JP2003210963A - Micromixer - Google Patents
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- Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流体を複数の流体
供給路からそれぞれ1本のミキシング流路内へ導入し、
これら流体を薄片状の層流としてミキシング流路内を流
通させつつ、流体同士を混合し、又は混合及び反応させ
るマイクロミキサーに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention introduces fluid from a plurality of fluid supply passages into a single mixing passage,
The present invention relates to a micromixer that mixes, or mixes and reacts with each other while allowing these fluids to flow in a mixing flow path as a flaky laminar flow.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、写真感光材料に用いられる乳剤等
の製造に係る化学工業や医薬品、試薬等の製造に係る医
薬品工業の分野では、マイクロミキサー又はマイクロリ
アクターと呼ばれる微小容器を用いた新しい製造プロセ
スの開発が進められている。マイクロミキサー及びマイ
クロリアクターには、その断面を円形に換算した場合の
等価直径が数μm〜数百μm程度の複数本のマイクロチ
ャンネル及び、これらのマイクロチャンネルと繋がる混
合空間が設けられており、このマイクロミキサー及びマ
イクロリアクターでは、複数本のマイクロチャンネルを
通して複数の溶液をそれぞれ混合空間へ導入すること
で、複数の溶液を混合し、又は混合と共に化学反応を生
じさせる。なお、マイクロミキサーとマイクロリアクタ
ーとは基本的な構造が共通とされているが、特に、複数
の溶液を混合する際に化学反応を伴うものをマイクロリ
アクターと言う場合がある。このことから、マイクロミ
キサーには、マイクロリアクターが含まれるものとして
以下の説明を行う。このようなマイクロミキサーとして
は、例えば、特表平9−512742号公報、PCT国
際公開公報WO 00/62913号に開示されている
ものがある。これらのマイクロミキサーは、何れも、2
種類の溶液をそれぞれマイクロチャンネル等と呼ばれる
微細な給液路を通し、極めて薄い薄片状の層流として混
合空間内へ供給することで、この混合空間内で2種類の
溶液同士を混合及び反応させるものである。2. Description of the Related Art In recent years, in the field of the chemical industry for producing emulsions used in photographic light-sensitive materials and the pharmaceutical industry for producing pharmaceuticals, reagents, etc., new production using micro-vessels called micromixers or microreactors. Process development is underway. The micromixer and the microreactor are provided with a plurality of microchannels having an equivalent diameter of about several μm to several hundreds μm when their cross sections are converted into a circle, and a mixing space connected to these microchannels. In a micromixer and a microreactor, a plurality of solutions are introduced into a mixing space through a plurality of microchannels, thereby mixing the plurality of solutions or causing a chemical reaction with the mixing. It should be noted that the micromixer and the microreactor have a common basic structure, but in particular, a microreactor may be one that involves a chemical reaction when mixing a plurality of solutions. From this, the following description will be given assuming that the micromixer includes the microreactor. Examples of such a micro mixer include those disclosed in Japanese Patent Publication No. 9-512742 and PCT International Publication WO 00/62913. Each of these micro mixers has 2
The two kinds of solutions are mixed and reacted in the mixing space by supplying the two kinds of solutions into the mixing space as laminar flows in the form of extremely thin flakes through fine liquid supply paths called microchannels. It is a thing.
【0003】次に、上記のようなマイクロミキサーによ
る混合及び反応がタンク等を用いたバッチ方式と異なる
点を説明する。すなわち、液相の化学反応は、一般に反
応液の界面において分子同士が出会うことによって反応
が起こるので、微小空間内で反応を行うと相対的に界面
の面積が大きくなり、反応効率は著しく増大する。また
分子の拡散そのものも拡散時間は距離の二乗に比例す
る。このことは、スケールを小さくするに従って反応液
を能動的に混合しなくても、分子の拡散によって混合が
進み、反応が起こり易くなることを意味している。ま
た、微小空間においては、スケールが小さいために層流
支配の流れとなり、溶液同士が層流状態となって互いに
拡散し、混合されて行く。Next, the difference in the mixing and reaction by the micro mixer as described above from the batch system using a tank will be described. That is, since the chemical reaction in the liquid phase generally occurs when the molecules meet each other at the interface of the reaction solution, when the reaction is carried out in a minute space, the area of the interface becomes relatively large and the reaction efficiency remarkably increases. . In addition, the diffusion time of a molecule itself is proportional to the square of the distance. This means that as the scale is reduced, even if the reaction liquid is not actively mixed, the diffusion of the molecules promotes the mixing, which facilitates the reaction. In a minute space, since the scale is small, the flow is dominated by laminar flow, and the solutions are in a laminar flow state and diffuse and mix with each other.
【0004】上記のような特徴を有するマイクロミキサ
ーを用いれば、例えば、混合及び反応の場として大容積
のタンク等を用いた従来のバッチ方式と比較し、溶液同
士の反応時間及び温度の精密な制御が可能になる。また
バッチ方式の場合には、特に、反応速度が速い溶液環間
では混合初期の反応接触面で反応が進行し、さらに溶液
間の反応により生成された一次生成物が容器内で引き続
き反応を受けてしまうことから、生成物の不均一や混合
容器内で凝集や析出が生じてしまうおそれがある。これ
に対して、マイクロミキサーによれば、溶液が混合容器
内に殆ど滞留することなく連続的に流通するので、溶液
間の反応により生成された一次生成物が混合容器内に滞
留する間に引き続き反応を受けてしまうことを抑止で
き、従来では取り出すことが困難であった純粋な一次生
成物を取り出すことも可能になり、また混合容器内での
凝集や析出も生じ難くなる。When the micromixer having the above-mentioned characteristics is used, for example, as compared with the conventional batch system in which a large-volume tank is used as a place for mixing and reaction, the reaction time and temperature of the solutions are more precise. Control becomes possible. Further, in the case of the batch system, the reaction progresses at the reaction contact surface in the initial stage of mixing, especially between the solution rings having a fast reaction rate, and the primary product produced by the reaction between the solutions is continuously reacted in the container. Therefore, there is a possibility that the product may be non-uniform or that aggregation or precipitation may occur in the mixing container. On the other hand, according to the micromixer, the solution continuously flows in the mixing container with almost no retention, and thus the primary product generated by the reaction between the solutions continues to be retained in the mixing container. It is possible to prevent the reaction from undergoing a reaction, it becomes possible to take out a pure primary product which has been difficult to take out in the past, and it becomes difficult to cause aggregation or precipitation in the mixing container.
【0005】また、実験的な製造設備により製造された
少量の化学物質を大規模の製造設備により多量に製造
(スケールアップ)する際には、従来、実験的な製造設
備に対し、バッチ方式による大規模の製造設備での再現
性を得るために多大の労力及び時間を要していたが、必
要となる製造量に応じてマイクロミキサーを用いた製造
ラインを並列化することにより、このような再現性を得
るための労力及び時間を大幅に減少できる可能性があ
る。Further, when a large amount of a small amount of chemical substances produced by an experimental production facility is produced (scaled up) by a large-scale production facility, conventionally, a batch method is used for the experimental production facility. It took a lot of labor and time to obtain reproducibility in a large-scale manufacturing facility, but by parallelizing the manufacturing line using a micro mixer according to the required manufacturing amount, The effort and time to obtain reproducibility may be significantly reduced.
【0006】しかし、上記のようなマイクロミキサーで
は、複数本の給液路にそれぞれ供給される溶液の種類に
応じて、これらの溶液が均一に混合するまでの時間(混
合時間)、又は溶液の混合と共に化学反応が実質的に完
了するまでの時間(反応時間)が変化する。すなわち、
溶液の粘度が高い程、一般的には混合時間及び反応時間
が遅延し、また溶液間の化学反応に伴って凝集や析出等
が生じる場合には、凝集物や析出物等が混合の阻害要因
となり、すなわち溶液に対する拡散力の低下を生じさ
せ、混合時間及び反応時間を変化させてしまう。However, in the above-described micromixer, the time until the solutions are uniformly mixed (mixing time) or the solution is supplied depending on the kind of the solution supplied to each of the plurality of liquid supply paths. With mixing, the time (reaction time) until the chemical reaction is substantially completed changes. That is,
When the viscosity of the solution is higher, the mixing time and reaction time are generally delayed, and when agglomeration, precipitation, etc. occur due to the chemical reaction between the solutions, the agglomerates, precipitates, etc. are factors that inhibit mixing. That is, the diffusing power for the solution is lowered, and the mixing time and the reaction time are changed.
【0007】一方、マイクロミキサーでは、混合空間に
おける溶液の流通方向に沿った路長が一定であることか
ら、溶液の流速が一定の場合には溶液が混合空間を通過
する時間(通過時間)は一定となる。従って、混合空間
における溶液の混合時間又は反応時間が通過時間よりも
長い場合には、混合空間内における溶液の流速を遅くす
る必要があるので、マイクロミキサーによる溶液の処理
速度が低下してしまう。このとき、溶液の処理速度の低
下を防止するには、混合空間の路長を延長することが考
えられるが、このような対応を採った場合は、マイクロ
ミキサーの大型化や製造コストの増加等を生じさせる。
また混合空間の路長を必要以上に延長した場合には、却
って溶液の凝集、析出等を助長して混合空間内に目詰ま
りを発生させ、マイクロミキサーのメンテナンスが煩瑣
になるという問題も生じる。On the other hand, in the micromixer, since the path length along the flow direction of the solution in the mixing space is constant, the time (passing time) for the solution to pass through the mixing space is constant when the flow velocity of the solution is constant. It will be constant. Therefore, when the mixing time or the reaction time of the solution in the mixing space is longer than the passage time, it is necessary to slow the flow rate of the solution in the mixing space, so that the processing speed of the solution by the micromixer decreases. At this time, it is conceivable to extend the path length of the mixing space in order to prevent the decrease in the processing speed of the solution, but if such a measure is taken, the micromixer becomes larger and the manufacturing cost increases. Cause
Further, when the path length of the mixing space is extended more than necessary, there is a problem that the aggregation and precipitation of the solution is rather promoted to cause clogging in the mixing space, which makes maintenance of the micromixer complicated.
【0008】上記のような問題を解決するため、上記し
たWO 00/62913号公報に開示されたマイクロ
ミキサーでは、それぞれ溶液の供給部から櫛歯状に分岐
した給液路が形成されたブロック状のミキサ素子にアク
チュエータを連結し、このアクチュエータによりミキサ
素子に振動を与え、この振動により複数の溶液の混合を
調整している。In order to solve the above problems, in the micromixer disclosed in the above-mentioned WO 00/62913, a block-like structure in which liquid supply passages branched from a solution supply portion in a comb shape are formed respectively. An actuator is connected to the mixer element, and vibration is applied to the mixer element by this actuator, and mixing of a plurality of solutions is adjusted by this vibration.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、WO
00/62913号公報のマイクロミキサーは、複数本
の給液路が形成されたミキサ素子のみに振動を与え、こ
の振動を給液路内の溶液を介して混合空間内の溶液に伝
搬することで、混合空間内における溶液の混合を調整す
るものである。このため、このようなマイクロミキサー
では、混合空間内における溶液の混合の進行及び、混合
に伴う化学反応の進行を高い精度で制御することは難し
く、例えば、混合空間内における溶液間の化学反応を段
階的に進行させたい場合や、混合空間の全長に亘って溶
液及び反応生成物を拡散混合したい場合には、このよう
な混合又は化学反応の進行を実現できない。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
The micromixer of Japanese Patent No. 00/62913 gives vibration only to a mixer element in which a plurality of liquid supply paths are formed, and propagates this vibration to the solution in the mixing space via the solution in the liquid supply path. , To adjust the mixing of the solutions in the mixing space. Therefore, in such a micromixer, it is difficult to control the progress of the mixing of the solutions in the mixing space and the progress of the chemical reaction accompanying the mixing with high accuracy. When it is desired to proceed stepwise or to diffuse-mix a solution and a reaction product over the entire length of the mixing space, such progress of mixing or chemical reaction cannot be realized.
