JP2003202433A - Apparatus and method for forming fiber bragg grating - Google Patents

Apparatus and method for forming fiber bragg grating

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JP2003202433A
JP2003202433A JP2002002885A JP2002002885A JP2003202433A JP 2003202433 A JP2003202433 A JP 2003202433A JP 2002002885 A JP2002002885 A JP 2002002885A JP 2002002885 A JP2002002885 A JP 2002002885A JP 2003202433 A JP2003202433 A JP 2003202433A
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JP
Japan
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light
laser light
incident
optical fiber
diffraction grating
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Application number
JP2002002885A
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Japanese (ja)
Inventor
Masaki Ejima
正毅 江島
Kiyoshi Nakagawa
清 中川
Susumu Kimura
進 木村
Sumiyuki Fukuyama
純行 福山
Yasuo Mizutani
康男 水谷
Yutaka Takemura
豊 竹村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHINKO DENSEN KK
Original Assignee
SHINKO DENSEN KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and method for forming a fiber Bragg grating which can form a fiber Bragg grating having high-precision reflection characteristics and transmission characteristics. <P>SOLUTION: The apparatus for forming the fiber Bragg grating FBG in the core C of an optical fiber F comprises a laser light source 15 which emits laser light UV in the ultraviolet region, a diffraction grating 30, and an incidence means 20 which makes the ultraviolet laser light UV incident on the diffraction grating 30. The incidence means 20 is equipped with a luminous flux size converter 21 which converges the ultraviolet laser light UV and makes it incident on the diffraction grating 30 while the external surface of the luminous flux of the ultraviolet laser light UV along the axis of the optical fiber F is so converged as to slant to the axis of the luminous flux. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ファイバーブラッ
ググレーティングの形成装置および形成方法に関する。
ファイバーブラッググレーティングとは、光ファイバー
のコアの屈折率を、コアの軸方向に沿ってに周期的に変
化させたものであり、コアの軸方向に沿って屈折率が縞
状に変化する部分が形成されている。つまり、ファイバ
ーブラッググレーティングとは、光ファイバーのコアに
形成された回折格子のことである。このファイバーブラ
ッググレーティングが形成された部分では、屈折率が変
化する縞の間隔に対応した波長の光を反射もしくは透過
させる性質を有している。このファイバーブラッググレ
ーティングは、反射波長を高精度に設定しうることか
ら、フィルタ、分波器、レーザーダイオード発振波長安
定器、各種センサー等々の幅広い用途に利用されてい
る。本発明は、かかるファイバーブラッググレーティン
グを、光ファイバーのコアに形成するの形成装置および
形成方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an apparatus and method for forming a fiber Bragg grating.
A fiber Bragg grating is a refractive index of the core of an optical fiber that is periodically changed along the axial direction of the core, forming a part where the refractive index changes in a striped pattern along the axial direction of the core. Has been done. That is, the fiber Bragg grating is a diffraction grating formed in the core of the optical fiber. The portion where the fiber Bragg grating is formed has a property of reflecting or transmitting light having a wavelength corresponding to the interval between the stripes whose refractive index changes. Since this fiber Bragg grating can set the reflection wavelength with high precision, it is used in a wide range of applications such as filters, demultiplexers, laser diode oscillation wavelength stabilizers, and various sensors. The present invention relates to a forming apparatus and a forming method for forming such a fiber Bragg grating in a core of an optical fiber.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ファイバーブラッググレーティン
グは、光ファイバーのコアにドープされたゲルマニウム
(Ge)が紫外光に反応して屈折率が高くなることを利用
して、光ファイバー長手方向に強弱をつけた紫外光を照
射することによって形成されている。このように、強弱
をつけた紫外光を照射してファイバーブラッググレーテ
ィングを形成する方法として、従来より、フェーズマス
ク法(例えば、U.S. Patent No. 5,367,588)および2
光束干渉法(例えば、U.S. Patent No. 4,725,110、U.
S. Patent No. 4,807,950)が知られているが、2光束
干渉法よりも、振動に強くてシンプルな構成のフェーズ
マスク法が多く用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a fiber Bragg grating has been made by utilizing the fact that germanium (Ge) doped in the core of an optical fiber responds to ultraviolet light to increase its refractive index, which makes it possible to increase or decrease the ultraviolet light intensity in the longitudinal direction of the optical fiber. It is formed by irradiating light. As described above, as a method for forming a fiber Bragg grating by irradiating an ultraviolet light having a different intensity, a phase mask method (for example, US Patent No. 5,367,588) and 2 have been conventionally used.
Luminous flux interferometry (for example, US Patent No. 4,725,110, U.
S. Patent No. 4,807,950) is known, but the phase mask method, which is more resistant to vibration and has a simple structure, is often used than the two-beam interference method.

【0003】フェーズマスク法では、石英基板上に格子
間隔Λの回折格子を形成したフェーズマスクを用い、こ
のフェーズマスクに、光軸がフェーズマスク表面に直角
かつ完全に平行な紫外光のビームを入射する。すると、
入射紫外光の+1次と−1次の回折光を出射させること
ができ、出射された+1次回折光と−1次回折光を互い
に干渉させれば、間隔Λ/2の干渉縞が生成させること
ができる。よって、この干渉縞を光ファイバーのコア部
に転写させれば、ファイバーブラッググレーティングを
形成することができる。
In the phase mask method, a phase mask in which a diffraction grating with a grating interval Λ is formed on a quartz substrate is used, and an ultraviolet light beam whose optical axis is perpendicular to the surface of the phase mask and is completely parallel is incident on the phase mask. To do. Then,
The + 1st-order and -1st-order diffracted light of the incident ultraviolet light can be emitted, and if the emitted + 1st-order diffracted light and the -1st-order diffracted light interfere with each other, an interference fringe with an interval Λ / 2 can be generated. it can. Therefore, a fiber Bragg grating can be formed by transferring this interference fringe to the core of the optical fiber.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】光通信においては、一
本の光ファイバーに異なる波長を有する複数のチャンネ
ルが同時に伝搬される。ところが、インターネット等に
おける多波長技術の普及にともない同時に伝搬されるチ
ャンネル数が増加すると、隣接チャンネルの波長間隔が
縮まるため、隣接するチャンネルに情報が漏れる、いわ
ゆるクロストークが発生する可能性が高くなる。このク
ロストークを防ぐためには、同時に伝搬される複数のチ
ャンネルから所望の波長のチャンネルのみを取り出すこ
とができたり、隣接チャンネルの信号を拾うことのなく
所望の波長のチャンネルにのみ信号を供給することがで
きる高精度のフィルタを備えた光合波・光分波器が必要
とされる。また、所望の波長のチャンネルのみを取り出
すことができても、その取り出した信号の強度が低下す
ると、信号の強度に対するノイズの割合が大きくなり、
信号の質が低下してしまう。この信号の質の低下を防ぐ
には、反射信号における中心波長に対して有効な信号強
度を有する波長域、つまり、各チャンネルの帯域幅にお
ける信号の強度の減衰量を小さくしつつ、その帯域幅よ
り外側の波長域の信号強度を低下させる必要がある。具
体的には、中心波長の信号強度に対して信号強度が−3
dBとなる波長域(以下、−3dB帯域幅という)を、
そのチャンネルの帯域幅に近づける必要がある。
In optical communication, a plurality of channels having different wavelengths are simultaneously propagated in one optical fiber. However, as the number of channels simultaneously propagated increases with the spread of multi-wavelength technology on the Internet and the like, the wavelength interval between adjacent channels shortens, so that there is a high possibility that so-called crosstalk will occur in which information leaks to adjacent channels. . In order to prevent this crosstalk, it is possible to extract only the channel of the desired wavelength from multiple channels that are simultaneously propagated, or to supply the signal only to the channel of the desired wavelength without picking up the signal of the adjacent channel. There is a need for an optical multiplexer / demultiplexer equipped with a high-precision filter that can achieve the above. Further, even if only the channel of the desired wavelength can be extracted, if the strength of the extracted signal decreases, the ratio of noise to the signal strength increases,
The signal quality is reduced. In order to prevent the deterioration of the signal quality, the wavelength band having effective signal intensity with respect to the center wavelength of the reflected signal, that is, the attenuation amount of the signal intensity in the bandwidth of each channel is reduced and the bandwidth is reduced. It is necessary to reduce the signal strength in the outer wavelength range. Specifically, the signal strength is -3 with respect to the signal strength of the central wavelength.
The wavelength range of dB (hereinafter referred to as -3 dB bandwidth) is
It should be close to the bandwidth of that channel.

【0005】本発明はかかる事情に鑑み、高精度の反射
特性および透過特性を有するファイバーブラッググレー
ティングを形成することができるファイバーブラッググ
レーティングの形成装置および形成方法を提供すること
を目的とする。
In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a fiber Bragg grating forming apparatus and method capable of forming a fiber Bragg grating having highly accurate reflection characteristics and transmission characteristics.

