JP2003140107A - 同調可能なファブリペロー空洞フィルタ及びフィルタの製造方法及びその利用方法 - Google Patents

同調可能なファブリペロー空洞フィルタ及びフィルタの製造方法及びその利用方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】低コスト、広い同調範囲、低電圧及び小さな損
失を有する同調可能なファブリペローフィルタを製造す
ること。 【解決手段】本発明によって提供される同調可能なファ
ブリペローフィルタは、光学空洞を定義する少なくとも
部分的に反射性の1対の対向する表面、及び前記空洞内
に配置された液晶によるナノ分散を含む。液晶は、金属
酸化物マトリクス(12)に配列される穴の中に配置さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に光フィルタ
に関し、且つ特に液晶を利用する同調可能なファブリペ
ローエタロン空洞フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】光フィルタは、特に光通信ネットワーク
において広範囲の種類の用途を有する。このようなフィ
ルタは、所定の信号を帯域内の信号から分離するために
有用である。
【0003】光ファイバネットワークは、近年、音声及
びデータ両方の通信のために広く利用されるようになっ
ている。フィルタは、信号の帯域から所定の信号を分離
するために、これらのネットワークにおいて広く利用さ
れる。このようなネットワークにおいて利用されるもっ
とも簡単なフィルタの1つは、同調可能なファブリペロ
ーフィルタである。ファブリペローフィルタは、部分的
に銀めっきされたミラーによってそれぞれの端部におい
て区画された空洞からなる。
【0004】一般に通信用途のための既存の解決策は、
典型的に2つの欠点のうちの1つを有する。これらは:
1)可動の部品を必要とし、これは望ましくなく;又は
2)偏光(polarization)依存性及び小さ
な同調範囲を有する固体であるかのいずれかである。
【0005】ファブリペローフィルタは、一方のミラー
の運動によって同調することができる。過去の基本的な
技術の1つは、一方のミラーをピエゾ電気結晶に取付
け、且つフィルタを同調するために結晶に加えられる電
圧を変化させることにある。結晶は、原子の直径より小
さな運動の精度を得ることができる点にまで制御するこ
とができる。このことは、ある種の用途にとって全く十
分であるが、光パケット交換のような提案された用途に
とってはあまりに遅すぎる。
【0006】このようなフィルタを同調するための別の
アプローチは、フィルタの空洞の内側における材料の屈
折率(RI)を変化することにある。これは、液晶材料
によってギャップ又は空洞を充填することによって達成
することができる。液晶材料のRIは、ここにわたって
電圧を供給することによって、極めて急速に変化するこ
とができる。このタイプのフィルタのための同調時間
は、ほぼ10msecの程度と報告されているが、理論
的には、サブマイクロ秒の時間が達成できるはずであ
る。このタイプのフィルタによる1つの問題は、これら
が偏光に感応することにある。別の問題は、これらが極
めて狭い又は小さな同調可能な範囲を有するということ
にある。
【0007】いくつかの初期のアプローチは、良好に整
列されたネマチック及びスメクチック液晶を利用し、こ
れらは、顕微鏡スケール(光の波長より大きい)におい
て良好に定義された光軸を有する。このような装置は、
多くの望ましい特性を示し、すなわち広い同調範囲、低
い電圧及び小さな損失を示す。しかしながらこれらの装
置は、入射光の偏光に固有に感応する。
【0008】米国特許第5,068,749号明細書
は、液晶材料の分子に初めに特定の配向を強いることに
よって偏光の問題のいくつかに打勝つアプローチを開示
している。しかしながら、このアプローチは、同調可能
な範囲が極めて細い/狭いという点を含む多数の欠点を
有する。
【0009】更に、最近、偏光の問題に打勝つためにポ
リマー分散液晶(PDLC)に基づいて同調可能な空洞
を利用する試みが行なわれている。PDLCは、スポン
ジ状のポリマー層からなり、この層の空所は、液晶によ
って満たされている。PDLC要素は、紫外線駆動重合
プロセスによって製造され、このプロセスは化学反応で
ある。プロセスが、50%の液晶によってスタートした
場合でさえ、重合の後に、プロセスが完了していると
き、おそらく液晶のほぼ10%だけしかスイッチ可能な
