JP2003115746A - Elastic surface wave filter - Google Patents

Elastic surface wave filter

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JP2003115746A
JP2003115746A JP2001308226A JP2001308226A JP2003115746A JP 2003115746 A JP2003115746 A JP 2003115746A JP 2001308226 A JP2001308226 A JP 2001308226A JP 2001308226 A JP2001308226 A JP 2001308226A JP 2003115746 A JP2003115746 A JP 2003115746A
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JP
Japan
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electrode
adjacent section
wave filter
electrode finger
filter
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Application number
JP2001308226A
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Japanese (ja)
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Naoki Takahashi
直樹 高橋
Daisuke Ishii
大輔 石井
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
Original Assignee
Toyo Communication Equipment Co Ltd
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14576Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger
    • H03H9/14582Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger the last fingers having a different pitch

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means for widening the band width of a primary-tertiary longitudinally-coupled double mode elastic surface wave filter and also reducing the insertion loss. SOLUTION: This longitudinally-coupled multiple module elastic wave filter is constituted by arranging a plurality of ID electrodes in the direction of propagation of surface waves on the main surface of a piezoelectric substrate. In a section where adjacent IDT electrodes are adjoining each other, electrode fingers are disposed at narrower pitches than those of the electrode fingers in a section excluding the section where they are adjoining each other.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
(以下、SAWフィルタと称す)に関し、特に1次と3
次の縦モードを利用した1次−3次縦結合二重モードS
AWフィルタ(以下、二重モードSAWフィルタと称
す)の帯域幅及び挿入損失を改善したSAWフィルタに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave filter (hereinafter referred to as a SAW filter), and particularly to the first and third order.
First-third vertical coupling dual mode S using the next vertical mode
The present invention relates to a SAW filter having improved bandwidth and insertion loss of an AW filter (hereinafter referred to as a dual mode SAW filter).

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、SAWフィルタは通信分野で広く
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。そ
の中でも携帯電話機のRF部に用いられるフィルタの1
つに、3個のIDT電極を近接配置して、1次と3次の
縦モードを強勢に励振し、これらを利用して構成した広
帯域の二重モードSAWフィルタがある。
2. Description of the Related Art In recent years, SAW filters have been widely used in the field of communications and have been widely used especially in mobile phones and the like because they have excellent characteristics such as high performance, small size and mass productivity. Among them, one of the filters used in the RF section of mobile phones
One is a broadband dual-mode SAW filter that is configured by using three IDT electrodes arranged close to each other to strongly excite the first and third longitudinal modes and to utilize them.

【0003】図14は従来の二重モードSAWフィルタ
の基本的構成を示す平面図であって、圧電基板11の主
表面上に表面波の伝搬方向に沿ってIDT電極12、1
3、14を近接配置すると共に、これらIDT電極1
2、13、14の両側にグレーティング反射器(以下、
反射器と称す)15a、15bをそれぞれ配設する。そ
して、IDT電極12、13、14はそれぞれ互いに間
挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形電極から形
成され、中央のIDT電極12の一方のくし形電極を入
力端子INにワイヤボンディング等を用いて接続すると
共に、他方のくし形電極を接地する。さらに、両外側の
IDT電極13、14のくし形電極同士をそれぞれ接続
すると共に、接続した一方を出力端子OUTに接続し、
他方を接地して二重モードSAWフィルタを構成する。
FIG. 14 is a plan view showing the basic structure of a conventional dual-mode SAW filter. IDT electrodes 12, 1 are formed on the main surface of piezoelectric substrate 11 along the propagation direction of surface waves.
3 and 14 are arranged close to each other, and these IDT electrodes 1
Grating reflectors on both sides of 2, 13 and 14 (hereinafter,
The reflectors 15a and 15b are provided respectively. The IDT electrodes 12, 13 and 14 are formed of a pair of comb-shaped electrodes each having a plurality of electrode fingers which are inserted into each other. One of the comb-shaped electrodes of the central IDT electrode 12 is connected to the input terminal IN by wire bonding or the like. Connection and ground the other comb electrode. Further, the comb-shaped electrodes of the outer IDT electrodes 13 and 14 are connected to each other, and one of the connected electrodes is connected to the output terminal OUT,
The other side is grounded to form a dual mode SAW filter.

【0004】図15に示すようにIDT電極12、1
3、14のそれぞれの電極指ピッチはいずれもLt(電
極周期をλとすると、λ=2Lt)とし、反射器15
a、15bの電極指ピッチはLrとする。そして、ID
T電極13、14と反射器15a、15bとの相隣接す
る電極指同士の中心間間隔Ltrは、弾性表面波の連続
性を考慮してλ/2に設定するのが一般的である。ま
た、反射器15a、15bのピッチLrは、これらが形
成するストップバンドBsが、IDT電極12、13、
14によって励起される1次と3次モードが形成する二
重モードSAWフィルタのパスバンドBを包含するよう
に設定するのが一般的である。このような構成とするこ
とにより、1次、3次モードのQ値を大きくすることが
でき、フィルタとしては通過域の平坦化と挿入損失の低
減とが可能となる。
As shown in FIG. 15, IDT electrodes 12 and 1
The electrode finger pitches of 3 and 14 are all Lt (where the electrode period is λ, λ = 2Lt), and the reflector 15
The electrode finger pitch of a and 15b is Lr. And ID
The center-to-center spacing Ltr between adjacent electrode fingers of the T electrodes 13 and 14 and the reflectors 15a and 15b is generally set to λ / 2 in consideration of the continuity of surface acoustic waves. In addition, the pitch Lr of the reflectors 15a and 15b is such that the stop band Bs formed by them is the IDT electrodes 12 and 13,
It is generally set to include the pass band B of the dual mode SAW filter formed by the first and third modes excited by 14. With such a configuration, the Q value of the first- and third-order modes can be increased, and the filter can flatten the pass band and reduce the insertion loss.

