JP2003197106A - Ac type gas discharge display device and method of manufacturing the device - Google Patents

Ac type gas discharge display device and method of manufacturing the device

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JP2003197106A JP2001306875A JP2001306875A JP2003197106A JP 2003197106 A JP2003197106 A JP 2003197106A JP 2001306875 A JP2001306875 A JP 2001306875A JP 2001306875 A JP2001306875 A JP 2001306875A JP 2003197106 A JP2003197106 A JP 2003197106A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an AC type gas discharge display device of three electrode structure capable of suppressing a deformation resulting from a heat treatment performed at the time of electrode formation and easily providing a write electrode of proper size at a proper position and a method of manufacturing the display device. <P>SOLUTION: In the manufacture of a PDP10, thick film conductive layers, i.e., a maintaining wire layer 36 and a write wire layer 40 for forming a maintaining electrode 46 and a write electrode 48 are provided on a sheet member 20. The maintaining electrode 46 and write electrode 48 can be provided by merely disposing the sheet member 20 between a front plate 16 and a rear plate 18. When a discharge electrode is installed on the front plate 16 and the rear plate 18, the deformation of the front plate 16, rear plate 18, and electrodes 46 and 48 resulting from a heat treatment at the time of formation of the discharge electrodes can be suitably suppressed. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、AC(交流放電)型
ガス放電表示装置およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an AC (alternating current discharge) type gas discharge display device and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】透明な第1基板(前面板)と、その前面板
から所定距離隔てて平行に配置された第2基板(背面板)
と、それら前面板および背面板間に備えられ且つ所定の
ガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空
間と、それら複数の放電空間の各々で選択的にガス放電
を発生させるための誘電体で覆われた複数対の維持電極
と、その発光区画を選択するためにその維持電極との間
で書込放電を発生させるための書込電極とを備え、その
気密空間内のガス放電を利用して発光させることによ
り、文字、記号、或いは図形等の所望の画像を表示する
形式のAC型ガス放電表示装置が知られている。例え
ば、ガス放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオ
ン・オレンジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画
(画素或いはセル)内に蛍光体が備えられてプラズマによ
って生じた紫外線により励起させられたその蛍光体の発
光を利用する形式のプラズマ・ディスプレイ・パネル(P
lasmaDisplay Panel:PDP)等がそれである。このよ
うなガス放電表示装置は、平板型で大画面化、薄型化、
および軽量化が容易であると共に、CRT並の広い視野
角および早い応答速度を有しているため、CRTに代わ
る画像表示装置として期待されている。
2. Description of the Related Art A transparent first substrate (front plate) and a second substrate (rear plate) arranged in parallel at a predetermined distance from the front plate.
And a plurality of discharge spaces formed between the front plate and the back plate and sealed in a predetermined gas in an airtight space, and for selectively generating a gas discharge in each of the plurality of discharge spaces. A plurality of pairs of sustain electrodes covered with a dielectric and a write electrode for generating a write discharge between the sustain electrodes for selecting the light emitting section, and the gas in the hermetic space There is known an AC type gas discharge display device of a type that displays a desired image such as a character, a symbol, or a figure by emitting light by utilizing discharge. For example, the light emission of neon, orange, etc. accompanying the generation of plasma generated by gas discharge is directly used, or
(Pixel or cell) is equipped with a fluorescent substance, and the plasma display panel (P type) that utilizes the emission of the fluorescent substance excited by the ultraviolet rays generated by the plasma
lasmaDisplay Panel (PDP) and so on. Such a gas discharge display device is a flat panel type with a large screen, a thin type,
Since it is easy to reduce the weight and has a wide viewing angle and a fast response speed comparable to those of a CRT, it is expected as an image display device to replace the CRT.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のAC
型ガス放電表示装置では、一般に、前面板および背面板
の内面に導体材料を塗布して焼成処理等の加熱処理を施
す厚膜形成プロセス等を利用することにより、上記の維
持電極および書込電極が形成されていた。そのため、そ
の電極形成のための熱処理の際に、前面板および背面板
内の温度分布に基づく熱膨張量のばらつきや、電極との
熱膨張係数の相違等に起因して、前面板および背面板に
歪みが生じると共に、電極にも亀裂や変形等が生じる問
題があった。このような歪み等が生じると、前面板およ
び背面板の平坦性や電極等のパターン精度等の確保が困
難になる。
By the way, the conventional AC
In the gas discharge display device of the type, generally, a sustain film and a write electrode are formed by using a thick film forming process in which a conductor material is applied to the inner surfaces of a front plate and a back plate and a heating process such as a baking process is performed. Had been formed. Therefore, during heat treatment for forming the electrode, due to variations in the amount of thermal expansion based on the temperature distribution in the front plate and the back plate, and differences in the coefficient of thermal expansion with the electrode, the front plate and the back plate are There is a problem that the electrode is cracked and the electrode is also cracked or deformed. When such distortion occurs, it becomes difficult to secure the flatness of the front plate and the back plate and the pattern accuracy of the electrodes and the like.

【0004】しかも、上述したような書込電極を備えた
3電極構造のガス放電表示装置では、一方向に沿って伸
びる互いに平行な維持電極が前面板および背面板の一方
に備えられると共に、他方にその維持電極と直交する方
向に沿って伸びる書込電極が備えられる。そのため、前
面板および背面板を重ね合わせて封着する過程におい
て、それぞれに形成された維持電極と書込電極との相対
位置精度を得ることが困難であった。また、発光区画を
選択するための書込の速度は、維持電極と書込電極との
相互間隔が小さいほど高くなるが、前面板および背面板
の相互間隔(基板間隔)で決定されるため小さくすること
ができなかった。基板間隔は放電空間を区画形成する隔
壁の高さ寸法で決定されるが、蛍光体層の塗布面積を確
保して高輝度を得るためには隔壁を高くすることが望ま
しいのである。更に、書込電極の面積が大きくなるほど
書込効果が高くなるが、上記のような構造では維持電極
との間隔が比較的大きいため、面積を大きくすると誤放
電(誤書込)が生じ易くなる問題もあった。
Moreover, in the gas discharge display device having the three-electrode structure including the write electrodes as described above, the sustain electrodes extending in one direction and parallel to each other are provided on one of the front plate and the back plate, and the other is provided. And a write electrode extending along a direction orthogonal to the sustain electrode. Therefore, it is difficult to obtain the relative positional accuracy between the sustain electrode and the write electrode formed on the front plate and the back plate in the process of overlapping and sealing them. In addition, the writing speed for selecting the light emitting section increases as the mutual spacing between the sustain electrode and the writing electrode decreases, but it is small because it is determined by the mutual spacing between the front plate and the back plate (substrate spacing). I couldn't. The substrate interval is determined by the height of the barrier ribs that partition and form the discharge space, but it is desirable to raise the barrier ribs in order to secure the coating area of the phosphor layer and obtain high brightness. Further, the larger the area of the write electrode is, the higher the writing effect is. However, in the above structure, since the space between the sustain electrode and the write electrode is relatively large, erroneous discharge (erroneous writing) is likely to occur when the area is increased. There was also a problem.

【0005】本発明は、以上の事情を背景として為され
たものであって、その目的は、電極形成時の熱処理に起
因する歪み等を抑制でき且つ書込電極を適切な位置およ
び大きさで備えることの容易な3電極構造のAC型ガス
放電表示装置およびその製造方法を提供することにあ
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to suppress distortion and the like due to heat treatment at the time of forming an electrode and to keep the write electrode at an appropriate position and size. An object of the present invention is to provide an AC type gas discharge display device having a three-electrode structure that can be easily provided and a manufacturing method thereof.

【0006】[0006]

【課題を解決するための第1の手段】斯かる目的を達成
するため、第1発明のAC型ガス放電表示装置の要旨と
するところは、透明な第1基板と、その第1基板から所
定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1
基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入
された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それ
ら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための
誘電体で覆われた複数対の維持電極と、発光区画を選択
するためにその維持電極との間でガス放電を発生させら
れる複数の書込電極とを備え、前記複数対の維持電極間
のガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察す
る形式のAC型ガス放電表示装置であって、(a)格子状
を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体
層と、(b)前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互
いに平行に伸びるようにその一面に積層され且つその格
子の交点間に位置する部分が前記維持電極として機能さ
せられる複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、
(c)前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平
行に伸びるようにその他面に積層され且つその格子の交
点間に位置する部分が前記書込電極として機能させられ
る複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層と、(d)前
記第1厚膜導体層を覆う厚膜誘電体から成る被覆誘電体
層とを備えて、前記第1基板および前記第2基板の間に
それらに平行に配置されたシート部材を含むことにあ
る。
In order to achieve such an object, the gist of the AC type gas discharge display device of the first invention is that a transparent first substrate and a predetermined substrate from the first substrate are used. Second substrates arranged in parallel at a distance, and the first substrates
A plurality of discharge spaces provided between the substrate and the second substrate and formed in an airtight space in which a predetermined gas is sealed, and a plurality of discharge spaces, each of which is covered with a dielectric for generating a gas discharge. A plurality of pairs of sustain electrodes and a plurality of write electrodes capable of generating a gas discharge between the sustain electrodes to select a light emitting section, and the plurality of pairs of sustain electrodes generate a gas discharge. An AC type gas discharge display device of a type that observes light through the first substrate, comprising: (a) a core dielectric layer made of a thick film dielectric having a predetermined thickness dimension in a grid pattern; A core dielectric layer formed of a plurality of first conductors laminated on one surface of the core dielectric layer so as to extend in parallel with each other along one direction of the grid and having a portion located between intersections of the grid to function as the sustain electrodes; 1 thick film conductor layer,
(c) A plurality of core dielectric layers laminated on the other surface so as to extend in parallel with each other along the other direction of the lattice and located between the intersections of the lattice to function as the write electrode. A second thick film conductor layer composed of two conductors; and (d) a coated dielectric layer composed of a thick film dielectric covering the first thick film conductor layer. To include sheet members arranged parallel to them.

【0007】[0007]

【第1発明の効果】このようにすれば、格子状を成すシ
ート部材の一面および他面にそれぞれ設けられた第1厚
膜導体層および第2厚膜導体層によって複数対の維持電
極および複数個の書込電極が構成される。そのため、シ
ート部材を第1基板および第2基板の間に配置するだけ
で放電電極が設けられることから、放電電極を内面に形
成するための熱処理がそれら第1基板および第2基板に
施されない。したがって、熱処理に起因する第1基板、
第2基板、および電極等の歪みが抑制された3電極構造
のAC型ガス放電表示装置が得られる。しかも、維持電
極および書込電極が基板上に設けられていた場合のよう
な書込電極の位置および大きさの制限が無くなるので、
これを適切な位置および大きさで備えることが可能とな
る。すなわち、維持電極および書込電極が共に一枚のシ
ート部材に備えられることから、それらが前面板および
背面板に別々に設けられていた従来の3電極構造PDP
のような封着時における電極の相対位置精度の問題が生
じない。また、維持電極と書込電極との相互間隔はコア
誘電体層の厚さ寸法で決定され、基板間隔とは無関係で
あることから、その相互間隔を十分に小さくすることが
できる。更に、それら維持電極と書込電極との間隔を小
さくできる結果として、誤放電のおそれなく書込電極面
積を大きくして書込効果を高めることができる。
According to this structure, a plurality of pairs of sustain electrodes and a plurality of pairs of sustain electrodes are provided by the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer provided on one surface and the other surface of the lattice-shaped sheet member, respectively. Individual write electrodes are configured. Therefore, since the discharge electrode is provided only by disposing the sheet member between the first substrate and the second substrate, the heat treatment for forming the discharge electrode on the inner surface is not performed on the first substrate and the second substrate. Therefore, the first substrate resulting from the heat treatment,
An AC type gas discharge display device having a three-electrode structure in which distortion of the second substrate, electrodes and the like is suppressed can be obtained. Moreover, since there is no limitation on the position and size of the write electrode as in the case where the sustain electrode and the write electrode are provided on the substrate,
It is possible to provide this at an appropriate position and size. That is, since the sustain electrode and the write electrode are both provided in one sheet member, the conventional three-electrode structure PDP in which they are separately provided on the front plate and the back plate.
The problem of relative positional accuracy of the electrodes at the time of sealing does not occur. Further, the mutual spacing between the sustain electrode and the write electrode is determined by the thickness dimension of the core dielectric layer and is independent of the substrate spacing, so that the mutual spacing can be made sufficiently small. Further, as a result that the distance between the sustain electrode and the write electrode can be reduced, the write electrode area can be increased and the write effect can be enhanced without fear of erroneous discharge.

【0008】[0008]

【第1発明の他の態様】ここで、好適には、前記第1厚
膜導体層は、相互に隣接する前記第1導体の前記交点間
に位置する部分に、前記コア誘電体層の格子の内壁面の
一部を覆い且つ相互に対向するように固着された対向部
を備えたものである。このようにすれば、第1厚膜導体
層には、シート部材の格子内で互いに対向させられる対
向部がその内壁面に設けられるため、その対向部で実質
的に放電電極が構成される。そのため、放電面が互いに
平行に設けられた対向放電構造であることから、発光区
画(画素すなわちセル)相互の放電電圧(開始電圧や維持
電圧)のばらつきが小さくなって、動作マージンが広く
なる利点がある。特に、放電空間内に蛍光体層が設けら
れた形式のガス放電表示装置では、放電面が第1基板と
第2基板との中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそ
れらの内面に沿った方向となることから、第1基板内面
および第2基板内面上における放電ガス・イオンの影響
が少ないので、その広い範囲に蛍光体層を設けて輝度を
高め得る利点もある。
According to another aspect of the present invention, preferably, the first thick film conductor layer is a grid of the core dielectric layer in a portion located between the intersections of the first conductors adjacent to each other. Is provided with a facing portion fixed so as to cover a part of the inner wall surface of the above and to face each other. With this configuration, the first thick-film conductor layer is provided with the facing portions that face each other in the lattice of the sheet member on its inner wall surface, and thus the facing portions substantially form the discharge electrodes. Therefore, since the discharge surfaces are opposed to each other and are provided in parallel with each other, the variation in the discharge voltage (starting voltage or sustain voltage) between the light emitting sections (pixels or cells) is reduced, and the operation margin is widened. There is. In particular, in a gas discharge display device of the type in which a phosphor layer is provided in the discharge space, the discharge surface is located at an intermediate height position between the first substrate and the second substrate and the discharge direction is along those inner surfaces. Since it is in the opposite direction, the influence of the discharge gas and ions on the inner surface of the first substrate and the inner surface of the second substrate is small, and there is also an advantage that the phosphor layer can be provided in a wide range to increase the brightness.

【0009】因みに、従来のガス放電表示装置における
対向放電構造では、前述したように、第1放電電極およ
び第2放電電極が前面板および背面板の内面にそれぞれ
設けられていた。蛍光体の発光を利用するカラー表示装
置の場合、高い輝度や効率を得るためには好適にはRG
Bの発光を分離し放電空間を形成する隔壁面と前面板あ
るいは背面板の誘電体層表面にも塗布されることが望ま
しい。しかし、この場合、誘電体層の放電領域には蛍光
体が塗布されないことが必要であり、かつMgOなどの
保護膜でコートされなければならない。このため、蛍光
体層の配設位置が限定され延いてはその面積が著しく小
さくなって高輝度を得ることが困難であった。また放電
の生ずる部分の近傍に蛍光体層が位置するために放電ガ
ス・イオンによる劣化が著しいという問題もある。さら
に、隔壁間の誘電体層表面への保護MgO膜を均一に塗
布すること、また放電域を残して蛍光体を塗布すること
は、製造プロセスとして実現困難であった。これに対し
て、面放電型のガス放電表示装置では、前面板および背
面板のうち放電電極が設けられていない一方の略全面
に、放電領域と空間的に分離された状態で蛍光体層を設
けることができるため、蛍光体の劣化を抑制しつつ高輝
度を得ることが可能である。しかしながら、一平面上に
配置された放電電極の電極表面間距離が一様にはならな
いことから、その最も小さい部分ほど放電しやすく効率
も高くなる。このため、電極を覆う誘電体層や保護膜の
劣化は、放電の開始する確率が高いこともあって電極パ
ターンの隣接するエッジ部分で最も進行することにな
る。また、電極パターンが大きいほど平均的な効率は下
がってしまうことになる。すなわち、従来のガス放電表
示装置では、動作マージンと輝度との両立が困難となっ
ていたのである。
Incidentally, in the opposed discharge structure in the conventional gas discharge display device, as described above, the first discharge electrode and the second discharge electrode are provided on the inner surfaces of the front plate and the back plate, respectively. In the case of a color display device that utilizes the emission of phosphor, it is preferable to use RG in order to obtain high brightness and efficiency.
It is also desirable to apply it to the partition surface that separates the B light emission and forms the discharge space and the surface of the dielectric layer of the front plate or the back plate. However, in this case, it is necessary that the fluorescent material is not applied to the discharge region of the dielectric layer, and that the fluorescent material is coated with a protective film such as MgO. For this reason, the arrangement position of the phosphor layer is limited and the area thereof is remarkably reduced, and it is difficult to obtain high brightness. Further, since the phosphor layer is located in the vicinity of the part where the discharge occurs, there is a problem that the deterioration due to the discharge gas / ions is remarkable. Further, it was difficult to realize as a manufacturing process that the protective MgO film is uniformly applied to the surface of the dielectric layer between the barrier ribs and that the fluorescent material is applied while leaving the discharge region. On the other hand, in the surface discharge type gas discharge display device, the phosphor layer is spatially separated from the discharge region on substantially the entire one of the front plate and the back plate where the discharge electrode is not provided. Since it can be provided, it is possible to obtain high brightness while suppressing the deterioration of the phosphor. However, since the distance between the electrode surfaces of the discharge electrodes arranged on one plane is not uniform, the smallest portion is more likely to be discharged and the efficiency is higher. Therefore, the deterioration of the dielectric layer and the protective film covering the electrodes is most advanced at the adjacent edge portions of the electrode pattern because the probability of starting the discharge is high. Further, the larger the electrode pattern, the lower the average efficiency. That is, in the conventional gas discharge display device, it is difficult to achieve both the operating margin and the brightness.

