JP2003148377A - Vacuum pump - Google Patents
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
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- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
に用いられる真空ポンプに関し、特に、部品点数の増加
やポンプ組立作業の煩雑化を招くことなく、破壊トルク
が真空ポンプに接続されたプロセスチャンバ等に伝わっ
てプロセスチャンバ等を破壊したり、ポンプケースのね
じれや締結ボルトの破損したりする不具合を防止できる
ようにしたものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and more particularly to a process in which a breaking torque is connected to the vacuum pump without increasing the number of parts and complicating the pump assembling work. It is possible to prevent problems that the process chamber or the like is transmitted to the chamber or the like to be destroyed, or the pump case is twisted or the fastening bolt is damaged.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造工程におけるドライエッチン
グやＣＤＶ等のプロセスのように、高真空のプロセスチ
ャンバ内で作業を行う工程では、そのプロセスチャンバ
内のガスを排気し該プロセスチャンバ内に高真空の状態
を得る手段として、ターボ分子ポンプのような真空ポン
プを使用している。2. Description of the Related Art In processes such as dry etching and CDV processes in semiconductor manufacturing processes, in which work is performed in a high-vacuum process chamber, the gas in the process chamber is exhausted and the high-vacuum process chamber is evacuated. A vacuum pump such as a turbo molecular pump is used as a means for obtaining the state.
【０００３】図７は、この種従来の真空ポンプの断面図
を示したものであり、同図の真空ポンプは、ポンプケー
ス１上部のガス吸気口１−２側がプロセスチャンバ１７
に連通接続される構造であり、この接続構造について
は、ポンプケース１上部の縁部に設けたフランジ部１ａ
をプロセスチャンバ１７側に締結ボルト１５で取り付け
固定するという構造を採用している。FIG. 7 is a cross-sectional view of a conventional vacuum pump of this type. In the vacuum pump of the same figure, the gas intake port 1-2 side of the upper part of the pump case 1 is located in the process chamber 17.
And a flange portion 1a provided on the edge of the upper portion of the pump case 1.
Is fixed to the process chamber 17 side with a fastening bolt 15.
【０００４】上記の如くプロセスチャンバ１７に取り付
け固定した同図の真空ポンプは、その運転動作中、ロー
タシャフト１２と一体にロータ２およびロータ翼４が高
速で回転する。そして、この高速回転するロータ翼４と
固定のステータ翼５との相互作用、および高速回転する
ロータ２とネジ溝８を有する固定のネジステータ７との
相互作用により、プロセスチャンバ１７内のガス分子
は、ポンプケース１上部のガス吸気口１−２から該ポン
プケース１内を通ってポンプケース１下部のガス排気口
１−３側へ排気される。In the vacuum pump shown in the same figure mounted and fixed to the process chamber 17 as described above, the rotor 2 and the rotor blades 4 rotate integrally with the rotor shaft 12 at high speed during its operation. Then, due to the interaction between the rotor blade 4 rotating at high speed and the fixed stator blade 5, and the interaction between the rotor 2 rotating at high speed and the fixed screw stator 7 having the screw groove 8, gas molecules in the process chamber 17 are The gas is introduced from the gas inlet 1-2 at the upper part of the pump case 1 into the gas outlet 1-3 at the lower part of the pump case 1 through the inside of the pump case 1.
【０００５】ところで、図７に示した真空ポンプを構成
しているロータ２、ロータ翼４、ポンプケース１および
ステータ翼５等の構造材としては通常、軽合金、中でも
アルミ合金が多用されている。アルミ合金は機械加工に
優れ精密に加工しやすいからである。しかし、アルミ合
金は他の材料に比し強度が比較的低く、使用条件によっ
てはクリープ破壊を起すことがある。また、主にロータ
下部の応力集中部を起点とした脆性破壊が発生すること
がある。By the way, as a structural material such as the rotor 2, the rotor blades 4, the pump case 1 and the stator blades 5 constituting the vacuum pump shown in FIG. 7, a light alloy, especially an aluminum alloy is often used. . This is because aluminum alloys are excellent in mechanical processing and easy to process precisely. However, the strength of aluminum alloy is relatively lower than that of other materials, and creep failure may occur depending on the operating conditions. In addition, brittle fracture may occur mainly from the stress concentration portion under the rotor.
【０００６】しかしながら、上記のようなロータ２の脆
性破壊がロータ２の高速回転中に生じると、そのロータ
２の外周に一体に設けられているロータ翼４がポンプケ
ース１内周側のリング状スペーサ６に衝突する等の事態
が生じるが、この際、従来の真空ポンプにあっては、そ
の衝突の衝撃力に対してリング状スペーサ６の剛性が低
く、その衝撃力でリング状スペーサ６が径方向に膨張す
る。このとき、リング状スペーサ６とポンプケース１内
周との間に空間がない場合は、その膨張したリング状ス
ペーサ６がポンプケース１内周に接触し、真空ポンプ全
体を回転させようとする大きな回転トルク、すなわち破
壊トルクが生じ、この破壊トルクが真空ポンプに接続さ
れたプロセスチャンバ１７等に伝わってプロセスチャン
バ等を破壊したり、ポンプケース１がねじれたり、真空
ポンプとプロセスチャンバ１７を固定している締結ボル
ト１５がそのねじり力により破損したりする等の問題点
がある。However, when the brittle fracture of the rotor 2 as described above occurs during high-speed rotation of the rotor 2, the rotor blades 4 integrally provided on the outer periphery of the rotor 2 are ring-shaped on the inner peripheral side of the pump case 1. A situation such as a collision with the spacer 6 occurs. At this time, in the conventional vacuum pump, the rigidity of the ring-shaped spacer 6 is low with respect to the impact force of the collision, and the ring-shaped spacer 6 is affected by the impact force. Expands radially. At this time, if there is no space between the ring-shaped spacer 6 and the inner circumference of the pump case 1, the expanded ring-shaped spacer 6 comes into contact with the inner circumference of the pump case 1 and tends to rotate the entire vacuum pump. Rotational torque, that is, breaking torque is generated, and this breaking torque is transmitted to the process chamber 17 or the like connected to the vacuum pump to break the process chamber or the like, the pump case 1 is twisted, or the vacuum pump and the process chamber 17 are fixed. There is a problem that the fastening bolts 15 that are installed are damaged by the twisting force.
