JP2002140695A - Inspection method and its device - Google Patents
Inspection method and its deviceInfo
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- JP2002140695A JP2002140695A JP2000334286A JP2000334286A JP2002140695A JP 2002140695 A JP2002140695 A JP 2002140695A JP 2000334286 A JP2000334286 A JP 2000334286A JP 2000334286 A JP2000334286 A JP 2000334286A JP 2002140695 A JP2002140695 A JP 2002140695A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、コンピュータに
より濃淡画像データを処理する分野に属するもので、特
に、成型品や印刷文字などの対象物について、異物が付
着していたり、欠け,バリ,傷などの欠陥が発生してい
ないかどうかを、対象物を撮像して得られた濃淡画像
(以下、単に「画像」という。)を用いて検査する技術
に関連する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the field of processing gray-scale image data by a computer, and particularly to an object such as a molded product or a printed character, where foreign matter is attached, chipped, burred, scratched. The present invention relates to a technology for inspecting whether a defect such as a defect has occurred using a grayscale image (hereinafter, simply referred to as an “image”) obtained by imaging an object.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の検査では、検査に先立
ち、欠陥のないモデルを撮像して得られた画像を基準画
像として登録しておき、検査対象物の画像と基準画像と
の差分演算を行って両画像間の差異を抽出する方法(画
像間演算処理)、または正規化相関演算により基準画像
と検査対象画像との類似度を算出する方法のいずれかを
実行している。2. Description of the Related Art In this type of conventional inspection, prior to the inspection, an image obtained by imaging a model having no defect is registered as a reference image, and the difference between the image of the inspection object and the reference image is calculated. To extract the difference between the two images (inter-image calculation processing), or to calculate the similarity between the reference image and the inspection target image by the normalized correlation calculation.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】一般に、濃淡画像で
は、カメラの撮像素子に対する対象物の輪郭線の位置関
係によって、輪郭線付近の濃度勾配の傾きが画像毎に微
妙に変動する、という現象が生じる。このため対象物の
画像と基準画像とをどのように厳密に位置合わせして
も、エッジ付近の濃度に差異が生じ、前記画像間演算処
理を行った場合に、その差異が欠陥として抽出されてし
まうという問題が発生する。このため従来では、前記画
像間演算処理により検査対象画像と基準画像との差異を
抽出する場合は、エッジ付近の画像を処理対象からはず
すようにしている。In general, in the case of a grayscale image, the phenomenon that the gradient of the density gradient near the outline fluctuates slightly for each image due to the positional relationship of the outline of the object with respect to the image sensor of the camera. Occurs. Therefore, no matter how exactly the image of the target object and the reference image are aligned, a difference occurs in the density near the edge, and when the inter-image calculation processing is performed, the difference is extracted as a defect. This causes a problem. Therefore, conventionally, when a difference between an inspection target image and a reference image is extracted by the inter-image calculation processing, an image near an edge is excluded from a processing target.
【0004】しかしながらこのような処理を行うと、エ
ッジ付近に欠陥が存在する場合、その欠陥を検出できな
くなるという問題がある。また検査に先立ち、処理対象
からはずす領域を適切に設定する必要があるが、このよ
うな設定を行うのは容易ではなく、しかも煩雑な操作を
伴うので、ユーザーに多大な負担がかかる。However, when such a process is performed, there is a problem that when a defect exists near an edge, the defect cannot be detected. Further, prior to the inspection, it is necessary to appropriately set an area to be excluded from the processing target. However, such setting is not easy and requires a complicated operation, which imposes a heavy burden on the user.
【0005】また表面に凹凸があるような対象物では、
濃淡画像上の対象物の濃度に前記凹凸によるばらつきが
生じる。したがってこのような対象物に画像間演算処理
を適用すると、検査対象物とモデルとの間での凹凸パタ
ーンの差異が欠陥として抽出されてしまい、欠陥部分を
精度良く抽出できなくなる、という問題が発生する。In the case of an object whose surface has irregularities,
The unevenness of the density of the object on the grayscale image occurs due to the unevenness. Therefore, when the inter-image arithmetic processing is applied to such an object, a difference in the concavo-convex pattern between the inspection object and the model is extracted as a defect, and a problem occurs that a defective portion cannot be accurately extracted. I do.
【0006】一方、正規化相関演算を用いた場合は、検
査対象物に微小な欠陥があっても、その欠陥による差異
は相関値に反映されないから、微小な欠陥を精度良く検
出できないという問題がある。On the other hand, when the normalized correlation calculation is used, even if there is a minute defect in the inspection object, the difference due to the defect is not reflected in the correlation value, so that the minute defect cannot be detected with high accuracy. is there.
【0007】この発明は上記問題点に着目してなされた
もので、設定操作に手間をかけることがなく、エッジ付
近や濃淡むらのある部分での欠陥や微小な欠陥まで簡単
かつ精度良く検出できるような検査を実現することを目
的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and can easily and accurately detect a defect near an edge or a portion having uneven shading or a minute defect without troublesome setting operation. It is intended to realize such an inspection.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明では、所定の対象物を撮像して得られた濃
淡画像をコンピュータに取り込んで前記対象物における
欠陥の有無を検査する場合に、検査に先立ち、欠陥のな
い対象物のモデルを撮像して得られた基準画像を膨張お
よび収縮して、得られた膨張画像および収縮画像をメモ
リ内に登録する。そして検査時には、検査対象物の濃淡
画像につき、膨張画像および収縮画像のそれぞれに対す
る差異を抽出し、各抽出結果から検査対象物における欠
陥の有無を判別するための判定用データを生成するよう
にしている。In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a case where a gray-scale image obtained by capturing an image of a predetermined object is taken into a computer and the presence or absence of a defect in the object is inspected. Prior to the inspection, the reference image obtained by imaging the model of the object having no defect is expanded and contracted, and the obtained dilated image and contracted image are registered in the memory. At the time of inspection, a difference between the dilated image and the contracted image is extracted from the grayscale image of the inspection object, and determination data for determining the presence or absence of a defect in the inspection object is generated from each extraction result. I have.
【0009】ここでいう「濃淡画像」とは、アナログカ
メラにより対象物を撮像して得られたアナログ画像信号
から変換された所定ビット長のディジタル画像データ、
またはディジタルカメラにより生成された画像データで
ある。またこの種の検査に使用されるのは主としてモノ
クロの濃淡画像であるが、これに限らずカラー濃淡画像
を用いてもよい。[0009] The term "shade image" as used herein means digital image data of a predetermined bit length converted from an analog image signal obtained by imaging an object by an analog camera.
