JP2003121372A - Copper plate scratch-inspecting apparatus - Google Patents
Copper plate scratch-inspecting apparatusInfo
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼板疵検査装置に
関し、特に、製鉄プロセスにおける品質管理において、
鋼板の疵をオンラインで検査できるようにするための新
規な改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a steel plate flaw inspection apparatus, and more particularly to quality control in an iron making process.
It relates to a new improvement that enables online inspection of flaws in steel sheets.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から鋼板のオンライン疵検出技術に
は様々な方法がある。鋼板等のように連続的に製造され
て送られてくるシート状製品の表面疵を検査する方法と
して、鋼板表面にレーザ光を走査してその反射光を検出
する方法が一般的に行われている。このような方法の一
例として特開平４−２９１１３８号公報に記載されてい
るストリップの有疵部マーキング装置を用いた方法があ
る。2. Description of the Related Art Conventionally, there are various methods for detecting defects on a steel sheet online. As a method of inspecting the surface flaws of sheet-like products that are continuously manufactured and sent such as steel plates, a method of scanning laser light on the steel plate surface and detecting the reflected light is generally performed. There is. As an example of such a method, there is a method described in Japanese Patent Laid-Open No. 4-291138, which uses a marking device for a defective portion of a strip.
【０００３】この方法では、鋼板にＨｅ−Ｃｄレーザ光
を掃引照射し、反射光をフォトマルチプライヤ等の光検
出素子で検出することにより疵検出を行う。Ｈｅ−Ｃｄ
レーザ光を鋼板の表面に照射し、これの反射光をフォト
マルチプライヤ等で受光することによって得られた電圧
強度信号を信号処理し、この電圧波形、もしくはこれを
微分して得られた微分波形から鋼板表面の疵を検出する
ことができる。In this method, flaw detection is performed by sweeping and irradiating a steel plate with He--Cd laser light and detecting reflected light with a photodetector such as a photomultiplier. He-Cd
The voltage intensity signal obtained by irradiating the surface of the steel sheet with laser light and receiving the reflected light with a photomultiplier, etc., is subjected to signal processing, and this voltage waveform or a differential waveform obtained by differentiating this From this, it is possible to detect a flaw on the surface of the steel sheet.
【０００４】また、特開平９−１６６５５３号公報には
偏光を利用した疵検出方法が開示されている。この方法
は、鋼板のミクロな表面状態に依存せず縞模様状の疵を
検出するため、反射光のうち３種類の異なる偏光をそれ
ぞれリニアアレイカメラで検出し、偏光の強度だけでな
く振幅反射率比や位相差を考慮して検出するものであ
る。Further, Japanese Patent Laid-Open No. 9-166553 discloses a flaw detection method using polarized light. This method detects striped pattern flaws without depending on the microscopic surface state of the steel plate. Therefore, each of the three different types of polarized light in the reflected light is detected by a linear array camera, and not only the intensity of the polarized light but also the amplitude reflection is detected. The detection is performed in consideration of the ratio ratio and the phase difference.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平４−２
９１１３８号公報記載のストリップの有疵部マーキング
装置では、原理的にレーザスポット径以下の表面疵は検
出感度が低下するという課題があった。また、疵以外の
埃等でも反射光が減少することがあり誤検出が多いとい
う課題があった。さらに、表面凹凸による疵だけではな
く鋼板表面状態のミクロな粗さのムラや、酸化膜等のム
ラによっても反射光は変化するため、疵のみを確実に検
出することは困難であるという課題があった。However, Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 4-2.
The flawed portion marking device for a strip described in Japanese Patent No. 91138 has a problem that the detection sensitivity of surface flaws having a laser spot diameter or less is lowered in principle. In addition, there is a problem in that the reflected light may be reduced even with dust or the like other than the flaw, resulting in many false detections. Further, not only the flaws due to the surface irregularities but also the unevenness of the micro-roughness of the steel plate surface state, the reflected light changes due to the unevenness of the oxide film, etc., so it is difficult to reliably detect only the flaws. there were.