【0005】近年、携帯電話の急速な普及に対応して収
容するチャネル数を増大すべく、RFフィルタの帯域幅
の拡大が要求されるようになった。この要求を満たすた
めに種々の改善がなされたが、その1つに、図15に示
すように中央のIDT電極12と両外側のIDT電極1
3、14との相隣接する電極指同士の中心間間隔Ltt
をλ/2より小さくすることにより、二重モードSAW
フィルタの帯域幅が増大することが実験的に見いだされ
た。図16は電極指幅(ライン幅)Lnとスペース幅S
tとの比を50:50(Ln=St=λ/4)とし、L
ttをλ/4と設定した場合の電極パターンの平面図で
あって、中央のIDT電極と両外側のIDT電極との相
隣接する電極同士が互いに接した電極パターン図であ
る。相隣接IDT電極の境界部分にて2つの電極指が接
して1つの電極指を構成しているため、そのライン幅は
λ/2と幅広となる。現在では、二重モードSAWフィ
ルタの帯域幅の最大化を図るために、中心間間隔Ltt
を0.2λから0.3λの間に設定するのが一般的であ
り、図17は現在一般的に用いられている二重モードS
AWフィルタの電極パターンである。幅広の電極指は図
17に示すように、中央のIDT電極12’の両端に配
置しても、また、両外側のIDT電極13’ 、14’
の最内側に配置してもよく、全体の電極パターンとして
は中央のIDT電極12’の中心に対して対称に構成す
ることが望ましい。
In recent years, in order to increase the number of channels accommodated in response to the rapid spread of mobile phones, it has become necessary to increase the bandwidth of RF filters. Various improvements have been made to meet this requirement. One of them is, as shown in FIG. 15, a central IDT electrode 12 and outer IDT electrodes 1 on both sides.
Center-to-center spacing Ltt between adjacent electrode fingers 3 and 14
Is smaller than λ / 2, the dual mode SAW
It has been experimentally found that the bandwidth of the filter is increased. FIG. 16 shows the electrode finger width (line width) Ln and the space width S.
The ratio to t is 50:50 (Ln = St = λ / 4), and L
FIG. 6 is a plan view of an electrode pattern when tt is set to λ / 4, and is an electrode pattern diagram in which adjacent electrodes of a central IDT electrode and both outer IDT electrodes are in contact with each other. Since two electrode fingers are in contact with each other at the boundary between the adjacent IDT electrodes to form one electrode finger, the line width is as wide as λ / 2. Currently, in order to maximize the bandwidth of the dual mode SAW filter, the center-to-center spacing Ltt is set.
Is generally set between 0.2λ and 0.3λ, and FIG. 17 shows the dual mode S which is currently commonly used.
It is an electrode pattern of an AW filter. The wide electrode fingers are arranged at both ends of the central IDT electrode 12 'as shown in FIG.
May be arranged on the innermost side, and it is desirable that the entire electrode pattern is symmetrical with respect to the center of the central IDT electrode 12 '.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図17
に示すような従来の二重モードSAWフィルタにおいて
は、中央のIDT電極12’の両端にある幅広の電極指
Q1、Q2が、他の電極指幅(ライン幅)より広く設定
されているため、その部分において電極周期が異なるこ
とにより、励起される表面波の連続性が損なわれること
になる。そのため、二重モードSAWフィルタの挿入損
失が低減できないという問題があった。本発明は上記問
題を解決するためになされたものであって、帯域幅を拡
大すると共に挿入損失を低減した二重モードSAWフィ
ルタを提供することを目的とする。
However, as shown in FIG.
In the conventional dual-mode SAW filter as shown in, since the wide electrode fingers Q1 and Q2 at both ends of the central IDT electrode 12 'are set wider than other electrode finger widths (line widths), Since the electrode period is different in that portion, the continuity of the surface wave to be excited is impaired. Therefore, there is a problem that the insertion loss of the dual mode SAW filter cannot be reduced. The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a dual mode SAW filter having a wide bandwidth and a reduced insertion loss.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る弾性表面波フィルタの請求項1記載の発
明は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って
複数のIDT電極を互いに近接するよう配置すると共
に、これらIDT電極の両外側にグレーティング反射器
を配置した縦結合多重モード弾性表面波フィルタであっ
て、相隣接したIDT電極の隣接部近傍(隣接区間)に
おいては、IDT電極の隣接区間以外の部分の電極指ピ
ッチ(標準ピッチ:Lt)に比べ狭いピッチにて電極指
が配列されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ
である。請求項2記載の発明は、圧電基板の主表面上に
3つのIDT電極を近接配置して構成した1次−3次縦
結合二重モード弾性表面波フィルタであることを特徴と
する請求項1記載の弾性表面波フィルタである。請求項
3記載の発明は、中央に配置されたIDT電極よりも外
側に配置されたIDT電極側に広く前記隣接区間が設定
されていることを特徴とする請求項2記載の弾性表面波
フィルタである。請求項4記載の発明は、前記隣接区間
の電極指本数を4本とし、その電極指ピッチLt4と隣
接区間以外の電極指ピッチLtとの比 Lt4/Ltが
0.8000≦Lt4/Lt≦0.9111であること
を特徴とする請求項1乃至3記載の弾性表面波フィルタ
である。請求項5記載の発明は、前記隣接区間の電極指
本数を8本とし、その電極指ピッチLt8と隣接区間以
外の電極指ピッチLtとの比Lt8/Ltが0.894
1≦Lt8/Lt≦0.9530であることを特徴とす
る請求項1乃至3記載の弾性表面波フィルタである。請
求項6記載の発明は、前記隣接区間の電極指の幅と電極
指間のスペース幅とが等しいことを特徴とする請求項1
乃至5記載の弾性表面波フィルタである。請求項7記載
の発明は、前記隣接区間の中央部分の電極指ピッチが最
も狭く、外に向かって行くほど隣接区間以外の電極指ピ
ッチに近づくよう電極指ピッチが設定されていることを
特徴とする請求項1記載の弾性表面波フィルタである。
請求項8記載の発明は、前記隣接区間の電極指の幅と隣
接区間以外の電極指の幅とが等しいことを特徴とする請
求項1乃至5記載の弾性表面波フィルタである。
To achieve the above object, a surface acoustic wave filter according to a first aspect of the present invention has a plurality of surface acoustic wave filters arranged on a main surface of a piezoelectric substrate along a propagation direction of surface waves. A longitudinally coupled multi-mode surface acoustic wave filter in which IDT electrodes are arranged close to each other and grating reflectors are arranged on both outer sides of these IDT electrodes, in the vicinity (adjacent section) of adjacent portions of adjacent IDT electrodes. Is a surface acoustic wave filter characterized in that electrode fingers are arranged at a pitch narrower than an electrode finger pitch (standard pitch: Lt) in a portion other than the adjacent section of the IDT electrode. According to a second aspect of the present invention, there is provided a primary-third-order longitudinally coupled dual-mode surface acoustic wave filter configured by arranging three IDT electrodes close to each other on a main surface of a piezoelectric substrate. It is the surface acoustic wave filter described. The invention according to claim 3 is characterized in that the adjacent section is widely set on the side of the IDT electrode arranged outside the IDT electrode arranged at the center, in the surface acoustic wave filter according to claim 2. is there. In the invention according to claim 4, the number of electrode fingers in the adjacent section is 4, and the ratio Lt4 / Lt between the electrode finger pitch Lt4 and the electrode finger pitch Lt other than the adjacent section is 0.8000 ≦ Lt4 / Lt ≦ 0. 9. The surface acoustic wave filter according to claim 1, wherein the surface acoustic wave filter is 0.911. In the invention according to claim 5, the number of electrode fingers in the adjacent section is eight, and the ratio Lt8 / Lt between the electrode finger pitch Lt8 and the electrode finger pitch Lt other than the adjacent section is 0.894.
4. The surface acoustic wave filter according to claim 1, wherein 1 ≦ Lt8 / Lt ≦ 0.9530. The invention according to claim 6 is characterized in that the width of the electrode fingers in the adjacent section is equal to the space width between the electrode fingers.
The surface acoustic wave filter according to any one of claims 1 to 5. The invention according to claim 7 is characterized in that the electrode finger pitch in the central portion of the adjacent section is the narrowest, and the electrode finger pitch is set so as to approach the electrode finger pitches other than in the adjacent section toward the outside. The surface acoustic wave filter according to claim 1.
The invention according to claim 8 is the surface acoustic wave filter according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the widths of the electrode fingers in the adjacent section are equal to the widths of the electrode fingers in the sections other than the adjacent section.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る二
重モードSAWフィルタの電極パターン構成を示す平面
図であって、圧電基板(図示しない)上にSAWの伝搬
方向に沿って3つのIDT電極1、2、3を近接配置す
ると共に、それらの両側に反射器4a、4bを配設す
る。IDT電極1、2、3はそれぞれ互いに間挿し合う
複数の電極指を有する一対のくし形電極から形成され、
中央のIDT電極1の一方のくし形電極を入力端子IN
に接続すると共に、他方のくし形電極を接地する。さら
に、両外側のIDT電極2、3のくし形電極同士をそれ
ぞれ接続すると共に、接続した一方を出力端子OUTに
接続し、他方を接地して二重モードSAWフィルタを構
成する。本発明の二重モードSAWフィルタは中央のI
DT電極1の中心に対して対称に構成されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described below in detail based on the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a plan view showing an electrode pattern configuration of a dual mode SAW filter according to the present invention, in which three IDT electrodes 1, 2 and 3 are arranged close to each other along a SAW propagation direction on a piezoelectric substrate (not shown). The reflectors 4a and 4b are arranged on both sides of the arrangement. The IDT electrodes 1, 2, and 3 are formed of a pair of comb-shaped electrodes each having a plurality of electrode fingers which are interleaved with each other.
One of the comb-shaped electrodes of the center IDT electrode 1 is an input terminal IN
And ground the other comb electrode. Further, the comb-shaped electrodes of the IDT electrodes 2 and 3 on the both outer sides are connected to each other, and one of the connected electrodes is connected to the output terminal OUT and the other is grounded to form a dual mode SAW filter. The dual mode SAW filter of the present invention has a central I
It is configured symmetrically with respect to the center of the DT electrode 1.

