JP2003217117A - Inspecting method for magnetic recording medium - Google Patents

Inspecting method for magnetic recording medium

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JP2003217117A
JP2003217117A JP2002012969A JP2002012969A JP2003217117A JP 2003217117 A JP2003217117 A JP 2003217117A JP 2002012969 A JP2002012969 A JP 2002012969A JP 2002012969 A JP2002012969 A JP 2002012969A JP 2003217117 A JP2003217117 A JP 2003217117A
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JP
Japan
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recording medium
magnetic
magnetic recording
diameter
transfer
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Withdrawn
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JP2002012969A
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Japanese (ja)
Inventor
Shoichi Nishikawa
正一 西川
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To assure high quality of a magnetic recording medium wherein a magnetization pattern in accordance with prescribed information is formed by magnetic transfer. <P>SOLUTION: The existence of contamination having ≥30 pieces/cm<SP>2</SP>high density and having ≥0.3 μm diameter or dimple having ≥1 piece/cm<SP>2</SP>high density and having ≥0.3 μm diameter on the surface of the magnetic recording medium 10 wherein magnetic transfer have been performed is detected by an optical surface inspecting instrument. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の検
査方法に関するものであり、特に、磁気転写により情報
が転写された磁気記録媒体の検査方法に関するものであ
る。 【0002】 【従来の技術】磁気記録媒体においては一般に、情報量
の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価
で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せ
る、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれてお
り、この一例として、ハードディスク、フレキシブルデ
ィスクからなるZIP(アイオメガ社)等の高密度磁気
記録媒体が知られている。これらの高密度磁気記録媒体
は情報記録領域が狭トラックで構成されており、狭いト
ラック幅を正確に磁気ヘッドにより走査させて高いS/
Nで信号を再生するためには、いわゆるトラッキングサ
ーボ技術が大きな役割を担っている。 【0003】トラック位置決めのためのサーボ信号や、
そのトラックのアドレス信号、再生クロック信号等のサ
ーボ情報は、磁気記録媒体の製造時にプリフォーマット
として予め磁気記録媒体に記録する必要があり、現在は
専用のサーボ記録装置(サーボトラックライター)を用
いてプリフォーマットが行われている。従来のサーボ記
録装置によるプリフォーマットは、磁気記録媒体1枚づ
つ、磁気ヘッドにより記録する必要があるため、相当の
時間がかかり生産効率の点で問題がある。 【0004】一方、プリフォーマットを正確にかつ効率
よく行う方法として、マスター担体に形成されたサーボ
情報を担持するパターンを磁気記録媒体へ磁気転写によ
り転写する方法が、特開昭63−183623号公報、
特開平10−40544号公報、特開平10−2695
66号公報等において提案されている。 【0005】磁気転写は、磁性体の微細凹凸パターンに
より転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるス
レーブ媒体としての磁気記録媒体とを密着させた状態
で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報
(例えばサーボ信号)に対応する磁化パターンをスレー
ブ媒体に転写記録するもので、マスター担体とスレーブ
媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録
を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能
であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間である
という利点を有している。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記磁
気転写方法による磁気転写時には、マスター担体との接
触により、スレーブ媒体である磁気記録媒体にコンタミ
ネーションの付着、ディンプルの発生等が生じる場合が
ある。 【0007】コンタミネーションやディンプルが磁気記
録媒体表面に存在すると、再生サーボ信号に信号抜けが
生じたり、長時間のヘッドローディングを行う場合に媒
体削れが生じる等の問題がある。したがって、このよう
な問題のある磁気記録媒体は磁気転写後、出荷前に検出
されることが望ましい。 【0008】従来、磁気記録媒体の表面検査は、磁気ヘ
ッドを用いたローディングによりなされており、サーボ
ライトによるプリフォーマット前に、サーボライトを行
うに価するか否かを判断するために行われている。 【0009】このような磁気ヘッドによる表面検査を磁
気転写後の磁気記録媒体の表面検査に用いることも考え
られるが、磁気ヘッドによる表面検査では、付着状態に
あるコンタミネーションを確認することは困難であっ
た。加えてサブミクロンレベルのディンプルでは再生信
号に変化が反映されず、媒体表面レベルを十分に評価す
ることが難しかった。 【0010】一方、従来よりハードディスクの表面検査
に用いられている光学式表面検査機を用いた表面検査
が、磁気転写で確認される接触によるコンタミネーショ