【０００６】また、特開平９−１６６５５３号公報記載
の偏光を用いた疵検出方法は、リニアアレイカメラを３
台使用しているため、被写体である鋼板から各リニアア
レイカメラまでの距離が変化することにより疵検出が困
難となる課題があった。また、鋼板の幅が広くなると３
台のカメラの視野が不一致となるため、疵検出が困難と
なる課題があった。また、光学系が複雑であることに加
え、得られたデータを処理する手法も複雑であるため、
検出異常が生じた際には、修正が困難であるという課題
もあった。さらに、このように使用環境に影響され易い
ため、検査環境が厳しい現場での適用は限定されるとい
う課題も生じていた。Further, the flaw detection method using polarized light described in Japanese Patent Laid-Open No. 9-166553 uses a linear array camera with three
Since the table is used, there is a problem that the flaw detection becomes difficult because the distance from the steel plate as the subject to each linear array camera changes. In addition, when the width of the steel plate becomes wider, 3
Since the visual fields of the two cameras do not match, there is a problem that it is difficult to detect flaws. In addition to the complicated optical system, the method of processing the obtained data is also complicated,
There is also a problem that it is difficult to correct when a detection abnormality occurs. In addition, since the environment of use is apt to be affected in this way, there is a problem that the application in a field where the inspection environment is severe is limited.
【０００７】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、厳しい検査環境でも検出可
能で、特に鋼板の走行方向に平行に生じる疵を確実に検
出することのできる鋼板疵検査装置を提供することを目
的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and in particular, it can be detected even in a severe inspection environment, and in particular, it is possible to surely detect a flaw that occurs parallel to the running direction of the steel sheet. An object is to provide a steel plate flaw inspection device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の鋼板疵検査装置
は、製鉄ライン中を走行する鋼板に紫外線を照射する紫
外線光源と、前記鋼板の表面の画像を撮影する撮影手段
と、前記撮影手段から出力される画像データを微分処理
する微分処理手段と、前記微分処理手段で微分処理され
た微分画像データを表示する表示手段とを備え、前記鋼
板の疵を前記画像データの強度信号の変化として前記表
示手段に表示する構成である。A steel plate flaw inspection apparatus of the present invention is an ultraviolet light source for irradiating a steel plate traveling in an iron making line with ultraviolet rays, a photographing means for photographing an image of the surface of the steel sheet, and the photographing means. Differentiating means for differentially processing the image data output from, and display means for displaying the differential image data differentially processed by the differential processing means, the flaw of the steel plate as a change of the intensity signal of the image data. It is a configuration for displaying on the display means.
【０００９】また、前記紫外線光源は前記鋼板の走行方
向に対して斜め上方に設置されると共に、前記撮影手段
は前記鋼板の疵によって散乱された反射光を受光するよ
うに前記鋼板の鉛直上方に設置される構成である。Further, the ultraviolet light source is installed obliquely above the running direction of the steel plate, and the photographing means is above the steel plate vertically so as to receive the reflected light scattered by the flaws in the steel plate. It is installed.
【００１０】また、前記紫外線光源は前記鋼板の走行方
向に対して斜め上方に設置されると共に、前記撮影手段
は前記鋼板の健全部によって反射された反射光を受光す
るように前記鋼板の斜め上方において前記紫外線光源か
ら前記鋼板に照射される紫外線の照射角と等しい反射角
で反射された反射光を受光するように設置される構成で
ある。Further, the ultraviolet light source is installed diagonally above the traveling direction of the steel sheet, and the photographing means is diagonally above the steel sheet so as to receive the reflected light reflected by the sound portion of the steel sheet. In the above, the structure is installed so as to receive the reflected light reflected at the reflection angle equal to the irradiation angle of the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source to the steel plate.
【００１１】さらに、前記紫外線光源から照射される紫
外線は、波長３５０[nm]をピーク波長とする波長帯域が
３００〜４００[nm]の紫外線である構成である。Further, the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source is an ultraviolet light having a wavelength band of 300 to 400 [nm] having a peak wavelength of 350 [nm].
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による鋼
板疵検査装置の好適な実施の形態について詳細に説明す
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a steel sheet flaw inspection apparatus according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１３】実施の形態１．図１は本発明の実施の形態
１に係る鋼板疵検査装置を概略的に示す構成図である。
図１において、符号１で示されるものは紫外線光源であ
るブラックライトであり、このブラックライト１は図１
中矢印の方向に走行している鋼板２に斜め上方から紫外
線を照射できる位置に設置される。なお、この鋼板２と
しては、例えば冷延鋼板が挙げられる。Embodiment 1. 1 is a configuration diagram schematically showing a steel plate flaw inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 1, reference numeral 1 is a black light which is an ultraviolet light source.
