JP2003127384A - Method for manufacturing ink jet head and ink jet printer having the head - Google Patents

Method for manufacturing ink jet head and ink jet printer having the head

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JP2003127384A
JP2003127384A JP2001331113A JP2001331113A JP2003127384A JP 2003127384 A JP2003127384 A JP 2003127384A JP 2001331113 A JP2001331113 A JP 2001331113A JP 2001331113 A JP2001331113 A JP 2001331113A JP 2003127384 A JP2003127384 A JP 2003127384A
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ink jet
water
ink
jet head
repellent film
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Chihiro Sonehara
千博 曽根原
Yoichi Kubomura
陽一 久保村
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Seiko Epson Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an ink jet head of high printing quality which is excellent in ink resistance and rubbing resistance properties, and maintains water and oil repellent properties stably for a long time. SOLUTION: The degree of cleanliness of a nozzle surface of the ink jet head can be effectively enhanced by irradiating the nozzle plate 2 surface of the ink jet head with ultraviolet rays 11 having a wavelength of less than 300 nm prior to application of water and oil repellent film. Then, the adhesion force between the nozzle surface and the water and oil repellent film 12 is enhanced by depositing the water and oil repellent film 12 more than 20 nm on the nozzle plate 2 surface to provide durable printing quality.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録装置に用いられるインクジェットヘッドの製造方法及
びその製造方法により得られたヘッドを有するインクジ
ェットプリンタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an inkjet head used in an inkjet recording apparatus and an inkjet printer having the head obtained by the manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットヘッドは、水性または油
性のインクを用いるので、ノズル表面の撥水撥油性が不
十分な場合、インクが付着し易くなる。そのため、吐出
するインクの直進性が損なわれ、印字乱れなどのトラブ
ルによって文字の判読が不能となることがある。
2. Description of the Related Art Since an ink jet head uses water-based or oil-based ink, if the water-repellent and oil-repellent properties of the nozzle surface are insufficient, the ink tends to adhere. Therefore, the straightness of the ejected ink may be impaired, and the characters may be unreadable due to troubles such as print disturbance.

【0003】また、インクジェットヘッドは、例えばシ
リコン、ガラス、金属、樹脂などが構成材料として用い
られている。これらの構成材料は、インクに濡れやすい
性質を持っているので、インクの噴射するノズル表面は
撥水撥油化処理が行われており、特にガラスに適した撥
水撥油材料として、特開平3−43065号、特開平4
−505895号公報に開示されているようなフッ素含
有有機化合物が提案されていた。
The ink jet head is made of, for example, silicon, glass, metal, resin or the like as a constituent material. Since these constituent materials have the property of being easily wetted by the ink, the surface of the nozzle from which the ink is ejected is subjected to a water and oil repellent treatment. JP-A-3-43065, Japanese Patent Laid-Open No. Hei 4
A fluorine-containing organic compound as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 505895 has been proposed.

【0004】また、インクジェットヘッドのノズル面
は、印字中に付着したインク及び紙粉を除去するために
定期的にゴムで擦られるが、この操作によって、ノズル
穴周辺部へ撥水撥油膜が凝集するため、特開平9−23
9991号に開示されているように紫外線を撥水撥油膜
に照射し、撥水撥油膜を硬化させ、撥水撥油膜の凝集を
防ぐ製造方法が提案されていた。
The nozzle surface of the ink jet head is regularly rubbed with rubber in order to remove ink and paper dust adhered during printing. By this operation, the water and oil repellent film is aggregated around the nozzle hole. To achieve this, Japanese Patent Laid-Open No. 9-23
As disclosed in Japanese Patent No. 9991, there has been proposed a manufacturing method in which a water and oil repellent film is irradiated with ultraviolet rays to cure the water and oil repellent film and prevent aggregation of the water and oil repellent film.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の技
術には、次のような課題があった。インクジェットヘッ
ドを有するインクジェットプリンタは、ノズル表面に付
着した紙粉及びインク滴を除去するため、定期的にゴム
で擦るという作業を行う。また、印字中あるいは、印字
紙をプリンタに挿入した時に、前記ノズル面に印字紙が
接触する場合がある。
However, the above-mentioned conventional techniques have the following problems. An inkjet printer having an inkjet head regularly rubs with rubber to remove paper dust and ink droplets attached to the nozzle surface. Further, the printing paper may come into contact with the nozzle surface during printing or when the printing paper is inserted into the printer.