【0006】請求項1のファイバーブラッググレーティ
ングの形成装置は、光ファイバーのコアにブラッググレ
ーティングを形成するための形成装置であって、該形成
装置が、可干渉性を有する紫外線域レーザー光を出射す
るレーザー光源と、複数の干渉溝が形成された放射面を
有し、該放射面が前記光ファイバーと対向するように配
設された回折格子と、前記レーザー光源から出射された
紫外線域レーザー光を、前記回折格子の入射面に入射さ
せる入射手段とからなり、前記回折格子の入射面が、該
回折格子の放射面と互いに平行となるように形成されて
おり、前記回折格子が、その放射面に形成された前記複
数の干渉溝が前記光ファイバーの軸方向と直交するよう
に配設されており、前記回折格子の複数の干渉溝が、該
回折格子の入射面に入射された紫外線域レーザー光を+
1次回折および−1次回折させて、+1次回折光および
−1次回折光を放射面から放射させるように形成されて
おり、前記入射手段が、前記紫外線域レーザー光を集光
させて、前記紫外線域レーザー光の光束における前記光
ファイバーの軸方向の外面を、その光束の軸に対して傾
斜するように絞った状態で、前記回折格子に入射させる
集光部を備えていることを特徴とする。請求項2のファ
イバーブラッググレーティングの形成装置は、請求項1
記載の発明において、前記回折格子の入射面に入射され
る前記紫外線域レーザー光の光束における前記光ファイ
バーの軸方向の外面が、その光束の軸に対してなす角度
が、0.4〜2.5ミリラジアンであることを特徴とす
る。請求項3のファイバーブラッググレーティングの形
成装置は、請求項1記載の発明において、前記紫外線域
レーザー光を、その光束の軸が前記回折格子の入射面に
対して垂直となるように入射させる入射角調整部を備え
たことを特徴とする。請求項4のファイバーブラッググ
レーティングの形成方法は、光ファイバーのコアにブラ
ッググレーティングを形成するための形成方法であっ
て、レーザー光源から紫外線域レーザー光を出射させ、
該紫外線域レーザー光を、その光束における光ファイバ
ーの軸方向の外面がその光束の軸に対して傾斜するよう
に集光部によって集光させ、集光された前記紫外線域レ
ーザー光を回折格子の入射面に入射させ、前記回折格子
の入射面と互いに平行な放射面に形成された、光ファイ
バーの軸方向と直交する複数の干渉溝によって、前記紫
外線域レーザー光を+1次回折および−1次回折させ、
前記紫外線域レーザー光の+1次回折光および−1次回
折光を、前記回折格子の放射面から光ファイバーに向け
て放射することを特徴とする。請求項5のファイバーブ
ラッググレーティングの形成方法は、請求項4記載の発
明において、前記回折格子の入射面に入射される前記紫
外線域レーザー光の光束における前記光ファイバーの軸
方向の外面が、その光束の軸に対してなす角度が、0.
4〜2.5ミリラジアンであることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a fiber Bragg grating forming apparatus for forming a Bragg grating in an optical fiber core, wherein the forming apparatus emits coherent ultraviolet laser light. A light source, a diffraction grating having a radiation surface on which a plurality of interference grooves are formed, the radiation surface being disposed so as to face the optical fiber; and an ultraviolet laser light emitted from the laser light source, The diffraction grating is formed on the radiation surface of the diffraction grating such that the incidence surface of the diffraction grating is parallel to the radiation surface of the diffraction grating. The plurality of interference grooves formed are arranged so as to be orthogonal to the axial direction of the optical fiber, and the plurality of interference grooves of the diffraction grating are the incident surfaces of the diffraction grating. Incident ultraviolet range laser beam +
The first-order diffraction light and the -1st-order diffraction light are formed so that the + 1st-order diffraction light and the -1st-order diffraction light are emitted from the emission surface. It is characterized in that it is provided with a condensing section for making the outer surface in the axial direction of the optical fiber in the light beam of the region laser light narrowed so as to be inclined with respect to the axis of the light beam and making it enter the diffraction grating. The apparatus for forming a fiber Bragg grating according to claim 2 is the device according to claim 1.
In the invention described above, the angle formed by the outer surface in the axial direction of the optical fiber in the light flux of the ultraviolet laser light incident on the incident surface of the diffraction grating with respect to the axis of the light flux is 0.4 to 2.5. It is characterized in that it is in milliradians. According to a third aspect of the present invention, in the fiber bragg grating forming device of the first aspect, the incident angle of the laser light in the ultraviolet region is made incident such that the axis of the light beam is perpendicular to the incident surface of the diffraction grating. It is characterized by having an adjusting unit. A method for forming a fiber Bragg grating according to claim 4 is a method for forming a Bragg grating in a core of an optical fiber, wherein an ultraviolet laser light is emitted from a laser light source,
The ultraviolet region laser light is condensed by the condensing unit such that the outer surface of the optical flux in the axial direction of the light flux is inclined with respect to the axis of the luminous flux, and the condensed ultraviolet laser light is incident on the diffraction grating. The ultraviolet laser light is diffracted by the + 1st-order diffraction light and the -1st-order diffraction light by a plurality of interference grooves formed on the radiation surfaces parallel to the incidence surface of the diffraction grating and orthogonal to the axial direction of the optical fiber. ,
The + 1st-order diffracted light and the -1st-order diffracted light of the ultraviolet laser light are emitted toward the optical fiber from the emission surface of the diffraction grating. According to a fifth aspect of the present invention, in the method of forming the fiber Bragg grating according to the fourth aspect, an outer surface in the axial direction of the optical fiber in the light flux of the ultraviolet laser light incident on the incident surface of the diffraction grating is The angle made to the axis is 0.
It is characterized by being 4 to 2.5 milliradians.

【0007】請求項1の発明によれば、平行光を入射し
て形成されたファイバーブラッググレーティングに比べ
て、形成されたファイバーブラッググレーティングの特
定波長に対する反射特性を向上させることができ、かつ
特定波長以外の波長の透過特性を向上させることができ
る。したがって、本形成装置で形成されたファイバーブ
ラッググレーティングを、光ファイバー通信における光
合波・分波器のフィルタとして用いれば、クロストーク
を大きく低減することができる。請求項2の発明によれ
ば、本形成装置で形成されたファイバーブラッググレー
ティングを用いれば、反射信号における−3dB帯域幅
内の信号の強度の減衰を大幅に低減することができ、か
つ−3dB帯域幅の外側の波長の信号の強度を大幅に低
下させることができる。しかも、−3dB帯域幅を、所
望のチャンネルの帯域幅に合わせることができる。した
がって、本形成装置で形成されたファイバーブラッググ
レーティングを、光ファイバー通信における光合波・分
波器のフィルタとして用いれば、クロストークを大きく
低減することができる。請求項3の発明によれば、紫外
線域レーザー光の光束の軸が、回折格子の入射面に対し
て垂直となるように入射されるので、ファイバーブラッ
ググレーティングを精度良く形成することができる。請
求項4の発明によれば、平行光を入射する場合に比べ
て、ファイバーブラッググレーティングによる特定波長
に対する反射特性を向上させることができ、かつ特定波
長以外の波長の透過特性を向上させることができる。し
たがって、本形成方法で形成されたファイバーブラッグ
グレーティングを、光ファイバー通信における光合波・
分波器のフィルタとして用いれば、クロストークを大き
く低減することができる。請求項5の発明によれば、本
形成装置で形成されたファイバーブラッググレーティン
グを用いれば、反射信号における−3dB帯域幅内の信
号の強度の減衰を大幅に低減することができ、かつ−3
dB帯域幅の外側の波長の信号の強度を大幅に低下させ
ることができる。しかも、−3dB帯域幅を、所望のチ
ャンネルの帯域幅に合わせることができる。したがっ
て、本形成装置で形成されたファイバーブラッググレー
ティングを、光ファイバー通信における光合波・分波器
のフィルタとして用いれば、クロストークを大きく低減
することができる。
According to the invention of claim 1, as compared with the fiber Bragg grating formed by incident parallel light, the reflection characteristic of the formed fiber Bragg grating for a specific wavelength can be improved, and the specific wavelength can be improved. It is possible to improve the transmission characteristics of wavelengths other than the above. Therefore, if the fiber Bragg grating formed by this forming apparatus is used as a filter of an optical multiplexer / demultiplexer in optical fiber communication, crosstalk can be greatly reduced. According to the invention of claim 2, by using the fiber Bragg grating formed by the present forming apparatus, it is possible to significantly reduce the attenuation of the signal intensity within the -3 dB bandwidth in the reflected signal, and to reduce the -3 dB band. It is possible to significantly reduce the intensity of signals of wavelengths outside the width. Moreover, the −3 dB bandwidth can be matched to the bandwidth of the desired channel. Therefore, if the fiber Bragg grating formed by this forming apparatus is used as a filter of an optical multiplexer / demultiplexer in optical fiber communication, crosstalk can be greatly reduced. According to the third aspect of the invention, since the axis of the light flux of the ultraviolet laser light is made to be perpendicular to the incident surface of the diffraction grating, the fiber Bragg grating can be accurately formed. According to the invention of claim 4, the reflection characteristic of the fiber Bragg grating for a specific wavelength can be improved and the transmission characteristic of a wavelength other than the specific wavelength can be improved as compared with the case where parallel light is incident. . Therefore, the fiber Bragg grating formed by this forming method is used for optical multiplexing / combining in optical fiber communication.
If it is used as a filter of a duplexer, crosstalk can be greatly reduced. According to the invention of claim 5, by using the fiber Bragg grating formed by this forming apparatus, it is possible to significantly reduce the attenuation of the signal intensity within the −3 dB bandwidth of the reflected signal, and −3
The strength of signals at wavelengths outside the dB bandwidth can be significantly reduced. Moreover, the −3 dB bandwidth can be matched to the bandwidth of the desired channel. Therefore, if the fiber Bragg grating formed by this forming apparatus is used as a filter of an optical multiplexer / demultiplexer in optical fiber communication, crosstalk can be greatly reduced.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施形態を図面
に基づき説明する。なお、以下に示す図面は、各構成要
素をわかりやすくするために相対的な縮尺を変更して記
載してあるが、通常、光ファイバーの直径は1/8m
m、回折格子の厚さは約1mmでその格子間隔は約1ミ
クロンで、反射鏡、光束サイズ変換器等の光学部品は数
cm〜数10cmの大きさである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings shown below, the relative scale is changed for easier understanding of the respective components, but the diameter of the optical fiber is usually 1/8 m.
m, the thickness of the diffraction grating is about 1 mm, the grating interval is about 1 micron, and the optical components such as the reflecting mirror and the light beam size converter are several cm to several tens cm.

