JP2003161865A - Resin-sealed optical module - Google Patents

Resin-sealed optical module

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JP2003161865A
JP2003161865A JP2001361187A JP2001361187A JP2003161865A JP 2003161865 A JP2003161865 A JP 2003161865A JP 2001361187 A JP2001361187 A JP 2001361187A JP 2001361187 A JP2001361187 A JP 2001361187A JP 2003161865 A JP2003161865 A JP 2003161865A
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弘文 藤岡
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin-sealed optical module excellent in reliability and productivity, in which resin molding does not cause a misalignment between an optical semiconductor element and optical fiber or breakage and degradation of the optical fiber. <P>SOLUTION: The resin-sealed optical module has a pigtail in which an optical fiber is disposed, and a hole which constitutes a part of an optical waveguide. It is provided with a spacer to which the pigtail is jointed, an optical transparent plug which stops the hole of spacer, an element mounting board member on which an optical semiconductor element and a lens are mounted, and a wiring board where the element mounting board member and the spacer are provided on the same plane. At least an optical waveguide between the optical semiconductor element, the lens, and the plug is sealed with a transparent first resin, while the outside of the first resin is sealed with an opaque second resin. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光通信に用いられる
光モジュールに関し、特に、レーザダイオードやフォト
ダイオード等の光半導体素子と光ファイバとを有し、樹
脂で封止された光モジュールに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module used for optical communication, and more particularly to an optical module having an optical semiconductor element such as a laser diode or a photodiode and an optical fiber and sealed with a resin. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光モジュールは、信頼性の観点か
ら、光半導体素子と光ファイバとをセラミックの箱に固
定し、このセラミックの箱を金属やセラミックの板で蓋
をし、その内部を気密に保つ構造としていた。そして、
光半導体素子と光ファイバとの光軸を合わすのは、光フ
ァイバを予めピグテールに固定し、このピグテールをセ
ラミックの箱に溶接する時に調整していた。しかし、こ
のセラミック気密構造の光モジュールは製造コストが高
いので、低コスト化の観点から、樹脂で封止する光モジ
ュールの開発が行われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, from the viewpoint of reliability, an optical module has an optical semiconductor element and an optical fiber fixed to a ceramic box, and the ceramic box is covered with a metal or ceramic plate. The structure was kept airtight. And
The optical axes of the optical semiconductor element and the optical fiber were aligned with each other when the optical fiber was fixed to the pigtail in advance and the pigtail was welded to the ceramic box. However, since the optical module having the ceramic hermetic structure has a high manufacturing cost, an optical module sealed with a resin has been developed from the viewpoint of cost reduction.

【0003】図5は、特開平9−127376号公報に
開示されている樹脂封止光モジュールの縦断面模式図で
ある。図5において、31はレーザダイオード(LDと
記す)、32はフォトダイオード(PDと記す)、33
は光ファイバ、34は素子搭載用基板部材、35はフレ
ーム基板、36は押さえ基板、37は光ファイバ支持部
材、38は光ファイバの樹脂被覆、39は透明樹脂、4
0はモールド樹脂、41は樹脂封止光モジュールであ
る。
FIG. 5 is a schematic vertical sectional view of a resin-sealed optical module disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 9-127376. In FIG. 5, 31 is a laser diode (denoted as LD), 32 is a photodiode (denoted as PD), 33
Is an optical fiber, 34 is an element mounting substrate member, 35 is a frame substrate, 36 is a pressing substrate, 37 is an optical fiber supporting member, 38 is a resin coating of the optical fiber, 39 is a transparent resin, 4
Reference numeral 0 is a mold resin, and 41 is a resin-sealed optical module.

【0004】特開平9−127376号公報に開示され
ている樹脂封止光モジュール41は、光ファイバ33が
内挿された光ファイバ支持部材37を固定する押え基板
36と、LD31やPD32等の光半導体素子が搭載さ
れた素子搭載用基板部材34とをフレーム基板35に固
定し、光半導体素子と光ファイバ33との光結合部を透
明樹脂39で覆い、さらに、全体をモールド樹脂40で
封止するものである。
The resin-sealed optical module 41 disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-127376 discloses a holding substrate 36 for fixing an optical fiber support member 37 in which an optical fiber 33 is inserted, and a light such as an LD 31 or a PD 32. An element mounting substrate member 34 on which a semiconductor element is mounted is fixed to a frame substrate 35, an optical coupling portion between the optical semiconductor element and the optical fiber 33 is covered with a transparent resin 39, and the whole is sealed with a mold resin 40. To do.

【0005】また、特開平11−68254号公報に
は、LDと光ファイバとを固定しているシリコン基板及
びこのシリコン基板を保持するリードフレームを、金型
内で熱硬化性液状樹脂により注形にてモールドされた樹
脂封止光モジュールが開示されている。
Further, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-68254, a silicon substrate fixing an LD and an optical fiber and a lead frame holding the silicon substrate are cast in a mold with a thermosetting liquid resin. Discloses a resin-sealed optical module molded in.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】前記特開平9−127
376号公報に開示されている樹脂封止光モジュール4
1のモールド樹脂での封止を、生産性の観点から、多数
のモジュールを同時に、しかも短時間でモールドができ
るトランスファー成形で行う場合、光半導体素子と光フ
ァイバ33とが光学的に結合された後、すなわち、光フ
ァイバ33を取り付けた状態で成形することになるの
で、モールド樹脂40の成形圧力により、光ファイバ3
3に外力が加わり、光半導体素子と光ファイバ33との
アライメントがずれるという問題があった。また、トラ
ンスファー成形は金型が用いられ、しかも金型は成形時
の圧力によりモールド樹脂が洩れないように、高い型締
め力で押さえられているので、金型に挟まれている光フ
ァイバの樹脂被覆38が破損し、光ファイバの信頼性が
低下するという問題があった。それと、光ファイバ33
が取り付けられているので、光モジュールの金型へのセ
ット及び金型からの取り出しに時間がかかり生産性が低
下するという問題があった。
[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-127
Resin-sealed optical module 4 disclosed in Japanese Patent No. 376
From the viewpoint of productivity, when the molding resin of No. 1 is molded by transfer molding capable of simultaneously molding a large number of modules in a short time, the optical semiconductor element and the optical fiber 33 are optically coupled. After that, that is, since the optical fiber 33 is to be molded, the optical fiber 3 is molded by the molding pressure of the molding resin 40.
There is a problem that an external force is applied to 3 and the alignment between the optical semiconductor element and the optical fiber 33 is misaligned. In addition, a mold is used for transfer molding, and the mold is pressed with a high clamping force so that the mold resin does not leak due to the pressure during molding, so the resin of the optical fiber sandwiched between the molds There is a problem that the coating 38 is damaged and the reliability of the optical fiber is lowered. And the optical fiber 33
Since the optical module is attached, there is a problem that it takes time to set the optical module in the mold and to take it out from the mold, which lowers productivity.