【0010】本発明の目的は、上記事実を考慮して、複
数の供給口を通してミキシング流路内に導入された流体
の混合及び化学反応の進行を効果的に促進でき、かつ十
分に高い精度で制御できるマイクロミキサーを提供する
ことにある。In view of the above facts, an object of the present invention is to effectively promote the mixing of fluids introduced into the mixing channel through a plurality of supply ports and the progress of chemical reaction, and with sufficiently high accuracy. It is to provide a controllable micromixer.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
されたマイクロミキサーは、外部から供給された流体が
一端部から他端部へ向ってそれぞれ流通する複数の流体
供給路と、前記複数の流体供給路の他端部にそれぞれ開
口し、前記流体供給路内における流体の流通方向と直交
する所定の拡散方向に沿って互いに隣接するように配設
された複数の供給口と、一端部が前記複数の供給口に接
続され、該複数の供給口を通して導入された流体を他端
部から吐出するミキシング流路と、前記ミキシング流路
内を流通する流体に振動を前記拡散方向に沿って伝達す
る拡散制御手段とを有し、前記複数の供給口の前記拡散
方向に沿った開口幅を1μm以上で500μm以下とした
ことを特徴とする。A micromixer according to claim 1 of the present invention comprises a plurality of fluid supply passages through which fluid supplied from the outside flows from one end to the other end, respectively. A plurality of supply ports, which are respectively opened at the other ends of the plurality of fluid supply paths and are arranged adjacent to each other along a predetermined diffusion direction orthogonal to the flow direction of the fluid in the fluid supply path, and one end A part is connected to the plurality of supply ports, and a mixing flow path for discharging the fluid introduced through the plurality of supply ports from the other end, and a vibration flowing in the fluid flowing in the mixing flow path along the diffusion direction. And a diffusion control means for transmitting the transmission, and the opening width of the plurality of supply ports along the diffusion direction is 1 μm or more and 500 μm or less.
【0012】上記請求項1記載のマイクロミキサーによ
れば、複数の流体供給路の他端部にそれぞれ開口し、流
体供給路内における流体の流通方向と直交する所定の拡
散方向に沿って互いに隣接するように配設された複数の
供給口が設けられ、これら複数の供給口にミキシング流
路の上流側の一端部が接続され、かつ拡散制御手段がミ
キシング流路内を流通する流体に振動を拡散方向に沿っ
て伝達することにより、複数の供給口を通してそれぞれ
ミキシング流路内へ導入される複数種類の流体が供給口
の開口幅に対応する薄片状の成層流となってミキシング
流路内を流通すると共に、互いに隣接する成層流間の界
面では微小な流体塊の拡散方向の移動が促進され、また
各流体の分子運動が増大するので、複数の供給口の開口
幅をそれぞれ十分微小な幅(1μm以上で500μm以
下)にしておけば、複数の供給口をそれぞれ通してミキ
シング流路内へ導入された複数種類の流体を微小な流体
塊の移動により効率的に混合でき、さらにミキシング流
路内を流通する流体の分子運動を拡散制御手段伝達から
の振動により主として流体間の拡散方向に沿って増大で
きるので、流体が形成する成層流間の接触界面付近にお
ける分子の拡散方向の移動を増大させ、ミキシング流路
内における流体間の混合及び混合に伴う化学反応を効率
的に促進できる。According to the micromixer of the first aspect, the plurality of fluid supply passages are opened at the other ends thereof and are adjacent to each other along a predetermined diffusion direction orthogonal to the flow direction of the fluid in the fluid supply passages. Is provided with a plurality of supply ports, one end of the upstream side of the mixing flow path is connected to the plurality of supply ports, and the diffusion control means vibrates the fluid flowing in the mixing flow path. By transmitting along the diffusion direction, multiple types of fluid introduced into the mixing channel through the multiple supply ports become a flaky stratified flow corresponding to the opening width of the supply port, and flow in the mixing flow channel. At the interface between the adjacent stratified flows that flow, the movement of minute fluid mass in the diffusion direction is promoted, and the molecular motion of each fluid increases. By setting a small width (1 μm or more and 500 μm or less), it is possible to efficiently mix multiple types of fluids introduced into the mixing flow path through multiple supply ports by moving minute fluid masses. Since the molecular motion of the fluid flowing in the mixing channel can be increased mainly along the diffusion direction between the fluids by the vibration from the diffusion control means transmission, the diffusion direction of the molecules in the vicinity of the contact interface between the stratified flows formed by the fluid can be increased. The movement can be increased, and the mixing between the fluids in the mixing channel and the chemical reaction accompanying the mixing can be efficiently promoted.
【0013】この結果、ミキシング流路に導入される流
体の種類、液温、粘度、流速等に応じ、拡散制御手段に
より流体に伝達される振動の周波数、強度(振動エネル
ギ)等を適宜制御することで、ミキシング流路内におけ
る流体間の混合及び混合に伴う化学反応の進行を精密に
制御できるようになる。ここで、混合の進行及び化学反
応の進行を制御するとは、主として流体間の混合速度及
び化学的な反応速度の制御を意味しているが、流体の混
合に化学反応が伴う場合には、反応生成物の形状、サイ
ズ等の性状や、反応生成物の合一又は凝集の促進及び抑
制等を制御することも含まれる。As a result, the frequency, intensity (vibration energy), etc. of the vibration transmitted to the fluid by the diffusion control means are appropriately controlled according to the type, the liquid temperature, the viscosity, the flow velocity, etc. of the fluid introduced into the mixing channel. This makes it possible to precisely control the mixing of the fluids in the mixing channel and the progress of the chemical reaction accompanying the mixing. Here, controlling the progress of mixing and the progress of a chemical reaction mainly means controlling the mixing rate and the chemical reaction rate between fluids. Controlling properties such as the shape and size of the product, and promotion and suppression of coalescence or aggregation of the reaction products are also included.
【0014】また本発明の請求項2に記載されたイクロ
ミキサーは、請求項1記載のマイクロミキサーにおける
ミキシング流路内を流通する流体に振動を拡散方向に沿
って伝達する拡散制御手段に代えて、ミキシング流路内
を流通する流体に拡散方向に沿ってマイクロ波を照射す
る拡散制御手段を有するものである。The micro mixer according to a second aspect of the present invention is the micro mixer according to the first aspect, in which the diffusion control means for transmitting vibrations to the fluid flowing in the mixing channel along the diffusion direction is replaced. A diffusion control means for irradiating the fluid flowing in the mixing channel with microwaves along the diffusion direction is provided.
【0015】上記請求項2記載のマイクロミキサーによ
っても、ミキシング流路内を流通する流体の分子運動を
拡散制御手段伝達から照射されるマイクロ波により主と
して流体間の拡散方向に沿って増大できるので、請求項
1記載のマイクロミキサーと同様に、流体が形成する層
流間の接触界面付近における分子の拡散速度を増大さ
せ、ミキシング流路内における流体間の混合及び混合に
伴う化学反応を効率的に促進できる。Also with the micromixer according to the second aspect, the molecular motion of the fluid flowing in the mixing channel can be increased mainly by the microwave radiated from the transmission of the diffusion control means along the diffusion direction between the fluids. Similar to the micromixer according to claim 1, the diffusion rate of molecules near the contact interface between laminar flows formed by fluids is increased, and mixing between fluids in a mixing channel and chemical reactions accompanying the mixing are efficiently performed. Can be promoted.
【0016】この結果、ミキシング流路に導入される流
体の種類、液温、粘度、流速等に応じ、拡散制御手段に
より流体に照射されるマイクロ波の周波数、強度(電磁
波エネルギ)等を適宜制御することで、ミキシング流路
内における流体間の混合及び混合に伴う化学反応の進行
を精密に制御できるようになる。As a result, the frequency, intensity (electromagnetic wave energy), etc. of the microwave radiated to the fluid by the diffusion control means are appropriately controlled according to the type, the liquid temperature, the viscosity, the flow velocity, etc. of the fluid introduced into the mixing channel. By doing so, it becomes possible to precisely control the mixing of the fluids in the mixing channel and the progress of the chemical reaction accompanying the mixing.
【0017】また請求項2記載のマイクロミキサーで
は、指向性が強いマイクロ波により流体の分子運動を増
大させるので、マイクロ流路内の特定の領域に存在する
流体の分子運動を集中的に増大させることも可能にな
り、請求項1記載のマイクロミキサーと比較して、より
高い精度でミキシング流路内における流体間の混合及び
混合に伴う化学反応の進行を制御できるようになる。Further, in the micromixer according to the second aspect, since the molecular motion of the fluid is increased by the microwave having a strong directivity, the molecular motion of the fluid existing in the specific region in the microchannel is intensively increased. It is also possible to control the mixing of the fluids in the mixing channel and the progress of the chemical reaction associated with the mixing with higher accuracy as compared with the micromixer according to the first aspect.
【0018】なお、請求項1及び請求項2記載のマイク
ロミキサーにおいて、外部から複数の流体供給路に供給
される流体としては、例えば、液体、気体、液体中に金
属微粒子等が分散された固液混合物、気体中に金属微粒
子等が分散された固気混合物、液体中に気体が溶解せず
に分散した気液混合物等も対象となり、また流体の種類
が異なるとは、化学組成が異なる場合のみならず、例え
ば、温度、固液比等の状態が異なる場合も含まれる。In the micromixer according to the first and second aspects, the fluid supplied from the outside to the plurality of fluid supply paths is, for example, a liquid, a gas, a solid in which metal fine particles are dispersed in the liquid. A liquid mixture, a solid-gas mixture in which fine metal particles are dispersed in a gas, a gas-liquid mixture in which a gas is not dissolved in a liquid, and the like are also applicable, and different fluid types mean different chemical compositions. Not only this, but also the case where the conditions such as temperature and solid-liquid ratio are different are included.
【0019】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係るマ
イクロミキサーについて図面を参照して説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A micromixer according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0020】(第1の実施形態)図1には本発明の第1
の実施形態に係るマイクロミキサーの一例が示されてい
る。このマイクロミキサー10は、2種類の溶液L1、
L2を混合し、これらの溶液L1、L2が均一に混合さ
れた溶液LMを外部へ供給するためのものである。ここ
で、マイクロミキサー10により溶液L1、L2を混合
する際には、溶液L1、L2間に化学反応が生じる場合
と生じない場合とが考えられるが、本実施形態に係るマ
イクロミキサーは何れの場合にも用いることができる。(First Embodiment) FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
An example of the micro mixer according to the embodiment is shown. This micro mixer 10 has two types of solutions L1,
It is for mixing L2 and supplying the solution LM in which these solutions L1 and L2 are uniformly mixed to the outside. Here, when the solutions L1 and L2 are mixed by the micromixer 10, there may be a case where a chemical reaction occurs between the solutions L1 and L2, and a case where no chemical reaction occurs. In any case, the micromixer according to the present embodiment is used. Can also be used for
【0021】図1に示されるように、マイクロミキサー
10は外形形状が全体として略角柱状に形成されてお
り、装置の外殻部を構成する薄肉筒状のミキサー本体1
2を備えている。ここで、図中における直線Sはミキサ
ー本体12の断面中心を結んだ軸心を示している。ミキ
サー本体12は軸直角断面が長方形とされており、この
ミキサー本体12内には、軸方向に沿った基端側(図1
では左側)にミキサー本体12の内部空間を区画した隔
壁板14が配置されている。この隔壁板14は、ミキサ
ー本体12内の空間を断面の短手方向において略2等分
し、これにより、ミキサー本体12内に軸方向に沿って
直線的に延在する第1給液路16及び第2給液路18を
形成している。As shown in FIG. 1, the external shape of the micromixer 10 is formed into a substantially prismatic shape as a whole, and a thin-walled cylindrical mixer main body 1 constituting the outer shell of the apparatus.