【0009】まず、本発明のファイバーブラッググレー
ティングの形成装置10を説明する前に、ファイバーブ
ラッググレーティング(以下、FBGで示す)について
簡単に説明する。図3(A)はFBGが形成された光フ
ァイバーFの概略説明図であり、(B)はFBGに入射
された入射光LB0のスペクトル、FBGによって反射
された反射光LB1のスペクトルおよびFBGによって
反射された透過光LB2のスペクトルを示した図であ
る。図3(A)に示すように、FBGとは、光ファイバ
ーFのコアCの屈折率を、その軸方向に沿って周期的に
変化させたものであり、コアCの屈折率の高い部分CB
と、コアCの屈折率の低い部分CAとを一定の縞間隔Λ
ごとに交互に形成したものである。このため、図3
(B)に示すように、FBGが形成された光ファイバー
Fは、入射光LB0のうち、一定の波長の光を反射光L
B1として反射し、それ以外の波長の光を透過光LB2
として透過させることができる。そして、このときの反
射光LB1のスペクトルの中心波長は、2nΛとなる。
ここで、nは光ファイバーFの実効屈折率である。ま
た、図3(B)に示すように、FBGによって反射され
た反射光LB1は、その中心波長を中心とする略台形状
のスペクトルを示している。そして、FBGの反射特性
は、前記反射光LB1の中心波長における信号強度に対
する信号強度の減少割合が−3dB以下に抑えられる波
長域W(以下、−3dB帯域幅Wという)によって評価
される。具体的には、この−3dB帯域幅WがほぼIT
U‐T規格の帯域幅(例えば、0.4nmや0.8nm)に一致
し、反射信号における−3dB帯域幅内の信号の強度の
減衰を大幅に低減することができ、かつ−3dB帯域幅
の外側の波長の信号の強度を大幅に低下させることがで
きるFBGは、質が良いフィルターとして評価される。
そして、このようなFBGを用いれば、隣接するチャン
ネルとの間のクロストークが大幅に低減でき、所望の波
長の信号を精度よく取り出すことができるのである。
First, before describing the fiber Bragg grating forming apparatus 10 of the present invention, a fiber Bragg grating (hereinafter referred to as FBG) will be briefly described. FIG. 3A is a schematic explanatory diagram of an optical fiber F in which an FBG is formed, and FIG. 3B is a spectrum of incident light LB0 incident on the FBG, a spectrum of reflected light LB1 reflected by the FBG, and a spectrum reflected by the FBG. It is the figure which showed the spectrum of transmitted light LB2. As shown in FIG. 3 (A), the FBG is a refractive index of the core C of the optical fiber F which is periodically changed along the axial direction thereof, and a portion CB of the core C having a high refractive index.
And a portion CA having a low refractive index of the core C with a constant fringe spacing Λ.
It is formed alternately for each. Therefore, in FIG.
As shown in (B), the optical fiber F on which the FBG is formed reflects the light of a constant wavelength in the incident light LB0 as the reflected light L.
B1 is reflected and light of other wavelengths is transmitted as LB2.
Can be transmitted as. The center wavelength of the spectrum of the reflected light LB1 at this time is 2nΛ.
Here, n is the effective refractive index of the optical fiber F. Further, as shown in FIG. 3B, the reflected light LB1 reflected by the FBG shows a substantially trapezoidal spectrum centered on the center wavelength thereof. Then, the reflection characteristic of the FBG is evaluated by the wavelength range W (hereinafter, referred to as -3 dB bandwidth W) in which the reduction rate of the signal intensity with respect to the signal intensity at the central wavelength of the reflected light LB1 is suppressed to -3 dB or less. Specifically, this −3 dB bandwidth W is almost IT.
It matches the bandwidth of the UT standard (for example, 0.4 nm or 0.8 nm), and can significantly reduce the attenuation of the signal strength within the -3 dB bandwidth in the reflected signal, and outside the -3 dB bandwidth. The FBG, which can significantly reduce the intensity of the signal having the wavelength of, is evaluated as a high quality filter.
By using such an FBG, crosstalk between adjacent channels can be significantly reduced, and a signal having a desired wavelength can be accurately extracted.

【0010】さて、本実施形態のファイバーブラッググ
レーティング形成装置10について説明する。図1は本
実施形態のファイバーブラッググレーティング形成装置
10の概略説明図である。図2は回折格子30の拡大断
面図である。図1および図2示すように、本実施形態の
ファイバーブラッググレーティング形成装置は、回折格
子30(一般的には、フェーズマスクとも呼ばれる)に
よって紫外線域レーザー光UVを回折させ、その回折光
同士の干渉により発生する干渉縞を光ファイバーFのコ
アCに当てて、そのコアCにFBGを形成させる装置で
あり、回折格子30に入射するときにおいて、紫外線域
レーザー光UVの光束における光ファイバーFの軸方向
の外面UV1 (以下、絞り面UV1 という)が、その光束の
軸BCに対して傾斜するように絞られていることが特徴
である。
The fiber Bragg grating forming apparatus 10 of this embodiment will be described. FIG. 1 is a schematic explanatory view of a fiber Bragg grating forming device 10 of this embodiment. FIG. 2 is an enlarged sectional view of the diffraction grating 30. As shown in FIGS. 1 and 2, the fiber Bragg grating forming apparatus of the present embodiment diffracts the ultraviolet laser light UV by a diffraction grating 30 (generally called a phase mask), and the diffracted lights interfere with each other. Is an apparatus for forming an FBG on the core C of the optical fiber F by applying interference fringes generated by the optical fiber F to the core C of the optical fiber F. The outer surface UV1 (hereinafter referred to as the diaphragm surface UV1) is characterized by being narrowed so as to be inclined with respect to the axis BC of the light beam.

【0011】図1において、符号15は、248nmの
波長の紫外線域レーザー光UVを出射することができる
KrFエキシマレーザー等のレーザー光源を示している。
また、符号Fは、FBGが形成される光ファイバーを示
している。この光ファイバーFは、そのコアに、ゲルマ
ニウム(Ge)やリン(P)、ボロン(B)等のドープ元
素を含有するものである。
In FIG. 1, reference numeral 15 is capable of emitting ultraviolet laser light UV having a wavelength of 248 nm.
A laser light source such as a KrF excimer laser is shown.
Further, the symbol F indicates an optical fiber in which the FBG is formed. The optical fiber F has a core containing a doping element such as germanium (Ge), phosphorus (P), or boron (B).

