付勢状態で挿入されてい
ることが好ましい。ダイアフラムと折曲片との間には弾
性部材が付勢状態で挿入されるため、弾性部材によりダ
イアフラム及び保護層には、常に保持部に押さえつける
方向の力が働く。これにより、保護層は保持部に確実に
密着し、受圧室の密閉が完全なものとなる。At this time, when a cylindrical case which engages with the joint and surrounds the peripheral edge of the diaphragm is provided, the end portion of the case has a folding surface facing the surface opposite to the pressure receiving surface of the diaphragm. It is preferable that a bending piece is formed and an elastic member is inserted between the surface on the opposite side and the bending piece in a biased state. Since the elastic member is inserted between the diaphragm and the bent piece in a biased state, the elastic member always applies a force to the diaphragm and the protective layer in the direction of pressing the holding portion. As a result, the protective layer surely adheres to the holding portion, and the pressure receiving chamber is completely sealed.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明の第一実施形態を図
面に基づいて説明する。図１及び図２には、本実施形態
の圧力センサ１が示されている。この圧力センサ１は円
筒状に形成された静電容量式の圧力センサ素子１０と、
圧力センサ素子１０の静電容量の変化を所定の電気信号
に変換する変換回路１２と、これらを収納するケース１
３と、被測定流体を圧力センサ素子１０まで導く継ぎ手
１５とを備えている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 show a pressure sensor 1 according to this embodiment. The pressure sensor 1 includes a capacitive pressure sensor element 10 formed in a cylindrical shape,
A conversion circuit 12 for converting a change in electrostatic capacity of the pressure sensor element 10 into a predetermined electric signal, and a case 1 for housing these.
3 and a joint 15 for guiding the fluid to be measured to the pressure sensor element 10.
【００２２】圧力センサ素子１０は、圧力センサ素子本
体１１と、この圧力センサ素子本体１１に所定の間隔を
おいて接合されたダイアフラム１９とを備えている。ま
た、圧力センサ素子１０は、互いに対向配置される２枚
の電極１１１を有し、一方の電極１１１はダイアフラム
１９の受圧面とは反対側の面に形成され、他方の電極１
１１は圧力センサ素子本体１１のダイアフラム１９側の
面に形成されている。そして、被測定流体の圧力が変動
すると、ダイアフラム１９の変形に伴い２つの電極１１
１間の距離が変化し、圧力センサ素子１０の静電容量が
変化する。変換回路１２は、この静電容量の変化を電圧
出力信号として変換し、接続されている計測装置に出力
する。これらの圧力センサ素子１０と変換回路１２は、
円筒状に形成されたフッ素樹脂製のケース１３の内部に
収納されている。The pressure sensor element 10 comprises a pressure sensor element main body 11 and a diaphragm 19 joined to the pressure sensor element main body 11 at a predetermined interval. Further, the pressure sensor element 10 has two electrodes 111 arranged to face each other, one electrode 111 is formed on the surface of the diaphragm 19 opposite to the pressure receiving surface, and the other electrode 1 is formed.
Reference numeral 11 is formed on the surface of the pressure sensor element body 11 on the diaphragm 19 side. When the pressure of the fluid to be measured fluctuates, the two electrodes 11 are deformed as the diaphragm 19 is deformed.
The distance between 1 changes, and the electrostatic capacitance of the pressure sensor element 10 changes. The conversion circuit 12 converts this change in capacitance as a voltage output signal and outputs it to the connected measuring device. These pressure sensor element 10 and conversion circuit 12 are
It is housed inside a fluororesin case 13 formed in a cylindrical shape.
【００２３】ケース１３は、図１上方の第一ケース１３
Ａと下方の第二ケース１３Ｂとから構成されている。第
一ケース１３Ａには、変換回路１２に接続された電気信
号ケーブル１４を挿通するための挿通孔１３１Ａが設け
られている。第二ケース１３Ｂは、継ぎ手１５に係合
し、圧力センサ素子１０、後述する保護層１７の周囲を
囲む円筒状のケースである。第二ケース１３Ｂには、被
測定流体の圧力を導くパイプ状の継ぎ手１５を挿通する
ための挿通孔１３１Ｂが形成されている。第二ケース１
３Ｂは、第一ケース１３Ａにねじ１３６によって固定さ
れる第二ケース本体１３２Ｂと、この第二ケース本体１
３２Ｂの第一ケース１３Ａ側の端部と反対側の端部にね
じ１３５によって固定されるフランジ部１３３Ｂとを備
えている。このフランジ部１３３Ｂは、ケース１３内側
に向かって延びている。The case 13 is the first case 13 in the upper part of FIG.
It is composed of A and the lower second case 13B. The first case 13A is provided with an insertion hole 131A for inserting the electric signal cable 14 connected to the conversion circuit 12. The second case 13B is a cylindrical case that engages with the joint 15 and surrounds the pressure sensor element 10 and a protective layer 17 described later. The second case 13B is formed with an insertion hole 131B for inserting the pipe-shaped joint 15 that guides the pressure of the fluid to be measured. Second case 1
3B includes a second case body 132B fixed to the first case 13A with a screw 136, and a second case body 132B.
32B is provided with a flange portion 133B fixed by a screw 135 at the end portion on the first case 13A side and the end portion on the opposite side. The flange portion 133B extends toward the inside of the case 13.
【００２４】第二ケース本体１３２Ｂは圧力センサ素子
本体１１及びこれに取り付けられたダイアフラム１９の
周縁を囲む筒状のケースである。第二ケース本体１３２
Ｂの第一ケース１３Ａ側の端部は、フランジ部１３３Ｂ
と同様にケース１３内側に向かって折り曲げられた折曲
片１３４Ｂとなっている。この折曲片１３４Ｂは圧力セ
ンサ素子本体１１の周縁部に係合している。従って、折
曲片１３４Ｂとダイアフラム１９の受圧面の反対側の面
（圧力センサ素子本体１１に取り付けられる面）とは圧
力センサ素子本体１１を介して対向することとなる。The second case body 132B is a cylindrical case that surrounds the periphery of the pressure sensor element body 11 and the diaphragm 19 attached thereto. Second case body 132
The end portion of the B on the first case 13A side has a flange portion 133B.
Similarly, a bent piece 134B is bent toward the inside of the case 13. The bent piece 134B is engaged with the peripheral portion of the pressure sensor element body 11. Therefore, the bent piece 134B and the surface of the diaphragm 19 opposite to the pressure receiving surface (the surface attached to the pressure sensor element body 11) face each other through the pressure sensor element body 11.
【００２５】継ぎ手１５は第二ケース１３Ｂ内部に挿入
される保持部１５１と、第二ケース１３Ｂ外部に位置す
る被測定流体導入部１５２とを備えている。これらの保
持部１５１と被測定流体導入部１５２とは一体的に成形
されており、継ぎ手１５はＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ポリビニ
リデン等の材質から形成されることが好ましい。被測定
流体導入部１５２は、保持部１５１内部に設けられた受
圧室１８に被測定流体を導入するためのものであり、内
部に圧力導入孔１５３が形成されている。この被測定流
体導入部１５２の外面には、ねじが刻設されているが、
継ぎ手の被測定流体導入部の形状は、このような形状の
ものには限定されず、被測定流体が流れる配管等の形状
に応じて適当なものを使用する。The joint 15 is provided with a holding portion 151 which is inserted inside the second case 13B and a measured fluid introducing portion 152 which is located outside the second case 13B. It is preferable that the holding part 151 and the measured fluid introducing part 152 are integrally formed, and the joint 15 is made of a material such as PTFE, PFA, or polyvinylidene. The fluid to be measured introducing portion 152 is for introducing the fluid to be measured into the pressure receiving chamber 18 provided inside the holding portion 151, and has a pressure introducing hole 153 formed therein. A screw is engraved on the outer surface of the measured fluid introducing portion 152,
The shape of the fluid to be measured introduction portion of the joint is not limited to such a shape, and an appropriate one is used according to the shape of the pipe or the like through which the fluid to be measured flows.
