JP2003214381A - イオン送風機 - Google Patents
イオン送風機Info
- Publication number
- JP2003214381A JP2003214381A JP2002019467A JP2002019467A JP2003214381A JP 2003214381 A JP2003214381 A JP 2003214381A JP 2002019467 A JP2002019467 A JP 2002019467A JP 2002019467 A JP2002019467 A JP 2002019467A JP 2003214381 A JP2003214381 A JP 2003214381A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion blower
- gas
- gas flow
- shaft
- arrangement
- Prior art date
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- Withdrawn
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- Elimination Of Static Electricity (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】モータの軸受などから発生するパーティクル
が、被除電物へ吹き付ける気体流に混入する事態を防止
するイオン送風機を提供する。 【解決手段】筐体ケース１内で回動駆動部７，電源回路
部８が配置される配置部１ｃ，１ｄを形成するケース仕
切１ａ，１ｂと、配置部１ｃ，１ｄ内の気体を排気する
ための排気コネクタ５ａ，５ｂとを備え、クロスフロー
ファン６側から配置部１ｃ，１ｄへ吸気されるようなイ
オン送風機とした。
が、被除電物へ吹き付ける気体流に混入する事態を防止
するイオン送風機を提供する。 【解決手段】筐体ケース１内で回動駆動部７，電源回路
部８が配置される配置部１ｃ，１ｄを形成するケース仕
切１ａ，１ｂと、配置部１ｃ，１ｄ内の気体を排気する
ための排気コネクタ５ａ，５ｂとを備え、クロスフロー
ファン６側から配置部１ｃ，１ｄへ吸気されるようなイ
オン送風機とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イオンを含む気体
流を被除電物に向けて吹き付けるイオン送風機に関す
る。
流を被除電物に向けて吹き付けるイオン送風機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製品・半導体用ウェーハ・液晶ガ
ラス・ガラス基板その他被除電物（以下、単に被除電物
という。）に電荷が付着して帯電すると、塵埃・異物な
どのパーティクル（以下、単にパーティクルという。）
が吸引付着するようになる。パーティクルは、短絡によ
る回路障害など、製造不良発生の原因の一つとされてい
る。そこで、このような帯電する被除電物に対して、各
種の除電処理が施されている。
ラス・ガラス基板その他被除電物（以下、単に被除電物
という。）に電荷が付着して帯電すると、塵埃・異物な
どのパーティクル（以下、単にパーティクルという。）
が吸引付着するようになる。パーティクルは、短絡によ
る回路障害など、製造不良発生の原因の一つとされてい
る。そこで、このような帯電する被除電物に対して、各
種の除電処理が施されている。
【０００３】被除電物を除電する一手段として、イオン
送風機が使用される。このイオン送風機は、放電電極に
おける放電によりプラスイオンまたはマイナスイオンを
生成し、これらイオンが含まれる気体流を被除電物に吹
き付けて除電を行うという装置である。このイオン送風
機が送風する気体流には、パーティクルが含まれていな
いことが当然に必要である。したがって、クリーンな気
体を送風するため、フィルタ等により予めパーティクル
を捕集した上で気体流を送風するなど各種の対策が施さ
れている。
送風機が使用される。このイオン送風機は、放電電極に