Equipped with 2. Here, the straight line S in the figure indicates the axis connecting the center of the cross section of the mixer body 12. The mixer main body 12 has a rectangular cross section perpendicular to the axis, and in the mixer main body 12, a base end side along the axial direction (see FIG.
On the left side), a partition plate 14 that partitions the internal space of the mixer body 12 is arranged. The partition plate 14 divides the space inside the mixer main body 12 into two equal parts in the lateral direction of the cross section, whereby the first liquid supply passage 16 linearly extends inside the mixer main body 12 along the axial direction. And the second liquid supply passage 18 is formed.
【0022】図1(A)に示されるように、ミキサー本
体12の基端部は蓋板20により閉塞されており、この
蓋板20には2本の給液配管38,39が接続されてい
る。これらの給液配管38,39を通して、給液路1
6,18内には、それぞれマイクロミキサー10の上流
側に設置された2個の給液源((図示省略)から加圧状
態とされた溶液L1及び溶液L2が給送される。これら
の給液源は、例えば、溶液L1,L2を生成する他のマ
イクロミキサーや、溶液L1,L2を貯えた貯留タンク
及びポンプ等からなる。As shown in FIG. 1 (A), the base end of the mixer body 12 is closed by a cover plate 20, and two liquid supply pipes 38, 39 are connected to the cover plate 20. There is. Through these liquid supply pipes 38, 39, the liquid supply passage 1
Solution L1 and solution L2 in a pressurized state are fed into the insides of 6 and 18 from two liquid supply sources ((not shown) installed on the upstream side of the micromixer 10, respectively. The liquid source includes, for example, another micromixer that produces the solutions L1 and L2, a storage tank that stores the solutions L1 and L2, and a pump.
【0023】図1(B)に示されるように、ミキサー本
体12内の2本の給液路16,18の先端面には、それ
ぞれ略長方形の第1給液口22及び第2給液口24がそ
れぞれ開口しており、これらの給液口22,24は、溶
液L1,L2の拡散方向(矢印D方向)に沿って互いに
隣接している。ここで、拡散方向は、給液路16,18
内における溶液L1,L2の流通方向(矢印F方向)に
直交する方向であり、本実施形態ではミキサー本体12
の軸直角断面における短手方向と一致している。また給
液口22,24は、それぞれ拡散方向に直交する界面方
向(矢印B方向)へ細長い長方形とされている。As shown in FIG. 1B, the first liquid supply port 22 and the second liquid supply port, which are substantially rectangular, are formed on the tip surfaces of the two liquid supply passages 16 and 18 in the mixer body 12. 24 are opened, and these liquid supply ports 22 and 24 are adjacent to each other along the diffusion direction (direction of arrow D) of the solutions L1 and L2. Here, the diffusion direction is the liquid supply paths 16 and 18
It is a direction orthogonal to the flow direction of the solutions L1 and L2 in the inside (direction of arrow F), and in the present embodiment, the mixer main body 12
Coincides with the lateral direction of the cross section perpendicular to the axis of. Further, the liquid supply ports 22 and 24 are each formed into a slender rectangle in the interface direction (direction of arrow B) orthogonal to the diffusion direction.
【0024】図1(A)に示されるように、ミキサー本
体12内には、流通方向に沿って給液路16,18の下
流側に給液路16,18が合流する角柱状の空間が形成
され、この空間は給液路16,18からそれぞれ供給さ
れた溶液L1,L2の混合又は、混合に伴う化学反応が
行われるミキシング流路26とされている。このミキシ
ング流路26は、流通方向に沿った上流側の端部が給液
口22,24に接続され、下流側の端部がミキサー本体
12の先端面に開口する出液口28へ連通している。ま
たミキサー本体12の先端部には、出液口28の外周側
に延出するように環状のフランジ部30が設けられてい
る。As shown in FIG. 1A, in the mixer main body 12, there is formed a prismatic space where the liquid supply passages 16 and 18 join downstream of the liquid supply passages 16 and 18 along the flow direction. This space is formed and serves as a mixing flow path 26 in which the solutions L1 and L2 supplied from the liquid supply paths 16 and 18 are mixed or a chemical reaction associated with the mixing is performed. The upstream end of the mixing flow path 26 along the flow direction is connected to the liquid supply ports 22 and 24, and the downstream end thereof communicates with a liquid discharge port 28 that is open at the tip surface of the mixer body 12. ing. An annular flange portion 30 is provided at the tip of the mixer body 12 so as to extend to the outer peripheral side of the liquid outlet 28.
【0025】ここで、第1給液口22の拡散方向に沿っ
た開口幅W1は、1μm以上で500μm以下の範囲
で、第1給液路16への溶液L1の供給量、種類等に応
じて適宜設定される。また第2給液口24の拡散方向に
沿った開口幅W2も、1μm以上で500μm以下の範
囲で、第2給液路18への溶液L2の供給量、種類等に
応じて適宜設定される。また給液口22,24の界面方
向に沿った開口幅WBは少なくとも開口幅W1,W2以
上の寸法に設定される。これらの開口幅W1,W2,W
Bはそれぞれ給液口22,24の開口面積を規定し、こ
の給液口22,24の開口面積と溶液L1,L2の供給
量に応じて、給液口22,24を通してミキシング流路
26内へ導入される溶液L1,L2の初期流速が定ま
る。これらの開口幅W1,W2,WBのうち開口幅W
1,W2については、例えば、給液口22,24を通し
てミキシング流路26内へ供給される溶液L1,L2の
流速が互いに等しくなるように設定される。但し、溶液
L1,L2が均一に混合するまでの時間(混合時間)の
短縮を考えた場合には、当然、開口幅W1,W2は狭い
ほど有利となり、また隔壁板14の拡散方向に沿った厚
さも可能な限り薄くすることが望まれる。Here, the opening width W1 of the first liquid supply port 22 along the diffusion direction is in the range of 1 μm or more and 500 μm or less, depending on the supply amount and type of the solution L1 to the first liquid supply passage 16. Is set appropriately. Further, the opening width W2 of the second liquid supply port 24 along the diffusion direction is also appropriately set in the range of 1 μm or more and 500 μm or less according to the supply amount, type, etc. of the solution L2 to the second liquid supply passage 18. . In addition, the opening width WB along the interface direction of the liquid supply ports 22 and 24 is set to at least the opening widths W1 and W2. These opening widths W1, W2, W
B defines the opening areas of the liquid supply ports 22 and 24, respectively, and the inside of the mixing channel 26 passes through the liquid supply ports 22 and 24 according to the opening areas of the liquid supply ports 22 and 24 and the supply amounts of the solutions L1 and L2. The initial flow rates of the solutions L1 and L2 introduced into the are determined. Of these opening widths W1, W2, WB, the opening width W
For 1 and W2, for example, the flow rates of the solutions L1 and L2 supplied into the mixing flow path 26 through the liquid supply ports 22 and 24 are set to be equal to each other. However, in consideration of shortening the time until the solutions L1 and L2 are uniformly mixed (mixing time), naturally, the narrower the opening widths W1 and W2 are, the more advantageous it is. Further, along the diffusion direction of the partition plate 14. It is desirable to make the thickness as thin as possible.
【0026】マイクロミキサー10では、ミキシング流
路26内で溶液L1,L2の混合が行われ、又は混合と
共に化学反応が行われた溶液LMが出液口28から吐出
される。溶液LMが溶液L1,L2の混合のみにより生
成される場合には、ミキシング流路26の出口部までに
溶液L1,L2が略均一に混合されている必要があり、
また溶液LMが溶液L1,L2の混合及び化学反応によ
り生成される場合には、ミキシング流路26の出口部ま
でに溶液L1,L2が略均一に混合され、しかも溶液L
1,L2間の化学反応も略完全に完了している必要があ
る。従って、ミキシング流路26の流通方向に沿った路
長PF(図1(A)参照)は、溶液L1,L2の混合が
完了し、又は混合及び化学反応が完了するような長さに
設定する必要がある。なお、ミキサー本体12内には、
常に、溶液L1,L2及びこれらが混合された溶液LM
が隙間なく充填され、給液路16,18内から出液口2
8側へ流通しているものとする。In the micromixer 10, the solutions L1 and L2 are mixed in the mixing flow path 26, or the solution LM in which the chemical reaction has been performed together with the mixing is discharged from the liquid outlet 28. When the solution LM is generated only by mixing the solutions L1 and L2, it is necessary that the solutions L1 and L2 are substantially evenly mixed by the outlet of the mixing channel 26.
When the solution LM is produced by mixing and chemically reacting the solutions L1 and L2, the solutions L1 and L2 are mixed almost uniformly up to the outlet of the mixing channel 26, and the solution L
The chemical reaction between 1 and L2 also needs to be almost completely completed. Therefore, the path length PF along the flow direction of the mixing flow path 26 (see FIG. 1A) is set to such a length that the mixing of the solutions L1 and L2 is completed or the mixing and the chemical reaction are completed. There is a need. In addition, in the mixer body 12,
Always the solutions L1 and L2 and the mixed solution LM
Is filled without any gap, and the liquid outlet 2 is discharged from the inside of the liquid supply passages 16 and 18.
It is supposed to be distributed to the 8 side.
【0027】ここで、ミキサー本体12の先端部には、
フランジ部30と対になるフランジ部を有する出液配管
(図示省略)が連結され、ミキサー本体12の出液口2
8から吐出された溶液LMは、出液配管を通して一時貯
留用の貯留容器、溶液LMに対して次の処理を行うため
の他のマイクロミキサー等へ送られる。ここで、ミキサ
ー本体12のフランジ部30と出液配管のフランジ部と
は、ボルト及びナットを用いたねじ継手、一対のフラン
ジ部の外周側からリング状の連結部材を嵌挿するフルェ
ール継手等の各種の継手構造により連結することがで
き、また溶接により連結するようにしても良い。なお、
出液配管としては、その下流側の端部に設けられたフラ
ンジ部がマイクロミキサー10のフランジ部30の形状
と整合しているものならば、一般的な円筒状の金属パイ
プ等を用いることができる。Here, at the tip of the mixer body 12,
A liquid outlet pipe (not shown) having a flange portion that is paired with the flange portion 30 is connected, and the liquid outlet 2 of the mixer body 12 is connected.
The solution LM discharged from 8 is sent to a storage container for temporary storage, another micromixer for performing the next process on the solution LM, etc. through the liquid discharge pipe. Here, the flange portion 30 of the mixer main body 12 and the flange portion of the liquid discharge pipe may be a threaded joint using bolts and nuts, a full-flare joint into which a ring-shaped connecting member is fitted from the outer peripheral side of the pair of flange portions, or the like. They can be connected by various joint structures, or may be connected by welding. In addition,
As the liquid discharge pipe, a general cylindrical metal pipe or the like may be used as long as the flange portion provided at the downstream end thereof matches the shape of the flange portion 30 of the micromixer 10. it can.