【００２６】保持部１５１はケース１３の挿通孔１３１
Ｂの径と略同じ径を有する第一保持部１５１Ａと、この
第一保持部１５１Ａの上部に形成され、第一保持部１５
１Ａよりも径の大きい第二保持部１５１Ｂとを備えてい
る。第二保持部１５１Ｂは、第二ケース１３Ｂのフラン
ジ部１３３Ｂに係合するとともに、圧力センサ素子本体
１１に接合されたダイアフラム１９の外周部分を保持す
る。第二保持部１５１Ｂの外径は圧力センサ素子本体１
１と同じである。さらに、保持部１５１内部には受圧室
１８が形成されており、この受圧室１８は、第二保持部
１５１Ｂのダイアフラム１９の受圧面に面した端面を被
測定流体導入部１５２側に窪ませることで形成される。
また、保持部１５１にはこの受圧室１８内部に連通する
第二圧力導入孔１５３Ｂが形成されており、受圧室１８
はこの第二圧力導入孔１５３Ｂを介して被測定流体導入
部１５２内部に形成された圧力導入孔１５３と連通す
る。The holding portion 151 is a through hole 131 of the case 13.
A first holding portion 151A having a diameter substantially the same as the diameter of B, and the first holding portion 15A formed on the first holding portion 151A.
The second holding portion 151B having a diameter larger than 1A is provided. The second holding portion 151B engages with the flange portion 133B of the second case 13B and holds the outer peripheral portion of the diaphragm 19 joined to the pressure sensor element body 11. The outer diameter of the second holding portion 151B is the pressure sensor element body 1
Same as 1. Further, a pressure receiving chamber 18 is formed inside the holding portion 151, and the pressure receiving chamber 18 has an end surface facing the pressure receiving surface of the diaphragm 19 of the second holding portion 151B recessed toward the measured fluid introducing portion 152 side. Is formed by.
In addition, the holding portion 151 is formed with a second pressure introducing hole 153B communicating with the inside of the pressure receiving chamber 18, and the pressure receiving chamber 18 is formed.
Communicates with the pressure introducing hole 153 formed inside the measured fluid introducing portion 152 through the second pressure introducing hole 153B.
【００２７】さらに、第二保持部１５１Ｂのダイアフラ
ム１９側の端面の外周縁には溝１５４が形成されてお
り、この溝１５４にはリング状のシール部材１６が収納
されている。このシール部材１６は弾性体であり、例え
ば耐薬品性に優れ、ゴム硬度の低い（５０°から９０°
程度）パーフロロエラストマ等である。Further, a groove 154 is formed on the outer peripheral edge of the end surface of the second holding portion 151B on the diaphragm 19 side, and the ring-shaped sealing member 16 is housed in the groove 154. The seal member 16 is an elastic body, and has, for example, excellent chemical resistance and low rubber hardness (50 ° to 90 °).
Degree) Perfluoroelastomer, etc.
【００２８】圧力センサ素子本体１１に取り付けられた
ダイアフラム１９は受圧室１８に導入された被測定流体
の圧力の変化により弾性変形するものである。ダイアフ
ラム１９はセラミック製或いはサファイア製の円盤であ
り、圧力センサ素子本体１１と同じ径である。ダイアフ
ラム１９の受圧面には保護層１７が設けられている。図
２に示すように、保護層１７は、４層のフッ素樹脂層１
７１Ａ〜１７１Ｄから構成されている。フッ素樹脂層１
７１Ａ〜１７１Ｄのうち隣接する層同士の融点は異なっ
ている。また、隣接する層のうち一方の層の融点におい
て、他方の層が溶融流動しないものとなっている。The diaphragm 19 attached to the pressure sensor element body 11 is elastically deformed by the change in the pressure of the fluid to be measured introduced into the pressure receiving chamber 18. The diaphragm 19 is a disk made of ceramic or sapphire, and has the same diameter as the pressure sensor element body 11. A protective layer 17 is provided on the pressure receiving surface of the diaphragm 19. As shown in FIG. 2, the protective layer 17 includes four fluororesin layers 1
71A to 171D. Fluororesin layer 1
Among the 71A to 171D, adjacent layers have different melting points. Further, the melting point of one of the adjacent layers does not melt and flow in the other layer.
【００２９】保護層１７のダイアフラム１９の受圧面の
側の層を第一層１７１Ａとし、順に第二層１７１Ｂ、第
三層１７１Ｃ、第四層１７１Ｄとすると、第一層１７１
ＡがＦＥＰまたはＰＦＡからなる層、第二層１７１Ｂが
ＰＴＦＥからなる層、第三層１７１ＣがＦＥＰ、ＰＦＡ
またはＰＣＴＦＥからなる層、第四層１７１Ｄ（被測定
流体に接触する表面層）はＰＴＦＥとなっている。そし
て、第二層１７１Ｂは、第一層１７１Ａ及び第三層１７
１Ｃの融点では溶融流動せず、また、第四層１７１Ｄも
第三層１７１Ｃの融点では溶融流動しない。また、本実
施形態では、第一層１７１Ａの厚さを０．０５〜０．１
ｍｍ、第二層１７１Ｂの厚さを０．１〜０．２ｍｍ、第
三層１７１Ｃの厚さを０．０５〜０．１ｍｍ、第四層１
７１Ｄの厚さを０．１〜０．２ｍｍとしている。このよ
うな保護層１７は、均質かつ均一な厚さの平板材を打ち
ぬいて各層を形成し、これを積層することで成形され
る。フッ素樹脂層１７１Ａ〜１７１Ｄの積層は溶融圧着
により行われる。また、保護層１７とダイアフラム１９
も同様に溶融圧着により接着されている。If the first layer 171A is the layer of the protective layer 17 on the pressure receiving surface side of the diaphragm 19, and the second layer 171B, the third layer 171C, and the fourth layer 171D are in this order, the first layer 171.
A is a layer made of FEP or PFA, second layer 171B is a layer made of PTFE, and third layer 171C is FEP, PFA.
Alternatively, the layer made of PCTFE and the fourth layer 171D (the surface layer in contact with the fluid to be measured) are made of PTFE. The second layer 171B is the first layer 171A and the third layer 17
It does not melt and flow at the melting point of 1C, and the fourth layer 171D does not melt and flow at the melting point of the third layer 171C. In addition, in the present embodiment, the thickness of the first layer 171A is set to 0.05 to 0.1.
mm, the thickness of the second layer 171B is 0.1 to 0.2 mm, the thickness of the third layer 171C is 0.05 to 0.1 mm, the fourth layer 1
The thickness of 71D is 0.1 to 0.2 mm. Such a protective layer 17 is formed by punching out a flat plate material having a uniform and uniform thickness to form each layer and stacking the layers. Lamination of the fluororesin layers 171A to 171D is performed by melt pressure bonding. In addition, the protective layer 17 and the diaphragm 19
Similarly, they are adhered by melt pressure bonding.
