JP2003158607A - Image read method and image recording and reading apparatus - Google Patents

Image read method and image recording and reading apparatus

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JP2003158607A
JP2003158607A JP2001354609A JP2001354609A JP2003158607A JP 2003158607 A JP2003158607 A JP 2003158607A JP 2001354609 A JP2001354609 A JP 2001354609A JP 2001354609 A JP2001354609 A JP 2001354609A JP 2003158607 A JP2003158607 A JP 2003158607A
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JP
Japan
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recording
voltage
image
reading
layer
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Application number
JP2001354609A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Shiyouji
たか志 荘司
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image recording and reading apparatus employing an image detector, which can read an image signal with a high S/N even in an area with a low recording optical intensity. SOLUTION: The image recording and reading apparatus employs the image detector 10 formed by stacking a first stripe electrode 12, a photo conductive layer 13, a rectifier layer 14, and a second stripe electrode 16. After the storage section 19 stores uniform electronic charges by applying a recording voltage between both elements 12a and 16a from a variable voltage power supply 72, emitting a recording light 12 to the first stripe electrode 12 reduces latent image electronic charges depending on a dose. A reading voltage higher than the recording voltage is applied between any of the elements 12a and the element 16a and a current detection circuit 70 detects a charging current flowing to the image detector 10 depending on the application of this voltage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、照射された放射線
の線量に応じた量の電荷を蓄積する蓄電部に、放射線画
像情報が潜像電荷として記録された放射線固体検出器か
ら静電潜像を読み取る読取方法および記録読取装置に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic latent image from a radiation solid-state detector in which radiation image information is recorded as latent image charge in a power storage unit that stores an amount of charge according to the dose of irradiated radiation. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a reading method and a recording / reading device for reading.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、画像検出器を用いた装置、例
えばファクシミリ、複写機或いは放射線撮像装置などが
知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an apparatus using an image detector, such as a facsimile, a copying machine or a radiation image pickup apparatus, has been known.

【0003】例えば、医療用放射線撮像装置などにおい
ては、被験者の受ける被爆線量の減少、診断性能の向上
などのために、X線などの放射線に感応するセレン板な
どの光導電体(層)を有する放射線固体検出器(静電記
録体)を画像検出器として用い、該放射線固体検出器に
放射線を照射し、照射された放射線の線量に応じた量の
電荷を放射線固体検出器内の蓄電部に潜像電荷として蓄
積させることにより、放射線画像情報を蓄電部に静電潜
像として記録すると共に、レーザビーム或いはライン光
源で放射線画像情報が記録された放射線固体検出器を走
査することにより、該放射線固体検出器から放射線画像
情報を読み取る方法が知られている(例えば、特開平6
−217322号公報、米国特許第4857723号明
細書、特開平9−5906号公報など)。
For example, in a medical radiation imaging apparatus or the like, a photoconductor (layer) such as a selenium plate that is sensitive to radiation such as X-rays is used in order to reduce the exposure dose to a subject and improve diagnostic performance. The radiation solid-state detector (electrostatic recording body) is used as an image detector, the radiation solid-state detector is irradiated with radiation, and an electric charge of an amount according to the dose of the irradiated radiation is stored in the radiation solid-state detector. The radiation image information is recorded as an electrostatic latent image in the power storage unit by accumulating it as a latent image charge in the storage unit, and the radiation solid-state detector in which the radiation image information is recorded is scanned by a laser beam or a line light source. A method of reading radiation image information from a radiation solid-state detector is known (for example, Japanese Laid-Open Patent Publication No. HEI 6).
-217322, U.S. Pat. No. 4,857,723, JP-A-9-5906, etc.).

【0004】上記特開平6−217322号公報に記載
の方法は、導電体層、X線光導電層、誘電体層、および
画素に対応する多数のマイクロプレートを具備する電極
層が積層され、各マイクロプレートに電荷読出用のTF
T(薄膜トランジスタ)が接続されて成る放射線固体検
出器を画像検出器として使用し、この放射線固体検出器
に被写体を透過したX線を照射して各マイクロプレート
と導電層との間で形成される蓄電部に潜像電荷を蓄積さ
せることによって放射線画像情報を放射線固体検出器に
記録した後、TFTを走査駆動して、蓄電部に蓄積され
た潜像電荷を放射線固体検出器の外部に読み出すことに
よって、放射線画像情報を読み取るものである。
In the method described in the above-mentioned JP-A-6-217322, a conductor layer, an X-ray photoconductive layer, a dielectric layer, and an electrode layer having a large number of microplates corresponding to pixels are laminated, and TF for reading charges on the microplate
A radiation solid-state detector formed by connecting T (thin film transistors) is used as an image detector, and the solid-state radiation detector is irradiated with X-rays transmitted through an object to be formed between each microplate and the conductive layer. After the radiation image information is recorded in the radiation solid state detector by accumulating the latent image charge in the electricity storage unit, the TFT is scan driven to read the latent image charge accumulated in the electricity storage unit to the outside of the radiation solid state detector. The radiographic image information is read by.

【0005】また、上記米国特許第4857723号明
細書に記載の方法は、光導電層の両側を絶縁層で挟み、
さらにその外側を互いに直交する線状電極を多数有する
ストライプ電極で挟んだ構造の放射線固体検出器を画像
検出器として使用し、この放射線固体検出器に被写体を
透過したX線を照射して両ストライプ電極の交差する位
置であって、光導電層と絶縁層との界面に形成される2
つの蓄電部に互いに異なる極性の潜像電荷を蓄積させる
ことによって放射線画像情報を放射線固体検出器に記録
した後、読取光としてのレーザ光で該放射線固体検出器
を走査して、蓄電部に蓄積された潜像電荷を放射線固体
検出器の外部に読み出すことによって、放射線画像情報
を読み取るものである。
Further, the method described in the above-mentioned US Pat. No. 4,857,723 discloses that a photoconductive layer is sandwiched between insulating layers,
Furthermore, a radiation solid-state detector having a structure in which the outside is sandwiched by striped electrodes having a large number of linear electrodes orthogonal to each other is used as an image detector, and this radiation solid-state detector is irradiated with X-rays that have passed through a subject and both stripes are formed. Formed at the intersection of the electrodes and at the interface between the photoconductive layer and the insulating layer 2
After the radiation image information is recorded on the solid-state radiation detector by accumulating latent image charges of different polarities in the two electricity-storage units, the solid-state radiation detector is scanned with laser light as reading light and accumulated in the electricity storage unit. Radiation image information is read by reading the generated latent image charges to the outside of the radiation solid-state detector.

【0006】また、上記特開平9−5906号公報に記
載の方法は、第1電極層/記録用光導電層/蓄電部とし
てのトラップ層/読取用光導電層/第2電極層をこの順
に積層してなる放射線固体検出器を画像検出器として使
用し、予め両側に配された電極間に高圧(高電圧)を印
加した状態で一様露光光を照射して、1次帯電を検出器
の蓄電部に形成し、その後、両電極間をショートして、
または高圧を印加して、或いはオープンとして、記録用
光導電層に電界を生じさせた状態で被写体を透過したX
線を照射して蓄電部に潜像電荷を蓄積させることによっ
て放射線画像情報を該放射線固体検出器に記録した後、
両電極をショートして、読取光としてのレーザ光で該放
射線固体検出器を走査して、蓄電部に蓄積された潜像電
荷を放射線固体検出器の外部に読み出すことによって、
放射線画像情報を読み取るものである。
Further, in the method described in JP-A-9-5906, the first electrode layer / the photoconductive layer for recording / the trap layer as a storage unit / the photoconductive layer for reading / the second electrode layer are arranged in this order. The radiation solid-state detectors that are stacked are used as image detectors, and primary exposure is detected by irradiating uniform exposure light with a high voltage (high voltage) applied between the electrodes arranged on both sides in advance. It is formed in the electricity storage part of, then short-circuited between both electrodes,
Alternatively, by applying a high voltage or opening the recording photoconductive layer to generate an electric field, X is transmitted through the subject.
After the radiation image information is recorded on the radiation solid-state detector by irradiating a line to accumulate latent image charges in the electricity storage unit,
By short-circuiting both electrodes and scanning the radiation solid-state detector with laser light as reading light, the latent image charge accumulated in the power storage unit is read out to the outside of the radiation solid-state detector.
The radiation image information is read.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平6−217322号公報に記載の方法は、マイクロ
プレートを具備する電極層内に、電荷読出用のTFTを
設ける必要があり、画像検出器の構造が複雑で、製造コ
ストが高くなるという問題がある。
However, in the method disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 6-217322, it is necessary to provide a charge reading TFT in the electrode layer provided with the microplate, and the method of image detector There is a problem that the structure is complicated and the manufacturing cost is high.

【0008】また上記米国特許第4857723号明細
書に記載の方法は、放射線固体検出器の構造は簡易で製
造コストも安い方法ではあるが、検出器内に蓄積した潜
像電荷を読み出すための、構造が複雑で高価なレーザ走
査系を必要とするため、読取装置の構造が複雑となり、
記録から読取りまでのシステム全体のコストが高くなる
という問題がある。
In the method described in the above-mentioned US Pat. No. 4,857,723, although the structure of the radiation solid state detector is simple and the manufacturing cost is low, the method for reading the latent image charge accumulated in the detector is Since the structure is complicated and requires an expensive laser scanning system, the structure of the reader becomes complicated,
There is a problem that the cost of the entire system from recording to reading increases.

【0009】さらに、上記特開平9−5906号公報に
記載の方法は、上記米国特許第4857723号明細書
に記載の方法が有する問題に加えて、1次帯電を検出器
の蓄電部に形成するための1次帯電用の光源を必要とす
るため、さらに大がかりな装置となり、システムコスト
が一層高くなるという問題がある。
In addition to the problems of the method described in the above-mentioned US Pat. No. 4,857,723, the method described in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-5906 forms a primary charge in the power storage portion of the detector. Since a light source for primary charging is required for this purpose, there is a problem that the device becomes larger and the system cost becomes higher.

【0010】このような事情に鑑み、本出願人は先に、
第1電極層/光導電層/蓄電部/整流層/第2電極層を
この順に積層してなる放射線固体検出器を画像検出器と
して使用し、両電極間に高圧を印加して光導電層に電界
を生じさせた状態で被写体を透過したX線を照射して蓄
電部に潜像電荷を蓄積させることによって放射線画像情
報を該放射線固体検出器に記録した後、両電極間に再度
高圧を印加し、このとき流れる再充電電流を読み出すこ
とによって、放射線画像情報を読み取る方式を提案し
た。(特願2000−227253号参照)。
In view of such circumstances, the present applicant first
A radiation solid-state detector formed by stacking a first electrode layer / photoconductive layer / power storage unit / rectifying layer / second electrode layer in this order is used as an image detector, and a high voltage is applied between both electrodes of the photoconductive layer. After the radiation image information is recorded on the radiation solid-state detector by irradiating X-rays that have passed through the subject with an electric field generated in the storage unit to accumulate latent image charge in the storage unit, a high voltage is again applied between the electrodes. We proposed a method of reading radiation image information by applying and reading the recharge current that flows at this time. (See Japanese Patent Application No. 2000-227253).

【0011】ここで、本方式における潜像電荷の記録読
取過程についてもう少し詳しく説明する。最初に、両電
極間に高圧を印加し画像検出器に電荷を蓄積(充電)さ
せる。その後、電圧の印加を停止し、被写体を透過した
X線、すなわち記録光を照射すると、光導電層内で記録
光強度に応じた電荷対が発生し、この電荷対と記録光照
射前に蓄積された電荷とが再結合して消滅する。読取時
に再度高圧を印加することにより、両電極間に記録時に
消滅した電荷を再充電するための充電電圧がかかり、こ
のとき流れる充電電流を検出することにより潜像電荷を
読み取ることができる。このような方式では、記録光強
度が高い部分では多くの電荷が消滅しているため、再充
電時に高い充電電圧がかかり、記録光強度が低い部分で
は少ない電荷しか消滅していないため、再充電時に低い
充電電圧がかかることになる。
Now, the process of recording and reading the latent image charge in this system will be described in more detail. First, a high voltage is applied between both electrodes to accumulate (charge) charges in the image detector. After that, when the voltage application is stopped and X-rays transmitted through the subject, that is, the recording light is irradiated, a charge pair corresponding to the recording light intensity is generated in the photoconductive layer, and the charge pair and the recording light are accumulated before the irradiation of the recording light. The generated charge recombines and disappears. By applying a high voltage again at the time of reading, a charging voltage for recharging the charge disappeared at the time of recording is applied between both electrodes, and the latent image charge can be read by detecting the charging current flowing at this time. In such a method, a large amount of electric charge disappears in a portion where the recording light intensity is high, so a high charging voltage is applied during recharging, and a small amount of electric charge disappears in a portion where the recording light intensity is low. Sometimes a low charging voltage will be applied.

【0012】ところで、本方式に用いられる画像検出器
に含まれる整流層は、一方向には電流を妨げずに流し得
るが他方向には電流を殆ど流さない性質、すなわちダイ
オードと同様の性質を有するものであるため、読取時に
画像検出器に印加される充電電圧が低い場合には応答性
が低下するので、所定の読取時間内に読み取ることがで
きない潜像電荷が生じ、その結果S/Nが低下する虞が
ある。
By the way, the rectifying layer included in the image detector used in the present system has a property that it can flow a current in one direction without disturbing it, but hardly flows a current in the other direction, that is, a property similar to a diode. However, since the responsiveness decreases when the charging voltage applied to the image detector during reading is low, latent image charges that cannot be read occur within a predetermined reading time, resulting in S / N. May decrease.