【0007】特開平11−68254号公報に開示され
ている注形による樹脂封止光モジュールでは、光ファイ
バの樹脂被覆が劣化するという不具合から、注形温度を
高くすることができず、樹脂封止に長時間を要し、光モ
ジュールの生産性が低くくなるとの問題があった。
In the resin-sealed optical module by casting disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-68254, the casting temperature cannot be raised because of the problem that the resin coating of the optical fiber is deteriorated, and the resin sealing is performed. There is a problem that it takes a long time to stop and the productivity of the optical module becomes low.

【0008】それと、従来の樹脂封止光モジュールは、
全体が樹脂で封止されているので、光ファイバを取り付
けたピグテールの光モジュールへの固定に、短時間で固
定でき、固定部の密閉性に優れた溶接を用いることがで
きないとの問題があった。本発明は、前記のような、従
来の樹脂封止光モジュールの課題を解決するためになさ
れたものであり、樹脂モールド時に、光半導体素子と光
ファイバとのアライメントのずれ及び光ファイバの破損
や劣化を生じない、信頼性の高い、それと、生産性に優
れた樹脂封止光モジュールを提供することである。
In addition, the conventional resin-sealed optical module is
Since the whole is sealed with resin, there is a problem that the pigtail with the optical fiber can be fixed to the optical module in a short time and welding with excellent sealing property of the fixing part cannot be used. It was The present invention has been made to solve the problems of the conventional resin-sealed optical module as described above, and during resin molding, misalignment between the optical semiconductor element and the optical fiber and damage to the optical fiber or It is an object of the present invention to provide a resin-sealed optical module which does not cause deterioration, has high reliability, and has excellent productivity.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係わる第1の樹
脂封止光モジュールは、素子搭載用基板部材に搭載され
た光半導体素子と、光ファイバとが同一光軸上に配置さ
れた構成の樹脂封止光モジュールにおいて、前記光ファ
イバが内設され保持固定されたピグテールと、前記光フ
ァイバと前記光半導体素子との間の光導波路部の一部を
形成する孔を有し、前記ピグテールが接合されたスぺー
サと、前記スぺーサの孔を塞ぐ光学透明の栓と、前記光
軸上にあり、前記光半導体素子と前記栓との間に設けら
れたレンズと、前記素子搭載用基板部材と前記スペーサ
とを同一面に設けた配線基板とが備えられており、前記
光導波路部の少なくとも前記光半導体素子と前記栓との
間が透明な第1の樹脂で封止され、前記第1の樹脂の外
側が不透明な第2の樹脂で封止されたものである。
In a first resin-sealed optical module according to the present invention, an optical semiconductor element mounted on an element mounting substrate member and an optical fiber are arranged on the same optical axis. In the resin-sealed optical module, the pigtail having the optical fiber provided therein and held and fixed, and the hole forming a part of an optical waveguide portion between the optical fiber and the optical semiconductor element, A spacer bonded to each other, an optically transparent stopper that closes the hole of the spacer, a lens that is on the optical axis and that is provided between the optical semiconductor element and the stopper, and the element mounting A wiring board having the substrate member and the spacer provided on the same surface, and at least a portion of the optical waveguide portion between the optical semiconductor element and the plug is sealed with a transparent first resin, A second opaque outer side of the first resin Those sealed with resin.

【0010】本発明に係わる第2の樹脂封止光モジュー
ルは、第1の樹脂封止光モジュールにおいて、栓が、レ
ンズであるものである。
A second resin-sealed optical module according to the present invention is the same as the first resin-sealed optical module, wherein the plug is a lens.

【0011】本発明に係わる第3の樹脂封止光モジュー
ルは、第1または2の樹脂封止光モジュールにおいて、
レンズが、素子搭載用基板部材に設けられたものであ
る。
A third resin-sealed optical module according to the present invention is the same as the first or second resin-sealed optical module,
The lens is provided on the element mounting substrate member.

【0012】本発明に係わる第4の樹脂封止光モジュー
ルは、素子搭載用基板部材に搭載された光半導体素子と
光ファイバとが同一光軸上に配置された構成の樹脂封止
光モジュールにおいて、前記光ファイバが内設され保持
固定されたピグテールと、前記光ファイバと前記光半導
体素子との間の光導波路部の一部を形成する孔を有し、
前記ピグテールが接合されたスぺーサと、前記スぺーサ
の孔を塞ぐ光学透明のレンズと、前記素子搭載用基板部
材と前記スペーサとを同一面に設けた配線基板とが備え
られており、前記光導波路部の少なくとも前記光半導体
素子と前記レンズとの間が透明な第1の樹脂で封止さ
れ、前記第1の樹脂の外側が不透明な第2の樹脂で封止
されたものである。
A fourth resin-sealed optical module according to the present invention is a resin-sealed optical module having a structure in which an optical semiconductor device mounted on a device mounting board member and an optical fiber are arranged on the same optical axis. A pigtail in which the optical fiber is provided and held and fixed, and a hole forming a part of an optical waveguide portion between the optical fiber and the optical semiconductor element,
A spacer to which the pigtail is joined, an optically transparent lens that closes the hole of the spacer, and a wiring substrate provided with the element mounting substrate member and the spacer on the same surface, At least the space between the optical semiconductor element and the lens of the optical waveguide portion is sealed with a transparent first resin, and the outside of the first resin is sealed with an opaque second resin. .

【0013】本発明に係わる第5の樹脂封止光モジュー
ルは、本発明の第1ないし4のいずれかの樹脂封止光モ
ジュールにおいて、素子搭載用基板部材が、シリコン基
板のものである。
A fifth resin-sealed optical module according to the present invention is the resin-sealed optical module according to any one of the first to fourth aspects of the present invention, wherein the element mounting substrate member is a silicon substrate.

【0014】本発明に係わる第6の樹脂封止光モジュー
ルは、本発明の第1ないし5のいずれかの樹脂封止光モ
ジュールにおいて、スペーサが、金属のものである。
A sixth resin-sealed optical module according to the present invention is the resin-sealed optical module according to any one of the first to fifth inventions, wherein the spacer is made of metal.

【0015】本発明に係わる第7の樹脂封止光モジュー
ルは、本発明の第1ないし6のいずれかの樹脂封止光モ
ジュールにおいて、第1の樹脂がシリコーン樹脂のもの
である。
A seventh resin-sealed optical module according to the present invention is the resin-sealed optical module according to any one of the first to sixth aspects of the present invention, wherein the first resin is a silicone resin.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】実施の形態1.図1は、本発明の
実施の形態1における樹脂封止光モジュールの構造を表
す断面模式図である。図1において、1はLD、2はP
D、3は光半導体素子、4は素子搭載用基板部材、5は
光ファイバ、6はピグテール、7はスペーサ、8は光導
波路の孔、9は配線基板、10は第1のレンズ、11は
栓、12は光ファイバの樹脂被覆、13は透明樹脂、1
4はモールド樹脂、15は外部電極、20は樹脂封止光
モジュールである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiment 1. FIG. 1 is a schematic sectional view showing the structure of a resin-sealed optical module according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is LD, 2 is P
D, 3 is an optical semiconductor element, 4 is an element mounting substrate member, 5 is an optical fiber, 6 is a pigtail, 7 is a spacer, 8 is an optical waveguide hole, 9 is a wiring board, 10 is a first lens, and 11 is Plug, 12 is resin coating of optical fiber, 13 is transparent resin, 1
Reference numeral 4 is a mold resin, 15 is an external electrode, and 20 is a resin-sealed optical module.