【００３０】また、保護層１７は第二保持部１５１Ｂに
設置されたシール部材１６に当接している。第二ケース
本体１３２Ｂの折曲片１３４Ｂと、フランジ部１３３Ｂ
との間には、圧力センサ素子本体１１、ダイアフラム１
９、保護層１７、シール部材１６、第二保持部１５１Ｂ
が挟み込まれており、圧力センサ１を組み立てる際に、
第二ケース本体１３２Ｂとフランジ部１３３Ｂとを固定
するためのねじ１３５を締め付けると、第二保持部１５
１Ｂに設置されたシール部材１６が保護層１７及び第二
保持部１５１Ｂに密着する。これにより、保護層１７及
び第二保持部１５１Ｂが接合固定され受圧室１８が完全
密封される。The protective layer 17 is in contact with the seal member 16 installed on the second holding portion 151B. Bending piece 134B of second case body 132B and flange portion 133B
Between the pressure sensor element body 11 and the diaphragm 1
9, protective layer 17, seal member 16, second holding portion 151B
Is sandwiched between the pressure sensor 1 and the
When the screw 135 for fixing the second case body 132B and the flange portion 133B is tightened, the second holding portion 15
The seal member 16 installed in 1B comes into close contact with the protective layer 17 and the second holding portion 151B. As a result, the protective layer 17 and the second holding portion 151B are joined and fixed, and the pressure receiving chamber 18 is completely sealed.
【００３１】従って、本実施形態によれば、以下のよう
な効果を奏することができる。
（1-1）保護層１７を形成するフッ素樹脂の特性を考慮
し、保護層１７の層のうち、被測定流体に接触する第四
層１７１Ｄ（表面層）を比較的耐食性の高いＰＴＦＥと
し、内部の層は薬液の透過性に対して有効なフッ素樹脂
であるＦＥＰ、ＰＦＡと耐食性の高いＰＴＦＥとを交互
に積層したものとすることで、耐食性を高め、かつ保護
層１７の厚さを薄くすることができる。従って、耐食性
を向上させても、圧力センサ１の精度は低下することが
ない。Therefore, according to this embodiment, the following effects can be obtained. (1-1) Considering the characteristics of the fluororesin forming the protective layer 17, among the layers of the protective layer 17, the fourth layer 171D (surface layer) that comes into contact with the fluid to be measured is made of PTFE having relatively high corrosion resistance, The inner layer is made by alternately laminating FEP, PFA, which is a fluororesin effective for chemical liquid permeability, and PTFE, which has high corrosion resistance, to enhance the corrosion resistance and reduce the thickness of the protective layer 17. can do. Therefore, even if the corrosion resistance is improved, the accuracy of the pressure sensor 1 does not decrease.
【００３２】（1-2）保護層１７は、均質かつ均一な厚
さの平板材を打ち抜き、これを積層して形成されたもの
であるため、安価で製作が容易な保護層１７を得ること
ができる。(1-2) Since the protective layer 17 is formed by punching a flat plate material having a uniform and uniform thickness and laminating the flat plate materials, it is possible to obtain the protective layer 17 which is inexpensive and easy to manufacture. You can
【００３３】（1-3）フッ素樹脂層１７１Ａ〜１７１Ｄ
のうち隣接する層同士の融点は異なっており、また、隣
接する層のうち一方の層の融点において、他方の層が溶
融流動しないものとなっている。従って、一方の層を溶
融させて他方の層を圧着する際に、他方の層は溶融流動
しない。例えば、第二層１７１Ｂを第一層１７１Ａや第
三層１７１Ｃと溶融圧着させる場合には、第二層１７１
Ｂは溶融流動しない。従って、層同士を確実に接着する
ことができる。
（1-4）各フッ素樹脂層１７１Ａ〜１７１Ｄ同士、及び
保護層１７とダイアフラム１９とも溶融圧着したため、
これらが完全に固着し、圧力の伝達を確実に行うことが
でき、応答性も優れたものとなる。また、ヒステリシス
も小さく抑えられ、被測定流体側にダイアフラム１９が
撓む負圧（真空）の測定も行うことができる。(1-3) Fluororesin layers 171A to 171D
Among the adjacent layers, the melting points are different from each other, and the melting point of one of the adjacent layers is such that the other layer does not melt and flow. Therefore, when one layer is melted and the other layer is pressure-bonded, the other layer does not melt and flow. For example, when the second layer 171B is melt-pressed with the first layer 171A and the third layer 171C, the second layer 171
B does not melt and flow. Therefore, the layers can be reliably bonded to each other. (1-4) Since the fluororesin layers 171A to 171D, and the protective layer 17 and the diaphragm 19 are melt-pressed together,
These are completely fixed, pressure can be surely transmitted, and the response is also excellent. Also, the hysteresis is suppressed to a small level, and the negative pressure (vacuum) in which the diaphragm 19 bends toward the measured fluid can be measured.
【００３４】（1-5）第二保持部１５１Ｂ及びダイアフ
ラム１９に設けられた保護層１７との間には、シール部
材１６が配置され、このシール部材１６によって第二保
持部１５１Ｂと保護層１７とが固着されるため、第二保
持部１５１Ｂに形成された受圧室１８を完全に密閉する
ことができる。従って、ダイアフラム１９と第二保持部
１５１Ｂとのから不純物が浸入し、溜まってしまうこと
がなく、このような不純物により被測定流体を汚染して
しまうことを防止することができる。(1-5) The seal member 16 is disposed between the second holding portion 151B and the protective layer 17 provided on the diaphragm 19, and the seal member 16 allows the second holding portion 151B and the protective layer 17 to be provided. Since and are fixed, the pressure receiving chamber 18 formed in the second holding portion 151B can be completely sealed. Therefore, it is possible to prevent impurities from entering and accumulating from the diaphragm 19 and the second holding portion 151B, and to prevent the fluid to be measured from being contaminated by such impurities.
【００３５】（1-6）シール部材１６を弾性を有するも
のとしたため、ねじ１３５を締め付けることで、シール
部材１６の反発力により、シール部材１６と保護層１７
及び第二保持部１５１Ｂとが密着する。これにより、よ
り確実に受圧室１８を密封することができる。(1-6) Since the seal member 16 has elasticity, the repulsive force of the seal member 16 causes the seal member 16 and the protective layer 17 to be tightened by tightening the screw 135.
And the 2nd holding part 151B adheres closely. Thereby, the pressure receiving chamber 18 can be sealed more reliably.
【００３６】（1-7）シール部材１６はゴム硬度の低い
ものであるため、ねじ１３５を締め付ける力が比較的小
さくても容易にシール部材１６に保護層１７と保持部１
５１とを密着させることができ、受圧室１８を密封する
ことができる。従って、圧力センサ素子本体１１にも大
きな力が加わらないので、圧力センサ１の精度を損なう
ことがない。(1-7) Since the seal member 16 has low rubber hardness, the protective layer 17 and the holding portion 1 can be easily attached to the seal member 16 even if the force for tightening the screw 135 is relatively small.
