Connect public, paid and private patent data with Google Patents Public Datasets

A device for three-dimensional optical examination of an object

Info

Publication number
DE4035799C2
DE4035799C2 DE19904035799 DE4035799A DE4035799C2 DE 4035799 C2 DE4035799 C2 DE 4035799C2 DE 19904035799 DE19904035799 DE 19904035799 DE 4035799 A DE4035799 A DE 4035799A DE 4035799 C2 DE4035799 C2 DE 4035799C2
Authority
DE
Grant status
Grant
Patent type
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE19904035799
Other languages
German (de)
Other versions
DE4035799A1 (en )
Inventor
Klaus Dr Knupfer
Eberhard Derndinger
Rudolf Dr Groskopf
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GROSSKOPF, RUDOLF, DR.-ING., 89551 KOENIGSBRONN, D
Original Assignee
Groskopf Rudolf Dr Ing
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Grant date

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
    • G01B9/04Measuring microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0036Scanning details, e.g. scanning stages
    • G02B21/004Scanning details, e.g. scanning stages fixed arrays, e.g. switchable aperture arrays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control
    • G02B21/0084Details of detection or image processing, including general computer control time-scale detection, e.g. strobed, ultra-fast, heterodyne detection

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. The present invention relates to an apparatus for three-dimensional optical inspection of an object according to the preamble of claim 1.

Eine derartige Vorrichtung mit Verwendung eines CCD-Empfängers und eines zweidimensionalen Arrays von Löchern in einer beleuchteten Schicht ist für ein Scanning-Mikroskop aus der US 4 806 004 bekannt. Such a device with use of a CCD receiver and a two dimensional array of holes in a layer illuminated is known for a scanning microscope from US 4,806,004. Dort ist jedoch nur angegeben, daß das Objekt in verschiedenen Schichtebenen beobachtet werden kann. There is, however, provided only that the object can be observed in different layer planes. Vor allem wird dort die Blendenwirkung des CCD-Empfängers nicht ausgenutzt, dh die Tatsache, daß er aus rasterförmig angeordneten lichtempfindlichen Bereichen besteht, deren Abmessungen erheblich kleiner sind als ihre Abstände voneinander. In particular, the screening effect of the CCD receiver is there not used, ie the fact that it consists of a grid-shaped arrangement of light-sensitive areas, the dimensions of which are significantly smaller than their spacing from one another.

In dem oben angegebenen US-Patent ist der konfokale Strahlengang vielmehr nur bei einem Auflichtmikroskop verwirklicht, bei welchem die zum Objekt gehenden Strahlenbündel durch dasselbe Löcher-Array gehen wie die vom Objekt reflektierten Strahlenbündel. In the above US patent, the confocal beam path is instead realized only in a reflected light microscope, in which the continuous to the object beam bundles go through the same holes array as reflected by the object beam. Daher ist es notwendig, durch ein als Okular bezeichnetes optisches Element das Löcher-Array in eine Ebene abzubilden, in der es beobachtet oder aufgenommen wird. Therefore, it is necessary to image by a method known as an eyepiece optical element, the hole array in a plane in which it is observed or recorded. Für den letzten Fall ist unter anderem eine Videokamera mit einem CCD-Empfänger angegeben, deren Bilder gespeichert und ausgewertet werden können. In the latter case, among others, a video camera is provided with a CCD receiver, whose images can be stored and analyzed.

Bei der vorliegenden Erfindung wird dagegen immer ein CCD-Empfänger benutzt und seine im allgemeinen nachteilige Eigenschaft ausgenutzt, daß nur ein kleiner Anteil der Empfängerfläche aus lichtempfindlichen Bereichen besteht. In the present invention, however, a CCD receiver is always used and taken advantage of its adverse generally property that only a small portion of the receiving surface is comprised of light-sensitive areas.

In der DD 2 73 122 ist ein Lichtrastermikroskop beschrieben, bei dem zwar eine Blende mit lichtempfindlichen Schichten versehen ist, so daß die Randbereiche der Blende gleichzeitig auch als Detektor dienen. In DD 2 73 122 is a light-scanning microscope is described in which a diaphragm is provided with light-sensitive layers, although, so that the edge regions of the diaphragm also serve as detector. Diese Blende ist jedoch nicht in einer zur Objektoberfläche konjugierten Ebene angeordnet, dh die Fokusebene wird nicht in die Blendenebene abgebildet. however, this aperture is not arranged in a plane conjugate to the object surface plane, that the focal plane is not shown in the aperture plane. Die Blende und damit die auf der Blende aufgebrachten Detektoren sind vielmehr entweder auf der dem Objekt zugewandten Seite des Objektivs oder im telezentrischen Strahlengang angeordnet. The diaphragm and the applied to the diaphragm rather detectors are arranged either on the side facing the object side of the lens or in the telecentric beam path. Eine tiefenselektive Messung wie die Aufzeichnung von Ober flächenprofilen ist daher mit dieser Vorrichtung nicht möglich. A depth-selective measurement such as the upper recording surface profiles is therefore not possible with this apparatus.

Aus dem Aufsatz in Appl. From the article in Appl. Phys. Phys. Lett. Lett. 53 (8), 716 (1988), ist eine Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes bekannt, bei der in einer zur Bildebene eines Mikroskopobjektivs konjugierten Ebene eine rotierende Nipkow-Scheibe angeordnet ist. 53 (8), 716 (1988), an apparatus for three-dimensional optical examination of an object is known in which a rotating Nipkow disc is arranged in a plane conjugate to the image plane of a microscope objective level. Sowohl das Beleuchungslicht als auch das am Objekt reflektierte Licht transmittiert durch die kleinen Öffnungen der Nipkow- Scheibe, wodurch das außerhalb der Bildebene des Mikroskopobjektivs reflektierte Licht unterdrückt wird und daher Schnittbilder erzeugt werden. Both the Beleuchungslicht and the light reflected at the object transmitted through the small holes of the Nipkow disk, whereby the light reflected outside the image plane of the microscope objective light is suppressed, and therefore, sectional images are generated. Das System dient jedoch nur zur Erzeugung von Schnittbildern in Echtzeit zur visuellen Beobachtung oder zur photographischen Aufzeichnung. However, the system is only used for the generation of sectional images in real time for visual observation or for the photographic recording.

Schließlich ist ein konfokales Scanning-Mikroskop in einer Veröffentlichung von DK Hamilton ea (Appl. Phys. B 27, 211 [1982]) beschrieben. Lastly, a confocal scanning microscope in a publication by Hamilton DK ea (Appl. Phys. B 27, 211 [1982]) described. Scanning- Mikroskope mit konfokalem Strahlengang, bei dem eine sog. Punktlichtquelle in eine Ebene des Objektes und diese Ebene des Objektes auf einen sog. Punktempfänger bzw. eine Lochblende, hinter der ein Empfänger sitzt, abgebildet wird, haben die Eigenschaft, sehr höhenselektiv zu sein, dh Ebenen, die nur einen geringen Abstand voneinander haben, optisch zu trennen. Scanning microscopes with a confocal beam path, in which a so-called. Point light source is imaged into a plane of the object, and this plane of the object on a so-called. Point receiver or a pinhole aperture, behind which a receiver is located, have the property of being very altitude selectively ie planes which have only a small distance from each other optically separated. In der oben zitierten Veröffentlichung wird diese Eigenschaft dazu benutzt, ein Oberflächenprofil eines Halbleiterbauelementes aufzunehmen. In the above-cited publication, this property is used to receive a surface profile of a semiconductor device. Dafür wird für jede xy-Lage des Lichtpunktes das Objekt in z-Richtung (Richtung der optischen Achse) bewegt und der Intensitätsverlauf gemessen. For this, the object is moved in the z direction (direction of the optical axis) and the intensity curve measured for each x-y location of the light spot. Da dieser ein ausgeprägtes Maximum hat, wenn das Bild des Lichtpunktes genau auf der Oberfläche liegt, kann für jeden Punkt in der xy-Ebene die Höhe der Oberfläche in z-Richtung bestimmt werden und auf diese Weise zeitlich nacheinander das gesamte Oberflächenprofil des Objektes aufgenommen werden. Since this has a distinct maximum when the image of the light spot is located right on the surface, the height of the surface in the z-direction can be determined and are consecutively recorded the whole surface profile of the object in this manner for each point in the xy plane , Ein Nachteil dieser bekannten Vorrichtung ist, daß die Aufnahme eines Oberflächenprofils relativ viel Zeit erfordert. A disadvantage of this known apparatus is that the inclusion of a surface profile requires a relatively long time.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der in relativ kurzer Zeit Oberflächenprofile aufgenommen werden können. The present invention has for its object to provide a device which can be included in a relatively short time with the surface profiles.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnende Merkmalskombination des Anspruchs 1 gelöst. This object is achieved by the characterizing feature combination of claim 1.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 15 aufgezeigt. Advantageous embodiments are set forth in the dependent claims 2 to 15 °.

Die erfindungsgemäße Lösung hat den Vorteil, daß die Aufnahme eines Oberflächenprofils infolge des Beleuchtungsrasters nicht nur schnell geht, sondern daß auch unmittelbar eine höhenselektive Betrachtung möglich ist, da durch den konfokalen Strahlengang die Intensität der von den einzelnen Objektstellen reflektierten Strahlungen unmittelbar von den Höhen der betreffenden Stellen des Objektes abhängt, so daß jedes Rasterelement eine Information über die Höhe der Oberfläche an der zu ihm gehörenden Stelle des Objektes gibt und damit die Intensitätsverteilung über der Oberfläche unmittelbar einen Überblick über die Höhenverteilung der Objektoberfläche gibt. The inventive solution has the advantage that the inclusion of a surface profile due to the illumination grid is not only fast, but that a height-selective viewing is also immediately possible because directly concerned by the confocal beam path, the intensity of light reflected by the individual object points radiations from the heights points of the object depends, so that each pixel is an information about the height of the surface at the part of it and location of the object and thus the intensity distribution over the surface immediately gives an overview of the height distribution of the object surface. Insbesondere lassen sich dadurch, wenn das Objekt relativ zum Strahlengang in Richtung der optischen Achse bewegt wird, sehr einfach die Bereiche mit gleicher Höhe der Oberfläche feststellen. In particular, the areas with the same level of the surface can be characterized, when the object is moved relative to the beam path in the optical axis direction, very simple to determine.

Bei Objekten mit reflektierenden Bereichen in oder unter einer transparenten Schicht ergeben sich für die Abhängigkeit der Intensität von der Höhe im Objekt Reflexionsprofile mit einem kleinen Maximum für die Oberfläche der transparenten Schicht und einem großen Maximum für den reflektierenden Bereich. For objects with reflecting areas in or under a transparent layer of the intensity of the height in the object reflection profile with a small maximum for the surface of the transparent layer and a large maximum for the reflective region are obtained for the dependency. Daher ist es mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung möglich, nicht nur Oberflächenprofile zu untersuchen, sondern auch Strukturen innerhalb oder unter transparenten Schichten. Therefore, it is possible with the inventive device, to examine not only the surface, but also their structures within or under transparent layers.

In einer vorteilhaften, einfachen Ausführungsform der Erfindung wird das Beleuchtungsraster durch Löcher in einer Schicht realisiert, die durch eine Lichtquelle beleuchtet wird. In an advantageous and simple embodiment of the invention the illumination grid is realized through holes in a layer illuminated by a light source. Um eine größere Intensität der beleuchteten Löcher - im folgenden auch kurz als Lichtpunkte bezeichnet - zu erreichen, kann vor der Schicht mit den Löchern ein Linsen-Array angeordnet werden, welches dafür sorgt, daß die Strahlung der Lichtquelle die Schicht nicht gleichmäßig ausleuchtet, sondern auf die Löcher konzentriert wird. To a greater intensity of the illuminated holes - also briefly referred to as points of light in the following - to achieve a lens array may be disposed in front of the layer with the holes, which ensures that the radiation of the light source does not illuminate uniformly the layer, but on the holes is concentrated.

Normalerweise werden der CCD-Empfänger und das Beleuchtungsraster zueinander so justiert, daß die in die Blendenebene abgebildeten Lichtpunkte auf die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers fallen. Normally, the CCD receiver and the illumination grid are mutually adjusted so that the light spots imaged into the diaphragm plane fall on the photosensitive areas of the CCD receiver. In diesem Fall entstehen beim Durchfokussieren Intensitätsmaxima für diejenigen Objektstellen, deren reflektierende Flächen genau in der Fokusebene liegen. In this case, when By focusing intensity maxima created for those object points whose reflecting surfaces are exactly in the focal plane.

Es ist jedoch auch möglich, den CCD-Empfänger und das Beleuchtungsraster zueinander so zu justieren, daß die in die Blendenebene abgebildeten Lichtpunkte zwischen die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers fallen. However, it is also possible to adjust the CCD receiver and the illumination grid to each other so that the light spots imaged into the aperture plane between the photosensitive regions of the CCD receiver fall. In diesem Fall entstehen beim Durchfokussieren Intensitätsminima für diejenigen Objektstellen, deren reflektierende Flächen genau in der Fokusebene liegen. In this case, when By focusing intensity minima arise for those object points whose reflecting surfaces are exactly in the focal plane. Durch eine besondere Ausbildung des CCD-Empfängers, z. Through a special design of the CCD receiver, z. B. durch relativ großflächige lichtempfindliche Bereiche, kann dieser Effekt noch verstärkt werden. For example, by relatively large-area light-sensitive areas, this effect can be enhanced.

Schließlich ist auch ein inverses Beleuchtungsraster möglich; Finally, an inverse illumination grid is possible; dh das auf das Objekt und in die Blendenebene abgebildete Raster besteht nicht aus hellen Lichtpunkten, sondern aus einer hellen Fläche mit einer rasterförmigen Anordnung von kleinen dunklen Zonen. ie the grid imaged on the object and in the aperture plane is not composed of bright points of light, but from a bright surface with a grid-like array of small dark regions. Ein derartiges Beleuchtungsraster, welches z. Such an illumination grid which z. B. aus einer von der Lichtquelle beleuchteten Schicht mit lichtundurchlässigen Zonen besteht, liefert bei einem CCD-Empfänger mit kleinen lichtempfindlichen Bereichen, auf welche die dunklen Zonen abgebildet werden, ebenfalls Intensitätsminima für diejenigen Objektstellen, deren reflektierende Flächen genau in der Fokusebene liegen. B. consists of an illuminated by the light source layer opaque zones, provides for a CCD receiver with small light-sensitive areas, to which the dark zones are mapped, also intensity minima for those object points whose reflecting surfaces are exactly in the focal plane.

In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform wird das Beleuchtungsraster durch ein Linsen- Array erzeugt, welches eine annähernd punktförmige Lichtquelle vielfach, in rasterförmiger Anordnung in die Beleuchtungsebene abbildet. In another advantageous embodiment, the illumination grid is generated by a lens array, which in many cases, depicting an approximately point-shaped light source in a grid-like arrangement in the illumination plane.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird das Beleuchtungsraster dadurch erzeugt, daß eine von der Lichtquelle beleuchtete Blende vielfach, in rasterförmiger Anordnung in die Beleuchtungsebene abgebildet wird. In a further advantageous embodiment of the illumination grid is generated by the fact that an illuminated by the light source aperture is in many cases, displayed in a grid-like arrangement in the illumination plane. Auch in diesem Fall kann ein inverses Beleuchtungsraster z. Also in this case, an inverse illumination grid for. B. dadurch realisiert werden, daß die Blende ein lichtundurchlässiges Zentrum hat. For example, be realized in that the diaphragm has an opaque center.

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform wird das Beleuchtungsraster durch ein Lichtquellen-Array erzeugt. In a particularly advantageous embodiment, the illumination grid is generated by a light source array. Dieses kann z. This can eg. B. aus einzelnen Leuchtdioden zusammengesetzt sein oder in integrierter Technik hergestellt werden. For example, be composed of individual light emitting diodes or be produced in integrated technology. In beiden Fällen ist es ganz besonders vorteilhaft, die Arrays und ihre Spannungsversorgung so auszubilden, daß entweder jede einzelne Lichtquelle oder bestimmte Teilmengen der Lichtquellen unabhängig von den anderen ein- und ausgeschaltet werden können. In both cases it is particularly advantageous to form the array, and their power supply so that either each individual light source, or certain subsets of light sources independently of the other can be activated and deactivated.

Zur Aufnahme der oben erläuterten höhenselektiven Übersichtsbilder ist es zweckmäßig, eine Verstellvorrichtung vorzusehen, welche es erlaubt, die Fokusebene mit den Bildern der Lichtpunkte auf verschiedene Schichtebenen des Objektes einzustellen. To accommodate the above-mentioned height-selective overview images, it is desirable to provide an adjusting device which allows to adjust the focal plane with the images of the light spots in different layer planes of the object. Zur Aufnahme vollständiger Reflexionsprofile mit guter Auflösung ist es zweckmäßig, eine Verstellvorrichtung vorzusehen, welche es erlaubt, das Beleuchtungsraster und das Objekt relativ zueinander in Ebenen senkrecht zur optischen Achse zu bewegen, so daß das Objekt mit dem Beleuchtungsraster abgescannt wird. To accommodate full reflection profile with good resolution, it is desirable to provide an adjusting device which allows to move the illumination grid and the object relative to each other in planes perpendicular to the optical axis, so that the object is scanned with the illumination grid. Die Relativbewegung zwischen Lichtpunkten und Objekt kann dabei innerhalb des Abstandes benachbarter Lichtpunkte bleiben oder auch ein Vielfaches davon betragen. The relative movement between the light points and object can remain within the distance of adjacent points of light, or be a multiple thereof.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der CCD-Empfänger mit einem Computer verbunden, der die Signale des CCD-Empfängers auswertet. In a further advantageous embodiment of the invention, the CCD receiver is connected to a computer which evaluates the signals of the CCD receiver. Es ist in diesem Fall vorteilhaft, die Verstellvorrichtungen für die relative Bewegung von Lichtpunkten und Objekt zueinander in Richtung der optischen Achse und/oder in den Ebenen der Lichtpunkte bzw. des Objektes durch den Computer zu steuern. It is advantageous in this case to control the adjusting of the relative movement of light points and object each other in the optical axis direction and / or in the planes of the light points or the object by the computer.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird von dem Computer außerdem eine Schaltvorrichtung gesteuert, die unterschiedliche Teilmengen der Lichtquellen des Lichtquellen-Arrays ein- und ausschaltet. In a particularly preferred embodiment of the invention, a switching device is also controlled by the computer to turn the different subsets of the light sources of the light source arrays on and off. Dabei kann z. This might involve can. B. die Anzahl der eingeschalteten Lichtquellen von den Ergebnissen der Auswertung des Computers gesteuert werden, so daß in kritischen Bereichen eines Objektes der Streulichtanteil durch eine Verminderung der Anzahl der wirksamen Lichtquellen gesenkt werden kann. As the number of turned-on light sources are controlled by the results of the evaluation of the computer, so that can be reduced in critical areas of an object of the scattered light component due to a reduction in the number of effective light sources.

Beim Abscannen eines Objektes kann es vorteilhaft sein, Beleuchtungsraster und CCD- Empfänger relativ zueinander in der Beleuchtungsebene bzw. in der Blendenebene durch eine Verstellvorrichtung, die zweckmäßigerweise vom Computer gesteuert wird, zu verschieben. During scanning of an object it may be advantageous illumination grid and CCD receiver relative to one another to move in the illumination plane and in the aperture plane by an adjusting device, which is conveniently controlled by the computer. Mit einem leistungsfähigen Computer können durch diese Verschiebung zusätzliche Informationen gewonnen werden, die eine genauere Auswertung ermöglichen. With a powerful computer, additional information may be obtained by this shift, allowing a more accurate evaluation. In diesem Fall muß das Rastermaß des Beleuchtungsrasters nur ungefähr gleich oder größer sein als das Rastermaß der lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers. In this case, the pitch of the illumination grid need only be approximately equal to or greater than the pitch of the photosensitive regions of the CCD receiver.

Für eine möglichst geringe Tiefenschärfe der konfokalen Abbildung ist es vorteilhaft, an Stelle der üblichen kreisförmigen Telezentrie-Blende eine ringförmige Blende vorzusehen. To minimize the depth of field of the confocal imaging, it is advantageous to provide an annular orifice instead of the usual circular telecentric aperture.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von in den Fig. 1 bis 7 dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. The invention will be explained in more detail below with reference to in Figs. 1 to 7 illustrated embodiments. Dabei zeigt: In which:

Fig. 1 eine Ausführung, bei der das Beleuchtungsraster durch eine beleuchtete Schicht mit Löchern erzeugt wird, Fig. 1 in which the illumination grid is generated by an illuminated layer with holes an embodiment,

Fig. 2 eine Ausführung, bei der die Ausleuchtung der Löcher durch ein zusätzliches Linsen-Array verbessert wird, Fig. 2 in which the illumination of the holes is improved by an additional lens array execution,

Fig. 3 eine Ausführung, bei der das Beleuchtungsraster durch ein Halbleiter-Array erzeugt wird, Fig. 3 in which the illumination grid is generated by a semiconductor array execution,

Fig. 4 eine Glasplatte mit einem Muster für ein inverses Beleuchtungsraster, Fig. 4 is a glass plate with a pattern of an inverted illumination grid,

Fig. 5 eine Anordnung zur Erzeugung eines Beleuchtungsrasters durch vielfache Abbildung einer Lichtquelle mit einem Linsen-Array, Fig. 5 shows an arrangement for generating an illumination grid by multiple imaging of a light source with a lens array,

Fig. 6 eine Anordnung zur Erzeugung eines Beleuchtungsrasters durch vielfache Abbildung einer beleuchteten Blende mit einem Linsen-Array und Fig. 6 shows an arrangement for generating an illumination grid by multiple imaging an illuminated aperture with a lens array, and

Fig. 7 ein Beispiel für die beleuchtete Blende in Fig. 6. Fig. 7 shows an example for the illuminated bezel in Fig. 6.

In Fig. 1 ist mit ( 11 ) eine Lichtquelle, z. In Fig. 1, with (11) a light source, z. B. eine Halogenlampe, bezeichnet, die mit Hilfe des Kondensors ( 11 k), eventuell über ein Filter ( 11 f) (zur Aussonderung eines ausreichend schmalen Spektralbereiches), Löcher 12 l) in einer Schicht ( 12 )s) beleuchtet. As a halogen lamp, referred to, the illuminated by means of the condenser (11 k), possibly via a filter (11 f) (for separating a sufficiently narrow spectral range), holes 12 l) in a layer (12) s). Eine derartige Schicht kann in bekannter Weise z. Such a layer may in a known manner, for. B. aus Chrom auf einer Glasplatte ( 12 g) hergestellt weren. As chrome on a glass plate (12 g) were not produced. Die Löcher ( 12 l) sind in der Schicht ( 12 s) ebenso rasterförmig angeordnet wie die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers ( 17 ) und erheblich kleiner als ihr Abstand. The holes (12 l) are in the layer (12 s) as well as a grid-like arranged as the light-sensitive areas of the CCD receiver (17) and substantially smaller than their distance. Der Abstand der Löcher bzw. Bereiche von Mitte zu Mitte wird als Rastermaß bezeichnet. The spacing of the holes or ranges from center to center is referred to as pitch.

Das durch die beleuchteten Löcher ( 12 l) in der Schicht ( 12 s) erzeugte Beleuchtungsraster liegt in der Beleuchtungsebene ( 11 b). The illuminated through the holes (12 l) in the layer (12 s) illumination grid is generated in the illumination plane (11 b). Diese wird durch die Linsen ( 13 o, 13 u) in die Fokusebene ( 13 f) abgebildet, so daß in letzterer das Objekt ( 14 ) mit rasterförmig angeordneten Lichtpunkten beleuchtet wird. This is mapped by the lenses (13 o, 13 u) in the focal plane (13 f) so that the object in the latter (14) is illuminated with light arranged in a raster points. Bei nichttransparenten Objekten kann nur die Oberfläche ( 14 o) beleuchtet werden, während bei transparenten Objekten auch Schichten ( 14 s) im Inneren mit den Lichtpunkten beleuchtet werden können. In non-transparent objects, only the surface (14 o) can be illuminated, while for transparent objects and layers (14 s) can be illuminated on the inside with the light spots. Die vom Objekt in der Fokusebene ( 13 f) reflektierten Lichtstrahlen werden von den Linsen ( 13 u, 13 o) über einen Strahlteiler ( 16 ) in der Blendenebene ( 17 b) fokussiert. From the object in the focal plane (13 f) the reflected light beams from the lenses (13 u, 13 u) focused by a beam splitter (16) in the diaphragm plane (17 b). Die für eine konfokale Anordnung notwendigen Blenden werden in der Blendenebene ( 17 b) realisiert durch die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers ( 17 ), die durch relativ große Zwischenräume voneinander getrennt sind. The necessary for a confocal arrangement of apertures are in the diaphragm plane (17 b) realized by the light-sensitive areas of the CCD receiver (17), which are separated by relatively large spaces. Zwischen den Linsen ( 13 o, 13 u) ist üblicherweise ein sog. Telezentrie-Blende ( 13 t) angeordnet, welche dafür sorgt, daß der Mittenstrahl ( 13 m) parallel zur optischen Achse ( 10 ) auf das Objekt ( 14 ) trifft, so daß die Lage der Lichtpunkte auf dem Objekt sich nicht ändert, wenn das Objekt ( 14 ) in Richtung der optischen Achse ( 10 ) bewegt wird. Between the lenses (13 o, 13 u) is usually a so-called. Telecentric aperture (13 t) is arranged, which ensures that the central beam (13 m) meets parallel to the optical axis (10) onto the object (14), so that the position of the light spots on the object does not change when the object (14) is moved in the direction of the optical axis (10).

Das Objekt ( 14 ) kann durch eine Verstellvorrichtung ( 15 ) in allen 3 Raumrichtungen bewegt werden, so daß verschiedene Schichten ( 14 s) des Objektes ( 14 ) abgescannt werden können. The object (14) can be moved by an adjusting device (15) in all 3 directions in space, so that different layers (14 s) can be scanned of the object (14). Dabei kann die Bewegung in x- und y-Richtung kleiner gewählt werden als das Rastermaß der Lichtpunkte ( 12 ) bzw. des CCD-Empfängers ( 17 ). The movement may be selected to be smaller in the x and y directions than the pitch of the light spots (12) or the CCD receiver (17). Selbstverständlich kann die Bewegung des Objektes ( 14 ) in z-Richtung auch durch Verschieben der Linsen ( 13 o, 13 u) in Richtung der optischen Achse ( 10 ) erreicht werden, und ebenso können anstelle der Bewegung des Objektes in x- und y-Richtung auch die Schicht ( 12 s) mit den Löchern ( 12 l) und CCD-Empfänger ( 17 ) entsprechend bewegt werden. Of course, the movement of the object (14) in the z-direction can also by shifting the lenses (13 o, u 13) can be achieved in the optical axis direction (10), and also, instead of the movement of the object in the x and y direction and the layer (s 12) with the holes (12 l) and CCD-receivers (17) are moved accordingly.

Die Signale des CCD-Empfängers ( 17 ) werden über die Verbindungsleitung ( 17 v) in einen Computer ( 18 ) übertragen, der in bekannter Weise die Auswertung übernimmt und auf einem Bildschirm ( 18 b) die Ergebnisse der Auswertung z. The signals of the CCD receiver (17) via the connecting line (17 v) transfer (18) in a computer, which takes over in a known manner and the evaluation on a screen (18 b) the results of the evaluation of z. B. in Form von graphischen Darstellungen wiedergibt. B. reproduces in the form of graphs. Der Computer ( 18 ) kann auch über die Verbindungsleitung ( 18 v) die Verschiebung der Fokusebene ( 13 f) im Objekt und das Scannen in x- und y-Richtung steuern. The computer (18), the displacement of the focal plane (13f) in the object and controlling the scanning in x- and y-direction via the connecting line (18 v). Diese Steuerung kann im Computer als festes Programm vorliegen oder abhängig von den Ergebnissen der Auswertung erfolgen. This control may be or the computer as a fixed program carried out depending on the results of the evaluation.

In Fig. 2 ist zwischen dem Kondensor ( 11 k) bzw. dem Filter ( 11 f) und der Schicht ( 12 s) mit den Löchern ( 12 l) ein Linsen-Array ( 22 a) angeordnet, welches ebenso viele kleine Linsen ( 22 l) enthält wie die Schicht ( 12 s) Löcher ( 12 l) hat. In FIG. 2 (12 l) arranged (12 s) with the holes, a lens array (22 a) between the condenser (11 k) and the filter (11 f) and the layer, which (as many small lenses 22 l) contains as the layer (12 s) has holes (12 l) has. Die Linsen ( 22 l) haben die Aufgabe, Bilder der Leuchtwendel der Lichtquelle ( 11 ) in die Löcher abzubilden und damit den Lichtpunkten eine größere Intensität zu geben. The lenses (22 l) have the task of mapping images of the light filament of the light source (11) in the holes, thus giving the light a greater intensity points.

Das Linsen-Array ( 22 a) und die Schicht ( 12 s) mit den Löchern ( 12 l) können - wie dargestellt - in einem gemeinsamen Teil ( 22 g) vereinigt sein. The lens array (22 a) and the layer (12 s) with the holes (12 l) may - as shown - in a common part (22 g) may be combined.

Eine besonders vorteilhafte Realisierung des Beleuchtungsrasters ist in Fig. 3 dargestellt. A particularly advantageous realization of the illumination grid is shown in Fig. 3. Dort ist mit ( 31 ) ein Lichtquellen-Array bezeichnet, welches z. There, a light source array is denoted by (31), which, for. B. aus Lumineszenzdioden (LEDs) ( 31 l) bestehen kann. For example, from light-emitting diodes (LEDs) (31 l) may be made. Ein derartiges Array mit einer Größe von z. Such an array of size z. B. 10×10 Dioden läßt sich z. B. 10 × 10 diodes can be such. B. aus handelsüblichen Mini-Dioden mit einem Rastermaß von 2,5 mm zusammensetzen und hat daher eine Gesamtgröße von 2,5 cm×2,5 cm. B. composed of commercially available mini-diodes with a pitch of 2.5 mm and therefore has a total size of 2.5 cm x 2.5 cm. Es wird im Maßstab von ca. 1:5 in die Beleuchtungsebene ( 11 b) durch das Objektiv ( 31 o) so abgebildet, daß es ungefähr die Größe der gesamten lichtempfindlichen Fläche des CCD-Empfängers von 5 mm×5 mm erhält. It is in the scale of about 1: 5 in the illumination plane (11 b) through the lens (31 o) displayed so that it is about the size of the entire light-sensitive surface of the CCD receiver of 5 mm × 5 mm is obtained. Vom CCD-Empfänger ( 17 ) werden in diesem Fall nur 100 lichtempfindliche Bereiche mit einem Rastermaß von ca. 0,5 mm×0,5 mm ausgenutzt. From the CCD receiver (17) in this case, only 100 photosensitive areas with a pitch of about 0.5 mm × 0.5 mm are utilized. Trotzdem ergibt sich durch die 100 Lichtpunkte ein erheblicher Zeitgewinn gegenüber dem Scannen mit nur einem Lichtpunkt. Nevertheless, a significant time savings compared with the scan with just one point of light is due to the 100 points of light.

Auch in diesem Fall kann es vorteilhaft sein, in der Beleuchtungsebene ( 11 b) eine Schicht ( 32 s) mit Löchern ( 32 l) anzuordnen, damit die Lichtpunkte genügend kleine Abmessungen erhalten. Also in this case it may be advantageous, in the illumination plane a layer (s 32) (l 32) to arrange (b 11) with holes, so that the light spots get enough small dimensions. Außer dem Objektiv ( 31 o) für die verkleinerte Abbildung ist eine Feldlinse ( 31 f) für die weitere Abbildung im konfokalen Strahlengang zweckmäßig. In addition to the lens (31 o) for the reduced image is a field lens (31 f) appropriate for the further imaging in the confocal beam path.