形にならないであろう。換言すれば、PDLCは、最終
製品において精密に制御可能な容積割合の液晶を提供し
ない。このシステムの欠点は、ポリマー及び液晶の相分
離によって、典型的に液滴が生じることの結果として生
じる。液滴の寸法は、重合の力学を制御することによっ
て、ある程度まで制御することができる。しかしながら
液滴の寸法は、ポリマー及び液晶の混合物から相が分離
する材料の容積割合に反比例する。このプロセスは、液
滴の寸法の精密な制御を容易にせず、このようにして偏
光独立性は完全とはならない。それ故にこれらのPDL
C装置は、一般に小さな実効指数の変調深さ又は範囲、
典型的にはほぼ5乃至10nmを有し、且つ液晶が埋め
込まれた有機マトリクスによる光信号の大きな減衰を受
ける。減衰は、PDLC内のポリマーが赤外線において
吸収することの結果として生じる。
【0010】それ故に上述した従来技術の問題を克服で
きる同調可能なフィルタに対する要求がある。更に特定
すれば、偏光に感応せず、最小の減衰を有し且つ利用可
能に広い範囲にわたって電子的に同調可能なフィルタに
対する要求が存在する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な目的
は、上述した従来技術の問題を克服し、低コスト、広い
同調範囲、低電圧及び小さな損失を有する同調可能なフ
ァブリペローフィルタを製造することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】この目的にしたがって本
発明において利用される同調可能なファブリペローエタ
ロンフィルタは、その間に空洞を形成するために少なく
とも部分的に反射性の一般に平行な1対の対向する表
面、及び空洞内におけるマトリクス内に配置された液晶
の制御されるナノ分散を含む。液晶に電界を供給する手
段は、通過する光波長に関して制御可能なフィルタを製
造するために加えることができる。
【0013】マトリクス材料が溶融するにつれて追出さ
れる精密に制御される球形の形を利用して形成されるマ
トリクスを利用することは、マトリクスが小さな不規則
に配置された液晶液滴を含むことを可能にする。その結
果、偏光に無依存となる。マトリクス構造は、制御され
た様式で形成されるので、容積でほぼ50%ないしほぼ
68%の液晶を含む構造が達成できる。スイッチ可能な
マトリクス内におけるこの比較的多くの割合の液晶液滴
は、約30nmの同調範囲を実現することを容易にす
る。液晶液滴が常駐するマトリクスのために金属酸化物
を利用することによって、金属酸化物は赤外線に対して
透明なので、減衰率は最小になる。
【0014】本発明により形成される金属酸化物マトリ
クスは、液晶液滴によって満たされる穴の形板を製造す
る。
【0015】本発明の対象、利点及び特徴は、添付の図
面に関連して読めば、次の詳細な説明により当業者にと
って一層明らかになるであろう。
【0016】
【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して本発明
の好適実施形態について詳細に説明する。本発明は、同
調可能なファブリペロー(FP)エタロンフィルタを提
供し、その際、少なくとも部分的に反射性の1対の対向
する表面は、その間に空洞又は空間を形成するように配
置されている。液晶のナノ分散は、空洞内における金属
酸化物マトリクス内に配置されており、且つ液晶に電界
を供給する手段が設けられている。本発明は、偏光に感
応せず且つ比較的広い屈折率範囲にわたって電子的に同
調可能なフィルタを提供する。
【0017】図1によれば、本発明の1つの実施例にし
たがって構成された光フィルタが概略的に示されてい
る。全体に参照符号10によって示されたこの光フィル
タは、少なくとも部分的に反射性を有する一般に平行な
互いに離れた1対の表面又はミラー14及び16を含
み、空洞又は空間は、2つの反射性の表面の間に定義さ
れている。2つのミラーの間の空間内に、液晶のナノ分
散を組込んだマトリクス12が配置されている。液晶の
このナノ分散は、金属酸化物マトリクス又は形板内にお
ける穴の不規則に配置されたアレイに配置されている。
金属酸化物マトリクスは、望ましくは二酸化チタン(T
iO)から形成されるが、二酸化シリコン(Si
)又は二酸化ジルコニウム(ZrO)から形成し
てもよい。形板構造のための別の代案は、その他の金属
酸化物、又はシリコン又はゲルマニウムである。液晶
は、金属酸化物構造内に形成された一般に球形の空洞の
配列に形成され又は含まれる。液晶のこれらの球又は液