The pressure receiving chamber 18 can be hermetically sealed with the pressure receiving chamber 18. Therefore, a large force is not applied to the pressure sensor element body 11, so that the accuracy of the pressure sensor 1 is not impaired.
【００３７】次に、本発明の第二実施形態を図３に示
す。尚、以下の説明では、既に説明した部分と同一の部
分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図３には第二実施形態の圧力センサ２が示されている。
第一実施形態の圧力センサ１の第二保持部１５１Ｂと保
護層１７との間には、シール部材１６が設置されていた
が、第二実施形態の圧力センサ２は継ぎ手２５の第二保
持部２５１Ｂの保護層１７との当接面に突起２６が設け
られている点で圧力センサ１と異なるものとなってい
る。この突起２６は保護層１７に向かって突出してお
り、第二保持部２５１Ｂにリング状に設けられている。
なお、保持部２５１は、第二保持部２５１Ｂと第一保持
部１５１Ａとを備えたものである。また、継ぎ手２５は
ＰＴＦＥ及びＰＦＡからなるものである。Next, FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In the following description, the same parts as those already described are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
FIG. 3 shows the pressure sensor 2 of the second embodiment.
Although the seal member 16 was installed between the second holding part 151B of the pressure sensor 1 of the first embodiment and the protective layer 17, the pressure sensor 2 of the second embodiment is the second holding part of the joint 25. The pressure sensor 1 is different from the pressure sensor 1 in that the protrusion 26 is provided on the contact surface of the protective layer 17 of 251B. The protrusion 26 protrudes toward the protective layer 17, and is provided in the second holding portion 251B in a ring shape.
The holding portion 251 includes the second holding portion 251B and the first holding portion 151A. The joint 25 is made of PTFE and PFA.
【００３８】第二ケース本体１３２Ｂの折曲片１３４Ｂ
と、フランジ部１３３Ｂとの間には、圧力センサ素子本
体１１、ダイアフラム１９、保護層１７及び第二保持部
２５１Ｂが挟み込まれており、圧力センサ２を組み立て
る際に、第二ケース本体１３２Ｂとフランジ部１３３Ｂ
とを固定するためのねじ１３５を締め付けると、第二保
持部２５１Ｂに形成された突起２６が保護層１７にくい
込む。これにより、保護層１７と第二保持部２５１Ｂと
が接合され受圧室１８が完全密封される。Bending piece 134B of the second case body 132B
And the flange portion 133B, the pressure sensor element body 11, the diaphragm 19, the protective layer 17, and the second holding portion 251B are sandwiched between the second case body 132B and the flange when the pressure sensor 2 is assembled. Part 133B
When the screw 135 for fixing and is tightened, the projection 26 formed on the second holding portion 251B is hard to fit into the protective layer 17. As a result, the protective layer 17 and the second holding portion 251B are joined and the pressure receiving chamber 18 is completely sealed.
【００３９】従って第二実施形態によれば、第一実施形
態の（1-1）〜（1-4）と同様の効果を奏することができ
るほか以下の効果を奏することができる。
（2-1）第二保持部２５１Ｂに形成された突起２６が、
保護層１７にくい込むことで、保持部２５１と保護層１
７とが固着されるため、第二保持部２５１Ｂに形成され
た受圧室１８を完全に密閉することができる。従って、
ダイアフラム１９と第二保持部２５１Ｂとの間から不純
物が浸入し、溜まってしまうことがなく、このような不
純物により被測定流体を汚染してしまうことを防止する
ことができる。
（2-2）予め、第二保持部２５１Ｂに突起２６が形成さ
れており、第二保持部２５１Ｂと突起２６とは一体化さ
れているため、これらが別体となっているようなものに
比べ、容易に受圧室１８を完全密閉することができ圧力
センサ２を組み立てに手間がかからない。Therefore, according to the second embodiment, the same effects as (1-1) to (1-4) of the first embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. (2-1) The protrusion 26 formed on the second holding portion 251B is
By holding the protective layer 17 tightly, the holding portion 251 and the protective layer 1
Since 7 and 7 are fixed to each other, the pressure receiving chamber 18 formed in the second holding portion 251B can be completely sealed. Therefore,
Impurities do not infiltrate and accumulate from between the diaphragm 19 and the second holding portion 251B, and it is possible to prevent contamination of the fluid to be measured by such impurities. (2-2) Since the projection 26 is formed on the second holding portion 251B in advance and the second holding portion 251B and the projection 26 are integrated, it is possible to separate them. Compared with this, the pressure receiving chamber 18 can be easily completely sealed and the pressure sensor 2 can be assembled easily.
【００４０】（2-3）継ぎ手２５をＰＴＦＥ及びＰＦＡ
で形成したため、突起２６を保護層１７にくい込ませれ
ば、受圧室１８はＰＴＦＥ及びＰＦＡで覆われることと
なり、耐腐食性に優れた受圧室１８とすることができ
る。(2-3) Connect joint 25 to PTFE and PFA
Since the pressure-receiving chamber 18 is formed by the method described above, the pressure-receiving chamber 18 is covered with PTFE and PFA when the protrusion 26 is made difficult to fit into the pressure-receiving chamber 18, so that the pressure-receiving chamber 18 having excellent corrosion resistance can be obtained.
【００４１】本発明の第三実施形態を図４に基づいて説
明する。図４には、第三実施形態の圧力センサ３が示さ
れている。第一実施形態においては、継ぎ手１５の第二
保持部１５１Ｂには溝１５４が形成されていたが、本実
施形態の継ぎ手３５の第二保持部３５１Ｂには溝は形成
されておらず、この点で第一実施形態と異なっている。
なお、保持部３５１は、第二保持部３５１Ｂと、第一保
持部１５１Ａとを備えるものである。この継ぎ手３５の
第二保持部３５１Ｂの保護層１７との当接面と保護層１
７との間には、リング状のフッ素樹脂製のシール板３６
が設置されている。このシール板３６は保持部３５１の
保護層１７との当接面全体に亘って設けられている。シ
ール板３６のフッ素樹脂は保護層１７及び保持部３５１
と融点が異なるものであり、保護層１７の第四層１７１
Ｄ（表面層）及び保持部３５１の材質をＰＴＦＥとした
場合には、シール板３６はＰＦＡであることが好まし
い。すなわち、シール板３６の融点において、第二保持
部３５１Ｂ及び第四層１７１Ｄは溶融流動しないもので
あることが好ましい。A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 shows the pressure sensor 3 of the third embodiment. In the first embodiment, the groove 154 is formed in the second holding portion 151B of the joint 15, but the groove is not formed in the second holding portion 351B of the joint 35 of the present embodiment. Is different from the first embodiment.
The holding unit 351 includes a second holding unit 351B and a first holding unit 151A. The contact surface of the second holding portion 351B of the joint 35 with the protective layer 17 and the protective layer 1
A ring-shaped fluororesin seal plate 36 is provided between
Is installed. The seal plate 36 is provided over the entire contact surface of the holding portion 351 with the protective layer 17. The fluororesin of the seal plate 36 is used as the protective layer 17 and the holding portion 351.
And a melting point different from that of the fourth layer 171 of the protective layer 17.
When the material of D (surface layer) and the holding portion 351 is PTFE, the seal plate 36 is preferably PFA. That is, it is preferable that the second holding portion 351B and the fourth layer 171D do not melt and flow at the melting point of the seal plate 36.
