JP2003091049A - Device for reading x-ray image - Google Patents

Device for reading x-ray image

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JP2003091049A
JP2003091049A JP2001284703A JP2001284703A JP2003091049A JP 2003091049 A JP2003091049 A JP 2003091049A JP 2001284703 A JP2001284703 A JP 2001284703A JP 2001284703 A JP2001284703 A JP 2001284703A JP 2003091049 A JP2003091049 A JP 2003091049A
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pulse
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read
head
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Rigaku Corp
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for reading an X-ray image for obtaining highly reliable reading data by generating a normally stable sampling pulse without being affected by the mechanical error of a reading head. SOLUTION: The device is provided with the reading heads H1 and H2 for extracting data from an X-ray image holding body 17, scanning driving devices 37 and 38 for moving the reading heads H1 and H2 in order to scan the X-ray image holding body 17, a sensor 36 for generating a reference pulse with the positions of the reading heads H1 and H2 as reference, a sampling pulse generating circuit for generating the sampling pulse with the reference pulse as reference and a sampling circuit for sampling data which are extracted by the reading heads H1 and H2 in response to the sampling pulse. The sampling pulse generating circuit generates the sampling pulse independently of the scanning driving devices 37 and 38.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線像保持体、例
えば蓄積性蛍光体によって形成されたX線保持面を有す
るX線像保持体に保持されたX線像を読取るためのX線
画像読取り装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray image holding member, for example, an X-ray for reading an X-ray image held by an X-ray image holding member having an X-ray holding surface formed by a stimulable phosphor. The present invention relates to an image reading device.

【0002】[0002]

【従来の技術】蓄積性蛍光体を用いて形成されたX線像
保持体は、従来から知られている。試料の結晶構造等を
知るためにこのX線像保持体を用いてX線測定を行う場
合には、上記試料にX線を照射し、このときにその試料
から発生するX線、例えば回折X線、散乱X線等によっ
て上記のX線像保持体を露光する。これにより、X線保
持体のX線受光面のうち回折X線等が発生した回折角度
に対応するX線像保持体の座標位置にエネルギ潜像が形
成される。
2. Description of the Related Art An X-ray image carrier formed by using a stimulable phosphor has been conventionally known. When X-ray measurement is performed using this X-ray image holder to know the crystal structure of the sample, the sample is irradiated with X-rays, and X-rays generated from the sample at this time, for example, diffraction X-rays. The above X-ray image carrier is exposed to light, scattered X-rays, or the like. As a result, an energy latent image is formed on the X-ray receiving surface of the X-ray holder at the coordinate position of the X-ray image holder corresponding to the diffraction angle at which the diffracted X-rays or the like are generated.

【0003】蓄積性蛍光体は、X線が当たった所にエネ
ルギ潜像を保持する性質を有すると共に、エネルギ潜像
が保持されている所に輝尽励起光、例えばレーザ光を照
射すると、そのエネルギ潜像が光に変換されて外部に放
出されるという性質を有する。このため、エネルギ潜像
を保持する蓄積性蛍光体にレーザ光を照射したときにそ
の蓄積性蛍光体から放出される光を検出すれば、そのエ
ネルギ潜像の形成に寄与したX線の強度を知ることがで
きる。また、光を放出した蓄積性蛍光体の座標位置か
ら、エネルギ潜像の形成に寄与したX線の回折角度を知
ることができる。
The stimulable phosphor has a property of holding an energy latent image at the place where it is exposed to X-rays, and when the place where the energy latent image is held is irradiated with stimulated excitation light, for example, laser light, It has a property that an energy latent image is converted into light and emitted to the outside. Therefore, when the light emitted from the storage phosphor when the storage phosphor holding the energy latent image is irradiated with the laser beam is detected, the intensity of the X-rays that contributed to the formation of the energy latent image is detected. I can know. Further, from the coordinate position of the stimulable phosphor that has emitted the light, it is possible to know the X-ray diffraction angle that has contributed to the formation of the energy latent image.

【0004】この原理を利用したX線画像読取り装置と
して、本出願人は、図10に示すようなダブルヘッド方
式のX線画像読取り装置100を提案した。この従来の
装置では、第1読取りヘッド101aと第2読取りヘッ
ド101bを180°の角度間隔で互いに対称な位置に
配置し、レーザ光源を内蔵する出射光学系102からの
レーザ光を分配して第1読取りヘッド101a及び第2
読取りヘッド101bの両方から外部へ出射する。
As an X-ray image reading apparatus utilizing this principle, the present applicant has proposed a double head type X-ray image reading apparatus 100 as shown in FIG. In this conventional apparatus, the first read head 101a and the second read head 101b are arranged symmetrically with respect to each other at an angular interval of 180 °, and the laser light from the emission optical system 102 having a built-in laser light source is distributed. 1 read head 101a and 2nd
The light is emitted from both of the read heads 101b to the outside.

【0005】また、第1読取りヘッド101a又は第2
読取りヘッド101bは外部の光を取り込むことがで
き、取り込まれたその光は光電変換器を内蔵した受光光
学系103によって受光され、さらに、光電変換器によ
って電気信号に変換される。
The first read head 101a or the second read head 101a
The read head 101b can capture external light, and the captured light is received by a light receiving optical system 103 having a photoelectric converter built therein, and is further converted into an electric signal by the photoelectric converter.

【0006】この構成から成るX線画像読取り装置10
0によってX線像保持体104に保持されたX線潜像を
読取る際には、X線像保持体104を半円筒形状に湾曲
させて配置し、第1読取りヘッド101a及び第2読取
りヘッド101bの回転軸線X0をX線像保持体104
の円筒形状の略中心位置に配置する。そして、第1読取
りヘッド101a及び第2読取りヘッド101bを軸線
X0を中心として矢印Aのように回転させながら、同時
に、X線画像読取り装置100の全体を矢印Bのように
軸線X0と平行に移動させる。
An X-ray image reading apparatus 10 having this structure
When the X-ray latent image held by the X-ray image holding member 104 by 0 is read, the X-ray image holding member 104 is curved and arranged in a semi-cylindrical shape, and the first read head 101a and the second read head 101b are arranged. The rotation axis X0 of the X-ray image holding member 104
It is arranged at a substantially central position of the cylindrical shape. Then, while rotating the first read head 101a and the second read head 101b about the axis X0 as indicated by arrow A, at the same time, the entire X-ray image reading apparatus 100 is moved parallel to the axis X0 as indicated by arrow B. Let

【0007】以上のような矢印A方向への回転及び矢印
B方向への直進移動により、第1読取りヘッド101a
及び第2読取りヘッド101bは、X線像保持体104
に対向する領域へ交互に持ち運ばれ、結果的に、X線像
保持体104の広い面を走査する。この走査の際、第1
読取りヘッド101a又は第2読取りヘッド101bか
ら出射したレーザ光がX線保持体104の表面を走査
し、その表面にエネルギ潜像が存在する個所をレーザ光
が走査すると、その個所から光が発生する。
By the rotation in the arrow A direction and the rectilinear movement in the arrow B direction as described above, the first read head 101a
And the second read head 101b includes an X-ray image holder 104.
Are alternately carried to a region facing each other, and as a result, a wide surface of the X-ray image holding member 104 is scanned. During this scan, the first
When the laser light emitted from the read head 101a or the second read head 101b scans the surface of the X-ray holder 104, and the laser light scans a portion where an energy latent image exists on the surface, light is generated from that portion. .

