JP2003112936A - 光ファイバ母材の製造方法、及び製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法、及び製造装置Info
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- JP2003112936A JP2003112936A JP2001309055A JP2001309055A JP2003112936A JP 2003112936 A JP2003112936 A JP 2003112936A JP 2001309055 A JP2001309055 A JP 2001309055A JP 2001309055 A JP2001309055 A JP 2001309055A JP 2003112936 A JP2003112936 A JP 2003112936A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01211—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube
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- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
- C03B37/01248—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing by collapsing without drawing
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＯＨ損失が低減された光ファイバの作製を可
能とする光ファイバ母材の作製方法を提供する。 【解決手段】 ガラスロッド５０をガラスパイプ５１に
挿入した後、バルブ９ｖを閉めるとともにバルブ８ｖを
開け、ガス供給管７からシールボックス３ａ及びガラス
パイプ５１を経てシールボックス３ｂに至る経路と、ガ
ス供給管７からバイパス管８を経てシールボックス３ｂ
に至る経路とにＣｌ2ガスを流す。このとき、ガラスパ
イプ５１の内圧を外気圧より高くする。この状態で、ガ
ラスパイプ５１及びガラスロッド５０の一部を周方向全
体にわたって加熱一体化する。次に、バルブ８ｖを閉め
るとともにバルブ９ｖを開け、真空ポンプ４を用いてガ
ラスパイプ５１の内圧を外気圧より下げる。そして、す
でに加熱一体化された部分からシールボックス３ａの方
向へ酸水素火炎バーナ５を移動させ、光ファイバ母材を
製造する。
能とする光ファイバ母材の作製方法を提供する。 【解決手段】 ガラスロッド５０をガラスパイプ５１に
挿入した後、バルブ９ｖを閉めるとともにバルブ８ｖを
開け、ガス供給管７からシールボックス３ａ及びガラス
パイプ５１を経てシールボックス３ｂに至る経路と、ガ
ス供給管７からバイパス管８を経てシールボックス３ｂ
に至る経路とにＣｌ2ガスを流す。このとき、ガラスパ
イプ５１の内圧を外気圧より高くする。この状態で、ガ
ラスパイプ５１及びガラスロッド５０の一部を周方向全
体にわたって加熱一体化する。次に、バルブ８ｖを閉め
るとともにバルブ９ｖを開け、真空ポンプ４を用いてガ
ラスパイプ５１の内圧を外気圧より下げる。そして、す
でに加熱一体化された部分からシールボックス３ａの方
向へ酸水素火炎バーナ５を移動させ、光ファイバ母材を
製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスパイプ内に
ガラスパイプを挿入し、両者を加熱一体化して光ファイ
バ母材を製造する方法及びその製造装置に関する。
ガラスパイプを挿入し、両者を加熱一体化して光ファイ
バ母材を製造する方法及びその製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラスパイプ内にガラスパイプよりも屈
折率の高いガラスロッドを挿入した後に両者を加熱して
一体化するロッドインコラプス法は、分散補償ファイバ
或いは分散シフトファイバといった複雑な構造を有する
光ファイバ用の母材を製造するに適した方法として広く
用いられている。
折率の高いガラスロッドを挿入した後に両者を加熱して
一体化するロッドインコラプス法は、分散補償ファイバ
或いは分散シフトファイバといった複雑な構造を有する
光ファイバ用の母材を製造するに適した方法として広く
用いられている。
【０００３】しかしながら、ロッドインコラプス法にお
いて、ガラスパイプとガラスロッドとの間隙部に大気中
の水蒸気等が残留していた場合には、コラプス後の光フ
ァイバ母材内に水分が取り込まれてしまうことになる。
このような水分が取り込まれた母材から光ファイバを作
製すると、その光ファイバにおいてはＯＨ基に起因する
吸収損失(ＯＨ損失)が大きくなってしまうという問題が
あった。
いて、ガラスパイプとガラスロッドとの間隙部に大気中
の水蒸気等が残留していた場合には、コラプス後の光フ
ァイバ母材内に水分が取り込まれてしまうことになる。
このような水分が取り込まれた母材から光ファイバを作
製すると、その光ファイバにおいてはＯＨ基に起因する
吸収損失(ＯＨ損失)が大きくなってしまうという問題が
あった。
【０００４】このような問題を解決するため、ガラスロ
ッドとガラスパイプとの間隙部に塩素ガスを流すといっ
たことが行われる。図６は、従来の母材製造装置１００
を示す概略図である。母材製造装置１００を用いた母材
製造方法においては、先ず、ガラスパイプ１５１がパイ
プ保持部材１０２に保持され、さらにガラスパイプ１５
１の端部に継手１０３ａ，１０３ｂが取り付けられる。
次に、ガラスパイプ１５１の内部に所定のエッチングガ
スが流され、熱源１０５を用いて、ガラスパイプ１５１
の内面がエッチングされた後に、ガラスロッド１５０が
挿入される。次に、ガス管１０１から継手１０３ｂを介
してガラスパイプ１５１内にＣｌ2ガスが流されるとと
もに、ガラスパイプ１５１の内部が真空ポンプ１０４に
より減圧される。そして、熱源１０５を継手１０３ｂ側
から継手１０３ａの方へと移動させながら、ガラスパイ
プ１５１とガラスロッド１５０とを加熱一体化し光ファ
イバ母材が製造される。母材製造装置１００を用いた上
記の製造方法においては、ガラスパイプ１５１とガラス
ロッド１５０との間に流される塩素ガスにより、ガラス
パイプ１５１の内面及びガラスロッド１５０の外周面に
吸着する水分が除去される。そのため、ＯＨ損失が低減
された光ファイバを製造可能な光ファイバ母材が製造さ
れる。
ッドとガラスパイプとの間隙部に塩素ガスを流すといっ
たことが行われる。図６は、従来の母材製造装置１００
を示す概略図である。母材製造装置１００を用いた母材
製造方法においては、先ず、ガラスパイプ１５１がパイ
プ保持部材１０２に保持され、さらにガラスパイプ１５
１の端部に継手１０３ａ，１０３ｂが取り付けられる。
次に、ガラスパイプ１５１の内部に所定のエッチングガ
スが流され、熱源１０５を用いて、ガラスパイプ１５１
の内面がエッチングされた後に、ガラスロッド１５０が
挿入される。次に、ガス管１０１から継手１０３ｂを介
してガラスパイプ１５１内にＣｌ2ガスが流されるとと
もに、ガラスパイプ１５１の内部が真空ポンプ１０４に
より減圧される。そして、熱源１０５を継手１０３ｂ側
から継手１０３ａの方へと移動させながら、ガラスパイ
プ１５１とガラスロッド１５０とを加熱一体化し光ファ
イバ母材が製造される。母材製造装置１００を用いた上
記の製造方法においては、ガラスパイプ１５１とガラス
ロッド１５０との間に流される塩素ガスにより、ガラス
パイプ１５１の内面及びガラスロッド１５０の外周面に
吸着する水分が除去される。そのため、ＯＨ損失が低減
された光ファイバを製造可能な光ファイバ母材が製造さ
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者らが鋭意検討を重ねた結果、以下のことが明らかとな
った。母材製造装置１００においては、継手１０３ｂと
ガラスパイプ１５１との接続部には通常シール材が用い
られるが、シール材によってもガラスパイプ１５１が完
全に気密されるわけではなかった。しかも、上記従来の
製造方法では、ガラスパイプ１５１の内部は真空ポンプ
１０４によって外部よりも低圧に保たれるため、例え
ば、図６に矢印Ａで示すように、シール材とガラスパイ
プ１５１との接触部から外気が引き込まれることがあっ
た。そのため、ガラスパイプ１５１の内面及びガラスロ
ッド１５０の外周面に、外気中に含まれる水分が吸着さ
れることとなっていた。この状態で加熱一体化を行なう
と、水分が光ファイバ母材に取り込まれることとなる。
そのため、この光ファイバ母材から製造される光ファイ
バではＯＨ損失を十分に低減することができなかった。
者らが鋭意検討を重ねた結果、以下のことが明らかとな
った。母材製造装置１００においては、継手１０３ｂと
ガラスパイプ１５１との接続部には通常シール材が用い
られるが、シール材によってもガラスパイプ１５１が完
全に気密されるわけではなかった。しかも、上記従来の
製造方法では、ガラスパイプ１５１の内部は真空ポンプ
１０４によって外部よりも低圧に保たれるため、例え
ば、図６に矢印Ａで示すように、シール材とガラスパイ
プ１５１との接触部から外気が引き込まれることがあっ
た。そのため、ガラスパイプ１５１の内面及びガラスロ
ッド１５０の外周面に、外気中に含まれる水分が吸着さ
れることとなっていた。この状態で加熱一体化を行なう
と、水分が光ファイバ母材に取り込まれることとなる。
そのため、この光ファイバ母材から製造される光ファイ
バではＯＨ損失を十分に低減することができなかった。
【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであり、ＯＨ損失が低減された光ファイバの作製を可
能とする光ファイバ母材の作製方法を提供することを目
的とする。
