JP2003172683A

JP2003172683A - 走査型プローブ顕微鏡

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Publication number: JP2003172683A
Application number: JP2001375784A
Authority: JP
Inventors: Amiko Saito; 亜三子齋藤; Kazunori Ando; 和徳安藤
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2001-12-10
Filing date: 2001-12-10
Publication date: 2003-06-20
Anticipated expiration: 2021-12-10
Also published as: JP3949948B2

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の試料の表面物性をバラツキなく測定す
る、また複数の測定試料成分の物性をバラツキなく同時
に測定する走査型プローブ顕微鏡の提供。【解決手段】先端に微小な探針を有するカンチレバー
を有し、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微
鏡において、較正試料と測定試料を並べて設置し、まず
探針に付着物が無いときに較正試料上で物性を測定し、
次に測定試料上に測定試料成分を探針に付着させ、較正
試料上に移動させて較正試料上で探針に付着した測定試
料成分の物性を測定するようにした。また、較正試料上
に複数の試料成分を独立に分散させ測定することで、較
正試料に付着した複数の測定試料成分の物性を測定比較
するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、先端に微小な探針
を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する
手段とカンチレバーまたは試料を一定周期で所望の振幅
量で振動させる振動手段と試料を移動させる試料移動手
段とからなり、試料の表面物性を測定する走査型プロー
ブ顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の走査型プローブ顕微鏡は、先端に
微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位
を検出する手段とカンチレバーと試料間の距離を一定周
期で所望の振幅量で振動させる手段と試料を移動させる
試料移動手段を有し、測定したい個々の試料ごとに測定
領域内における粘弾性特性などの表面物性が測定されて
いた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の走査型プローブ
顕微鏡では、探針を試料表面に接触させるときカンチレ
バーの種類によるバラツキや同一種類でも探針形状の個
々のバラツキにより針先Ｒが異なると、試料との接触面
積が異なるため、先鋭化されているがゆえに小さなバラ
ツキでも接触面積で決まる応力が大きく変化してしま
い、試料毎に測定する表面物性を比較できない欠点があ
った。特に試料成分が針先に付着した状態では、測定試
料面との接触面積も付着の進行で変化してしまう欠点が
あった。また、同一のカンチレバーで試料毎に順に測定
比較するため複数試料のうちのある試料成分のみ針先に
付着した状態で次の試料を測定することになるので複数
の試料の表面物性を正確に測定比較できない欠点もあっ
た。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明では、先端に微小な探針を有するカンチ
レバーとカンチレバーの変位を検出する手段とカンチレ
バーと試料間の距離を一定周期で所望の振幅量で振動さ
せる手段と試料を移動させる試料移動手段とからなり、
試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡におい
て、較正試料と測定試料を並べて設置し、まず探針に付
着物が無いときに較正試料上で物性を測定し、次に測定
試料上に探針を接触させて測定試料成分を探針に付着さ
せ、付着させたままの探針を較正試料上に移動させて、
較正試料上で探針に付着した測定試料成分の物性を測定
するようにした。また、較正試料上に複数の試料成分を
独立に分散し、測定したい領域内を測定することで較正
試料に付着した複数の測定試料成分の物性を測定比較す
るようにした。

【０００５】

【発明の実施の形態】本発明は、図に示すように先端に
微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位
を検出する手段とカンチレバーまたは試料を一定周期で
所望の振幅量で振動させる振動手段と試料を移動させる
試料移動手段とからなり、試料の表面物性を測定する走
査型プローブ顕微鏡において、較正試料と測定試料を並
べて設置し、まず探針に付着物が無いときに較正試料上
で物性を測定し、次に測定試料上に探針を接触させて測
定試料成分を探針に付着させ、付着させたままの探針を
較正試料上に移動させて、較正試料上で探針に付着した
測定試料成分の物性を測定するようにした。また較正試
料上に複数の試料成分を独立に分散させ、測定したい領
域内を測定することで、較正試料に付着した複数の測定
試料成分の物性測定比較を可能にした。