【0008】その光は、第1読取りヘッド101a又は
第2読取りヘッド101bを通して受光光学系103に
取り込まれ、電気信号へ変換され、さらにその電気信号
に基づいてX線像保持体104からの光強度が個々の座
標位置ごとに求められる。すなわちサンプリングされ
る。この光強度は、その発光の基になるエネルギ潜像の
形成に寄与したX線の強度に対応しており、それ故、発
光強度を測定することによりX線強度を知ることができ
る。
The light is taken into the light receiving optical system 103 through the first read head 101a or the second read head 101b, converted into an electric signal, and based on the electric signal, the light intensity from the X-ray image holder 104 is increased. Is calculated for each coordinate position. That is, it is sampled. This light intensity corresponds to the intensity of the X-rays that contributed to the formation of the energy latent image that is the basis of the emission, and therefore the X-ray intensity can be known by measuring the emission intensity.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記の光強度データの
サンプリングは、従来、受光光学系103の光強度出力
端子に演算回路を接続し、さらにこの演算回路にサンプ
リング用パルスを供給し、この演算回路により、受光光
学系103の光強度出力をサンプリング用パルスの個々
のパルス幅期間だけ取り出して、その取り出した光強度
データを1ピクセル分の読取りデータとしている。そし
て、従来のX線画像読取り装置では、第1読取りヘッド
101a及び第2読取りヘッド101bの回転軸にエン
コーダを設け、このエンコーダから出力されるパルスを
利用して上記のサンプリング用パルスを生成していた。
In the above-described sampling of light intensity data, conventionally, an arithmetic circuit is connected to the light intensity output terminal of the light receiving optical system 103, and a sampling pulse is supplied to the arithmetic circuit to perform the arithmetic operation. The circuit extracts the light intensity output of the light receiving optical system 103 for each pulse width period of the sampling pulse, and uses the extracted light intensity data as read data for one pixel. In the conventional X-ray image reading apparatus, encoders are provided on the rotary shafts of the first reading head 101a and the second reading head 101b, and the sampling pulses are generated using the pulses output from the encoders. It was

【0010】ところで、本発明に係るX線画像読取り装
置で必要とされるサンプリング用パルスの周波数は31
2.5KHz程度であるが、このような高速の周波数を
出力できるエンコーダは現在のところ市販されていな
い、すなわち自由に入手できる状況にはない。従って従
来は、必要である周波数が312.5KHzであること
に鑑み、わざわざ周波数の低い、すなわち分解能の低い
エンコーダを使用して、このエンコーダの出力パルスを
2倍、4倍、……のように倍数化して擬似的にサンプリ
ング用パルスを生成していた。
By the way, the frequency of the sampling pulse required in the X-ray image reading apparatus according to the present invention is 31.
Although it is about 2.5 KHz, an encoder capable of outputting such a high speed frequency is not commercially available at present, that is, it is not in a situation where it is freely available. Therefore, conventionally, considering that the required frequency is 312.5 KHz, the output pulse of this encoder is doubled, quadrupled, etc. by using an encoder with a low frequency, that is, a low resolution. A sampling pulse was generated by multiplying it.

【0011】しかしながら、このような擬似的なパルス
は厳密に言えば正確なタイミングでON/OFFするパ
ルスではないので、このパルスに基づいてサンプリング
された従来のデータは極めて高精度なデータとは言えな
い面があった。
However, strictly speaking, such a pseudo pulse is not a pulse which is turned ON / OFF at an accurate timing, so that the conventional data sampled based on this pulse can be said to be extremely highly accurate data. There was no side.

【0012】さらに、上記従来のX線画像読取り装置の
ように、読取りヘッドの回転軸に取り付けたエンコーダ
に基づいてサンプリング用パルスを生成する場合には、
部品の寸法誤差や部品同士の組付け誤差等に起因して、
エンコーダの回転盤が真円状態で回転しない状態、例え
ば偏心して回転する状態になることが少なくなかった。
この場合には、エンコーダの出力パルスとして安定した
周波数のパルスを得ることは難しいと考えられる。
Further, like the conventional X-ray image reading apparatus described above, when the sampling pulse is generated based on the encoder attached to the rotary shaft of the reading head,
Due to dimensional error of parts and assembly error between parts,
In many cases, the rotary disc of the encoder does not rotate in a perfect circle, for example, eccentrically rotates.
In this case, it is considered difficult to obtain a pulse having a stable frequency as the output pulse of the encoder.

【0013】このように、エンコーダから得られるパル
スが不安定であれば、必然的にサンプリング用パルスも
不安定になり、その場合には、最終的に得られるサンプ
リングデータも再現性の低い、すなわち信頼性の低いデ
ータとならざるを得なかった。特に、図10に示す従来
装置のように、2つの読取りヘッドを180°の対称位
置に配置したダブルヘッド方式の装置の場合には、それ
らの読取りヘッドを用いて得られた読取りデータが、偏
心の影響を受けて大きくずれる傾向にあった。
As described above, if the pulse obtained from the encoder is unstable, the sampling pulse is necessarily also unstable. In that case, the finally obtained sampling data also has low reproducibility, that is, The data had to be unreliable. In particular, in the case of a double head type device in which two read heads are arranged symmetrically at 180 ° like the conventional device shown in FIG. 10, the read data obtained by using those read heads is eccentric. There was a tendency for it to shift significantly due to the influence of.

【0014】本発明は、上記の問題点に鑑みて成された
ものであって、読取りヘッドの機械的な誤差の影響を受
けることなく、常に安定したサンプリング用パルスを生
成することにより、信頼性の高い読取りデータを得られ
るようにすることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is possible to always generate a stable sampling pulse without being affected by a mechanical error of a read head, thereby improving reliability. The purpose is to be able to obtain high read data.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】(1)上記の目的を達成
するため、本発明に係るX線画像読取り装置は、X線像
保持体からデータを採取する読取りヘッドと、該読取り
ヘッドを前記X線像保持体の走査のために移動させる走
査駆動手段と、前記読取りヘッドの位置を基準として基
準パルスを発生する手段と、前記基準パルスを基準とす
るサンプリング用パルスを生成するサンプリング用パル
ス生成手段と、前記読取りヘッドによって採取したデー
タを前記サンプリング用パルスに従ってサンプリングす
るサンプリング手段とを有し、前記サンプリング用パル
ス生成手段は、前記走査駆動手段から独立してサンプリ
ング用パルスを生成することを特徴とする。
(1) In order to achieve the above object, an X-ray image reading apparatus according to the present invention includes a read head for collecting data from an X-ray image carrier, and the read head as described above. Scan driving means for moving the X-ray image carrier for scanning, means for generating a reference pulse with the position of the read head as a reference, and sampling pulse generation for generating a sampling pulse with the reference pulse as a reference. And sampling means for sampling the data sampled by the read head according to the sampling pulse, wherein the sampling pulse generating means generates the sampling pulse independently of the scan driving means. And

【0016】この構成のX線画像読取り装置によれば、
サンプリング用パルスは、読取りヘッドの回転軸に設け
られたエンコーダから発生されるのではなくて、読取り
ヘッドの回転に影響されない独立したパルス発生源から
得られるので、常に安定したサンプリング用パルスを得
ることができ、それ故、信頼性の高い読取りデータを得
ることができる。
According to the X-ray image reading apparatus having this structure,
Since the sampling pulse is not generated from the encoder provided on the rotary axis of the read head, but is obtained from an independent pulse source that is not affected by the rotation of the read head, a stable sampling pulse is always obtained. Therefore, highly reliable read data can be obtained.

【0017】また、サンプリング用パルスの発生の基準
となるタイミングは、読取りヘッドの位置を基準として
発生される基準パルスによってもたらされるので、デー
タのサンプリングタイミングが読取りヘッドの回転、す
なわちX線像保持体に対する走査のタイミングからずれ
る心配は全くない。
Further, since the timing serving as the reference for generating the sampling pulse is provided by the reference pulse generated with reference to the position of the read head, the data sampling timing is rotated by the read head, that is, the X-ray image holding member. There is no concern about deviation from the scanning timing for.

【0018】(2)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置においては、前記読取りヘッドを複数設けることが
でき、さらにその場合に、前記走査駆動手段は、前記複
数の読取りヘッドが互いに異なるタイミングで前記X線
像保持体を走査するようにそれら複数の読取りヘッドを
移動させることができる。
(2) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, a plurality of the reading heads can be provided, and in that case, the scanning driving means has the plurality of reading heads different from each other. The plurality of read heads can be moved so as to scan the X-ray image carrier at a timing.

【0019】この構成は、読取りヘッドを3個以上使用
する構造のマルチヘッド方式や、読取りヘッドを2個使
用する構造のダブルヘッド方式に相当する。この構成の
X線画像読取り装置によれば、読取りヘッドを1個だけ
使用する構造のシングルヘッド方式に比べて、高速の測
定を行うことができる。
This structure corresponds to a multi-head system having a structure using three or more read heads and a double-head system having a structure using two read heads. According to the X-ray image reading device having this configuration, it is possible to perform high-speed measurement as compared with the single head system having a structure in which only one reading head is used.

【0020】このように高速の測定を行う場合、従来の
ようにサンプリング用パルスが不安定であると、測定結
果に大きな誤差が生じ易かったが、本発明のように読取
りヘッドの走査移動から独立してサンプリング用パルス
を発生させるようにすれば、安定した読取りデータを得
ることができる。
When high-speed measurement is performed as described above, if the sampling pulse is unstable as in the conventional case, a large error is likely to occur in the measurement result, but as in the present invention, it is independent of the scanning movement of the read head. If the sampling pulse is generated in this manner, stable read data can be obtained.

【0021】(3)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置において、前記読取りヘッドは、互いに180°の
角度間隔で2個が互いに対称の位置に配置することがで
きる。また、前記走査駆動手段は、前記2個の読取りヘ
ッドを回転駆動する回転駆動手段と、前記2個の読取り
ヘッドを前記回転駆動手段による前記読取りヘッドの回
転面に対して直角方向へ直進移動させる直進駆動手段と
を有することができる。
(3) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the two reading heads can be arranged at positions symmetrical to each other at an angular interval of 180 °. Further, the scanning driving means linearly moves the two reading heads in a direction perpendicular to the rotational driving means for driving the two reading heads and the rotation surface of the reading heads by the rotational driving means. It is possible to have a straight driving means.

【0022】この構成のX線画像読取り装置によれば、
互いに180°の対称位置に配置された2つの読取りヘ
ッドを回転させることによってX線像保持体を主走査
し、さらにそれらを直進移動させることによってX線像
保持体を副走査させ、これらの主走査及び副走査によっ
てX線像保持体の広い領域を2つの読取りヘッドによっ
て走査できる。
According to the X-ray image reading apparatus having this structure,
The X-ray image carrier is main-scanned by rotating two read heads arranged at 180 ° symmetrical positions with respect to each other, and the X-ray image carrier is sub-scanned by moving them linearly. A large area of the X-ray image carrier can be scanned by the two reading heads by scanning and sub-scanning.

【0023】対称配置された2個の読取りヘッドを使用
する構造の上記のX線画像読取り装置において、それら
の読取りヘッドの回転軸にエンコーダを取り付けてサン
プリング用パルスを生成することにした場合には、2個
の読取りヘッドの180°からの位置ズレがサンプリン
グ用パルスを不安定にする大きな原因になる。これに対
し、本発明のように読取りヘッドの回転から独立してサ
ンプリング用パルスを発生させることにすれば、読取り
ヘッドの動作に関係なく常に安定したサンプリング用パ
ルスを生成することができる。
In the above-mentioned X-ray image reading apparatus having a structure using two symmetrically arranged read heads, when an encoder is attached to the rotary shafts of the read heads to generate sampling pulses, The misalignment of the two read heads from 180 ° is a major cause of instability in the sampling pulse. On the other hand, if the sampling pulse is generated independently of the rotation of the read head as in the present invention, a stable sampling pulse can be generated regardless of the operation of the read head.

【0024】(4)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置において、前記読取りヘッドの位置を基準として基
準パルスを発生する手段は、前記回転駆動される読取り
ヘッドの回転軸に取り付けられた回転盤と、該回転盤の
回転に応じてパルス信号を出力するフォトセンサとを有
する構造によって構成できる。この構成によれば、基準
パルスを常に安定して読取りヘッドの回転との関連にお
いて発生させることができる。
(4) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the means for generating the reference pulse with the position of the reading head as a reference is attached to the rotary shaft of the rotationally driven reading head. It can be configured by a structure having a rotary disk and a photosensor that outputs a pulse signal in accordance with the rotation of the rotary disk. With this arrangement, the reference pulse can always be generated stably in relation to the rotation of the read head.

【0025】(5)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置において、前記読取りヘッドの位置を基準として基
準パルスを発生する手段は、複数の走査ラインの毎行の
先頭で前記基準パルス発生することができる。こうすれ
ば、1本1本の走査ラインに関して常に同じ条件での読
取りを行うことができ、読取りの信頼性がさらに向上す
る。
(5) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the means for generating the reference pulse with the position of the read head as a reference is the reference pulse generation at the beginning of every row of a plurality of scanning lines. can do. In this way, reading can be performed under the same conditions for each scanning line, and reading reliability is further improved.

【0026】(6)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置において、前記サンプリング用パルス生成手段は、
前記サンプリング用パルスの周波数よりも高い周波数を
発振する原発振手段と、該原発振手段の出力パルスを分
周する分周回路とを有する構造によって構成できる。こ
の構成により、サンプリング用パルスの周波数を、より
一層正確にすることができる。
(6) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the sampling pulse generating means is
It can be constituted by a structure having an original oscillating means for oscillating a frequency higher than the frequency of the sampling pulse, and a frequency dividing circuit for dividing the output pulse of the original oscillating means. With this configuration, the frequency of the sampling pulse can be made more accurate.

【0027】(7)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置において、前記原発振手段は、前記サンプリング用
パルスの周波数の10倍以上の周波数の発振を出力する
ことができる。この構成により、サンプリング用パルス
の周波数を、より一層正確にすることができる。
(7) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the original oscillating means can output oscillation having a frequency 10 times or more the frequency of the sampling pulse. With this configuration, the frequency of the sampling pulse can be made more accurate.

【0028】(8)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置において、前記原発振手段はクリスタル発振源を有
することができる。クリスタル発信源は非常に安定した
発振特性を有するので、これを用いてサンプリング用パ
ルスを生成すれば、非常に再現性の高い、すなわち非常
に信頼性の高い読取りデータを得ることができる。
(8) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the original oscillation means may have a crystal oscillation source. Since the crystal source has a very stable oscillation characteristic, if a sampling pulse is generated using this, a very reproducible, that is, very reliable read data can be obtained.

【0029】(9)次に、本発明に係るX線画像読取り
装置において、前記原発振手段は5MHzを発振し、前
記サンプリング用パルスは312.5KHzとすること
ができる。5MHzのパルスを312.5KHzにする
ことは、例えば、1/16分周回路を用いて行うことが
できる。
(9) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the original oscillation means can oscillate 5 MHz and the sampling pulse can be 312.5 KHz. Setting the pulse of 5 MHz to 312.5 KHz can be performed by using, for example, a 1/16 frequency dividing circuit.

【0030】(10)次に、本発明に係るX線画像読取
り装置において、前記X線像保持体は蓄積性蛍光体によ
って形成されたX線保持面を有する蛍光体によって構成
できる。そしてこの場合、X線画像読取り装置は、前記
1つ又は複数の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給する出
射光学系と、前記X線像保持体から放射される光を前記
1つ又は複数の読取りヘッドを通して受光してその受光
に対応して電気信号を出力する受光光学系とを有するこ
とができ、さらに、前記受光光学系の出力信号を前記サ
ンプリング手段によってサンプリングすることができ
る。この蓄積性蛍光体を用いた装置によれば、高速の測
定を行うことができる。
(10) Next, in the X-ray image reading apparatus according to the present invention, the X-ray image carrier can be composed of a phosphor having an X-ray holding surface formed of a stimulable phosphor. Then, in this case, the X-ray image reading device outputs the light emitted from the X-ray image holding member to the one or more reading heads and the emission optical system that supplies the stimulated excitation light to the one or more reading heads. A light receiving optical system that receives light through a read head and outputs an electric signal in response to the received light can be provided. Further, the output signal of the light receiving optical system can be sampled by the sampling means. According to the device using this stimulable phosphor, high-speed measurement can be performed.

【0031】ここで、「蓄積性蛍光体」とは、輝尽性蛍
光体とも呼ばれることがあるエネルギ蓄積型の放射線検
出器であり、輝尽性蛍光物質、例えばBaFBr:Er
2+の微結晶を可撓性フィルム、平板状フィルム、その
他の部材の表面に塗布等によって成膜したものである。
この蓄積性蛍光体は、X線等をエネルギの形で蓄積する
ことができ、さらにレーザ光等といった輝尽励起光の照
射によりそのエネルギを外部に光として放出できる性質
を有する物体である。
Here, the "storable phosphor" is an energy storage type radiation detector which is sometimes called a stimulable phosphor, and is a stimulable fluorescent substance such as BaFBr: Er.
2+ microcrystals are formed on the surface of a flexible film, a flat film, or other member by coating or the like.
The stimulable phosphor is a substance that can store X-rays and the like in the form of energy and that can emit the energy as light to the outside by irradiating stimulated excitation light such as laser light.

【0032】つまり、蓄積性蛍光体にX線等を照射する
と、その照射された部分に対応する蓄積性蛍光体の内部
にエネルギが潜像として蓄積され、さらにその蓄積性蛍
光体にレーザ光等といった輝尽励起光を照射すると上記
潜像エネルギが光となって外部へ放出される。この放出
された光を光電管等によって検出することにより、潜像
の形成に寄与したX線の回折角度及び強度を測定でき
る。この蓄積性蛍光体は、従来のX線フィルムに対して
10〜60倍程度の感度を有し、さらに、10〜10
に及ぶ広いダイナミックレンジを有する。
That is, when the stimulable phosphor is irradiated with X-rays or the like, energy is accumulated as a latent image inside the stimulable phosphor corresponding to the irradiated portion, and the stimulable phosphor is irradiated with laser light or the like. When the above-described latent excitation energy is irradiated, the latent image energy becomes light and is emitted to the outside. By detecting the emitted light with a photoelectric tube or the like, it is possible to measure the diffraction angle and the intensity of the X-ray that contributed to the formation of the latent image. This stimulable phosphor has a sensitivity of 10 to 60 times that of a conventional X-ray film, and further 10 6 to 10
It has a wide dynamic range of up to 8 .

【0033】[0033]

【発明の実施の形態】以下、マルチヘッド方式のX線画
像読取り装置の一例であるダブルヘッド方式のX線画像
読取り装置に本発明を適用した場合を例に挙げて説明す
る。図1はダブルヘッド方式の本発明に係るX線画像読
取り装置1の断面構造を示している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A case where the present invention is applied to a double-head type X-ray image reading apparatus which is an example of a multi-head type X-ray image reading apparatus will be described below as an example. FIG. 1 shows a sectional structure of an X-ray image reading apparatus 1 according to the present invention of a double head type.

【0034】このX線画像読取り装置1は、軸受2a及
び2bによって機枠3に回転可能に支持された回転体4
を有する。この回転体4は、軸線X0を中心として回転
可能である。読取り対象であるX線像保持体17は、図
1のII−II線に従った断面図である図2(a)に示
すように、軸線X0を中心とする半円筒形状に湾曲して
配置される。なお、X線像保持体17は、そのX線受光
面が蓄積性蛍光体によって形成されている。
The X-ray image reading apparatus 1 includes a rotating body 4 rotatably supported by a machine frame 3 by bearings 2a and 2b.
Have. This rotating body 4 is rotatable about the axis X0. As shown in FIG. 2A, which is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1, the X-ray image holder 17 to be read is arranged in a semi-cylindrical shape centered on the axis X0. To be done. The X-ray image carrier 17 has an X-ray receiving surface formed of a stimulable phosphor.

【0035】図1において、回転体4は、軸受2bによ
って支持される円筒形状のレーザ光導入部6と、そのレ
ーザ光導入部6の上端に設けられたヘッド部7と、その
ヘッド部7の上表面に設けられていて軸受2aによって
支持される円筒形状の光導出部8とを有する。ヘッド部
7は、図2からも明らかなように、軸線X0に直交する
横方向が長手方向となる角筒形状に形成されている。ま
た、図1において光導出部8の上端8aは開口となって
いる。
In FIG. 1, the rotating body 4 includes a cylindrical laser light introducing portion 6 supported by a bearing 2b, a head portion 7 provided at an upper end of the laser light introducing portion 6, and the head portion 7. It has a cylindrical light guiding portion 8 provided on the upper surface and supported by the bearing 2a. As is clear from FIG. 2, the head portion 7 is formed in a rectangular tube shape whose longitudinal direction is the lateral direction orthogonal to the axis X0. Further, in FIG. 1, the upper end 8a of the light guiding portion 8 is an opening.

【0036】ヘッド部7の一端には、レンズ23a及び
レンズ24aを有する第1読取りヘッドH1が設けられ
る。また、ヘッド部7の他端には、レンズ23b及び2
4bを有する第2読取りヘッドH2が設けられる。これ
らの読取りヘッドH1及びH2は、図1及び図2から明
らかなように、互いに180°の角度間隔で互いに対称
な位置に配置されている。この180°の角度はできる
だけ厳密に設定されることが望ましいが、180°から
ずれる場合には、そのずれ量に対応して測定結果を補正
することが望ましい。
A first read head H1 having a lens 23a and a lens 24a is provided at one end of the head portion 7. The lenses 23b and 2 are provided on the other end of the head portion 7.
A second read head H2 having 4b is provided. As is apparent from FIGS. 1 and 2, these read heads H1 and H2 are arranged at symmetrical positions with respect to each other at an angular interval of 180 °. It is desirable that the angle of 180 ° be set as strict as possible, but when it deviates from 180 °, it is desirable to correct the measurement result in accordance with the amount of deviation.

【0037】図1において、ヘッド部7の内部であっ
て、レーザ光導入部6の上方にはビームスプリッタ18
が配置される。このビームスプリッタ18はヘッド部7
と一体に軸線X0を中心として回転する。このビームス
プリッタ18は、図3に示すように、断面三角形状のプ
リズム19と断面台形状のプリズム21とを面Cで接着
し、さらにそれらのプリズムを基台22に接着その他の
手法によって固着することによって形成されている。
In FIG. 1, a beam splitter 18 is provided inside the head section 7 and above the laser beam introducing section 6.
Are placed. The beam splitter 18 has a head portion 7.
Rotates integrally with the axis X0. In this beam splitter 18, as shown in FIG. 3, a prism 19 having a triangular cross section and a prism 21 having a trapezoidal cross section are bonded on a surface C, and these prisms are bonded to a base 22 by another method. It is formed by

【0038】基台22に設けた光導入用開口22aから
光が導入されると、その光の一部は境界面Cを透過して
3角プリズム19の側面内側で反射して、基台22に設
けた光導出用開口22bを通して外部へ出射する。この
光は、図1において第1読取りヘッドH1へ向かう。ま
た、図3において光導入用開口22aを通過した光の他
の一部は境界面Cで反射して台形プリズム21の内部を
伝播した後、3角プリズム19で反射した上述の出射光
の反対側へ出射する。この光は、図1において第2読取
りヘッドH2へ向かう。
When the light is introduced from the light introducing opening 22a provided in the base 22, a part of the light is transmitted through the boundary surface C and is reflected on the inner side surface of the triangular prism 19, so that the base 22 The light is emitted to the outside through the light lead-out opening 22b provided in. This light is directed to the first read head H1 in FIG. Further, in FIG. 3, the other part of the light passing through the light introducing opening 22a is reflected by the boundary surface C, propagates inside the trapezoidal prism 21, and then is opposite to the above-mentioned emitted light reflected by the triangular prism 19. Emit to the side. This light is directed to the second read head H2 in FIG.

【0039】ヘッド部7の内部であって、第1読取りヘ
ッドH1とビームスプリッタ18との間にダイクロイッ
クミラー26aが設けられる。また、第2読取りヘッド
H2とビームスプリッタ18との間にダイクロイックミ
ラー26bが設けられる。これらのダイクロイックミラ
ー26a及び26bは、ビームスプリッタ18から読取
りヘッド24a又は24bへ向かう光を透過させ、他
方、読取りヘッドH1及びH2から取り込まれてビーム
スプリッタ18へ向かう光を反射して光検出装置11へ
向かわせる。
Inside the head section 7, a dichroic mirror 26a is provided between the first read head H1 and the beam splitter 18. A dichroic mirror 26b is provided between the second read head H2 and the beam splitter 18. These dichroic mirrors 26a and 26b transmit the light traveling from the beam splitter 18 to the read head 24a or 24b, while reflecting the light captured from the read heads H1 and H2 and traveling toward the beam splitter 18 to detect light. Send to.

【0040】X線画像読取り装置1は、さらに、ブラケ
ット9によって機枠3に固定状態で支持された光検出装
置11を有する。この光検出装置11は、その下端部が
回転体4の光導出部8の中に挿入されていて機枠3によ
って支持されるフレーム12と、そのフレーム12の内
部の下端に設けられた集光レンズ13と、光の進行方向
に関して集光レンズ13の下流側(図1の場合は、集光
レンズ13の上側)に配置された光フィルタ14と、光
フィルタ14の光透過側に設けられた第1光電管16a
と、光フィルタ14の光反射側に設けられた第2光電管
16bとを有する。
The X-ray image reading apparatus 1 further includes a photodetector 11 fixedly supported by the machine frame 3 by a bracket 9. The light detection device 11 has a frame 12 whose lower end is inserted into the light lead-out part 8 of the rotating body 4 and is supported by the machine frame 3, and a light collecting device provided at the lower end inside the frame 12. The lens 13, the optical filter 14 arranged on the downstream side of the condensing lens 13 in the traveling direction of the light (the upper side of the condensing lens 13 in the case of FIG. 1), and the light transmitting side of the optical filter 14. First phototube 16a
And a second photoelectric tube 16b provided on the light reflection side of the optical filter 14.

【0041】光検出装置11の下端部は回転体4の光導
出部8に挿入されているが、両者の間には隙間が形成さ
れており、回転体4が回転するときでも光検出装置11
は静止状態を維持する。光フィルタ14は、一般的な透
明部材、例えばガラス等によって構成でき、機能的に
は、入射した光のうちの9割程度を透過させて第1光電
管16aへ導き、入射した光のうちの残りの1割程度を
反射して第2光電管16bへ導く。光電管16a及び1
6bは周知の構造の光電変換要素であり、入射した光の
強度に応じた信号を出力端子に出力する。
The lower end of the photodetector 11 is inserted into the light lead-out portion 8 of the rotator 4, but a gap is formed between the two so that the photodetector 11 can rotate even when the rotator 4 rotates.
Keeps still. The optical filter 14 can be composed of a general transparent member such as glass, and functionally, about 90% of the incident light is transmitted and guided to the first photoelectric tube 16a, and the rest of the incident light. About 10% of the reflected light is guided to the second photoelectric tube 16b. Photocells 16a and 1
Reference numeral 6b is a photoelectric conversion element having a well-known structure, which outputs a signal according to the intensity of incident light to an output terminal.

【0042】X線画像読取り装置1は、さらに、レーザ
光源F0を内蔵したレーザ発生器27を有する。このレ
ーザ発生器27は電源の投入(すなわち、ON)によっ
てレーサ光を発光し、電源の遮断(すなわち、OFF)
によってレーザ光の発光を停止する。回転体4のレーザ
光導入部6の下方位置にはプリズム28が設けられる。
レーザ発生器27から出射したレーザ光はこのプリズム
28で反射してレーザ光導入部6に取り込まれる。
The X-ray image reading apparatus 1 further has a laser generator 27 having a laser light source F0 built therein. The laser generator 27 emits the laser light when the power is turned on (that is, turned on), and the power is shut off (that is, turned off).
The emission of laser light is stopped by. A prism 28 is provided below the laser beam introducing portion 6 of the rotating body 4.
The laser light emitted from the laser generator 27 is reflected by the prism 28 and taken into the laser light introducing section 6.

【0043】レーザ光導入部6の外周面の適所にはパル
ス発生用の回転盤29が設けられる。この回転盤29
は、図2(b)に示すように、大径部31aと小径部3
1bとを有する概ね円盤形状に形成される。また、大径
部31aの略中央に第1スリット32aが形成され、一
方、小径部31bの略中央に第2スリット32bが形成
される。図2(a)に示すように、第1スリット32a
は第1読取りヘッドH1に対応する位置に設けられ、第
2スリット32bは第2読取りヘッドH2に対応する位
置に設けられる。
A rotary disk 29 for pulse generation is provided at an appropriate position on the outer peripheral surface of the laser beam introducing section 6. This turntable 29
As shown in FIG. 2B, is the large diameter portion 31a and the small diameter portion 3
1b and is formed into a substantially disc shape. Further, the first slit 32a is formed substantially in the center of the large diameter portion 31a, while the second slit 32b is formed in the substantially center of the small diameter portion 31b. As shown in FIG. 2A, the first slit 32a
Is provided at a position corresponding to the first read head H1, and the second slit 32b is provided at a position corresponding to the second read head H2.

【0044】また、図1において、回転盤29の周囲の
適所には、発光素子33及び受光素子34から成るフォ
トセンサ36が設けられる。このフォトセンサ36は、
回転体4が回転するとき、すなわち第1読取りヘッドH
1及び第2読取りヘッドH2が回転するとき、回転盤2
9の大径部31aと小径部31bとの径の違いから第1
スリット32aと第2スリット32bとの違いを認識
し、それぞれに対応した信号を出力する。
Further, in FIG. 1, a photo sensor 36 including a light emitting element 33 and a light receiving element 34 is provided at an appropriate position around the turntable 29. This photo sensor 36
When the rotating body 4 rotates, that is, the first read head H
When the first and second read heads H2 rotate, the turntable 2
9 from the difference in diameter between the large diameter portion 31a and the small diameter portion 31b
The difference between the slit 32a and the second slit 32b is recognized, and the corresponding signals are output.

【0045】具体的には、図5に示すタイミングチャー
トにおけるインデックス信号及びEVEN信号が生成され
る。ここで、インデックス信号とは、第1読取りヘッド
H1及び第2読取りヘッドH2の半回転(すなわち、1
80°の回転)ごとに生成されるパルス信号である。ま
た、EVEN信号とは、回転体4の回転を半回転(すなわ
ち、180°の回転)ごとに見た場合に、2回目、4回
目、6回目、………のような偶数回転目に生成されるパ
ルス信号である。本実施形態では、このEVEN信号は、第
1読取りヘッドH1がX線像保持体17を走査するとき
に生成されるパルス信号である。
Specifically, the index signal and the EVEN signal in the timing chart shown in FIG. 5 are generated. Here, the index signal means a half rotation of the first read head H1 and the second read head H2 (that is, 1
This is a pulse signal generated every 80 ° rotation). Further, the EVEN signal is generated at the even numbered rotations such as the second time, the fourth time, the sixth time, ... When the rotation of the rotating body 4 is seen every half rotation (that is, 180 ° rotation). Pulse signal. In the present embodiment, the EVEN signal is a pulse signal generated when the first read head H1 scans the X-ray image holding body 17.

【0046】本実施形態において、インデックス信号及
びEVEN信号は、読取りヘッドH1及びH2の位置を基準
として発生される基準パルスとして機能する。また、フ
ォトセンサ36は、その基準パルスを発生する手段とし
て機能する。
In this embodiment, the index signal and the EVEN signal function as reference pulses generated with reference to the positions of the read heads H1 and H2. The photo sensor 36 also functions as a means for generating the reference pulse.

【0047】図1において、第1読取りヘッドH1及び
第2読取りヘッドH2を含む回転体4には主走査回転駆
動装置37が接続される。この主走査回転駆動装置37
は、読取りヘッドH1及びH2を軸線X0を中心として
回転させてX線像保持体17を横方向(すなわち、図1
の軸線X0に直交する平面を形成する方向)へ走査、す
なわち主走査させるための装置である。
In FIG. 1, a main scanning rotation driving device 37 is connected to the rotating body 4 including the first read head H1 and the second read head H2. This main scanning rotation drive device 37
Rotates the read heads H1 and H2 about the axis X0 to move the X-ray image carrier 17 in the lateral direction (that is, in FIG.
Is a device for performing scanning, that is, main scanning in a direction that forms a plane orthogonal to the axis X0 of.

【0048】この主走査回転駆動装置37は、任意の構
造の駆動系によって構成できるが、例えば、回転速度を
制御可能なモータ、例えばパルスモータ、サーボモータ
等を駆動源として、その回転出力をベルトやギヤ等とい
った動力伝達系を介して回転体4へ伝えることにより該
回転体4を回転させる構造を採用できる。
The main scanning rotation drive device 37 can be constituted by a drive system having an arbitrary structure. For example, a motor capable of controlling the rotation speed such as a pulse motor or a servo motor is used as a drive source, and its rotation output is a belt. A structure for rotating the rotating body 4 by transmitting it to the rotating body 4 via a power transmission system such as a gear or a gear can be adopted.

【0049】また、X線画像読取り装置1の全体を支持
する機枠3には副走査直進駆動装置38が接続される。
この副走査直進駆動装置38は、読取りヘッドH1及び
H2を軸線X0と平行の方向へ直進移動させてX線像保
持体17を縦方向(すなわち、図1の軸線X0と平行の
方向)へ走査、すなわち副走査させるための装置であ
る。
A sub-scanning linear drive device 38 is connected to the machine frame 3 which supports the entire X-ray image reading device 1.
The sub-scanning linear drive device 38 linearly moves the read heads H1 and H2 in a direction parallel to the axis X0 to scan the X-ray image holder 17 in the vertical direction (that is, in the direction parallel to the axis X0 in FIG. 1). That is, it is a device for sub-scanning.

【0050】この副走査直進駆動装置38は、任意の構
造の駆動系によって構成できるが、例えば、回転速度を
制御可能なモータ、例えばパルスモータ、サーボモータ
等を駆動源として、回転動力を直進動力に変換する動力
変換手段、例えばネジ軸を用いた送りネジ機構を用いて
直進動力を得る構造を採用できる。また、パルス駆動さ
れるリニアモータによって構成することもできる。
The sub-scanning linear drive device 38 can be constituted by a drive system having an arbitrary structure. For example, a motor capable of controlling the rotation speed, such as a pulse motor or a servo motor, is used as a drive source to rotate the rotary power. It is possible to employ a structure for obtaining a straight-moving power by using a power conversion means for converting the power into, for example, a feed screw mechanism using a screw shaft. Alternatively, it may be configured by a pulse-driven linear motor.

【0051】本実施形態では、図1において、レーザ発
生器27、プリズム28、ビームストッパ18、そして
第1読取りヘッドH1によって、さらに、レーザ発生器
27、プリズム28、ビームストッパ18、そして第2
読取りヘッドH2によって、それぞれ、出射光学系が構
成されている。また、第1読取りヘッドH1、ダイクロ
イックミラー26a、そして光検出装置11によって、
さらに、第2読取りヘッドH2、ダイクロイックミラー
26b、そして光検出装置11によって、それぞれ、受
光光学系が構成されている。
In this embodiment, the laser generator 27, the prism 28, the beam stopper 18, and the first read head H1 in FIG.
An emission optical system is configured by each of the read heads H2. Further, by the first read head H1, the dichroic mirror 26a, and the photodetector 11,
Further, the second read head H2, the dichroic mirror 26b, and the photodetector 11 form a light receiving optical system.

【0052】図4は、図1のX線画像読取り装置1の動
きを制御するための制御系の一実施形態を示している。
この制御系は、CPU(Central Processing Unit)4
1、ROM(Read Only Memory)42、RAM(Random
Access Memory)43、情報記憶媒体44及びそれらを
つなぐバス46を有するコンピュータシステムを用いて
構成されている。
FIG. 4 shows an embodiment of a control system for controlling the movement of the X-ray image reading apparatus 1 of FIG.
This control system includes a CPU (Central Processing Unit) 4
1, ROM (Read Only Memory) 42, RAM (Random
An access memory) 43, an information storage medium 44, and a computer system having a bus 46 connecting them are used.

【0053】バス46には、読取りヘッドの位置を確認
するために図1の回転盤29に付設されたフォトセンサ
36の出力端子が接続され、パルス生成回路47のRE
SET端子が接続され、強度演算回路48の出力端子が
接続され、図1のレーザ発生器27のON/OFF信号
入力端子が接続され、図1の主走査回転駆動装置37の
制御信号入力端子が接続され、さらに、図1の副走査直
進駆動装置38の制御信号入力端子が接続される。ま
た、バス46には、プリンタ53やディスプレイ54等
といった出力装置や、キーボード、マウス型入力器等と
いった操作入力装置56が接続される。
The bus 46 is connected to the output terminal of the photosensor 36 attached to the turntable 29 of FIG. 1 for confirming the position of the read head, and the RE of the pulse generation circuit 47 is connected.
The SET terminal is connected, the output terminal of the intensity calculation circuit 48 is connected, the ON / OFF signal input terminal of the laser generator 27 of FIG. 1 is connected, and the control signal input terminal of the main scanning rotation drive device 37 of FIG. Further, the control signal input terminal of the sub-scanning linear drive device 38 of FIG. 1 is connected. Further, an output device such as the printer 53 and the display 54, and an operation input device 56 such as a keyboard and a mouse type input device are connected to the bus 46.

【0054】なお、本実施形態では、基準パルスを基準
とするサンプリング用パルスを生成するサンプリング用
パルス生成手段としてパルス生成回路47が機能する。
また、読取りヘッドによって採取したデータをサンプリ
ング用パルスに従ってサンプリングするサンプリング手
段として強度演算回路48が機能する。
In this embodiment, the pulse generation circuit 47 functions as sampling pulse generation means for generating sampling pulses with the reference pulse as a reference.
Further, the intensity calculation circuit 48 functions as sampling means for sampling the data collected by the read head in accordance with the sampling pulse.

【0055】パルス生成回路47は、安定したパルス信
号を発生することができる発振器49と、該発振器49
の出力パルスを例えば1/16に分周する分周回路51
と、その分周回路51の出力パルスから本実施形態に係
る制御系に適したパルス信号を生成するロジック回路5
2とを有する。上記の発振器49は、図1に示す回転体
4に市販のエンコーダを取り付けてその回転体4の回転
に応じてそのエンコーダからパルス信号を出力する場合
の出力パルス信号に比べて著しく安定したパルス信号を
発生することができる発振器であって、例えばクリスタ
ル発振器、CR発振器等を用いて構成できる。
The pulse generation circuit 47 includes an oscillator 49 capable of generating a stable pulse signal, and the oscillator 49.
Frequency divider circuit 51 for dividing the output pulse of
And a logic circuit 5 for generating a pulse signal suitable for the control system according to the present embodiment from the output pulse of the frequency dividing circuit 51.
2 and. The oscillator 49 is a pulse signal which is remarkably stable as compared with an output pulse signal when a commercially available encoder is attached to the rotating body 4 shown in FIG. 1 and a pulse signal is output from the encoder according to the rotation of the rotating body 4. It is an oscillator that can generate a signal, and can be configured using, for example, a crystal oscillator, a CR oscillator, or the like.

【0056】発振器49は、例えば5MHzのパルス信
号を出力し、分周回路51はその5MHzのパルス信号
を分周して、例えば312.5KHzのパルス信号を生
成する。なお、分周回路51は、そのRESET端子にRESET
信号が入ったときを基準としてパルス信号を出力する。
ロジック回路52は、分周回路51の出力パルスに基づ
いて図5に示すENC(エンコード)-Z相及びENC-A相の各
パルス信号を生成して、それらを強度演算回路48へ出
力する。
The oscillator 49 outputs a pulse signal of 5 MHz, for example, and the frequency dividing circuit 51 divides the pulse signal of 5 MHz to generate a pulse signal of 312.5 KHz, for example. The frequency divider circuit 51 has its RESET terminal
A pulse signal is output based on when the signal is input.
The logic circuit 52 generates each pulse signal of the ENC (encode) -Z phase and the ENC-A phase shown in FIG. 5 based on the output pulse of the frequency dividing circuit 51, and outputs them to the intensity calculation circuit 48.

【0057】強度演算回路48へ入力されるENC-A相パ
ルスは、強度演算回路48によって行われる光強度デー
タのサンプリングの期間を定めるためのサンプリング用
パルスとして機能する。
The ENC-A phase pulse input to the intensity calculation circuit 48 functions as a sampling pulse for determining the sampling period of the light intensity data performed by the intensity calculation circuit 48.

【0058】ENC-Z相パルスは、分周回路51のRESET端
子にリセット信号が入力されたとき、その後に分周回路
51から出力される312.5KHzのパルス信号を所
定数、例えば122パルスだけカウントしたときに生成
されるパルスである。本実施形態では、図5において、
ENC-Z相パルスの発生時間tzとしてtz=122パル
ス分=400μSに設定する。この400μSは、後述
するシングルヘッドモードにおいてレーザ発生器27が
間欠的にON/OFFを繰り返されるとき、ON信号に
従って立ち上がってからレーザ出力が安定化するのに十
分な時間として設定されている。
As for the ENC-Z phase pulse, when the reset signal is input to the RESET terminal of the frequency dividing circuit 51, a predetermined number of pulse signals of 312.5 KHz output from the frequency dividing circuit 51 after that, for example, 122 pulses are used. This is a pulse generated when counting. In the present embodiment, in FIG.
The generation time tz of the ENC-Z phase pulse is set to tz = 122 pulses = 400 μS. This 400 μS is set as a time sufficient for the laser output to stabilize after the laser generator 27 rises according to the ON signal when the laser generator 27 is repeatedly turned ON / OFF intermittently in the single head mode described later.

【0059】また、ENC-A相パルスは、ENC-Z相パルスが
出力されてから分周回路51にRESET信号が入力される
までの間に分周回路51の312.5KHzと同じ周波
数で出力されるパルスである。本実施形態では、フォト
センサ36から出力されるインデックス信号又はEVEN信
号が出たときに分周回路51にRESET信号が送られるよ
うになっており、そのインデックス信号又はEVEN信号に
対するENC-A相パルス及びENC-Z相パルスの出力状態は図
6に示す通りである。本実施形態では、ENC-A相パルス
として312.5KHzの3000パルスが出力される
ように設定されている。この3000パルスは第1読取
りヘッドH1及び第2読取りヘッドH2による主走査の
1ライン分の走査領域に相当する。
The ENC-A phase pulse is output at the same frequency as 312.5 KHz of the frequency dividing circuit 51 from the output of the ENC-Z phase pulse to the input of the RESET signal to the frequency dividing circuit 51. Is a pulse. In the present embodiment, when the index signal or the EVEN signal output from the photo sensor 36 is output, the RESET signal is sent to the frequency dividing circuit 51, and the ENC-A phase pulse for the index signal or the EVEN signal is sent. The output state of the ENC-Z phase pulse is as shown in FIG. In the present embodiment, the ENC-A phase pulse is set to output 3000 pulses at 312.5 KHz. The 3000 pulses correspond to a scanning area for one line of main scanning by the first read head H1 and the second read head H2.

【0060】図4において、強度演算回路48は、図1
に示した第1光電管16a又は第2光電管16bからの
出力パルスを計数することにより、図1のX線像保持体
17から放射された光の強度、従ってX線像保持体17
に形成されたエネルギ潜像のエネルギ強度、従ってその
エネルギ潜像の形成に寄与したX線の強度を演算によっ
て求める。
In FIG. 4, the intensity calculation circuit 48 is shown in FIG.
By counting the output pulses from the first phototube 16a or the second phototube 16b shown in FIG. 1, the intensity of the light emitted from the X-ray image holder 17 in FIG.
The energy intensity of the energy latent image formed in the above, and thus the intensity of the X-rays that contributed to the formation of the energy latent image are calculated.