【0017】図1に示すように、本実施の形態の樹脂封
止光モジュール20は、内部電極(図示せず)と内部電
極に電気的に接続されている外部電極15とを備えた配
線基板9の同一面に、素子搭載用基板部材4とスペーサ
7とが、接して載置されている。図1には示していない
が、配線基板9には、素子搭載用基板部材4とスペーサ
7以外に、その他の半導体素子及び抵抗やコンデンサ等
の部品を搭載しても良い。素子搭載用基板部材4には、
スペーサ7に接する端とは反対側の所定位置にLD1や
PD2等の光半導体素子3が設置されており、LD1の
出射光の光軸に略一致するとともに、且つLD1の出射
光面に焦点を結ぶ位置に第1のレンズ10が設置されて
いる。本実施の形態では、第1のレンズ10は球状レン
ズであるが、球状レンズ以外の非球面レンズ等であって
も良く、レンズが予めホルダ等で固定されていても良
い。また、第1のレンズ10は1個であるが、複数のレ
ンズ群とし、その合成焦点がLD1の出射光面に結ぶよ
うに設置しても良い。図1には示していないが、素子搭
載用基板部材4にも、光半導体素子3やレンズ10によ
り形成される光導波路部以外の場所に、その他の半導体
素子及び抵抗やコンデンサ等の部品を搭載しても良い。
As shown in FIG. 1, a resin-sealed optical module 20 of the present embodiment is a wiring board having internal electrodes (not shown) and external electrodes 15 electrically connected to the internal electrodes. On the same surface of 9, the element mounting substrate member 4 and the spacer 7 are placed in contact with each other. Although not shown in FIG. 1, in addition to the element mounting board member 4 and the spacer 7, other semiconductor elements and components such as resistors and capacitors may be mounted on the wiring board 9. In the element mounting board member 4,
The optical semiconductor element 3 such as LD1 or PD2 is installed at a predetermined position on the opposite side to the end in contact with the spacer 7, and the optical semiconductor element 3 substantially coincides with the optical axis of the emitted light of the LD1 and is focused on the emitted light surface of the LD1. The first lens 10 is installed at the connecting position. Although the first lens 10 is a spherical lens in the present embodiment, it may be an aspherical lens other than the spherical lens, or the lens may be fixed in advance by a holder or the like. Further, although the first lens 10 is one, it may be installed so that a plurality of lens groups are formed and the combined focus thereof is connected to the emission light surface of the LD 1. Although not shown in FIG. 1, other semiconductor elements and components such as resistors and capacitors are also mounted on the element mounting substrate member 4 at locations other than the optical waveguide portion formed by the optical semiconductor element 3 and the lens 10. You may.

【0018】スペーサ7には、LD1から出射され、第
1のレンズ10で略平行になった光を通過させる寸法の
光導波路の孔8が設けられている。本実施の形態では、
孔8の形状は円形としたが、この形状に限定されるもの
ではなく、例えば楕円や四角形等であっても良い。この
孔8には、封止時に透明樹脂13が洩れるのを防止する
ための栓11が、スペーサ7の第1のレンズ10に対向
する面と略同一面となるようにして設けられている。こ
の栓11はLD1の出射光に対して光学透明である。本
実施の形態では、栓11はスペーサ7の第1のレンズ1
0に対向する面と略同一面となるように設けているが、
孔8の内部に設けても良い。スペーサ7には、第1のレ
ンズ10と対向する面との反対側の面に、光ファイバ5
が内設され保持固定されたピグテール6が、光ファイバ
5の光軸と、LD1及び第1のレンズ10の光軸とが一
致するようにして設けられている。
The spacer 7 is provided with a hole 8 of an optical waveguide having a size that allows the light emitted from the LD 1 and made substantially parallel by the first lens 10 to pass therethrough. In this embodiment,
Although the shape of the hole 8 is circular, the shape is not limited to this and may be, for example, an ellipse or a quadrangle. A plug 11 for preventing the transparent resin 13 from leaking at the time of sealing is provided in the hole 8 so as to be substantially flush with the surface of the spacer 7 facing the first lens 10. The plug 11 is optically transparent to the light emitted from the LD 1. In this embodiment, the stopper 11 is the first lens 1 of the spacer 7.
Although it is provided so as to be substantially flush with the surface facing 0,
It may be provided inside the hole 8. The spacer 7 has an optical fiber 5 on the surface opposite to the surface facing the first lens 10.
The pigtail 6 is internally provided and held and fixed so that the optical axes of the optical fiber 5 and the LD 1 and the first lens 10 coincide with each other.

【0019】LD1やPD2等の光半導体素子3が設け
られた部分と、光導波路部におけるLD1から第1のレ
ンズ10及びスペーサの栓11までの部分は、透明樹脂
13で封止されている。そして、透明樹脂13の外側
と、素子搭載用基板部材4と、配線基板9の素子搭載用
基板部材4の搭載面と、スペーサ7の第1のレンズ10
に対向する面とは、不透明なモールド樹脂14で封止さ
れている。本実施の形態では、配線基板9の素子搭載用
基板部材4搭載面とスペーサ7の第1のレンズ10に対
向する面とが不透明なモールド樹脂14で封止されてい
るが、配線基板9やスペーサ7の側面部もモールド樹脂
14で封止されていても良い。配線基板9やスペーサ7
の側面部までがモールド樹脂14で封止されると、樹脂
封止光モジュール20の耐湿性がさらに向上する。
The portion where the optical semiconductor element 3 such as LD1 and PD2 is provided and the portion from the LD1 to the first lens 10 and the stopper 11 of the spacer in the optical waveguide portion are sealed with the transparent resin 13. Then, the outside of the transparent resin 13, the element mounting board member 4, the mounting surface of the wiring board 9 on which the element mounting board member 4 is mounted, and the first lens 10 of the spacer 7.
The surface opposite to is sealed with an opaque mold resin 14. In the present embodiment, the element mounting substrate member 4 mounting surface of the wiring board 9 and the surface of the spacer 7 facing the first lens 10 are sealed with the opaque mold resin 14. The side surface of the spacer 7 may also be sealed with the mold resin 14. Wiring board 9 and spacer 7
If the side surface of the resin-sealed optical module 20 is sealed with the mold resin 14, the moisture resistance of the resin-sealed optical module 20 is further improved.