【0028】ミキサー本体12には、その上面部及び下
面部の下流側それぞれ密着するように、肉厚板状の振動
発生器32が取り付けられている。これら一対の振動発
生器32は、流通方向に沿った長さがミキシング流路2
6の長さと略等しくされ、界面方向に沿った幅がミキシ
ング流路26の開口幅と略等しくされている。ここで、
振動発生器32は、その上流端がミキシング流路26の
上流端と一致するように配置されている。これにより、
一対の振動発生器32は、ミキシング流路26における
上面部の全体及び下面部の全体にそれぞれ正対する。ま
た振動発生器32には、ミキサー本体12との密着面に
振動部34が設けられており、この振動部34は、振動
発生器32の駆動時に、ミキサー本体12を介して所定
周波数の振動をミキシング流路26内の溶液L1,L2
及び溶液LMへ伝達する。このとき、振動部34からの
振動は、図1の矢印Vに示されるように、拡散方向に沿
って溶液L1,L2及び溶液LMに伝達され、この伝達
振動により溶液L1,L2,LMの分子運動が拡散方向
に沿って増大するので、溶液L1,L2間の混合又は混
合に伴う化学反応が促進される。A vibration generator 32 in the form of a thick plate is attached to the mixer main body 12 so that the upper surface and the lower surface of the mixer main body 12 are in close contact with each other. The length of the pair of vibration generators 32 along the flow direction is set to the mixing flow path 2
6, and the width along the interface is made substantially equal to the opening width of the mixing channel 26. here,
The vibration generator 32 is arranged so that its upstream end coincides with the upstream end of the mixing flow path 26. This allows
The pair of vibration generators 32 face the entire upper surface portion and the entire lower surface portion of the mixing flow passage 26, respectively. Further, the vibration generator 32 is provided with a vibrating portion 34 on the contact surface with the mixer body 12, and the vibrating portion 34 causes vibration of a predetermined frequency via the mixer body 12 when the vibration generator 32 is driven. Solutions L1, L2 in mixing channel 26
And transfer to solution LM. At this time, the vibration from the vibrating section 34 is transmitted to the solutions L1, L2 and the solution LM along the diffusion direction as shown by the arrow V in FIG. 1, and the molecules of the solutions L1, L2, LM are transmitted by this transmission vibration. Since the movement increases along the diffusion direction, the mixing between the solutions L1 and L2 or the chemical reaction accompanying the mixing is promoted.
【0029】振動発生器32は、例えば、振動発生源と
してピエゾ素子を用いており、このピエゾ素子への交流
電流の供給により電流周波数に対応する振動を振動部3
4から発生させる。このとき、振動部34から発生する
振動周波数としては、1KHz〜10MHzの範囲内、
すなわち高周波及び超音波の帯域で制御される。具体的
には、主として、ミキシング流路26内を流通する溶液
L1,L2が混合又は混合と共に化学反応する際に、所
望とする溶液L1,L2の混合速度又は化学的な反応速
度に応じて振動周波数は適宜設定される。このとき、振
動が伝達されるミキサー本体12及び溶液L1,L2,
LMにおける共振効果を考慮しなければ、通常、振動周
波数が高い程、振動エネルギ(運動エネルギ)が大きく
なるので、ミキシング流路26内における溶液L1,L
2の混合及び化学反応の進行は促進されることになる。The vibration generator 32 uses, for example, a piezo element as a vibration source, and by supplying an alternating current to the piezo element, a vibration corresponding to the current frequency is generated by the vibrating section 3.
Generate from 4. At this time, the vibration frequency generated from the vibrating section 34 is in the range of 1 KHz to 10 MHz,
That is, it is controlled in the high frequency and ultrasonic band. Specifically, when the solutions L1 and L2 flowing in the mixing flow path 26 are mixed or chemically react with each other, vibration is caused mainly in accordance with a desired mixing rate of the solutions L1 and L2 or a chemical reaction rate. The frequency is set appropriately. At this time, the mixer body 12 and the solutions L1, L2, to which the vibration is transmitted,
Unless the resonance effect in the LM is taken into consideration, the higher the vibration frequency, the larger the vibration energy (kinetic energy). Therefore, the solutions L1 and L in the mixing channel 26 are
The mixing of the two and the progress of the chemical reaction will be accelerated.
【0030】図1(A)に示されるように、マイクロミ
キサー10には、一対の振動発生器32の駆動を制御す
る駆動制御部36が設けられている。この駆動制御部3
6は、ミキシング流路26内を溶液L1,L2,LMが
流通する際に、振動発生器32のオン及びオフ状態、オ
ン時間及びオフ時間の比であるデューティ比、振動周波
数を内部メモリ等に予め設定された制御条件に従うよう
に制御する。この制御条件は、基本的には、溶液L1,
L2の種類、すなわち溶液L1,L2の化学成分、液
温、粘度等や、溶液L1,L2間の混合に化学反応を伴
う場合には、反応生成物の性質等に応じて異なるものに
なり、また溶液L1,L2の供給量の変化、すなわちミ
キシング流路26内における溶液L1,L2の流速によ
っても異なるものになる。このような制御条件は、例え
ば、マイクロミキサー10が配置された製造ラインのオ
ペレータが操作端末等を用いて設定したり、製造ライン
全体を制御する上位のプロセスコンピュータが生産予定
等に基づいて自動的に設定する。As shown in FIG. 1A, the micromixer 10 is provided with a drive controller 36 for controlling the drive of the pair of vibration generators 32. This drive control unit 3
When the solutions L1, L2, and LM flow through the mixing channel 26, the reference numeral 6 stores the ON / OFF state of the vibration generator 32, the duty ratio that is the ratio of the ON time and the OFF time, and the vibration frequency in the internal memory or the like. Control is performed so as to comply with preset control conditions. This control condition is basically the solution L1,
The type of L2, that is, the chemical components of the solutions L1 and L2, the liquid temperature, the viscosity, etc., and when a chemical reaction is involved in the mixing between the solutions L1 and L2, it varies depending on the properties of the reaction product, etc. Further, it also varies depending on the change in the supply amount of the solutions L1 and L2, that is, the flow rate of the solutions L1 and L2 in the mixing channel 26. Such control conditions are set, for example, by an operator of the manufacturing line in which the micromixer 10 is arranged, using an operation terminal or the like, or a high-order process computer that controls the entire manufacturing line automatically sets based on a production schedule or the like. Set to.
【0031】上記のように構成されたマイクロミキサー
10では、給液配管38,39を通して給液路16,1
8にそれぞれ加圧状態の溶液L1,L2が供給されるこ
とにより、これらの溶液L1,L2がそれぞれ給液路1
6,18内を流通し、給液口22,24を通して所定の
流速を有する液流としてミキシング流路26内へ導入さ
れる。このとき、給液口22,24の開口幅W1,W2
が1μm〜500μmという微小幅とされていることか
ら、給液口22,24を通してミキシング流路26内へ
導入される溶液L1,L2は、それぞれ開口幅W1,W
2に対応する幅を有する薄片状の成層流となって出液口
28側へ向って流れつつ、各成層流の接触界面ではその
法線方向に沿って分子拡散が生じて溶液L1,L2の混
合が進行する。これと同時に、マイクロミキサー10で
は、一対の振動発生器32からの振動がミキシング流路
26内の溶液L1,L2,LMに拡散方向に沿って伝達
されることから、ミキシング流路26内を流れる溶液L
1,L2の微小な流体塊の拡散方向の移動及び分子運動
を伝達振動により増大できるので、溶液L1,L2,が
形成する成層流間の接触界面付近における分子の拡散方
向の移動速度を増大させ、ミキシング流路26内におけ
る溶液L1,L2間の混合及び混合に伴う化学反応を効
率的に促進できる。In the micro mixer 10 constructed as described above, the liquid supply passages 16, 1 are supplied through the liquid supply pipes 38, 39.
By supplying the solutions L1 and L2 in a pressurized state to the liquid supply path 8, the solutions L1 and L2 are supplied to the liquid supply path 1 respectively.
6 and 18, and is introduced into the mixing flow path 26 through the liquid supply ports 22 and 24 as a liquid flow having a predetermined flow velocity. At this time, the opening widths W1 and W2 of the liquid supply ports 22 and 24
Has a minute width of 1 μm to 500 μm, the solutions L1 and L2 introduced into the mixing flow passage 26 through the liquid supply ports 22 and 24 have opening widths W1 and W, respectively.
While becoming a flaky stratified flow having a width corresponding to 2, flowing toward the outlet port 28 side, at the contact interface of each stratified flow, molecular diffusion occurs along the normal line direction of the solutions L1 and L2. Mixing proceeds. At the same time, in the micromixer 10, the vibrations from the pair of vibration generators 32 are transmitted to the solutions L1, L2, LM in the mixing channel 26 along the diffusion direction, and thus flow in the mixing channel 26. Solution L
Since the movement of the minute fluid masses of L1 and L2 in the diffusion direction and the molecular motion can be increased by the transmission vibration, the movement speed of the molecules in the diffusion direction near the contact interface between the stratified flows formed by the solutions L1 and L2 is increased. The mixing between the solutions L1 and L2 in the mixing flow path 26 and the chemical reaction accompanying the mixing can be efficiently promoted.
【0032】従って、本実施形態に係るマイクロミキサ
ー10によれば、ミキシング流路26に導入される溶液
L1,L2の種類、液温、粘度等に応じ、振動発生器3
2により溶液L1,L2,LMに伝達される振動の周波
数等を適宜制御することで、ミキシング流路26内にお
ける溶液L1,L2間の混合及び混合に伴う化学反応の
進行を精密に制御できるようになる。この結果、溶液L
1,L2間の混合速度及び化学的な反応速度を所望の速
度に精密に制御することが可能になり、特に、溶液L
1,L2間の混合に化学反応が伴う場合には、混合速度
及び反応速度を精密に制御し、又は溶液L1,L2,L
M中の反応生成物にも振動を伝達することで、この反応
生成物の形状、サイズ等の性状や、反応生成物の合一又
は凝集の促進及び抑制等を制御することも可能になる。Therefore, according to the micromixer 10 of this embodiment, the vibration generator 3 can be used depending on the types, the liquid temperature, the viscosity, etc. of the solutions L1 and L2 introduced into the mixing channel 26.
By appropriately controlling the frequency of the vibration transmitted to the solutions L1, L2, and LM by means of 2, it is possible to precisely control the mixing between the solutions L1 and L2 in the mixing channel 26 and the progress of the chemical reaction accompanying the mixing. become. As a result, the solution L
It becomes possible to precisely control the mixing rate between 1 and L2 and the chemical reaction rate to a desired rate.
When a chemical reaction is involved in the mixing between 1 and L2, the mixing rate and reaction rate are precisely controlled, or the solution L1, L2, L
By transmitting the vibration to the reaction product in M as well, it becomes possible to control the properties such as the shape and size of this reaction product, and the promotion and suppression of coalescence or aggregation of the reaction products.
【0033】またマイクロミキサー10では、ミキシン
グ流路26内における溶液L1,L2間の混合及び化学
反応を振動発生器32からの振動により促進できるの
で、振動発生器32が無い場合と比較し、溶液L1,L
2を均一に混合し、又は混合に伴う化学反応を完了させ
るために必要となるミキシング流路26の路長PFを短
縮して装置を小型化できる。Further, in the micromixer 10, since the mixing and the chemical reaction between the solutions L1 and L2 in the mixing channel 26 can be accelerated by the vibration from the vibration generator 32, the solution can be compared with the case without the vibration generator 32. L1, L
The apparatus can be downsized by shortening the path length PF of the mixing flow path 26 required to uniformly mix the two or to complete the chemical reaction accompanying the mixing.
【0034】なお、ミキシング流路26への溶液L1,
L2の供給時に、振動発生器32を常に駆動する必要は
なく、溶液L1,L2間の化学反応を緩慢に行いたい場
合等は、振動発生器32を駆動停止させても良い。また
ミキサー本体12は、化学的な安定性が高く、振動の減
衰が少ないステンレスや、銅、チタニウム合金、アルミ
ニウム合金、金、白金等の金属材料を素材として形成さ
れており、また耐腐食性を考慮して溶液L1,L2,L
Mとの接触部がガラス、セラミックス等の他の物質をコ
ーティング又はメッキするようにしても良い。またミキ
サー本体12を十分に薄肉化できない場合や、振動の減
衰が大きい素材により形成する必要がある場合には、ミ
キサー本体12にミキシング流路26へ面するように開
口部を形成し、この開口部からミキシング流路26内へ
振動部34が挿入されるように振動発生器32を配置し
ても良い。The solution L1 to the mixing channel 26 is
When supplying L2, it is not necessary to constantly drive the vibration generator 32, and when it is desired to slowly perform the chemical reaction between the solutions L1 and L2, the vibration generator 32 may be stopped. The mixer body 12 is made of a metal material such as stainless steel, which has high chemical stability and low vibration damping, and copper, titanium alloy, aluminum alloy, gold, platinum, and the like, and also has corrosion resistance. Considering solution L1, L2, L
The contact portion with M may be coated or plated with another substance such as glass or ceramics. If the mixer main body 12 cannot be made sufficiently thin, or if it is necessary to form the mixer main body 12 from a material having large vibration damping, an opening is formed in the mixer main body 12 so as to face the mixing flow path 26, and the opening is formed. The vibration generator 32 may be arranged so that the vibrating section 34 is inserted into the mixing flow path 26 from the section.
