JP2003216066A - Electro-optical device and electronic apparatus - Google Patents

Electro-optical device and electronic apparatus

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JP2003216066A
JP2003216066A JP2002016121A JP2002016121A JP2003216066A JP 2003216066 A JP2003216066 A JP 2003216066A JP 2002016121 A JP2002016121 A JP 2002016121A JP 2002016121 A JP2002016121 A JP 2002016121A JP 2003216066 A JP2003216066 A JP 2003216066A
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JP
Japan
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wiring
terminal
electro
optical device
light emitting
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Withdrawn
Application number
JP2002016121A
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Japanese (ja)
Inventor
Hayato Nakanishi
早人 中西
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electro-optical device which is capable of solving the nonuniformity of electric resistance in a fixing part and in which failure on display such as the lowering of a contrast does not occur by making contact bonding conditions of a display board and a junction board equal over the whole of the fixing part and the electronic apparatus provided with the electro- optical device. <P>SOLUTION: In this electro-optical device, a flattening film 80 is formed between electrodes 74, 75 and the like each of which is connected to the wiring formed on a junction board such as a flexible board and the like and a first interlayer insulating layer 284 is formed on the flattening film 80 and at edge parts of the electrodes 74, 75. Moreover, a transparent electrode 77 is formed on the electrodes 74, 75 and on a projected part 79. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電気光学装置及び
電子機器に係り、特に有機エレクトロルミネッセンス材
料を備えた電気光学装置及び当該電気光学装置を備える
電子機器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electro-optical device and an electronic device, and more particularly to an electro-optical device including an organic electroluminescent material and an electronic device including the electro-optical device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、画素電極(陽極)及び陰極の間
に、有機蛍光材料等の発光材料からなる発光素子が挟持
された構造のカラー電気光学装置、特に発光材料として
有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)材料を用い
た有機EL表示装置の開発が行われている。以下、従来
の電気光学装置(有機EL表示装置)について簡単に説
明する。
2. Description of the Related Art In recent years, a color electro-optical device having a structure in which a light emitting element made of a light emitting material such as an organic fluorescent material is sandwiched between a pixel electrode (anode) and a cathode, and particularly as a light emitting material, organic electroluminescence (organic EL) is used. ) Organic EL display devices using materials are being developed. Hereinafter, a conventional electro-optical device (organic EL display device) will be briefly described.

【0003】図13は、従来の電気光学装置の配線構造
を示す図である。図13に示すように、従来の電気光学
装置は、複数の走査線901と、走査線901に対して
交差する方向に延びる複数の信号線902と、信号線9
02に並行して延びる複数の発光用電源配線903とが
それぞれ配線され、走査線901と信号線902との各
交点毎に、画素領域Aが設けられている。各信号線90
2は、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、
及びアナログスイッチを備えるデータ側駆動回路904
に接続されており、各走査線901は、シフトレジスタ
及びレベルシフタを備える走査側駆動回路905に接続
されている。
FIG. 13 is a diagram showing a wiring structure of a conventional electro-optical device. As shown in FIG. 13, the conventional electro-optical device includes a plurality of scanning lines 901, a plurality of signal lines 902 extending in a direction intersecting with the scanning lines 901, and a signal line 9.
02, a plurality of light emitting power supply wirings 903 extending in parallel with each other are provided, and a pixel region A is provided at each intersection of the scanning line 901 and the signal line 902. Each signal line 90
2 is a shift register, a level shifter, a video line,
And data side drive circuit 904 including analog switch
, And each scanning line 901 is connected to a scanning side drive circuit 905 including a shift register and a level shifter.

【0004】また、画素領域Aの各々には、走査線90
1を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチ
ング薄膜トランジスタ913と、このスイッチング薄膜
トランジスタ913を介して信号線902から供給され
る画像信号を保持する保持容量Capと、保持容量Ca
pによって保持された画像信号がゲート電極に供給され
るカレント薄膜トランジスタ914と、このカレント薄
膜トランジスタ914を介して発光用電源配線903に
電気的に接続されたときに発光用電源配線903から駆
動電流が流れ込む画素電極911と、この画素電極91
1と陰極912との間に挟み込まれる発光層910とが
設けられている。陰極912は、陰極用電源回路931
に接続されている。
Further, in each pixel area A, a scanning line 90
1, a switching thin film transistor 913 to which a scanning signal is supplied to the gate electrode, a holding capacitor Cap that holds an image signal supplied from the signal line 902 via the switching thin film transistor 913, and a holding capacitor Ca.
A driving current flows from the light emitting power supply wiring 903 when electrically connected to the current thin film transistor 914 to which the image signal held by p is supplied to the gate electrode and the light emitting power supply wiring 903 via the current thin film transistor 914. The pixel electrode 911 and this pixel electrode 91
1 and a cathode 912, and a light emitting layer 910 sandwiched therebetween. The cathode 912 is a cathode power supply circuit 931.
It is connected to the.

【0005】上記の発光層910には、赤色に発光する
発光層910R、緑色に発光する発光層910G、青色
に発光する発光層910Bの3種の発光素子が含まれ、
各発光層910R,910G,910Bがストライプ配
置されている。そして、カレント薄膜トランジスタ91
4を介して各発光層910R,910G,910Bに接
続される発光用電源配線903R,903G,903B
は、それぞれ発光用電源回路932に接続されている。
各色毎に発光用電源配線が配線されているのは、発光層
910の駆動電位が各色毎に異なるためである。
The above-mentioned light emitting layer 910 includes three types of light emitting elements: a light emitting layer 910R that emits red light, a light emitting layer 910G that emits green light, and a light emitting layer 910B that emits blue light.
Each light emitting layer 910R, 910G, 910B is arranged in stripes. The current thin film transistor 91
Power supply wirings 903R, 903G, 903B for light emission connected to the respective light emitting layers 910R, 910G, 910B via
Are connected to the light emitting power supply circuit 932.
The light emitting power source wiring is provided for each color because the drive potential of the light emitting layer 910 is different for each color.

【0006】以上の構成において、走査線901に走査
信号が供給されてスイッチング薄膜トランジスタ913
がオン状態になると、そのときに信号線902に供給さ
れている画像信号に応じた電荷が保持容量Capに保持
される。この保持容量Capに保持された電荷の量に応
じて、カレント薄膜トランジスタ914のオン・オフ状
態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ914
を介して発光用電源配線903R,903G,903B
から画素電極911に電流が流れ、更に発光層910を
介して陰極912に駆動電流が流れる。このとき、発光
層910を流れた電流量に応じた量の発光が発光層91
0から得られる。
In the above structure, the scanning signal is supplied to the scanning line 901 to cause the switching thin film transistor 913.
When is turned on, the charge corresponding to the image signal supplied to the signal line 902 at that time is held in the holding capacitor Cap. The on / off state of the current thin film transistor 914 is determined according to the amount of electric charge stored in the storage capacitor Cap. Then, the current thin film transistor 914
Power supply wiring for light emission 903R, 903G, 903B via
Current flows from the pixel electrode 911 to the pixel electrode 911, and further, a driving current flows to the cathode 912 through the light emitting layer 910. At this time, an amount of light emitted according to the amount of current flowing through the light emitting layer 910 is emitted by the light emitting layer 91.
Obtained from 0.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図13に示
した電気光学装置は、走査線901、信号線902、陰
極912、発光用電源配線903(903R,903
G,903B)、走査側駆動回路905、及び画素領域
Aがガラス等の透明基板(表示基板)上に形成され、陰
極用電源回路931、発光用電源回路932、及びデー
タ側駆動回路904等の回路が可撓性のあるフレキシブ
ル基板(中継基板)上に配置された構成とされることが
ある。
By the way, in the electro-optical device shown in FIG. 13, the scanning line 901, the signal line 902, the cathode 912, and the light-emitting power source wiring 903 (903R, 903).
G, 903B), the scanning side drive circuit 905, and the pixel region A are formed on a transparent substrate (display substrate) such as glass, and the cathode power supply circuit 931, the light emission power supply circuit 932, the data side drive circuit 904, and the like. The circuit may be arranged on a flexible board (relay board) having flexibility.

【0008】かかる構成の場合には、基板に対してフレ
キシブル基板を固着させ、走査線901、信号線90
2、陰極912、及び発光用電源配線903とフレキシ
ブル基板上に形成された回路とを電気的に導通させる必
要がある。基板とフレキシブル基板との固着及び電気的
な接続は、基板とフレキシブル基板との間に導電粒子を
含む異方性導電膜を配置し、フレキシブル基板を基板に
対して圧着させることにより行われる。
In the case of such a structure, the flexible substrate is fixed to the substrate, and the scanning line 901 and the signal line 90 are attached.
2, it is necessary to electrically connect the cathode 912, the light emitting power source wiring 903, and the circuit formed on the flexible substrate. Fixing and electrical connection between the substrate and the flexible substrate are performed by disposing an anisotropic conductive film containing conductive particles between the substrate and the flexible substrate and pressing the flexible substrate onto the substrate.

【0009】上述した電気光学装置に設けられる発光層
910を安定して発光させるためには、発光用電源配線
903から画素電極911に印加する駆動電流の電位変
動をできるだけ少なくすることが要求される。特に、図
13に示した電気光学装置は電流駆動型の電気光学装置
であり、表示ムラ及びコントラスト低下等の表示上の不
具合を防止するためには、陰極912及び発光用電源配
線903の配線抵抗等による電圧降下を極力抑える必要
がある。このため、陰極912及び発光用電源配線90
3は、走査線901及び信号線902よりも幅広に形成
されている。
In order to stably emit light from the light emitting layer 910 provided in the above-described electro-optical device, it is required to reduce the potential fluctuation of the drive current applied from the light emitting power source wiring 903 to the pixel electrode 911 as much as possible. . In particular, the electro-optical device shown in FIG. 13 is a current-driven electro-optical device, and in order to prevent display defects such as display unevenness and contrast reduction, the wiring resistance of the cathode 912 and the light-emitting power supply wiring 903 is reduced. It is necessary to suppress the voltage drop due to factors such as Therefore, the cathode 912 and the light-emitting power source wiring 90
3 is wider than the scanning line 901 and the signal line 902.

【0010】基板とフレキシブル基板と固着させる際に
は、主として圧着部において生ずる電気的抵抗の均一化
を図るために、固着部の全面に亘って圧着条件を同一に
したいという要求がある。この要求を満たすためには、
固着部に設けられ、上述した種々の配線が接続される端
子の形状を同一にする必要がある。
When the substrate and the flexible substrate are fixed to each other, there is a demand for making the pressure bonding conditions uniform over the entire surface of the bonding portion, mainly in order to make the electrical resistance generated in the pressure bonding portion uniform. To meet this requirement,
It is necessary that the terminals provided on the fixed portion and connected to the various wirings described above have the same shape.

【0011】しかしながら、上述したように、図13に
示した電気光学装置は電流駆動型の電気光学装置である
ため、陰極912及び発光用電源配線903の配線幅を
狭くすることは配線抵抗等による電圧降下を考慮すると
困難である。また、走査線901及び信号線902は数
が多く、これら全てを配置するためには細線化及び狭ピ
ッチ化する必要があるため、走査線901及び信号線9
02の線幅を陰極912及び発光用電源配線903の線
幅と同程度にすることも困難である。
However, as described above, since the electro-optical device shown in FIG. 13 is a current-driven electro-optical device, it is necessary to reduce the wiring width of the cathode 912 and the light-emitting power supply wiring 903 due to wiring resistance or the like. It is difficult to consider the voltage drop. Further, since the number of the scanning lines 901 and the signal lines 902 is large and it is necessary to make the lines thin and the pitch narrow to arrange them all, the scanning lines 901 and the signal lines 9 are required.
It is also difficult to make the line width of 02 equal to the line widths of the cathode 912 and the light emission power wiring 903.