【0020】配線基板9には、有機系の基板、セラミッ
ク基板またはガラスセラミック基板等を用いることがで
きるが、高周波信号の電気的損失が小さく、高周波回路
の設計が比較的容易なセラミック基板やガラスセラミッ
ク基板が好ましい。そして、セラミック基板では、汎用
的で低コストなアルミナ基板が、特に好ましい。ガラス
セラミック基板も、アルミナをベースとしたものが汎用
的で低コストであるので、特に好ましい。
The wiring substrate 9 may be an organic substrate, a ceramic substrate, a glass ceramic substrate, or the like. However, the electrical loss of high frequency signals is small and the design of a high frequency circuit is relatively easy. Ceramic substrates are preferred. As the ceramic substrate, a general-purpose and low-cost alumina substrate is particularly preferable. The glass-ceramic substrate is also particularly preferably one based on alumina because it is versatile and low in cost.

【0021】素子搭載用基板部材4には、シリコン基
板、金属キャリアまたはセラミック基板を用いることが
できる。シリコン基板は、半導体プロセスにて加工でき
るので加工精度が良く、LD1やPD2の光半導体素子
3及び第1のレンズ10を精度良く位置決めすることが
できる。そのため、シリコン基板は、光学的に位置合わ
せを行うアクティブアライメントを実施せずに、その所
定位置に固定することで光学的な精度を確保できるパッ
シブアライメントが可能となり、製造時間が短縮でき、
生産性が向上するので好ましい。
As the element mounting substrate member 4, a silicon substrate, a metal carrier or a ceramic substrate can be used. Since the silicon substrate can be processed by a semiconductor process, the processing accuracy is good, and the optical semiconductor element 3 of the LD 1 or PD 2 and the first lens 10 can be positioned accurately. Therefore, the silicon substrate does not need to perform active alignment for optically aligning it, but can fix passive optical alignment by securing it at a predetermined position, which can shorten the manufacturing time.
This is preferable because productivity is improved.

【0022】スペーサ7には、ピグテール6を短時間で
かつ精度良く接合できる溶接が可能な金属やセラミック
が用いられる。特に、スペーサ7には光導波路となる孔
8が設けられており、孔加工の容易性やコストの面から
金属が好ましい。金属としては、特に限定されないが、
加工性と汎用性との面からステンレス鋼が、低熱膨張性
の面から鉄−ニッケル合金である42アロイが、特に好
ましい。
The spacer 7 is made of a metal or ceramic capable of welding the pigtail 6 in a short time and with high precision. In particular, the spacer 7 is provided with a hole 8 serving as an optical waveguide, and a metal is preferable in terms of easiness of hole processing and cost. The metal is not particularly limited,
Stainless steel is particularly preferable in terms of workability and versatility, and 42 alloy which is an iron-nickel alloy is particularly preferable in terms of low thermal expansion.

【0023】栓11は、光学透明性の面から、光モジュ
ールのレンズに用いられるものと同じ材質のものであれ
ば良い。
From the viewpoint of optical transparency, the plug 11 may be made of the same material as that used for the lens of the optical module.

【0024】透明樹脂13としては、シリコーン系樹脂
が用いられる。シリコーン系樹脂は水を拡散させるが水
を吸着させる機能は小さい、すなわち吸水量が少ないの
で、光半導体素子の腐食が起こりにくいので好ましい。
また、透明樹脂13としては、紫外線硬化型の樹脂ある
いは熱硬化型の樹脂が用いられる。透明樹脂13は、塗
布してから硬化するまでの間に広がると光導波路を形成
することが困難になるので、凸状に形状保持することが
必要である。塗布後、紫外線照射により、保持したい形
状が崩れる前に直ちに硬化させ、形状を保持することが
可能なので、紫外線硬化型樹脂が好ましい。熱硬化型の
樹脂でも、半透明になるが透過率を満たす範囲で微細な
シリカを少量添加して、チクソ性を向上させ形状保持性
を付与して用いられる。すなわち、透明樹脂13として
は、光半導体素子3が発光または受光する光信号の波長
域にて、透過率が30%以上(1mm厚)確保できれば
良い。
A silicone resin is used as the transparent resin 13. A silicone-based resin is preferable because it diffuses water but has a small function of adsorbing water, that is, it absorbs a small amount of water, so that corrosion of the optical semiconductor element does not easily occur.
Further, as the transparent resin 13, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin is used. If the transparent resin 13 spreads from the time it is applied to the time it is cured, it becomes difficult to form an optical waveguide, so it is necessary to maintain the shape in a convex shape. A UV-curable resin is preferred because it can be cured immediately after application by UV irradiation before the shape to be retained is collapsed and the shape can be retained. Even a thermosetting resin can be used by adding a small amount of fine silica within a range that is translucent but satisfies the transmittance to improve thixotropy and impart shape retention. That is, as the transparent resin 13, it suffices to ensure a transmittance of 30% or more (1 mm thickness) in the wavelength range of the optical signal emitted or received by the optical semiconductor element 3.

【0025】不透明なモールド樹脂14としては、成形
性と接着性とが良いエポキシ樹脂が好ましい。
The opaque mold resin 14 is preferably an epoxy resin having good moldability and adhesiveness.

【0026】次に、本実施の形態の樹脂封止光モジュー
ル20の製造工程を説明する。まず、素子搭載用基板部
材4上面の所定位置にLD1と、PD2と、第1のレン
ズ10とを固定する。LD1とPD2とは、半田または
接着剤等で固定する。第1のレンズ10は、素子搭載用
基板部材4の上面に光導波路に沿って溝を形成し、この
溝の所定位置に、接着剤を用いて固定する。
Next, a manufacturing process of the resin-sealed optical module 20 of this embodiment will be described. First, the LD 1, the PD 2, and the first lens 10 are fixed to predetermined positions on the upper surface of the element mounting substrate member 4. LD1 and PD2 are fixed with solder or an adhesive agent. The first lens 10 has a groove formed on the upper surface of the element mounting substrate member 4 along the optical waveguide, and is fixed at a predetermined position of the groove with an adhesive.

【0027】スペーサ7は、光導波路となる位置を孔加
工し、この孔8に、孔の直径より大きく栓11が挿入で
きる段差部を設け、この段差部に光学透明の栓11を接
着する。次に、配線基板9に、前記素子搭載用基板部材
4と前記スペーサ7とを設置し半田で固定する。この
時、前記素子搭載用基板部材4と前記スペーサ7とは、
素子搭載用基板部材4設けられたLD1から出射した光
が第1のレンズ10を通過した後、スペーサ7の孔8を
通過するように設置される。そして、LD1、PD2、
素子搭載用基板部材4に搭載された半導体素子や部品及
び、配線基板9に搭載された半導体素子や部品は、配線
基板の外部電極15に連通する内部電極にワイヤボンド
等で電気的に接続される。
A hole is formed in the spacer 7 at a position to be an optical waveguide, and a step portion having a diameter larger than the diameter of the hole into which the plug 11 can be inserted is formed in the hole, and the optically transparent plug 11 is bonded to the step portion. Next, the element mounting board member 4 and the spacer 7 are placed on the wiring board 9 and fixed by soldering. At this time, the element mounting substrate member 4 and the spacer 7 are
The light emitted from the LD 1 provided on the element mounting substrate member 4 is installed so as to pass through the hole 8 of the spacer 7 after passing through the first lens 10. And LD1, PD2,
The semiconductor elements and components mounted on the element mounting board member 4 and the semiconductor elements and components mounted on the wiring board 9 are electrically connected to internal electrodes communicating with the external electrodes 15 of the wiring board by wire bonding or the like. It

