JP2003207720A - 分析用試料観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 撮像装置の位置や性能、あるいは試料の形状
に関わらず良質な画質の画像を取得する。 【解決手段】 分析用試料観察装置１は、試料画像を取
得する画像取得手段２と、試料上の同一位置における現
時点の現取得画像Ａと既に取得して保存しておいた保存
画像Ｂとを比較し、比較結果に基づいて保存する画像を
選択する画像比較手段３と、この画像比較手段３で選択
した画像を保存する画像保存手段４とを備える。画像比
較手段３は、現取得画像Ａと保存画像Ｂについてフォー
カス等の画質を比較し、画質が良質な画像を選択し画像
保存手段４に保存する。この比較と保存の動作を画像取
得手段２が画像を取得する度に繰り返すことによって、
画像保存手段４に画質が良質な画像のみを保存する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、分析用試料観察装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＥＰＭＡやＸ線分析装置等の分析装置
は、試料上の分析位置の設定等のために試料表面を光学
的に観察する試料観察装置を備える。試料観察装置は、
通常ステージを見渡せる位置にＣＣＤカメラなどの撮像
装置を取り付け、この撮像手段によって試料表面の画像
を取得し、取得した試料画像を表示装置に表示する。

【０００３】ＣＣＤカメラによる試料の画像取得におい
て、試料上の観察位置がＣＣＤカメラの視野内となるよ
うにステージを移動した後、ＣＣＤカメラのフォーカス
を合わせる操作を行った後、画像取得のボタンを押し下
げる操作を行うことで画像を取得している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ＣＣＤカメラは、その
取り付け位置や性能、あるいはステージの取り付け精度
等の試料観察装置側の条件や、試料の形状等の試料側の
条件等によって、カメラの視野範囲中において場所によ
ってフォーカスの精度にばらつきが生じるなど、得られ
る画像の画質にばらつきが生じる。

【０００５】例えば、通常、ＣＣＤカメラは、ステージ
に対して垂直となる位置に取り付けることによって良好
な画像取得が期待される。しかしながら、一般に、試料
観察装置はＥＰＭＡやＸ線分析装置等の種々の分析装置
に併設されて用いられるため、ＣＣＤカメラ等の撮像装
置は、分析装置が備えるＸ線源や電子線源などのプロー
ブ装置や、Ｘ線検出器や電子検出器などの検出装置等の
測定機器と干渉しない位置に配置する必要がある。その
ため、ＣＣＤカメラは、図８に示すように、ステージに
対して垂直な位置に取り付けることができず、斜めの方
向から試料を撮像することになる。

【０００６】図８において、符号ＤはＣＣＤカメラ２ａ
による試料Ｓ上の視野を示している。ＣＣＤカメラ２ａ
は試料Ｓに対して斜めの方向から撮像するため、視野Ｄ
内に位置によってＣＣＤカメラ２ａからの距離が異な
り、視野Ｄ全体でフォーカスを合わせることができな
い。例えば、視野Ｄの中央部分Ｄcでフォーカスが合っ
ていても、その周辺部分Ｄoではフォーカスが合わない
場合がある。ステージの取り付け角度によっても同様に
フォーカスのずれが生じるおそれがある。特に、ＣＣＤ
カメラとステージとの距離が長い場合には、視野Ｄ内で
のフォーカスのずれが大きくなる。

【０００７】また、ＣＣＤカメラの被写体深度に対して
試料の起伏が大きい場合においても、試料表面の高い位
置と低い位置の両位置で同時にフォーカスを合わせるこ
とは困難である。したがって、ＣＣＤカメラで取得した
複数の画像をつなぎ合わせて広範囲の観察画像を得る場
合、フォーカスが合っている画像部分とフォーカスが合
っていない画像部分とが混在することになる。

【０００８】上記フォーカスの他、複数の画像を取得し
た場合、試料観察装置側の条件や、試料の形状等の試料
側の条件によって明度やコントラスト等画質にばらつき
が生じ、良好な画質で試料を観察することができないと
いう問題がある。そこで、本発明は前記した従来の問題
点を解決し、撮像装置の位置や性能、あるいは試料の形
状に関わらず良質な画質の画像を取得することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、取得した画像
と既に保存してある画像との画質を比較し、良質な画質
の画像を保存することによって、複数の画像の中から良
質な画質の画像のみを取得する。