【0013】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
であり、放射線画像情報が記録された特願2000−2
27253号のような構成の画像検出器から、記録光強
度が低い領域であっても高いS/Nで画像信号を読み取
ることができる画像読取方法および画像記録読取装置を
提供することを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above problems, and Japanese Patent Application No. 2000-2 in which radiation image information is recorded.
An object of the present invention is to provide an image reading method and an image recording / reading device capable of reading an image signal with a high S / N even in a region where the recording light intensity is low, from an image detector having a configuration like No. 27253. It is a thing.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の画像読取方法
は、多数の線状電極から成る第1ストライプ電極を備え
た第1電極層、記録用の電磁波の照射を受けることによ
り導電性を呈する光導電層、電荷を蓄積する蓄電部、整
流層、および前記第1ストライプ電極の線状電極に対し
て交差するように形成された多数の線状電極から成る第
2ストライプ電極を備えた第2電極層をこの順に有して
成る画像検出器の、第1ストライプ電極と第2ストライ
プ電極との間に記録用電圧が印加されることにより、蓄
電部に略一様の電荷が蓄積され、記録用電圧の印加の停
止後に、記録用の電磁波が画像検出器に照射されること
により画像情報が蓄電部に静電潜像として記録された画
像検出器から画像情報を読み取る画像読取方法におい
て、第1ストライプ電極の線状電極と、第2ストライプ
電極の線状電極との間に、記録用電圧より高い読取用電
圧を印加して、この読取用電圧の印加によって画像検出
器に流れ込む充電電流を検出することにより、蓄電部に
蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を得るこ
とを特徴とするものである。
According to the image reading method of the present invention, a first electrode layer having a first stripe electrode composed of a large number of linear electrodes, which is exposed to an electromagnetic wave for recording, exhibits conductivity. A second striped electrode including a photoconductive layer, a power storage unit for accumulating charges, a rectifying layer, and a second striped electrode formed of a plurality of linear electrodes formed so as to intersect the linear electrode of the first striped electrode. By applying a recording voltage between the first stripe electrode and the second stripe electrode of the image detector having the electrode layers in this order, a substantially uniform charge is accumulated in the power storage unit, and recording is performed. In the image reading method of reading the image information from the image detector in which the image information is recorded as an electrostatic latent image in the power storage unit by irradiating the image detector with the recording electromagnetic wave after the application of the application voltage is stopped. 1 stripe electric A reading voltage higher than the recording voltage is applied between the linear electrode of the second stripe electrode and the linear electrode of the second stripe electrode, and the charging current flowing into the image detector by the application of the reading voltage is detected. By this, an electric signal of a level corresponding to the amount of electric charge accumulated in the power storage unit is obtained.

【0015】本発明の画像記録読取装置は、多数の線状
電極から成る第1ストライプ電極を備えた第1電極層、
記録用の電磁波の照射を受けることにより導電性を呈す
る光導電層、電荷を蓄積する蓄電部、整流層、および第
1ストライプ電極の線状電極に対して交差するように形
成された多数の線状電極から成る第2ストライプ電極を
備えた第2電極層をこの順に有して成る画像検出器と、
第1ストライプ電極と第2ストライプ電極との間に電圧
を印加する電圧印加手段とを備え、電圧印加手段によ
り、記録時に第1ストライプ電極と第2ストライプ電極
との間に記録用電圧を印加することにより、蓄電部に略
一様の電荷を蓄積させ、記録用電圧の印加の停止後に、
記録用の電磁波が画像検出器に照射されることにより画
像情報を前記蓄電部に静電潜像として記録し、電圧印加
手段により、読取時に第1ストライプ電極と第2ストラ
イプ電極との間に読取用電圧を印加した際に、画像検出
器に流れ込む充電電流を検出することにより、蓄電部に
蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を取得し
て画像情報を読み取る画像記録読取装置において、電圧
印加手段により画像検出器に印加する電圧を変更する電
圧変更手段を備えたことを特徴とするものである。
The image recording / reading apparatus of the present invention comprises a first electrode layer having a first stripe electrode composed of a large number of linear electrodes,
A photoconductive layer that exhibits conductivity by being irradiated with an electromagnetic wave for recording, a power storage unit that stores charges, a rectifying layer, and a large number of lines formed so as to intersect the linear electrodes of the first stripe electrode. An image detector having a second electrode layer having a second stripe electrode made of a striped electrode in this order;
A voltage applying unit that applies a voltage between the first stripe electrode and the second stripe electrode is provided, and the voltage applying unit applies a recording voltage between the first stripe electrode and the second stripe electrode during recording. As a result, a substantially uniform charge is accumulated in the power storage unit, and after the application of the recording voltage is stopped,
Image information is recorded as an electrostatic latent image on the power storage unit by irradiating the image detector with a recording electromagnetic wave, and is read between the first stripe electrode and the second stripe electrode during reading by the voltage applying unit. In an image recording / reading device that reads an image information by acquiring an electric signal of a level corresponding to the amount of electric charge accumulated in a power storage unit by detecting a charging current flowing into an image detector when a working voltage is applied. A voltage changing means for changing the voltage applied to the image detector by the voltage applying means is provided.

【0016】上記において「記録用の電磁波」とは、検
出器に入射する電磁波であって、画像情報を担持する電
磁波であればよく、例えばX線などの放射線や光(可視
光に限らない)などを用いることができる。また、電磁
波源から発せられた1次電磁波(放射線、光)の励起に
より発せられた該1次電磁波の波長と異なる波長の光で
あってもよい。
In the above description, the "recording electromagnetic wave" is an electromagnetic wave that is incident on the detector and may be an electromagnetic wave that carries image information, for example, radiation such as X-rays or light (not limited to visible light). Etc. can be used. Further, it may be light having a wavelength different from the wavelength of the primary electromagnetic wave emitted by excitation of the primary electromagnetic wave (radiation, light) emitted from the electromagnetic wave source.

【0017】「線状電極」とは、全体として細長い形状
の電極を意味し、細長い形状を有している限り、円柱状
のものや角柱状のもの等どのようなものであってもよい
が、特に、平板電極とするのが好ましい。なお、第1ス
トライプ電極の線状電極を第2ストライプ電極の線状電
極に対して交差するように配設するに際しては、互いに
略直交するように配設するのが好ましい。
The "linear electrode" means an electrode having an elongated shape as a whole, and may have any shape such as a cylindrical shape or a prismatic shape as long as it has an elongated shape. Especially, it is preferable to use a plate electrode. When the linear electrodes of the first stripe electrodes are arranged so as to intersect the linear electrodes of the second stripe electrodes, it is preferable that they are arranged substantially orthogonal to each other.

【0018】「整流層」とは、一方向には電流を妨げず
に流し得るが、他方向には電流を殆ど流さない層を意味
する。
The term "rectifying layer" means a layer that allows a current to flow in one direction without disturbing it, but hardly allows a current to flow in the other direction.

【0019】本発明の画像記録読取装置において、電圧
変更手段は、記録用電圧よりも、読取用電圧を高くする
ように変更するものであることが望ましい。さらに、読
取用電圧を印加した際に暗電流等により記録光強度が0
の部分で検出される充電電流に対応する電荷をQ、読
取用電圧を印加した際に記録光強度が0以外の部分で検
出される充電電流の最小値に対応する電荷をQとした
とき、式√(2・Q)<Qを満足するように、読取
用電圧を変更することが望ましい。
In the image recording / reading apparatus of the present invention, it is desirable that the voltage changing means changes the reading voltage to be higher than the recording voltage. Further, when the reading voltage is applied, the recording light intensity becomes 0 due to the dark current or the like.
The charge corresponding to the charging current detected in the portion of is marked as Q 0 , and the charge corresponding to the minimum value of the charging current detected in the portion where the recording light intensity is other than 0 when the reading voltage is applied is designated as Q 1 . At this time, it is desirable to change the reading voltage so as to satisfy the expression √ (2 · Q 0 ) <Q 1 .

【0020】本発明の画像記録読取装置は、画像記録読
取装置により検出された電気信号から、読取用電圧を印
加した際に記録光強度が0の部分で検出される電気信号
を差し引いた電気信号に基づいて画像を構成する画像構
成手段を備えたものとしてもよい。
The image recording / reading apparatus of the present invention is an electric signal obtained by subtracting the electric signal detected at the portion where the recording light intensity is 0 when the reading voltage is applied from the electric signal detected by the image recording / reading apparatus. An image forming unit that forms an image based on the above may be provided.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明による画像読取方法および画像記
録読取装置によれば、第1電極層、光導電層、蓄電部、
整流層、および第2電極層をこの順に有して成る画像検
出器の、両電極間に記録用電圧が印加されることによ
り、蓄電部に略一様の電荷が蓄積され、記録用電圧の印
加の停止後に、記録用の電磁波が画像検出器に照射され
ることにより画像情報が蓄電部に静電潜像として記録さ
れた画像検出器から画像情報を読み取る際に、両電極間
に、記録用電圧より高い読取用電圧を印加するようにし
たので、記録光強度が低い部分であっても、高い充電電
圧が印加されるようになるため、潜像電荷を高いS/N
で読み取ることができる。
According to the image reading method and the image recording / reading apparatus of the present invention, the first electrode layer, the photoconductive layer, the power storage unit,
By applying a recording voltage between both electrodes of an image detector including a rectifying layer and a second electrode layer in this order, a substantially uniform charge is accumulated in the power storage unit, and When the image information is recorded as an electrostatic latent image in the power storage unit by irradiating the image detector with electromagnetic waves for recording after the application is stopped, the image is recorded between both electrodes when the image information is read from the image detector. Since the reading voltage higher than the working voltage is applied, the high charging voltage is applied even in the portion where the recording light intensity is low, so that the latent image charge has a high S / N ratio.
Can be read at.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0023】図1は本発明の第1の実施の形態の画像記
録読取装置に用いる画像検出器(以下単に検出器ともい
う)の概略構成を示す図であり、図1(A)は斜視図、
図1(B)はP矢指部のXY断面図、図1(C)はQ矢
指部のXZ断面図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an image detector (hereinafter also simply referred to as a detector) used in an image recording / reading apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 1 (A) is a perspective view. ,
1B is an XY sectional view of the P arrow finger portion, and FIG. 1C is an XZ sectional view of the Q arrow finger portion.

【0024】この検出器10は、多数の平板状のエレメ
ント(線状電極)12aをストライプ状に配列して成る
第1ストライプ電極12が形成された第1電極層11、
被写体の画像情報を担持する記録用の光(以下記録光と
いう)L2の照射を受けることにより導電性を呈する光導
電層13、整流層14、多数の平板状のエレメント16
aをストライプ状に配列して成る第2ストライプ電極1
6が形成された第2電極層15を、この順に積層してな
るものである。そして、第2電極層15側がガラス基板
20の上面と接するように基板20上に各層が配設され
る。なお、光導電層13と整流層14との間に潜像電荷
を蓄積する蓄電部19が形成される。
The detector 10 includes a first electrode layer 11 having a first stripe electrode 12 formed by arranging a large number of flat plate-shaped elements (linear electrodes) 12a in a stripe pattern.
A photoconductive layer 13, a rectifying layer 14, and a number of flat plate-like elements 16 which exhibit conductivity by being irradiated with recording light (hereinafter referred to as recording light) L2 that carries image information of a subject.
Second stripe electrode 1 in which a is arranged in a stripe shape
The second electrode layer 15 on which 6 is formed is laminated in this order. Then, the respective layers are arranged on the substrate 20 so that the second electrode layer 15 side is in contact with the upper surface of the glass substrate 20. An electricity storage unit 19 that accumulates latent image charges is formed between the photoconductive layer 13 and the rectifying layer 14.

【0025】第1ストライプ電極12の各エレメント1
2aは、第2ストライプ電極16の各エレメント16a
に対して略直交するように配設されている。何れも、並
び方向の画素数と同じ数のエレメントが設けられる。エ
レメントの配列ピッチが画素ピッチを規定し、第1スト
ライプ電極12の各エレメントの幅は広ければ広い程、
S/Nが向上するので好ましい。例えば、ピッチを10
0μm、幅を90μmとする。各エレメント12aの隙
間11aおよび各エレメント16aの隙間15aには、
記録光L2に対して透過性を有する絶縁物質が充填されて
いる。ストライプ電極12,16は、導電性を有するも
のであればよく、各エレメント12a,16aは、金、
銀、アルミ、白金などの単一金属や、酸化インジウムな
どの合金から作ることができる。
Each element 1 of the first stripe electrode 12
2a is each element 16a of the second stripe electrode 16
Are arranged so as to be substantially orthogonal to. In each case, the same number of elements as the number of pixels in the arrangement direction are provided. The arrangement pitch of the elements defines the pixel pitch, and the wider the width of each element of the first stripe electrode 12 is,
It is preferable because the S / N is improved. For example, a pitch of 10
The width is 0 μm and the width is 90 μm. In the gap 11a between the elements 12a and the gap 15a between the elements 16a,
It is filled with an insulating material that is transparent to the recording light L2. The stripe electrodes 12 and 16 only need to have conductivity, and each element 12a and 16a is made of gold,
It can be made from a single metal such as silver, aluminum or platinum, or an alloy such as indium oxide.

【0026】光導電層13の物質としては、a−Si
(アモルファスシリコン)を主成分とする光導電性物質
が適当である。この光導電層13の厚さは、記録光L2を
十分に吸収できるような厚さであるのが好ましいが、整
流層14の厚さに比べて厚すぎると、取り出し得る信号
電流が小さくなるので、整流層14の厚さに応じて、そ
の厚さが設定される。
The material of the photoconductive layer 13 is a-Si.
A photoconductive substance containing (amorphous silicon) as a main component is suitable. The thickness of the photoconductive layer 13 is preferably such that the recording light L2 can be sufficiently absorbed, but if it is too thick compared to the thickness of the rectifying layer 14, the signal current that can be taken out becomes small. The thickness is set according to the thickness of the rectifying layer 14.

【0027】光導電層13と整流層14との界面、すな
わち蓄電部19であって、エレメント12aとエレメン
ト16aとが交差する位置に対応する各画素位置には、
マイクロプレート(導電部材)18が、隣接したマイク
ロプレート18間に間隔を置いて離散した状態、つまり
それぞれが何処にも接続されないフローティング状態で
配設されている。
At the interface between the photoconductive layer 13 and the rectifying layer 14, that is, in the electricity storage unit 19, at each pixel position corresponding to the position where the element 12a and the element 16a intersect,
The microplates (conductive members) 18 are arranged in a spaced apart state between the adjacent microplates 18, that is, in a floating state in which they are not connected to each other.

【0028】このマイクロプレート18の各々は、画素
サイズと略同一サイズの範囲を占める寸法とするとよ
い。なお、この寸法は、必ずしも画素サイズと略同一の
範囲を占めるものに限られるものではなく、画素サイズ
よりも大きくても小さくてもよい。なお、解像可能な最
小の画素サイズは、このマイクロプレート18の寸法
と、両エレメント12a,16aの交差面積のいずれか
大きい方に対応したものとなる。
It is preferable that each of the micro plates 18 has a size that occupies a range substantially the same size as the pixel size. It should be noted that this dimension is not necessarily limited to one that occupies a range substantially the same as the pixel size, and may be larger or smaller than the pixel size. The smallest pixel size that can be resolved corresponds to the larger one of the size of the microplate 18 and the crossing area of the elements 12a and 16a.