のであり、ＯＨ損失が低減された光ファイバの作製を可
能とする光ファイバ母材の作製方法を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の一側面に係る光
ファイバ母材の製造方法は、ガラスロッドをガラスパイ
プ内に挿入し、両者を熱源により加熱一体化して光ファ
イバ母材を製造する方法であって、(１)ガラスロッドが
ガラスパイプ内に挿入された状態で、ガラスパイプ内に
ハロゲンを含むガスを流してガラスパイプ内の圧力をそ
の外部の圧力よりも高く保ち、(２)ガラスパイプの一方
端側の任意の位置においてガラスロッドとガラスパイプ
とを加熱一体化し、(３)ガラスパイプの他方端側からガ
ラスパイプ内のハロゲンを含むガスを排気してガラスパ
イプ内の圧力をその外部の圧力よりも下げ、(４)上記任
意の位置から他方端へと向かう方向に熱源を移動させな
がらガラスパイプとガラスロッドとを加熱一体化するこ
とを特徴とする。
ファイバ母材の製造方法は、ガラスロッドをガラスパイ
プ内に挿入し、両者を熱源により加熱一体化して光ファ
イバ母材を製造する方法であって、(１)ガラスロッドが
ガラスパイプ内に挿入された状態で、ガラスパイプ内に
ハロゲンを含むガスを流してガラスパイプ内の圧力をそ
の外部の圧力よりも高く保ち、(２)ガラスパイプの一方
端側の任意の位置においてガラスロッドとガラスパイプ
とを加熱一体化し、(３)ガラスパイプの他方端側からガ
ラスパイプ内のハロゲンを含むガスを排気してガラスパ
イプ内の圧力をその外部の圧力よりも下げ、(４)上記任
意の位置から他方端へと向かう方向に熱源を移動させな
がらガラスパイプとガラスロッドとを加熱一体化するこ
とを特徴とする。
【０００８】上記の製造方法においては、ガラスロッド
が挿入されたガラスパイプの内部にハロゲンを含むガス
が流され、ガラスパイプの内部の圧力が外気圧よりも高
く保たれる。そのため、ガラスパイプ内に外気が侵入す
るのが防止される。また、ガラスパイプ内の圧力がその
外部の圧力よりも高い状態で、ガラスパイプの一方端側
の所定の位置においてガラスパイプ及びガラスロッドが
加熱一体化される。その後、他方端からガラスパイプ内
が減圧される。このときには、加熱一体化された部分に
よってガラスパイプ内は密閉されているので、ガラスパ
イプ内が減圧されても、ガラスパイプ内に外気が侵入す
ることはない。すなわち、上記の製造方法によれば、ガ
ラスパイプの内面及びガラスロッドの外周面が外気に含
まれる水分に汚染されることはない。また、ガラスパイ
プ内にハロゲンを含むガスが流されるため、ガラスパイ
プの内面及びガラスロッドの外周面に当初より吸着して
いた水分が効果的に除去される。よって、水分が光ファ
イバ母材に混入されるのが防止される。そのため、ＯＨ
損失が低減された光ファイバの作製を可能とする光ファ
イバ母材が製造される。
が挿入されたガラスパイプの内部にハロゲンを含むガス
が流され、ガラスパイプの内部の圧力が外気圧よりも高
く保たれる。そのため、ガラスパイプ内に外気が侵入す
るのが防止される。また、ガラスパイプ内の圧力がその
外部の圧力よりも高い状態で、ガラスパイプの一方端側
の所定の位置においてガラスパイプ及びガラスロッドが
加熱一体化される。その後、他方端からガラスパイプ内
が減圧される。このときには、加熱一体化された部分に
よってガラスパイプ内は密閉されているので、ガラスパ
イプ内が減圧されても、ガラスパイプ内に外気が侵入す
ることはない。すなわち、上記の製造方法によれば、ガ
ラスパイプの内面及びガラスロッドの外周面が外気に含
まれる水分に汚染されることはない。また、ガラスパイ
プ内にハロゲンを含むガスが流されるため、ガラスパイ
プの内面及びガラスロッドの外周面に当初より吸着して
いた水分が効果的に除去される。よって、水分が光ファ
イバ母材に混入されるのが防止される。そのため、ＯＨ
損失が低減された光ファイバの作製を可能とする光ファ
イバ母材が製造される。
【０００９】本発明の別の側面に係る光ファイバ母材の
製造方法は、ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入し、
両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を製造
する方法であって、(１)ガラスロッドがガラスパイプ内
に挿入された状態で、ガス供給部からガラスパイプの一
方端へ至る第１流路、この一方端からガラスパイプ内を
経てガラスパイプの他方端へ至る第２流路、及び他方端
から排気部へ至る第３流路を順次通過するようにハロゲ
ンを含むガスを流してガラスパイプ内の圧力をその外部
の圧力よりも高く保つとともに、第１流路から第３流路
へ至る第４流路にハロゲンを含むガスを流し、(２)ガラ
スパイプの他方端側の任意の位置においてガラスロッド
とガラスパイプとを加熱一体化し、(３)第４流路を閉止
するとともにガラスパイプの一方端からガラスパイプ内
のハロゲンを含むガスを排気してガラスパイプ内の圧力
をその外部の圧力よりも下げ、(４)任意の位置から一方
端へと向かう方向に熱源を移動させてガラスパイプとガ
ラスロッドとを加熱一体化することを特徴とする。
製造方法は、ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入し、
両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を製造
する方法であって、(１)ガラスロッドがガラスパイプ内
に挿入された状態で、ガス供給部からガラスパイプの一
方端へ至る第１流路、この一方端からガラスパイプ内を
経てガラスパイプの他方端へ至る第２流路、及び他方端
から排気部へ至る第３流路を順次通過するようにハロゲ
ンを含むガスを流してガラスパイプ内の圧力をその外部
の圧力よりも高く保つとともに、第１流路から第３流路
へ至る第４流路にハロゲンを含むガスを流し、(２)ガラ
スパイプの他方端側の任意の位置においてガラスロッド
とガラスパイプとを加熱一体化し、(３)第４流路を閉止
するとともにガラスパイプの一方端からガラスパイプ内
のハロゲンを含むガスを排気してガラスパイプ内の圧力
をその外部の圧力よりも下げ、(４)任意の位置から一方
端へと向かう方向に熱源を移動させてガラスパイプとガ
ラスロッドとを加熱一体化することを特徴とする。
【００１０】このようにしても、ガラスパイプ内に外気
が侵入するのを防止できる。そのため、ガラスパイプの
内面及びガラスロッドの外周面が外気に含まれる水分に
汚染されることはない。よって、光ファイバ母材中に水
分が混入されるのが防止される。その結果、ＯＨ損失が
低減された光ファイバの作製を可能とする光ファイバ母
材が製造される。
が侵入するのを防止できる。そのため、ガラスパイプの
内面及びガラスロッドの外周面が外気に含まれる水分に
汚染されることはない。よって、光ファイバ母材中に水
分が混入されるのが防止される。その結果、ＯＨ損失が
低減された光ファイバの作製を可能とする光ファイバ母
材が製造される。
【００１１】本発明の別の側面に係る光ファイバ母材の
製造方法は、ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入し、
両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を製造
する方法であって、(１)ガラスロッドがガラスパイプ内
に挿入された状態で、ガス供給部からガラスパイプの一
方端へ至る第１流路、一方端からガラスパイプ内を経て
ガラスパイプの他方端へ至る第２流路、及び他方端から
ガス排気部へ至る第３流路を順次通過するようにハロゲ
ンを含むガスを流してガラスパイプ内の圧力をその外部
の圧力よりも高く保つとともに、ガス供給部から第３流
路へ至る第５流路にガスを流し、(２)ガラスパイプの他
方端側の任意の位置においてガラスロッドとガラスパイ
プとを加熱一体化し、(３)ガラスパイプの一方端からガ
ラスパイプ内のハロゲンを含むガスを排気してガラスパ
イプ内の圧力をその外部の圧力よりも下げ、(４)任意の
位置から一方端へと向かう方向に熱源を移動させてガラ
スパイプとガラスロッドとを加熱一体化することを特徴
とする。この製造方法によっても、ＯＨ損失が低減され
た光ファイバの作製を可能とする光ファイバ母材が製造
される。なお、上記の第５の流路を流れるガスとして
は、第１流路から第２流路を経て第３流路を流れるハロ
ゲンを含むガスと同一のガスであってよく、また、水分
除去された窒素(Ｎ2)ガス、及び水分除去されたヘリウ
ム(Ｈｅ)又はアルゴン(Ａｒ)等の不活性ガスでもよい。
製造方法は、ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入し、
両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を製造
する方法であって、(１)ガラスロッドがガラスパイプ内
に挿入された状態で、ガス供給部からガラスパイプの一
方端へ至る第１流路、一方端からガラスパイプ内を経て
ガラスパイプの他方端へ至る第２流路、及び他方端から
ガス排気部へ至る第３流路を順次通過するようにハロゲ
ンを含むガスを流してガラスパイプ内の圧力をその外部
の圧力よりも高く保つとともに、ガス供給部から第３流
路へ至る第５流路にガスを流し、(２)ガラスパイプの他
方端側の任意の位置においてガラスロッドとガラスパイ
プとを加熱一体化し、(３)ガラスパイプの一方端からガ
ラスパイプ内のハロゲンを含むガスを排気してガラスパ
イプ内の圧力をその外部の圧力よりも下げ、(４)任意の
位置から一方端へと向かう方向に熱源を移動させてガラ
スパイプとガラスロッドとを加熱一体化することを特徴
とする。この製造方法によっても、ＯＨ損失が低減され
た光ファイバの作製を可能とする光ファイバ母材が製造
される。なお、上記の第５の流路を流れるガスとして
は、第１流路から第２流路を経て第３流路を流れるハロ