【0028】次に、LD1やPD2等の光半導体素子3
と、LD1から第1のレンズ10を経てスペーサ7の孔
8を塞ぐ栓11までの光導波路部とを、ディスペンサー
を用い透明樹脂13で封止する。さらに、この光モジュ
ールの半完成品を、金型にセットし、透明樹脂13の外
側と、素子搭載用基板部材4と、配線基板9の素子搭載
用基板部材4の搭載面と、スペーサ7の第1のレンズ1
0に対向する面とを、トランスファー成形により、不透
明なモールド樹脂で封止する。この時、外部電極が覆わ
れない範囲で配線基板9の側面部も封止して良い。スペ
ーサ7も、その側面部を封止して良い。本実施の形態で
は、光モジュールの不透明なモールド樹脂での封止は、
トランスファー成形で行われるが、金型を用い注形によ
り行っても良い。
Next, the optical semiconductor element 3 such as LD1 and PD2
Then, the LD 1 and the optical waveguide portion from the LD 1 to the plug 11 that closes the hole 8 of the spacer 7 are sealed with the transparent resin 13 using a dispenser. Further, the semi-finished product of this optical module is set in a mold, and the outside of the transparent resin 13, the element mounting board member 4, the mounting surface of the wiring board 9 on which the element mounting board member 4 is mounted, and the spacer 7. First lens 1
The surface facing 0 is sealed with an opaque mold resin by transfer molding. At this time, the side surface portion of the wiring board 9 may be sealed within the range where the external electrodes are not covered. The spacer 7 may also have its side surface sealed. In the present embodiment, the optical module is sealed with an opaque mold resin,
It is performed by transfer molding, but may be performed by casting using a mold.

【0029】最後に、スペーサ7に、光ファイバ4を固
定したピグテール5をYAG溶接により、光学的にアラ
イメントを取りながら固定し、樹脂封止光モジュール2
0を完成する。
Finally, the pigtail 5 to which the optical fiber 4 is fixed is fixed to the spacer 7 by YAG welding while being optically aligned, and the resin-sealed optical module 2
Complete 0.

【0030】本実施の形態の樹脂封止光モジュール20
は、素子搭載用基板部材4上に、LD1とPD2とが搭
載されているが、LD1またはPD2のどちらか一つで
あっても良い。PD2のみが搭載されている場合は、第
1のレンズ10はPD2の受光面に焦点を結ぶ位置に設
置される。
The resin-sealed optical module 20 of this embodiment
The LD1 and the PD2 are mounted on the element mounting substrate member 4, but either one of the LD1 and the PD2 may be mounted. When only the PD 2 is mounted, the first lens 10 is installed at a position that focuses on the light receiving surface of the PD 2.

【0031】本実施の形態の樹脂封止光モジュール20
は、光モジュールを樹脂封止した後に光ファイバを取り
付ける構造であり、トランスファー成形によるモールド
樹脂の封止においても、光ファイバに無理な力が加わら
ないので光軸をずらすことがなく、金型による光ファイ
バの樹脂被覆の破損もないので、不良の発生率が小さ
く、しかも、高い生産性で、樹脂封止光モジュールを生
産できる。また、金型を用いた注形によるモールド樹脂
の封止においても、金型温度を高くできるので、硬化時
間を短くでき、高い生産性で、樹脂封止光モジュールを
生産できる。
The resin-sealed optical module 20 of this embodiment
Is a structure in which the optical fiber is attached after resin sealing the optical module, and even when the molding resin is sealed by transfer molding, no undue force is applied to the optical fiber, so the optical axis does not shift, and Since there is no damage to the resin coating of the optical fiber, it is possible to produce a resin-sealed optical module with a low defect occurrence rate and high productivity. Also, in sealing the mold resin by casting using a mold, the mold temperature can be increased, so that the curing time can be shortened and the resin-sealed optical module can be produced with high productivity.

【0032】実施の形態2.図2は、本発明の実施の形
態2における樹脂封止光モジュールの構造を表す断面模
式図である。図2において、21は第2のレンズであ
る。
Embodiment 2. FIG. 2 is a schematic sectional view showing the structure of the resin-sealed optical module according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 2, reference numeral 21 is a second lens.

【0033】図2に示すように、本実施の形態の樹脂封
止光モジュール20は、実施の形態1の樹脂封止光モジ
ュールの栓11に換えて、第2のレンズ21を設けて、
スペーサ7の孔8を塞ぐ以外、実施の形態1と同様な構
造である。第2のレンズ21も第1のレンズ10と同
様、球状レンズや非球面レンズが用いられる。本実施の
形態では、光ファイバ5の近くに第2のレンズ21が設
けられているので、光を集光して光ファイバ5に伝送す
ることができ、光ファイバ5と光半導体素子3との光学
的結合が強くなる。
As shown in FIG. 2, the resin-sealed optical module 20 of the present embodiment has a second lens 21 in place of the plug 11 of the resin-sealed optical module of the first embodiment.
The structure is the same as that of the first embodiment except that the hole 8 of the spacer 7 is closed. As with the first lens 10, a spherical lens or an aspherical lens is also used for the second lens 21. In the present embodiment, since the second lens 21 is provided near the optical fiber 5, light can be condensed and transmitted to the optical fiber 5, and the optical fiber 5 and the optical semiconductor element 3 can be connected to each other. The optical coupling becomes stronger.

【0034】実施の形態3.図3は、本発明の実施の形
態3における樹脂封止光モジュールの構造を表す断面模
式図である。図3に示すように、本実施の形態の樹脂封
止光モジュール20では、孔8の直径より大きい第2の
レンズ21を、素子搭載用基板部材4のスペーサ7と接
する端部近傍に設ける。そして、配線基板9に素子搭載
用基板部材4とスペーサ7とを設置した時に、第2のレ
ンズ21が、孔8を覆うようにして配置され、第2のレ
ンズ21がスペーサ7に接着されている以外、実施の形
態2と同様な構造である。本実施の形態では、第2のレ
ンズ21を素子搭載用基板部材4に設けることができ、
光半導体素子3と第2のレンズ21とのアライメントが
容易である。
Embodiment 3. FIG. 3 is a schematic sectional view showing the structure of the resin-sealed optical module according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, in the resin-sealed optical module 20 of the present embodiment, the second lens 21 having a diameter larger than the diameter of the hole 8 is provided near the end of the element mounting substrate member 4 in contact with the spacer 7. Then, when the element mounting board member 4 and the spacer 7 are installed on the wiring board 9, the second lens 21 is arranged so as to cover the hole 8, and the second lens 21 is bonded to the spacer 7. Other than that, the structure is the same as that of the second embodiment. In the present embodiment, the second lens 21 can be provided on the element mounting substrate member 4,
The alignment between the optical semiconductor element 3 and the second lens 21 is easy.