Or image data generated by a digital camera. In addition, although a monochrome grayscale image is mainly used for this type of inspection, the present invention is not limited to this, and a color grayscale image may be used.
【0010】濃淡画像に対する膨張、収縮処理では、処
理対象の画像の構成画素に順に着目し、着目画素の明る
さを、その画素および周囲近傍の複数画素が含まれるマ
スク領域内の明るさに応じて設定する。たとえば膨張処
理においてマスク領域内の最も明るい画素の明るさを、
収縮処理においてマスク領域内の最も暗い画素の明るさ
を、それぞれ着目画素に設定するものとすると、基準画
像上の濃淡むらに対応する画像データは、膨張画像にお
いては明るい方向に安定し、収縮画像においては暗い方
向に安定するようになる。また画像上のエッジ付近の画
素の明るさは、膨張画像においては明るい方向にシフト
し、収縮画像においては暗い方向にシフトするようにな
る。In expansion and contraction processing for a grayscale image, attention is paid to the constituent pixels of the image to be processed in order, and the brightness of the pixel of interest is determined according to the brightness of the pixel and the mask area including a plurality of pixels in the vicinity. To set. For example, in the dilation process, the brightness of the brightest pixel in the mask
Assuming that the brightness of the darkest pixel in the mask area is set to the pixel of interest in the erosion process, the image data corresponding to the shading unevenness on the reference image is stable in the bright direction in the expanded image, Becomes stable in the dark direction. Further, the brightness of the pixel near the edge on the image shifts in the bright direction in the expanded image and shifts in the dark direction in the contracted image.
【0011】上記の方式で膨張処理、収縮処理を行った
場合、検査対象物の濃淡画像につき、膨張画像および収
縮画像のそれぞれに対する差異を抽出する処理では、具
体的には、検査対象画像と膨張、収縮の各画像との明る
さを対応する画素毎に比較し、差異が認められる画素を
抽出することによって行われる。好ましい態様において
は、検査対象画像において膨張画像上の対応画素の明る
さよりも明るい画素と、収縮画像上の対応画素の明るさ
よりも暗い画素とを、それぞれ抽出するようにしてい
る。When the dilation processing and the erosion processing are performed by the above-described method, in the processing for extracting the difference between the dilated image and the eroded image from the gray image of the inspection target, specifically, the inspection target image and the dilated image are extracted. This is performed by comparing the brightness of each of the contracted images with the corresponding pixels for each corresponding pixel, and extracting the pixels having a difference. In a preferred embodiment, a pixel brighter than the brightness of the corresponding pixel on the dilated image and a pixel darker than the brightness of the corresponding pixel on the eroded image in the inspection target image are extracted.
【0012】前記した膨張処理によれば、膨張画像上の
いずれの画素も、元の基準画像の明るさより明るくなる
ことはあっても、暗くなることはない。したがって、検
査対象画像上の対象物が基準画像上のモデルに合致し、
欠陥のない状態であれば、検査対象画像上の濃度が安定
している部分において膨張画像より明るい画素が抽出さ
れることはない。同様に収縮処理によれば、収縮画像上
のいずれの画素も、元の基準画像の明るさより暗くなる
ことはあっても、明るくなることはない。したがって、
検査対象画像上の対象物が基準画像上のモデルに合致
し、欠陥のない状態であれば、検査対象画像上の濃度が
安定している部分において収縮画像より暗い画素が抽出
されることはない。According to the above-described dilation processing, any pixel on the dilated image may be brighter than the original reference image but not darker. Therefore, the object on the inspection target image matches the model on the reference image,
If there is no defect, pixels brighter than the dilated image are not extracted in a portion where the density on the inspection target image is stable. Similarly, according to the contraction processing, any pixel on the contracted image may be darker than the brightness of the original reference image, but not brighter. Therefore,
If the object on the inspection target image matches the model on the reference image and has no defect, no pixel darker than the contracted image is extracted in a portion where the density on the inspection target image is stable. .
【0013】また前記したように、エッジ付近における
濃度や濃度勾配の傾きは画像毎に異なるものとなるが、
エッジ付近での明るさの上限値および下限値は照明条件
が変わらない限りほぼ同様であると考えられる。したが
って検査対象画像上のエッジ付近に本来示される明るさ
の範囲外の明るさを持つ欠陥がなければ、このエッジ付
近の各画素の明るさは、膨張画像および収縮画像の示す
明るさの範囲内に含まれると考えられるから、いずれの
画像との比較においても差異が抽出されない。一方、検
査対象画像のエッジ付近に本来の明るさの範囲外の明る
さを持つ欠陥がある場合は、この欠陥部分の画素の明る
さは、膨張画像上の対応画素の明るさよりも明るいか、
または収縮画像上の対応画素の明るさよりも暗いものと
なる。したがって膨張,収縮のいずれかの画像との比較
によって、前記欠陥を抽出することが可能となる。As described above, the density near the edge and the gradient of the density gradient are different for each image.
It is considered that the upper limit value and the lower limit value of the brightness near the edge are almost the same unless the illumination condition is changed. Therefore, if there is no defect near the edge on the inspection target image having a brightness outside the brightness range originally indicated, the brightness of each pixel near the edge is within the brightness range indicated by the dilated image and the contracted image. Are not included in the comparison with any of the images. On the other hand, when there is a defect having a brightness outside the original brightness range near the edge of the inspection target image, the brightness of the pixel of this defective portion is brighter than the brightness of the corresponding pixel on the dilated image,
Alternatively, the brightness is lower than the brightness of the corresponding pixel on the contracted image. Therefore, the defect can be extracted by comparing the image with any one of the expanded and contracted images.