ゲンを含むガスと同一のガスであってよく、また、水分
除去された窒素(Ｎ2)ガス、及び水分除去されたヘリウ
ム(Ｈｅ)又はアルゴン(Ａｒ)等の不活性ガスでもよい。
【００１２】本発明に係る光ファイバ母材の製造装置
は、ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入し、両者を熱
源により加熱一体化して光ファイバ母材を製造する製造
装置であって、(１)ガラスロッドが挿入されたガラスパ
イプ内にハロゲンを含むガスを供給する供給管と、(２)
ガラスパイプ内に供給されたハロゲンを含むガスを排気
する排気管と、(３)供給管と排気管とに接続されたバイ
パス管と、(４)一方端が供給管に接続された減圧管と、
(５)減圧管の他方端に接続され、ガラスパイプの内部を
その外部より低圧にする真空ポンプと、(６)バイパス管
及び減圧管の流体通路をそれぞれ開閉するバルブと、を
備えることを特徴とする。
は、ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入し、両者を熱
源により加熱一体化して光ファイバ母材を製造する製造
装置であって、(１)ガラスロッドが挿入されたガラスパ
イプ内にハロゲンを含むガスを供給する供給管と、(２)
ガラスパイプ内に供給されたハロゲンを含むガスを排気
する排気管と、(３)供給管と排気管とに接続されたバイ
パス管と、(４)一方端が供給管に接続された減圧管と、
(５)減圧管の他方端に接続され、ガラスパイプの内部を
その外部より低圧にする真空ポンプと、(６)バイパス管
及び減圧管の流体通路をそれぞれ開閉するバルブと、を
備えることを特徴とする。
【００１３】なお、ここに言う光ファイバ母材とは、線
引きして光ファイバを製造するのに用いられる部材、或
いは、その側面にジャケット部を合成して所謂光ファイ
バプリフォームを製造するのに使用される光ファイバ母
材中間体又は前駆体といった部材を意味する。
引きして光ファイバを製造するのに用いられる部材、或
いは、その側面にジャケット部を合成して所謂光ファイ
バプリフォームを製造するのに使用される光ファイバ母
材中間体又は前駆体といった部材を意味する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光ファイバ母
材の製造装置及び方法の好適な実施形態について図面を
参照しながら説明する。なお、図面の説明においては、
同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略
する。
材の製造装置及び方法の好適な実施形態について図面を
参照しながら説明する。なお、図面の説明においては、
同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略
する。
【００１５】（第１の実施形態）図１は、第１の実施形
態による光ファイバ母材の製造装置の構造を示す概略図
である。同図において、母材製造装置１は、ガラスパイ
プを保持するパイプ保持部材２、ガラスパイプの端部に
取り付けられるシールボックス３ａ，３ｂを有する。ま
た、母材製造装置１は、ガラスパイプの内部を減圧する
真空ポンプ４、ガラスパイプとガラスロッドとを加熱一
体化する酸水素火炎バーナ５、及びパイプ保持部材２が
固定される基台６を備える。また、シールボックス３ａ
にはガス供給管７が接続され、シールボックス３ｂには
排気管１０が接続されている。ガス供給管７は図示しな
いガス供給系から供給されるガスをシールボックス３ａ
に導く。ガス供給系からは、塩素(Ｃｌ2)ガスといった
脱水効果の高いガスや弗化硫黄(ＳＦ6)といったエッチ
ングガスが供給される。ガス供給管７には、ガス供給管
７から分岐してシールボックス３ｂに至るバイパス管８
が設けられている。また、ガス供給管７には、ガス供給
管７から分岐し真空ポンプ４に繋がる減圧管９が設けら
れている。バイパス管８にバルブ８ｖが設けられ、減圧
管９にバルブ９ｖが設けられている。これらのバルブ８
ｖ，９ｖの操作により、ガスの流路を決定できる。
態による光ファイバ母材の製造装置の構造を示す概略図
である。同図において、母材製造装置１は、ガラスパイ
プを保持するパイプ保持部材２、ガラスパイプの端部に
取り付けられるシールボックス３ａ，３ｂを有する。ま
た、母材製造装置１は、ガラスパイプの内部を減圧する
真空ポンプ４、ガラスパイプとガラスロッドとを加熱一
体化する酸水素火炎バーナ５、及びパイプ保持部材２が
固定される基台６を備える。また、シールボックス３ａ
にはガス供給管７が接続され、シールボックス３ｂには
排気管１０が接続されている。ガス供給管７は図示しな
いガス供給系から供給されるガスをシールボックス３ａ
に導く。ガス供給系からは、塩素(Ｃｌ2)ガスといった
脱水効果の高いガスや弗化硫黄(ＳＦ6)といったエッチ
ングガスが供給される。ガス供給管７には、ガス供給管
７から分岐してシールボックス３ｂに至るバイパス管８
が設けられている。また、ガス供給管７には、ガス供給
管７から分岐し真空ポンプ４に繋がる減圧管９が設けら
れている。バイパス管８にバルブ８ｖが設けられ、減圧
管９にバルブ９ｖが設けられている。これらのバルブ８
ｖ，９ｖの操作により、ガスの流路を決定できる。
【００１６】パイプ保持部材２は回転可能に設けられて
おり、基台６に備えられた回転駆動装置(図示せず)によ
り回転される。これにより、パイプ保持部材２に保持さ
れたガラスパイプ５１を周方向に回転することができ
る。シールボックス３ａ，３ｂは、ガラスパイプの端部
と接触する位置においてシール材(図示せず)を有する。
このシール材は、例えばバイトン(Viton、商標名)とい
った材料から作製されてよい。このシール材により、シ
ールボックス３ａ，３ｂとガラスパイプ５１とが密着さ
れる。シールボックス３ａ，３ｂは、また、回転可能に
設けられている。そのため、シールボックス３ａ，３ｂ
は、パイプ保持部材２により周方向に回転されるガラス
パイプ５１ととも回転する。
おり、基台６に備えられた回転駆動装置(図示せず)によ
り回転される。これにより、パイプ保持部材２に保持さ
れたガラスパイプ５１を周方向に回転することができ
る。シールボックス３ａ，３ｂは、ガラスパイプの端部
と接触する位置においてシール材(図示せず)を有する。
このシール材は、例えばバイトン(Viton、商標名)とい
った材料から作製されてよい。このシール材により、シ
ールボックス３ａ，３ｂとガラスパイプ５１とが密着さ
れる。シールボックス３ａ，３ｂは、また、回転可能に
設けられている。そのため、シールボックス３ａ，３ｂ
は、パイプ保持部材２により周方向に回転されるガラス
パイプ５１ととも回転する。
【００１７】続いて、母材製造装置１を用いた第１の実
施形態による光ファイバ母材の製造方法について、図２
(ａ)，(ｂ)を参照して説明する。図２(ａ)は、ガラスロ
ッドとガラスパイプとを加熱一体化する前のＣｌ2ガス
の流れを示す図である。図２(ｂ)は、ガラスロッドとガ
ラスパイプとの一部が加熱一体化された後のＣｌ2ガス
の流れを示す図である。
施形態による光ファイバ母材の製造方法について、図２
(ａ)，(ｂ)を参照して説明する。図２(ａ)は、ガラスロ
ッドとガラスパイプとを加熱一体化する前のＣｌ2ガス
の流れを示す図である。図２(ｂ)は、ガラスロッドとガ
ラスパイプとの一部が加熱一体化された後のＣｌ2ガス
の流れを示す図である。
【００１８】先ず、光ファイバ母材のコア部となるべき
ガラスロッド５０と、光ファイバ母材のクラッド部とな
るべきガラスパイプ５１とを用意する。ガラスロッド５
０は、例えばＶＡＤ法により作製されてよく、Ｇｅを含
有する石英ガラスからなると好ましい。また、ガラスロ
ッド５０の純石英ガラスに対する比屈折率差は例えば
１．４５％程度とすることができる。ガラスパイプ５１
は、例えばＶＡＤ法で作製されてよく、Ｆが添加された
石英ガラスからなると好ましい。また、ガラスパイプ５
１の純石英ガラスに対する比屈折率差は例えば−０．４
５％程度とすることができる。このようなガラスロッド
５０及びガラスパイプ５１が用意された後、ガラスパイ
プ５１をパイプ保持部材２に取り付け、このガラスパイ
プ５１の一方の端部にシールボックス３ａを取り付け、
他方の端部にシールボックス３ｂを取り付ける。
ガラスロッド５０と、光ファイバ母材のクラッド部とな
るべきガラスパイプ５１とを用意する。ガラスロッド５
０は、例えばＶＡＤ法により作製されてよく、Ｇｅを含
有する石英ガラスからなると好ましい。また、ガラスロ
ッド５０の純石英ガラスに対する比屈折率差は例えば
１．４５％程度とすることができる。ガラスパイプ５１
は、例えばＶＡＤ法で作製されてよく、Ｆが添加された
石英ガラスからなると好ましい。また、ガラスパイプ５
１の純石英ガラスに対する比屈折率差は例えば−０．４
５％程度とすることができる。このようなガラスロッド
５０及びガラスパイプ５１が用意された後、ガラスパイ
プ５１をパイプ保持部材２に取り付け、このガラスパイ
プ５１の一方の端部にシールボックス３ａを取り付け、
他方の端部にシールボックス３ｂを取り付ける。
【００１９】その後、バルブ９ｖを閉めるとともにバル
ブ８ｖを開け、ガス供給系よりＳＦ 6ガス及びＣｌ2ガス
をそれぞれ所定の流量で供給する。これにより、ガラス
パイプ５１の内部はこれらのガスで置換される。上記の
ガスを流したまま、酸水素火炎バーナ５を用いてガラス
パイプ５１を加熱し、ガラスパイプ５１の内面をエッチ
ングする。ここで、ガラスパイプ５１の有効部となるべ
き部分において、酸水素火炎バーナ５をほぼ一定の速度
で移動させ、エッチング量がほぼ一定となるようにす
る。このエッチングによりガラスパイプ５１の内径が所
定の値となった後、エッチングを終了させる。
ブ８ｖを開け、ガス供給系よりＳＦ 6ガス及びＣｌ2ガス
をそれぞれ所定の流量で供給する。これにより、ガラス
パイプ５１の内部はこれらのガスで置換される。上記の
ガスを流したまま、酸水素火炎バーナ５を用いてガラス
