JP2003174139A - Semiconductor module - Google Patents

Semiconductor module

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JP2003174139A
JP2003174139A JP2001370822A JP2001370822A JP2003174139A JP 2003174139 A JP2003174139 A JP 2003174139A JP 2001370822 A JP2001370822 A JP 2001370822A JP 2001370822 A JP2001370822 A JP 2001370822A JP 2003174139 A JP2003174139 A JP 2003174139A
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Japan
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module
semiconductor
electronic component
protective case
supporting
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JP2001370822A
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Japanese (ja)
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Kensuke Tokida
健祐 常田
Atsushi Nakamura
淳 中村
Tomohiko Sato
朝彦 佐藤
Toshio Miyazawa
敏生 宮澤
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Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
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Hitachi Ltd
Eastern Japan Semiconductor Technologies Inc
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/721Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
    • H10W90/726Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

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  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 メモリモジュールなどを含む半導体モジュー
ルの製品毎に専用の支え治具の作成を不要とし、さらに
この専用の支え治具の取り付けを不要として、製品のコ
ストダウンを実現することができる半導体モジュールを
提供する。 【解決手段】 TCPを搭載したメモリモジュールであ
って、複数の半導体パッケージ1と、正規の電子部品2
と、モジュール基板3と、保護ケース4と、支持用の電
子部品5などから構成され、支持用の電子部品5は、モ
ジュール基板3上に半導体パッケージ1および正規の電
子部品2などと同様に実装され、保護ケース4の変形に
よる半導体パッケージ1、正規の電子部品2などを保護
するために、保護ケース4を支える電子部品であり、メ
モリモジュールの所定の回路を形成するモジュール基板
3上の電源および正規の配線と電気的に非接続で、正規
の電子部品2と同じチップコンデンサ、チップ抵抗、小
型のICなどが用いられる。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To eliminate the need to create a dedicated support jig for each product of a semiconductor module including a memory module, and to eliminate the need to attach the dedicated support jig, thereby realizing a cost reduction of the product. A semiconductor module is provided. Kind Code: A1 A memory module equipped with a TCP, comprising: a plurality of semiconductor packages;
, A module substrate 3, a protective case 4, and supporting electronic components 5, and the supporting electronic components 5 are mounted on the module substrate 3 in the same manner as the semiconductor package 1 and the regular electronic components 2. In order to protect the semiconductor package 1 and the legitimate electronic component 2 due to the deformation of the protective case 4, the electronic component supports the protective case 4, and includes a power supply and a power supply on the module substrate 3 forming a predetermined circuit of the memory module. A chip capacitor, a chip resistor, a small IC, and the like that are not electrically connected to the regular wiring and are the same as the regular electronic component 2 are used.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体モジュール
に関し、特にTCP(Tape CarrierPac
kage)、CSP(Chip Size Packa
ge)などのメモリパッケージをモジュール基板上に実
装したメモリモジュールに適用して有効な技術に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor module, and more particularly to a TCP (Tape Carrier Pac).
Kage), CSP (Chip Size Packa)
ge) is applied to a memory module having a memory package mounted on a module substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】本発明者が検討した技術として、メモリ
モジュールに関しては、以下のような技術が考えられ
る。
2. Description of the Related Art As a technique studied by the present inventor, the following technique can be considered for a memory module.

【0003】たとえば、TCPスタック技術を使ってD
RAMなどのメモリを積層構造にし、モジュール基板上
に実装することで同じ占有面積で2倍のメモリ実装密度
を実現する方法がある。この方法では、ポリイミドテー
プに実装されたメモリチップがむき出しになるため、メ
モリモジュール上でそのメモリチップを保護するため
の、金属の弾性力を活用した金属製の保護ケースでメモ
リチップを保護している。
For example, using TCP stack technology, D
There is a method in which a memory such as a RAM has a laminated structure and is mounted on a module substrate to realize double the memory mounting density in the same occupied area. In this method, the memory chip mounted on the polyimide tape is exposed, so protect the memory chip on the memory module with a metal protective case that utilizes the elastic force of the metal. There is.

【0004】なお、このようなメモリモジュールに関す
る技術としては、たとえば2000年7月28日、株式
会社工業調査会発行、社団法人エレクトロニクス実装学
会編の「エレクトロニクス実装大事典」P545〜P5
47に記載される技術などが挙げられる。
As a technique relating to such a memory module, for example, "Electronics Packaging Encyclopedia" P545-P5, published by Industrial Research Institute Co., Ltd., July 28, 2000, edited by Japan Institute of Electronics Packaging.
47 and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
なメモリモジュールについて、本発明者が検討した結
果、以下のようなことが明らかとなった。
By the way, as a result of the present inventor's examination of the memory module as described above, the following has been clarified.