【0006】これらの状況下において、ノズル表面との
密着力の弱い撥水撥油膜がノズル表面から剥がれてしま
い、撥水撥油性の低下が生じ、インクの直進性が損なわ
れ、印字品質が劣化し文字の判読が難しくなる課題を有
していた。
Under these circumstances, the water- and oil-repellent film, which has a weak adhesion to the nozzle surface, is peeled off from the nozzle surface, the water- and oil-repellency is lowered, the straightness of the ink is impaired, and the print quality is deteriorated. However, there was a problem that it became difficult to read the characters.

【0007】本発明は、上記の課題を解決するものであ
り、その目的とするところは、耐インク性、耐擦性に優
れ、高印字品質のインクジェットヘッドの製造方法を提
供するものである。
The present invention solves the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for producing an ink jet head having excellent ink resistance and abrasion resistance and high printing quality.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドの製造方法は、インクが噴射するノズル表面上へ
撥水撥油膜を積層したインクジェットヘッドの製造方法
において、撥水撥油膜処理前にノズル表面へ紫外線を照
射することを特徴とする。また、前記紫外線の波長が、
300nm以下であることを特徴とする。また、前記ノ
ズル表面上に真空蒸着法によって撥水撥油膜を20nm
以上積層させることを特徴とする。
The method for producing an ink jet head of the present invention is a method for producing an ink jet head in which a water and oil repellent film is laminated on a nozzle surface from which ink is ejected, and the nozzle surface is treated before the water and oil repellent film is processed. It is characterized in that it is irradiated with ultraviolet rays. In addition, the wavelength of the ultraviolet rays,
It is characterized by being 300 nm or less. Further, a water / oil repellent film having a thickness of 20 nm is formed on the surface of the nozzle by a vacuum deposition method.
It is characterized in that the layers are stacked as described above.

【0009】また、前記製造方法により得られたインク
ジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタである
ことを特徴とする。
An ink jet printer using the ink jet head obtained by the above manufacturing method is also featured.

【0010】上記方法によれば、撥水撥油膜処理前のイ
ンクジェットヘッドのノズル表面の清浄度を効果的に高
めることができ、インクジェットヘッドのノズル表面と
撥水撥油膜との密着力を向上させる効果がある。
According to the above method, the cleanliness of the nozzle surface of the ink jet head before the water and oil repellent film treatment can be effectively enhanced, and the adhesion between the nozzle surface of the ink jet head and the water and oil repellent film is improved. effective.

【0011】本発明において、インクジェットヘッドの
ノズル表面へ照射される紫外線のエネルギーは、300
nmである時、約100kcal/molである。一
方、ノズル表面を汚染している有機物の主結合であるC
-Cの解離エネルギーは83kcal/mol、C-Hは
98kcal/mol、C-Oは84kcal/mol
なので、紫外線の照射により、有機物の結合を切断する
ことができる。紫外線のエネルギーは波長が短くなるに
つれてエネルギーが増加することから300nm以下の
紫外線が最適である。
In the present invention, the energy of ultraviolet rays applied to the nozzle surface of the ink jet head is 300.
When it is nm, it is about 100 kcal / mol. On the other hand, C, which is the main bond of organic substances contaminating the nozzle surface
-C dissociation energy is 83 kcal / mol, C-H is 98 kcal / mol, and C-O is 84 kcal / mol.
Therefore, the bond of the organic substance can be cut by the irradiation of ultraviolet rays. Since the energy of ultraviolet rays increases as the wavelength decreases, ultraviolet rays of 300 nm or less are optimal.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図1は、インクジェットヘッドの一
例であり、このインクジェットヘッドは、フェイスイン
クジェットタイプであり、静電方式による駆動のもので
ある。図1のインクジェットヘッド1は、キャビティプ
レート3を挟み、上側にノズルプレート2、下側にガラ
ス基板3がそれぞれ積層された3層構造となっている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of an inkjet head. This inkjet head is a face inkjet type and is driven by an electrostatic system. The inkjet head 1 of FIG. 1 has a three-layer structure in which a cavity plate 3 is sandwiched, a nozzle plate 2 is laminated on the upper side, and a glass substrate 3 is laminated on the lower side.

【0013】キャビティプレート3は例えばシリコン基
板であり、当該プレートの表面には、底板が振動板6と
して機能するインク室7と、インク室7の後部に設けら
れたインク供給口8と、各々のインク室7にインクを供
給するためのインクリザーバ9とがエッチングによって
形成されている。
The cavity plate 3 is, for example, a silicon substrate, and the surface of the cavity plate 3 has an ink chamber 7 whose bottom plate functions as the vibrating plate 6, and an ink supply port 8 provided at the rear of the ink chamber 7. An ink reservoir 9 for supplying ink to the ink chamber 7 is formed by etching.