【００４２】第二ケース本体１３２Ｂの折曲片１３４Ｂ
と、フランジ部１３３Ｂとの間には、圧力センサ素子本
体１１、ダイアフラム１９、保護層１７、シール板３
６、第二保持部３５１Ｂが挟み込まれており、圧力セン
サ３を組み立てる際に、第二ケース本体１３２Ｂとフラ
ンジ部１３３Ｂとを固定するためのねじ１３５を締め付
け、第二保持部３５１Ｂと保護層１７との間に設置され
たシール板３６により第二保持部３５１Ｂと保護層１７
とを溶融圧着するとこれらが接合固定される。これによ
り、受圧室１８が完全密封される。Bending piece 134B of the second case body 132B
And the flange portion 133B between the pressure sensor element body 11, the diaphragm 19, the protective layer 17, and the seal plate 3.
6. The second holding portion 351B is sandwiched, and when the pressure sensor 3 is assembled, the screw 135 for fixing the second case body 132B and the flange portion 133B is tightened, and the second holding portion 351B and the protective layer 17 are tightened. A seal plate 36 installed between the second holding portion 351B and the protective layer 17
When and are melt-pressed, they are joined and fixed. As a result, the pressure receiving chamber 18 is completely sealed.
【００４３】従って、第三実施形態によれば、第一実施
形態の（1-1）〜（1-4）と同様の効果を奏することがで
きるほか以下の効果を奏することができる。
（3-1）シール板３６を第二保持部３５１Ｂと保護層１
７に溶融圧着することで、シール板３６を第二保持部３
５１Ｂとが固着されるため、保持部３５１に形成された
受圧室１８を完全に密閉することができる。従って、ダ
イアフラム１９と第二保持部３５１Ｂとの間から不純物
が浸入し、溜まってしまうことがなく、このような不純
物により被測定流体を汚染してしまうことを防止するこ
とができる。
（3-2）このシール板３６は第二保持部３５１Ｂの保護
層１７との当接面全体に亘って設けられており、接着面
積を比較的大きくとれるため、確実に保持部３５１の保
護層１７とを接着することができる。Therefore, according to the third embodiment, the same effects as (1-1) to (1-4) of the first embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. (3-1) The seal plate 36 is attached to the second holding portion 351B and the protective layer 1
By melt-bonding the seal plate 36 to the second holding part 3
Since 51B is fixed, the pressure receiving chamber 18 formed in the holding portion 351 can be completely sealed. Therefore, it is possible to prevent impurities from entering and accumulating from between the diaphragm 19 and the second holding portion 351B, and to prevent the fluid to be measured from being contaminated by such impurities. (3-2) The seal plate 36 is provided over the entire contact surface of the second holding portion 351B with the protective layer 17, and the bonding area can be made relatively large, so that the protective layer of the holding portion 351 can be reliably obtained. 17 and can be bonded.
【００４４】本発明の第四実施形態を図５に基づいて説
明する。図５には第四実施形態の圧力センサ４が示され
ている。前記実施形態では、保護層１７及び第二保持部
１５１Ｂ、２５１Ｂ、３５１Ｂの径は圧力センサ素子本
体１１と同じであった。これに対し、本実施形態の圧力
センサ４は、保護層１７のフッ素樹脂層１７１のうち第
四層１７１Ｄ’（表面層）の径が圧力センサ素子本体１
１及びダイアフラム１９の径よりも大きくなっている。
すなわち、第四層１７１Ｄ’の端部は、圧力センサ素子
本体１１及びダイアフラム１９よりも水平方向にはみだ
すこととなる。また、継ぎ手４５の第二保持部４５１Ｂ
もその径が圧力センサ素子本体１１の径よりも大きく形
成されており、第四層１７１Ｄ’のはみだした端部との
当接面には突起４６がリング状に形成されている。な
お、保持部４５１は、第二保持部４５１Ｂと、第一保持
部１５１Ａとを備えるものである。A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 shows the pressure sensor 4 of the fourth embodiment. In the above-described embodiment, the diameters of the protective layer 17 and the second holding portions 151B, 251B, 351B were the same as those of the pressure sensor element body 11. On the other hand, in the pressure sensor 4 of the present embodiment, the diameter of the fourth layer 171D ′ (surface layer) of the fluororesin layer 171 of the protective layer 17 is the pressure sensor element main body 1
1 and the diameter of the diaphragm 19 are larger.
That is, the end portion of the fourth layer 171D ′ extends in the horizontal direction beyond the pressure sensor element body 11 and the diaphragm 19. In addition, the second holding portion 451B of the joint 45
Also, the diameter is formed larger than the diameter of the pressure sensor element main body 11, and a projection 46 is formed in a ring shape on the contact surface with the protruding end of the fourth layer 171D ′. The holding unit 451 includes a second holding unit 451B and a first holding unit 151A.
【００４５】圧力センサ４のケース４３は第一ケース１
３Ａと第二ケース４３Ｂとから構成されている。第二ケ
ース４３Ｂは、第二ケース本体４３２Ｂとフランジ部４
３３Ｂとを備える。第二ケース本体４３２Ｂは、第一ケ
ース１３Ａとねじ（図示略）によって固定され、フラン
ジ部４３３Ｂは、この第二ケース本体４３２Ｂにねじ１
３５により接続される。The case 43 of the pressure sensor 4 is the first case 1
3A and the second case 43B. The second case 43B includes a second case body 432B and a flange portion 4
33B. The second case main body 432B is fixed to the first case 13A by screws (not shown), and the flange portion 433B is attached to the second case main body 432B by screws 1.
Connected by 35.
【００４６】第二ケース本体４３２Ｂは、第一ケース１
３Ａに当接し、折曲片１３４Ｂが形成された第一部材４
３５Ｂと、この第一部材４３５Ｂの図中下面に取り付け
られ、円筒状の第二部材４３６Ｂとから構成されてい
る。第二部材４３６Ｂの保持部４５１の突起４６に応じ
た位置には、リング状に凹部４３７が形成されている。The second case body 432B is the first case 1
The first member 4 that is in contact with 3A and has the bent piece 134B formed therein
35B and a cylindrical second member 436B attached to the lower surface of the first member 435B in the figure. A ring-shaped recess 437 is formed at a position corresponding to the protrusion 46 of the holding portion 451 of the second member 436B.
【００４７】第二ケース本体４３２Ｂの第一部材４３５
Ｂの折曲片１３４Ｂと第二保持部４５１Ｂの間には、圧
力センサ素子本体１１、ダイアフラム１９、保護層１７
が挟み込まれている。また、第一部材４３５Ｂの下方に
設けられた第二部材４３６Ｂと、フランジ部４３３Ｂと
の間には、保護層１７の第四層１７１Ｄ’のダイアフラ
ム１９からはみ出した部分、第二保持部４５１Ｂが挟み
込まれている。従って、第二ケース本体４３２Ｂとフラ
ンジ部４３３Ｂとを固定するためのねじ１３５を締め付
けると、第二保持部４５１Ｂに形成された突起４６が第
四層１７１Ｄ’を介して凹部４３７に嵌め込まれる。こ
れにより、第二保持部４５１Ｂと保護層１７とのシール
構造が形成され、受圧室１８が完全密封される。First member 435 of second case body 432B
Between the bent piece 134B of B and the second holding portion 451B, the pressure sensor element body 11, the diaphragm 19, the protective layer 17 are provided.