【0009】本発明の特徴は中央のIDT電極1と、両
外側のIDT電極2、3との相隣接する近傍(以下、隣
接区間と称す)、即ち図1にLiにて示す区間におい
て、隣接区間以外における電極指ピッチよりも電極指ピ
ッチを狭くしたことにより、二重モードSAWフィルタ
の帯域幅が広くなり、且つ挿入損失が低減されるところ
にある。
The feature of the present invention is that the central IDT electrode 1 and the IDT electrodes 2 and 3 on both outer sides are adjacent to each other (hereinafter referred to as adjacent sections), that is, in the section indicated by Li in FIG. By making the electrode finger pitch narrower than the electrode finger pitch outside the section, the bandwidth of the dual mode SAW filter becomes wider and the insertion loss is reduced.

【0010】本発明の要部を、図面を用いて説明する。
図2(a)は図17に示した従来の二重モードSAWフ
ィルタの電極パターンの中央IDT電極12’と、外側
のIDT電極14’との隣接部を拡大して示した平面
図、同図(b)はその断面図で白抜きの電極指を、例え
ば(+)側とし、模様のある電極指を(−)側とする。
図2(a)に示すように中央IDT電極12’の幅広電
極指f2の中央に対して、対称にf1からf3までの3
本の電極指を選び、該電極指列の両側にある電極指fa
の右端の位置から、IDT電極14’の電極指fbの左
端の位置までこの区間をL4とする。ここでは、弾性表
面波の連続性が崩れる幅広の電極指f2の中心から左右
対称に隣接区間を選ぶことにする。また、隣接区間以外
の電極指ピッチをLtとする。この隣接区間L4にある
3本の電極指f1、f2、f3に代えて、図2(c)に
示すように新たに4本の電極指F1、F2、F3、F4
を均等な電極指ピッチLt4にて形成する。当然のこと
ながらLt4<Ltとなる。図2(d)は同図(c)の
断面図と、その極性とを表す。このように隣接区間L4
を均等な電極指ピッチの4本の電極指で置換した場合、
弾性表面波の連続性が改善される。
The main part of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 2A is an enlarged plan view showing the adjacent portion between the central IDT electrode 12 ′ and the outer IDT electrode 14 ′ of the electrode pattern of the conventional dual mode SAW filter shown in FIG. In FIG. 6B, the white electrode fingers in the cross-sectional view are, for example, the (+) side, and the patterned electrode fingers are the (−) side.
As shown in FIG. 2A, 3 from f1 to f3 are symmetrical with respect to the center of the wide electrode finger f2 of the central IDT electrode 12 ′.
Electrode fingers, select the electrode fingers fa on either side of the electrode finger row.
This section is defined as L4 from the right end position to the left end position of the electrode finger fb of the IDT electrode 14 '. Here, adjacent sections are selected symmetrically from the center of the wide electrode finger f2 in which the continuity of the surface acoustic wave is broken. Further, the electrode finger pitch other than the adjacent section is Lt. Instead of the three electrode fingers f1, f2, f3 in the adjacent section L4, four electrode fingers F1, F2, F3, F4 are newly added as shown in FIG. 2C.
Are formed with a uniform electrode finger pitch Lt4. As a matter of course, Lt4 <Lt. FIG. 2D shows the cross-sectional view of FIG. 2C and its polarity. Thus, the adjacent section L4
Is replaced by four electrode fingers with an even electrode finger pitch,
The continuity of surface acoustic waves is improved.

【0011】以上の実施例は、図17に示すIDT電極
同士の隣接区間にある電極指3本に代えて、新たに形成
したライン−スペース比を1:1とした4本の電極指で
置換した例である。これは先に述べたように図18
(a)に示す如く基本形(図15)連続する電極指ピッ
チLtとLttとが等しく構成されており、表面波が連
続して伝搬できるような構造となっていたが、同図
(b)に示すように相隣接するIDT電極同士を近接配
置したことによって、通過域を広げることができるもの
の表面波の連続性が損なわれることになった。そこで、
電極指ピッチが狭まった量(Lt−Ltt)をオフセッ
ト量Lofとすると、オフセット量Lofを一カ所に集
中さて幅広の電極指を一本配置するのではなく、隣接区
間L4に均等に狭ピッチの電極指を均等に分散配置する
ことにより、表面波の連続性を改善したところに本発明
の特徴がある。
In the above embodiment, instead of the three electrode fingers in the adjacent section of the IDT electrodes shown in FIG. 17, four electrode fingers having a newly formed line-space ratio of 1: 1 are replaced. It is an example. This is as shown in FIG.
As shown in (a), the basic (FIG. 15) continuous electrode finger pitches Lt and Ltt are configured to be equal, and the surface wave can be continuously propagated. As shown in the figure, by arranging the adjacent IDT electrodes close to each other, the pass band can be widened, but the continuity of the surface wave is impaired. Therefore,
When the offset amount Lof is the amount by which the electrode finger pitch is narrowed (Lt-Ltt), the offset amount Lof is not concentrated in one place and one wide electrode finger is arranged, but the narrow pitch is evenly distributed in the adjacent section L4. The present invention is characterized in that the continuity of the surface wave is improved by disposing the electrode fingers evenly.