The steel plate 2 traveling in the direction of the middle arrow is installed at a position where ultraviolet rays can be irradiated from diagonally above. The steel plate 2 may be, for example, a cold rolled steel plate.
【００１４】ブラックライト１が照射する紫外線は、波
長３５０[nm]をピーク波長とする波長帯域が３００〜４
００[nm]の紫外線であり、（鋼板２の表面の法線方向に
対して）約４５度の照射角度で照射している。このよう
にして鋼板２に照射された紫外線は鋼板２の表面で反射
する。この際、鋼板２の表面の健全部（疵のない部分）
では紫外線は入射角と同一の角度で反射されるが、表面
に疵がある部分では紫外線は散乱する。鋼板２の上方に
設置された撮影手段である紫外線カメラ３で鋼板２の表
面に存在する疵で反射された反射光（散乱光）に基づく
画像データを撮影することにより、鋼板２に疵が発生し
ていないかどうかを検査し、疵を検出できる。The ultraviolet light emitted by the black light 1 has a wavelength band of 300 to 4 with a peak wavelength of 350 [nm].
Ultraviolet rays of 00 [nm] are emitted at an irradiation angle of about 45 degrees (with respect to the normal line direction of the surface of the steel plate 2). The ultraviolet rays applied to the steel plate 2 in this manner are reflected on the surface of the steel plate 2. At this time, a sound part of the surface of the steel plate 2 (a part without a flaw)
In, the ultraviolet rays are reflected at the same angle as the incident angle, but the ultraviolet rays are scattered in the areas with flaws on the surface. A flaw is generated in the steel plate 2 by photographing image data based on reflected light (scattered light) reflected by a flaw existing on the surface of the steel sheet 2 with an ultraviolet camera 3 which is a photographing means installed above the steel sheet 2. It can be inspected whether it is not done and can detect flaws.
【００１５】なお、この実施の形態１のように鋼板２の
上方に紫外線カメラ３を設置した場合は、健全部におい
て反射された反射光に基づく画像データも紫外線カメラ
３で撮影することになるが、鋼板２の健全部よりも疵で
反射された反射光に基づく画像データの方が信号強度が
高くなる。従って、前述した鋼板２の表面に存在する疵
で反射された反射光（散乱光）に基づく画像データと
は、このように鋼板２の健全部よりも疵で反射された反
射光に基づく画像データの方が信号強度が高い場合の画
像データをいうものとする。When the ultraviolet camera 3 is installed above the steel plate 2 as in the first embodiment, the ultraviolet camera 3 also captures image data based on the reflected light reflected by the sound part. The signal intensity of the image data based on the reflected light reflected by the flaw is higher than that of the sound part of the steel plate 2. Therefore, the image data based on the reflected light (scattered light) reflected by the flaws existing on the surface of the steel plate 2 as described above is the image data based on the reflected light reflected by the flaws on the sound part of the steel plate 2 as described above. Is the image data when the signal strength is higher.
【００１６】具体的に疵の有無を検査し、疵を検出する
ためには、画像データを撮影する紫外線カメラ３の出力
側に微分処理手段であるリアルタイム微分処理手段４を
接続し、紫外線カメラ３で撮影した画像データを演算・
記憶手段であるコンピュータ５に蓄積する。ライン中の
異物位置は表示手段である異物位置表示装置６に表示さ
れる。このようにして蓄積した画像データを微分処理
し、高周波成分のみを強調した画像をリアルタイムで得
る。このようにして、鋼板２の疵を画像データの強度分
布の変化として異物位置表示装置６に表示することがで
きる。即ち、画像データの強度分布、もしくはこれを微
分して得られた微分波形に基づいて鋼板２の表面に疵が
生じていないかどうかを検査し、鋼板２の疵を検出する
ことができる。In order to specifically inspect the presence or absence of a flaw and detect the flaw, a real-time differentiating means 4 which is a differentiating means is connected to the output side of the ultraviolet camera 3 for taking image data, and the ultraviolet camera 3 is connected. Calculate image data taken with
It is stored in the computer 5, which is a storage means. The position of the foreign matter in the line is displayed on the foreign matter position display device 6 which is a display means. The image data thus accumulated is differentiated to obtain an image in which only high frequency components are emphasized in real time. In this way, the flaw of the steel plate 2 can be displayed on the foreign matter position display device 6 as a change in the intensity distribution of the image data. That is, it is possible to detect whether or not the surface of the steel sheet 2 has a flaw based on the intensity distribution of the image data or the differential waveform obtained by differentiating the intensity distribution, and to detect the flaw of the steel sheet 2.