【0014】表面の凹凸などにより濃淡むらが生じる場
合も、同様に、濃淡むら部分で明るさがばらつく範囲は
照明条件が変わらない限りほぼ同様であると考えられ
る。したがって検査対象画像上の濃淡むら部分に本来の
明るさのばらつきの範囲を越える明るさを持つ欠陥がな
ければ、この濃淡むら部分では、膨張画像,収縮画像の
いずれとの比較においても差異が抽出されない。一方、
検査対象画像の濃淡むら部分に、通常の明るさのばらつ
きの範囲外の明るさを持つ欠陥があれば、膨張または収
縮のいずれかの画像との比較によって、この欠陥が抽出
される。したがって画像上の通常の明るさのばらつきに
起因するノイズを拾うことなく、明るさのばらつきの範
囲を越える欠陥のみを精度良く抽出することが可能とな
る。[0014] Similarly, in the case where shading occurs due to unevenness on the surface or the like, the range in which the brightness varies in the shading portion is considered to be substantially the same unless the illumination conditions are changed. Therefore, if there is no defect having a brightness exceeding the range of the original brightness variation in the shading unevenness portion on the inspection target image, a difference is extracted in the shading unevenness portion in comparison with either the dilated image or the contracted image. Not done. on the other hand,
If there is a defect having a brightness outside the range of normal brightness variation in the shading unevenness portion of the inspection target image, this defect is extracted by comparison with an image of either expansion or contraction. Therefore, it is possible to accurately extract only a defect exceeding the range of the brightness variation without picking up noise due to the normal brightness variation on the image.
【0015】またこの発明では、上記方法を実施する画
像処理装置として、所定の対象物を撮像して得られた濃
淡画像を取り込むための画像入力手段、前記画像入力手
段により欠陥のない対象物のモデルを撮像して得られた
基準画像が取り込まれたとき、この基準画像を膨張およ
び収縮させる膨張収縮処理手段、前記膨張収縮処理によ
り得られた膨張画像および収縮画像を保存するためのメ
モリ、前記画像入力手段により検査対象物を撮像して得
られた濃淡画像が入力される都度、前記メモリ内の膨張
画像および収縮画像に対する入力画像の差異を抽出する
差異抽出手段、前記差異抽出手段による抽出結果から前
記対象物における欠陥の有無を判別するための判定用デ
ータを生成するデータ生成手段、の各構成を具備する装
置を提供する。Further, according to the present invention, as an image processing apparatus for carrying out the above method, an image input means for capturing a grayscale image obtained by imaging a predetermined object, When a reference image obtained by imaging the model is captured, expansion / contraction processing means for expanding and contracting the reference image, a memory for storing an expansion image and a contraction image obtained by the expansion / contraction processing, Each time a gray image obtained by imaging the inspection object is input by the image input unit, a difference extraction unit that extracts a difference between the input image and the dilated image and the contracted image in the memory, and an extraction result by the difference extraction unit And a data generating means for generating determination data for determining the presence or absence of a defect in the target object.
【0016】前記画像入力手段は、撮像手段からの画像
信号を受け付けるインターフェイス回路などにより構成
されるもので、特に撮像手段がアナログカメラにより構
成される場合は、A/D変換回路やノイズカット用のフ
ィルタなどの構成も含まれる。膨張画像、収縮画像を保
存するためのメモリは、RAMまたは不揮発性メモリに
より構成される。膨張収縮処理手段、差異抽出手段、デ
ータ生成手段は、コンピュータに各手段の処理用のプロ
グラムを与えることにより実現されるが、これに限ら
ず、各手段毎に演算処理回路を構成することも可能であ
る。The image input means is constituted by an interface circuit or the like for receiving an image signal from the image pickup means. In particular, when the image pickup means is constituted by an analog camera, an A / D conversion circuit and a noise cut filter are provided. Such a configuration is also included. The memory for storing the dilated image and the contracted image is configured by a RAM or a non-volatile memory. The expansion / contraction processing means, the difference extraction means, and the data generation means are realized by providing a computer with a processing program for each means. However, the present invention is not limited thereto, and an arithmetic processing circuit may be configured for each means. It is.
【0017】上記構成の装置によれば、対象物のモデル
を撮像すると、その撮像によって生成された基準画像か
ら自動的に膨張画像、収縮画像が生成されてメモリに登
録される。つぎに検査においては、検査対象物の濃淡画
像が取り込まれる都度、その画像について膨張画像およ
び収縮画像に対する差異が自動抽出され、検査対象物に
おける欠陥の有無を判別するための判定用データが作成
される。したがってユーザーは、計測のための煩雑な処
理を行う必要がなくなり、微小な欠陥や、濃淡むらのあ
る部位における欠陥も、精度良く検出することが可能に
なる。According to the apparatus having the above configuration, when a model of an object is imaged, an expanded image and a contracted image are automatically generated from the reference image generated by the imaging and registered in the memory. Next, in the inspection, every time a gray image of the inspection object is captured, a difference between the dilated image and the contracted image is automatically extracted from the image, and determination data for determining the presence or absence of a defect in the inspection object is created. You. Therefore, the user does not need to perform complicated processing for measurement, and it is possible to accurately detect a minute defect or a defect in a portion having uneven density.
【0018】好ましい態様によれば、前記判定用データ
は、膨張画像および収縮画像のそれぞれに対する差異抽
出結果を統合した欠陥抽出画像として作成され、この欠
陥抽出画像がモニタ画面上に表示される。たとえば前記
検査対象画像につき、膨張画像上の対応画素の明るさよ
りも明るい画素と、収縮画像上の対応画素の明るさより
も暗い画素とを抽出した場合、これらの処理により抽出
された画素を、その画素の濃度値または対比した画像と
の濃度差により示す画像を生成することによって、基準
画像とは濃度が大きく異なる部分を表す欠陥抽出画像を
作成することができる。さらに抽出された各画素の濃度
値を2値化したり、一定の濃度レベルに変換するなどの
加工処理を施した欠陥抽出画像を作成することも可能で
ある。このような処理によれば、検査対象物の欠陥を精
度良く抽出し、かつ抽出された欠陥のみを示した画像を
表示できるので、微小な欠陥であっても明確に示すこと
が可能となる。According to a preferred aspect, the determination data is created as a defect extraction image in which the difference extraction results for the dilated image and the contracted image are integrated, and the defect extracted image is displayed on a monitor screen. For example, with respect to the inspection target image, when a pixel brighter than the brightness of the corresponding pixel on the dilated image and a pixel darker than the brightness of the corresponding pixel on the eroded image are extracted, the pixels extracted by these processes are extracted. By generating an image represented by a density value of a pixel or a density difference from a contrasted image, it is possible to create a defect extraction image representing a portion whose density is significantly different from the reference image. Further, it is also possible to create a defect extraction image that has been subjected to processing such as binarizing the density value of each extracted pixel or converting the density value to a constant density level. According to such processing, a defect of the inspection object can be accurately extracted and an image showing only the extracted defect can be displayed, so that even a minute defect can be clearly shown.