【0012】図3の破線で示すフィルタ特性は、従来
(図17)の電極パターンを用いてPDC用のRFフィ
ルタ(PDC用デュアルフィルタの低周波RFフィル
タ)を試作した場合のパスバンド特性であって、圧電基
板に39°Y−X LiTaOを用い、中心周波数を8
77.5MHz、帯域幅15MHzに設定し、電極指とスペースの
比を50:50、電極指中心間間隔Lttをλ/4、中
央のIDT電極12’の対数を28.5対、両外側のIDT
電極13’、14’の対数を共に19.5対、交叉長Wを3
3λ(λは電極周期)、反射器15’a、15’bの本
数をそれぞれ90本とした場合である。これに対し実線で
示すフィルタ特性は図2(c)、(d)に示したように
隣接区間L4に在った3本の電極指を、均等電極指ピッ
チLt4にて形成した4本の電極指とスペースとで置換
した場合のパスバンド特性である。新たに形成した4本
の電極指のピッチ比α=Lt4/Ltはα=0.8773とな
る。更に本発明を適用する場合には、基準とする二重モ
ードSAWフィルタの電極指間隔Lttとしてこれまで
一般的に用いられていた0.2λ≦Ltt≦0.3λの範囲の
みならず、0.1λ≦Ltt≦0.3λの範囲で通過帯域幅の
広帯域化が実現できることが判明した。よって、この例
に於いて電極指のピッチ比αとして設定し得る範囲は
0.8000≦α≦0.9111となる。図3から明ら
かなように、第1の実施例になる二重モードSAWフィ
ルタは、従来のフィルタに比べて帯域幅が広がると共に
挿入損失が低減されることが判明した。
The filter characteristic shown by the broken line in FIG. 3 is the passband characteristic when an RF filter for PDC (low frequency RF filter of dual filter for PDC) is prototyped using the conventional electrode pattern (FIG. 17). Then, 39 ° Y-X LiTaO 3 was used for the piezoelectric substrate, and the center frequency was set to 8
77.5MHz, bandwidth 15MHz, electrode finger to space ratio is 50:50, electrode finger center spacing Ltt is λ / 4, center IDT electrode 12 'is 28.5 pairs, IDTs on both outer sides
The number of pairs of electrodes 13 'and 14' is 19.5 pairs, and the crossover length W is 3
This is the case where the number of 3λ (λ is the electrode period) and the number of reflectors 15′a and 15′b are 90, respectively. On the other hand, the filter characteristic indicated by the solid line is the four electrodes formed by the three electrode fingers existing in the adjacent section L4 at the uniform electrode finger pitch Lt4 as shown in FIGS. 2C and 2D. It is a passband characteristic when it is replaced with a finger and a space. The pitch ratio α = Lt4 / Lt of the newly formed four electrode fingers is α = 0.8773. Further, when the present invention is applied, not only the range of 0.2λ ≦ Ltt ≦ 0.3λ which has been generally used as the electrode finger spacing Ltt of the reference dual-mode SAW filter but also 0.1λ ≦ Ltt. It was found that the pass band can be widened within the range of ≤0.3λ. Therefore, in this example, the range that can be set as the pitch ratio α of the electrode fingers is 0.8000 ≦ α ≦ 0.9111. As is clear from FIG. 3, the dual-mode SAW filter according to the first embodiment has been found to have a wider bandwidth and a lower insertion loss than the conventional filter.

【0013】図4の破線で示すフィルタ特性は、従来
(図17)の電極パターンを用いてAMPS用のRFフ
ィルタを試作した場合のパスバンド特性であって、圧電
基板に39°Y−X LiTaOを用い、中心周波数
を881.5MHz、帯域幅25MHzに設定し、ライン幅とスペ
ースとの比を50:50、電極指中心間間隔Lttを
0.3λ、中央のIDT電極12’の対数を19.5対、両
側のIDT電極13’、14’の対数を13.5対、交叉長
Wを45λ(λは電極周期)、反射器15’a、15’b
の本数をそれぞれ120本とした二重モードSAWフィル
タを2段縦続接続した場合のフィルタ特性である。これ
に対し実線で示すパスバンド特性は、図2(c)、
(d)に示したように隣接区間L4を均等電極指ピッチ
Lt4の電極指4本とスペースとで置換した二重モード
SAWフィルタを2段縦続接続した場合のフィルタ特性
である。新たに形成した4本の電極指のピッチ比α=L
t4/Ltはα=0.889である。図4からも本発明の効
果として帯域幅の拡大と挿入損失の低減とが確認でき
る。
The filter characteristic shown by the broken line in FIG. 4 is a pass band characteristic when an RF filter for AMPS was prototyped using the conventional electrode pattern (FIG. 17), and 39 ° Y-X LiTaO was formed on the piezoelectric substrate. 3 , the center frequency is set to 881.5 MHz and the bandwidth is set to 25 MHz, the line width to space ratio is 50:50, the electrode finger center-to-center spacing Ltt is 0.3λ, and the logarithm of the center IDT electrode 12 ′ is 19.5. Pair, the number of pairs of IDT electrodes 13 'and 14' on both sides is 13.5 pairs, the crossover length W is 45λ (λ is the electrode period), and reflectors 15'a and 15'b
2 is a filter characteristic in the case where two dual-mode SAW filters each having 120 are connected in cascade. On the other hand, the passband characteristic shown by the solid line is shown in FIG.
As shown in (d), the filter characteristics are obtained when two-stage cascade connection of a dual-mode SAW filter in which the adjacent section L4 is replaced with four electrode fingers having a uniform electrode finger pitch Lt4 and a space. Pitch ratio of newly formed four electrode fingers α = L
t4 / Lt is α = 0.89. It can be confirmed from FIG. 4 that the effect of the present invention is to increase the bandwidth and reduce the insertion loss.

【0014】図5は本発明に係る第2の実施の形態を示
す例であって、図5(a)は図17に示した従来の二重
モードSAWフィルタの中央のIDT電極12’と、外
側のIDT電極14’との要部を拡大して示した電極パ
ターンの平面図、同図(b)はその断面図である。図5
(a)に示すように中央IDT電極12’の幅広電極指
f4の中央を基準として、対称にf1からf7までの7
本の電極指を選び、該電極指列の両側にある電極指fa
の右端の位置から、IDT電極14’の電極指fbの左
端の位置までの区間をL8とする。隣接区間L8の選定
は幅広の電極指f4の中心とし、左右対称に選ぶものと
する。この隣接区間内L8にある7本の電極指に代え
て、均等な電極指ピッチLt8の8本の電極指F1、F
2、F3、F4、F5、F6、F7、F8を形成する。
図5(d)は同図(c)の断面図とその極性を表してい
る。このように幅広を含む隣接区間L8の電極を等ピッ
チの電極指列で代えることにより、隣接区間L8におけ
る弾性表面波の連続性が改善されることになり、フィル
タの挿入損失が改善されることが期待される。
FIG. 5 is an example showing a second embodiment according to the present invention. FIG. 5 (a) is a central IDT electrode 12 'of the conventional dual mode SAW filter shown in FIG. The plan view of the electrode pattern which expanded and showed the principal part with IDT electrode 14 'of the outer side, the same figure (b) is the sectional drawing. Figure 5
As shown in (a), with respect to the center of the wide electrode finger f4 of the central IDT electrode 12 ', 7 from f1 to f7 are symmetrically arranged.
Electrode fingers, select the electrode fingers fa on either side of the electrode finger row.
The section from the right end position to the left end position of the electrode finger fb of the IDT electrode 14 ′ is L8. The adjacent section L8 is selected symmetrically with respect to the center of the wide electrode finger f4. Instead of the seven electrode fingers in the adjacent section L8, eight electrode fingers F1 and F having a uniform electrode finger pitch Lt8 are used.
2, F3, F4, F5, F6, F7, F8 are formed.
FIG. 5D shows the cross-sectional view of FIG. 5C and its polarity. In this way, by replacing the electrodes in the adjacent section L8 including the wide area with electrode finger rows of equal pitch, the continuity of the surface acoustic wave in the adjacent section L8 is improved and the insertion loss of the filter is improved. There is expected.

