JP2003109338A - Magnetic head assembly - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッド組立体に
関し、特に、磁気ディスク装置において磁気ディスクへ
の読み書きを行う磁気ヘッドを備えたスライダと、この
磁気ヘッドを接着剤によってジンバルばねに取り付けた
磁気ヘッド組立体に関する。近年、磁気ディスク装置に
おいて、記憶情報量の増大により、ディスクの記録密度
を向上させることが要求されている。これに伴って、磁
気ヘッドを搭載したスライダと記録媒体との間隙は、ま
すます小さくなってきている。このため、スライダには
安定な浮上特性が要求されるようになってきており、周
囲温度の変化等による変形の少ないより精度の高いスラ
イダ形状が要求されている。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head assembly, and more particularly, to a slider equipped with a magnetic head for reading and writing a magnetic disk in a magnetic disk device, and a magnetic head mounted on a gimbal spring with an adhesive. The present invention relates to a head assembly. 2. Description of the Related Art In recent years, in magnetic disk devices, it has been required to improve the recording density of disks due to an increase in the amount of stored information. Along with this, the gap between the slider on which the magnetic head is mounted and the recording medium is becoming smaller and smaller. Therefore, the slider is required to have stable flying characteristics, and a more precise slider shape that is less likely to be deformed due to a change in ambient temperature is required.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク装置は近年、ライトサイジ
ング化が進み、その体積、高さ共に大幅に小さくなって
きている。このような装置の中に多くの媒体、ヘッドを
入れるために、媒体間隔を狭くするのと共に、磁気ヘッ
ド支持機構も小型、薄型化がなされており、磁気ヘッド
を搭載したスライダにおいてはその外径寸法、厚さが薄
くなっている。現在では１０年前のスライダサイズに比
べて長さ、幅、厚さとも約半分程度になっており、体積
で約１／８程度になっている。2. Description of the Related Art In recent years, magnetic disk devices have become more and more right-sized, and their volume and height have been greatly reduced. In order to put many media and heads in such a device, the space between media is narrowed, and the magnetic head support mechanism is also made smaller and thinner. The dimensions and thickness are thin. At present, the length, width, and thickness are about half of the slider size 10 years ago, and the volume is about 1/8.
【０００３】図１８は従来の磁気ディスク装置２２０の
構成を示すものである。磁気ディスク装置２２０は、エ
ンクロージャ２２１内に、例えば、直径が３．５インチ
の磁気ディスク２２２、およびヘッド位置決め用アクチ
ュエータ２２３が組み込まれている。アクチュエータ２
２３には揺動するアーム２２４が設けられており、この
アーム２２４の先端部に磁気ヘッド組立体２２５が取り
付けられている。磁気ヘッド組立体２２５は、ステンレ
ス製のロードビーム２２６と、磁気ヘッドが組み込まれ
たスライダ２２７、およびこのスライダ２２７とロード
ビーム２２６との間に介在するジンバルばね２２８とか
ら構成される。FIG. 18 shows the configuration of a conventional magnetic disk device 220. In the magnetic disk device 220, for example, a magnetic disk 222 having a diameter of 3.5 inches and a head positioning actuator 223 are incorporated in an enclosure 221. Actuator 2
An oscillating arm 224 is provided at 23, and a magnetic head assembly 225 is attached to the tip of this arm 224. The magnetic head assembly 225 includes a stainless load beam 226, a slider 227 incorporating a magnetic head, and a gimbal spring 228 interposed between the slider 227 and the load beam 226.
【０００４】図１９(a) は図１８に示した磁気ヘッド組
立体２２５の構成例を示すものであり、この例ではジン
バルばね２２８はロードビーム２２６の先端部にロード
ビーム２２６に一体的に設けられている。すなわち、ジ
ンバルばね２２８は、ロードビーム２２６の先端部に設
けられた２つの向かい合うＵ字形状の穴２２６ａ，２２
６ｂによって仕切られてロードビーム２２６と一体的に
形成されており、Ｕ字形状の穴２２６ａ，２２６ｂの対
向する端部の間にある一対の梁部２２８ａ，２２８ｂを
含んで構成される。そして、ジンバルばね２２６はこの
一対の梁部２２８ａ，２２８ｂによってロードビーム２
２６に支持されている。FIG. 19A shows an example of the structure of the magnetic head assembly 225 shown in FIG. 18. In this example, a gimbal spring 228 is provided integrally with the load beam 226 at the tip of the load beam 226. Has been. That is, the gimbal spring 228 has two U-shaped holes 226 a, 22 facing each other provided at the tip of the load beam 226.
It is partitioned by 6b and is integrally formed with the load beam 226, and includes a pair of beam portions 228a and 228b between the opposite ends of the U-shaped holes 226a and 226b. The gimbal spring 226 is connected to the load beam 2 by the pair of beam portions 228a and 228b.
It is supported by 26.
【０００５】このようなジンバルばね２２８にスライダ
２２７を取り付ける場合には、接着剤２２９が使用され
る。接着剤２２９は図１９(b) に示すように予めジンバ
ルばね２２８にディスペンサによって滴下されて塗布さ
れ、この接着剤２２９の上にスライダ２２７が圧接され
て取り付けられる。図２０(a), (b)は図１９のようにし
てジンバルばね２２８にスライダ２２７が取り付けられ
た状態を示すものである。なお、この例は、ジンバルば
ね２２８に配線パターン（図示せず）が薄膜法などによ
って一体に形成された場合であり、この配線パターンと
スライダ２２７の磁気ヘッドの入出力端子とを電気的／
機械的に接続するために、ジンバルばね２２８上に薄膜
配線パターン（図示せず）が設けられており、スライダ
２２７の流出端部に金のボールボンディング（以下、金
ボール）２３０が施されている。An adhesive 229 is used to attach the slider 227 to the gimbal spring 228. As shown in FIG. 19 (b), the adhesive 229 is applied by being dropped onto the gimbal spring 228 by a dispenser in advance, and the slider 227 is pressed and attached onto the adhesive 229. 20A and 20B show a state in which the slider 227 is attached to the gimbal spring 228 as shown in FIG. In this example, a wiring pattern (not shown) is integrally formed on the gimbal spring 228 by a thin film method or the like, and the wiring pattern and the input / output terminals of the magnetic head of the slider 227 are electrically / electrically connected.
A thin film wiring pattern (not shown) is provided on the gimbal spring 228 for mechanical connection, and gold ball bonding (hereinafter, gold ball) 230 is applied to the outflow end of the slider 227. .
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁気デ
ィスク装置のライトサイジング化、並びに、高信頼性化
に伴いスライダ２２７が小型化されると、スライダ２２
７とジンバルばね２２８との接着面の面積が非常に小さ
くなり、ディスペンサによる接着剤２２９の量を精密に
コントロールできないため、接着剤２２９の量が多い場
合、ジンバルばね２２７の接着面上に付けられた接着剤
２２９が、スライダ２２７の圧接取付時にジンバルばね
２２７上で広がってしまい、スライダ２２７のジンバル
ばね２２８への接着面積が大きくなってしまうという問
題が生じていた。However, when the slider 227 is miniaturized due to the write sizing and high reliability of the magnetic disk device, the slider 22 becomes smaller.
Since the area of the adhesive surface between 7 and the gimbal spring 228 becomes very small and the amount of the adhesive 229 by the dispenser cannot be precisely controlled, when the amount of the adhesive 229 is large, it is attached on the adhesive surface of the gimbal spring 227. In addition, the adhesive 229 spreads on the gimbal spring 227 when the slider 227 is press-fitted, and the adhesive area of the slider 227 to the gimbal spring 228 becomes large.
【０００７】ここでこの問題について詳しく説明する。
例えば、スライダ２２７がアルチック（Al2O3TiC）で構
成され、ジンバルばね２２８がSUS で構成され、両者の
接着面積が大きい場合に、装置駆動時の装置内温度上昇
により、温度変化が生じると、スライダ２２７とジンバ
ルばね２２８との線膨張係数の相違により、バイメタル
効果が現れてスライダが反る。また、スライダ２２７に
金ボール２３０が施されている場合には、スライダ２２
７とジンバルばね２２８は接着剤２２９のみではなく金
ボール２３０によっても拘束されるので、バイメタル効
果による反り量の変化が一層顕著となる。図２１(a),
(b)はバイメタル効果による反り量を示すものである。Here, this problem will be described in detail.
For example, when the slider 227 is made of AlTiC (Al 2 O 3 TiC), the gimbal spring 228 is made of SUS, and the bonding area between the two is large, a temperature change occurs due to the temperature rise in the device when the device is driven. Due to the difference in linear expansion coefficient between the slider 227 and the gimbal spring 228, a bimetal effect appears and the slider warps. If the slider 227 is provided with gold balls 230, the slider 22
7 and the gimbal spring 228 are restrained not only by the adhesive 229 but also by the gold ball 230, so that the change in the amount of warpage due to the bimetal effect becomes more remarkable. 21 (a),
(b) shows the amount of warpage due to the bimetal effect.
【０００８】この反り量の変化は、図２１(c) に示すよ
うに、スライダ２２７とジンバルばね２２８の接着面積
と金ボール２３０の有無に依存する。反り量の変化、特
にスライダ長手方向の反り量が変化すると、図２２に示
すように、スライダ２２７の流入端や流出端の浮上量に
影響を与えてしまう。このことは磁気ヘッドが媒体の記
録を読み取る、あるいは記録する際に悪影響を及ぼす。
このため、温度変化によるスライダの反り量の変化を減
じなければならない。そこで、本発明は、浮上特性を左
右するスライダの形状パラメータの１つである反り量
を、スライダ周囲の温度変化によっても許容範囲内に収
めることができ、スライダの浮上特性を安定させること
ができる磁気ヘッド組立体を提供することを目的とす
る。As shown in FIG. 21 (c), the change in the warp amount depends on the bonding area between the slider 227 and the gimbal spring 228 and the presence or absence of the gold ball 230. If the amount of warp changes, especially the amount of warp in the longitudinal direction of the slider changes, as shown in FIG. 22, the flying height of the slider 227 at the inflow end or outflow end is affected. This adversely affects the magnetic head when reading or recording on the medium.
