JP2003195178A - Device for beam shut-off in laser scanning microscope - Google Patents

Device for beam shut-off in laser scanning microscope

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JP2003195178A
JP2003195178A JP2002289885A JP2002289885A JP2003195178A JP 2003195178 A JP2003195178 A JP 2003195178A JP 2002289885 A JP2002289885 A JP 2002289885A JP 2002289885 A JP2002289885 A JP 2002289885A JP 2003195178 A JP2003195178 A JP 2003195178A
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JP
Japan
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laser beam
diaphragm
area
laser
scanning
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Application number
JP2002289885A
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Japanese (ja)
Inventor
Guenter Schoeppe
シェッペ ギュンター
Sebastian Tille
ティレ セバスチャン
Ulrich Meisel
マイゼル ウルリッヒ
Gunter Moehler
メーラー グンター
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Jenoptik AG
Original Assignee
Carl Zeiss Jena GmbH
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0076Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for beam shut-off in a laser scanning microscope and a method for scanning the laser scanning microscope by using beam shut-off in order to dispense with an expensive acoustooptical modulator. <P>SOLUTION: In the laser scanning microscope scanning an image field 4, the laser beam is deflected to a stop 6 arranged near the image field 4 in order to shut off the laser beam 1 if the laser beam 1 is not intended to be incident on the image field 4. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ラスタ走査法で結
像領域上にレーザ・ビームを案内する偏向デバイスを備
えたレーザ走査顕微鏡におけるビーム遮断用デバイス、
ならびに、レーザ・ビームのビーム遮断が行われるレー
ザ走査顕微鏡を操作する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a beam blocking device in a laser scanning microscope provided with a deflection device for guiding a laser beam onto an image forming area by a raster scanning method,
It also relates to a method for operating a laser scanning microscope in which a beam interception of the laser beam is performed.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ走査顕微鏡において対象物の所定
領域は、レーザ・ビームにより逐一ラスタ走査される。
その実施においては、直径数ミリメートルの平行レーザ
・ビームが、殆どの場合には偏向デバイスを用いること
によって、例えばブラウン管における電子ビームと同様
に、ラスタ様の所望パターンに従って偏向される。この
偏向されたレーザ・ビームは、レーザ走査顕微鏡の中間
結像面において走査用対物レンズと称される光学系によ
り焦点合わせされると共に、該顕微鏡の対物レンズによ
り対象物上にもしくは対象物内へと結像される。前記ビ
ーム偏向により、調節可能な大きさであって光学的理由
により所定の最大サイズを有する目標領域がラスタ走査
される。前記レーザ・ビームは、対象物をラスタ走査す
る間に所定領域を掃引する。前記レーザ・ビームの広が
りは、前記中間結像面からの距離に従って変化する。
2. Description of the Related Art In a laser scanning microscope, a predetermined area of an object is raster-scanned by a laser beam.
In that implementation, a collimated laser beam of a few millimeters in diameter is deflected according to a desired raster-like pattern, most often by using a deflection device, like an electron beam in a cathode ray tube, for example. The deflected laser beam is focused on an intermediate image plane of a laser scanning microscope by an optical system called a scanning objective lens, and is focused on or into an object by the objective lens of the microscope. Is imaged. The beam deflection causes a raster scan of a target area of adjustable size and for optical reasons a predetermined maximum size. The laser beam sweeps a predetermined area while raster-scanning the object. The divergence of the laser beam varies according to the distance from the intermediate image plane.

【0003】焦点合わせされた前記レーザ・ビームは対
象物と相互作用すると共に、照射放射と同一経路に沿う
反射放射もしくは蛍光放射として戻り得る。多くの場合
においてレーザと前記偏向デバイスとの間にはビームス
プリッタが配備され、該ビームスプリッタは対象物によ
り受け止められた放射を用に応じてほぼ完全に検出器ビ
ーム経路へと案内する。
The focused laser beam interacts with the object and can return as reflected or fluorescent radiation along the same path as the illuminating radiation. In many cases a beam splitter is provided between the laser and the deflection device, which beam guides the radiation received by the object into the detector beam path in a sensible manner.

【0004】全ての場合において前記検出器ビーム経路
には、前記放射線を更なる結像面内に焦点合わせする少
なくともひとつの結像系が配置される。該平面内にはピ
ンホールと称される少なくとも一個の小寸の絞り(Bl
ende)が在り、該絞りの背後に検出器が存在する。
特定の用途によっては、前記検出器ビーム経路に更なる
要素を配置してもよい。
In all cases, the detector beam path is provided with at least one imaging system for focusing the radiation in a further imaging plane. At least one small aperture (Bl) called a pinhole is provided in the plane.
end) and there is a detector behind the diaphragm.
Depending on the particular application, additional elements may be placed in the detector beam path.

【0005】負の無限遠点におけるレーザ直径の減少部
と、対象物と、前記ピンホールとは光学的に共役な各平
面内に存在することから、斯かる配置は共焦点的(ko
nfokal)と称される。該配置は、特に好適な画像
特性を呈する。
Since the reduction portion of the laser diameter at the point of negative infinity, the object, and the pinhole exist in each plane optically conjugated, such an arrangement is confocal (ko).
nforkal). The arrangement exhibits particularly favorable image characteristics.