ンおよびディンプルの解析に有効であると考えられ、本
出願人は、光学式表面検査機を用いて磁気ディスク表面
を検査し、検査を行った磁気ディスクについて、電磁変
換特性測定装置(協同電子製SS-60)によりスレーブ媒
体の転写信号の評価を行い、磁気転写後の磁気ディスク
におけるコンタミネーションまたはディンプルのサイズ
および密度の許容レベルの検討を行った。 【0011】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、磁気転写により所定の情報に応じた磁化パタ
ーンが形成された磁気記録媒体について高品質を保証す
るための磁気記録媒体の検査方法を提供することを目的
とするものである。 【0012】 【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
検査方法は、情報に応じたパターン状の磁性層を表面に
有するマスター担体と対面させた状態で、転写用磁界が
印加されることにより、前記情報が磁気的に記録された
磁気記録媒体の検査方法であって、光学式表面検査機を
用いて、前記磁気記録媒体の表面における、30個/cm
2より高密度の0.3μm径以上のコンタミネーションまた
は1個/cm2より高密度の0.3μm径以上のディンプル
の有無を検出することを特徴とするものである。 【0013】ここで「0.3μm径以上」とは、コンタミ
ネーションもしくはディンプルの最大径のサイズで定義
する。 【0014】磁気転写後の磁気記録媒体としては、0.3
μm径以上のコンタミネーションが30個/cm2以下で
あること、あるいは、0.3μm径以上のディンプルが1
個/cm2以下であることが望ましいことが本出願人の
検討により明らかになった。そこで、本発明の磁気記録
媒体の検査方法においては、0.3μm径以上のコンタミ
ネーションまたはディンプルがそれぞれ規定値密度より
多く存在するか規定値密度以下であるかを検出するよう
にしたものである。 【0015】 【発明の効果】本発明の磁気記録媒体の検査方法は、磁
気転写がなされた磁気記録媒体について、光学式表面検
査機を用いて、該磁気記録媒体の表面における、30個/
cm2より高密度の0.3μm径以上のコンタミネーション
または1個/cm2より高密度の0.3μm径以上のディン
プルの有無を検出するので、0.3μm以上のコンタミネ
ーションが30個/cm2以下、あるいは、0.3μm径以上
のディンプルが1個/cm2以下である、再生信号の故
障率が低く、長時間ヘッドローディングにおいても媒体
削れがほとんど発生しない、品質の良好な磁気記録媒体
を提供することができる。 【0016】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて詳細に説明する。図1に、光学式表面検査機の
一例を示し、磁気記録媒体表面の具体的な検査方法を説
明する。 【0017】ここで、表面検査される磁気記録媒体10
は、ハードディスクもしくはフレキシブルディスク等の
磁気ディスクであり、磁気転写によりサーボ信号が転写
されたプリフォーマット済みのものである。磁気転写
は、磁性層を磁気記録媒体を予めそのトラック方向また
は垂直方向に予め初期磁化させた磁気記録媒体と、表面
に転写すべき情報(ここではサーボ信号)に応じたパタ
ーン状の凹凸を有するマスター担体とを密着させ、この
密着状態で、電磁石装置等の磁界印加装置によって初期
磁化と略逆向きの転写用磁界を印加することにより、マ
スター担体の転写情報に対応した磁化パターンをスレー
ブ媒体に転写記録するものである。 【0018】表面検査は次のようにしてなされる。 【0019】レーザ発振器1から出射したレーザ光Lは
ダイクロイックミラー2で反射され、ビーム収束レンズ
3で収束され、有孔ミラー4の孔4aおよび有孔レンズ
5の孔5aを通過する。有孔ミラー4および有孔レンズ
5に、それぞれに設けられている中心孔4a,5aの径
はビーム径よりも大きく構成されており、かつ、これら
の孔4a,5aが投光光学系の光軸とほぼ同心状に設け
られているため、レーザ光Lは、これらのミラー4およ
びレンズ5の作用を受けることなく孔4a,5aを通過
する。 【0020】レンズ5の孔5aを通過したレーザ光L
は、ビーム照射ミラー6によって磁気ディスク10上の点
Aに向けて反射される。点Aで反射した光のうち、正反
射成分は投光光路を逆行し、再び有孔レンズ5、有孔ミ
ラー4の中心孔4a,5aを通ってレーザ発振器1に戻
される。 【0021】一方、点Aで反射した光のうちの図中破線
矢印で示す散乱成分は、ミラー6で反射されて拡散しつ
つ有孔レンズ5の中心孔5a以外の部分に入射して収束
される。有孔レンズ5で収束された散乱光は有孔ミラー
4の中心孔4a以外の部分に入射する。この有孔ミラー
4は、投光光学系の光軸に対して45°に傾斜して配さ
れているため、散乱光はほぼ入射方向に直角な方向へ反
射され、有孔レンズ5の作用によって受光素子7の受光
面に収束される。 【0022】磁気ディスク半径方向にレーザ光照射位置
を移動させるとともに、磁気ディスク10を回転させるこ
とにより、磁気ディスク全面に亘ってレーザ光を走査さ
せて全面の検査を行う。 【0023】上述のようにして、光学式表面検査機によ
り磁気ディスク全面に亘る検査を行い、30個/cm2
り高密度の0.3μm径以上のコンタミネーションの有
無、または1個/cm2より高密度の0.3μm径以上の大
きさのディンプルの有無を検出する。 【0024】この検査の結果、0.3μm径以上の大きさ
のコンタミネーションが30個/cm2以上、あるいは0.3
μm径以上の大きさのディンプルが1個/cm2以上無
しと検出されたものは良好な磁気ディスクと判断され
る。一方、規定値以上のコンタミネーション、ディンプ
ル有りと検出された磁気ディスクに対しては、クリーニ
ングを施した後再度検査を行う、あるいは、として処分
する等の処置が施される。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a magnetic recording medium, and more particularly to a method for inspecting a magnetic recording medium on which information has been transferred by magnetic transfer. It is. 2. Description of the Related Art In general, in a magnetic recording medium, as the amount of information increases, a large capacity for recording a large amount of information, a low cost, and preferably a required portion can be read out in a short time. A medium capable of high-speed access is desired. As an example of this, a high-density magnetic recording medium such as ZIP (Iomega Corporation) composed of a hard disk and a flexible disk is known. In these high-density magnetic recording media, the information recording area is composed of narrow tracks, and a high S / W is obtained by accurately scanning a narrow track width with a magnetic head.