おける放電によりプラスイオンまたはマイナスイオンを
生成し、これらイオンが含まれる気体流を被除電物に吹
き付けて除電を行うという装置である。このイオン送風
機が送風する気体流には、パーティクルが含まれていな
いことが当然に必要である。したがって、クリーンな気
体を送風するため、フィルタ等により予めパーティクル
を捕集した上で気体流を送風するなど各種の対策が施さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来技術の
イオン送風機の送風手段は、一般的には軸流ファンが使
用されている。この軸流ファンとは、気体流が回転軸と
一致するようなファンの総称である。このような軸流フ
ァンの具体例は、図４で示すように、モータ１００の回
転軸２００に送風ファン３００が取り付けられたファン
である。このようなモータ１００には、軸受４００が取
り付けられており、回転軸２００が滑らかに回転するよ
うになされている。ここに軸受４００とは、例えば、す
べり軸受け（潤滑油などが含浸された円筒）などが想定
される。
イオン送風機の送風手段は、一般的には軸流ファンが使
用されている。この軸流ファンとは、気体流が回転軸と
一致するようなファンの総称である。このような軸流フ
ァンの具体例は、図４で示すように、モータ１００の回
転軸２００に送風ファン３００が取り付けられたファン
である。このようなモータ１００には、軸受４００が取
り付けられており、回転軸２００が滑らかに回転するよ
うになされている。ここに軸受４００とは、例えば、す
べり軸受け（潤滑油などが含浸された円筒）などが想定
される。
【０００５】しかしながら、回転軸２００が回転する場
合、回転軸２００と軸受４００との接触によりパーティ
クルを発生することは避けられない。従来技術の軸流フ
ァンでは、軸受４００から発せられたパーティクルは、
ちょうど送風ファン３００による気体流路上に放出され
るため、気体流にパーティクルが混入するおそれがあっ
た。このため、被除電物へパーティクルを含む気体流を
吹き付けることとなり、被除電物にパーティクルが吹き
付けられて汚染され、さらにはクリーンルーム全体にパ
ーティクルが撒き散らされ、クリーンルーム内のパーテ
ィクルを増大させるおそれがあった。
合、回転軸２００と軸受４００との接触によりパーティ
クルを発生することは避けられない。従来技術の軸流フ
ァンでは、軸受４００から発せられたパーティクルは、
ちょうど送風ファン３００による気体流路上に放出され
るため、気体流にパーティクルが混入するおそれがあっ
た。このため、被除電物へパーティクルを含む気体流を
吹き付けることとなり、被除電物にパーティクルが吹き
付けられて汚染され、さらにはクリーンルーム全体にパ
ーティクルが撒き散らされ、クリーンルーム内のパーテ
ィクルを増大させるおそれがあった。
【０００６】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的は、モータの軸受などから
発生するパーティクルが、被除電物へ吹き付ける気体流
に混入する事態を防止するイオン送風機を提供すること
にある。
されたものであり、その目的は、モータの軸受などから
発生するパーティクルが、被除電物へ吹き付ける気体流
に混入する事態を防止するイオン送風機を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に係る発明のイオン送風機は、気体流を生
成するクロスフローファンと、回転軸を介してクロスフ
ローファンを回転させる回転駆動部と、クロスフローフ
ァンが生成する気体流の流路を形成する流路用ケーシン
グと、気体流路の上流側に配置されてパーティクルを捕
集する吸引口フィルタと、気体流路の下流側に配置され
る放電電極と、が筐体ケース内に配置され、吸引口フィ
ルタを経た清廉な気体流に、放電電極で発生したイオン
をのせて送風するイオン送風機であって、回転駆動部が
設置される配置部を筐体ケース内に形成するとともに、
回転軸が挿通される軸孔を有するケース仕切と、この配
置部内の気体を排気するための排気部と、を設けたこと
を特徴とする。
め、請求項１に係る発明のイオン送風機は、気体流を生