パイプ５１を加熱し、ガラスパイプ５１の内面をエッチ
ングする。ここで、ガラスパイプ５１の有効部となるべ
き部分において、酸水素火炎バーナ５をほぼ一定の速度
で移動させ、エッチング量がほぼ一定となるようにす
る。このエッチングによりガラスパイプ５１の内径が所
定の値となった後、エッチングを終了させる。
【００２０】続けて、シールボックス３ｂをガラスパイ
プ５１から取り外し、ガラスパイプの内部にガラスロッ
ド５０を挿入する。再びシールボックス３ｂをガラスパ
イプ５１に取り付けた後、ガス供給系からＣｌ2ガスを
供給する。このとき、バルブ８ｖは開いており、バルブ
９ｖは閉まっている。そのため、図２(ａ)に示す通り、
Ｃｌ2ガスは２つの経路を流れる。その一方は、ガス供
給管７からシールボックス３ａ及びガラスパイプ５１を
通ってシールボックス３ｂに至る経路(以下、経路１)で
ある。他方は、ガス供給管７からバイパス管８を通って
シールボックス３ｂへ至る経路(以下、経路２)である。
これらの経路を流れるＣｌ2ガスの流量は、ガラスロッ
ド５０とガラスパイプ５１との間隙部の圧力がガラスパ
イプ５１の外側の気圧よりも高くなるように設定され
る。このようにガラスパイプ５０とガラスパイプ５１と
の間隙部の圧力が外気圧よりも高い場合には、シールボ
ックス３ｂのシール材がガラスパイプ５１と接する部分
に対しても外圧より高い圧力が加わる。そのため、外気
がシールボックス３ｂの内部に侵入するのが防止され
る。ここで、Ｃｌ2ガスの流量は、使用するガラスパイ
プの肉厚等に応じて適宜決定されてよい。例えば、この
流量は２５０ｃｍ3／ｍｉｎ以上１０００ｃｍ3／ｍｉｎ
以下であると好適である。２５０ｃｍ3／ｍｉｎより少
ない場合は、外気の侵入を十分に防止できない。また、
１０００ｃｍ3／ｍｉｎより多い場合は、加熱部でガラ
スパイプが変形するといった事態となる。さらに、この
流量は５００ｃｍ3／ｍｉｎ以上１０００ｃｍ3／ｍｉｎ
以下であると更に好適である。
プ５１から取り外し、ガラスパイプの内部にガラスロッ
ド５０を挿入する。再びシールボックス３ｂをガラスパ
イプ５１に取り付けた後、ガス供給系からＣｌ2ガスを
供給する。このとき、バルブ８ｖは開いており、バルブ
９ｖは閉まっている。そのため、図２(ａ)に示す通り、
Ｃｌ2ガスは２つの経路を流れる。その一方は、ガス供
給管７からシールボックス３ａ及びガラスパイプ５１を
通ってシールボックス３ｂに至る経路(以下、経路１)で
ある。他方は、ガス供給管７からバイパス管８を通って
シールボックス３ｂへ至る経路(以下、経路２)である。
これらの経路を流れるＣｌ2ガスの流量は、ガラスロッ
ド５０とガラスパイプ５１との間隙部の圧力がガラスパ
イプ５１の外側の気圧よりも高くなるように設定され
る。このようにガラスパイプ５０とガラスパイプ５１と
の間隙部の圧力が外気圧よりも高い場合には、シールボ
ックス３ｂのシール材がガラスパイプ５１と接する部分
に対しても外圧より高い圧力が加わる。そのため、外気
がシールボックス３ｂの内部に侵入するのが防止され
る。ここで、Ｃｌ2ガスの流量は、使用するガラスパイ
プの肉厚等に応じて適宜決定されてよい。例えば、この
流量は２５０ｃｍ3／ｍｉｎ以上１０００ｃｍ3／ｍｉｎ
以下であると好適である。２５０ｃｍ3／ｍｉｎより少
ない場合は、外気の侵入を十分に防止できない。また、
１０００ｃｍ3／ｍｉｎより多い場合は、加熱部でガラ
スパイプが変形するといった事態となる。さらに、この
流量は５００ｃｍ3／ｍｉｎ以上１０００ｃｍ3／ｍｉｎ
以下であると更に好適である。
【００２１】ガラスパイプ５１の内部がＣｌ2ガスで十
分に置換された後、ガラスパイプ５１の内部の圧力をそ
の外部の圧力より高く保ったまま、ガラスパイプ５１を
酸水素火炎バーナ５で加熱して脱水処理を行なう。これ
により、ガラスロッド５０の外周面及びガラスパイプ５
１の内面に付着する水分を除去する。その後、ガラスパ
イプ５１の内部(間隙部)の圧力をその外部の圧力よりも
高く保ったまま、ガラスパイプ５１のシールボックス３
ｂ側の任意の位置(以下、開始位置)でガラスパイプ５１
とガラスロッド５０との一部を加熱一体化する。ここ
で、ガラスパイプ５１をパイプ保持部材２により回転さ
せて、ガラスパイプ５１とガラスロッド５０とを周方向
全体にわたって均一に一体化させる。そして、周方向の
全体にわたって一体化された後、ガス供給系からのＣｌ
2ガス供給を停止し、バルブ８ｖを閉めるとともにバル
ブ９ｖを開ける。すると、ガラスパイプ５１とガラスロ
ッド５０との間隙部のＣｌ2ガスは真空ポンプ４により
排気され、間隙部の圧力は外気圧よりも低くなる。当該
間隙部のＣｌ2ガスが排気される様子を図２(ｂ)に示
す。
分に置換された後、ガラスパイプ５１の内部の圧力をそ
の外部の圧力より高く保ったまま、ガラスパイプ５１を
酸水素火炎バーナ５で加熱して脱水処理を行なう。これ
により、ガラスロッド５０の外周面及びガラスパイプ５
１の内面に付着する水分を除去する。その後、ガラスパ
イプ５１の内部(間隙部)の圧力をその外部の圧力よりも
高く保ったまま、ガラスパイプ５１のシールボックス３
ｂ側の任意の位置(以下、開始位置)でガラスパイプ５１
とガラスロッド５０との一部を加熱一体化する。ここ
で、ガラスパイプ５１をパイプ保持部材２により回転さ
せて、ガラスパイプ５１とガラスロッド５０とを周方向
全体にわたって均一に一体化させる。そして、周方向の
全体にわたって一体化された後、ガス供給系からのＣｌ
2ガス供給を停止し、バルブ８ｖを閉めるとともにバル
ブ９ｖを開ける。すると、ガラスパイプ５１とガラスロ
ッド５０との間隙部のＣｌ2ガスは真空ポンプ４により
排気され、間隙部の圧力は外気圧よりも低くなる。当該
間隙部のＣｌ2ガスが排気される様子を図２(ｂ)に示
す。
【００２２】この後、ガラスパイプ５１を回転させたま
ま、上記の開始位置からシールボックス３ａの方向へ酸
水素火炎バーナ５を移動させながら、ガラスパイプ５１
とガラスロッド５０とを加熱一体化して行く。これによ
り、両者が所定の長さにわたって加熱一体化されて、光
ファイバ母材が完成する。
ま、上記の開始位置からシールボックス３ａの方向へ酸
水素火炎バーナ５を移動させながら、ガラスパイプ５１
とガラスロッド５０とを加熱一体化して行く。これによ
り、両者が所定の長さにわたって加熱一体化されて、光
ファイバ母材が完成する。
【００２３】続いて、第１の実施形態による光ファイバ
母材の製造方法が奏する効果について説明する。ガラス
パイプ５１とガラスロッド５０と加熱一体化される前
に、ガラスパイプ５１の内部空間には塩素ガスが流さ
れ、その圧力は外気圧よりも高く保たれる。このため、
ガラスパイプ５１の内部に外気が入り込むのが防止され
る。また、ガラスパイプ５１の内部空間の圧力がその外
部の気圧よりも高い状態でガラスパイプ５１及びガラス
パイプ５１の一部が周方向の全体にわたって加熱一体化
され、その後、ガラスパイプ５１の内部の圧力が外部の
圧力より低くされる。このときには、ガラスパイプ５１
は、加熱一体化により、一方が閉じているため、内部空
間を減圧しても外気が侵入することはない。そのため、
ガラスパイプ５１の内面及びガラスロッド５０の外周面
が水分で汚染されることはない。よって、光ファイバ母
材中への水分の混入が防止される。
母材の製造方法が奏する効果について説明する。ガラス
パイプ５１とガラスロッド５０と加熱一体化される前
に、ガラスパイプ５１の内部空間には塩素ガスが流さ
れ、その圧力は外気圧よりも高く保たれる。このため、
ガラスパイプ５１の内部に外気が入り込むのが防止され
る。また、ガラスパイプ５１の内部空間の圧力がその外
部の気圧よりも高い状態でガラスパイプ５１及びガラス
パイプ５１の一部が周方向の全体にわたって加熱一体化
され、その後、ガラスパイプ５１の内部の圧力が外部の
圧力より低くされる。このときには、ガラスパイプ５１
は、加熱一体化により、一方が閉じているため、内部空
間を減圧しても外気が侵入することはない。そのため、
ガラスパイプ５１の内面及びガラスロッド５０の外周面
が水分で汚染されることはない。よって、光ファイバ母
材中への水分の混入が防止される。
【００２４】さらに、ガラスパイプ５１の内部の圧力が
外部の圧力より低くされた状態で、酸水素火炎バーナ５
をシールボックス３ａの方へ移動させることにより、ガ
ラスパイプ５１とガラスロッド５０とが加熱一体化され
る。仮に、ガラスパイプの内部の圧力を外部の圧力より
低くすることなく加熱一体化を行なうと、ガラスパイプ
とガラスロッドとの間に気泡が多数発生してしまう結果
となる。しかし、本実施形態においては、ガラスパイプ
５１の内部の圧力は外部の圧力より低くしているので、
気泡の発生は抑制される。
外部の圧力より低くされた状態で、酸水素火炎バーナ５
をシールボックス３ａの方へ移動させることにより、ガ
ラスパイプ５１とガラスロッド５０とが加熱一体化され
る。仮に、ガラスパイプの内部の圧力を外部の圧力より
低くすることなく加熱一体化を行なうと、ガラスパイプ
とガラスロッドとの間に気泡が多数発生してしまう結果
となる。しかし、本実施形態においては、ガラスパイプ
５１の内部の圧力は外部の圧力より低くしているので、
気泡の発生は抑制される。
【００２５】また、母材製造装置１は以下の利点を有し
ている。上記の開始位置においてガラスパイプ５１とガ
ラスロッド５０とが周方向全体にわたって一体化される
と、Ｃｌ2ガスは、経路２のみを流れることとなる。経
路２が設けられていない場合には、ガラスパイプ５１に
はＣｌ2ガスによる圧力がかかる。仮に、この圧力が大
き過ぎると、ガラスパイプ５１が変形してしまうといっ
た事態となり得る。しかし、母材製造装置１では、Ｃｌ
2ガスは経路２へ流れるのでガラスパイプ５１に過大な
圧力がかかることはなく、ガラスパイプ５１が変形して
しまうことはない。さらに、シールボックス３ａが外れ
る、或いはガラスパイプ５１が破損するといった事態も
防止される。
ている。上記の開始位置においてガラスパイプ５１とガ
ラスロッド５０とが周方向全体にわたって一体化される