【０００６】

【実施例】実施例について図面を参照して説明すると、
図１、図２、図３は走査型プローブ顕微鏡の測定におけ
る本発明の方式の模式図である。カンチレバーまたは試
料を一定周期で所望の振幅量で振動させる手段として、
試料移動手段に内蔵する上下動作をモジュレーション入
力として利用する場合について、また表面物性測定の中
で粘弾性特性を測定する例を図１で説明する。カンチレ
バー１の先端には探針２があり、試料３と接触してい
る。試料３は試料台４の上に設置されている。試料台４
は試料移動手段５に設置されている。試料移動手段５は
上下方向の動作と水平方向の動作が可能である。上下方
向に動作させることで、針先を試料面に対して押し付け
と離しの繰り返しの振動を与えることができる。水平方
向の動作では、探針と試料面接触位置を相対的に移動さ
せることができる。試料への振動は、試料移動手段５に
内蔵する上下動作によりモジュレーション入力６として
与えられる。カンチレバー１にはレーザ７が照射されて
いて、反射光は変位検出手段８に到達する。変位検出手
段８への到達位置によりカンチレバー１の変位が出力信
号９として得られる。

【０００７】モジュレーション入力６には一般に正弦波
が利用され、出力信号９の波形は入力波形に対して時間
的に遅れる特性となる。時間的遅れの大きさは試料３の
粘弾性特性を代表する値となる。またモジュレーション
入力の振幅をＡ０とすると出力信号の振幅はＡ１とな
る。試料３がやわらかければ出力振幅Ａ１は入力振幅Ａ
０より小さくなる。従って出力振幅Ａ１の大きさでも試
料３の粘弾性特性が測定できる。なおモジュレーション
入力６として試料移動手段５の代わりにカンチレバー１
側に設置された別の振動手段１０を用いてもよい。

【０００８】次に探針先端に試料成分を付着する手順を
図２および図３に示す。試料台上に較正試料１２と測定
する試料３を並べて設置する。まず探針２を付着物が無
い状態で較正試料１２上に移動させて較正試料上でモジ
ュレーション入力を加え、入力波形に対する出力波形の
応答を測定する。次に探針２を試料３上に移動させて探
針２を試料に対して押し付けるなどの操作で探針先端に
試料成分を付着させて付着試料１１を形成させる。次に
付着試料の付いた探針を較正試料上１２へ移動させ較正
試料１２上でモジュレーション入力を加え、入力波形に
対する出力波形の応答を測定する。前述の時間的遅れ、
あるいは出力振幅の大きさを測定比較し探針に付着した
試料成分の粘弾性特性を測定する。

【０００９】従来の走査プローブ顕微鏡のように測定試
料毎に測定する場合には、探針が測定する試料上にある
状態で入力波形に対する出力波形の応答を見ることにな
る。探針は先鋭化されているので試料表面への潜り方次
第で接触面積はバラツキやすいため、接触面積で決まる
応力もばらつく。また探針への付着の進行に伴い測定す
る試料との接触面積も変化しやすく同じく応力もばらつ
く。本実施例では付着物が無い探針により較正試料上で
物性を測定して、次に探針に試料成分を付着させてから
較正試料上で物性を測定し、物性の差を見ることで比較
をする。較正試料は平面であり、変形の起きないかたさ
を持つことで付着物のみの粘弾性特性を測定することが
できる。

【００１０】図４に探針でスキャンをさせて、探針に試
料成分を付着させるとした別の実施例を示す。図４
（Ａ）に示すように、まず探針２を試料３に接触させ
る。次に図４（Ｂ）に示すように、試料移動手段により
試料３を左方向へ移動し、探針２を試料３上でスキャン
させることで測定試料成分を探針先端に絡め取り、探針
２に微量の測定試料を付着させる。探針２に微量の試料
３が付着した後スキャンを停止させて試料表面から探針
を離すと、図４（Ｃ）に示すように探針２に微量の付着
試料１１が形成された状態となる。

【００１１】図５にカンチレバーに電位をかけて試料成
分を付着させる別の実施例を示す。図５（Ａ）に示すよ
うにカンチレバー１の表面に導電処理３１を施す。図５
（Ｂ）に示すように電流を流す手段３２に取り付け、探
針２を試料面に接触させる。電流を流す手段３２によ
り、導電処理した探針２に試料３が例えば静電気力で付
着するように探針２に印加する電位の方向を決める。探
針２に試料が付着した後試料３から探針２を離すと、図
５（Ｃ）に示すように探針２に微量の付着試料１１が形
成された状態となる。