【0010】また、好適には、前記対向部は、前記複数
本の第1導体の各々の幅方向における両側に備えられ
る。このようにすれば、シート部材に備えられる格子の
全てに実質的に放電電極として機能させられる対向部の
対が設けられることになる。そのため、端部から数えて
奇数列の放電空間内で放電させる対の組合せと、偶数列
の放電空間内で放電させる対の組合せとを交互に切り替
えて、2枚のフィールドで1枚のフレーム(すなわち1
画像)を表示する2:1インタレース(飛び越し走査)を
採用することにより、第1導体の本数を増加させること
なく、従来の3電極構造よりも走査線本数を倍増させて
解像度を高めることが可能となる。
Preferably, the facing portions are provided on both sides in the width direction of each of the plurality of first conductors. By doing so, substantially all of the grids provided on the sheet member are provided with the pair of facing portions that function as discharge electrodes. Therefore, the combination of pairs to be discharged in the odd-numbered discharge spaces counted from the end and the combination of pairs to be discharged in the even-numbered discharge spaces are alternately switched, and one frame is formed by two fields ( Ie 1
By adopting 2: 1 interlace (interlaced scanning) for displaying (image), the number of scanning lines can be doubled and the resolution can be improved compared to the conventional three-electrode structure without increasing the number of first conductors. It will be possible.

【0011】また、好適には、前記第2厚膜導体層は、
前記コア誘電体層の格子のうち前記対向部が備えられた
放電空間の内周側に突き出した突出部を備えたものであ
る。このようにすれば、この突出部が実質的に書込電極
として機能させられるため、これが設けられない場合に
比較して書込放電が確実になる利点がある。
Preferably, the second thick film conductor layer is
The grid of the core dielectric layer is provided with a protrusion protruding toward the inner peripheral side of the discharge space in which the facing portion is provided. With this configuration, since the protruding portion substantially functions as the writing electrode, there is an advantage that the writing discharge becomes more reliable than when the protruding portion is not provided.

【0012】また、好適には、前記ガス放電表示装置
は、前記複数本の第2導体の長手方向に沿って伸びる複
数本の凹溝をそれら複数本の第2導体の相互間の位置に
おいて前記第1基板および前記第2基板の対向面の少な
くとも一方に備えたものである。このようにすれば、そ
の凹溝およびシート部材の格子内によって放電空間が形
成されることから、その凹溝の深さ寸法およびシート部
材の厚さ寸法を適宜定めることにより、好適な大きさの
放電空間を備えたガス放電表示装置が得られる。すなわ
ち、凹溝間の相対的に凸に成った部分が実質的に隔壁と
して機能するため、放電空間を形成するための隔壁を第
1基板および第2基板の内面に設ける必要が無くなる。
特に、放電空間内に蛍光体層を備える形式のカラー表示
用表示装置では、その凹溝内に蛍光体層を設けることに
より、第1基板および第2基板の内面に隔壁を設けるこ
となく、シート部材と蛍光体層との接触を防止できる利
点がある。
Further, preferably, in the gas discharge display device, a plurality of concave grooves extending along a longitudinal direction of the plurality of second conductors are provided at positions between the plurality of second conductors. It is provided on at least one of the facing surfaces of the first substrate and the second substrate. With this configuration, the discharge space is formed by the groove and the lattice of the sheet member. Therefore, by appropriately determining the depth dimension of the groove and the thickness dimension of the sheet member, a suitable size can be obtained. A gas discharge display device having a discharge space is obtained. That is, since the relatively convex portions between the concave grooves substantially function as barrier ribs, it is not necessary to provide barrier ribs for forming the discharge space on the inner surfaces of the first substrate and the second substrate.
In particular, in a display device for a color display in which the phosphor layer is provided in the discharge space, the phosphor layer is provided in the groove so that the sheet is formed without providing the partition walls on the inner surfaces of the first substrate and the second substrate. There is an advantage that contact between the member and the phosphor layer can be prevented.

【0013】また、好適には、上記の凹溝或いは放電空
間を形成するために第1基板および第2基板の少なくと
も一方に設けられるリブ状壁は、シート部材の格子の一
方向に沿って伸びる部分が、第1基板および第2基板の
相対的に凸に成った部分上に位置させられる位置関係に
設けられる。このようにすれば、放電空間内のうちシー
ト部材を挟んで観視側とは反対側の部分で生じた光、例
えばその反対側の部分に備えられている蛍光体層の発光
がシート部材によって遮られることが抑制されるので、
ガス放電表示装置の輝度が一層高められる。
Preferably, the rib-shaped wall provided on at least one of the first substrate and the second substrate for forming the above-mentioned concave groove or discharge space extends along one direction of the lattice of the sheet member. The portion is provided in a positional relationship so as to be located on the relatively convex portion of the first substrate and the second substrate. By doing so, the light generated in the portion of the discharge space on the side opposite to the viewing side across the sheet member, for example, the light emission of the phosphor layer provided on the opposite side is generated by the sheet member. Since it is suppressed from being blocked,
The brightness of the gas discharge display device is further enhanced.

【0014】[0014]

【課題を解決するための第2の手段】また、前記目的を
達成するための第2発明の製造方法の要旨とするところ
は、透明な第1基板と、その第1基板から所定距離隔て
て平行に配置された第2基板と、それら第1基板および
第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密
空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放
電空間の各々でガス放電を発生させるための誘電体で覆
われた複数対の維持電極と、発光区画を選択するために
その維持電極との間でガス放電を発生させられる複数の
書込電極とを備え、前記複数対の維持電極間のガス放電
で発生した光を前記第1基板を通して観察する形式のA
C型ガス放電表示装置を、前記第1基板および前記第2
基板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する
方法であって、(a)格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜
誘電体から成るコア誘電体層と、(b)前記コア誘電体層
の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるようにその
一面に積層され且つその格子の交点間に位置する部分を
前記維持電極として機能させるための複数本の第1導体
から成る第1厚膜導体層と、(c)前記コア誘電体層の格
子の他方向に沿って互いに平行に伸びるようにその他面
に積層され且つその格子の交点間に位置する部分を前記
書込電極として機能させるための複数本の第2導体から
成る第2厚膜導体層と、(d)前記第1厚膜導体層を覆う
厚膜誘電体から成る被覆誘電体層とを備えたシート部材
を、前記第1基板および前記第2基板の一方の内面上に
固着するシート部材固着工程を含むことにある。
A second aspect of the present invention for attaining the above object is to provide a transparent first substrate and a predetermined distance from the first substrate. Second substrates arranged in parallel, a plurality of discharge spaces provided between the first substrate and the second substrate and formed in an airtight space filled with a predetermined gas, and each of the plurality of discharge spaces A plurality of pairs of sustain electrodes covered with a dielectric for generating a gas discharge at, and a plurality of write electrodes capable of generating a gas discharge between the sustain electrodes for selecting a light emitting section, A type of observing light generated by gas discharge between the plurality of pairs of sustain electrodes through the first substrate
The C-type gas discharge display device is provided with the first substrate and the second substrate.
A method for manufacturing by stacking substrates and hermetically sealing them, comprising: (a) a core dielectric layer made of a thick film dielectric having a predetermined thickness dimension in a grid pattern; and (b) the core dielectric layer. A first layer comprising a plurality of first conductors laminated on one surface of the body layer so as to extend parallel to each other along one direction of the lattice, and having a portion located between intersections of the lattice function as the sustain electrode. The thick film conductor layer and (c) the portion of the core dielectric layer laminated on the other surface so as to extend in parallel with each other along the other direction of the grid and located between the intersections of the grid function as the write electrode. A sheet member provided with a second thick-film conductor layer composed of a plurality of second conductors, and (d) a coated dielectric layer made of a thick-film dielectric covering the first thick-film conductor layer, Sheet member fixing process for fixing on one inner surface of the first substrate and the second substrate It lies in including.

【0015】[0015]

【第2発明の効果】このようにすれば、第1基板および
第2基板を重ね合わせて固着することによりガス放電表
示装置を製造するに際して、第1厚膜導体層および第2
厚膜導体層が格子状の厚膜誘電体層の両面に積層されて
成るシート部材が第1基板または第2基板に固着される
ことにより、放電電極および書込電極が放電空間内に備
えられる。そのため、シート部材上に放電電極および書
込電極を構成するための厚膜導体層が備えられているこ
とから、第1基板および第2基板の間にそのシート部材
を配置するだけで放電電極および書込電極を設けること
ができるため、第1基板および第2基板に放電電極或い
は書込電極を設ける場合におけるそれらの形成時の熱処
理に起因する第1基板、第2基板、および電極等の歪み
が好適に抑制されたガス放電表示装置を製造することが
できる。
According to this structure, the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer can be manufactured when the gas discharge display device is manufactured by stacking and fixing the first substrate and the second substrate.
The discharge electrode and the write electrode are provided in the discharge space by fixing the sheet member, in which the thick film conductor layers are laminated on both surfaces of the grid-like thick film dielectric layer, to the first substrate or the second substrate. . Therefore, since the thick film conductor layer for forming the discharge electrode and the write electrode is provided on the sheet member, it is only necessary to dispose the sheet member between the first substrate and the second substrate. Since the write electrode can be provided, when the discharge electrode or the write electrode is provided on the first substrate and the second substrate, distortion of the first substrate, the second substrate, the electrode, etc. due to the heat treatment at the time of forming them It is possible to manufacture a gas discharge display device in which is suppressed.

【0016】[0016]

【第2発明の他の態様】ここで、好適には、前記のガス
放電表示装置の製造方法は、(e)所定の第1温度よりも
高い融点を有する粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒
子層で構成された膜形成面を有する支持体を用意する支
持体準備工程と、(f)前記第1温度で焼結させられる厚
膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る下側導体
ペースト膜を前記膜形成面に前記第1厚膜導体層および
前記第2厚膜導体層の一方に対応する複数に分割された
所定パターンで形成する下側導体ペースト膜形成工程
と、(g)前記第1温度で焼結させられる厚膜誘電体材料
の構成粒子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を
前記コア誘電体層に対応する格子状パターンで前記下側
導体ペースト膜の表面に積層して形成する誘電体ペース
ト膜形成工程と、(h)前記第1温度で焼結させられる厚
膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る上側導体
ペースト膜を前記第1厚膜導体層および前記第2厚膜導
体層の他方に対応する複数に分割された所定パターンで
その誘電体ペースト膜の表面に積層して形成する上側導
体ペースト膜形成工程と、(i)前記支持体を前記第1温
度で加熱処理することにより、前記高融点粒子層を焼結
させることなく前記下側導体ペースト膜、前記上側導体
ペースト膜、および前記誘電体ペースト膜を焼結させ
て、それら下側導体ペースト膜、上側導体ペースト膜、
および誘電体ペースト膜から前記第1厚膜導体層、前記
第2厚膜導体層、および前記コア誘電体層を生成する焼
成工程とを、含む工程により前記シート部材を製造する
ものである。
According to another aspect of the second aspect of the present invention, preferably, in the method for manufacturing a gas discharge display device described above, (e) a high temperature obtained by bonding particles having a melting point higher than a predetermined first temperature with a resin. A supporting body preparing step of preparing a supporting body having a film-forming surface composed of a melting point particle layer, and (f) a lower layer formed by bonding particles of a thick film conductor material sintered at the first temperature with a resin. A lower conductor paste film forming step of forming a side conductor paste film on the film formation surface in a predetermined pattern divided into a plurality of portions corresponding to one of the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer; g) A dielectric paste film formed by binding constituent particles of a thick film dielectric material that is sintered at the first temperature with a resin is formed into a grid pattern corresponding to the core dielectric layer to form the lower conductor paste film. A step of forming a dielectric paste film by laminating on the surface, and (h) the above An upper conductor paste film, in which constituent particles of a thick film conductor material that can be sintered at a temperature are combined with a resin, is divided into a plurality of parts corresponding to the other of the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer. An upper conductor paste film forming step of forming a layer on the surface of the dielectric paste film in a predetermined pattern, and (i) heating the support at the first temperature to sinter the high melting point particle layer. Without sintering the lower conductor paste film, the upper conductor paste film, and the dielectric paste film, the lower conductor paste film, the upper conductor paste film,
And a firing step of producing the first thick film conductor layer, the second thick film conductor layer, and the core dielectric layer from a dielectric paste film, to manufacture the sheet member.

【0017】このようにすれば、厚膜誘電体材料および
厚膜導体材料の焼結温度(第1温度)よりも高い融点を有
する高融点粒子層で構成された膜形成面に厚膜誘電体材
料および厚膜導体材料のペースト膜がそれぞれ所定パタ
ーンで形成された後、それら厚膜誘電体材料および厚膜
導体材料の焼結させられる第1温度で加熱処理が施され
ることにより、厚膜誘電体層の表面に厚膜導体層が形成
されたシート部材が生成される。そのため、その加熱処
理温度では焼結させられない高融点粒子層は樹脂が焼失
させられることにより高融点粒子のみが並ぶ層となるこ
とから、生成された厚膜は支持体に固着されないため、
その膜形成面から容易に剥離することができる。このと
き、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜
は、材料や用途に応じた適宜の方法を用いることによ
り、簡便な設備を用いて所望のパターンで膜形成面に形
成することが可能である。しかも、加熱処理により焼結
させられるまでは膜形成面に塗布されることにより一時
的に固着された状態で取り扱われることから、取扱いが
容易である。したがって、放電電極および書込電極を設
けるためのシート部材を容易に製造し且つガス放電表示
装置の製造に用いることができる。
By doing so, the thick film dielectric is formed on the film forming surface formed of the high melting point particle layer having a melting point higher than the sintering temperature (first temperature) of the thick film dielectric material and the thick film conductor material. After the paste films of the material and the thick-film conductor material are respectively formed in a predetermined pattern, the thick-film dielectric material and the thick-film conductor material are subjected to heat treatment at the first temperature, whereby the thick film is formed. A sheet member having a thick film conductor layer formed on the surface of the dielectric layer is produced. Therefore, since the high-melting point particle layer that is not sintered at the heat treatment temperature becomes a layer in which only the high-melting point particles are arranged by burning the resin, the generated thick film is not fixed to the support,
It can be easily peeled off from the film forming surface. At this time, the paste film of the thick film dielectric material and the thick film conductor material can be formed on the film formation surface in a desired pattern using a simple facility by using an appropriate method according to the material and the application. It is possible. Moreover, it is easy to handle because it is applied to the film forming surface and is temporarily fixed until it is sintered by heat treatment. Therefore, the sheet member for providing the discharge electrode and the write electrode can be easily manufactured and used for manufacturing the gas discharge display device.

【0018】なお、上記のように高融点粒子のみが並ぶ
層の上で焼結させられる厚膜は、通常の厚膜形成とは異
なり、その収縮時に何ら形成面に拘束されない。そのた
め、形成面との間の収縮抵抗に起因する反りや変形等が
抑制され、延いてはそれら反りや変形に伴う亀裂等の発
生も抑制される。したがって、放電電極の歪み等が一層
抑制される利点がある。
The thick film sintered on the layer in which only the high-melting point particles are arranged as described above is not restricted by the forming surface at the time of contraction unlike the normal thick film formation. Therefore, warpage, deformation, and the like due to shrinkage resistance with the forming surface are suppressed, and in turn, cracks and the like caused by the warpage and deformation are also suppressed. Therefore, there is an advantage that distortion of the discharge electrode is further suppressed.