と、Ｃｌ2ガスは、経路２のみを流れることとなる。経
路２が設けられていない場合には、ガラスパイプ５１に
はＣｌ2ガスによる圧力がかかる。仮に、この圧力が大
き過ぎると、ガラスパイプ５１が変形してしまうといっ
た事態となり得る。しかし、母材製造装置１では、Ｃｌ
2ガスは経路２へ流れるのでガラスパイプ５１に過大な
圧力がかかることはなく、ガラスパイプ５１が変形して
しまうことはない。さらに、シールボックス３ａが外れ
る、或いはガラスパイプ５１が破損するといった事態も
防止される。
【００２６】（第２の実施形態）図３(ａ)は、第２の実
施形態による光ファイバ母材製造装置の構造と、ガラス
ロッドとガラスパイプとが加熱一体化される前のＣｌ2
ガスの流れとを示す図である。図３(ｂ)は、当該光ファ
イバ母材製造装置の構造と、ガラスロッドとガラスパイ
プとの一部が加熱一体化された後のＣｌ2ガスの流れと
を示す図である。図３(ａ)，(ｂ)において、母材製造装
置２１は、ガラスパイプを保持するパイプ保持部材２
２、ガラスパイプの端部に取り付けられるシールボック
ス２３ａ，２３ｂ、ガラスパイプの内部の圧力を外部の
圧力よりも低くする真空ポンプ２４、ガラスパイプとガ
ラスロッドとを加熱一体化する酸水素火炎バーナ２５、
及びパイプ保持部材２２が固定される基台２６を備え
る。また、シールボックス２３ａにはガス供給管２７が
接続され、シールボックス２３ｂには補助管３１及び排
気管３２が接続されている。
施形態による光ファイバ母材製造装置の構造と、ガラス
ロッドとガラスパイプとが加熱一体化される前のＣｌ2
ガスの流れとを示す図である。図３(ｂ)は、当該光ファ
イバ母材製造装置の構造と、ガラスロッドとガラスパイ
プとの一部が加熱一体化された後のＣｌ2ガスの流れと
を示す図である。図３(ａ)，(ｂ)において、母材製造装
置２１は、ガラスパイプを保持するパイプ保持部材２
２、ガラスパイプの端部に取り付けられるシールボック
ス２３ａ，２３ｂ、ガラスパイプの内部の圧力を外部の
圧力よりも低くする真空ポンプ２４、ガラスパイプとガ
ラスロッドとを加熱一体化する酸水素火炎バーナ２５、
及びパイプ保持部材２２が固定される基台２６を備え
る。また、シールボックス２３ａにはガス供給管２７が
接続され、シールボックス２３ｂには補助管３１及び排
気管３２が接続されている。
【００２７】パイプ保持部材２２は回転可能に設けられ
ており、基台２６に備えられた回転駆動装置(図示せず)
により回転される。これにより、パイプ保持部材２２に
保持されたガラスパイプ５１は周方向に回転される。シ
ールボックス２３ａ，２３ｂは、ガラスパイプの端部と
接触する位置に例えばバイトン(Viton、商標名)といっ
た材料から成るシール材を有する。シールボックス２３
ａ，２３ｂは、また、回転可能に設けられており、パイ
プ保持部材２２により周方向に回転されるガラスパイプ
５１とともに回転する。
ており、基台２６に備えられた回転駆動装置(図示せず)
により回転される。これにより、パイプ保持部材２２に
保持されたガラスパイプ５１は周方向に回転される。シ
ールボックス２３ａ，２３ｂは、ガラスパイプの端部と
接触する位置に例えばバイトン(Viton、商標名)といっ
た材料から成るシール材を有する。シールボックス２３
ａ，２３ｂは、また、回転可能に設けられており、パイ
プ保持部材２２により周方向に回転されるガラスパイプ
５１とともに回転する。
【００２８】ガス供給管２７は図示しないガス供給系か
ら供給されるガスをシールボックス２３ａに導く。ガス
供給系からは、塩素(Ｃｌ2)ガスといった脱水効果の高
いガスや弗化硫黄(ＳＦ6)といったエッチングガスが供
給される。また、ガス供給管２７には、ガス供給管２７
から分岐し真空ポンプ２４に繋がる減圧管２９が設けら
れている。減圧管２９にはバルブ２９ｖが設けられてい
る。このバルブ２９ｖを開くことにより、ガラスパイプ
５１の内部の圧力は外部の圧力よりも低くされ得る。
ら供給されるガスをシールボックス２３ａに導く。ガス
供給系からは、塩素(Ｃｌ2)ガスといった脱水効果の高
いガスや弗化硫黄(ＳＦ6)といったエッチングガスが供
給される。また、ガス供給管２７には、ガス供給管２７
から分岐し真空ポンプ２４に繋がる減圧管２９が設けら
れている。減圧管２９にはバルブ２９ｖが設けられてい
る。このバルブ２９ｖを開くことにより、ガラスパイプ
５１の内部の圧力は外部の圧力よりも低くされ得る。
【００２９】続いて、母材製造装置２１を用いた第２の
実施形態による光ファイバ母材の製造方法について説明
する。先ず、光ファイバ母材のコア部となるべきガラス
ロッド５０と、光ファイバ母材のクラッド部となるべき
ガラスパイプ５１とを用意する。これらは、第１の実施
形態において用意したのとほぼ同一のものであってよ
い。次に、ガラスパイプ５１をパイプ保持部材２２に取
り付け、このガラスパイプ５１の一方の端部にシールボ
ックス２３ａを取り付け、他方の端部にシールボックス
２３ｂを取り付ける。
実施形態による光ファイバ母材の製造方法について説明
する。先ず、光ファイバ母材のコア部となるべきガラス
ロッド５０と、光ファイバ母材のクラッド部となるべき
ガラスパイプ５１とを用意する。これらは、第１の実施
形態において用意したのとほぼ同一のものであってよ
い。次に、ガラスパイプ５１をパイプ保持部材２２に取
り付け、このガラスパイプ５１の一方の端部にシールボ
ックス２３ａを取り付け、他方の端部にシールボックス
２３ｂを取り付ける。
【００３０】その後、バルブ２９ｖを閉めた状態で、ガ
ス供給系からＳＦ6ガス及びＣｌ2ガスをそれぞれ所定の
流量でガラスパイプ５１の内部へ供給する。上記のガス
を流したまま、ガラスパイプ５１を周方向に回転させる
とともに、酸水素火炎バーナ２５を用いてガラスパイプ
５１を加熱する。これにより、ガラスパイプ５１の内面
がエッチングされる。ここで、ガラスパイプ５１の有効
部となるべき部分において、酸水素火炎バーナ２５をほ
ぼ一定の速度で移動させる。これにより、有効部と成る
べき部分ではエッチング量がほぼ一定となる。
ス供給系からＳＦ6ガス及びＣｌ2ガスをそれぞれ所定の
流量でガラスパイプ５１の内部へ供給する。上記のガス
を流したまま、ガラスパイプ５１を周方向に回転させる
とともに、酸水素火炎バーナ２５を用いてガラスパイプ
５１を加熱する。これにより、ガラスパイプ５１の内面
がエッチングされる。ここで、ガラスパイプ５１の有効
部となるべき部分において、酸水素火炎バーナ２５をほ
ぼ一定の速度で移動させる。これにより、有効部と成る
べき部分ではエッチング量がほぼ一定となる。
【００３１】エッチング終了後、シールボックス２３ｂ
をガラスパイプ５１から取り外し、ガラスパイプの内部
にガラスロッド５０を挿入する。再びシールボックス２
３ｂをガラスパイプ５１に取り付けた後、ガス供給系か
らのＣｌ2ガスをガラスロッド５０の内部へと流す。Ｃ
ｌ2ガスの流量は、ガラスパイプ５１の内圧がガラスパ
イプ５１の外側の気圧よりも高くなるように適宜調整さ
れる。例えば、Ｃｌ2ガスの流量は２５０ｃｍ3／ｍｉｎ
以上５００ｃｍ3／ｍｉｎ以下であると好適である。こ
の流量が２５０ｃｍ3／ｍｉｎより少ないと外気の侵入
を充分に防止できない。第２の実施形態の母材製造装置
２１は、第１の実施形態における母材製造装置１と異な
り、上述の経路２を有していない。そのため、第１の実
施形態の場合に比べて少ない流量で外気の侵入を防止で
きる。よって、最大でも５００ｃｍ3／ｍｉｎ程度の流
量でよい。ガス供給系からＣｌ2ガスを流すと同時に、
補助管３１からＣｌ2ガスをシールボックス２３ｂへと
流す。これにより、シールボックス２３ｂの内部の圧力
を外部の圧力よりも高くすることが容易となる。したが
って、ガラスパイプ５１の内部の圧力を外部の圧力より
も容易に高く保つことができる。
をガラスパイプ５１から取り外し、ガラスパイプの内部
にガラスロッド５０を挿入する。再びシールボックス２
３ｂをガラスパイプ５１に取り付けた後、ガス供給系か
らのＣｌ2ガスをガラスロッド５０の内部へと流す。Ｃ
ｌ2ガスの流量は、ガラスパイプ５１の内圧がガラスパ
イプ５１の外側の気圧よりも高くなるように適宜調整さ
れる。例えば、Ｃｌ2ガスの流量は２５０ｃｍ3／ｍｉｎ
以上５００ｃｍ3／ｍｉｎ以下であると好適である。こ
の流量が２５０ｃｍ3／ｍｉｎより少ないと外気の侵入
を充分に防止できない。第２の実施形態の母材製造装置
２１は、第１の実施形態における母材製造装置１と異な
り、上述の経路２を有していない。そのため、第１の実
施形態の場合に比べて少ない流量で外気の侵入を防止で
きる。よって、最大でも５００ｃｍ3／ｍｉｎ程度の流
量でよい。ガス供給系からＣｌ2ガスを流すと同時に、
補助管３１からＣｌ2ガスをシールボックス２３ｂへと
流す。これにより、シールボックス２３ｂの内部の圧力
を外部の圧力よりも高くすることが容易となる。したが
って、ガラスパイプ５１の内部の圧力を外部の圧力より
も容易に高く保つことができる。
【００３２】ガラスパイプ５１の内部がＣｌ2ガスで置
換された後、ガラスパイプ５１の内部の圧力を外気圧よ
り高く保ったまま、ガラスパイプ５１を周方向に回転さ
せる。そして、ガラスパイプ５１を加熱することによ
り、ガラスパイプ５１の内面及びガラスロッド５０の外
周面に付着する水分を除去する。その後、ガラスパイプ
５１のシールボックス２３ｂ側の任意の位置(以下、開
始位置とする)を酸水素火炎バーナ２５で加熱する。ガ
ラスパイプ５１とガラスロッド５０とが周方向の全体に
わたって一体化された後、ガス供給系からのＣｌ2ガス
供給を停止し、バルブ２９ｖを開ける。すると、ガラス
パイプ５１内部が真空ポンプ２４により減圧され、その
圧力がガラスパイプ５１外部の圧力より低くなる。この
様子を図３(ｂ)に示す。なお、バルブ９ｖを開けるタイ
ミングがガラスパイプ５１とガラスロッド５０との一部
が一体化された時よりも遅くなってしまった場合にガラ
スパイプ５１に過大な圧力がかかってしまう。これを防