【0015】図6の破線で示すフィルタ特性は、従来
(図17)の電極パターンを用いてPDC用のRFフィ
ルタを試作した場合のフィルタの特性であって、図3に
示した諸定数を用いている。同図の実線で示すフィルタ
特性は図5(c)、(d)に示したように、IDT電極
同志が相隣接する隣接区間L8に電極指を1本増やすと
共に、均等電極指ピッチLt8の8本の電極指列で置換
した場合のパスバンド特性を示している。電極指のピッ
チ比α=Lt8/Ltは0.9235である。前述したよう
に、基準となる二重モードSAWフィルタの電極指間間
隔Lttを0.1λ≦Ltt≦0.3λとすると、電極指のピ
ッチ比αの設定し得る範囲は0.8941≦Lt8/L
t≦0.9530となる。図6から明らかなように従来
の二重モードSAWフィルタ(破線)に比べ、第2の実
施例の二重モードSAWフィルタ(実線)では、フィル
タ特性通過帯域も広がり、挿入損失も低減していること
が分かる。また、図3と6とを比較すると8本の電極指
で置換したフィルタの方が4本のものより、パスバンド
は広く、挿入損失は小さくなっていることが判明した。
これは表面波の連続性がより改善されたものと推測され
る。
The filter characteristic shown by the broken line in FIG. 6 is the characteristic of the filter when the RF filter for PDC was prototyped using the conventional electrode pattern (FIG. 17), and the constants shown in FIG. 3 were used. ing. As shown in FIGS. 5 (c) and 5 (d), the filter characteristic indicated by the solid line in the figure is such that one electrode finger is added to the adjacent section L8 where the IDT electrodes are adjacent to each other and the uniform electrode finger pitch Lt8 is 8 The passband characteristics when replaced with a row of electrode fingers are shown. The electrode finger pitch ratio α = Lt8 / Lt is 0.9235. As described above, when the inter-electrode finger spacing Ltt of the reference dual-mode SAW filter is 0.1λ ≦ Ltt ≦ 0.3λ, the settable range of the electrode finger pitch ratio α is 0.8941 ≦ Lt8 / L.
It becomes t <= 0.9530. As is apparent from FIG. 6, compared with the conventional dual mode SAW filter (broken line), the dual mode SAW filter (solid line) of the second embodiment has a wider filter characteristic pass band and reduced insertion loss. I understand. Also, comparing FIGS. 3 and 6, it was found that the filter replaced with eight electrode fingers had a wider pass band and smaller insertion loss than the filter with four electrodes.
It is speculated that this is because the continuity of the surface wave is further improved.

【0016】図7は従来例(図17)を上段に、第3の
実施例の形態を下段に断面図にて示したものである。幅
広の電極指f5を中心として図中左右に同数の電極指4
本づつ計9本を選び、該電極指列の両側にある電極指f
1の左端の位置から、電極指f9の右端の位置までの区
間をL10とする。該隣接区間L10にある電極指f1
からf9の9本の電極指に代えて、新たに電極指F1か
らF10の10本の電極指を形成する。その電極指ピッ
チは図7の下段に示すよに、隣接区間L10の左右から
対称にピッチp1、p2、p3と選び、p1>p2>p
3と中央部分の電極指ピッチが最も狭く、外に向かって
行くほど隣接区間以外の電極指ピッチに近づくように電
極指ピッチを設定する。具体的にはV字型あるいはU字
型、または逆台形型(p1>p2=p3)となるように
設定する。隣接区間L10以外の電極ピッチLtに対
し、隣接区間L10ピッチpiの変化ができるだけ少な
くなるように設定する方が弾性表面波の連続性が損なわ
れないもと推測される。
FIG. 7 is a sectional view showing the conventional example (FIG. 17) in the upper stage and the form of the third embodiment in the lower stage. The same number of electrode fingers 4 on the left and right in the drawing centering on the wide electrode finger f5
Select a total of nine electrodes, and select the electrode fingers f on both sides of the electrode finger row.
The section from the left end position of 1 to the right end position of the electrode finger f9 is L10. Electrode finger f1 in the adjacent section L10
Instead of the nine electrode fingers F9 to f9, ten electrode fingers F1 to F10 are newly formed. As shown in the lower part of FIG. 7, the electrode finger pitch is symmetrically selected from the left and right of the adjacent section L10 as pitches p1, p2, and p3, and p1>p2> p.
The electrode finger pitch of 3 and the central portion is the narrowest, and the electrode finger pitch is set so as to approach the electrode finger pitches other than the adjacent section as going outward. Specifically, it is set to be V-shaped, U-shaped, or inverted trapezoidal (p1> p2 = p3). It is presumed that the continuity of the surface acoustic wave is not impaired by setting the change in the pitch pi of the adjacent section L10 as small as possible with respect to the electrode pitch Lt other than the adjacent section L10.

【0017】図8の破線で示すフィルタ特性は、従来例
(図17)の電極パターンを用いてPDC用のRFフィ
ルタ(PDCデュアルフィルタの高周波RFフィルタ)
を試作した場合のパスバンド特性であって、圧電基板に
39°Y−X LiTaOを用い、中心周波数を1489.
0MHz、帯域幅24MHzに設定し、ラインとスペースとの
比を60:40、電極指中心間間隔Lttを0.3λ、
中央のIDT電極12’の対数を22.5対、両側のIDT
電極13’、14’の対数を15.5対、交叉長Wを30λ
(λは電極周期)、反射器15’a、15’bの本数を
それぞれ90本とした場合のフィルタ特性である。これに
対し実線で示すパスバンド特性は図7の下段に示したよ
うに、隣接区間L10内にある9本の電極指を、電極指
ピッチpi(i=1,2,3)にて形成した10本の電
極指で置換した場合のパスバンド特性である。電極指ピ
ッチp1、p2、p3は、元の電極指ピッチLtに対し
て電極指ピッチ比αiを用いて、pi=αi・Ltとあ
らわせる。図8の例ではピッチ比αiは逆台形状でそれ
ぞれ0.9667、0.9333、0.9333とした。ピッチの変化とし
てはこれ以外にV字形(1次式、|a(x−b)|)、
U字形(2次式、a(x−b))等が考えられる。図
8から明らかなように本発明の二重モードSAWフィル
タは、従来のフィルタに比べて帯域幅が広がると共に挿
入損失が低減されることが分かった。
The filter characteristic shown by the broken line in FIG. 8 is the RF filter for PDC (high frequency RF filter of PDC dual filter) using the electrode pattern of the conventional example (FIG. 17).
The pass band characteristics in the case where the prototype was manufactured, 39 ° Y-X LiTaO 3 was used for the piezoelectric substrate, and the center frequency was 1489.
0MHz, bandwidth 24MHz, line to space ratio 60:40, electrode finger center spacing Ltt 0.3λ,
22.5 pairs of IDT electrodes 12 'in the center, IDTs on both sides
The number of pairs of electrodes 13 'and 14' is 15.5 pairs and the crossover length W is 30λ.
(Λ is the electrode period) and filter characteristics when the number of reflectors 15′a and 15′b is 90, respectively. On the other hand, as shown in the lower part of FIG. 7, the pass band characteristic shown by the solid line is formed by forming nine electrode fingers in the adjacent section L10 at the electrode finger pitch pi (i = 1, 2, 3). It is a pass band characteristic when replacing with 10 electrode fingers. The electrode finger pitches p1, p2, p3 are expressed as pi = αi · Lt by using the electrode finger pitch ratio αi with respect to the original electrode finger pitch Lt. In the example of FIG. 8, the pitch ratio αi is set to 0.9667, 0.9333, and 0.9333 in an inverted trapezoidal shape, respectively. In addition to this, the change in pitch is V-shaped (linear expression, | a (x-b) |),
A U-shape (quadratic expression, a (x-b) 2 ) or the like is considered. As is clear from FIG. 8, it was found that the dual-mode SAW filter of the present invention has a wider bandwidth and a smaller insertion loss than the conventional filter.