【０００７】また、上記破壊トルクの低減を図る手段と
しては、ポンプケース１を二重構造とする方法がある
が、これによると、部品点数が増え、ポンプ組立作業が
煩雑になるという問題点がある。Further, as a means for reducing the breaking torque, there is a method in which the pump case 1 has a double structure. However, this causes a problem that the number of parts increases and the pump assembling work becomes complicated. is there.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決するためになされたもので、その目的とするところ
は、部品点数の増加やポンプ組立作業の煩雑化を招くこ
となく、破壊トルクが真空ポンプに接続されたプロセス
チャンバ等に伝わってプロセスチャンバ等を破壊した
り、ポンプケースのねじれや締結ボルトの破損等を起し
たりする不具合を防止できるようにした真空ポンプを提
供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a breaking torque without increasing the number of parts and complicating a pump assembling work. To provide a vacuum pump capable of preventing problems such as damage to the process chamber and the like transmitted to the process chamber and the like connected to the vacuum pump, and twisting of the pump case and damage of fastening bolts. is there.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ポンプケース内に回転可能に設置された
ロータと、上記ロータの外周面に一体に設けられた複数
のロータ翼と、上記ロータの外周を囲む形状に形成さ
れ、かつ、上記ポンプケースの内周面側に積層設置され
た複数のリング状スペーサと、上記複数のリング状スペ
ーサにより上記複数のロータ翼間に位置決め配置された
複数のステータ翼とを有し、上記リング状スペーサの材
質、肉厚は、上記ロータやロータ翼等からなる回転体全
体の遠心力に基づき上記リング状スペーサの内周に加わ
る最大内圧を推定し、この推定の最大内圧と上記リング
状スペーサの内周に均一な内圧が加わるものと想定した
場合の降伏内圧とを比較したときに、その降伏内圧の方
が大きくなる材質、肉厚となっていることを特徴とする
ものである。In order to achieve the above object, the present invention provides a rotor rotatably installed in a pump case, and a plurality of rotor blades integrally provided on an outer peripheral surface of the rotor. A plurality of ring-shaped spacers formed in a shape surrounding the outer periphery of the rotor and stacked on the inner peripheral surface of the pump case, and positioned between the rotor blades by the plurality of ring-shaped spacers. A plurality of stator blades, and the material and thickness of the ring-shaped spacer are determined by the maximum internal pressure applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer based on the centrifugal force of the entire rotor including the rotor and rotor blades. Estimate, when comparing the estimated maximum internal pressure and the yield internal pressure when assuming that uniform internal pressure is applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer, the material whose yield internal pressure is larger, It has become thick and is characterized in.
【００１０】本発明は、ポンプケース内に回転可能に設
置されたロータと、上記ロータの外周面に一体に設けら
れた複数のロータ翼と、上記ロータの外周を囲む形状に
形成され、かつ、上記ポンプケースの内周面側に積層設
置された複数のリング状スペーサと、上記複数のリング
状スペーサにより上記複数のロータ翼間に位置決め配置
された複数のステータ翼と、上記複数のリング状スペー
サの一部にそれぞれ設けられるとともに、上記ロータ翼
の衝突による衝撃力で該リング状スペーサの径方向に塑
性変形する緩衝材とを備えてなることを特徴とするもの
である。According to the present invention, a rotor rotatably installed in a pump case, a plurality of rotor blades integrally provided on an outer peripheral surface of the rotor, and a shape surrounding the outer periphery of the rotor, A plurality of ring-shaped spacers stacked on the inner peripheral surface side of the pump case, a plurality of stator blades positioned between the plurality of rotor blades by the plurality of ring-shaped spacers, and a plurality of ring-shaped spacers And a cushioning material that is plastically deformed in the radial direction of the ring-shaped spacer by an impact force caused by the collision of the rotor blades.
【００１１】本発明は、ポンプケース内に回転可能に設
置されたロータと、上記ロータの外周面に一体に設けら
れた複数のロータ翼と、上記ロータの外周を囲む形状に
形成され、かつ、上記ポンプケースの内周面側に積層設
置された複数のリング状スペーサと、上記複数のリング
状スペーサにより上記複数のロータ翼間に位置決め配置
された複数のステータ翼と、上記複数のリング状スペー
サの一部にそれぞれ設けられるとともに、上記ロータ翼
の衝突による衝撃力で該リング状スペーサの径方向に塑
性変形する緩衝材とを有し、上記リング状スペーサの材
質、肉厚は、上記ロータやロータ翼等からなる回転体全
体の遠心力に基づき上記リング状スペーサの内周に加わ
る最大内圧を推定し、この推定の最大内圧と上記リング
状スペーサの内周に均一な内圧が加わるものと想定した
場合の降伏内圧とを比較したときに、その降伏内圧の方
が大きくなる材質、肉厚となっていることを特徴とする
ものである。According to the present invention, a rotor rotatably installed in a pump case, a plurality of rotor blades integrally provided on an outer peripheral surface of the rotor, and a shape surrounding the outer periphery of the rotor, A plurality of ring-shaped spacers stacked on the inner peripheral surface side of the pump case, a plurality of stator blades positioned between the plurality of rotor blades by the plurality of ring-shaped spacers, and a plurality of ring-shaped spacers And a cushioning material that is plastically deformed in the radial direction of the ring-shaped spacer by the impact force due to the collision of the rotor blades, and the material and the wall thickness of the ring-shaped spacer are Estimate the maximum internal pressure applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer based on the centrifugal force of the entire rotor consisting of rotor blades, etc., and estimate the maximum inner pressure and the inner circumference of the ring-shaped spacer. When comparing the yield pressure in the case of assuming that a uniform pressure is applied, material towards its yield pressure is increased, it is characterized in that has a thickness.
【００１２】ここで、リング状スペーサの一部に緩衝材
を設ける構造については、該リング状スペーサをその肉
厚方向に３層以上の構造とするとともに、これらの層の
うち中間の層を緩衝材として設けた構造、または、該リ
ング状スペーサをその肉厚方向に５層以上の構造とする
とともに、これらのうち中間の複数の層を交互に緩衝材
として設けた構造を採用することができる。Here, regarding the structure in which a buffer material is provided in a part of the ring-shaped spacer, the ring-shaped spacer has a structure of three or more layers in the thickness direction, and an intermediate layer among these layers is buffered. It is possible to adopt a structure provided as a material or a structure in which the ring-shaped spacer has five or more layers in the thickness direction thereof and a plurality of intermediate layers among these are alternately provided as a cushioning material. .