【0029】マイクロプレート18は、例えば、真空蒸
着または化学的堆積を用いて光導電層13と整流層14
との間に堆積され、金、銀、アルミニウム、銅、クロ
ム、チタン、白金などの単一金属や酸化インジウムなど
の合金で、極めて薄い膜(例えば100Å程度)から作
ることができる。
The microplate 18 includes a photoconductive layer 13 and a rectifying layer 14 using, for example, vacuum evaporation or chemical deposition.
And a single metal such as gold, silver, aluminum, copper, chromium, titanium, or platinum, or an alloy such as indium oxide, and can be formed from an extremely thin film (for example, about 100 Å).

【0030】整流層14は、ガラス基板20側から、P
型半導体およびN型半導体がこの順に配されたものとす
る。本実施形態においては、P型半導体およびN型半導
体としてa−Siを主成分とした部材を用いるが、この
場合は、整流性をよくするために、P型半導体とN型半
導体との間に絶縁体を配する必要がある。すなわち、本
実施形態の整流層14は、ガラス基板20側から、P型
半導体としてのP型a−Si層14a、絶縁体としての
i(intrinsic ;中性)a−Si層14b、およびN型
半導体としてのN型a−Si層14cが順に配されてな
るものとする。これにより、P型a−Si層14aがア
ノードで、N型a−Si層14cがカソードとなるダイ
オード(整流素子)14dが構成される。一般的には、
ガラス基板20側から順次各層を積層して検出器10を
形成するので、この場合にはエレメント16aをガラス
基板20上に蒸着した後P型a−Si層14aを積層す
るようになり、第2電極層15内のエレメント16aの
間15aにもP型a−Siが充填されるようになる。
The rectifying layer 14 is formed from the glass substrate 20 side by P
It is assumed that the type semiconductor and the N-type semiconductor are arranged in this order. In the present embodiment, a member containing a-Si as a main component is used as the P-type semiconductor and the N-type semiconductor, but in this case, in order to improve the rectifying property, a member between the P-type semiconductor and the N-type semiconductor is used. It is necessary to arrange an insulator. That is, the rectifying layer 14 of the present embodiment includes, from the glass substrate 20 side, a P-type a-Si layer 14a as a P-type semiconductor, an i (intrinsic; neutral) a-Si layer 14b as an insulator, and an N-type. It is assumed that the N-type a-Si layer 14c as a semiconductor is sequentially arranged. As a result, a diode (rectifying element) 14d in which the P-type a-Si layer 14a serves as an anode and the N-type a-Si layer 14c serves as a cathode is formed. In general,
Since the detector 10 is formed by sequentially laminating each layer from the glass substrate 20 side, in this case, the element 16a is vapor-deposited on the glass substrate 20 and then the P-type a-Si layer 14a is laminated. The space 15a between the elements 16a in the electrode layer 15 is also filled with P-type a-Si.

【0031】なお、図面は模式図であって、各層の厚
さ、画素ピッチ、あるいは画素幅の関係を正しく反映し
ているものではない。すなわち図面上は、整流層14の
厚さの方がエレメント12aの幅よりも大きく示してい
るが、整流層14の厚さは画素ピッチ(前例では100
μm)よりも十分小さく設定され、通常およそ0.5μ
m程度とされる。
It should be noted that the drawings are schematic diagrams and do not accurately reflect the relationship among the thickness of each layer, the pixel pitch, or the pixel width. That is, in the drawing, the thickness of the rectifying layer 14 is shown to be larger than the width of the element 12a, but the thickness of the rectifying layer 14 is equal to the pixel pitch (100 in the previous example.
μm), which is set sufficiently smaller than the
It is about m.

【0032】アノードとしてのP型a−Si層14aは
第1ストライプ電極12の各エレメント12aにも積層
されており、各エレメント12aがアノード端子として
機能する。一方、カソードとしてのN型a−Si層14
cにはマイクロプレート18が積層されており、各マイ
クロプレート18がカソード端子として機能する。つま
り、実質的には、各エレメント12aと各マイクロプレ
ート18との間に個別(各別)のダイオード14dが接
続された構成となる。
The P-type a-Si layer 14a as an anode is also laminated on each element 12a of the first stripe electrode 12, and each element 12a functions as an anode terminal. On the other hand, the N-type a-Si layer 14 as the cathode
Microplates 18 are laminated on c, and each microplate 18 functions as a cathode terminal. That is, in effect, the individual (each) diode 14d is connected between each element 12a and each microplate 18.

【0033】なお、本実施形態のように、P型半導体、
絶縁体、およびN型半導体として、a−Siを主成分と
する部材を用いると、P型半導体およびN型半導体の比
抵抗が小さくなり半導体内部で電荷移動を生じ画像形成
に支障を来すことがある。そこで、この電荷移動を防止
するために、本実施形態の画像検出器10としては、蓄
電部19側(具体的にはマイクロプレート18と接する
側)に配されたN型半導体としてのN型a−Si層14
cが両エレメント12a,16aの交差位置である画素
位置に対応するように画素分割され、第2ストライプ電
極16のエレメント16a側に配されたP型半導体とし
てのP型a−Si層14aがエレメント16aに対応す
るようにストライプ状に分割されたものとする。
As in this embodiment, a P-type semiconductor,
If a member containing a-Si as a main component is used as the insulator and the N-type semiconductor, the specific resistance of the P-type semiconductor and the N-type semiconductor becomes small, and charge transfer occurs inside the semiconductor, which hinders image formation. There is. Therefore, in order to prevent this charge transfer, the image detector 10 of the present embodiment has an N-type semiconductor as an N-type semiconductor arranged on the power storage unit 19 side (specifically, the side in contact with the microplate 18). -Si layer 14
c is divided into pixels so as to correspond to a pixel position which is an intersection position of both elements 12a and 16a, and the P-type a-Si layer 14a as a P-type semiconductor arranged on the element 16a side of the second stripe electrode 16 is an element. 16a is divided into stripes corresponding to 16a.

【0034】なお、P型a−Si層14aは、エレメン
ト16aの長手方向についても、画素ピッチ(すなわち
エレメント12aの配列ピッチ)および画素幅となるよ
うに分割されたものとしてもよい。この場合、P型a−
Si層14aは、N型a−Si層14cと対向する位
置、すなわち両エレメント12a,16aの交差位置で
ある画素位置に対応するように画素分割されたものとな
る。
The P-type a-Si layer 14a may be divided into the pixel pitch (that is, the arrangement pitch of the elements 12a) and the pixel width in the longitudinal direction of the element 16a. In this case, P-type a-
The Si layer 14a is pixel-divided so as to correspond to a position facing the N-type a-Si layer 14c, that is, a pixel position which is an intersecting position of both the elements 12a and 16a.

【0035】また、P型a−Si層14aとN型a−S
i層14cとの間に配される絶縁体としてのia−Si
層14bについても、エレメント12a,16aのいず
れか一方に対応するようにストライプ状に分割されてい
るものとしてもよいし、あるいは前記画素位置に対応す
るように画素分割されている、すなわち両エレメント1
2a,16aの各配列方向それぞれにおいて所望の画素
ピッチおよび画素幅で分割されたものとしてもよい。
In addition, the P-type a-Si layer 14a and the N-type a-S
ia-Si as an insulator disposed between the i layer 14c and the i layer 14c
The layer 14b may also be divided into stripes so as to correspond to either one of the elements 12a and 16a, or may be divided into pixels so as to correspond to the pixel positions, that is, both elements 1
It may be divided at a desired pixel pitch and pixel width in each of the arrangement directions of 2a and 16a.

【0036】図2に、P型a−Si層14a、ia−S
i層14b、およびN型a−Si層14cのいずれもが
前記画素位置に対応するように画素分割された形態の検
出器の概略構成を図1と同様の図法によって示す。ま
た、P型a−Si層14aとN型a−Si層14cの2
つを前記画素位置に対応するように画素分割した検出器
のXY断面における整流素子周辺の拡大図を(D)に示
す。
In FIG. 2, the P-type a-Si layers 14a and ia-S are formed.
A schematic configuration of a detector in which both the i layer 14b and the N-type a-Si layer 14c are pixel-divided so as to correspond to the pixel positions is shown by the same drawing method as in FIG. In addition, the P-type a-Si layer 14a and the N-type a-Si layer 14c
An enlarged view around the rectifying element in the XY cross section of the detector in which one pixel is divided so as to correspond to the pixel position is shown in (D).

【0037】図3および図4は、上記検出器10を用い
た画像記録読取装置1の概略構成図を示すものであり、
図3は検出器10の斜視図と共に示した図、図4は検出
器10を等価回路で示した画像記録読取装置1の概略回
路図である。なお、ガラス基板20は省略して示す。図
4において、コンデンサCaは、マイクロプレート18
とエレメント12aとの間に形成されるものである。な
お、この画像記録読取装置1は、例えば、フィルムデジ
タイザ用センサとして利用することができる。
FIGS. 3 and 4 are schematic block diagrams of the image recording / reading apparatus 1 using the detector 10.
3 is a diagram showing a perspective view of the detector 10, and FIG. 4 is a schematic circuit diagram of the image recording / reading device 1 showing the detector 10 in an equivalent circuit. The glass substrate 20 is omitted in the illustration. In FIG. 4, the capacitor Ca is the microplate 18
And the element 12a. The image recording / reading device 1 can be used, for example, as a sensor for a film digitizer.

【0038】電流検出回路70には、検出器10に流れ
込む充電電流を検出する画像信号取得手段としての電流
検出アンプ部71、可変電圧電源72、第1ストライプ
電極12のエレメント12aの1つずつと各別に接続さ
れたスイッチング素子75aを多数有するスイッチ部7
5、および制御手段76が設けられている。スイッチン
グ素子75aとしては、オフ抵抗が十分大きいことが好
ましく、例えばMOS−FETを使用する。
In the current detection circuit 70, a current detection amplifier section 71 as an image signal acquisition means for detecting the charging current flowing into the detector 10, a variable voltage power source 72, and one element 12a of the first stripe electrode 12 are provided. A switch unit 7 having a large number of switching elements 75a connected to each other
5, and control means 76 are provided. The switching element 75a preferably has a sufficiently large off resistance, and for example, a MOS-FET is used.

【0039】電流検出アンプ部71は、該電流検出アン
プ71の主要部を構成するオペアンプ71aを多数有し
ている。各オペアンプ71aの非反転入力端子(+)が
可変電圧電源72の正極と接続され、反転入力端子
(−)がエレメント16a毎に夫々1つずつ個別に接続
されている。可変電圧電源72の負極は、スイッチング
素子75aの一方の端子に共通に接続されている。
The current detection amplifier section 71 has a large number of operational amplifiers 71a which constitute the main part of the current detection amplifier 71. The non-inverting input terminal (+) of each operational amplifier 71a is connected to the positive electrode of the variable voltage power source 72, and the inverting input terminal (-) is individually connected to each element 16a. The negative electrode of the variable voltage power supply 72 is commonly connected to one terminal of the switching element 75a.

【0040】記録時には、スイッチ部75は、第1スト
ライプ電極12の各エレメント12aを可変電圧電源7
2およびオペアンプ71aのイマジナリショートを介し
て、第2ストライプ電極16の各エレメント16aと接
続するように制御手段76により制御される。また、可
変電圧電源72は、記録用電圧を生じるように制御手段
76により制御される。
At the time of recording, the switch section 75 controls each element 12a of the first stripe electrode 12 to the variable voltage power supply 7
2 and the control means 76 so as to connect to each element 16a of the second stripe electrode 16 via an imaginary short circuit of the operational amplifier 71a. Further, the variable voltage power supply 72 is controlled by the control means 76 so as to generate a recording voltage.

【0041】読取時には、スイッチ部75は、第1スト
ライプ電極12のエレメント12aの1つずつを、エレ
メント16aの長手方向に順次切り換えながら、切り換
えられたエレメント12aが可変電圧電源72およびオ
ペアンプ71aのイマジナリショートを介して、第2ス
トライプ電極16の各エレメント16aと接続するよう
に制御手段76により制御される。また、可変電圧電源
72は、読取用電圧を生じるように制御手段76により
制御される。スイッチ部75によるエレメント16aの
長手方向への順次切換えは副走査に対応し、このスイッ
チ部75による切換接続によって検出器10に流れ込む
充電電流が、第1ストライプ電極12のエレメント12
a夫々について、各電流検出アンプにより同時(並列
的)に検出されることにより、蓄電部19に蓄積された
電荷の量に応じたレベルの電気信号が取得される。
At the time of reading, the switch section 75 sequentially switches each of the elements 12a of the first stripe electrode 12 in the longitudinal direction of the element 16a, and the switched elements 12a are imaginary of the variable voltage power supply 72 and the operational amplifier 71a. It is controlled by the control means 76 so as to be connected to each element 16a of the second stripe electrode 16 via a short circuit. Further, the variable voltage power source 72 is controlled by the control means 76 so as to generate a reading voltage. The sequential switching of the element 16a in the longitudinal direction by the switch portion 75 corresponds to the sub-scanning, and the charging current flowing into the detector 10 by the switching connection by the switch portion 75 causes the element 12 of the first stripe electrode 12 to have a charging current.
Each a is simultaneously (in parallel) detected by each current detection amplifier, whereby an electric signal having a level corresponding to the amount of charges accumulated in the power storage unit 19 is acquired.

【0042】つまり、可変電圧電源72、スイッチ部7
5および制御手段76は、第1ストライプ電極12と第
2ストライプ電極16との間に所定の電圧を印加する電
圧印加手段を構成するものでもある。
That is, the variable voltage power source 72 and the switch section 7
5 and the control means 76 also constitute a voltage application means for applying a predetermined voltage between the first stripe electrode 12 and the second stripe electrode 16.

【0043】また、可変電圧電源72および制御手段7
6は、第1ストライプ電極12と第2ストライプ電極1
6との間に印加する電圧を変更する電圧変更手段を構成
するものでもある。ここで、電圧変更手段は、可変電圧
電源72の代わりに、記録用電圧電源と読取用電圧電源
とを並列的に接続し、記録時と読取時にスイッチで両電
源を切り替えるようにしてもよい。
Further, the variable voltage power source 72 and the control means 7
6 is the first stripe electrode 12 and the second stripe electrode 1
It also constitutes a voltage changing means for changing the voltage applied between 6 and 6. Here, the voltage changing means may connect the recording voltage power source and the reading voltage power source in parallel, instead of the variable voltage power source 72, and switch both power sources by a switch during recording and during reading.