成するクロスフローファンと、回転軸を介してクロスフ
ローファンを回転させる回転駆動部と、クロスフローフ
ァンが生成する気体流の流路を形成する流路用ケーシン
グと、気体流路の上流側に配置されてパーティクルを捕
集する吸引口フィルタと、気体流路の下流側に配置され
る放電電極と、が筐体ケース内に配置され、吸引口フィ
ルタを経た清廉な気体流に、放電電極で発生したイオン
をのせて送風するイオン送風機であって、回転駆動部が
設置される配置部を筐体ケース内に形成するとともに、
回転軸が挿通される軸孔を有するケース仕切と、この配
置部内の気体を排気するための排気部と、を設けたこと
を特徴とする。
【０００８】回転駆動部が配置される配置部内を吸気す
るようにしたため、ケース仕切の軸孔を介して配置部内
へ気体が流入する状態が維持され、パーティクルを含む
気体が配置部側からクロスフローファン側へ流れ込むこ
とはなくなる。さらには、回転駆動部から発せられたパ
ーティクルおよび熱を含む配置部内の気体は、排気部を
介して外部へ放出されるため、万が一にもパーティクル
が気体流へ混入するような事態が発生することがなく、
さらに配置部内に滞留するパーティクル・熱に起因する
回転駆動部の熱故障等が起こるおそれも低減させてい
る。
るようにしたため、ケース仕切の軸孔を介して配置部内
へ気体が流入する状態が維持され、パーティクルを含む
気体が配置部側からクロスフローファン側へ流れ込むこ
とはなくなる。さらには、回転駆動部から発せられたパ
ーティクルおよび熱を含む配置部内の気体は、排気部を
介して外部へ放出されるため、万が一にもパーティクル
が気体流へ混入するような事態が発生することがなく、
さらに配置部内に滞留するパーティクル・熱に起因する
回転駆動部の熱故障等が起こるおそれも低減させてい
る。
【０００９】また、請求項２に係る発明のイオン送風機
は、請求項１に記載のイオン送風機において、放電電極
から発生するイオン量を制御する電源回路部と、この電
源回路部が配置される配置部を筐体ケース内に形成する
とともに、クロスフローファンの回転軸が挿通される軸
孔を有するケース仕切と、この配置部内の気体を排気す
るための排気部と、を設けたことを特徴とする。
は、請求項１に記載のイオン送風機において、放電電極
から発生するイオン量を制御する電源回路部と、この電
源回路部が配置される配置部を筐体ケース内に形成する
とともに、クロスフローファンの回転軸が挿通される軸
孔を有するケース仕切と、この配置部内の気体を排気す
るための排気部と、を設けたことを特徴とする。
【００１０】電源回路部が配置される配置部内を吸気す
るようにしたため、この場合も、ケース仕切の軸孔を介
して配置部内へ気体が流入する状態が維持され、パーテ
ィクルを含む気体が配置部側からクロスフローファン側
へ流れ込むことはなくなる。さらには、クロスフローフ
ァンの回転軸と軸支部との接触により発せられパーティ
クルおよび電源回路部から発せられた熱を含む配置部内
の気体が、排気部を介して外部へ放出されるため、配置
部内に滞留するパーティクル・熱に起因する電源回路部
の故障を防止する。
るようにしたため、この場合も、ケース仕切の軸孔を介
して配置部内へ気体が流入する状態が維持され、パーテ
ィクルを含む気体が配置部側からクロスフローファン側
へ流れ込むことはなくなる。さらには、クロスフローフ
ァンの回転軸と軸支部との接触により発せられパーティ
クルおよび電源回路部から発せられた熱を含む配置部内
の気体が、排気部を介して外部へ放出されるため、配置
部内に滞留するパーティクル・熱に起因する電源回路部
の故障を防止する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態であるイ
オン送風機について図面を参照しつつ説明する。図１は
本実施形態のイオン送風機の外観図、図２は同じく内部
構造を示すＡ−Ａ線断面図、図３は同じく内部構造を示
すＢ−Ｂ線断面図である。図１で示すように、本実施形
態のイオン送風機は、筐体ケース１、吸引口フィルタ
２、イオン送風口３、放電電極４、排気コネクタ５ａ，
５ｂを備えている。