【0006】共焦点レーザ走査顕微鏡技術の主な適用分
野は蛍光試験法である、と言うのも、この方法によれば
対象物の非常に薄寸の層の解像が可能とされるからであ
る。他の平面から発する放射線は、非常に強く減衰され
る。この状況は、反射的対象物に関する状況と類似して
いる。更に、用いられる光学的構成要素のインタフェー
スおよび取付部に由来する散乱放射線は強く減衰され
る。
The main field of application of confocal laser scanning microscopy technology is the fluorescence test method, since it allows the resolution of very thin layers of an object. is there. Radiation emanating from other planes is very strongly attenuated. This situation is similar to the situation for reflective objects. Furthermore, scattered radiation originating from the interfaces and attachments of the optical components used is strongly attenuated.

【0007】故に、この公知形式の顕微鏡使用法におい
ては、照射により蛍光特性を示す対象物が特に有用であ
る。しかし特に蛍光対象物は光感応的である、すなわち
照射時間が長くなると該対象物の蛍光は減少することか
ら、画像が記録されないときには対象物に対する不要な
照射を回避することが望ましい。対象物の位置決めおよ
び顕微鏡の調節の間において対象物に対してレーザ・ビ
ームが定常的に入射すると、対象物への蛍光のトレース
もしくはホールは、もはや“発光(brennen)”
しない。これは例えば、焦点面の位置が新たな区画へと
調節された場合である、故にレーザ走査顕微鏡において
は、画像が記録されないときにはレーザ・ビームを消灯
するのが一般的である。これは“ビーム遮断”と称され
る。
Thus, in this known type of microscope use, objects that exhibit fluorescent properties upon irradiation are particularly useful. However, especially fluorescent objects are light-sensitive, i.e. the fluorescence of the objects decreases as the irradiation time increases, so it is desirable to avoid unnecessary irradiation of the objects when no image is recorded. When the laser beam is constantly incident on the object during positioning of the object and adjustment of the microscope, the fluorescent traces or holes in the object are no longer “brenned”.
do not do. This is the case, for example, when the position of the focal plane is adjusted to a new section, so in laser scanning microscopes it is common to turn off the laser beam when no image is recorded. This is called "beam interception".

【0008】原則的に、この目的のためにレーザは消灯
され得る。しかしこの手法は、従来用いられるレーザの
作動条件が不安定になり、且つその寿命が短くなるた
め、好都合ではない。また、機械的シャッタによる遮断
では遅すぎる。
In principle, the laser can be turned off for this purpose. However, this method is not convenient because the operating conditions of the conventionally used laser are unstable and the life thereof is shortened. Also, the blocking with a mechanical shutter is too late.

【0009】作像が企図されない対象物の領域に対して
レーザの放射線が入射し得る場合に該レーザのビームを
遮断するために、音響光学変調器(AOM)または音響
光学波長可変フィルタ(AOTF)を用いてビームを遮
断することは公知である。これらの構成要素は通常は非
拡開レーザ・ビームの平行部分内に配置されると共に、
非常に短い応答時間にでレーザ・ビームのオン/オフの
切り替えを可能にする。しかし、斯かる音響光学構成要
素は比較的に高価な部品である。
An acousto-optic modulator (AOM) or an acousto-optic tunable filter (AOTF) for blocking the laser beam when it can impinge on the area of the object for which imaging is not intended. It is known to interrupt the beam with. These components are typically located in the parallel portion of the unexpanded laser beam, and
Allows the laser beam to be switched on and off with a very short response time. However, such acousto-optic components are relatively expensive parts.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】故に本発明の基礎とな
る課題は、高価な音響光学変調器を不要とするために、
レーザ走査顕微鏡におけるビーム遮断用デバイスと、ビ
ーム遮断を用いてレーザ走査顕微鏡を操作する方法とを
提供することにある。
The problem underlying the present invention is therefore to eliminate the need for expensive acousto-optic modulators.
A beam blocking device in a laser scanning microscope and a method of operating a laser scanning microscope using beam blocking.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、領域内
を案内されるレーザ・ビームをラスタ走査方式で対象物
上に案内する偏向デバイスを備えたレーザ走査顕微鏡に
おけるビーム遮断用デバイスは、前記領域に近接して配
備された絞りにより前記課題を解決する。前記偏向デバ
イスは、対象物に対するビームの入射が意図されない場
合には、この絞りに対してレーザ・ビームを導向する。
According to the invention, a beam blocking device in a laser scanning microscope comprising a deflection device for guiding a laser beam guided in an area in a raster scanning manner onto an object is provided. The problem is solved by a diaphragm provided close to the area. The deflecting device directs the laser beam to this diaphragm if the beam is not intended to be incident on the object.

【0012】よって本発明は、ビーム経路内に定常的に
配置された制御可能要素を備え、該要素からレーザ・ビ
ームがもはや出射しない様にレーザ・ビームを切断する
というこれまでの原理は用いない。代わりに、前記レー
ザ・ビームは絞りへと導向されて該絞り上で吸収され
る。これを実施するために、レーザ・ビームのラスタ走
査偏向に対してレーザ走査顕微鏡の本質的部分である前
記偏向デバイスは、任意に適切に制御される。このよう
に該偏向デバイスは、レーザ・ビームによる対象物の照
射を防止すべく用いられる。従って、従来の意味での遮
断はもはや存在しない。前記レーザ・ビームは、対象物
のラスタ走査の間において該レーザ・ビームにより掃引
される領域の外側に位置するという絞りに向けて案内さ
れ、其処で吸収される。これにより、レーザ・ビームが
対象物に到達することが防止されることから、対象物に
対する損傷は引き起こされ得ない。導入された用語に倣
い、このこともまた本発明に関してはビーム遮断と称さ
れる。
The present invention thus does not use the previous principle of providing a controllable element that is permanently placed in the beam path and cutting the laser beam so that it no longer exits the element. . Instead, the laser beam is directed to and absorbed on the diaphragm. To do this, the deflection device, which is an essential part of the laser scanning microscope for the raster scanning deflection of the laser beam, is optionally controlled appropriately. The deflection device is thus used to prevent irradiation of the object by the laser beam. Therefore, blocking in the conventional sense no longer exists. The laser beam is guided during a raster scan of the object towards an aperture which lies outside the area swept by the laser beam and is absorbed there. This prevents the laser beam from reaching the target, so that damage to the target cannot occur. Following the terminology introduced, this is also referred to as beam blocking in the context of the present invention.