【0044】ここで、読取用電圧を記録用電圧より高く
することによる効果について説明する。図17(A)
は、記録光強度が大きい部分および記録光強度が小さい
部分の読取時における再充電電流の検出特性を示す図で
あり、図17(B)は、記録光強度が小さい部分の読取
りにおいて、記録時と同じ電圧(通常の電圧)を印加し
た場合と、記録時より高い電圧を印加した場合の再充電
電流の検出特性を示す図である。
Here, the effect of increasing the reading voltage higher than the recording voltage will be described. FIG. 17 (A)
FIG. 17 is a diagram showing the detection characteristics of the recharge current at the time of reading a portion where the recording light intensity is high and the portion where the recording light intensity is low. FIG. FIG. 6 is a diagram showing detection characteristics of recharge current when the same voltage (normal voltage) is applied and when a voltage higher than that during recording is applied.

【0045】図17(A)に示すように、記録光強度が
高い場合は、高い充電電圧が印加されるためダイオード
14dの順方向抵抗が低くなり応答性が高くなるため、
1画素分の信号を検出する時間tpix内に潜像電荷を
全て読み出すことが可能であるが、記録光強度が低い場
合は、ダイオード14dの順方向抵抗が高くなり応答性
が低下するため、時間tpix内に潜像電荷を全て読み
出すことができず、潜像電荷の読残しが生じてしまう
(図中斜線部)。
As shown in FIG. 17A, when the recording light intensity is high, a high charging voltage is applied, so that the forward resistance of the diode 14d becomes low and the response becomes high.
It is possible to read all the latent image charges within the time t pix for detecting a signal for one pixel, but when the recording light intensity is low, the forward resistance of the diode 14d increases and the responsiveness deteriorates. All the latent image charges cannot be read out within the time t pix , and the latent image charges are left unread (hatched portion in the figure).

【0046】そのため、図17(B)に示すように、読
取時に記録用電圧よりも高い電圧を印加することによ
り、記録光強度が低い部分であっても、ダイオード14
dの順方向抵抗を相対的に低くすることができるため、
読取時に記録用電圧と同じ電圧を印加した場合と比較し
て応答性を向上させることができる。
Therefore, as shown in FIG. 17B, by applying a voltage higher than the recording voltage at the time of reading, even if the recording light intensity is low, the diode 14
Since the forward resistance of d can be made relatively low,
The response can be improved as compared with the case where the same voltage as the recording voltage is applied during reading.

【0047】なお、記録用電圧よりも読取用電圧を高く
した場合には、読取用電圧と記録用電圧との電圧の差の
分だけ偽電荷Qが生じ、読み取った電荷から偽電荷Q
を差し引いても、この偽電荷Qにより式N=√(2
・Q)で表される分だけショットノイズNが画像信号
に重畳する。読取用電圧を印加した際に記録光強度が0
以外の部分で検出される充電電流の最小値に対応する電
荷をQとすると、このQよりもショットノイズが大
きくなると、電荷Qに相当する充電電流の検出が正確
に行えなくなる。そのため、電圧変更手段は、式√(2
・Q)<Qを満足するように、読取用電圧を変更す
ることが望ましい。
When the reading voltage is set higher than the recording voltage, the false charge Q 0 is generated by the difference between the reading voltage and the recording voltage, and the false charge Q is generated from the read charge.
Also by subtracting the 0, the formula N = √ by this false charge Q 0 (2
The shot noise N is superimposed on the image signal by the amount represented by Q 0 ). The recording light intensity is 0 when a reading voltage is applied.
The charge corresponding to the minimum value of the charging current detected at a portion other than when the Q 1, the shot noise becomes larger than the Q 1, the detection of the charging current corresponding to the charge Q 1 not correctly performed. Therefore, the voltage changing means is expressed by the formula √ (2
・ It is desirable to change the reading voltage so that Q 0 ) <Q 1 is satisfied.

【0048】電流検出回路70の出力信号Sはデータ処
理部3に入力され、記憶装置4に一旦格納された後、所
定の画像処理が施され、この処理後のデータDが画像表
示手段5に入力され、画像表示手段5上に画像情報を表
す可視画像が表示されるように構成される。
The output signal S of the current detection circuit 70 is input to the data processing unit 3, temporarily stored in the storage device 4, and then subjected to predetermined image processing, and the processed data D is displayed on the image display means 5. A visible image representing image information is input and displayed on the image display means 5.

【0049】このデータ処理部3が画像構成手段となる
ものである。ここで、記録用電圧よりも読取用電圧を高
くして読取りを行った場合には、読取用電圧と記録用電
圧との電圧の差の分だけ偽電荷Qが生じるため、デー
タ処理部3により画像を構成する際に、出力信号Sから
偽電荷Qに相当する信号を差し引いてから処理を行う
ようにすることが望ましい。なお、偽電荷Qは前記電
圧の差に対応するため、記録光L2を入射しない状態で予
め検出し、記憶装置4に保管しておくことができる。
The data processing section 3 serves as an image forming means. Here, when reading is performed with the reading voltage higher than the recording voltage, since the pseudo charge Q 0 is generated by the difference between the reading voltage and the recording voltage, the data processing unit 3 When an image is formed by, it is desirable to subtract the signal corresponding to the pseudo charge Q 0 from the output signal S before performing the processing. Since the pseudo charge Q 0 corresponds to the voltage difference, it can be detected in advance in the state where the recording light L2 is not incident and stored in the storage device 4.

【0050】以下、上記構成の画像記録読取装置1にお
いて、検出器10の蓄電部19に一様の電荷を蓄積し、
その後、画像情報を静電潜像として記録し、さらに記録
された静電潜像を読み出す方法について説明する。
Hereinafter, in the image recording / reading apparatus 1 having the above-described structure, uniform electric charge is accumulated in the electricity storage section 19 of the detector 10,
After that, a method of recording image information as an electrostatic latent image and reading the recorded electrostatic latent image will be described.

【0051】最初に、蓄電部19に一様の電荷を蓄積す
る一様電荷蓄積過程について、図5(A)に示す電荷モ
デルを参照して説明する。なお、光導電層14内に生成
される負電荷(−)および正電荷(+)を、図面上では
−または+を○で囲んで表すものとする。図5(B)
は、等価回路で示した図である。いずれもガラス基板2
0、および整流層14内の層構成は省略して示す。
First, the uniform charge accumulation process of accumulating uniform charges in the electricity storage unit 19 will be described with reference to the charge model shown in FIG. The negative charge (−) and positive charge (+) generated in the photoconductive layer 14 are represented by enclosing − or + in a circle in the drawing. FIG. 5 (B)
[Fig. 3] is a diagram shown by an equivalent circuit. Both are glass substrates 2
0 and the layer structure in the rectifying layer 14 are omitted.

【0052】検出器10の蓄電部19に一様の電荷を蓄
積する際には、先ずスイッチ部75の各スイッチング素
子75aを全てオンにし、第1ストライプ電極12と第
2ストライプ電極16との間に、第2ストライプ電極1
6側が正極となるように可変電圧電源72からオペアン
プ71aを介して記録用電圧を印加する。
In order to store a uniform charge in the electricity storage unit 19 of the detector 10, first, all the switching elements 75a of the switch unit 75 are turned on so that the first stripe electrode 12 and the second stripe electrode 16 are connected to each other. The second stripe electrode 1
The recording voltage is applied from the variable voltage power source 72 through the operational amplifier 71a so that the 6 side becomes the positive electrode.

【0053】これにより、エレメント12aとエレメン
ト16aとの間には所定の電界分布が生じ、該電界が、
エレメント12aとマイクロプレート18との間に形成
されたコンデンサCaと、エレメント12aとマイクロ
プレート18との間に形成されたダイオード14dとに
印加される。このとき、第2ストライプ電極16側が正
で、エレメント12a側が負となるように電圧が印加さ
れているので、ダイオード14dは順バイアスされてオ
ンし、エレメント16aの正電荷がダイオード14dを
通過しマイクロプレート18まで移動する。したがっ
て、第1ストライプ電極12の全エレメント12aが負
に帯電し、マイクロプレート18が正に帯電して、マイ
クロプレート18とエレメント12aとの間には、可変
電圧電源72による印加電圧(記録用電圧)と同じ大き
さの電圧が発生する(図5(A))。
As a result, a predetermined electric field distribution is generated between the element 12a and the element 16a, and the electric field is
A capacitor Ca formed between the element 12a and the microplate 18 and a diode 14d formed between the element 12a and the microplate 18 are applied. At this time, since the voltage is applied so that the second stripe electrode 16 side is positive and the element 12a side is negative, the diode 14d is forward-biased and turned on, and the positive charge of the element 16a passes through the diode 14d and the Move to plate 18. Therefore, all the elements 12a of the first stripe electrode 12 are negatively charged, the microplate 18 is positively charged, and the voltage (recording voltage) applied by the variable voltage power source 72 is applied between the microplate 18 and the element 12a. 5) is generated (FIG. 5 (A)).

【0054】このように、本発明による画像検出器を適
用した場合には、蓄電部に一様電荷を蓄積させる1次帯
電用の手段として光源を必要としないので、簡易な記録
装置を構成することができる。
As described above, when the image detector according to the present invention is applied, since a light source is not required as a means for primary charging for accumulating uniform charges in the power storage unit, a simple recording device is constructed. be able to.

【0055】次に、画像情報を静電潜像として記録する
静電潜像記録過程について、図6に示す電荷モデルを参
照して説明する。なお、一様電荷蓄積過程と同様に、記
録光L2によって光導電層13内に生成される負電荷
(−)および正電荷(+)を、図面上では−または+を
○で囲んで表すものとする。なお、ガラス基板20、お
よび整流層14内の層構成は省略して示す。
Next, an electrostatic latent image recording process for recording image information as an electrostatic latent image will be described with reference to the charge model shown in FIG. As in the uniform charge accumulation process, the negative charge (−) and the positive charge (+) generated in the photoconductive layer 13 by the recording light L2 are represented by encircling − or + in the drawing. And The glass substrate 20 and the layer structure in the rectifying layer 14 are omitted.

【0056】検出器10に静電潜像を記録する際には、
先ずスイッチ部75の全スイッチング素子75aをオフ
にして、検出器10への可変電圧電源72からの電圧印
加を停止させる(図6(A))。
When recording an electrostatic latent image on the detector 10,
First, all the switching elements 75a of the switch section 75 are turned off to stop the voltage application from the variable voltage power source 72 to the detector 10 (FIG. 6 (A)).

【0057】次に可視光L1を被写体の画像情報が記録さ
れたフィルム9に照射し、その透過部9aを透過した被
写体の画像情報を担持する記録光L2を検出器10の第1
電極層11側に照射する。なお、記録光L2を第1電極層
11側から照射する場合には、第1ストライプ電極12
側を記録光L2に対して透過性のあるものとする。
Next, the film 9 on which the image information of the subject is recorded is irradiated with the visible light L1, and the recording light L2 carrying the image information of the subject transmitted through the transmitting portion 9a is firstly detected by the detector 10.
The electrode layer 11 side is irradiated. When the recording light L2 is irradiated from the first electrode layer 11 side, the first stripe electrode 12
The side shall be transparent to the recording light L2.

【0058】記録光L2は、検出器10の第1電極層11
を透過し、光導電層13内で記録光L2の線量に応じた量
の正負の電荷対を発生せしめる(図6(B))。第1ス
トライプ電極12と蓄電部19との間には、各エレメン
ト12aに帯電している負電荷と、マイクロプレート1
8に捕捉され該マイクロプレート18に帯電した一様な
正電荷との間で所定の電界分布が生じている。したがっ
て、この電界分布に応じて、発生した電荷対のうち、正
電荷が第1電極層11側に移動し、ストライプ電極12
のエレメント12aに帯電している負電荷と電荷再結合
して消滅する。また、負電荷が蓄電部19側に移動し、
マイクロプレート18に帯電している正電荷と電荷再結
合して消滅する(図6(C)の右側部)。
The recording light L2 is applied to the first electrode layer 11 of the detector 10.
To generate positive and negative charge pairs according to the dose of the recording light L2 in the photoconductive layer 13 (FIG. 6B). Between the first stripe electrode 12 and the electricity storage unit 19, the negative charges charged in each element 12a and the microplate 1 are provided.
A predetermined electric field distribution is generated between the uniform positive charges captured by the microplates 8 and charged on the microplate 18. Therefore, according to this electric field distribution, positive charges of the generated charge pairs move to the first electrode layer 11 side, and the stripe electrode 12
Element 12a and the negative charge charged in the element 12a are recombined and disappear. Also, the negative charge moves to the power storage unit 19 side,
The positive charges charged in the microplate 18 are recombined with the charges and disappear (right side of FIG. 6C).

【0059】一方、フィルム9の非透過部9bに照射さ
れた可視光L1は、該非透過部9bを透過することがない
ので、その部分に対応する光導電層13内では電荷対が
発生せず、第1ストライプ電極12のエレメント12a
には負電荷が帯電したまま残り、またダイオード14d
はカソードからアノードへは電流を流さないので、マイ
クロプレート18には正電荷が帯電したまま残る(図6
(C)の左側部)。
On the other hand, since the visible light L1 applied to the non-transmissive portion 9b of the film 9 does not pass through the non-transmissive portion 9b, no charge pair is generated in the photoconductive layer 13 corresponding to that portion. , Element 12a of the first stripe electrode 12
Negative charge remains charged in the diode, and the diode 14d
Does not pass a current from the cathode to the anode, so positive charges remain charged on the microplate 18 (FIG. 6).
(Left side of (C)).

【0060】ところで、上述した説明では、エレメント
12aや蓄電部19のマイクロプレート18に帯電して
いる電荷を全て消滅させる分の電荷対が光導電層13内
で発生するものとして説明したものであるが、実際に発
生する電荷対の量は、検出器10に入射する記録光L2の
強度や線量に応じたものとなる。記録用電圧印加によっ
て検出器内に一様に帯電させた電荷を全て消滅させるこ
とができるだけの電荷対を発生させられるとは限らな
い。
By the way, in the above description, it is assumed that a charge pair for eliminating all the charges charged in the microplate 18 of the element 12a and the power storage unit 19 is generated in the photoconductive layer 13. However, the amount of charge pairs actually generated depends on the intensity and dose of the recording light L2 incident on the detector 10. The application of the recording voltage does not always generate a charge pair capable of extinguishing all the charges uniformly charged in the detector.