【0019】さらに他の好ましい態様では、判定用デー
タを用いて前記検査対象物に欠陥があるか否かを判別
し、その判別結果を出力する。欠陥の有無の判別におい
ては、判定用データから膨張画像や収縮画像に対し差異
が抽出されているか否かを確認し、たとえば差異が抽出
されている場合に「欠陥あり」と判定することができ
る。ただし、差異として抽出された画素の大きさや濃度
レベルなどに応じて欠陥の有無を判別するようにすれ
ば、ごく微小な欠陥はノイズとして除去するなど、検出
精度のレベルを任意に設定したり、欠陥の大きさや形状
までを判別するような検査が可能となる。この構成によ
り、検査対象の画像を入力する都度、その対象物におけ
る欠陥の有無が自動的に判別されて、その判別結果が出
力されるので、欠陥検査を完全に自動化することができ
る。In still another preferred embodiment, it is determined whether or not the inspection object has a defect using the determination data, and a result of the determination is output. In the determination of the presence or absence of a defect, it is confirmed whether or not a difference has been extracted from the determination data with respect to the dilated image or the contracted image. . However, if the presence or absence of a defect is determined according to the size or density level of the pixel extracted as a difference, the level of detection accuracy can be set arbitrarily, such as removing a minute defect as noise. Inspection to determine the size and shape of a defect can be performed. With this configuration, each time an image to be inspected is input, the presence or absence of a defect in the object is automatically determined, and the result of the determination is output, so that the defect inspection can be completely automated.
【0020】[0020]
【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施例にか
かる検査装置の構成を示す。この検査装置1は、パッケ
ージ上の印刷文字の状態などを検査するためのもので、
画像入力部2,画像メモリ3,画像出力部4,タイミン
グ制御部5,文字メモリ6,制御部7,モニタ8,I/
Oポート9などにより構成される。FIG. 1 shows the configuration of an inspection apparatus according to one embodiment of the present invention. This inspection device 1 is for inspecting the state of printed characters on a package and the like.
Image input unit 2, Image memory 3, Image output unit 4, Timing control unit 5, Character memory 6, Control unit 7, Monitor 8, I /
It is composed of an O port 9 and the like.
【0021】画像入力部2は、図示しないアナログカメ
ラからの濃淡画像信号を取り込むためのインターフェイ
ス回路,前記濃淡画像信号をディジタル変換するための
A/D変換回路,ノイズカット用のフィルタ回路などに
より構成される。なお前記カメラはアナログカメラに限
らず、ディジタルカメラを用いてもよい。The image input unit 2 comprises an interface circuit for taking in a grayscale image signal from an analog camera (not shown), an A / D converter for digitally converting the grayscale image signal, a filter circuit for noise cut, and the like. You. The camera is not limited to an analog camera, but may be a digital camera.
【0022】前記画像メモリ3は、画像入力部2により
取り込まれたディジタル量の濃淡画像データを取り込ん
で保存するほか、後記する基準画像,膨張画像,収縮画
像,欠陥抽出画像などを格納するためのエリアを有す
る。文字メモリ6には、検査結果などの文字情報を表示
するためのテキストデータやその表示位置などが格納さ
れる。各メモリ3,6は、それぞれアドレス/データバ
ス10を介して制御部7に接続され、制御部7からの指
示に応じたデータを、タイミング制御部5からのタイミ
ング信号に応じて画像出力部4またはアドレス/データ
バス10に出力する。The image memory 3 fetches and stores digital grayscale image data fetched by the image input unit 2, and stores a reference image, an expanded image, a contracted image, a defect extracted image, and the like, which will be described later. Have an area. The character memory 6 stores text data for displaying character information such as an inspection result and a display position thereof. Each of the memories 3 and 6 is connected to a control unit 7 via an address / data bus 10, and outputs data according to an instruction from the control unit 7 to an image output unit 4 according to a timing signal from the timing control unit 5. Alternatively, the data is output to the address / data bus 10.
【0023】前記制御部7は、CPU11,ROM1
2,RAM13を主体とし、このほかに検査のための処
理手順を示す制御プログラムがインストールされたハー
ドディスク14を具備する。CPU11は、ハードディ
スク14内の制御プログラムに基づき、アドレス/デー
タバス10を介して各メモリに対する情報の読書きを行
いつつ、検査対象物における欠陥の有無を示す欠陥抽出
画像を作成する。さらにCPU11は、この欠陥抽出画
像を用いて検査対象物の良否を判別する。The control unit 7 includes a CPU 11, a ROM 1
2, a hard disk 14 having a RAM 13 as a main body, and a control program indicating a processing procedure for inspection installed therein. Based on the control program in the hard disk 14, the CPU 11 reads and writes information from and to each memory via the address / data bus 10 and creates a defect extraction image indicating the presence or absence of a defect in the inspection object. Further, the CPU 11 determines the quality of the inspection object using the defect extraction image.
【0024】前記モニタ8は、一連の検査が終了した時
点で、前記欠陥抽出画像や良否の判別結果を表示するの
に用いられる。またI/Oポート9は、キーボード,マ
ウスなどの入力部や、外部記憶装置,伝送部のような出
力部に接続され、入力部からの各種設定データを入力し
たり、検査結果を外部に出力する際に用いられる。The monitor 8 is used to display the defect extraction image and the result of pass / fail judgment when a series of inspections is completed. The I / O port 9 is connected to an input unit such as a keyboard and a mouse, and to an output unit such as an external storage device and a transmission unit. The I / O port 9 inputs various setting data from the input unit and outputs inspection results to the outside. Used when
【0025】この検査装置では、検査に先立ち、欠陥の
ない良品モデルを撮像して基準画像を生成し、さらにこ
の基準画像について膨張処理および収縮処理を行って、
得られた膨張画像,収縮画像を、前記基準画像とともに
画像メモリ3に保存するようにしている。そして検査時
には、検査対象物の画像が入力される都度、この検査対
象画像と前記膨張画像および収縮画像との差異を抽出
し、前記欠陥抽出画像を生成するようにしている。In this inspection apparatus, prior to the inspection, a non-defective non-defective model is imaged to generate a reference image, and the reference image is subjected to expansion processing and contraction processing.