Is sandwiched between. In addition, between the second member 436B provided below the first member 435B and the flange portion 433B, the portion protruding from the diaphragm 19 of the fourth layer 171D ′ of the protective layer 17, the second holding portion 451B. It is sandwiched. Therefore, when the screw 135 for fixing the second case body 432B and the flange portion 433B is tightened, the protrusion 46 formed on the second holding portion 451B is fitted into the recess 437 through the fourth layer 171D ′. As a result, a seal structure is formed between the second holding portion 451B and the protective layer 17, and the pressure receiving chamber 18 is completely sealed.
【００４８】従って第四実施形態によれば、第一実施形
態の（1-1）〜（1-4）と同様の効果を奏することができ
るほか以下の効果を奏することができる。
（4-1）保護層１７の第四層１７１Ｄ’をダイアフラム
１９よりも大きな径とし、ダイアフラム１９からはみ出
した部分を介して第二保持部４５１Ｂに形成された突起
４６を第二部材４３６Ｂの凹部４３７に嵌め込んだた
め、この部分の密封性が向上し、受圧室１８の密封性能
をさらに向上することができる。このように受圧室１８
密封されるのでダイアフラム１９と第二保持部４５１Ｂ
との間から不純物が浸入し、溜まってしまうことがな
く、このような不純物により被測定流体を汚染してしま
うことを防止することができる。Therefore, according to the fourth embodiment, the same effects as (1-1) to (1-4) of the first embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. (4-1) The fourth layer 171D ′ of the protective layer 17 has a diameter larger than that of the diaphragm 19, and the protrusion 46 formed on the second holding portion 451B through the portion protruding from the diaphragm 19 is recessed in the second member 436B. Since it is fitted in 437, the sealing performance of this portion is improved, and the sealing performance of the pressure receiving chamber 18 can be further improved. Thus, the pressure receiving chamber 18
Since it is sealed, the diaphragm 19 and the second holding portion 451B
It is possible to prevent impurities from penetrating through the space between and to accumulate, and to prevent the fluid to be measured from being contaminated by such impurities.
【００４９】本発明の第五実施形態を図６及び図７に基
づいて説明する。図６及び図７には圧力センサ５が示さ
れている。圧力センサ５に使用されるケース５３は、第
一ケース１３Ａと第二ケース５３Ｂとを備えている。第
一ケース１３Ａの電気信号ケーブル１４が挿通された挿
通孔１３１Ａの周囲には、防水グランド６が設けられて
いる。また、第一ケース１３Ａと第二ケース５３Ｂとの
間にはＯリング７が配置されており、防水グランド６と
Ｏリング７とによりケース５３内部は閉鎖空間となって
いる。さらに、電気信号ケーブル１４内には大気導入チ
ューブ５４が設けられている。A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7. The pressure sensor 5 is shown in FIGS. 6 and 7. The case 53 used for the pressure sensor 5 includes a first case 13A and a second case 53B. The waterproof ground 6 is provided around the insertion hole 131A in which the electric signal cable 14 of the first case 13A is inserted. Further, an O-ring 7 is arranged between the first case 13A and the second case 53B, and the waterproof gland 6 and the O-ring 7 form a closed space inside the case 53. Further, an air introduction tube 54 is provided in the electric signal cable 14.
【００５０】第二ケース５３Ｂは、第一実施形態の第二
ケース１３Ｂと略同様の構造であるが、第二ケース５３
Ｂの第二ケース本体５３２Ｂの折曲片５３４Ｂと圧力セ
ンサ素子本体１１との間には、隙間が形成されている点
で異なっている。この隙間にリング状の弾性部材８が付
勢状態で配置されている。すなわち、圧力センサ素子本
体１１を介してダイアフラム１９の受圧面と反対側の面
（圧力センサ素子本体１１に取り付けられる面）と折曲
片５３４Ｂとの間には、弾性部材８が付勢状態で挿入さ
れることとなり、ダイアフラム１９は弾性部材８からの
力を受けることとなる。なお、この弾性部材８は断面Ｃ
字形となっている。一方、本実施形態で使用される継ぎ
手は、第二実施形態で使用した継ぎ手２５であり、第二
保持部２５１Ｂには突起２６が設けられている。The second case 53B has substantially the same structure as the second case 13B of the first embodiment, but the second case 53
The difference is that a gap is formed between the bent piece 534B of the B second case body 532B and the pressure sensor element body 11. The ring-shaped elastic member 8 is arranged in this gap in a biased state. That is, the elastic member 8 is biased between the bent piece 534B and the surface of the diaphragm 19 opposite to the pressure receiving surface (the surface attached to the pressure sensor element body 11) via the pressure sensor element body 11. When the diaphragm 19 is inserted, the diaphragm 19 receives a force from the elastic member 8. The elastic member 8 has a cross section C.
It has a letter shape. On the other hand, the joint used in this embodiment is the joint 25 used in the second embodiment, and the protrusion 26 is provided on the second holding portion 251B.
【００５１】第二ケース本体５３２Ｂの折曲片５３４Ｂ
と、フランジ部１３３Ｂとの間には、弾性部材８、圧力
センサ素子本体１１、ダイアフラム１９、保護層１７及
び第二保持部２５１Ｂが挟み込まれており、圧力センサ
５を組み立てる際に、第二ケース本体５３２Ｂとフラン
ジ部１３３Ｂとを固定するためのねじ１３５を締め付け
ると、弾性部材８は付勢状態となり、また、第二保持部
２５１Ｂに形成された突起２６は保護層１７にくい込
む。これにより、保護層１７と第二保持部２５１Ｂとが
接合され受圧室１８が完全密封される。Bending piece 534B of second case body 532B
The elastic member 8, the pressure sensor element main body 11, the diaphragm 19, the protective layer 17 and the second holding portion 251B are sandwiched between the second case and the flange portion 133B when the pressure sensor 5 is assembled. When the screw 135 for fixing the main body 532B and the flange portion 133B is tightened, the elastic member 8 is biased, and the projection 26 formed on the second holding portion 251B is pushed into the protective layer 17. As a result, the protective layer 17 and the second holding portion 251B are joined and the pressure receiving chamber 18 is completely sealed.
【００５２】従って第五実施形態によれば、第二実施形
態と同様の効果を奏することができるほか以下の効果を
奏することができる。
（5-1）第二保持部２５１ＢをＰＴＦＥ、ＰＦＡとした
場合、ＰＴＦＥやＰＦＡは弾性率が低いため突起２６は
徐々に反発力を失い、保護層１７との密着が不十分とな
ってしまうことがある。これに対し、本実施形態では弾
性部材８を圧力センサ素子本体１１と折曲片５３４Ｂと
の間に配置し、付勢状態となるようにねじ１３５を締め
付けることで、突起２６に常に押さえつける力が働き、
長期にわたり受圧室１８の密封を保つことができる。Therefore, according to the fifth embodiment, the same effects as the second embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. (5-1) When the second holding portion 251B is made of PTFE or PFA, the protrusion 26 gradually loses the repulsive force due to the low elastic modulus of PTFE or PFA, and the adhesion with the protective layer 17 becomes insufficient. Sometimes. On the other hand, in the present embodiment, the elastic member 8 is arranged between the pressure sensor element body 11 and the bent piece 534B, and the screw 135 is tightened so as to be in the biased state. Working,
The pressure receiving chamber 18 can be kept sealed for a long period of time.