オン送風機について図面を参照しつつ説明する。図１は
本実施形態のイオン送風機の外観図、図２は同じく内部
構造を示すＡ−Ａ線断面図、図３は同じく内部構造を示
すＢ−Ｂ線断面図である。図１で示すように、本実施形
態のイオン送風機は、筐体ケース１、吸引口フィルタ
２、イオン送風口３、放電電極４、排気コネクタ５ａ，
５ｂを備えている。
【００１２】筐体ケース１は、例えば、金属・合成樹脂
などにより形成される。この筐体ケース１の平面には吸
引口フィルタ２が、正面にはイオン送風口３が、側面に
本発明の排気部の一具体例である２個の排気コネクタ５
ａ，５ｂがそれぞれ配置されている。吸引口フィルタ２
およびイオン送風口３の前方には作業員等が手で触らな
いように、接触防止用の格子が設けられている。これら
吸引口フィルタ２およびイオン送風口３は、筐体ケース
１内では、図２で示すような位置に配置されている。
などにより形成される。この筐体ケース１の平面には吸
引口フィルタ２が、正面にはイオン送風口３が、側面に
本発明の排気部の一具体例である２個の排気コネクタ５
ａ，５ｂがそれぞれ配置されている。吸引口フィルタ２
およびイオン送風口３の前方には作業員等が手で触らな
いように、接触防止用の格子が設けられている。これら
吸引口フィルタ２およびイオン送風口３は、筐体ケース
１内では、図２で示すような位置に配置されている。
【００１３】また、筐体ケース１の内部には、図３で示
すように、クロスフローファン６と、モータなどの回転
駆動部７と、放電電極４へ放電用電力を供給する電源回
路部８とが配置されている。筐体ケース１内には、これ
らクロスフローファン６・回転駆動部７・電源回路部８
の配置個所を確保するためのケース仕切１ａ，１ｂが設
けられ、筐体ケース１内に空間を形成している。説明
上、回転駆動部７が配置される空間を配置部１ｃと、ま
た、電源回路部８が配置される空間を配置部１ｄと称し
て以下の説明を続ける。
すように、クロスフローファン６と、モータなどの回転
駆動部７と、放電電極４へ放電用電力を供給する電源回
路部８とが配置されている。筐体ケース１内には、これ
らクロスフローファン６・回転駆動部７・電源回路部８
の配置個所を確保するためのケース仕切１ａ，１ｂが設
けられ、筐体ケース１内に空間を形成している。説明
上、回転駆動部７が配置される空間を配置部１ｃと、ま
た、電源回路部８が配置される空間を配置部１ｄと称し
て以下の説明を続ける。
【００１４】クロスフローファン６は、図２で示すよう
に、円柱状の柱状回転体６ａと、柱状回転体６ａの円柱
周壁から立設される羽根６ｂとを備え、さらに図３で示
すように、配置部１ｃ側へ伸びる回転軸６ｃ、配置部１
ｄ側へ伸びる回転軸６ｄを備えている。これら回転軸６
ｃ，６ｄは、柱状回転体６ａの中心軸上に配置されてお
り、図３の拡大図で示すようにケース仕切１ａ，１ｂの
軸孔１ｅ，１ｆに挿通され、さらに回転軸６ｃは回転駆
動部７の駆動軸と連結され、また、回転軸６ｄは配置部
１ｄ内に設けられた軸支部１ｇに回動自在となるように
軸支されている。
に、円柱状の柱状回転体６ａと、柱状回転体６ａの円柱
周壁から立設される羽根６ｂとを備え、さらに図３で示
すように、配置部１ｃ側へ伸びる回転軸６ｃ、配置部１
ｄ側へ伸びる回転軸６ｄを備えている。これら回転軸６
ｃ，６ｄは、柱状回転体６ａの中心軸上に配置されてお
り、図３の拡大図で示すようにケース仕切１ａ，１ｂの
軸孔１ｅ，１ｆに挿通され、さらに回転軸６ｃは回転駆
動部７の駆動軸と連結され、また、回転軸６ｄは配置部
１ｄ内に設けられた軸支部１ｇに回動自在となるように
軸支されている。
【００１５】クロスフローファン６の周りには、図２で
示すように、気体流路を形成するための流路用ケーシン
グ９が配置される。このクロスフローファン６の羽根６
ｂは、図２で示すように柱状回転体６ａの周壁から立設
されており、図２の矢印Ａ方向に回転した場合に、白抜
き矢印Ｂに示すような方向に気体流を発生させる。
示すように、気体流路を形成するための流路用ケーシン
グ９が配置される。このクロスフローファン６の羽根６
ｂは、図２で示すように柱状回転体６ａの周壁から立設
されており、図２の矢印Ａ方向に回転した場合に、白抜