【0006】たとえば、前記のようなメモリモジュール
では、メモリチップを保護するための保護ケースの板厚
が薄いため、このケースに力を加えてもメモリチップま
で曲がっていかないように、保護ケースを支える治具を
使用する必要がある。たとえば図8に示すように、支え
治具31はプラスチック製などにより作成され、モジュ
ール基板3上に半導体パッケージ1および正規の電子部
品2などとともに配置されている。
For example, in the memory module as described above, since the protective case for protecting the memory chip is thin, the protective case is supported so that the memory chip does not bend even if force is applied to the case. You need to use a jig. For example, as shown in FIG. 8, the support jig 31 is made of plastic or the like, and is arranged on the module substrate 3 together with the semiconductor package 1 and the regular electronic component 2.

【0007】このようなメモリモジュールでは、保護ケ
ースを支えるために、プラスチック製の支え治具をメモ
リモジュールの製品毎に作成しているため、コストアッ
プになっている。すなわち、モジュール基板上に実装さ
れるメモリや電子部品の配置に合わせて、製品毎に専用
に支え治具を作成することが必要となる。また、メモリ
モジュールの製造工程において、支え治具を取り付ける
という作業が発生し、作業時間的にもコストアップにつ
ながっている。
In such a memory module, a plastic support jig is formed for each memory module product in order to support the protective case, resulting in an increase in cost. That is, it is necessary to create a dedicated support jig for each product in accordance with the arrangement of the memory and electronic components mounted on the module substrate. Further, in the manufacturing process of the memory module, the work of attaching the supporting jig occurs, which leads to an increase in the work time.

【0008】そのために、本発明者は、メモリモジュー
ルの製品毎に専用に作成していた支え治具に汎用性を持
たせるために、メモリモジュールに実装されているチッ
プ部品を流用することを考え付いた。すなわち、特定の
チップ部品を、回路的な機能を持たせずに、単に支え治
具としての働きを持たせるようにしたものである。
Therefore, the inventor of the present invention contemplates diverting the chip parts mounted on the memory module in order to give versatility to the supporting jig that is specially prepared for each memory module product. It was That is, the specific chip component does not have a circuit-like function but merely functions as a supporting jig.

【0009】そこで、本発明の目的は、メモリモジュー
ルなどを含む半導体モジュールの製品毎に専用の支え治
具の作成を不要とし、さらにこの専用の支え治具の取り
付けを不要として、製品のコストダウンを実現すること
ができる半導体モジュールを提供するものである。
Therefore, an object of the present invention is to reduce the cost of the product by eliminating the need to create a dedicated supporting jig for each product of the semiconductor module including the memory module and the installation of the dedicated supporting jig. It is intended to provide a semiconductor module capable of realizing the above.

【0010】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。
Among the inventions disclosed in the present application, a brief description will be given to the outline of typical ones.
It is as follows.

【0012】本発明は、前記目的を達成するために、保
護ケースの支え治具を、電子部品(チップコンデンサや
チップ抵抗など)を使って実現するものである。つま
り、電源および正規の配線に接続されていない電子部品
搭載用のパッドをモジュール基板に設けて、そこに半導
体パッケージや正規の電子部品を搭載する際に一緒に保
護ケース支え用の電子部品を搭載して半田接続し、その
電子部品で保護ケースを支えることを可能とするもので
ある。
In order to achieve the above object, the present invention realizes a supporting jig for a protective case by using electronic parts (chip capacitor, chip resistor, etc.). In other words, the module board is provided with pads for mounting electronic components that are not connected to the power supply and regular wiring, and when mounting a semiconductor package or regular electronic components there, the electronic components for supporting the protective case are also mounted. Then, it is possible to solder-connect and support the protective case with the electronic parts.

【0013】すなわち、本発明による半導体モジュール
は、複数の半導体パッケージと、これらの半導体パッケ
ージを実装するモジュール基板と、このモジュール基板
上に実装された複数の半導体パッケージを保護するため
の保護ケースと、モジュール基板上に半導体パッケージ
と同様に実装され、保護ケースを支持するための支持用
の電子部品とを有するものである。
That is, a semiconductor module according to the present invention includes a plurality of semiconductor packages, a module board on which the semiconductor packages are mounted, a protective case for protecting the plurality of semiconductor packages mounted on the module board, The module is mounted on the module substrate in the same manner as the semiconductor package and has a supporting electronic component for supporting the protective case.

【0014】さらに、前記半導体モジュールにおいて、
支持用の電子部品は、モジュール基板上に実装される正
規の電子部品と同じ部品からなるものである。また、こ
の支持用の電子部品は、チップ部品からなり、モジュー
ル基板上の電源および正規の配線と電気的に非接続とな
るようにしたものである。
Further, in the above semiconductor module,
The supporting electronic component is the same component as a regular electronic component mounted on the module substrate. The supporting electronic component is a chip component and is electrically disconnected from the power source and regular wiring on the module substrate.

【0015】また、前記半導体モジュールにおいて、半
導体パッケージは、メモリパッケージに適用するように
したものである。
Further, in the semiconductor module, the semiconductor package is applied to a memory package.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明す
るための全図において、同一の機能を有する部材には同
一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In all the drawings for explaining the embodiments, members having the same function are designated by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted.