【００５３】（5-2）防水グランド６とＯリング７とに
よりケース５３内部は閉鎖空間となっているが、大気導
入チューブ５４により大気圧と導通しているため、閉鎖
空間内の圧力上昇に伴う検出圧の誤差をキャンセルする
ことができ、比較的圧力の低い被測定流体も精度良く測
定することができる。(5-2) Although the inside of the case 53 is a closed space due to the waterproof gland 6 and the O-ring 7, since the atmosphere introducing tube 54 is connected to the atmospheric pressure, the pressure inside the closed space is increased. It is possible to cancel the error in the detected pressure that accompanies it, and it is possible to accurately measure the fluid to be measured, which has a relatively low pressure.
【００５４】（5-3）圧力センサ５は薬品等のベーパや
腐食性ガスの雰囲気下に設置されることが多く、これら
のガス等により変換回路１２や圧力センサ素子本体１１
が腐食され、センサの性能が低下することがある。本実
施形態ではケース５３内部に大気導入チューブ５４が設
けられているため、離れた位置から薬品等で汚染されて
いない空気を大気導入チューブ５４により導入すること
ができ、センサの性能を維持することができる。(5-3) The pressure sensor 5 is often installed in an atmosphere of vapor such as chemicals or corrosive gas, and the conversion circuit 12 and the pressure sensor element body 11 are affected by these gases.
Can be corroded, degrading sensor performance. In the present embodiment, since the air introduction tube 54 is provided inside the case 53, it is possible to introduce air that is not contaminated with chemicals or the like from a remote position by the air introduction tube 54, and maintain the performance of the sensor. You can
【００５５】なお、本発明は前述の実施の形態に限定さ
れるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での
変形、改良等は本発明に含まれるものである。例えば、
圧力センサ素子本体１１は静電容量式のものに限らず、
抵抗ストレンゲージ式のものでもよい。ただし、前記実
施形態のように静電容量式のものを使用すれば、温度特
性に優れた圧力センサを提供することができる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, but includes modifications and improvements as long as the object of the present invention can be achieved. For example,
The pressure sensor element body 11 is not limited to the capacitance type,
A resistance strain gauge type may be used. However, by using a capacitance type sensor as in the above embodiment, it is possible to provide a pressure sensor having excellent temperature characteristics.
【００５６】また、ダイアフラム１９は、セラミック製
或いはサファイア製のものに限らず、例えば、金属製、
ガラス製のものであってもよい。ただし、前記実施形態
のように、セラミックやサファイア等の単結晶で弾性率
の高いものを採用すれば、保護層１７を設けることによ
る影響を最小限にとどめることができる。前記実施の形
態では、保護層１７の積層や保護層１７とダイアフラム
１９との接着を溶融圧着により行っていたが本発明で
は、保護層１７のフッ素樹脂層１７１を炭化処理するこ
とで、積層の接着や保護層１７とダイアフラム１９との
接着を行ってもよい。The diaphragm 19 is not limited to one made of ceramic or sapphire, but may be made of metal, for example.
It may be made of glass. However, if a single crystal having a high elastic modulus such as ceramic or sapphire is adopted as in the above-described embodiment, the effect of providing the protective layer 17 can be minimized. In the above-described embodiment, the protective layer 17 is laminated and the protective layer 17 and the diaphragm 19 are adhered to each other by melt pressure bonding, but in the present invention, the fluororesin layer 171 of the protective layer 17 is carbonized to form a laminated layer. Adhesion or adhesion between the protective layer 17 and the diaphragm 19 may be performed.
【００５７】また、保護層１７は各フッ素樹脂層を打ち
抜いてから積層したが、均質かつ均一な厚さに積層形成
した平板材を打ち抜いて製作してもよい。さらに、前記
実施形態では、保護層１７は４層のフッ素樹脂層１７１
Ａ〜１７１Ｄ、１７１Ｄ’からなるものとしたが、これ
には限られず、４層未満のフッ素樹脂層、例えば、３層
のフッ素樹脂層から構成されるものであってもよい。ま
た、４層を超えるものであってもよい。Further, the protective layer 17 is formed by punching out the respective fluororesin layers and then laminated, but it is also possible to manufacture by punching out flat plate materials laminated and formed to have a uniform and uniform thickness. Further, in the above-described embodiment, the protective layer 17 is the four fluororesin layers 171.
However, the present invention is not limited to this, and may be less than 4 fluororesin layers, for example, 3 fluororesin layers. Further, it may have more than four layers.
【００５８】[0058]
【発明の効果】このような本発明によれば、性能を損な
うことがなく耐食性をより向上させることができる圧力
センサを提供することができるという効果がある。As described above, according to the present invention, there is an effect that it is possible to provide a pressure sensor capable of further improving the corrosion resistance without impairing the performance.
【図１】本発明の第一実施形態にかかる圧力センサを示
す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a pressure sensor according to a first embodiment of the present invention.
【図２】前記圧力センサの要部を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a main part of the pressure sensor.
【図３】本発明の第二実施形態にかかる圧力センサの要
部を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a main part of a pressure sensor according to a second embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第三実施形態にかかる圧力センサの要
部を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a main part of a pressure sensor according to a third embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第四実施形態にかかる圧力センサの要
部を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a main part of a pressure sensor according to a fourth embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第五実施形態にかかる圧力センサ示す
断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a pressure sensor according to a fifth embodiment of the present invention.
【図７】第五実施形態の圧力センサの要部を示す断面図
である。FIG. 7 is a sectional view showing a main part of a pressure sensor of a fifth embodiment.
１，２，３，４，５ 圧力センサ
８ 弾性体
１１ 圧力センサ素子
本体
１３，４３，５３ ケース
１５，２５，３５，４５ 継ぎ手
１５１，２５１，３５１，４５１ 保持部
１５２ 被測定流体導入
部
１５３ 圧力導入孔
１７ 保護層
１７１Ａ，１７１Ｂ，１７１Ｃ，１７１Ｄ，１７１Ｄ’
フッ素樹脂層
１８ 受圧室
１９ ダイアフラム
１６ シール部材
２６ 突起
３６ シール板
１３４Ｂ，５３４Ｂ 折曲片1, 2, 3, 4, 5 Pressure sensor 8 Elastic body 11 Pressure sensor element main body 13, 43, 53 Case 15, 25, 35, 45 Joint 151, 251, 351, 451 Holding part 152 Measured fluid introducing part 153 Pressure Introduction hole 17 Protective layers 171A, 171B, 171C, 171D, 171D '
Fluororesin layer 18 Pressure receiving chamber 19 Diaphragm 16 Seal member 26 Protrusion 36 Seal plates 134B, 534B Bent pieces
Claims (7)
変化により弾性変形するダイアフラムを有する圧力セン
サであって、 前記ダイアフラムの受圧面には、複数のフッ素樹脂層を
積層して構成される保護層が設けられていることを特徴
とする圧力センサ。1. A pressure sensor having a diaphragm that is elastically deformed by a change in pressure of a fluid to be measured introduced into a pressure receiving chamber, wherein a pressure receiving surface of the diaphragm is formed by laminating a plurality of fluororesin layers. A pressure sensor having a protective layer provided thereon.