【００１７】この結果、従来法に比べてコントラストが
高い疵検出画像を得ることが可能となった。特に、紫外
線を使用したことにより従来法では困難だった微細な疵
を検出することができる。特に、上述した配置で鋼板２
の表面の疵を検出すると、鋼板２の走行方向（図１中矢
印で示す方向）に平行な疵を確実に検出できるので有効
である。本実施の形態ではリアルタイムに疵検出位置を
特定できるため、鋼板２の走行時に発生する鋼板走行方
向に平行な疵を検出した際は、この検出信号に基づき、
鋼板走行ライン中に混入している異物の位置を正確に知
ることができ、作業時間を短縮化して異物除去作業の効
率化を図ることができる。As a result, it becomes possible to obtain a flaw detection image having a higher contrast than the conventional method. In particular, the use of ultraviolet rays makes it possible to detect minute flaws that were difficult with the conventional method. In particular, the steel plate 2 in the arrangement described above
It is effective to detect a flaw on the surface of the steel sheet 2 because the flaw parallel to the traveling direction of the steel sheet 2 (direction indicated by an arrow in FIG. 1) can be surely detected. In the present embodiment, since the flaw detection position can be specified in real time, when a flaw parallel to the steel plate traveling direction generated during traveling of the steel sheet 2 is detected, based on this detection signal,
It is possible to accurately know the position of the foreign matter mixed in the steel plate traveling line, shorten the work time, and improve the efficiency of the foreign matter removal work.
【００１８】以上、この発明の実施の形態１に係る鋼板
疵検査装置では、紫外線光源として比較的大面積を照射
できるブラックライトを用いる場合について説明した
が、キセノンアークランプを用い石英製光ファイバ等を
利用して鋼板２を照射してもよい。また、以上の説明で
は、リアルタイム微分処理手段４が接続された紫外線カ
メラ３を使用したが、撮影後の画像データを画像処理す
ることにより微分処理して高周波成分のみを強調して表
示しリアルタイムで２値化処理する画像処理を行って
も、鋼板２の表面の疵を高精度に検出することができ
る。As described above, in the steel plate flaw inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention, the case where the black light capable of irradiating a relatively large area is used as the ultraviolet light source has been described. However, a quartz optical fiber using a xenon arc lamp is used. May be used to irradiate the steel plate 2. Further, in the above description, the ultraviolet camera 3 to which the real-time differentiating means 4 is connected is used, but the image data after the photographing is subjected to the differential processing to emphasize and display only the high-frequency component and display in real time. Even if the image processing for binarization is performed, the flaws on the surface of the steel plate 2 can be detected with high accuracy.
【００１９】実施の形態２．図２は、本発明の実施の形
態２に係る鋼板疵検査装置を概略的に示す構成図であ
る。ライン内を走行している鋼板２の上方に紫外線カメ
ラ３を設置し、鋼板２の斜め上方から紫外線レーザ光を
照射している。紫外線光源としてはＨｅ−Ｃｄレーザ発
振器１１を使用している。その他の構成は実施の形態１
に準ずる。Embodiment 2. FIG. 2 is a configuration diagram schematically showing a steel plate flaw inspection apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. An ultraviolet camera 3 is installed above the steel plate 2 running in the line, and ultraviolet laser light is emitted from obliquely above the steel plate 2. A He-Cd laser oscillator 11 is used as the ultraviolet light source. Other configurations are the same as those of the first embodiment.
According to.