【0017】(実施の形態1)図1は本発明の実施の形
態1の半導体モジュールを示す平面図、図2は本実施の
形態の半導体モジュールにおいて、保護ケースを取り外
した状態を示す平面図、図3は半導体モジュールの要部
を示す断面図、図4は半導体パッケージを示す断面図、
図5は半導体モジュール、およびこの半導体モジュール
に実装される半導体パッケージの製造方法を示すフロー
図である。
(First Embodiment) FIG. 1 is a plan view showing a semiconductor module according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing a state in which a protective case is removed in the semiconductor module according to the present embodiment, FIG. 3 is a sectional view showing a main part of a semiconductor module, FIG. 4 is a sectional view showing a semiconductor package,
FIG. 5 is a flowchart showing a method for manufacturing a semiconductor module and a semiconductor package mounted on the semiconductor module.

【0018】まず、図1〜図3により、本発明の実施の
形態1の半導体モジュールの構成の一例を説明する。
First, an example of the configuration of the semiconductor module according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0019】本実施の形態の半導体モジュールは、たと
えばTCPを搭載したメモリモジュールとされ、複数の
半導体パッケージ1と、正規の電子部品2と、半導体パ
ッケージ1および正規の電子部品2などを実装するモジ
ュール基板3と、このモジュール基板3上に実装された
半導体パッケージ1および正規の電子部品2などを保護
するための保護ケース4と、モジュール基板3上に半導
体パッケージ1および正規の電子部品2などと同様に実
装され、保護ケース4を支持するための支持用の電子部
品5などから構成され、モジュール基板3上の外部端子
6を通じて外部と接続可能となっている。
The semiconductor module of this embodiment is, for example, a memory module equipped with TCP, and is a module for mounting a plurality of semiconductor packages 1, regular electronic components 2, semiconductor package 1, regular electronic components 2, and the like. The board 3, the protective case 4 for protecting the semiconductor package 1 and the legitimate electronic component 2 mounted on the module board 3, and the semiconductor package 1 and the legitimate electronic component 2 on the module board 3 are the same. Is mounted on the module board 3 and is connected to the outside through the external terminals 6 on the module substrate 3.

【0020】半導体パッケージ1は、DRAMなどのメ
モリのTCPからなり、モジュール基板3の表面および
裏面に複数個実装されている。ここでは、モジュール基
板3の表面および裏面に4個ずつの半導体パッケージ1
を実装した例を示している。
The semiconductor package 1 is composed of a TCP of a memory such as a DRAM, and a plurality of semiconductor packages 1 are mounted on the front surface and the back surface of the module substrate 3. Here, four semiconductor packages 1 are provided on each of the front surface and the back surface of the module substrate 3.
An example of implementing is shown.

【0021】この半導体パッケージ1は、たとえば図4
に一例を示すように、所定の回路が形成され、表面上に
バンプ11が配置されたチップ12と、このチップ12
のバンプ11に接続される複数のインナーリード13、
および各インナーリード13につながり外部端子となる
複数のアウターリード14を含むテープ状基板15と、
チップ12の表面、およびこのチップ12のバンプ11
とテープ状基板15のインナーリード13との接続部分
などを封止する樹脂封止材16などから構成されてい
る。ここでは、センターパッド構造のチップ12を例
に、フェイスダウンタイプで搭載する例を示している
が、周辺パッド構造のチップ、フェイスアップタイプの
搭載などについても適用可能である。
This semiconductor package 1 is shown in FIG.
As an example, the chip 12 on which a predetermined circuit is formed and the bumps 11 are arranged on the surface, and the chip 12
A plurality of inner leads 13 connected to the bumps 11 of
And a tape-shaped substrate 15 including a plurality of outer leads 14 connected to the inner leads 13 and serving as external terminals,
Surface of chip 12 and bumps 11 of this chip 12
And a resin encapsulant 16 for encapsulating a connecting portion of the tape-shaped substrate 15 with the inner leads 13 and the like. Here, an example in which the chip 12 having the center pad structure is mounted as a face-down type is shown, but the chip having a peripheral pad structure, a face-up type mounting, and the like are also applicable.

【0022】正規の電子部品2は、半導体パッケージ1
とともにメモリモジュールの所定の回路を形成する電子
部品であり、たとえばチップコンデンサ、チップ抵抗、
小型のICなどが含まれる。ここでは、正規の電子部品
2として、モジュール基板3の中央部の外部端子側に1
個のチップコンデンサを実装した例を示している。
The regular electronic component 2 is the semiconductor package 1
Together with electronic components that form a predetermined circuit of the memory module, such as chip capacitors, chip resistors,
Includes small ICs. Here, as the legitimate electronic component 2, one is attached to the external terminal side of the central portion of the module substrate 3.
An example in which individual chip capacitors are mounted is shown.