【0012】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、表示基板と中継基板との圧着条件を固着部全体
に亘って同一にすることにより、固着部における電気的
抵抗の不均一性を解消することができるとともに、コン
トラストの低下等の表示上の不具合を生ずることがない
電気光学装置、及び当該電気光学装置を備える電子機器
を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and by making the pressure bonding conditions of the display substrate and the relay substrate the same over the entire fixed portion, the non-uniformity of electrical resistance in the fixed portion is achieved. It is an object of the present invention to provide an electro-optical device which can solve the above-mentioned problems and which does not cause a display defect such as a decrease in contrast, and an electronic apparatus including the electro-optical device.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の電気光学装置は、第1配線と、当該第1配
線より幅が広い第2配線とが少なくとも形成された電気
光学装置において、前記第1配線に接続された外部接続
用の第1端子と、前記第2配線に接続された外部接続用
の複数の第2端子と、前記第1端子間、前記第2端子
間、及び前記第1端子と前記第2端子との間に設けられ
た平坦化膜と、前記平坦化膜上、前記第1端子の端部、
及び前記第2端子の端部に形成された第2の絶縁層とを
備えることを特徴としている。この発明によれば、第1
端子間、第2端子間、及び第1端子と第2端子との間に
平坦化膜が設けられ、この平坦化膜上、第1端子の端
部、及び第2端子の端部に絶縁膜を形成した構成である
ため、絶縁層の厚みを厚くしたとしても第1端子の端部
及び第2端子の端部に形成される絶縁層の高さが、平坦
化膜上に形成される絶縁層の表面に対してさほど高くな
らずに平坦性を確保することができる。その結果とし
て、第1端子及び第2端子と接続される配線の接続不良
を生ずることがない。また、本発明の電気光学装置は、
前記第1端子及び前記第2端子の端部には、前記第2の
絶縁層により凸部が形成されていることを特徴としてい
る。この発明によれば、第1配線及び第2配線に対して
設けられる第1端子及び第2端子の何れの端部にも凸部
が形成されており、例えば異方性導電膜で配線が施され
た基板を表示基板に固着させるときには、異方性導電膜
に含まれる導電粒子が、第1端子及び第2端子の両端か
らはみ出す割合が少なくなり、逆に第1端子及び第2端
子上に留まる割合が上昇するため、固着部における電気
的抵抗を低減する上で極めて好適である。また、本発明
の電気光学装置は、前記第1端子及び前記第2端子に複
数の凹部が形成されていることを特徴としている。この
発明によれば、第1、第2端子の表面に形成された複数
の凹部により、第1、第2端子がいわば複数の電極とし
て分割した構成となっているため、配線が施された基板
を表示基板に固着させるとともに導通を取るときの圧力
の掛かり具合等の圧着条件をより均一化することができ
る。また、本発明の電気光学装置は、前記第1配線と同
程度の幅を有する第1中継配線と、前記第2配線と同程
度の幅を有する第2中継配線とが形成され、前記第1端
子を介して前記第1配線と前記第1中継配線とが電気的
に接続され、前記第2端子を介して前記第2配線と前記
第2中継配線とが電気的に接続された中継基板を有する
ことを特徴としている。上記課題を解決するために、本
発明の電気光学装置は、複数の発光素子と、信号線を介
して供給される信号に応じて電源線を介して供給される
電流を前記発光素子に供給するスイッチング素子とが形
成された電気光学装置において、前記信号線に接続され
てなる外部接続用の第1端子と、前記信号線の幅より広
く形成され、前記電源線に接続された外部接続用の複数
の第2端子と、前記第1端子間、前記第2端子間、及び
前記第1端子と前記第2端子との間に設けられた平坦化
膜と、前記平坦化膜上、前記第1端子の端部、及び前記
第2端子の端部に形成された絶縁層とを備えることを特
徴としている。また、本発明の電気光学装置は、前記第
1端子及び前記第2端子の端部には、前記絶縁層により
凸部が形成されていることを特徴としている。また、本
発明の電気光学装置は、前記第1端子及び前記第2端子
に複数の凹部が形成されていることを特徴としている。
また、本発明の電気光学装置は、前記信号線と同程度の
幅を有する第1配線と、前記電源線と同程度の幅を有す
る第2配線とが形成され、前記第1端子を介して前記信
号線と前記第1配線とが電気的に接続され、前記第2端
子を介して前記電源線と前記第2配線とが電気的に接続
された中継基板を有することを特徴としている。また、
本発明の電気光学装置は、前記第1、第2端子と前記第
1、第2配線とが、異方性導電膜により固着されている
ことを特徴としている。また、本発明の電子機器は、上
記の何れかに記載の電気光学装置を備えることを特徴と
している。
In order to solve the above problems, an electro-optical device according to the present invention is an electro-optical device in which at least a first wiring and a second wiring wider than the first wiring are formed. In, a first terminal for external connection connected to the first wiring, a plurality of second terminals for external connection connected to the second wiring, between the first terminals, between the second terminals, And a flattening film provided between the first terminal and the second terminal, on the flattening film, an end portion of the first terminal,
And a second insulating layer formed at an end of the second terminal. According to this invention, the first
A flattening film is provided between the terminals, between the second terminals, and between the first terminal and the second terminal, and an insulating film is provided on the flattening film, the end portion of the first terminal, and the end portion of the second terminal. Therefore, even if the thickness of the insulating layer is increased, the height of the insulating layer formed at the end of the first terminal and the end of the second terminal is equal to that of the insulating layer formed on the planarization film. Flatness can be ensured without being too high with respect to the surface of the layer. As a result, no connection failure occurs in the wiring connected to the first terminal and the second terminal. In addition, the electro-optical device of the present invention,
A convex portion is formed by the second insulating layer at an end portion of the first terminal and the second terminal. According to the present invention, the convex portion is formed at either end of the first terminal and the second terminal provided for the first wiring and the second wiring. For example, the wiring is made of an anisotropic conductive film. When the fixed substrate is fixed to the display substrate, the proportion of the conductive particles contained in the anisotropic conductive film protruding from both ends of the first terminal and the second terminal is reduced, and conversely, the conductive particles are formed on the first terminal and the second terminal. Since the ratio of staying is increased, it is extremely suitable for reducing the electric resistance in the fixed portion. Further, the electro-optical device of the invention is characterized in that a plurality of recesses are formed in the first terminal and the second terminal. According to the present invention, since the first and second terminals are so divided into a plurality of electrodes by the plurality of recesses formed on the surfaces of the first and second terminals, the wiring board is provided. It is possible to further uniformize the pressure bonding conditions such as the degree of pressure applied at the time of fixing the to the display substrate and establishing conduction. Further, in the electro-optical device of the present invention, a first relay wiring having a width similar to that of the first wiring and a second relay wiring having a width similar to that of the second wiring are formed. A relay board in which the first wiring and the first relay wiring are electrically connected via a terminal, and the second wiring and the second relay wiring are electrically connected via the second terminal. It is characterized by having. In order to solve the above problems, an electro-optical device according to the present invention supplies a plurality of light emitting elements and a current supplied through a power supply line to the light emitting element according to a signal supplied through a signal line. In an electro-optical device in which a switching element is formed, a first terminal for external connection connected to the signal line and an external connection formed to be wider than the signal line and connected to the power supply line. A plurality of second terminals, a flattening film provided between the first terminals, between the second terminals, and between the first terminals and the second terminals; on the flattening film; It is characterized by comprising an end of the terminal and an insulating layer formed on the end of the second terminal. Further, the electro-optical device of the present invention is characterized in that a convex portion is formed by the insulating layer at an end portion of the first terminal and the second terminal. Further, the electro-optical device of the invention is characterized in that a plurality of recesses are formed in the first terminal and the second terminal.
Also, in the electro-optical device of the present invention, a first wiring having a width similar to that of the signal line and a second wiring having a width similar to that of the power supply line are formed, and the first wiring is provided via the first terminal. It is characterized by having a relay substrate in which the signal line and the first wiring are electrically connected and the power supply line and the second wiring are electrically connected via the second terminal. Also,
The electro-optical device of the present invention is characterized in that the first and second terminals and the first and second wirings are fixed by an anisotropic conductive film. An electronic apparatus of the invention is characterized by including the electro-optical device described in any one of the above.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態による電気光学装置及び電子機器について詳細
に説明する。尚、以下の説明で参照する各図は、各層や
各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、
各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An electro-optical device and electronic equipment according to an embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. Each drawing referred to in the following description has a size such that each layer and each member are recognizable in the drawing.
The scale is made different for each layer and each member.

【0015】図1は、本発明の一実施形態による電気光
学装置を模式的に示す分解斜視図である。図1に示すよ
うに、本実施形態の電気光学装置10は、大別すると表
示基板20と、表示基板20に接続される中継基板30
とから構成される。表示基板20は、スイッチング素子
として薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor)を用
いたアクティブマトリクス方式の有機EL装置である。
FIG. 1 is an exploded perspective view schematically showing an electro-optical device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the electro-optical device 10 according to the present embodiment is roughly classified into a display substrate 20 and a relay substrate 30 connected to the display substrate 20.
Composed of and. The display substrate 20 is an active matrix organic EL device using a thin film transistor as a switching element.

【0016】この表示基板20には、複数の走査線21
が形成されており、この走査線21に交差する方向に延
びる複数の信号線22が形成されている。また、表示基
板20には、発光素子が複数形成された表示素子20a
が設けられている。更に、図1においては図示を省略し
ているが、表示基板20には電源線及び陰極が形成され
ている。また、表示基板20の一端には、走査線21、
信号線22、並びに不図示の電源線及び陰極各々に対す
る外部接続端子27が形成されている。
A plurality of scanning lines 21 are formed on the display substrate 20.
Are formed, and a plurality of signal lines 22 extending in a direction intersecting the scanning lines 21 are formed. In addition, the display substrate 20 includes a display element 20a having a plurality of light emitting elements formed thereon.
Is provided. Further, although not shown in FIG. 1, a power supply line and a cathode are formed on the display substrate 20. In addition, at one end of the display substrate 20, the scanning line 21,
External connection terminals 27 for the signal line 22 and the power supply line and the cathode (not shown) are formed.

【0017】尚、図1に示した電気光学装置10は、あ
くまでも主要な構成を模式的に示したものであり、実際
の走査線21、信号線22、及び外部接続端子27は、
極めて狭い間隔をもって多数が表示基板20上にそれぞ
れ形成されている点に注意されたい。また、外部接続端
子27と走査線21との接続状態との接続状態も図1に
おいては図示を省略している。
It should be noted that the electro-optical device 10 shown in FIG. 1 is merely a schematic representation of the main structure, and the actual scanning lines 21, signal lines 22, and external connection terminals 27 are
It should be noted that a large number are formed on the display substrate 20 at extremely narrow intervals. Further, the connection state between the external connection terminal 27 and the connection state of the scanning line 21 is also omitted in FIG.

【0018】中継基板30は、可撓性を有するベース基
板31上に複数の配線32が形成されており、更に中継
基板30の所定位置に半導体チップ33を搭載した構成
である。配線32の一端には、表示基板20に形成され
た走査線21及び信号線22等の配線と電気的に接続す
るための外部接続端子34が形成されている。尚、図1
では、中継基板30上に半導体チップ33のみが実装さ
れた構成であるが、半導体チップ33が実装される部位
以外の部位の所定位置に抵抗、コンデンサ、その他のチ
ップ部品を実装しても良い。また、中継基板30に形成
される配線32及び外部接続端子34も、その構造の理
解を容易にするために、間隔を拡大して模式的に示すと
ともに、構造を簡略化して図示してある。
The relay substrate 30 has a structure in which a plurality of wirings 32 are formed on a flexible base substrate 31, and a semiconductor chip 33 is mounted on a predetermined position of the relay substrate 30. At one end of the wiring 32, an external connection terminal 34 for electrically connecting with the wiring such as the scanning line 21 and the signal line 22 formed on the display substrate 20 is formed. Incidentally, FIG.
In the above, only the semiconductor chip 33 is mounted on the relay board 30, but resistors, capacitors, and other chip components may be mounted at predetermined positions other than the part where the semiconductor chip 33 is mounted. In addition, the wiring 32 and the external connection terminal 34 formed on the relay substrate 30 are also schematically illustrated by enlarging the interval and simplifying the structure in order to facilitate understanding of the structure.

【0019】図1に示すように、中継基板30は、異方
性導電膜40を介して表示基板20に固着される。この
とき、中継基板30の外部接続端子34は異方性導電膜
40を介して表示基板20の外部接続端子27と電気的
に接続される。この異方性導電膜40は、一対の端子間
を異方性を持たせて電気的に一括接続するために用いら
れる導電性のある高分子フィルムであって、例えば、図
2に示すように、熱可塑性又は熱硬化性の接着用樹脂4
1aの中に多数の導電粒子41bを分散させることによ
って形成される。
As shown in FIG. 1, the relay substrate 30 is fixed to the display substrate 20 via the anisotropic conductive film 40. At this time, the external connection terminal 34 of the relay substrate 30 is electrically connected to the external connection terminal 27 of the display substrate 20 via the anisotropic conductive film 40. The anisotropic conductive film 40 is a conductive polymer film used to electrically connect a pair of terminals in an anisotropic manner and collectively, for example, as shown in FIG. , Thermoplastic or thermosetting adhesive resin 4
It is formed by dispersing a large number of conductive particles 41b in 1a.