【００２０】Ｈｅ−Ｃｄレーザ発振器１１から発振され
る紫外線レーザ光は鋼板２を幅方向に均一に照射するた
め、Ｈｅ−Ｃｄレーザ発振器２に接続された光ファイバ
１２を介して紫外線レーザ光をビームエキスパンダ１３
に導き、紫外線レーザ光を拡大して照射断面を長方形状
にして照射する。Since the ultraviolet laser light oscillated from the He-Cd laser oscillator 11 irradiates the steel sheet 2 uniformly in the width direction, the ultraviolet laser light is beamed through the optical fiber 12 connected to the He-Cd laser oscillator 2. Expander 13
Then, the ultraviolet laser light is expanded and the irradiation cross section is made into a rectangular shape for irradiation.
【００２１】このようにしてＨｅ−Ｃｄレーザ発振器２
から照射された紫外線レーザ光は、鋼板２の表面上の疵
で散乱され、紫外線カメラ３によりこの散乱が画像デー
タとして撮影される。撮影された画像データは、リアル
タイム微分処理手段４で画像処理され、コンピュータ５
に蓄積される。ライン中の異物位置を異物位置表示装置
６で表示する。In this way, the He-Cd laser oscillator 2
The ultraviolet laser light radiated from is scattered by a flaw on the surface of the steel plate 2, and this scattering is photographed as image data by the ultraviolet camera 3. The photographed image data is image-processed by the real-time differential processing means 4, and the computer 5
Accumulated in. The position of the foreign matter in the line is displayed by the foreign matter position display device 6.
【００２２】Ｈｅ−Ｃｄレーザ発振器２から発振される
紫外線レーザ光の波長は３２５[nm]である。鋼板２に対
する平均照射角度は（鋼板２の表面の法線方向に対し
て）約４５度である。このようにして鋼板２に照射され
た紫外線レーザ光は鋼板２の表面で反射する。この際、
鋼板２の表面の健全部では紫外線レーザ光は入射角と同
一の角度で反射するが、鋼板２の表面に疵がある部分で
は紫外線レーザ光は散乱する。鋼板２の上方に設置され
た紫外線カメラ３でこの疵に起因する散乱光を検出する
ことにより、鋼板２に疵が生じていないかどうかを検査
し、鋼板２の疵を検出することができる。The wavelength of the ultraviolet laser light emitted from the He-Cd laser oscillator 2 is 325 [nm]. The average irradiation angle with respect to the steel plate 2 is about 45 degrees (with respect to the normal direction of the surface of the steel plate 2). The ultraviolet laser light applied to the steel plate 2 in this manner is reflected by the surface of the steel plate 2. On this occasion,
The ultraviolet laser light is reflected at the same angle as the incident angle on the sound part of the surface of the steel plate 2, but the ultraviolet laser light is scattered on the part where the surface of the steel plate 2 has a flaw. By detecting the scattered light resulting from this flaw with the ultraviolet camera 3 installed above the steel sheet 2, it can be inspected whether the steel sheet 2 is flawed, and the flaw of the steel sheet 2 can be detected.
【００２３】本実施の形態では、画像データを撮影する
紫外線カメラ３にリアルタイム微分処理手段４を接続
し、得られた画像データをコンピュータ５に蓄積してい
る。以上、この発明の実施の形態２に係る鋼板疵検査装
置によれば、従来法に比べてコントラストが高い疵の画
像を得ることが可能となった。特に、紫外線を使用した
ことにより従来は検出が困難だった微細な疵を検出する
ことができる。In the present embodiment, the real-time differential processing means 4 is connected to the ultraviolet camera 3 for photographing the image data, and the obtained image data is stored in the computer 5. As described above, with the steel plate flaw inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention, it is possible to obtain a flaw image having a higher contrast than the conventional method. In particular, the use of ultraviolet rays makes it possible to detect minute flaws that were difficult to detect in the past.