【0019】また、好適には、前記第1厚膜導体層は、
相互に隣接する前記第1導体の前記交点間に位置する部
分に、前記コア誘電体層の格子の内壁面の一部を覆い且
つ相互に対向するように固着された対向部を備えたもの
であり、前記誘電体ペースト膜の格子の内壁面に前記第
1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂
で結合されて成る壁面導体ペースト膜を前記対向部に対
応するパターンで形成する壁面導体ペースト膜形成工程
を含むものである。このようにすれば、壁面導体ペース
ト膜形成工程において、前記対向部を構成するための壁
面導体ペースト膜が設けられることから、第1厚膜導体
層は対向部を備えて形成されるため、シート部材を第1
基板または第2基板上に固着することによって、実質的
に放電電極として機能する対向部を備えたガス放電表示
装置を製造できる。
Further, preferably, the first thick film conductor layer is
In a portion located between the intersections of the first conductors adjacent to each other, a facing portion is provided which covers a part of the inner wall surface of the lattice of the core dielectric layer and is fixed so as to face each other. And forming a wall surface conductor paste film in which the constituent particles of the thick film conductor material that is sintered at the first temperature are bonded with a resin on the inner wall surface of the grid of the dielectric paste film in a pattern corresponding to the facing portion. It includes a wall conductor paste film forming step. With this configuration, in the wall surface conductor paste film forming step, since the wall surface conductor paste film for forming the facing portion is provided, the first thick film conductor layer is formed with the facing portion, and thus the sheet is formed. Member first
By being fixed on the substrate or the second substrate, it is possible to manufacture a gas discharge display device having a facing portion that substantially functions as a discharge electrode.

【0020】また、好適には、前記支持体準備工程は、
所定の基板の表面に前記高融点粒子層を形成するもので
ある。このようにすれば、ペースト膜が基板上に形成さ
れることから、加熱処理後にも支持体の形状が維持され
るため、高融点粒子層のみで支持体が構成されている場
合(例えば、セラミック生シートで支持体が構成されて
いる場合)に比較して放電空間内に放電電極を設けるた
めのシート部材の取扱いが容易になる利点がある。しか
も、このような支持体が用いられる場合には、ペースト
膜との間に高融点粒子層が介在させられる基板は加熱処
理の際にそのペースト膜を何ら拘束せず、且つそのペー
スト膜の表面粗度は高融点粒子層の表面粗度のみが反映
されることから、基板の平坦度、表面粗度、膨張係数等
のシート部材の品質に及ぼす影響が小さくなるため、基
板に高い品質は要求されない。
Further, preferably, the support preparing step is
The high melting point particle layer is formed on the surface of a predetermined substrate. In this way, since the paste film is formed on the substrate, the shape of the support is maintained even after the heat treatment, so that the support is composed of only the high melting point particle layer (for example, ceramics). Compared with the case where the support is made of a green sheet), there is an advantage that the sheet member for providing the discharge electrode in the discharge space can be easily handled. Moreover, when such a support is used, the substrate in which the high melting point particle layer is interposed between the substrate and the paste film does not restrain the paste film during the heat treatment, and the surface of the paste film is not restricted. Since the roughness reflects only the surface roughness of the high melting point particle layer, the influence on the quality of the sheet member such as the flatness of the substrate, the surface roughness, and the expansion coefficient is small, so high quality is required for the substrate. Not done.

【0021】また、好適には、前記基板は、前記焼成温
度で変形しないものである。このようにすれば、厚膜誘
電体層および厚膜導体層を生成するための加熱処理が施
される際にも膜形成面の形状が初期の形状に保たれるた
め、高融点粒子層を表面に形成することにより、支持体
として繰り返し使用可能となる利点がある。基板は、上
記の条件を満たす適宜のものが選ばれるが、例えば、一
般ガラス、耐熱ガラス、セラミック板、金属板等を用い
ることができる。
Also, preferably, the substrate does not deform at the firing temperature. By doing so, the shape of the film-formed surface is maintained at the initial shape even when the heat treatment for producing the thick-film dielectric layer and the thick-film conductor layer is performed, so that the high-melting point particle layer is formed. Forming on the surface has an advantage that it can be repeatedly used as a support. As the substrate, an appropriate substrate satisfying the above conditions is selected, and for example, general glass, heat-resistant glass, ceramic plate, metal plate or the like can be used.

【0022】また、好適には、前記第1厚膜導体層およ
び前記第2厚膜導体層が前記一面および他面にそれぞれ
設けられた前記コア誘電体層の外周側に厚膜誘電体ペー
ストを塗布して加熱処理を施すことにより前記被覆誘電
体層を設ける被覆工程を含むものである。このようにす
れば、第1厚膜導体層および第2厚膜導体層を覆う被覆
誘電体層を容易に設けることができる。一層好適には、
上記厚膜誘電体ペーストの塗布は、ディッピング処理に
よって行われる。
Further, preferably, a thick film dielectric paste is provided on the outer peripheral side of the core dielectric layer on which the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer are provided on the one surface and the other surface, respectively. It includes a coating step of forming the coated dielectric layer by coating and heat treatment. With this configuration, the covering dielectric layer that covers the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer can be easily provided. More preferably,
The application of the thick film dielectric paste is performed by a dipping process.

【0023】また、好適には、前記ペースト膜形成工程
は、厚膜スクリーン印刷法を用いて前記下側導体ペース
ト膜、前記上側導体ペースト膜、前記被覆導体ペースト
膜、および前記誘電体ペースト膜をそれぞれ形成するも
のである。ペースト膜の形成方法としては、例えば、印
刷、サンド・ブラスト、リフトオフ、感光性ペーストを
用いたフォト・プロセス等の種々の方法からコスト、必
要精度、他の工程との兼ね合い等に応じて選択した適宜
の方法を用いることができるが、上記のように印刷法に
よる場合には、膜形成面のうち無用な部分には膜構成材
料が塗布されないことから、材料の無駄がない利点があ
る。すなわち、セラミック生シートのプレス加工、或い
はセラミック・シートのレーザ加工や金属材料の化学エ
ッチング等によるもの等に比較して加工時に除去される
材料の無駄が極めて少なくなる。
Preferably, in the paste film forming step, the lower conductor paste film, the upper conductor paste film, the coated conductor paste film, and the dielectric paste film are formed by using a thick film screen printing method. Each is formed. The method for forming the paste film is selected from various methods such as printing, sand blasting, lift-off, and photo process using a photosensitive paste according to cost, required accuracy, and balance with other steps. An appropriate method can be used, but in the case of the printing method as described above, the film forming material is not applied to an unnecessary portion of the film forming surface, so that there is an advantage that the material is not wasted. That is, the waste of the material removed at the time of processing is extremely reduced as compared with that by pressing the ceramic green sheet, laser processing the ceramic sheet, or chemical etching of the metal material.

【0024】また、好適には、前記高融点粒子は、セラ
ミックス或いはガラス・フリット等の無機材料から成る
ものである。高融点粒子としては、高融点粒子層を構成
する樹脂が焼失した後も何ら軟化等するものでなけれ
ば、適宜の無機材料を用いることができる。なお、具体
的な材質は、シート部材を構成する厚膜材料の種類やそ
の焼成温度等に応じて適宜選択される。
Further, the high melting point particles are preferably made of an inorganic material such as ceramics or glass frit. As the high melting point particles, an appropriate inorganic material can be used as long as it does not soften after the resin forming the high melting point particle layer is burned. The specific material is appropriately selected according to the type of thick film material forming the sheet member and the firing temperature thereof.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0026】図1は、本発明のガス放電表示装置の一例
であるAC型カラーPDP(以下、単にPDPという)1
0の構成を一部を切り欠いて示す斜視図である。図にお
いて、PDP10は、それぞれの全体として略平坦な一
面12,14が対向するように所定間隔を隔てて互いに
平行に配置された前面板16および背面板18を備えて
いる。それら前面板16および背面板18は、格子状の
シート部材20を介してその周縁部において気密に封着
されており、これによりPDP10の内部に気密空間が
形成されている。これら前面板16および背面板18
は、何れも900×500(mm)程度の大きさと1.1〜3(mm)程度
の均一な厚さ寸法とを備えると共に透光性を有し且つ軟
化点が700(℃)程度の相互に同様なソーダライム・ガラ
ス等から成るものである。本実施例においては、上記の
前面板16が第1基板に、背面板18が第2基板にそれ
ぞれ相当する。
FIG. 1 shows an AC type color PDP (hereinafter, simply referred to as PDP) 1 which is an example of the gas discharge display device of the present invention.
It is a perspective view which notches and shows a part of 0 structure. In the figure, the PDP 10 includes a front plate 16 and a rear plate 18 that are arranged in parallel with each other with a predetermined interval so that the generally flat surfaces 12 and 14 face each other. The front plate 16 and the rear plate 18 are hermetically sealed at their peripheral portions via a lattice-shaped sheet member 20, whereby an airtight space is formed inside the PDP 10. These front plate 16 and back plate 18
Both have a size of about 900 × 500 (mm) and a uniform thickness of about 1.1 to 3 (mm), are transparent and have a softening point of about 700 (° C). It is made of natural soda lime, glass, etc. In this embodiment, the front plate 16 corresponds to the first substrate and the back plate 18 corresponds to the second substrate.

【0027】上記の前面板16の内面12には、一方向
に沿って伸び且つ互いに平行な複数本の長手状の凹溝2
2が200〜500(μm)程度の一定の中心間隔で備えられて
おり、相互間の凸部(凸条)によって、前面板16および
背面板18間の気密空間が複数本の放電空間24に区分
されている。この凹溝22は、内面12の研磨加工等に
よって設けられたものであり、100(μm)程度以下の深さ
寸法と、150〜400(μm)程度の開口部幅寸法とを備えた
ものである。このため、凹溝22間の凸部の幅寸法は、
その最上部位置において例えば50〜100(μm)程度になっ
ている。前記のシート部材20は、その一方向に沿って
伸びる部分がこの凹溝22間の凸部上に重なる位置関係
にある。
The inner surface 12 of the front plate 16 has a plurality of longitudinal grooves 2 extending in one direction and parallel to each other.
2 are provided at a constant center interval of about 200 to 500 (μm), and the airtight space between the front plate 16 and the back plate 18 is formed in a plurality of discharge spaces 24 by the convex portions (projections) between them. It is divided. The concave groove 22 is provided by polishing the inner surface 12 or the like, and has a depth dimension of about 100 (μm) or less and an opening width dimension of about 150 to 400 (μm). is there. Therefore, the width dimension of the convex portion between the concave grooves 22 is
At the uppermost position, it is about 50 to 100 (μm), for example. The sheet member 20 has a positional relationship in which a portion extending along one direction overlaps the convex portion between the concave grooves 22.

【0028】また、上記の凹溝22内には、凹溝22毎
すなわち放電空間24毎に塗り分けられた蛍光体層26
が例えば10〜20(μm)程度の範囲で色毎に定められた厚
みで設けられている。蛍光体層26は、例えば紫外線励
起により発光させられるR(赤),G(緑),B(青)等の発
光色に対応する3色の蛍光体の何れかから成るものであ
り、隣接する放電空間24相互に異なる発光色となるよ
うに設けられている。
Further, in the above-mentioned groove 22, the phosphor layer 26 is separately coated for each groove 22, that is, for each discharge space 24.
Is provided with a thickness determined for each color in the range of, for example, about 10 to 20 (μm). The phosphor layer 26 is made of any one of phosphors of three colors corresponding to the emission colors of R (red), G (green), B (blue), etc. which are made to emit light by ultraviolet excitation, and are adjacent to each other. The discharge spaces 24 are provided so as to have different emission colors.

【0029】一方、前記の背面板18の内面14には、
一方向に沿って伸び且つ互いに平行な複数本の長手状の
凹溝28が200〜500(μm)程度の一定の中心間隔で、前
記凹溝22に対向する位置に備えられている。この凹溝
28の深さ寸法および開口部幅寸法は凹溝22と略同様
である。この凹溝28内にも、凹溝28毎に蛍光体層3
0が例えば10〜20(μm)程度の範囲内の厚さ寸法で設け
られている。この蛍光体層30は、放電空間24毎に単
一の発光色が得られるように、前面板16上の対向する
凹溝22に設けられた蛍光体層26と同じ発光色のもの
が設けられている。すなわち、本実施例においては、前
面板14および背面板16は、略同様に構成されてい
る。
On the other hand, on the inner surface 14 of the back plate 18,
A plurality of elongated recessed grooves 28 extending in one direction and parallel to each other are provided at positions facing the recessed grooves 22 with a constant center interval of about 200 to 500 (μm). The depth dimension and the opening width dimension of the groove 28 are substantially the same as those of the groove 22. Even within the groove 28, the phosphor layer 3 is provided for each groove 28.
0 is provided with a thickness dimension within a range of, for example, about 10 to 20 (μm). The phosphor layer 30 is provided with the same emission color as the phosphor layer 26 provided in the facing groove 22 on the front plate 16 so that a single emission color is obtained for each discharge space 24. ing. That is, in this embodiment, the front plate 14 and the back plate 16 are configured in substantially the same manner.

【0030】図2は、凹溝22の長手方向に沿ったその
中心を通る断面において、PDP10の断面構造を説明
する図である。前記のシート部材20は、その骨格を構
成する格子状(前記図1参照)のコア誘電体層32と、そ
の一面34(図における上面)から一方の側面(すなわち
格子の内壁面)に亘る範囲に積層して固着された維持配
線層36と、その反対側に位置する他面(図における下
面)38から一方の側面(すなわち格子の内壁面)に亘る
範囲に積層して固着された書込配線層40と、それらを
覆って設けられた被覆誘電体層42と、その被覆誘電体
層42を更に覆って設けられてシート部材20の表層部
を構成する保護膜44とから構成されている。本実施例
においては、上記の維持配線層36が第1厚膜導体層
に、書込配線層40が第2厚膜導体層にそれぞれ相当す
る。
FIG. 2 is a view for explaining the sectional structure of the PDP 10 in a section passing through the center of the groove 22 along the longitudinal direction. The sheet member 20 has a lattice-like (see FIG. 1) core dielectric layer 32 forming its skeleton, and a range extending from one surface 34 (upper surface in the drawing) to one side surface (that is, an inner wall surface of the lattice). The storage wiring layer 36 that is laminated and fixed to the storage wiring layer, and the writing that is stacked and fixed in a range from the other surface (the lower surface in the drawing) 38 located on the opposite side to one side surface (that is, the inner wall surface of the lattice) The wiring layer 40, the covering dielectric layer 42 covering the wiring layer 40, and the protective film 44 covering the covering dielectric layer 42 and forming the surface layer of the sheet member 20. . In this embodiment, the sustain wiring layer 36 corresponds to the first thick film conductor layer and the write wiring layer 40 corresponds to the second thick film conductor layer.

【0031】上記のコア誘電体層32は、50〜150(μm)
程度、例えば100(μm)程度の厚さ寸法を備えたものであ
って、格子を構成する縦横に沿ってそれぞれ伸びる部分
の幅寸法は、例えば凹溝22間の凸部上面の幅寸法と同
程度かアライメント・マージンを考慮してそれよりも若
干広く、例えば80〜200(μm)程度である。また、このコ
ア誘電体層32は、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-Ti
O2系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラス
およびアルミナ等のセラミック・フィラー等の厚膜誘電
体材料で構成されている。
The core dielectric layer 32 has a thickness of 50 to 150 (μm).
The width dimension of each of the portions that extend in the vertical and horizontal directions forming the lattice is the same as the width dimension of the upper surface of the convex portion between the concave grooves 22, for example. Considering the degree or alignment margin, it is slightly wider than that, for example, about 80 to 200 (μm). Further, the core dielectric layer 32 is formed of, for example, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 -ZnO-Ti.
It is composed of a low softening point glass such as O 2 system or a combination thereof and a thick film dielectric material such as ceramic filler such as alumina.

【0032】また、上記の維持配線層36および書込配
線層40は、例えば銀(Ag)、クロム(Cr)、銅(Cu)等を導
電成分として含む厚膜導体であり、例えば5〜10(μm)程
度の厚さ寸法で設けられている。前者の維持配線層36
のうちコア誘電体層32の側面を覆う部分46は、放電
空間24内でガス放電を発生させるための維持電極とし
て機能させられるものである。図に示されるように、維
持電極46は、シート部材20を構成する格子の内壁面
において互いに平行且つ対向する位置に配置されてい
る。すなわち、PDP10は、その放電空間24内にお
いて互いに対向する維持電極間で放電させられる対向放
電構造に構成されている。本実施例においては、
The sustain wiring layer 36 and the write wiring layer 40 are thick film conductors containing, for example, silver (Ag), chromium (Cr), copper (Cu), etc. as conductive components, for example, 5 to 10 It is provided with a thickness of about (μm). The former sustain wiring layer 36
A part 46 of the core dielectric layer 32 that covers the side surface of the core dielectric layer 32 functions as a sustain electrode for generating gas discharge in the discharge space 24. As shown in the figure, the sustain electrodes 46 are arranged at positions parallel to and opposite to each other on the inner wall surface of the lattice forming the sheet member 20. That is, the PDP 10 has an opposed discharge structure in which discharge is performed between sustain electrodes facing each other in the discharge space 24. In this embodiment,

【0033】また、後者の書込配線層40のうち上記の
維持電極(対向部)46、46間に位置する部分(図にお
いて中央に示す部分)48は、放電空間24内で上記の
維持電極46,46のうちの一方、例えば図における左
方に位置するものとの間で、発光区画(セル)を選択する
ための書込放電を発生させるためのものである。
In the latter write wiring layer 40, the portion (the portion shown in the center in the figure) 48 located between the above-mentioned sustain electrodes (opposing portions) 46, 46 is the above-mentioned sustain electrode in the discharge space 24. This is for generating a write discharge for selecting a light emitting section (cell) between one of 46 and 46, for example, one located on the left side in the drawing.