The obtained dilated image and contracted image are stored in the image memory 3 together with the reference image. Then, at the time of inspection, every time an image of the inspection object is input, the difference between the inspection object image and the dilated image and the contracted image is extracted, and the defect extraction image is generated.
【0026】前記膨張処理および収縮処理では、基準画
像上に図2に示すような3×3マスクを走査しつつ、各
走査位置においてマスク内の中心の画素g(図中、座標
(x,y)の画素)に着目し、その濃度値を所定値に変
換する。この実施例では、明るい方向で濃度値が大きく
なるように設定しており、膨張処理において、着目画素
gにマスク内の最大濃度値を割り当てることにより、基
準画像上の明るい部分を広げる。反対に収縮処理では、
着目画素gにマスク内の最小濃度値を割り当てることに
より、基準画像上の暗い部分を広げるようにしている。In the expansion and contraction processing, while a 3 × 3 mask as shown in FIG. 2 is scanned on the reference image, a central pixel g (coordinate (x, y in FIG. ), And the density value is converted to a predetermined value. In this embodiment, the density value is set so as to increase in the bright direction. In the expansion processing, the bright portion on the reference image is expanded by assigning the maximum density value in the mask to the target pixel g. Conversely, in the shrinking process,
By assigning the minimum density value in the mask to the target pixel g, the dark portion on the reference image is expanded.
【0027】図3は、基準画像、およびこの基準画像よ
り生成される膨張画像,収縮画像の具体例を示す。図示
例の場合、検査対象となる文字の部分が背景部分よりも
暗くなるため、膨張画像では、背景の部分が文字側に拡
大され、基準画像の文字より細くなった文字が現れる。
反対に収縮画像では、文字の部分が背景側に拡大された
結果、基準画像の文字よりも太くなった文字が現れる。FIG. 3 shows a specific example of a reference image and an expanded image and a contracted image generated from the reference image. In the case of the illustrated example, the character portion to be inspected is darker than the background portion. Therefore, in the dilated image, the background portion is enlarged to the character side, and a character thinner than the character in the reference image appears.
Conversely, in the contracted image, as a result of the character portion being enlarged toward the background, a character that is thicker than the character in the reference image appears.
【0028】図4は、画像上の一方向における画像の明
るさを模式的に示す。図4(1)は、エッジの内外に濃
淡むらが生じていない例である。図中のAは、基準画像
における明るさの変化であって、明るい部分から暗い部
分に移行する傾斜の部分がエッジに相当する。図中のD
は膨張画像における明るさの変化を、Eは収縮画像にお
ける明るさの変化を、それぞれ示す。前記図3に示した
ように、膨張画像では、エッジの位置は基準画像よりも
暗い方向にシフトするから、前記基準画像上でエッジを
表した画素の明るさは基準画像よりも明るい方向にシフ
トする。一方、収縮画像上のエッジは基準画像のエッジ
よりも明るい方向にシフトするから、前記基準画像上で
エッジを表した画素の明るさは基準画像よりも暗い方向
にシフトする。FIG. 4 schematically shows the brightness of an image in one direction on the image. FIG. 4A shows an example in which shading does not occur inside and outside the edge. A in the figure is a change in brightness in the reference image, and an inclined portion that transitions from a bright portion to a dark portion corresponds to an edge. D in the figure
E indicates a change in brightness in the dilated image, and E indicates a change in brightness in the contracted image. As shown in FIG. 3, in the dilated image, the position of the edge shifts in a direction darker than the reference image, so that the brightness of the pixel representing the edge on the reference image shifts in a direction brighter than the reference image. I do. On the other hand, since the edge on the contracted image shifts in a direction brighter than the edge of the reference image, the brightness of the pixel representing the edge on the reference image shifts in a direction darker than the reference image.
【0029】図4(2)は、エッジの内外に濃淡むらが
生じている場合の明るさ変化を示す。図中、A1は、基
準画像における明るさの変化であって、D1は膨張画像
により強められる明るさのレベルを、E1は収縮画像に
より強められる明るさのレベルを、それぞれ示す。FIG. 4B shows a change in brightness when shading occurs inside and outside the edge. In the figure, A1 represents a change in brightness in the reference image, D1 represents a brightness level enhanced by the dilated image, and E1 represents a brightness level enhanced by the eroded image.
【0030】図4(2)のように、基準画像上のエッジ
の内外において明るさにばらつきが生じた場合、膨張画
像では、各画素の濃度値を前記マスク内の最大濃度値に
置き換えた結果、この濃淡むらの部分の明るさが前記明
るさのばらつきの最大レベル付近で安定するようにな
る。反対に収縮画像については、各画素の濃度値をマス
ク内の最小濃度値に置き換えた結果、前記濃淡むらの部
分の明るさが明るさのばらつきの最小レベル付近で安定
するようになる。As shown in FIG. 4 (2), when the brightness varies inside and outside the edge on the reference image, the result of replacing the density value of each pixel with the maximum density value in the mask in the expanded image. Then, the brightness of the portion of the shading unevenness becomes stable around the maximum level of the brightness variation. Conversely, for the contracted image, the density value of each pixel is replaced with the minimum density value in the mask, and as a result, the brightness of the shaded portion becomes stable near the minimum level of brightness variation.
【0031】つぎに検査において、入力された検査対象
画像の膨張画像および収縮画像に対する差異を抽出する
処理では、具体的には、画像間の対応する画素につい
て、つぎのような演算式(1)を実行することによっ
て、前記欠陥抽出画像の各構成画素H(x,y)の濃度
値を求めている。 H(x,y)=G(F(x,y)−D(x,y)) +G(E(x,y)−F(x,y))・・・ (1)Next, in the process of extracting the difference between the dilated image and the contracted image of the input image to be inspected in the inspection, specifically, the following equation (1) is used for the corresponding pixels between the images. Is performed, the density value of each of the constituent pixels H (x, y) of the defect extraction image is obtained. H (x, y) = G (F (x, y) -D (x, y)) + G (E (x, y) -F (x, y)) (1)
【0032】上記(1)式において、F(x,y)は、
検査対象画像の着目画素の濃度値、D(x,y)は前記
着目画素に対応する膨張画像上の画素の濃度値、E
(x,y)は前記着目画素に対応する収縮画像上の画素
の濃度値である。なお関数G(X)は、X>0のときG
(X)=X、X≦0のときG(X)=0となるように、
定義されている。In the above equation (1), F (x, y) is
The density value of the pixel of interest of the inspection target image, D (x, y), is the density value of the pixel on the dilated image corresponding to the pixel of interest, E
(X, y) is the density value of the pixel on the contracted image corresponding to the pixel of interest. Note that the function G (X) is G when X> 0.