【0023】モジュール基板3は、平面形状が略長方形
からなり、表面および裏面に複数個の半導体パッケージ
1が長辺方向に並んで配置され、この長辺の一方の辺の
表面および裏面に複数の外部端子6が配置されている。
このモジュール基板3は、たとえば多層配線層基板から
なり、絶縁基材がエポキシ樹脂、配線層が銅箔などの金
属薄膜で形成され、また表面および裏面の配線層には保
護用にポリイミド樹脂などの絶縁コート材が被着されて
いる。
The module substrate 3 has a substantially rectangular planar shape, and a plurality of semiconductor packages 1 are arranged on the front surface and the back surface side by side in the long side direction, and a plurality of semiconductor packages 1 are arranged on the front surface and the back surface of one of the long sides. The external terminal 6 is arranged.
This module substrate 3 is, for example, a multilayer wiring layer substrate, the insulating base material is formed of an epoxy resin, the wiring layer is formed of a metal thin film such as a copper foil, and the front and back wiring layers are formed of a polyimide resin or the like for protection. Insulation coating material is applied.

【0024】保護ケース4は、断面形状が略コ字状から
なり、モジュール基板3の外部端子6が配置された辺と
は反対側の辺から装着され、モジュール基板3上に実装
された半導体パッケージ1、正規の電子部品2などが覆
われる構造となっている。この保護ケース4は、たとえ
ば金属の弾性力を活用したスチールなどの金属製で作成
されている。
The protective case 4 has a substantially U-shaped cross section, is mounted from the side of the module substrate 3 opposite to the side on which the external terminals 6 are arranged, and is mounted on the module substrate 3. 1. The structure is such that the legitimate electronic component 2 and the like are covered. The protective case 4 is made of, for example, metal such as steel utilizing the elastic force of metal.

【0025】支持用の電子部品5は、保護ケース4の変
形による半導体パッケージ1、正規の電子部品2などを
保護するために、保護ケース4を支える電子部品であ
り、メモリモジュールの所定の回路を形成するモジュー
ル基板3上の電源および正規の配線と電気的に非接続
で、正規の電子部品2と同じ電子部品からなり、たとえ
ばチップコンデンサ、チップ抵抗、小型のICなどが用
いられる。ここでは、支持用の電子部品5として、モジ
ュール基板3の中央部の外部端子側を除き、半導体パッ
ケージ1の間に5個のチップコンデンサを実装した例を
示している。
The supporting electronic component 5 is an electronic component that supports the protective case 4 in order to protect the semiconductor package 1, the legitimate electronic component 2 and the like due to the deformation of the protective case 4, and a predetermined circuit of the memory module. It is not electrically connected to the power supply and the regular wiring on the module substrate 3 to be formed, and is made of the same electronic component as the regular electronic component 2, and for example, a chip capacitor, a chip resistor, a small IC, etc. are used. Here, as the supporting electronic component 5, an example is shown in which five chip capacitors are mounted between the semiconductor packages 1 except for the external terminal side of the central portion of the module substrate 3.

【0026】以上のように構成されるメモリモジュール
では、正規の電子部品2と同様の電子部品5を保護ケー
ス4の支え治具として使用し、そのために電源および正
規の配線に接続されていない電子部品搭載用のパッドを
モジュール基板3に設けて、そこに半導体パッケージ1
や正規の電子部品2を搭載する際に一緒に支持用の電子
部品5を搭載して半田接続することで、この電子部品5
で保護ケース4を支えることが可能となっている。
In the memory module configured as described above, the electronic component 5 similar to the regular electronic component 2 is used as a support jig for the protective case 4, and therefore, the electronic components not connected to the power source and the regular wiring are used. A pad for mounting a component is provided on the module substrate 3, and the semiconductor package 1 is placed there.
By mounting the supporting electronic component 5 and soldering together when the regular electronic component 2 is mounted, the electronic component 5
It is possible to support the protective case 4 with.

【0027】次に、図5により、本実施の形態の半導体
モジュール、およびこの半導体モジュールに実装される
半導体パッケージの製造方法の一例を説明する。
Next, an example of a method of manufacturing the semiconductor module of this embodiment and the semiconductor package mounted on this semiconductor module will be described with reference to FIG.

【0028】(1)用意工程(ステップS1) この工程において、半導体パッケージ1、正規の電子部
品2、モジュール基板3、保護ケース4、支持用の電子
部品5などを用意する。この半導体パッケージ1として
用いるTCPは、たとえばチップバンプ付け(ステップ
S101)、インナーリードボンディング(ステップS
102)、封止材塗布(ステップS103)、テープ切
断(ステップS104)、バーンイン(ステップS10
5)、電気的特性試験(ステップS106)、外形切断
(ステップS107)、外観検査(ステップS10
8)、などの各工程を経て完成されたものをメモリモジ
ュールへの実装に用いる。
(1) Preparation Step (Step S1) In this step, the semiconductor package 1, the legitimate electronic component 2, the module substrate 3, the protective case 4, the supporting electronic component 5 and the like are prepared. The TCP used as the semiconductor package 1 includes, for example, chip bumping (step S101) and inner lead bonding (step S101).
102), sealing material application (step S103), tape cutting (step S104), burn-in (step S10).
5), electrical characteristic test (step S106), outer shape cutting (step S107), visual inspection (step S10)
8), etc. that have been completed through the respective steps are used for mounting on the memory module.