【００１２】図６にカンチレバーを加熱させて試料成分
を付着させる別の実施例を示す。図６（Ａ）に示すよう
にカンチレバー１の表面に粘着処理４１を施す。図６
（Ｂ）に示すように加熱手段４２を取り付け、探針２を
試料３に接触させる。カンチレバー１を加熱することで
試料表面を溶かす、あるいは粘着性を上げる。探針２は
試料３と接触した状態で粘着性が増え、カンチレバー１
の加熱を止めることで、粘着成分が凝固あるいは室温に
もどって微量の試料３が探針２に付着する。図６（Ｃ）
で示すように、探針２を試料３より離せば、探針２に付
着試料１１が形成された状態となる。またカンチレバー
１の加熱手段４２の代わりに試料の下に加熱ヒータを設
置し加熱して試料３を溶融させて、微量の試料３を探針
２に付着させてもよい。

【００１３】複数の試料を較正試料上に分散させる手順
を図７に示す。図７（Ａ）で測定試料５１と別の測定試
料５２と較正試料１２を試料台上で水平方向に並べて設
置する。図７（Ｂ）でカンチレバー１は加熱手段４２に
取り付けられ、探針２を試料５１上に移動させて探針２
の先端に付着試料を形成させる。図７（Ｃ）で付着試料
を形成させた探針２を較正試料１２上へ移動させる。図
７（Ｄ）で加熱手段４２により探針２が加熱され、探針
２の先端に形成された付着試料は較正試料１２上に落下
し付着する。次に図７（Ｅ）で探針を別の測定試料５２
上に移動させて探針２の先端に付着試料を形成させる。
図７（Ｆ）で付着試料を形成させた探針２を較正試料１
２上へ移動させて、同じく加熱手段４２により較正試料
１２上へ落下し付着させる。図７（Ｇ）に示すように較
正試料１２上には測定試料５１の成分と別の測定試料５
２の成分が独立に分散された状態で付着する。また図７
（Ｈ）に較正試料１２上に複数の試料を分散させた際の
平面図を示す。複数の試料成分を分散させた領域につい
て入力波形に対する出力波形の時間的遅れをマッピング
することで、複数試料の粘弾性特性を接触面積のバラツ
キに左右されることなく測定比較することができる。ま
た同じく入力振幅に対する出力振幅の大きさをマッピン
グすることで複数試料の粘弾性特性を接触面積のバラツ
キに左右されることなく測定比較することもできる。ま
た複数の試料成分を分散させた領域の表面凹凸像を測定
後、各々の分散された試料成分上に探針２を移動させて
粘弾性特性の比較をしてもよい。なお探針２の付着試料
を較正試料上に落とす際、カンチレバー１の加熱手段４
２の代わりに電流を流す手段により付着試料を静電気で
離れるような電位の方向を決めて電位を印加してもよ
い。

【００１４】以上までは探針を試料面に対して押し付け
ることで得られる物性として粘弾性特性の例で説明して
きた。一方、探針を試料面から離すことに着目すれば得
られる表面物性として、試料表面の吸着特性がある。探
針に測定試料を付着後、付着試料付きの探針を較正試料
に対して接触と離しを繰り返す実施例を図８、図９、図
１０に示す。吸着の小さい試料上で上記した方法と同様
の方法で探針２に吸着の小さい付着試料６１を形成させ
てから図８（Ａ）に示すように較正試料１２に接触させ
る。吸着特性の測定目的では、かたさ較正の試料ではな
く、吸着特性の基準となる較正試料であればよい。図８
（Ｂ）で較正試料１２を下方向へ移動させると、カンチ
レバー１はつり竿状態になる。探針２がどの程度試料側
に引っ張られているかはカンチレバー１に照射されてい
るレーザの反射光の位置を変位検出器で知ることで探針
２の変位量を知ることができる。図８（Ｃ）でさらに較
正試料１２を下方向に移動させれば、付着試料６１付き
の探針２は較正試料１２から離れる。

【００１５】次に吸着の大きい試料上で上記した方法と
同様の方法で探針２に吸着の大きい付着試料６２を形成
させてから図９（Ａ）に示すように較正試料１２に接触
させる。図９（Ｂ）で試料を下方向へ移動させるとカン
チレバー１はつり竿状態になる。探針２がどの程度較正
試料１２側に引っ張られているかはカンチレバー１に照
射されているレーザの反射光の位置を変位検出器で知る
ことで探針２の変位量を知ることができる。図９（Ｃ）
でさらに較正試料１２を下方向に移動させれば、付着試
料６２付きの探針２は、較正試料１２から離れる。吸着
の大きい付着試料ではカンチレバー１のつり竿状態は顕
著で探針の変位も大きく、吸着の小さい付着試料ではカ
ンチレバーのつり竿状態の度合いは少なく探針の変位は
小さくなる。較正試料から離れるときの探針２の変位を
測定することで、探針に形成させた付着試料の吸着力の
大小、つまり吸着特性を測定できる。