Therefore, it is necessary to reduce the change in the amount of warp of the slider due to the change in temperature. Therefore, according to the present invention, the warp amount, which is one of the shape parameters of the slider that influences the flying characteristics, can be kept within an allowable range even if the temperature around the slider changes, and the flying characteristics of the slider can be stabilized. An object is to provide a magnetic head assembly.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の第１の形態の磁気ヘッド組立体は、磁気記録媒体上
の情報を読み出したり、情報を書き込んだりする磁気ヘ
ッドを備えたスライダと、このスライダが接着剤によっ
て取り付けられるジンバルばねとを備える磁気ヘッド組
立体であって、ジンバルばねは、ロードビームと一体的
に形成されると共に、梁部によってロードビームに支持
されており、ロードビーム上に形成された薄膜の配線パ
ターンが梁部を通じてジンバルばねの表面上に導かれ、
この配線パターンの先端部はスライダの端部に一体的に
設けられた磁気ヘッドの入出力端子の位置に対応する端
子部となっており、スライダの入出力端子と配線パター
ンの端子部とが導電性ボンディングで接続され、スライ
ダがこの導電性ボンディングと接着剤によってジンバル
ばね上に二点拘束されるものにおいて、ジンバルばね表
面上の接着剤の塗布位置に配線パターンと高さが同じに
形成された複数の薄膜ダミーパターンを有し、この薄膜
ダミーパターンで挟まれた当該ジンバルばね上に、接着
剤を塗布してなることを特徴としている。A magnetic head assembly according to a first aspect of the present invention that achieves the above object is a slider provided with a magnetic head for reading and writing information on a magnetic recording medium. A magnetic head assembly having a gimbal spring to which the slider is attached by an adhesive, the gimbal spring being integrally formed with the load beam and being supported by the load beam by the beam portion. The wiring pattern of the thin film formed on the above is guided to the surface of the gimbal spring through the beam,
The tip portion of this wiring pattern is a terminal portion corresponding to the position of the input / output terminal of the magnetic head integrally provided on the end portion of the slider, and the input / output terminal of the slider and the terminal portion of the wiring pattern are conductive. In which the slider is connected by a conductive bonding and the slider is held at two points on the gimbal spring by the conductive bonding and the adhesive, the wiring pattern and the height are formed at the same position on the surface of the gimbal spring where the adhesive is applied. It is characterized in that it has a plurality of thin film dummy patterns, and an adhesive is applied on the gimbal springs sandwiched by the thin film dummy patterns.
【００１０】前記目的を達成する本発明の第２の形態の
磁気ヘッド組立体は、第１の形態の磁気ヘッド組立体で
あって、ジンバルばねの材料がＳＵＳからなり、接着剤
の硬化後のヤング率が、ジンバルばね材料のほぼ１／１
３０００以下であることを特徴としている。The magnetic head assembly according to the second aspect of the present invention which achieves the above object is the magnetic head assembly according to the first aspect, wherein the material of the gimbal spring is SUS and the adhesive after curing the adhesive is used. Young's modulus is almost 1/1 of gimbal spring material
It is characterized by being 3000 or less.
【００１１】前記目的を達成する本発明の第３の形態の
磁気ヘッド組立体は、第２の形態の磁気ヘッド組立体で
あって、スライダ材料のヤング率が、ジンバルばね材料
のヤング率とほぼ等しいことを特徴としている。The magnetic head assembly according to the third aspect of the present invention that achieves the above object is the magnetic head assembly according to the second aspect, wherein the Young's modulus of the slider material is substantially the same as the Young's modulus of the gimbal spring material. Characterized by equality.
【００１２】本発明の第１の形態の磁気ヘッド組立体に
よれば、ジンバルばね表面上の接着剤の塗布位置に配線
パターンと高さが同じに形成された複数の薄膜ダミーパ
ターンがあり、この薄膜ダミーパターンで挟まれたジン
バルばね上に接着剤を塗布してスライダが取り付けられ
るので、ジンバルばね上に塗布された接着剤が、スライ
ダの取り付け時にこの薄膜ダミーパターンを越えて広が
るのを抑え、このスライダとジンバルばねとの接着面積
を少なくして温度変化に対するスライダの反り量を規定
範囲内に抑えることができ、この結果、スライダが傾く
ことなくジンバルばねの上に取り付けられる。According to the magnetic head assembly of the first aspect of the present invention, there are a plurality of thin film dummy patterns having the same height as the wiring pattern at the adhesive application position on the surface of the gimbal spring. Since the slider is attached by applying an adhesive on the gimbal spring sandwiched between the thin film dummy patterns, the adhesive applied on the gimbal spring is prevented from spreading beyond the thin film dummy pattern when the slider is attached, By reducing the adhesion area between the slider and the gimbal spring, the amount of warp of the slider with respect to temperature change can be suppressed within a specified range, and as a result, the slider can be mounted on the gimbal spring without tilting.
【００１３】また、本発明の第２の形態の磁気ヘッド組
立体によれば、スライダとジンバルばねとを固定する接
着剤の硬化後のヤング率が著しく低いので、スライダの
周囲に温度変化があっても、スライダの反り量が小さく
抑えられ、温度変化に対するスライダの浮上量を安定に
することができる。更に、本発明の第３の形態の磁気ヘ
ッド組立体によれば、スライダとジンバルばねのヤング
率がほぼ等しいので、スライダの周囲に温度変化があっ
ても、スライダとジンバルばねの熱膨張による伸縮の差
が緩和され、温度変化に対するスライダの浮上量を安定
にすることができる。According to the magnetic head assembly of the second aspect of the present invention, since the Young's modulus of the adhesive for fixing the slider and the gimbal spring after curing is extremely low, there is a change in temperature around the slider. However, the warp amount of the slider can be suppressed to a small value, and the flying amount of the slider can be stabilized against temperature changes. Further, according to the magnetic head assembly of the third aspect of the present invention, since the Young's modulus of the slider and the gimbal spring are substantially equal, even if the temperature around the slider changes, the slider and the gimbal spring expand and contract due to thermal expansion. The difference between the two can be relaxed, and the flying height of the slider can be stabilized against temperature changes.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下添付図面を用いて本発明の実
施の形態を具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。
図１(a) は本発明の第１の実施例の磁気ヘッド組立体１
０の構成を示すものである。この実施例では、ジンバル
ばね１はロードビーム２の先端部にロードビーム２に一
体的に設けられている。すなわち、ジンバルばね１は、
ロードビーム２の先端部に設けられた２つの向かい合う
Ｕ字形状の穴４，５によって仕切られてロードビーム２
と一体的に形成され、Ｕ字形状の穴４，５の対向する端
部の間にある一対の梁部６，７を含んで構成される。そ
して、ジンバルばね１はこの一対の梁部６，７によって
ロードビーム２に支持されている。そして、ジンバルば
ね１には、ジンバルばね１をロードビーム２の軸線方向
に略３等分するように２条のスリット１１が設けられて
いる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below in detail based on specific examples with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1A shows a magnetic head assembly 1 according to the first embodiment of the present invention.
It shows a configuration of 0. In this embodiment, the gimbal spring 1 is provided integrally with the load beam 2 at the tip of the load beam 2. That is, the gimbal spring 1 is
The load beam 2 is partitioned by two U-shaped holes 4 and 5 facing each other provided at the tip of the load beam 2.
And a pair of beam portions 6 and 7 formed between the U-shaped holes 4 and 5 between opposite ends thereof. The gimbal spring 1 is supported by the load beam 2 by the pair of beam portions 6 and 7. Further, the gimbal spring 1 is provided with two slits 11 so as to divide the gimbal spring 1 into approximately three equal parts in the axial direction of the load beam 2.
【００１５】この２条のスリット１１は、ジンバルばね
１上に取り付けられるスライダ３とジンバルばね１との
接着面積をコントロールし、ジンバルばね１とスライダ
３とのスライダ長手方向の熱伸縮の差を緩和して、バイ
メタル効果の発生を抑制するために設けるものである。
従って、このスリット１１の配置は、ジンバルばね１上
に接着するスライダ３の横手方向に長くなるようにし、
スライダ３の接着面と対向するジンバルばね１の接着剤
の塗布面積がスライダ３の接着面の面積より小さくなる
ようにしなければならない。なお、この実施例はスライ
ダ３の接着面に対向するジンバルばね１の接着面の面積
がスライダ３の接着面の面積より大きい場合である。The two slits 11 control the bonding area between the slider 3 mounted on the gimbal spring 1 and the gimbal spring 1, and reduce the difference in thermal expansion and contraction between the gimbal spring 1 and the slider 3 in the slider longitudinal direction. Then, it is provided in order to suppress the occurrence of the bimetal effect.
Therefore, the slits 11 are arranged such that the slider 3 adhered onto the gimbal spring 1 becomes longer in the lateral direction,
The application area of the adhesive of the gimbal spring 1 facing the adhesive surface of the slider 3 must be smaller than the area of the adhesive surface of the slider 3. In this embodiment, the area of the adhesive surface of the gimbal spring 1 facing the adhesive surface of the slider 3 is larger than the area of the adhesive surface of the slider 3.
【００１６】このようなジンバルばね１にスライダ３を
取り付ける場合には、接着剤８が使用される。図１(b)
は図１(a) のＡ−Ａ線における断面を矢印の方から見た
断面図である。接着剤８は図１(b) に示すように予めジ
ンバルばね１に設けられた２条のスリット１１の間の領
域にディスペンサによって塗布され、この接着剤８の上
にスライダ３が圧接されて取り付けられる。なお、図１
(b) にはスライダ３の端部に金ボール９が描かれている
が、この金ボール９は後述する図１２以降の実施例にお
いて必要なものであり、図１から図１１までの実施例に
は特に必要のないものであるので、ここでは詳しく説明
しない。図２は、図１(a), (b)において説明したジンバ
ルばね１へのスリット１１の配置の具体的な実施例の構
成を示すロードビーム２の先端部の拡大平面図である。
この実施例では、図１と同じ構成部材には同じ符号が付
されている。従って、１がジンバルばね、２がロードビ
ーム、４，５がＵ字形状の穴、６，７が一対の梁部であ
る。なお、この実施例では、対向するＵ字形状の穴４，
５の外側にくの字状の穴が形成されており、梁部６，７
は略Ｔ字形状になっている。そして、略Ｔ字形状の梁部
６，７のＴの横棒の両端がロードビーム２に接続し、Ｔ
の縦棒の下端がジンバルばね１に接続している。この略
Ｔ字形状の梁部６，７は、スライダ取付部のローリング
方向と、ピッチング方向の変位を確実にするためのもの
であるが、これらの機能は本出願人による先願に詳細に
説明されているので、ここでは説明しない。When attaching the slider 3 to such a gimbal spring 1, an adhesive 8 is used. Figure 1 (b)
FIG. 2 is a sectional view of the section taken along the line AA of FIG. As shown in FIG. 1 (b), the adhesive 8 is applied by a dispenser to the area between the two slits 11 provided in the gimbal spring 1 in advance, and the slider 3 is pressed onto the adhesive 8 and attached. To be Note that FIG.