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る真空ポンプの
実施形態について図１ないし図６を基に詳細に説明す
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a vacuum pump according to the present invention will be described below in detail with reference to FIGS.
【００１４】図１に示した本実施形態の真空ポンプは、
円筒状のポンプケース１内に回転可能に設置された筒型
のロータ２を有し、このロータ２はその上端がポンプケ
ース１上部のガス吸気口１−２側を向くように配置され
ている。The vacuum pump of this embodiment shown in FIG.
It has a cylindrical rotor 2 rotatably installed in a cylindrical pump case 1, and the rotor 2 is arranged so that its upper end faces the gas intake port 1-2 side above the pump case 1. .
【００１５】ロータ２の上部側外周面とポンプケース１
の上部側内周面との間には、加工されたブレード状のロ
ータ翼４とステータ翼５とがロータ２の回転中心軸線に
沿って交互に複数配置されている。Outer peripheral surface of the rotor 2 and the pump case 1
A plurality of processed blade-shaped rotor blades 4 and stator blades 5 are alternately arranged along the rotation center axis of the rotor 2 between the upper inner peripheral surface of the rotor.
【００１６】上記ロータ翼４は、ロータ２との一体加工
により該ロータ２の上部側外周面に一体に設けられ、か
つ、ロータ２と一体的に回転することができる。The rotor blade 4 is integrally provided on the outer peripheral surface of the upper side of the rotor 2 by integral processing with the rotor 2 and can rotate integrally with the rotor 2.
【００１７】上記ステータ翼５は、その根元側が上下段
のリング状スペーサ６、６間に介挿されるとともに、こ
の上下段のリング状スペーサ６、６により上下段のロー
タ翼４、４間に位置決め配置されている。The stator blade 5 has its root side interposed between the upper and lower ring-shaped spacers 6 and 6, and is positioned between the upper and lower rotor blades 4 and 4 by the upper and lower ring-shaped spacers 6 and 6. It is arranged.
【００１８】上記リング状スペーサ６は、ロータ２の外
周を囲む形状であって、かつ、ポンプケース１の上部側
内周面付近に積層設置されている。また、このように積
層設置された複数のリング状スペーサ６、６とポンプケ
ース１の内周面との間には一定幅の空隙Ｇが設けられて
いる。The ring-shaped spacer 6 has a shape surrounding the outer periphery of the rotor 2 and is laminated and installed in the vicinity of the inner peripheral surface on the upper side of the pump case 1. Further, a gap G having a constant width is provided between the plurality of ring-shaped spacers 6 and 6 thus stacked and installed and the inner peripheral surface of the pump case 1.
【００１９】リング状スペーサ６の材質、肉厚は、ロー
タ２やロータ翼４等からなる回転体全体の遠心力に基づ
きリング状スペーサ６の内側に加わる圧力（以下「内
圧」という。）の最大値を推定し、この推定の最大内圧
（ｆmax ）とリング状スペーサ６の内周に均一な内圧が
加わるものと想定した場合の該リング状スペーサ６の降
伏内圧（ｆｙ）とを比較したときに、その降伏内圧（ｆ
ｙ）の方が大きくなる（ｆｙ＞ｆmax ）ような材質、肉
厚となっている。The material and thickness of the ring-shaped spacer 6 are the maximum pressure (hereinafter referred to as "internal pressure") applied to the inside of the ring-shaped spacer 6 based on the centrifugal force of the entire rotating body including the rotor 2, the rotor blades 4 and the like. When the value is estimated and the estimated maximum internal pressure (fmax) is compared with the yield internal pressure (fy) of the ring-shaped spacer 6 when it is assumed that a uniform internal pressure is applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer 6. , Its yield pressure (f
The material and wall thickness are such that y) is larger (fy> fmax).
【００２０】（１）最大内圧（ｆmax ）の推定方法
ここではロータ２やロータ翼４等からなる回転体を図２
に示した部分回転体とみなして基本計算式を導くものと
する。(1) Method for estimating the maximum internal pressure (fmax) Here, a rotating body composed of the rotor 2, the rotor blades 4, etc. is shown in FIG.
The basic calculation formula is derived by considering the partial rotating body shown in.
【００２１】部分回転体の遠心力Ｆは、［数１］のよう
になる。The centrifugal force F of the partial rotating body is as shown in [Equation 1].
【００２２】[0022]
【数１】
但し、「Δｍ」は部分回転体の微小区間の質量、「ｒ
１」は部分回転体の内周側半径、「ｒ２」は部分回転体
の外周側半径、「ω」は部分回転体の角速度である。以
下の説明でも同様である。[Equation 1] However, “Δm” is the mass of the minute section of the partial rotating body, and “r
“1” is the inner radius of the partial rotor, “r2” is the outer radius of the partial rotor, and “ω” is the angular velocity of the partial rotor. The same applies to the following description.
【００２３】部分回転体の微小区間までの半径を
「ｒ」、部分回転体の角度を「Δθ」、部分回転体の密
度を「ρ」、部分回転体の長さを「ｌ」とすると、この
部分回転体の微小区間の質量「Δｍ」は、Δｍ＝ｒ・Δ
θ・ρ・ｌであるので、部分回転体の遠心力Ｆは、［数
２］のようになる。When the radius to the minute section of the partial rotary body is “r”, the angle of the partial rotary body is “Δθ”, the density of the partial rotary body is “ρ”, and the length of the partial rotary body is “l”, The mass “Δm” of the minute section of this partial rotating body is Δm = r · Δ
Since θ · ρ · l, the centrifugal force F of the partial rotating body is as shown in [Equation 2].
【００２４】[0024]
【数２】
但し、「ｒ１」は部分回転体の内周側半径、「ｒ２」は
部分回転体の外周側半径、「Δθ」は部分回転体の角度
である。以下の説明でも同様である。[Equation 2] However, “r1” is the inner radius of the partial rotator, “r2” is the outer radius of the partial rotator, and “Δθ” is the angle of the partial rotator. The same applies to the following description.