【0029】(2)半田塗布(裏面)工程(ステップS
2) この工程において、モジュール基板3の裏面のパッド上
に印刷機で半田ペーストを塗布する。
(2) Solder application (back surface) process (step S
2) In this step, solder paste is applied to the pads on the back surface of the module substrate 3 with a printing machine.

【0030】(3)部品搭載工程(ステップS3) この工程において、モジュール基板3の裏面に半導体パ
ッケージ1、正規の電子部品2とともに、支持用の電子
部品5を一緒に搭載する。
(3) Component Mounting Step (Step S3) In this step, the supporting electronic component 5 is mounted together with the semiconductor package 1 and the regular electronic component 2 on the back surface of the module substrate 3.

【0031】(4)半田付け工程(ステップS4) この工程において、モジュール基板3のパッドと搭載さ
れた半導体パッケージ1、正規の電子部品2、支持用の
電子部品5の端子とを接続する。この工程では、たとえ
ば半導体パッケージ1のTCPのように端子がテープ構
造の場合は半田ペーストを溶融して圧着により接合し、
またリード構造の場合はリフローにより加熱して半田ペ
ーストを溶融させて半田付けを行うなどの方法が用いら
れる。
(4) Soldering Step (Step S4) In this step, the pads of the module substrate 3 are connected to the mounted semiconductor package 1, the legitimate electronic component 2, and the terminals of the supporting electronic component 5. In this step, when the terminals have a tape structure like TCP of the semiconductor package 1, the solder paste is melted and bonded by pressure bonding,
In the case of a lead structure, a method of heating by reflow to melt the solder paste and soldering is used.

【0032】(5)半田塗布(表面)工程(ステップS
5)、部品搭載工程(ステップS6)、半田付け工程
(ステップS7) これらの工程においては、前記モジュール基板3の裏面
への半田塗布、部品搭載、半田付けと同じように、表面
に対して半田塗布、部品搭載、半田付けを行う。
(5) Solder application (front surface) process (step S
5), component mounting step (step S6), soldering step (step S7) In these steps, the solder is applied to the front surface in the same manner as the solder application to the back surface of the module substrate 3, the component mounting, and the soldering. Apply, mount components, and solder.

【0033】(6)外観検査工程(ステップS8) この工程において、モジュール基板3の裏面および表面
の部品搭載および半田付け工程後のモジュール基板3上
のパッドと搭載部品の端子との接続状態などを検査し、
接続不良などがないかを確認する。ここで、良品と確認
されたものは以降の工程に進み、良品でないものは不良
品として取り除く。
(6) Appearance inspection step (step S8) In this step, the mounting state of the components on the back and front surfaces of the module substrate 3 and the connection state between the pads on the module substrate 3 after the soldering step and the terminals of the mounted components are checked. Inspect,
Check if there is a bad connection. Here, the products which are confirmed to be non-defective products proceed to the subsequent steps, and those which are not non-defective products are removed as defective products.

【0034】(7)電気的特性試験工程(ステップS
9) この工程において、外観検査で良品と確認されたものに
対して、外部端子間のオープン/ショート検査、リーク
電流検査や、電源電流(動作時、スタンバイ時)の測定
などのDCテストと、メモリ回路に対して所定のテスト
パターンを用いて書き込み/読み出し動作を行う機能検
査、タイミングマージンの測定などのファンクションテ
ストを行う。ここで、良品と確認されたものは以降の工
程に進み、良品でないものは不良品として取り除く。
(7) Electrical characteristic test process (step S
9) In this process, a DC test such as an open / short test between external terminals, a leak current test, and a power supply current (during operation and standby) measurement is performed on a product that is confirmed to be non-defective by a visual inspection. A function test such as a write / read operation for a memory circuit is performed using a predetermined test pattern, and a function test such as measurement of a timing margin is performed. Here, the products which are confirmed to be non-defective products proceed to the subsequent steps, and those which are not non-defective products are removed as defective products.

【0035】(8)ケース装着工程(ステップS10) この工程において、電気的特性試験で良品と確認された
ものに対して、モジュール基板3に搭載された半導体パ
ッケージ1、正規の電子部品2とともに、支持用の電子
部品5を被い、外部端子6が露出するように保護ケース
4を装着する。
(8) Case mounting step (step S10) In this step, the semiconductor package 1 mounted on the module substrate 3, the legitimate electronic component 2 and The electronic case 5 for support is covered, and the protective case 4 is attached so that the external terminals 6 are exposed.

【0036】(9)製品表示工程(ステップS11) この工程において、保護ケース4が装着されたメモリモ
ジュールに、このメモリモジュールの製品名、ロット番
号などを印字する。
(9) Product Display Step (Step S11) In this step, the product name, lot number, etc. of this memory module are printed on the memory module in which the protective case 4 is mounted.