A gold ball 9 is drawn at the end of the slider 3 in (b), but this gold ball 9 is necessary in the embodiments shown in FIG. 12 and later, which will be described later. Since it is not particularly necessary for, it will not be described in detail here. FIG. 2 is an enlarged plan view of the tip portion of the load beam 2 showing the configuration of a specific embodiment of the arrangement of the slits 11 in the gimbal spring 1 described in FIGS. 1 (a) and 1 (b).
In this embodiment, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. Therefore, 1 is a gimbal spring, 2 is a load beam, 4 and 5 are U-shaped holes, and 6 and 7 are a pair of beam portions. In this embodiment, the U-shaped holes 4 facing each other are formed.
A V-shaped hole is formed on the outer side of the beam 5,
Has a substantially T shape. Then, both ends of the T horizontal bar of the substantially T-shaped beam portions 6 and 7 are connected to the load beam 2,
The lower end of the vertical bar of is connected to the gimbal spring 1. The substantially T-shaped beam portions 6 and 7 are for ensuring the displacement of the slider mounting portion in the rolling direction and the pitching direction, and these functions will be described in detail in the prior application by the applicant. However, it will not be described here.
【００１７】図３は、スライダ３の接着面積と、初期浮
上量に対する変化の様子を示す特性図である。この図３
から、ジンバルばね１に設ける２条のスリット１１の面
積は、スライダ３とジンバルばね１の適切な結合面積、
例えばスライダ３の接着面の面積の６０％以下、好まし
くは３０％程度とするのが良い。図２に示したジンバル
ばね１においても、２条のスリット１１の間にディスペ
ンサにより接着剤が滴下され、その後、スライダ３とジ
ンバルばね１とが圧接されて結合される。この時、接着
剤はスライダ３とジンバルばね１の間に広がって行くこ
とになるが、接着剤の量が多い場合でも、接着剤の広が
りはスリット１１の位置で止まり、それ以上大きな面積
に広がることはない。FIG. 3 is a characteristic diagram showing a bonding area of the slider 3 and a change in the initial flying height. This Figure 3
From the above, the area of the two slits 11 provided in the gimbal spring 1 is equal to the appropriate coupling area between the slider 3 and the gimbal spring 1,
For example, the area of the adhesive surface of the slider 3 is 60% or less, preferably about 30%. In the gimbal spring 1 shown in FIG. 2 as well, the adhesive is dropped by the dispenser between the two slits 11, and then the slider 3 and the gimbal spring 1 are pressed and joined together. At this time, the adhesive spreads between the slider 3 and the gimbal spring 1, but even when the amount of the adhesive is large, the spread of the adhesive stops at the slit 11 and spreads over a larger area. There is no such thing.
【００１８】従って、この状態で接着剤が硬化すると、
ジンバルばね１とスライダ３との接着面積が小さく抑え
られるので、温度変化によってジンバルばね１とスライ
ダ３との間の収縮長さが異なっても、その影響が少ない
面積の接着剤によって緩和される。この結果、スライダ
３の反り量に大きな変化が生じない。図４(a) から図６
(d) は図２に示したジンバルばね１に設ける少なくとも
１つのスリット１１の他の形状を示すものである。スリ
ット１１はジンバルばね１の中央部に設ける必要はな
く、ジンバルばね１の側端部から切り込むように設けて
も良い。また、スリット１１の形状は直線状でなくても
良く、途中で折れ曲がっていたり、曲線であっても良
い。Therefore, when the adhesive cures in this state,
Since the adhesion area between the gimbal spring 1 and the slider 3 is suppressed to be small, even if the contraction length between the gimbal spring 1 and the slider 3 differs due to temperature change, the effect is mitigated by the adhesive having a small area. As a result, the warp amount of the slider 3 does not change significantly. 4 (a) to 6
(d) shows another shape of at least one slit 11 provided in the gimbal spring 1 shown in FIG. The slit 11 does not have to be provided in the central portion of the gimbal spring 1, but may be provided so as to be cut from the side end portion of the gimbal spring 1. Further, the shape of the slit 11 does not have to be linear, and may be bent or curved in the middle.
【００１９】図４(a) はジンバルばね１の先端側に直線
状のスリット１１が設けられ、後端側にはジンバルばね
１の側端面からの切り込み状のスリット１１Ａが設けら
れている例であり、図４(b) はジンバルばね１の先端側
と後端側の両方に、ジンバルばね１の側端面からの切り
込み状のスリット１１Ａが設けられている例である。ま
た、図４(c) はジンバルばね１の後端側に直線状のスリ
ット１１が設けられ、先端側にはジンバルばね１の側端
面からの切り込み状のスリット１１Ａが設けられている
例であり、図４(d) はジンバルばね１に平行な２条の斜
め方向のスリット１１Ｂが設けられている例である。更
に、図４(e) はジンバルばね１に２条の湾曲したスリッ
ト１１Ｃが設けられている例であり、図４(f) はジンバ
ルばね１にＵ字形状のスリット１１Ｃがその頂部を対向
させて設けられている例である。FIG. 4A shows an example in which a linear slit 11 is provided on the tip side of the gimbal spring 1 and a slit 11A cut from the side end surface of the gimbal spring 1 is provided on the rear end side. FIG. 4 (b) shows an example in which the slits 11A cut from the side end surface of the gimbal spring 1 are provided on both the front end side and the rear end side of the gimbal spring 1. Further, FIG. 4C shows an example in which a linear slit 11 is provided on the rear end side of the gimbal spring 1 and a slit-like slit 11A from the side end surface of the gimbal spring 1 is provided on the front end side. 4 (d) is an example in which two diagonal slits 11B parallel to the gimbal spring 1 are provided. Further, FIG. 4 (e) is an example in which the gimbal spring 1 is provided with two curved slits 11C, and FIG. 4 (f) is a U-shaped slit 11C with the top of the gimbal spring 1 facing each other. It is an example provided.
【００２０】図５(a), (b)はハの字形状のスリット１１
が設けられている例であり、図５(c) は半円状のスリッ
ト１１Ｆが対向して設けられている例であり、図５(d)
は円弧状の短い３条のスリット１１Ｇが設けられている
例であり、図６(a) 〜(d) は直線状の短い３条のスリッ
ト１１Ｈを組み合わせた例である。以上、ジンバルばね
１に設けるスリット１１の配置を種々説明したが、スリ
ット１１の配置は前述の実施例以外にも種々考えられ、
本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。FIGS. 5 (a) and 5 (b) show a V-shaped slit 11
5 (c) is an example in which semicircular slits 11F are provided facing each other, and FIG. 5 (d)
Is an example in which three arcuate short slits 11G are provided, and FIGS. 6A to 6D are examples in which linear short three slits 11H are combined. Although various arrangements of the slits 11 provided in the gimbal spring 1 have been described above, various arrangements of the slits 11 are possible other than the above-described embodiments.
The invention is not limited to these examples.
【００２１】図７(a) は図１(a) に示した本発明の第１
の実施例の磁気ヘッド組立体１０の変形実施例の構成を
示すものである。この実施例でもジンバルばね１は、ロ
ードビーム２先端部に設けられた２つの向かい合うＵ字
形状の穴４，５によって仕切られてロードビーム２と一
体的に形成され、Ｕ字形状の穴４，５の対向する端部の
間にある部分が一対の梁部６，７となってジンバルばね
１がロードビーム２に支持されている。この実施例が図
１(a) の実施例と異なる点は、スライダ３に対するジン
バルばね１の大きさである。図１(a), (b)の実施例で
は、スライダ３の接着面に対向するジンバルばね１の接
着面の面積がスライダ３の接着面の面積より大きく形成
されていた。一方、図７(a), (b)では、スライダ３の接
着面に対向するジンバルばね１の接着面の面積がスライ
ダ３の接着面の面積より小さくなっている。そして、こ
の実施例では、ジンバルばね１上にロードビーム２の軸
線方向に直交する方向のスリット１１が１つ設けられて
いる。FIG. 7 (a) shows the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1 (a).
10 shows a configuration of a modified embodiment of the magnetic head assembly 10 of the above embodiment. Also in this embodiment, the gimbal spring 1 is formed integrally with the load beam 2 by being divided by two U-shaped holes 4 and 5 provided at the tip of the load beam 2 and facing each other. The gimbal spring 1 is supported by the load beam 2 by forming a pair of beam portions 6 and 7 between the opposing ends of the beam 5. The difference between this embodiment and the embodiment of FIG. 1A is the size of the gimbal spring 1 with respect to the slider 3. In the embodiment shown in FIGS. 1A and 1B, the area of the adhesive surface of the gimbal spring 1 facing the adhesive surface of the slider 3 is larger than the area of the adhesive surface of the slider 3. On the other hand, in FIGS. 7A and 7B, the area of the adhesive surface of the gimbal spring 1 facing the adhesive surface of the slider 3 is smaller than the area of the adhesive surface of the slider 3. In addition, in this embodiment, one slit 11 is provided on the gimbal spring 1 in a direction orthogonal to the axial direction of the load beam 2.