【００２５】次に、上記遠心力「Ｆ」をリング状スペー
サ６の接触面積で割って最大内圧「ｆmax 」を求める。
ここで、リング状スペーサの内周側半径を「Ｒ１」、上
記部分回転体の外周側半径を「ｒ２」とし、Ｒ１＝ｒ２
とすると、最大内圧「ｆmax」は、［数３］となる。Next, the centrifugal force "F" is divided by the contact area of the ring-shaped spacer 6 to obtain the maximum internal pressure "fmax".
Here, the inner radius of the ring-shaped spacer is “R1”, the outer radius of the partial rotating body is “r2”, and R1 = r2
Then, the maximum internal pressure “fmax” becomes [Equation 3].
【００２６】[0026]
【数３】 但し、「Ｌ」はリング状スペーサの長さである。[Equation 3] However, "L" is the length of the ring-shaped spacer.
【００２７】（２）降伏内圧（ｆｙ）の計算方法
薄肉（外径／内径＜１．５５）の円筒に均一内圧が加わ
った場合は、「円筒部に発生する平均せん断応力＝降伏
せん断応力」で降伏が発生すると考える。降伏点でのせ
ん断応力と内圧には［数４］ような関係がある。(2) Calculation method of yield internal pressure (fy) When uniform internal pressure is applied to a thin-walled cylinder (outer diameter / inner diameter <1.55), "average shear stress generated in cylindrical portion = yield shear stress" I think that surrender will occur at. The shear stress at the yield point and the internal pressure have a relationship as shown in [Equation 4].
【００２８】[0028]
【数４】
但し、「κ0」（形状比）はκ0＝Ｒ２／Ｒ１であり、
「Ｒ１」はリング状スペーサの内周側半径、「Ｒ２」は
リング状スペーサの外周側半径である。[Equation 4] However, “κ 0 ” (shape ratio) is κ 0 = R2 / R1,
“R1” is the inner radius of the ring spacer, and “R2” is the outer radius of the ring spacer.
【００２９】リング状スペーサの材料の降伏応力をσｙ
とすると、リング状スペーサのせん断降伏応力τｙは、
τｙ＝σｙ／２であるので、リング状スペーサが降伏す
るときの内圧ｆｙは、［数５］となる。The yield stress of the material of the ring spacer is σy
Then, the shear yield stress τy of the ring-shaped spacer is
Since τy = σy / 2, the internal pressure fy when the ring-shaped spacer yields is [Equation 5].
【００３０】[0030]
【数５】 [Equation 5]
【００３１】図１に示したように、リング状スペーサ６
には、その一部に緩衝材１０が設けられており、この緩
衝材１０は、ロータ翼４の衝突による衝撃力でリング状
スペーサ６の径方向に塑性変形することができるように
構成されている。As shown in FIG. 1, the ring-shaped spacer 6
Is provided with a cushioning material 10 on a part thereof, and the cushioning material 10 is configured so that it can be plastically deformed in the radial direction of the ring-shaped spacer 6 by the impact force due to the collision of the rotor blades 4. There is.
【００３２】緩衝材１０をリング状スペーサ６の一部に
設ける構造については、例えば、図１に示したように、
リング状スペーサ６をその肉厚方向に３層６ａ、６ｂ、
６ｃの構造とするとともに、この３層のうち中間の層６
ｂを緩衝材１０として設ける構造を採用することができ
る。この場合、同図に示したようにリング状スペーサ６
全体を３層構造とする全３層構造（１）の他、図３に示
したようにリング状スペーサ６の一部だけを３層構造と
する部分的３層構造（２）を採用することもできる。Regarding the structure in which the cushioning material 10 is provided on a part of the ring-shaped spacer 6, for example, as shown in FIG.
The ring-shaped spacer 6 is provided with three layers 6a, 6b in the thickness direction,
6c structure, and an intermediate layer 6 of these 3 layers
A structure in which b is provided as the cushioning material 10 can be adopted. In this case, as shown in FIG.
Adopting a partial three-layer structure (2) in which only a part of the ring-shaped spacer 6 has a three-layer structure as shown in FIG. You can also
【００３３】ここで、前記（１）の全３層構造について
は、中間層６ｂをリング状緩衝材とするとともに、この
リング状緩衝材（中間層６ｂ）の内外両面に外層６ａと
内層６ｃを構成するリング状部材を貼り合わせること等
により構成することができ、また、前記（２）の部分的
３層構造については、リング状スペーサ６の肉厚部分に
凹部１８を形成するとともに、この凹部１８内に緩衝材
１０を介挿すること等により構成することができる。Here, in the three-layer structure of (1) above, the intermediate layer 6b is a ring-shaped cushioning material, and the outer layer 6a and the inner layer 6c are formed on both inner and outer surfaces of the ring-shaped cushioning material (intermediate layer 6b). The ring-shaped member can be formed by pasting it together. Further, in the partial three-layer structure of (2), the recess 18 is formed in the thick portion of the ring-shaped spacer 6, and the recess is formed. It can be configured by inserting the cushioning material 10 into the inside of 18, and the like.
【００３４】また、緩衝材１０をリング状スペーサ６の
一部に設ける構造としては、上記３層構造に限定される
ことはなく、その肉厚方向に３層以上の構造とするとと
もに、これらの層のうち中間の層を緩衝材として設けた
構造にすることができる。The structure in which the cushioning material 10 is provided in a part of the ring-shaped spacer 6 is not limited to the above-mentioned three-layer structure, and a structure having three or more layers in the thickness direction thereof is used. It is possible to adopt a structure in which an intermediate layer among the layers is provided as a cushioning material.
【００３５】図４には５層の構造の例を示す。FIG. 4 shows an example of a five-layer structure.
【００３６】図４は、リング状スペーサ６をその肉厚方
向に５層６ａ、６ｂ…６ｅの構造とするとともに、この
５層のうち外側または内側から２層目と３層目を緩衝材
１０として設けた構造例である。この場合、同図に示し
たようにリング状スペーサ６全体を５層構造とする全５
層構造（３）の他、図５に示したように５層の部分と３
層の部分が混在する混在構造（４）を採用してもよい。In FIG. 4, the ring-shaped spacer 6 has a structure of five layers 6a, 6b ... 6e in the thickness direction, and the second and third layers from the outside or the inside of the five layers are the cushioning material 10. It is an example of the structure provided as. In this case, as shown in the figure, the ring-shaped spacer 6 as a whole has a five-layer structure.