【0020】図2は、異方性導電膜40により中継基板
30と表示基板20とが固着される様子を示す断面図で
ある。図2に示すように、表示基板20に形成された外
部接続端子27と中継基板30に形成された外部接続端
子34との間に導電粒子41bが挟持されるため、外部
接続端子27と中継配線である外部接続端子34との間
が電気的に接続されることになる。一方、外部接続端子
27及び外部接続端子34が形成されている部位以外の
部位においては、導電粒子41bが挟持されていても、
接続端子が存在しないため、導通は取れていない。この
ようにして、外部接続端子27及び外部接続端子34と
の間のみで導通をとることができる。
FIG. 2 is a sectional view showing the manner in which the relay substrate 30 and the display substrate 20 are fixed by the anisotropic conductive film 40. As shown in FIG. 2, since the conductive particles 41b are sandwiched between the external connection terminal 27 formed on the display substrate 20 and the external connection terminal 34 formed on the relay substrate 30, the external connection terminal 27 and the relay wiring are formed. The external connection terminal 34 is electrically connected. On the other hand, even if the conductive particles 41b are sandwiched in a portion other than the portion where the external connection terminals 27 and 34 are formed,
There is no connection terminal, so there is no continuity. In this way, electrical connection can be established only between the external connection terminal 27 and the external connection terminal 34.

【0021】異方性導電膜40を用いて表示基板20と
中継基板30とを固着させるには、表示基板20を表面
が粗面とされた案内板を有する載置台(何れも図示省
略)上に配置し、表示基板20を真空吸着する。このと
き、少なくとも表示基板20に対して中継基板30が固
着される部位が案内板の上方に位置するように表示基板
20を載置台上に載置する。ここで、表面が粗面とされ
た案内板を用いるのは、案内板と表示基板20の接触面
積を低減して案内板からの熱放散を抑えることで、表示
基板20に加える温度を低下させるためである。
To fix the display substrate 20 and the relay substrate 30 to each other by using the anisotropic conductive film 40, the display substrate 20 is placed on a mounting table (not shown) having a guide plate having a rough surface. , And the display substrate 20 is vacuum-sucked. At this time, the display substrate 20 is mounted on the mounting table so that at least the portion where the relay substrate 30 is fixed to the display substrate 20 is located above the guide plate. Here, using the guide plate having a rough surface reduces the contact area between the guide plate and the display substrate 20 to suppress heat dissipation from the guide plate, thereby lowering the temperature applied to the display substrate 20. This is because.

【0022】表示基板20の載置台上への載置が完了す
ると、中継基板30が固着される表示基板20の部位に
異方性導電膜40を貼付し、更に、半導体チップ33が
搭載された面を下側にして、外部接続端子34が異方性
導電膜40の上方に位置するように中継基板30の位置
合わせを行う。以上の工程が終了すると、図示しない加
熱加圧ヘッドを用いて外部接続端子34が形成されてい
る面の裏面を加熱・加圧して、外部接続端子34と表示
基板20に形成されている外部接続端子27との導通を
とるとともに、中継基板30を表示基板20に固着させ
る。このとき、加熱加圧ヘッドから中継基板30及び表
示基板20に加える温度は百数十〜数百℃程度であり、
加える圧力は数メガパスカルである。以上の工程を経る
ことにより、中継基板30を表示基板20に固着させる
ことができる。
When the mounting of the display substrate 20 on the mounting table is completed, the anisotropic conductive film 40 is attached to the portion of the display substrate 20 to which the relay substrate 30 is fixed, and further the semiconductor chip 33 is mounted. The relay substrate 30 is aligned so that the surface is on the lower side and the external connection terminals 34 are located above the anisotropic conductive film 40. When the above steps are completed, the back surface of the surface on which the external connection terminals 34 are formed is heated and pressed using a heating / pressurizing head (not shown), and the external connection terminals 34 and the external connection formed on the display substrate 20 are connected. The relay board 30 is fixed to the display board 20 while being electrically connected to the terminal 27. At this time, the temperature applied from the heating / pressurizing head to the relay substrate 30 and the display substrate 20 is about several tens to several hundreds of degrees Celsius,
The pressure applied is a few megapascals. Through the above steps, the relay substrate 30 can be fixed to the display substrate 20.

【0023】次に、本実施形態の電気光学装置10の配
線構造の詳細について説明する。図3は、本発明の一実
施形態による電気光学装置の配線構造を模式的に示す図
である。図3に示したように電気光学装置10は、複数
の走査線21と、走査線21に対して交差する方向に延
びる複数の信号線22と、信号線22に並行して延びる
複数の発光用電源配線23とがそれぞれ配線されてお
り、走査線21及び信号線22の各交点付近に、画素領
域Aが設けられている。
Next, details of the wiring structure of the electro-optical device 10 of this embodiment will be described. FIG. 3 is a diagram schematically showing the wiring structure of the electro-optical device according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the electro-optical device 10 includes a plurality of scanning lines 21, a plurality of signal lines 22 extending in a direction intersecting with the scanning lines 21, and a plurality of light emitting devices extending in parallel with the signal lines 22. The power supply wiring 23 is wired, and the pixel area A is provided near each intersection of the scanning line 21 and the signal line 22.

【0024】各信号線22には、シフトレジスタ、レベ
ルシフタ、ビデオライン、及びアナログスイッチを備え
るデータ側駆動回路33aが接続されている。また、各
信号線22には、薄膜トランジスタを備える検査回路2
5が接続されている。更に、各走査線21には、シフト
レジスタ及びレベルシフタを備える走査線駆動回路24
が接続されている。
A data side drive circuit 33a including a shift register, a level shifter, a video line, and an analog switch is connected to each signal line 22. In addition, each signal line 22 has an inspection circuit 2 including a thin film transistor.
5 is connected. Further, each scanning line 21 has a scanning line driving circuit 24 including a shift register and a level shifter.
Are connected.

【0025】また、画素領域Aの各々には、スイッチン
グ薄膜トランジスタ52、保持容量Cap、カレント薄
膜トランジスタ53、画素電極51、発光層50、及び
陰極26が設けられる。スイッチング薄膜トランジスタ
52は、そのゲート電極に走査線21が接続されてお
り、走査線21から供給される走査信号に応じて駆動さ
れてオン状態又はオフ状態となる。保持容量Capは、
スイッチング薄膜トランジスタ52を介して信号線22
から供給される画像信号を保持する。
In each pixel area A, a switching thin film transistor 52, a storage capacitor Cap, a current thin film transistor 53, a pixel electrode 51, a light emitting layer 50, and a cathode 26 are provided. The switching thin film transistor 52 is connected to the gate electrode of the scanning line 21, and is driven according to a scanning signal supplied from the scanning line 21 to be turned on or off. The storage capacity Cap is
Signal line 22 via switching thin film transistor 52
Holds the image signal supplied from.

【0026】カレント薄膜トランジスタ53は、そのゲ
ート電極がスイッチング薄膜トランジスタ52及び保持
容量Capに接続されており、保持容量Capによって
保持された画像信号がゲート電極に供給される。画素電
極51は、カレント薄膜トランジスタ53に接続されて
おり、カレント薄膜トランジスタ53を介して発光用電
源配線23に電気的に接続したときに発光用電源配線2
3から駆動電流が流れ込む。発光層50は画素電極51
と陰極26との間に挟み込まれている。
The gate electrode of the current thin film transistor 53 is connected to the switching thin film transistor 52 and the storage capacitor Cap, and the image signal held by the storage capacitor Cap is supplied to the gate electrode. The pixel electrode 51 is connected to the current thin film transistor 53, and when it is electrically connected to the light emitting power supply line 23 via the current thin film transistor 53, the light emitting power supply line 2
The drive current flows in from 3. The light emitting layer 50 is the pixel electrode 51.
And the cathode 26.

【0027】上記、発光層50には、赤色に発光する発
光層50R、緑色に発光する発光層50G、及び青色に
発光する発光層50Bの3種の発光素子が含まれ、各発
光層50R,50G,50Bがストライプ配置されてい
る。そして、カレント薄膜トランジスタ53を介して各
発光層50R,50G,50Bに接続される発光用電源
配線23R,23G,23Bがそれぞれ、発光用電源回
路33cに接続されている。各色毎に発光用電源配線2
3R,23G,23Bが配線されているのは、発光層5
0R,50G,50Bの駆動電位が各色毎に異なるため
である。
The light emitting layer 50 includes three types of light emitting elements, that is, a light emitting layer 50R that emits red light, a light emitting layer 50G that emits green light, and a light emitting layer 50B that emits blue light. 50G and 50B are arranged in stripes. The light-emitting power supply wirings 23R, 23G, and 23B connected to the light-emitting layers 50R, 50G, and 50B via the current thin film transistor 53 are connected to the light-emitting power supply circuit 33c, respectively. Power supply wiring 2 for each color
3R, 23G, and 23B are wired in the light emitting layer 5
This is because the driving potentials of 0R, 50G, and 50B are different for each color.

【0028】また、本実施形態の電気光学装置において
は、陰極26と発光用電源配線23R,23G,23B
との間に静電容量C1が形成されている。電気光学装置
10が駆動するとこの静電容量C1に電荷が蓄積され
る。電気光学装置10の駆動中に各発光用電源配線23
を流れる駆動電流の電位が変動した場合には、蓄積され
た電荷が各発光用電源配線23に放電されて駆動電流の
電位変動を抑制する。これにより、電気光学装置10の
画像表示を正常に保つことができる。
Further, in the electro-optical device of this embodiment, the cathode 26 and the light-emitting power source wirings 23R, 23G, 23B are provided.
And a capacitance C 1 is formed between them. When the electro-optical device 10 is driven, electric charges are accumulated in this electrostatic capacitance C 1 . Power supply wiring 23 for each light emission while driving the electro-optical device 10.
When the potential of the drive current flowing through the drive current fluctuates, the accumulated electric charge is discharged to each light-emitting power source wiring 23 to suppress the potential fluctuation of the drive current. Thereby, the image display of the electro-optical device 10 can be normally maintained.

【0029】尚、この電気光学装置10においては、走
査線21から走査信号が供給されてスイッチング薄膜ト
ランジスタ52がオン状態になると、そのときの信号線
22の電位が保持容量Capに保持され、保持容量Ca
pに保持された電位に応じてカレント薄膜トランジスタ
53のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜
トランジスタ53のチャネルを介して、発光用電源配線
23R,23G,23Bから画素電極51に駆動電流が
流れ、更に発光層50R,50G,50Bを介して陰極
26に電流が流れる。このとき、発光層50を流れた電
流量に応じた量の発光が発光層50から得られる。
In the electro-optical device 10, when the scanning signal is supplied from the scanning line 21 and the switching thin film transistor 52 is turned on, the potential of the signal line 22 at that time is held in the holding capacitor Cap, and the holding capacitor is held. Ca
The on / off state of the current thin film transistor 53 is determined according to the potential held at p. Then, a driving current flows from the light-emitting power supply wirings 23R, 23G, and 23B to the pixel electrode 51 through the channel of the current thin film transistor 53, and further a current flows to the cathode 26 through the light-emitting layers 50R, 50G, and 50B. At this time, an amount of light emission according to the amount of current flowing through the light emitting layer 50 is obtained from the light emitting layer 50.

【0030】次に、本実施形態の電気光学装置10の具
体的な構成について、図4及び図5を参照して説明す
る。図4は、本実施形態の電気光学装置の平面模式図で
あり、図5は、図4のA−A′線に沿う断面図である。
図4に示すように、本実施形態の電気光学装置10は、
基板60、不図示の画素電極群領域、発光用電源配線2
3(23R,23G,23B)、及び表示画素部61
(図中一点鎖線の枠内)とから概略構成される。
Next, a specific structure of the electro-optical device 10 of this embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. 4 is a schematic plan view of the electro-optical device of this embodiment, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
As shown in FIG. 4, the electro-optical device 10 of the present embodiment is
Substrate 60, pixel electrode group region (not shown), light-emitting power supply wiring 2
3 (23R, 23G, 23B), and the display pixel portion 61
(In the frame of the one-dot chain line in the figure).

【0031】基板60は、例えばガラス等からなる透明
な基板である。画素電極群領域は、図3に示したカレン
ト薄膜トランジスタ53に接続された画素電極(図示省
略)を基板60上にマトリックス状に配置した領域であ
る。発光用電源配線23(23R,23G,23B)
は、図4に示したように、画素電極群領域の周囲に配置
され、各画素電極に接続されている。表示画素部61
は、少なくとも画素電極群領域上に位置し、平面視略矩
形形状である。この表示画素部61は、中央部分の実表
示領域(又は、有効表示領域ともいう)62(図中二点
鎖線の枠内)と、実表示領域62の外側に配置されたダ
ミー領域63(一点鎖線及び二点鎖線の間の領域)とに
区画されている。
The substrate 60 is a transparent substrate made of glass or the like. The pixel electrode group region is a region in which pixel electrodes (not shown) connected to the current thin film transistor 53 shown in FIG. 3 are arranged in a matrix on the substrate 60. Power line 23 for light emission (23R, 23G, 23B)
Are arranged around the pixel electrode group region and are connected to the respective pixel electrodes, as shown in FIG. Display pixel section 61
Is located at least on the pixel electrode group region and has a substantially rectangular shape in plan view. The display pixel portion 61 includes a real display area (or also referred to as an effective display area) 62 in a central portion (within a two-dot chain line in the figure) and a dummy area 63 (one point) arranged outside the real display area 62. The area between the chain line and the chain double-dashed line).