【００１６】図１０、図１１に複数の試料を較正試料上
に分散させて吸着特性を測定比較することとした別の実
施例を示す。図１１（Ａ）で測定試料が付着していない
探針２で複数の試料を分散させた較正試料１２を周期的
に上下方向に振動させながらスキャンさせると、図１０
（Ｂ）で吸着の小さい付着試料６１の部分ではカンチレ
バー１のつり竿状態の度合いは少なく探針２の変位は小
さくなり、図１０（Ｃ）で吸着の大きい付着試料６２の
部分ではカンチレバー１のつり竿状態は顕著で探針２の
変位も大きくなる。探針２が離れるときの変位をマッピ
ングしていけば、図１１に示す複数試料の吸着特性のマ
ッピング像を得ることもできる。また複数の試料成分を
分散させた領域の表面凹凸像を測定後、各々の分散され
た試料成分上に探針を移動させて吸着特性の比較をして
もよい。

【００１７】測定試料を探針２に付着させた状態で試料
移動手段により試料を水平方向に相対的にずらし、カン
チレバーは摩擦などによりねじれて摩擦特性を測定する
実施例を図１２、図１３に示す。摩擦の小さい試料上で
上記した方法と同様の方法で探針２に摩擦の小さい付着
試料８１を形成させた探針を図１２（Ａ）に示す。図１
２（Ｂ）は探針２を有するカンチレバー１の長手方向が
紙面と垂直の場合を示している。付着試料付きの探針２
は較正試料１２表面に接触している。摩擦特性の測定目
的ではかたさの較正の試料ではなく、摩擦特性の基準と
なる較正試料であればよい。図１２（Ｃ）でカンチレバ
ー１がねじれやすいようにカンチレバー１の長手方向に
直交する方向に較正試料１２を移動させると、摩擦の小
さい付着試料８１の付いた探針２では、ねじれ量は小さ
くなる。次に摩擦の大きい試料上で上記した方法と同様
の方法により探針に摩擦の大きい付着試料８２を形成さ
せた探針を図１３（Ａ）に示す。図１３（Ｂ）は探針を
有するカンチレバーの長手方向が紙面と垂直の場合を示
している。摩擦の大きい付着試料８２の付いた探針２は
較正試料１２面上に接触している。図１３（Ｃ）でカン
チレバーがねじれやすいようにカンチレバーの長手方向
に直交する方向に較正試料１２を移動させると、摩擦の
大きい付着試料８２付きの探針２ではねじれ量は大きく
なる。付着試料付きの探針２に対して較正試料１２を水
平方向に移動させ、ねじれ量を変位検出手段により測定
することで測定試料の摩擦特性を測定できる。

【００１８】図１４に複数の試料を較正試料上に分散さ
せて摩擦特性を測定比較する別の実施例を示す。図１４
（Ａ）に示すように、複数の試料を分散させた較正試料
１２を水平方向（図１４では左方向）に移動させて試料
が付着していない探針２をスキャンさせると、図１４
（Ｂ）で摩擦の小さい付着試料８１の部分ではカンチレ
バーのねじれ量は小さくなり、図１４（Ｃ）で摩擦の大
きい付着試料８２の部分ではカンチレバーのねじれ量は
大きくなる。ねじれ量を変位検出手段により測定するこ
とでねじれ変位をマッピングしていけば、図１５に示す
複数試料の摩擦特性のマッピング像を得ることもでき
る。また複数の試料成分を分散させた領域の表面凹凸像
を測定後、各々の分散された試料成分上に探針を移動さ
せて摩擦特性の比較をしてもよい。また摩擦特性の測定
目的では、試料を周期的に上下方向に振動させるかわり
に、試料移動手段５の水平方向の動作で試料成分付きの
探針に対して較正試料１２を水平方向に所望の振動数、
所望の振動量で振動させながら試料面を測定していって
もよい。摩擦の小さい試料を付着させるとねじれ量が小
さく、摩擦の大きい試料を付着させるとねじれ量が大き
くなる。また、試料が付着していない探針で、水平方向
の振動（モジュレーション入力）をさせながら、同様に
複数の試料を分散させた較正試料１２の摩擦特性のマッ
ピング像を得ることもできる。