【００２２】この実施例の場合、ジンバルばね１は、一
対の梁部６，７に対して、ロードビーム２の基部側がカ
ットされている。ジンバルばね１をカットする位置は、
概ね図１(a) に示されるロードビーム２の基部側にある
スリット１１の部位である。図７(b) は図７(a) のＢ−
Ｂ線における断面を矢印の方から見た断面図である。接
着剤８は図７(b) に示すようにジンバルばね１に設けら
れたスリット１１と、ジンバルばね１のカット側の端部
の間の領域にディスペンサによって滴下され、この接着
剤８の上にスライダ３が圧接されて取り付けられる。な
お、図７(b) にもスライダ３の先端側の端部に金ボール
９が描かれているが、前述のように、この金ボール９も
この実施例には特に必要のないものであるので、ここで
は詳しく説明しない。In the case of this embodiment, the gimbal spring 1 is formed by cutting the pair of beam portions 6 and 7 on the base side of the load beam 2. The position to cut the gimbal spring 1 is
It is a portion of the slit 11 on the base side of the load beam 2 shown in FIG. 1 (a). 7 (b) is B- of FIG. 7 (a).
It is sectional drawing which looked at the cross section in the B line from the arrow. As shown in FIG. 7B, the adhesive 8 is dropped by a dispenser in a region between the slit 11 provided on the gimbal spring 1 and the end of the gimbal spring 1 on the cut side. The slider 3 is pressed and attached. 7B, the gold ball 9 is drawn on the end portion of the slider 3 on the tip side, but as described above, the gold ball 9 is not particularly necessary in this embodiment. Therefore, it will not be described in detail here.
【００２３】この場合、ジンバルばね１のスリット１１
を境にして、カット側のジンバルばね１の面積は、スラ
イダ３とジンバルばね１の適切な結合面積、例えばスラ
イダ接着面の面積の６０％以下（好ましくは３０％程
度）とする。そして、この部分にディスペンサにより接
着剤８が滴下され、その後、スライダ３とジンバルばね
１が結合される。接着剤８はスライダ３とジンバルばね
１の間に広がって行き、スリット１１へ向かう接着剤８
の広がりはスリット１１までに止まり、それ以上先端側
へ広がることはない。従って、接着面積はジンバルばね
１のスリット１１を境にして、ジンバルばね１をカット
する面積でコントロールすることが可能である。In this case, the slit 11 of the gimbal spring 1
At the boundary, the area of the gimbal spring 1 on the cut side is set to an appropriate coupling area between the slider 3 and the gimbal spring 1, for example, 60% or less (preferably about 30%) of the area of the slider bonding surface. Then, the adhesive 8 is dropped on this portion by the dispenser, and then the slider 3 and the gimbal spring 1 are coupled. The adhesive 8 spreads between the slider 3 and the gimbal spring 1 and goes toward the slit 11.
Spreads to the slit 11 and does not spread further toward the tip side. Therefore, the bonding area can be controlled by the area where the gimbal spring 1 is cut with the slit 11 of the gimbal spring 1 as a boundary.
【００２４】図８(a) は、図７(a), (b)において説明し
たジンバルばね１へのスリット１１の配置の具体的な実
施例の構成を示すロードビーム２の先端部の拡大平面図
である。この実施例では、図１と同じ構成部材には同じ
符号が付されている。従って、１がジンバルばね、２が
ロードビーム、４，５がＵ字形状の穴、６，７が一対の
梁部である。なお、この実施例でも、対向するＵ字形状
の穴４，５の外側にくの字状の穴が形成されており、梁
部６，７は略Ｔ字形状になっている。そして、略Ｔ字形
状の梁部６，７のＴの横棒の両端がロードビーム２に接
続し、Ｔの縦棒の下端がジンバルばね１に接続してい
る。この略Ｔ字形状の梁部６，７は、前述のようにスラ
イダ取付部のローリング方向と、ピッチング方向の変位
を確実にするためのものである。FIG. 8 (a) is an enlarged plan view of the tip of the load beam 2 showing the construction of the specific embodiment of the arrangement of the slits 11 in the gimbal spring 1 described in FIGS. 7 (a) and 7 (b). It is a figure. In this embodiment, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. Therefore, 1 is a gimbal spring, 2 is a load beam, 4 and 5 are U-shaped holes, and 6 and 7 are a pair of beam portions. Also in this embodiment, the V-shaped holes are formed outside the U-shaped holes 4 and 5 facing each other, and the beam portions 6 and 7 are substantially T-shaped. Both ends of the T horizontal bar of the substantially T-shaped beam portions 6 and 7 are connected to the load beam 2, and the lower ends of the T vertical bars are connected to the gimbal spring 1. The substantially T-shaped beams 6 and 7 are for ensuring the displacement of the slider mounting portion in the rolling direction and the pitching direction as described above.
【００２５】図８(a) に示したジンバルばね１において
は、スリット１１よりロードビーム２の基部側のジンバ
ルばね１の部分にディスペンサにより接着剤が滴下さ
れ、その後、スライダ３とジンバルばね１とが圧接され
て結合される。この時、接着剤はスライダ３とジンバル
ばね１の間に広がって行くことになるが、接着剤の量が
多い場合でも、接着剤の広がりはスリット１１の位置で
止まりそれ以上大きな面積に広がることはない。従っ
て、この状態で接着剤が硬化すると、ジンバルばね１と
スライダ３との接着面積が小さく抑えられるので、温度
変化によってジンバルばね１とスライダ３との間の収縮
長さが異なっても、その影響が少ない面積の接着剤によ
って緩和されるので、スライダ３の反り量に大きな変化
が生じない。In the gimbal spring 1 shown in FIG. 8 (a), an adhesive is dropped by a dispenser from the slit 11 to the portion of the gimbal spring 1 on the base side of the load beam 2, and then the slider 3 and the gimbal spring 1 are connected. Are pressed and joined. At this time, the adhesive spreads between the slider 3 and the gimbal spring 1, but even if the amount of the adhesive is large, the spread of the adhesive stops at the position of the slit 11 and spreads over a larger area. There is no. Therefore, when the adhesive hardens in this state, the bonding area between the gimbal spring 1 and the slider 3 can be suppressed to a small value, so that even if the contraction length between the gimbal spring 1 and the slider 3 differs due to temperature change, that effect will be affected. Is moderated by the adhesive having a small area, so that the warp amount of the slider 3 does not change significantly.
【００２６】図８(b) から図９(d) は図８(a) に示した
ジンバルばね１に設ける少なくとも１つのスリット１１
の他の形状を示すものである。スリット１１はジンバル
ばね１の中央部に設ける必要はなく、ジンバルばね１の
側端部から切り込むように設けても良い。また、スリッ
ト１１の形状は直線状でなくても良く、途中で折れ曲が
っていたり、曲線であっても良い。図８(b) はジンバル
ばね１の側端面からの切り込み状のスリット１１Ａが設
けられている例であり、図８(c) は図８(b) のスリット
１１Ａに加えてジンバルばね１の先端部側に直線状のス
リット１１が設けられている例である。図９(a) 〜(d)
はジンバルばね１上に２つのスリット１１が設けられて
いる種々の例であり、図９(a) は図８(a) のスリット１
１に加えて先端部側に切り込み状のスリット１１Ａが設
けられている例、図９(b) は図９(a) の直線状のスリッ
トが短いスリット１１Ａであり、先端側にはジンバルば
ね１の側端面からの切り込み深さが深いスリット１１Ａ
が設けられている例、図９(c) は図９(b) のスリット１
１Ａ、１１Ｈの配置が逆の例、および図９(d) はジンバ
ルばね１の一方の側端部から他方の側端部遅角まで延長
された長い２条のスリット１１Ａ′が設けられている例
である。8 (b) to 9 (d) show at least one slit 11 provided in the gimbal spring 1 shown in FIG. 8 (a).
3 shows another shape of the. The slit 11 does not have to be provided in the central portion of the gimbal spring 1, but may be provided so as to be cut from the side end portion of the gimbal spring 1. Further, the shape of the slit 11 does not have to be linear, and may be bent or curved in the middle. 8 (b) is an example in which a slit-like slit 11A is provided from the side end surface of the gimbal spring 1, and FIG. 8 (c) shows the tip of the gimbal spring 1 in addition to the slit 11A of FIG. 8 (b). This is an example in which a linear slit 11 is provided on the part side. 9 (a)-(d)
Are various examples in which two slits 11 are provided on the gimbal spring 1, and FIG. 9 (a) shows the slit 1 of FIG. 8 (a).
In addition to No. 1, an example in which a slit-like slit 11A is provided on the tip side, FIG. 9 (b) is a short slit 11A of the linear slit in FIG. 9 (a), and the gimbal spring 1 is provided on the tip side. 11A with a deep cut depth from the side end surface of
9 (c) is an example in which the slit 1 of FIG. 9 (b) is provided.
An example in which the positions of 1A and 11H are reversed, and FIG. 9 (d) is provided with two long slits 11A 'extending from one side end of the gimbal spring 1 to the other side end retard. Here is an example.
【００２７】以上説明したいずれの実施例においても、
スライダ３とジンバルばね１との接着面積のコントロー
ルは、ジンバルばね１のロードビーム２側のスリット１
１を境にして、ジンバルばね１をカットする面積を、ス
ライダ３とジンバルばね１の適切な結合面積、例えば、
スライダ接着面の面積の６０％以内とすることにより、
スライダ３とジンバルばね１の熱膨張による伸縮の差を
緩和することができる。また、ジンバルばね１をカット
した状態で、スリット１１の位置をカット側に寄せるこ
とによっても、スライダ３とジンバルばね１との接着面
積のコントロールを行うことができる。図１０(a), (b)
は本発明の第２の実施例の磁気ヘッド組立体２０を説明
するものであり、図１０(a) はこの第２の実施例のジン
バルばね１およびロードビーム２の構成を示している。
この実施例でも図１と同じ構成部材には同じ符号が付さ
れている。従って、１がジンバルばね、２がロードビー
ム、４，５がＵ字形状の穴、６，７が一対の梁部であ
る。なお、この実施例でも、対向するＵ字形状の穴４，
５の外側に「く」の字状の穴が形成されており、梁部
６，７は略Ｔ字形状になっている。そして、略Ｔ字形状
の梁部６，７のＴの横棒の両端がロードビーム２に接続
し、Ｔの縦棒の下端がジンバルばね１に接続している。
この略Ｔ字形状の梁部６，７は、前述のようにスライダ
取付部のローリング方向と、ピッチング方向の変位を確
実にするためのものである。In any of the embodiments described above,
The control of the bonding area between the slider 3 and the gimbal spring 1 is performed by the slit 1 on the load beam 2 side of the gimbal spring 1.