ぐため、ガラスパイプ５１に印加され得る圧力は適宜調
整されるべきことは言うまでもない。
換された後、ガラスパイプ５１の内部の圧力を外気圧よ
り高く保ったまま、ガラスパイプ５１を周方向に回転さ
せる。そして、ガラスパイプ５１を加熱することによ
り、ガラスパイプ５１の内面及びガラスロッド５０の外
周面に付着する水分を除去する。その後、ガラスパイプ
５１のシールボックス２３ｂ側の任意の位置(以下、開
始位置とする)を酸水素火炎バーナ２５で加熱する。ガ
ラスパイプ５１とガラスロッド５０とが周方向の全体に
わたって一体化された後、ガス供給系からのＣｌ2ガス
供給を停止し、バルブ２９ｖを開ける。すると、ガラス
パイプ５１内部が真空ポンプ２４により減圧され、その
圧力がガラスパイプ５１外部の圧力より低くなる。この
様子を図３(ｂ)に示す。なお、バルブ９ｖを開けるタイ
ミングがガラスパイプ５１とガラスロッド５０との一部
が一体化された時よりも遅くなってしまった場合にガラ
スパイプ５１に過大な圧力がかかってしまう。これを防
ぐため、ガラスパイプ５１に印加され得る圧力は適宜調
整されるべきことは言うまでもない。
【００３３】この後、ガラスパイプ５１を回転させたま
ま、上記の開始位置からシールボックス２３ａの方向へ
酸水素火炎バーナ２５を移動させ、ガラスパイプ５１と
ガラスロッド５０とを加熱一体化して行く。これによ
り、両者が所定の長さにわたって加熱一体化されて、光
ファイバ母材が完成する。
ま、上記の開始位置からシールボックス２３ａの方向へ
酸水素火炎バーナ２５を移動させ、ガラスパイプ５１と
ガラスロッド５０とを加熱一体化して行く。これによ
り、両者が所定の長さにわたって加熱一体化されて、光
ファイバ母材が完成する。
【００３４】以上、第２の実施形態による光ファイバ母
材の製造方法によれば、加熱一体化の前には、ガラスロ
ッド５０が挿入されたガラスパイプ５１の内部空間に塩
素ガスが流される。この塩素ガスと同時に、シールボッ
クス３ｂへ上記の塩素ガスとは別の経路からＣｌ2ガス
が流される。よって、ガラスパイプ５１の内部空間の圧
力をその外部の気圧よりも高く保つのが容易化される。
そして、内部空間の圧力が外部の気圧よりも高く保たれ
た状態で、シールボックス３ｂ側の任意の位置におい
て、ガラスパイプ５１及びガラスロッド５０の一部が周
方向の全体にわたって加熱一体化される。その後、ガラ
スパイプ５１の内部が減圧され、先に加熱一体化された
位置からシールボックス３ａの方向へガラスパイプ５１
とガラスロッド５０とが加熱一体化される。したがっ
て、外気がガラスパイプ５１の内部に侵入することはな
く、外気中に含まれる水分が作製される光ファイバ母材
に混入することがない。そのため、ＯＨ損失が低減され
た光ファイバの製造を可能とする光ファイバ母材が製造
される。
材の製造方法によれば、加熱一体化の前には、ガラスロ
ッド５０が挿入されたガラスパイプ５１の内部空間に塩
素ガスが流される。この塩素ガスと同時に、シールボッ
クス３ｂへ上記の塩素ガスとは別の経路からＣｌ2ガス
が流される。よって、ガラスパイプ５１の内部空間の圧
力をその外部の気圧よりも高く保つのが容易化される。
そして、内部空間の圧力が外部の気圧よりも高く保たれ
た状態で、シールボックス３ｂ側の任意の位置におい
て、ガラスパイプ５１及びガラスロッド５０の一部が周
方向の全体にわたって加熱一体化される。その後、ガラ
スパイプ５１の内部が減圧され、先に加熱一体化された
位置からシールボックス３ａの方向へガラスパイプ５１
とガラスロッド５０とが加熱一体化される。したがっ
て、外気がガラスパイプ５１の内部に侵入することはな
く、外気中に含まれる水分が作製される光ファイバ母材
に混入することがない。そのため、ＯＨ損失が低減され
た光ファイバの製造を可能とする光ファイバ母材が製造
される。
【００３５】（実施例）実施例として光ファイバ母材を
製造した。本実施例は第１の実施形態に対応する。ま
た、この光ファイバ母材から光ファイバを製造し、その
伝送特性を評価した。以下に、これらの結果について述
べる。図４は、実施例の光ファイバ母材が有する屈折率
分布を示す図である。図示の通り、光ファイバ母材は、
コア部と、コア部の周囲に第１クラッド部と、第１クラ
ッド部の周囲に第２クラッド部とを有する。
製造した。本実施例は第１の実施形態に対応する。ま
た、この光ファイバ母材から光ファイバを製造し、その
伝送特性を評価した。以下に、これらの結果について述
べる。図４は、実施例の光ファイバ母材が有する屈折率
分布を示す図である。図示の通り、光ファイバ母材は、
コア部と、コア部の周囲に第１クラッド部と、第１クラ
ッド部の周囲に第２クラッド部とを有する。
【００３６】このような光ファイバ母材の製造に当り、
先ず、コア部となるべきガラスロッド、第１クラッド部
となるべき第１のガラスパイプ、及び第２クラッド部と
なるべき第２のガラスパイプを用意した。ガラスロッド
は、ＶＡＤ法を用いて作製された石英ガラス製であり、
直径１０．５ｍｍを有する。また、ガラスロッドにはＧ
ｅが添加されている。その比屈折率差は、純石英ガラス
に対して、中心部で最大値１．４５％であり、１．４５
×[１−(ｒ／ａ)2](％)で表される関係を満たすよう変
化している。ただし、ａ(ｍｍ)は半径であり、ｒ(ｒ≦
ａ)(ｍｍ)はガラスロッドの中心軸からの距離である。
先ず、コア部となるべきガラスロッド、第１クラッド部
となるべき第１のガラスパイプ、及び第２クラッド部と
なるべき第２のガラスパイプを用意した。ガラスロッド
は、ＶＡＤ法を用いて作製された石英ガラス製であり、
直径１０．５ｍｍを有する。また、ガラスロッドにはＧ
ｅが添加されている。その比屈折率差は、純石英ガラス
に対して、中心部で最大値１．４５％であり、１．４５
×[１−(ｒ／ａ)2](％)で表される関係を満たすよう変
化している。ただし、ａ(ｍｍ)は半径であり、ｒ(ｒ≦
ａ)(ｍｍ)はガラスロッドの中心軸からの距離である。
【００３７】第１のガラスパイプは、ＶＡＤ法により得
た石英ガラス焼結体から作製されたものである。この焼
結体にはＦが添加されており、純石英ガラスに対する比
屈折率差は−０．４５％である。超音波孔開け機などを
用いて当該焼結体の中心軸に沿って直径１２ｍｍの孔を
開け、さらに所定の酸水素火炎バーナを用いて延伸する
とともに透明ガラス化した。これにより、第１のガラス
パイプを得た。第１のガラスパイプの外径は３５ｍｍで
あり、内径は７ｍｍである。第２のガラスパイプは、Ｆ
の添加がなく高純度石英ガラス製である点を除き、第１
のガラスパイプと同様に作製された。第２のガラスパイ
プの外径は３０ｍｍであり、内径は５．５ｍｍである。
なお、高純度石英ガラスとは、意図的には添加物を添加
していない石英ガラスを意味し、純度として具体的には
９９．９〜１００％の石英ガラスを意味する。
た石英ガラス焼結体から作製されたものである。この焼
結体にはＦが添加されており、純石英ガラスに対する比
屈折率差は−０．４５％である。超音波孔開け機などを
用いて当該焼結体の中心軸に沿って直径１２ｍｍの孔を
開け、さらに所定の酸水素火炎バーナを用いて延伸する
とともに透明ガラス化した。これにより、第１のガラス
パイプを得た。第１のガラスパイプの外径は３５ｍｍで
あり、内径は７ｍｍである。第２のガラスパイプは、Ｆ
の添加がなく高純度石英ガラス製である点を除き、第１
のガラスパイプと同様に作製された。第２のガラスパイ
プの外径は３０ｍｍであり、内径は５．５ｍｍである。
なお、高純度石英ガラスとは、意図的には添加物を添加
していない石英ガラスを意味し、純度として具体的には
９９．９〜１００％の石英ガラスを意味する。
【００３８】次に、第１のガラスパイプの内径を調整す
るために、その内面のエッチングを行なった。すなわ
ち、第１のガラスパイプを母材製造装置１のパイプ保持
部材２に取り付けるとともに、シールボックス３ａ，３
ｂを第１のガラスパイプに取り付けた。ガラスパイプの
内部に所定のガス供給系からの六弗化硫黄(ＳＦ6)ガス
及び塩素(Ｃｌ2)ガスを流した。これらの流量は、ＳＦ6
ガスについては２００ｃｍ3／ｍｉｎとし、Ｃｌ2ガスに
ついては１００ｃｍ3／ｍｉｎとした。その後、第１の
ガラスパイプを酸水素火炎バーナ５により加熱した。こ
のとき、第１のガラスパイプを周方向に回転させるとと
もに、酸水素火炎バーナ５をガラスパイプの長手方向に
往復させてエッチング量が均一となるようにした。この
エッチングにより第１のガラスパイプの内径を１３ｍｍ
程度とした。
るために、その内面のエッチングを行なった。すなわ
ち、第１のガラスパイプを母材製造装置１のパイプ保持
部材２に取り付けるとともに、シールボックス３ａ，３
ｂを第１のガラスパイプに取り付けた。ガラスパイプの
内部に所定のガス供給系からの六弗化硫黄(ＳＦ6)ガス
及び塩素(Ｃｌ2)ガスを流した。これらの流量は、ＳＦ6
ガスについては２００ｃｍ3／ｍｉｎとし、Ｃｌ2ガスに
ついては１００ｃｍ3／ｍｉｎとした。その後、第１の
ガラスパイプを酸水素火炎バーナ５により加熱した。こ
のとき、第１のガラスパイプを周方向に回転させるとと
もに、酸水素火炎バーナ５をガラスパイプの長手方向に
往復させてエッチング量が均一となるようにした。この
エッチングにより第１のガラスパイプの内径を１３ｍｍ
程度とした。
【００３９】続いて、内径が所定の値となった第１のガ
ラスパイプを母材製造装置１に取り付けたまま、その内
部にガラスロッドを挿入し、ガス供給系からＣｌ2ガス
を供給した。このとき、Ｃｌ2ガスの流量は、第１のガ
ラスパイプ内及びバイパス管８共に５００ｃｍ3／ｍｉ
ｎとした。これにより、ガラスロッドと第１のガラスパ
イプとの間隙部の圧力を外気圧よりも高くした。続い
て、ガラスパイプの表面温度が５００℃以上１４００℃
以下となるように酸水素火炎バーナ５を用いて加熱し
た。これにより、ガラスロッドを第１のガラスパイプ内
に挿入した際にガラスロッドの外周面及び第１のガラス
パイプの内面に付着した水分を除去した。
ラスパイプを母材製造装置１に取り付けたまま、その内