【0012】前記レーザー光源15と光ファイバーFの
間には、レーザー光源15側から順に、入射手段20と
回折格子30が配置されている。この回折格子30は、
その入射手段20側の面が入射面31となっており、そ
の光ファイバーF側の面が放射面32となっている。ま
た、入射面31と放射面32は、互いに平行かついずれ
も平坦面に形成されている。この放射面32の表面に
は、互いに平行な複数の干渉溝33が形成されている。
この干渉溝33は、入射面31から入射された紫外線域
レーザー光UVを+1次回折および−1次回折させて、
+1次光および−1次光を放射面32から放射するとと
もに、放射面32から放射される0次光を押さえること
ができるように形成されている。しかも、隣接する干渉
溝33同士の間隔は、光ファイバーFに形成するFBG
における前記間隔Λと2倍の長さとなるように形成され
る。そして、回折格子30は、干渉溝33の溝方向が前
記光ファイバーFの軸方向と直交するように配設されて
いる。この回折格子30は、その放射面32と光ファイ
バーFの間の距離Lが1mm以下となるように配設する
ことが必要であり、両者がより接近しているほどFBG
の形成効率が高い。そして、最も好ましい状態は、回折
格子30の放射面32が光ファイバーFと軽く接する状
態である。
Between the laser light source 15 and the optical fiber F, an incident means 20 and a diffraction grating 30 are arranged in order from the laser light source 15 side. This diffraction grating 30 is
The surface on the incident means 20 side is the incident surface 31, and the surface on the optical fiber F side is the emitting surface 32. The incident surface 31 and the radiation surface 32 are parallel to each other and are both formed as flat surfaces. On the surface of the radiation surface 32, a plurality of interference grooves 33 parallel to each other are formed.
The interference groove 33 diffracts the ultraviolet laser light UV incident from the incident surface 31 into the + 1st-order diffraction and the -1st-order diffraction,
The + 1st order light and the −1st order light are emitted from the emitting surface 32, and the 0th order light emitted from the emitting surface 32 can be suppressed. Moreover, the distance between the adjacent interference grooves 33 is equal to the FBG formed in the optical fiber F.
Is formed so as to have a length twice as long as the distance Λ in the above. The diffraction grating 30 is arranged such that the groove direction of the interference groove 33 is orthogonal to the axial direction of the optical fiber F. The diffraction grating 30 needs to be arranged such that the distance L between the radiation surface 32 and the optical fiber F is 1 mm or less, and the closer the two are, the more the FBG is.
Formation efficiency is high. And, the most preferable state is a state where the radiation surface 32 of the diffraction grating 30 is in light contact with the optical fiber F.

【0013】また、回折格子30は、図示しない入射角
調整部に取り付けられている。この入射角調整部は、前
記回折格子30の入射面31を光ファイバーFの軸方向
に対して傾斜させることができるものである。このた
め、紫外線域レーザー光UVの光束の軸BCを、回折格
子30の入射面31に対して完全に垂直となるように微
調整することができる。
The diffraction grating 30 is attached to an incident angle adjusting section (not shown). The incident angle adjusting section can incline the incident surface 31 of the diffraction grating 30 with respect to the axial direction of the optical fiber F. Therefore, the axis BC of the light flux of the ultraviolet laser light UV can be finely adjusted so as to be completely perpendicular to the incident surface 31 of the diffraction grating 30.

【0014】図1に示すように、入射手段20は、レー
ザー光源15から出射された紫外線域レーザー光UVの
前記回折格子30に入射させるためのものであり、光束
サイズ変換器21、反射鏡22およびシリンドリカルレ
ンズ23を備えている。
As shown in FIG. 1, the incident means 20 is for making the laser light UV emitted from the laser light source 15 incident on the diffraction grating 30, and includes a light flux size converter 21 and a reflecting mirror 22. And a cylindrical lens 23.

【0015】光束サイズ変換器21は、レーザー光源1
5から出射された紫外線域レーザー光UVの絞り面UV1
を、その光束の軸BCに対して傾斜するように絞った状
態で出射するためのものであり、この光束サイズ変換器
21が特許請求の範囲にいう集光部である。この光束サ
イズ変換器21は、たとえば絞り調整機能を有するビー
ムエクスパンダなどである。
The light flux size converter 21 includes a laser light source 1
Aperture surface UV1 of the ultraviolet laser light UV emitted from 5
Is emitted in a state of being narrowed so as to be inclined with respect to the axis BC of the light flux, and the light flux size converter 21 is the light condensing unit in the claims. The light flux size converter 21 is, for example, a beam expander having a diaphragm adjusting function.

【0016】通常、レーザー光源15から出射された紫
外線域レーザー光UVは、それ自体が若干の拡がりを有
しているが、従来のファイバーブラッググレーティング
形成装置ではこの拡がりを補正することなく紫外線域レ
ーザー光UVを回折格子30に入射している。それに対
し、本実施形態のファイバーブラッググレーティング形
成装置10では、この光束サイズ変換器21から出射さ
れた紫外線域レーザー光UVの光束を0.6〜2.7ミ
リラジアン絞り、その絞り面UV1 と光束の軸BCとなす
角度θが0.4〜2.5ミリラジアンとなるように絞っ
ているのである。
Normally, the ultraviolet laser light UV emitted from the laser light source 15 itself has a slight spread, but the conventional fiber Bragg grating forming apparatus does not correct this spread and the ultraviolet laser is emitted. The light UV is incident on the diffraction grating 30. On the other hand, in the fiber Bragg grating forming device 10 of the present embodiment, the luminous flux of the ultraviolet laser light UV emitted from the luminous flux size converter 21 is reduced by 0.6 to 2.7 milliradian, and the diaphragm surface UV1 and the luminous flux The angle θ with the axis BC is narrowed to 0.4 to 2.5 milliradians.

【0017】例えば、後述する実施例に使用したレーザ
ー光源では、出射される紫外線域レーザー光UVは、約
−0.2ミリラジアンの拡がりを有しているため、0.
2ミリラジアン程度絞れば、上記のごとく紫外線域レー
ザー光UVを拡がりが約0ミリラジアンである平行光と
することができるが、本実施形態のファイバーブラッグ
グレーティング形成装置10では、紫外線域レーザー光
UVを0.2ミリラジアンよりも大きく絞り、紫外線域
レーザー光UVを絞りビームとしているのである。
For example, in the laser light source used in the examples described later, since the emitted laser light UV in the ultraviolet region has a spread of about -0.2 milliradian,
By narrowing down by about 2 milliradian, the laser light UV in the ultraviolet region can be made into a parallel light having a spread of about 0 milliradian as described above. However, in the fiber Bragg grating forming apparatus 10 of the present embodiment, the laser light UV in the ultraviolet region is 0. The diaphragm beam is made larger than 0.2 milliradian, and the ultraviolet laser light UV is used as the diaphragm beam.

【0018】反射鏡22は、光束サイズ変換器21から
出射された、紫外線域レーザー光UVを、前記回折格子
30に向けて屈折させるためのものであるが、レーザー
光源15から出射された紫外線域レーザーUVの先端が
回折格子30とほぼ垂直であれば設けなくてもよい。
The reflecting mirror 22 is for refracting the ultraviolet laser light UV emitted from the light beam size converter 21 toward the diffraction grating 30. The ultraviolet light emitted from the laser light source 15 is also included in the reflecting mirror 22. If the tip of the laser UV is substantially perpendicular to the diffraction grating 30, it may not be provided.

【0019】シリンドリカルレンズ23は、反射鏡22
で反射された紫外線域レーザー光UVを、その光束にお
ける光ファイバーFの軸方向と垂直方向の外面がその光
軸に対して傾斜するように、集光し絞るためのものであ
る。すると、紫外線レーザー光UVのエネルギー密度が
高くなり、光ファイバーFに照射される光を強くするこ
とができる。
The cylindrical lens 23 is a reflecting mirror 22.
It is for condensing and constricting the ultraviolet laser light UV reflected by the light flux so that the outer surface of the light flux in the direction perpendicular to the axial direction of the optical fiber F is inclined with respect to the optical axis. Then, the energy density of the ultraviolet laser light UV increases, and the light with which the optical fiber F is irradiated can be strengthened.

【0020】なお、光束サイズ変換器21はビームエク
スパンダに限られず、レーザー光源15から出射された
紫外線域レーザー光UVの絞り面UV1 を、その光束の軸
BCに対して傾斜するように絞った状態で出射すること
ができるものであれば、凸レンズと凹レンズの組み合わ
せでもよく、とくに限定はない。
The luminous flux size converter 21 is not limited to the beam expander, and the diaphragm surface UV1 of the ultraviolet laser light UV emitted from the laser light source 15 is narrowed so as to be inclined with respect to the axis BC of the luminous flux. A combination of a convex lens and a concave lens may be used as long as the light can be emitted in a state, and there is no particular limitation.

【0021】つぎに、本実施形態のファイバーブラッグ
グレーティングの形成装置10の作用と効果を説明す
る。まず、ファイバーブラッググレーティングを形成す
る光ファイバーFは、あらかじめ高圧の水素ガス雰囲気
中において、コアCに水素を含浸させておく。すると、
コアCに含まれるゲルマニウムの紫外線域レーザー光U
Vに対する感光性を良くすることができる。
Next, the operation and effect of the fiber Bragg grating forming apparatus 10 of this embodiment will be described. First, in the optical fiber F forming the fiber Bragg grating, the core C is preliminarily impregnated with hydrogen in a high-pressure hydrogen gas atmosphere. Then,
Ultraviolet laser light U of germanium contained in core C
The photosensitivity to V can be improved.