【0013】このビーム遮断が生ずる速度は偏向デバイ
スにより与えられる。該偏向デバイスは、いずれにして
も他の理由(画像を記録する時間)により必要とされる
ので、レーザ走査顕微鏡において通常は非常に高速に作
動する。
The speed at which this beam interception occurs is provided by the deflection device. The deflection device usually operates very fast in laser scanning microscopes because it is needed for other reasons (time to record the image) anyway.

【0014】ビーム遮断のためにレーザ・ビームが導向
される前記絞りは原理的に、光学経路内において前記偏
向デバイスに続く任意の箇所に配置される。前記絞りが
中間結像面に対して、より接近して配置されるほど、絞
り平面におけるレーザ・ビームのビーム直径は小寸とな
り、且つ、ビーム遮断の間において対象物の完全照射か
ら完全ビーム遮断までの遷移は更に迅速に行われる。光
学系の前記中間結像面においてレーザ・ビームの断面
は、スポット直径すなわち最も縮小されたサイズを有す
る。前記中間結像面内に位置する絞りの縁部へとラスタ
走査方式でレーザ・ビームが案内されたとき、該レーザ
・ビームは極端な場合にはひとつの像点から次の像点へ
と非常に迅速に遮断される。故に前記絞りは、前記顕微
鏡の中間結像面に対して構造的に可能な限り接近して配
置するかまたは該平面内に配置するのが好適である。
The diaphragm, to which the laser beam is directed for beam interception, is in principle located anywhere in the optical path following the deflection device. The closer the diaphragm is to the intermediate image plane, the smaller the beam diameter of the laser beam in the diaphragm plane, and between complete irradiation and complete beam interception of the object during beam interception. The transition to is done more quickly. The cross section of the laser beam at the intermediate imaging plane of the optical system has the spot diameter, ie the most reduced size. When the laser beam is guided by the raster scanning method to the edge of the diaphragm located in the intermediate image plane, the laser beam is extremely extreme from one image point to the next image point. Quickly shut off. Therefore, the diaphragm is preferably arranged as close as structurally possible to the intermediate image plane of the microscope or in this plane.

【0015】この実施例は、レーザ・ビームがそのビー
ム断面全体を以て前記結像領域から前記絞りへと所定の
偏向速度にて非常に迅速に案内され得ることから遮断が
特に迅速に行われるという利点だけでなく、前記絞りに
レーザ・ビームが入射するときに該レーザ・ビームの直
径は殆ど最小なので前記絞りは特にレーザ・ビーム直径
のサイズを有することだけでよく、よって非常に小寸に
維持され得るという利点も有する。更に、いずれにして
も画像には表現されないという前記偏向デバイスの反転
段階の間において、または、走査休止中において、対象
物はレーザ・ビームから保護され得る。
This embodiment has the advantage that the interruption is particularly rapid because the laser beam can be guided very quickly over its beam cross section from the imaging area to the diaphragm at a given deflection speed. Not only that, since the diameter of the laser beam when it impinges on the diaphragm is almost minimal, the diaphragm need only have the size of the laser beam diameter, and thus be kept very small. It also has the advantage of gaining. Furthermore, the object may be protected from the laser beam during the reversal phase of the deflection device, which is not imaged in any way, or during a scan pause.

【0016】前記絞りは、自身上にレーザ・ビーム全体
が載置され得るように設計されることのみを必要とす
る。該絞りは、同絞りが少なくとも前記偏向デバイスが
永続的にビームを導向する領域をカバーするように設計
されるべきである。故に原則的には、適切なサイズの円
形絞りを配備すれば十分であり、該円形絞りは同円形絞
りに対して偏向デバイスがレーザ・ビームを導向し得る
ように前記領域に近接して配置される。好適には、走査
中断時にレーザ・ビームが導向される該レーザ・ビーム
の所謂る待機位置の場所に、すなわち、結像されるべき
前記領域の外側の位置に、小寸の円形絞りが配置され
る。
The diaphragm only needs to be designed such that the entire laser beam can rest on it. The diaphragm should be designed such that it covers at least the area in which the deflection device permanently directs the beam. Therefore, in principle, it is sufficient to provide a circular diaphragm of suitable size, which is arranged close to said area so that the deflection device can direct the laser beam to said circular diaphragm. It A small circular diaphragm is preferably arranged at the so-called standby position of the laser beam to which the laser beam is directed when the scan is interrupted, i.e. at a position outside the area to be imaged. It