部にガラスロッドを挿入し、ガス供給系からＣｌ2ガス
を供給した。このとき、Ｃｌ2ガスの流量は、第１のガ
ラスパイプ内及びバイパス管８共に５００ｃｍ3／ｍｉ
ｎとした。これにより、ガラスロッドと第１のガラスパ
イプとの間隙部の圧力を外気圧よりも高くした。続い
て、ガラスパイプの表面温度が５００℃以上１４００℃
以下となるように酸水素火炎バーナ５を用いて加熱し
た。これにより、ガラスロッドを第１のガラスパイプ内
に挿入した際にガラスロッドの外周面及び第１のガラス
パイプの内面に付着した水分を除去した。
【００４０】次に、ガラスロッド及び第１のガラスパイ
プの回転速度を３０ｒｐｍとした。そして、シールボッ
クス３ｂ側の所定の位置において、第１のガラスパイプ
の表面温度が１４００℃〜１６００℃といった温度とな
るよう酸水素火炎バーナ５を用いて加熱し、ガラスロッ
ドと第１のガラスパイプとを加熱一体化した。両者が全
周にわたって十分に一体化した後、バルブ８ｖを閉める
とともにバルブ９ｖを開け、真空ポンプ４によりガラス
ロッドと第１のガラスパイプとの間隙部を減圧した。こ
のとき、間隙部の圧力を２．５×１０3Ｐａとなるよう
調整した。その後、酸水素火炎バーナ５をすでに加熱一
体化された部分からシールボックス３ａに向かう方向へ
２ｍｍ／分の速度で移動させながら、ガラスロッドと第
１のガラスパイプとを加熱一体化した。以上により、ガ
ラスロッドと第１のガラスパイプとが加熱一体化された
第１コラプス体を得た。
プの回転速度を３０ｒｐｍとした。そして、シールボッ
クス３ｂ側の所定の位置において、第１のガラスパイプ
の表面温度が１４００℃〜１６００℃といった温度とな
るよう酸水素火炎バーナ５を用いて加熱し、ガラスロッ
ドと第１のガラスパイプとを加熱一体化した。両者が全
周にわたって十分に一体化した後、バルブ８ｖを閉める
とともにバルブ９ｖを開け、真空ポンプ４によりガラス
ロッドと第１のガラスパイプとの間隙部を減圧した。こ
のとき、間隙部の圧力を２．５×１０3Ｐａとなるよう
調整した。その後、酸水素火炎バーナ５をすでに加熱一
体化された部分からシールボックス３ａに向かう方向へ
２ｍｍ／分の速度で移動させながら、ガラスロッドと第
１のガラスパイプとを加熱一体化した。以上により、ガ
ラスロッドと第１のガラスパイプとが加熱一体化された
第１コラプス体を得た。
【００４１】続いて、第１コラプス体をその外径が１
３．６ｍｍとなるよう所定の酸水素火炎バーナで延伸し
た。その後、延伸された第１コラプス体の外周を弗化水
素酸(ＨＦ)水溶液により化学研削し、外径が８ｍｍであ
るガラス体を得た。これにより、コア部径と第１クラッ
ド部径との比を０．５１とした。この値は、最終製造物
である光ファイバの分散特性が所望の値となるに適した
値である。また、第１コラプス体を酸水素火炎バーナで
延伸したため、延伸後の第１コラプス体の表層部にはＯ
Ｈ基を多数含む層が形成されている。上記の化学研削は
このＯＨ基を多数含む層を除去するという役割を有す
る。上述の通り、化学研削による研削量は約５ｍｍであ
るため、ＯＨ基を含む層は十分に除去される。
３．６ｍｍとなるよう所定の酸水素火炎バーナで延伸し
た。その後、延伸された第１コラプス体の外周を弗化水
素酸(ＨＦ)水溶液により化学研削し、外径が８ｍｍであ
るガラス体を得た。これにより、コア部径と第１クラッ
ド部径との比を０．５１とした。この値は、最終製造物
である光ファイバの分散特性が所望の値となるに適した
値である。また、第１コラプス体を酸水素火炎バーナで
延伸したため、延伸後の第１コラプス体の表層部にはＯ
Ｈ基を多数含む層が形成されている。上記の化学研削は
このＯＨ基を多数含む層を除去するという役割を有す
る。上述の通り、化学研削による研削量は約５ｍｍであ
るため、ＯＨ基を含む層は十分に除去される。
【００４２】次に、第２のガラスパイプが所望の内径と
なるように、その内面のエッチングを行なった。このエ
ッチングの手順及び条件は、第１のガラスパイプの内面
をエッチングしたときと略同一である。このエッチング
により、第２のガラスパイプの内径を１０．５ｍｍ程度
とした。
なるように、その内面のエッチングを行なった。このエ
ッチングの手順及び条件は、第１のガラスパイプの内面
をエッチングしたときと略同一である。このエッチング
により、第２のガラスパイプの内径を１０．５ｍｍ程度
とした。
【００４３】第２のガラスパイプの内面をエッチングし
た後、第２のガラスパイプを母材製造装置１に取り付け
たまま、上記のガラス体を第２のガラスパイプ内に挿入
した。その後、これら両者の間隙部及びバイパス管８共
に５００ｃｍ3／ｍｉｎの流量でＣｌ2ガスを流した。間
隙部に残留する空気がＣｌ2ガスで置換された後、酸水
素火炎バーナ５により第２のガラスパイプの表面温度が
５００℃以上１４００℃以下となるように加熱し、ガラ
ス体の外周面及び第２のガラスパイプの内面に吸着する
水分を除去した。
た後、第２のガラスパイプを母材製造装置１に取り付け
たまま、上記のガラス体を第２のガラスパイプ内に挿入
した。その後、これら両者の間隙部及びバイパス管８共
に５００ｃｍ3／ｍｉｎの流量でＣｌ2ガスを流した。間
隙部に残留する空気がＣｌ2ガスで置換された後、酸水
素火炎バーナ５により第２のガラスパイプの表面温度が
５００℃以上１４００℃以下となるように加熱し、ガラ
ス体の外周面及び第２のガラスパイプの内面に吸着する
水分を除去した。
【００４４】続いて、ガラス体及び第２のガラスパイプ
の回転速度を３０ｒｐｍに設定した。シールボックス３
ｂ側の所定の位置において、第２のガラスパイプの表面
温度が１４００℃〜１６００℃といった温度となるよう
酸水素火炎バーナ５を用いて加熱し、第２のガラスパイ
プとガラス体とを加熱一体化した。両者が全周にわたっ
て十分に一体化した後、バルブ８ｖを閉めるとともにバ
ルブ９ｖを開け、ガラス体と第２のガラスパイプとの間
隙部の圧力が２．９×１０2Ｐａとなるよう真空ポンプ
４により減圧した。その後、酸水素火炎バーナ５をすで
に加熱一体化された部分からシールボックス３ａに向か
う方向へ２ｍｍ／分の速度で移動させながら、ガラス体
と第２のガラスパイプとを加熱一体化した。以上によ
り、ガラス体と第２のガラスパイプとが加熱一体化され
た第２コラプス体を得た。
の回転速度を３０ｒｐｍに設定した。シールボックス３
ｂ側の所定の位置において、第２のガラスパイプの表面
温度が１４００℃〜１６００℃といった温度となるよう
酸水素火炎バーナ５を用いて加熱し、第２のガラスパイ
プとガラス体とを加熱一体化した。両者が全周にわたっ
て十分に一体化した後、バルブ８ｖを閉めるとともにバ
ルブ９ｖを開け、ガラス体と第２のガラスパイプとの間
隙部の圧力が２．９×１０2Ｐａとなるよう真空ポンプ
４により減圧した。その後、酸水素火炎バーナ５をすで
に加熱一体化された部分からシールボックス３ａに向か
う方向へ２ｍｍ／分の速度で移動させながら、ガラス体
と第２のガラスパイプとを加熱一体化した。以上によ
り、ガラス体と第２のガラスパイプとが加熱一体化され
た第２コラプス体を得た。
【００４５】次に、第２コラプス体の外周に所定の厚さ
のジャケット部をＶＡＤ法により堆積させ、光ファイバ
母材を完成した。この光ファイバ母材を所定の線引き装
置を用いて線引きし、外径が１２５μｍの光ファイバを
製造した。その後、この光ファイバの光伝送特性の波長
依存性を調べた。その結果を図５に示す。同図におい
て、波長１．３８μｍにＯＨ基による０．３５ｄＢ／ｋ
ｍ程度の吸収損失が認められる。この程度の損失値は、
上述した従来の光ファイバ母材の製造方法による光ファ
イバ母材から製造した光ファイバの半分程度であり、こ
の結果から、本実施例の光ファイバ母材の効果が理解さ
れる。
のジャケット部をＶＡＤ法により堆積させ、光ファイバ
母材を完成した。この光ファイバ母材を所定の線引き装
置を用いて線引きし、外径が１２５μｍの光ファイバを
製造した。その後、この光ファイバの光伝送特性の波長
依存性を調べた。その結果を図５に示す。同図におい
て、波長１．３８μｍにＯＨ基による０．３５ｄＢ／ｋ
ｍ程度の吸収損失が認められる。この程度の損失値は、
上述した従来の光ファイバ母材の製造方法による光ファ
イバ母材から製造した光ファイバの半分程度であり、こ
の結果から、本実施例の光ファイバ母材の効果が理解さ
れる。
【００４６】以上、幾つかの実施形態と実施例を示して
本発明に係る光ファイバ母材の製造方法及び製造装置を
説明したが、本発明はこれらに限定されることなく、様
々な変形が可能である。例えば、母材製造装置１におい
てバルブ８ｖ，９ｖを用いたが、これらに替わり四方弁
を使用しても構わない。また、上記の実施形態及び実施
例においてはＣｌ2ガスが使用されたが、ハロゲンを含
むガスを使用して良い。また、Ｃｌ2ガス及び乾燥Ｎ2ガ
ス又は乾燥不活性ガス等の混合ガスを用いても構わな
い。
本発明に係る光ファイバ母材の製造方法及び製造装置を
説明したが、本発明はこれらに限定されることなく、様
々な変形が可能である。例えば、母材製造装置１におい
てバルブ８ｖ，９ｖを用いたが、これらに替わり四方弁
を使用しても構わない。また、上記の実施形態及び実施
例においてはＣｌ2ガスが使用されたが、ハロゲンを含
むガスを使用して良い。また、Ｃｌ2ガス及び乾燥Ｎ2ガ
ス又は乾燥不活性ガス等の混合ガスを用いても構わな
い。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光フ
ァイバ母材の製造方法によれば、ガラスパイプとガラス
ロッドとの間隙部にハロゲンを含むガスが流され、ガラ
スパイプの内部の圧力が外部の圧力よりも高く保たれ
る。そのため、ガラスパイプ内に外気が侵入するのが防
止される。また、ガラスパイプ内の圧力が外気圧より高
い状態で、ガラスパイプの一方端側の所定の位置におい
てガラスパイプ及びガラスロッドが加熱一体化される。
その後、他方端からガラスパイプの内部の圧力が外部の
圧力よりも低くされる。このとき、加熱一体化された部