In addition to the layer structure (3), as shown in FIG.
A mixed structure (4) in which layer portions are mixed may be adopted.
【００３７】ここで、前記（３）の全５層構造について
は、上述の全３層構造と同様な手法により構成すること
ができ、また、前記（４）の混在構造については、リン
グ状部材６００の肉厚部分に凹部６００ａを２つ形成
し、これらの凹部６００ａ、６００ａ内に緩衝材１０を
介挿すること等により構成することができる。Here, the all-five-layer structure of (3) can be constructed by the same method as the above-mentioned all-three-layer structure, and the mixed structure of (4) has a ring-shaped member. It can be configured by forming two recesses 600a in the thick portion of 600 and inserting the cushioning material 10 in these recesses 600a, 600a.
【００３８】なお、図５に示した構造例は、リング状部
材６００の上下端面にそれぞれ１つずつ凹部１８を設け
るとともに、このような上向きと下向きの両凹部１８、
１８内に緩衝材１０、１０を介挿した例であるが、これ
とは別に、リング状部材６００の上端面または下端面の
いずれか一方のみに凹部を複数設けるとともに、これら
の凹部内にそれぞれ緩衝材１０を介挿してもよい。In the structure example shown in FIG. 5, one concave portion 18 is provided on each of the upper and lower end surfaces of the ring-shaped member 600, and both the upward and downward concave portions 18,
This is an example in which the cushioning materials 10 and 10 are inserted in the 18, but separately from this, a plurality of recesses are provided only on either the upper end surface or the lower end surface of the ring-shaped member 600, and the recesses are respectively provided in these recesses. The cushioning material 10 may be inserted.
【００３９】また、上記緩衝材１０は、図６（ａ）およ
び（ｂ）に示したようにリング状スペーサ６と同心円の
環状に形成することができるほか、同図（ｃ）〜（ｆ）
に示したようにリング状スペーサ６の周方向に断続的に
配置することもできる。Further, the cushioning material 10 can be formed in an annular shape concentric with the ring-shaped spacer 6 as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), and in FIGS. 6 (c) to 6 (f).
Alternatively, the ring-shaped spacers 6 may be arranged intermittently in the circumferential direction as shown in FIG.
【００４０】図４に示したリング状スペーサの一部に緩
衝材を設ける構造は、５層以上にすることもでき、この
場合、これらの層のうち中間の複数の層を交互に緩衝材
として設ける。The structure in which the cushioning material is provided in a part of the ring-shaped spacer shown in FIG. 4 can be made up of five layers or more. In this case, a plurality of intermediate layers among these layers are alternately used as the cushioning material. Set up.
【００４１】本実施形態の真空ポンプにおいても、図７
を用いて説明すると、ロータ２の下部側外周面と対向す
る位置には固定のネジステータ７が配置されており、こ
のネジステータ７は、その全体形状がロータ２の下部側
外周面を囲む筒型の形状となるように形成され、かつ、
ポンプケース１のベースを構成するベース部材１−１に
一体的に取り付け固定されている。なお、ネジステータ
７にはネジ溝８が形成され、このネジ溝８はネジステー
タ７のロータ対向面側に設けられている。Also in the vacuum pump of this embodiment, as shown in FIG.
A fixed screw stator 7 is arranged at a position facing the lower side outer peripheral surface of the rotor 2, and the screw stator 7 has a tubular shape whose entire shape surrounds the lower side outer peripheral surface of the rotor 2. Is formed into a shape, and
It is integrally attached and fixed to a base member 1-1 that constitutes the base of the pump case 1. A screw groove 8 is formed on the screw stator 7, and the screw groove 8 is provided on the rotor facing surface side of the screw stator 7.
【００４２】また、ロータ２の内側にはその回転中心軸
線上にロータシャフト１２が一体に取り付けられてい
る。このロータシャフト１２の軸受手段については、本
実施形態では、ボールベアリング１３によりロータシャ
フト１２を軸受け支持する構成を採用している。A rotor shaft 12 is integrally mounted inside the rotor 2 on the center axis of rotation thereof. As for the bearing means of the rotor shaft 12, in this embodiment, a configuration is adopted in which the rotor shaft 12 is supported by a ball bearing 13.
【００４３】さらに、ロータシャフト１２は駆動モータ
１４により回転駆動される。この種の駆動モータ１４の
構造については、ロータ２の内側に設置されているステ
ータコラム１６にモータ固定子１４ａを取り付けるとと
もに、このモータ固定子１４ａと対向するロータシャフ
ト１２外周面にモータ回転子１４ｂを配設するものとし
ている。Further, the rotor shaft 12 is rotationally driven by the drive motor 14. With respect to the structure of this type of drive motor 14, the motor stator 14a is attached to the stator column 16 installed inside the rotor 2, and the motor rotor 14b is provided on the outer peripheral surface of the rotor shaft 12 facing the motor stator 14a. Are to be installed.
【００４４】上記ポンプケース１上部側のガス吸気口１
−２は高真空となる真空容器、たとえば半導体製造装置
のプロセスチャンバ１７側に接続され、ポンプケース１
下部側のガス排気口１−３は低圧側に連通接続される。Gas inlet 1 on the upper side of the pump case 1
-2 is connected to the vacuum container for high vacuum, for example, the process chamber 17 side of the semiconductor manufacturing apparatus, and the pump case 1
The lower gas exhaust port 1-3 is connected to the low pressure side.
【００４５】次に、上記の如く構成された本実施形態の
真空ポンプの動作について図１を用いて説明する。Next, the operation of the vacuum pump of this embodiment constructed as described above will be described with reference to FIG.
【００４６】同図の本真空ポンプは、たとえば半導体製
造装置のプロセスチャンバ１７内を真空に排気する手段
として使用することができ、この使用例の場合、本真空
ポンプはポンプケース１上部のガス吸気口１−２側を図
示しないプロセスチャンバ１７に連通接続するために、
ポンプケース１上部のフランジ部１ａがプロセスチャン
バ１７側に締結ボルト１５（図７参照）で接続される。The present vacuum pump shown in the figure can be used, for example, as a means for evacuating the inside of the process chamber 17 of the semiconductor manufacturing apparatus. In the case of this use example, the present vacuum pump is a gas intake port above the pump case 1. In order to connect the port 1-2 side to the process chamber 17 not shown,
The flange portion 1a on the upper portion of the pump case 1 is connected to the process chamber 17 side with a fastening bolt 15 (see FIG. 7).