【0035】実施の形態4.図4は、本発明の実施の形
態4における樹脂封止光モジュールの構造を表す断面模
式図である。本実施の形態では、素子搭載用基板部材4
上に第1のレンズ10が設けられていない以外、実施の
形態2と同様な構造であり、素子搭載用基板部材4を短
くできるので、樹脂封止光モジュール20をさらに小型
化できる。
Fourth Embodiment FIG. 4 is a schematic sectional view showing the structure of the resin-sealed optical module according to the fourth embodiment of the present invention. In the present embodiment, the element mounting substrate member 4
The structure is the same as that of the second embodiment except that the first lens 10 is not provided above, and the element mounting substrate member 4 can be shortened, so that the resin-sealed optical module 20 can be further downsized.

【0036】[0036]

【実施例】本発明を実施例により、さらに詳細に説明す
る。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail by way of examples.

【0037】実施例1.素子搭載用基板部材として、表
面に配線回路が形成され、裏面に金めっきが施されたシ
リコン基板4(長さ5mm×幅3mm×厚さ0.5m
m)が用いられる。シリコン基板4は、所定位置に、L
D1とPD2と球状の第1のレンズ10(直径1mm)
とが固定される。第1のレンズ10の固定は、位置決め
後に、シリコン基板4に設けられたV溝に接着剤等で行
われる。配線基板9としては、配線や電極部分にニッケ
ル/金メッキが施されたアルミナ基板(長さ12mm×
幅10mm×厚さ1mm)が用いられる。このアルミナ
配線基板9には、まず、所定位置に、LD1、PD2及
び第1のレンズ10を搭載したシリコン基板4が、半田
によりに固定される。
Example 1. As an element mounting board member, a wiring substrate is formed on the front surface and a gold plating is applied to the back surface of the silicon substrate 4 (length 5 mm x width 3 mm x thickness 0.5 m).
m) is used. The silicon substrate 4 is placed in a predetermined position at L
D1 and PD2 and spherical first lens 10 (diameter 1 mm)
And are fixed. After the positioning, the first lens 10 is fixed to the V groove provided in the silicon substrate 4 with an adhesive or the like. As the wiring board 9, an alumina substrate (length 12 mm x
A width of 10 mm and a thickness of 1 mm) is used. On the alumina wiring board 9, first, the silicon substrate 4 on which the LD 1, PD 2 and the first lens 10 are mounted is fixed at a predetermined position by soldering.

【0038】スペーサ7としては、ステンレス鋼板(幅
6mm×高さ5mm×厚さ2mm)が用いられる。スペ
ーサ7には、光導波路用の孔8(直径1.5mm)が設
けられ、この孔8は、第1のレンズ10と対向する側の
孔の周囲が直径2mmで段差加工がなされ、この段差部
に光学透明の栓11が接着剤で接着される。光導波路用
の孔8を有し、この孔8が光学透明の栓11で塞がれた
スペーサ7は、栓11が設けられた面を第1のレンズ1
0と対向するようにして、アルミナ配線基板9に半田で
接合される。
As the spacer 7, a stainless steel plate (width 6 mm × height 5 mm × thickness 2 mm) is used. The spacer 7 is provided with a hole 8 (diameter 1.5 mm) for the optical waveguide, and the hole 8 has a diameter of 2 mm around the hole on the side facing the first lens 10. An optically transparent stopper 11 is adhered to the portion with an adhesive. The spacer 7 having the hole 8 for the optical waveguide and the hole 8 closed with the optically transparent plug 11 has the surface on which the plug 11 is provided as the first lens 1
It is joined to the alumina wiring board 9 by solder so as to face 0.

【0039】その他、必要に応じて半導体素子や電子部
品が配線基板9の所定位置に半田で固定される。そし
て、光半導体素子3や半導体素子や電子部品と、シリコ
ン基板やアルミナ配線基板9の電極との間は、金線ワイ
ヤーにて接続される。
In addition, a semiconductor element or an electronic component is fixed to a predetermined position on the wiring board 9 by soldering, if necessary. Then, the optical semiconductor element 3 or the semiconductor element or the electronic component is connected to the electrodes of the silicon substrate or the alumina wiring substrate 9 by a gold wire.

【0040】LD1、PD2、第1のレンズ10及び栓
11間の光導波路部分は、光学的に透明なシリコーン樹
脂13で封止される。この封止は、光導波路部分にシリ
コーン樹脂13をディスペンサ−で塗布し、所定の温度
と時間で加熱硬化して行う。透明樹脂13の封止部の外
側はエポキシの不透明なモールド樹脂で封止される。不
透明なモールド樹脂による封止は、光モジュールの半完
成品を、多数個取の金型にセットし、90秒間のトラン
スファー成形で行われる。トランスファー成形後、封止
された光モジュールは、金型から取り出され、160℃
で6時間の条件でモールド樹脂の後硬化が行われる。
The optical waveguide portion between the LD 1, PD 2, the first lens 10 and the plug 11 is sealed with an optically transparent silicone resin 13. This sealing is performed by applying silicone resin 13 to the optical waveguide portion with a dispenser and heating and curing at a predetermined temperature and time. The outside of the sealing portion of the transparent resin 13 is sealed with an epoxy opaque mold resin. The encapsulation with the opaque mold resin is performed by transfer molding for 90 seconds by setting a semi-finished product of the optical module in a multi-die. After transfer molding, the sealed optical module is taken out of the mold and kept at 160 ° C.
The post-curing of the molding resin is performed under the condition of 6 hours.

【0041】不透明なモールド樹脂で封止した後、光モ
ジュールは、スペーサー7に光ファイバ5を固定したピ
グテール6を、光学的なアライメントを取りながら、Y
AG溶接により取り付ける。
After encapsulating with an opaque mold resin, the optical module is arranged so that the pigtail 6 having the optical fiber 5 fixed to the spacer 7 is optically aligned with the Y-axis.
Attach by AG welding.