When (X) = X and X ≦ 0, G (X) = 0,
Is defined.
【0033】ここで検査対象画像と膨張画像との関係に
着目すると、膨張画像においては、いずれの画素にも周
囲近傍で最も高い濃度値が設定されているから、一般に
F(x,y)−D(x,y)≦0の関係が成立する。こ
の関係は検査対象画像上で濃淡むらが生じる部分につい
ても同様であり、前記関数Gによって、画像間の差分は
0に設定される。ところが検査対象画像において、図4
(2)のB3,B5のように、本来の明るさの範囲より
も明るい画素が存在すると、この画素についてはF
(x,y)−D(x,y)>0となり、前記関数Gによ
ってこの差分値が取り出されることになる。Here, focusing on the relationship between the inspection object image and the dilated image, in the dilated image, since the highest density value is set in the vicinity of each of the pixels, generally F (x, y) − The relationship of D (x, y) ≦ 0 holds. This relationship is the same for a portion in which shading occurs on the inspection target image, and the difference between the images is set to 0 by the function G. However, in the inspection target image, FIG.
If a pixel that is brighter than the original brightness range exists, as in B3 and B5 in (2), F
(X, y) -D (x, y)> 0, and the difference value is extracted by the function G.
【0034】つぎに検査対象画像と収縮画像との関係に
着目すると、収縮画像においては、いずれの画素にも周
囲近傍で最も低い濃度値が設定されているから、一般に
E(x,y)−F(x,y)≦0の関係が成立し、前記
関数Gによって、画像間の差分は0に設定される。とこ
ろが検査対象画像において、図4(2)のB4,B6の
ように本来の明るさの範囲より暗い画素が存在すると、
この画素については、E(x,y)−F(x,y)>0
となり、前記関数Gによってこの差分値が取り出される
ことになる。Next, focusing on the relationship between the image to be inspected and the contracted image, in the contracted image, since the lowest density value is set in the vicinity of each of the pixels, generally E (x, y) − The relationship of F (x, y) ≦ 0 holds, and the difference between the images is set to 0 by the function G. However, if pixels that are darker than the original brightness range exist in the inspection target image, such as B4 and B6 in FIG.
For this pixel, E (x, y) -F (x, y)> 0
The difference value is extracted by the function G.
【0035】さらに画像上のエッジ部分における濃度勾
配の傾きには、画像毎に微妙な差異が生じるが、照明条
件が同様であれば、エッジおよびその近傍の画素におけ
る明るさの変動範囲は、膨張画像および収縮画像の示す
明るさの範囲内に含まれると考えることができる。した
がって検査対象画像におけるエッジ部分の各画素の明る
さが、基準画像上のエッジ部分の明るさの範囲内に含ま
れる場合は、F(x,y)−D(x,y)≦0かつE
(x,y)−D(x,y)≦0の関係が成立するから、
前記関数Gによって、画像間の差分は0に設定される。Further, the gradient of the density gradient at the edge portion of the image has a slight difference for each image. However, if the illumination conditions are the same, the variation range of the brightness of the edge and the pixels in the vicinity thereof is expanded. It can be considered to be included in the range of the brightness indicated by the image and the contracted image. Therefore, when the brightness of each pixel of the edge portion in the inspection target image is included in the range of the brightness of the edge portion on the reference image, F (x, y) −D (x, y) ≦ 0 and E
Since the relationship of (x, y) -D (x, y) ≦ 0 holds,
The difference between the images is set to 0 by the function G.
【0036】一方、検査対象画像において、図4(1)
のB1,B2のように、本来のエッジ部分の明るさの変
動範囲外の明るさを持つ画素があると、この画素につい
ては、F(x,y)−D(x,y)>0またはE(x,
y)−F(x,y)>0となり、前記関数Gによってこ
の差分値が取り出されることになる。On the other hand, in the inspection target image, FIG.
If there is a pixel having a brightness outside the original variation range of the brightness of the edge portion like B1 and B2, F (x, y) −D (x, y)> 0 or E (x,
y) −F (x, y)> 0, and the difference value is extracted by the function G.
【0037】すなわち(1)式によれば、検査対象画像
の各構成画素のうち、膨張画像上の対応画素より明るい
画素と、収縮画像上の対応画素より暗い画素とについ
て、各対応画素との濃度の差分が抽出され、他の画素に
ついては濃度値が0に置き換えられることになり、検査
対象物における欠陥の部分のみを表した欠陥抽出画像が
生成されるようになる。またエッジ付近や凹凸部分など
の濃淡むらが生じる部分においては、通常の明るさの変
動範囲内に含まれる明るさは差異として抽出されない
が、通常の明るさの変動範囲より明るい画素または暗い
画素は、欠陥として抽出されるので、濃淡むらによるノ
イズをひろうことなく、欠陥部分を精度よく抽出するこ
とができる。That is, according to the equation (1), among the constituent pixels of the image to be inspected, the pixels that are brighter than the corresponding pixels on the dilated image and the pixels that are darker than the corresponding pixels on the eroded image are the same as the corresponding pixels. The density difference is extracted, and the density value is replaced with 0 for the other pixels, so that a defect extraction image representing only the defect portion of the inspection object is generated. Also, in a portion where shading unevenness occurs, such as near an edge or an uneven portion, brightness included in the normal brightness fluctuation range is not extracted as a difference, but pixels brighter or darker than the normal brightness fluctuation range are not extracted. , It is possible to accurately extract a defective portion without adding noise due to uneven shading.
【0038】なお上記(1)式による処理に加えて、検
査対象画像における濃淡平均値と基準画像における濃淡
平均値を求め、これらの濃淡平均値により(1)で算出
された値を正規化すれば、基準画像と検査対象画像との
間の明るさの差異の影響を取り除いて、より精度の高い
欠陥抽出処理を行うことができる。In addition to the processing according to the above equation (1), the average value of the gray level in the image to be inspected and the average value of the gray level in the reference image are obtained, and the value calculated in (1) is normalized by the average value of the gray levels. For example, it is possible to remove the influence of the difference in brightness between the reference image and the inspection target image, and perform a more accurate defect extraction process.