【0037】(10)出荷検査工程(ステップS12) この工程において、製品表示が完了したメモリモジュー
ルを出荷する前に最終検査を行う。これにより、良品と
確認されたメモリモジュールは製品として出荷すること
ができる。
(10) Shipment Inspection Step (Step S12) In this step, final inspection is performed before shipping the memory module whose product display is completed. As a result, the memory module confirmed to be non-defective can be shipped as a product.

【0038】従って、本実施の形態のメモリモジュール
によれば、保護ケース4を支持するための支持用の電子
部品5を用いることにより、この支持用の電子部品5で
保護ケース4を支えることで、たとえ保護ケース4が曲
がったときでも半導体パッケージ1、正規の電子部品2
にダメージを与えないようにすることができる。また、
支持用の電子部品5は、モジュール基板3上で電源およ
び正規の配線と電気的に接続されていないので、保護ケ
ース4が支持用の電子部品5の端子間に当たってショー
トしても何ら不具合が生じない。
Therefore, according to the memory module of the present embodiment, by using the supporting electronic component 5 for supporting the protective case 4, the supporting electronic component 5 supports the protective case 4. , Even if the protective case 4 is bent, the semiconductor package 1 and the legitimate electronic component 2
You can prevent it from damaging. Also,
Since the supporting electronic component 5 is not electrically connected to the power source and the regular wiring on the module substrate 3, even if the protective case 4 hits between the terminals of the supporting electronic component 5, a short circuit occurs. Absent.

【0039】これにより、メモリモジュールの製品毎に
専用の支え治具を作成する必要がなくなり、さらにこの
専用の支え治具を取り付ける必要がなくなるので、製造
時のコストも削減できる。すなわち、TCPスタック技
術は、現時点における最大の高密度実装技術であるが、
保護ケース4およびこの支え治具などを必要としてお
り、その部材のコストアップが最大のデメリットである
が、本実施の形態のように支え治具を削減することで、
製品のコストダウンが実現でき、競争力がさらに向上す
る。
As a result, it is not necessary to create a dedicated support jig for each memory module product, and it is not necessary to attach this dedicated support jig, so that the manufacturing cost can be reduced. That is, the TCP stack technology is the largest high-density mounting technology at the present time,
The protective case 4 and this supporting jig are required, and the cost increase of the member is the biggest demerit, but by reducing the supporting jig as in the present embodiment,
Product cost reduction can be realized and competitiveness is further improved.

【0040】(実施の形態2)図6は本発明の実施の形
態2の半導体モジュールの要部を示す断面図、図7は半
導体パッケージを示す断面図である。
(Second Embodiment) FIG. 6 is a sectional view showing a main part of a semiconductor module according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a sectional view showing a semiconductor package.

【0041】本実施の形態の半導体モジュールは、たと
えばCSPを搭載したメモリモジュールとされ、前記実
施の形態1との相違点は、モジュール基板上に実装され
る半導体パッケージをTCPからCSPに代えた点であ
る。
The semiconductor module of this embodiment is, for example, a memory module having a CSP mounted thereon, and the difference from the first embodiment is that the semiconductor package mounted on the module substrate is changed from TCP to CSP. Is.

【0042】すなわち、本実施の形態の半導体モジュー
ルは、たとえば図6に示すように、複数の半導体パッケ
ージ1aと、正規の電子部品2と、半導体パッケージ1
aおよび正規の電子部品2などを実装するモジュール基
板3と、このモジュール基板3上に実装された半導体パ
ッケージ1aおよび正規の電子部品2などを保護するた
めの保護ケース4と、モジュール基板3上に半導体パッ
ケージ1aおよび正規の電子部品2などと同様に実装さ
れ、保護ケース4を支持するための支持用の電子部品5
などから構成されている。
That is, the semiconductor module of the present embodiment has a plurality of semiconductor packages 1a, regular electronic components 2, and semiconductor package 1 as shown in FIG.
a and a legitimate electronic component 2 and the like, a module board 3, a protective case 4 for protecting the semiconductor package 1a and the legitimate electronic component 2 and the like mounted on the module substrate 3, and a module substrate 3 A supporting electronic component 5 mounted in the same manner as the semiconductor package 1a and the regular electronic component 2 for supporting the protective case 4.
Etc.

【0043】半導体パッケージ1aは、DRAMなどの
メモリのCSPからなり、モジュール基板3の表面およ
び裏面に複数個実装されている。この半導体パッケージ
1aは、たとえば図7に一例を示すように、所定の回路
が形成され、表面上にパッド21が配置されたチップ2
2と、このチップ22のパッド21に接続される複数の
リード23、および各リード23につながり外部端子と
なる複数の半田ボール24を含むテープ状基板25と、
チップ22の表面、およびこのチップ22のパッド21
とテープ状基板25のリード23との接続部分などを封
止する樹脂封止材26と、変位吸収用のエラストマ27
などから構成されている。ここでは、センターパッド構
造のチップ22を例に、Fan−inタイプで外部端子
を配置する例を示しているが、周辺パッド構造のチッ
プ、Fan−outタイプ、Fan−in/outタイ
プの配置などについても適用可能である。
The semiconductor packages 1a are composed of CSPs for memories such as DRAMs, and a plurality of them are mounted on the front and back surfaces of the module substrate 3. This semiconductor package 1a has a chip 2 on which a predetermined circuit is formed and a pad 21 is arranged on the surface, as shown in an example in FIG.
2, a plurality of leads 23 connected to the pads 21 of the chip 22, and a tape-shaped substrate 25 including a plurality of solder balls 24 connected to the leads 23 and serving as external terminals,
Surface of chip 22 and pad 21 of this chip 22
And a resin encapsulant 26 for encapsulating a connection portion between the tape-shaped substrate 25 and the lead 23, and an elastomer 27 for absorbing displacement.
Etc. Here, an example of arranging the external terminals in a Fan-in type is shown by taking the chip 22 having a center pad structure as an example, but a chip having a peripheral pad structure, a Fan-out type, a Fan-in / out type arrangement, etc. Is also applicable.