滴の直径は、望ましくはほぼ10と50ナノメートルの
間にあり、マトリクスの容積のほぼ50と68%の間を
形成している。マトリクスは、ミラー14及び16の間
のほぼ5乃至10μmの厚さを有するが、この寸法は、
ほとんどの場合に微妙ではない。ミラーは、典型的には
できるだけ高い反射率を有するが、実際には100%の
反射率は妨げられる。あまり鋭くないフィルタが望まれ
る場合が存在することがあり、且つ反射率は、所望のフ
ィルタの形に依存してほぼ50%程度に低くともよい。
【0018】ミラーの両側に、制御システム26に電気
線22及び24によって接続された光学的に透明な電極
18及び20が配置されている。制御システムは、電極
に電流又は電圧を供給するための電源を含む。電極は、
例えばインジウムすず酸化物の層のようなあらゆる適当
な透明な材料から製造することができる。前記構造は、
ガラス板28、30等のような1対の透明な支持構造の
間に収容されている。この構造は、ファブリペローエタ
ロンフィルタを提供し、このフィルタは、偏光に感応せ
ず、且つ広い屈折率範囲にわたって電子的に同調可能で
ある。FPフィルタが同調可能な光波長の範囲は、ミラ
ー14及び16の間の空洞の厚さによって決まる。
【0019】光信号源32は、光ファイバによるように
フィルタ10に送信される信号34の帯域を発生する。
光信号源32は、発光ダイオード、レーザ又はその他の
源のようなあらゆる適当な光源であることができる。信
号の帯域はフィルタ内に進み、且つ所定の周波数の信号
がフィルタを通過し、且つ受信機38に送信される。制
御システム26は、液晶12のRIを制御し且つそれに
より所定の周波数範囲にわたってフィルタを同調するた
めに、電極18及び20に電圧を供給し且つ支持する。
【0020】動作において、光信号源32は、フィルタ
内に進む光信号34を発生し且つ送信する。液晶のRI
によって決まる周波数を有するこの信号の一部は、信号
36のようにフィルタから現われ、この信号は、受信機
38に送信される。フィルタは、ミラー14と16の間
に収容された液晶構造12の電気光学特性の変化によっ
て電子的に同調可能である。液晶材料の電気光学特性
は、制御システム26により線22及び24を介して電
極18及び20に発生され且つ送信される制御可能な電
界又は電圧によって変化される。
【0021】マトリクス12内における液晶は分極され
ておらず、且つしたがってその同調範囲にわたるフィル
タの動作は、入力信号の偏光に依存しない。このこと
は、信号34から制御システム26によって選ばれた波
長が、入力信号の偏光に関係なく実質的に同じ強さで受
信機38に引渡されることを意味する。この構造は、前
記ように、ほぼ50乃至68%の変調される液晶の大き
な容積割合のため、PDLCタイプの液晶構造よりずっ
と広範囲の同調能力を有する装置を提供する。
【0022】前記構造は、構造全体を通してかなり均一
に分散した液晶液滴の分離した小さな“球”を提供す
る。液滴は、設計された光の波長よりも小さい。この構
造により液晶マトリクス構造全体における良好に50%
を越える液晶を得ることが可能である。球がすべて実質
的に均一な単一の寸法のものである場合、液晶含有量
は、構造のほぼ68%にまですることができる。このよ
うな構造は、以前のPDLCタイプの構造のもののほぼ
7倍大きな同調可能な範囲を提供する。マトリクス内の
二酸化チタン構造は、不可視光、赤外線及び可視光によ
って利用するために安全である。
【0023】本発明の1つの実施例により液晶ユニット
又はマトリクスを製造する方法は、コロイド結晶から合
成逆オパール(inverse opals)構造を製
造する際に使用されるものと同様の方法を利用する。図
2に示すような結果として生じる支持又はマトリクス構
造は、金属酸化物マトリクスにおける穴の配列である。
周りのマトリクス材料に対する穴の比は、液晶の最大の
スイッチ可能な容積を取得する際に重要である。穴はコ
ロイド結晶により形板化されるので、液晶の容積割合
は、コロイド結晶形板を形成するために利用されるビー
ズの詰込み割合だけによって決まる。この方法による液
晶のスイッチ可能な容積割合は、おそらくPDLCベー
スのFP空洞よりほぼ3倍大きい。このことは、フィル
タに対して比較的広い同調範囲を可能にする。更に多く
の金属酸化物は、赤外線光に対して透明であり、この赤
外線は、これらの金属酸化物を低損失のマトリクスのた
めの理想的な候補とするものである。
【0024】図2によれば、本発明の液晶を製造するた
めの手続きにしたがって製造された金属酸化物マトリク
ス44内における穴42の配列からなる部分的なマトリ
クス構造40を示している。この構造は、チタニア内に
空気球からなるフォトニック結晶を製造するために説明
された方法によるように形成される。このプロセスは、
Wijnhoven及びVosによるPreparat
ion of Photonic Crystals
Made of Air Spheres in Ti
taniaと題する論文、Science、第281
巻、第802−804頁(1998年8月7日)に記載
されている。用語“配列”は、構造40内における穴4
2がなんらかの方法で規則的であると推論するものでは
なく、穴の配列は、一般にランダムに配置された穴の不
規則な配列である。
【0025】図面の図3乃至図5によれば、本発明の液
晶成分を製造するための所定のステップが示されてい
る。第1に図3によれば、プラスチック(例えばポリマ
ー)球46が選択され、且つ二酸化チタンの粒子48と
混合され、且つ容器又はその他の型等によるように形成
された板50及び52の対の間に配置される。これらの
粒子は、二酸化チタンの粒子が球の間の空間を満たすよ
うに、完全に混合され、且つ混合物は液晶マトリクスを
形成するために板50と52の間に閉じ込められる。プ
ラスチックの球は、プラスチック球を除去し(図4)且
つ二酸化チタンの粒子を互いに溶融するため、500℃
までの範囲の熱を供給することにより燃焼除去される。
この高温は、プラスチック球を除去し、溶融した二酸化
チタンを残し、図2に示すように、一般に球形の空洞又
は空所のマトリクスを形成する。
【0026】ポリマー球は、ほぼ10ないし50ナノメ
ートルの直径範囲を有するように選択される。液晶の最
大のパーセンテージを提供するために、望ましくはでき
るだけ同じ寸法に近いものを有するように選択するが、
望ましい場合には、異なった少なくとも2つの寸法の球
を利用することができる。液晶の同調能力は、マトリク
スの形成の際に利用される球の寸法及び寸法の比を制御
することによって調節することができる。二酸化チタン
粒子は、ほぼ5から50ナノメートルまでの寸法の範囲
の粒子寸法を有するように選択され、且つ望ましくはで
きるだけ同じ寸法に近いようにする。その結果、所望の
寸法の液滴を有する構造が生じる。プラスチック球の燃
焼除去及び金属酸化物の溶融によって、図2に示すよう
な構造が確立されると、マトリクス構造における空洞内
に液晶を装填するために、図5に示すようなプロセスが
実施される。マトリクス構造は、囲みの中に閉じ込めら
れているので、マトリクスに真空を供給することができ
る。液晶は、マトリクス内の穴及び空所を満たすために
二酸化金属マトリクスの容器内に真空によって導入され
る。空所が満たされると、液晶ユニットは完成し、且つ
図1に示すように、フィルタ構造内に組み立てられる。
【0027】本発明を特定の実施例によって図示し且つ
説明したが、一方特許請求の範囲に定義されたような本
発明の趣旨及び権利範囲から外れることなく、ここにお
いて様々な変更及び変形を行なうことができることは明
らかであろう。
【0028】本発明は、光学空洞を定義する少なくとも
部分的に反射性の1対の対向する表面、及び前記空洞内
に配置された液晶によるナノ分散を含むことを特徴とす
る、同調可能なファブリペローフィルタを提供する。
【0029】好ましくは、前記液晶が、金属酸化物マト
リクス内の配列に配置される。
【0030】好ましくは、前記液晶が、金属酸化物マト
リクス内の穴の配列に配置される。
【0031】好ましくは、前記液晶が、金属酸化物マト
リクス内の穴の配列に配置されており、金属酸化物が、
TiO、SiO及びZrOからなるグループから
得られる。
【0032】好ましくは、前記金属酸化物マトリクス
が、TiOとされる。
【0033】好ましくは、前記液晶が、金属酸化物マト
リクス内における一般に球形の穴の不規則な配列にして
配置される。
【0034】好ましくは、前記穴の直径が、ほぼ10な
いし50nmのオーダとされる。
【0035】好ましくは、前記穴が、前記マトリクスの
容積の少なくとも50%を占める。
【0036】好ましくは、前記穴が、前記マトリクスの
容積のほぼ68%より多くは形成していない。
【0037】好ましくは、前記穴が、前記マトリクスの
容積のほぼ50%からほぼ60乃至80%までを形成し
ている。
【0038】好ましくは、前記液晶が液滴の形をしてお
り、前記液滴が、前記フィルタを通過すべき光波長より
も小さい。
【0039】好ましくは、更に前記液晶に電界を供給す
る手段を含む。