【0022】前記レーザー光源15から紫外線域レーザ
ー光UVを放射すると、その紫外線域レーザー光UV
は、光束サイズ変換器21に入射する。すると、光束サ
イズ変換器21によって紫外線域レーザー光UVは、そ
の絞り面UV1 が、その光束の軸BCに対してなす角度θ
が、0.4〜2.5ミリラジアンとなるように絞られて
から、反射鏡22に向けて放射される。ついで、紫外線
域レーザー光UVは、反射鏡22によって回折格子30
の入射面31に向けて屈折される。
When the laser light source 15 emits an ultraviolet laser light UV, the ultraviolet laser light UV is emitted.
Enters the light flux size converter 21. Then, the light beam size converter 21 causes the laser light UV in the ultraviolet range to have an angle θ formed by the diaphragm surface UV1 with respect to the axis BC of the light beam.
Is squeezed to be 0.4 to 2.5 milliradians and then radiated toward the reflecting mirror 22. Then, the ultraviolet laser light UV is reflected by the reflecting mirror 22 to the diffraction grating 30.
The light is refracted toward the incident surface 31 of.

【0023】そして、反射鏡22によって反射された紫
外線域レーザー光UVは、シリンドリカルレンズ23を
通って回折格子30に入射される。このとき、紫外線域
レーザー光UVは、その光束における光ファイバーFの
軸方向と垂直方向の外面はその光軸に対して傾斜するよ
うに集光し絞られるが、その絞り面UV1 は、その光束の
軸BCとなす角度θが、0.4〜2.5ミリラジアンに
保たれたままで回折格子30の入射面31に入射され
る。
The ultraviolet laser light UV reflected by the reflecting mirror 22 enters the diffraction grating 30 through the cylindrical lens 23. At this time, the ultraviolet laser light UV is focused and focused so that the outer surface of the light flux in the direction perpendicular to the axial direction of the optical fiber F is inclined with respect to the optical axis. The angle θ with respect to the axis BC is incident on the incident surface 31 of the diffraction grating 30 while being kept at 0.4 to 2.5 milliradians.

【0024】すると、紫外線域レーザー光UVは回折格
子30の干渉溝33によって回折され、その放射面32
から放射された+1次光と−1次光が干渉して、光ファ
イバーFの中心軸方向に縞間隔がΛである干渉縞が形成
され、この干渉縞は光ファイバーFのコアCに照射され
る。
Then, the ultraviolet laser light UV is diffracted by the interference groove 33 of the diffraction grating 30, and its radiation surface 32.
The + 1st-order light and the -1st-order light emitted from the two interfere with each other to form an interference fringe having a fringe spacing of Λ in the central axis direction of the optical fiber F, and the interference fringe is applied to the core C of the optical fiber F.

【0025】すると、コアCに含有されているゲルマニ
ウムが紫外線域レーザー光UVに感光して、干渉縞の光
のエネルギー強度の分布に対応した屈折率の変化がコア
C内に生じるので、FBGを光ファイバーFのコアCに
形成することができる。
Then, the germanium contained in the core C is exposed to the laser light UV in the ultraviolet region, and a change in the refractive index corresponding to the distribution of the energy intensity of the light of the interference fringes occurs in the core C. It can be formed on the core C of the optical fiber F.

【0026】上記のごとく、本実施形態のファイバーブ
ラッググレーティング形成装置10によれば、光ファイ
バーFのコアCにFBGを形成することができる。この
FBGは、回折格子30に平行光となった紫外線域レー
ザー光UVを入射して形成されたFBGに比べて、光フ
ァイバーのコアCに形成される縞模様のコントラストを
明確にすることができる。よって、FBGの特定波長に
対する反射特性を向上させることができ、かつ特定波長
以外の波長の透過特性を向上させることができる。した
がって、本実施形態のファイバーブラッググレーティン
グ形成装置10で形成されたFBGを、光ファイバー通
信等における光合波・分波器のフィルタとして用いれ
ば、クロストークを大きく低減することができる。
As described above, according to the fiber Bragg grating forming apparatus 10 of this embodiment, the FBG can be formed in the core C of the optical fiber F. This FBG can clarify the contrast of the striped pattern formed on the core C of the optical fiber, as compared with the FBG formed by entering the ultraviolet laser light UV that has become parallel light into the diffraction grating 30. Therefore, it is possible to improve the reflection characteristics of the FBG with respect to the specific wavelength and also improve the transmission characteristics of wavelengths other than the specific wavelength. Therefore, if the FBG formed by the fiber Bragg grating forming device 10 of the present embodiment is used as a filter of an optical multiplexer / demultiplexer in optical fiber communication or the like, crosstalk can be greatly reduced.

【0027】また、回折格子30に入射される紫外線域
レーザー光UVの絞り面UV1 が、その光束の軸BCとな
す角度θが0.4〜2.5ミリラジアンである。このた
め、本実施形態のファイバーブラッググレーティング形
成装置10で形成されたFBGは、従来のファイバーブ
ラッググレーティング形成装置で形成されたFBGに比
べて、反射信号における−3dB帯域幅内の信号の強度
の減衰を大幅に低減することができ、かつ−3dB帯域
幅の外側の波長の信号の強度を大幅に低下させることが
できる。
The angle θ formed by the diaphragm surface UV1 of the ultraviolet laser light UV incident on the diffraction grating 30 with the axis BC of the light beam is 0.4 to 2.5 milliradians. Therefore, the FBG formed by the fiber Bragg grating forming apparatus 10 according to the present embodiment is more attenuated than the FBG formed by the conventional fiber Bragg grating forming apparatus in the intensity of the signal within the −3 dB bandwidth of the reflected signal. Can be significantly reduced, and the strength of signals at wavelengths outside the −3 dB bandwidth can be significantly reduced.

【0028】[0028]

【実施例】つぎに、実施例1を説明する。本発明のファ
イバーブラッググレーティング形成装置10によって形
成されたFBG、つまり絞り光(絞り角1.1ミリラジ
アン)を照射して形成されたFBG(実施例1)と、通
常のファイバーブラッググレーティング形成装置によっ
て形成されたFBG、つまり平行光(絞り角0ミリラジ
アン)を照射して形成されたFBG(比較例1)、およ
び拡がり光(絞り角−3.3ミリラジアン)を照射して
形成されたFBG(比較例2)において、特定波長に対
する反射特性を比較した。なお、絞り角とは、回折格子
30に入射される紫外線域レーザー光UVの光束におけ
る光ファイバーFの軸方向の外面が、その光束の軸BC
となす角度θのことであり、+の場合は光束サイズ変換
器21から回折格子30に向かうに従い光束が集光され
る場合であり、−の場合は光束サイズ変換器21から回
折格子30に向かうに従い光束が広がる場合である。
[Embodiment] Next, Embodiment 1 will be described. The FBG formed by the fiber Bragg grating forming apparatus 10 of the present invention, that is, the FBG formed by irradiating the diaphragm light (diaphragm angle of 1.1 milliradian) (Example 1), and the ordinary fiber Bragg grating forming apparatus. FBG formed by irradiating parallel light (diaphragm angle of 0 milliradian) (comparative example 1) and divergent light (diaphragm angle of -3.3 milliradian) (comparative example) In 2), the reflection characteristics for specific wavelengths were compared. The stop angle means that the outer surface in the axial direction of the optical fiber F in the light flux of the ultraviolet laser light UV incident on the diffraction grating 30 is the axis BC of the light flux.
The angle θ is defined as follows. When +, the light beam is condensed as it goes from the light beam size converter 21 to the diffraction grating 30, and when −, it goes from the light beam size converter 21 to the diffraction grating 30. Accordingly, the luminous flux spreads.

【0029】レーザー光源15には、照射エキシマレー
ザー装置(ラムダフィジックス社製COMPex102MJ)を用
い、波長が248nmであるエキシマレーザー光を、1パ
ルス当たりのエネルギーが170mJ、くり返し周波数は
20Hzで出射させて、光ファイバーに4分間照射した。
上記のレーザー光源15から出射される紫外線域レーザ
ー光UVでは、その光束の外面と光束の軸BCとなす角
度θは−0.2ミリラジアンである。入射手段20の光
束サイズ変換器21には、入射光を絞り光として出射す
ることができるエキシマレーザー光帯域用ビームエクス
パンダ(CVC社製)を用いた。FBGを形成した光ファ
イバーFは標準的なシングルモード用のSMF28ファイバ
ーであり、100気圧の水素雰囲気で水素ローディング
を行ってから使用した。また、回折格子30の放射面3
2から放射される0次光と2次回折光は、透過光量の2
%程度であり+1次回折光と−1次回折光による干渉縞
の形成に影響を与えない程度に抑えられている。
An irradiation excimer laser device (Compex 102MJ manufactured by Lambda Physics Co., Ltd.) is used as the laser light source 15, and excimer laser light having a wavelength of 248 nm is emitted at an energy of 170 mJ per pulse and a repetition frequency of 20 Hz. The optical fiber was illuminated for 4 minutes.
In the ultraviolet laser light UV emitted from the laser light source 15, the angle θ between the outer surface of the light beam and the axis BC of the light beam is −0.2 milliradian. As the light flux size converter 21 of the incident means 20, a beam expander for excimer laser light band (manufactured by CVC) that can emit incident light as diaphragm light is used. The optical fiber F forming the FBG is a standard single mode SMF28 fiber, which was used after hydrogen loading was performed in a hydrogen atmosphere of 100 atm. In addition, the radiation surface 3 of the diffraction grating 30
The 0th-order light and the 2nd-order diffracted light emitted from 2 are 2
%, Which is suppressed to such an extent that it does not affect the formation of interference fringes by the + 1st-order diffracted light and the -1st-order diffracted light.