き矢印Ｂに示すような方向に気体流を発生させる。
【００１６】回転駆動部７は、ケース仕切１ａにより形
成される空間である配置部１ｃの内部に配置固定され、
クロスフローファン６に回転駆動力を付与する。回転駆
動部７が配置される配置部１ｃには、排気コネクタ５ａ
に通じる図示しない排気孔、クロスフローファン６の回
転軸６ｃを通過させる軸孔１ｅ、および、図示しないコ
ード孔が、それぞれ配置部１ｃの外部へ通じる孔とな
る。なお、コード孔はゴム等弾性体の封止部材により外
部から封止され、コード孔から塵埃が侵入するおそれを
低減させている。
成される空間である配置部１ｃの内部に配置固定され、
クロスフローファン６に回転駆動力を付与する。回転駆
動部７が配置される配置部１ｃには、排気コネクタ５ａ
に通じる図示しない排気孔、クロスフローファン６の回
転軸６ｃを通過させる軸孔１ｅ、および、図示しないコ
ード孔が、それぞれ配置部１ｃの外部へ通じる孔とな
る。なお、コード孔はゴム等弾性体の封止部材により外
部から封止され、コード孔から塵埃が侵入するおそれを
低減させている。
【００１７】電源回路部８は、ケース仕切１ｂにより形
成される空間である配置部１ｄの内部に配置される。同
様に電源回路部８が配置される配置部１ｄには、排気コ
ネクタ５ｂに通じる図示しない排気孔、クロスフローフ
ァン６の回転軸６ｄを挿通させる軸孔１ｆ、放電電極４
への電力供給線用孔、電源回路部８から外部へのコード
孔が、外部へ通じる孔となる。コード孔はゴム等弾性体
の封止部材により外部から封止され、コード孔から塵埃
が侵入するおそれを低減させている。なお、電源回路部
８は、回路駆動部７の制御ドライバ回路を一体に組み込
んだ回路としてもよい。この場合、別途電力線を配線す
ることとなる。
成される空間である配置部１ｄの内部に配置される。同
様に電源回路部８が配置される配置部１ｄには、排気コ
ネクタ５ｂに通じる図示しない排気孔、クロスフローフ
ァン６の回転軸６ｄを挿通させる軸孔１ｆ、放電電極４
への電力供給線用孔、電源回路部８から外部へのコード
孔が、外部へ通じる孔となる。コード孔はゴム等弾性体
の封止部材により外部から封止され、コード孔から塵埃
が侵入するおそれを低減させている。なお、電源回路部
８は、回路駆動部７の制御ドライバ回路を一体に組み込
んだ回路としてもよい。この場合、別途電力線を配線す
ることとなる。
【００１８】続いてこのようなイオン送風機の動作につ
いて説明する。図示しない電源から電源回路部８に電力
が供給されると、電源回路部８で放電周期・出力電力量
などが最適となるように調整された上で放電電極４に電
力が供給される。この放電電極４には交流電力が供給さ
れており、図２で示すようにプラスイオンとマイナスイ
オンとが交互に生成される。
いて説明する。図示しない電源から電源回路部８に電力
が供給されると、電源回路部８で放電周期・出力電力量
などが最適となるように調整された上で放電電極４に電
力が供給される。この放電電極４には交流電力が供給さ
れており、図２で示すようにプラスイオンとマイナスイ
オンとが交互に生成される。
【００１９】なお、交流電力に限るものではなく、交流
電力に代えて、プラス直流電力が供給されたならばプラ
スイオンが生成され、また、マイナス直流電力が供給さ
れたならばマイナスイオンが生成される。さらに放電電
極４の近傍に対向電極を設けるようにしても良い。この
ような生成するイオンや対向電極の有無は、実状に応じ
て適宜選択することが可能である。
電力に代えて、プラス直流電力が供給されたならばプラ
スイオンが生成され、また、マイナス直流電力が供給さ
れたならばマイナスイオンが生成される。さらに放電電
極４の近傍に対向電極を設けるようにしても良い。この
ような生成するイオンや対向電極の有無は、実状に応じ
て適宜選択することが可能である。
【００２０】イオン生成と同時に、図２で示すようにク
ロスフローファン６を矢印Ａ方向（時計回り）に回転さ
せると、白抜き矢印Ｂで示すように吸引口フィルタ２を
通過して気体が吸気され、気体流が発生する。この気体
は、吸引口フィルタ２を通過しているため、パーティク