【0040】好ましくは、前記フィルタを通過する前記
光波長が、前記光学空洞にわたって供給される電界を変
化することによって同調可能とされる。
【0041】更に本発明は、空洞を定義する少なくとも
部分的に反射性の一般に平行な1対の対向する表面、及
び前記空洞内における金属酸化物マトリクス内の配列に
配置された液晶のナノ分散、を含むことを特徴とする、
同調可能なファブリペローフィルタを提供する。
【0042】好ましくは、前記液晶が、前記金属酸化物
マトリクス内における実質的に球形の穴の配列に配置さ
れている。
【0043】好ましくは、前記穴の直径が、ほぼ10な
いし50nmのオーダにあり、且つ前記マトリクスの容
積のほぼ50%からほぼ60乃至80%までを形成す
る。
【0044】好ましくは、前記金属酸化物マトリクス
が、TiO、SiO及びZrOからなるグループ
から得られる金属酸化物から形成される。
【0045】好ましくは、前記液晶が液滴の形をしてお
り、前記液滴が、前記フィルタを通過すべき光波長より
も小さい。
【0046】好ましくは、更に前記液晶に電界を供給す
る手段を含む。
【0047】好ましくは、前記フィルタを通過する前記
光波長が、前記液晶を含む前記空洞にわたって供給され
る電界を変化することによって同調可能である。
【0048】更に、本発明は、一般に平行な少なくとも
部分的に反射性の1対の対向する表面を設けるステッ
プ、その間に空洞を定義するために前記少なくとも部分
的に反射性の表面を配置し、且つ前記空洞内における金
属酸化物マトリクス内の不規則な配列に配置された液晶
のナノ分散を配置するステップを含むことを特徴とす
る、同調可能なファブリペローフィルタの製造方法を提
供する。
【0049】好ましくは、前記液晶が、金属酸化物マト
リクス内における実質的に球形の穴の配列に配置され
る。
【0050】好ましくは、前記穴の直径が、ほぼ10な
いし50nmのオーダにあり、且つ前記マトリクスの容
積のほぼ50%からほぼ68%までを占める。
【0051】好ましくは、前記マトリクスが、Ti
、SiO及びZrOからなるグループから得ら
れる金属酸化物から形成される。
【0052】更に、本発明は、前記金属酸化物マトリク
スの形成方法にして、所定の寸法を有するポリマー球の
量を選択するステップと、所定の寸法を有する金属酸化
物の粒子の量を選択するステップと、酸化チタンの粒子
とポリマー球を混合するステップと、型の中に混合物を
配置するステップと、ポリマー球を燃焼除去し且つ金属
酸化物を溶融するために、型内の混合物に十分な熱を供
給し、それにより一般に球形の穴のマトリクスを形成す
るステップと、マトリクスの穴内に液晶を導入するステ
ップと、を含むことを特徴とする方法を提供する。
【0053】好ましくは、前記液晶が、真空によってマ
トリクス内に導入される。
【0054】好ましくは、前記金属酸化物が、Ti
、SiO及びZrOからなるグループから得ら
れる。
【0055】好ましくは、前記液晶が液滴の形をしてお
り、前記液滴が、前記フィルタを通過すべき光波長より
も小さい。
【0056】好ましくは、前記空洞にわたって電界を供
給する手段を設ける他のステップを含む。
【0057】好ましくは、前記フィルタを通過する前記
光波長が、前記液晶空洞にわたって供給される電界を変
化することによって同調可能である。
【0058】更に、本発明は、フィルタが、間隔を置い
た一般に平行な少なくとも部分的に反射性の表面によっ
て定義される空洞から形成されており、金属酸化物マト
リクスが、液晶材料によって内部を満たされた穴の不規
則な配列を有する、ここを通して光周波数を選択的に通
過させるために同調可能なファブリペローフィルタを利
用する方法において、同調可能なフィルタに光信号を注
入し、更に前記空洞の共振周波数に同調するために、フ
ィルタにわたって制御可能な電界を供給し、それにより
選ばれた周波数を有する光信号を通過させることを含む
ことを特徴とする、ここを通して光周波数を選択的に通
過させるために同調可能なファブリペローフィルタを利
用する方法を提供する。
【0059】好ましくは、前記液晶空洞の前記共振周波
数が、フィルタにわたって供給される電界に応答して、
ここにおける前記液晶の屈折率を変化させることによっ
て変化する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明により製造された光フィルタを示す略図
である。
【図2】本発明による液晶分散のための金属酸化物マト
リクスの一部を全体的に拡大して示す概略図である。
【図3】図1の光フィルタのための液晶構造を製造する