【００１９】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。

【００２０】先端に微小な探針を有するカンチレバーと
カンチレバーの変位を検出する手段とカンチレバーまた
は試料を一定周期で所望の振幅量で振動させる振動手段
と試料を移動させる移動手段とからなり、試料の表面物
性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、較正試料
と測定試料を並べて設置し、まず探針に付着物が無いと
きに較正試料上で物性を測定し、次に測定試料上に探針
を接触させて測定試料成分を探針に付着させ、付着させ
たままの探針を較正試料上に移動させて較正試料上で探
針に付着した測定試料成分の物性を測定するようにし
た。また、較正試料上に複数の試料成分を独立に分散さ
せ測定したい領域内を測定することで、較正試料に付着
した複数の測定試料成分の物性を測定比較するようにし
た。較正試料を測定してカンチレバーの応力のバラツキ
を得ることで複数の試料の表面物性をバラツキなく測定
し比較できる効果がある。また、較正試料上に複数の試
料成分を独立に分散させ測定したい領域内を測定するこ
とで、較正試料に付着した複数の測定試料成分の物性を
バラツキなく同時に得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】走査型プローブ顕微鏡で粘弾性特性を測定する
ときの本発明の模式図。

【図２】走査型プローブ顕微鏡で探針に試料を付着させ
ることを説明する模式図。

【図３】走査型プローブ顕微鏡で試料の粘弾性特性を得
る順序の説明図。

【図４】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で
スキャンによって試料成分を探針へ付着させる場合の実
施例を示す模式図。

【図５】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で
導電処理によって試料成分を探針へ付着させる場合の実
施例を示す模式図。

【図６】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で
粘着処理によって試料成分を探針へ付着させる場合の実
施例を示す模式図。

【図７】（Ａ）から（Ｆ）は、走査型プローブ顕微鏡で
複数の試料を較正試料に分散させる場合の実施例を示す
模式図。

【図８】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で
探針に付着した吸着の小さい試料成分の吸着特性を求め
る場合の実施例を示す模式図。

【図９】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で
探針に付着した吸着の大きい試料成分の吸着特性を求め
る場合の実施例を示す模式図。

【図１０】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡
で複数の試料成分を較正試料に分散後、吸着特性を求め
る場合の実施例を示す模式図。

【図１１】走査型プローブ顕微鏡で複数の試料成分分散
した較正試料の吸着特性のマッピングの模式図。

【図１２】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡
で探針に付着した摩擦の小さい試料成分の摩擦特性を求
める場合の実施例を示す模式図。

【図１３】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡
で探針に付着した摩擦の大きい試料成分の摩擦特性を求
める場合の実施例を示す模式図。

【図１４】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡
で試料成分を較正試料に分散後、摩擦特性を求める場合
の実施例を示す模式図。

【図１５】走査型プローブ顕微鏡で複数の試料成分分散
した較正試料の摩擦特性のマッピングの模式図。

【符号の説明】

１カンチレバー２探針３試料４試料台５試料移動手段６モジュレーション入力７レーザ８変位検出手段９出力信号１０別の振動手段Ａ０入力振幅Ａ１出力振幅（較正試料のとき）１１付着試料１２較正試料３１導電性処理３２電流を流す手段４１粘着処理４２加熱手段５１測定試料５２別の測定試料６１吸着の小さい付着試料６２吸着の大きい付着試料８１摩擦の小さい付着試料８２摩擦の大きい付着試料

