JP2003130628A - Method for detecting absolute velocity/absolute displacement and sensor for absolute velocity/absolute displacement using the same - Google Patents

Method for detecting absolute velocity/absolute displacement and sensor for absolute velocity/absolute displacement using the same

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JP2003130628A
JP2003130628A JP2001325171A JP2001325171A JP2003130628A JP 2003130628 A JP2003130628 A JP 2003130628A JP 2001325171 A JP2001325171 A JP 2001325171A JP 2001325171 A JP2001325171 A JP 2001325171A JP 2003130628 A JP2003130628 A JP 2003130628A
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一登 背戸
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of lowering the natural frequency without causing the structural defect, widening the width of detectable amplitude, and excellently detecting the absolute velocity/absolute displacement even in a structure having a low natural frequency and even if the amplitude of the vibration is large, and to provide a sensor for absolute velocity/absolute displacement. SOLUTION: The sensor for absolute velocity/absolute displacement is composed of a sensor housing 2, a mass body 5 with a mass m which is supported by the sensor housing 2 using a spring with the spring constant k and a damper with the damping coefficient c, a detecting means 6 which electrically detects a relative displacement u-x of the sensor housing 2 in relation to the mass body 5, and a feedback control means 7 which positively feeds back the detected relative displacement u-x, negatively feeds back the relative acceleration obtained by secondly differentiating the detected relative displacement u-x respectively and controls the displacement of the mass body 5 caused by the absolute displacement u of the sensor housing.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、工場、事業場、建
設作業場で使われる金属加工機械、圧縮機に起因する振
動、また地震、自動車走行に起因する地盤、路面振動等
において、その振動体(被検出体)の絶対速度・絶対変
位を検出する方法及びその方法を用いた絶対速度・絶対
変位センサに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating body for vibrations caused by metal working machines and compressors used in factories, business establishments, and construction worksites, as well as ground, road surface vibrations, etc. caused by earthquakes, automobiles, etc. The present invention relates to a method for detecting absolute velocity / absolute displacement of a (detection object) and an absolute velocity / absolute displacement sensor using the method.

【0002】[0002]

【発明が解決しようとする課題】近年、工場、事業場、
建設作業場で使われる金属加工機械、圧縮機に起因する
振動、また地震、自動車走行に起因する地盤、路面振動
等により事務所、事業ビル、集合住宅、一般住宅等の構
造物において振動問題が生じている。斯かる一般住宅等
の防振対策としては、アクティブ制御を用いたアクティ
ブ動吸振器を用いることが考えられるが、理想的なアク
ティブ制御では振動を受けた場合の制御対象物、即ち振
動体(被検出体)としての構造物の絶対変位及び絶対速
度のうちの少なくとも一方を検出することが必要にな
り、その検出には、直接制御対象物に取付けるサイズモ
系型変位センサ(以下、変位センサと言う)が適してい
る。
[Problems to be Solved by the Invention] Recently, factories, business establishments,
Vibration problems occur in structures such as offices, business buildings, condominiums, and general housing due to vibrations caused by metalworking machines and compressors used in construction workshops, as well as ground and road surface vibrations caused by earthquakes and automobiles. ing. An active dynamic vibration absorber using active control may be used as a vibration isolation measure for such a general house. However, in ideal active control, an object to be controlled, that is, a vibrating body (object It is necessary to detect at least one of the absolute displacement and the absolute velocity of the structure as a detection body, and for that detection, a size sensor type displacement sensor (hereinafter referred to as a displacement sensor) directly attached to the controlled object. ) Is suitable.

【0003】しかし、土地の有効利用や建築技術の向上
に伴って2階建から3階建の一般住宅等が増えてきてい
る結果、斯かる構造物の固有振動数が低下してきてい
る。変位センサの検出可能範囲はそれ自身の固有振動数
以上であるため、変位センサ自身の固有振動数以下の固
有振動数をもった構造物の絶対変位・絶対速度の検出は
困難となる。変位センサの固有振動数を下げるには、変
位センサ内の質量体の質量を大きくし、質量体を低い剛
性をもって支持すればよいが、斯かる手段では変位セン
サの大型化を招来すると共に構造的に脆弱になる虞があ
る。また、検出可能振幅が小さい変位センサでは、その
用途が限られてしまいあまり利便性がない。
However, as a result of the increase in the number of 2-story to 3-story general houses and the like due to the effective use of land and the improvement of construction technology, the natural frequency of such structures has been decreasing. Since the detectable range of the displacement sensor is equal to or higher than its own natural frequency, it is difficult to detect the absolute displacement / velocity of a structure having a natural frequency equal to or lower than the natural frequency of the displacement sensor itself. In order to reduce the natural frequency of the displacement sensor, the mass of the mass body in the displacement sensor may be increased and the mass body may be supported with low rigidity. However, such means causes the displacement sensor to become large and structurally May be vulnerable to. Further, a displacement sensor having a small detectable amplitude is not very convenient because its use is limited.