【0032】また、実表示領域62の図中両側には、走
査線駆動回路24が配置されている。この走査線駆動回
路24はダミー領域63の下層側(基板60側)に位置
して設けられている。更に、ダミー領域63の下層側に
は、走査線駆動回路24に接続される走査線駆動回路用
制御信号配線24aと走査線駆動回路用電源配線24b
とが設けられている。また更に、実表示領域62の図中
上側には、前述の検査回路25が配置されている。この
検査回路25はダミー領域63の下層側(基板側2)に
位置して設けられており、この検査回路25により、製
造途中や出荷時の電気光学装置の品質、欠陥の検査を行
うことができる。
Further, the scanning line drive circuits 24 are arranged on both sides of the actual display area 62 in the figure. The scanning line drive circuit 24 is provided on the lower layer side (the substrate 60 side) of the dummy region 63. Further, on the lower layer side of the dummy region 63, the scanning line drive circuit control signal wiring 24 a and the scanning line drive circuit power supply wiring 24 b connected to the scanning line drive circuit 24.
And are provided. Further, the inspection circuit 25 described above is arranged above the actual display area 62 in the figure. The inspection circuit 25 is provided on the lower layer side (substrate side 2) of the dummy region 63, and the inspection circuit 25 can inspect the quality and defects of the electro-optical device during manufacturing or at the time of shipping. it can.

【0033】図4に示すように、発光用電源配線23
R,23G,23Bは、ダミー領域63の周囲に配設さ
れている。各発光用電源配線23R,23G,23B
は、基板60の図2中下側から走査線駆動回路用制御信
号配線24aに沿って図4中上方に延在し、走査線駆動
回路用制御信号配線24aが途切れた位置から折曲して
ダミー領域63の外側に沿って延在し、実表示領域62
内にある図示略の画素電極に接続されている。また、基
板60には、陰極26に接続される陰極用配線26aが
形成されている。この陰極用配線26aは、発光用電源
配線23R,23G,23Bを囲むように平面視略コ字
状に形成されている。
As shown in FIG. 4, the light-emitting power wiring 23
R, 23G, and 23B are arranged around the dummy area 63. Power lines 23R, 23G, 23B for light emission
2 extends from the lower side of the substrate 60 in FIG. 2 to the upper side in FIG. 4 along the scanning line drive circuit control signal wiring 24a, and is bent from the position where the scanning line drive circuit control signal wiring 24a is interrupted. The actual display area 62 extends along the outside of the dummy area 63.
It is connected to a pixel electrode (not shown) inside. Further, on the substrate 60, a cathode wiring 26 a connected to the cathode 26 is formed. The cathode wiring 26a is formed in a substantially U shape in plan view so as to surround the light emitting power wirings 23R, 23G, and 23B.

【0034】次に、図5に示すように、基板60上には
回路部11が形成され、この回路部11上に表示画素部
61が形成されている。また、基板60には、表示画素
部61を環状に囲む封止材13が形成されており、更に
表示画素部61上に封止基板14が備えられている。封
止基板14は、封止材13を介して基板60に接合され
ており、ガラス、金属、又は樹脂等からなるものであ
る。この封止基板14の裏側には、吸着剤15が貼付さ
れ、表示画素部61と封止基板14との間の空間に混入
した水又は酸素を吸収できるようになっている。尚、吸
着剤15に代えてゲッター剤を用いても良い。また、封
止材13は、例えば熱硬化樹脂又は紫外線硬化樹脂から
なるものであり、特に熱硬化樹脂の一種であるエポキシ
樹脂よりなることが好ましい。
Next, as shown in FIG. 5, the circuit section 11 is formed on the substrate 60, and the display pixel section 61 is formed on the circuit section 11. Further, the substrate 60 is provided with a sealing material 13 that surrounds the display pixel portion 61 in a ring shape, and further, the sealing substrate 14 is provided on the display pixel portion 61. The sealing substrate 14 is bonded to the substrate 60 via the sealing material 13, and is made of glass, metal, resin, or the like. An adsorbent 15 is attached to the back side of the sealing substrate 14 so that water or oxygen mixed in the space between the display pixel portion 61 and the sealing substrate 14 can be absorbed. A getter agent may be used instead of the adsorbent 15. The sealing material 13 is made of, for example, a thermosetting resin or an ultraviolet curable resin, and is particularly preferably made of an epoxy resin which is a kind of thermosetting resin.

【0035】回路部11の中央部分には、画素電極群領
域11aが設けられている。この画素電極群領域11a
には、カレント薄膜トランジスタ53と、カレント薄膜
トランジスタ53に接続された画素電極51が備えられ
ている。カレント薄膜トランジスタ53は、基板60上
に積層された下地保護層281、第2層間絶縁層28
3、及び第1層間絶縁層284に埋め込まれて形成さ
れ、画素電極51は、第1層間絶縁層284上に形成さ
れている。カレント薄膜トランジスタ53に接続され、
第2層間絶縁層283上に形成された電極の一方(ソー
ス電極)には、発光用電源配線23(23R,23G,
23B)が接続されている。尚、回路部11には、前述
した保持容量Cap及びスイッチング薄膜トランジスタ
52も形成されているが、図5ではこれらの図示を省略
している。更に、図5においては、信号線22の図示を
省略している。
A pixel electrode group region 11a is provided in the central portion of the circuit portion 11. This pixel electrode group region 11a
Is provided with a current thin film transistor 53 and a pixel electrode 51 connected to the current thin film transistor 53. The current thin film transistor 53 includes a base protection layer 281 and a second interlayer insulating layer 28, which are stacked on the substrate 60.
3 and the first interlayer insulating layer 284, the pixel electrode 51 is formed on the first interlayer insulating layer 284. Connected to the current thin film transistor 53,
One of the electrodes (source electrode) formed on the second interlayer insulating layer 283 has a light-emitting power supply wiring 23 (23R, 23G,
23B) is connected. Although the storage capacitor Cap and the switching thin film transistor 52 described above are also formed in the circuit portion 11, they are not shown in FIG. Further, in FIG. 5, the signal line 22 is not shown.

【0036】次に、図5において、画素電極群領域11
aの図中両側には、前述の走査線駆動回路24が設けら
れている。図4に示した走査線駆動回路24には、シフ
トレジスタに含まれるインバータを構成するNチャネル
型又はPチャネル型の薄膜トランジスタ24cが備えら
れ、この薄膜トランジスタ24cは、画素電極51に接
続されていない点を除いて上記のカレント薄膜トランジ
スタ53と同様の構造とされている。尚、図5において
は、検査回路25の図示を省略しているが、この検査回
路25にも同様に薄膜トランジスタが備えられている。
検査回路25に備えられている薄膜トランジスタは、後
述するダミー画素電極51′に接続されていない点を除
いてカレント薄膜トランジスタ53と同様の構造とされ
ている。
Next, referring to FIG. 5, the pixel electrode group region 11
The above-mentioned scanning line drive circuit 24 is provided on both sides of a in the figure. The scanning line drive circuit 24 shown in FIG. 4 is provided with an N-channel type or P-channel type thin film transistor 24c forming an inverter included in a shift register, and the thin film transistor 24c is not connected to the pixel electrode 51. Except for the above, the current thin film transistor 53 has the same structure. Although the inspection circuit 25 is not shown in FIG. 5, the inspection circuit 25 is similarly provided with a thin film transistor.
The thin film transistor provided in the inspection circuit 25 has the same structure as the current thin film transistor 53 except that it is not connected to a dummy pixel electrode 51 'described later.

【0037】図5に示すように、走査線駆動回路24の
図中外側の下地保護層281上には、走査線駆動回路用
制御信号配線24aが形成されている。また、走査線駆
動回路用制御信号配線24aの外側の第2層間絶縁層2
83上には、走査線駆動回路用電源配線24bが形成さ
れている。また、走査線駆動回路用電源配線24bの外
側には、発光用電源配線23が形成されている。この発
光用電源配線23は、2つの配線からなる二重配線構造
を採用しており、前述したように表示画素部61の外側
に配置されている。二重配線構造を採用することで配線
抵抗を軽減できる。
As shown in FIG. 5, the scanning line driving circuit control signal wiring 24a is formed on the underlying protective layer 281 outside the scanning line driving circuit 24 in the figure. In addition, the second interlayer insulating layer 2 outside the control signal wiring 24a for the scanning line driving circuit
The power supply wiring 24b for the scanning line drive circuit is formed on 83. Further, the light emitting power supply wiring 23 is formed outside the power supply wiring 24b for the scanning line drive circuit. The light-emitting power supply wiring 23 has a double wiring structure including two wirings, and is arranged outside the display pixel portion 61 as described above. Wiring resistance can be reduced by adopting a double wiring structure.

【0038】例えば、図5中左側にある赤色用の発光用
電源配線23Rは、下地保護層281上に形成された第
1配線23R1と、第2層間絶縁層283を介して第1
配線23R1上に形成された第2配線23R2とから構成
されている。第1配線23R 1及び第2配線23R2は、
図2に示すように第2層間絶縁層283を貫通するコン
タクトホール23R3により接続されている。このよう
に、第1配線23R1は、陰極用配線26aと同じ階層
位置に形成されており、第1配線23R1と陰極用配線
26aとの間は第2層間絶縁層283が配置されてい
る。また、図5に示す通り、陰極用配線26aはコンタ
クトホールを介して第2層間絶縁層283上に形成され
た陰極用配線26bと電気的に接続されおり、いわば陰
極用配線26aも二重配線構造になっている。よって、
第2配線23R2は、陰極用配線26bと同じ階層位置
に形成されており、第1配線23R2と陰極用配線26
bとの間は第1層間絶縁層284が配置されている。こ
のような構造をとることで、第1配線23R1と陰極用
配線26aとの間、及び、第2配線23R2と陰極用配
線26bとの間に第2の静電容量C2が形成されてい
る。
For example, for red light emission on the left side in FIG.
The power supply wiring 23R is the first wiring formed on the base protection layer 281.
1 wiring 23R1And a first interlayer insulating layer 283
Wiring 23R1Second wiring 23R formed above2Composed of and
Has been done. First wiring 23R 1And the second wiring 23R2Is
As shown in FIG. 2, a capacitor that penetrates the second interlayer insulating layer 283 is formed.
Tact Hall 23R3Connected by. like this
And the first wiring 23R1Is the same level as the cathode wiring 26a
The first wiring 23R is formed at the position1And cathode wiring
26a, the second interlayer insulating layer 283 is disposed between
It Also, as shown in FIG. 5, the cathode wiring 26a is
Is formed on the second interlayer insulating layer 283 through the hole.
It is electrically connected to the cathode wiring 26b, so to speak
The pole wiring 26a also has a double wiring structure. Therefore,
Second wiring 23R2Indicates the same hierarchical position as the cathode wiring 26b
Formed on the first wiring 23R2And cathode wiring 26
A first interlayer insulating layer 284 is arranged between the first and second layers. This
By adopting such a structure, the first wiring 23R1And for cathode
Between the wiring 26a and the second wiring 23R2And for cathode
The second capacitance C between the line 26b2Is formed
It

【0039】同様に、図5の右側にある青色及び緑色用
の発光用電源配線23G,23Bも二重配線構造を採用
しており、それぞれ下地保護層281上に形成された第
1配線23G1,23B1と、第2層間絶縁層283上に
形成された第2配線23G2,23B2とから構成され、
第1配線23G1,23B1及び第2配線23G2,23
2は、図4に示すように第2層間絶縁層283を貫通
するコンタクトホール23G3,23B3により接続され
ている。そして、青色の第1配線23B1と陰極用配線
26aの間、及び、青色の第2配線23B2と陰極用配
線26bとの間に第2の静電容量C2が形成されてい
る。
Similarly, the blue and green light-emitting power source wirings 23G and 23B on the right side of FIG. 5 also have a double wiring structure, and the first wirings 23G 1 formed on the base protection layer 281 respectively. , 23B 1 and second wirings 23G 2 , 23B 2 formed on the second interlayer insulating layer 283,
The first wirings 23G 1 and 23B 1 and the second wirings 23G 2 and 23
B 2 is connected by contact holes 23G 3 and 23B 3 penetrating the second interlayer insulating layer 283 as shown in FIG. A second capacitance C 2 is formed between the blue first wiring 23B 1 and the cathode wiring 26a, and between the blue second wiring 23B 2 and the cathode wiring 26b.