【0044】正規の電子部品2、保護ケース4、支持用
の電子部品5などは、前記実施の形態1と同様であるの
で、ここでの詳細な説明は省略する。また、モジュール
基板3については、半導体パッケージ1aをCSPに代
えたことによって配線の引き回しなどが多少異なるが、
構造などは前記実施の形態1と同様である。
Since the legitimate electronic component 2, the protective case 4, the supporting electronic component 5 and the like are the same as those in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted here. Further, regarding the module substrate 3, although wiring routing and the like are slightly different because the semiconductor package 1a is replaced with a CSP,
The structure and the like are the same as those in the first embodiment.

【0045】従って、本実施の形態のメモリモジュール
によれば、半導体パッケージをTCPからCSPに代え
た場合でも、保護ケース4を支持するための支持用の電
子部品5を用いることにより、前記実施の形態1と同様
に、メモリモジュールの製品毎に専用の支え治具を作成
する必要がなくなり、さらにこの専用の支え治具を取り
付ける必要がなくなるので、製造時のコストも削減でき
る。この結果、製品のコストダウンが実現でき、競争力
がさらに向上する。
Therefore, according to the memory module of the present embodiment, even when the semiconductor package is changed from TCP to CSP, by using the supporting electronic component 5 for supporting the protective case 4, the above-mentioned embodiment is realized. As in the first embodiment, it is not necessary to create a dedicated support jig for each memory module product, and it is not necessary to attach this dedicated support jig, so the manufacturing cost can be reduced. As a result, the cost of the product can be reduced and the competitiveness is further improved.

【0046】以上、本発明者によってなされた発明をそ
の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前
記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It goes without saying that it is possible.

【0047】たとえば、前記実施の形態においては、T
CP、CSPを搭載したメモリモジュールに適用した場
合について説明したが、ロジック、プロセッサなどにも
応用することができ、特に保護ケース付きの半導体モジ
ュール全般に広くて適用することができる。
For example, in the above embodiment, T
Although the case where the present invention is applied to the memory module having the CP and CSP is described, the present invention can be applied to the logic, the processor, etc., and is particularly applicable to a wide range of semiconductor modules with a protective case.

【0048】また、保護ケースを支える支持用の電子部
品としては、チップコンデンサ、チップ抵抗などのチッ
プ部品の他に、プラスチックパッケージなどの小型のI
Cなど、半導体モジュールに実装可能な他の部品を用い
ることも可能である。
As the supporting electronic parts for supporting the protective case, in addition to chip parts such as a chip capacitor and a chip resistor, a small I package such as a plastic package is used.
It is also possible to use other components such as C that can be mounted on the semiconductor module.

【0049】さらに、この支持用の電子部品は、電源お
よび正規の配線と電気的に非接続である場合が好ましい
が、たとえばこの電子部品自体が非導電性の部品であれ
ば、電源および正規の配線に接続されていても構わな
い。
Further, it is preferable that the supporting electronic component is not electrically connected to the power source and the regular wiring. For example, if the electronic component itself is a non-conductive component, the power source and the regular wiring. It may be connected to the wiring.

【0050】また、正規の電子部品を、メモリモジュー
ルの所定の回路を形成する部品として用いるだけでな
く、保護ケースを支える支持用として共用することも可
能である。この場合には、モジュール基板上に搭載する
部品点数を低減することができる。
Further, it is possible to use not only a regular electronic component as a component for forming a predetermined circuit of the memory module but also a support for supporting the protective case. In this case, the number of components mounted on the module board can be reduced.

【0051】[0051]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
It is as follows.

【0052】(1)モジュール基板上に実装される正規
の電子部品と同じ部品を、保護ケースを支持するための
支持用の電子部品として用いることで、半導体モジュー
ルの製品毎に専用の支え治具を作成する必要がなくなる
ので、製造時のコストを削減することが可能となる。
(1) By using the same electronic component as the regular electronic component mounted on the module substrate as a supporting electronic component for supporting the protective case, a dedicated supporting jig is provided for each semiconductor module product. Since it is not necessary to create the device, it is possible to reduce the manufacturing cost.