【００１０】図１は本発明の分析用試料観察装置の機能
を説明するためのブロック図である。本発明の分析用試
料観察装置１は、試料画像を取得する画像取得手段２
と、試料上の同一位置における現時点の現取得画像Ａと
既に取得して保存しておいた保存画像Ｂとを比較し、比
較結果に基づいて保存する画像を選択する画像比較手段
３と、この画像比較手段３で選択した画像を保存する画
像保存手段４とを備える。

【００１１】画像比較手段３は、現取得画像Ａと保存画
像Ｂについてフォーカス等の画質を比較し、画質が良質
な画像を選択する。この選択した画像を画像保存手段４
に保存する。この比較と保存の動作を画像取得手段２が
画像を取得する度に繰り返すことによって、画像保存手
段４に画質が良質な画像のみを保存する。

【００１２】画像比較手段３は、画像範囲を所定領域に
分割し、所定の分割領域毎に画像を比較し保存する。例
えば、フォーカス等の画質に応じて画像範囲を複数の領
域に分割し、各領域毎に画像の比較を行う。これによっ
て、より細かい範囲で画像比較を行い、画質の精度を高
めることができる。

【００１３】また、さらに、本発明の分析用試料観察装
置１は、画像取得手段２の画像取得を制御する画像取得
制御手段５を備える構成とすることができる。この画像
取得制御手段５は、試料上の画像取得位置を監視し、前
回画像取得した位置から所定距離だけ移動したことを検
出し、画像取得手段２に対して画像取得を行うよう制御
する。画像取得を行う頻度を定める所定距離は任意の距
離とすることができる。例えば、画像取得手段２の視野
範囲に基づいて定めることができる。所定距離を視野範
囲を単位として定めることによって、測定範囲全体の画
像を最小回数で取得することができる。また、分割領域
に応じて視野範囲を分割し、この分割した視野範囲を単
位として所定距離を定める。所定距離を分割した分割領
域に応じて定めることによって、得られる画像の画質を
均一にそろえることができる。

【００１４】また、画像保存手段は、取得画像の保存に
おいて既保存画像との境界を処理した画像を保存する。
この境界処理によって、各画像間の境界部分の画質の差
異を緩和させることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
を参照しながら詳細に説明する。図２は本発明の分析用
試料観察装置の構成を説明するための概略図である。分
析用試料観察装置１は、ステージ６上に配置された試料
の画像を取得する画像取得手段２と、現取得画像と既保
存画像とを比較し、比較結果に基づいて保存する画像を
選択する画像比較部３と、選択された画像と重なる画像
との境界部分を処理する画像境界処理部７と、選択した
画像あるいは選択画像を境界処理した画像を保存する画
像保存部４と、画像取得手段２を制御する画像取得制御
手段５と、画像取得制御手段５で取得した画像取得位置
を保存する画像取得位置保存部８を備える。

【００１６】画像取得手段２は、ＣＣＤカメラ２ａ等の
撮像装置と、ＣＣＤカメラ２ａで撮像した画像データを
取得する画像取得部２ｂにより構成することができる。
ＣＣＤカメラ２ａはステージ６上に視野範囲Ｄを有し、
ステージ６上に配置された試料Ｓの視野範囲Ｄ内を撮像
した画像を取得し画像取得部２ｂに送る。画像取得部２
ｂはＣＣＤカメラ２ａで撮像した画像を取得し画像比較
部３に送る。

【００１７】ＣＣＤカメラ２ａ及び画像取得部２ｂは、
画像取得制御手段５からのフォーカス制御信号に基づい
てフォーカス合わせを行うと共に撮像した画像を取得し
画像比較部３に送る。なお、フォーカス合わせは、任意
の手法を適用することができ、例えば画素値の二乗和を
計算し、その値が最大となる位置を求めることで行うこ
とができる。

【００１８】画像取得制御手段５は、ステージ位置読取
部５ａ及びフォーカス制御部５ｂを備えた構成とするこ
とができる。ステージ位置読取部５ａは、ステージ６か
ら視野範囲Ｄに対応する位置データを取り込み、この位
置データに基づいてステージの移動距離を算出し、ステ
ージの移動を監視する。ステージ位置読取部５ａは、直
前に画像を取得した位置、すなわち画像取得位置保存部
８に保存されている位置からのステージの移動距離が所
定距離となったときフォーカス制御部５ｂに信号を送
る。フォーカス制御部５ｂは、ステージ位置読取部５ａ
から信号が送信されると、画像取得手段２に対してフォ
ーカスを合わせる制御信号を送信する。