【0040】第1配線23R1と第2配線23R2との間
隔は、例えば、0.6〜1.0μmの範囲が好ましい。
間隔が0.6μm未満であると、信号線22及び走査線
21のような異なる電位を有するソースメタルとゲート
メタルとの間の寄生容量が増えるため好ましくない。例
えば、実表示領域62内においては、ソースメタルとゲ
ートメタルとが交差する箇所が多く存在し、かかる箇所
の寄生容量が多いと画像信号の時間遅延を引き起こす虞
がある。その結果として、定められた期間内に画像信号
を画素電極51に書き込む事ができないため、コントラ
ストの低下を引き起こす。第1配線23R1及び第2配
線23R2に挟まれる第2層間絶縁層283の材質は、
例えばSiO2等が好ましいが、1.0μm以上形成す
るとSiO2の応力により基板60が割れる恐れが生じ
る。
The distance between the first wiring 23R 1 and the second wiring 23R 2 is preferably in the range of 0.6 to 1.0 μm, for example.
If the distance is less than 0.6 μm, the parasitic capacitance between the source metal and the gate metal having different potentials such as the signal line 22 and the scanning line 21 increases, which is not preferable. For example, in the actual display area 62, there are many locations where the source metal and the gate metal intersect, and if the parasitic capacitance at these locations is large, there is a risk of causing a time delay of the image signal. As a result, an image signal cannot be written in the pixel electrode 51 within a predetermined period, which causes a reduction in contrast. The material of the second interlayer insulating layer 283 sandwiched between the first wiring 23R 1 and the second wiring 23R 2 is
For example, SiO 2 or the like is preferable, but if formed to have a thickness of 1.0 μm or more, the substrate 60 may be cracked by the stress of SiO 2 .

【0041】また、各発光用電源配線23Rの上側に
は、表示画素部61から延出した陰極26が形成されて
いる。これにより、各発光用電源配線23Rの第2配線
23R 2が、第1層間絶縁層284を挟んで陰極26と
対向配置され、これにより第2配線23R2と陰極26
との間に前述の第1の静電容量C1が形成される。ここ
で、第2配線23R2と陰極26との間隔は、例えば、
0.6〜1.0μmの範囲が好ましい。間隔が0.6μ
m未満だと、画素電極及びソースメタルのような異なる
電位を有する画素電極とソースメタルとの間の寄生容量
が増える為、ソースメタルを用いている信号線の配線遅
延が生じる。その結果、定められた期間内に画像信号を
書き込む事ができない為、コントラストの低下を引き起
こす。第2配線23R2と陰極26に挟まれる第1層間
絶縁層284の材質は、例えばSiO2やアクリル樹脂
等が好ましい。しかしながら、SiO2を1.0μm以
上形成すると応力により基板60が割れる恐れが生じ
る。また、アクリル樹脂の場合は、2.0μm程度まで
形成することができるが、水を含むと膨張する性質があ
るため、その上に形成する画素電極を割る恐れがある。
In addition, on the upper side of each light-emitting power wiring 23R
The cathode 26 extending from the display pixel portion 61 is formed.
There is. As a result, the second wiring of each light emitting power wiring 23R
23R 2With the cathode 26 with the first interlayer insulating layer 284 in between.
The second wiring 23R is disposed so as to face each other.2And cathode 26
And the above-mentioned first capacitance C1Is formed. here
Then, the second wiring 23R2The distance between the cathode and the cathode 26 is, for example,
The range of 0.6 to 1.0 μm is preferable. The interval is 0.6μ
If it is less than m, it is different like the pixel electrode and the source metal.
Parasitic capacitance between pixel electrode with potential and source metal
Therefore, the wiring delay of the signal line that uses the source metal
Delay occurs. As a result, the image signal is
Can't write, causing a drop in contrast
Rub Second wiring 23R2And the first layer sandwiched between the cathode 26
The material of the insulating layer 284 is, for example, SiO.2And acrylic resin
Etc. are preferred. However, SiO21.0 μm or less
If formed on top, stress may cause the substrate 60 to crack.
It In the case of acrylic resin, up to about 2.0 μm
Although it can be formed, it has the property of expanding when it contains water.
Therefore, there is a possibility that the pixel electrode formed thereon may be broken.

【0042】このように、表示基板20には、発光用電
源配線23と陰極26との間に第1の静電容量C1が設
けられるので、発光用電源配線23を流れる駆動電流の
電位が変動した場合に第1の静電容量C1に蓄積された
電荷が発光用電源配線23に供給され、駆動電流の電位
不足分がこの電荷により補われて電位変動を抑制するこ
とができ、発光装置1の画像表示を正常に保つことがで
きる。特に、発光用電源配線23と陰極26とが表示画
素部61の外側で対向しているので、発光用電源配線2
3と陰極26との間隔を小さくして第1の静電容量C1
に蓄積される電荷量を増大させることができ、駆動電流
の電位変動をより小さくして画像表示を安定に行うこと
ができる。更に、発光用電源配線23が第1配線及び第
2配線からなる二重配線構造を有し、第1配線と陰極用
配線との間に第2の静電容量C2が設けられているの
で、第2の静電容量C2に蓄積された電荷も発光用電源
配線23に供給されるため、電位変動をより抑制するこ
とができ、発光装置1の画像表示をより正常に保つこと
ができる。
As described above, since the display substrate 20 is provided with the first electrostatic capacitance C 1 between the light emitting power wiring 23 and the cathode 26, the potential of the drive current flowing through the light emitting power wiring 23 is When it fluctuates, the electric charge accumulated in the first electrostatic capacitance C 1 is supplied to the light-emitting power source wiring 23, and the electric potential shortage of the driving current is compensated by this electric charge, so that the electric potential fluctuation can be suppressed, and the light emission The image display of the device 1 can be kept normal. In particular, since the light emitting power supply wiring 23 and the cathode 26 face each other outside the display pixel portion 61, the light emitting power supply wiring 2
3 and the cathode 26 to reduce the distance between the first electrostatic capacitance C 1
It is possible to increase the amount of electric charge accumulated in the capacitor, reduce the potential fluctuation of the drive current, and perform stable image display. Further, the light-emitting power source wiring 23 has a double wiring structure including the first wiring and the second wiring, and the second capacitance C 2 is provided between the first wiring and the cathode wiring. Since the electric charge accumulated in the second electrostatic capacitance C 2 is also supplied to the light-emitting power source wiring 23, the potential fluctuation can be further suppressed, and the image display of the light-emitting device 1 can be kept more normal. .

【0043】次に、表示画素部61の実画素領域62に
は、発光層50及びバンク部(絶縁部)122が形成さ
れている。発光層50は図5に示すように、画素電極5
1上の各々に積層されている。また、バンク部122
は、各画素電極51及び各発光層50の間に備えられて
おり、各発光層50を区画している。バンク部122
は、基板60側に位置する無機物バンク層122aと基
板60から離れて位置する有機物バンク層122bとが
積層されて構成されている。尚、無機物バンク層122
aと有機物バンク層122bとの間に遮光層を配置して
もよい。
Next, in the actual pixel area 62 of the display pixel section 61, the light emitting layer 50 and the bank section (insulating section) 122 are formed. As shown in FIG. 5, the light emitting layer 50 includes the pixel electrode 5
1 stacked on each. In addition, the bank unit 122
Is provided between each pixel electrode 51 and each light emitting layer 50 to partition each light emitting layer 50. Bank section 122
Is formed by stacking an inorganic bank layer 122a located on the substrate 60 side and an organic bank layer 122b located away from the substrate 60. The inorganic bank layer 122
A light shielding layer may be arranged between a and the organic bank layer 122b.

【0044】無機物、有機物バンク層122a,122
bは、画素電極51の周縁部上に乗上げるまで延出形成
されており、また無機物バンク層122aは、有機物バ
ンク層122bよりも画素電極51の中央側に延出形成
されている。また、無機物バンク層122aは、例え
ば、SiO2、TiO2、SiN等の無機材料からなるこ
とが好ましい。また無機物バンク層122aの膜厚は、
50〜200nmの範囲が好ましく、特に150nmが
よい。膜厚が50nm未満では、無機物バンク層122
aが後述する正孔注入/輸送層より薄くなり、正孔注入
/輸送層の平坦性を確保できなくなるので好ましくな
い。また膜厚が200nmを越えると、無機物バンク層
122aによる段差が大きくなって、正孔注入/輸送層
上に積層する後述の発光層の平坦性を確保できなくなる
ので好ましくない。
Inorganic and organic bank layers 122a, 122
b is formed so as to extend onto the peripheral portion of the pixel electrode 51, and the inorganic bank layer 122a is formed so as to extend closer to the center of the pixel electrode 51 than the organic bank layer 122b. The inorganic bank layer 122a is preferably made of an inorganic material such as SiO 2 , TiO 2 , or SiN. The thickness of the inorganic bank layer 122a is
The range of 50 to 200 nm is preferable, and 150 nm is particularly preferable. If the film thickness is less than 50 nm, the inorganic bank layer 122
It is not preferable because a becomes thinner than the hole injection / transport layer described later and the flatness of the hole injection / transport layer cannot be secured. On the other hand, if the film thickness exceeds 200 nm, the step due to the inorganic bank layer 122a becomes large and the flatness of the light emitting layer to be described later laminated on the hole injecting / transporting layer cannot be ensured, which is not preferable.

【0045】更に、有機物バンク層122bは、アクリ
ル樹脂、ポリイミド樹脂等の通常のレジストから形成さ
れている。この有機物バンク層122bの厚さは、0.
1〜3.5μmの範囲が好ましく、特に2μm程度がよ
い。厚さが0.1μm未満では、後述する正孔注入/輸
送層及び発光層の合計厚より有機物バンク層122bが
薄くなり、発光層が上部開口部から溢れるおそれがある
ので好ましくない。また、厚さが3.5μmを越える
と、上部開口部による段差が大きくなり、有機物バンク
層122b上に形成する陰極26のステップカバレッジ
を確保できなくなるので好ましくない。また、有機物バ
ンク層122bの厚さを2μm以上にすれば、陰極26
と画素電極51との絶縁を高めることができる点でより
好ましい。このようにして、発光層50は、バンク部1
22より薄く形成されている。
Further, the organic bank layer 122b is formed of a normal resist such as acrylic resin or polyimide resin. The organic bank layer 122b has a thickness of 0.
The range of 1 to 3.5 μm is preferable, and about 2 μm is particularly preferable. If the thickness is less than 0.1 μm, the organic bank layer 122b becomes thinner than the total thickness of the hole injecting / transporting layer and the light emitting layer described later, and the light emitting layer may overflow from the upper opening, which is not preferable. Further, if the thickness exceeds 3.5 μm, the step difference due to the upper opening becomes large, and step coverage of the cathode 26 formed on the organic bank layer 122b cannot be secured, which is not preferable. If the thickness of the organic bank layer 122b is 2 μm or more, the cathode 26
It is more preferable in that the insulation between the pixel electrode 51 and the pixel electrode can be enhanced. In this way, the light emitting layer 50 has the bank portion 1
It is formed thinner than 22.

【0046】また、バンク部122の周辺には、親液性
を示す領域と、撥液性を示す領域が形成されている。親
液性を示す領域は、無機物バンク層122a及び画素電
極51であり、これらの領域には、酸素を反応ガスとす
るプラズマ処理によって水酸基等の親液基が導入されて
いる。また、撥液性を示す領域は、有機物バンク層12
2bであり、4フッ化メタンを反応ガスとするプラズマ
処理によってフッ素等の撥液基が導入されている。
Around the bank portion 122, a lyophilic region and a lyophobic region are formed. The lyophilic region is the inorganic bank layer 122a and the pixel electrode 51, and a lyophilic group such as a hydroxyl group is introduced into these regions by plasma treatment using oxygen as a reaction gas. Further, the region showing liquid repellency is the organic bank layer 12
2b, a liquid repellent group such as fluorine is introduced by plasma treatment using tetrafluoromethane as a reaction gas.