【００２４】特に、上述した配置で鋼板表面の疵を検出
すると、鋼板走行方向に平行な疵を確実に検出できるの
で有効である。本実施の形態ではリアルタイムに疵検出
位置を特定できるため、鋼板２の走行時に発生する鋼板
走行方向に平行な疵を検出した際は、この検出信号に基
づき、鋼板走行ライン中に混入している異物の位置を正
確に知ることができ、異物除去作業時間の短縮化が可能
になるため等異物除去作業の効率化を図ることができ
る。In particular, if the flaws on the surface of the steel sheet are detected with the above arrangement, it is possible to reliably detect the flaws parallel to the running direction of the steel sheet, which is effective. Since the flaw detection position can be specified in real time in the present embodiment, when a flaw that is generated when the steel sheet 2 travels and is parallel to the steel sheet traveling direction is detected, it is mixed in the steel sheet traveling line based on the detection signal. Since the position of the foreign matter can be accurately known and the foreign matter removal work time can be shortened, the efficiency of the foreign matter removal work can be improved.
【００２５】実施の形態３．図３は、本発明の実施の形
態３に係る鋼板疵検査装置を概略的に示す構成図であ
る。本発明の実施の形態３に係る鋼板疵検査装置では、
紫外線光源であるブラックライト１から照射される紫外
線レーザ光の照射角度と、鋼板２の表面で反射された反
射光の反射角とが等しくなるように、ライン内を走行す
る鋼板２の斜め上方に紫外線カメラ３を設置する。この
状態でブラックライト１から紫外線を照射すれば、鋼板
２の健全部で反射される反射光に基づく画像データを紫
外線カメラ３で直接撮影することができる。本発明の実
施の形態３に係る鋼板疵検査装置では、このような構成
により、鋼板２の表面の疵による反射光の減少を紫外線
カメラ３で撮影するものである。その他の構成は実施の
形態１に準ずる。Embodiment 3. FIG. 3 is a configuration diagram schematically showing a steel plate flaw inspection device according to a third embodiment of the present invention. In the steel plate flaw inspection apparatus according to Embodiment 3 of the present invention,
In order to make the irradiation angle of the ultraviolet laser light emitted from the black light 1 which is an ultraviolet light source and the reflection angle of the reflected light reflected on the surface of the steel plate 2 equal to each other, diagonally above the steel plate 2 traveling in the line. The ultraviolet camera 3 is installed. If the ultraviolet light is emitted from the black light 1 in this state, the image data based on the reflected light reflected by the sound part of the steel plate 2 can be directly photographed by the ultraviolet camera 3. In the steel plate flaw inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention, with such a configuration, the reduction of reflected light due to a flaw on the surface of the steel sheet 2 is captured by the ultraviolet camera 3. Other configurations are similar to those of the first embodiment.
【００２６】このように前記照射角と等しい反射角の方
向に設置した紫外線カメラ３を用いて鋼板２の画像デー
タを撮影することにより、実施の形態１に係る鋼板疵検
査装置の場合とは逆に、疵の部分のみにおいて画像デー
タにおける強度分布が低下するので、これを検出するこ
とにより鋼板２の表面に生じた疵を検出することができ
る。In this way, by taking image data of the steel plate 2 by using the ultraviolet camera 3 installed in the direction of the reflection angle equal to the irradiation angle, the reverse of the case of the steel plate flaw inspection apparatus according to the first embodiment. Moreover, since the intensity distribution in the image data is reduced only in the flaw portion, it is possible to detect the flaw generated on the surface of the steel plate 2 by detecting this.
【００２７】なお、この実施の形態３のように鋼板２の
斜め上方において前記照射角と反射角とが等しくなるよ
うに紫外線カメラ３を設置した場合は、鋼板２の疵にお
いて反射された反射光に基づく画像データも紫外線カメ
ラ３で撮影することになるが、鋼板２の疵よりも健全部
で反射された反射光に基づく画像データの方が信号強度
が高くなる。従って、前述した鋼板２の健全部で反射さ
れる反射光に基づく画像データとは、このように鋼板２
の疵よりも健全部で反射された反射光に基づく画像デー
タの方が信号強度が高い場合の画像データをいうものと
する。When the ultraviolet camera 3 is installed so that the irradiation angle and the reflection angle are equal to each other obliquely above the steel plate 2 as in the third embodiment, the reflected light reflected by the flaw of the steel plate 2 is set. Although the image data based on the image data is also taken by the ultraviolet camera 3, the signal intensity of the image data based on the reflected light reflected by the sound part is higher than that on the flaw of the steel plate 2. Therefore, the image data based on the reflected light reflected by the sound part of the steel plate 2 described above is as described above.