【００４７】上記のように接続された本真空ポンプにお
いて、ガス排気口１−３に接続された図示しない補助ポ
ンプを作動させ、プロセスチャンバ１７内を１０-1Ｔｏ
ｒｒ台にした後、運転開始スイッチをオンにすると、駆
動モータ１４が作動し、ロータシャフト１２と一体にロ
ータ２およびロータ翼４が高速回転する。In the vacuum pump connected as described above, an auxiliary pump (not shown) connected to the gas exhaust port 1-3 is operated to move the inside of the process chamber 17 to 10 -1 To.
When the operation start switch is turned on after the rr stage has been set, the drive motor 14 operates and the rotor 2 and the rotor blades 4 rotate at high speed together with the rotor shaft 12.
【００４８】そうすると、高速で回転している最上段の
ロータ翼４がガス吸気口１−２から入射したガス分子に
下向き方向の運動量を付与し、この下向き方向の運動量
を有するガス分子がステータ翼５に案内され、次の下段
のロータ翼４側へ送り込まれ、このようなガス分子への
運動量の付与と送り込み動作が繰り返し行われることに
より、ガス吸気口１−２側のガス分子がロータ２下部側
のネジ溝８側（図７参照）へ順次移行し排気されてい
く。このようなガス分子の排気の動作が回転するロータ
翼４と固定のステータ翼５との相互作用による分子排気
動作である。Then, the uppermost rotor blade 4 rotating at a high speed imparts a downward momentum to the gas molecules incident from the gas intake port 1-2, and the gas molecules having the downward momentum are the stator blades. The gas molecules on the side of the gas intake port 1-2 are guided to the rotor blade 4 side in the next lower stage, and the momentum is imparted to the gas molecules and the feeding operation is repeated. The lower screw thread 8 side (see FIG. 7) is sequentially moved to and exhausted. Such an operation of exhausting gas molecules is an operation of exhausting molecules by the interaction between the rotating rotor blade 4 and the fixed stator blade 5.
【００４９】さらに、上記のような分子排気動作により
ロータ２下部側のネジ溝８側へ到達したガス分子は、回
転するロータ２とネジ溝８との相互作用により、遷移流
から粘性流に圧縮されてガス排気口１−３側へ移送さ
れ、かつ、該ガス排気口１−３から図示しない補助ポン
プによりポンプ外部へ排気される。Further, the gas molecules that have reached the screw groove 8 side on the lower side of the rotor 2 by the above-described molecular exhaust operation are compressed from the transition flow to the viscous flow by the interaction between the rotating rotor 2 and the screw groove 8. The gas is exhausted to the gas exhaust port 1-3 side and exhausted from the gas exhaust port 1-3 to the outside of the pump by an auxiliary pump (not shown).
【００５０】ところで、上記の如く高速回転しているロ
ータ２が例えば脆性破壊を起し、ロータ翼４がポンプケ
ース１内周側のリング状スペーサ６に衝突すると、リン
グ状スペーサ６の内側に圧力（内圧）が加わるが、その
内圧によりリング状スペーサ６がポンプケース１内周面
に向って膨張しポンプケース１内周面に接触することは
ない。これは、本実施形態の場合、前述の通り、推定さ
れるリング状スペーサ６の最大内圧（ｆmax ）よりもそ
の降伏内圧（ｆｙ）の方が大きくなる肉厚、材質で、リ
ング状スペーサ６が構成されているためである。By the way, when the rotor 2 rotating at high speed as described above causes, for example, brittle fracture and the rotor blades 4 collide with the ring-shaped spacer 6 on the inner peripheral side of the pump case 1, pressure is applied to the inside of the ring-shaped spacer 6. (Internal pressure) is applied, but the internal pressure does not cause the ring-shaped spacer 6 to expand toward the inner peripheral surface of the pump case 1 and contact the inner peripheral surface of the pump case 1. In the case of the present embodiment, as described above, this is because the ring spacer 6 has a wall thickness and a material that make the yield inner pressure (fy) larger than the estimated maximum inner pressure (fmax) of the ring spacer 6. This is because it is configured.
【００５１】したがって、本実施形態の真空ポンプによ
ると、ロータ翼４がポンプケース１内周側のリング状ス
ペーサ６に衝突しても、このリング状スペーサ６はポン
プケース１内周面に接触しないので、リング状スペーサ
６からポンプケース１側へ破壊トルク、すなわち本真空
ポンプ全体を回転させようとするトルクが伝達されるこ
とはなく、この種の破壊トルクが真空ポンプに接続され
たプロセスチャンバ等に伝わってプロセスチャンバ等を
破壊したり、ポンプケース１のねじれと、本真空ポンプ
とプロセスチャンバを締結している締結ボルトがそのポ
ンプケース１のねじり力により破損するという不具合を
防止できる。Therefore, according to the vacuum pump of this embodiment, even if the rotor blade 4 collides with the ring-shaped spacer 6 on the inner peripheral side of the pump case 1, the ring-shaped spacer 6 does not contact the inner peripheral surface of the pump case 1. Therefore, the breaking torque, that is, the torque for rotating the entire vacuum pump is not transmitted from the ring-shaped spacer 6 to the pump case 1 side, and the breaking torque of this kind is connected to the vacuum pump or the like. It is possible to prevent such problems that the process chamber and the like are damaged and the pump case 1 is twisted and the fastening bolts that fasten the vacuum pump and the process chamber are damaged by the twisting force of the pump case 1.