【0030】図4(A)はFBGの透過特性を比較した
図であり、(B)はFBGの反射特性を比較した図であ
る。なお、図4において、(a)は実施例1、(b)は
比較例1、(c)は比較例2の反射信号スペクトルを示
している。図4(B)に示すように、比較例2では、長
波長側および短波長側の両方でデコボコのスペクトル
(以下、サイドローブという)の発生が見られる。この
サイドローブは、比較例1では若干小さくなっている
が、大きくは改善されていない。しかし、実施例1のス
ペクトルでは、サイドローブはほぼなくなり、スペクト
ルがなめらかに変化することが確認できる。このサイド
ローブは反射信号のノイズの原因となることから、実施
例1は、比較例1および比較例2に比べて、反射信号の
質が向上することが確認できる。また、図4(A)に示
すように、実施例1の透過信号のスペクトルは、比較例
1および比較例2の透過信号のスペクトルに比べて中心
波長近傍の凹みの幅が広くなっている。このことから
も、実施例1では反射信号の質が向上したことが確認で
きる。したがって、紫外線域レーザー光UVの絞り面UV
1 が、その光束の軸BCに対して傾斜するように絞って
から回折格子30に入射させれば、形成されたFBGの
透過特性を向上させることができることが確認できる。
FIG. 4A is a diagram comparing the transmission characteristics of FBGs, and FIG. 4B is a diagram comparing the reflection characteristics of FBGs. In FIG. 4, (a) shows the reflection signal spectrum of Example 1, (b) shows the reflection signal spectrum of Comparative Example 1, and (c) shows the reflection signal spectrum of Comparative Example 2. As shown in FIG. 4 (B), in Comparative Example 2, generation of uneven spectrum (hereinafter referred to as side lobe) is observed on both the long wavelength side and the short wavelength side. This side lobe is slightly smaller in Comparative Example 1, but is not significantly improved. However, in the spectrum of Example 1, it can be confirmed that the side lobes are almost eliminated and the spectrum changes smoothly. Since this side lobe causes noise in the reflected signal, it can be confirmed that the quality of the reflected signal is improved in Example 1 as compared with Comparative Examples 1 and 2. Further, as shown in FIG. 4A, in the spectrum of the transmission signal of Example 1, the width of the recess near the center wavelength is wider than that of the spectra of the transmission signals of Comparative Example 1 and Comparative Example 2. From this, it can be confirmed that the quality of the reflected signal is improved in Example 1. Therefore, the diaphragm surface UV of the ultraviolet laser light UV
It can be confirmed that the transmission characteristics of the formed FBG can be improved by narrowing 1 so as to incline with respect to the axis BC of the light flux and then making it enter the diffraction grating 30.

【0031】つぎに、実施例2を説明する。本実施形態
のファイバーブラッググレーティング形成装置10によ
って形成されたFBGにおいて、照射光の絞り角を変化
させたときにおける反射特性を比較した。比較は、絞り
角が1.1ミリラジアンの場合(実施例2)と、絞り角
3.3ミリラジアン(比較例3)において、特定波長に
対する反射特性および透過特性を比較した。
Next, a second embodiment will be described. In the FBG formed by the fiber Bragg grating forming apparatus 10 of the present embodiment, the reflection characteristics when the aperture angle of the irradiation light was changed were compared. For comparison, the reflection characteristic and the transmission characteristic for a specific wavelength were compared when the aperture angle was 1.1 milliradian (Example 2) and when the aperture angle was 3.3 milliradian (Comparative Example 3).

【0032】レーザー光源15には、照射エキシマレー
ザー装置(ラムダフィジックス社製COMPex102MJ)を用
い、波長が248nmであるエキシマレーザー光を、1パ
ルス当たりのエネルギーが170mJ、くり返し周波数は
20Hzで出射させて、光ファイバーに4分間照射した。
上記のレーザー光源15から出射される紫外線域レーザ
ー光UVでは、その光束の外面と光束の軸BCとなす角
度θは−0.2ミリラジアンである。入射手段20の光
束サイズ変換器21には、入射光を絞り光として出射す
ることができるエキシマレーザー光帯域用ビームエクス
パンダ(CVC社製)を用いた。FBGを形成した光ファ
イバーFは標準的なシングルモード用のSMF28ファイバ
ーであり、100気圧の水素雰囲気で水素ローディング
を行ってから使用した。また、回折格子30の放射面3
2から放射される0次光と2次回折光は、透過光量の2
%程度であり+1次回折光と−1次回折光による干渉縞
の形成に影響を与えない程度に抑えられている。
An irradiation excimer laser device (Compex 102MJ manufactured by Lambda Physics Co., Ltd.) is used as the laser light source 15, and excimer laser light having a wavelength of 248 nm is emitted at an energy per pulse of 170 mJ and a repetition frequency of 20 Hz. The optical fiber was illuminated for 4 minutes.
In the ultraviolet laser light UV emitted from the laser light source 15, the angle θ between the outer surface of the light beam and the axis BC of the light beam is −0.2 milliradian. As the light flux size converter 21 of the incident means 20, a beam expander for excimer laser light band (manufactured by CVC) that can emit incident light as diaphragm light is used. The optical fiber F forming the FBG is a standard single mode SMF28 fiber, which was used after hydrogen loading was performed in a hydrogen atmosphere of 100 atm. In addition, the radiation surface 3 of the diffraction grating 30
The 0th-order light and the 2nd-order diffracted light emitted from 2 are 2
%, Which is suppressed to such an extent that it does not affect the formation of interference fringes by the + 1st-order diffracted light and the -1st-order diffracted light.

【0033】図5(A)はFBGの透過特性を比較した
図であり、(B)はFBGの反射特性を比較した図であ
る。なお、図5において、(a)は実施例2、(b)は
比較例3の反射信号スペクトルを示している。図5
(B)に示すように、比較例3では、実施例2ではみら
れなかったサイドローブの発生が見られる。また、図5
(A)に示すように、比較例3の透過信号のスペクトル
は、実施例2の透過信号のスペクトルに比べて中心波長
近傍の凹みが浅くなっている。つまり、FBGで反射さ
れずに透過してしまった信号が増加していることが確認
できる。つまり、紫外線域レーザー光UVを回折格子3
0に入射させるときに、その絞り面UV1 とその光束の軸
BCに対して傾斜する角度を大きくしすぎる、つまり紫
外線域レーザー光UVを絞りすぎると、形成されたFB
Gの透過特性は、逆に悪くなることが確認できる。
FIG. 5A is a diagram comparing the transmission characteristics of the FBGs, and FIG. 5B is a diagram comparing the reflection characteristics of the FBGs. In FIG. 5, (a) shows the reflection signal spectrum of Example 2 and (b) shows the reflection signal spectrum of Comparative Example 3. Figure 5
As shown in (B), in Comparative Example 3, the occurrence of side lobes, which was not observed in Example 2, can be seen. Also, FIG.
As shown in (A), in the spectrum of the transmission signal of Comparative Example 3, the recess near the center wavelength is shallower than in the spectrum of the transmission signal of Example 2. That is, it can be confirmed that the number of signals transmitted without being reflected by the FBG increases. In other words, the laser light UV in the ultraviolet region is used for diffraction grating
If the angle of inclination with respect to the diaphragm surface UV1 and the axis BC of the light flux when the light is incident on 0 is too large, that is, if the ultraviolet laser light UV is too narrow, the FB formed
It can be confirmed that the transmission characteristic of G deteriorates.

【0034】つぎに、実施例3を説明する。本実施形態
のファイバーブラッググレーティング形成装置10によ
って形成されたFBGにおいて、照射光の絞り角の変化
に対する−3dB帯域幅の変化を確認した。実験は、照
射光の絞り角が−3.3ミリラジアンから絞り角3.3
ミリラジアンまで変化させた。
Next, a third embodiment will be described. In the FBG formed by the fiber Bragg grating forming device 10 of the present embodiment, a change in −3 dB bandwidth with respect to a change in the aperture angle of the irradiation light was confirmed. In the experiment, the aperture angle of the irradiation light was -3.3 milliradians and the aperture angle was 3.3.
I changed to milliradians.