てこれを積層したものであることを特徴とする圧力セン
サ。2. The pressure sensor according to claim 1, wherein the protective layer is formed by punching flat plate materials having a uniform and uniform thickness and laminating the flat plate materials.
おいて、 前記フッ素樹脂の積層、及び前記ダイアフラムと前記保
護層との接着は、溶融圧着により行われ、前記ダイアフ
ラム及び前記保護層とが一体化されていることを特徴と
する圧力センサ。3. The pressure sensor according to claim 1 or 2, wherein the lamination of the fluororesin and the adhesion of the diaphragm and the protective layer are performed by melt pressure bonding, and the diaphragm and the protective layer are integrated. A pressure sensor characterized by being characterized.
ンサにおいて、 前記ダイアフラムの外周部分で前記ダイアフラムを保持
し、内部に前記受圧室が形成された保持部と、この受圧
室に前記被測定流体を導入する被測定流体導入部とを有
するフッ素樹脂製の継ぎ手を備え、 前記保持部及び前記保護層はこれらのフッ素樹脂と異な
る融点で溶融流動するフッ素樹脂を介して溶融圧着によ
り接合されていることを特徴とする圧力センサ。4. The pressure sensor according to claim 1, wherein the diaphragm is held by an outer peripheral portion of the diaphragm, the holding portion having the pressure receiving chamber formed therein, and the holding portion in the pressure receiving chamber. A joint made of a fluororesin having a measured fluid introduction part for introducing the measured fluid is provided, and the holding part and the protective layer are joined by melt pressure bonding via a fluororesin that melts and flows at a melting point different from those of the fluororesin The pressure sensor is characterized by being.
ンサにおいて、 前記ダイアフラムの外周部分で前記ダイアフラムを保持
し、内部に前記受圧室が形成された保持部と、この受圧
室に前記被測定流体を導入する被測定流体導入部とを有
するフッ素樹脂製の継ぎ手を備え、 前記保持部の前記保護層との当接面には、突起が形成さ
れ、 前記保護層に前記突起をくい込ませることにより、前記
保持部及び前記保護層が接合されることを特徴とする圧
力センサ。5. The pressure sensor according to claim 1, wherein the diaphragm is held by an outer peripheral portion of the diaphragm and the pressure receiving chamber is formed inside, and the pressure receiving chamber is provided with the holding portion. A joint made of a fluororesin having a measured fluid introducing portion for introducing the measured fluid is provided, and a protrusion is formed on a contact surface of the holding portion with the protective layer, and the protrusion is bited into the protective layer. The pressure sensor is characterized in that the holding part and the protective layer are bonded to each other.
ンサにおいて、 前記ダイアフラムの外周部分で前記ダイアフラムを保持
し、内部に前記受圧室が形成された保持部と、この受圧
室に前記被測定流体を導入する被測定流体導入部とを有
するフッ素樹脂製の継ぎ手を備え、 前記保持部及び前記保護層は、シール部材を介して接合
固定されることを特徴とする圧力センサ。6. The pressure sensor according to claim 1, wherein the diaphragm is held by an outer peripheral portion of the diaphragm and the pressure receiving chamber is formed inside the holding portion, and the pressure receiving chamber is provided with the holding portion. A pressure sensor, comprising: a joint made of a fluororesin having a fluid to be measured introduction portion for introducing a fluid to be measured, wherein the holding portion and the protective layer are joined and fixed via a seal member.
ンサにおいて、 前記継ぎ手に係合し、前記ダイアフラムの周縁を囲む筒
状のケースを有し、 このケースの端部には、前記ダイアフラムの受圧面とは
反対側の面に対向する折曲片が形成され、 前記反対側の面と前記折曲片との間には弾性部材が付勢
状態で挿入されていることを特徴とする圧力センサ。7. The pressure sensor according to claim 4, further comprising a cylindrical case that engages with the joint and surrounds a peripheral edge of the diaphragm, and an end portion of the case is provided with the cylindrical case. A bending piece facing the surface opposite to the pressure receiving surface of the diaphragm is formed, and an elastic member is inserted in a biased state between the opposite surface and the bending piece. Pressure sensor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002351692A JP3962677B2 (en) | 2001-12-03 | 2002-12-03 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001368245 | 2001-12-03 | ||
| JP2001-368245 | 2001-12-03 | ||
| JP2002351692A JP3962677B2 (en) | 2001-12-03 | 2002-12-03 | Pressure sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003232692A true JP2003232692A (en) | 2003-08-22 |
| JP3962677B2 JP3962677B2 (en) | 2007-08-22 |
Family
ID=27790399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002351692A Expired - Lifetime JP3962677B2 (en) | 2001-12-03 | 2002-12-03 | Pressure sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3962677B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005127770A (en) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Shiga Yamashita:Kk | Pressure sensor |
| JP2006105859A (en) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Tem-Tech Kenkyusho:Kk | Fluorine-containing resin thin film diaphragm pressure sensor and its manufacturing method |
| JP2010185841A (en) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Yokogawa Electric Corp | Transmitter |
-
2002
- 2002-12-03 JP JP2002351692A patent/JP3962677B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005127770A (en) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Shiga Yamashita:Kk | Pressure sensor |
| JP2006105859A (en) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Tem-Tech Kenkyusho:Kk | Fluorine-containing resin thin film diaphragm pressure sensor and its manufacturing method |
| JP2010185841A (en) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Yokogawa Electric Corp | Transmitter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3962677B2 (en) | 2007-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1036309B1 (en) | Non-contaminating pressure transducer module | |
| JP3323513B2 (en) | Pressure sensor module with non-polluting body | |
| CN1225643C (en) | Sensor usable in ultra pure and highly corrosive environments | |
| KR102552452B1 (en) | A hermetic pressure sensor | |
| JP2010048798A (en) | Pressure sensor | |
| JP2011503450A (en) | Integrated face seal | |
| WO2005124307A1 (en) | Pressure sensor | |
| IL121664A (en) | Pressure detector | |
| JP7157477B2 (en) | pressure sensor | |
| WO2004092688A1 (en) | Thermal type mass flow rate sensor made of corrosion resistant metal, and fluid supply equipment using the same | |
| USRE38557E1 (en) | Non-contaminating pressure transducer module | |
| JP3962677B2 (en) | Pressure sensor | |
| JP3571149B2 (en) | Pressure sensor | |
| EP0080186B1 (en) | Semiconductor pressure transducer | |
| JPH11211593A (en) | Mounting structure of pressure detector | |
| JP7255943B1 (en) | Semiconductor pressure chip sensor | |
| JP2017072384A (en) | Pressure sensor | |
| JP4400521B2 (en) | Hydrogen pressure sensor | |
| JP7343344B2 (en) | pressure sensor | |
| JP2011021941A (en) | Pressure sensor | |
| JP2002318167A (en) | Protective structure for pressure receiving diaphragm in pressure sensor and its sealing member | |
| JPH04267566A (en) | Semiconductor pressure sensor for high pressure | |
| JP2000028464A (en) | Pressure sensor | |
| JP2007078467A (en) | Thin membrane type pressure sensor | |
| JPH08233670A (en) | Semiconductor pressure sensor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041104 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061020 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070109 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070307 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070508 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070521 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3962677 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |