JP2003178313A - Image processing device and image processing method - Google Patents
Image processing device and image processing methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査体に存在す
る対象物に関する所定の情報を検出する画像処理装置及
び画像処理方法に関し、特に、例えば１次元光電センサ
を用いて得られた入力画像または処理画像に対し、しき
い値処理により抽出した対象物の外接長方形およびその
特微量を１パスで実行するようにした画像処理装置及び
画像処理方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image processing apparatus and an image processing method for detecting predetermined information on an object existing in an object to be inspected, and particularly to an input image obtained by using, for example, a one-dimensional photoelectric sensor. Further, the present invention relates to an image processing apparatus and an image processing method for executing a circumscribed rectangle of an object and its characteristic amount extracted by threshold processing on a processed image in one pass.
【０００２】[0002]
【従来の技術】濃淡画像をしきい値処理し、対象物を抽
出し、外接長方形および特微量を算出する技術は従来よ
り知られている。例えば、ラスタースキャンされるデー
タに対し、ランデータとランデータの結合データを生成
し、ラスタースキャンが終了した時点でランデータを結
合する技術が知られている。また、ラスタースキャンさ
れるデータに対して隣接する画素データから１次ラベル
画像とラベル間結合データを生成し、ラスタースキャン
が終了した時点で、１次ラベルを結合する技術が知られ
ている。2. Description of the Related Art A technique for thresholding a grayscale image, extracting an object, and calculating a circumscribed rectangle and a characteristic amount has been known. For example, there is known a technique of generating run data and combined data of run data for raster scan data, and combining the run data at the time when the raster scan is completed. There is also known a technique of generating a primary label image and inter-label combined data from pixel data adjacent to raster-scanned data, and combining the primary labels when raster scanning is completed.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の技
術では２パスの処理となり、１次元光電センサーで生成
される、無限に長い画像に適用する場合、ダブルバッフ
ァ等を用いることになり処理部の規模が大きくなり実用
上の問題点がある。However, in the above technique, two-pass processing is performed, and when applied to an infinitely long image generated by a one-dimensional photoelectric sensor, a double buffer or the like is used, and the scale of the processing unit is increased. Has a problem in practical use.
【０００４】本発明は、上述した従来の問題点を解決す
るためになされたものであり、簡単な構成により、１パ
スにより被検査体の欠陥等の領域の外接長方形や特徴量
を検出することができる画像処理装置及び画像処理方法
を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and it is possible to detect the circumscribed rectangle of a region such as a defect of an object to be inspected or the feature amount by one pass with a simple structure. An object of the present invention is to provide an image processing apparatus and an image processing method capable of performing the above.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明は、スキャンされて得られる一連の画素デ
ータに基づいて、被検査体に存在する対象物に関する所
定の情報を検出する画像処理装置において、閾値処理に
より得られる画素データが対象物に関する画素データで
あるか否かを判断する画素データ判断手段と、対象物に
関する画素データの画像上における領域を判断する領域
判断手段と、前記領域判断手段により得られた領域を記
憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された領域に対
して、新たに得られる画素データの連続性を判断する連
続性判断手段と、前記連続性判断手段により、連続性が
あると判断された場合に、前記新たに得られた画素デー
タの領域を前記記憶手段に記憶された領域に統合する統
合手段とを備えたことを特徴とするものである。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an image for detecting predetermined information regarding an object existing on an object to be inspected, based on a series of pixel data obtained by scanning. In the processing device, pixel data determination means for determining whether or not the pixel data obtained by the threshold processing is pixel data for an object, area determination means for determining an area on the image of the pixel data for the object, and Storage means for storing the area obtained by the area determination means; continuity determination means for determining continuity of pixel data newly obtained with respect to the area stored in the storage means; and continuity determination means According to the method, when it is determined that there is continuity, the newly obtained pixel data area is integrated with the area stored in the storage means. And it is characterized in and.
【０００６】また、本発明においては、前記領域に対す
る外接長方形を取得する外接長方形演算手段を備えてい
ることを特徴とするものである。Further, the present invention is characterized by comprising circumscribing rectangle computing means for acquiring a circumscribing rectangle for the area.
【０００７】また、本発明において、前記対象物は、被
検査体に生じた欠陥であり、前記所定の情報は、前記領
域の面積、最大濃度値、最小濃度値、濃度積算値の少な
くとも何れかを含む特徴量であることを特徴とするもの
である。Further, in the present invention, the object is a defect generated in an object to be inspected, and the predetermined information is at least one of an area of the region, a maximum density value, a minimum density value, and a density integrated value. It is characterized in that it is a feature amount including.
【０００８】更に、本発明に係る画像処理方法は、スキ
ャンにより画素データを得るスキャンステップと、閾値
処理により得られる画素データが対象物に関する画素デ
ータであるか否かを判断する画素データ判断ステップ
と、対象物に関する画素データの画像上における領域を
判断する領域判断ステップと、前記領域判断ステップに
より判断された領域を記憶する記憶ステップと、前記記
憶ステップにより記憶された領域に対して、新たに得ら
れる画素データの連続性を判断する連続性判断ステップ
と、前記連続性判断ステップにより、連続性があると判
断された場合に、前記新たに得られた画素データの領域
を前記記憶手段に記憶された領域に対して統合する統合
ステップとを備えたことを特徴とするものである。Further, the image processing method according to the present invention includes a scanning step of obtaining pixel data by scanning, and a pixel data determining step of determining whether or not the pixel data obtained by the threshold processing is pixel data relating to an object. An area determination step of determining an area on the image of pixel data relating to the object, a storage step of storing the area determined by the area determination step, and a new acquisition for the area stored by the storage step. A continuity determining step for determining continuity of pixel data to be stored, and a region of the newly obtained pixel data is stored in the storage means when the continuity determining step determines that there is continuity. It is characterized in that it has an integration step of integrating with respect to a certain area.
【０００９】このような構成によれば、簡単な構成によ
り、１パスにより被検査体の欠陥等の領域の外接長方形
や特徴量を検出することができる。なお、実施の形態に
おいては、ラスタースキャンされて得られる濃淡画像に
対して、しきい値処理により対象物を抽出し、その対象
物の外接長方形と特微量を算出する装置であって、未確
定な外接長方形と特微量を一時保持するメモリ又はレジ
スタを有し、スキャンデータのランを生成するランデー
タ生成手段と、そのランデータを一時保持するメモリま
たはレジスタを有し、更にランデータと未確定な外接長
方形の結合を行う判断回路を有して、確定した外接長方
形と特微量を保持するメモリ又はレジスタを有し、外接
長方形と特徴量を１パスで検出することができる画像処
理装置及びその方法が開示されている。すなわち、ラス
タースキャンされる濃淡画像を２値化し、その２値画像
より各外接長方形を抽出し各外接長方形ごとの位置、高
さ、巾、面積、最大濃度値、最小濃度値、濃度積算値を
１パスの処理で算出して検出する。With such a configuration, it is possible to detect the circumscribing rectangle and the feature quantity of the region such as the defect of the inspection object by one pass with a simple configuration. In the embodiment, a device for extracting a target object by threshold processing for a grayscale image obtained by raster scanning, and calculating a circumscribed rectangle and a specific amount of the target object is undetermined. A circumscribing rectangle and a memory or a register for temporarily holding a trace amount, a run data generating means for generating a run of scan data, and a memory or a register for temporarily holding the run data. Image processing apparatus having a determination circuit for combining various circumscribing rectangles, a memory or a register for holding the determined circumscribing rectangle and the characteristic amount, and capable of detecting the circumscribing rectangle and the feature amount in one pass, and the same A method is disclosed. That is, a grayscale image to be raster-scanned is binarized, each circumscribing rectangle is extracted from the binary image, and the position, height, width, area, maximum density value, minimum density value, and density integrated value of each circumscribing rectangle are calculated. It is calculated by one-pass processing and detected.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態における
ブロック図、図２は被検査体において画像処理により検
出される外接長方形や特徴量を示す図、図３は外接長方
形及び特徴量としての欠陥の濃度を示す図、図４は図１
の主要部を詳細に示すブロック図である。図１におい
て、実施の形態における画像処理装置は、ラスタスキャ
ンにより得られる濃淡画像データを設定値と比較して２
値化する比較演算回路２と、前記設定値を設定する設定
器１と、濃淡画像データと２値化されたデータを取り込
み、ラン生成、ラン結合を行うラン生成・結合回路３
と、ラン生成・結合回路３により生成された現ランデー
タを格納する現ランデータ格納部４、ラン生成・結合回
路３により得られ、未だ確定しない外接長方形データを
格納する中間外接長方形データ格納部５、および確定さ
れた外接長方形データを格納する最終外接長方形データ
格納部６とを備えている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing a circumscribed rectangle and a feature amount detected by image processing in an object to be inspected, and FIG. 3 is a circumscribed rectangle and a defect density as the feature amount. Fig. 4 and Fig. 1
It is a block diagram which shows the main part of this in detail. In FIG. 1, the image processing apparatus according to the embodiment compares grayscale image data obtained by raster scanning with a set value, and
A comparison operation circuit 2 for digitizing, a setter 1 for setting the set value, a run generation / combining circuit 3 for taking in grayscale image data and binarized data, and performing run generation and run combination.
And a current run data storage section 4 for storing the current run data generated by the run generation / combination circuit 3, and an intermediate circumscribed rectangle data storage section for storing undetermined circumscribed rectangle data obtained by the run generation / combination circuit 3. 5 and a final circumscribed rectangle data storage unit 6 that stores the determined circumscribed rectangle data.
【００１１】以上の構成において、比較演算回路２は、
濃淡画像データを設定器１に設定したしきい値で２値化
する。濃淡画像データとその２値化データはラン生成・
結合回路３へ入力される。ラン生成・結合回路３では２
値化データを処理して新たなランデータを生成する。新
たなランデータは現ランデータ格納部４へ格納される。
ラン生成・結合回路３によるラン結合は、現ランデータ
格納部４に格納された現ランデータと中間概説長方形デ
ータ格納部５に格納された中間外接長方形データとの間
で行われる。結合結果は後述する６つの条件のいずれか
により、現ランデータ格納部４、中間外接長方形データ
格納部５または、最終外接長方形データ格納部６に格納
される。In the above configuration, the comparison operation circuit 2 is
The grayscale image data is binarized with the threshold value set in the setter 1. Gray image data and its binarized data are run generated.
It is input to the coupling circuit 3. 2 in run generation / combination circuit 3
The binarized data is processed to generate new run data. The new run data is stored in the current run data storage unit 4.
The run combination by the run generation / combination circuit 3 is performed between the current run data stored in the current run data storage unit 4 and the intermediate circumscribed rectangle data stored in the intermediate outlined rectangle data storage unit 5. The combined result is stored in the current run data storage unit 4, the intermediate circumscribed rectangular data storage unit 5, or the final circumscribed rectangular data storage unit 6 according to any of the six conditions described below.
【００１２】その一例を示すと、例えば図２の上部にあ
る濃淡画像について上述した処理を行う。左側のかたま
りを外接長方形（１）として右側を外接長方形（２）と
して抽出し、また各外接長方形の面積、最大濃度値、最
小濃度値、濃度積算値を算出する。また、図３の例で
は、上部に濃淡画像を示した。ます目は、画素を表し、
中の数字はその画素の濃度値を示す。２値化しきい値５
０で２値化すると太枠で示す部分が抽出される。その時
の外接長方形の位置、最大濃度値、最小濃度値、濃度積
算値は図３のようになる。As an example, the above-described processing is performed on the grayscale image in the upper part of FIG. 2, for example. The lump on the left side is extracted as the circumscribed rectangle (1) and the right side is extracted as the circumscribed rectangle (2), and the area, the maximum density value, the minimum density value, and the integrated density value of each circumscribed rectangle are calculated. Further, in the example of FIG. 3, a grayscale image is shown in the upper part. The squares represent the pixels,
The number inside shows the density value of the pixel. Binarization threshold 5
When binarized with 0, the portion indicated by the thick frame is extracted. The position of the circumscribed rectangle, the maximum density value, the minimum density value, and the integrated density value at that time are as shown in FIG.
【００１３】図４は、ラン生成・結合回路３、現ランデ
ータ格納部４、中間外接長方形データ格納部５、最終外
接長方形データ格納部６の具体的構成を示す。ラン生成
・結合回路３は、ラン生成/結合コア３ａと、走査線数
を数えるＹカウンタ３ｂ及び走査線毎に画素データ数を
数えるＸカウンタ３ｃ、１つ前の画素データが現ランデ
ータを生成したか否か（現ランデータの存否）を表すＣ
Ｒフラグ３ｄ、及び中間外接長方形の所定パラメータ
（Ｘｓ´〜G´）が設定される中間外接長方形レジスタ
３ｅを備えている。現ランデータ格納部４には、中間外
接長方形レジスタ３ｅに設定される所定のパラメータ
（Ｘｓ´〜G´）に対応するパラメータ（ランデータ：
ＸｓC〜ＧC）を格納する。なお、中間外接長方形データ
格納部５には、データ開始位置ポインタ５Ａ、データ終
了位置ポインタ５B、読出し位置ポインタ５C、書き込み
位置ポインタ５Dが接続されている。また、最終概説長
方形データ格納部６には、書き込み位置ポインタ６Ａが
接続されている。FIG. 4 shows a specific configuration of the run generation / combination circuit 3, the current run data storage unit 4, the intermediate circumscribed rectangular data storage unit 5, and the final circumscribed rectangular data storage unit 6. The run generation / combination circuit 3 includes a run generation / combination core 3a, a Y counter 3b that counts the number of scanning lines, an X counter 3c that counts the number of pixel data for each scanning line, and the previous pixel data generates current run data. C indicating whether or not (the presence or absence of the current run data)
The R flag 3d and the intermediate circumscribed rectangle register 3e in which predetermined parameters (Xs 'to G') of the intermediate circumscribed rectangle are set. In the current run data storage unit 4, parameters (run data: run data: corresponding to the predetermined parameters (Xs 'to G') set in the intermediate circumscribing rectangle register 3e are stored.
Xs C to G C ) are stored. A data start position pointer 5A, a data end position pointer 5B, a read position pointer 5C, and a write position pointer 5D are connected to the intermediate circumscribed rectangle data storage unit 5. A writing position pointer 6A is connected to the final outline rectangular data storage unit 6.
【００１４】以上の構成において、ラン生成・結合回路
３には、２値化データＢ（Ｘ）と濃淡データＦ（Ｘ）が
入力される。Ｘカウンタ３ｃは１画素のデータが入力さ
れるごとに１づつ増加する。ラスタスキャンの１ライン
分のデータ（Ｆ（Ｘ）、Ｂ（Ｘ））の入力が終了するご
とにＸカウンタ３ｃは０にリセットされ、またＹカウン
タ３ｂは１増加する。現ランデータ格納部４には、現在
のラスタースキャンのランデータが保持され、ＣＲフラ
グ３ｄは現ランデータの存在を示す。中間外接長方形デ
ータ格納部５には、まだ確定していない外接長方形デー
タが格納されている。データの存在範囲はＰＴS、ＰＴE
で示される。この中間外接長方形データ格納部５から順
にデータが読み出され、中間長方形レジスタ３ｅに格納
される。読み出す位置はＰＴRで示される。In the above structure, the binarizing / combining circuit 3 receives the binarized data B (X) and the grayscale data F (X). The X counter 3c is incremented by 1 each time one pixel of data is input. The X counter 3c is reset to 0 and the Y counter 3b is incremented by 1 each time the input of the data (F (X), B (X)) for one line of the raster scan is completed. The current raster data storage unit 4 holds the current raster scan run data, and the CR flag 3d indicates the presence of the current run data. The circumscribing rectangle data storage unit 5 stores circumscribing rectangle data that has not yet been determined. Existence range of data is PT S , PT E
Indicated by. Data is sequentially read from the intermediate circumscribed rectangle data storage unit 5 and stored in the intermediate rectangle register 3e. Position is indicated by PT R reading.
【００１５】ラン生成・結合コア３ａでは、入力データ
Ｂ（Ｘ）、Ｆ（Ｘ）、現ランデータおよび中間外接長方
形レジスタ３ｅを参照し、後述する条件により現ランデ
ータ格納部４および中間外接長方形レジスタ３ｅの内容
を変更する。中間外接長方形レジスタ３ｅが外接長方形
確定の条件を満たした場合、この中間外接長方形レジス
タ３ｅの内容は最終外接長方形データ格納部６の中のＰ
ＴWで示される位置にコピーされる。現ランデータが終
了した場合は、中間外接長方形データ格納部５の書き込
みポインタＰＴW５Ｄで示される位置に移動される。こ
のような動作を繰り返すことにより、最終外接長方形デ
ータ格納部６に抽出した外接長方形が記録される。The run generation / combination core 3a refers to the input data B (X), F (X), the current run data and the intermediate circumscribed rectangle register 3e, and according to the conditions described later, the current run data storage unit 4 and the intermediate circumscribed rectangle. The contents of the register 3e are changed. When the intermediate circumscribed rectangle register 3e satisfies the condition for defining the circumscribed rectangle, the content of the intermediate circumscribed rectangle register 3e is P in the final circumscribed rectangle data storage unit 6.
Copied to the position indicated by T W. When the current run data is finished, it is moved to the position indicated by the write pointer PT W 5D of the intermediate circumscribed rectangle data storage unit 5. By repeating such an operation, the extracted circumscribed rectangle is recorded in the final circumscribed rectangle data storage unit 6.
【００１６】ラン生成・結合コア３ａで実行される処理
は以下の６条件に分類される。
（条件１：図５）Ｙで示される行は、現在のラスタース
キャンの位置である。現ランデータが存在せず（ＣＲ＝
偽）、対象となる画素が１になった場合で（Ｂ（Ｘ）＝
１）、また中間外接長方形レジスタ３ｅが対象画素と結
合しない（Ｘ＜Ｘ' S−１）条件を満たした場合、（処理
１）を実行する。これにより、新しくランが生成され現
ランデータに格納される。The processing executed by the run generation / coupling core 3a is classified into the following six conditions. (Condition 1: FIG. 5) The row indicated by Y is the current raster scan position. There is no current run data (CR =
False), when the target pixel becomes 1 (B (X) =
1), also when the intermediate bounding rectangle register 3e satisfies a does not bind to the target pixel (X <X 'S -1) condition, executes (processes 1). As a result, a new run is generated and stored in the current run data.
【００１７】（処理１） ＸS C＝Ｘ，ＸE C＝Ｘ ＹS C＝Ｙ，ＹE C＝Ｙ ＰｍａｘC＝Ｆ（Ｘ） ＰｍｉｎC＝Ｆ（Ｘ） ＳC＝１ ＧC＝Ｆ（Ｘ） ＣＲ＝真(Processing 1) X S C = X, X E C = X Y S C = Y, Y E C = Y Pmax C = F (X) Pmin C = F (X) S C = 1 G C = F (X) CR = true
【００１８】(条件２：図６）
(条件１）が偽であり、現ランデータが存在せず（ＣＲ
＝偽）対象となる画素が１になった場合で（Ｂ（Ｘ）＝
１）、また中間外接長方形レジスタが対象画素と結合す
る（Ｘ≧Ｘ´S−１）条件を満たした場合、（処理２）
を実行する。(Condition 2: FIG. 6) (Condition 1) is false and the current run data does not exist (CR
= (False) When the target pixel becomes 1, (B (X) =
1) In addition, when the intermediate circumscribing rectangle register satisfies the condition (X ≧ X ′ S −1) of combining with the target pixel (Processing 2)
To execute.
【００１９】（処理２）中間外接長方形レジスタを統合
し現ランデータとする。
ＸS C＝ｍｉｎ（Ｘ，ＸS´），ＸE C＝ｍａｘ（Ｘ，Ｘ
E´）
ＹS C＝ＹS´，ＹE C＝Ｙ
ＳC＝Ｓ´＋１
ＰｍａｘC＝ｍａｘ（Ｆ（Ｘ），Ｐｍａｘ´）
ＰｍｉｎC＝ｍｉｎ（Ｆ（Ｘ），Ｐｍｉｎ´）
ＧC＝Ｆ（Ｘ）＋Ｇ´
ＣＲ＝真
中間外接長方形データの中からＲＴＲで示されるデータ
を中間外接長方形レジスタへコピーする。ＲＴ＝ＲＴR
＋１。(Processing 2) The intermediate circumscribed rectangular registers are integrated to obtain the current run data. X S C = min (X, X S ′), X E C = max (X, X
E ′) Y S C = Y S ′, Y E C = Y S C = S ′ + 1 Pmax C = max (F (X), Pmax ′) Pmin C = min (F (X), Pmin ′) G C = F (X) + G 'CR = The data indicated by RTR is copied from the true middle circumscribed rectangle data to the middle circumscribed rectangle register. RT = RT R
+1.
【００２０】（条件３：図７）現ランデータが存在せず
（ＣＲ＝偽）、対象となる画素が０であり（Ｂ（Ｘ）＝
０）、また中間外接長方形レジスタが確定した場合（Ｘ
＞Ｘ′E＋１）（処理３）を実行する。(Condition 3: FIG. 7) The current run data does not exist (CR = false), the target pixel is 0 (B (X) =
0), and when the intermediate circumscribed rectangle register is fixed (X
> X ′ E +1) (Process 3) is executed.
【００２１】（処理３）中間外接長方形レジスタの内容
（ＸS´，ＸE´，ＹS´，ＹE´，Ｐｍａｘ´，Ｐｍｉｎ
´，Ｓ´，Ｇ´）を最終外接長方形データに書き込む。
また、ＰＴTW＝ＰＴTW＋１ とする。(Processing 3) Contents of the intermediate circumscribing rectangle register (X S ′, X E ′, Y S ′, Y E ′, Pmax ′, Pmin)
', S', G ') is written in the final circumscribed rectangle data.
Also, PT TW = PT TW +1.
【００２２】（条件４：図８）現ランデータが存在し
（ＣＲ＝真）、対象となる画素が１であり（Ｂ（Ｘ）＝
１）、また中間外接長方形レジスタが対象画素と結合す
る（Ｘ≧Ｘ′S−１）場合、（処理４）を実行する。(Condition 4: FIG. 8) The current run data exists (CR = true), and the target pixel is 1 (B (X) =
1) If the intermediate circumscribing rectangle register is combined with the target pixel (X ≧ X ′ S −1), (Process 4) is executed.
【００２３】（処理４）中間外接長方形レジスタの内容
を現ランデータに統合する。
ＸS C＝ｍｉｎ（ＸS C，ＸS´），ＸE C＝ＸE´
ＹS C＝ｍｉｎ（ＹS C´，ＹS´）
ＳC＝ＳC＋Ｓ´＋１
ＰｍａｘC＝ｍａｘ（ＰｍａｘC，Ｐｍａｘ´）
ＰｍｉｎC＝ｍｉｎ（ＰｍｉｎC，Ｐｍｉｎ´）
ＧC＝ＧC＋Ｇ´＋Ｆ（Ｘ）
また、ＰＴR＝ＰＴR＋１(Processing 4) The contents of the intermediate circumscribed rectangle register are integrated with the current run data. X S C = min (X S C , X S ′), X E C = X E ′ Y S C = min (Y S C ′, Y S ′) S C = S C + S ′ + 1 Pmax C = max ( Pmax C, Pmax') Pmin C = min (Pmin C, Pmin') G C = G C + G'+ F (X) also, PT R = PT R +1
【００２４】(条件５：図９）現ランデータが存在し
（ＣＲ＝真）、対象となる画素が１であり（Ｂ（Ｘ）＝
１）、また中間外接長方形レジスタが対象画素と結合し
ない（Ｘ＜Ｘ′S−１）場合、（処理５）を実行する。(Condition 5: FIG. 9) The current run data exists (CR = true), and the target pixel is 1 (B (X) =
1) If the intermediate circumscribing rectangle register does not combine with the target pixel (X <X ′ S −1), (Processing 5) is executed.
【００２５】（処理５） ＸE C＝ｍａｘ（ｉ，ＸE C） ＰｍａｘC＝ｍａｘ（ＰｍａｘC，Ｆ（Ｘ）） ＰｍｉｎC＝ｍｉｎ（ＰｍｉｎC，Ｆ（Ｘ）） ＳC＝ＳC＋１ ＧC＝ＧC＋Ｆ（Ｘ）(Processing 5) X E C = max (i, X E C ) Pmax C = max (Pmax C , F (X)) Pmin C = min (Pmin C , F (X)) S C = S C +1 G C = G C + F (X)
【００２６】（条件６：図１０）現ランデータが存在し
（ＣＲ＝真）、対象となる画素が０でありランデータ終
了の条件（Ｘ＞ＸE C）を満たす場合、（処理６）実行す
る。(Condition 6: FIG. 10) If the current run data exists (CR = true), the target pixel is 0, and the run data end condition (X> X E C ) is satisfied, (Processing 6) Run.
【００２７】（処理６）（ＸS C，ＹS C，ＸE C，ＹE C，Ｓ
C，ＰｍａｘC，ＰｍｉｎC，ＧC）を中間概説長方形デー
タ格納部に書き込む。
ＰＴW＝ＰＴW＋１、ＣＲ＝０(Processing 6) (X S C , Y S C , X E C , Y E C , S
C , Pmax C , Pmin C , G C ) is written to the intermediate outline rectangle data storage. PT W = PT W +1, CR = 0
【００２８】このように、ラスタスキャンにより画素デ
ータが得られる毎に、上述した条件１〜６のいずれに当
たるかを判断し、その結果に基づいて処理１〜６を行う
ことにより、スキャン開始から終了までの間に、１パス
で、撮像された画像上に存在する複数の欠陥のサイズを
外接長方形として検出することができると共に、各特徴
量を検出することができる。As described above, each time the pixel data is obtained by the raster scan, it is determined which one of the above conditions 1 to 6 is satisfied, and the processes 1 to 6 are performed based on the result, so that the scan is started to ended. Up to the above, the size of a plurality of defects existing on the captured image can be detected as a circumscribed rectangle and each feature amount can be detected in one pass.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上の説明より明らかなように，本発明
によれば、簡単な構成により、１パスにより被検査体の
欠陥等の領域の外接長方形や特徴量を検出することがで
きる画像処理装置及び画像処理方法を提供することがで
きるという効果を奏する。As is apparent from the above description, according to the present invention, image processing capable of detecting a circumscribed rectangle and a feature amount of a defect or the like region of an object to be inspected by one pass with a simple configuration. It is possible to provide an apparatus and an image processing method.
【図１】本発明の実施の形態を示す全体ブロック図であ
る。FIG. 1 is an overall block diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】被検査体において画像処理により検出される外
接長方形や特徴量を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a circumscribed rectangle and a feature amount detected by image processing in the inspection object.
【図３】外接長方形及び特徴量としての欠陥の濃度を示
す図である。FIG. 3 is a diagram showing circumscribed rectangles and defect densities as feature amounts.
【図４】図１の主要部を詳細に示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing in detail the main part of FIG.
【図５】本発明の実施の形態の条件１及び処理１を示す
図である。FIG. 5 is a diagram showing Condition 1 and Process 1 according to the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施の形態の条件２及び処理２を示す
図である。FIG. 6 is a diagram showing a condition 2 and a process 2 according to the embodiment of the present invention.
【図７】本発明の実施の形態の条件３及び処理３を示す
図である。FIG. 7 is a diagram showing condition 3 and process 3 according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の実施の形態の条件４及び処理４を示す
図である。FIG. 8 is a diagram showing a condition 4 and a process 4 according to the embodiment of this invention.
【図９】本発明の実施の形態の条件５及び処理５を示す
図である。FIG. 9 is a diagram showing a condition 5 and a process 5 according to the embodiment of this invention.
【図１０】本発明の実施の形態の条件６及び処理６を示
す図である。FIG. 10 is a diagram showing a condition 6 and a process 6 according to the embodiment of this invention.
１ 設定器、２ 比較演算回路、３ ラン生成・結合回
路、３ａ ラン生成・結合コア、３ｂ Ｙカウンタ、３
ｃ Ｘカウンタ、３ｄ ＣＲフラグ、４ 現ランデータ
格納部、５ 中間外接長方形データ格納部、６ 最終外
接長方形データ格納部。1 setter, 2 comparison operation circuit, 3 run generation / combination circuit, 3a run generation / combination core, 3b Y counter, 3
c X counter, 3d CR flag, 4 current run data storage unit, 5 intermediate circumscribed rectangle data storage unit, 6 final circumscribed rectangle data storage unit.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AB02 CA03 EA11 EA12 EA14 EA16 EA20 EB01 EB05 ED04 ED07 ED21 5B057 BA02 CA02 CA08 CA12 CA16 CB02 CB08 CB12 CB16 CC01 DA03 DB02 DB05 DB09 DC03 DC22 5L096 AA05 BA03 CA02 FA18 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F-term (reference) 2G051 AB02 CA03 EA11 EA12 EA14 EA16 EA20 EB01 EB05 ED04 ED07 ED21 5B057 BA02 CA02 CA08 CA12 CA16 CB02 CB08 CB12 CB16 CC01 DA03 DB02 DB05 DB09 DC03 DC22 5L096 AA05 BA03 CA02 FA18
Claims (4)
タに基づいて、被検査体に存在する対象物に関する所定
の情報を検出する画像処理装置において、 閾値処理により得られる画素データが対象物に関する画
素データであるか否かを判断する画素データ判断手段
と、 対象物に関する画素データの画像上における領域を判断
する領域判断手段と、 前記領域判断手段により得られた領域を記憶する記憶手
段と、 前記記憶手段に記憶された領域に対して、新たに得られ
る画素データの連続性を判断する連続性判断手段と、 前記連続性判断手段により、連続性があると判断された
場合に、前記新たに得られた画素データの領域を前記記
憶手段に記憶された領域に統合する統合手段とを備えた
ことを特徴とする画像処理装置。1. An image processing apparatus for detecting predetermined information about an object existing on an object to be inspected based on a series of pixel data obtained by scanning, wherein pixel data obtained by threshold processing is a pixel related to the object. Pixel data determining means for determining whether or not it is data, area determining means for determining an area on the image of pixel data relating to the object, storage means for storing the area obtained by the area determining means, Continuity determining means for determining continuity of newly obtained pixel data with respect to the area stored in the storage means; and, if the continuity determining means determines that there is continuity, the continuity is newly determined. An image processing apparatus comprising: an integration unit that integrates an area of the obtained pixel data into an area stored in the storage unit.
て、 前記領域に対する外接長方形を取得する外接長方形演算
手段を備えていることを特徴とする画像処理装置。2. The image processing apparatus according to claim 1, further comprising a circumscribing rectangle computing unit that acquires a circumscribing rectangle for the area.
理装置において、 前記対象物は、被検査体に生じた欠陥であり、前記所定
の情報は、前記領域の面積、最大濃度値、最小濃度値、
濃度積算値の少なくとも何れかを含む特徴量であること
を特徴とする画像処理装置。3. The image processing apparatus according to claim 1, wherein the object is a defect that has occurred in the inspection object, and the predetermined information is the area of the region, the maximum density value, Minimum density value,
An image processing apparatus, which is a feature amount including at least one of integrated density values.
ンステップと、 閾値処理により得られる画素データが対象物に関する画
素データであるか否かを判断する画素データ判断ステッ
プと、 対象物に関する画素データの画像上における領域を判断
する領域判断ステップと、 前記領域判断ステップにより判断された領域を記憶する
記憶ステップと、 前記記憶ステップにより記憶された領域に対して、新た
に得られる画素データの連続性を判断する連続性判断ス
テップと、 前記連続性判断ステップにより、連続性があると判断さ
れた場合に、前記新たに得られた画素データの領域を前
記記憶手段に記憶された領域に対して統合する統合ステ
ップとを備えたことを特徴とする画像処理方法。4. A scanning step of obtaining pixel data by scanning, a pixel data determining step of determining whether or not the pixel data obtained by threshold processing is pixel data relating to an object, and an image of the pixel data relating to the object. Area determining step for determining the area in, a storage step for storing the area determined by the area determining step, and a continuity of pixel data newly obtained with respect to the area stored in the storing step. A continuity determining step, and an integrating step of integrating the area of the newly obtained pixel data with the area stored in the storage unit when the continuity determining step determines that there is continuity An image processing method comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001374088A JP2003178313A (en) | 2001-12-07 | 2001-12-07 | Image processing device and image processing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003178313A true JP2003178313A (en) | 2003-06-27 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2001374088A Pending JP2003178313A (en) | 2001-12-07 | 2001-12-07 | Image processing device and image processing method |
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2001
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