【００１９】また、ステージ位置読取部５ａは、ステー
ジの移動距離が所定距離となったとき、その時点におけ
る位置データを画像取得位置データとして画像取得位置
保存部８に保存する。

【００２０】画像比較部３は、画像取得部２ｂから入力
した取得画像データと、画像保存部４から入力した保存
画像データとを用いて、何れの画像データの画質が良質
であるかを比較し、取得画像データの画質が良い場合に
は取得画像データを選択し、画像保存部４において保存
画像データに代えて取得画像データを保存し、一方、保
存画像データの画質が良い場合には保存画像データを選
択し、画像保存部４に保存する画像データをそのまま維
持する。なお、取得画像データと重ならない部分の保存
画像データはそのままデータを保持する。

【００２１】また、画像比較部３は、取得画像データと
保存画像データは同一位置における画像データを比較す
る必要がある。そのため、画像比較部３は、画像取得位
置保存部８から取得画像データに対応する画像取得位置
データを読み込み、この画像取得位置データに対応する
保存画像データを読み出す。取得画像データと保存画像
データとの画質比較は、重なる範囲における画像のコン
トラストを比較することなどで行うことができる。

【００２２】なお、画像保存部４は、取得画像データと
重なる保存画像データを読み出すために、画像取得位置
保存部８から取得画像データに対応する画像取得位置デ
ータを読み込み、また、画像比較部３は、取得画像デー
タと保存画像データとが重なる範囲を抽出するために、
画像取得位置保存部８から取得画像データに対応する画
像取得位置データを読み込む。

【００２３】画像境界処理部７は、画像比較部３の比較
結果に基づいて保存する画像を選択すると、この保存す
る画像の周辺部分に位置する保存画像データを画像保存
部４から読み込み、保存する画像と周辺部分の画像との
境界部分を抽出し、この境界部分の画質の変化が滑らか
となる境界処理を行う。境界処理としては、境界におけ
る明度やコントラストを段階的に変化させるデータ処理
を適用することができる。画像境界処理部７で境界処理
した画像データは、画像保存部４に保存される。

【００２４】上記各部は、ステージが所定距離移動する
毎に、画像の取得、取得画像と保存画像との比較、画像
境界処理、及び画像保存を繰り返す。これによって、ス
テージの可動範囲内について良質な画質の画像を得るこ
とができる。本発明の分析用試料観察装置の動作例を図
３に示すフローチャートに基づいて説明する。

【００２５】事前に、ステージ可動範囲、視野範囲、及
び表示装置に表示する表示範囲等から画像保存する範囲
のサイズを定めておく。観察する試料を交換し、ステー
ジ６上に配置する（ステップＳ１）。画像保存部４は、
保存画像以外にデータをクリアし（ステップＳ２）、画
像取得部２ｂは、開始位置においてオートフォーカスを
実行し、ＣＣＤカメラ２ａで試料Ｓ上において視野範囲
Ｄの像を撮像し、また、ステージ位置読取部５ａはステ
ージ６から撮像時における位置データを画像取得位置デ
ータとして取り込み、画像取得位置保存部８に保存する
（ステップＳ３）。

【００２６】ステージ位置読取部５ａは、ステージ６か
ら取り込む画像取得位置データを監視し、ステージが移
動を開始したか否かを判断する（ステップＳ４）。以
下、ステージが移動している間（ステップＳ５）はステ
ップＳ６からステップＳ１０の処理を繰り返して試料Ｓ
上の画像の取得と保存を繰り返し、ステージが停止した
場合（ステップＳ５）にはステップＳ１１からステップ
Ｓ１５の処理によって停止位置の画像の取得と保存を行
う。

【００２７】以下、ステージが移動している間の処理に
ついて説明する。ステージ位置読取部５ａは、ステージ
６からステージの位置データを逐次取り込んでステージ
の移動距離を監視し、予め定めておいた規定距離に達し
たか否かを判断する（ステップＳ６）。