【0034】また、前記の被覆誘電体層42は、例えば
10〜30(μm)程度の範囲内、例えば20(μm)程度の厚さ寸
法を備え、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或い
はこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラス等から成
る厚膜である。この被覆誘電体層42は、表面に電荷を
蓄えることにより維持電極46、46間で交流放電をさ
せるために設けられたものであるが、同時に、厚膜材料
で構成される維持電極46および書込電極48を露出さ
せないことによってこれらからのアウト・ガスによる放
電空間24内の雰囲気変化を抑制する役割も有する。
The coating dielectric layer 42 is, for example,
Within a range of about 10 to 30 (μm), for example, with a thickness dimension of about 20 (μm), for example, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 -ZnO-TiO 2 system or a combination thereof. It is a thick film made of low softening point glass or the like. The covering dielectric layer 42 is provided for ac discharge between the sustain electrodes 46, 46 by accumulating charges on the surface, but at the same time, the sustain electrode 46 and the write electrode composed of a thick film material are formed. By not exposing the embedded electrode 48, it also has a role of suppressing the atmosphere change in the discharge space 24 due to the out gas from these.

【0035】また、前記の保護膜44は、例えば0.5(μ
m)程度の厚さ寸法を備え、MgO等を主成分とする薄膜或
いは厚膜である。保護膜44は、放電ガス・イオンによ
る被覆誘電体層42のスパッタリングを防止するもので
あるが、二次電子放出係数の高い誘電体で構成されてい
ることから、実質的に放電電極として機能する。
The protective film 44 has a thickness of, for example, 0.5 (μ
It is a thin film or thick film having a thickness of about m) and containing MgO or the like as a main component. The protective film 44 prevents the coating dielectric layer 42 from being sputtered by discharge gas / ions, but since it is made of a dielectric material having a high secondary electron emission coefficient, it substantially functions as a discharge electrode. .

【0036】図3は、シート部材20の一部を切り欠い
て維持配線層36および書込配線層40の構成を詳しく
説明する図である。図において、維持配線層36は、シ
ート部材20を構成する格子の一方向に沿って伸びる複
数本の配線部50を備えており、書込配線層40は、そ
の一方向に垂直な他方向に沿って伸びる複数本の相互に
絶縁させられた配線部52を備えている。すなわち、配
線部50,52は、互いに垂直を成す向きに沿って設け
られている。これら配線部50,52は、何れも50〜80
(μm)程度の一定の幅寸法を備えたものである。また、
配線部50,52は、何れも格子状のコア誘電体層32
の各構成部分の幅方向における中央部に位置する。
FIG. 3 is a diagram for explaining in detail the structure of the sustain wiring layer 36 and the write wiring layer 40 by cutting out a part of the sheet member 20. In the figure, the sustain wiring layer 36 includes a plurality of wiring portions 50 extending along one direction of a lattice that constitutes the sheet member 20, and the write wiring layer 40 is arranged in the other direction perpendicular to the one direction. A plurality of mutually insulated wiring portions 52 extending along the wiring portion 52 are provided. That is, the wiring portions 50 and 52 are provided along the directions perpendicular to each other. These wiring parts 50 and 52 are both 50 to 80
It has a constant width dimension of about (μm). Also,
The wiring portions 50 and 52 are each formed of a grid-shaped core dielectric layer 32.
Is located at the central portion in the width direction of each component.

【0037】また、維持配線層36の配線部50には、
その長手方向における複数箇所にその側方すなわち配線
部52と略平行な向きに突き出す突出部54が備えられ
ている。前記の維持電極46は、この突出部54の先端
部から連続し且つそれと垂直を成すように設けられてい
る。この突出部54および維持電極46の幅寸法は、例
えば100(μm)程度であり、維持電極46の高さ寸法はシ
ート部材20の厚さ寸法に略等しい50〜150(μm)程度、
例えば100(μm)程度である。すなわち、維持電極46は
コア誘電体層32の側面の一部を覆って設けられてい
る。
Further, the wiring portion 50 of the sustain wiring layer 36 includes
Protrusions 54 that protrude laterally, that is, in a direction substantially parallel to the wiring portion 52, are provided at a plurality of positions in the longitudinal direction. The sustain electrode 46 is provided so as to be continuous from the tip of the protrusion 54 and to be perpendicular thereto. The width dimension of the protrusion 54 and the sustain electrode 46 is, for example, about 100 (μm), and the height dimension of the sustain electrode 46 is about 50 to 150 (μm), which is approximately equal to the thickness dimension of the sheet member 20,
For example, it is about 100 (μm). That is, the sustain electrode 46 is provided so as to cover a part of the side surface of the core dielectric layer 32.

【0038】一方、書込配線層40の配線部52には、
その長手方向における複数箇所にその側方に向かって突
き出す突起部すなわち書込電極48が備えられている。
この突起部すなわち書込電極48の幅寸法は、例えば50
〜150(μm)程度、例えば100(μm)程度であり、配線部5
2からの突き出し長さは、例えば30〜100(μm)程度、例
えば50(μm)程度である。
On the other hand, in the wiring portion 52 of the write wiring layer 40,
Protrusions, that is, write electrodes 48 protruding laterally are provided at a plurality of positions in the longitudinal direction.
The width of the protrusion, that is, the write electrode 48 is, for example, 50.
To about 150 (μm), for example, about 100 (μm), the wiring portion 5
The protrusion length from 2 is, for example, about 30 to 100 (μm), for example, about 50 (μm).

【0039】図4に維持配線層36の配線部50および
書込配線層40の配線部52と、維持電極46および書
込電極48との接続関係を模式的に示した。図において
左右方向に沿って伸びる複数本の配線部50は、格子状
のコア誘電体層32のその左右方向に沿って伸びる部分
の全てに一本ずつが設けられている。維持電極46は、
図における左右方向に連なったものが共通の配線部50
に接続されている。また、配線部50は、他の全ての配
線部50と独立させられたものと、共通の配線に接続さ
れたものとが図の上下方向において交互に位置するよう
に設けられている。
FIG. 4 schematically shows the connection relationship between the wiring portion 50 of the sustain wiring layer 36 and the wiring portion 52 of the write wiring layer 40, and the sustain electrode 46 and the write electrode 48. In the figure, a plurality of wiring portions 50 extending in the left-right direction are provided one at each of the portions extending in the left-right direction of the grid-shaped core dielectric layer 32. The sustain electrode 46 is
Common wiring parts 50 are connected in the left-right direction in the figure.
It is connected to the. Further, the wiring section 50 is provided so that the wiring section 50 independent of all the other wiring sections 50 and the wiring section 50 connected to the common wiring are alternately located in the vertical direction in the drawing.

【0040】一方、図において上下方向に沿って伸びる
複数本の配線部52は、格子状のコア誘電体層32のそ
の左右方向に沿って伸びる部分の全てに一本ずつが設け
られている。また、図に示されるように、書込電極48
の突き出し方向は全て同じ方向すなわち図における左方
向であって、格子のうち維持電極46、46の対が存在
する空間内に設けられている。
On the other hand, in the figure, a plurality of wiring portions 52 extending in the vertical direction are provided in all of the portions extending in the horizontal direction of the grid-shaped core dielectric layer 32. Also, as shown in the figure, the write electrode 48
Are all in the same direction, that is, in the left direction in the figure, and are provided in the space where the pair of sustain electrodes 46, 46 exists in the grid.

【0041】なお、図に示されるように、シート部材4
2の格子構成部分の相互間隔は一様ではない。すなわ
ち、書込配線層40の配線部52に沿って伸びる部分
は、例えば200(μm)程度の一定の相互間隔Gwで設けら
れているが、維持配線層36の配線部50に沿って伸び
る部分は、例えば100(μm)程度の相対的に小さい相互間
隔Gs1および600(μm)程度の相対的に大きい相互間隔G
s2が交互に現れる。維持電極46,46は、相対的に小
さい相互間隔Gs1の部分で対向させられている。図4に
おける左端中央に例示するように、本実施例では、この
維持電極46,46間で表示のための維持放電をさせる
ので、放電ギャップは相互間隔Gs1に略等しい100(μm)
程度である。また、図4を前記の図1と対比すれば明ら
かなように、シート部材20は、配線部52に沿って伸
びる格子の構成部分が凹溝22間の凸部上に位置させら
れている。なお、前記の図2は、上記の図4におけるA
−A視断面に対応する図である。
As shown in the figure, the sheet member 4
The mutual spacing of the two grating components is not uniform. That is, the portion of the write wiring layer 40 extending along the wiring portion 52 is provided with a constant mutual spacing Gw of, for example, about 200 (μm), but the portion of the storage wiring layer 36 extending along the wiring portion 50. Is a relatively small mutual gap Gs1 of about 100 (μm) and a relatively large mutual gap G of about 600 (μm).
s2 appears alternately. The sustain electrodes 46, 46 are opposed to each other at a portion having a relatively small mutual gap Gs1. As illustrated in the center of the left end in FIG. 4, in the present embodiment, since sustain discharge for display is performed between the sustain electrodes 46, 46, the discharge gap is 100 (μm) approximately equal to the mutual gap Gs1.
It is a degree. Further, as is clear from comparing FIG. 4 with FIG. 1 described above, in the sheet member 20, the constituent portions of the lattice extending along the wiring portion 52 are located on the convex portions between the concave grooves 22. The above-mentioned FIG. 2 corresponds to A in FIG.
It is a figure corresponding to the -A view cross section.

【0042】このため、対向させられる維持電極46の
うち個々に独立させられているものが接続されている複
数本の配線部50に所定の交流パルスを印加して順次走
査すると共に、その走査のタイミングに同期して書込電
極48のうちのデータに対応する所望のもの(すなわち
発光させる区画として選択されたものに対応する書込電
極)に配線部52を介してに所定の交流パルスを印加す
ると、前記の図4の左端中央のセルについて示すよう
に、それらの間で書込放電が発生させられ、維持電極4
6上の保護膜44上に電荷が蓄積される。このようにし
て全ての維持電極46を走査した後、全ての維持電極4
6,46間に配線部50を介して所定の交流パルスを印
加すると、電荷が蓄積された発光区画では印加電圧にそ
の蓄積電荷による電位が重畳されて放電開始電圧を越え
るため、維持電極46,46間で放電が発生させられ、
且つ保護膜44上に改めて発生させられた壁電荷等によ
り予め定められた所定時間だけ維持される。これによ
り、ガス放電で発生した紫外線で選択された区画内の蛍
光体層26、30が励起発光させられ、その光が前面板
16或いは背面板を通して射出されることにより、一画
像が表示される。そして、走査側電極(維持電極46)の
1周期毎に、交流パルスを印加されるデータ側電極(書
込電極48)が変化させられることにより、所望の画像
が連続的に表示されることとなる。なお、上記の説明か
ら明らかなように、維持電極46のうち、個々に独立さ
せられている一方は、書込電極48との間で走査電極と
して機能させられるが、他方の維持電極46との間では
維持電極(表示放電電極)として機能させられる。また、
図示は省略するが、前面板16および背面板18の一方
のみから画像を観察する場合には、他方の裏面にアルミ
ニウム等で反射膜が設けられる。
For this reason, a predetermined AC pulse is applied to the plurality of wiring portions 50 to which the individually independent ones of the sustain electrodes 46 opposed to each other are connected to sequentially scan, and the scanning is performed. In synchronization with the timing, a predetermined AC pulse is applied to the desired one of the write electrodes 48 corresponding to the data (that is, the write electrode corresponding to the one selected as the section to emit light) via the wiring section 52. Then, as shown in the cell at the left end of FIG. 4, a write discharge is generated between them, and the sustain electrode 4 is generated.
Electric charges are accumulated on the protective film 44 on 6. After scanning all the sustain electrodes 46 in this manner, all the sustain electrodes 4 are scanned.
When a predetermined AC pulse is applied between the wirings 6 and 46 through the wiring portion 50, the potential due to the accumulated charges is superimposed on the applied voltage in the light emitting section in which the charges are accumulated, and the discharge start voltage is exceeded. A discharge is generated between 46,
In addition, it is maintained for a predetermined time that is predetermined by wall charges or the like newly generated on the protective film 44. As a result, the phosphor layers 26 and 30 in the selected section are excited to emit light by the ultraviolet rays generated by the gas discharge, and the light is emitted through the front plate 16 or the rear plate to display one image. . Then, a desired image is continuously displayed by changing the data side electrode (writing electrode 48) to which an AC pulse is applied every one cycle of the scanning side electrode (sustaining electrode 46). Become. As is clear from the above description, one of the sustain electrodes 46, which is made independent, functions as a scan electrode between the sustain electrode 46 and the write electrode 48. In between, it is made to function as a sustain electrode (display discharge electrode). Also,
Although illustration is omitted, when an image is observed from only one of the front plate 16 and the rear plate 18, a reflective film made of aluminum or the like is provided on the back surface of the other.

【0043】このとき、放電は図4に示されるように10
0(μm)程度の僅かな距離Gs1だけ相互に離隔させられた
電極46,46間で発生させられるが、放電空間24は
図における上下方向に連続しているため、その放電によ
り発生させられた紫外線は、図4に一点鎖線で模式的に
示すように、その放電空間24の長手方向に沿って放電
電極46,46の外側に広がる。そのため、放電空間2
4内に設けられている蛍光体層26,30のうち、その
一点鎖線で囲まれた範囲内に位置するものが、図の左端
中央に示す電極46,46間の放電で発生した紫外線で
励起発光させられることとなる。
At this time, the discharge is 10 times as shown in FIG.
It is generated between the electrodes 46, 46 separated from each other by a slight distance Gs1 of about 0 (μm), but since the discharge space 24 is continuous in the vertical direction in the figure, it is generated by the discharge. The ultraviolet rays spread to the outside of the discharge electrodes 46, 46 along the longitudinal direction of the discharge space 24, as schematically shown by the one-dot chain line in FIG. Therefore, the discharge space 2
Among the phosphor layers 26, 30 provided in FIG. 4, those located within the range surrounded by the one-dot chain line are excited by the ultraviolet rays generated by the discharge between the electrodes 46, 46 shown in the center of the left end of the figure. It will be made to emit light.

【0044】したがって、PDP10における発光単位
(セル)の区切りは、凹溝22に垂直な方向すなわち図に
おける左右方向ではその凹溝22間の凸部によって区切
られ、凹溝22の長手方向すなわち図における上下方向
では実質的にはこの紫外線の及ぶ範囲によって画定され
る。この結果、発光単位の中心間隔は、図の左右方向に
おいてはPc=0.3(mm)程度のカラー・セル・ピッチ
に、図の上下方向においてはPd=0.9(mm)程度のドッ
ト・ピッチになっている。なお、本実施例のようなRG
B3色から成るカラー表示用のPDP10においては、
図の左右方向において相互に隣接する3つの発光区画で
一画素が構成されている。そのため、画素ピッチは、左
右方向および上下方向の何れにおいても0.9(mm)程度で
ある。
Therefore, the light emitting unit in the PDP 10
The cells are separated by the convex portions between the grooves 22 in the direction perpendicular to the grooves 22, that is, in the left-right direction in the figure, and in the longitudinal direction of the grooves 22, that is, in the vertical direction in the figure, the ultraviolet rays are substantially separated from each other. Is defined by the range covered by. As a result, the center interval of the light emitting units is a color cell pitch of about Pc = 0.3 (mm) in the horizontal direction of the figure, and a dot pitch of about Pd = 0.9 (mm) in the vertical direction of the figure. ing. Note that the RG as in this embodiment
In the PDP 10 for color display consisting of B3 colors,
One pixel is composed of three light emitting sections that are adjacent to each other in the left-right direction of the drawing. Therefore, the pixel pitch is about 0.9 (mm) in both the horizontal direction and the vertical direction.

