JP2003209231A5 - 固体撮像装置および撮像システム - Google Patents
固体撮像装置および撮像システム Download PDFInfo
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【0011】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明に係る固体撮像装置は、受光部と、マイクロレンズとを少なくとも有し、前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成された固体撮像装置において、前記受光部の光入射側に設けられる平坦化層に、屈折率が拡がって変化する屈折率分布を前記受光部に対応させて形成することによって前記マイクロレンズが形成されていることを特徴とする。
また、本発明は、受光部と、マイクロレンズとを少なくとも有する固体撮像装置において、前記マイクロレンズは、前記受光部の光入射側に設けられた屈折率分布を有する樹脂層よりなることを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明に係る固体撮像装置は、受光部と、マイクロレンズとを少なくとも有し、前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成された固体撮像装置において、前記受光部の光入射側に設けられる平坦化層に、屈折率が拡がって変化する屈折率分布を前記受光部に対応させて形成することによって前記マイクロレンズが形成されていることを特徴とする。
また、本発明は、受光部と、マイクロレンズとを少なくとも有する固体撮像装置において、前記マイクロレンズは、前記受光部の光入射側に設けられた屈折率分布を有する樹脂層よりなることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置は、受光部と、該受光部上に設けられた平坦化層と、マイクロレンズとを少なくとも有し、前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成された固体撮像装置において、前記平坦化層に屈折率が拡がって変化する屈折率分布を形成することによって前記マイクロレンズが形成されていることを特徴とする。
また、本発明は、前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成されたことを特徴とする。
また、本発明は、前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成されたことを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置は、受光部と、該受光部上に設けられたカラーフィルターと、マイクロレンズとを少なくとも有し、前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成された固体撮像装置において、前記カラーフィルターに屈折率が拡がって変化する屈折率分布を形成することによって前記マイクロレンズが形成されていることを特徴とする。
また、本発明は、受光部と、該受光部の光入射側に設けられたカラーフィルターと、マイクロレンズとを少なくとも有する固体撮像装置において、前記マイクロレンズは、屈折率分布を有する前記カラーフィルターよりなることを特徴とする。
また、本発明は、受光部と、該受光部の光入射側に設けられたカラーフィルターと、マイクロレンズとを少なくとも有する固体撮像装置において、前記マイクロレンズは、屈折率分布を有する前記カラーフィルターよりなることを特徴とする。
Claims (9)
- 受光部と、マイクロレンズとを少なくとも有する固体撮像装置において、
前記マイクロレンズは、前記受光部の光入射側に設けられた屈折率分布を有する樹脂層よりなることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 受光部と、該受光部の光入射側に設けられたカラーフィルターと、マイクロレンズとを少なくとも有する固体撮像装置において、
前記マイクロレンズは、屈折率分布を有する前記カラーフィルターよりなることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記樹脂は平坦化層であり、該平坦化層はカラーフィルター上に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記樹脂層または前記カラーフィルターの表面には反射防止膜が形成されていることを特徴とする請求項1または3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記反射防止膜は有機材料であることを特徴とする請求項5記載の固体撮像装置。
- 前記反射防止膜は塗布法によって形成されることを特徴とする請求項5または6記載の固体撮像装置。
- 前記塗布法はディッピング法であることを特徴とする請求項7記載の固体撮像装置。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、前記固体撮像装置へ光を結像する光学系と、前記固体撮像装置からの出力信号を処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。
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JP2002004891A JP4136374B2 (ja) | 2002-01-11 | 2002-01-11 | 固体撮像装置および撮像システム |
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JP2002004891A JP4136374B2 (ja) | 2002-01-11 | 2002-01-11 | 固体撮像装置および撮像システム |
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JP2003209231A5 true JP2003209231A5 (ja) | 2005-06-16 |
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