【0014】キャビティプレート3の上側に接合される
ノズルプレート2は、キャビティプレート3と同様に例
えばシリコン基板である。ノズルプレート2において、
インク室7の上面を規定している部分には各インク室7
に連通する複数のノズル穴5が形成されている。
The nozzle plate 2 bonded to the upper side of the cavity plate 3 is, for example, a silicon substrate like the cavity plate 3. In the nozzle plate 2,
Each of the ink chambers 7 is attached to the part that defines the upper surface of the ink chamber 7.
Is formed with a plurality of nozzle holes 5.

【0015】キャビティプレート3の下側に接合される
ガラス基板4は、シリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガ
ラス基板である。ガラス基板4において、各々の振動板
6に対向する部分には、個別電極10が形成されてい
る。
The glass substrate 4 bonded to the lower side of the cavity plate 3 is a borosilicate glass substrate having a thermal expansion coefficient close to that of silicon. In the glass substrate 4, the individual electrodes 10 are formed on the portions facing the respective vibrating plates 6.

【0016】本発明のインクジェットヘッド製造方法の
真空蒸着法による撥水撥油膜は、前記ノズルプレート2
に対し形成するものである。この真空蒸着法による撥水
撥油膜の形成は、前記ガラス基板4と、キャビティプレ
ート3と、ノズルプレート2を、それぞれを接合させ、
3層構造の基板に対し施している。この撥水撥油膜を蒸
着した基板をスライサーによって切断したチップが図1
に示したインクジェットヘッドである。
The water-repellent and oil-repellent film formed by the vacuum deposition method of the ink jet head manufacturing method of the present invention is the nozzle plate 2 described above.
Is to be formed against. The water-repellent and oil-repellent film is formed by this vacuum deposition method by joining the glass substrate 4, the cavity plate 3 and the nozzle plate 2 to each other,
This is applied to a substrate having a three-layer structure. A chip obtained by cutting the substrate on which this water and oil repellent film is deposited with a slicer is shown in FIG.
The inkjet head shown in FIG.

【0017】次に図2を用いて、本発明のインクジェッ
トヘッドの製造方法を詳細に説明する。図2は、図1の
ノズルプレート2への紫外線照射工程と撥水撥油膜形成
工程の概略断面図である。
Next, the method of manufacturing the ink jet head of the present invention will be described in detail with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a step of irradiating the nozzle plate 2 of FIG. 1 with ultraviolet rays and a step of forming a water / oil repellent film.

【0018】まず前記3層構造に加工された基板を専用
の治具に固定し、300nm以下の波長を有する紫外線
ランプが装備された紫外線照射装置の中に、前記ノズル
プレート2が前記紫外線ランプと相対するようにセット
する。
First, the substrate processed into the three-layer structure is fixed to a dedicated jig, and the nozzle plate 2 is combined with the ultraviolet lamp in an ultraviolet irradiation device equipped with an ultraviolet lamp having a wavelength of 300 nm or less. Set to face each other.

【0019】その後、図2(a)に示すノズル穴5を加
工したノズルプレート2に300nm以下の波長を含む
紫外線11を均一に照射させる。この時、紫外線11が
均一に照射できるように、前記3層構造に加工した基板
を円盤状のプレートに載せ、前記円盤状プレートを一定
の速度で回転させる機構を紫外線照射装置に設けること
も有効である。
After that, the nozzle plate 2 having the nozzle holes 5 shown in FIG. 2A is uniformly irradiated with ultraviolet rays 11 having a wavelength of 300 nm or less. At this time, it is also effective to provide the ultraviolet irradiation device with a mechanism for placing the substrate processed into the three-layer structure on a disk-shaped plate and rotating the disk-shaped plate at a constant speed so that the ultraviolet rays 11 can be uniformly irradiated. Is.