1, the area for cutting the gimbal spring 1 is defined as an appropriate coupling area between the slider 3 and the gimbal spring 1, for example,
By setting the area within 60% of the slider adhesion surface,
The difference in expansion and contraction due to thermal expansion of the slider 3 and the gimbal spring 1 can be reduced. Further, the adhesive area between the slider 3 and the gimbal spring 1 can be controlled also by moving the position of the slit 11 to the cut side with the gimbal spring 1 cut. Figure 10 (a), (b)
Illustrates a magnetic head assembly 20 of a second embodiment of the present invention, and FIG. 10 (a) shows the configuration of the gimbal spring 1 and the load beam 2 of the second embodiment.
Also in this embodiment, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. Therefore, 1 is a gimbal spring, 2 is a load beam, 4 and 5 are U-shaped holes, and 6 and 7 are a pair of beam portions. In this embodiment also, the U-shaped holes 4 facing each other are formed.
A V-shaped hole is formed on the outer side of the beam 5, and the beam portions 6 and 7 are substantially T-shaped. Both ends of the T horizontal bar of the substantially T-shaped beam portions 6 and 7 are connected to the load beam 2, and the lower ends of the T vertical bars are connected to the gimbal spring 1.
The substantially T-shaped beams 6 and 7 are for ensuring the displacement of the slider mounting portion in the rolling direction and the pitching direction as described above.
【００２８】この実施例では、スライダ３は一般的に用
いられているアルチックであり、ジンバルばね１の材料
は一般的に用いられているＳＵＳである。この両者を固
定するために、この実施例では接着剤８として、硬化後
のヤング率が例えば９．８×１０3 ｍＮ／ｍｍ2 程度の
ものが使用されている。接着剤８の厚みは、両者を固定
した場合の実測値から約５μｍである。使用したスライ
ダ３は、長さが約２ｍｍのもので、幅、厚みはそれぞれ
１．６ｍｍ、０．４３ｍｍである。In this embodiment, the slider 3 is a commonly used AlTiC and the material of the gimbal spring 1 is a commonly used SUS. In order to fix both of them, the adhesive 8 having Young's modulus after curing of, for example, about 9.8 × 10 3 mN / mm 2 is used in this embodiment. The thickness of the adhesive 8 is about 5 μm from the measured value when both are fixed. The slider 3 used has a length of about 2 mm, and its width and thickness are 1.6 mm and 0.43 mm, respectively.
【００２９】これに対して、従来の場合では、同じサイ
ズ、材料のジンバルばね１とスライダ３の組み合わせに
対して、接着剤８として硬化後のヤング率が９．８×１
０4ｍＮ／ｍｍ2 程度のものが使用されている。本発明
の実施例の接着剤と従来例の場合の接着剤を使用した場
合の、磁気ディスク装置の温度変化が５０℃の場合のス
ライダ３の反り量のシミュレーションを行った結果、以
下のような結果が得られた。
(1)接着剤の硬化後のヤング率が９．８×１０4 ｍＮ／
ｍｍ2 は反り量４３ｎｍ
(2)接着剤の硬化後のヤング率が９．８×１０3 ｍＮ／
ｍｍ2 は反り量６ｎｍ
ここで、温度変化を５０℃としたのは、磁気ディスク装
置の保証温度の中で、常温から最高温度までの差を表し
たものである。また、反り量とはスライダ３の中心位置
の高さと、スライダエッジ部の高さの差と定義した。On the other hand, in the conventional case, for the combination of the gimbal spring 1 and the slider 3 of the same size and material, the Young's modulus after curing as the adhesive 8 is 9.8 × 1.
The one having a value of about 0 4 mN / mm 2 is used. As a result of simulating the warp amount of the slider 3 when the temperature change of the magnetic disk device is 50 ° C. when the adhesive of the embodiment of the present invention and the adhesive of the conventional example are used, the following results are obtained. Results were obtained. (1) Young's modulus of the adhesive after curing is 9.8 × 10 4 mN /
mm 2 is the warp amount 43 nm (2) Young's modulus after curing of the adhesive is 9.8 × 10 3 mN /
mm 2 is the amount of warp 6 nm. Here, the temperature change of 50 ° C. represents the difference between the normal temperature and the maximum temperature in the guaranteed temperature of the magnetic disk device. Further, the warp amount is defined as the difference between the height of the center position of the slider 3 and the height of the slider edge portion.
【００３０】図１１(a) は、硬化後の接着剤のヤング率
をパラメータとした時のスライダの反り量の変化の様子
を表したシミュレーション結果である。また、図１１
(b) はスライダのレール面の反り量をパラメータとした
時のスライダの浮上量の変化の様子を表したシミュレー
ション結果である。これらの図から、硬化後の接着剤の
ヤング率が大きい程、スライダの反り量が大きくなり、
スライダの反りは接着剤の硬化後のヤング率に大きく依
存することが分かる。また、スライダの浮上量はスライ
ダの反りに大きく依存することも分かる。FIG. 11 (a) is a simulation result showing how the amount of warp of the slider changes when the Young's modulus of the adhesive after curing is used as a parameter. In addition, FIG.
(b) is a simulation result showing how the flying height of the slider changes when the amount of warp of the slider rail surface is used as a parameter. From these figures, the greater the Young's modulus of the cured adhesive, the greater the amount of warp of the slider,
It can be seen that the slider warp largely depends on the Young's modulus after the adhesive is cured. It can also be seen that the flying height of the slider largely depends on the warp of the slider.
【００３１】ところで、磁気ヘッドの読み書き特性、浮
上信頼性設計の見地からは、このスライダの温度変化時
の浮上量の変動率を５％以内に抑えなければならない。
このためには、図１１(b) からスライダの反り量を１０
ｎｍ以内に抑えなければならないことが分かる。更に、
図１１(a) から、スライダの反り量を１０ｎｍ以内に抑
えるためには、スライダとジンバルばねを固定する接着
剤の硬化後のヤング率を１．６×１０4 ｍＮ／ｍｍ2 以
下にしなければならないことが分かる。この値は、スラ
イダ材料であるアルチックとジンバルばねの材料である
ＳＵＳのうち、ヤング率の低い方のＳＵＳのヤング率の
約１／１３０００となる。From the viewpoint of the read / write characteristics of the magnetic head and the flying reliability design, the fluctuation rate of the flying height of the slider when the temperature changes must be suppressed within 5%.
For this purpose, the warp amount of the slider is set to 10 from FIG. 11 (b).
It can be seen that it must be kept within nm. Furthermore,
From FIG. 11 (a), in order to suppress the warp amount of the slider within 10 nm, the Young's modulus after curing of the adhesive for fixing the slider and the gimbal spring must be 1.6 × 10 4 mN / mm 2 or less. I understand that it will not happen. This value is about 1/13000 of the Young's modulus of SUS having a lower Young's modulus among the slider material AlTiC and the gimbal spring material SUS.
【００３２】このように、接着剤の硬化後のヤング率を
スライダ材料、あるいはジンバルばねの材料のうちのヤ
ング率の低い方の材料の約１／１３０００以下にするこ
とにより、スライダの反りを目標であるほぼ１０ｎｍ以
下にすることができ、スライダの浮上変動率を５％以内
にすることができる。また、スライダ材料とジンバルば
ねの材料のヤング率をほぼ同じものを用いることによ
り、温度変化時のスライダの反りを防止できる。一般的
に、ジンバルばねの材料はばね性を備えなくてはならな
いために、ＳＵＳ等の材料が使用されているため、スラ
イダ材料としてはＳＵＳのヤング率を考慮してジルコニ
ア等が適している。As described above, by setting the Young's modulus of the adhesive after curing to about 1/13000 or less of the slider material or the material of the gimbal spring having the lower Young's modulus, the warpage of the slider is targeted. Which is about 10 nm or less, and the floating fluctuation rate of the slider can be kept within 5%. Further, by using the slider material and the material of the gimbal spring having substantially the same Young's modulus, it is possible to prevent the slider from warping when the temperature changes. Generally, since the material of the gimbal spring must have springiness, a material such as SUS is used. Therefore, zirconia or the like is suitable as a slider material in consideration of Young's modulus of SUS.
【００３３】図１２は本出願人により出願された特願平
５−０８２１１０号に記載された磁気ヘッド組立体３０
の構成を示すものである。この構成においても前述の実
施例と同じ構成部材には同じ符号が付されている。従っ
て、１がジンバルばね、２がロードビーム、３がスライ
ダ、４，５がＵ字形状の穴、６，７が一対の梁部であ
る。なお、この実施例でも、対向するＵ字形状の穴４，
５の外側にくの字状の穴が形成されており、梁部６，７
は略Ｔ字形状になっている。そして、略Ｔ字形状の梁部
６，７のＴの横棒の両端がロードビーム２に接続し、Ｔ
の縦棒の下端がジンバルばね１に接続している。この略
Ｔ字形状の梁部６，７は、前述のようにスライダ取付部
のローリング方向と、ピッチング方向の変位を確実にす
るためのものである。また、この構成における３１，３
２は治具取付用穴、３３はロードビーム２の固定穴であ
る。FIG. 12 shows a magnetic head assembly 30 described in Japanese Patent Application No. 5-082110 filed by the present applicant.
It shows the configuration of. Also in this configuration, the same components as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals. Therefore, 1 is a gimbal spring, 2 is a load beam, 3 is a slider, 4 and 5 are U-shaped holes, and 6 and 7 are a pair of beam portions. In this embodiment also, the U-shaped holes 4 facing each other are formed.
A V-shaped hole is formed on the outer side of the beam 5,
Has a substantially T shape. Then, both ends of the T horizontal bar of the substantially T-shaped beam portions 6 and 7 are connected to the load beam 2,
The lower end of the vertical bar of is connected to the gimbal spring 1. The substantially T-shaped beams 6 and 7 are for ensuring the displacement of the slider mounting portion in the rolling direction and the pitching direction as described above. In addition, 31, 3 in this configuration
Reference numeral 2 is a jig mounting hole, and 33 is a fixing hole for the load beam 2.