際の第1のステップを示す概略図である。
【図4】図1の光フィルタのための液晶構造を製造する
際の第2のステップを示す概略図である。
【図5】図1の光フィルタのための液晶構造を製造する
際の第3のステップを示す概略図である。
【符号の説明】
10 光フィルタ 12 マトリクス 14 表面 16 表面 18 電極 20 電極 26 制御システム 32 光信号源 38 受信機
フロントページの続き (72)発明者 チャールズ・ディー・ホーク アメリカ合衆国カリフォルニア州メンロ・ パーク オコナー・ストリート341 Fターム(参考) 2H048 GA05 GA13 GA21 GA48 GA57 GA62 2H079 AA02 AA12 CA07 DA07 DA08 EA12 EB17 2H088 EA31 EA46 EA49 EA63 EA64 GA10 HA02 HA30 JA03 KA01 MA20

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光学空洞を定義する少なくとも部分的に反
    射性の1対の対向する表面、及び前記空洞内に配置され
    た液晶によるナノ分散を含むことを特徴とする、同調可
    能なファブリペローフィルタ。
  2. 【請求項2】前記液晶が、金属酸化物マトリクス内の配
    列に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載
    のフィルタ。
  3. 【請求項3】前記液晶が、金属酸化物マトリクス内の穴
    の配列に配置されていることを特徴とする、請求項1に
    記載のフィルタ。
  4. 【請求項4】前記液晶が、金属酸化物マトリクス内の穴
    の配列に配置されており、金属酸化物が、TiO、S
    iO及びZrOからなるグループから得られること
    を特徴とする、請求項1に記載のフィルタ。
  5. 【請求項5】前記金属酸化物マトリクスが、TiO
    あることを特徴とする、請求項3に記載のフィルタ。
  6. 【請求項6】前記液晶が、金属酸化物マトリクス内にお
    ける一般に球形の穴の不規則な配列にして配置されてい
    ることを特徴とする、請求項1に記載のフィルタ。
  7. 【請求項7】前記穴の直径が、ほぼ10ないし50nm
    のオーダにあることを特徴とする、請求項6に記載のフ
    ィルタ。
  8. 【請求項8】前記穴が、前記マトリクスの容積の少なく
    とも50%を占めていることを特徴とする、請求項6に
    記載のフィルタ。
  9. 【請求項9】前記穴が、前記マトリクスの容積のほぼ6
    8%より多くは形成していないことを特徴とする、請求
    項6に記載のフィルタ。
  10. 【請求項10】前記穴が、前記マトリクスの容積のほぼ
    50%からほぼ60乃至80%までを形成していること
    を特徴とする、請求項6に記載のフィルタ。
  11. 【請求項11】前記液晶が液滴の形をしており、前記液
    滴が、前記フィルタを通過すべき光波長よりも小さいこ
    とを特徴とする、請求項1に記載のフィルタ。
  12. 【請求項12】更に前記液晶に電界を供給する手段を含
    むことを特徴とする、請求項1に記載のフィルタ。
  13. 【請求項13】前記フィルタを通過する前記光波長が、
    前記光学空洞にわたって供給される電界を変化すること
    によって同調可能であることを特徴とする、請求項12
    に記載のフィルタ。
  14. 【請求項14】空洞を定義する少なくとも部分的に反射
    性の一般に平行な1対の対向する表面、及び前記空洞内
    における金属酸化物マトリクス内の配列に配置された液
    晶のナノ分散を含むことを特徴とする、同調可能なファ
    ブリペローフィルタ。
  15. 【請求項15】前記液晶が、前記金属酸化物マトリクス
    内における実質的に球形の穴の配列に配置されているこ
    とを特徴とする、請求項14に記載のフィルタ。
  16. 【請求項16】前記穴の直径が、ほぼ10ないし50n
    mのオーダにあり、且つ前記マトリクスの容積のほぼ5
    0%からほぼ60乃至80%までを形成していることを
    特徴とする、請求項14に記載のフィルタ。
  17. 【請求項17】前記金属酸化物マトリクスが、Ti
    、SiO及びZrOからなるグループから得ら
    れる金属酸化物から形成されることを特徴とする、請求
    項15に記載のフィルタ。