In order to reproduce a signal with N, a so-called tracking servo technique plays a major role. Servo signals for track positioning,
Servo information such as the track address signal and playback clock signal must be recorded in advance on the magnetic recording medium as a preformat when the magnetic recording medium is manufactured. Currently, a dedicated servo recording device (servo track writer) is used. Preformatting has been done. The preformatting by the conventional servo recording apparatus needs to be recorded by the magnetic head one by one on the magnetic recording medium, so that it takes a considerable time and there is a problem in terms of production efficiency. On the other hand, as a method for performing preformatting accurately and efficiently, a method of transferring a pattern carrying servo information formed on a master carrier to a magnetic recording medium by magnetic transfer is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-183623. ,
Japanese Patent Laid-Open Nos. 10-40544 and 10-2695
No. 66 is proposed. Magnetic transfer is performed by applying a transfer magnetic field to a master carrier in a state where a master carrier carrying transfer information and a magnetic recording medium as a slave medium receiving the transfer are in close contact with each other by a fine uneven pattern of a magnetic material. Transfers and records the magnetization pattern corresponding to the carried information (for example, servo signal) on the slave medium, and can record statically without changing the relative position of the master carrier and slave medium. Pre-format recording is possible, and the time required for recording is extremely short. However, when magnetic transfer is performed by the above magnetic transfer method, contamination with the magnetic recording medium as a slave medium, generation of dimples, etc. may occur due to contact with the master carrier. There is. If contamination or dimples are present on the surface of the magnetic recording medium, there are problems such as a missing signal in the reproduced servo signal and medium scraping when performing long-time head loading. Therefore, it is desirable that such a problematic magnetic recording medium be detected after magnetic transfer and before shipment. Conventionally, surface inspection of a magnetic recording medium has been performed by loading using a magnetic head, and is performed to determine whether or not it is worth performing servo writing before pre-formatting by servo writing. Yes. It is conceivable to use such a surface inspection with a magnetic head for surface inspection of a magnetic recording medium after magnetic transfer. However, with a surface inspection with a magnetic head, it is difficult to confirm contamination in an attached state. there were. In addition, changes in the reproduction signal are not reflected in the submicron level dimples, and it is difficult to sufficiently evaluate the medium surface level. On the other hand, it is considered that surface inspection using an optical surface inspection machine conventionally