【0017】ビーム遮断のために、本発明は既存の偏向
デバイスを好適に用いる。前記デバイスは、走査される
べき前記領域に近接して位置する前記絞りに対してレー
ザ・ビームを導向し得る限りにおいて実質的に任意の設
計態様であってよい。一般的に、前記偏向デバイスは二
軸偏向を引き起こす。レーザ走査顕微鏡においては従来
2個の傾斜ミラーが用いられる、と言うのも、それらは
対象物上でラスタ走査されつつある結像領域上にレーザ
・ビームを案内する上で最大の自由度を提供するからで
ある。1個の点に対してレーザ・ビームを永続的に導向
し得る如き偏向デバイスにおいては、ビーム遮断を行う
ために単純な円形絞りでも十分である。
For beam blocking, the present invention preferably uses existing deflection devices. The device may be of virtually any design so long as it is capable of directing a laser beam to the diaphragm located close to the area to be scanned. Generally, the deflection device causes biaxial deflection. Two tilting mirrors are conventionally used in laser scanning microscopes because they provide the greatest degree of freedom in guiding the laser beam onto the imaged area that is being raster scanned over the object. Because it does. In a deflection device, such as one that can permanently direct the laser beam to a single point, a simple circular diaphragm is sufficient to provide beam blocking.

【0018】しかし、傾斜ミラーおよび回転多面鏡を備
えた偏向デバイスにおいては、線形、すなわちライン形
状の絞りが必要とされる。従来の走査移動は通常、対象
物に関してラスタ走査されつつある結像領域のひとつの
角隅部で開始し、対角的に対向する角隅部へと帰着す
る。その後、次の走査動作は再び以前の走査動作の前記
開始点にて開始する。2回の走査の間において対象物を
不都合な照射から保護するためには、作像されるべき領
域の縁部に当該絞りの内側縁部が配置されるようにL形
状設計態様を有すると共に前記領域に近接して配置され
た2つの縁部を有する絞りを配備するのが好適である、
と言うのも、その場合にレーザ・ビームは走査動作の終
端点から次の走査動作の開始点へとL形状絞り上を戻る
ことで、レーザ・ビームは走査動作が開始される前に該
走査の開始点の近傍の前記絞り上に位置し得るからであ
る。その様にする上でレーザ・ビームは、結像領域の外
側で前記絞りのひとつの縁部に平行に、次に他の縁部に
平行に、前記開始位置へと案内される。レーザ・ビーム
の遮断後には、前記絞りから前記開始点へとレーザ・ビ
ームを単純に案内することで該レーザ・ビームを繰り返
し起動させ得る。これは、非常に迅速に行われ得る。
However, in a deflecting device with tilting mirrors and rotating polygon mirrors, a linear or line-shaped stop is required. Conventional scanning movements typically start at one corner of the imaging area being raster scanned with respect to the object and result in diagonally opposite corners. Then, the next scanning operation starts again at the starting point of the previous scanning operation. In order to protect the object from undesired irradiation between the two scans, it has an L-shaped design so that the inner edge of the diaphragm is located at the edge of the area to be imaged and said It is preferred to deploy a diaphragm having two edges arranged close to the area,
In this case, the laser beam returns from the end point of the scanning operation to the start point of the next scanning operation on the L-shaped diaphragm so that the laser beam is scanned before the scanning operation is started. This is because it can be located on the diaphragm in the vicinity of the start point of. In doing so, the laser beam is guided to the starting position outside the imaging area, parallel to one edge of the diaphragm and then parallel to the other edge. After interruption of the laser beam, the laser beam may be repeatedly activated by simply guiding the laser beam from the stop to the starting point. This can be done very quickly.

【0019】更なる実施例において前記絞りは前記領域
を囲繞するウィンドウとして配備される。その場合には
ラスタ走査画像の任意の点から絞りに向けて可能的最短
距離が存在する。故に、特に迅速な遮断が達成され得
る、すなわち、ビームは反転の段階の間に遮断され得
る。
In a further embodiment the aperture is arranged as a window surrounding the area. In that case, there is the shortest possible distance from any point of the raster scan image towards the aperture. Thus, a particularly rapid shutoff can be achieved, i.e. the beam can be shut off during the phase of inversion.

【0020】レーザ走査顕微鏡を操作する場合には検査
に関連する技術的理由のために、ラスタ走査領域のサイ
ズを減少すること(光電気的ズーム)、および/また
は、現在において走査されている領域の中心を可能な最
大領域内において移動すること(偏位)が必要とされ得
る。これを実施するために、前記絞りは固定寸法を以
て、ラスタ走査されるべき領域の最大サイズへと適合さ
れ得る。但し特に好適には(領域の可能的最大サイズ内
において)選択された偏向パターンの関数として適合可
能となるように、該絞りは位置およびサイズが調節可能
に配備され得る。この目的のために前記絞りは、前記ウ
ィンドウの各縁部が調節可能な薄片により形成されて配
備されると有利である。
Reducing the size of the raster scan area (optoelectronic zoom) and / or the area currently being scanned for technical reasons related to inspection when operating a laser scanning microscope. It may be necessary to move the center of the in the largest possible area (deflection). To do this, the diaphragm can be fitted with a fixed size to the maximum size of the area to be raster scanned. However, the diaphragm may be arranged positionably and size-adjustably so that it can be adapted particularly preferably (within the maximum possible size of the region) as a function of the selected deflection pattern. For this purpose, the diaphragm is advantageously arranged such that each edge of the window is formed by an adjustable slice.