【００５２】また、本真空ポンプの場合、高速回転して
いるロータ翼４の一部がリング状スペーサ６に衝突する
と、その衝撃力により緩衝材１０が潰れて塑性変形す
る。このような緩衝材１０の潰れ塑性変形により、上記
のような衝突による衝撃力は吸収され減少する。そし
て、緩衝材１０が潰れきると、この時点で残っている破
壊トルクによりリング状スペーサ６が回転移動し、この
リング状スペーサ６の回転動作により破壊トルクのエネ
ルギーが完全に消費され消滅する。このようにリング状
スペーサ６が回転移動できるのは、本真空ポンプの場
合、上述のようにロータ翼４の一部がリング状スペーサ
６に衝突したときに、このリング状スペーサ６とポンプ
ケース１内周面との接触が防止されるためである。Further, in the case of the present vacuum pump, when a part of the rotor blade 4 rotating at high speed collides with the ring-shaped spacer 6, the shock absorbing force causes the cushioning material 10 to be crushed and plastically deformed. Due to the crushed plastic deformation of the cushioning material 10 as described above, the impact force due to the collision as described above is absorbed and reduced. When the cushioning material 10 is completely crushed, the ring-shaped spacer 6 is rotationally moved by the breaking torque remaining at this time, and the rotating torque of the ring-shaped spacer 6 completely consumes and destroys the energy of the breaking torque. In the present vacuum pump, the ring-shaped spacer 6 can be rotationally moved in this way, when the rotor blade 4 partially collides with the ring-shaped spacer 6 as described above, the ring-shaped spacer 6 and the pump case 1 This is because contact with the inner peripheral surface is prevented.
【００５３】本発明における緩衝材１０は、複数のリン
グ状スペーサのそれぞれに個別に設けるものである。そ
して、このようにして緩衝材が一体となったリング状ス
ペーサ６、６とするから、緩衝材を別体に設けるものに
比べて、ステータ翼とスペーサの組付け作業が非常に容
易である。The cushioning material 10 in the present invention is provided individually for each of the plurality of ring-shaped spacers. Further, since the ring-shaped spacers 6, 6 in which the cushioning material is integrated in this way are formed, the work of assembling the stator blade and the spacer is very easy as compared with the case where the cushioning material is provided separately.
【００５４】なお、上記ネジ溝８はロータ２側に設けて
もよく、この場合はネジステータ７と対向しているロー
タ２外周面にネジ溝８を形成するものとする。The screw groove 8 may be provided on the rotor 2 side. In this case, the screw groove 8 is formed on the outer peripheral surface of the rotor 2 facing the screw stator 7.
【００５５】ロータシャフト１２の軸受手段について
は、上述のボールベアリング１３のほか、たとえば磁気
軸受等の非接触型軸受を適用することもできる。As the bearing means of the rotor shaft 12, in addition to the ball bearing 13 described above, a non-contact type bearing such as a magnetic bearing can be applied.
【００５６】[0056]
【発明の効果】本発明に係る真空ポンプにあっては、リ
ング状スペーサの材質、肉厚は、ロータやロータ翼等か
らなる回転体全体の遠心力に基づきリング状スペーサの
内周に加わる最大内圧を推定し、この推定の最大内圧と
リング状スペーサの内周に均一な内圧が加わるものと想
定した場合の降伏内圧とを比較したときに、その降伏内
圧の方が大きくなる材質、肉厚となっている構成を採用
したものである。このため、回転翼がリング状スペーサ
に衝突しても、リング状スペーサとポンプケースとの接
触を防止することができるから、リング状スペーサから
ポンプケース側へ破壊トルクが伝達されることはなく、
よって、部品点数の増加やポンプ組立作業の煩雑化を招
くことなく、この種の破壊トルクが真空ポンプに接続さ
れたプロセスチャンバ等に伝わってプロセスチャンバ等
を破壊したり、ポンプケースのねじれや、そのねじり力
による締結ボルトの破損等を起したりする不具合を防止
することができる。In the vacuum pump according to the present invention, the material and the wall thickness of the ring-shaped spacer are the maximum applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer based on the centrifugal force of the entire rotor including the rotor and rotor blades. When the internal pressure is estimated and the estimated maximum internal pressure is compared with the yield internal pressure when it is assumed that uniform internal pressure is applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer, the material and wall thickness where the yield internal pressure is larger It adopts the following configuration. Therefore, even if the rotary blade collides with the ring-shaped spacer, the contact between the ring-shaped spacer and the pump case can be prevented, so that the breaking torque is not transmitted from the ring-shaped spacer to the pump case side.
Therefore, without increasing the number of parts and complicating the pump assembling work, this type of breaking torque is transmitted to the process chamber or the like connected to the vacuum pump to break the process chamber or the like, or the pump case is twisted, It is possible to prevent problems such as damage of the fastening bolt due to the twisting force.
【図１】本発明のに係る真空ポンプの要部の一実施形態
の説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment of a main part of a vacuum pump according to the present invention.
【図２】本発明におけるリング状スペーサの肉厚、材質
の決定要因の説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram of factors that determine the wall thickness and material of the ring-shaped spacer according to the present invention.
【図３】本発明に係る真空ポンプの要部の他の実施形態
の説明図。FIG. 3 is an explanatory view of another embodiment of the main part of the vacuum pump according to the present invention.
【図４】本発明に係る真空ポンプの要部の他の実施形態
の説明図。FIG. 4 is an explanatory view of another embodiment of the main part of the vacuum pump according to the present invention.
【図５】本発明に係る真空ポンプの要部の他の実施形態
の説明図。FIG. 5 is an explanatory view of another embodiment of the main part of the vacuum pump according to the present invention.
【図６】本発明に係る真空ポンプの要部の他の実施形態
の説明図。FIG. 6 is an explanatory view of another embodiment of the main part of the vacuum pump according to the present invention.
【図７】従来の真空ポンプの断面図。FIG. 7 is a sectional view of a conventional vacuum pump.