【0004】本発明は、前記諸点に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするところは、質量体の持つ状態
量(変位・速度・加速度)をフィードバックすることに
より、構造的な欠陥を生じさせることなく固有振動数を
下げることができ、しかも、検出可能振幅を広げること
ができ、而して、固有振動数が高い構造物及び小さい振
幅で振動する場合は勿論のこと、固有振動数が低い構造
物でも、また大きな振幅をもって振動する場合でも、そ
の絶対速度・絶対変位を良好に検出することができる方
法及びその方法を用いた絶対速度・絶対変位センサを提
供することにある。
The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to feed back a state quantity (displacement, velocity, acceleration) of a mass body to thereby eliminate structural defects. The natural frequency can be lowered without causing it, and the detectable amplitude can be widened. Therefore, not only when the structure has a high natural frequency and the structure vibrates at a small amplitude, the natural frequency It is an object of the present invention to provide a method capable of excellently detecting the absolute velocity / absolute displacement of a structure having a low vibration, even when vibrating with a large amplitude, and an absolute velocity / absolute displacement sensor using the method.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の第一の態様の絶
対速度・絶対変位検出方法は、所与のばね係数及び減数
係数をもって被検出体に支持された質量体に対する当該
被検出体の相対変位を検出する段階と、この検出した相
対変位をポジティブに、検出した相対変位を二次微分す
ることにより得られる相対加速度をネガティブに夫々フ
ィードバックさせて、被検出体の絶対変位に起因する質
量体の変位を制御する段階と、検出した相対変位から被
検出体の絶対速度及び絶対変位のうちの少なくとも一方
を得る段階とを具備している。
The absolute velocity / absolute displacement detection method according to the first aspect of the present invention provides a method for detecting an object to be detected with respect to a mass body supported by the object with a given spring coefficient and reduction coefficient. The step of detecting the relative displacement, the detected relative displacement is positively fed, and the relative acceleration obtained by second-order differentiating the detected relative displacement is fed back negatively, respectively, and the mass caused by the absolute displacement of the detected object is detected. The method comprises the steps of controlling the displacement of the body and the step of obtaining at least one of the absolute velocity and the absolute displacement of the detected object from the detected relative displacement.

【0006】また本発明の第二の態様の絶対速度・絶対
変位検出方法は、所与のばね係数及び減数係数をもって
被検出体に支持された質量体に対する当該被検出体の相
対変位を検出する段階と、この検出した相対変位を二次
微分することにより得られる相対加速度をネガティブに
フィードバックさせて、被検出体の絶対変位に起因する
質量体の変位を制御する段階と、検出した相対変位から
被検出体の絶対速度及び絶対変位のうちの少なくとも一
方を得る段階とを具備している。
The absolute velocity / absolute displacement detection method according to the second aspect of the present invention detects the relative displacement of the object to be detected with respect to the mass body supported by the object with a given spring coefficient and reduction coefficient. From the step and the detected relative displacement, the step of controlling the displacement of the mass body caused by the absolute displacement of the object to be detected by negatively feeding back the relative acceleration obtained by differentiating the detected relative displacement from the second order. And at least one of an absolute velocity and an absolute displacement of the object to be detected.

【0007】更に本発明の第一又は第二の態様の絶対速
度・絶対変位検出方法では、その第三の態様のように、
検出した相対変位を一次微分することにより得られる相
対速度をネガティブ又はポジティブにフィードバックさ
せて質量体を変位させる段階を更に具備していてもよ
い。
Further, in the absolute velocity / absolute displacement detection method according to the first or second aspect of the present invention, as in the third aspect,
The method may further include a step of negatively or positively feeding back the relative velocity obtained by first-order differentiating the detected relative displacement to displace the mass body.

【0008】なお、上記のいずれかの態様の本発明方法
において、相対加速度をネガティブにフィードバックさ
せる際に位相補償を行う段階を具備していてもよい。
The method of the present invention according to any one of the above aspects may include a step of performing phase compensation when negatively feeding back the relative acceleration.

【0009】本発明の第一の態様の絶対速度・絶対変位
センサは、所与のばね係数及び減数係数をもって被検出
体に支持された質量体と、この質量体に対する被検出体
の相対変位を検出する検出手段と、この検出した相対変
位をポジティブに、検出した相対変位を二次微分するこ
とにより得られる相対加速度をネガティブに夫々フィー
ドバックさせて、被検出体の絶対変位に起因する質量体
の変位を制御するフィードバック制御手段とを具備して
おり、ここで、検出手段より検出した相対変位から被検
出体の絶対速度及び絶対変位のうちの少なくとも一方を
出力するように構成されている。
The absolute velocity / absolute displacement sensor according to the first aspect of the present invention indicates the mass supported by the object to be detected with a given spring coefficient and reduction coefficient, and the relative displacement of the object to the mass. Detecting means to detect, positive relative to this detected relative displacement, negatively fed back relative acceleration obtained by second-order differentiating the detected relative displacement, respectively, of the mass caused by the absolute displacement of the detected object Feedback control means for controlling the displacement is provided, and the feedback control means is configured to output at least one of the absolute velocity and the absolute displacement of the object to be detected from the relative displacement detected by the detection means.

【0010】また本発明の第二の態様の絶対速度・絶対
変位センサは、所与のばね係数及び減数係数をもって被
検出体に支持された質量体と、この質量体に対する被検
出体の相対変位を検出する検出手段と、この検出した相
対変位を二次微分することにより得られる相対加速度を
ネガティブにフィードバックさせて、被検出体の絶対変
位に起因する質量体の変位を制御するフィードバック制
御手段とを具備しており、ここで、検出手段より検出し
た相対変位から被検出体の絶対速度及び絶対変位のうち
の少なくとも一方を出力するように構成されている。
The absolute velocity / absolute displacement sensor according to the second aspect of the present invention is a mass body supported by a body to be detected with a given spring coefficient and reduction coefficient, and a relative displacement of the body to be detected with respect to the mass body. And a feedback control means for controlling the displacement of the mass body caused by the absolute displacement of the detected object by negatively feeding back the relative acceleration obtained by second-order differentiating the detected relative displacement, and It is configured to output at least one of the absolute velocity and the absolute displacement of the detected object from the relative displacement detected by the detection means.