【0021】対象物がレーザ・ビームによりラスタ走査
されるというレーザ走査顕微鏡の操作方法において前記
課題は、前記対象物に対するレーザ・ビームの到達が意
図されない場合に該レーザ・ビームを遮断するために、
前記対象物のラスタ走査の間において掃引される領域に
近接して配置された絞りへとレーザ・ビームが偏向され
ることで解決される。この方法は、前記デバイスに関し
て上述された利点を有すると共に、高速なレーザ・ビー
ム遮断を可能にする。更に、前記遮断は前記偏向デバイ
スの制御における変更のみを要することから、遮断要素
の別体の制御が回避される。
In the operation method of a laser scanning microscope in which an object is raster-scanned by a laser beam, the above-mentioned problem is solved in order to cut off the laser beam when it is not intended to reach the object.
The solution is that the laser beam is deflected to an aperture located close to the swept area during the raster scan of the object. This method has the advantages described above with respect to the device and enables fast laser beam blocking. Furthermore, since the blocking only requires a change in the control of the deflection device, a separate control of the blocking element is avoided.

【0022】走査の間において光ビームが対象物上の開
始点から終端点へと案内されるという方法においては、
画像ビームを絞りの終端点へと案内すると共に、絞り上
の同ビームを開始点の近傍の点へと戻すことが好都合で
ある。故に一方では、走査動作の完了時に非常に迅速な
遮断が達成される。他方では、走査動作の開始時にレー
ザ・ビームを再び迅速に作用させることが可能である。
In the method in which the light beam is guided from the start point to the end point on the object during scanning,
It is expedient to guide the image beam to the end point of the stop and return it on the stop to a point near the start point. Therefore, on the one hand, a very rapid shut-off is achieved at the completion of the scanning operation. On the other hand, the laser beam can be acted upon again quickly at the beginning of the scanning operation.

【0023】原則的に前記レーザ・ビームは、対象物を
走査すべく任意の方式で案内され得る。但し、レーザ・
ビームが対象物を跨って第1方向においては往復するよ
うに且つ第2方向においては第1方向に直交して偏向さ
れる場合には、矩形領域の迅速なラスタ走査による特に
好適な実施例が得られる。
In principle, the laser beam can be guided in any manner to scan the object. However, laser
A particularly preferred embodiment with a rapid raster scan of a rectangular area is provided where the beam is deflected across the object in a first direction and back and forth and in a second direction orthogonal to the first direction. can get.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下においては、添付図面を参照
して本発明を更に詳細に説明する。図1は、レーザ走査
顕微鏡の概略図を示している。レーザもしくはファイバ
から出射した平行レーザ・ビーム1は、スキャナ・ミラ
ー3および4(x軸およびy軸)を備える二軸偏向デバ
イスの方向へと主要ビームスプリッタ2にて反射され
る。さらに前記平行レーザ・ビーム1は、両ミラーの着
座位置においては走査用対物レンズ5に対する光学軸線
に沿って導向される。符合7bにより表されるこの光ビ
ームにより、中間画像8の中心においてはレーザ・スポ
ットが生成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a schematic view of a laser scanning microscope. A collimated laser beam 1 emanating from a laser or fiber is reflected by the main beam splitter 2 in the direction of a biaxial deflection device comprising scanner mirrors 3 and 4 (x and y axes). Further, the parallel laser beam 1 is directed along the optical axis with respect to the scanning objective lens 5 at the seating positions of both mirrors. This light beam, represented by the reference 7b, produces a laser spot in the center of the intermediate image 8.

【0025】中間画像8の平面における破線8aは最大
描画領域を表す。該領域は光学的条件に依存し、かつラ
スタ走査されるべき対象物の最大サイズに関連する。光
ビーム7bの経路は対物レンズ9の方向において更に表
される。この光束により、対象物10上もしくは対象物
10内には最終的に小寸のレーザ・スポットが生成され
る。
A broken line 8a on the plane of the intermediate image 8 represents the maximum drawing area. The area depends on the optical conditions and is related to the maximum size of the object to be raster scanned. The path of the light beam 7b is further represented in the direction of the objective lens 9. This light flux eventually produces a small laser spot on or in the object 10.

【0026】中間画像8の平面には本発明によるL形状
絞り6(図2c参照)が配置される。L形状絞り6の機
能については以下に説明する。光束7aは走査動作の開
始点に対するビーム経路を概略的に示す一方、光束7c
は走査動作の完了時におけるレーザ・ビームの位置を示
している。
In the plane of the intermediate image 8, an L-shaped diaphragm 6 according to the invention (see FIG. 2c) is arranged. The function of the L-shaped diaphragm 6 will be described below. The light beam 7a schematically shows the beam path with respect to the starting point of the scanning operation, while the light beam 7c
Indicates the position of the laser beam at the completion of the scanning operation.

【0027】対象物10から戻る放射線は、要素9,
5,4,3を逆方向に通過し、最終的には、検出ビーム
経路において主要ビームスプリッタ2から用途に応じて
部分的にもしくは略々完全に光学系11(ピンホール用
対物レンズ)へと透過されて、該光学系11により絞り
12(ピンホール)の平面内に焦点合わせされる。
The radiation returning from the object 10 is reflected by the elements 9,
5, 4 and 3 in the reverse direction, and finally from the main beam splitter 2 to the optical system 11 (pinhole objective lens) depending on the application from the main beam splitter 2 in the detection beam path. The light is transmitted and focused by the optical system 11 in the plane of the diaphragm 12 (pinhole).