【0061】つまり、フィルム9の透過部9aを透過し
検出器10に入射した記録光L2の強度や光量に発生電荷
量が略比例することとなるので、検出器10に蓄積され
たまま残る電荷の量は、記録用電圧印加によって蓄電部
19に蓄積せしめた一様電荷量から、この発生電荷量を
差し引いたものとなる。したがって、記録光L2の強度や
線量に応じて蓄電部19の正電荷量が変わることとな
り、検出器10に静電潜像が記録されたこととなる。な
お、潜像電荷はマイクロプレート18に集中して蓄積さ
れるので、記録時の鮮鋭度を向上させることができる。
That is, since the generated charge amount is substantially proportional to the intensity and light amount of the recording light L2 that has passed through the transmission portion 9a of the film 9 and is incident on the detector 10, the charge remaining in the detector 10 remains. Is equal to the amount of uniform charges accumulated in the power storage unit 19 by applying the recording voltage, minus the amount of generated charges. Therefore, the amount of positive charge of the electricity storage unit 19 changes according to the intensity and dose of the recording light L2, and the electrostatic latent image is recorded on the detector 10. Since the latent image charges are concentrated and accumulated on the microplate 18, the sharpness at the time of recording can be improved.

【0062】次に、検出器に記録された静電潜像を読み
出す静電潜像読取過程について、図7に示す電荷モデル
を参照して説明する。なお、一様電荷蓄積過程および記
録過程と同様に、光導電層13内に生成された負電荷
(−)および正電荷(+)を、図面上では−または+を
○で囲んで表すものとする。なお、ガラス基板20、お
よび整流層14内の層構成は省略して示す。
Next, the electrostatic latent image reading process for reading the electrostatic latent image recorded on the detector will be described with reference to the charge model shown in FIG. As in the uniform charge accumulation process and the recording process, the negative charge (−) and the positive charge (+) generated in the photoconductive layer 13 are represented by − or + in circles in the drawing. To do. The glass substrate 20 and the layer structure in the rectifying layer 14 are omitted.

【0063】検出器10から静電潜像を読み取る際に
は、スイッチ部75のスイッチング素子75aがオンし
たときに、オペアンプ71aのイマジナリショートを介
して、エレメント12aとエレメント16aとの間に、
可変電圧電源72から読取用電圧が印加されるようにす
る(図7(A))。
When the electrostatic latent image is read from the detector 10, when the switching element 75a of the switch section 75 is turned on, it is connected between the element 12a and the element 16a via the imaginary short circuit of the operational amplifier 71a.
The reading voltage is applied from the variable voltage power source 72 (FIG. 7A).

【0064】次いで、スイッチ部75のスイッチング素
子75aを、エレメント16aの長手方向に、一方の端
から他方の端に向けて順次切り換えて1つずつオンさせ
て、オンしたスイッチング素子75aと接続されたエレ
メント12aと第2ストライプ電極16の各エレメント
16aとの間に可変電圧電源72から読取用電圧を印加
する(図7(B))。
Next, the switching elements 75a of the switch section 75 are sequentially switched in the longitudinal direction of the element 16a from one end to the other end to be turned on one by one, and are connected to the turned-on switching elements 75a. A reading voltage is applied from the variable voltage power source 72 between the element 12a and each element 16a of the second stripe electrode 16 (FIG. 7B).

【0065】この順次切り換えによる検出器10への電
圧印加によって、マイクロプレート18に正電荷が蓄積
されていない部分を挟むエレメント12aおよび該マイ
クロプレート18においては、一様電荷蓄積過程と同様
に、エレメント12aが負に帯電し、マイクロプレート
18が正に帯電する。
By the voltage application to the detector 10 by this sequential switching, in the element 12a and the microplate 18 that sandwich the portion where the positive charge is not accumulated in the microplate 18, as in the uniform charge accumulation process, the element is formed. 12a is negatively charged and the microplate 18 is positively charged.

【0066】図8(A)は、この帯電の様子を等価回路
で示した図であり、図8(B)は、この帯電に伴う充電
電流Icの変化を表す図である。
FIG. 8A is a diagram showing the state of this charging by an equivalent circuit, and FIG. 8B is a diagram showing the change of the charging current Ic due to this charging.

【0067】電流検出アンプ部71の電流検出アンプ7
1dは、この電荷の帯電に伴う電荷の移動によって検出
器10に流れ込む充電電流を各エレメント16a毎に同
時に検出し、スイッチ部75の順次切換えによって、次
々と画素毎の潜像電荷に対応して電流検出アンプ71d
の出力部に観測される電圧変化を検出することによって
静電潜像を表す画像信号を得る、つまり画像情報を読み
取る。充電電流の応答性はダイオード14dの順方向抵
抗と光導電層の容量Caの関数となる。
Current detection amplifier 7 of current detection amplifier section 71
1d simultaneously detects the charging current flowing into the detector 10 due to the movement of the charge accompanying the charging of the charge for each element 16a, and sequentially switches the switch unit 75 to correspond to the latent image charge for each pixel. Current detection amplifier 71d
An image signal representing the electrostatic latent image is obtained by detecting the voltage change observed at the output section of, i.e., image information is read. The responsiveness of the charging current is a function of the forward resistance of the diode 14d and the capacitance Ca of the photoconductive layer.

【0068】このように、本発明による画像検出器を適
用した場合、潜像電荷を読み取る手段として光源を必要
としないので、簡易な読取装置を構成することができ
る。
As described above, when the image detector according to the present invention is applied, since a light source is not required as a means for reading the latent image charge, a simple reading device can be constructed.

【0069】なお、ダイオード14dは容量を持つた
め、エレメント12aとエレメント16a夫々が同電位
になるように電荷の再分配が起きる。取り出し得る信号
電流、即ち、画像信号に寄与する充電電流は光導電層1
3への再充電電流であるため、ダイオード14dへ分配
された電荷だけ変化してしまう。したがって、画像信号
に寄与する充電電流を大きくするには、ダイオード14
dの容量C1と光導電層13の容量C2との比C1/C
2を小さくした方がよい。このためには、エレメント1
6aを細く、ダイオード14dの面積を小さくして容量
比を下げる、或いは、光導電層13を光吸収が十分であ
る厚さで、できるだけ薄くするといったことが有効であ
る。
Since the diode 14d has a capacitance, electric charges are redistributed so that the element 12a and the element 16a have the same potential. The signal current that can be taken out, that is, the charging current that contributes to the image signal is the photoconductive layer 1
Since it is the recharge current to the diode 3, only the charge distributed to the diode 14d changes. Therefore, in order to increase the charging current that contributes to the image signal, the diode 14
The ratio C1 / C of the capacitance C1 of d and the capacitance C2 of the photoconductive layer 13
It is better to make 2 smaller. To do this, element 1
It is effective to make 6a thin and reduce the area of the diode 14d to reduce the capacitance ratio, or to make the photoconductive layer 13 as thin as possible with a thickness sufficient for light absorption.

【0070】図9は本発明の第2の実施の形態の画像記
録読取装置に用いる画像検出器の概略構成を示す図であ
り、図9(A)は斜視図、図9(B)はP矢指部のXY
断面図、図9(C)はQ矢指部のXZ断面図である。
9A and 9B are views showing the schematic arrangement of an image detector used in the image recording / reading apparatus according to the second embodiment of the present invention. FIG. 9A is a perspective view and FIG. XY of the arrow finger part
A cross-sectional view and FIG. 9C are XZ cross-sectional views of the Q arrow finger portion.

【0071】この第2の実施の形態の検出器10として
は、上記第1の実施の形態の検出器10と同様に整流層
14をa−Siを主成分とするもので構成するととも
に、図示するように、整流層14をなすP型a−Si層
14a、ia−Si層14b、およびN型a−Si層1
4cの全てを、画素位置に対応するように画素分割した
構成とする。
As the detector 10 of the second embodiment, similar to the detector 10 of the first embodiment, the rectifying layer 14 is mainly composed of a-Si and is illustrated. As described above, the P-type a-Si layer 14a, the ia-Si layer 14b, and the N-type a-Si layer 1 that form the rectifying layer 14 are formed.
All 4c are pixel-divided so as to correspond to pixel positions.

【0072】図10は、第2の実施の形態による放射線
固体検出器を用いた画像記録読取装置1の全体構成を示
す図である。第1の実施の形態においては、被写体の画
像情報が予め記録されたフィルム9を可視光L1の照射対
象としていたが、第2の実施の形態においては、放射線
源90から放射線L1を被写体9そのものに爆射し、被写
体9の透過部9aを通過した被写体9の放射線画像情報
を担持する記録光L2を検出器10に照射する構成となっ
ている。検出器10および電流検出回路70は、遮光ケ
ース2内に収容されている。電流検出回路70の出力信
号Sはデータ処理部3に入力され、記憶装置4に一旦格
納された後、所定の画像処理が施され、この処理後のデ
ータDが画像表示手段5に入力され、画像表示手段5上
に放射線画像情報を表す可視画像が表示されるように構
成されている。
FIG. 10 is a diagram showing the overall structure of the image recording / reading apparatus 1 using the solid-state radiation detector according to the second embodiment. In the first embodiment, the film 9 on which the image information of the subject is recorded in advance is the irradiation target of the visible light L1, but in the second embodiment, the radiation L1 is emitted from the radiation source 90 to the subject 9 itself. The detector 10 is irradiated with the recording light L2 carrying the radiation image information of the subject 9 that has passed through the transmitting portion 9a of the subject 9 and is exposed to the subject. The detector 10 and the current detection circuit 70 are housed in the light shielding case 2. The output signal S of the current detection circuit 70 is input to the data processing unit 3, is temporarily stored in the storage device 4, is subjected to predetermined image processing, and the processed data D is input to the image display means 5. A visible image representing the radiation image information is displayed on the image display means 5.

【0073】この第2の実施の形態による検出器10に
おいては、上記第1の実施の形態による検出器10の第
1電極層11の外側に、記録光L2の励起により該記録光
L2の波長と異なる波長の蛍光L4を発する波長変換層とし
ての蛍光体(シンチレータ)17aを積層すると共に、
第1電極層を蛍光L4に対して透過性を有するものとし、
光導電層13を蛍光体17aから発せられる蛍光L4の照
射を受けることにより導電性を呈するものとしている。
In the detector 10 according to the second embodiment, the recording light L2 is excited to the outside of the first electrode layer 11 of the detector 10 according to the first embodiment, so that the recording light L2 is excited.
While stacking a phosphor (scintillator) 17a as a wavelength conversion layer that emits fluorescence L4 having a wavelength different from the wavelength of L2,
The first electrode layer is transparent to the fluorescent light L4,
The photoconductive layer 13 is rendered conductive by being irradiated with the fluorescent light L4 emitted from the phosphor 17a.

【0074】蛍光体17aとしては、記録光L2に対する
波長変換効率が高い蛍光体を用いるのが好適である。例
えば、光導電層13の物質としてa−Siを主成分とす
る光導電性物質を使用する場合には、光導電層13は緑
色光に対して極めて効率よく導電性を呈するようになる
ので、蛍光体17aからこの緑色光が発せられるよう
に、GOS、CsI:Tlなどを主成分とする蛍光体を
用いるのが好適である。
As the phosphor 17a, it is preferable to use a phosphor having a high wavelength conversion efficiency for the recording light L2. For example, when a photoconductive substance containing a-Si as a main component is used as the substance of the photoconductive layer 13, the photoconductive layer 13 exhibits extremely efficient conductivity with respect to green light. It is preferable to use a phosphor containing GOS, CsI: Tl, or the like as a main component so that the green light is emitted from the phosphor 17a.

【0075】また、光導電層13の物質としてa−Se
を主成分とする光導電性物質を使用する場合には、光導
電層13は青色光(波長400〜430nm程度;以下同
様)に対して極めて効率よく導電性を呈するようになる
ので、蛍光体17aからこの青色光が発せられるよう
に、YTaO:Nb、LaOBr:Tb、CsI:
Naなどを主成分とする蛍光体を用いるのが好適であ
る。
As the material of the photoconductive layer 13, a-Se is used.
When a photoconductive substance containing as a main component is used, the photoconductive layer 13 becomes extremely efficient to exhibit blue light (wavelength of 400 to 430 nm; the same applies below). YTaO 4 : Nb, LaOBr: Tb, CsI: so that the blue light is emitted from 17a.
It is preferable to use a phosphor whose main component is Na or the like.

【0076】この第2の実施の形態による検出器10を
使用する場合の静電潜像記録過程について、図11およ
び図12に示す電荷モデルを参照して説明する。ここで
も、第1の実施の形態による検出器10を使用した場合
と同様に、記録光L2によって励起・発光された蛍光L4に
よって光導電層13内に生成される負電荷(−)および
正電荷(+)を、図面上では−または+を○で囲んで表
すものとする。なお、電圧を印加して一様電荷を帯電さ
せる一様電荷帯電過程および静電潜像読取過程について
は、上記第1の実施の形態による検出器10を使用する
場合と同様であるので、説明を省略する。なお、ガラス
基板20、および整流層14内の層構成は省略して示
す。
The electrostatic latent image recording process when using the detector 10 according to the second embodiment will be described with reference to the charge model shown in FIGS. 11 and 12. Also here, as in the case of using the detector 10 according to the first embodiment, the negative charge (−) and the positive charge generated in the photoconductive layer 13 by the fluorescence L4 excited and emitted by the recording light L2. (+) Is represented by enclosing-or + in the drawing. The uniform charge charging process of charging a uniform charge by applying a voltage and the electrostatic latent image reading process are the same as those in the case of using the detector 10 according to the first embodiment, and therefore will be described. Is omitted. The glass substrate 20 and the layer structure in the rectifying layer 14 are omitted.

【0077】最初に、記録光L2を第1電極層11側、す
なわち蛍光体17a側から照射する場合における静電潜
像記録過程について、図11を参照して説明する。
First, the electrostatic latent image recording process when the recording light L2 is irradiated from the first electrode layer 11 side, that is, the phosphor 17a side will be described with reference to FIG.