【0035】レーザー光源15には、照射エキシマレー
ザー装置(ラムダフィジックス社製COMPex102MJ)を用
い、波長が248nmであるエキシマレーザー光を、1パ
ルス当たりのエネルギーが170mJ、くり返し周波数は
20Hzで出射させて、光ファイバーに4分間照射した。
上記のレーザー光源15から出射される紫外線域レーザ
ー光UVでは、その光束の外面と光束の軸BCとなす角
度θは−0.2ミリラジアンである。入射手段20の光
束サイズ変換器21には、入射光を絞り光として出射す
ることができるエキシマレーザー光帯域用ビームエクス
パンダ(CVC社製)を用いた。FBGを形成した光ファ
イバーFは標準的なシングルモード用のSMF28ファイバ
ーであり、100気圧の水素雰囲気で水素ローディング
を行ってから使用した。また、回折格子30の放射面3
2から放射される0次光と2次回折光は、透過光量の2
%程度であり+1次回折光と−1次回折光による干渉縞
の形成に影響を与えない程度に抑えられている。
An irradiation excimer laser device (COMPex 102MJ manufactured by Lambda Physics, Inc.) is used as the laser light source 15, and excimer laser light having a wavelength of 248 nm is emitted at an energy per pulse of 170 mJ and a repetition frequency of 20 Hz. The optical fiber was illuminated for 4 minutes.
In the ultraviolet laser light UV emitted from the laser light source 15, the angle θ between the outer surface of the light beam and the axis BC of the light beam is −0.2 milliradian. As the light flux size converter 21 of the incident means 20, a beam expander for excimer laser light band (manufactured by CVC) that can emit incident light as diaphragm light is used. The optical fiber F forming the FBG is a standard single mode SMF28 fiber, which was used after hydrogen loading was performed in a hydrogen atmosphere of 100 atm. In addition, the radiation surface 3 of the diffraction grating 30
The 0th-order light and the 2nd-order diffracted light emitted from 2 are 2
%, Which is suppressed to such an extent that it does not affect the formation of interference fringes by the + 1st-order diffracted light and the -1st-order diffracted light.

【0036】図6は絞り角の変化に対する−3dB帯域
幅の変化を示した図である。図6に示すように、平行光
から絞り角を増加、つまり紫外線域レーザー光UVの絞
り面UV1 がその光束の軸BCに対して傾斜する角度を大
きくすると、−3dB帯域幅が広くなりITU‐T規格
の帯域幅である0.4nmとほぼ一致する。そして、−3d
B帯域幅が0.4〜2.5ミリラジアンの間はほぼ一定
である。そして、2.5ミリラジアンを越えると、−3
dB帯域幅が急に狭くなり、それよりも絞り角を増加さ
せると、−3dB帯域幅は徐々に狭くなる。逆に、絞り
角を0.4ミリラジアンより小さくすると、−3dB帯
域幅は急に狭くなり、それよりも絞り角を減少させる
と、−3dB帯域幅は徐々に狭くなる。そして、平行光
から拡がり光としても、−3dB帯域幅は徐々に狭くな
る傾向が続くことが確認できる。したがって、紫外線域
レーザー光UVを回折格子30に絞って入射させるとき
に、その絞り角には最適な範囲があり、本実施例では、
その範囲は、0.4〜2.5ミリラジアンであることが
確認できる。
FIG. 6 is a diagram showing a change in -3 dB bandwidth with respect to a change in aperture angle. As shown in FIG. 6, when the aperture angle is increased from parallel light, that is, when the angle at which the aperture surface UV1 of the ultraviolet laser light UV is inclined with respect to the axis BC of the light beam is increased, the -3 dB bandwidth becomes wider and the ITU- It is almost the same as the T standard bandwidth of 0.4 nm. And -3d
The B bandwidth is almost constant between 0.4 and 2.5 milliradians. And, when it exceeds 2.5 milliradian, -3
The dB bandwidth sharply narrows, and if the aperture angle is increased more than that, the -3 dB bandwidth gradually narrows. On the contrary, when the aperture angle is smaller than 0.4 milliradian, the -3 dB bandwidth becomes narrow rapidly, and when the aperture angle is made smaller than that, the -3 dB bandwidth becomes gradually narrower. It can be confirmed that the -3 dB bandwidth continues to be gradually narrowed even when the light is expanded from parallel light. Therefore, when the ultraviolet laser light UV is narrowed down and incident on the diffraction grating 30, the diaphragm angle has an optimum range, and in this embodiment,
It can be confirmed that the range is 0.4 to 2.5 milliradians.

【0037】[0037]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、平行光を入射
して形成されたファイバーブラッググレーティングに比
べて、形成されたファイバーブラッググレーティングの
特定波長に対する反射特性を向上させることができ、か
つ特定波長以外の波長の透過特性を向上させることがで
きる。したがって、本形成装置で形成されたファイバー
ブラッググレーティングを、光ファイバー通信における
光合波・分波器のフィルタとして用いれば、クロストー
クを大きく低減することができる。請求項2の発明によ
れば、本形成装置で形成されたファイバーブラッググレ
ーティングを用いれば、反射信号における−3dB帯域
幅内の信号の強度の減衰を大幅に低減することができ、
かつ−3dB帯域幅の外側の波長の信号の強度を大幅に
低下させることができる。しかも、−3dB帯域幅を、
所望のチャンネルの帯域幅に合わせることができる。し
たがって、本形成装置で形成されたファイバーブラッグ
グレーティングを、光ファイバー通信における光合波・
分波器のフィルタとして用いれば、クロストークを大き
く低減することができる。請求項3の発明によれば、前
記紫外線域レーザー光の光束の軸が、前記光ファイバー
の軸方向および前記回折格子の放射面に対して垂直とな
るように入射されるので、ファイバーブラッググレーテ
ィングを精度良く形成することができる。請求項4の発
明によれば、平行光を入射する場合に比べて、ファイバ
ーブラッググレーティングによる特定波長に対する反射
特性を向上させることができ、かつ特定波長以外の波長
の透過特性を向上させることができる。したがって、本
形成方法で形成されたファイバーブラッググレーティン
グを、光ファイバー通信における光合波・分波器のフィ
ルタとして用いれば、クロストークを大きく低減するこ
とができる。請求項5の発明によれば、本形成装置で形
成されたファイバーブラッググレーティングを用いれ
ば、反射信号における−3dB帯域幅内の信号の強度の
減衰を大幅に低減することができ、かつ−3dB帯域幅
の外側の波長の信号の強度を大幅に低下させることがで
きる。しかも、−3dB帯域幅を、所望のチャンネルの
帯域幅に合わせることができる。したがって、本形成装
置で形成されたファイバーブラッググレーティングを、
光ファイバー通信における光合波・分波器のフィルタと
して用いれば、クロストークを大きく低減することがで
きる。
According to the invention of claim 1, as compared with the fiber Bragg grating formed by incident parallel light, the reflection characteristic of the formed fiber Bragg grating for a specific wavelength can be improved, and The transmission characteristics of wavelengths other than the specific wavelength can be improved. Therefore, if the fiber Bragg grating formed by this forming apparatus is used as a filter of an optical multiplexer / demultiplexer in optical fiber communication, crosstalk can be greatly reduced. According to the invention of claim 2, by using the fiber Bragg grating formed by this forming apparatus, it is possible to significantly reduce the attenuation of the signal intensity within the −3 dB bandwidth in the reflected signal,
In addition, it is possible to significantly reduce the intensity of signals having wavelengths outside the -3 dB bandwidth. Moreover, the -3 dB bandwidth is
It can be tailored to the bandwidth of the desired channel. Therefore, the fiber Bragg grating formed by this forming device is used for optical multiplexing / combining in optical fiber communication.
If it is used as a filter of a duplexer, crosstalk can be greatly reduced. According to the invention of claim 3, since the axis of the light flux of the ultraviolet laser light is made incident so as to be perpendicular to the axial direction of the optical fiber and the emission surface of the diffraction grating, the fiber Bragg grating can be accurately measured. It can be formed well. According to the invention of claim 4, the reflection characteristic of the fiber Bragg grating for a specific wavelength can be improved and the transmission characteristic of a wavelength other than the specific wavelength can be improved as compared with the case where parallel light is incident. . Therefore, if the fiber Bragg grating formed by this forming method is used as a filter of an optical multiplexer / demultiplexer in optical fiber communication, crosstalk can be greatly reduced. According to the invention of claim 5, by using the fiber Bragg grating formed by the present forming apparatus, it is possible to significantly reduce the attenuation of the signal intensity within the -3 dB bandwidth in the reflected signal, and the -3 dB band. It is possible to significantly reduce the intensity of signals of wavelengths outside the width. Moreover, the −3 dB bandwidth can be matched to the bandwidth of the desired channel. Therefore, the fiber Bragg grating formed by this forming apparatus is
When used as a filter for an optical multiplexer / demultiplexer in optical fiber communication, crosstalk can be greatly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施形態のファイバーブラッググレーティン
グ形成装置10の概略説明図である。
FIG. 1 is a schematic explanatory view of a fiber Bragg grating forming device 10 of the present embodiment.

【図2】回折格子30の拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a diffraction grating 30.

【図3】(A)はFBGが形成された光ファイバーFの
概略説明図であり、(B)はFBGに入射された入射光
LB0のスペクトル、FBGによって反射された反射光
LB1のスペクトルおよびFBGによって反射された透
過光LB2のスペクトルを示した図である。
3A is a schematic explanatory view of an optical fiber F on which an FBG is formed, and FIG. 3B is a spectrum of incident light LB0 incident on the FBG, a spectrum of reflected light LB1 reflected by the FBG, and an FBG. It is the figure which showed the spectrum of the reflected transmitted light LB2.