【0028】前記ピンホールを通過した光は最終的に、
検出器13により電気信号へと変換される。絞り6は、
レーザ・ビームを迅速に遮断する役割を果たす。この目
的のためにレーザ・ビームは、該絞りへと導向される。
“遮断(Abschalten)”という語句は対象物
10の視点から理解されるべきである。すなわち、レー
ザ・ビーム1は実際には遮断の間においてスキャナ・ミ
ラー3,4を照射するが、その後絞り6上で吸収される
ことから対象物10には入射しない。
The light passing through the pinhole is finally
It is converted into an electric signal by the detector 13. The aperture 6 is
It serves to quickly shut off the laser beam. For this purpose the laser beam is directed to the diaphragm.
The phrase “Abschalten” should be understood from the perspective of the object 10. That is, the laser beam 1 actually illuminates the scanner mirrors 3, 4 during the interruption, but is not incident on the object 10 because it is absorbed on the diaphragm 6 thereafter.

【0029】図1は、レーザ・ビーム1の3通りの異な
る偏向を示している。7aと称されたレーザ・ビームは
走査されるべき結像領域4の所定点に入射する。この所
定点は走査動作の開始点である。7bと称されたレーザ
・ビームは、走査動作の途中におけるものである。また
7cと称されたレーザ・ビームは、絞り6に対して導向
されることから対象物10には入射しない。よって、前
記対象物がレーザ・ビーム1により照射されないという
レーザ・ビーム1の遮断が達成される。
FIG. 1 shows three different deflections of the laser beam 1. A laser beam, designated 7a, impinges on a predetermined point of the imaging area 4 to be scanned. This predetermined point is the starting point of the scanning operation. The laser beam, designated 7b, is in the middle of a scanning operation. The laser beam 7c is directed to the diaphragm 6 and therefore does not enter the object 10. Thus, the interruption of the laser beam 1 is achieved in that the object is not illuminated by the laser beam 1.

【0030】例えば図2(a)〜(c)は、絞りの種々
の実施例を示している。図2(a)は円形絞り14を示
す。該円形絞り14はレーザ・ビームの開始位置に近接
して配置されている。これにより、調節処理手順もしく
は走査休止中にレーザ・ビームが対象物に到達するのが
防止される。この目的のために前記各スキャナ・ミラー
は、前記表現可能な最大領域の外側であって対角線的に
上方において僅かに左側となる点、すなわち、図5に示
した所謂る待機位置20にレーザ・ビームが入射するよ
うに制御される。待機位置20においては、ビームは図
2(a)の小寸円形絞り14に入射する。
For example, FIGS. 2A to 2C show various embodiments of the diaphragm. FIG. 2A shows the circular diaphragm 14. The circular diaphragm 14 is arranged close to the starting position of the laser beam. This prevents the laser beam from reaching the object during the conditioning procedure or the scan pause. To this end, each scanner mirror is located outside the maximum representable area and slightly diagonally to the left on the left side, namely at the so-called standby position 20 shown in FIG. The beam is controlled to be incident. At the standby position 20, the beam is incident on the small circular diaphragm 14 shown in FIG.

【0031】図2bは、これもまた図1の実施例で用い
られるL形状絞り6を示しているが、該絞りは前記表現
可能な最大領域を2辺において制限する。これにより、
レーザ・ビームが図5において前記走査領域の終端点2
3から前記開始点へと戻るときに前記対象物に入射する
のが防止される。
FIG. 2b shows an L-shaped diaphragm 6, which is also used in the embodiment of FIG. 1, which limits the maximum representable area on two sides. This allows
The laser beam is the end point 2 of the scanning area in FIG.
Incident on the object is prevented when returning from 3 to the starting point.

【0032】走査領域に対する(走査ビームは第1の方
向において往復動すると共に該第1の方向に直交する第
2の方向においては低速で進行するという)蛇行形状走
査による走査動作の間、図5から明らかなように前記各
スキャナ・ミラーはラインの開始部および終了部22に
おいて一方向の移動から他方向の移動へと反転されねば
ならない。これらの段階においては、表現された画像に
歪曲が出現する。故に、スキャナは前記表現可能な最大
領域を僅かに超えるように案内され、それによって生成
される信号は表現されない。これらの反転段階の間に対
象物10が照射されるのを防止するためには、殆ど歪曲
することなく実際に作像される走査結像領域の領域のみ
に対してレーザ・ビームが絞り15を通過し得るよう
に、図2cで正方形の開口を備えて示される絞り15が
適切である。
During the scanning operation by meandering scanning (that the scanning beam reciprocates in the first direction and travels slowly in the second direction orthogonal to the first direction) with respect to the scanning region, FIG. As will be seen, each said scanner mirror must be reversed at the beginning and end 22 of the line from movement in one direction to movement in the other. At these stages, distortion appears in the rendered image. Therefore, the scanner is guided slightly beyond the maximum representable area and the signal produced thereby is not represented. In order to prevent the object 10 from being illuminated during these inversion steps, the laser beam squeezes the aperture 15 only in the area of the scanning imaging area that is actually imaged with little distortion. A diaphragm 15 shown with a square aperture in FIG. 2c is suitable so that it can pass through.

【0033】対象物を走査する場合、小寸細部を拡大し
て表現するには走査領域を狭める一方、小寸である該領
域の画像を最大限の画像サイズで表現することが一般的
である(光電気的ズーム)。斯かる場合、表現されない
目標領域の照射を防止すべく直線状可動薄片16乃至1
9で絞り15を作成するのが好都合である。該薄片16
乃至19の各々は、絞り15により開口として残された
前記領域の一辺を形成する。前記各薄片は次に、結像領
域内で表現されるべき領域8bのみが開口として残され
るように調節される(図4参照)。
When scanning an object, it is general to narrow the scan area to enlarge and display small details, while expressing the image of the small area with the maximum image size. (Photoelectric zoom). In such a case, the linear movable slices 16 to 1 are arranged to prevent the irradiation of the target region which is not expressed.
It is convenient to create the diaphragm 15 at 9. The slice 16
19 to 19 form one side of the area left as an opening by the diaphragm 15. Each of the slices is then adjusted so that only the area 8b to be represented in the imaging area is left as an aperture (see FIG. 4).