【0045】ここで、本実施例においては、格子状のシ
ート部材20に維持配線層36および書込配線層40が
設けられると共に、その維持配線層36のうちの格子の
内壁面の互いに対向する位置に固着された部分によって
維持電極46、46が構成されると共に、その書込配線
層40のうちその維持電極46が設けられている格子内
の放電空間に凸設された部分により書込電極48が構成
される。そのため、放電面が互いに平行に設けられた対
向放電構造であることから、発光区画相互の放電電圧
(開始電圧や維持電圧)のばらつきが小さくなって、動作
マージンが広くなる利点がある。
In this embodiment, the grid-like sheet member 20 is provided with the sustain wiring layer 36 and the write wiring layer 40, and the inner wall surfaces of the grid of the sustain wiring layer 36 face each other. The sustain electrodes 46 and 46 are formed by the portions fixed to the positions, and the write electrodes are formed by the portions of the write wiring layer 40 that are convexly provided in the discharge space in the grid where the sustain electrodes 46 are provided. 48 are constructed. Therefore, since the discharge surfaces are opposed to each other, the discharge voltage between the light emitting sections is
There is an advantage that the variation in (starting voltage and sustain voltage) is reduced and the operation margin is widened.

【0046】しかも、放電電極46、46の放電面が前
面板16および背面板18の何れからも離隔したこれら
の中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面
12,14に沿った方向となることから、前面板内面1
2および背面板内面14上における放電ガス・イオンの
影響が少ないので、前述したようにそれらの何れにも広
い範囲に蛍光体層26,30が設けられる。そのため、
蛍光体層を放電電極が固着された基板とは反対側の基板
上にのみ設けることが可能であった面放電構造の場合に
比較して輝度を飛躍的に高め得る利点もある。
Moreover, the discharge surfaces of the discharge electrodes 46, 46 are located at the intermediate height position apart from both the front plate 16 and the rear plate 18, and the discharge direction is along their inner surfaces 12, 14. Since it is the direction, the inner surface of the front plate 1
Since the influence of the discharge gas and the ions on the inner surface 14 of the rear plate 2 and the inner surface of the rear plate 2 is small, the phosphor layers 26 and 30 are provided in a wide range on both of them as described above. for that reason,
There is also an advantage that the brightness can be dramatically increased as compared with the case of the surface discharge structure in which the phosphor layer can be provided only on the substrate opposite to the substrate to which the discharge electrode is fixed.

【0047】また、シート部材20に維持電極46およ
び書込電極48の両者が設けられた結果として、書込電
極48の位置および大きさの制限が無くなるので、これ
を適切な位置および大きさで備えることが可能となり、
放電効率や応答速度、輝度等が飛躍的に高められる。
Further, as a result of providing both the sustain electrode 46 and the write electrode 48 on the sheet member 20, there is no limitation on the position and size of the write electrode 48. To be able to prepare
The discharge efficiency, response speed, brightness, etc. are dramatically improved.

【0048】ところで、上記のようなPDP10は、例
えば図5に示される工程図に従って別々に処理(或いは
製造)されたシート部材20,前面板16,および背面
板18を組み立てることで製造される。
By the way, the PDP 10 as described above is manufactured by assembling the sheet member 20, the front plate 16 and the rear plate 18, which are separately processed (or manufactured) according to the process diagram shown in FIG.

【0049】背面板18の処理工程においては、先ず、
平坦な背面板18が用意されてその内面14に凹溝28
が研削加工等によって形成され、或いは、予め凹溝28
が形成された背面板18を用意される。次いで、蛍光体
層形成工程62において、RGB3色に対応する3種の
蛍光体スラリ或いは蛍光体ペーストを凹溝28内であっ
て色毎に定められた所定位置に流し込みや厚膜スクリー
ン印刷法等によって塗布し、例えば450(℃)程度の温度
で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層30を設
ける。
In the process of treating the back plate 18, first,
A flat back plate 18 is prepared and a groove 28 is formed in the inner surface 14 of the back plate 18.
Is formed by grinding or the like, or the groove 28 is previously formed.
A back plate 18 on which is formed is prepared. Next, in a phosphor layer forming step 62, three types of phosphor slurries or phosphor pastes corresponding to the three colors of RGB are poured into the groove 28 at a predetermined position determined for each color, a thick film screen printing method, or the like. Then, the phosphor layer 30 is provided by applying and applying a baking treatment at a temperature of, for example, about 450 (° C.).

【0050】一方、前面板16の処理工程においても、
同様に、凹溝22が形成されたガラス基板を用意し、蛍
光体層形成工程66において、RGB3色に対応する3
種の蛍光体スラリ或いは蛍光体ペーストを凹溝22内で
あって色毎に定められた所定位置に、流し込みや凹溝2
2上から落とし込み印刷等の手法で塗布し、例えば450
(℃)程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍
光体層26を設ける。
On the other hand, even in the process of treating the front plate 16,
Similarly, a glass substrate in which the concave groove 22 is formed is prepared, and in the phosphor layer forming step 66, 3 corresponding to the three colors of RGB are prepared.
A kind of phosphor slurry or phosphor paste is poured into the concave groove 22 at a predetermined position determined for each color or the concave groove 2
2 Apply by a technique such as drop printing from above, for example 450
The phosphor layer 26 is provided by performing a baking process at a temperature of about (° C.).

【0051】そして、シート部材作製工程68において
作製された前記のようなシート部材20を介して上記の
前面板16および背面板18を重ね合わせ、封着工程7
0において加熱処理を施すことにより、それらの界面に
予め塗布されたシールガラス等の封着剤でこれらを気密
に封着する。なお、封着に先立ち、必要に応じてシート
部材20が前面板16および背面板18の何れかにガラ
スフリット等を用いて固着される。そして、排気・ガス
封入工程72において、形成された気密容器内から排気
し且つ所定の放電ガスを封入することにより、前記のP
DP10が得られる。
Then, the front plate 16 and the rear plate 18 are superposed on each other with the sheet member 20 prepared in the sheet member preparing step 68 interposed therebetween, and the sealing step 7
By performing a heat treatment at 0, these are hermetically sealed with a sealing agent such as a seal glass which is previously applied to their interfaces. Prior to sealing, the sheet member 20 is fixed to either the front plate 16 or the rear plate 18 using glass frit or the like, if necessary. Then, in the exhaust / gas charging step 72, the air is discharged from the formed airtight container and a predetermined discharge gas is charged therein, so that the P
DP10 is obtained.

【0052】上記の製造工程において、シート部材作製
工程68は、よく知られた厚膜印刷技術を応用した例え
ば図6に示される示す工程に従って実施される。以下、
シート部材20の製造方法を、製造工程の要部段階にお
ける状態を表した図7(a)〜(e)および図8(f)〜(h)を参
照して説明する。
In the above manufacturing process, the sheet member manufacturing process 68 is carried out according to the process shown in FIG. 6, for example, to which the well-known thick film printing technique is applied. Less than,
A method of manufacturing the sheet member 20 will be described with reference to FIGS. 7A to 7E and FIGS. 8F to 8H showing the states at the main stage of the manufacturing process.

【0053】先ず、基板用意工程74では、厚膜印刷を
施す基板76(図7参照)を用意し、その表面78等に適
宜の清浄化処理を施す。この基板76は、後述する加熱
処理の際に殆ど変形や変質の生じないものであって、例
えば、熱膨張係数が87×10-7(/℃)程度で、740(℃)程度
の軟化点および510(℃)程度の歪み点を備えたソーダラ
イム・ガラス等から成るガラス基板が好適に用いられ
る。なお、基板76の厚さ寸法は例えば2.8(mm)程度で
あり、その表面78の大きさは前記のシート部材42よ
りも十分に大きくされている。
First, in the substrate preparing step 74, a substrate 76 (see FIG. 7) for thick film printing is prepared, and its surface 78 and the like are subjected to appropriate cleaning treatment. The substrate 76 is one that is hardly deformed or deteriorated during the heat treatment described later. For example, the thermal expansion coefficient is about 87 × 10 −7 (/ ° C.) and the softening point is about 740 (° C.). A glass substrate made of soda lime glass or the like having a strain point of about 510 (° C.) is preferably used. The thickness of the substrate 76 is, for example, about 2.8 (mm), and the size of the surface 78 thereof is made sufficiently larger than that of the sheet member 42.

【0054】次いで、剥離層形成工程80では、高融点
粒子が樹脂で結合させられた剥離層82を、基板76の
表面78に例えば5〜50(μm)程度の厚さ寸法で設ける。
上記の高融点粒子は、例えば平均粒径が0.5〜3(μm)程
度の高軟化点ガラスフリットおよび平均粒径が0.01〜5
(μm)程度のアルミナやジルコニア等のセラミック・フ
ィラーを混合したものである。上記の高軟化点ガラス
は、例えば550(℃)程度以上の軟化点を備えたものであ
り、混合物である高融点粒子の軟化点は、例えば550
(℃)程度以上になっている。また、樹脂は、例えば350
(℃)程度で焼失させられるエチルセルロース系樹脂等で
ある。この剥離層82は、例えば、上記の高融点粒子お
よび樹脂がブチルカルビトールアセテート(BCA)等の
有機溶剤中に分散させられた無機材料ペースト84を、
例えば図7(a)に示すようにスクリーン印刷法を用いて
基板76の略全面に塗布し、室温において乾燥させるこ
とで設けられるが、コータやフィルム・ラミネートの貼
り付け等で設けることもできる。図7(b)は、このよう
にして剥離層82を形成した段階を示している。なお、
図7(a)において、86はスクリーン、88はスキージ
である。本実施例においては、上記の剥離層82を備え
た基板76が支持体に、その剥離層82の表面が膜形成
面にそれぞれ相当し、上記の基板用意工程74および剥
離層形成工程80が支持体準備工程に対応する。
Next, in a peeling layer forming step 80, a peeling layer 82 having high melting point particles bonded with a resin is provided on the surface 78 of the substrate 76 with a thickness dimension of, for example, about 5 to 50 (μm).
The high melting point particles, for example, an average particle size of 0.5 ~ 3 (μm) high softening point glass frit and an average particle size of 0.01 ~ 5
It is a mixture of ceramic filler such as alumina and zirconia (about μm). The high softening point glass is, for example, one having a softening point of about 550 (° C.) or higher, and the softening point of the high melting point particles as a mixture is, for example, 550.
(° C) or higher. Further, the resin is, for example, 350
It is an ethyl cellulose resin that is burned down at about (° C.). The peeling layer 82 includes, for example, an inorganic material paste 84 in which the high melting point particles and the resin are dispersed in an organic solvent such as butyl carbitol acetate (BCA).
For example, as shown in FIG. 7A, it is provided by coating on substantially the entire surface of the substrate 76 using a screen printing method and drying at room temperature, but it can also be provided by applying a coater or a film laminate. FIG. 7B shows a stage in which the release layer 82 is formed in this way. In addition,
In FIG. 7A, 86 is a screen and 88 is a squeegee. In this embodiment, the substrate 76 provided with the release layer 82 corresponds to the support, and the surface of the release layer 82 corresponds to the film forming surface. The substrate preparing step 74 and the release layer forming step 80 support the substrate. Corresponds to the body preparation process.

【0055】続く厚膜ペースト層形成工程90では、前
記の書込配線層40,維持配線層36,および維持電極
46を形成するための厚膜導体ペースト92と、前記の
コア誘電体層32を形成するための厚膜誘電体ペースト
94(図7(a)参照)を、無機材料ペースト84と同様に
スクリーン印刷法等を利用して剥離層82上に所定のパ
ターンで順次に塗布・乾燥する。これにより、書込配線
層40を形成するための導体印刷層96、コア誘電体層
32を形成するための厚膜誘電体層98、維持配線層3
6を形成するための導体印刷層100、維持電極46を
形成するための導体印刷層102が順に形成される。上
記の厚膜導体ペースト92は、例えば、銀粉末等の導体
材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に
分散させられたものである。また、厚膜誘電体ペースト
94は、例えば、アルミナやジルコニア等の誘電体材料
粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散
させられたものである。なお、上記のガラスフリット
は、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al 2O3-TiO2系の低軟化点ガラ
ス等が用いられ、樹脂および溶剤は例えば無機材料ペー
スト84と同様なものが用いられる。
In the subsequent thick film paste layer forming step 90,
Write wiring layer 40, sustain wiring layer 36, and sustain electrode described above
A thick film conductor paste 92 for forming 46;
Thick film dielectric paste for forming core dielectric layer 32
94 (see FIG. 7A) in the same manner as the inorganic material paste 84.
A predetermined pattern is formed on the release layer 82 by using a screen printing method or the like.
Apply and dry sequentially on the turn. This allows write wiring
Conductor print layer 96 for forming layer 40, core dielectric layer
Thick film dielectric layer 98 for forming 32, sustain wiring layer 3
6, the printed conductor layer 100 for forming 6 and the sustain electrode 46
The printed conductor layer 102 for forming is sequentially formed. Up
The thick film conductor paste 92 is, for example, a conductor such as silver powder.
Material powder, glass frit, and resin in organic solvent
It is dispersed. Also, thick film dielectric paste
94 is a dielectric material such as alumina or zirconia
Powder, glass frit, and resin dispersed in organic solvent
It was made. The above glass frit
Is, for example, PbO-B2O3-SiO2-Al 2O3-TiO2Low softening point of system
The resin and solvent are, for example, inorganic material
The same thing as the strike 84 is used.

【0056】このとき、配線層36,40およびコア誘
電体層32を形成する際には、スクリーン86は、前記
の図1および図3等に示されるコア誘電体層32および
配線層36、40の形状にそれぞれ対応する開口パター
ンを備えたものが用いられ、焼成収縮後にそれぞれ前記
の膜厚が得られるように設定された所定の厚さ寸法で厚
膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペースト94が塗
布される。一方、維持電極46を形成する際には、例え
ばコア誘電体層32により形成された格子の内壁面より
も僅かに内側にはみ出した形状の開口を備えたスクリー
ン86を用いることにより、厚膜導体ペースト92がコ
ア誘電体層32の上面からその内壁面に沿って流れ落ち
るように塗布される。図7(c)〜(e)は、導体印刷層9
6、誘電体印刷層98、導体印刷層100、導体印刷層
102がそれぞれ形成された段階を示している。なお、
導体印刷層96,100,102は、5〜10(μm)程度の
厚さ寸法であるため、一回の印刷で形成されるが、誘電
体印刷層98は30(μm)程度の厚さ寸法であることか
ら、適当な厚さ寸法が得られるまで3回程度の印刷およ
び乾燥を繰り返して積層形成される。
At this time, when the wiring layers 36, 40 and the core dielectric layer 32 are formed, the screen 86 has the core dielectric layer 32 and the wiring layers 36, 40 shown in FIG. 1 and FIG. A thick film conductor paste 92 and a thick film dielectric paste 94 having a predetermined thickness dimension which is set so as to obtain the above-mentioned film thickness after firing shrinkage are used. Is applied. On the other hand, when the sustain electrode 46 is formed, for example, by using the screen 86 having an opening slightly protruding from the inner wall surface of the lattice formed by the core dielectric layer 32, the thick film conductor is formed. The paste 92 is applied so as to flow down from the upper surface of the core dielectric layer 32 along the inner wall surface thereof. 7C to 7E show the conductor printed layer 9
6, the dielectric print layer 98, the conductor print layer 100, and the conductor print layer 102 are formed, respectively. In addition,
The conductor print layers 96, 100, 102 have a thickness of about 5 to 10 (μm), and thus are formed by printing once. The dielectric print layer 98 has a thickness of about 30 (μm). Therefore, printing and drying are repeated about three times to form a laminated layer until an appropriate thickness dimension is obtained.

【0057】上記のようにして厚膜印刷層96〜102
を形成し、乾燥して溶剤を除去した後、焼成工程104
においては、基板76を所定の焼成装置の炉室106内
に入れ、厚膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペース
ト94の種類に応じた例えば550(℃)程度の焼成温度で
加熱処理を施す。図8(f)は加熱処理中の状態を示して
いる。
Thick film printing layers 96-102 as described above
After forming and drying the solvent to remove the solvent, a firing step 104
In the above, the substrate 76 is placed in the furnace chamber 106 of a predetermined baking apparatus, and heat treatment is performed at a baking temperature of about 550 (° C.) depending on the types of the thick film conductor paste 92 and the thick film dielectric paste 94. FIG. 8 (f) shows a state during the heat treatment.