【0035】次に、本発明の第1の実施形態に係るマイ
クロミキサーの変形例について説明する。図2には本発
明の第1の実施形態に係るマイクロミキサーの変形例が
示されている。構造上、図2に示されるマイクロミキサ
ー40が図1に示されるマイクロミキサー10と異なる
点は、流通方向に沿って3個の振動発生器42,44,
46がミキサー本体12に取り付けられ、振動発生器の
個数が増加している点のみであり、他の点についてはマ
イクロミキサー10,40の構造は共通化されている。
また振動発生器42,44,46の構造自体も振動発生
器32と共通化されている。Next, a modification of the micromixer according to the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 shows a modification of the micromixer according to the first embodiment of the present invention. 2 is different from the micromixer 10 shown in FIG. 1 in structure, the three vibration generators 42, 44,
46 is attached to the mixer main body 12, and the number of vibration generators is increasing only. In other respects, the structures of the micromixers 10 and 40 are common.
The structure itself of the vibration generators 42, 44 and 46 is also shared with the vibration generator 32.
【0036】上述したように、ミキサー本体12には、
その上面部及び下面部の下流側にそれぞれ密着するよう
に振動発生器42,44,46が3個ずつ取り付けられ
ている。これら振動発生器42,44,46は流通方向
に沿って互いに隣接しており、その流通方向に沿った長
さがミキシング流路26の長さの略1/3程度とされ、
界面方向に沿った幅がミキシング流路26の開口幅と略
等しくされている。ここで、最上流側に配置された振動
発生器42の上流端はミキシング流路26の上流端と一
致するように配置され、最下流側に配置された振動発生
器46の下流端はミキシング流路26の下流端と略一致
するように配置されている。これにより、上下3個ずつ
の振動発生器42,44,46は、ミキシング流路26
における上面部の全体及び下面部の全体にそれぞれ正対
する。As described above, the mixer body 12 has
Three vibration generators 42, 44, and 46 are attached so that they are in close contact with the upper surface portion and the lower surface portion, respectively. These vibration generators 42, 44, 46 are adjacent to each other along the flow direction, and the length along the flow direction is approximately 1/3 of the length of the mixing flow path 26.
The width along the interface direction is made substantially equal to the opening width of the mixing channel 26. Here, the upstream end of the vibration generator 42 arranged on the most upstream side is arranged so as to coincide with the upstream end of the mixing flow path 26, and the downstream end of the vibration generator 46 arranged on the most downstream side is mixed flow. It is arranged so as to substantially coincide with the downstream end of the passage 26. As a result, the vibration generators 42, 44, and 46, which are three in each of the upper and lower parts, are arranged in the mixing flow path 26.
The entire upper surface portion and the entire lower surface portion in are directly opposed.
【0037】図2(A)に示されるように、マイクロミ
キサー40には、振動発生器42,44,46の駆動を
制御する駆動制御部48が設けられている。この駆動制
御部48は、ミキシング流路26内を溶液L1,L2,
LMが流通する際に、振動発生器42,44,46のオ
ン及びオフ状態、オン時間及びオフ時間の比であるデュ
ーティ比、振動周波数を内部メモリ等に予め設定された
制御条件に従うように制御する。このとき、駆動制御部
48は、流通方向に沿って異なる位置にある振動発生器
42,44,46をそれぞれ異なる制御条件に従って制
御できる。As shown in FIG. 2A, the micromixer 40 is provided with a drive controller 48 for controlling the drive of the vibration generators 42, 44 and 46. The drive control unit 48 causes the solutions L1, L2, and
When the LM flows, the vibration generators 42, 44, and 46 are controlled so that the ON and OFF states, the duty ratio, which is the ratio of the ON time and the OFF time, and the vibration frequency follow the control conditions preset in the internal memory or the like. To do. At this time, the drive control unit 48 can control the vibration generators 42, 44, and 46 at different positions along the flow direction according to different control conditions.
【0038】駆動制御部36に設定される制御条件は、
基本的には図1に示されるマイクロミキサー10と同様
に、溶液L1,L2の種類、すなわち溶液L1,L2の
化学成分、液温、粘度等や、溶液L1,L2間の混合に
化学反応を伴う場合には、反応生物の性質等に応じて異
なるものになり、また溶液L1,L2の供給量の変化、
すなわちミキシング流路26内における溶液L1,L2
の流速によっても異なるものになる。このような制御条
件は、例えば、マイクロミキサー10が配置された製造
ラインのオペレータが操作端末等を用いて設定したり、
製造ライン全体を制御する上位のプロセスコンピュータ
が生産予定等に基づいて自動的に設定する。The control conditions set in the drive control unit 36 are
Basically, similar to the micromixer 10 shown in FIG. 1, the types of the solutions L1 and L2, that is, the chemical components of the solutions L1 and L2, the liquid temperature, the viscosity, etc., and the chemical reaction for mixing between the solutions L1 and L2 In the case of accompanying, it will be different depending on the nature of the reaction organism and the change in the supply amount of the solutions L1 and L2,
That is, the solutions L1 and L2 in the mixing channel 26
It also depends on the flow velocity of. Such control conditions are set, for example, by an operator of a manufacturing line in which the micro mixer 10 is arranged, using an operation terminal,
A high-level process computer that controls the entire manufacturing line automatically sets the production line based on the production schedule.
【0039】上記のように構成されたマイクロミキサー
40では、給液配管38,39を通して給液路16,1
8にそれぞれ加圧状態の溶液L1,L2が供給されるこ
とにより、図1に示されるマイクロミキサー10と同様
に、給液口22,24を通してミキシング流路26内へ
導入される溶液L1,L2は、それぞれ開口幅W1,W
2に対応する幅を有する薄片状の成層流となって出液口
28側へ向って流れつつ、各成層流の接触界面ではその
法線方向に沿って微小な流体塊の移動が促進され、また
分子運動が増大して溶液L1,L2の混合が進行し、こ
れと同時に振動発生器42,44,46からの振動がミ
キシング流路26内の溶液L1,L2,LMに拡散方向
に沿って伝達されるので、ミキシング流路26内におけ
る溶液L1,L2の分子の拡散方向の移動速度を増大さ
せて混合及び混合に伴う化学反応を効率的に促進でき
る。In the micro mixer 40 constructed as described above, the liquid supply passages 16, 1 are supplied through the liquid supply pipes 38, 39.
By supplying the solutions L1 and L2 in a pressurized state to the respective solutions 8, the solutions L1 and L2 introduced into the mixing flow passage 26 through the liquid supply ports 22 and 24 are provided as in the micromixer 10 shown in FIG. Are opening widths W1 and W, respectively
A thin flaky stratified flow having a width corresponding to 2 flows toward the outlet 28 side, and at the contact interface of each stratified flow, movement of a minute fluid mass is promoted along the normal direction, In addition, the molecular motion increases and the mixing of the solutions L1 and L2 progresses, and at the same time, the vibrations from the vibration generators 42, 44 and 46 are applied to the solutions L1, L2 and LM in the mixing channel 26 along the diffusion direction. Since it is transmitted, the moving speed of the molecules of the solutions L1 and L2 in the diffusion direction in the mixing channel 26 can be increased to efficiently promote the mixing and the chemical reaction accompanying the mixing.
【0040】さらに、マイクロミキサー40では、流通
方向に沿ってそれぞれ異なる位置に配置された振動発生
器42,44,46をそれぞれ異なる制御条件で駆動で
きるので、ミキシング流路26内を流通する溶液L1,
L2及び溶液LMに伝達される振動を流通方向に沿って
段階的に変化させることができる。この結果、ミキシン
グ流路26内における溶液L1,L2の混合又は混合に
伴う化学反応を3個の振動発生器42,44,46にそ
れぞれ対応して異なる振動条件で促進できるので、図1
に示されるマイクロミキサー10と比較し、ミキシング
流路26内における溶液L1,L2間の混合及び混合に
伴う化学反応の進行を更に精密に制御できるようにな
る。Further, in the micromixer 40, the vibration generators 42, 44, 46 arranged at different positions along the flow direction can be driven under different control conditions, so that the solution L1 flowing in the mixing flow path 26 can be driven. ,
The vibration transmitted to L2 and the solution LM can be changed stepwise along the flow direction. As a result, the mixing of the solutions L1 and L2 in the mixing channel 26 or the chemical reaction accompanying the mixing can be promoted under different vibration conditions corresponding to the three vibration generators 42, 44 and 46, respectively.
As compared with the micromixer 10 shown in FIG. 1, it becomes possible to control the mixing between the solutions L1 and L2 in the mixing flow path 26 and the progress of the chemical reaction accompanying the mixing more precisely.
【0041】なお、ミキシング流路26への溶液L1,
L2の供給時に、3個の振動発生器42,44,46全
てを同時に駆動する必要はなく、3個の振動発生器4
2,44,46の何れかを選択的に駆動又は駆動停止さ
せるようにしても良い。また本実施形態にマイクロミキ
サー10,40では、ピエゾ素子を振動発生源とする振
動発生器32,42,44,46を用いているが、1K
Hz〜10MHz程度の振動を発生できるものならば、
どのような振動発生源を用いるものでも良く、例えば、
モータにより駆動される偏心カム、電磁式アクチュエー
タ、空気圧力式アクチュエータ等を振動発生源として用
いても良い。また本実施形態に係るマイクロミキサー1
0,40では、ミキシング流路26内へ溶液L1,L
2,LMへ伝達する振動の強度(振動エネルギ)を変化
させるために、振動発生器32,42,44,46によ
り発生する振動の周波数を変化させていたが、振動の振
幅を変化させることにより、振動エネルギを変化させる
ようにしても良い。The solution L1 to the mixing channel 26 is
It is not necessary to drive all the three vibration generators 42, 44, 46 at the same time when supplying L2, and the three vibration generators 4
Any one of 2, 44 and 46 may be selectively driven or stopped. Moreover, in the micromixers 10 and 40 of the present embodiment, the vibration generators 32, 42, 44, and 46 having the piezoelectric element as the vibration source are used.
If it is possible to generate vibration of about 10 Hz to 10 MHz,
Any vibration source may be used, for example,
An eccentric cam driven by a motor, an electromagnetic actuator, a pneumatic actuator, or the like may be used as the vibration source. Further, the micro mixer 1 according to the present embodiment
At 0 and 40, the solution L1 and L
2, the frequency of the vibration generated by the vibration generators 32, 42, 44, 46 was changed in order to change the intensity (vibration energy) of the vibration transmitted to the LM, but by changing the amplitude of the vibration The vibration energy may be changed.
【0042】(第2の実施形態)図3には本発明の第1
の実施形態に係るマイクロミキサーが示されている。こ
のマイクロミキサー110は、第1の実施形態に係るマ
イクロミキサー10,40と同様に、2種類の溶液L
1、L2を同時に混合し、これらの溶液L1、L2が均
一に混合又は、混合に伴う化学反応が完了した溶液LM
を外部へ供給するためのものである。(Second Embodiment) FIG. 3 shows a first embodiment of the present invention.
2 shows a micromixer according to the embodiment. This micromixer 110, like the micromixers 10 and 40 according to the first embodiment, has two types of solutions L.
Solution LM in which 1 and L2 are mixed at the same time and these solutions L1 and L2 are uniformly mixed or the chemical reaction accompanying the mixing is completed.