【0011】更に本発明の第一又は第二の態様の絶対速
度・絶対変位センサでは、その第三の態様のように、フ
ィードバック手段は、更に、検出した相対変位を一次微
分することにより得られる相対速度をネガティブ又はポ
ジティブにフィードバックさせて質量体を変位させるよ
うになっていてもよい。
Further, in the absolute velocity / absolute displacement sensor of the first or second aspect of the present invention, as in the third aspect thereof, the feedback means is further obtained by first-order differentiating the detected relative displacement. The mass velocity may be displaced by feeding back the relative velocity negatively or positively.

【0012】なお、上記のいずれかの態様の本発明絶対
速度・絶対変位センサにおいて、本発明の他の態様で
は、相対加速度をネガティブにフィードバックさせる際
に位相補償を行う位相補償手段を具備していてもよい。
In the absolute velocity / absolute displacement sensor of the present invention according to any one of the above aspects, another aspect of the present invention is provided with phase compensating means for performing phase compensation when negatively feeding back relative acceleration. May be.

【0013】また、上記いずれかの態様の絶対速度・絶
対変位センサにおいて、フィードバック制御手段は、フ
ィードバックにより被検出体に対して質量体を変位させ
るアクチュエータを具備している。
In the absolute velocity / absolute displacement sensor of any one of the above aspects, the feedback control means includes an actuator for displacing the mass body with respect to the detected body by feedback.

【0014】質量体に駆動力を付与するアクチュエータ
としては、電磁アクチュエータを好ましい例として挙げ
ることができるが、その他のアクチュエータであっても
よい。
An electromagnetic actuator can be mentioned as a preferable example of the actuator for applying the driving force to the mass body, but other actuators may be used.

【0015】本発明は、変位センサ自体の固有振動数よ
り高い周波数でなければ絶対速度・絶対変位の検出が困
難であり、変位センサの有する固有振動数を下げること
ができれば、検出範囲を広げて低い周波数でも検出可能
になるが、単に、質量体の質量を大きくして、質量体を
支えるばねのばね係数を小さくして固有振動数を下げて
も、変位センサの大型化を招来すると共に構造的に脆弱
になる虞があることに鑑みて、サーボ技術を用いて質量
体の状態量をフィードバックさせることによって、固有
振動数を下げるようにしたものである。即ち、検出した
質量体の相対変位を微分して相対速度に変換して、更に
この相対速度を微分して相対加速度に変換し、そして、
これらを必要に応じて増幅、加減算して、而してポジテ
ィブ又はネガティブにフィードバックさせて質量体を変
位させるようにしたものである。
According to the present invention, it is difficult to detect absolute velocity and absolute displacement unless the frequency is higher than the natural frequency of the displacement sensor itself. If the natural frequency of the displacement sensor can be lowered, the detection range can be widened. Although it is possible to detect even at low frequencies, even if the mass of the mass body is increased and the spring coefficient of the spring supporting the mass body is reduced to lower the natural frequency, the displacement sensor becomes larger and the structure is increased. In view of the possibility of becoming fragile, the natural frequency is lowered by feeding back the state quantity of the mass body by using a servo technique. That is, the detected relative displacement of the mass body is differentiated and converted into a relative velocity, and this relative velocity is further differentiated into a relative acceleration, and
These are amplified and added / subtracted as needed, and are positively or negatively fed back to displace the mass body.

【0016】本発明における上記第一の態様の方法及び
センサでは、検出した相対変位をポジティブに、検出し
た相対変位を二次微分することにより得られる相対加速
度をネガティブに夫々フィードバックさせて、被検出体
の絶対変位に起因する質量体の変位を制御するために、
後述するように固有振動数を下げることができ、而し
て、固有振動数が高い構造物は勿論のこと、固有振動数
が低い構造物でもその絶対速度・絶対変位を良好に検出
することができる。
In the method and sensor of the first aspect of the present invention, the detected relative displacement is fed back positively, and the relative acceleration obtained by second-order differentiating the detected relative displacement is fed back negatively, respectively, to detect the detected object. In order to control the displacement of the mass due to the absolute displacement of the body,
As will be described later, the natural frequency can be lowered, so that not only a structure with a high natural frequency but also a structure with a low natural frequency can detect its absolute velocity and absolute displacement well. it can.

【0017】また本発明における上記第二の態様の方法
及びセンサでは、検出した相対変位を二次微分すること
により得られる相対加速度をネガティブにフィードバッ
クさせて、被検出体の絶対変位に起因する質量体の変位
を制御するために、後述するように検出可能振幅を広げ
ることができ、而して、小さい振幅で振動する場合は勿
論のこと、大きな振幅をもって振動する場合でも、その
絶対速度・絶対変位を良好に検出することができる。
In the method and sensor according to the second aspect of the present invention, the relative acceleration obtained by second-order differentiating the detected relative displacement is negatively fed back, and the mass caused by the absolute displacement of the object to be detected is fed back. In order to control the displacement of the body, the detectable amplitude can be widened as will be described later. Therefore, not only when vibrating with a small amplitude but also when vibrating with a large amplitude, the absolute velocity / absolute The displacement can be detected well.

【0018】以下、本発明及びその実施の形態を、図面
に示す好ましい例に基づいて説明する。なお、本発明は
これらの例に何等限定されないのである。
The present invention and its embodiments will be described below based on the preferred examples shown in the drawings. The present invention is not limited to these examples.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】図1において、本例の絶対速度・
絶対変位センサ1は、被検出体としてのセンサハウジン
グ2と、センサハウジング2にばね3のばね係数k(N
/s)及び減衰器4の減数係数c(Ns/m)をもって
支持された質量m(kg)を有した質量体5と、質量体
5に対するセンサハウジング2の相対変位u−x(m)
(ここで、xは、センサハウジング2の絶対変位uに起
因する質量体5の絶対変位である)を電気的に検出する
検出手段6と、検出した相対変位u−xをポジティブ
に、検出した相対変位u−xを一次微分することにより
得られる相対速度vを本例ではネガティブに、検出した
相対変位u−xを二次微分することにより得られる相対
加速度aをネガティブに夫々フィードバックさせて、セ
ンサハウジング2の絶対変位u(m)に起因する質量体
5の変位を制御するフィードバック制御手段7とを具備
している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Referring to FIG.
The absolute displacement sensor 1 includes a sensor housing 2 as an object to be detected, and a spring coefficient k (N
/ S) and the mass 5 having a mass m (kg) supported with the reduction coefficient c (Ns / m) of the attenuator 4, and the relative displacement u-x (m) of the sensor housing 2 with respect to the mass 5.
(Where x is the absolute displacement of the mass body 5 caused by the absolute displacement u of the sensor housing 2) and the detected relative displacement u-x are positively detected. In this example, the relative velocity v obtained by first-order differentiating the relative displacement u-x is fed back negatively, and the relative acceleration a obtained by second-order differentiating the detected relative displacement u-x is fed back negatively. Feedback control means 7 for controlling the displacement of the mass body 5 caused by the absolute displacement u (m) of the sensor housing 2 is provided.

【0020】検出手段6は、相対変位u−xを相対変位
増幅ゲイン(相対変位−電圧変換係数)Ka(V/m)
でもって変位信号eD(V)(=Ka・(u−x))の
電気信号を出力するようになっている。
The detection means 6 calculates the relative displacement u-x as a relative displacement amplification gain (relative displacement-voltage conversion coefficient) Ka (V / m).
Therefore, an electric signal of the displacement signal eD (V) (= Ka · (u−x)) is output.

【0021】フィードバック制御手段7は、変位信号e
Dを微分して速度信号eV(V)を出力する微分回路1
5と、速度信号eVを微分して加速度信号eA(V)を
出力する微分回路16と、変位信号eDを変位フィード
バックゲインKD(A/V)をもって電流信号iD
(A)に変換する変換器17と、速度信号eVを速度フ
ィードバックゲイン−KV(A/V)をもって電流信号
−iVに変換する変換器18と、加速度信号eAを加速
度フィードバックゲイン−KA(A/V)をもって電流
信号−iAに変換する変換器19と、変換器17、18
及び19からの電流信号iD、−iV及び−iAの加算
電流をコイル駆動電流ic(A)として作動する電磁ア
クチュエータ20とを具備している。
The feedback control means 7 has a displacement signal e.
Differentiating circuit 1 that differentiates D and outputs a speed signal eV (V)
5, a differentiation circuit 16 that differentiates the speed signal eV and outputs an acceleration signal eA (V), and a displacement signal eD with a displacement feedback gain KD (A / V) as a current signal iD.
(A), a converter 17 for converting the speed signal eV into a current signal -iV with a speed feedback gain -KV (A / V), and an acceleration signal eA for an acceleration feedback gain -KA (A / V). V) to a current signal-iA and a converter 19 and converters 17 and 18
And an electromagnetic actuator 20 that operates with the added current of the current signals iD, −iV, and −iA from the coil signals 19 as the coil drive current ic (A).

【0022】微分回路15及び16の夫々は、静電容量
Cf(F)をもったコンデンサ25と、抵抗値Rf
(Ω)をもった抵抗26とからなる。
Each of the differentiating circuits 15 and 16 has a capacitor 25 having a capacitance Cf (F) and a resistance value Rf.
And a resistor 26 having (Ω).

【0023】アクチュエータとしての電磁アクチュエー
タ20は、入力されるコイル駆動電流ic(=iD−i
V−iA=KD・eD−KV・eV−KA・eA)に対
して力変換係数(電流−力変換係数)Kf(N/A)を
もってコイル駆動力fc(N)(=Kf・ic)を発生
して、このコイル駆動力fcを質量体5に付与してセン
サハウジング2に対して質量体5を変位させるようにな
っている。
The electromagnetic actuator 20 as an actuator is supplied with a coil drive current ic (= iD-i).
V-iA = KD · eD−KV · eV−KA · eA), and the coil driving force fc (N) (= Kf · ic) with the force conversion coefficient (current-force conversion coefficient) Kf (N / A). The coil driving force fc is generated and applied to the mass body 5 to displace the mass body 5 with respect to the sensor housing 2.

【0024】以上の絶対速度・絶対変位センサ1におい
て、被検出体としてのセンサハウジング2に絶対変位u
が生じた場合の運動方程式は式1で表される。
In the above absolute velocity / absolute displacement sensor 1, the absolute displacement u is applied to the sensor housing 2 as the object to be detected.
The equation of motion when is generated is expressed by Equation 1.

【0025】[0025]

【式1】 [Formula 1]

【0026】Masonの公式を用いると共に微分回路
15及び16の伝達関数G(s)(=(T・s)/(T
・s+1)、但し、s:複素演算子、T=Cf・Rf)
をsが小さい範囲ではT・s≪1となるためにT・sと
して、式1の運動方程式に基づいてセンサハウジング2
の絶対変位uと変位信号eDとの間の伝達関数eD/u
を求めると式2のようになる。
The transfer function G (s) (= (T · s) / (T
.S + 1), where s: complex operator, T = Cf.Rf)
Since T · s << 1 in the range where s is small, the sensor housing 2 based on the equation of motion of Eq.
Transfer function eD / u between the absolute displacement u and the displacement signal eD of
When it asks, it becomes like a formula 2.

【0027】[0027]

【式2】eD/u=(m・Ka・s)/{(m+K
a・Kf・T・KA)・s+(c+Ka・Kf・T
・KV)・s+(k−Ka・Kf・KD)}
[Equation 2] eD / u = (m · Ka · s 2 ) / {(m + K
a ・ Kf ・ T 2・ KA) ・ s 2 + (c + Ka ・ Kf ・ T
・ KV) ・ s + (k-Ka ・ Kf ・ KD)}

【0028】式2より、伝達関数eD/uの固有振動数
ωn及び減衰比ζを求めると式3及び式4のようにな
る。
From equation 2, equations 3 and 4 are obtained when the natural frequency ωn and the damping ratio ζ of the transfer function eD / u are obtained.

【0029】[0029]

【式3】ωn={(k−Ka・Kf・KD)/(m+K
a・Kf・T・KA)}1/2
[Formula 3] ωn = {(k-Ka · Kf · KD) / (m + K
a · Kf · T 2 · KA)} 1/2

【0030】[0030]

【式4】ζ=(c+Ka・Kf・T・KV)/{(m+
Ka・Kf・T・KA)・(k−Ka・Kf・K
D)}1/2
[Formula 4] ζ = (c + Ka · Kf · T · KV) / {(m +
Ka ・ Kf ・ T 2・ KA) ・ (k-Ka ・ Kf ・ K
D)} 1/2

【0031】固有振動数ωn及び減衰比ζをもった伝達
関数eD/uと周波数ω(=2πf)との関係は図2の
ようになる。
The relationship between the transfer function eD / u having the natural frequency ωn and the damping ratio ζ and the frequency ω (= 2πf) is as shown in FIG.

【0032】また、絶対変位uと検出される相対変位u
−xとの間の伝達関数(u−x)/uを求めると式5の
ようになる。
The relative displacement u detected as the absolute displacement u
When the transfer function (u−x) / u between −x and −x is obtained, equation 5 is obtained.

【0033】[0033]

【式5】(u−x)/u=m・s/{(m+Ka・K
f・T・KA)・s+(c+Ka・Kf・T・K
V)・s+(k−Ka・Kf・KD)}
[Formula 5] (u−x) / u = m · s 2 / {(m + Ka · K
f ・ T 2・ KA) ・ s 2 + (c + Ka ・ Kf ・ T ・ K
V) · s + (k−Ka · Kf · KD)}

【0034】絶対速度・絶対変位センサ1による絶対変
位uの検出範囲は、固有振動数ωn以上であって、伝達
関数(u−x)/uの大きさ(ゲイン)が一定となる領
域である。したがって、式5において固有振動数ωn以
上で影響を受ける項は、分子、分母ともにsの項とな
るので、固有振動数ωn以上での伝達関数(u−x)/
uは、式6のようになる。
The detection range of the absolute displacement u by the absolute velocity / absolute displacement sensor 1 is a region where the natural frequency ωn or more and the magnitude (gain) of the transfer function (u−x) / u is constant. . Therefore, since the term affected by the natural frequency ωn or higher in Equation 5 is the term of s 2 in both the numerator and the denominator, the transfer function (u−x) /
u becomes like Formula 6.

【0035】[0035]

【式6】 (u−x)/u=m/(m+Ka・Kf・T・KA)[Formula 6] (u−x) / u = m / (m + Ka · Kf · T 2 · KA)

【0036】したがって、検出される相対変位u−xは
式7のようになる。
Therefore, the detected relative displacement u−x is as shown in equation 7.

【0037】[0037]

【式7】 u−x=m・u/(m+Ka・Kf・T・KA)[Formula 7] u−x = m · u / (m + Ka · Kf · T 2 · KA)

【0038】ここで、絶対速度・絶対変位センサ1内の
構造上等の要求により当該絶対速度・絶対変位センサ1
により検出できる検出可能振幅(検出可能最大振幅)H
(=Max・(u−x))と、絶対速度・絶対変位セン
サ1により検出できるセンサハウジング2の検出可能振
幅(検出可能最大振幅)U(=Max・u)との関係は
式8となる。
Here, the absolute speed / absolute displacement sensor 1 is requested in accordance with structural requirements in the absolute speed / absolute displacement sensor 1.
Detectable amplitude (maximum detectable amplitude) H
The relation between (= Max · (u−x)) and the detectable amplitude (maximum detectable amplitude) U (= Max · u) of the sensor housing 2 that can be detected by the absolute velocity / absolute displacement sensor 1 is expressed by Equation 8. .

【0039】[0039]

【式8】H=m・U/(m+Ka・Kf・T・KA)[Formula 8] H = m · U / (m + Ka · Kf · T 2 · KA)