【００３４】この構成の磁気ヘッド組立体３０が前述の
磁気ヘッド組立体１０，２０と異なる点は、ロードビー
ム２の表面に配線パターン１２が設けられている点であ
る。この配線パターン１２はスライダ３に設けられた磁
気ヘッド３Ａからの信号を取り出すためのものであり、
その一端はジンバルばね１の端部に設けられた端子１３
に接続し、他端はロードビーム２の基部近傍に設けられ
た出力端子１４に接続している。そして、配線パターン
１２は接続端子１３から梁部６，７を通ってロードビー
ム２上に至り、穴３１、３２を迂回しながら出力端子１
４まで引き回されている。The magnetic head assembly 30 having this structure is different from the above-described magnetic head assemblies 10 and 20 in that the wiring pattern 12 is provided on the surface of the load beam 2. The wiring pattern 12 is for extracting a signal from the magnetic head 3A provided on the slider 3,
One end of the terminal 13 is provided at the end of the gimbal spring 1.
, And the other end is connected to an output terminal 14 provided near the base of the load beam 2. Then, the wiring pattern 12 reaches the load beam 2 from the connection terminal 13 through the beam portions 6 and 7, and bypasses the holes 31 and 32 to output the output terminal 1.
Has been routed to 4.
【００３５】また、ジンバルばね１の端部に設けられた
接続端子１３はスライダ３の端部に設けられた端子３Ｂ
に対応した位置に設けられており、スライダ３がジンバ
ルばね１に取付られた状態で端子３Ｂに隣接するように
なっている。そして、スライダ３がジンバルばね１に取
付られた状態で、スライダ側の端子３Ｂとジンバルばね
１上の接続端子は、図１(b) に示した金ボール９によっ
て接続される。The connection terminal 13 provided at the end of the gimbal spring 1 is a terminal 3B provided at the end of the slider 3.
The slider 3 is adjacent to the terminal 3B while being attached to the gimbal spring 1. With the slider 3 attached to the gimbal spring 1, the slider side terminal 3B and the connection terminal on the gimbal spring 1 are connected by the gold ball 9 shown in FIG. 1 (b).
【００３６】この配線パターン１２は、例えば、メッキ
で形成された銅薄膜をフォトリソグラフィによってパタ
ーニングした銅性のパターンであり、厚さは約５μｍ、
幅は約５０μｍ程度である。この配線パターンの厚みお
よび幅は導体パターンの抵抗値およびロードビーム２の
容量によって決定される。なお、この配線パターン１２
がジンバルばね１の先端部に形成されることにより、ジ
ンバルばね１に取り付けられるスライダ３は、配線パタ
ーン１２の厚みだけ傾くことになる。これを防止するた
めに、一般にジンバルばね１の後端部側には配線パター
ン１２と高さが同じに形成された薄膜ダミーパターン１
５が設けられる。また、ロードビーム２の穴３１，３２
の周囲にも、ロードビーム２の幅方向の機械的強度バラ
ンスをとるために、配線パターン１２に対称にダミーパ
ターン１６，１７が設けられている。The wiring pattern 12 is, for example, a copper pattern obtained by patterning a copper thin film formed by plating by photolithography, and has a thickness of about 5 μm.
The width is about 50 μm. The thickness and width of this wiring pattern are determined by the resistance value of the conductor pattern and the capacitance of the load beam 2. The wiring pattern 12
Is formed at the tip of the gimbal spring 1, the slider 3 attached to the gimbal spring 1 is inclined by the thickness of the wiring pattern 12. In order to prevent this, generally, the thin film dummy pattern 1 having the same height as the wiring pattern 12 is formed on the rear end side of the gimbal spring 1.
5 are provided. Also, the holes 31, 32 of the load beam 2
Dummy patterns 16 and 17 are also provided symmetrically around the wiring pattern 12 in order to balance the mechanical strength in the width direction of the load beam 2.
【００３７】次に、以上のように構成された磁気ヘッド
組立体３０への本発明の適用について説明する。図１３
は図１２のジンバルばね１およびロードビーム２の要部
を拡大して示す部分拡大平面図であり、図１２と同じ構
成部材には同じ符号が付されている。この図１３の実施
例では、ジンバルばね１上に設けられた薄膜ダミーパタ
ーン１５と、配線パターン１２との間の領域にスリット
１１が設けられている。この場合、接着剤をスリット１
１と薄膜ダミーパターン１５の間の領域にディスペンサ
によって滴下すれば、スライダ３の取付時に、接着剤は
スリット１１と薄膜ダミーパターン１５によってその広
がりが規制されることになる。Next, application of the present invention to the magnetic head assembly 30 constructed as described above will be described. FIG.
FIG. 13 is a partially enlarged plan view showing enlarged main parts of the gimbal spring 1 and the load beam 2 of FIG. 12, and the same components as those of FIG. 12 are denoted by the same reference numerals. In the embodiment of FIG. 13, the slit 11 is provided in the region between the thin film dummy pattern 15 provided on the gimbal spring 1 and the wiring pattern 12. In this case, glue 1 slit
If the adhesive is dropped in the region between 1 and the thin film dummy pattern 15, the spread of the adhesive is restricted by the slit 11 and the thin film dummy pattern 15 when the slider 3 is attached.
【００３８】そして、この実施例の磁気ヘッド組立体で
は、スライダ３が接着剤８によってジンバルばね１に接
着されると共に、スライダ３がジンバルばね１に取付ら
れた状態で、スライダ側の端子３Ｂとジンバルばね１上
の接続端子は、図１(b) に示した金ボール９によって接
続される。従って、この実施例の磁気ヘッド組立体で
は、スライダ３とジンバルばね１とは金ボール９による
結合と接着剤８による結合によって２点拘束される。し
かしながら、この実施例では、金ボール９による結合部
と接着剤８による結合部との間にスリット１１が存在す
るため、その間のスライダ３とジンバルばね１の熱膨張
による伸縮の差が緩和され、金ボールと接着剤による２
点拘束の影響が小さくなる。この結果、温度変化による
スライダ３の反り量が少なくなる。In the magnetic head assembly of this embodiment, the slider 3 is adhered to the gimbal spring 1 by the adhesive 8 and the slider 3 is attached to the gimbal spring 1 and the slider-side terminal 3B. The connection terminals on the gimbal spring 1 are connected by the gold balls 9 shown in FIG. 1 (b). Therefore, in the magnetic head assembly of this embodiment, the slider 3 and the gimbal spring 1 are bound by the gold ball 9 and the adhesive 8 at two points. However, in this embodiment, since the slit 11 exists between the joint portion formed by the gold balls 9 and the joint portion formed by the adhesive 8, the difference in expansion and contraction due to thermal expansion of the slider 3 and the gimbal spring 1 between them is reduced. 2 with gold balls and adhesive
The effect of point constraint is reduced. As a result, the warp amount of the slider 3 due to the temperature change is reduced.
【００３９】図１４は図１３に示した実施例の変形実施
例を示すものであり、ジンバルばね１上の接着剤を滴下
する部分の両側に薄膜ダミーパターン１５が設けられて
いる例である。そして、この場合は、配線パターン１２
に近い側の薄膜ダミーパターン１５と配線パターン１２
との間にスリット１１が設けられている。この実施例で
はスライダ３のジンバルばね１への取付時に、接着剤は
２つの薄膜ダミーパターン１５によってその広がりが規
制されることになる。また、スリット１１は、薄膜ダミ
ーパターン１５を越えて広がろうとする接着剤が配線パ
ターン１２側に侵入するのを防止する。ここで２つの薄
膜ダミーパターン１５の間の面積は、図２に示した２条
のスリット１１の間の面積同様に、スライダ３の接着面
の面積の６０％以下、好ましくは３０％程度とするのが
良い。FIG. 14 shows a modification of the embodiment shown in FIG. 13, in which thin film dummy patterns 15 are provided on both sides of the portion of the gimbal spring 1 where the adhesive is dropped. In this case, the wiring pattern 12
Thin film dummy pattern 15 and wiring pattern 12 on the side close to
A slit 11 is provided between the and. In this embodiment, when the slider 3 is attached to the gimbal spring 1, the spread of the adhesive is restricted by the two thin film dummy patterns 15. Further, the slits 11 prevent the adhesive that attempts to spread beyond the thin film dummy pattern 15 from entering the wiring pattern 12 side. Here, the area between the two thin film dummy patterns 15 is 60% or less, preferably about 30%, of the area of the adhesive surface of the slider 3, like the area between the two slits 11 shown in FIG. Is good.
【００４０】この実施例でもスライダ３がジンバルばね
１に取付られた状態で、スライダ側の端子３Ｂとジンバ
ルばね１上の接続端子は、図１(b) に示した金ボール９
によって接続される。従って、この実施例の磁気ヘッド
組立体でも、スライダ３とジンバルばね１とは２点拘束
されるが、金ボール９による結合部と接着剤８による結
合部との間にスリット１１が存在するため、スライダ３
とジンバルばね１の熱膨張による伸縮の差が緩和され、
金ボールと接着剤による２点拘束の影響が小さくなって
温度変化によるスライダ３の反り量が少なくなる。Also in this embodiment, when the slider 3 is attached to the gimbal spring 1, the terminal 3B on the slider side and the connection terminal on the gimbal spring 1 have the gold ball 9 shown in FIG. 1 (b).
Connected by. Therefore, even in the magnetic head assembly of this embodiment, the slider 3 and the gimbal spring 1 are constrained at two points, but the slit 11 exists between the joint portion formed by the gold balls 9 and the joint portion formed by the adhesive 8. , Slider 3
And the difference in expansion and contraction due to thermal expansion of the gimbal spring 1 is reduced,
The influence of the two-point restraint by the gold ball and the adhesive is reduced, and the warp amount of the slider 3 due to the temperature change is reduced.