【0047】発光層50は、画素電極51上に積層され
た図示せぬ正孔注入/輸送層上に積層されている。尚、
本明細書では、発光層50及び正孔注入/輸送層を含む
構成を機能層といい、画素電極51、機能層、及び陰極
26含む構成を発光素子という。正孔注入/輸送層は、
正孔を発光層50に注入する機能を有するとともに、正
孔を正孔注入/輸送層内部において輸送する機能を有す
る。このような正孔注入/輸送層を画素電極51と発光
層50の間に設けることにより、発光層50の発光効
率、寿命等の素子特性が向上する。また、発光層50で
は、正孔注入/輸送層から注入された正孔と、陰極26
からの電子とが結合して蛍光を発生させる。発光層50
は、赤色(R)に発光する赤色発光層、緑色(G)に発
光する緑色発光層、及び青色(B)に発光する青色発光
層の3種類を有し、図3及び図4に示すように、各発光
層がストライプ配置されている。
The light emitting layer 50 is laminated on a hole injection / transport layer (not shown) laminated on the pixel electrode 51. still,
In this specification, a structure including the light emitting layer 50 and the hole injecting / transporting layer is referred to as a functional layer, and a structure including the pixel electrode 51, the functional layer, and the cathode 26 is referred to as a light emitting element. The hole injection / transport layer is
It has a function of injecting holes into the light emitting layer 50 and a function of transporting holes inside the hole injecting / transporting layer. By providing such a hole injecting / transporting layer between the pixel electrode 51 and the light emitting layer 50, device characteristics such as light emitting efficiency and life of the light emitting layer 50 are improved. In the light emitting layer 50, the holes injected from the hole injection / transport layer and the cathode 26
It combines with the electrons from and emits fluorescence. Light emitting layer 50
Has three types, a red light emitting layer that emits red (R), a green light emitting layer that emits green (G), and a blue light emitting layer that emits blue (B), as shown in FIGS. 3 and 4. In addition, the respective light emitting layers are arranged in stripes.

【0048】次に、図5に示したように、表示画素部6
1のダミー領域63には、ダミー発光層210及びダミ
ーバンク部212が形成されている。ダミーバンク部2
12は、基板60側に位置するダミー無機物バンク層2
12aと基板60から離れて位置するダミー有機物バン
ク層212bとが積層されて構成されている。ダミー無
機物バンク層212aは、ダミー画素電極51′の全面
に形成されている。またダミー有機物バンク層212b
は、有機物バンク層122bと同様に画素電極51の間
に形成されている。そして、ダミー発光層210は、ダ
ミー無機物バンク212aを介してダミー画素電極5
1′上に形成されている。
Next, as shown in FIG. 5, the display pixel section 6
A dummy light emitting layer 210 and a dummy bank portion 212 are formed in the first dummy region 63. Dummy bank section 2
12 is the dummy inorganic bank layer 2 located on the substrate 60 side.
12a and a dummy organic bank layer 212b located away from the substrate 60 are laminated. The dummy inorganic bank layer 212a is formed on the entire surface of the dummy pixel electrode 51 '. Also, the dummy organic bank layer 212b
Are formed between the pixel electrodes 51 similarly to the organic bank layer 122b. The dummy light emitting layer 210 is formed on the dummy pixel electrode 5 via the dummy inorganic material bank 212a.
1 '.

【0049】ダミー無機物バンク層212a及びダミー
有機物バンク層211bは、先に説明した無機物、有機
物バンク層122a,122bと同様の材質、同様の膜
厚を有するものである。また、ダミー発光層210は、
図示略のダミー正孔注入/輸送層上に積層されており、
ダミー正孔注入/輸送層及びダミー発光層の材質や膜厚
は、前述の正孔注入/輸送層及び発光層50と同様であ
る。従って、上記の発光層50と同様に、ダミー発光層
210はダミーバンク部212より薄く形成されてい
る。
The dummy inorganic bank layer 212a and the dummy organic bank layer 211b are made of the same material and have the same film thickness as the inorganic and organic bank layers 122a and 122b described above. In addition, the dummy light emitting layer 210 is
It is laminated on a dummy hole injection / transport layer (not shown),
The material and film thickness of the dummy hole injecting / transporting layer and the dummy light emitting layer are the same as those of the hole injecting / transporting layer and the light emitting layer 50 described above. Therefore, like the light emitting layer 50 described above, the dummy light emitting layer 210 is formed thinner than the dummy bank portion 212.

【0050】ダミー領域63を実表示領域62の周囲に
配置することにより、実表示領域62の発光層50の厚
さを均一にすることができ、表示ムラを抑制することが
できる。即ち、ダミー領域63を配置することで、表示
素子をインクジェット法によって形成する場合における
吐出した組成物インクの乾燥条件を実表示領域62内で
一定にすることができ、実表示領域62の周縁部で発光
層50の厚さに偏りが生じる虞がない。
By arranging the dummy region 63 around the actual display region 62, the thickness of the light emitting layer 50 in the actual display region 62 can be made uniform and display unevenness can be suppressed. That is, by disposing the dummy region 63, the drying condition of the ejected composition ink when the display element is formed by the inkjet method can be made constant within the actual display region 62, and the peripheral portion of the actual display region 62 can be formed. Therefore, there is no possibility that the thickness of the light emitting layer 50 is uneven.

【0051】次に、陰極26は、実表示領域62とダミ
ー領域63の全面に形成されるとともにダミー領域63
の外側にある基板60上まで延出され、ダミー領域63
の外側、即ち表示画素部61の外側で発光用電源配線2
3と対向配置されている。また陰極26の端部が、回路
部11に形成された陰極用配線26aに接続されてい
る。陰極26は、画素電極51の対向電極として発光層
50に電流を流す役割を果たす。この陰極26は、例え
ば、フッ化リチウムとカルシウムの積層体からなる陰極
層26bと反射層26cとが積層されて構成されてい
る。陰極26のうち、反射層26cのみが表示画素部6
1の外側まで延出されている。反射層26cは、発光層
50から発した光を基板60側に反射させるもので、例
えば、Al、Ag、Mg/Ag積層体等からなることが
好ましい。更に、反射層26c上にSiO2、SiN等
からなる酸化防止用の保護層を設けても良い。
Next, the cathode 26 is formed on the entire surface of the actual display area 62 and the dummy area 63 and the dummy area 63.
Of the dummy region 63 extending over the substrate 60 outside the
Outside the display pixel portion 61, that is, outside the display pixel portion 61
It is arranged to face No. 3. Further, the end portion of the cathode 26 is connected to the cathode wiring 26 a formed on the circuit portion 11. The cathode 26 functions as a counter electrode of the pixel electrode 51 and causes a current to flow in the light emitting layer 50. The cathode 26 is configured by laminating a cathode layer 26b made of a laminated body of lithium fluoride and calcium and a reflecting layer 26c, for example. Of the cathode 26, only the reflective layer 26c is included in the display pixel portion 6
It is extended to the outside of 1. The reflective layer 26c reflects the light emitted from the light emitting layer 50 to the substrate 60 side, and is preferably made of, for example, Al, Ag, a Mg / Ag laminated body or the like. Further, a protective layer made of SiO 2 , SiN or the like for preventing oxidation may be provided on the reflective layer 26c.

【0052】また、図4に示すように、基板60の一端
には前述した異方性導電膜40を用いて中継基板30が
固着されている。尚、中継基板30上に搭載された半導
体チップ33には、図3に示したデータ側駆動回路33
a、陰極用電源回路33b、及び発光用電源回路33c
が内蔵されている。図4中の破線で囲った部分は、表示
基板20と中継基板30との固着部を示している。図6
は、図4に示した固着部65付近の上面図である。尚、
図6においては、異方性導電膜40及び中継基板30の
図示を省略している。
Further, as shown in FIG. 4, the relay substrate 30 is fixed to one end of the substrate 60 using the anisotropic conductive film 40 described above. The semiconductor chip 33 mounted on the relay board 30 includes the data side drive circuit 33 shown in FIG.
a, a cathode power supply circuit 33b, and a light emission power supply circuit 33c
Is built in. A portion surrounded by a broken line in FIG. 4 shows a fixed portion between the display substrate 20 and the relay substrate 30. Figure 6
[FIG. 5] is a top view of the vicinity of a fixed portion 65 shown in FIG. 4. still,
In FIG. 6, the illustration of the anisotropic conductive film 40 and the relay substrate 30 is omitted.

【0053】図6に示したように、固着部65において
は、線幅の細い配線各々に対して配線の幅と同程度の幅
を有する第1外部接続端子が設けられ、幅広の配線に対
しては線幅よりも幅の狭い複数の第2外部接続端子が設
けられる。例えば、線幅の細い走査線駆動回路用制御信
号配線24aの各々に対しては、走査線駆動回路用制御
信号配線24aの線幅と同程度の幅を有する第1外部接
続端子67,68,69が設けられる。一方、幅が広い
発光用電源配線23Rに対しては、発光用電源配線23
Rの線幅よりも幅の狭い第2外部接続端子66a,66
b,66cが設けられる。また、走査線駆動回路用制御
信号配線24aよりも幅が狭い信号線22に対しては、
信号線22と同程度の線幅を有する第2外部接続端子7
0がそれぞれ設けられる。尚、第1外部接続端子及び第
2外部接続端子の数は、基板60に形成される配線の線
幅に応じて適宜設定される。
As shown in FIG. 6, in the fixing portion 65, a first external connection terminal having a width similar to the width of the wiring is provided for each wiring having a small line width, and for the wiring having a wide width. In other words, a plurality of second external connection terminals having a width smaller than the line width are provided. For example, for each of the scanning line drive circuit control signal wirings 24a having a small line width, the first external connection terminals 67, 68 having the same width as the scanning line drive circuit control signal wiring 24a are formed. 69 is provided. On the other hand, for the light emitting power supply wiring 23R having a wide width, the light emitting power supply wiring 23R
Second external connection terminals 66a, 66 having a width narrower than the line width of R
b and 66c are provided. Further, for the signal line 22 whose width is narrower than that of the scanning line drive circuit control signal wiring 24a,
The second external connection terminal 7 having the same line width as the signal line 22.
0 is provided for each. The numbers of the first external connection terminals and the second external connection terminals are appropriately set according to the line width of the wiring formed on the substrate 60.

【0054】このように、基板60に形成された配線の
線幅に応じて第1外部接続端子及び第2外部接続端子の
数を変えるのは、固着部65の全面に亘って圧着条件を
極力同一にするためである。つまり、図1及び図2を用
いて説明したように、表示基板10と中継基板20とは
異方性導電膜40により固着されるが、固着条件(例え
ば、端子の幅、接着面積、圧力の掛かり具合等)が異な
ると固着部65内部における電気的抵抗がその位置に応
じて異なる。固着部65における電気的抵抗が位置に応
じて異なると、表示ムラ及びコントラスト低下等の表示
上の不具合を生ずる。このために、固着部65におい
て、基板60に形成された配線の線幅に応じて外部接続
端子の数を変えることにより圧着条件を極力同一にして
いる。更に、複数の外部接続端子を設けることにより、
接着面積を増大させることができる。即ち、複数の外部
接続端子間に異方性導電膜を配置することができるの
で、強固な接着が可能となる。
As described above, the number of the first external connecting terminals and the second external connecting terminals is changed according to the line width of the wiring formed on the substrate 60. This is to make them the same. That is, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the display substrate 10 and the relay substrate 20 are fixed to each other by the anisotropic conductive film 40, but the fixing conditions (for example, terminal width, bonding area, pressure The electrical resistance inside the fixing portion 65 varies depending on the position thereof. If the electric resistance of the fixing portion 65 differs depending on the position, display problems such as display unevenness and contrast reduction occur. For this reason, in the fixing portion 65, the crimping conditions are made as uniform as possible by changing the number of external connection terminals according to the line width of the wiring formed on the substrate 60. Furthermore, by providing multiple external connection terminals,
The adhesion area can be increased. That is, since the anisotropic conductive film can be arranged between the plurality of external connection terminals, firm adhesion can be achieved.

【0055】次に、固着部65に形成される外部接続端
子の構造について詳細に説明する。図7は、図6中のB
−B′線に沿う第2外部接続端子66c及び第2外部接
続端子70の断面図であり、図8は、図7中の外部接続
端子70の拡大図である。図7及び図8に示すように、
基板60上には下地保護層281が形成されており、こ
の下地保護層281上にSiO2及び/又はSiNを主
体とするゲート絶縁層71が形成されている。このゲー
ト絶縁層71は、図示しない薄膜トランジスタのチャネ
ル領域とゲート電極とを電気的に絶縁するために形成さ
れるものである。尚、本明細書において、「主体」とす
る成分とは最も含有率の高い成分のことをいうものとす
る。
Next, the structure of the external connection terminal formed on the fixing portion 65 will be described in detail. FIG. 7 shows B in FIG.
FIG. 9 is a cross-sectional view of the second external connection terminal 66c and the second external connection terminal 70 taken along the line −B ′, and FIG. 8 is an enlarged view of the external connection terminal 70 in FIG. 7. As shown in FIGS. 7 and 8,
A base protective layer 281 is formed on the substrate 60, and a gate insulating layer 71 mainly composed of SiO 2 and / or SiN is formed on the base protective layer 281. The gate insulating layer 71 is formed to electrically insulate a channel region and a gate electrode of a thin film transistor (not shown). In addition, in this specification, the component which is “mainly” means the component having the highest content rate.