【0040】以上の絶対速度・絶対変位センサ1の解析
より明らかであるように、式3において、相対変位フィ
ードバックゲインKDを変えることによって、分子項の
(k−Ka・Kf・KD)が変化し、ここで、Ka、K
fは正であるので、相対変位(u−x)のポジティブな
フィードバックにより、(k−Ka・Kf・KD)は小
さくなっている(なお、相対変位(u−x)のネガティ
ブなフィードバックでは式3の分子項は(k+Ka・K
f・KD)となる)。また、式3において、相対加速度
フィードバックゲインKAを変えることによって、分母
項の(m+Ka・Kf・T・KA)が変化し、ここ
で、Ka、Kf、Tは正であるので、相対加速度aのネ
ガティブのフィードバックにより、(m+Ka・Kf・
・KA)は大きくなっている(なお、相対加速度a
のポジティブなフィードバックでは分母項は(m−Ka
・Kf・T・KA)となる)。したがって、絶対速度
・絶対変位センサ1では、相対変位(u−x)がポジテ
ィブに、相対加速度aがネガティブに夫々フィードバッ
クされているために、構造的な欠陥を生じさせることな
く固有振動数ωnを下げることができる。
As is clear from the above analysis of the absolute velocity / absolute displacement sensor 1, the relative term (k−Ka · Kf · KD) in the numerator term is changed by changing the relative displacement feedback gain KD in the equation (3). , Where Ka, K
Since f is positive, (k−Ka · Kf · KD) is small due to the positive feedback of the relative displacement (u−x) (note that in the negative feedback of the relative displacement (u−x), The numerator term of 3 is (k + Ka · K
f ・ KD)). Further, in Equation 3, by changing the relative acceleration feedback gain KA, the denominator (m + Ka · Kf · T 2 · KA) changes, and since Ka, Kf, and T are positive, the relative acceleration a By the negative feedback of (m + Ka ・ Kf ・
T 2 · KA) is larger (the relative acceleration a
In the positive feedback of, the denominator term is (m-Ka
・ Kf ・ T 2・ KA)). Therefore, in the absolute velocity / absolute displacement sensor 1, since the relative displacement (u−x) is fed back positively and the relative acceleration a is fed back negatively, the natural frequency ωn can be calculated without causing structural defects. Can be lowered.

【0041】また、絶対速度・絶対変位センサ1では、
式8から明らかであるように、相対加速度aがネガティ
ブにフィードバックされて、(Ka・Kf・T・K
A)が正となるようになっているために、検出可能振幅
Hが小さくても、センサハウジング2の大きな絶対変位
uを検出することができる、換言すれば絶対速度・絶対
変位センサ1の検出可能振幅Uを広げることができる。
In the absolute velocity / absolute displacement sensor 1,
As is clear from Equation 8, the relative acceleration a is negatively fed back and (Ka · Kf · T 2 · K
Since A) is positive, even if the detectable amplitude H is small, a large absolute displacement u of the sensor housing 2 can be detected. In other words, detection of the absolute velocity / absolute displacement sensor 1 is possible. The possible amplitude U can be widened.

【0042】更に、絶対速度・絶対変位センサ1では、
相対速度vのフィードバックは減衰比ζのみに影響す
る。式4において、相対速度vのフィードバックゲイン
KVを変えることによって、分子項の(c+Ka・Kf
・T・KV)が変化する。ここで、Ka、Kf、Tは正
の係数であるので、上記のように、相対速度vをネガテ
ィブにフィードバックしているために、(c+Ka・K
f・T・KV)は大きくなって、減衰比ζも大きくなっ
ている。なお、相対速度vをポジティブにフィードバッ
クすると、式4の分子項は(c−Ka・Kf・T・K
V)となり、相対速度vのポジティブなフィードバック
で減衰比ζを小さくできる。
Further, in the absolute velocity / absolute displacement sensor 1,
Feedback of the relative velocity v affects only the damping ratio ζ. In Equation 4, by changing the feedback gain KV of the relative velocity v, the numerator term (c + Ka · Kf
・ T ・ KV) changes. Here, since Ka, Kf, and T are positive coefficients, since the relative speed v is negatively fed back as described above, (c + Ka · K)
f · T · KV) is increased, and the damping ratio ζ is also increased. When the relative velocity v is positively fed back, the numerator term of Equation 4 becomes (c−Ka · Kf · T · K).
V), and the damping ratio ζ can be reduced by positive feedback of the relative speed v.

【0043】したがって、ばね係数k及び減数係数cを
もって被検出体としてのセンサハウジング2に支持され
た質量体5に対する当該センサハウジング2の相対変位
u−xを検出し、検出した相対変位u−xをポジティブ
に、検出した相対変位u−xを一次微分することにより
得られる相対速度vをネガティブに、検出した相対変位
u−xを二次微分することにより得られる相対加速度a
をネガティブに夫々フィードバックさせて、センサハウ
ジング2の絶対変位uに起因する質量体5の変位を制御
する絶対速度・絶対変位検出方法を実施する絶対速度・
絶対変位センサ1では、出力端子31、32及び33の
夫々からセンサハウジング2の検出された相対変位u−
x、相対速度v、相対加速度aを実質的な絶対変位、絶
対速度、絶対加速度として電気信号で出力させて得るこ
とができる。
Therefore, the relative displacement u-x of the sensor housing 2 with respect to the mass body 5 supported by the sensor housing 2 as the object to be detected is detected with the spring coefficient k and the reduction coefficient c, and the detected relative displacement u-x. Is positive, a relative velocity v obtained by first-order differentiating the detected relative displacement u-x is negative, and a relative acceleration a obtained by second-order differentiating the detected relative displacement u-x.
Are respectively fed back negatively to control the displacement of the mass body 5 caused by the absolute displacement u of the sensor housing 2, and the absolute velocity for executing the absolute displacement detection method.
In the absolute displacement sensor 1, the relative displacement u− of the sensor housing 2 detected from each of the output terminals 31, 32, and 33.
It is possible to obtain x, relative velocity v, and relative acceleration a by outputting them as electric signals as substantial absolute displacement, absolute velocity, and absolute acceleration.