【００２８】ステージ６が規定距離に達したとき、ステ
ージ位置読取部５ａはこのときの位置データを画像取得
位置保存部８に送り、画像取得位置保存部８は送られた
位置データを画像取得位置データとして保存する。ま
た、ステージ位置読取部５ａはフォーカス制御部５ｂに
規定距離に達したことを知らせる。フォーカス制御部５
ｂは、ステージ位置読取部５ａからの知らせに基づいて
画像取得部２ｂにフォーカス制御信号を送信する。画像
取得部２ｂは、フォーカス制御部５ｂから送信されたフ
ォーカス制御信号に基づいてフォーカス処理を行い、画
像を取得する。なお、規定距離は、例えば視野範囲の４
割等、視野範囲の大きさに合わせて設置することができ
る（ステップＳ７）。

【００２９】画像比較部３は、画像取得部２ｂから取得
画像データを読み込むと共に、画像保存部４から既保存
の保存画像データを読み込む。このとき、画像保存部４
は、画像取得位置保存部８から画像取得位置データを読
み込み、この画像取得位置データに対応する保存画像デ
ータを抽出して画像比較部３に送る。これによって、画
像比較部３は、同一位置に対応する取得画像データと保
存画像データとを比較することができる（ステップＳ
８）。

【００３０】画像比較部３は、取得画像と保存画像とが
重なりあう部分の画像データについて、画像のコントラ
スト等を利用してフォーカスを比較することによって画
像の画質の良否を比較する。取得画像と保存画像とが重
なりあう部分の抽出は、画像取得位置保存部８から読み
込んだ画像取得位置データと、画像保存部４に保存され
る位置データに基づいて行うことができる。フローチャ
ートでは、フォーカスの比較によって画像の画質を比較
する例について示している（ステップＳ９）。

【００３１】フォーカスの比較の結果、保存画像のフォ
ーカスが取得画像のフォーカスよりも良質である場合に
は、画像保存部４に保存される画像データを維持し、取
得画像データは破棄する。一方、取得画像のフォーカス
が保存画像のフォーカスよりも良質である場合には、画
像保存部４に保存される画像データに代えて取得画像デ
ータを保存する。

【００３２】画像保存部４に、取得画像データあるいは
保存画像データを保存する際、保存する画像の周辺部分
と境を接する画像との間で境界処理を行う。境界処理
は、隣接する画像の境界においてコントラストや明度に
急激な変化がある場合に、滑らかとなるようにコントラ
ストや明度を段階的に変化させる処理である。画像保存
部４は、画像境界処理部７で境界処理した画像データを
保存する（ステップＳ１０）。

【００３３】次に、ステージが停止したときの処理につ
いて説明する。ステージ６による走査が終了したり、試
料の観察を終了するなどによってステージの移動が停止
する場合には、以下のステップＳ１１〜ステップＳ１５
の工程によって停止位置における画像の保存を行う。

【００３４】ステージ停止時に、ステージ位置読取部５
ａはステージ停止時の位置データを画像取得位置保存部
８に送り、画像取得位置保存部８は送られた位置データ
を画像取得位置データとして保存する。また、ステージ
位置読取部５ａはフォーカス制御部５ｂにステージが停
止したことを知らせる。フォーカス制御部５ｂは、ステ
ージ位置読取部５ａからの知らせに基づいて画像取得部
２ｂにフォーカス制御信号を送信する。画像取得部２ｂ
は、フォーカス制御部５ｂから送信されたフォーカス制
御信号に基づいてフォーカス処理を行い、画像を取得す
る（ステップＳ１１）。

【００３５】画像比較部３は、画像取得部２ｂから取得
画像データを読み込むと共に、画像保存部４から既保存
の保存画像データを読み込む。このとき、画像保存部４
は、画像取得位置保存部８から停止位置の位置データを
読み込み、この位置データに対応する保存画像データを
抽出して画像比較部３に送る。これによって、画像比較
部３は、停止位置の取得画像データと保存画像データと
を比較することができる（ステップＳ１２）。

【００３６】画像比較部３は、取得画像と保存画像とが
重なりあう部分の画像データについて、画像のコントラ
スト等を利用してフォーカスを比較することによって画
像の画質の良否を比較する。取得画像と保存画像とが重
なりあう部分の抽出は、画像取得位置保存部８から読み
込んだ停止位置の位置データと、画像保存部４に保存さ
れる位置データに基づいて行うことができる。フローチ
ャートでは、フォーカスの比較によって画像の画質を比
較する例について示している（ステップＳ１３）。