【0056】ゲート絶縁層71上には信号線22及び発
光用電源配線23Rが形成されており、更に信号線22
及び発光用電源配線23R上に第2層間絶縁層283が
形成されている。また、発光用電源配線23、走査線駆
動回路用制御信号配線24aは、図3に記載の走査線2
1と同時に形成される。
A signal line 22 and a light-emitting power source wiring 23R are formed on the gate insulating layer 71, and the signal line 22 is further formed.
A second interlayer insulating layer 283 is formed on the light-emitting power source wiring 23R. The light-emitting power source wiring 23 and the scanning line driving circuit control signal wiring 24a are the scanning lines 2 shown in FIG.
It is formed at the same time as 1.

【0057】上記第2層間絶縁層283には、信号線2
2及び発光用電源配線23Rの上部位置にコンタクトホ
ールHが複数形成されている。また、発光用電源配線2
3Rの上方の第2層間絶縁層283上には電極73が形
成され、信号線22の上方の第2層間絶縁層283上に
は電極74,75が形成されている。
The signal line 2 is formed on the second interlayer insulating layer 283.
2 and a plurality of contact holes H are formed at positions above the light-emitting power source wiring 23R. Also, the power supply wiring 2 for light emission
The electrode 73 is formed on the second interlayer insulating layer 283 above 3R, and the electrodes 74 and 75 are formed on the second interlayer insulating layer 283 above the signal line 22.

【0058】これらの電極73,74,75は、コンタ
クトホールHを形成した後でスパッタリング法等により
形成されるため、コンタクトホールHの上部にはコンタ
クトホールH内に堆積した金属材料の分だけ表面に凹部
Bが形成される。このようにして、コンタクトホールH
を介して、第2層間絶縁層283に覆われた発光用電源
配線23Rと第2層間絶縁層283上に形成された電極
74との導通、及び、第2層間絶縁層283に覆われた
信号線22と第2層間絶縁層283上に形成された電極
74,75の導通がとられる。
Since these electrodes 73, 74 and 75 are formed by the sputtering method after forming the contact hole H, the surface of the electrode 73, 74 and 75 is formed by the metal material deposited in the contact hole H above the contact hole H. A concave portion B is formed at. In this way, the contact hole H
Through, the electrical connection between the light-emitting power supply wiring 23R covered with the second interlayer insulating layer 283 and the electrode 74 formed on the second interlayer insulating layer 283, and the signal covered with the second interlayer insulating layer 283. The line 22 and the electrodes 74 and 75 formed on the second interlayer insulating layer 283 are electrically connected.

【0059】また、第2層間絶縁層283上に形成され
た電極73,74,75の端部、側部、及びこれらの電
極73,74,75間には、電気的な絶縁を目的とした
SiN等の無機材料からなる第1層間絶縁層284が形
成されている。電極73,74,75の上部、側部、及
び周辺部には、ITO等からなる透明電極77が形成さ
れ、更に電極73,74,75の周辺部に形成された透
明電極77及び第2外部接続端子66c,70,70間
にはSiO2からなる保護層78が形成されている。
尚、電極73,74,75は、図3に記載されているゲ
ート線と同時に形成され、又、透明電極77は、ITO
により形成され、画素電極(陽極)と同時に形成され
る。
Further, the ends and sides of the electrodes 73, 74, 75 formed on the second interlayer insulating layer 283 and the spaces between these electrodes 73, 74, 75 are intended to be electrically insulated. A first interlayer insulating layer 284 made of an inorganic material such as SiN is formed. A transparent electrode 77 made of ITO or the like is formed on the upper portion, the side portion, and the peripheral portion of the electrodes 73, 74, 75, and the transparent electrode 77 and the second external portion formed on the peripheral portion of the electrodes 73, 74, 75. A protective layer 78 made of SiO 2 is formed between the connection terminals 66c, 70, 70.
The electrodes 73, 74 and 75 are formed at the same time as the gate line shown in FIG. 3, and the transparent electrode 77 is made of ITO.
And is formed at the same time as the pixel electrode (anode).

【0060】図7及び図8に示すように、本実施形態の
電気光学装置に設けられる第2外部接続端子66c,7
0,70の表面には複数の凹部Bが形成されされてお
り、この凹部Bにより、第2外部接続端子66c,7
0,70をいわば複数の電極として分割した構成となっ
ている。図6に示したように、発光用電源配線23R及
び信号線22の線幅に応じて外部接続端子の数を変える
ことにより、固着部65における固着条件の均一化を図
っているが、第2外部接続端子66c,70,70の表
面に複数の凹部Bが形成されているため、第2外部接続
端子66c,70,70は更に複数の電極に分割された
ものとなり、固着条件の均一化を図る上で極めて好適で
ある。
As shown in FIGS. 7 and 8, the second external connection terminals 66c, 7 provided in the electro-optical device of this embodiment.
A plurality of recesses B are formed on the surfaces of the first and second external connection terminals 66c and 7c.
0 and 70 are divided into a plurality of electrodes, so to speak. As shown in FIG. 6, the number of external connection terminals is changed in accordance with the line widths of the light-emitting power source wiring 23R and the signal line 22, thereby making the fixing conditions in the fixing portion 65 uniform. Since the plurality of concave portions B are formed on the surfaces of the external connection terminals 66c, 70, 70, the second external connection terminals 66c, 70, 70 are further divided into a plurality of electrodes, and the fixing conditions are made uniform. It is extremely suitable for the purpose.

【0061】また、電極73,74,75の端部に第1
層間絶縁層284を形成することにより、第2外部接続
端子66c,70,70の端部に凸部79が形成され
る。この凸部79は、異方性導電膜40を用いて表示基
板10と中継基板20とを固着する際に、異方性導電膜
40に含まれる導電粒子41bが第2外部接続端子66
c,70,70の側部にはみ出るのを防止するように作
用する。その結果、より多くの導電粒子41bが第2外
部接続端子66c,70,70上に配置されることにな
るため、固着部65における電気的抵抗を低減する極め
て優れた構造である。
In addition, the electrodes 73, 74, 75 are provided with a first
By forming the interlayer insulating layer 284, the convex portion 79 is formed at the end portion of the second external connection terminal 66c, 70, 70. In the convex portion 79, when the display substrate 10 and the relay substrate 20 are fixed to each other by using the anisotropic conductive film 40, the conductive particles 41b included in the anisotropic conductive film 40 serve as the second external connection terminal 66.
c, 70, 70 to prevent the protrusion of the side. As a result, more conductive particles 41b are arranged on the second external connection terminals 66c, 70, 70, which is an extremely excellent structure for reducing the electrical resistance in the fixing portion 65.

【0062】以上説明した本実施形態の表示基板20
は、固着部65において圧着条件を均一化するための構
成が設けられているため、固着部65に固着される中継
基板30に形成される外部接続端子34は、図6に示す
発光用電源配線23R及び走査線駆動回路用制御信号配
線24a等と同様の線幅で形成されていても良い。しか
しながら、より均一な圧着条件下で中継基板30と表示
基板20とを固着するには、固着部65に形成された第
2外部接続端子66c,70,70等と同様のパターン
であることが好適である。
The display substrate 20 of this embodiment described above
Since the fixing portion 65 is provided with a structure for equalizing the pressure bonding conditions, the external connection terminals 34 formed on the relay substrate 30 fixed to the fixing portion 65 are the light-emitting power supply wirings shown in FIG. 23R and the scanning line drive circuit control signal wiring 24a and the like may have the same line width. However, in order to fix the relay substrate 30 and the display substrate 20 under a more uniform pressure bonding condition, it is preferable that the pattern is the same as that of the second external connection terminals 66c, 70, 70 and the like formed on the fixing portion 65. Is.

【0063】ところで、図5に示した第2層間絶縁層2
83上に形成された各種配線と、実表示領域62及びダ
ミー領域63の上部(基板60側に対する反対側)を覆
うように形成されている陰極26との間の寄生容量を低
減して表示ムラ及びコントラスト低下等の表示上の不具
合を極力低減するために、第1層間絶縁層284の厚み
を厚くする傾向がある。
By the way, the second interlayer insulating layer 2 shown in FIG.
The parasitic capacitance between the various wirings formed on 83 and the cathode 26 formed so as to cover the upper portions of the actual display area 62 and the dummy area 63 (opposite side to the substrate 60 side) is reduced to display unevenness. Also, in order to reduce display defects such as reduction in contrast as much as possible, there is a tendency to increase the thickness of the first interlayer insulating layer 284.

【0064】図9は、第1層間絶縁層284の厚みが厚
く形成された第2外部接続端子70,70の拡大図であ
る。図9に示すように、電極74,75間の第1層間絶
縁層284の厚みが厚くなると、第1外部接続端子7
0,70の端部に形成されている凸部79の高さが、図
8に示した凸部79の高さよりも高く形成される。尚、
図7及び図8においては、第1層間絶縁層284がSi
Nから形成されていたが、図9では、第1層間絶縁層2
84をSiO2を用いて形成している。
FIG. 9 is an enlarged view of the second external connection terminals 70, 70 in which the first interlayer insulating layer 284 is formed thick. As shown in FIG. 9, when the thickness of the first interlayer insulating layer 284 between the electrodes 74 and 75 is increased, the first external connection terminal 7 is removed.
The height of the convex portion 79 formed at the end portions of 0 and 70 is higher than the height of the convex portion 79 shown in FIG. still,
In FIGS. 7 and 8, the first interlayer insulating layer 284 is made of Si.
Although it was formed from N, in FIG. 9, the first interlayer insulating layer 2 is formed.
84 is formed using SiO 2 .

【0065】図9に示すように、第1層間絶縁層284
の厚みを増すことにより、電極74,75の端部に形成
される凸部79の高さが高くなって、電極74,75と
透明電極77との間の厚みが共に薄くなる。また、第2
層間絶縁層283及び電極74,75上に直接第1層間
絶縁層284を形成すると、電極74,75の端部に形
成された凸部79は、電極74,75に対してのみなら
ず第1外部接続端子70,70間における第1層間絶縁
層284の表面に対しても突出した形状になって平坦性
が損なわれ、異方性導電膜40を用いて中継基板30を
固着するときに不具合が生ずる虞がある。
As shown in FIG. 9, the first interlayer insulating layer 284 is formed.
By increasing the thickness of the electrodes 74 and 75, the height of the protrusions 79 formed at the ends of the electrodes 74 and 75 is increased, and the thickness between the electrodes 74 and 75 and the transparent electrode 77 is reduced. Also, the second
When the first interlayer insulating layer 284 is formed directly on the interlayer insulating layer 283 and the electrodes 74 and 75, the protrusions 79 formed at the end portions of the electrodes 74 and 75 are not only on the electrodes 74 and 75 but also on the first layer. The shape is also projected to the surface of the first interlayer insulating layer 284 between the external connection terminals 70, 70, the flatness is impaired, and a problem occurs when the relay substrate 30 is fixed using the anisotropic conductive film 40. May occur.

【0066】かかる不具合を防止すべく、本実施形態で
は電極74,75により形成される凹凸を平坦化するた
めの平坦化膜を設けている。図10は、第1層間絶縁層
284の厚みが厚く形成され、且つ電極74,75間に
平坦化膜が設けられた第1外部接続端子70,70の拡
大図である。この平坦化膜80は第1層間絶縁層284
を形成する前に、電極74及び電極75等の電極が形成
された部位以外の部位に形成される。
In order to prevent such a problem, a flattening film for flattening the unevenness formed by the electrodes 74 and 75 is provided in this embodiment. FIG. 10 is an enlarged view of the first external connection terminals 70, 70 in which the first interlayer insulating layer 284 is formed thick and the flattening film is provided between the electrodes 74, 75. The flattening film 80 is a first interlayer insulating layer 284.
Before the formation of, the electrode 74, the electrode 75, and the like are formed on a portion other than the portion where the electrodes are formed.

【0067】図10を参照すると、平坦化膜80を形成
した後で第1層間絶縁層284を形成することにより、
第1外部接続端子70,70間における第1層間絶縁層
284の表面と凸部79との高低差(段差)が小さくな
ることが分かる。よって、異方性導電膜40を用いて中
継基板30を固着する際も不具合が生じない。
Referring to FIG. 10, by forming the first interlayer insulating layer 284 after forming the planarizing film 80,
It can be seen that the height difference (step) between the surface of the first interlayer insulating layer 284 and the convex portion 79 between the first external connection terminals 70, 70 becomes small. Therefore, no problem occurs when the relay substrate 30 is fixed by using the anisotropic conductive film 40.