【0042】実施例2.本実施例では、シリコン基板4
に、LD1とPD2と球状の第1レンズ10(直径1m
m)と球状の第2レンズ21(直径3mm)とが固定さ
れており、ステンレス鋼板のスペーサ7の光導波路用の
孔8(直径1.5mm)には、栓11は設けられておら
ず、シリコーン基板4のスペーサ7と接する端部に設け
られた第2のレンズ21でスペーサの孔8が塞がれてい
ること以外、実施例1と同様な構造の樹脂封止光モジュ
ール20である。
Example 2. In this embodiment, the silicon substrate 4
In addition, LD1 and PD2 and the spherical first lens 10 (diameter 1 m
m) and the spherical second lens 21 (diameter 3 mm) are fixed, and the stopper 11 is not provided in the optical waveguide hole 8 (diameter 1.5 mm) of the spacer 7 of the stainless steel plate. The resin-sealed optical module 20 has the same structure as that of the first embodiment, except that the second lens 21 provided at the end of the silicone substrate 4 that contacts the spacer 7 closes the hole 8 of the spacer.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明に係わる第1の樹脂封止光モジュ
ールは、素子搭載用基板部材に搭載された光半導体素子
と、光ファイバとが同一光軸上に配置された構成の樹脂
封止光モジュールにおいて、前記光ファイバが内設され
保持固定されたピグテールと、前記光ファイバと前記光
半導体素子との間の光導波路部の一部を形成する孔を有
し、前記ピグテールが接合されたスぺーサと、前記スぺ
ーサの孔を塞ぐ光学透明の栓と、前記光軸上にあり、前
記光半導体素子と前記栓との間に設けられたレンズと、
前記素子搭載用基板部材と前記スペーサとを同一面に設
けた配線基板とが備えられており、前記光導波路部の少
なくとも前記光半導体素子と前記栓との間が透明な第1
の樹脂で封止され、前記第1の樹脂の外側が不透明な第
2の樹脂で封止されたものであり、光モジュールを樹脂
封止した後に光ファイバを取り付けることができる構造
であり、樹脂封止時における不良の発生率が小さく、し
かも、高い生産性で、樹脂封止光モジュールを生産でき
る。
The first resin-sealed optical module according to the present invention is a resin-sealed optical module in which the optical semiconductor element mounted on the element mounting substrate member and the optical fiber are arranged on the same optical axis. In an optical module, a pigtail in which the optical fiber is provided and held and fixed, and a hole forming a part of an optical waveguide portion between the optical fiber and the optical semiconductor element are joined, and the pigtail is joined. A spacer, an optically transparent stopper that closes the hole of the spacer, a lens that is on the optical axis, and is provided between the optical semiconductor element and the stopper,
A wiring board having the element mounting board member and the spacer provided on the same surface, wherein at least a portion of the optical waveguide portion between the optical semiconductor element and the plug is transparent;
And a structure in which an optical fiber can be attached after the optical module is resin-sealed, and the first resin is sealed with an opaque second resin on the outside of the first resin. It is possible to produce a resin-sealed optical module with a low incidence of defects during sealing and with high productivity.

【0044】本発明に係わる第2の樹脂封止光モジュー
ルは、第1の樹脂封止光モジュールにおいて、栓が、レ
ンズであり、光ファイバの近くにレンズが設けられてい
るので、光を集光して光ファイバに伝送することがで
き、光ファイバと光半導体素子との光学的結合を強くで
きる。
The second resin-sealed optical module according to the present invention is different from the first resin-sealed optical module in that the stopper is the lens and the lens is provided near the optical fiber, so that the light is collected. Light can be transmitted to the optical fiber, and the optical coupling between the optical fiber and the optical semiconductor device can be strengthened.

【0045】本発明に係わる第3の樹脂封止光モジュー
ルは、第1または2の樹脂封止光モジュールにおいて、
レンズが、素子搭載用基板部材に設けられたものであ
り、光半導体素子とレンズとのアライメントが容易であ
り、製造時間が短縮でき、生産性が向上する。
The third resin-sealed optical module according to the present invention is the same as the first or second resin-sealed optical module,
Since the lens is provided on the element mounting substrate member, the alignment between the optical semiconductor element and the lens is easy, the manufacturing time can be shortened, and the productivity is improved.

【0046】本発明に係わる第4の樹脂封止光モジュー
ルは、素子搭載用基板部材に搭載された光半導体素子と
光ファイバとが同一光軸上に配置された構成の樹脂封止
光モジュールにおいて、前記光ファイバが内設され保持
固定されたピグテールと、前記光ファイバと前記光半導
体素子との間の光導波路部の一部を形成する孔を有し、
前記ピグテールが接合されたスぺーサと、前記スぺーサ
の孔を塞ぐ光学透明のレンズと、前記素子搭載用基板部
材と前記スペーサとを同一面に設けた配線基板とが備え
られており、前記光導波路部の少なくとも前記光半導体
素子と前記レンズとの間が透明な第1の樹脂で封止さ
れ、前記第1の樹脂の外側が不透明な第2の樹脂で封止
されたものであり、レンズがスペーサの孔に設けられて
いるので、素子搭載用基板部材を短くでき、樹脂封止光
モジュールをさらに小型にできる。
A fourth resin-sealed optical module according to the present invention is a resin-sealed optical module having a structure in which an optical semiconductor device mounted on a device mounting board member and an optical fiber are arranged on the same optical axis. A pigtail in which the optical fiber is provided and held and fixed, and a hole forming a part of an optical waveguide portion between the optical fiber and the optical semiconductor element,
A spacer to which the pigtail is joined, an optically transparent lens that closes the hole of the spacer, and a wiring substrate provided with the element mounting substrate member and the spacer on the same surface, At least the space between the optical semiconductor element and the lens of the optical waveguide portion is sealed with a transparent first resin, and the outside of the first resin is sealed with an opaque second resin. Since the lens is provided in the hole of the spacer, the element mounting board member can be shortened, and the resin-sealed optical module can be further downsized.

【0047】本発明に係わる第5の樹脂封止光モジュー
ルは、本発明の第1ないし4のいずれかの樹脂封止光モ
ジュールにおいて、素子搭載用基板部材が、シリコン基
板のものであり、シリコン基板は、半導体プロセスにて
加工できるので加工精度が良く、光半導体素子やレンズ
を精度良く位置決めすることができる。そのため、光学
的に位置合わせを行うアクティブアライメントを実施せ
ずに、その所定位置に固定することで光学的な精度を確
保できるパッシブアライメントが可能となり、製造時間
を短縮でき、生産性が向上する。
A fifth resin-sealed optical module according to the present invention is the resin-sealed optical module according to any one of the first to fourth aspects of the present invention, wherein the element mounting substrate member is a silicon substrate. Since the substrate can be processed by a semiconductor process, the processing accuracy is good, and the optical semiconductor element and the lens can be accurately positioned. Therefore, it is possible to perform passive alignment in which optical accuracy can be ensured by fixing it at a predetermined position without performing active alignment for optically aligning, and it is possible to reduce manufacturing time and improve productivity.

【0048】本発明に係わる第6の樹脂封止光モジュー
ルは、本発明の第1ないし5のいずれかの樹脂封止光モ
ジュールにおいて、スペーサが、金属のものであり、孔
加工が容易であり、接合時間が短い溶接でピグテールを
接合できるため、製造時間を短縮でき生産性が向上す
る。溶接によるピグテールの接合は、接合部の気密性が
高いので、樹脂封止光モジュールの信頼性が向上する。
A sixth resin-sealed optical module according to the present invention is the resin-sealed optical module according to any one of the first to fifth aspects of the present invention, in which the spacer is made of metal, and holes are easily drilled. Since the pigtail can be joined by welding with a short joining time, the manufacturing time can be shortened and the productivity can be improved. When the pigtails are joined by welding, the airtightness of the joint is high, and therefore the reliability of the resin-sealed optical module is improved.