【００３７】フォーカスの比較の結果、保存画像のフォ
ーカスが取得画像のフォーカスよりも良質である場合に
は、画像保存部４に保存される画像データを維持し、取
得画像データは破棄する。一方、取得画像のフォーカス
が保存画像のフォーカスよりも良質である場合には、画
像保存部４に保存される画像データに代えて取得画像デ
ータを保存する。

【００３８】画像保存部４に、取得画像データあるいは
保存画像データを保存する際、保存する画像の周辺部分
と境を接する画像との間で境界処理を行う。画像保存部
４は、画像境界処理部７で境界処理した画像データを保
存する（ステップＳ１４）。次の試料について観察を行
う場合には試料交換を行い、前記ステップＳ５〜ステッ
プＳ１４の工程を繰り返す。

【００３９】図４は、取得画像と保存画像との比較処理
を説明するための図である。図４において、Ａは取得画
像と表し、Ｂは保存画像を表し、Ｃは全ステージ可動領
域を表す。また、ａ（図中の破線部分）は全ステージ可
動領域Ｃ中における取得画像Ａの画像領域を表し、ｂ
（図中の斜線部分）は全ステージ可動領域Ｃ中における
保存画像Ｂの画像領域を表している。

【００４０】はじめに、図４（ａ）において、取得画像
Ａの画像領域ａと重なり合う保存画像Ｂがあるか否かを
検索する。この検索は、取得画像Ａのステージ上の位置
データと、保存画像Ｂのステージ上の位置データとを比
較することで行うことができる。図４は、取得画像Ａの
画像領域ａ中のａ２の部分と保存画像Ｂの画像領域ｂ中
のｂ１とは重なり、取得画像Ａの画像領域ａ中のａ１の
部分と保存画像Ｂの画像領域ｂ中のｂ２とは重なってい
ない場合を示している。ここで、重なり合う取得画像Ａ
の画像領域ａ２と、保存画像Ｂの画像領域ｂ１との画質
を比較し、何れの画像を保存するかを選択する。

【００４１】図４（ｂ）は、重なり合う領域（画像領域
ａ２と画像領域ｂ１）において、取得画像Ａの画質が保
存画像Ｂの画質よりも良好である場合を示し、重なり合
う領域部分の画像は保存画像Ｂに代えて取得画像Ａとす
る。

【００４２】一方、図４（ｃ）は、重なり合う領域（画
像領域ａ２と画像領域ｂ１）において、保存画像Ｂの画
質が取得画像Ａの画質よりも良好である場合を示し、重
なり合う領域部分の画像は保存画像Ｂを維持する。上記
図４（ｂ），（ｃ）において、重なり合わない画像領域
ａ１の部分は取得画像Ａとし、画像領域ｂ２１の部分は
保存画像Ｂとする。これによって、良好な画質の画像の
みが保存されることになる。

【００４３】また、画像を比較する領域を画像取得手段
の視野の画質特性に応じて分割し、分割した範囲を単位
として画像比較を行うことができる。画像取得手段は、
ＣＣＤカメラの性能やステージに対する取り付け位置等
によって、例えばフォーカスが合いやすい領域とフォー
カスが合いにくい領域というように画質において差異が
ある。図５は、画像取得手段の視野Ｄを例えばフォーカ
スの良否に応じて5つの領域に分割した場合を示してい
る。例えば、ＣＣＤカメラでは、一般に中心部分の領域
Ｄ１が最もフォーカスが良好であり、その周囲の部分の
領域Ｄ２〜Ｄ５はフォーカスが劣る傾向にある。なお、
領域の分割は、上記例に限らずＣＣＤカメラの性能やス
テージに対する取り付け位置に応じて任意に定めること
ができる。

【００４４】図６，図７はこの分割領域による画像比較
の例を示している。図６に示す例は、重なり合う部分の
画像比較において分割領域の一部は取得画像を選択し、
他の部分は保存画像を選択する場合を示し、図７に示す
例は、重なり合う部分の画像比較において、分割領域の
全部について取得画像を選択する場合を示している。な
お、図６，７では、取得画像Ａ中の領域ａ２と保存画像
Ｂ中の領域ｂ１とが重なる場合において、この重なる部
分について画像を比較する例を示している。また、図
６，７において、太線で示す部分はフォーカスが良好な
領域を示し、破線で示す部分はフォーカスが劣る部分を
示している。