【0068】以上、本発明の一実施形態による電気光学
装置について説明したが、以上説明した電気光学装置、
CPU(中央処理装置)等を備えたマザーボード、キー
ボード、ハードディスク等の電子部品を筐体内に組み込
むことで、例えば図11に示すノート型のパーソナルコ
ンピュータ600(電子機器)が製造される。図11
は、本発明の一実施形態による電気光学装置を備える電
子機器の一例を示す図である。尚、図9において601
は筐体であり、602は液晶表示装置であり、603は
キーボードである。図12は、他の電子機器としての携
帯電話機を示す斜視図である。図12に示した携帯電話
機700は、アンテナ701、受話器702、送話器7
03、液晶表示装置704、及び操作釦部705等を備
えて構成されている。
The electro-optical device according to the embodiment of the present invention has been described above.
By incorporating an electronic component such as a motherboard having a CPU (central processing unit), a keyboard, a hard disk, etc. in a housing, for example, a laptop personal computer 600 (electronic device) shown in FIG. 11 is manufactured. Figure 11
FIG. 6 is a diagram showing an example of an electronic apparatus including the electro-optical device according to the embodiment of the invention. Incidentally, in FIG.
Is a housing, 602 is a liquid crystal display device, and 603 is a keyboard. FIG. 12 is a perspective view showing a mobile phone as another electronic device. The mobile phone 700 shown in FIG. 12 includes an antenna 701, a receiver 702, and a transmitter 7.
03, a liquid crystal display device 704, an operation button unit 705, and the like.

【0069】また、上記実施形態では、電子機器として
ノート型コンピュータ及び携帯電話機を例に挙げて説明
したが、これらに限らず、液晶プロジェクタ、マルチメ
ディア対応のパーソナルコンピュータ(PC)及びエン
ジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページ
ャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又
はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電
子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、
タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用すること
が可能である。
Further, in the above-described embodiment, a notebook computer and a mobile phone are taken as examples of the electronic equipment, but the electronic equipment is not limited to these, and a liquid crystal projector, a multimedia compatible personal computer (PC) and an engineering workstation. (EWS), pager, word processor, television, viewfinder type or monitor direct-view type video tape recorder, electronic notebook, electronic desk calculator, car navigation device, POS terminal,
It is possible to apply to electronic equipment such as a device provided with a touch panel.

【0070】[0070]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第1端子間、第2端子間、及び第1端子と第2端子との
間に平坦化膜が設けられ、この平坦化膜上、第1端子の
端部、及び第2端子の端部に絶縁膜を形成した構成であ
るため、絶縁層の厚みを厚くしたとしても第1端子の端
部及び第2端子の端部に形成される絶縁層の高さが、平
坦化膜上に形成される絶縁層の表面に対してさほど高く
ならずに平坦性を確保することができるという効果があ
る。その結果として、第1端子及び第2端子と接続され
る配線の接続不良を生ずることがないという効果があ
る。
As described above, according to the present invention,
Flattening films are provided between the first terminals, between the second terminals, and between the first terminals and the second terminals, and on the flattening films, on the end portions of the first terminals and the end portions of the second terminals. Since the insulating film is formed, even if the thickness of the insulating layer is increased, the height of the insulating layer formed at the end of the first terminal and the end of the second terminal is formed on the flattening film. There is an effect that the flatness can be ensured without being so much higher than the surface of the insulating layer. As a result, there is an effect that a connection failure of the wiring connected to the first terminal and the second terminal does not occur.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施形態による電気光学装置を模
式的に示す分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view schematically showing an electro-optical device according to an embodiment of the present invention.

【図2】 異方性導電膜40により中継基板30と表示
基板20とが固着される様子を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing how the relay substrate 30 and the display substrate 20 are fixed to each other by the anisotropic conductive film 40.

【図3】 本発明の一実施形態による電気光学装置の配
線構造を模式的に示す図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a wiring structure of an electro-optical device according to an embodiment of the present invention.

【図4】 本実施形態の電気光学装置の平面模式図であ
る。
FIG. 4 is a schematic plan view of the electro-optical device according to the present embodiment.

【図5】 図4のA−A′線に沿う断面図である。5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.

【図6】 図4に示した固着部65付近の上面図であ
る。
6 is a top view of the vicinity of a fixed portion 65 shown in FIG.

【図7】 図6中のB−B′線に沿う第2外部接続端子
66c及び第2外部接続端子70の断面図である。
7 is a cross-sectional view of the second external connection terminal 66c and the second external connection terminal 70 taken along the line BB 'in FIG.

【図8】 図7中の外部接続端子70の拡大図である。8 is an enlarged view of the external connection terminal 70 in FIG.

【図9】 第1層間絶縁層284の厚みが厚く形成され
た第2外部接続端子70,70の拡大図である。
9 is an enlarged view of second external connection terminals 70, 70 in which a first interlayer insulating layer 284 is formed thick.

【図10】 第1層間絶縁層284の厚みが厚く形成さ
れ、且つ電極74,75間に平坦化膜が設けられた第1
外部接続端子70,70の拡大図である。
FIG. 10 shows a first interlayer insulating layer 284 having a large thickness and a flattening film provided between electrodes 74 and 75.
It is an enlarged view of external connection terminals 70 and 70.

【図11】 本発明の一実施形態による電気光学装置を
備える電子機器の一例を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing an example of an electronic apparatus including the electro-optical device according to the embodiment of the invention.

【図12】 他の電子機器としての携帯電話機を示す斜
視図である。
FIG. 12 is a perspective view showing a mobile phone as another electronic device.

【図13】 従来の電気光学装置の配線構造を示す図で
ある。
FIG. 13 is a diagram showing a wiring structure of a conventional electro-optical device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10……電気光学装置 22……信号線(第1配線) 23,23R……発光用電源配線(第2配線、電源線) 24a……走査線駆動回路用制御信号配線(第1配線) 30……中継基板 40……異方性導電膜 50……発光素子 53……スイッチング素子 66a,66b,66c……電極(第2端子) 67,68,69,70……電極(第1端子) 284……第1層間絶縁層(絶縁層) 79……凸部 80……平坦化膜 B……凹部 10 ... Electro-optical device 22 ... Signal line (first wiring) 23, 23R ... Power source wiring for light emission (second wiring, power source line) 24a ... Control signal wiring for scanning line drive circuit (first wiring) 30 ... Relay board 40 ... Anisotropic conductive film 50 ... Light emitting element 53 ... Switching element 66a, 66b, 66c ... Electrode (second terminal) 67, 68, 69, 70 ... Electrode (first terminal) 284: First interlayer insulating layer (insulating layer) 79 ... Convex 80: Flattening film B: recess

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1368 G02F 1/1368 5G435 G09F 9/00 348 G09F 9/00 348L H05B 33/06 H05B 33/06 33/12 33/12 B 33/14 33/14 A 33/22 33/22 Z Fターム(参考) 2H088 EA22 HA02 MA02 MA20 2H090 HA04 HD03 JA05 JB02 JC07 LA01 2H092 GA33 GA40 GA48 GA50 HA18 HA26 JA24 NA01 NA25 3K007 AB17 CC05 DB03 5C094 AA03 BA29 CA19 CA24 DA15 DB02 FA01 FA04 FB15 HA08 5G435 AA01 BB05 CC09 CC12 EE40 EE42 HH14 LL07 LL08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G02F 1/1368 G02F 1/1368 5G435 G09F 9/00 348 G09F 9/00 348L H05B 33/06 H05B 33/06 33/12 33/12 B 33/14 33/14 A 33/22 33/22 ZF term (reference) 2H088 EA22 HA02 MA02 MA20 2H090 HA04 HD03 JA05 JB02 JC07 LA01 2H092 GA33 GA40 GA48 GA50 HA18 HA26 JA24 NA01 NA25 3K007 AB17 CC05 DB03 5C094 AA03 BA29 CA19 CA24 DA15 DB02 FA01 FA04 FB15 HA08 5G435 AA01 BB05 CC09 CC12 EE40 EE42 HH14 LL07 LL08

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1配線と、当該第1配線より幅が広い
第2配線とが少なくとも形成された電気光学装置におい
て、 前記第1配線に接続された外部接続用の第1端子と、 前記第2配線に接続された外部接続用の複数の第2端子
と、 前記第1端子間、前記第2端子間、及び前記第1端子と
前記第2端子との間に設けられた平坦化膜と、 前記平坦化膜上、前記第1端子の端部、及び前記第2端
子の端部に形成された第2の絶縁層とを備えることを特
徴とする電気光学装置。
1. An electro-optical device having at least a first wire and a second wire wider than the first wire, wherein a first terminal for external connection connected to the first wire, A plurality of second terminals for external connection connected to the second wiring, a flattening film provided between the first terminals, between the second terminals, and between the first terminals and the second terminals. And an second insulating layer formed on the flattening film, on the end of the first terminal, and on the end of the second terminal.
【請求項2】 前記第1端子及び前記第2端子の端部に
は、前記第2の絶縁層により凸部が形成されていること
を特徴とする請求項1記載の電気光学装置。
2. The electro-optical device according to claim 1, wherein a convex portion is formed by the second insulating layer at an end portion of the first terminal and the second terminal.
【請求項3】 前記第1端子及び前記第2端子に複数の
凹部が形成されていることを特徴とする請求項1又は請
求項2記載の電気光学装置。
3. The electro-optical device according to claim 1, wherein a plurality of recesses are formed in the first terminal and the second terminal.
【請求項4】 前記第1配線と同程度の幅を有する第1
中継配線と、前記第2配線と同程度の幅を有する第2中
継配線とが形成され、 前記第1端子を介して前記第1配線と前記第1中継配線
とが電気的に接続され、前記第2端子を介して前記第2
配線と前記第2中継配線とが電気的に接続された中継基
板を有することを特徴とする請求項1から請求項3の何
れか一項に記載の電気光学装置。
4. A first wiring having a width similar to that of the first wiring.
Relay wiring and a second relay wiring having a width similar to that of the second wiring are formed, and the first wiring and the first relay wiring are electrically connected via the first terminal, The second through the second terminal
The electro-optical device according to claim 1, further comprising a relay board in which the wiring and the second relay wiring are electrically connected.
【請求項5】 複数の発光素子と、信号線を介して供給
される信号に応じて電源線を介して供給される電流を前
記発光素子に供給するスイッチング素子とが形成された
電気光学装置において、 前記信号線に接続されてなる外部接続用の第1端子と、 前記信号線の幅より広く形成され、前記電源線に接続さ
れた外部接続用の複数の第2端子と、 前記第1端子間、前記第2端子間、及び前記第1端子と
前記第2端子との間に設けられた平坦化膜と、 前記平坦化膜上、前記第1端子の端部、及び前記第2端
子の端部に形成された絶縁層とを備えることを特徴とす
る電気光学装置。
5. An electro-optical device having a plurality of light emitting elements, and a switching element for supplying a current supplied through a power supply line to the light emitting element in response to a signal supplied through a signal line. A first terminal for external connection connected to the signal line, a plurality of second terminals for external connection formed wider than the width of the signal line and connected to the power supply line, the first terminal Between the second terminals, and between the first terminal and the second terminal, and on the flattening film, the end portion of the first terminal, and the second terminal. An electro-optical device comprising: an insulating layer formed on an end portion.
【請求項6】 前記第1端子及び前記第2端子の端部に
は、前記絶縁層により凸部が形成されていることを特徴
とする請求項5記載の電気光学装置。
6. The electro-optical device according to claim 5, wherein convex portions are formed by the insulating layer at end portions of the first terminal and the second terminal.
【請求項7】 前記第1端子及び前記第2端子に複数の
凹部が形成されていることを特徴とする請求項5又は請
求項6記載の電気光学装置。
7. The electro-optical device according to claim 5, wherein a plurality of recesses are formed in the first terminal and the second terminal.
【請求項8】 前記信号線と同程度の幅を有する第1配
線と、前記電源線と同程度の幅を有する第2配線とが形
成され、 前記第1端子を介して前記信号線と前記第1配線とが電
気的に接続され、前記第2端子を介して前記電源線と前
記第2配線とが電気的に接続された中継基板を有するこ
とを特徴とする請求項6又は請求項7記載の電気光学装
置。
8. A first wiring having a width similar to that of the signal line and a second wiring having a width similar to that of the power supply line are formed, and the signal line and the wiring are connected via the first terminal. 8. The relay board, which is electrically connected to the first wiring, and electrically connected to the power supply line and the second wiring via the second terminal. The electro-optical device described.
【請求項9】 前記第1、第2端子と前記第1、第2配
線とが、異方性導電膜により固着されていることを特徴
とする請求項8記載の電気光学装置。
9. The electro-optical device according to claim 8, wherein the first and second terminals and the first and second wirings are fixed by an anisotropic conductive film.
【請求項10】 請求項1から請求項9の何れか一項に
記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機
器。
10. An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1. Description:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020202525A1 (en) * 2019-04-04 2020-10-08 シャープ株式会社 Display device

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