１ ポンプケース １ａ フランジ部 １−１ ベース部材 １−２ ガス吸気口 １−３ ガス排気口 ２ ロータ ４ ロータ翼 ５ ステータ翼 ６ スペーサ ７ ネジステータ ８ ネジ溝 １０ 緩衝材 １２ ロータシャフト １３ ボールベアリング １４ 駆動モータ １４ａ モータ固定子 １４ｂ モータ回転子 １５ 締結ボルト １６ ステータコラム １７ プロセスチャンバ １８ 凹部 Ｇ 空隙 1 pump case 1a Flange part 1-1 Base member 1-2 Gas inlet 1-3 Gas exhaust port 2 rotor 4 rotor blades 5 Stator blade 6 spacers 7 screw stator 8 screw groove 10 cushioning material 12 rotor shaft 13 ball bearings 14 Drive motor 14a Motor stator 14b Motor rotor 15 Fastening bolt 16 Stator column 17 Process chamber 18 recess G void
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H031 DA01 DA02 DA07 EA09 FA01 FA39 3H034 AA01 AA02 AA12 BB01 BB08 BB11 BB16 BB17 CC03 DD01 DD24 DD30 EE10 EE17 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F-term (reference) 3H031 DA01 DA02 DA07 EA09 FA01 FA39 3H034 AA01 AA02 AA12 BB01 BB08 BB11 BB16 BB17 CC03 DD01 DD24 DD30 EE10 EE17
Claims (5)
ロータと、 上記ロータの外周面に一体に設けられた複数のロータ翼
と、 上記ロータの外周を囲む形状に形成され、かつ、上記ポ
ンプケースの内周面側に積層設置された複数のリング状
スペーサと、 上記複数のリング状スペーサにより上記複数のロータ翼
間に位置決め配置された複数のステータ翼とを有し、 上記リング状スペーサの材質、肉厚は、上記ロータやロ
ータ翼等からなる回転体全体の遠心力に基づき上記リン
グ状スペーサの内周に加わる最大内圧を推定し、この推
定の最大内圧と上記リング状スペーサの内周に均一な内
圧が加わるものと想定した場合の降伏内圧とを比較した
ときに、その降伏内圧の方が大きくなる材質、肉厚とな
っていることを特徴とする真空ポンプ。1. A rotor rotatably installed in a pump case, a plurality of rotor blades integrally provided on an outer peripheral surface of the rotor, and a shape surrounding the outer periphery of the rotor, and the pump. A plurality of ring-shaped spacers stacked and installed on the inner peripheral surface side of the case; and a plurality of stator blades positioned between the plurality of rotor blades by the plurality of ring-shaped spacers. For the material and wall thickness, the maximum internal pressure applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer is estimated based on the centrifugal force of the entire rotor consisting of the rotor and rotor blades, and the estimated maximum inner pressure and the inner circumference of the ring-shaped spacer are estimated. A vacuum pump characterized by having a material and a wall thickness that make the yield internal pressure larger when compared with the yield internal pressure when it is assumed that a uniform internal pressure is applied.
ロータと、 上記ロータの外周面に一体に設けられた複数のロータ翼
と、 上記ロータの外周を囲む形状に形成され、かつ、上記ポ
ンプケースの内周面側に積層設置された複数のリング状
スペーサと、 上記複数のリング状スペーサにより上記複数のロータ翼
間に位置決め配置された複数のステータ翼と、 上記複数のリング状スペーサの一部にそれぞれ設けられ
るとともに、上記ロータ翼の衝突による衝撃力で該リン
グ状スペーサの径方向に塑性変形する緩衝材とを備えて
なることを特徴とする真空ポンプ。2. A rotor rotatably installed in a pump case, a plurality of rotor blades integrally provided on an outer peripheral surface of the rotor, and a shape surrounding the outer periphery of the rotor, and the pump. A plurality of ring-shaped spacers stacked on the inner peripheral surface of the case, a plurality of stator blades positioned between the plurality of rotor blades by the plurality of ring-shaped spacers, and one of the plurality of ring-shaped spacers. And a cushioning material that is provided in each of the portions and that plastically deforms in the radial direction of the ring-shaped spacer by the impact force due to the collision of the rotor blades.
ロータと、 上記ロータの外周面に一体に設けられた複数のロータ翼
と、 上記ロータの外周を囲む形状に形成され、かつ、上記ポ
ンプケースの内周面側に積層設置された複数のリング状
スペーサと、 上記複数のリング状スペーサにより上記複数のロータ翼
間に位置決め配置された複数のステータ翼と、 上記複数のリング状スペーサの一部にそれぞれ設けられ
るとともに、上記ロータ翼の衝突による衝撃力で該リン
グ状スペーサの径方向に塑性変形する緩衝材とを有し、 上記リング状スペーサの材質、肉厚は、上記ロータやロ
ータ翼等からなる回転体全体の遠心力に基づき上記リン
グ状スペーサの内周に加わる最大内圧を推定し、この推
定の最大内圧と上記リング状スペーサの内周に均一な内
圧が加わるものと想定した場合の降伏内圧とを比較した
ときに、その降伏内圧の方が大きくなる材質、肉厚とな
っていることを特徴とする真空ポンプ。3. A rotor rotatably installed in a pump case, a plurality of rotor blades integrally provided on the outer peripheral surface of the rotor, and a shape surrounding the outer periphery of the rotor, and the pump. A plurality of ring-shaped spacers stacked on the inner peripheral surface of the case, a plurality of stator blades positioned between the plurality of rotor blades by the plurality of ring-shaped spacers, and one of the plurality of ring-shaped spacers. And a cushioning material that is plastically deformed in the radial direction of the ring-shaped spacer by the impact force caused by the collision of the rotor blade, and the material and the thickness of the ring-shaped spacer are the rotor and the rotor blade. The maximum internal pressure applied to the inner circumference of the ring-shaped spacer is estimated based on the centrifugal force of the entire rotating body, and the estimated maximum inner pressure and the inner circumference of the ring-shaped spacer are uniform. When comparing the yield pressure in the case of the assumption that the internal pressure is applied, wherein the vacuum pump has become material towards its yield pressure is increased, the wall thickness.
る構造は、該リング状スペーサをその肉厚方向に３層以
上の構造とするとともに、これらの層のうち中間の層を
緩衝材として設けた構造であることを特徴とする請求項
２または３に記載の真空ポンプ。4. A structure in which a cushioning material is provided in a part of a ring-shaped spacer is such that the ring-shaped spacer has three or more layers in the thickness direction thereof, and an intermediate layer among these layers is used as a cushioning material. The vacuum pump according to claim 2 or 3, wherein the vacuum pump has a structure provided.
る構造は、該リング状スペーサをその肉厚方向に５層以
上の構造とするとともに、これらの層のうち中間の複数
の層を交互に緩衝材として設けた構造であることを特徴
とする請求項２または３に記載の真空ポンプ。5. A structure in which a cushioning material is provided on a part of a ring-shaped spacer is such that the ring-shaped spacer has a structure of five or more layers in the thickness direction thereof, and a plurality of intermediate layers among these layers are alternated. The vacuum pump according to claim 2 or 3, wherein the vacuum pump has a structure in which it is provided as a cushioning material.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006348765A (en) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Shimadzu Corp | Turbo molecular pump |
-
2001
- 2001-11-15 JP JP2001350498A patent/JP2003148377A/en active Pending
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