ルはフィルタにより捕集されている。このようにパーテ
ィクルを含まない気体を、下流にある放電電極４で生成
されたイオンとともにイオン送風口３から外部へ吹き出
している。
ロスフローファン６を矢印Ａ方向（時計回り）に回転さ
せると、白抜き矢印Ｂで示すように吸引口フィルタ２を
通過して気体が吸気され、気体流が発生する。この気体
は、吸引口フィルタ２を通過しているため、パーティク
ルはフィルタにより捕集されている。このようにパーテ
ィクルを含まない気体を、下流にある放電電極４で生成
されたイオンとともにイオン送風口３から外部へ吹き出
している。
【００２１】この場合、排気コネクタ５ａ，５ｂには図
示しない排気管が取り付けられており、配置部１ｃ，１
ｄ内の空気を強制的に排気している。この排気により配
置部１ｃ，１ｄ内は周囲より気圧が低くなる。このた
め、配置部１ｃからは軸孔１ｅを介して、また、配置部
１ｄからは軸孔１ｆ・電力供給線用孔を介して、クロス
フローファン６の側から配置部１ｃ，１ｄ内部へ気体が
流入する。
示しない排気管が取り付けられており、配置部１ｃ，１
ｄ内の空気を強制的に排気している。この排気により配
置部１ｃ，１ｄ内は周囲より気圧が低くなる。このた
め、配置部１ｃからは軸孔１ｅを介して、また、配置部
１ｄからは軸孔１ｆ・電力供給線用孔を介して、クロス
フローファン６の側から配置部１ｃ，１ｄ内部へ気体が
流入する。
【００２２】この気体流入によりクロスフローファン６
側へ気体が排出されることはなく、配置部１ｃにおける
回転駆動部７の図示しない軸受け、または、配置部１ｄ
における軸支部１ｇと回転軸６ｄとの接触部から発せら
れるパーティクルが、除電用の気体流に混入するおそれ
をなくしている。さらには、回転駆動部７および電源回
路部８で発生する熱も筐体ケース１の外部へ放出するた
め、配置部１ｃ，１ｄの内部に熱が滞留するという事態
も防止される。
側へ気体が排出されることはなく、配置部１ｃにおける
回転駆動部７の図示しない軸受け、または、配置部１ｄ
における軸支部１ｇと回転軸６ｄとの接触部から発せら
れるパーティクルが、除電用の気体流に混入するおそれ
をなくしている。さらには、回転駆動部７および電源回
路部８で発生する熱も筐体ケース１の外部へ放出するた
め、配置部１ｃ，１ｄの内部に熱が滞留するという事態
も防止される。
【００２３】
【発明の効果】以上、本発明によれば、モータの軸受な
どから発生するパーティクルが、被除電物へ吹き付ける
気体流に混入する事態を防止するイオン送風機を提供す
ることができる。
どから発生するパーティクルが、被除電物へ吹き付ける
気体流に混入する事態を防止するイオン送風機を提供す
ることができる。
【図１】本発明の実施形態のイオン送風機の外観図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施形態のイオン送風機の内部構造を
示すＡ−Ａ線断面図である。
示すＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の実施形態のイオン送風機の内部構造を
示すＢ−Ｂ線断面図である。
示すＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】軸流ファンの構造の説明図である。
１ 筐体ケース
１ａ ケース仕切
１ｂ ケース仕切
１ｃ 配置部
１ｄ 配置部
１ｅ 軸孔
１ｆ 軸孔
１ｇ 軸支部
２ 吸引口フィルタ
３ イオン送風口
４ 放電電極
５ａ，５ｂ 排気コネクタ
６ クロスフローファン
６ａ 柱状回転体
６ｂ 羽根
６ｃ 回転軸
６ｄ 回転軸
７ 回転駆動部
８ 電源回路部
９ 流路用ケーシング
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｆ０４Ｄ 29/42 Ｆ０４Ｄ 29/42 Ｍ
29/44 29/44 Ｑ
Ｗ
29/70 29/70 Ｎ
Ｆ２４Ｆ 7/00 Ｆ２４Ｆ 7/00 Ｂ
7/06 7/06 Ｃ
Ｈ０５Ｆ 3/04 Ｈ０５Ｆ 3/04 Ｊ
(72)発明者 高橋 徳幸
東京都渋谷区富ヶ谷２−15−16−104
Ｆターム(参考） 3H022 AA02 BA01 BA03 BA06 BA07