【００４１】図１５は図１４の変形実施例であり、図１
４に示されるジンバルばね１のロードビーム２側をカッ
トして短くしたものである。この実施例の場合も、スラ
イダ３がジンバルばね１に取付られた状態で、スライダ
側の端子３Ｂとジンバルばね１上の接続端子は、図７
(b) に示した金ボール９によって接続される。そして、
金ボール９による結合部と接着剤８による結合部との間
にスリット１１が存在するため、スライダ３とジンバル
ばね１の熱膨張による伸縮の差が緩和され、金ボールと
接着剤による２点拘束の影響が小さくなって温度変化に
よるスライダ３の反り量が少なくなるという、図１４に
示される磁気ヘッド組立体３０と同様の効果を備える。FIG. 15 shows a modified embodiment of FIG.
The load beam 2 side of the gimbal spring 1 shown in FIG. 4 is cut and shortened. Also in this embodiment, when the slider 3 is attached to the gimbal spring 1, the terminal 3B on the slider side and the connection terminal on the gimbal spring 1 are as shown in FIG.
It is connected by the gold ball 9 shown in (b). And
Since the slit 11 exists between the joint portion formed by the gold ball 9 and the joint portion formed by the adhesive 8, the difference in expansion and contraction due to thermal expansion of the slider 3 and the gimbal spring 1 is alleviated, and the two points are restrained by the gold ball and the adhesive. Has the same effect as that of the magnetic head assembly 30 shown in FIG. 14 in that the amount of warpage of the slider 3 due to temperature change is reduced.
【００４２】以上説明したように、本発明の第１の実施
例の磁気ヘッド組立体は、特願平５−０８２１１０号に
記載された磁気ヘッド組立体３０にも適用することが可
能である。なお、この場合にも、本発明の第２の実施例
で説明した接着剤を使用すれば、スライダ３の変形は一
層抑えられる。なお、以上説明した実施例におけるジン
バルばね１は、一対の梁部４，５とヘッド取付部とを備
え、ロードビーム２の先端部に一体的に設けられたもの
であったが、本発明におけるジンバルばね１は、ロード
ビーム２の先端に個別にジンバルばね１を取り付けた磁
気ヘッド組立体４０にも適用することができる。なお、
ここで説明する実施例においても、前述の実施例と実質
的の同じ構成部材には同じ符号を付して説明する。As described above, the magnetic head assembly according to the first embodiment of the present invention can be applied to the magnetic head assembly 30 described in Japanese Patent Application No. 5-082110. Also in this case, the deformation of the slider 3 can be further suppressed by using the adhesive described in the second embodiment of the present invention. The gimbal spring 1 in the above-described embodiment is provided with the pair of beam portions 4 and 5 and the head mounting portion and is integrally provided at the tip portion of the load beam 2. The gimbal spring 1 can also be applied to the magnetic head assembly 40 in which the gimbal spring 1 is individually attached to the tip of the load beam 2. In addition,
Also in the embodiment described here, substantially the same constituent members as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals.
【００４３】図１６は、個別のジンバルばねをロードビ
ームに取り付けた磁気ヘッド組立体４０の構成を示すも
のであり、ロードビーム２の先端部にはジンバルばね１
８がスポット溶接等によって固定されるようになってい
る。この実施例では、ジンバルばね１８の先端側を頂部
とするＵ字形状の穴１９で囲まれた舌片状の部分１８Ｂ
が、スライダ３が取り付けられるスライダ取付部を含む
ジンバルばねの内板部となっており、他の部分１８Ａが
ジンバルばねの外板部となっている。なお、図中２Ａは
ロードビーム２に強度を持たせるために、ロードビーム
２の両端で折れ曲がるビームである。この舌片状のジン
バルばねの内板部１８Ｂの自由端側のロードビーム２に
対向する面の所要箇所には、この舌片状のジンバルばね
の内板部１８Ｂをロードビーム２から離反させる突起２
１が設けられている。スライダ３がジンバルばねの内板
部１８Ｂに取り付けられた状態で、図１６のＣ−Ｃ線に
おける断面を矢印の方から見た図１７に示すように、突
起２１の先端部はロードビーム２に当接することによっ
て、ジンバルばね１をロードビーム２から離反させてい
る。FIG. 16 shows the construction of a magnetic head assembly 40 in which individual gimbal springs are attached to the load beam. The gimbal spring 1 is attached to the tip of the load beam 2.
8 is fixed by spot welding or the like. In this embodiment, a tongue-shaped portion 18B surrounded by a U-shaped hole 19 having the tip end side of the gimbal spring 18 as the apex.
Is the inner plate portion of the gimbal spring including the slider mounting portion to which the slider 3 is mounted, and the other portion 18A is the outer plate portion of the gimbal spring. In the figure, 2A is a beam that is bent at both ends of the load beam 2 in order to give the load beam 2 strength. A protrusion for separating the inner plate portion 18B of the tongue-shaped gimbal spring from the load beam 2 is provided at a required position on the surface of the inner plate portion 18B of the tongue-shaped gimbal spring facing the load beam 2. Two
1 is provided. With the slider 3 attached to the inner plate portion 18B of the gimbal spring, as shown in FIG. 17 which is a sectional view taken along the line CC of FIG. The abutment separates the gimbal spring 1 from the load beam 2.
【００４４】このように構成された磁気ヘッド組立体４
０において、本発明を適用する場合は、前述の突起２１
よりジンバルばね１の基部側（ロードビーム２の先端
側）にスリット１１を設ければ良い。The magnetic head assembly 4 thus constructed
0, when applying the present invention, the above-mentioned protrusion 21
The slit 11 may be provided closer to the base side of the gimbal spring 1 (the tip side of the load beam 2).
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の形
態によれば、ジンバルばね表面上の接着剤の塗布位置に
配線パターンと高さが同じに形成された複数の薄膜ダミ
ーパターンがあり、この薄膜ダミーパターンで挟まれた
ジンバルばね上に接着剤を塗布してスライダが取り付け
られるので、ジンバルばね上に塗布された接着剤が、ス
ライダの取り付け時にこの薄膜ダミーパターンを越えて
広がるのを抑え、このスライダとジンバルばねとの接着
面積を少なくして温度変化に対するスライダの反り量を
規定範囲内に抑えることができ、この結果、スライダが
傾くことなくジンバルばねの上に取り付けられる。ま
た、金ボールと接着によるスライダとジンバルの二点拘
束の影響を緩和することができるため、環境温度変化に
よるスライダの反り量の変化を抑制できるので、磁気デ
ィスク装置の高記録密度化に寄与するところが大きい。As described above, according to the first embodiment of the present invention, a plurality of thin film dummy patterns having the same height as the wiring pattern are formed at the adhesive application positions on the surface of the gimbal spring. Since the slider is attached by applying an adhesive on the gimbal spring sandwiched by the thin film dummy patterns, the adhesive applied on the gimbal spring spreads over the thin film dummy pattern when the slider is attached. The amount of warp of the slider with respect to temperature change can be suppressed within a specified range by reducing the adhesion area between the slider and the gimbal spring, and as a result, the slider can be mounted on the gimbal spring without tilting. Further, since it is possible to mitigate the effect of the two-point restraint between the slider and the gimbal due to the adhesion with the gold ball, it is possible to suppress the change in the amount of warp of the slider due to the change in environmental temperature, which contributes to the increase in the recording density of the magnetic disk device. However, it is big.
【００４６】また、本発明の第２の形態によれば、スラ
イダとジンバルばねとを結合する接着剤の硬化後のヤン
グ率を適正に選ぶことにより、磁気ディスク装置内部の
温度変化時のスライダの反り量の低減が可能となり、こ
の反りによるヘッドの浮上変化量を低減することがで
き、装置の読み書き特性、浮上特性の高信頼性化が可能
となる。更に、本発明の第３の形態によれば、スライダ
とジンバルばねのヤング率がほぼ等しいので、スライダ
の周囲に温度変化があっても、スライダとジンバルばね
の熱膨張による伸縮の差が緩和され、温度変化に対する
スライダの浮上量を安定にすることができる。According to the second aspect of the present invention, by properly selecting the Young's modulus after curing of the adhesive that bonds the slider and the gimbal spring, it is possible to adjust the slider when the temperature inside the magnetic disk device changes. The amount of warp can be reduced, the amount of change in the flying height of the head due to this warp can be reduced, and the read / write characteristics and floating characteristics of the device can be made highly reliable. Furthermore, according to the third aspect of the present invention, since the Young's modulus of the slider and the gimbal spring are substantially equal to each other, the difference in expansion and contraction due to thermal expansion of the slider and the gimbal spring is alleviated even if there is a temperature change around the slider. It is possible to stabilize the flying height of the slider against temperature changes.
【図１】(a), (b)は本発明の磁気ヘッド組立体の第１の
実施例の基本構成を示すものであり、(a) は磁気ヘッド
組立体の組立斜視図、(b) は(a) のＡ−Ａ線における断
面図である。1A and 1B show a basic structure of a first embodiment of a magnetic head assembly of the present invention, FIG. 1A is an assembly perspective view of a magnetic head assembly, and FIG. FIG. 7A is a sectional view taken along line AA of (a).
【図２】本発明の第１の実施例におけるジンバルばねへ
のスリットの配置の具体的な実施例の構成を示すロード
ビームの先端部の拡大平面図である。FIG. 2 is an enlarged plan view of the tip portion of the load beam showing the configuration of a specific embodiment of the arrangement of the slits on the gimbal spring in the first embodiment of the present invention.
【図３】スライダの接着面積と、スライダの初期浮上量
に対する変化の様子を示す特性図である。FIG. 3 is a characteristic diagram showing a bonding area of a slider and changes in the initial flying height of the slider.
【図４】(a) から(f) はジンバルばねに設けるスリット
の他の配置例を示すロードビームの先端部の拡大平面図
である。4 (a) to (f) are enlarged plan views of the tip portion of the load beam showing another example of the arrangement of slits provided in the gimbal spring.
【図５】(a) から(d) はジンバルばねに設けるスリット
の他の配置例を示すロードビームの先端部の拡大平面図
である。5A to 5D are enlarged plan views of the tip portion of the load beam showing another example of the arrangement of the slits provided in the gimbal spring.
【図６】(a) から(d) はジンバルばねに設けるスリット
の他の配置例を示すロードビームの先端部の拡大平面図
である。6 (a) to 6 (d) are enlarged plan views of the tip portion of the load beam showing another arrangement example of the slits provided in the gimbal spring.