【0018】図9は第4の実施例の形態を示す図であっ
て、同図(a)は基準となる従来例(図17)、同図
(b)、(c)は第4の実施例の電極パターンの構成を
示す断面図と、平面図である。今までの実施例では電極
指を1本増やす隣接区間として、幅広の電極指を中心と
して左右対称に隣接区間を決めていたが、本例では隣接
区間の中心の選び方を幅広の中心から外側のIDT電極
の方へずらして、外側のIDT電極の電極指を多く含む
ように選んだ例である。図9(a)に示すように中央の
IDT電極12’の電極指faの右端の位置から、外側
のIDT電極14’の電極指fbの左端の位置までの区
間をL4とする。この隣接区間L4内には幅広の電極指
f1と、電極指ピッチLtの電極指f2、f3があり、
これら3本の電極指f1、f2、f3に代えて、均等な
電極指ピッチLt4の4本の電極指F1、F2、F3、
F4を形成する。当然のことながらLt4<Ltとな
り、電極指ピッチ比はα4=Lt4/Lt<1となる。
FIG. 9 is a diagram showing the form of the fourth embodiment. FIG. 9 (a) is a reference example of the prior art (FIG. 17), and FIGS. 9 (b) and 9 (c) are the fourth embodiment. It is sectional drawing and the top view which show the structure of an example electrode pattern. In the above-described embodiments, the adjacent section is determined symmetrically around the wide electrode finger as the adjacent section in which the number of electrode fingers is increased by one, but in this example, the center of the adjacent section is selected from the wide center to the outer side. This is an example in which the IDT electrode is shifted toward the IDT electrode to include many electrode fingers of the outer IDT electrode. As shown in FIG. 9A, a section from the right end position of the electrode finger fa of the central IDT electrode 12 ′ to the left end position of the electrode finger fb of the outer IDT electrode 14 ′ is L4. In this adjacent section L4, there are wide electrode fingers f1 and electrode fingers f2 and f3 having an electrode finger pitch Lt,
Instead of these three electrode fingers f1, f2, f3, four electrode fingers F1, F2, F3 having an even electrode finger pitch Lt4,
Form F4. As a matter of course, Lt4 <Lt, and the electrode finger pitch ratio is α4 = Lt4 / Lt <1.

【0019】図10の破線で示すのフィルタ特性は、図
2(c)、(d)に示した本発明に係る4本の均等電極
指ピッチで構成した二重モードSAWフィルタのパスバ
ンド特性で、諸定数は図4に示した定数を用いた。同図
の実線で示すフィルタ特性が第4の実施例を用いた二重
モードSAWフィルタのものであって、図9(b)、
(c)に示したように隣接区間L4に存在した電極指を
3本を取り去り、1本増やして4本の電極指を均等ピッ
チにて形成した場合のパスバンド特性である。終端イン
ピーダンスがミスマッチングしているために、パスバン
ド内にリップルが生じているが、電極対数を適正に設定
することによりパスバンドを平坦にすることができる。
この例にように電極指ピッチを狭くする隣接区間は、必
ずしも幅広の電極指を中心として対称に選ぶ必要はな
く、外寄りのIDT電極の方へ偏ってもよい。
The filter characteristic shown by the broken line in FIG. 10 is the pass band characteristic of the dual mode SAW filter constituted by four equal electrode finger pitches according to the present invention shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d). , The constants shown in FIG. 4 were used. The filter characteristic shown by the solid line in the figure is that of the dual mode SAW filter using the fourth embodiment, and
As shown in (c), the pass band characteristic is obtained when three electrode fingers existing in the adjacent section L4 are removed, and one electrode finger is added to form four electrode fingers at an equal pitch. Ripple occurs in the passband due to the mismatching of the termination impedance, but the passband can be made flat by setting the number of electrode pairs appropriately.
Adjacent sections where the electrode finger pitch is narrowed as in this example do not necessarily have to be symmetrically selected about the wide electrode finger, and may be biased toward the outer IDT electrode.

【0020】図11(a)は基準となる従来(図17)
の二重モードSAWフィルタの電極パターンを示す断面
図であり、(b)は本発明に係る第5の実施例の形態を
示す電極パターンの断面図である。図11(a)の幅広
の電極指を中心として両隣の電極指f1に左端の位置か
ら、電極指f3の右端に位置までの区間をL3とする。
この隣接区間L3にある3本の電極指f1、f2、f3
に代えて、新たに4本の電極指F1、F2、F3、F4
を形成する。何れの電極指もライン幅は元のライン幅L
nのままとし、電極指f1はそのままF1とし、電極指
f3はそのままF4とする。そして、電極指f2に代え
てライン幅Lnの2本の電極指F2、F3を等ピッチに
配置する。それ故、電極指間のスペースS2が基準のス
ペース幅Stと比べて狭くなる。即ち、S2は次式から
求めることができる。 3S2=2St+(Ltt−λ/4)・・・・・・・・・(1) つまり、従来のオフセットが一カ所に集中していたもの
を3カ所に分散させ、表面波の連続性の改善を図ったも
のである。
FIG. 11 (a) shows a conventional reference (FIG. 17).
It is sectional drawing which shows the electrode pattern of the dual mode SAW filter of (b) is sectional drawing of the electrode pattern which shows the form of the 5th Example which concerns on this invention. L3 is a section from the left end position of the adjacent electrode fingers f1 centering on the wide electrode finger of FIG. 11A to the right end position of the electrode finger f3.
The three electrode fingers f1, f2, f3 in this adjacent section L3
Instead of four electrode fingers F1, F2, F3, F4
To form. The line width of either electrode finger is the original line width L.
The electrode finger f1 is left as F1 and the electrode finger f3 is left as F4. Then, instead of the electrode finger f2, two electrode fingers F2 and F3 having a line width Ln are arranged at equal pitches. Therefore, the space S2 between the electrode fingers becomes narrower than the reference space width St. That is, S2 can be obtained from the following equation. 3S2 = 2St + (Ltt-λ / 4) ... (1) In other words, the conventional offsets that were concentrated in one place were dispersed in three places to improve the continuity of surface waves. Is intended.