The image data based on the reflected light reflected by the sound portion has a higher signal intensity than the flaw.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明の鋼板疵検査装置は、製鉄ライン
中を走行する鋼板に紫外線を照射する紫外線光源と、前
記鋼板の表面の画像を撮影する撮影手段と、前記撮影手
段から出力される画像データを微分処理する微分処理手
段と、前記微分処理手段で微分処理された微分画像デー
タを表示する表示手段とを備え、前記鋼板の疵を前記画
像データの強度信号の変化として前記表示手段に表示す
るので、鋼板の微細な疵を検出することができる。ま
た、鋼板走行ライン中に混入している異物の位置を正確
に知ることができ、作業時間を短縮化して等異物除去作
業の効率化を図ることができる。The steel sheet flaw inspection apparatus of the present invention outputs from the ultraviolet light source for irradiating the steel sheet traveling in the steelmaking line with ultraviolet rays, the photographing means for photographing the surface image of the steel sheet, and the photographing means. Differentiating means for differentially processing the image data and display means for displaying the differential image data differentially processed by the differential processing means are provided, and the flaw of the steel plate is displayed on the display means as a change in the intensity signal of the image data. Since it is displayed, it is possible to detect minute flaws in the steel sheet. Further, it is possible to accurately know the position of the foreign matter mixed in the steel plate traveling line, shorten the working time, and improve the efficiency of the foreign matter removing work.
【００２９】また、前記紫外線光源は前記鋼板の走行方
向に対して斜め上方に設置されると共に、前記撮影手段
は前記鋼板の疵によって散乱された反射光を受光するよ
うに前記鋼板の鉛直上方に設置されるので、鋼板の疵の
存在を反射光の強度増加に基づいて捉えることができ、
高精度に鋼板の疵を検出できる鋼板疵検査装置を提供す
ることができる。Further, the ultraviolet light source is installed obliquely above the running direction of the steel plate, and the photographing means is above the steel plate vertically so as to receive the reflected light scattered by the flaws in the steel plate. Since it is installed, it is possible to detect the presence of flaws in the steel plate based on the increase in the intensity of reflected light,
It is possible to provide a steel plate flaw inspection apparatus that can detect a flaw in a steel sheet with high accuracy.
【００３０】また、前記紫外線光源は前記鋼板の走行方
向に対して斜め上方に設置されると共に、前記撮影手段
は前記鋼板の健全部によって反射された反射光を受光す
るように前記鋼板の斜め上方において前記紫外線光源か
ら前記鋼板に照射される紫外線の照射角と等しい反射角
で反射された反射光を受光するように設置されるので、
鋼板の疵の存在を反射光の強度減少に基づいて捉えるこ
とができ、高精度に鋼板の疵を検査できる鋼板疵検査装
置を提供することができる。Further, the ultraviolet light source is installed obliquely above the steel plate, and the photographing means is obliquely above the steel plate so as to receive the reflected light reflected by the sound portion of the steel plate. In, because it is installed so as to receive the reflected light reflected at a reflection angle equal to the irradiation angle of the ultraviolet rays irradiated to the steel plate from the ultraviolet light source,
It is possible to provide a steel sheet flaw inspection apparatus that can detect the presence of flaws in a steel sheet based on the decrease in the intensity of reflected light and can inspect the flaws in the steel sheet with high accuracy.
【００３１】さらに、前記紫外線光源から照射される紫
外線は、波長３５０[nm]をピーク波長とする波長帯域が
３００〜４００[nm]の紫外線であるので、従来は検出が
困難だった微細な疵を検出できる鋼板疵検査装置を提供
することができる。Furthermore, since the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source is an ultraviolet light having a wavelength band of 300 to 400 [nm] with a peak wavelength of 350 [nm], it is difficult to detect fine flaws in the related art. It is possible to provide a steel plate flaw inspection device capable of detecting a defect.
【図１】本発明の実施の形態１に係る鋼板疵検査装置を
概略的に示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing a steel plate flaw inspection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の形態２に係る鋼板疵検査装置を
概略的に示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram schematically showing a steel plate flaw inspection device according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施の形態３に係る鋼板疵検査装置を
概略的に示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram schematically showing a steel plate flaw inspection device according to a third embodiment of the present invention.