【0034】前記光電気的ズームの調節後に、前記領域
の中心の外側の細部に関心が向くこともあり得る。前記
領域の中心から偏心した該領域の小寸領域は、薄片16
乃至19の適切な調節により選択され得る。上述した絞
り15の設計態様を用いれば、新たな領域中心8cに関
して対称的に存在する小寸の目標領域8bはレーザ・ビ
ームにより容易に照射され得る。
After adjusting the opto-electrical zoom, it is possible to be interested in details outside the center of the area. A small area of the area eccentric from the center of the area is a thin piece 16
Through 19 suitable adjustments. By using the design of the diaphragm 15 described above, the small target area 8b that exists symmetrically with respect to the new area center 8c can be easily illuminated by the laser beam.

【0035】これらの場合に対して正確に適合すべく、
薄片16乃至19を調節する可能性は多様である。薄片
16乃至19に対して要求される位置に関するパラメー
タは、スキャナの制御パラメータから求められ得る。こ
の処理手順は、先行技術から公知である。
To fit these cases exactly,
The possibilities for adjusting the flakes 16 to 19 are diverse. The required position parameters for the slices 16 to 19 can be determined from the scanner control parameters. This procedure is known from the prior art.

【0036】装置の制限の故に、夫々の場合において絞
り6,14,15を厳密に中間結像面8内に配置するこ
とは可能ではない。前記絞りが別の平面内に配置されな
ければならない場合には、レーザ・ビーム7a,7b,
7cはその極限の縮小を未だ達成していない。この場合
には、結像された対象領域の縁部を最高の強度で照射す
るために、前記絞りは、該絞りの位置における光束の直
径の周囲において、作像されるべき結像領域よりも大寸
とされねばならず、且つ、画像の各角隅部は前記平面内
における光束の半径を以て丸められ得る。これらの関係
は、図2(c)による絞り形状15に関して図3に示さ
れる。
Due to the limitations of the device, it is not possible in each case to arrange the diaphragms 6, 14, 15 exactly in the intermediate image plane 8. If the diaphragm has to be arranged in another plane, the laser beams 7a, 7b,
7c has not yet achieved its ultimate reduction. In this case, in order to illuminate the edge of the imaged target area with the highest intensity, the diaphragm is arranged around the diameter of the light beam at the position of the diaphragm more than the imaging area to be imaged. It must be oversized and each corner of the image can be rounded with the radius of the light beam in said plane. These relationships are shown in FIG. 3 for the diaphragm shape 15 according to FIG.

【0037】図5は、矩形領域の走査を概略的に示して
いる。レーザ・ビームは、走査動作の以前において各ス
キャナ・ミラーの対応する制御により前記待機位置へと
案内される。走査が開始すると、レーザ・ビームは、結
像されるべき領域8の最初の点における位置21へと案
内され、非常に迅速に反転箇所22に到達し、此処から
他の反転箇所22へと逆方向に案内される。これらの反
転箇所は、結像されるべき結像領域の外側である。各ス
キャナ・ミラーの反転のプロセスの間においてレーザ・
ビームは絞り15に入射することから、その後、対象物
10は照射されない。
FIG. 5 schematically shows scanning of a rectangular area. The laser beam is guided to the waiting position by corresponding control of each scanner mirror before the scanning operation. When the scanning is started, the laser beam is guided to a position 21 at the first point of the area 8 to be imaged, reaching the reversal point 22 very quickly and from there to the other reversal point 22. You will be guided in the direction. These reversal points are outside the imaging area to be imaged. During the process of reversing each scanner mirror the laser
Since the beam is incident on the diaphragm 15, the object 10 is not irradiated thereafter.

【0038】画像の底辺にてレーザ・ビームが最後の反
転箇所23に到達すると、結像されるべき領域の外側で
前記絞り上において符号24により示される経路に沿い
レーザ・ビームは待機位置10へと戻される。
When the laser beam reaches the final reversal point 23 at the bottom of the image, it follows the path indicated by the reference numeral 24 on the diaphragm outside the area to be imaged to the waiting position 10. Is returned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 レーザ走査顕微鏡の概略図。FIG. 1 is a schematic diagram of a laser scanning microscope.

【図2】 (a)本発明の絞りの様々な実施形態を示す
図、(b)本発明の絞りの様々な実施形態を示す図、
(c)本発明の絞りの様々な実施形態を示す図。(e)
本発明の絞りの様々な実施形態を示す図。
2A is a diagram showing various embodiments of the diaphragm of the present invention; FIG. 2B is a diagram showing various embodiments of the diaphragm of the present invention;
(C) The figure which shows various embodiment of the diaphragm of this invention. (E)
FIG. 4 is a view showing various embodiments of the diaphragm of the present invention.

【図3】 中間画像レイヤの外側の配置に対する図2
(c)の絞りの必要形状を示す図。
FIG. 3 FIG. 2 for a placement outside the intermediate image layer.
The figure which shows the required shape of the diaphragm of (c).

【図4】 走査動作の間におけるズームおよび偏位を考
慮した図2(c)の絞りの基本設計態様を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a basic design mode of the diaphragm of FIG. 2 (c) in consideration of zooming and deviation during a scanning operation.