【0021】図12の破線で示すフィルタ特性は、従来
(図17)の電極パターンを用いてAMPS用のRFフ
ィルタを試作した場合のパスバンド特性であって、圧電
基板に39°Y−X LiTaOを用い、中心周波数
を881.5MHz、帯域幅25MHzに設定し、電極指とスペー
スの比を50:50、電極指中心間間隔Lttを0.3
λ、中央のIDT電極12’の対数を19.5対、両側のI
DT電極13’、14’の対数を13.5対、交叉長Wを45
λ(λは電極周期)、反射器15’a、15’bの本数
をそれぞれ120本とした二重モードSAWフィルタを2
段縦続接続したフィルタのパスバンド特性である。これ
に対し実線で示すフィルタ特性は、基準の電極指間隔L
ttを0.275λとした上で、図11(b)に示すように
隣接区間L3の電極指ピッチL’t4を0.425λとした
二重モードSAWフィルタを2段縦続接続したフィルタ
のパスバンド特性である。ここでスペースS2は0.175
λとなる。図12からも本発明の効果である帯域幅の拡
大と挿入損失の低減が明らかである。また、図13は減
衰域のフィルタ特性を示す図で、破線は従来(図17)
のフィルタの特性、実線が本発明のフィルタ特性を示
す。低域側において本発明のフィルタの特性が若干改善
されていることが分かる。
The filter characteristic shown by the broken line in FIG. 12 is a pass band characteristic when an RF filter for AMPS was prototyped using a conventional (FIG. 17) electrode pattern, and 39 ° Y-X LiTaO was formed on the piezoelectric substrate. 3 , the center frequency is set to 881.5 MHz, the bandwidth is set to 25 MHz, the electrode finger / space ratio is 50:50, and the electrode finger center-to-center spacing Ltt is 0.3.
λ, the number of pairs of IDT electrodes 12 'in the center is 19.5 pairs, I on both sides
The number of pairs of DT electrodes 13 'and 14' is 13.5 pairs, and the crossover length W is 45.
Two double-mode SAW filters each having λ (where λ is the electrode period) and 120 reflectors 15'a and 15'b are provided.
It is the pass band characteristic of the filter connected in cascade. On the other hand, the filter characteristic shown by the solid line is the reference electrode finger spacing L.
As shown in FIG. 11 (b), the passband characteristics of a filter in which two double-mode SAW filters in which the electrode finger pitch L't4 of the adjacent section L3 is 0.425λ are cascaded are set after setting tt to 0.275λ. is there. Space S2 is 0.175
becomes λ. It is clear from FIG. 12 that the effect of the present invention is to increase the bandwidth and reduce the insertion loss. Further, FIG. 13 is a diagram showing the filter characteristics in the attenuation range, and the broken line is the conventional (FIG. 17)
The characteristics of the filter, and the solid line shows the characteristics of the filter of the present invention. It can be seen that the characteristics of the filter of the present invention are slightly improved on the low frequency side.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、本発明に係る二重モードSAWフィルタにおいて
は、その通過帯域幅が広がると共に、挿入損失を低減す
るという優れた効果を表す。
Since the present invention is configured as described above, the dual mode SAW filter according to the present invention exhibits the excellent effects of widening the pass band width and reducing the insertion loss.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る二重モードSAWフィルタの電極
パターンの構成を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of an electrode pattern of a dual mode SAW filter according to the present invention.

【図2】(a)、(b)は基準となる従来の二重モード
SAWフィルタの要部の拡大平面図とその断面図、
(c)、(d)は本発明に係る第1の実施例の要部の拡
大平面図とその断面図である。
2 (a) and 2 (b) are enlarged plan views and cross-sectional views of a main part of a conventional dual-mode SAW filter that serves as a reference;
(C) and (d) are an enlarged plan view and a sectional view of an essential part of the first embodiment according to the present invention.

【図3】本発明に係る第1の実施例の電極パターンを用
いて試作したPDC用RFフィルタのパスバンド特性で
ある。
FIG. 3 is a pass band characteristic of an RF filter for PDC manufactured by using the electrode pattern according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明に係る第1の実施例の電極パターンを用
いて試作したAMPS用RFフィルタのパスバンド特性
である。
FIG. 4 is a passband characteristic of an AMPS RF filter prototyped using the electrode pattern of the first embodiment according to the present invention.

【図5】(a)、(b)は基準となる従来の二重モード
SAWフィルタの要部の拡大平面図とその断面図、
(c)、(d)は本発明に係る第2の実施例の要部の拡
大平面図とその断面図である。
5 (a) and 5 (b) are enlarged plan views and a cross-sectional view of an essential part of a conventional dual-mode SAW filter serving as a reference,
(C) and (d) are an enlarged plan view and a sectional view of an essential part of a second embodiment according to the present invention.

【図6】第2の実施例の電極パターンを用いて試作した
PDC用RFフィルタのパスバンド特性である。
FIG. 6 is a pass band characteristic of an RF filter for PDC manufactured by using the electrode pattern of the second embodiment.

【図7】上段は基準となる従来の二重モードSAWフィ
ルタの要部の拡大断面図であり、下段は本発明に係る第
3の実施例の要部の拡大断面図である。
FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of an essential part of a conventional dual-mode SAW filter serving as a reference, and a lower stage is an enlarged cross-sectional view of an essential part of a third embodiment according to the present invention.

【図8】第3の実施例の電極パターンを用いて試作した
PDC用RFフィルタのパスバンド特性である。
FIG. 8 is a pass band characteristic of an RF filter for PDC manufactured by using the electrode pattern of the third embodiment.

【図9】(a)は基準となる従来の二重モードSAWフ
ィルタの要部の拡大断面図、(b)、(c)は本発明に
係る第4の実施例の要部の拡大断面図と平面図である。
9A is an enlarged cross-sectional view of an essential part of a conventional dual-mode SAW filter as a reference, and FIGS. 9B and 9C are enlarged sectional views of an essential part of a fourth embodiment according to the present invention. FIG.

【図10】実線は第4の実施例の電極パターンを用いて
試作したフィルタのパスバンド特性、破線は図2に示す
第1の実施例の電極パターンを用いて試作したフィルタ
のパスバンド特性である。
10 is a passband characteristic of a filter prototyped using the electrode pattern of the fourth embodiment, and a broken line is a passband characteristic of a filter prototyped using the electrode pattern of the first embodiment shown in FIG. is there.

【図11】(a)は基準となる従来の二重モードSAW
フィルタの要部の拡大断面図、(b)は本発明に係る第
5の実施例の要部の拡大断面図である。
FIG. 11A is a conventional dual-mode SAW serving as a reference.
FIG. 7B is an enlarged cross-sectional view of the main part of the filter, and FIG. 9B is an enlarged cross-sectional view of the main part of the fifth embodiment according to the present invention.

【図12】実線は本発明に係る第5の実施例の電極パタ
ーンを用いて試作したフィルタのパスバンド特性、破線
は従来の電極パターンを用いたときのパスバンド特性で
ある。
FIG. 12 is a passband characteristic of a filter prototyped using the electrode pattern of the fifth embodiment of the present invention, and a broken line is a passband characteristic when a conventional electrode pattern is used.