Is to be supplied to the outside.
【0043】図3に示されるように、マイクロミキサー
110は全体として略円柱状に形成されており、装置の
外殻部を構成する円筒状のミキサー本体112を備えて
いる。ここで、図中における直線Sは装置の軸心を示し
ており、この軸心Sに沿った方向を装置の軸方向として
以下の説明を行う。ミキサー本体112は、その軸方向
に沿った基端部が先端側の部分に対して大径とされた大
径部114とされており、この大径部114内には、外
部から溶液L1及びL2の供給を受ける一対の第1ヘッ
ダ部116及び第2ヘッダ部118が設けられている。
ミキサー本体112は、大径部に対して先端側の部分が
内径一定の円管部120とされており、この円管部12
0の先端面には溶液LMの出液口122が開口し、また
円管部120の先端部には出液口122の外周側に延出
するようにリング状のフランジ部124が設けられてい
る。As shown in FIG. 3, the micromixer 110 is formed in a substantially columnar shape as a whole, and is provided with a cylindrical mixer body 112 that constitutes the outer shell of the apparatus. Here, the straight line S in the drawing indicates the axis of the device, and the following description will be given with the direction along the axis S as the axial direction of the device. The mixer main body 112 has a large-diameter portion 114 whose base end portion along the axial direction has a larger diameter with respect to the tip end side portion. Inside the large-diameter portion 114, the solution L1 and A pair of a first header portion 116 and a second header portion 118 that receives the supply of L2 is provided.
The mixer main body 112 has a circular tube portion 120 having a constant inner diameter on the tip side with respect to the large diameter portion.
A liquid discharge port 122 for the solution LM is opened at the front end surface of 0, and a ring-shaped flange portion 124 is provided at the front end portion of the circular pipe portion 120 so as to extend to the outer peripheral side of the liquid discharge port 122. There is.
【0044】ここで、ミキサー本体112の先端部に
は、フランジ部124と対になるフランジ部を有する出
液配管(図示省略)が連結され、ミキサー本体112の
出液口122から吐出された溶液LMは、出液配管を通
して一時貯留用の貯留容器、溶液LMに対して次の処理
を行うための他のマイクロミキサー等へ送られる。ここ
で、ミキサー本体112のフランジ部124と出液配管
のフランジ部とは、ボルト及びナットを用いたねじ継
手、一対のフランジ部の外周側からリング状の連結部材
を嵌挿するフルェール継手等の各種の継手構造により連
結することができ、また溶接により連結するようにして
も良い。Here, a liquid discharge pipe (not shown) having a flange portion paired with the flange portion 124 is connected to the tip of the mixer main body 112, and the solution discharged from the liquid outlet 122 of the mixer main body 112. The LM is sent to a storage container for temporary storage, another micromixer for performing the next process on the solution LM, and the like through the liquid discharge pipe. Here, the flange portion 124 of the mixer main body 112 and the flange portion of the liquid discharge pipe are, for example, a threaded joint using bolts and nuts, a full-flare joint into which a ring-shaped connecting member is inserted from the outer peripheral side of the pair of flange portions, They can be connected by various joint structures, or may be connected by welding.
【0045】ミキサー本体112における大径部114
の基端面は円板状の蓋板126により閉塞されており、
この蓋板126の中心部には円形の嵌挿穴128が穿設
されている。ミキサー本体112には、その大径部11
4内から円管部120内へ突出するように丸棒状の整流
部材130が同軸的に配設されている。整流部材130
の基端部は蓋板126の嵌挿穴128に嵌挿されて支持
されている。また整流部材130の先端部には先端側へ
向って縮径する円錐部132が形成されている。ここ
で、整流部材130の外径は円管部120の内径よりも
小径とされ、この円管部120の内径との寸法差が円管
部120内における溶液L1,L2の流通量に基づいて
設定される。Large diameter portion 114 of mixer body 112
The base end surface of is closed by a disc-shaped lid plate 126,
A circular fitting hole 128 is formed in the center of the lid plate 126. The mixer body 112 has a large diameter portion 11
A round bar-shaped rectifying member 130 is coaxially arranged so as to project from the inside into the circular pipe portion 120. Rectifying member 130
The base end portion of is fitted and supported in the fitting hole 128 of the cover plate 126. Further, a conical portion 132 whose diameter is reduced toward the tip side is formed at the tip of the flow regulating member 130. Here, the outer diameter of the rectifying member 130 is smaller than the inner diameter of the circular pipe portion 120, and the dimensional difference from the inner diameter of the circular pipe portion 120 is based on the flow rates of the solutions L1 and L2 in the circular pipe portion 120. Is set.
【0046】ミキサー本体112の大径部114内に
は、この大径部114内の空間を軸方向に沿って略2等
分するように区画する円板状の仕切板134が配置され
ており、この仕切板134により区画された基端側及び
先端側の空間は、それぞれ第1ヘッダ部116及び第2
ヘッダ部118とされている。これらのヘッダ部11
6,118には、それぞれ給液配管136,138が接
続されている。これらの給液配管136,138を通し
て、ヘッダ部116,118には、マイクロミキサー1
10の上流側に設置された2個の給液源(図示省略)か
ら加圧状態とされた溶液L1及び溶液L2が供給され
る。これらの給液源は、例えば、溶液L1,L2を生成
する他のマイクロミキサーや、溶液L1,L2を貯えた
貯留タンク及びポンプ等からなる
仕切板134の中心部には、開口径が円管部120の内
径と整流部材130の外径との中間寸法とされた円形の
開口部が穿設されており、仕切板134には、開口部の
周縁部から円管部120内へ突出するパイプ状の隔壁部
材140が一体的に形成されている。この隔壁部材14
0は、円管部120及び整流部材130とそれぞれ同軸
的に配置されており、円管部120と整流部材130と
の間の空間を内周側と外周側とに区画している。ここ
で、隔壁部材140により区画された外周側及び内周側
の空間はそれぞれ第1給液路142及び第2給液路14
4とされ、これらの第1及び第2給液路142,144
は、それぞれ基端部側で第1及び第2ヘッダ部116,
118に連通している。またミキサー本体112の円管
部120内には、隔壁部材140よりも先端側であって
整流部材130の円錐部132よりも基端側に給液路1
42,144に対して肉厚とされた円筒状の空間が形成
され、この円筒状の空間は、給液路142,144から
それぞれ供給された溶液L1と溶液L2との混合又は混
合及び化学反応が行われるミキシング流路146とされ
ている。Inside the large diameter portion 114 of the mixer main body 112, there is arranged a disk-shaped partition plate 134 which divides the space inside the large diameter portion 114 into approximately two equal parts along the axial direction. The space on the base end side and the space on the tip end side divided by the partition plate 134 are respectively the first header portion 116 and the second header portion 116.
It is a header section 118. These header parts 11
Liquid supply pipes 136 and 138 are connected to 6 and 118, respectively. Through the liquid supply pipes 136 and 138, the headers 116 and 118 are connected to the micro mixer 1
Solution L1 and solution L2 in a pressurized state are supplied from two liquid supply sources (not shown) installed on the upstream side of 10. These liquid supply sources are, for example, other micromixers that generate the solutions L1 and L2, a storage tank that stores the solutions L1 and L2, and a partition plate 134 that includes a pump and the like. A circular opening having a middle size between the inner diameter of the portion 120 and the outer diameter of the rectifying member 130 is bored, and the partition plate 134 has a pipe protruding from the peripheral edge of the opening into the circular pipe portion 120. Shaped partition member 140 is integrally formed. This partition member 14
0 is arranged coaxially with the circular pipe portion 120 and the rectifying member 130, and divides the space between the circular pipe portion 120 and the rectifying member 130 into an inner peripheral side and an outer peripheral side. Here, the space on the outer peripheral side and the space on the inner peripheral side divided by the partition member 140 are respectively the first liquid supply passage 142 and the second liquid supply passage 14.
4 and these first and second liquid supply paths 142, 144
Are the first and second header portions 116, 116 on the base end side, respectively.
It communicates with 118. Further, in the circular pipe portion 120 of the mixer main body 112, the liquid supply passage 1 is provided on the tip side of the partition wall member 140 and on the base end side of the conical portion 132 of the flow regulating member 130.
42 and 144, a thick cylindrical space is formed, and this cylindrical space mixes or mixes and chemically reacts the solution L1 and the solution L2 supplied from the liquid supply paths 142 and 144, respectively. Is used as the mixing flow path 146.
【0047】ミキサー本体112内には、円管部120
の内周面と隔壁部材140の外周面との間に複数個(本
実施形態では4個)のスペーサ148が介装されると共
に、隔壁部材140の内周面と整流部材130の外周面
との間にも複数個(本実施形態では4個)のスペーサ1
50が介装されている。これら複数個のスペーサ14
8,150はそれぞれ矩形プレート状に形成され、その
表裏面部が円管部120内における溶液L1,L2の流
通方向(矢印F方向)と平行となるように支持されてい
る。また複数個のスペーサ148,150は、それぞれ
軸心Sを中心とする周方向に沿って90°間隔で配置さ
れ、周方向における位置が互いに一致している。ここ
で、外周側のスペーサ148は隔壁部材140を円管部
120に連結し、内周側のスペーサ150は整流部材1
30を隔壁部材140に連結すると共に、給液路14
2,144の径方向に沿った開口幅W1,W2(図3
(A)参照)を設定している。これにより、隔壁部材1
40及び整流部材130がそれぞれ十分な強度で円管部
120に連結固定され、溶液L1,L2の液圧や重力の
影響により所定の位置から変移したり、変形することが
防止されると共に、開口幅W1,W2が予め設定された
寸法に確実に維持される。Inside the mixer main body 112, a circular pipe portion 120 is provided.
A plurality of (four in the present embodiment) spacers 148 are interposed between the inner peripheral surface of the partition member 140 and the outer peripheral surface of the partition member 140, and the inner peripheral surface of the partition member 140 and the outer peripheral surface of the rectifying member 130. A plurality of (four in the present embodiment) spacers 1 are also provided between the spacers 1.
50 is installed. These plural spacers 14
8 and 150 are each formed in a rectangular plate shape, and are supported so that the front and back surfaces thereof are parallel to the circulation direction (direction of arrow F) of the solutions L1 and L2 in the circular tube portion 120. Further, the plurality of spacers 148 and 150 are arranged at intervals of 90 ° along the circumferential direction with the axis S as the center, and the positions in the circumferential direction coincide with each other. Here, the spacer 148 on the outer peripheral side connects the partition member 140 to the circular tube portion 120, and the spacer 150 on the inner peripheral side is the rectifying member 1.
30 is connected to the partition member 140, and the liquid supply passage 14
2, 144 radial opening widths W1, W2 (see FIG.
(See (A)) is set. Thereby, the partition member 1
40 and the rectifying member 130 are connected and fixed to the circular tube portion 120 with sufficient strength, respectively, and are prevented from being displaced or deformed from a predetermined position due to the influence of the liquid pressure or gravity of the solutions L1 and L2, and the opening. The widths W1 and W2 are reliably maintained at the preset dimensions.