Wesentlich vorteilhafter ist es, für das Beleuchtungsraster integrierte LED-Arrays zu verwenden. Much more advantageous to use built for the lighting grid LED arrays.

Auch derartige LED-Arrays haben genauso wie das zusammengesetzte Array aus Mini- Dioden den Vorteil, daß definierte Teilmengen der LEDs ein- und ausgeschaltet werden können. Also, such LED arrays as well as the composite array of mini diodes have the advantage that defined subsets of the LEDs on and can be turned off. In beiden Fällen kann das Ein- und Ausschalten vom Computer ( 18 ) über die Schaltvorrichtung ( 19 ) gesteuert werden. In both cases, the switching on and off by the computer (18) via the switching device (19) can be controlled.

Der in den Fig. 1 bis 3 dargestellte, konfokale Strahlengang zwischen Beleuchtungsebene ( 11 b), Fokusebene ( 13 f) und Blendenebene ( 17 b) ist nur eine spezielle Ausführungsform von mehreren möglichen konfokalen Strahlengängen. The illustrated in FIGS. 1 to 3, confocal beam path between illumination plane (11 b), the focal plane (13 f) and aperture plane (17 b) is only one particular embodiment of several possible confocal optical paths. Außerdem ist auch bei dem dargestellten Strahlengang eine Abbildung der Beleuchtungsebene ( 11 b) in die Fokusebene ( 13 f) im Maßstab 1:1 keineswegs notwendig. In addition, an image of the illumination plane (11 b) in the focal plane (13 f) in the scale 1 is also in the illustrated beam path: 1 by no means necessary. Vielmehr ist dabei nicht nur - wie von Mikroskopen bekannt - eine Verkleinerung, sondern auch eine Vergrößerung möglich, weswegen in der Überschrift auch nicht die Bezeichnung Mikroskop verwendet wurde. Rather, is not only - as is known of microscopes - a reduction, but an increase is possible, which is why microscope was used in the title nor the name.

In der Fig. 4 ist eine Glasplatte ( 41 ) für ein inverses Beleuchtungsraster dargestellt. In FIG. 4, a glass plate (41) for an inverted illumination grid is shown. Hier besteht die auf die Glasplatte aufgebrachte, lichtundurchlässige Schicht nur aus kleinen Zonen ( 42 ), welche durch relativ weite, lichtdurchlässige Bereiche voneinander getrennt sind. Here, the force applied to the glass plate, only opaque layer of small zones (42) which are separated by relatively wide light transmissive areas.

In der Fig. 5 wird das Beleuchtungsraster durch ein Linsen-Array ( 53 ) erzeugt, welches durch ausreichend gute Abbildungseigenschaften von einer nahezu punktförmigen Lichtquelle ( 51 ) ausreichend kleine Lichtpunkte ( 54 ) in der Beleuchtungsebene ( 11 b) herstellt. In FIG. 5 the illumination grid is generated by a lens array (53), which is prepared by sufficiently good imaging properties from a nearly point-like light source (51) sufficiently small light spots (54) in the illumination plane (11 b). Die Kondensorlinse ( 52 ) bewirkt, daß das Linsen-Array ( 53 ) von einem Parallelbündel durchsetzt wird, so daß jede einzelne Linse ( 53 l) optimal benutzt wird. Causes the condenser lens (52), in that the lens array (53) is penetrated by a parallel beam, so that each lens (53 l) is optimally used.

Fig. 6 zeigt eine Anordnung, bei der durch ein Linsen-Array ( 53 ) eine Blende ( 61 ) vielfach in die Beleuchtungsebene ( 11 b) abgebildet wird. Fig. 6 shows an arrangement in which, by a lens array (53) an orifice (61) widely used in the illumination plane (11 b) is mapped. Diese Blende wird über den Kondensor ( 62 ) und die Streuscheibe ( 63 ) von der Lichtquelle ( 11 ) beleuchtet. This diaphragm is illuminated via the condenser (62) and the lens (63) from the light source (11). Als Blende sind die verschiedensten Ausführungsformen möglich. As bezel various embodiments are possible. Als Beispiel zeigt die Fig. 7 eine Blende ( 61 ) mit quadratischer Begrenzung des lichtdurchlässigen Bereiches ( 71 ) und einem lichtundurchlässigen Zentrum ( 72 ) für ein inverses Beleuchtungsraster. As an example, Figure 7 shows. An aperture (61) with a square boundary of the light-transmissive region (71) and an opaque center (72) for an inverted illumination grid. Natürlich sind auch Blenden für ein Beleuchtungsraster aus Lichtpunkten etc. möglich. Of course, aperture, etc. possible for a lighting grid of light points.

Claims (16)

1. Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes, 1. A device for three-dimensional optical examination of an object,
  • - mit einer Lichtquelle ( 11 ), die ein in einer Beleuchtungsebene ( 11 b) angebrachtes Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) beleuchtet, - a light source (11) into an illumination plane (11b) mounted lighting grid (12 l, 31 l, 32 l) is illuminated,
  • - mit optischen Elementen ( 13 o, 13 u), die das Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) in eine Fokusebene ( 13 f) am Ort des zu beobachtenden Objektes ( 14, 14 s) und das von dort abgestrahlte Reflexlicht in eine konfokal zu dem Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) angeordnete Blendenebene ( 17 b) abbilden, - with optical elements (13 o, 13 u), which the illumination grid (12 l, 31 l, 32 l) in a focal plane (13f) at the location of the object to be observed (14, 14 s) and the light emitted from there Flare in a confocal to the illumination grid (12 l, 31 l, 32 l) depict arranged diaphragm plane (17 b),
  • - und mit einem CCD-Empfänger ( 17 ) mit voneinander getrennten, lichtempfindlichen Bereichen, der das von den optischen Elementen ( 13 o, 13 u) übertragene Reflexlicht des Objektes ( 14 ) konfokal registriert, - and with a CCD receiver (17) with separate photosensitive areas of the confocal registered by the optical elements (13 o, 13 u) transmitted reflection light of the object (14),
dadurch gekennzeichnet, characterized,
  • - daß der CCD-Empfänger ( 17 ) in der Blendenebene ( 17 b) angeordnet ist - is arranged that the CCD receiver (17) in the diaphragm plane (17 b)
  • - und das Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) mit einem Rastermaß auf den CCD-Empfänger ( 17 ) abgebildet wird, welches mit dem Rastermaß der lichtempfindlichen Bereiche des CCD- Empfängers ( 17 ) übereinstimmt oder ein ganzzahliges Vielfaches von diesem ist, - and the illumination grid (12 l, 31 l, 32 l) is imaged with a grid on the CCD receiver (17) connected to the pitch of the photosensitive regions of the CCD receiver (17) coincides, or an integral multiple of this is .
  • - so daß bereits die Zwischenräume zwischen den voneinander getrennten, lichtempfindlichen Bereichen des CCD-Empfängers ( 17 ) die konfokale Anordnung des CCD-Empfängers bewirken. - so that even the gaps between the separated light-sensitive areas of the CCD receiver (17) cause the confocal arrangement of the CCD receiver.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster aus Löchern ( 12 l) besteht, die in eine lichtundurchlässige Schicht ( 12 s) eingebracht sind und von der Lichtquelle ( 11 ) beleuchtet werden. 2. Device according to claim 1, characterized in that the illumination grid of holes (12 l) which in an opaque layer (12 s) are placed and illuminated by the light source (11).
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtung der Löcher ( 12 l) durch ein Linsenarray ( 22 a) hindurch erfolgt und hierzu einem jeden Loch ( 12 l) eine eigene Linse zugeordnet ist. 3. A device according to claim 2, characterized in that the illumination of the holes (12 L) through a lens array (22 a) is carried out through this and with each hole (12 l) is assigned its own lens.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) als inverses Beleuchtungsraster ausgebildet ist und aus einer von der Lichtquelle ( 11 ) beleuchteten, transparenten Schicht mit kompakten, lichtundurchlässigen Bereichen ( 42 ) besteht, deren Abmessungen klein gegen die dazwischenliegenden, lichtdurchlässigen Bereiche sind. 4. Device according to claim 1, characterized in that the illumination grid (12 l, 31 l, 32 l) is formed as an inverse illumination grid and illuminated from one of the light source (11), the transparent layer with compact, opaque areas (42) whose dimensions are small compared to the intermediate light-transmitting areas.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtung der lichtdurchlässigen Bereiche durch ein Linsenarray ( 22 a) hindurch erfolgt und hierzu einem jeden lichtundurchlässigen Bereich eine eigene Linse zugeordnet ist. 5. Device according to claim 4, characterized in that the illumination of the light transmitting regions through a lens array (22 a) is carried through and this is assigned to each opaque region own lens.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) durch ein Linsenarray ( 53 ) erzeugt ist, das eine von der Lichtquelle ( 11 ) beleuchtete Lochblende ( 61 ) vielfach in rasterförmiger Anordnung in die Beleuchtungsebene ( 11 b) abbildet. 6. Device according to claim 1, characterized in that the illumination grid (12 l, 31 l, 32 l) by a lens array (53) is generated, the lighted one of the light source (11), pinhole (61) multiple times in a grid-like arrangement in the illumination plane (11 b) mapping.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochblende ( 61 ) ein lichtundurchlässiges Zentrum ( 72 ) hat und als Ringblende ausgebildet ist. 7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the aperture plate (61) has an opaque center (72) and is designed as an annular diaphragm.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) als ein aus punktförmigen Lichtquellen bestehendes Lichtquellenarray ausgebildet ist. 8. Apparatus according to claim 1, characterized in that the illumination grid (12 l, 31 l, 32 l) is formed as a collection of point light sources light source array.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquellen ( 31 l) des Lichtquellenarrays ( 31 ) einzeln oder in Teilmengen ein- oder ausschaltbar sind. 9. Apparatus according to claim 8, characterized in that the light sources (31 l) of the light source array (31) individually or mono- in subsets or are switched off.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß über eine Verstellvorrichtung ( 15 ) die Fokusebene ( 13 f) auf verschiedene Schichtebenen ( 14 s) innerhalb des Objektes( 14 ) einstellbar ist und/oder das Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) und das Objekt ( 14 ) relativ zueinander in Ebenen senkrecht zur optischen Achse bewegbar sind. 10. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that an adjusting device (15) the focal plane (13 f) in different layer planes (14 s) is within the object (14) is adjustable and / or the illumination grid (12 l , 31 l, 32 l) and the object (14) relative to each other in planes movable perpendicular to the optical axis.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der CCD-Empfänger ( 17 ) mit einem Computer ( 18 ) verbunden ist, der die Signale des CCD-Empfängers ( 17 ) auswertet. 11. Apparatus according to claim 10, characterized in that the CCD receiver (17) with a computer (18) to which the signals of the CCD receiver (17) evaluates.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Computer ( 18 ) die Einstellung der Fokusebene ( 13 f) auf verschiedene Schichtebenen ( 14 s) des Objektes ( 14 ) und/oder die Relativbewegung zwischen Beleuchtungsraster ( 12 l, 31 l, 32 l) und Objekt ( 14 ) über die Verstellvorrichtung ( 15 ) vornimmt. 12. The device according to claim 11, characterized in that the computer (18), the adjustment of the focal plane (13 f) in different layer planes (14 s) of the object (14) and / or the relative movement between the illumination grid (12 l, 31 l, 32 l) and the object (14) via the adjusting device (15) performs.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Computer ( 18 ) die Lichtquellen ( 32 l) des Lichtquellenarrays einzeln oder in Teilmengen über eine Schaltvorrichtung ( 19 ) abhängig von den Ergebnissen der Auswertung durch den Computer ( 18 ) ein- oder ausschaltet. (L 32) one of the light source arrays individually or in subsets via a switching device (19) depending on the results of the evaluation by the computer (18) 13. Apparatus according to claim 11, characterized in that the computer (18), the light sources on or off ,
14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellvorrichtung ( 15 v) durch den Computer ( 18 ) betätigt wird. 14. The apparatus according to claim 12, characterized in that the adjusting device (15 v) is actuated by the computer (18).
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß in dem konfokalen Strahlengang eine ringförmige Telezentrierblende ( 13 t) angeordnet ist. 15. Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that in the confocal beam path an annular Telezentrierblende (13 t) is arranged.
DE19904035799 1990-11-10 1990-11-10 A device for three-dimensional optical examination of an object Expired - Lifetime DE4035799C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904035799 DE4035799C2 (en) 1990-11-10 1990-11-10 A device for three-dimensional optical examination of an object