【0039】図5は、上記検査装置における一連の手順
を示す。まずST1では、前記カメラにより検査対象物
のモデルを撮像し、入力された画像を基準画像として画
像メモリ3内に保存する。ついでST2では、この基準
画像について、前記した膨張処理および収縮処理を実行
する。各処理により得られた膨張画像,収縮画像は、そ
れぞれ前記基準画像と同様に、画像メモリ3内の所定領
域に格納される。FIG. 5 shows a series of procedures in the inspection apparatus. First, in ST1, the model of the inspection object is imaged by the camera, and the input image is stored in the image memory 3 as a reference image. Next, in ST2, the dilation processing and the erosion processing described above are performed on the reference image. The dilated image and the eroded image obtained by each processing are stored in a predetermined area in the image memory 3 as in the case of the reference image.
【0040】このような前処理が完了すると、以後、カ
メラの撮像位置に順に検査対象物を送り込んで検査を実
施する。検査においては、まずST3で、検査対象物の
画像を取り込み、画像メモリ3内に格納する。ついでS
T4では、検査対象物の画像を2値化またはエッジ抽出
した上での計測処理や、前記基準画像より抽出した対象
物のモデルとのパターンマッチング処理などにより、基
準画像に対する検査対象画像の位置ずれや傾きを測定
し、その位置ずれや傾きを補正する。After the completion of such preprocessing, the inspection object is sequentially sent to the image pickup position of the camera to perform the inspection. In the inspection, first, in ST3, an image of the inspection object is fetched and stored in the image memory 3. Then S
At T4, the position of the inspection target image is shifted with respect to the reference image by a measurement process after binarizing or extracting an edge of the inspection target image or a pattern matching process with the target object model extracted from the reference image. And the inclination are measured, and the positional deviation and the inclination are corrected.
【0041】さらにST5では、検査対象画像、前記膨
張画像、および収縮画像を用いて前記(1)式を実行
し、欠陥抽出画像を生成する。さらに続くST6では、
生成された欠陥抽出画像を画像出力部4に与え、モニタ
画面上に表示させる。In step ST5, the equation (1) is executed using the inspection object image, the dilated image, and the eroded image to generate a defect extraction image. In the following ST6,
The generated defect extraction image is provided to the image output unit 4 and displayed on a monitor screen.
【0042】図6(1)は、検査対象画像の一例を示す
もので、検査対象物である文字の画像のほかに、微小な
欠陥を示す画像が現れている。図6(2)は、この入力
対象画像につき、前記ST5の処理により生成された欠
陥抽出画像を示す。前記したように、(1)式によれ
ば、入力画像上で背景や対象物の文字に対応する画素は
「0」となり、欠陥を表す画素についてのみ、膨張画像
または収縮画像上の対応画素との濃度の差分値が抽出さ
れる。なお、図6(2)では、欠陥部分をわかりやすく
するために、この抽出結果を白黒反転して示している
が、これに限らず、(1)式により生成された欠陥抽出
画像をそのまま表示したり、欠陥抽出画像を2値化して
示すことも可能である。FIG. 6A shows an example of an image to be inspected. In addition to an image of a character to be inspected, an image showing a minute defect appears. FIG. 6B shows a defect extraction image generated by the process of ST5 for the input target image. As described above, according to the expression (1), the pixel corresponding to the character of the background or the object on the input image is “0”, and only the pixel representing the defect is compared with the corresponding pixel on the dilated image or the eroded image. Is extracted. In FIG. 6 (2), the extraction result is shown in black and white inverted for easy understanding of the defective portion. However, the present invention is not limited to this, and the defect extraction image generated by Expression (1) is displayed as it is. It is also possible to binarize and show the defect extraction image.
【0043】図5に戻って、さらにST7では、前記欠
陥抽出画像上に欠陥を示す画素があるか否かを判別し、
その判別結果をモニタ画面上に出力する。この後は、検
査終了でなければST8からST3に戻り、つぎの検査
対象物の画像を取り込んで同様にST4〜7の処理を実
行する。Returning to FIG. 5, in ST7, it is determined whether or not there is a pixel indicating a defect on the defect extraction image.
The result of the determination is output on a monitor screen. After that, if the inspection is not completed, the process returns from ST8 to ST3, fetches the next image of the inspection object, and similarly executes the processing of ST4 to ST7.
【0044】なおST7の判別処理においては、単に欠
陥の有無を判別するだけでもよいが、欠陥部分における
濃度の差分値や欠陥の大きさを所定のしきい値と比較す
るなどして、欠陥の程度を高精度に判別してもよい。ま
た(1)式によってわずかな濃度差が抽出された場合
に、これが欠陥として判別されることがないように、し
きい値を越える差分値が得られた場合のみ欠陥として判
別するのが望ましい。In the determination process of ST7, the presence / absence of a defect may be simply determined. However, the difference value of the density or the size of the defect in the defective portion is compared with a predetermined threshold value to determine the defect. The degree may be determined with high accuracy. In addition, when a slight difference in density is extracted by the equation (1), it is desirable to determine a defect only when a difference value exceeding a threshold value is obtained so that the difference is not determined as a defect.
【0045】[0045]
【発明の効果】この発明によれば、基準画像から自動的
に生成した膨張画像および収縮画像を用いて検査対象画
像における欠陥の有無を判別するための判定用データを
生成するので、設定処理に手間をかけることなく、微小
な欠陥まで簡単かつ精度良く欠陥を検出することができ
る。特に、エッジ付近や凹凸部分などのノイズが抽出さ
れやすい部分についても、通常の濃淡の変動範囲外の明
るさを持つ欠陥を抽出でき、欠陥を高精度に検出するこ
とができる。According to the present invention, judgment data for judging the presence or absence of a defect in an inspection target image is generated by using an expansion image and a contraction image automatically generated from a reference image. Even a minute defect can be detected easily and accurately without any trouble. In particular, even in a portion where noise is easily extracted, such as near an edge or an uneven portion, it is possible to extract a defect having a brightness outside a normal fluctuation range of shading, and it is possible to detect the defect with high accuracy.