【0058】上記の加熱処理過程において、厚膜印刷層
96〜102は、その焼結温度が例えば550(℃)程度で
あるため、その樹脂成分が焼失させられると共に誘電体
材料、導体材料、およびガラスフリットが焼結させら
れ、コア誘電体層32および厚膜導体層(維持配線層3
6と書込配線層40)すなわちシート部材20の基本的
部分が生成される。図8(g)は、この状態を示してい
る。このとき、前記の剥離層82は、前述したようにそ
の無機成分粒子が550(℃)以上の軟化点を備えたもので
あるため、樹脂成分は焼失させられるが高融点粒子(ガ
ラス粉末およびセラミック・フィラー)は焼結させられ
ない。そのため、加熱処理の進行に伴って樹脂成分が焼
失させられると、剥離層82は高融点粒子108(図9
参照)のみから成る粒子層110となる。
In the above heat treatment process, the thick film printing layers 96 to 102 have a sintering temperature of, for example, about 550 (° C.), so that the resin component thereof is burned off, and the dielectric material, the conductor material, and The glass frit is sintered, and the core dielectric layer 32 and the thick film conductor layer (the storage wiring layer 3
6 and the write wiring layer 40), ie the basic part of the sheet member 20 is created. FIG. 8 (g) shows this state. At this time, since the release layer 82 has the inorganic component particles having a softening point of 550 (° C.) or higher as described above, the resin component is burned off, but the high melting point particles (glass powder and ceramics). -Filler) cannot be sintered. Therefore, when the resin component is burned down as the heat treatment progresses, the peeling layer 82 causes the high melting point particles 108 (see FIG. 9).
(Refer to FIG. 3).

【0059】図9は、図8(g)の右端の一部を拡大し
て、上記の加熱処理における焼結の進行状態を模式的に
示した図である。剥離層82の樹脂成分が焼失させられ
て生成された粒子層110は、単に高融点粒子108が
積み重なっただけの層であり、その高融点粒子108は
互いに拘束されていない。そのため、図に一点鎖線で示
される焼成前の端部位置から厚膜印刷層96〜102が
収縮するときには、その高融点粒子108がコロの如き
作用をする。これにより、厚膜印刷層96〜102の下
面側でも基板76との間にその収縮を妨げる力が作用し
ないので、上面側と同様に収縮させられることから、収
縮量の相違に起因する密度差や反り等は何ら生じていな
い。
FIG. 9 is an enlarged view of a part of the right end of FIG. 8 (g), schematically showing the progress of sintering in the above heat treatment. The particle layer 110 generated by burning away the resin component of the peeling layer 82 is a layer in which the high melting point particles 108 are simply stacked, and the high melting point particles 108 are not bound to each other. Therefore, when the thick film printing layers 96 to 102 contract from the end position before firing shown by the dashed line in the figure, the high melting point particles 108 act like rollers. As a result, even on the lower surface side of the thick film printing layers 96 to 102, a force that hinders the contraction thereof does not act on the lower surface side of the thick film printing layers 96 to 102, so that the thick film printed layers 96 to 102 are contracted similarly to the upper surface side. No warping or the like has occurred.

【0060】なお、本実施例においては、基板76の熱
膨張係数は誘電体材料と略同じであり、厚膜印刷層96
〜102の焼結が開始するまで、すなわち、樹脂成分は
焼失させられたがガラスフリット、誘電体材料粉末や導
体粉末の結合力が未だ小さい温度範囲ではこれらの熱膨
張量に殆ど差はない。一方、厚膜印刷層96〜102の
焼結が開始するときには、上述したように粒子層110
の作用によって基板76はその焼成収縮を何ら妨げな
い。したがって、基板76の熱膨張は生成される厚膜の
品質に実質的に影響しない。なお、基板76を繰り返し
使用する場合や熱処理温度が高くなる場合には、歪み点
の一層高い耐熱性ガラス(例えば、熱膨張係数が32×10
-7(/℃)程度で軟化点が820(℃)程度の硼珪酸ガラスや、
熱膨張係数が5×10-7(/℃)程度で軟化点が1580(℃)程度
の石英ガラス等)を用いることができる。この場合に
も、誘電体材料粉末等の結合力が小さい温度範囲では基
板76の熱膨張量が極めて小さくなるので、その熱膨張
が生成される厚膜の品質に影響することはない。
In this embodiment, the coefficient of thermal expansion of the substrate 76 is almost the same as that of the dielectric material, and the thick film printing layer 96 is used.
Until the sintering of No. 102 starts, that is, in the temperature range in which the resin component is burned off but the binding force of the glass frit, the dielectric material powder and the conductor powder is still small, there is almost no difference in their thermal expansion amounts. On the other hand, when the thick film printing layers 96 to 102 start to be sintered, as described above, the particle layer 110 is used.
Substrate 76 does not hinder its firing shrinkage. Therefore, the thermal expansion of the substrate 76 does not substantially affect the quality of the thick film produced. When the substrate 76 is repeatedly used or the heat treatment temperature becomes high, heat-resistant glass having a higher strain point (for example, a thermal expansion coefficient of 32 × 10
Borosilicate glass with a softening point of approximately 820 (° C) at -7 (/ ° C),
Quartz glass or the like having a thermal expansion coefficient of about 5 × 10 −7 (/ ° C.) and a softening point of about 1580 (° C.) can be used. Also in this case, since the thermal expansion amount of the substrate 76 is extremely small in the temperature range where the binding force of the dielectric material powder or the like is small, the thermal expansion does not affect the quality of the thick film produced.

【0061】図6に戻って、剥離工程112では、生成
された厚膜すなわちコア誘電体層32および配線層3
6,40の積層体を基板76から剥離する。それらの間
に介在させられている粒子層110は高融点粒子108
が単に積み重なっただけであるので、上記剥離処理は何
らの薬品や装置を用いることなく容易に行い得る。この
とき、積層体の裏面には高融点粒子108が一層程度の
厚みで付着し得るが、この付着粒子は、必要に応じて粘
着テープやエアブロー等を用いて除去する。なお、厚膜
が剥離された基板76は、前述したように前記の焼成温
度では変形および変質し難いものであるため、同様な用
途に繰り返し用いられる。
Returning to FIG. 6, in the peeling step 112, the generated thick film, that is, the core dielectric layer 32 and the wiring layer 3 are formed.
The laminated body of 6, 40 is peeled from the substrate 76. The particle layer 110 interposed between them is the high melting point particles 108.
However, the peeling process can be easily performed without using any chemicals or devices. At this time, the high melting point particles 108 can be attached to the back surface of the laminate with a thickness of approximately one layer, but the attached particles are removed using an adhesive tape, air blow, or the like, if necessary. The substrate 76 from which the thick film has been peeled off is not likely to be deformed or deteriorated at the firing temperature as described above, and thus is repeatedly used for the same purpose.

【0062】次いで、誘電体ペースト塗布工程114に
おいては、剥離した積層体をディッピング槽116中に
蓄えられた誘電体ペースト118中にディッピングする
ことにより、全外周面に誘電体ペースト118が塗布さ
れる。この誘電体ペースト118は、例えば、PbO-B2O3
-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系
等のガラス粉末およびPVA等の樹脂が水等の溶剤中に
分散させられたものであり、前記の厚膜誘電体ペースト
94に比較して低粘度に調製されている。なお、上記の
ガラス粉末は鉛を含まない軟化点が630(℃)程度以上の
ものも使用可能である。これは、前記の厚膜誘電体ペー
スト94に含まれるものの軟化点と同程度かそれよりも
高いものである。また、低粘度に調製されたペーストを
用いるのは、塗布の際に気泡が巻き込まれ延いては焼成
後に欠陥の残ることを防止するためであり、積層体は、
例えば水平な向きで金網120等に載せられた状態で誘
電体ペースト118中に静かに沈められ、且つ取り出さ
れる。
Next, in the dielectric paste applying step 114, the peeled laminated body is dipped in the dielectric paste 118 stored in the dipping tank 116, so that the dielectric paste 118 is applied to the entire outer peripheral surface. . This dielectric paste 118 is, for example, PbO-B 2 O 3
-SiO 2 -Al 2 O 3 -ZnO-TiO 2 system or a combination thereof, and a glass powder and a resin such as PVA are dispersed in a solvent such as water. It has a lower viscosity than the paste 94. In addition, as the above-mentioned glass powder, it is possible to use a lead-free softening point of about 630 (° C.) or higher. This is about the same as or higher than the softening point of the one contained in the thick film dielectric paste 94. In addition, the reason why the paste prepared to have a low viscosity is used is to prevent bubbles from being caught during coating and to prevent defects from remaining after firing.
For example, it is gently sunk in the dielectric paste 118 while being placed on the wire net 120 or the like in a horizontal direction, and taken out.

【0063】続く焼成工程122では、ディッピング槽
116から取り出され且つ十分に乾燥させられた積層体
が焼成炉内に投入され、前記誘電体ペースト118に含
まれるガラス粉末の種類に応じて定められる例えば650
(℃)程度の所定温度で加熱処理(焼成処理)を施される。
この焼成温度は、例えば、ガラス粉末が十分に軟化して
緻密な誘電体層(被覆誘電体層42)が得られるように、
ガラス粉末の軟化点に対して十分に高い温度に設定され
る。このため、このようにして形成された被覆誘電体層
42は、ガラス粉末相互の粒界に起因する空隙等が殆ど
無く、高い耐電圧を有するものとなる。本実施例におい
ては、これら誘電体ペースト塗布工程114および焼成
工程122から被覆工程が構成されている。
In the subsequent firing step 122, the laminated body taken out from the dipping tank 116 and sufficiently dried is put into a firing furnace and determined according to the kind of glass powder contained in the dielectric paste 118, for example. 650
Heat treatment (firing treatment) is performed at a predetermined temperature of about (° C.).
The firing temperature is, for example, such that the glass powder is sufficiently softened to obtain a dense dielectric layer (covering dielectric layer 42).
The temperature is set sufficiently high for the softening point of the glass powder. Therefore, the coated dielectric layer 42 thus formed has almost no voids or the like due to the grain boundaries between the glass powders, and has a high withstand voltage. In this embodiment, a coating process is composed of the dielectric paste applying process 114 and the firing process 122.

【0064】このとき、上記の焼成工程122が比較的
高温に設定される場合には、内側に位置するコア誘電体
層32および維持配線層36から残留していた有機成分
が焼失させられること等によりガスが発生する。このガ
スは、被覆誘電体層42内に気泡を生成するものである
が、ガスの移動方向は図10に矢印で示されるように上
方となる。そのため、被覆誘電体層42内に生成する気
泡は、専ら図における上部に形成され、維持配線層36
のうち放電面として機能させられる部分すなわちコア誘
電体層32の側面を覆う部分には発生しない。したがっ
て、焼成工程122における処理温度が高温であって
も、それに起因して維持電極46上の被覆誘電体層42
内に気泡が生じることがないので、その焼成温度を高く
して緻密化させ、耐電圧等の特性を高めることが可能と
なる。
At this time, when the firing step 122 is set to a relatively high temperature, the organic components remaining from the core dielectric layer 32 and the sustain wiring layer 36 located inside are burned off. Generates gas. This gas generates bubbles in the coated dielectric layer 42, but the moving direction of the gas is upward as shown by the arrow in FIG. Therefore, the bubbles generated in the covering dielectric layer 42 are formed exclusively in the upper part of the figure, and the sustain wiring layer 36 is formed.
It does not occur in a portion of the core dielectric layer 32 that functions as a discharge surface, that is, a portion that covers the side surface of the core dielectric layer 32. Therefore, even if the processing temperature in the firing step 122 is high, the coating dielectric layer 42 on the sustain electrode 46 is caused by it.
Since no bubbles are generated inside, it becomes possible to raise the firing temperature to densify and improve the characteristics such as withstand voltage.

【0065】そして、保護膜形成工程124において、
上記の被覆誘電体層42の表面に例えばディッピング処
理および焼成処理により、或いはスパッタ等の薄膜プロ
セスにより、前記の保護膜44が所望の厚さ寸法で略全
面に設けられることにより、前記のシート部材20が得
られる。なお、保護膜44は、前述したように薄い膜で
あるので、ディッピング等の厚膜プロセスでは一様な膜
を形成することが比較的困難である。しかしながら、本
実施例においてはX電極46およびY電極48間で対向
放電させることから電極表面間距離が一様であるため、
保護膜44の表面形状の如何に拘わらず放電集中は生じ
難い。したがって、面放電構造を採る場合ほどの一様性
は保護膜44に要求されないのである。
Then, in the protective film forming step 124,
The protective film 44 is provided on the surface of the coated dielectric layer 42 by a dipping process and a baking process, or by a thin film process such as sputtering, so that the protective film 44 has a desired thickness. 20 is obtained. Since the protective film 44 is a thin film as described above, it is relatively difficult to form a uniform film by a thick film process such as dipping. However, in this embodiment, since the opposed discharge is generated between the X electrode 46 and the Y electrode 48, the distance between the electrode surfaces is uniform,
Discharge concentration is unlikely to occur regardless of the surface shape of the protective film 44. Therefore, the protective film 44 is not required to be as uniform as when the surface discharge structure is adopted.

【0066】ここで、本実施例においては、前面板16
および背面板18を重ね合わせて固着することによりP
DP10を製造するに際して、以上のようにして製造さ
れた維持配線層36および書込配線層40を備えたシー
ト部材20が前面板16または背面板18に固着される
ことにより、維持電極46および書込電極48が放電空
間24内に設けられる。そのため、シート部材20上に
維持電極46および書込電極48を構成するための厚膜
導体層すなわち維持配線層36および書込配線層40が
備えられていることから、前面板16および背面板18
の間にそのシート部材20を配置するだけで維持電極4
6および書込電極48を設けることができるため、前面
板16および背面板18に放電電極を設ける場合におけ
るそれらの形成時の熱処理に起因する前面板16、背面
板18、および電極46,48等の歪みが好適に抑制さ
れたPDP10を製造することができる。
Here, in this embodiment, the front plate 16
And the back plate 18 are superposed and fixed to each other
When the DP 10 is manufactured, the sheet member 20 having the sustain wiring layer 36 and the write wiring layer 40 manufactured as described above is fixed to the front plate 16 or the back plate 18, so that the sustain electrode 46 and the write electrode are formed. An embedded electrode 48 is provided in the discharge space 24. Therefore, since the thick film conductor layers for forming the sustain electrodes 46 and the write electrodes 48, that is, the sustain wiring layers 36 and the write wiring layers 40 are provided on the sheet member 20, the front plate 16 and the back plate 18 are provided.
The sustain electrode 4 can be formed by simply disposing the sheet member 20 between
6 and the write electrode 48 can be provided, the front plate 16, the back plate 18, the electrodes 46, 48, etc. due to the heat treatment at the time of forming the front plate 16 and the back plate 18 when the discharge electrodes are provided. It is possible to manufacture the PDP 10 in which the distortion of 10 is suitably suppressed.

【0067】また、本実施例においては、厚膜導体ペー
スト92および厚膜誘電体ペースト94の焼結温度より
も高い融点を有する剥離層82で構成された膜形成面に
誘電体印刷層98および導体印刷層96,100等が所
定パターンで形成された後、それらの焼結させられる温
度で加熱処理が施されることにより、コア誘電体層32
の両面に維持配線層36および書込配線層40を構成す
る厚膜導体層が形成されたシート部材20が生成され
る。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない
剥離層82は樹脂が焼失させられることにより高融点粒
子108のみが並ぶ粒子層110となることから、生成
された厚膜は基板76に固着されないため、その表面7
8から容易に剥離することができる。したがって、放電
電極46,48を構成するためのシート部材20を容易
に製造し且つPDP10の製造に用いることができる。
Further, in this embodiment, the dielectric printing layer 98 and the dielectric printing layer 98 are formed on the film forming surface constituted by the peeling layer 82 having a melting point higher than the sintering temperature of the thick film conductor paste 92 and the thick film dielectric paste 94. After the conductor printed layers 96, 100 and the like are formed in a predetermined pattern, heat treatment is performed at a temperature at which they are sintered, so that the core dielectric layer 32 is formed.
The sheet member 20 having the thick film conductor layers forming the sustain wiring layer 36 and the write wiring layer 40 on both surfaces thereof is produced. Therefore, the peeling layer 82, which is not sintered at the heat treatment temperature, becomes the particle layer 110 in which only the high melting point particles 108 are lined up due to the resin being burned off, and the generated thick film is not fixed to the substrate 76. , Its surface 7
8 can be easily peeled off. Therefore, the sheet member 20 for forming the discharge electrodes 46 and 48 can be easily manufactured and used for manufacturing the PDP 10.