分によって間隙部が密閉されているので、ガラスパイプ
の内部が減圧されても、外気が侵入することはない。す
なわち、上記の製造方法によれば、ガラスパイプの内面
及びガラスロッドの外周面が外気に含まれる水分に汚染
されることはない。その結果、ＯＨ損失が低減された光
ファイバを製造できる光ファイバ母材が製造される。
ァイバ母材の製造方法によれば、ガラスパイプとガラス
ロッドとの間隙部にハロゲンを含むガスが流され、ガラ
スパイプの内部の圧力が外部の圧力よりも高く保たれ
る。そのため、ガラスパイプ内に外気が侵入するのが防
止される。また、ガラスパイプ内の圧力が外気圧より高
い状態で、ガラスパイプの一方端側の所定の位置におい
てガラスパイプ及びガラスロッドが加熱一体化される。
その後、他方端からガラスパイプの内部の圧力が外部の
圧力よりも低くされる。このとき、加熱一体化された部
分によって間隙部が密閉されているので、ガラスパイプ
の内部が減圧されても、外気が侵入することはない。す
なわち、上記の製造方法によれば、ガラスパイプの内面
及びガラスロッドの外周面が外気に含まれる水分に汚染
されることはない。その結果、ＯＨ損失が低減された光
ファイバを製造できる光ファイバ母材が製造される。
【図１】図１は、第１の実施形態による光ファイバ母材
の製造装置の構造を示す概略図である。
の製造装置の構造を示す概略図である。
【図２】図２(ａ)は、ガラスロッドとガラスパイプとを
加熱一体化する前のＣｌ2ガスの流れを示す図である。
図２(ｂ)は、ガラスロッドとガラスパイプとの一部が加
熱一体化された後のＣｌ2ガスの流れを示す図である。
加熱一体化する前のＣｌ2ガスの流れを示す図である。
図２(ｂ)は、ガラスロッドとガラスパイプとの一部が加
熱一体化された後のＣｌ2ガスの流れを示す図である。
【図３】図３(ａ)は、第２の実施形態による光ファイバ
母材製造装置の構造と、ガラスロッドとガラスパイプと
が加熱一体化される前のＣｌ2ガスの流れとを示す図で
ある。図３(ｂ)は、当該光ファイバ母材製造装置の構造
と、ガラスロッドとガラスパイプとの一部が加熱一体化
された後のＣｌ2ガスの流れとを示す図である。
母材製造装置の構造と、ガラスロッドとガラスパイプと
が加熱一体化される前のＣｌ2ガスの流れとを示す図で
ある。図３(ｂ)は、当該光ファイバ母材製造装置の構造
と、ガラスロッドとガラスパイプとの一部が加熱一体化
された後のＣｌ2ガスの流れとを示す図である。
【図４】図４は、実施例の光ファイバ母材が有する屈折
率分布を示す図である。
率分布を示す図である。
【図５】図５は、実施例の光ファイバ母材から製造した
光ファイバの光伝送特性の波長依存性を示すグラフであ
る。
光ファイバの光伝送特性の波長依存性を示すグラフであ
る。
【図６】図６は、従来の母材製造装置を示す概略図であ
る。
る。
１…母材製造装置、２，２２…パイプ保持部材、３ａ，
３ｂ，２３ａ，２３ｂ…シールボックス、４，２４…真
空ポンプ、５，２５…酸水素火炎バーナ、６，２６…基
台、７…ガス供給管、８…バイパス管、８ｖ，９ｖ…バ
ルブ、９，２９…減圧管、１０，３２…排気管、２１…
母材製造装置、２７…ガス供給管、２９ｖ…バルブ、２
９…減圧管、３１…補助管、５０…ガラスロッド、５１
…ガラスパイプ、１００…母材製造装置、１０１…ガス
管、１０２…パイプ保持部材、１０３ａ，１０３ｂ…継
手、１０４…真空ポンプ、１０５…熱源、１５０…ガラ
スロッド、１５１…ガラスパイプ。
３ｂ，２３ａ，２３ｂ…シールボックス、４，２４…真
空ポンプ、５，２５…酸水素火炎バーナ、６，２６…基
台、７…ガス供給管、８…バイパス管、８ｖ，９ｖ…バ
ルブ、９，２９…減圧管、１０，３２…排気管、２１…
母材製造装置、２７…ガス供給管、２９ｖ…バルブ、２
９…減圧管、３１…補助管、５０…ガラスロッド、５１
…ガラスパイプ、１００…母材製造装置、１０１…ガス
管、１０２…パイプ保持部材、１０３ａ，１０３ｂ…継
手、１０４…真空ポンプ、１０５…熱源、１５０…ガラ
スロッド、１５１…ガラスパイプ。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 大西 正志
神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電
気工業株式会社横浜製作所内
Ｆターム(参考） 4G021 BA03
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入
し、両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を
製造する方法であって、 前記ガラスロッドが前記ガラスパイプ内に挿入された状
態で、前記ガラスパイプ内にハロゲンを含むガスを流し
て前記ガラスパイプ内の圧力をその外部の圧力よりも高
く保ち、 前記ガラスパイプの一方端側の任意の位置において前記
ガラスロッドと前記ガラスパイプとを加熱一体化し、 前記ガラスパイプの他方端側から前記ガラスパイプ内の
ハロゲンを含むガスを排気して前記ガラスパイプ内の圧
力をその外部の圧力よりも下げ、 前記任意の位置から前記他方端へと向かう方向に前記熱
源を移動させながら前記ガラスパイプと前記ガラスロッ
ドとを加熱一体化することを特徴とする、光ファイバ母
材の製造方法。 - 【請求項２】 ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入
し、両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を
製造する方法であって、 前記ガラスロッドが前記ガラスパイプ内に挿入された状
態で、ガス供給部から前記ガラスパイプの一方端へ至る
第１流路、前記一方端から前記ガラスパイプ内を経て前
記ガラスパイプの他方端へ至る第２流路、及び前記他方
端から排気部へ至る第３流路を順次通過するようにハロ
ゲンを含むガスを流して前記ガラスパイプ内の圧力をそ
の外部の圧力よりも高く保つとともに、前記第１流路か
ら前記第３流路へ至る第４流路にハロゲンを含むガスを
流し、 前記ガラスパイプの他方端側の任意の位置において前記
ガラスロッドと前記ガラスパイプとを加熱一体化し、 前記第４流路を閉止するとともに前記ガラスパイプの一
方端から前記ガラスパイプ内のハロゲンを含むガスを排
気して前記ガラスパイプ内の圧力をその外部の圧力より
も下げ、 前記任意の位置から前記一方端へと向かう方向に前記熱
源を移動させて前記ガラスパイプと前記ガラスロッドと
を加熱一体化することを特徴とする、光ファイバ母材の
製造方法。 - 【請求項３】 ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入
し、両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を
製造する方法であって、 前記ガラスロッドが前記ガラスパイプ内に挿入された状
態で、ガス供給部から前記ガラスパイプの一方端へ至る
第１流路、前記一方端から前記ガラスパイプ内を経て前
記ガラスパイプの他方端へ至る第２流路、及び前記他方
端からガス排気部へ至る第３流路を順次通過するように
ハロゲンを含むガスを流して前記ガラスパイプ内の圧力
をその外部の圧力よりも高く保つとともに、ガス供給部
から前記第３流路へ至る第５流路にガスを流し、 前記ガラスパイプの他方端側の任意の位置において前記
ガラスロッドと前記ガラスパイプとを加熱一体化し、 前記ガラスパイプの一方端から前記ガラスパイプ内のハ
ロゲンを含むガスを排気して前記ガラスパイプ内の圧力
をその外部の圧力よりも下げ、 前記任意の位置から前記一方端へと向かう方向に前記熱
源を移動させて前記ガラスパイプと前記ガラスロッドと
を加熱一体化することを特徴とする、光ファイバ母材の
製造方法。 - 【請求項４】 ガラスロッドをガラスパイプ内に挿入
し、両者を熱源により加熱一体化して光ファイバ母材を
製造する製造装置であって、 前記ガラスロッドが挿入された前記ガラスパイプ内にハ
ロゲンを含むガスを供給する供給管と、 前記ガラスパイプ内に供給されたハロゲンを含むガスを
排気する排気管と、 前記供給管と前記排気管とに接続されたバイパス管と、 一方端が前記供給管に接続された減圧管と、 前記減圧管の他方端に接続され、前記ガラスパイプの内
部をその外部より低圧にする真空ポンプと、 前記バイパス管及び前記減圧管の流体通路をそれぞれ開
閉するバルブと、を備えることを特徴とする光ファイバ
母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001309055A JP3900881B2 (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 光ファイバ母材の製造方法、及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001309055A JP3900881B2 (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 光ファイバ母材の製造方法、及び製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003112936A true JP2003112936A (ja) | 2003-04-18 |
| JP3900881B2 JP3900881B2 (ja) | 2007-04-04 |
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ID=19128265
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|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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