used for hard disk surface inspection is effective in analyzing contamination and dimples caused by contact confirmed by magnetic transfer. The present applicant inspects the surface of the magnetic disk using an optical surface inspection machine, and evaluates the transfer signal of the slave medium using the electromagnetic conversion characteristic measuring device (SS-60 manufactured by Kyodo Electronics) for the magnetic disk subjected to the inspection. And the allowable level of the size and density of contamination or dimples on the magnetic disk after magnetic transfer was examined. The present invention has been made in view of the above circumstances, and inspects a magnetic recording medium for assuring high quality for a magnetic recording medium on which a magnetic pattern corresponding to predetermined information is formed by magnetic transfer. It is intended to provide a method. According to the method for inspecting a magnetic recording medium of the present invention, a transfer magnetic field is applied in a state in which a magnetic carrier having a pattern according to information faces a master carrier on the surface. By doing so, a method for inspecting a magnetic recording medium on which the information is magnetically recorded, which is 30 / cm on the surface of the magnetic recording medium using an optical surface inspection machine.
It is characterized in detecting the presence or absence of dimples on the contamination or high density 0.3μm diameter or less than 1 / cm 2 or over dense 0.3μm diameter or less than 2. Here, “more than 0.3 μm diameter” is defined by the size of the maximum diameter of contamination or dimples. As a magnetic recording medium after magnetic transfer, 0.3
Contamination of μm diameter or more is 30 pieces / cm 2 or less, or 1 dimple of 0.3 μm diameter or more is 1
The applicant's examination revealed that it is desirable that the number of particles / cm 2 or less. Therefore, in the method for inspecting a magnetic recording medium of the present invention, it is detected whether the contamination or dimples having a diameter of 0.3 μm or more exist more than the specified value density or less than the specified value density. According to the magnetic recording medium inspection method of the present invention, the magnetic recording medium on which the magnetic transfer has been performed is performed on the surface of the magnetic recording medium using an optical surface inspection machine.
and detects the presence or absence of dimples density 0.3 [mu] m larger than the diameter than the contamination or 1 / cm 2 on the dense 0.3 [mu] m diameter or less than cm 2, 0.3 [mu] m or more contamination 30 / cm 2 or less, Alternatively, it is possible to provide a magnetic recording medium having a good quality in which the dimple having a diameter of 0.3 μm or more is 1 piece / cm 2 or less, the reproduction signal failure rate is low, and the medium is hardly scraped even when the head loading is performed for a long time. Can do. DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of an optical surface inspection machine, and a specific inspection method for the surface of a magnetic recording medium will be described. Here, the magnetic recording medium 10 to be surface-inspected.