【0048】図3(B)に示されるように、第1給液路
142及び第2給液路144の先端部には、それぞれミ
キシング流路146内へ開口する第1給液口152及び
第2給液口154が形成されている。これらの給液口1
52,154は、それぞれ軸心Sを中心とする円軌跡に
沿って開口し、互いに同心状となるように配設されてい
る。ここで、第1給液口152の径方向に沿った開口幅
W1は、1μm以上で500μm以下の範囲で、第1ヘ
ッダ部116への溶液L1の供給量、種類等に応じて適
宜設定される。また第2給液口154の径方向に沿った
開口幅W2も、1μm以上で500μm以下の範囲で、
第2ヘッダ部118への溶液L2の供給量、種類等に応
じて適宜設定される。As shown in FIG. 3B, the first liquid supply passages 142 and the first liquid supply passages 142 and the first liquid supply passages 152 opening into the mixing flow passage 146 are provided at the tips of the first liquid supply passage 142 and the second liquid supply passage 144, respectively. Two liquid supply ports 154 are formed. These liquid supply ports 1
52 and 154 are arranged so as to be concentric with each other, each opening along a circular locus about the axis S. Here, the opening width W1 along the radial direction of the first liquid supply port 152 is appropriately set in the range of 1 μm or more and 500 μm or less according to the supply amount, type, etc. of the solution L1 to the first header portion 116. It Further, the opening width W2 along the radial direction of the second liquid supply port 154 is also in the range of 1 μm or more and 500 μm or less,
It is appropriately set according to the supply amount, type, etc. of the solution L2 to the second header portion 118.
【0049】ここで、開口幅W1,W2は、それぞれ給
液口152,154の開口面積を規定し、この給液口1
52,154の開口面積と溶液L1,L2の供給量に応
じて、給液口152,154を通してミキシング流路1
46内へ導入される溶液L1,L2の初期流速が定ま
る。これらの開口幅W1,W2は、例えば、給液口15
2,154を通してミキシング流路146内へ供給され
る溶液L1,L2の流速が互いに等しくなるように設定
される。但し、溶液L1,L2が均一に混合するまでの
時間(混合時間)の短縮を考えた場合には、当然、開口
幅W1,W2は狭いほど有利となり、また隔壁部材14
0の径方向に沿った厚さも可能な限り薄くすることが望
まれる。Here, the opening widths W1 and W2 define the opening areas of the liquid supply ports 152 and 154, respectively.
Depending on the opening areas of 52 and 154 and the supply amounts of the solutions L1 and L2, the mixing flow path 1 is passed through the liquid supply ports 152 and 154.
The initial flow rates of the solutions L1 and L2 introduced into 46 are determined. These opening widths W1 and W2 are, for example, the liquid supply port 15
The flow rates of the solutions L1 and L2 supplied into the mixing flow path 146 through Nos. 2 and 154 are set to be equal to each other. However, in consideration of shortening the time until the solutions L1 and L2 are uniformly mixed (mixing time), naturally, the narrower the opening widths W1 and W2 are, the more advantageous, and the partition member 14 is.
The thickness along the radial direction of 0 is also desired to be as thin as possible.
【0050】円管部120内におけるミキシング流路1
46よりも先端側の空間は、ミキシング流路146内で
溶液L1,L2の混合が行われ、又は混合及び化学反応
が行われた溶液LMが出液口122へ向って流れる出液
路156とされている。ここで、溶液LMが溶液L1,
L2の混合のみにより生成される場合には、ミキシング
流路146の出口部で溶液L1,L2が略均一に混合さ
れている必要があり、また溶液LMが溶液L1,L2の
混合及び化学反応により生成される場合には、ミキシン
グ流路146の出口部で溶液L1,L2が略均一に混合
され、しかも溶液L1,L2間の化学反応も略完全に完
了している必要がある。従って、ミキシング流路146
の溶液L1,L2の流通方向に沿った路長PF(図3
(A)参照)は、溶液L1,L2の混合が完了し、又は
混合及び化学反応が略完了するような長さに設定する必
要がある。なお、ミキサー本体112内には、常に、溶
液L1,L2及びこれらが混合された溶液LMが隙間な
く充填され、ヘッダ部116,118から出液口122
側へ流通しているものとする。Mixing channel 1 in the circular pipe section 120
In the space closer to the tip than 46, the solutions L1 and L2 are mixed in the mixing channel 146, or the solution LM in which the mixing and the chemical reaction have been performed flows toward the solution outlet 122 and a discharge channel 156. Has been done. Here, the solution LM is the solution L1,
In the case where it is generated only by mixing L2, the solutions L1 and L2 need to be substantially uniformly mixed at the outlet of the mixing channel 146, and the solution LM is mixed by the chemical reaction of the solutions L1 and L2. When it is generated, it is necessary that the solutions L1 and L2 are mixed substantially uniformly at the outlet of the mixing flow path 146, and the chemical reaction between the solutions L1 and L2 is almost completely completed. Therefore, the mixing channel 146
Path length PF along the flow direction of the solutions L1 and L2 of FIG.
(See (A)) needs to be set to a length such that the mixing of the solutions L1 and L2 is completed, or the mixing and the chemical reaction are substantially completed. It should be noted that the mixer main body 112 is always filled with the solutions L1 and L2 and the solution LM in which these are mixed without any gaps, and the header portions 116 and 118 are provided with a liquid outlet 122.
It is supposed to be distributed to the side.
【0051】図3(A)に示されるように、ミキサー本
体112の円管部120には、ミキシング流路146に
面するように複数の開口部158が穿設されている。こ
れらの開口部158は、流通方向へはミキシング流路1
46の上流部、中間部及び下流部にそれぞれ対応する部
位に穿設され、また軸心Sを中心とする周方向へは90
°間隔で配置されている。従って、円管部120には、
ミキシング流路146の上流部、中間部及び下流部にそ
れぞれ対応する部位に4個ずつ開口部158が穿設さ
れ、合計で12個の開口部158が設けられている。ま
た円管部120の外周面上には、複数個のマイクロ波発
生器160が開口部158にそれぞれ対応するように取
り付けられている。これらのマイクロ波発生器160に
は、その内周側に円柱突起状の嵌挿部162が設けられ
ており、マイクロ波発生器160は、嵌挿部162を開
口部158内へ嵌挿し、嵌挿部162の先端面をミキシ
ング流路146内へ露出させている。As shown in FIG. 3A, a plurality of openings 158 are formed in the circular tube portion 120 of the mixer body 112 so as to face the mixing flow passage 146. These openings 158 are provided in the mixing channel 1 in the flow direction.
The holes are formed at the portions corresponding to the upstream portion, the intermediate portion, and the downstream portion of 46, respectively, and 90 in the circumferential direction around the axis S.
° Spaced. Therefore, in the circular tube portion 120,
Four openings 158 are bored in the regions corresponding to the upstream portion, the intermediate portion, and the downstream portion of the mixing channel 146, and a total of 12 openings 158 are provided. A plurality of microwave generators 160 are attached to the outer peripheral surface of the circular tube portion 120 so as to correspond to the openings 158, respectively. The microwave generator 160 is provided with a cylindrical projection-like fitting insertion portion 162 on the inner peripheral side thereof, and the microwave generator 160 fits the fitting insertion portion 162 into the opening 158 to fit it. The tip surface of the insertion portion 162 is exposed inside the mixing flow path 146.
【0052】マイクロ波発生器160は、駆動時に嵌挿
部162の先端面からマイクロ波をミキシング流路14
6内の溶液L1,L2,LMへ照射する。このとき、マ
イクロ波発生器160からのマイクロ波は、図3の破線
で示されるように、溶液L1,L2の拡散方向と一致す
る径方向に沿って溶液L1,L2及び溶液LMに照射さ
れる。このマイクロ波により溶液L1,L2,LMの分
子運動が拡散方向に沿って増大するので、溶液L1,L
2間の混合又は混合に伴う化学反応が促進される。The microwave generator 160 mixes microwaves from the tip surface of the fitting portion 162 during driving.
The solutions L1, L2 and LM in 6 are irradiated. At this time, the microwaves from the microwave generator 160 are applied to the solutions L1, L2 and the solution LM along the radial direction that coincides with the diffusion direction of the solutions L1, L2, as shown by the broken line in FIG. . This microwave increases the molecular motion of the solutions L1, L2, LM along the diffusion direction, so that the solutions L1, L2
The mixing or the chemical reaction associated with the mixing is promoted.
【0053】マイクロ波発生器160は、例えば、マイ
クロ波の発生源としてマグネトロンを用いており、この
マグネトロンへの駆動電流の供給により電流値に対応す
る強度のマイクロ波を発生する。このとき、マイクロ波
発生器160が発生するマイクロ波としては、周波数が
10MHz以上のものが選択される。具体的には、マイ
クロ波の周波数は、ミキシング流路146内を流通する
溶液L1,L2,LMに過度の発熱現象を発生させるこ
となく、溶液L1,L2,LMの分子運動を効率的に増
加できる周波数が選択される。The microwave generator 160 uses, for example, a magnetron as a microwave generation source, and supplies a drive current to the magnetron to generate a microwave having an intensity corresponding to the current value. At this time, a microwave having a frequency of 10 MHz or higher is selected as the microwave generated by the microwave generator 160. Specifically, the microwave frequency effectively increases the molecular motion of the solutions L1, L2, LM without causing an excessive heat generation phenomenon in the solutions L1, L2, LM flowing in the mixing channel 146. Frequency is selected.
【0054】図3(A)に示されるように、マイクロミ
キサー110には、マイクロ波発生器160の駆動を制
御する駆動制御部164が設けられている。この駆動制
御部164は、ミキシング流路146内を溶液L1,L
2,LMが流通する際に、マイクロ波発生器160のオ
ン/オフ状態、マイクロ波の強度を内部メモリ等に予め
設定された制御条件に従うように制御する。この制御条
件は、基本的には、溶液L1,L2の種類、すなわち溶
液L1,L2の化学成分、液温、粘度等や、溶液L1,
L2間の混合に化学反応を伴う場合には、反応生成物の
性質等に応じて異なるものになり、また溶液L1,L2
の供給量の変化、すなわちミキシング流路146内にお
ける溶液L1,L2の流速によっても異なるものにな
る。このような制御条件は、例えば、マイクロミキサー
110が配置された製造ラインのオペレータが操作端末
等を用いて設定したり、製造ライン全体を制御する上位
のプロセスコンピュータが生産予定等に基づいて自動的
に設定する。また駆動制御部164は、流通方向に沿っ
て異なる位置にあるマイクロ波発生器160をそれぞれ
異なる制御条件に従って制御できる。As shown in FIG. 3A, the micromixer 110 is provided with a drive controller 164 for controlling the drive of the microwave generator 160. The drive control unit 164 allows the solutions L1 and L to flow through the mixing channel 146.
2. When the LM flows, the on / off state of the microwave generator 160 and the microwave intensity are controlled so as to comply with the control conditions preset in the internal memory or the like. The control conditions are basically the types of the solutions L1 and L2, that is, the chemical components of the solutions L1 and L2, the liquid temperature, the viscosity, the solution L1, and the like.
When a chemical reaction is involved in the mixing between L2, it varies depending on the properties of the reaction product, and the solution L1, L2
Of the solution L1, that is, the flow rate of the solutions L1 and L2 in the mixing channel 146. Such control conditions are set, for example, by an operator of the manufacturing line in which the micro mixer 110 is arranged, using an operation terminal or the like, or a higher-level process computer that controls the entire manufacturing line automatically sets based on a production schedule or the like. Set to. Further, the drive control unit 164 can control the microwave generators 160 at different positions along the flow direction according to different control conditions.
【0055】上記のように構成された本実施形態に係る
マイクロミキサー110では、第1の実施形態に係るマ
イクロミキサー10,40と同様に、給液口152,1
54を通してそれぞれミキシング流路146内へ導入さ
れる2種類の溶液L1,L2が給液口152,154の
開口幅W1,W2にそれぞれ対応する薄片状の層流とな
ってミキシング流路146内を流通すると共に、互いに
隣接する層流間の界面で各溶液L1,L2の分子が相互
に拡散するので、ミキシング流路146内へ導入された
2種類の溶液L1,L2を短時間で均一に混合し、又は
混合に伴う化学反応を完了させ、溶液LMを外部へ供給
できる。このとき、マイクロ波発生器160からのマイ
クロ波がミキシング流路146内の溶液L1,L2,L
Mに照射されるので、ミキシング流路146内における
溶液L1,L2の分子の拡散速度を増大させて混合及び
混合に伴う化学反応を効率的に促進できる。In the micromixer 110 according to the present embodiment configured as described above, as in the case of the micromixers 10 and 40 according to the first embodiment, the liquid supply ports 152, 1 are provided.