  18. 【請求項18】前記液晶が液滴の形をしており、前記液
    滴が、前記フィルタを通過すべき光波長よりも小さいこ
    とを特徴とする、請求項14に記載のフィルタ。
  19. 【請求項19】更に前記液晶に電界を供給する手段を含
    むことを特徴とする、請求項15に記載のフィルタ。
  20. 【請求項20】前記フィルタを通過する前記光波長が、
    前記液晶を含む前記空洞にわたって供給される電界を変
    化することによって同調可能であることを特徴とする、
    請求項19に記載のフィルタ。
  21. 【請求項21】一般に平行な少なくとも部分的に反射性
    の1対の対向する表面を設けるステップ。その間に空洞
    を定義するために前記少なくとも部分的に反射性の表面
    を配置するステップ、及び前記空洞内における金属酸化
    物マトリクス内の不規則な配列に配置された液晶のナノ
    分散を配置するステップを含むことを特徴とする、同調
    可能なファブリペローフィルタの製造方法。
  22. 【請求項22】前記液晶が、金属酸化物マトリクス内に
    おける実質的に球形の穴の配列に配置されていることを
    特徴とする、請求項21に記載の方法。
  23. 【請求項23】前記穴の直径が、ほぼ10ないし50n
    mのオーダにあり、且つ前記マトリクスの容積のほぼ5
    0%からほぼ68%までを形成していることを特徴とす
    る、請求項22に記載の方法。
  24. 【請求項24】前記マトリクスが、TiO、SiO
    及びZrOからなるグループから得られる金属酸化物
    から形成されることを特徴とする、請求項21に記載の
    方法。
  25. 【請求項25】前記金属酸化物マトリクスの形成方法に
    して、 所定の寸法を有するポリマー球の量を選択するステップ
    と、 所定の寸法を有する金属酸化物の粒子の量を選択するス
    テップと、 酸化チタンの粒子とポリマー球を混合するステップと、 型の中に混合物を配置するステップと、 ポリマー球を燃焼除去し且つ金属酸化物を溶融するため
    に、型内の混合物に十分な熱を供給し、それにより一般
    に球形の穴のマトリクスを形成するステップと、更にマ
    トリクスの穴内に液晶を導入するステップとを含むこと
    を特徴とする、請求項21に記載の方法。
  26. 【請求項26】前記液晶が、真空によってマトリクス内
    に導入されることを特徴とする、請求項25に記載の方
    法。
  27. 【請求項27】前記金属酸化物が、TiO、SiO
    及びZrOからなるグループから得られることを特徴
    とする、請求項25に記載の方法。
  28. 【請求項28】前記液晶が液滴の形をしており、前記液
    滴が、前記フィルタを通過すべき光波長よりも小さいこ
    とを特徴とする、請求項21に記載の方法。
  29. 【請求項29】前記空洞にわたって電界を供給する手段
    を設ける他のステップを含むことを特徴とする、請求項
    21に記載の方法。
  30. 【請求項30】前記フィルタを通過する前記光波長が、
    前記液晶空洞にわたって供給される電界を変化すること
    によって同調可能であることを特徴とする、請求項29
    に記載の方法。
  31. 【請求項31】フィルタが、間隔を置いた一般に平行な
    少なくとも部分的に反射性の表面によって定義される空
    洞から形成されており、金属酸化物マトリクスが、液晶
    材料によって内部を満たされた穴の不規則な配列を有す
    る、ここを通して光周波数を選択的に通過させるために
    同調可能なファブリペローフィルタを利用する方法にお
    いて、 同調可能なフィルタに光信号を注入し、且つ前記空洞の
    共振周波数に同調するために、フィルタにわたって制御
    可能な電界を供給し、それにより選ばれた周波数を有す
    る光信号を通過させることを含むことを特徴とする、こ
    こを通して光周波数を選択的に通過させるために同調可
    能なファブリペローフィルタを利用する方法。
  32. 【請求項32】前記液晶空洞の前記共振周波数が、フィ
    ルタにわたって供給される電界に応答して、ここにおけ
    る前記液晶の屈折率を変化させることによって変化する
    ことを特徴とする、請求項31に記載の方法。
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