Is a magnetic disk such as a hard disk or a flexible disk, which has been preformatted with a servo signal transferred by magnetic transfer. Magnetic transfer has a magnetic recording medium in which a magnetic recording medium is preliminarily magnetized in advance in a track direction or a vertical direction, and unevenness in a pattern according to information to be transferred to the surface (here, a servo signal). A magnetic pattern corresponding to the transfer information of the master carrier is applied to the slave medium by bringing the master carrier into close contact and applying a magnetic field for transfer substantially opposite to the initial magnetization by a magnetic field application device such as an electromagnet device in this close contact state. It is for transfer recording. The surface inspection is performed as follows. The laser beam L emitted from the laser oscillator 1 is reflected by the dichroic mirror 2, converged by the beam focusing lens 3, and passes through the hole 4 a of the perforated mirror 4 and the hole 5 a of the perforated lens 5. The diameters of the central holes 4a and 5a provided in the perforated mirror 4 and the perforated lens 5 are configured to be larger than the beam diameter, and these holes 4a and 5a are light beams of the light projecting optical system. Since it is provided substantially concentrically with the axis, the laser light L passes through the holes 4a and 5a without being affected by the action of the mirror 4 and the lens 5. Laser light L that has passed through the hole 5a of the lens 5
Is reflected toward the point A on the magnetic disk 10 by the beam irradiation mirror 6. Of the light reflected at the point A, the specular reflection component travels back along the light projecting optical path, and returns to the laser oscillator 1 through the hole lens 5 and the center holes 4a and 5a of the hole mirror 4 again. On the other hand, of the light reflected at the point A, the scattering component indicated by the broken-line arrow in the figure is reflected and diffused by the mirror 6 and is incident on and converged on the portion other than the central hole 5a of the perforated lens 5. The The scattered light converged by the perforated lens 5 is incident on a portion other than the central hole 4 a of the perforated mirror 4. Since the perforated mirror 4 is disposed at an angle of 45 ° with respect to the optical axis of the light projecting optical system, the scattered light is reflected in a direction substantially perpendicular to the incident direction. The light is converged on the light receiving surface of the light receiving element 7. By moving the laser beam irradiation position in the radial direction of the magnetic disk and rotating the magnetic disk 10, the entire surface of the magnetic disk is inspected by scanning the laser beam. As described above, the entire surface of the magnetic disk is inspected by the optical surface inspection machine, and the presence or absence of contamination with a diameter of 0.3 μm or more, higher than 30 / cm 2 , or from 1 / cm 2 . The presence or absence of high-density dimples having a diameter of 0.3 μm or more is detected. As a result of this inspection, contamination with a diameter of 0.3 μm or more is 30 pieces / cm 2 or more, or 0.3
If a dimple having a diameter of μm or more is detected as having no dimple / cm 2 or more, it is judged as a good magnetic disk. On the other hand, a magnetic disk that is detected as having contamination or dimples greater than a specified value is subjected to a treatment such as performing an inspection again after being cleaned, or disposing of it.

【図面の簡単な説明】 【図1】光学式表面検査機を用いた磁気記録媒体の検査
方法を説明するための斜視図 【符号の説明】 1 レーザ発振器 2 ダイクロイックミラー 3 収束レンズ 4 有孔ミラー 5 有孔レンズ 6 ビーム照射ミラー 7 受光素子 10 磁気ディスク(磁気記録媒体)
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view for explaining a magnetic recording medium inspection method using an optical surface inspection machine. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser oscillator 2 Dichroic mirror 3 Converging lens 4 Perforated mirror 5 Perforated lens 6 Beam irradiation mirror 7 Light receiving element 10 Magnetic disk (magnetic recording medium)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 情報に応じたパターン状の磁性層を表面
に有するマスター担体と対面させた状態で、転写用磁界
が印加されることにより、前記情報が磁気的に記録され
た磁気記録媒体の検査方法であって、 光学式表面検査機を用いて、前記磁気記録媒体の表面に
おける、30個/cm2より高密度の、0.3μm径以上のコ
ンタミネーションまたは1個/cm2以上の0.3μm径以
上のディンプルの有無を検出することを特徴とする磁気
記録媒体の検査方法。
What is claimed is: 1. A magnetic field for transfer is applied in a state of facing a master carrier having a patterned magnetic layer on the surface according to information, thereby recording the information magnetically. A method for inspecting a magnetic recording medium, comprising: using an optical surface inspection machine, contamination on the surface of the magnetic recording medium at a density higher than 30 / cm 2 and having a diameter of 0.3 μm or more, or 1 / A method for inspecting a magnetic recording medium, comprising detecting the presence or absence of dimples having a diameter of 0.3 μm or more of cm 2 or more.
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