【図７】(a), (b)は本発明の磁気ヘッド組立体の第１の
実施例の変形実施例の構成を示すものであり、(a) は磁
気ヘッド組立体の組立斜視図、(b) は(a) のＢ−Ｂ線に
おける断面図である。7 (a) and 7 (b) show a configuration of a modified example of the first embodiment of the magnetic head assembly of the present invention, and FIG. 7 (a) is an assembled perspective view of the magnetic head assembly, (b) is a sectional view taken along line BB of (a).
【図８】(a) は本発明の第１の実施例の変形実施例にお
けるジンバルばねへのスリットの配置の具体的な実施例
の構成を示すロードビームの先端部の拡大平面図、(b)
と(c) はジンバルばねに設けるスリットの他の配置例を
示すロードビームの先端部の拡大平面図である。FIG. 8 (a) is an enlarged plan view of a tip portion of a load beam showing the configuration of a specific embodiment of the arrangement of slits on a gimbal spring in a modified embodiment of the first embodiment of the present invention; )
And (c) are enlarged plan views of the tip portion of the load beam showing another arrangement example of the slits provided in the gimbal spring.
【図９】(a) から(d) はジンバルばねに設けるスリット
の他の配置例を示すロードビームの先端部の拡大平面図
である。9 (a) to 9 (d) are enlarged plan views of the tip portion of the load beam showing another arrangement example of the slits provided in the gimbal spring.
【図１０】本発明の第２の実施例の磁気ヘッド組立体の
構成を示すものであり、(a) はこの第２の形態のジンバ
ルばねおよびロードビームの構成を示すロードビームの
先端部の拡大平面図、(b) は(a) に示したジンバルばね
への接着剤の塗布状態を説明する(a) の部分拡大側面図
である。FIG. 10 is a view showing a structure of a magnetic head assembly according to a second embodiment of the present invention, in which (a) is a gimbal spring and a structure of a load beam of the second embodiment, showing a tip of a load beam; An enlarged plan view, (b) is a partially enlarged side view of (a) for explaining a state in which an adhesive is applied to the gimbal spring shown in (a).
【図１１】第２の実施例に使用する接着剤の性質を決定
するためのデータであり、(a) は硬化後の接着剤のヤン
グ率とスライダの反り量の関係を示す特性図、(b) はス
ライダの反り量とスライダの浮上量の関係を示す特性図
である。FIG. 11 is data for determining the properties of the adhesive used in the second embodiment, (a) is a characteristic diagram showing the relationship between the Young's modulus of the adhesive after curing and the amount of warpage of the slider, b) is a characteristic diagram showing the relationship between the amount of warp of the slider and the amount of flying of the slider.
【図１２】本発明を適用する既存の磁気ヘッド組立体の
構成を示す組立斜視図である。FIG. 12 is an assembly perspective view showing a configuration of an existing magnetic head assembly to which the present invention is applied.
【図１３】図１２の磁気ヘッド組立体への本発明の第１
の実施例の適用例を示すロードビームの先端部の拡大平
面図である。FIG. 13 is a first part of the present invention for the magnetic head assembly of FIG.
FIG. 13 is an enlarged plan view of the tip portion of the load beam showing an application example of the embodiment of FIG.
【図１４】図１２の磁気ヘッド組立体への本発明の第１
の実施例の別の適用例を示すロードビームの先端部の拡
大平面図である。FIG. 14 is a first part of the present invention for the magnetic head assembly of FIG.
FIG. 13 is an enlarged plan view of the tip portion of the load beam showing another application example of the embodiment of FIG.
【図１５】図１２の磁気ヘッド組立体への本発明の第１
の実施例の別の適用例を示すロードビームの先端部の拡
大平面図である。FIG. 15 is a first part of the present invention for the magnetic head assembly of FIG.
FIG. 13 is an enlarged plan view of the tip portion of the load beam showing another application example of the embodiment of FIG.
【図１６】片持ちのジンバルばねを使用した磁気ヘッド
組立体への本発明の適用を示す組立斜視図である。FIG. 16 is an assembly perspective view showing application of the present invention to a magnetic head assembly using a cantilevered gimbal spring.
【図１７】図１６の磁気ヘッド組立体のＣ−Ｃ線におけ
る断面図である。17 is a cross-sectional view taken along the line CC of the magnetic head assembly of FIG.
【図１８】従来の磁気ディスク装置２２０の構成を示す
平面図である。FIG. 18 is a plan view showing a configuration of a conventional magnetic disk device 220.
【図１９】(a) は図１８に示した磁気ヘッド組立体の従
来の構成例を示す組立斜視図、(b) は(a) の要部拡大側
面図である。19A is an assembly perspective view showing a conventional configuration example of the magnetic head assembly shown in FIG. 18, and FIG. 19B is an enlarged side view of a main part of FIG.
【図２０】(a), (b)は図１９のようにしてジンバルばね
にスライダが取り付けられた状態を示す斜視図、および
要部側面図である。20 (a) and 20 (b) are a perspective view showing a state where a slider is attached to the gimbal spring as shown in FIG. 19, and a side view of a main part.
【図２１】(a), (b)は従来の磁気ヘッド組立体における
バイメタル効果によるスライダの反り量を示す説明図、
(c) はスライダとジンバルばねとの接着面積とスライダ
の初期反り量にたいする変化を示す特性図である。21 (a) and 21 (b) are explanatory views showing the amount of slider warpage due to the bimetal effect in the conventional magnetic head assembly;
(c) is a characteristic diagram showing a change in an adhesive area between the slider and the gimbal spring and an initial warp amount of the slider.
【図２２】従来の磁気ヘッド組立体におけるスライダの
反り量の変化に対する浮上量の変化を示す特性図であ
る。FIG. 22 is a characteristic diagram showing changes in the flying height with respect to changes in the slider warp amount in a conventional magnetic head assembly.
１…ジンバルばね ２…ロードビーム ３…スライダ ４，５…Ｕ字形状の穴 ６，７…ジンバルばねの梁部 ８…接着剤 ９…金ボール １０，２０，３０，４０…磁気ヘッド組立体 １１，１１Ａ〜１１Ｈ…スリット １２…配線パターン １３…接続端子 １４…出力端子 １５…薄膜ダミーパターン １６，１７…ダミーパターン １８…ジンバル板 １８Ａ…ジンバルばねの外板部 １８Ｂ…ジンバルばねの内板部 １９…Ｕ字形状の穴 ２１…突起 1 ... Gimbal spring 2 ... Road beam 3 ... Slider 4, 5 ... U-shaped holes 6, 7 ... Gimbal spring beam 8 ... Adhesive 9 ... Gold ball 10, 20, 30, 40 ... Magnetic head assembly 11, 11A-11H ... slit 12 ... Wiring pattern 13 ... Connection terminal 14 ... Output terminal 15 ... Thin film dummy pattern 16, 17 ... Dummy pattern 18 ... Gimbal board 18A ... Gimbal spring outer plate 18B ... Inner plate of gimbal spring 19 ... U-shaped hole 21 ... Protrusion
フロントページの続き (72)発明者 古石 亮介 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 米岡 誠二 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5D059 AA01 BA01 CA01 CA02 CA03 CA11 CA14 DA04 DA33 EA02Continued front page (72) Inventor Ryosuke Furuishi 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Within Fujitsu Limited (72) Inventor Seiji Yoneoka 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Within Fujitsu Limited F-term (reference) 5D059 AA01 BA01 CA01 CA02 CA03 CA11 CA14 DA04 DA33 EA02
Claims (3)
情報を書き込んだりする磁気ヘッドを備えたスライダ
と、このスライダが接着剤によって取り付けられるジン
バルばねとを備える磁気ヘッド組立体であって、 前記ジンバルばねは、ロードビームと一体的に形成され
ると共に、梁部によって前記ロードビームに支持されて
おり、 前記ロードビーム上に形成された薄膜の配線パターンが
前記梁部を通じてジンバルばねの表面上に導かれ、この
配線パターンの先端部は前記スライダの端部に一体的に
設けられた磁気ヘッドの入出力端子の位置に対応する端
子部となっており、前記スライダの入出力端子と前記配
線パターンの端子部とが導電性ボンディングで接続さ
れ、前記スライダがこの導電性ボンディングと前記接着
剤によって前記ジンバルばね上に二点拘束されるものに
おいて、 前記ジンバルばね表面上の前記接着剤の塗布位置に前記
配線パターンと高さが同じに形成された複数の薄膜ダミ
ーパターンを有し、この薄膜ダミーパターンで挟まれた
当該ジンバルばね上に、前記接着剤を塗布してなること
を特徴とする磁気ヘッド組立体。1. Reading information on a magnetic recording medium,
A magnetic head assembly comprising a slider having a magnetic head for writing information, and a gimbal spring to which the slider is attached by an adhesive, wherein the gimbal spring is formed integrally with a load beam, A beam portion supports the load beam, and a thin film wiring pattern formed on the load beam is guided to the surface of the gimbal spring through the beam portion, and the tip end of the wiring pattern is the end portion of the slider. Is a terminal portion corresponding to the position of the input / output terminal of the magnetic head provided integrally with the slider, the input / output terminal of the slider and the terminal portion of the wiring pattern are connected by conductive bonding, and the slider is In the case where two points are constrained on the gimbal spring by the conductive bonding and the adhesive, the gimbal At the application position of the adhesive on the spring surface, a plurality of thin film dummy patterns having the same height as the wiring pattern are formed, and the adhesive is placed on the gimbal spring sandwiched by the thin film dummy patterns. A magnetic head assembly characterized by being applied.
って、前記ジンバルばねの材料がＳＵＳからなり、前記
接着剤の硬化後のヤング率が、前記ジンバルばね材料の
ほぼ１／１３０００以下であることを特徴とする磁気ヘ
ッド組立体。2. The magnetic head assembly according to claim 1, wherein the material of the gimbal spring is SUS, and the Young's modulus of the adhesive after curing is about 1/13000 or less of that of the gimbal spring material. And a magnetic head assembly.
って、 前記スライダ材料のヤング率が、前記ジンバルばね材料
のヤング率とほぼ等しいことを特徴とする磁気ヘッド組
立体。3. The magnetic head assembly according to claim 2, wherein the Young's modulus of the slider material is substantially equal to the Young's modulus of the gimbal spring material.
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