The two kinds of solutions L1 and L2 introduced into the mixing flow passage 146 through 54 respectively form a flaky laminar flow corresponding to the opening widths W1 and W2 of the liquid supply ports 152 and 154, respectively. As the molecules of the solutions L1 and L2 are diffused at the interface between the laminar flows that are adjacent to each other while flowing, the two types of solutions L1 and L2 introduced into the mixing channel 146 are uniformly mixed in a short time. Or complete the chemical reaction associated with mixing and supply the solution LM to the outside. At this time, the microwaves from the microwave generator 160 generate the solutions L1, L2, L in the mixing channel 146.
Since M is irradiated, the diffusion rate of the molecules of the solutions L1 and L2 in the mixing channel 146 can be increased to efficiently promote the mixing and the chemical reaction accompanying the mixing.
【0056】さらに、マイクロミキサー110では、流
通方向に沿ってそれぞれ異なる位置に配置されたマイク
ロ波発生器160をそれぞれ異なる制御条件で駆動でき
るので、ミキシング流路146内を流通する溶液L1,
L2及び溶液LMに照射されるマイクロ波を流通方向に
沿って段階的に変化させることができる。この結果、ミ
キシング流路146内における溶液L1,L2の混合又
は混合に伴う化学反応をそれぞれ異なる位置にあるマイ
クロ波発生器160にそれぞれ対応して異なる振動条件
で促進できるので、ミキシング流路146内における溶
液L1,L2間の混合及び混合に伴う化学反応の進行を
精密に制御できるようになる。このとき、マイクロ波
は、振動と比較して指向性が強いので、流通方向に沿っ
て、ある位置にあるマイクロ波発生器160に対応する
領域に存在する溶液L1,L2,LMが他の位置にある
マイクロ波発生器160からのマイクロ波の影響を受け
ることを抑制できる。この結果、第1の実施形態に係る
マイクロミキサー10、40と比較して、ミキシング流
路146内における溶液L1,L2,LMの混合及び混
合に伴う化学反応の進行を更に精密に制御できるように
なる。Further, in the micromixer 110, the microwave generators 160 arranged at different positions along the flow direction can be driven under different control conditions, so that the solution L1 flowing in the mixing flow channel 146 can be driven.
The microwaves applied to L2 and the solution LM can be changed stepwise along the flow direction. As a result, the mixing of the solutions L1 and L2 in the mixing channel 146 or the chemical reaction accompanying the mixing can be promoted under different vibration conditions corresponding to the microwave generators 160 at different positions. It becomes possible to precisely control the mixing of the solutions L1 and L2 and the progress of the chemical reaction accompanying the mixing. At this time, since the microwave has a stronger directivity than the vibration, the solutions L1, L2, and LM existing in the region corresponding to the microwave generator 160 at a certain position along the flow direction are located at other positions. It is possible to suppress the influence of the microwave from the microwave generator 160 in the above. As a result, as compared with the micromixers 10 and 40 according to the first embodiment, the mixing of the solutions L1, L2, and LM in the mixing channel 146 and the progress of the chemical reaction accompanying the mixing can be controlled more precisely. Become.
【0057】なお、以上説明した本発明の実施形態に係
るマイクロミキサー10,40,110は、2種類の溶
液L1,L2をミキシング流路26,146内で混合又
は、混合と共に化学反応させるものであったが、3種類
以上の溶液をミキシング流路内で混合又は、混合と共に
化学反応させるマイクロミキサーにおいても、ミキシン
グ流路内を流通する3種類以上の溶液に振動又はマイク
ロ波を作用させることで、溶液の混合及び化学反応を促
進できると共に、振動発生器又はマイクロ波発生器を適
宜制御することで、ミキシング流路内における溶液の混
合又は化学反応の進行を精密に制御できるようになる。The micromixers 10, 40, 110 according to the embodiments of the present invention described above are for mixing two types of solutions L1, L2 in the mixing channels 26, 146, or for chemically reacting with the mixing. However, even in a micromixer in which three or more kinds of solutions are mixed in a mixing channel or chemically reacted with mixing, by applying vibration or microwave to three or more kinds of solutions flowing in the mixing channel. The solution mixing and the chemical reaction can be promoted, and the mixing of the solution or the progress of the chemical reaction in the mixing channel can be precisely controlled by appropriately controlling the vibration generator or the microwave generator.
【0058】[0058]
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るマイク
ロミキサーによれば、複数の供給口を通してミキシング
流路内に導入された流体の混合及び化学反応を効果的に
促進でき、かつミキシング流路内における流体の混合及
び化学反応の進行を十分に高い精度で制御できる。As described above, according to the micromixer of the present invention, it is possible to effectively promote the mixing and chemical reaction of the fluids introduced into the mixing channel through the plurality of supply ports, and the mixing channel. It is possible to control the mixing of fluids and the progress of chemical reaction in the interior with sufficiently high accuracy.
【図1】 本発明の第1の実施形態に係るマイクロミキ
サーの一例についての構成を示す軸方向及び軸直角方向
に沿った断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view taken along an axial direction and an axis-perpendicular direction showing a configuration of an example of a micromixer according to a first exemplary embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の第1の実施形態に係るマイクロミキ
サーの変形例についての構成を示す軸方向及び軸直角方
向に沿った断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the axial direction and the direction perpendicular to the axis, showing the configuration of a modified example of the micromixer according to the first embodiment of the present invention.
【図3】 本発明の第2の実施形態に係るマイクロミキ
サーについての構成を示す軸方向及び軸直角方向に沿っ
た断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration of a micromixer according to a second embodiment of the present invention, taken along the axial direction and the direction perpendicular to the axis.
10 マイクロミキサー 12 ミキサー本体 16 第1給液路(流体供給路) 18 第2給液路(流体供給路) 22 第1給液口(供給口) 24 第2給液口(供給口) 26 ミキシング流路 32 振動発生器(拡散制御手段) 36 駆動制御部(拡散制御手段) 40 マイクロミキサー 42 振動発生器(拡散制御手段) 44 振動発生器(拡散制御手段) 46 振動発生器(拡散制御手段) 48 駆動制御部(拡散制御手段) 110 マイクロミキサー 142 第1給液路(流体供給路) 144 第2給液路(流体供給路) 146 ミキシング流路 152 第1給液口(供給口) 154 第2給液口(供給口) 160 マイクロ波発生器(拡散制御手段) 164 駆動制御部(拡散制御手段) 10 Micro mixer 12 Mixer body 16 First liquid supply path (fluid supply path) 18 Second liquid supply path (fluid supply path) 22 1st liquid supply port (supply port) 24 Second liquid supply port (supply port) 26 mixing channels 32 Vibration generator (diffusion control means) 36 Drive control unit (diffusion control means) 40 micro mixer 42 Vibration generator (diffusion control means) 44 Vibration generator (diffusion control means) 46 Vibration generator (diffusion control means) 48 Drive control unit (diffusion control means) 110 micro mixer 142 First liquid supply path (fluid supply path) 144 Second liquid supply path (fluid supply path) 146 mixing channel 152 First liquid supply port (supply port) 154 Second liquid supply port (supply port) 160 Microwave generator (diffusion control means) 164 Drive control unit (diffusion control means)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白石 文子 神奈川県南足柄市中沼210番地 富士写真 フイルム株式会社内 Fターム(参考) 4G035 AB36 AE02 AE19 4G036 AB23 4G075 AA02 AA39 BA10 BB05 BB10 BD01 CA26 DA02 DA18 EB21 EB27 EE01 EE04 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Fumiko Shiraishi Fuji Photo, 210 Nakanuma, Minamiashigara City, Kanagawa Prefecture Within Film Co., Ltd. F-term (reference) 4G035 AB36 AE02 AE19 4G036 AB23 4G075 AA02 AA39 BA10 BB05 BB10 BD01 CA26 DA02 DA18 EB21 EB27 EE01 EE04
Claims (3)
本のミキシング流路内へ導入し、これらの流体を薄片状
の層流として流通させつつ、流体同士をその接触界面の
法線方向へ拡散し、混合するマイクロミキサーであっ
て、 外部から供給された流体が一端部から他端部へ向ってそ
れぞれ流通する複数の流体供給路と、 前記複数の流体供給路の他端部にそれぞれ開口し、前記
流体供給路内における流体の流通方向と直交する所定の
拡散方向に沿って互いに隣接するように配設された複数
の供給口と、 一端部が前記複数の供給口に接続され、該複数の供給口
を通して導入された流体を他端部から吐出するミキシン
グ流路と、 前記ミキシング流路内を流通する流体に振動を前記拡散
方向に沿って伝達する拡散制御手段とを有し、 前記複数の供給口の前記拡散方向に沿った開口幅を1μ
m以上で500μm以下としたことを特徴とするマイクロ
ミキサー。1. A fluid is supplied through a plurality of supply ports, one for each.
It is a micromixer that is introduced into the mixing flow path of a book and diffuses the fluids in the normal direction of the contact interface and mixes them while circulating these fluids as a flaky laminar flow. A plurality of fluid supply passages through which the fluid flows from one end to the other end, respectively, and openings at the other end portions of the plurality of fluid supply passages, respectively, and are orthogonal to the flow direction of the fluid in the fluid supply passage. A plurality of supply ports arranged so as to be adjacent to each other along a predetermined diffusion direction, one end of which is connected to the plurality of supply ports, and the fluid introduced through the plurality of supply ports is discharged from the other end And a diffusion control means for transmitting vibration to the fluid flowing in the mixing channel along the diffusion direction, and the opening width of the plurality of supply ports along the diffusion direction is 1 μm.
A micromixer characterized in that it is not less than m and not more than 500 μm.
本のミキシング流路内へ導入し、これらの流体を薄片状
の層流として流通させつつ、流体同士をその接触界面の
法線方向へ拡散し、混合するマイクロミキサーであっ
て、 外部から供給された流体が一端部から他端部へ向ってそ
れぞれ流通する複数の流体供給路と、 前記複数の流体供給路の他端部にそれぞれ開口し、前記
流体供給路内における流体の流通方向と直交する所定の
拡散方向に沿って互いに隣接するように配設された複数
の供給口と、 一端部が前記複数の供給口に接続され、該複数の供給口
を通して導入された流体を他端部から吐出するミキシン
グ流路と、 前記ミキシング流路内を流通する流体に前記拡散方向に
沿ってマイクロ波を照射する拡散制御手段とを有し、 前記複数の供給口の前記拡散方向に沿った開口幅を1μ
m以上で500μm以下としたことを特徴とするマイクロ
ミキサー。2. A fluid is supplied through a plurality of supply ports, one for each.
It is a micromixer that is introduced into the mixing flow path of a book and diffuses the fluids in the normal direction of the contact interface and mixes them while circulating these fluids as a flaky laminar flow. A plurality of fluid supply passages through which the fluid flows from one end to the other end, respectively, and openings at the other end portions of the plurality of fluid supply passages, respectively, and are orthogonal to the flow direction of the fluid in the fluid supply passage. A plurality of supply ports arranged so as to be adjacent to each other along a predetermined diffusion direction, one end of which is connected to the plurality of supply ports, and the fluid introduced through the plurality of supply ports is discharged from the other end And a diffusion control means for irradiating the fluid flowing in the mixing channel with microwaves along the diffusion direction, and the opening width of the plurality of supply ports along the diffusion direction. 1μ
A micromixer characterized in that it is not less than m and not more than 500 μm.
御手段を設け、該複数の拡散制御手段をそれぞれ独立し
て駆動及び制御可能としたことを特徴とする請求項1又
は2記載のマイクロミキサー。3. The micro according to claim 1, wherein a plurality of the diffusion control means are provided along the flow direction, and the plurality of diffusion control means can be independently driven and controlled. mixer.
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