１ 紫外線光源 ２ 鋼板 ３ 紫外線カメラ ４ リアルタイム微分処理手段 ５ コンピュータ ６ 異物位置表示装置 １１ Ｈｅ−Ｃｄレーザ発振器 １２ ファイバ １３ ビームエキスパンダ 1 UV light source 2 steel plate 3 UV camera 4 Real-time differential processing means 5 computer 6 Foreign object position display device 11 He-Cd laser oscillator 12 fibers 13 beam expander
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA03 AA50 BB13 BB15 CC06 DD06 FF04 FF44 GG01 GG04 HH02 HH12 JJ03 JJ26 QQ04 QQ13 QQ31 2G051 AA37 AB01 AB02 BA05 BA10 BA20 BB17 CA03 CA04 CB01 CB05 DA01 DA06 DA17 EA08 EA11 FA10 Continued front page F term (reference) 2F065 AA03 AA50 BB13 BB15 CC06 DD06 FF04 FF44 GG01 GG04 HH02 HH12 JJ03 JJ26 QQ04 QQ13 QQ31 2G051 AA37 AB01 AB02 BA05 BA10 BA20 BB17 CA03 CA04 CB01 CB05 DA01 DA06 DA17 EA08 EA11 FA10
Claims (4)
照射する紫外線光源と、 前記鋼板の表面の画像を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段から出力される画像データを微分処理する
微分処理手段と、 前記微分処理手段で微分処理された微分画像データを表
示する表示手段とを備え、前記鋼板の疵を前記画像デー
タの強度信号の変化として前記表示手段に表示すること
を特徴とする鋼板疵検査装置。1. An ultraviolet light source for irradiating a steel sheet traveling in an ironmaking line with ultraviolet rays, a photographing means for photographing an image of the surface of the steel sheet, and a differential processing means for differentiating image data output from the photographing means. And a display means for displaying differential image data that has been differentially processed by the differential processing means, and a steel sheet flaw characterized by displaying a flaw in the steel sheet on the display means as a change in an intensity signal of the image data. Inspection device.
対して斜め上方に設置されると共に、前記撮影手段は前
記鋼板の疵によって散乱された反射光を受光するように
前記鋼板の鉛直上方に設置されることを特徴とする請求
項１記載の鋼板疵検査装置。2. The ultraviolet light source is installed obliquely above the running direction of the steel plate, and the photographing means is above the steel plate vertically so as to receive the reflected light scattered by the flaws in the steel plate. The steel plate flaw inspection apparatus according to claim 1, which is installed.
対して斜め上方に設置されると共に、前記撮影手段は前
記鋼板の健全部によって反射された反射光を受光するよ
うに前記鋼板の斜め上方において前記紫外線光源から前
記鋼板に照射される紫外線の照射角と等しい反射角で反
射された反射光を受光するように設置されることを特徴
とする請求項１記載の鋼板疵検査装置。3. The ultraviolet light source is installed diagonally above the traveling direction of the steel sheet, and the photographing means is diagonally above the steel sheet so as to receive reflected light reflected by a sound portion of the steel sheet. 2. The steel sheet flaw inspection apparatus according to claim 1, wherein the apparatus is installed so as to receive the reflected light reflected at a reflection angle equal to the irradiation angle of the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light source to the steel sheet.
は、波長３５０[nm]をピーク波長とする波長帯域が３０
０〜４００[nm]の紫外線であることを特徴とする請求項
１ないし３のいずれか記載の鋼板疵検査装置。4. The ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source has a wavelength band of 30 with a peak wavelength of 350 nm.
The steel sheet flaw inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the ultraviolet ray is from 0 to 400 [nm].
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001320397A JP2003121372A (en) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | Copper plate scratch-inspecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001320397A JP2003121372A (en) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | Copper plate scratch-inspecting apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003121372A true JP2003121372A (en) | 2003-04-23 |
Family
ID=19137797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001320397A Withdrawn JP2003121372A (en) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | Copper plate scratch-inspecting apparatus |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003121372A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-10-18 JP JP2001320397A patent/JP2003121372A/en not_active Withdrawn
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