【００４５】図６（ａ），図７（ａ）において、取得画
像Ａを図５に示す分割領域Ｄ１〜Ｄ５に分割すると、重
なり合う部分の領域ａ２は領域Ｄ３，Ｄ５、及び領域Ｄ
１の一部に対応している。ここで、保存領域Ｂにおい
て、領域ａ２と重なり合う部分は領域ｂ１であり、それ
ぞれ対応する分割領域Ｄ３，Ｄ５、及び領域Ｄ１の一部
毎に画像比較を行う。なお、図６（ａ），図７（ａ）に
おいて、重なり合う部分は模様地で示している。

【００４６】図６に示す例において、各領域毎にフォー
カスを比較し、領域Ｄ１では取得画像側のフォーカスが
良好であるため取得画像Ａの画像データを選択し、領域
Ｄ３，Ｄ５では保存画像側のフォーカスが良好であるた
め保存画像Ｂの画像データを選択する。図６（ｃ）は、
この選択によって得られる保存画像を示し、領域ａ１
（領域Ｄ２，Ｄ４，及び領域Ｄ１に一部）は取得画像の
画像データを保存し、領域ａ２（領域ｂ１）中の領域Ｄ
３及びＤ５は保存画像の画像データを保存し、領域ａ２
（領域ｂ１）中の領域Ｄ１の他の一部は取得画像の画像
データを保存する。また、領域ｂ２は保存画像の画像デ
ータを保存する。

【００４７】図７に示す例においても各領域毎にフォー
カスを比較し、領域Ｄ１、領域Ｄ３，及び領域Ｄ５の各
領域において取得画像側のフォーカスが良好であるた
め、取得画像Ａの画像データを選択する。図７（ｃ）
は、この選択によって得られる保存画像を示し、領域ａ
１（領域Ｄ２，Ｄ４，及び領域Ｄ１に一部）、及び領域
ａ２（領域ｂ１）は取得画像の画像データを保存し、領
域ｂ２は保存画像の画像データを保存する。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の分析用試
料観察装置によれば、撮像装置の位置や性能、あるいは
試料の形状に関わらず良質な画質の画像を取得すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の分析用試料観察装置の機能を説明する
ためのブロック図である。

【図２】本発明の分析用試料観察装置の構成を説明する
ための概略図である。

【図３】本発明の分析用試料観察装置の動作例を説明す
るフローチャートである。

【図４】本発明の取得画像と保存画像との比較処理を説
明するための図である。

【図５】本発明の画像比較を行う分割領域の一例であ
る。

【図６】本発明の分割領域による画像比較の例を示す図
である。

【図７】本発明の分割領域による画像比較の例を示す図
である。

【図８】ステージに対するＣＣＤカメラの設置状態を説
明するための図である。

【符号の説明】

１…分析用試料観察装置、２…画像取得手段、２ａ…Ｃ
ＣＤカメラ、２ｂ…画像取得部、３…画像比較手段，画
像比較部、４…画像保存手段，画像保存部、５…画像取
得制御手段、５ａ…ステージ位置読取部、５ｂ…フォー
カス制御部、６…ステージ、７…画像境界処理部、Ａ…
取得画像、Ｂ…保存画像、Ｃ…全ステージ可動範囲、Ｄ
…視野、Ｄc…中央部分、Ｄo…周辺部分、Ｓ…試料、
ａ，ｂ…画像領域、ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２…分割領域

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料画像を取得する画像取得手段と、試
   料上の同一位置における取得画像と既保存画像とを比較
   し、保存する画像を選択する画像比較手段と、前記画像
   比較手段で選択した画像を保存する画像保存手段とを備
   えることを特徴とする分析用試料観察装置。
2. 【請求項２】 前記画像比較手段は、前記画像範囲を所
   定領域に分割し、所定の分割領域毎に画像を比較し保存
   することを特徴とする請求項１に記載の分析用試料観察
   装置。
3. 【請求項３】 前記画像取得手段の画像取得を制御する
   画像取得制御手段を備え、当該画像取得制御手段は試料
   上の画像取得位置が所定距離移動したとき、前記画像取
   得手段に画像取得させることを特徴とする請求項１又は
   ２に記載の分析用試料観察装置。
4. 【請求項４】 前記画像保存手段は、前記取得画像の保
   存において、既保存画像との境界を処理した画像を保存
   することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記
   載の分析用試料観察装置。