【0049】本発明に係わる第7の樹脂封止光モジュー
ルは、本発明の第1ないし6のいずれかの樹脂封止光モ
ジュールにおいて、第1の樹脂がシリコーン樹脂のもの
であり、光導波路部の透明性に優れ、湿度による光半導
体素子の腐蝕に対する影響が少ない。
A seventh resin-sealed optical module according to the present invention is the resin-sealed optical module according to any one of the first to sixth aspects of the present invention, wherein the first resin is a silicone resin, and the optical waveguide part Has excellent transparency, and has little influence on the corrosion of the optical semiconductor element due to humidity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の実施の形態1における樹脂封止光モ
ジュールの構造を表す断面模式図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a structure of a resin-sealed optical module according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の実施の形態2における樹脂封止光モ
ジュールの構造を表す断面模式図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a structure of a resin-sealed optical module according to a second embodiment of the present invention.

【図3】 本発明の実施の形態3における樹脂封止光モ
ジュールの構造を表す断面模式図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing a structure of a resin-sealed optical module according to a third embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の実施の形態4における樹脂封止光モ
ジュールの構造を表す断面模式図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing a structure of a resin-sealed optical module according to a fourth embodiment of the present invention.

【図5】 特開平9−127376号公報に開示されて
いる樹脂封止光モジュールの縦断面模式図である。
FIG. 5 is a schematic vertical sectional view of a resin-sealed optical module disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 9-127376.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 LD、2 PD、3 光半導体素子、4 素子搭載
用基板部材、5 光ファイバ、6 ピグテール、7 ス
ペーサ、8 光導波路の孔、9 配線基板、10 第1
のレンズ、11 栓、12 光ファイバの樹脂被覆、1
3 透明樹脂、14 モールド樹脂、15 外部電極、
20 樹脂封止光モジュール、21 第2のレンズ、3
5 フレーム基板、36 押さえ基板、37 光ファイ
バ支持部材。
1 LD, 2 PD, 3 optical semiconductor element, 4 element mounting substrate member, 5 optical fiber, 6 pigtail, 7 spacer, 8 optical waveguide hole, 9 wiring board, 10 1st
Lens, 11 plugs, 12 optical fiber resin coating, 1
3 transparent resin, 14 mold resin, 15 external electrodes,
20 resin-sealed optical module, 21 second lens, 3
5 frame substrate, 36 pressing substrate, 37 optical fiber supporting member.

フロントページの続き (72)発明者 藤岡 弘文 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 澤井 章能 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA03 BA12 CA13 CA14 DA03 DA04 DA05 DA18 DA36Continued front page    (72) Inventor Hirofumi Fujioka             2-3 2-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo             Inside Ryo Electric Co., Ltd. (72) Inventor Akino Sawai             2-3 2-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo             Inside Ryo Electric Co., Ltd. F term (reference) 2H037 AA01 BA03 BA12 CA13 CA14                       DA03 DA04 DA05 DA18 DA36

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 素子搭載用基板部材に搭載された光半導
体素子と、光ファイバとが同一光軸上に配置された構成
の樹脂封止光モジュールにおいて、前記光ファイバが内
設され保持固定されたピグテールと、前記光ファイバと
前記光半導体素子との間の光導波路部の一部を形成する
孔を有し、前記ピグテールが接合されたスぺーサと、前
記スぺーサの孔を塞ぐ光学透明の栓と、前記光軸上にあ
り、前記光半導体素子と前記栓との間に設けられたレン
ズと、前記素子搭載用基板部材と前記スペーサとを同一
面に設けた配線基板とが備えられており、前記光導波路
部の少なくとも前記光半導体素子と前記栓との間が透明
な第1の樹脂で封止され、前記第1の樹脂の外側が不透
明な第2の樹脂で封止されたことを特徴とする樹脂封止
光モジュール。
1. In a resin-sealed optical module having a structure in which an optical semiconductor element mounted on an element mounting substrate member and an optical fiber are arranged on the same optical axis, the optical fiber is internally provided and held and fixed. With a pigtail and a hole that forms a part of an optical waveguide portion between the optical fiber and the optical semiconductor element, and a spacer to which the pigtail is joined, and an optical that closes the hole of the spacer. A transparent stopper, a lens provided on the optical axis between the optical semiconductor element and the stopper, and a wiring board provided with the element mounting substrate member and the spacer on the same surface are provided. At least the space between the optical semiconductor element and the plug of the optical waveguide portion is sealed with a transparent first resin, and the outside of the first resin is sealed with an opaque second resin. A resin-sealed optical module characterized by the above.
【請求項2】 栓が、レンズであることを特徴とする請
求項1に記載の樹脂封止光モジュール。
2. The resin-sealed optical module according to claim 1, wherein the plug is a lens.
【請求項3】 レンズが、素子搭載用基板部材に設けら
れたことを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂封
止光モジュール。
3. The resin-sealed optical module according to claim 1, wherein the lens is provided on the element mounting substrate member.
【請求項4】 素子搭載用基板部材に搭載された光半導
体素子と光ファイバとが同一光軸上に配置された構成の
樹脂封止光モジュールにおいて、前記光ファイバが内設
され保持固定されたピグテールと、前記光ファイバと前
記光半導体素子との間の光導波路部の一部を形成する孔
を有し、前記ピグテールが接合されたスぺーサと、前記
スぺーサの孔を塞ぐ光学透明のレンズと、前記素子搭載
用基板部材と前記スペーサとを同一面に設けた配線基板
とが備えられており、前記光導波路部の少なくとも前記
光半導体素子と前記レンズとの間が透明な第1の樹脂で
封止され、前記第1の樹脂の外側が不透明な第2の樹脂
で封止されたことを特徴とする樹脂封止光モジュール。
4. A resin-sealed optical module having a structure in which an optical semiconductor element mounted on an element mounting substrate member and an optical fiber are arranged on the same optical axis, wherein the optical fiber is internally provided and held and fixed. A spacer that has a pigtail and a hole that forms a part of an optical waveguide portion between the optical fiber and the optical semiconductor element, and a spacer to which the pigtail is joined, and an optical transparent that closes the hole of the spacer. A lens and a wiring board having the element mounting board member and the spacer provided on the same surface, and a first transparent section at least between the optical semiconductor element and the lens of the optical waveguide section. The resin-sealed optical module, wherein the first resin is sealed with an opaque second resin and the outside of the first resin is sealed with the second resin.
【請求項5】 素子搭載用基板部材が、シリコン基板で
あることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記
載の樹脂封止光モジュール。
5. The resin-sealed optical module according to claim 1, wherein the element mounting substrate member is a silicon substrate.
【請求項6】 スペーサが、金属であることを特徴とす
る請求項1ないし5のいずれかに記載の樹脂封止光モジ
ュール。
6. The resin-sealed optical module according to claim 1, wherein the spacer is made of metal.
【請求項7】 第1の樹脂がシリコーン樹脂であること
を特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の樹脂
封止光モジュール。
7. The resin-sealed optical module according to claim 1, wherein the first resin is a silicone resin.
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