【0044】なお、上記の例では微分回路15及び16
をコンデンサ25と抵抗26とで構成したが、本発明は
これに限定されず、例えばコンデンサ25及び抵抗26
に加えて演算増幅器を更に用いて又はコンデンサ25及
び抵抗26に代えて遅延器と差動増幅器とを用いて微分
回路15及び16を構成してもよく、また、コンデンサ
25と抵抗26とからなる微分回路15及び16の近似
の微分による高域での位相進みを補償するために、相対
加速度aをネガティブにフィードバックさせる際に位相
補償を行う位相補償手段をフィードバック制御手段7に
設けて、相対加速度aをネガティブにフィードバックさ
せる際に位相補償を行うようにしてもよい。更に、電磁
アクチュエータ20に代えてその他のアクチュエータを
用いて構成してもよいのは勿論である。
In the above example, the differentiating circuits 15 and 16
Is composed of the capacitor 25 and the resistor 26, but the present invention is not limited to this. For example, the capacitor 25 and the resistor 26
In addition to the above, an operational amplifier may be further used or a delay device and a differential amplifier may be used instead of the capacitor 25 and the resistor 26 to configure the differentiating circuits 15 and 16, and the capacitor 25 and the resistor 26 may be included. In order to compensate the phase advance in the high frequency range due to the approximation differentiation of the differentiating circuits 15 and 16, the feedback control means 7 is provided with a phase compensating means for compensating the phase when the relative acceleration a is fed back negatively, and the relative acceleration is provided. Phase compensation may be performed when a is negatively fed back. Further, it goes without saying that other actuators may be used instead of the electromagnetic actuator 20.

【0045】更に絶対速度・絶対変位センサ1では、被
検出体としてセンサハウジング2を例示したが、斯かる
センサハウジング2が例えば事務所、事業ビル、集合住
宅、一般住宅等の構造物の床、基礎等に設置される場合
には、絶対速度・絶対変位センサ1は、結局、斯かる構
造物の床、基礎等の絶対速度・絶対変位を検出すること
になるのであるが、センサハウジング2に代えて、被検
出体を構造物の床、基礎等として、この床、基礎等に質
量体5を所与のばね係数及び減数係数をもって支持して
絶対速度・絶対変位センサを構成してもよい。また、上
記の例では、出力端子31、32及び33の夫々から絶
対変位、絶対速度、絶対加速度を電気信号をもって得る
ようにしたが、これに代えて、質量体5に直接に又は機
械的てこを介してペン等を取付けて機械的信号として絶
対変位、絶対速度、絶対加速度を得るようにしても、更
には、レーザ光等の光信号をもって好ましくは光てこを
介して絶対変位、絶対速度、絶対加速度を得るようにし
てもよい。
Further, in the absolute speed / absolute displacement sensor 1, the sensor housing 2 is exemplified as the object to be detected, but the sensor housing 2 is, for example, a floor of a structure such as an office, a business building, an apartment house or a general house, When installed on a foundation or the like, the absolute velocity / absolute displacement sensor 1 will eventually detect the absolute velocity / absolute displacement of the floor, foundation, etc. of such a structure. Alternatively, the detected object may be a floor or foundation of a structure, and the mass 5 may be supported on the floor or foundation with a given spring coefficient and reduction coefficient to form an absolute velocity / absolute displacement sensor. . In the above example, the absolute displacement, the absolute velocity, and the absolute acceleration are obtained from each of the output terminals 31, 32, and 33 by an electric signal, but instead of this, directly on the mass body 5 or by a mechanical lever. Even if a pen or the like is attached to obtain an absolute displacement, an absolute velocity, or an absolute acceleration as a mechanical signal, further, an optical signal such as a laser beam is preferably used to obtain the absolute displacement, the absolute velocity, or the absolute velocity. You may make it obtain an absolute acceleration.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明によれば、質量体の持つ状態量
(変位・速度・加速度)をフィードバックすることによ
り、構造的な欠陥を生じさせることなく固有振動数を下
げることができ、しかも、検出可能振幅を広げることが
でき、而して、固有振動数が高い構造物及び小さい振幅
で振動する場合は勿論のこと、固有振動数が低い構造物
でも、また大きな振幅をもって振動する場合でも、その
絶対速度・絶対変位を良好に検出することができる方法
及びその方法を用いた絶対速度・絶対変位センサを提供
することができる。
According to the present invention, by feeding back the state quantity (displacement / speed / acceleration) of the mass body, the natural frequency can be lowered without causing structural defects. The detectable amplitude can be widened, and thus, not only when the structure has a high natural frequency and vibrates at a small amplitude, but also when the structure has a low natural frequency or a large amplitude, It is possible to provide a method capable of satisfactorily detecting the absolute velocity / absolute displacement and an absolute velocity / absolute displacement sensor using the method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態の好ましい一例の説明図で
ある。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a preferred example of an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す例の動作説明図である。FIG. 2 is an operation explanatory diagram of the example shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶対速度・絶対変位センサ 2 センサハウジング 3 ばね 4 減衰器 5 質量体 6 検出手段 7 フィードバック制御手段 1 Absolute velocity / absolute displacement sensor 2 sensor housing 3 springs 4 attenuator 5 mass 6 Detection means 7 Feedback control means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石黒 勲 東京都千代田区神田駿河台1−8 日本大 学理工学部内 Fターム(参考) 2F069 AA06 GG06    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Isao Ishiguro             1-8 Kanda Surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo Japan Univ.             Faculty of Science and Engineering F-term (reference) 2F069 AA06 GG06