【0078】図11(A)に示す一様電荷蓄電状態で、
検出器10への電圧の印加を停止させた後、放射線L1を
被写体9に爆射し、被写体9の透過部9aを通過した被
写体の放射線画像情報を担持する記録光L2を、検出器1
0の蛍光体17a側に照射する。これにより、蛍光体1
7aから、記録光L2の励起により、記録光L2の線量に応
じた光量の蛍光L4が発せられる(図11(B))。蛍光
体17aから発せられた蛍光L4は、第1電極層11を透
過し、光導電層13内で蛍光L4の光量に応じた量の正負
の電荷対を発生せしめる(図11(C))。
In the uniform charge storage state shown in FIG.
After the application of the voltage to the detector 10 is stopped, the radiation L1 is bombarded onto the subject 9, and the recording light L2 carrying the radiation image information of the subject which has passed through the transmission part 9a of the subject 9 is detected by the detector 1
The fluorescent substance 17a side of 0 is irradiated. Thereby, the phosphor 1
Excitation of the recording light L2 causes the fluorescent light L4 to be emitted from 7a in an amount corresponding to the dose of the recording light L2 (FIG. 11B). The fluorescent light L4 emitted from the fluorescent body 17a passes through the first electrode layer 11 to generate positive and negative charge pairs in the photoconductive layer 13 in an amount corresponding to the light amount of the fluorescent light L4 (FIG. 11C).

【0079】第1の実施の形態による検出器10を用い
た場合と同様に、発生した電荷対のうち、負電荷が第1
電極層11側に移動し、ストライプ電極12のエレメン
ト12aに帯電している正電荷と電荷再結合して消滅す
る。また、正電荷が蓄電部19側に移動し、マイクロプ
レート18に帯電している負電荷と電荷再結合して消滅
する(図11(D)の検出器10の右側部)。
As in the case of using the detector 10 according to the first embodiment, of the generated charge pairs, the negative charge is the first.
It moves to the side of the electrode layer 11 and recombines with the positive charges charged in the element 12a of the stripe electrode 12 to disappear. In addition, the positive charge moves to the power storage unit 19 side and recombines with the negative charge charged in the microplate 18 to disappear (right side of the detector 10 in FIG. 11D).

【0080】一方、被写体9の非透過部9bに照射され
た放射線は、被写体を透過することがないので、その部
分に対応する蛍光体17aからは蛍光L4が発せられるこ
とはなく、第1ストライプ電極12のエレメント12a
には正電荷が帯電し、マイクロプレート18には負電荷
が帯電したまま残る(図11(C)の検出器10の左側
部)。
On the other hand, since the radiation applied to the non-transmissive portion 9b of the subject 9 does not pass through the subject, fluorescence L4 is not emitted from the phosphor 17a corresponding to that portion, and the first stripe Element 12a of electrode 12
Is charged with a positive charge, and the microplate 18 remains charged with a negative charge (on the left side of the detector 10 in FIG. 11C).

【0081】つまり、第1の実施の形態による検出器1
0においては、記録光L2の照射を直接受けて光導電層1
3内で電荷対が発生するのに対して、第2の実施の形態
による検出器10においては、蛍光L4の照射を受けて光
導電層13内で電荷対が発生するという点が異なるのみ
であり、換言すれば、記録光L2と蛍光L4の違いを除い
て、検出器10に静電潜像を記録する過程には大きな違
いがない。
That is, the detector 1 according to the first embodiment
At 0, the photoconductive layer 1 is directly exposed to the irradiation of the recording light L2.
3 are different from the charge pairs generated in the photoconductive layer 13 in the photoconductor layer 13 in response to the irradiation of the fluorescent light L4 in the detector 10 according to the second embodiment. In other words, in other words, there is no great difference in the process of recording the electrostatic latent image on the detector 10, except for the difference between the recording light L2 and the fluorescence L4.

【0082】次に、記録光L2を第2電極層15側から照
射する場合について、図12を参照して説明する。な
お、図12(A)は、図11(A)と同じ図である。な
お、この場合、整流層14およびマイクロプレート18
は、少なくとも記録光L2に対して透過性を有するものと
する。
Next, the case of irradiating the recording light L2 from the second electrode layer 15 side will be described with reference to FIG. Note that FIG. 12A is the same as FIG. 11A. In this case, the rectifying layer 14 and the microplate 18
Is at least transparent to the recording light L2.

【0083】図12(A)に示す蓄電状態で、検出器1
0への電圧の印加を停止させた後、放射線を被写体9に
爆射し、被写体9の透過部9aを通過した記録光L2を検
出器10の第2電極層15側に照射する。記録光L2は、
第2電極層11および整流層14を透過し、光導電層1
3内で記録光L2の線量に応じた量の正負の電荷対を発生
せしめる(図12(B))。
In the charged state shown in FIG.
After the application of the voltage to 0 is stopped, the subject 9 is bombarded with radiation, and the recording light L2 that has passed through the transmission part 9a of the subject 9 is applied to the second electrode layer 15 side of the detector 10. The recording light L2 is
The photoconductive layer 1 is transmitted through the second electrode layer 11 and the rectifying layer 14.
Within 3 (3), positive and negative charge pairs corresponding to the dose of the recording light L2 are generated (FIG. 12 (B)).

【0084】しかしながら、光導電層13の放射線吸収
効率はさほど高くないので、記録光L2の中には光導電層
13を透過するものもある。この光導電層13を透過し
た記録光L2’が、第1電極層11を透過し蛍光体17a
に入射する。これにより、蛍光体17aから、記録光L
2’の励起により、記録光L2’の線量に応じた光量の蛍
光L4が発せられる。蛍光体17aから発せられた蛍光L4
は、第1電極層11を透過し、光導電層13内で蛍光L4
の光量に応じた量の正負の電荷対を発生せしめる(図1
2(C))。以下、上述した蛍光体17a側から記録光
L2を照射する場合と同様の作用をなし、エレメント12
aや蓄電部19の電荷が消滅する(図12(D))。
However, since the radiation absorption efficiency of the photoconductive layer 13 is not so high, some of the recording light L2 may pass through the photoconductive layer 13. The recording light L2 ′ transmitted through the photoconductive layer 13 is transmitted through the first electrode layer 11 and the phosphor 17a.
Incident on. As a result, the recording light L is emitted from the phosphor 17a.
Excitation of 2 ′ causes emission of fluorescence L4 in a light amount corresponding to the dose of the recording light L2 ′. Fluorescence L4 emitted from phosphor 17a
Is transmitted through the first electrode layer 11 and the fluorescence L4 in the photoconductive layer 13
Generates positive and negative charge pairs according to the amount of light (Fig. 1
2 (C)). Hereinafter, the recording light from the above-mentioned phosphor 17a side
Similar to the case of irradiating L2, element 12
The electric charge of a and the power storage unit 19 disappears (FIG. 12D).

【0085】このように、蛍光体17aを積層した検出
器10を用いれば、記録光L2だけでなく波長変換された
蛍光L4により極めて効率よく光導電層13において正負
の電荷対を発生せしめることができるようになるので、
第1の実施の形態による検出器10を用いたときには記
録光L2の中には、潜像電荷の蓄積に寄与せず、光導電層
13を透過してしまうものも存在していたのに対して、
電荷発生効率を向上させることができる。
As described above, when the detector 10 in which the phosphors 17a are laminated is used, positive and negative charge pairs can be extremely efficiently generated in the photoconductive layer 13 by the wavelength-converted fluorescence L4 as well as the recording light L2. Because I will be able to
Whereas when the detector 10 according to the first embodiment is used, some of the recording light L2 does not contribute to the accumulation of latent image charges and passes through the photoconductive layer 13, whereas hand,
The charge generation efficiency can be improved.

【0086】また、記録光L2を第2電極層15側から照
射する場合には、蛍光体17a側から照射する場合より
も、蛍光体17aの放射線吸収量の大きい放射線入射側
と光導電層13が隣接するため、電荷発生効率が高くな
る。つまり、放射線源90、蛍光体17a、光導電層1
3という順序の配置よりも、放射線源90、光導電層1
3、蛍光体17aという順序の配置の方が電荷発生効率
がよくなり、読取時のS/Nもよくなる。
When the recording light L2 is irradiated from the second electrode layer 15 side, the radiation incident side and the photoconductive layer 13 where the radiation absorption amount of the phosphor 17a is larger than when the recording light L2 is irradiated from the phosphor 17a side. Are adjacent to each other, the charge generation efficiency is high. That is, the radiation source 90, the phosphor 17a, the photoconductive layer 1
Radiation source 90, photoconductive layer 1
3. The arrangement of the phosphors 17a in this order improves the charge generation efficiency and improves the S / N ratio during reading.

【0087】さらに、蛍光体として、特にヨウ化セシウ
ム(CsI)を用いた場合には、放射線吸収率を高くす
ることができるので、記録光L2の照射量を少なくしても
十分に多くの電荷を蓄積せしめることができるようにな
り、被写体9に対しての被爆線量を低く抑えることもで
きる。
Further, especially when cesium iodide (CsI) is used as the phosphor, the radiation absorptivity can be increased, so that even if the irradiation amount of the recording light L2 is reduced, a sufficiently large amount of charge can be obtained. Can be accumulated, and the exposure dose to the subject 9 can be kept low.

【0088】なお、上記第2の実施の形態による検出器
10は、第1電極層11の外側に蛍光体17aを積層し
たものであるが、第2電極層15の外側に蛍光体を積層
した構造としてもよい。
In the detector 10 according to the second embodiment, the phosphor 17a is laminated on the outer side of the first electrode layer 11, but the phosphor is laminated on the outer side of the second electrode layer 15. It may be a structure.

【0089】図13は本発明の第3の実施の形態の画像
記録読取装置に用いる画像検出器の概略構成を示す図で
あり、図13(A)は斜視図、図13(B)はP矢指部
のXY断面図、図13(C)はQ矢指部のXZ断面図で
ある。
13A and 13B are views showing the schematic arrangement of an image detector used in the image recording / reading apparatus according to the third embodiment of the present invention. FIG. 13A is a perspective view and FIG. FIG. 13C is an XZ sectional view of the Q arrow finger portion.

【0090】この第3の実施の形態による検出器10に
おいては、上述した第2の実施の形態による検出器10
の第2電極層15の外側(本例ではガラス基板20の外
側)に光導電層13を透過した記録光L2’の励起により
該記録光L2’の波長と異なる波長の蛍光L5を発する蛍光
体17bをさらに積層すると共に、整流層14および第
2電極層15を蛍光L5に対して透過性を有するものと
し、光導電層13を蛍光体17aから発せられる蛍光L4
および蛍光体17bから発せられる蛍光L5の照射を受け
ることにより導電性を呈するものとしている。
The detector 10 according to the third embodiment is the same as the detector 10 according to the second embodiment described above.
A phosphor that emits fluorescence L5 having a wavelength different from the wavelength of the recording light L2 ′ by exciting the recording light L2 ′ transmitted through the photoconductive layer 13 to the outside of the second electrode layer 15 (in this example, the outside of the glass substrate 20). 17b is further laminated, the rectifying layer 14 and the second electrode layer 15 are transparent to the fluorescent light L5, and the photoconductive layer 13 is a fluorescent light L4 emitted from the fluorescent material 17a.
It is assumed that it exhibits conductivity by being irradiated with fluorescence L5 emitted from the phosphor 17b.

【0091】整流層14を蛍光L5に対して透過性を有す
るものとするには、整流層14をなすP型a−Si層1
4a、ia−Si層14b、およびN型a−Si層14
cを構成する物質として、炭素Cあるいは窒素Nをドー
プしたa−SiCやa−SiNなどを用いるとよい。a
−Siに炭素Cや窒素Nをドープするとバンドギャップ
を大きくすることができ、これにより短波長側での吸収
が大きく比較的長波長側の緑色の蛍光に対しては透過性
を有するものとすることができるからである。短波長側
での吸収が大きくなるように、バンドギャップを大きく
するものであれば、炭素Cや窒素Nに限らず、公知のそ
の他のドープ剤を用いてもよい。
To make the rectifying layer 14 transparent to the fluorescent light L5, the P-type a-Si layer 1 forming the rectifying layer 14 is used.
4a, ia-Si layer 14b, and N-type a-Si layer 14
As a substance forming c, a-SiC or a-SiN doped with carbon C or nitrogen N may be used. a
When -Si is doped with carbon C or nitrogen N, the bandgap can be increased, whereby absorption at the short wavelength side is large, and it has transparency to green fluorescence at the relatively long wavelength side. Because you can. Other known dopants may be used as well as carbon C and nitrogen N as long as the band gap is widened so that absorption on the short wavelength side becomes large.

【0092】また、a−SiCやa−SiNを、P型と
するには硼素Bを微量ドープするとよく、N型とするに
は燐Pを微量ドープするとよい。
To make a-SiC or a-SiN P-type, a small amount of boron B may be doped, and to make it N-type, a small amount of phosphorus P may be doped.

【0093】また、図14に示すように、整流層14の
ダイオード14dのサイズを、解像可能な最小の画素サ
イズの略2/3以下となるようにエッチングにより形成
すると共に、各ダイオード14dの間を蛍光体57bで
発せられる蛍光L5に対して透過性を有する物質で充填す
るようにしてもよい。
Further, as shown in FIG. 14, the size of the diode 14d of the rectifying layer 14 is formed by etching so as to be approximately ⅔ or less of the minimum resolvable pixel size, and each diode 14d is formed. The space may be filled with a substance that is transparent to the fluorescence L5 emitted by the phosphor 57b.

【0094】なお、整流層14を蛍光L5に対して透過性
を有するものとする手法は、整流層14を記録光L2に対
して透過性を有するものとする手法としても使用するこ
とができる。
The method of making the rectifying layer 14 transparent to the fluorescent light L5 can also be used as a method of making the rectifying layer 14 transparent to the recording light L2.

【0095】マイクロプレート18は、少なくとも蛍光
体17bで発せられる蛍光L5に対して透過性を有してい
るのが好ましく、ITO膜などの周知の透明導電膜を使
用するのが好適である。
The microplate 18 is preferably transparent to at least the fluorescence L5 emitted by the phosphor 17b, and it is preferable to use a known transparent conductive film such as an ITO film.