【0020】前記紫外線11を照射後、紫外線照射装置
より、前記3層構造に加工した基板を固定していた治具
を取り出し、治具表面の温度を測定し、前記治具の表面
温度が30℃以下に達するまで自然放置する。前記治具
の表面温度が30℃以下に達した後、真空蒸着装置の中
に前記治具をセットし、フッ素含有シランカップリング
化合物である東京製品開発研究所製「パラックコート」
を、真空蒸着法によって図2(b)のようにノズルプレ
ート2へ蒸着し、撥水撥油膜12を20nm以上積層さ
せる。
After irradiating with the ultraviolet rays 11, the jig fixing the substrate processed into the three-layer structure was taken out from the ultraviolet irradiating device, the temperature of the jig surface was measured, and the surface temperature of the jig was 30. Let stand naturally until the temperature reaches below ℃. After the surface temperature of the jig reaches 30 ° C. or lower, the jig is set in a vacuum vapor deposition apparatus, and a fluorine-containing silane coupling compound “Paraque Coat” manufactured by Tokyo Product Development Laboratory
2 is vapor-deposited on the nozzle plate 2 by a vacuum vapor deposition method as shown in FIG. 2B, and a water- and oil-repellent film 12 is laminated to a thickness of 20 nm or more.

【0021】本発明の製造方法にて製造したインクジェ
ットヘッド1において、前記ノズルプレート2に形成し
た撥水撥油膜12の耐インク性、耐擦性試験を実施し
た。
In the ink jet head 1 manufactured by the manufacturing method of the present invention, the water resistance and oil repellency film 12 formed on the nozzle plate 2 was tested for ink resistance and abrasion resistance.

【0022】試験は、一定量インクが入った容器に、撥
水撥油膜処理前の紫外線照射時間を10分、20分、6
0分に設定したインクジェットヘッド1をノズルプレー
ト2表面が接液されるよう固定し、70℃一定の状態で
3日間放置し、耐インク性の試験を行う。次いで、ノズ
ルプレート2表面をゴムで一定方向に3000回擦り、
更に、印字紙がノズル表面に接するように端面を折り曲
げて、プリンタのキャリッジを70秒間に10回往復運
動させて耐擦性を試験した。試験対象用のインクジェッ
トヘッド1は、前記ノズルプレート2表面のインク接
液、ゴムによる擦り、印字紙による擦りの試験を連続し
て実施し、各々の試験後毎にプリンタにて印字させ、印
字品質を次の基準で判定した。
In the test, a container containing a certain amount of ink was irradiated with ultraviolet rays for 10 minutes, 20 minutes, and 6 minutes before the water- and oil-repellent film treatment.
The ink jet head 1 set to 0 minutes is fixed so that the surface of the nozzle plate 2 may come into contact with the liquid, and the ink jet head 1 is left standing at 70 ° C. for 3 days to perform an ink resistance test. Then, rub the surface of the nozzle plate 2 with rubber in a certain direction 3000 times,
Further, the end surface was bent so that the printing paper was in contact with the nozzle surface, and the carriage of the printer was reciprocated 10 times in 70 seconds to test the abrasion resistance. The inkjet head 1 as a test object is continuously tested for ink contact with the surface of the nozzle plate 2, rubbing with rubber, and rubbing with printing paper, and printing is performed by a printer after each test. Was judged according to the following criteria.

【0023】表1に試験結果を示す。 ◎:ノズル表面の撥水撥油性が確保されており、印字用
紙にインク滴の飛行曲がりがない状態 ○:ノズル表面の撥水撥油性が確保されているが、印字
用紙にインク滴の飛行曲がりが確認された状態 ×:ノズル表面の撥水撥油性が確保されず、更に印字用
紙にインク滴の飛行曲がりが確認され、文字の判読が不
能な状態
Table 1 shows the test results. ◎: Water and oil repellency on the nozzle surface is secured, and ink droplets are not deflected on the printing paper ○: Water droplets and oil repellency on the nozzle surface are secured, but ink droplets are deflected on the printing paper X: The water and oil repellency of the nozzle surface was not ensured, and the flight curve of ink droplets was confirmed on the printing paper, making it impossible to read the characters.

【0024】[0024]

【表1】 [Table 1]

【0025】このように、紫外線11の照射時間を60
分にて、撥水撥油膜12を真空蒸着したインクジェット
ヘッドが最も印字品質が良好であった。
In this way, the irradiation time of the ultraviolet rays 11 is set to 60
In addition, the ink jet head having the water and oil repellent film 12 vacuum-deposited had the best print quality.