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所与のばね係数及び減数係数をもって被
検出体に支持された質量体に対する当該被検出体の相対
変位を検出し、この検出した相対変位をポジティブに、
検出した相対変位を二次微分することにより得られる相
対加速度をネガティブに夫々フィードバックさせて、被
検出体の絶対変位に起因する質量体の変位を制御し、検
出した相対変位から被検出体の絶対速度及び絶対変位の
うちの少なくとも一方を得る絶対速度・絶対変位検出方
法。
1. A relative displacement of an object to be detected with respect to a mass body supported by the object to be detected with a given spring coefficient and a reduction coefficient, and the detected relative displacement is positively,
The relative acceleration obtained by deriving the second-order derivative of the detected relative displacement is fed back negatively to control the displacement of the mass caused by the absolute displacement of the detected object, and the absolute displacement of the detected object is controlled from the detected relative displacement. An absolute velocity / absolute displacement detection method for obtaining at least one of velocity and absolute displacement.
【請求項2】 所与のばね係数及び減数係数をもって被
検出体に支持された質量体に対する当該被検出体の相対
変位を検出し、この検出した相対変位を二次微分するこ
とにより得られる相対加速度をネガティブにフィードバ
ックさせて、被検出体の絶対変位に起因する質量体の変
位を制御し、検出した相対変位から被検出体の絶対速度
及び絶対変位のうちの少なくとも一方を得る絶対速度・
絶対変位検出方法。
2. A relative value obtained by detecting a relative displacement of the detected object with respect to a mass supported by the detected object with a given spring coefficient and a reduction coefficient, and deriving a second derivative of the detected relative displacement. The negative velocity of the acceleration is fed back to control the displacement of the mass caused by the absolute displacement of the detected object, and the absolute velocity and / or absolute displacement of the detected object is obtained from the detected relative displacement.
Absolute displacement detection method.
【請求項3】 検出した相対変位を一次微分することに
より得られる相対速度をネガティブ又はポジティブにフ
ィードバックさせて、被検出体の絶対変位に起因する質
量体の変位を制御する請求項1又は2に記載の絶対速度
・絶対変位検出方法。
3. The displacement of the mass body caused by the absolute displacement of the object to be detected is controlled by feeding back the relative velocity obtained by first-order differentiating the detected relative displacement to the negative or the positive. Absolute velocity / absolute displacement detection method described.
【請求項4】 相対加速度をネガティブにフィードバッ
クさせる際に位相補償を行う請求項1から3のいずれか
一項に記載の絶対速度・絶対変位検出方法。
4. The absolute velocity / absolute displacement detection method according to claim 1, wherein phase compensation is performed when the relative acceleration is negatively fed back.
【請求項5】 所与のばね係数及び減数係数をもって被
検出体に支持された質量体と、この質量体に対する被検
出体の相対変位を検出する検出手段と、この検出した相
対変位をポジティブに、検出した相対変位を二次微分す
ることにより得られる相対加速度をネガティブに夫々フ
ィードバックさせて、被検出体の絶対変位に起因する質
量体の変位を制御するフィードバック制御手段とを具備
しており、検出手段より検出した相対変位から被検出体
の絶対速度及び絶対変位のうちの少なくとも一方を出力
するようにした絶対速度・絶対変位センサ。
5. A mass body supported by an object to be detected with a given spring coefficient and a reduction coefficient, a detection means for detecting relative displacement of the object to be detected with respect to the mass object, and the detected relative displacement being positive. The feedback control means for controlling the displacement of the mass body caused by the absolute displacement of the detected object by negatively feeding back the relative acceleration obtained by second-order differentiation of the detected relative displacement, An absolute velocity / absolute displacement sensor for outputting at least one of an absolute velocity and an absolute displacement of a detected object from the relative displacement detected by the detection means.
【請求項6】 所与のばね係数及び減数係数をもって被
検出体に支持された質量体と、この質量体に対する被検
出体の相対変位を検出する検出手段と、この検出した相
対変位を二次微分することにより得られる相対加速度を
ネガティブにフィードバックさせて、被検出体の絶対変
位に起因する質量体の変位を制御するフィードバック制
御手段とを具備しており、検出手段より検出した相対変
位から被検出体の絶対速度及び絶対変位のうちの少なく
とも一方を出力するようにした絶対速度・絶対変位セン
サ。
6. A mass body supported by a body to be detected with a given spring coefficient and a reduction coefficient, detection means for detecting a relative displacement of the body to be detected with respect to the mass body, and a secondary displacement of the detected relative displacement. It is provided with feedback control means for negatively feeding back the relative acceleration obtained by differentiating to control the displacement of the mass body caused by the absolute displacement of the object to be detected. An absolute velocity / absolute displacement sensor that outputs at least one of an absolute velocity and an absolute displacement of a detection object.
【請求項7】 フィードバック制御手段は、更に、検出
した相対変位を一次微分することにより得られる相対速
度をネガティブ又はポジティブにフィードバックさせ
て、被検出体の絶対変位に起因する質量体の変位を制御
するようになっている請求項5又は6に記載の絶対速度
・絶対変位センサ。
7. The feedback control means further feeds back the relative velocity obtained by first-order differentiating the detected relative displacement to negative or positive feedback to control the displacement of the mass body caused by the absolute displacement of the detected body. The absolute velocity / absolute displacement sensor according to claim 5 or 6, wherein
【請求項8】 フィードバック制御手段は、相対加速度
をネガティブにフィードバックさせる際に位相補償を行
う位相補償手段を具備している請求項5から7のいずれ
か一項に記載の絶対速度・絶対変位センサ。
8. The absolute velocity / absolute displacement sensor according to claim 5, wherein the feedback control means includes phase compensation means for performing phase compensation when negatively feeding back the relative acceleration. .
【請求項9】 フィードバック制御手段は、フィードバ
ックにより被検出体に対して質量体を変位させるアクチ
ュエータを具備している請求項5から8のいずれか一項
に記載の絶対速度・絶対変位センサ。
9. The absolute velocity / absolute displacement sensor according to claim 5, wherein the feedback control means includes an actuator that displaces the mass body with respect to the detected body by feedback.
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