【0096】光導電層13の物質としては、蛍光体17
a,17bから発せられる緑色光に対して極めて効率よ
く導電性を呈するa−Siを主成分とする光導電性物質
が適当である。この光導電層13の厚さは、蛍光L4,L5
を十分に吸収できるような厚さにするのが好ましい。
The material of the photoconductive layer 13 is a phosphor 17
A photoconductive substance containing a-Si as a main component, which exhibits conductivity extremely efficiently with respect to green light emitted from a and 17b, is suitable. The thickness of the photoconductive layer 13 is the fluorescence L4, L5
It is preferable that the thickness be sufficient to absorb the.

【0097】蛍光体17a,17bとしては、波長変換
効率が高い蛍光体を用いるのが好ましく、上述のよう
に、光導電層13の物質としてa−Siを主成分とする
光導電性物質を使用する場合には、蛍光体17a,17
bから緑色光が発せられるように、GOS、CsI:T
lなどを主成分とする蛍光体を用いるのが好ましい。
As the phosphors 17a and 17b, it is preferable to use phosphors having high wavelength conversion efficiency, and as described above, a photoconductive substance containing a-Si as a main component is used as the substance of the photoconductive layer 13. In case of doing, the phosphors 17a, 17
b, so that green light is emitted, GOS, CsI: T
It is preferable to use a phosphor whose main component is l or the like.

【0098】この第3の実施の形態による検出器10を
使用する場合の静電潜像記録過程について、図15およ
び図16に示す電荷モデルを参照して説明する。ここで
も、第1の実施の形態による検出器10を使用した場合
と同様に、記録光L2によって励起・発光された蛍光L4に
よって光導電層13内に生成される負電荷(−)および
正電荷(+)を、図面上では−または+を○で囲んで表
すものとする。いずれも、ガラス基板20、および整流
層14内の層構成は省略して示す。なお、電圧を印加し
て一様電荷を帯電させる一様電荷帯電過程および静電潜
像読取過程については、上記第1の実施の形態による検
出器10を使用する場合と同様であるので、説明を省略
する。
The electrostatic latent image recording process when using the detector 10 according to the third embodiment will be described with reference to the charge model shown in FIGS. Also here, as in the case of using the detector 10 according to the first embodiment, the negative charge (−) and the positive charge generated in the photoconductive layer 13 by the fluorescence L4 excited and emitted by the recording light L2. (+) Is represented by enclosing-or + in the drawing. In both cases, the glass substrate 20 and the layer structure in the rectifying layer 14 are omitted. The uniform charge charging process of charging a uniform charge by applying a voltage and the electrostatic latent image reading process are the same as those in the case of using the detector 10 according to the first embodiment, and therefore will be described. Is omitted.

【0099】図15(A)に示す一様電荷蓄電状態で、
検出器10への電圧の印加を停止させた後、放射線を被
写体9に爆射し、被写体9の透過部9aを通過した記録
光L2を、検出器10の蛍光体17a側に照射する。
In the uniform charge storage state shown in FIG.
After the voltage application to the detector 10 is stopped, the subject 9 is irradiated with radiation, and the recording light L2 that has passed through the transmitting portion 9a of the subject 9 is applied to the phosphor 17a side of the detector 10.

【0100】これにより、記録光L2の線量に応じた光量
の蛍光L4が蛍光体17aから発せられる(図15
(B))。蛍光L4は、第1電極層11を透過し、光導電
層13内で蛍光L4の光量に応じた量の正負の電荷対を発
生せしめる(図15(C))。発生した電荷対のうち、
負電荷が第1電極層11側に移動し、エレメント12a
に帯電している正電荷と電荷再結合して消滅し、また、
正電荷が蓄電部19側に移動し、マイクロプレート18
に帯電している負電荷と電荷再結合して消滅する(図1
5(D)の検出器10の右側部)。一方、被写体9の非
透過部9bに対向する部分では、エレメント12aには
正電荷が帯電し、マイクロプレート18には負電荷が帯
電したまま残る(図15(D)の検出器10の左側
部)。つまり、ここまでは、第2の実施の形態による検
出器10において記録光L2を蛍光体17側に照射して静
電潜像を記録する過程と同じである。
As a result, the amount of fluorescence L4 corresponding to the dose of the recording light L2 is emitted from the phosphor 17a (FIG. 15).
(B)). The fluorescent light L4 passes through the first electrode layer 11 to generate positive and negative charge pairs in the photoconductive layer 13 in an amount corresponding to the light amount of the fluorescent light L4 (FIG. 15C). Of the generated charge pairs,
Negative charges move to the first electrode layer 11 side, and the element 12a
Disappears by recombining with the positive charge charged in the
The positive charge moves to the power storage unit 19 side, and the microplate 18
Negative charges that are charged in the background are recombined and disappear (Fig. 1
5 (D) right side of the detector 10). On the other hand, in the portion of the subject 9 facing the non-transmissive portion 9b, the element 12a is positively charged and the microplate 18 remains negatively charged (the left side portion of the detector 10 in FIG. 15D). ). That is, the process up to this point is the same as the process of recording the electrostatic latent image by irradiating the phosphor 17 side with the recording light L2 in the detector 10 according to the second embodiment.

【0101】ところで、上述した説明においては、エレ
メント12aや蓄電部19のマイクロプレート18に帯
電している電荷を全て消滅させる分の電荷対が光導電層
13内で発生するものとしていたが、実際に発生する電
荷対の量は、検出器10に入射する記録光L2の強度や線
量に応じたものとなる。また、強度や線量が同じであっ
ても、蛍光体17aの変換効率や光導電層13の電荷発
生効率に応じて電荷対の発生量が違ってくる。つまり、
検出器10内に一様に帯電させた電荷を全て消滅させる
ことができるだけの電荷対を発生させられるとは限らな
いので、被写体9の透過部9aに対応する部分において
も、エレメント12aや蓄電部19のマイクロプレート
18には、一部の電荷が帯電されたまま残る(図16
(A))。
By the way, in the above description, it is assumed that the charge pairs for eliminating all the charges charged in the microplate 18 of the element 12a and the power storage unit 19 are generated in the photoconductive layer 13. The amount of the charge pair generated at 1 depends on the intensity and dose of the recording light L2 incident on the detector 10. Further, even if the intensity and the dose are the same, the amount of charge pairs generated varies depending on the conversion efficiency of the phosphor 17a and the charge generation efficiency of the photoconductive layer 13. That is,
Since it is not always possible to generate a charge pair capable of erasing all the uniformly charged charges in the detector 10, the element 12a and the power storage unit are also provided in the portion corresponding to the transmissive portion 9a of the subject 9. Part of the electric charge remains charged on the microplate 18 of FIG. 19 (FIG. 16).
(A)).

【0102】また、記録光L2の中には、蛍光体17a内
で蛍光L4に変換されることなく、蛍光体17aを透過す
るものがある。この透過した記録光L2’は、第1電極層
11、光導電層13、整流層14、第2電極層15を透
過し蛍光体17bを励起する。これにより、記録光L2’
の線量に応じた光量の蛍光L5が蛍光体17bから発せら
れる(図16(B))。蛍光L5は、第2電極層15およ
び整流層14を透過し、光導電層13内で蛍光L5の光量
に応じた量の正負の電荷対を発生せしめる(図16
(C))。以下、上述した蛍光L4による作用と同様の作
用をなし、エレメント12aや蓄電部19の電荷が消滅
する(図16(D))。
Further, some of the recording light L2 passes through the phosphor 17a without being converted into fluorescence L4 inside the phosphor 17a. The transmitted recording light L2 ′ passes through the first electrode layer 11, the photoconductive layer 13, the rectifying layer 14, and the second electrode layer 15 and excites the phosphor 17b. As a result, the recording light L2 '
The amount of the fluorescence L5 corresponding to the dose is emitted from the phosphor 17b (FIG. 16 (B)). The fluorescent light L5 passes through the second electrode layer 15 and the rectifying layer 14, and generates positive and negative charge pairs in the photoconductive layer 13 in an amount corresponding to the light amount of the fluorescent light L5 (FIG. 16).
(C)). After that, the same action as that of the fluorescence L4 described above is performed, and the charges of the element 12a and the power storage unit 19 disappear (FIG. 16D).

【0103】このように、蛍光体17A,17bを検出
器10の両側に積層した場合には、検出器10の一方の
電極層の外側に積層された蛍光体を透過した記録光L2
を、他方に積層された蛍光体により蛍光に変換して、こ
の他方の蛍光体で発せられた蛍光によっても光導電層1
3内で電荷対を発生させることが可能となり、上述した
第2の実施の形態による検出器10のように、いずれか
一方の電極層の外側にのみ蛍光体を積層した場合より
も、光導電層13内での電荷発生効率を高めて、信号と
して取り出し得る電流量を大きくすることができるよう
になり、読取時のS/Nをさらに向上させることができ
る。
In this way, when the phosphors 17A and 17b are laminated on both sides of the detector 10, the recording light L2 transmitted through the phosphor laminated on the outer side of one electrode layer of the detector 10 is recorded.
Is converted into fluorescence by the phosphor laminated on the other side, and the photoconductive layer 1 is also converted by the fluorescence emitted by the other phosphor.
It becomes possible to generate a charge pair in the photoconductor 3, and the photoconductivity is higher than that in the case where the phosphor is laminated only on the outer side of one of the electrode layers as in the detector 10 according to the second embodiment described above. The charge generation efficiency in the layer 13 can be increased to increase the amount of current that can be taken out as a signal, and the S / N ratio at the time of reading can be further improved.

【0104】上述の説明は、記録光L2を蛍光体17a側
から照射する場合について説明したものであるが、蛍光
体17b側から記録光L2を照射してもよい。この場合、
マイクロプレート18は、少なくとも蛍光体17bで発
せられる蛍光L5に対して透過性を有しているのが好まし
く、ITO膜などの周知の透明導電膜を使用するのが好
適である。
In the above description, the recording light L2 is irradiated from the phosphor 17a side, but the recording light L2 may be irradiated from the phosphor 17b side. in this case,
The microplate 18 is preferably transparent to at least the fluorescence L5 emitted by the phosphor 17b, and it is preferable to use a known transparent conductive film such as an ITO film.

【0105】以上、本発明による画像検出器、該検出器
に画像情報を記録する方法および装置、並びに画像情報
が記録された検出器から画像情報を読み取る方法および
装置の好ましい実施の形態について説明したが、本発明
は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、発
明の要旨を変更しない限りにおいて、種々変更すること
が可能である。
The preferred embodiments of the image detector, the method and apparatus for recording image information on the detector, and the method and apparatus for reading image information from the detector on which the image information is recorded have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be variously modified without changing the gist of the invention.

【0106】例えば、上記説明においては、整流層14
には、P型a−Si層14aがアノードで、N型a−S
i層14cがカソードとなるダイオード(整流素子)1
4dが構成されるものとして説明したものであるが、ダ
イオードの向きを逆にした構成としてもよい。この場
合、電流検出回路70を構成する可変電圧電源72など
の接続態様を、ダイオードの向き変更に対応するように
変更すればよい。
For example, in the above description, the rectifying layer 14
The P-type a-Si layer 14a is the anode and the N-type a-S is
Diode (rectifying element) 1 in which i layer 14c serves as a cathode 1
4d is described as being configured, but the configuration may be such that the direction of the diode is reversed. In this case, the connection mode of the variable voltage power source 72 and the like which configure the current detection circuit 70 may be changed so as to correspond to the change in the direction of the diode.

【0107】また上記説明においては、蓄電部を良好に
形成するために、光導電層と整流層との間に、マイクロ
プレートを設けたものについて説明したものであるが、
本発明は、これに限らず、潜像電荷を蓄積する蓄電部
を、光導電層の内側若しくは内側近傍に形成することが
できるものであれば、どのような構成を採ってもよい。
例えば、静電潜像を表す潜像電荷を捕捉・蓄電する周知
のトラップ層(例えば、米国特許第4535468号明
細書参照)や、潜像電荷に対しては略絶縁体として作用
し、且つ該潜像電荷と逆極性の電荷に対しては略導電体
として作用する電荷輸送層(例えば、本願出願人によ
る、特開2000−105297号公報や特願平10−
271374号参照)を、光導電層と整流層との間に設
けるようにしてもよい。トラップ層を設けた場合には、
トラップ層内或いはトラップ層と光導電層との界面に潜
像電荷が保持・蓄電される。一方、電荷輸送層を設けた
場合には、電荷輸送層と光導電層との界面に潜像電荷が
保持・蓄電される。また、トラップ層や電荷輸送層を設
け、このトラップ層や電荷輸送層と光導電層との界面
に、さらに、マイクロプレートなどの多数の微小導電部
材を、画素毎に各別に設けるようにしてもよい。
In the above description, a microplate is provided between the photoconductive layer and the rectifying layer in order to favorably form the electricity storage unit.
The present invention is not limited to this, and any structure may be adopted as long as the power storage unit that stores latent image charges can be formed inside or near the inside of the photoconductive layer.
For example, a well-known trap layer (see, for example, US Pat. No. 4,535,468) that captures and stores latent image charges that represent an electrostatic latent image, acts as a substantially insulator against latent image charges, and A charge transport layer that acts substantially as a conductor with respect to a charge having a polarity opposite to the latent image charge (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-105297 and Japanese Patent Application No. 10-
No. 271374) may be provided between the photoconductive layer and the rectifying layer. When a trap layer is provided,
Latent image charges are held and stored in the trap layer or at the interface between the trap layer and the photoconductive layer. On the other hand, when the charge transport layer is provided, the latent image charge is held / stored at the interface between the charge transport layer and the photoconductive layer. In addition, a trap layer or a charge transport layer may be provided, and a large number of minute conductive members such as microplates may be provided separately for each pixel at the interface between the trap layer or charge transport layer and the photoconductive layer. Good.