【図5】 絞りおよび結像領域とに対するレーザ・ビー
ムの経路によって示された走査動作の概略図。
FIG. 5 is a schematic diagram of a scanning operation illustrated by the path of a laser beam with respect to an aperture and an imaging area.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 セバスチャン ティレ ドイツ連邦共和国 D−07743 イェナ ボーツシュトラーセ 1 (72)発明者 ウルリッヒ マイゼル ドイツ連邦共和国 D−07743 イェナ ヤーンシュトラーセ 21 (72)発明者 グンター メーラー ドイツ連邦共和国 D−07743 イェナ オルヒデーエンヴェーク 3 Fターム(参考) 2H052 AA07 AC15 AC27 AC34    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Sebastian Tire             Federal Republic of Germany D-077743 Jena             Boats Strasse 1 (72) Inventor Ulrich Meisel             Federal Republic of Germany D-077743 Jena             Jahnstrasse 21 (72) Inventor Gunter Mailer             Federal Republic of Germany D-077743 Jena             Orchidee Enveke 3 F-term (reference) 2H052 AA07 AC15 AC27 AC34

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 領域(8)内を案内されるレーザ・ビー
ム(1)をラスタ走査方式で対象物(10)上に案内す
る偏向デバイス(3,4)を備えたレーザ走査顕微鏡に
おけるビーム遮断用デバイスであって、 前記偏向デバイス(3,4)に続いて前記領域(8)に
近接して配置された絞り(6,14,15)と、前記対
象物(10)に対するレーザ・ビーム(1)の入射が意
図されない場合には、前記偏向デバイス(2,3)は該
絞り(6,14,15)に対してレーザ・ビーム(1)
を導向することとを特徴とするデバイス。
1. Beam interception in a laser scanning microscope with a deflection device (3, 4) for guiding a laser beam (1) guided in an area (8) onto an object (10) in a raster scanning manner. A device (6, 14, 15) arranged in proximity to the area (8) following the deflection device (3, 4) and a laser beam (6) for the object (10). If the incidence of 1) is not intended, the deflection device (2,3) is directed to the diaphragm (6,14,15) by the laser beam (1).
A device characterized by:
【請求項2】 前記偏向デバイス(3,4)に続いて、
中間結像面(8)を備える対物レンズ(5)が配置さ
れ、且つ、前記絞り(6,14,15)は前記中間結像
面の近傍に位置することを特徴とする請求項1に記載の
デバイス。
2. Following said deflection device (3, 4),
Objective according to claim 1, characterized in that an objective lens (5) with an intermediate image plane (8) is arranged and the stop (6, 14, 15) is located in the vicinity of the intermediate image plane. Device.
【請求項3】 前記絞り(6)はL形状であり、且つ前
記領域(8)に近接して配置された2つの縁部を有する
ことを特徴とする請求項1または2のいずれか一項に記
載のデバイス。
3. The diaphragm (6) is L-shaped and has two edges arranged close to the region (8). The device described in.
【請求項4】 円形絞り(14)を特徴とする請求項1
または2のいずれか一項に記載のデバイス。
4. The circular diaphragm (14) is characterized in that
Or the device according to any one of 2.
【請求項5】 前記絞りは前記領域(8)を囲繞するウ
ィンドウ(15)として備えられることを特徴とする請
求項1または2のいずれか一項に記載のデバイス。
5. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the diaphragm is provided as a window (15) surrounding the area (8).
【請求項6】 前記ウィンドウ(15)の各縁部を形成
する調節可能な薄片(16〜19)を特徴とする請求項
5に記載のデバイス。
6. A device according to claim 5, characterized by adjustable flakes (16-19) forming each edge of the window (15).
【請求項7】 対象物(10)に入射するようにレーザ
・ビーム(1)が領域(8)上に案内されるレーザ走査
顕微鏡の操作方法において、 前記対象物(10)に対するレーザ・ビーム(1)の入
射が意図されない場合には、該レーザ・ビーム(1)を
遮断するために、該ビームは前記領域(8)に近接して
配置された絞り(6,14,15)に向けて偏向される
ことを特徴とする操作方法。
7. A method of operating a laser scanning microscope in which a laser beam (1) is guided onto an area (8) so as to be incident on an object (10), the laser beam ( If the incidence of 1) is not intended, the beam is directed towards an aperture (6, 14, 15) arranged close to the region (8) in order to block the laser beam (1). Operation method characterized by being deflected.
【請求項8】 前記領域(8)の縁部に配置された開始
点から開始する前記レーザ・ビームは、前記領域(8)
の前記縁部に同様に配置された終端点(10)へと案内
され、その後、前記絞り(14,15)に、並びに該絞
り上へと戻されて前記開始点に近接して配置された点へ
と案内される請求項7に記載の方法。
8. The laser beam starting from a starting point located at the edge of the region (8) is
Was guided to an end point (10), which is likewise arranged on the edge of the, and then placed on the stop (14, 15) as well as on the stop and close to the start point. The method of claim 7, wherein the method is guided to a point.
【請求項9】 前記レーザ・ビーム(1)は、結像領域
(4)を走査する第1方向においては往復するように偏
向され、且つ第2方向においては該第1方向に直交して
偏向される請求項8に記載の方法。
9. The laser beam (1) is deflected so as to reciprocate in a first direction that scans the imaging area (4) and is deflected in a second direction orthogonal to the first direction. The method of claim 8, wherein the method is performed.
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