CA48 CA49 CA50 DA04
3H031 AA00 BA11 BA21 BA31
3H034 AA02 AA03 AA18 BB02 BB09
BB20 CC03 CC05 CC06 CC07
DD01 DD12 DD27 DD28 EE04
3L058 BD03 BE08 BF00 BG05
5G067 AA41 DA21
Claims (2)
- 【請求項１】気体流を生成するクロスフローファンと、 回転軸を介してクロスフローファンを回転させる回転駆
動部と、 クロスフローファンが生成する気体流の流路を形成する
流路用ケーシングと、 気体流路の上流側に配置されてパーティクルを捕集する
吸引口フィルタと、 気体流路の下流側に配置される放電電極と、 が筐体ケース内に配置され、吸引口フィルタを経た清廉
な気体流に、放電電極で発生したイオンをのせて送風す
るイオン送風機であって、 回転駆動部が設置される配置部を筐体ケース内に形成す
るとともに、回転軸が挿通される軸孔を有するケース仕
切と、 この配置部内の気体を排気するための排気部と、 を設けたことを特徴とするイオン送風機。 - 【請求項２】請求項１に記載のイオン送風機において、 放電電極から発生するイオン量を制御する電源回路部
と、 この電源回路部が配置される配置部を筐体ケース内に形
成するとともに、クロスフローファンの回転軸が挿通さ
れる軸孔を有するケース仕切と、 この配置部内の気体を排気するための排気部と、 を設けたことを特徴とするイオン送風機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002019467A JP2003214381A (ja) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | イオン送風機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002019467A JP2003214381A (ja) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | イオン送風機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003214381A true JP2003214381A (ja) | 2003-07-30 |
Family
ID=27654235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002019467A Withdrawn JP2003214381A (ja) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | イオン送風機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003214381A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6188980B1 (ja) * | 2017-02-27 | 2017-08-30 | 株式会社Ｃｍｃ | 空気清浄機および扇風機として機能する装置 |
-
2002
- 2002-01-29 JP JP2002019467A patent/JP2003214381A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6188980B1 (ja) * | 2017-02-27 | 2017-08-30 | 株式会社Ｃｍｃ | 空気清浄機および扇風機として機能する装置 |
| JP2018141567A (ja) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社Ｃｍｃ | 空気清浄機および扇風機として機能する装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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