【0108】さらにまた、上述した第2および第3の実
施の形態による検出器10においては、何れも、蛍光体
が検出器と一体となったものについて説明したものであ
るが、本発明は必ずしもこのようなものに限るものでは
なく、蛍光体と検出器とを別体のものとし、記録時に
は、例えば検出器10の前面に蛍光体を配置して、記録
光を照射するようにしてもよい。
Furthermore, in each of the detectors 10 according to the second and third embodiments described above, the fluorescent substance is integrated with the detector, but the present invention is not necessarily limited thereto. However, the present invention is not limited to this, and the phosphor and the detector may be provided separately, and at the time of recording, for example, the phosphor may be arranged in front of the detector 10 to irradiate the recording light. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態の画像記録読取装置
に用いる画像検出器の斜視図(A)、P矢指部のXY断
面図(B)、Q矢指部のXZ断面図(C)
FIG. 1 is a perspective view of an image detector used in an image recording / reading apparatus according to a first embodiment of the present invention (A), an XY sectional view of a P arrow finger portion (B), and an XZ sectional view of a Q arrow finger portion (C). )

【図2】整流層を画素分割した形態の検出器の概略構成
を示す図であって、斜視図(A)、P矢指部のXY断面
図(B)、Q矢指部のXZ断面図(C)、整流素子周辺
の拡大図(D)
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a detector in which a rectifying layer is divided into pixels, and is a perspective view (A), an XY sectional view of a P arrow finger portion (B), and an XZ sectional view of a Q arrow finger portion (C). ), Enlarged view around the rectifier (D)

【図3】本発明の第1の実施の形態の画像記録読取装置
の概略構成図
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an image recording / reading apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図4】上記画像検出器を等価回路で示した記録読取装
置の概略回路図
FIG. 4 is a schematic circuit diagram of a recording / reading device showing the image detector as an equivalent circuit.

【図5】第1の実施の形態の画像検出器を使用した場合
の、一様電荷蓄積過程を示す電荷モデル(A)、等価回
路図(B)
FIG. 5 is a charge model (A) and an equivalent circuit diagram (B) showing a uniform charge accumulation process when the image detector according to the first embodiment is used.

【図6】第1の実施の形態の画像検出器を使用した場合
の、静電潜像記録過程を示す電荷モデル(A)〜
(C)、等価回路図(D)
FIG. 6 is a charge model (A) showing an electrostatic latent image recording process when the image detector of the first embodiment is used.
(C), equivalent circuit diagram (D)

【図7】第1の実施の形態の画像検出器を使用した場合
の、充電電流を検出する静電潜像読取過程を示す電荷モ
デル(A)〜(C)
7A to 7C are charge models (A) to (C) showing an electrostatic latent image reading process for detecting a charging current when the image detector according to the first embodiment is used.

【図8】上記充電電流を検出する場合における、正電荷
の再分配をコンデンサモデルで示した図(A)、充電電
流の変化を示す図(B)
FIG. 8 is a diagram showing a redistribute of positive charges by a capacitor model in the case of detecting the charging current (A) and a diagram showing a change of the charging current (B).

【図9】本発明の第2の実施の形態の画像記録読取装置
に用いる画像検出器の斜視図(A)、P矢指部のXY断
面図(B)、Q矢指部のXZ断面図(C)
FIG. 9 is a perspective view (A) of an image detector used in the image recording / reading apparatus according to the second embodiment of the present invention, an XY sectional view of a P arrow finger portion (B), and an XZ sectional view of a Q arrow finger portion (C). )

【図10】本発明の第2の実施の形態の画像記録読取装
置の全体構成を示す図
FIG. 10 is a diagram showing an overall configuration of an image recording / reading apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図11】第2の実施の形態の画像検出器を使用した場
合の、記録光を蛍光体側から照射する静電潜像記録過程
を示す電荷モデル(A)〜(D)
11A to 11D are charge models (A) to (D) showing an electrostatic latent image recording process in which recording light is emitted from the phosphor side when the image detector of the second embodiment is used.

【図12】第2の実施の形態の画像検出器を使用した場
合の、記録光を第2電極層側から照射する静電潜像記録
過程を示す電荷モデル(A)〜(D)
12A to 12D are charge models (A) to (D) showing an electrostatic latent image recording process in which recording light is emitted from the second electrode layer side when the image detector of the second embodiment is used.

【図13】本発明の第3の実施の形態の画像記録読取装
置に用いる画像検出器の斜視図(A)、P矢指部のXY
断面図(B)、Q矢指部のXZ断面図(C)
FIG. 13 is a perspective view of an image detector used in the image recording / reading apparatus of the third embodiment of the invention (A), XY of P arrow finger portion.
Sectional view (B), XZ sectional view of the Q finger section (C)

【図14】上記第3の実施の形態による画像検出器の変
更態様を示した図
FIG. 14 is a diagram showing a modification of the image detector according to the third embodiment.

【図15】第3の実施の形態の画像検出器を使用した場
合の、静電潜像記録過程を示す電荷モデル(A)〜
(D)
FIG. 15 is a charge model (A) showing an electrostatic latent image recording process when the image detector of the third embodiment is used.
(D)

【図16】図15に続く、静電潜像記録過程を示す電荷
モデル(A)〜(D)
16 is a charge model (A) to (D) showing an electrostatic latent image recording process following FIG. 15;

【図17】読取時における再充電電流の検出特性を示す
FIG. 17 is a diagram showing detection characteristics of recharge current during reading.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 放射線固体検出器 11 第1電極層 12 第1ストライプ電極 12a エレメント(線状電極) 13 光導電層 14 整流層 14d ダイオード(整流素子) 15 第2電極層 16 第2ストライプ電極 16a エレメント(線状電極) 17a 蛍光体 17b 蛍光体 18 マイクロプレート(導電部材) 19 蓄電部 20 ガラス基板 70 電流検出回路 71 電流検出アンプ部(画像信号取得手段) 72 可変電圧電源 75 スイッチ部(接続手段) 76 制御手段 90 記録光照射手段 L2 記録用の放射線(記録光) L4,L5 蛍光 10 Radiation solid state detector 11 First electrode layer 12 First stripe electrode 12a element (linear electrode) 13 Photoconductive layer 14 Rectifying layer 14d diode (rectifying element) 15 Second electrode layer 16 Second stripe electrode 16a element (linear electrode) 17a phosphor 17b phosphor 18 Micro plate (conductive member) 19 Power storage unit 20 glass substrates 70 Current detection circuit 71 Current detection amplifier section (image signal acquisition means) 72 Variable voltage power supply 75 Switch (connecting means) 76 Control means 90 Recording light irradiation means Radiation for L2 recording (recording light) L4, L5 fluorescence

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 27/146 H04N 5/335 W 5C051 31/09 1/04 E 5C072 H04N 1/028 H01L 27/14 C 5F088 5/32 K 5/335 31/00 A Fターム(参考) 2G088 EE01 FF02 GG21 JJ05 JJ31 KK32 KK40 LL11 LL15 LL17 4C093 AA27 CA06 EB13 EB17 EB20 FA32 FC17 FD13 4M118 AA01 AA02 AB01 BA05 CA03 CA05 CA15 CA19 CB05 CB06 CB11 FB03 FB09 FB19 FB23 FB25 5B047 AA17 AB02 BB10 BC01 5C024 AX12 CX03 DX04 EX03 GX05 GX06 GX07 HX29 5C051 AA01 BA02 DA06 DB01 DB04 DB06 DB07 DC02 DC03 DC07 DE03 5C072 AA01 BA11 EA10 FA08 UA11 VA01 5F088 AA11 AB05 BB03 BB07 EA04 EA06 EA20 KA10 LA08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01L 27/146 H04N 5/335 W 5C051 31/09 1/04 E 5C072 H04N 1/028 H01L 27/14 C 5F088 5/32 K 5/335 31/00 AF Term (reference) 2G088 EE01 FF02 GG21 JJ05 JJ31 KK32 KK40 LL11 LL15 LL17 4C093 AA27 CA06 EB13 EB17 EB20 FA32 FC05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 CA05 FB09 FB19 FB23 FB25 5B047 AA17 AB02 BB10 BC01 5C024 AX12 CX03 DX04 EX03 GX05 GX06 GX07 HX29 5C051 AA01 BA02 DA06 DB01 DB04 DB06 DB07 DC02 DC03 DC07 DE03 5C072 AA01 BA11 EA10 EA10 FA08 AB05 A08 FA05 UF11 A08 FA05 UA11 VA11 UA10 FA08 UA11 VA11 UA10 FA08 UA11 VA11

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多数の線状電極から成る第1ストライプ
電極を備えた第1電極層、記録用の電磁波の照射を受け
ることにより導電性を呈する光導電層、電荷を蓄積する
蓄電部、整流層、および前記第1ストライプ電極の線状
電極に対して交差するように形成された多数の線状電極
から成る第2ストライプ電極を備えた第2電極層をこの
順に有して成る画像検出器の、前記第1ストライプ電極
と前記第2ストライプ電極との間に記録用電圧が印加さ
れることにより、前記蓄電部に略一様の電荷が蓄積さ
れ、前記記録用電圧の印加の停止後に、前記記録用の電
磁波が前記画像検出器に照射されることにより画像情報
が前記蓄電部に静電潜像として記録された前記画像検出
器から前記画像情報を読み取る画像読取方法において、 前記第1ストライプ電極の線状電極と、前記第2ストラ
イプ電極の線状電極との間に、前記記録用電圧より高い
読取用電圧を印加して、該読取用電圧の印加によって前
記画像検出器に流れ込む充電電流を検出することによ
り、前記蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの
電気信号を得ることを特徴とする画像読取方法。
1. A first electrode layer having a first stripe electrode composed of a large number of linear electrodes, a photoconductive layer which exhibits conductivity by being irradiated with electromagnetic waves for recording, a power storage unit for accumulating charges, and rectification. An image detector having a layer and a second electrode layer having a second stripe electrode formed of a number of linear electrodes formed so as to intersect the linear electrode of the first stripe electrode in this order. By applying a recording voltage between the first stripe electrode and the second stripe electrode, a substantially uniform charge is accumulated in the power storage unit, and after the application of the recording voltage is stopped, In the image reading method of reading the image information from the image detector in which the image information is recorded as an electrostatic latent image in the power storage unit by irradiating the image detector with the recording electromagnetic wave, the first stripe A reading voltage higher than the recording voltage is applied between the polar linear electrode and the linear electrode of the second stripe electrode, and the charging current flowing into the image detector by the application of the reading voltage. Is detected to obtain an electric signal having a level corresponding to the amount of electric charge accumulated in the power storage unit.
【請求項2】 多数の線状電極から成る第1ストライプ
電極を備えた第1電極層、記録用の電磁波の照射を受け
ることにより導電性を呈する光導電層、電荷を蓄積する
蓄電部、整流層、および前記第1ストライプ電極の線状
電極に対して交差するように形成された多数の線状電極
から成る第2ストライプ電極を備えた第2電極層をこの
順に有して成る画像検出器と、前記第1ストライプ電極
と前記第2ストライプ電極との間に電圧を印加する電圧
印加手段とを備え、 前記電圧印加手段により、記録時に前記第1ストライプ
電極と前記第2ストライプ電極との間に記録用電圧を印
加することにより、前記蓄電部に略一様の電荷を蓄積さ
せ、前記記録用電圧の印加の停止後に、前記記録用の電
磁波が前記画像検出器に照射されることにより画像情報
を前記蓄電部に静電潜像として記録し、 前記電圧印加手段により、読取時に前記第1ストライプ
電極と前記第2ストライプ電極との間に読取用電圧を印
加した際に、前記画像検出器に流れ込む充電電流を検出
することにより、前記蓄電部に蓄積された電荷の量に応
じたレベルの電気信号を取得して前記画像情報を読み取
る画像記録読取装置において、 前記電圧印加手段により前記画像検出器に印加する電圧
を変更する電圧変更手段を備えたことを特徴とする画像
記録読取装置。
2. A first electrode layer having a first stripe electrode composed of a large number of linear electrodes, a photoconductive layer which exhibits conductivity when irradiated with an electromagnetic wave for recording, a power storage unit for accumulating charges, and rectification. An image detector having a layer and a second electrode layer having a second stripe electrode formed of a number of linear electrodes formed so as to intersect the linear electrode of the first stripe electrode in this order. And a voltage applying means for applying a voltage between the first stripe electrode and the second stripe electrode, and the voltage applying means is provided between the first stripe electrode and the second stripe electrode during recording. By applying a recording voltage to the storage unit, a substantially uniform charge is accumulated in the power storage unit, and after the application of the recording voltage is stopped, the recording electromagnetic wave is radiated to the image detector to generate an image. Emotion Is recorded in the power storage unit as an electrostatic latent image, and when the reading voltage is applied between the first stripe electrode and the second stripe electrode at the time of reading by the voltage applying unit, the voltage is applied to the image detector. An image recording / reading device for reading the image information by obtaining an electric signal having a level corresponding to the amount of charges accumulated in the power storage unit by detecting a charging current flowing in, wherein the image detector is provided by the voltage applying unit. An image recording / reading apparatus comprising a voltage changing unit for changing a voltage applied to the image recording / reading apparatus.
【請求項3】 前記電圧変更手段が、前記記録用電圧よ
りも、前記読取用電圧を高くするように変更するもので
あることを特徴とする請求項2記載の画像記録読取装
置。
3. The image recording / reading apparatus according to claim 2, wherein the voltage changing unit changes the reading voltage to be higher than the recording voltage.
【請求項4】 前記電圧変更手段が、読取用電圧を印加
した際に記録光強度が0の部分で検出される充電電流に
対応する電荷をQ、読取用電圧を印加した際に記録光
強度が0以外の部分で検出される充電電流の最小値に対
応する電荷をQとしたとき、式√(2・Q)<Q
を満足するように、読取用電圧を変更するものであるこ
とを特徴とする請求項3記載の画像記録読取装置。
4. The electric charge corresponding to the charging current detected at the portion where the recording light intensity is 0 when the reading voltage is applied is Q 0 , and the recording light is applied when the reading voltage is applied. When the electric charge corresponding to the minimum value of the charging current detected in the portion where the intensity is other than 0 is Q 1 , the equation √ (2 · Q 0 ) <Q 1
4. The image recording / reading device according to claim 3, wherein the reading voltage is changed so as to satisfy the above condition.
【請求項5】 前記画像記録読取装置により検出された
電気信号から、読取用電圧を印加した際に記録光強度が
0の部分で検出される電気信号を差し引いた電気信号に
基づいて画像を構成する画像構成手段を備えたことを特
徴とする請求項2から4のいずれか1項記載の画像記録
読取装置。
5. An image is formed based on an electric signal obtained by subtracting an electric signal detected at a portion where the recording light intensity is 0 when a reading voltage is applied from the electric signal detected by the image recording / reading device. The image recording / reading apparatus according to any one of claims 2 to 4, further comprising:
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100919953B1 (en) * 2007-10-23 2009-10-01 인제대학교 산학협력단 optical sensor by hall effect
JP2010539690A (en) * 2007-09-13 2010-12-16 ナノアイデント テクノロジーズ アクチェンゲゼルシャフト Matrix sensor with semiconductor components

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