【図13】実線は本発明に係る第5の実施例の電極パタ
ーンを用いて試作したフィルタの減衰域特性、破線は従
来の電極パターンを用いたときの減衰域特性である。
FIG. 13 shows the attenuation band characteristic of a filter prototyped using the electrode pattern of the fifth embodiment of the present invention, and the broken line shows the attenuation band characteristic when the conventional electrode pattern is used.

【図14】従来の二重モードSAWフィルタの構成を示
す基本の電極パターンの平面図である。
FIG. 14 is a plan view of a basic electrode pattern showing a configuration of a conventional dual mode SAW filter.

【図15】従来の二重モードSAWフィルタの構成を示
す基本の電極パターンの各部の寸法を示す図である。
FIG. 15 is a diagram showing dimensions of respective parts of a basic electrode pattern showing a configuration of a conventional dual mode SAW filter.

【図16】通過帯域幅を拡大すべく構成した従来の二重
モードSAWフィルタの構成を示す電極パターン図であ
る。
FIG. 16 is an electrode pattern diagram showing the configuration of a conventional dual-mode SAW filter configured to expand the pass band width.

【図17】図16を実用に供するようにした従来の二重
モードSAWフィルタの構成を示す電極パターン図であ
る。
FIG. 17 is an electrode pattern diagram showing a configuration of a conventional dual-mode SAW filter adapted to put FIG. 16 into practical use.

【図18】(a)は従来の二重モードSAWフィルタの
基本形の電極パターンを示す断面図、帯域幅を拡大した
場合の電極パターンの断面図と、各部の寸法とを示す。
FIG. 18A is a cross-sectional view showing a basic electrode pattern of a conventional dual-mode SAW filter, a cross-sectional view of the electrode pattern when the bandwidth is expanded, and dimensions of each part.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、2、3・・IDT電極 4a、4b・・反射器 Li、L3、L4、L8、L10・・2つのIDT電極
の隣接する隣接区間 fa、fb、f1、f2f3、f4、f5、f6、f
7、f8、f9・・電極指 F1、F2、F3、F4、F5、F6、F7、F8、F
9、F10・・電極指 p1、p2、p3・・電極のピッチ S2・・スペース
1, 2, 3 ... IDT electrodes 4a, 4b ... Reflectors Li, L3, L4, L8, L10 ... Adjoining adjacent sections fa, fb, f1, f2f3, f4, f5, f6 of two IDT electrodes, f
7, f8, f9 ... Electrode fingers F1, F2, F3, F4, F5, F6, F7, F8, F
9, F10 ... Electrode fingers p1, p2, p3 ... Electrode pitch S2 ... Space

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
に沿って複数のIDT電極を互いに近接するよう配置す
ると共に、これらIDT電極の両外側にグレーティング
反射器を配置した縦結合多重モード弾性表面波フィルタ
であって、 相隣接したIDT電極の隣接部近傍(隣接区間)におい
ては、IDT電極の隣接区間以外の部分の電極指ピッチ
(Lt)に比べ狭いピッチにて電極指が配列されている
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
1. A longitudinally coupled multimode in which a plurality of IDT electrodes are arranged close to each other along the propagation direction of a surface wave on the main surface of a piezoelectric substrate, and grating reflectors are arranged on both outer sides of these IDT electrodes. In the surface acoustic wave filter, the electrode fingers are arranged at a pitch narrower than the electrode finger pitch (Lt) in a portion other than the adjacent section of the IDT electrode near the adjacent section (adjacent section) of the adjacent IDT electrodes. A surface acoustic wave filter characterized in that
【請求項2】 圧電基板の主表面上に3つのIDT電極
を近接配置して構成した1次−3次縦結合二重モード弾
性表面波フィルタであることを特徴とする請求項1記載
の弾性表面波フィルタ。
2. The elastic member according to claim 1, which is a primary-third-order longitudinally coupled dual-mode surface acoustic wave filter constituted by arranging three IDT electrodes close to each other on a main surface of a piezoelectric substrate. Surface wave filter.
【請求項3】 中央に配置されたIDT電極よりも外側
に配置されたIDT電極側に広く前記隣接区間が設定さ
れていることを特徴とする請求項2記載の弾性表面波フ
ィルタ。
3. The surface acoustic wave filter according to claim 2, wherein the adjacent section is widely set on the side of the IDT electrode arranged outside the centrally arranged IDT electrode.
【請求項4】 前記隣接区間の電極指本数を4本とし、
その電極指ピッチLt4と隣接区間以外の電極指ピッチ
Ltとの比Lt4/Ltが0.8000≦Lt4/Lt
≦0.9111であることを特徴とする請求項1乃至3
記載の弾性表面波フィルタ。
4. The number of electrode fingers in the adjacent section is four,
The ratio Lt4 / Lt between the electrode finger pitch Lt4 and the electrode finger pitch Lt other than the adjacent section is 0.8000 ≦ Lt4 / Lt.
4. The relationship according to claim 1, wherein .ltoreq.0.9111.
The surface acoustic wave filter described.
【請求項5】 前記隣接区間の電極指本数を8本とし、
その電極指ピッチLt8と隣接区間以外の電極指ピッチ
Ltとの比Lt8/Ltが0.8941≦Lt8/Lt
≦0.9530であることを特徴とする請求項1乃至3
記載の弾性表面波フィルタ。
5. The number of electrode fingers in the adjacent section is 8,
The ratio Lt8 / Lt between the electrode finger pitch Lt8 and the electrode finger pitch Lt other than the adjacent section is 0.8941 ≦ Lt8 / Lt.
≤ 0.9530, wherein:
The surface acoustic wave filter described.
【請求項6】 前記隣接区間の電極指の幅と電極指間の
スペース幅とが等しいことを特徴とする請求項1乃至5
記載の弾性表面波フィルタ。
6. The width of the electrode fingers in the adjacent section and the space width between the electrode fingers are equal to each other.
The surface acoustic wave filter described.
【請求項7】 前記隣接区間の中央部分の電極指ピッチ
が最も狭く、外に向かって行くほど隣接区間以外の電極
指ピッチに近づくよう電極指ピッチが設定されているこ
とを特徴とする請求項1記載の弾性表面波フィルタ。
7. The electrode finger pitch in the central portion of the adjacent section is the narrowest, and the electrode finger pitch is set so as to approach the electrode finger pitches other than in the adjacent section toward the outside. The surface acoustic wave filter according to 1.
【請求項8】 前記隣接区間の電極指の幅と隣接区間以
外の電極指の幅とが等しいことを特徴とする請求項1乃
至5記載の弾性表面波フィルタ。
8. The surface acoustic wave filter according to claim 1, wherein the width of the electrode fingers in the adjacent section is equal to the width of the electrode fingers in the sections other than the adjacent section.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7102468B2 (en) 2003-07-02 2006-09-05 Kyocera Corporation Surface acoustic wave device and communication apparatus using the same
US7378923B2 (en) 2004-12-24 2008-05-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Balanced SAW filter
US7425882B2 (en) 2004-08-23 2008-09-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Balanced-type surface acoustic wave filter

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