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】先端に微小な探針を有するカンチレバー
と、該カンチレバーの変位を検出する変位検出手段と、
前記カンチレバーまたは試料を振動させる振動手段と、
試料を移動させる試料移動手段とからなり、試料の表面
物性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、測定の
基準を知るための較正試料と測定試料を並べて設置し、
該測定試料に前記探針を接触させて測定試料成分を探針
に付着させ、前記較正試料上で探針に付着した前記測定
試料成分の物性を測定することを特徴とする走査型プロ
ーブ顕微鏡。
【請求項２】前記較正試料がＳｉ基板、ＳｉＯ₂、窒
化珪素、アルミナまたはＴｉＣなどのセラミック基板、
グラファイト基板、一般金属基板などのかたさを持つ基
板であることとした、請求項１記載の走査型プローブ顕
微鏡。
【請求項３】探針に付着した測定試料成分の物性を測
定する際、付着物が無い探針により前記較正試料上で出
力振幅を測定し、次に測定試料成分を付着後、同じく前
記較正試料上で出力振幅を測定し、探針に付着した測定
試料成分の粘弾性特性を測定することとした、請求項１
記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】探針に付着物が無いときに前記較正試料
上で入力信号に対する出力信号の時間的遅れを測定し、
次に測定試料成分を付着後同様に前記較正試料上で入力
信号に対する出力信号の時間的遅れを測定し、探針に付
着した測定試料成分の物性として粘弾性特性を測定する
こととした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】前記較正試料に対して付着物付きの探針
を接触と離しを繰り返し、離す際に必要なカンチレバー
の変位量を得ることで探針に付着した測定試料成分の物
性として吸着特性を測定することとした、請求項１記載
の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】前記試料移動手段により探針に対して試
料を水平方向に移動させ、該探針のねじれ量を測定する
ことで探針に付着した測定試料成分の物性として摩擦特
性を測定することとした、請求項１記載の走査型プロー
ブ顕微鏡。
【請求項７】前記探針を測定試料上でスキャンさせる
ことにより、該探針に微量の測定試料を付着させること
とした、請求項１から６のいずれかに記載の走査型プロ
ーブ顕微鏡。
【請求項８】カンチレバーへ電流を流す手段を有し、
カンチレバー、および測定試料に予め導電性処理をし
て、探針を測定試料上に移動させて電流を流す、あるい
は瞬間的に電圧を印加させることで該探針に微量の測定
試料を電着により付着させることとした、請求項１から
６のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項９】カンチレバーを加熱する手段を設け、測
定試料上で前記カンチレバーを加熱して試料成分を溶か
し探針に測定試料を付着させ、前記カンチレバーの加熱
を止めて前記探針に微量の測定試料を付着させることと
した、請求項１から６記載のいずれかに記載の走査型プ
ローブ顕微鏡。
【請求項１０】測定試料成分を探針に付着させた状態
でカンチレバーの前記加熱する手段により付着物を加熱
し、付着成分の温度による物性変化を測定することとし
た、請求項１から９のいずれかに記載の走査型プローブ
顕微鏡。
【請求項１１】較正試料と複数の測定試料を並べて設
置し、測定試料を探針に付着させて較正試料上に付着物
を落とし、別の測定試料でも同様の操作を繰り返して前
記較正試料上に複数の付着成分を落として複数の試料成
分を独立に分散させることとした、請求項１記載の走査
型プローブ顕微鏡。
【請求項１２】前記分散させた較正試料上に探針を移
動させ、該較正試料に付着した複数の測定試料成分の物
性を測定比較することとした、請求項１１記載の走査型
プローブ顕微鏡。
【請求項１３】出力振幅を比較することで較正試料上
に分散した複数の測定試料成分の物性として粘弾性特性
を測定比較することとした、請求項１２記載の走査型プ
ローブ顕微鏡。
【請求項１４】入力信号に対する出力信号の時間的遅
れを比較することで較正試料上に分散した複数の測定試
料成分の物性として粘弾性特性を測定比較することとし
た、請求項１２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１５】前記測定比較する物性が、吸着である
こととした、請求項１２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１６】前記複数の試料成分を分散させた較正
試料を測定する際、測定領域全体をマッピングすること
とした、請求項１１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１７】物性を測定比較するとき、出力振幅を
マッピングすることで前記較正試料上に分散した複数の
測定試料成分の粘弾性特性をマッピングすることとし
た、請求項１６記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１８】物性を測定比較するとき、時間的遅れ
をマッピングすることで前記較正試料上に分散した複数
の測定試料成分の粘弾性特性をマッピングすることとし
た、請求項１６記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１９】物性を測定比較するとき、記較正試料
上に分散した複数の測定試料成分の吸着特性を測定しマ
ッピングすることとした、請求項１６記載の走査型プロ
ーブ顕微鏡。
【請求項２０】物性を測定比較するとき、較正試料上
に分散した複数の測定試料成分の摩擦特性をマッピング
することとした、請求項１６記載の走査型プローブ顕微
鏡。
【請求項２１】複数の試料成分を分散させた較正試料
表面を探針に対して水平方向に振動させながら測定する
こととした、請求項２０記載の走査型プローブ顕微鏡。