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904035799 DE4035799C2 (en) 1990-11-10 1990-11-10 A device for three-dimensional optical examination of an object
DE1991507758 DE59107758D1 (en) 1990-11-10 1991-10-30 Optical scanning confocal beam path, are used in the light source and detector matrix
EP19910118461 EP0485803B1 (en) 1990-11-10 1991-10-30 Optical scanning device with confocal beam path using a light source array and a detector array
CA 2054928 CA2054928A1 (en) 1990-11-10 1991-11-05 Optical device with confocal beam path
US07789342 US5239178A (en) 1990-11-10 1991-11-08 Optical device with an illuminating grid and detector grid arranged confocally to an object
JP29401191A JPH04265918A (en) 1990-11-10 1991-11-11 Optical device with identical focusing optical path for three-dimensionally inspecting body to be inspected

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4035799A1 true DE4035799A1 (en) 1992-05-14
DE4035799C2 true DE4035799C2 (en) 1995-10-12

Family

ID=6418003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19904035799 Expired - Lifetime DE4035799C2 (en) 1990-11-10 1990-11-10 A device for three-dimensional optical examination of an object

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4035799C2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19651667A1 (en) * 1996-12-12 1997-09-11 Rudolf Dr Ing Groskopf Test system for three dimensional testing of object
DE19648316C1 (en) * 1996-11-21 1998-04-09 Rudolf Dr Ing Groskopf Three=dimensional object examination equipment
DE19811202A1 (en) * 1998-03-09 1999-09-16 Gf Mestechnik Gmbh A method for halftoning in confocal microscopy and confocal microscope
DE19801139B4 (en) * 1998-01-14 2016-05-12 Till Photonics Gmbh Punktabtastendes luminescence microscope

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4113279C2 (en) * 1991-04-24 1996-08-29 Miodrag Dipl Phys Milicev Confocal optical scanning microscope
EP0679864A4 (en) * 1993-09-30 1997-12-17 Komatsu Mfg Co Ltd Confocal optical apparatus.
DE4414940C2 (en) * 1994-04-28 1998-07-02 Pekka Haenninen Luminescence scanning microscope with two-photon excitation
DE69635521D1 (en) 1995-09-19 2006-01-05 Cornell Res Foundation Inc Multiphoton laser microscopy
DE69928453T3 (en) 1998-08-05 2012-12-27 Cadent Ltd. Measuring a three-dimensional body by confocal focusing with a mirror with a central aperture
DE19918689C2 (en) * 1999-04-23 2003-05-28 Rudolf Groskopf A device for three-dimensional konfocalen optical examination of an object with illumination by a perforated plate
DE19921374C2 (en) * 1999-05-10 2001-03-29 Rudolf Groskopf A device for three-dimensional optical examination of an object with illumination by a perforated plate
DE10148679A1 (en) * 2001-10-02 2003-04-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser scanning microscope has a simple inexpensive beam deflection arrangement that guides the beam onto a screen so that the object is not irradiated and creation of fluorescence holes in it is avoided
WO2004092692A1 (en) 2003-04-07 2004-10-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Arrangement for the optical distance determination of a reflecting surface
DE10323336B8 (en) * 2003-04-07 2005-06-30 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Arrangement for optical distance determining a reflecting surface

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4806004A (en) * 1987-07-10 1989-02-21 California Institute Of Technology Scanning microscopy
DE4023292A1 (en) * 1990-07-21 1992-01-23 Leica Lasertechnik An arrangement for simultaneous confocal imaging

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19648316C1 (en) * 1996-11-21 1998-04-09 Rudolf Dr Ing Groskopf Three=dimensional object examination equipment
DE19651667A1 (en) * 1996-12-12 1997-09-11 Rudolf Dr Ing Groskopf Test system for three dimensional testing of object
DE19651667C2 (en) * 1996-12-12 2003-07-03 Rudolf Groskopf A device for three-dimensional examination of an object
DE19801139B4 (en) * 1998-01-14 2016-05-12 Till Photonics Gmbh Punktabtastendes luminescence microscope
DE19811202A1 (en) * 1998-03-09 1999-09-16 Gf Mestechnik Gmbh A method for halftoning in confocal microscopy and confocal microscope
DE19811202C2 (en) * 1998-03-09 2002-01-17 Gf Mestechnik Gmbh Confocal scanning microscope

Also Published As

Publication number Publication date Type
DE4035799A1 (en) 1992-05-14 application

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6091075A (en) Automatic focus detection method, automatic focus detection apparatus, and inspection apparatus
US5162941A (en) Confocal microscope
US6252717B1 (en) Optical apparatus with an illumination grid and detector grid having an array of anamorphic lenses
DE4123916C2 (en) Method and apparatus for dynamic lighting detection and classification of surface features and defects of an object
DE4305585A1 (en) Signal luminaire for motor vehicles
US5239178A (en) Optical device with an illuminating grid and detector grid arranged confocally to an object
DE19730341A1 (en) A method of operating an optoelectronic sensor arrangement
DE10232242A1 (en) Probe scanning process and device using an optical imaging system, calibrates the scanning table and uses these stored values in the scan
EP1403695A1 (en) Device for exposure of an original comprising homogenised and superposed multiple point light sources
DE19914279C1 (en) Sensor for optical examination of stimulated sample pixels on e.g. nano-titration screening plates or bio-chips for gene analysis, employs e.g. a liquid crystal matrix shutter and fiber optics with photomultiplier detection
DE19526512A1 (en) Vehicle headlamp design
DE4326473A1 (en) Scanning microscope for viewing at an angle relative to the illumination
JPH07107346A (en) Inspection device
WO1988007695A1 (en) Scanning confocal optical microscope
JPH07325036A (en) Optical system for inspection, and inspection apparatus
DE3906555A1 (en) Incident light object lighting equipment
DE3540288C2 (en)
WO2010081652A1 (en) Optical navigation device
DE10127284A1 (en) Automatic focussing of a microscope using an analysis unit that compares measured values with stored design values and adjusts the microscope accordingly
WO1993009469A1 (en) Exposure device
EP0467127A2 (en) Method and device for optically detecting and evaluating scattered light signals
US7312432B2 (en) Single axis illumination for multi-axis imaging system
EP0624787A1 (en) Method and device for non-distructive testing of surfaces
DE10126286A1 (en) Method and apparatus for point by point scanning of a sample
DE102004011770A1 (en) Scanning microscope for investigating and manipulating a sample comprises a first beam deflection device deflecting a first illuminating light beam and a second illuminating light beam

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: GROSSKOPF, RUDOLF, DR.-ING., 89551 KOENIGSBRONN, D

D2 Grant after examination
8363 Opposition against the patent
8368 Opposition refused due to inadmissibility