【0053】(2)前記(1)により、専用の支え治具
を取り付ける必要がなくなるので、より一層、製造時の
コストを削減することが可能となる。
(2) According to the above (1), it is not necessary to attach a dedicated supporting jig, so that it is possible to further reduce the manufacturing cost.

【0054】(3)前記(1)および(2)により、メ
モリモジュールなどを含む半導体モジュールのコストダ
ウンを実現することが可能となる。
(3) Due to the above (1) and (2), it is possible to realize cost reduction of a semiconductor module including a memory module and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態1の半導体モジュールを示
す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a semiconductor module according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態1の半導体モジュールにお
いて、保護ケースを取り外した状態を示す平面図であ
る。
FIG. 2 is a plan view showing the semiconductor module according to the first embodiment of the present invention with a protective case removed.

【図3】本発明の実施の形態1の半導体モジュールの要
部を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing a main part of the semiconductor module according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施の形態1の半導体モジュールにお
いて、半導体パッケージを示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a semiconductor package in the semiconductor module of the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施の形態1において、半導体モジュ
ール、およびこの半導体モジュールに実装される半導体
パッケージの製造方法を示すフロー図である。
FIG. 5 is a flowchart showing a method of manufacturing a semiconductor module and a semiconductor package mounted on the semiconductor module according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施の形態2の半導体モジュールの要
部を示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing a main part of a semiconductor module according to a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施の形態2の半導体モジュールにお
いて、半導体パッケージを示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view showing a semiconductor package in a semiconductor module according to a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の前提となる半導体モジュールにおい
て、保護ケースを取り外した状態を示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing a state in which a protective case is removed in the semiconductor module which is the premise of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1a 半導体パッケージ 2 正規の電子部品 3 モジュール基板 4 保護ケース 5 支持用の電子部品 6 外部端子 11 バンプ 12 チップ 13 インナーリード 14 アウターリード 15 テープ状基板 16 樹脂封止材 21 パッド 22 チップ 23 リード 24 半田ボール 25 テープ状基板 26 樹脂封止材 27 エラストマ 31 支え治具 1,1a Semiconductor package 2 Regular electronic components 3 module board 4 protective case 5 Electronic components for support 6 external terminals 11 bumps 12 chips 13 Inner lead 14 Outer leads 15 Tape substrate 16 Resin sealing material 21 pads 22 chips 23 Lead 24 solder balls 25 tape substrate 26 Resin encapsulant 27 Elastomer 31 Support jig

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 淳 群馬県高崎市西横手町1番地1 日立東部 セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者 佐藤 朝彦 群馬県高崎市西横手町1番地1 日立東部 セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者 宮澤 敏生 群馬県高崎市西横手町1番地1 日立東部 セミコンダクタ株式会社内   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Jun Nakamura             1 Hitachi-1 Yokote-cho, Takasaki-shi, Gunma East Hitachi             Within Semiconductor Corporation (72) Inventor Asahiko Sato             1 Hitachi-1 Yokote-cho, Takasaki-shi, Gunma East Hitachi             Within Semiconductor Corporation (72) Inventor Toshio Miyazawa             1 Hitachi-1 Yokote-cho, Takasaki-shi, Gunma East Hitachi             Within Semiconductor Corporation

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の半導体パッケージと、 前記複数の半導体パッケージを実装するモジュール基板
と、 前記モジュール基板上に実装された前記複数の半導体パ
ッケージを保護するための保護ケースと、 前記モジュール基板上に前記複数の半導体パッケージと
同様に実装され、前記保護ケースを支持するための支持
用の電子部品とを有することを特徴とする半導体モジュ
ール。
1. A plurality of semiconductor packages, a module board on which the plurality of semiconductor packages are mounted, a protective case for protecting the plurality of semiconductor packages mounted on the module board, and a module case on the module board. A semiconductor module, which is mounted in the same manner as the plurality of semiconductor packages, and has a supporting electronic component for supporting the protective case.
【請求項2】 請求項1記載の半導体モジュールにおい
て、 前記支持用の電子部品は、前記モジュール基板上に実装
される正規の電子部品と同じ部品からなることを特徴と
する半導体モジュール。
2. The semiconductor module according to claim 1, wherein the supporting electronic component is the same component as a regular electronic component mounted on the module substrate.
【請求項3】 請求項2記載の半導体モジュールにおい
て、 前記支持用の電子部品は、チップ部品からなることを特
徴とする半導体モジュール。
3. The semiconductor module according to claim 2, wherein the supporting electronic component is a chip component.
【請求項4】 請求項2記載の半導体モジュールにおい
て、 前記支持用の電子部品は、前記モジュール基板上の電源
および正規の配線と電気的に非接続であることを特徴と
する半導体モジュール。
4. The semiconductor module according to claim 2, wherein the supporting electronic component is not electrically connected to a power source and regular wiring on the module substrate.
【請求項5】 請求項1記載の半導体モジュールにおい
て、 前記半導体パッケージは、メモリパッケージからなるこ
とを特徴とする半導体モジュール。
5. The semiconductor module according to claim 1, wherein the semiconductor package is a memory package.
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