【0068】また、本実施例においては、厚膜ペースト
92,94の塗布される支持体は、基板76の表面に剥
離層82が形成されることにより構成されるため、加熱
処理後にも支持体の形状が維持されるため、剥離層82
のみで支持体が構成されている場合に比較してシート部
材20の生成後の取扱いが容易になる利点がある。な
お、厚膜印刷層96〜102と基板76との間には剥離
層82が介在させられていることから、加熱処理の際に
その厚膜印刷層96〜102を何ら拘束しないため、基
板76の平坦度や表面粗度等は特に問題にならない。す
なわち、基板表面78が反っている場合には、厚膜印刷
層96〜102はその表面78に倣って反りを有して形
成されるが、生成されるシート部材20は焼成後にも十
分な柔軟性があるため、平坦面に置いた場合にその面に
倣ってシート部材20も平坦になるのである。
Further, in the present embodiment, the support to which the thick film pastes 92 and 94 are applied is formed by forming the peeling layer 82 on the surface of the substrate 76, so that the support is supported even after the heat treatment. Since the shape of the peeling layer 82 is maintained,
There is an advantage that the handling of the sheet member 20 after production is easier than in the case where the support is composed of only the sheet. Since the peeling layer 82 is interposed between the thick film printed layers 96 to 102 and the substrate 76, the thick film printed layers 96 to 102 are not constrained at the time of the heat treatment, and thus the substrate 76 is not constrained. The flatness, surface roughness, etc. do not matter. That is, when the substrate surface 78 is warped, the thick film printing layers 96 to 102 are formed with a warp following the surface 78, but the produced sheet member 20 is sufficiently flexible even after firing. Therefore, when placed on a flat surface, the sheet member 20 also becomes flat following the surface.

【0069】また、本実施例においては、厚膜印刷層9
6〜102は、厚膜スクリーン印刷法を用いて形成され
ることから、装置が簡単且つ材料の無駄が少ないため、
低コストとなる利点がある。
In this embodiment, the thick film printing layer 9 is also used.
Since Nos. 6 to 102 are formed by using the thick film screen printing method, the device is simple and the waste of materials is small.
It has the advantage of low cost.

【0070】また、本実施例によれば、厚膜スクリーン
印刷法を用いて膜形成がされることから所謂ウェット・
プロセスがないため、排水処理が容易になる利点もあ
る。因みに、ウェット・プロセスでは、溶液が膜内に浸
透して残存すると、前面板16および背面板18を接着
して真空容器を構成した後のアウトガスの原因になり得
る。これを避けるためには、構成材料の耐熱温度を高く
して気密封着後の排気温度を高め、或いは排気時間を長
くする等の工程負荷が重くなるような処置が必要とな
る。
Further, according to the present embodiment, since the film is formed using the thick film screen printing method, the so-called wet
There is also an advantage that wastewater treatment is easy because there is no process. Incidentally, in the wet process, if the solution permeates and remains in the film, it may cause outgas after the front plate 16 and the back plate 18 are bonded to form a vacuum container. In order to avoid this, it is necessary to take measures such as increasing the heat resistance temperature of the constituent materials to increase the exhaust gas temperature after hermetically sealing, or prolonging the exhaust time, thereby increasing the process load.

【0071】図11は、本発明の他の実施例のPDPに
用いられるシート部材130の構成を説明するための図
3に対応する図である。この実施例においては、前記の
維持配線層40に代えて、維持配線層132が設けられ
ている。維持配線層132は、維持配線層40と略同様
に構成されたものであるが、維持電極46が各々の配線
部50のその幅方向における両側に設けられている点が
相違する。すなわち、このシート部材130では、維持
電極46が格子の全ての空間に設けられている。両側に
設けられている維持電極46の寸法および形状は、相互
に略同様である。また、シート部材130には、前記の
書込配線層40に代えて書込配線層134が設けられて
いる。この書込配線層134も、書込配線層40と略同
様に構成されたものであるが、維持電極46が全ての格
子空間に設けられていることに対応して、書込電極48
が全ての格子空間に設けられているが、他の部分の構成
はシート部材20の場合と同様である。
FIG. 11 is a view corresponding to FIG. 3 for explaining the structure of the sheet member 130 used in the PDP of another embodiment of the present invention. In this embodiment, a sustain wiring layer 132 is provided instead of the above sustain wiring layer 40. Sustain wiring layer 132 has a structure similar to that of sustain wiring layer 40, except that sustain electrodes 46 are provided on both sides of each wiring portion 50 in the width direction. That is, in this sheet member 130, the sustain electrodes 46 are provided in all the spaces of the lattice. The size and shape of the sustain electrodes 46 provided on both sides are substantially the same as each other. The sheet member 130 is provided with a write wiring layer 134 instead of the write wiring layer 40. The write wiring layer 134 is also configured in substantially the same manner as the write wiring layer 40, but the write electrode 48 is provided corresponding to the sustain electrodes 46 provided in all the lattice spaces.
Are provided in all the lattice spaces, but the configuration of the other parts is similar to that of the sheet member 20.

【0072】なお、前述の実施例では、書込電極48が
格子の空間の内周側に向かって突き出すように設けられ
ていたが、本実施例では、維持電極46と同様にコア誘
電体層136の各格子の内壁面に沿って設けられてい
る。すなわち、その内壁面に固着されている。そのた
め、シート部材130を通って出てくる光も観視するよ
うに構成されるPDPでは、書込電極48による遮光が
少なくなる(実質的になくなる)ので、一層輝度を高め得
る利点がある。また、書込電極48の大きさがばらつい
た場合にも、走査側の維持電極46との電極間隔が変動
し難い利点もある。なお、このような書込電極48は、
維持電極46を形成するための厚膜導体ペースト92を
塗布する際に、書込電極48に対応する位置にも開口を
備えたスクリーン86を用いればよい。
In the above-mentioned embodiment, the write electrode 48 is provided so as to project toward the inner peripheral side of the space of the lattice, but in this embodiment, like the sustain electrode 46, the core dielectric layer is provided. It is provided along the inner wall surface of each lattice of 136. That is, it is fixed to the inner wall surface. Therefore, in the PDP configured so that the light emitted through the sheet member 130 is also viewed, the light shielding by the writing electrode 48 is reduced (substantially eliminated), and there is an advantage that the brightness can be further increased. Further, even if the size of the write electrode 48 varies, there is an advantage that the electrode interval with the sustain electrode 46 on the scanning side does not easily change. Note that such a write electrode 48 is
When applying the thick film conductor paste 92 for forming the sustain electrodes 46, a screen 86 having an opening at a position corresponding to the write electrode 48 may be used.

【0073】また、コア誘電体層136も、前記のコア
誘電体層32と略同様に構成されているが、その格子の
構成部分は、維持配線層132の配線部50の長手方向
に沿った方向においては、例えば0.3(mm)程度の一定の
中心間隔で設けられており、書込配線層134の配線部
52の長手方向に沿った方向においては、例えば0.7(m
m)程度の一定の中心間隔で設けられている。すなわち、
このシート部材130では、シート部材20の場合と相
違し、格子の構成部分の相互間隔は上記の2方向におい
て何れも一定の値に成っている。
The core dielectric layer 136 is also constructed in substantially the same manner as the core dielectric layer 32 described above, but the lattice portion thereof is along the longitudinal direction of the wiring portion 50 of the sustain wiring layer 132. In the direction, for example, it is provided at a constant center interval of about 0.3 (mm), and in the direction along the longitudinal direction of the wiring portion 52 of the write wiring layer 134, for example, 0.7 (m
It is provided with a constant center interval of about m). That is,
In this sheet member 130, unlike the case of the sheet member 20, the mutual intervals of the constituent parts of the lattice are constant values in both of the above two directions.

【0074】なお、他の部分の寸法は例えば前記のシー
ト部材20と同様でもよいが、例えば、コア誘電体層1
36の高さ寸法が100(μm)程度、幅寸法が100(μm)程
度、配線部50、52の幅寸法が60(μm)程度、維持電
極46の大きさが幅寸法150(μm)程度、高さ寸法100(μ
m)程度、書込電極48の大きさが幅寸法100(μm)程度、
高さ寸法100(μm)程度である。
The dimensions of the other portions may be the same as those of the above-mentioned sheet member 20, but, for example, the core dielectric layer 1
The height dimension of 36 is about 100 (μm), the width dimension is about 100 (μm), the width dimension of the wiring parts 50 and 52 is about 60 (μm), and the size of the sustain electrode 46 is about 150 (μm). , Height dimension 100 (μ
m), the size of the write electrode 48 is about 100 (μm) in width,
The height dimension is about 100 (μm).

【0075】このように構成されたシート部材130を
シート部材20に代えて用いたPDPにおいては、維持
配線層132の全ての配線部50に順次に放電電圧を印
加して走査すると共に、その走査のタイミングに同期し
て書込配線層134の配線部52のうち表示データに応
じた所望のものに放電電圧を印加することにより、それ
らの間でガス放電を発生させて保護膜44上に壁電荷を
蓄積する。このようにして発光区画の選択を終了した
後、表示期間では、維持配線層132の配線部50を飛
び越し(インタレース)走査して、それぞれの一方側(例
えば走査方向の前方或いは後方)との間で維持放電を発
生させ、2周期から成る表示期間によりデータに応じた
全ての発光区画(すなわち格子空間)内で放電を発生させ
る。本発明は、このような2:1インタレースを駆動す
るPDPにも好適に適用される。
In the PDP in which the sheet member 130 thus configured is used in place of the sheet member 20, the discharge voltage is sequentially applied to all the wiring portions 50 of the sustain wiring layer 132 for scanning, and the scanning is performed. By applying a discharge voltage to a desired one of the wiring portions 52 of the write wiring layer 134 in accordance with the display data in synchronization with the timing, a gas discharge is generated between them and a wall is formed on the protective film 44. Accumulates electric charge. After the selection of the light emitting sections is completed in this way, in the display period, the wiring section 50 of the sustain wiring layer 132 is interlaced and scanned, and one side (for example, front or rear in the scanning direction) of each is scanned. A sustain discharge is generated between them, and a display period consisting of two cycles causes a discharge to be generated in all the light emitting sections (that is, the grid space) corresponding to the data. The present invention is preferably applied to a PDP driving such a 2: 1 interlace.

【0076】以上、本発明を図面を参照して詳細に説明
したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
Although the present invention has been described above in detail with reference to the drawings, the present invention can be implemented in other modes.

【0077】例えば、実施例においては、カラー表示用
のAC型PDP10およびその製造方法に本発明が適用
された場合について説明したが、本発明は、モノクロ表
示用のAC型PDPおよびその製造方法にも同様に適用
される。
For example, in the embodiments, the case where the present invention is applied to the AC type PDP 10 for color display and the manufacturing method thereof has been described. However, the present invention applies to the AC type PDP for monochrome display and the manufacturing method thereof. Applies as well.

【0078】また、実施例のPDP10は、3色の蛍光
体層26、30を備えてフルカラー表示をさせる形式の
ものであったが、本発明は、1色或いは2色の蛍光体層
を備えたPDPにも同様に適用される。
Further, although the PDP 10 of the embodiment is of a type in which the phosphor layers 26 and 30 of three colors are provided for full color display, the present invention is provided with a phosphor layer of one color or two colors. The same applies to PDPs.

【0079】また、シート部材20、130の厚さ寸法
およびそれを構成するコア誘電体層32、136や配線
層36、40、132,134等の厚さ寸法等は、シー
ト部材20に取扱い上で要求される機械的強度や、導体
に求められる導電性等に応じて定められるものであり、
実施例に示した数値に限られずガス放電表示装置の大き
さや構造等に応じて適宜定められる。
The thickness of the sheet members 20, 130 and the thicknesses of the core dielectric layers 32, 136 and the wiring layers 36, 40, 132, 134, etc., which compose the sheet members, are handled by the sheet member 20. Is determined according to the mechanical strength required for
It is not limited to the numerical values shown in the embodiments, but may be appropriately determined according to the size and structure of the gas discharge display device.

【0080】また、実施例においては、シート部材2
0、130に設けられた配線層36,40、132,1
34が被覆誘電体層42で完全に覆われていたが、これ
らは表示のための放電や気密容器内の雰囲気等に影響を
及ぼさない範囲で部分的に露出させられていても差し支
えない。
Further, in the embodiment, the sheet member 2
0, 130 wiring layers 36, 40, 132, 1
Although 34 was completely covered with the covering dielectric layer 42, these may be partially exposed as long as they do not affect the discharge for display or the atmosphere in the airtight container.

【0081】また、実施例においては、シート部材20
が厚膜スクリーン印刷法を利用してコア誘電体層32や
配線層36,40等を設けられていたが、コータやフィ
ルム・ラミネート等を用いて膜形成面に「ベタ」に厚膜
ペースト層を設け、フォト・プロセスを用いてパターニ
ングすることもできる。
Further, in the embodiment, the sheet member 20 is used.
Provided the core dielectric layer 32, the wiring layers 36, 40, etc. by using the thick film screen printing method, the thick film paste layer was "solid" on the film forming surface by using a coater, a film laminate or the like. Can be provided and patterned using a photo process.

【0082】また、実施例においては、シート部材20
を製造するための支持体を、基板76の表面78に剥離
槽82を設けることで構成していたが、セラミック生シ
ート(未焼成のシート状セラミックス)を支持体として用
いることもできる。この場合には、焼成工程104にお
ける熱処理温度が、このセラミック生シートは焼結しな
いがそれに含まれている樹脂成分は十分に燃え抜けるよ
うな温度となるように生シートの構成を定めればよい。
Further, in the embodiment, the sheet member 20
Although the support for manufacturing the above was constituted by providing the peeling tank 82 on the surface 78 of the substrate 76, a ceramic green sheet (unfired sheet-shaped ceramics) can also be used as the support. In this case, the composition of the green sheet may be determined so that the heat treatment temperature in the firing step 104 is a temperature at which the ceramic green sheet does not sinter but the resin component contained therein is sufficiently burned out. .

【0083】また、実施例においては、シート部材20
の内壁面を覆う維持電極46、46間で放電させられる
対向放電構造に構成されていたが、この内壁面を覆う部
分が設けられていないような面放電構造に構成すること
もできる。
Further, in the embodiment, the sheet member 20 is used.
The counter discharge structure is configured to discharge between the sustain electrodes 46 covering the inner wall surface of the above, but may be configured to a surface discharge structure in which a portion covering the inner wall surface is not provided.

【0084】また、実施例においては、書込配線層4
0、134の配線部52に設けられた突出部或いはコア
誘電体層136の内壁面に沿った部分により書込電極4
8が構成されていたが、走査側維持電極46との組合せ
により確実な書込が可能であれば、このような突出部等
を設ける必要はない。
Further, in the embodiment, the write wiring layer 4
The write electrode 4 is formed by the protrusions provided in the wiring portions 52 of 0 and 134 or the portion along the inner wall surface of the core dielectric layer 136.
No. 8 is configured, however, if reliable writing is possible by combination with the scan side sustain electrode 46, it is not necessary to provide such a protruding portion or the like.

【0085】また、実施例においては、凹溝22がスト
ライプ状に設けられていたが、封着後の排気・ガス封入
に問題が無ければ格子状の溝で放電空間を区画形成して
もよい。また、実施例においては、前面板16および背
面板18の両方に凹溝22,28が形成されていたが、
一方だけに設けても差し支えない。その場合、シート部
材20と蛍光体との接触を避けるためには、凹溝を設け
ない側には蛍光体層を設けないことが好ましい。
Further, in the embodiment, the concave groove 22 is provided in a stripe shape, but if there is no problem in exhaust gas / gas filling after sealing, the discharge space may be partitioned and formed by a grid groove. . Further, in the embodiment, the grooves 22 and 28 are formed in both the front plate 16 and the back plate 18, but
It can be installed on only one side. In that case, in order to avoid contact between the sheet member 20 and the phosphor, it is preferable that the phosphor layer is not provided on the side where the concave groove is not provided.

【0086】また、実施例においては、前面板16およ
び背面板18が何れも透明なガラス基板で構成されるこ
とにより何れからも発光を観察できるように構成されて
いたが、一方を不透明な材料で構成して他方を透過した
光のみを観察するように構成してもよい。
In the embodiment, the front plate 16 and the rear plate 18 are both made of transparent glass substrates so that the light emission can be observed from either of them, but one of them is made of an opaque material. Alternatively, it may be configured to observe only the light transmitted through the other.

【0087】また、実施例では内面12,14の何れに
も蛍光体層26,30が設けられていたが、何れか一方
のみとすることもできる。
Further, although the phosphor layers 26 and 30 are provided on both the inner surfaces 12 and 14 in the embodiment, only one of them may be provided.

【0088】また、前面板16および背面板18には、
放電空間24を形成するために凹溝22,28が設けら
れていたが、これに代えて、凹溝22,28の相互間と
なる凸部の存在する位置に厚膜絶縁体等から成る隔壁を
設けてもよい。
The front plate 16 and the rear plate 18 are
Although the concave grooves 22 and 28 were provided to form the discharge space 24, instead of this, a partition wall made of a thick film insulator or the like is provided at the position where the convex portion between the concave grooves 22 and 28 is present. May be provided.

【0089】また、放電空間24の相互の区切りと成る
部分、すなわち、実施例においては凹溝22間の凸部ま
たは前面板16の裏面、隔壁が設けられる場合にはその
頂部或いは基部には、黒色顔料を含むガラス・ペースト
(厚膜絶縁体)等によってブラック・ストライプ(ブラッ
ク・マスク)を設けてもよい。
Further, in the portions which are the boundaries between the discharge spaces 24, that is, in the embodiment, the convex portions between the concave grooves 22 or the back surface of the front plate 16 and the top or base portion of the partition walls when provided are, Glass paste containing black pigment
A black stripe (black mask) may be provided by (thick film insulator) or the like.