【0026】紫外線11の照射時間60分のインクジェ
ットヘッドにおいて、前記試験と同様のゴムによるノズ
ル面擦りを更に、10000回追加し、印字品質を確認
した結果、ノズル表面の撥水撥油性が確保されており、
また、印字したときのインク滴の飛行曲がりが認められ
ず、良好な印字品質を維持した。
In the ink jet head for which the irradiation time of the ultraviolet ray 11 was 60 minutes, the same rubbing of the nozzle surface with rubber as in the above test was added 10,000 times, and the printing quality was confirmed. As a result, the water and oil repellency of the nozzle surface was secured. And
In addition, no flight bending of ink droplets was observed when printed, and good printing quality was maintained.

【0027】なお、本実施例は、本発明の一部について
記したものであり、他のフッ素系撥水撥油剤やシリコー
ン系の撥水撥油剤を用いても、また撥水撥油剤の濃度が
異なっても同様の効果が発揮された。
The present embodiment describes a part of the present invention. Even if other fluorine-based water and oil repellents or silicone water and oil repellents are used, the concentration of the water and oil repellents is also increased. The same effect was exhibited even when the values were different.

【0028】また、撥水撥油材料の形成方法は、蒸着法
以外に撥水撥油材料が溶解した液を用いたスプレー法、
浸せき法によっても同様の効果があった。
In addition to the vapor deposition method, the water- and oil-repellent material can be formed by a spray method using a liquid in which the water- and oil-repellent material is dissolved,
The dipping method had the same effect.

【0029】また、インクジェットヘッドの構造が、流
路と垂直方向にノズル穴を有したヘッドを用いた場合で
も、同様の効果を有した。
Further, even when the structure of the ink jet head uses a head having nozzle holes in the direction perpendicular to the flow path, the same effect is obtained.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上記したように本発明によれば、撥水
撥油膜処理前にインクジェットヘッドのノズルプレート
2表面に300nm以下の波長を有する紫外線11を照
射することでインクジェットヘッドのノズル表面の清浄
度を効果的に高めることができ、その後、ノズルプレー
ト2表面に撥水撥油膜12を20nm以上形成すること
によって、ノズル表面と撥水撥油膜12との密着力を向
上させ、耐久的印字品質を改善する効果を有した。
As described above, according to the present invention, the surface of the nozzle plate 2 of the inkjet head is irradiated with the ultraviolet rays 11 having a wavelength of 300 nm or less before the water-repellent and oil-repellent film treatment. The cleanliness can be effectively increased, and thereafter, the water- and oil-repellent film 12 having a thickness of 20 nm or more is formed on the surface of the nozzle plate 2 to improve the adhesive force between the nozzle surface and the water- and oil-repellent film 12, thereby achieving durable printing. It had the effect of improving quality.

【0031】また、上記のような優れた効果を有するイ
ンクジェットヘッドを得ることができる。
Further, it is possible to obtain an ink jet head having the above-mentioned excellent effects.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を適用したインクジェットヘッドの概略
断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view of an inkjet head to which the present invention is applied.

【図2】本発明を適用したノズルプレートの工程別概略
断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of each step of a nozzle plate to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インクジェットヘッド 2 ノズルプレート 3 キャビティプレート 4 ガラス基板 5 ノズル穴 6 振動板 7 インク室 8 インク供給口 9 インクリザーバ 10 個別電極 11 紫外線 12 撥水撥油膜 1 inkjet head 2 nozzle plate 3 cavity plate 4 glass substrates 5 nozzle holes 6 diaphragm 7 ink chamber 8 ink supply port 9 ink reservoir 10 individual electrodes 11 UV 12 Water and oil repellent film

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】インクが噴射するノズル表面へ撥水撥油膜
を積層したインクジェットヘッドの製造方法において、
撥水撥油膜処理前にノズル表面へ紫外線を照射すること
を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
1. A method of manufacturing an ink jet head comprising a water and oil repellent film laminated on a nozzle surface from which ink is ejected.
A method for manufacturing an inkjet head, which comprises irradiating the nozzle surface with ultraviolet rays before the water- and oil-repellent film treatment.
【請求項2】請求項1において、 前記紫外線の波長が、300nm以下であることを特徴
とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. The method for manufacturing an inkjet head according to claim 1, wherein the wavelength of the ultraviolet rays is 300 nm or less.
【請求項3】請求項1、2において、 真空蒸着法によって撥水撥油膜を20nm以上形成する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
3. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the water and oil repellent film is formed to a thickness of 20 nm or more by a vacuum vapor deposition method.
【請求項4】請求項1、2、3のいずれかに記載の製造
方法により得られたインクジェットヘッドを有するイン
クジェットプリンタ。
4. An ink jet printer having an ink jet head obtained by the manufacturing method according to claim 1.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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