【図4】(A)はFBGの透過特性を比較した図であ
り、(B)はFBGの反射特性を比較した図である。
FIG. 4A is a diagram comparing the transmission characteristics of FBGs, and FIG. 4B is a diagram comparing the reflection characteristics of FBGs.

【図5】(A)はFBGの透過特性を比較した図であ
り、(B)はFBGの反射特性を比較した図である。
5A is a diagram comparing the transmission characteristics of FBGs, and FIG. 5B is a diagram comparing the reflection characteristics of FBGs.

【図6】絞り角の変化に対する−3db帯域幅の変化を
示した図である。
FIG. 6 is a diagram showing a change in -3db bandwidth with respect to a change in aperture angle.

【符号の説明】 10 ファイバーブラッググレーティング形成装置 15 レーザー光源 20 入射手段 30 回折格子 31 入射面 32 放射面 33 干渉溝 UV 紫外線域レーザー光 F 光ファイバー C コア[Explanation of symbols] 10 Fiber Bragg grating forming device 15 Laser light source 20 means of incidence 30 diffraction grating 31 incident surface 32 Radiating surface 33 interference groove UV UV laser light F optical fiber C core

フロントページの続き (72)発明者 木村 進 香川県大川郡志度町大字志度1298番地12 伸興電線株式会社内 (72)発明者 福山 純行 香川県大川郡志度町大字志度1298番地12 伸興電線株式会社内 (72)発明者 水谷 康男 香川県大川郡志度町大字志度1298番地12 伸興電線株式会社内 (72)発明者 竹村 豊 香川県大川郡志度町大字志度1298番地12 伸興電線株式会社内 Fターム(参考) 2H049 AA02 AA06 AA34 AA52 AA55 AA58 AA59 AA62 2H050 AB05X AC82 AC84 AD00Continued front page    (72) Inventor Susumu Kimura             1298 Shido, Shido-machi, Okawa-gun, Kagawa             Shinko Electric Cable Co., Ltd. (72) Inventor Jun Fukuyama             1298 Shido, Shido-machi, Okawa-gun, Kagawa             Shinko Electric Cable Co., Ltd. (72) Inventor Yasuo Mizutani             1298 Shido, Shido-machi, Okawa-gun, Kagawa             Shinko Electric Cable Co., Ltd. (72) Inventor Yutaka Takemura             1298 Shido, Shido-machi, Okawa-gun, Kagawa             Shinko Electric Cable Co., Ltd. F-term (reference) 2H049 AA02 AA06 AA34 AA52 AA55                       AA58 AA59 AA62                 2H050 AB05X AC82 AC84 AD00

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光ファイバーのコアにブラッググレーティ
ングを形成するための形成装置であって、該形成装置
が、可干渉性を有する紫外線域レーザー光を出射するレ
ーザー光源と、複数の干渉溝が形成された放射面を有
し、該放射面が前記光ファイバーと対向するように配設
された回折格子と、前記レーザー光源から出射された紫
外線域レーザー光を、前記回折格子の入射面に入射させ
る入射手段とからなり、前記回折格子の入射面が、該回
折格子の放射面と互いに平行となるように形成されてお
り、前記回折格子が、その放射面に形成された前記複数
の干渉溝が前記光ファイバーの軸方向と直交するように
配設されており、前記回折格子の複数の干渉溝が、該回
折格子の入射面に入射された紫外線域レーザー光を+1
次回折および−1次回折させて、+1次回折光および−
1次回折光を放射面から放射させるように形成されてお
り、前記入射手段が、前記紫外線域レーザー光を集光さ
せて、前記紫外線域レーザー光の光束における前記光フ
ァイバーの軸方向の外面を、その光束の軸に対して傾斜
するように絞った状態で、前記回折格子に入射させる集
光部を備えていることを特徴とするファイバーブラッグ
グレーティングの形成装置。
1. A forming apparatus for forming a Bragg grating in a core of an optical fiber, wherein the forming apparatus is provided with a laser light source for emitting coherent ultraviolet laser light and a plurality of interference grooves. Diffractive grating having a radiating surface, the radiating surface facing the optical fiber, and an incident means for allowing the ultraviolet laser light emitted from the laser light source to be incident on the incident surface of the diffractive grating. And the plurality of interference grooves formed on the radiation surface of the diffraction grating are formed so that the incident surface of the diffraction grating is parallel to the radiation surface of the diffraction grating. Are arranged so as to be orthogonal to the axial direction of the diffraction grating, and the plurality of interference grooves of the diffraction grating add +1 to the ultraviolet laser light incident on the incident surface of the diffraction grating.
The 1st and -1st orders are diffracted, and the + 1st order diffracted light and-
It is formed so as to radiate the first-order diffracted light from the radiation surface, and the incidence means collects the ultraviolet region laser light to form an outer surface in the axial direction of the optical fiber in the light flux of the ultraviolet region laser light. An apparatus for forming a fiber Bragg grating, comprising: a condensing unit that is made to enter the diffraction grating in a state of being narrowed so as to be inclined with respect to the axis of a light beam.
【請求項2】前記回折格子の入射面に入射される前記紫
外線域レーザー光の光束における前記光ファイバーの軸
方向の外面が、その光束の軸に対してなす角度が、0.
4〜2.5ミリラジアンであることを特徴とする請求項
1記載のファイバーブラッググレーティングの形成装
置。
2. The angle formed by the outer surface in the axial direction of the optical fiber in the light flux of the ultraviolet laser light incident on the incident surface of the diffraction grating with respect to the axis of the light flux is 0.
The fiber Bragg grating forming apparatus according to claim 1, wherein the fiber Bragg grating has a diameter of 4 to 2.5 milliradians.
【請求項3】前記紫外線域レーザー光を、その光束の軸
が前記回折格子の入射面に対して垂直となるように入射
させる入射角調整部を備えたことを特徴とする請求項1
記載のファイバーブラッググレーティングの形成装置。
3. An incident angle adjusting unit for causing the laser light in the ultraviolet region to enter such that the axis of the light flux is perpendicular to the incident surface of the diffraction grating.
Apparatus for forming the fiber Bragg grating described.
【請求項4】光ファイバーのコアにブラッググレーティ
ングを形成するための形成方法であって、レーザー光源
から紫外線域レーザー光を出射させ、該紫外線域レーザ
ー光を、その光束における光ファイバーの軸方向の外面
がその光束の軸に対して傾斜するように集光部によって
集光させ、集光された前記紫外線域レーザー光を回折格
子の入射面に入射させ、前記回折格子の入射面と互いに
平行な放射面に形成された、光ファイバーの軸方向と直
交する複数の干渉溝によって、前記紫外線域レーザー光
を+1次回折および−1次回折させ、前記紫外線域レー
ザー光の+1次回折光および−1次回折光を、前記回折
格子の放射面から光ファイバーに向けて放射することを
特徴とするファイバーブラッググレーティングの形成方
法。
4. A method for forming a Bragg grating in a core of an optical fiber, wherein a laser light source emits an ultraviolet region laser beam, and the ultraviolet region laser beam is directed to an outer surface in an axial direction of the optical fiber. The ultraviolet rays are condensed by the condensing unit so as to be inclined with respect to the axis of the light flux, and the condensed laser light in the ultraviolet region is incident on the incident surface of the diffraction grating, and the emission surface parallel to the incident surface of the diffraction grating. Formed by, by a plurality of interference grooves orthogonal to the axial direction of the optical fiber, the ultraviolet region laser light is + 1st order diffraction and -1st order diffraction, + 1st order diffraction light and -1st order diffraction light of the ultraviolet range laser light, A method of forming a fiber Bragg grating, characterized in that the light is emitted from an emission surface of the diffraction grating toward an optical fiber.
【請求項5】前記回折格子の入射面に入射される前記紫
外線域レーザー光の光束における前記光ファイバーの軸
方向の外面が、その光束の軸に対してなす角度が、0.
4〜2.5ミリラジアンであることを特徴とする請求項
4記載のファイバーブラッググレーティングの形成方
法。
5. The angle formed by the outer surface in the axial direction of the optical fiber of the light flux of the ultraviolet laser light incident on the incident surface of the diffraction grating with respect to the axis of the light flux is 0.
The method for forming a fiber Bragg grating according to claim 4, wherein the fiber Bragg grating has a diameter of 4 to 2.5 milliradians.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105700069A (en) * 2016-04-29 2016-06-22 燕山大学 Multi-core optical fiber used for preparing multi-core anisotropic grating and grating write-in method
US10976487B2 (en) 2016-03-25 2021-04-13 Fujikura Ltd. Manufacturing device and manufacturing method of optical fiber grating
CN115343796A (en) * 2022-08-16 2022-11-15 常州莱特康光电科技有限公司 Fiber grating apodization device and fiber grating apodization method

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