【0090】また、実施例においては、シート部材20
を製造するに際して、剥離層82の上に直ちに書込配線
層40を設けるための厚膜導体ペーストを印刷していた
が、焼成時の熱容量の相違等に起因して書込電極48が
上方に向かって湾曲するおそれのある場合には、上記の
厚膜導体ペーストに先立って、同一のパターンで誘電体
ペーストを塗布して、書込配線層40のベースと成る厚
膜誘電体層を設けてもよい。なお、シート部材130の
ように書込電極48がコア誘電体層136の内壁面上に
設けられる場合には、このような措置は無用である。
Further, in the embodiment, the sheet member 20 is used.
In manufacturing the same, a thick film conductor paste for immediately providing the write wiring layer 40 was printed on the peeling layer 82. However, the write electrode 48 is upwardly formed due to a difference in heat capacity during firing or the like. When there is a possibility of curving toward the front, the dielectric paste is applied in the same pattern prior to the above thick-film conductor paste to provide a thick-film dielectric layer serving as the base of the write wiring layer 40. Good. When the write electrode 48 is provided on the inner wall surface of the core dielectric layer 136 like the sheet member 130, such a measure is unnecessary.

【0091】その他、一々例示はしないが、本発明は、
その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るもので
ある。
Although not illustrated one by one, the present invention is
Various changes can be made without departing from the spirit of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のガス放電表示装置の一例であるカラー
PDPを一部を切り欠いて示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a color PDP, which is an example of a gas discharge display device of the present invention, with a part cut away.

【図2】凹溝の長手方向に沿った断面において、図1の
PDPの断面構造を説明する図である。
2 is a diagram illustrating a cross-sectional structure of the PDP of FIG. 1 in a cross section along the longitudinal direction of a groove.

【図3】図1のPDPに備えられたシート部材の構成を
説明する図である。
3 is a diagram illustrating a configuration of a sheet member included in the PDP of FIG.

【図4】図3のシート部材内における配線層の形成状態
を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a formation state of a wiring layer in the sheet member of FIG.

【図5】図1のPDPの製造方法を説明する工程図であ
る。
5A to 5C are process diagrams illustrating a method for manufacturing the PDP of FIG.

【図6】シート部材の製造方法を説明する工程図であ
る。
FIG. 6 is a process diagram illustrating a method of manufacturing a sheet member.

【図7】(a)〜(e)は、図6の製造工程の要部段階におけ
る基板および厚膜の状態を示す図である。
7 (a) to 7 (e) are diagrams showing the states of the substrate and the thick film at the main stage of the manufacturing process of FIG.

【図8】(f)〜(h)は、図6の製造工程の要部段階におけ
る基板および厚膜の状態を示すための図7(e)に続く図
である。
8 (f) to 8 (h) are views following FIG. 7 (e) for showing the states of the substrate and the thick film in the main part stage of the manufacturing process of FIG.

【図9】図6の焼成工程における収縮挙動を説明するた
めの図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining shrinkage behavior in the firing step of FIG.

【図10】被覆誘電体層の焼成工程におけるガスの抜け
る方向を説明する図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a gas escape direction in a firing process of a coated dielectric layer.

【図11】本発明の他の実施例のPDPに用いられるシ
ート部材を説明する図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a sheet member used in a PDP according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10:PDP 16:前面板 18:背面板 20:シート部材 24:放電空間 32:コア誘電体層 36:維持配線層 40:書込配線層 42:シート部材 46:維持電極 48:書込電極 10: PDP 16: Front plate 18: Back plate 20: Sheet member 24: discharge space 32: Core dielectric layer 36: sustain wiring layer 40: write wiring layer 42: Sheet member 46: sustaining electrode 48: Writing electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阪本 進 福岡県朝倉郡夜須町大字三並字八ツ並2160 番地 ノリタケ電子工業株式会社夜須工場 内 Fターム(参考) 5C027 AA02 AA06 AA09 5C040 FA01 FA04 GA02 GA03 GB03 GB14 GC12 GC13 GC19 GD09 GF03 GF06 GF19 GG03 GG04 JA12 JA22 JA28 LA05 LA11 MA23    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Susumu Sakamoto             2160 Yatsunami, Sanjo, Yasu-cho, Asakura-gun, Fukuoka Prefecture             Address Noritake Electronics Co., Ltd. Yasu Factory             Within F-term (reference) 5C027 AA02 AA06 AA09                 5C040 FA01 FA04 GA02 GA03 GB03                       GB14 GC12 GC13 GC19 GD09                       GF03 GF06 GF19 GG03 GG04                       JA12 JA22 JA28 LA05 LA11                       MA23

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明な第1基板と、その第1基板から所
定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1
基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入
された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それ
ら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための
誘電体で覆われた複数対の維持電極と、発光区画を選択
するためにその維持電極との間でガス放電を発生させら
れる複数の書込電極とを備え、前記複数対の維持電極間
のガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察す
る形式のAC型ガス放電表示装置であって、 格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア
誘電体層と、 前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に
伸びるようにその一面に積層され且つその格子の交点間
に位置する部分が前記維持電極として機能させられる複
数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、 前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に
伸びるようにその他面に積層され且つその格子の交点間
に位置する部分が前記書込電極として機能させられる複
数本の第2導体から成る第2厚膜導体層と、 前記第1厚膜導体層を覆う厚膜誘電体から成る被覆誘電
体層とを備えて、前記第1基板および前記第2基板の間
にそれらに平行に配置されたシート部材を含むことを特
徴とするガス放電表示装置。
1. A transparent first substrate, a second substrate arranged in parallel at a predetermined distance from the first substrate, and the first substrate.
A plurality of discharge spaces provided between the substrate and the second substrate and formed in an airtight space in which a predetermined gas is sealed, and a plurality of discharge spaces, each of which is covered with a dielectric for generating a gas discharge. A plurality of pairs of sustain electrodes and a plurality of write electrodes capable of generating a gas discharge between the sustain electrodes to select a light emitting section, and the plurality of pairs of sustain electrodes generate a gas discharge. An AC gas discharge display device of a type for observing light through the first substrate, comprising: a core dielectric layer made of a thick film dielectric having a predetermined thickness dimension in a grid pattern; and a grid of the core dielectric layer. A first thick film conductor layer formed of a plurality of first conductors, which are laminated on one surface so as to extend in parallel with each other along one direction, and a portion located between intersections of the lattices functions as the sustain electrode. A grid of the core dielectric layer A second thick film conductor layer composed of a plurality of second conductors, which are laminated on the other surface so as to extend in parallel with each other in the other direction, and the portion located between the intersections of the lattices functions as the write electrode; A sheet dielectric disposed between the first substrate and the second substrate in parallel therewith, and a covering dielectric layer comprising a thick film dielectric covering the first thick film conductor layer. Characteristic gas discharge display device.
【請求項2】 前記第1厚膜導体層は、相互に隣接する
前記第1導体の前記交点間に位置する部分に、前記コア
誘電体層の格子の内壁面の一部を覆い且つ相互に対向す
るように固着された対向部を備えたものである請求項1
のAC型ガス放電表示装置。
2. The first thick film conductor layer covers a part of an inner wall surface of a lattice of the core dielectric layer and is mutually disposed in a portion located between the intersections of the first conductors adjacent to each other. 2. A structure comprising a facing portion fixed so as to face each other.
AC type gas discharge display device.
【請求項3】 前記対向部が前記複数本の第1導体の各
々の幅方向における両側に備えられたものである請求項
2のAC型ガス放電表示装置。
3. The AC type gas discharge display device according to claim 2, wherein the facing portions are provided on both sides in the width direction of each of the plurality of first conductors.
【請求項4】 前記第2厚膜導体層は、前記コア誘電体
層の格子のうち前記対向部が備えられた放電空間の内周
側に突き出した突出部を備えたものである請求項2また
は請求項3のAC型ガス放電装置。
4. The second thick film conductor layer is provided with a protrusion that protrudes toward the inner peripheral side of the discharge space in which the facing portion is provided, of the lattice of the core dielectric layer. Alternatively, the AC type gas discharge device according to claim 3.
【請求項5】 前記複数本の第2導体の長手方向に沿っ
て伸びる複数本の凹溝をそれら複数本の第2導体の相互
間の位置において前記第1基板および前記第2基板の対
向面の少なくとも一方に備えたものである請求項1乃至
請求項4の何れかのAC型ガス放電表示装置。
5. A plurality of recessed grooves extending along the longitudinal direction of the plurality of second conductors are provided at positions between the plurality of second conductors, the facing surfaces of the first substrate and the second substrate. The AC type gas discharge display device according to any one of claims 1 to 4, which is provided in at least one of the above.
【請求項6】 透明な第1基板と、その第1基板から所
定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1
基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入
された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それ
ら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための
誘電体で覆われた複数対の維持電極と、発光区画を選択
するためにその維持電極との間でガス放電を発生させら
れる複数の書込電極とを備え、前記複数対の維持電極間
のガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察す
る形式のAC型ガス放電表示装置を、前記第1基板およ
び前記第2基板を重ね合わせて気密に封着することによ
り製造する方法であって、 格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア
誘電体層と、 前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に
伸びるようにその一面に積層され且つその格子の交点間
に位置する部分を前記維持電極として機能させるための
複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、 前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に
伸びるようにその他面に積層され且つその格子の交点間
に位置する部分を前記書込電極として機能させるための
複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層と、 前記第1厚膜導体層を覆う厚膜誘電体から成る被覆誘電
体層とを備えたシート部材を、前記第1基板および前記
第2基板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程
を含むことを特徴とするAC型ガス放電表示装置の製造
方法。
6. A transparent first substrate, a second substrate arranged in parallel at a predetermined distance from the first substrate, and the first substrate.
A plurality of discharge spaces provided between the substrate and the second substrate and formed in an airtight space in which a predetermined gas is sealed, and a plurality of discharge spaces, each of which is covered with a dielectric for generating a gas discharge. A plurality of pairs of sustain electrodes and a plurality of write electrodes capable of generating a gas discharge between the sustain electrodes to select a light emitting section, and the plurality of pairs of sustain electrodes generate a gas discharge. A method of manufacturing an AC type gas discharge display device of a type in which light is observed through the first substrate by stacking the first substrate and the second substrate and hermetically sealing them together, wherein A core dielectric layer formed of a thick film dielectric having a predetermined thickness dimension, and laminated on one surface of the core dielectric layer so as to extend in parallel to each other along one direction of the grid and located between intersections of the grid. The portion to be the sustain electrode And a first thick film conductor layer composed of a plurality of first conductors for functioning together, and laminated on the other surface so as to extend parallel to each other along the other direction of the grid of the core dielectric layer, and A second thick-film conductor layer made of a plurality of second conductors for causing the portion located between the intersections to function as the write electrode, and a coated dielectric made of a thick-film dielectric covering the first thick-film conductor layer. A method of manufacturing an AC type gas discharge display device, comprising a sheet member fixing step of fixing a sheet member having a layer on one inner surface of one of the first substrate and the second substrate.
【請求項7】 所定の第1温度よりも高い融点を有する
粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒子層で構成された
膜形成面を有する支持体を用意する支持体準備工程と、 前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子
が樹脂で結合されて成る下側導体ペースト膜を前記膜形
成面に前記第1厚膜導体層および前記第2厚膜導体層の
一方に対応する複数に分割された所定パターンで形成す
る下側導体ペースト膜形成工程と、 前記第1温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒
子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を前記コア
誘電体層に対応する格子状パターンで前記下側導体ペー
スト膜の表面に積層して形成する誘電体ペースト膜形成
工程と、 前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子
が樹脂で結合されて成る上側導体ペースト膜を前記第1
厚膜導体層および前記第2厚膜導体層の他方に対応する
複数に分割された所定パターンでその誘電体ペースト膜
の表面に積層して形成する上側導体ペースト膜形成工程
と、 前記支持体を前記第1温度で加熱処理することにより、
前記高融点粒子層を焼結させることなく前記下側導体ペ
ースト膜、前記上側導体ペースト膜、および前記誘電体
ペースト膜を焼結させて、それら下側導体ペースト膜、
上側導体ペースト膜、および誘電体ペースト膜から前記
第1厚膜導体層、前記第2厚膜導体層、および前記コア
誘電体層を生成する焼成工程とを、含む工程により前記
シート部材を製造するものである請求項6のAC型ガス
放電表示装置の製造方法。
7. A support preparing step of preparing a support having a film forming surface composed of a high melting point particle layer in which particles having a melting point higher than a predetermined first temperature are bonded with a resin, A lower conductor paste film, in which constituent particles of a thick film conductor material that can be sintered at one temperature are bonded with a resin, is provided on the film forming surface on one of the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer. A lower conductor paste film forming step of forming a corresponding plurality of divided predetermined patterns, and a dielectric paste film obtained by bonding particles of a thick film dielectric material sintered at the first temperature with a resin. A dielectric paste film forming step of laminating and forming on the surface of the lower conductor paste film in a grid pattern corresponding to the core dielectric layer, and constituent particles of a thick film conductor material sintered at the first temperature. The upper side made of resin The conductor paste film is the first
An upper conductor paste film forming step of laminating and forming on the surface of the dielectric paste film in a predetermined pattern divided into a plurality of portions corresponding to the other of the thick film conductor layer and the second thick film conductor layer, and the support. By heat treatment at the first temperature,
The lower conductor paste film, the upper conductor paste film, and the dielectric paste film are sintered without sintering the high-melting point particle layer, and the lower conductor paste film,
The sheet member is manufactured by a process including a firing process of forming the first thick film conductor layer, the second thick film conductor layer, and the core dielectric layer from the upper conductor paste film and the dielectric paste film. 7. The method for manufacturing an AC type gas discharge display device according to claim 6.
【請求項8】 前記第1厚膜導体層は、相互に隣接する
前記第1導体の前記交点間に位置する部分に、前記コア
誘電体層の格子の内壁面の一部を覆い且つ相互に対向す
るように固着された対向部を備えたものであり、 前記誘電体ペースト膜の格子の内壁面に前記第1温度で
焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合さ
れて成る壁面導体ペースト膜を前記対向部に対応するパ
ターンで形成する壁面導体ペースト膜形成工程を含むも
のである請求項7のAC型ガス放電表示装置の製造方
法。
8. The first thick film conductor layer covers a part of an inner wall surface of a lattice of the core dielectric layer at a portion located between the intersections of the first conductors adjacent to each other and mutually. It has a facing portion fixed so as to face each other, and is formed by resin-bonding constituent particles of a thick-film conductor material to be sintered at the first temperature on the inner wall surface of the grid of the dielectric paste film. The method for manufacturing an AC type gas discharge display device according to claim 7, further comprising a step of forming a wall surface conductor paste film in a pattern corresponding to the facing portion.
【請求項9】 前記支持体準備工程は、所定の基板の表
面に前記高融点粒子層を形成するものである請求項7ま
たは請求項8のAC型ガス放電表示装置の製造方法。
9. The method for manufacturing an AC type gas discharge display device according to claim 7, wherein in the support preparing step, the high melting point particle layer is formed on a surface of a predetermined substrate.
【請求項10】 前記基板は、前記焼成温度で変形しな
いものである請求項9のAC型ガス放電表示装置の製造
方法。
10. The method of manufacturing an AC type gas discharge display device according to claim 9, wherein the substrate is not deformed at the firing temperature.
【請求項11】 前記第1厚膜導体層および前記第2厚
膜導体層が前記一面および他面にそれぞれ設けられた前
記コア誘電体層の外周側に厚膜誘電体ペーストを塗布し
て加熱処理を施すことにより前記被覆誘電体層を設ける
被覆工程を含むものである請求項6のAC型ガス放電表
示装置の製造方法。
11. A thick film dielectric paste is applied to the outer peripheral side of the core dielectric layer provided with the first thick film conductor layer and the second thick film conductor layer on the one surface and the other surface, respectively, and heated. 7. The method of manufacturing an AC type gas discharge display device according to claim 6, further comprising a coating step of providing the coated dielectric layer by performing a treatment.
【請求項12】 厚膜スクリーン印刷法を用いて前記下
側導体ペースト膜、前記上側導体ペースト膜、前記被覆
導体ペースト膜、および前記誘電体ペースト膜をそれぞ
れ形成するものである請求項7乃至請求項11の何れか
のAC型ガス放電表示装置の製造方法。
12. The thick film screen printing method is used to form the lower conductor paste film, the upper conductor paste film, the coated conductor paste film, and the dielectric paste film, respectively. Item 12. A method of manufacturing an AC type gas discharge display device according to any one of items 11.
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