【図1】この発明の一実施例にかかる検査装置の構成を
示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an inspection apparatus according to one embodiment of the present invention.
【図2】膨張処理、収縮処理に用いるマスクを示す説明
図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a mask used for expansion processing and contraction processing.
【図3】基準画像とこの画像から生成される膨張画像お
よび収縮画像とを示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a reference image and an expanded image and a contracted image generated from the image.
【図4】画像のエッジ付近の濃度分布を示す説明図であ
る。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a density distribution near an edge of an image.
【図5】検査装置における処理手順を示すフローチャー
トである。FIG. 5 is a flowchart showing a processing procedure in the inspection device.
【図6】検査対象画像およびこの画像を処理して得られ
る欠陥抽出画像を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing an inspection target image and a defect extraction image obtained by processing the image.
1 検査装置 2 画像入力部 3 画像メモリ 7 制御部 11 CPU DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection apparatus 2 Image input part 3 Image memory 7 Control part 11 CPU
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G051 AA90 AB02 AC04 CA04 ED15 ED30 5B057 AA01 BA02 CA08 CA12 CA16 CB08 CB12 CB16 CE09 DA02 DA07 DC22 DC32 5L096 BA03 EA02 FA17 GA08 GA41 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G051 AA90 AB02 AC04 CA04 ED15 ED30 5B057 AA01 BA02 CA08 CA12 CA16 CB08 CB12 CB16 CE09 DA02 DA07 DC22 DC32 5L096 BA03 EA02 FA17 GA08 GA41
Claims (8)
像をコンピュータに取り込んで前記対象物における欠陥
の有無を検査する方法であって、 前記検査に先立ち、欠陥のない対象物のモデルを撮像し
て得られた基準画像を膨張および収縮して、得られた膨
張画像および収縮画像をメモリ内に登録しておき、 検査対象物の濃淡画像につき、前記膨張画像および収縮
画像のそれぞれに対する差異を抽出し、各抽出結果から
検査対象物における欠陥の有無を判別するための判定用
データを生成することを特徴とする検査方法。1. A method for inspecting the presence or absence of a defect in an object by taking a gray-scale image obtained by imaging a predetermined object into a computer, the method comprising: The reference image obtained by imaging is expanded and contracted, and the obtained dilated image and contracted image are registered in a memory, and for the gray image of the inspection object, for each of the dilated image and the contracted image, An inspection method characterized by extracting differences and generating determination data for determining the presence or absence of a defect in an inspection object from each extraction result.
よび収縮画像に対する差異の抽出処理は、膨張画像上の
対応画素の明るさよりも明るい画素および収縮画像上の
対応画素の明るさよりも暗い画素を抽出する処理である
請求項1に記載された検査方法。2. A method of extracting a difference between a grayscale image and a dilated image of a test object with respect to an expanded image and a contracted image, the pixel being brighter than the corresponding pixel on the dilated image and the pixel being darker than the corresponding pixel on the contracted image. The inspection method according to claim 1, wherein the inspection method is a process of extracting the information.
び収縮画像のそれぞれに対する差異抽出結果を統合した
欠陥抽出画像であり、この欠陥抽出画像を表示すること
を特徴とする請求項1または2に記載された検査方法。3. The defect extraction image according to claim 1, wherein the determination data is a defect extraction image obtained by integrating a difference extraction result with respect to each of the dilated image and the contracted image. Inspection method described.
査方法であって、 前記判定用データを用いて検査対象物に欠陥があるか否
かを判別し、その判別結果を出力するようにした検査方
法。4. The inspection method according to claim 1, wherein the determination data is used to determine whether the inspection object has a defect, and a result of the determination is output. Inspection method.
像を取り込むための画像入力手段と、 前記画像入力手段により欠陥のない対象物のモデルを撮
像して得られた基準画像が取り込まれたとき、この基準
画像を膨張および収縮させる膨張収縮処理手段と、 前記膨張収縮処理により得られた膨張画像および収縮画
像を保存するためのメモリと、 前記画像入力手段により検査対象物を撮像して得られた
濃淡画像が入力される都度、前記メモリ内の膨張画像お
よび収縮画像に対する入力画像の差異を抽出する差異抽
出手段と、 前記差異抽出手段による抽出結果から前記対象物におけ
る欠陥の有無を判別するための判定用データを生成する
データ生成手段とを具備して成る検査装置。5. An image input unit for capturing a grayscale image obtained by imaging a predetermined object, and a reference image obtained by imaging a model of a defect-free object by the image input unit. Expansion and contraction processing means for expanding and contracting the reference image, a memory for storing the expansion image and the contraction image obtained by the expansion and contraction processing, and an image of the inspection object captured by the image input means. Extracting means for extracting a difference between the input image and the dilated image and the eroded image in the memory each time the obtained grayscale image is input; and determining whether or not there is a defect in the object from the extraction result by the difference extracting means. An inspection apparatus comprising: data generation means for generating determination data for determination.
画像から膨張画像上の対応画素の明るさよりも明るい画
素および収縮画像上の対応画素の明るさよりも暗い画素
を抽出する請求項5に記載された検査装置。6. The method according to claim 5, wherein the difference extracting unit extracts a pixel brighter than a corresponding pixel on the dilated image and a pixel darker than the corresponding pixel on the contracted image from the grayscale image of the inspection object. Inspection device described.
って、 前記データ生成手段は、判定用データとして、前記膨張
画像および収縮画像のそれぞれに対する差異抽出結果を
統合した欠陥抽出画像を生成し、 生成された欠陥抽出画像をモニタ画面上に表示する表示
制御手段を具備して成る検査装置。7. The apparatus according to claim 5, wherein the data generation unit generates a defect extraction image in which a difference extraction result for each of the dilated image and the contracted image is integrated as the determination data. And a display control means for displaying the generated defect extraction image on a monitor screen.
置において、 前記データ生成手段により生成された判定用データを用
いて前記検査対象物に欠陥があるか否かを判別する判別
手段と、前記判別結果を出力する出力手段とを具備して
成る検査装置。8. The apparatus according to claim 5, wherein the determination unit determines whether the inspection object has a defect using the determination data generated by the data generation unit. And an output unit for outputting the determination result.
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- 2000-11-01 JP JP2000334286A patent/JP2002140695A/en active Pending
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