【0061】なお、本実施形態では、図1において、光
フィルタ14に到達した光の9割が第1光電管16aに
取り込まれ、残りの1割の光が第2光電管16bに取り
込まれる。各光電管16a及び16bに取り込まれる光
の光量が過剰でない場合には、その光の9割が取り込ま
れる第1光電管16aによって光電変換された信号に基
づいて処理が行われる。
In the present embodiment, in FIG. 1, 90% of the light reaching the optical filter 14 is taken into the first phototube 16a, and the remaining 10% of the light is taken into the second phototube 16b. When the amount of light taken in by each phototube 16a and 16b is not excessive, processing is performed based on the signal photoelectrically converted by the first phototube 16a in which 90% of the light is taken in.

【0062】一方、各光電管16a及び16bに取り込
まれる光の光量が過剰である場合には、その光の1割が
取り込まれる第2光電管16bによって光電変換された
信号に基づいて処理が行われる。これは、光量が過剰で
ある場合には、第1光電管16aの出力が大きくなり過
ぎて、その第1光電管16aに付随する回路が正常に動
作しなくなるおそれがあるからである。
On the other hand, when the amount of light taken in by each of the phototubes 16a and 16b is excessive, processing is performed based on the signal photoelectrically converted by the second phototube 16b in which 10% of the light is taken in. This is because when the light amount is excessive, the output of the first phototube 16a may become too large, and the circuit associated with the first phototube 16a may not operate normally.

【0063】図4において、強度演算回路48は、ロジ
ック回路52から送られる3000パルスのうちの1パ
ルスごとに光電管16a又は16bの出力信号をサンプ
リングする。すなわち、1パルス期間中の光電管16a
又は16bの出力を読取って出力する。これが1ピクセ
ルの読取り値になる。この1ピクセルの読取り値は図4
のRAM43内の所定の記憶場所に記憶される。
In FIG. 4, the intensity calculation circuit 48 samples the output signal of the phototube 16a or 16b for each pulse of 3000 pulses sent from the logic circuit 52. That is, the phototube 16a during one pulse period
Alternatively, the output of 16b is read and output. This gives a 1 pixel reading. This 1 pixel reading is shown in Figure 4.
It is stored in a predetermined storage location in the RAM 43.

【0064】なお、強度演算回路48の内部にAD変換
回路を設け、光電管16a又は16bの出力を1パルス
期間内で複数回、例えば8回、採取してそれぞれAD変
換し、さらに積分演算して、その演算結果を1ピクセル
の読取り値として決めることができる。
An AD conversion circuit is provided inside the intensity calculation circuit 48, and the output of the photoelectric tube 16a or 16b is sampled a plurality of times, for example, eight times within one pulse period, respectively, AD-converted, and further integrated. , The calculation result can be determined as the read value of one pixel.

【0065】図4において、情報記憶媒体44は、コン
ピュータによって使用可能な記憶媒体であって、プログ
ラムやデータ等といった情報を格納するための要素であ
り、その機能は、CD(Compact Disc)、DVD(Digi
tal Video Disc)等といった光ディスクや、MO(Magn
et Optical)等といった光磁気ディスクや、磁気ディス
クや、ハードディスクや、磁気テープや、ROM等とい
った半導体メモリ等によって実現できる。なお、通常の
場合、情報記憶媒体44に格納された情報の一部又は全
部は、システムへの電源投入時にRAM43へ転送され
る。
In FIG. 4, an information storage medium 44 is a storage medium that can be used by a computer and is an element for storing information such as programs and data. Its function is CD (Compact Disc) or DVD. (Digi
optical discs such as tal video discs, and MO (Magnes
et Optical), a magnetic disk, a magnetic disk, a hard disk, a magnetic tape, a semiconductor memory such as a ROM, and the like. Incidentally, in a normal case, a part or all of the information stored in the information storage medium 44 is transferred to the RAM 43 when the system is powered on.

【0066】ROM42には、例えばシステムプログラ
ム(すなわち、システム本体の初期化情報等)が記憶さ
れる。また、RAM43は、CPU41の作業領域等と
して用いられたり、情報記憶媒体44やROM42の内
容やCPU41の演算結果や強度演算回路48等といっ
た入出力機器からの情報等を一時的に格納したりする。
The ROM 42 stores, for example, a system program (that is, initialization information of the system body, etc.). Further, the RAM 43 is used as a work area of the CPU 41 or the like, and temporarily stores the contents of the information storage medium 44 or the ROM 42, the calculation result of the CPU 41, the information from the input / output device such as the intensity calculation circuit 48, and the like. .

【0067】CPU41は、情報記憶媒体44に記憶さ
れたプログラムや、操作入力装置56から入力される情
報に従って、バス46に接続された各種の入出力機器の
動作を制御したり、強度演算回路48の出力信号に対し
て補正を加えるための演算を行ったり、その他各種のデ
ータ処理を行う。なお、図4のシステムをネットワーク
を構成する1つのユーザとして用いる場合には、ネット
ワークドライバや通信部がバス46に接続され、そのネ
ットワークドライバ等を介してホストや他のネットワー
クユーザに接続される。
The CPU 41 controls the operation of various input / output devices connected to the bus 46 according to the program stored in the information storage medium 44 and the information input from the operation input device 56, and the strength calculation circuit 48. Is performed to perform correction for the output signal of, and other various data processing is performed. When the system of FIG. 4 is used as one user who configures the network, a network driver and a communication unit are connected to the bus 46, and are connected to the host and other network users via the network driver and the like.

【0068】なお、本実施形態で用いられるプログラム
は、CPU41によってダブルヘッドモードを実行させ
るためのルーチンと、CPU41によってシングルヘッ
ドモードを実行させるためのルーチンとを有している。
ダブルヘッドモードとは、図1の第1読取りヘッドH1
及び第2読取りヘッドH2の両方を使って処理を行うモ
ードであり、シングルヘッドモードとは、第1読取りヘ
ッドH1又は第2読取りヘッドH2のいずれか1つを使
って処理を行うモードである。以下、各モードを個別に
説明する。
The program used in this embodiment has a routine for the CPU 41 to execute the double head mode and a routine for the CPU 41 to execute the single head mode.
The double head mode means the first read head H1 in FIG.
And the second read head H2 are used for processing, and the single head mode is a mode in which processing is performed using either the first read head H1 or the second read head H2. Hereinafter, each mode will be described individually.

【0069】なお、本発明に係る読取り処理を行う場合
には、その読取り処理に先立って図1及び図2のX線像
保持体17にエネルギ潜像を保持させるための処理、例
えばX線露光処理が行われる。このような露光処理は種
々考えられるが、その一例を挙げれば、図11に示すよ
うなX線測定系が考えられる。
When the reading process according to the present invention is carried out, a process for holding the energy latent image on the X-ray image holding body 17 shown in FIGS. 1 and 2 prior to the reading process, for example, X-ray exposure. Processing is performed. There are various conceivable examples of such exposure processing, and an example thereof is an X-ray measurement system as shown in FIG.

【0070】このX線測定系では、内部の結晶構造等を
測定しようとする試料Sをゴニオヘッド61によって支
持し、X線源F1から発散するX線をピンホールコリメ
ータ62によって試料Sへ向かわせる。こうして試料S
にX線が照射されると、試料Sの結晶構造に対応してそ
の試料Sから回折X線や散乱X線等が発生する。これら
のX線は、発散規制スリット63で規制されながらX線
像保持体17の蓄積性蛍光体面、すなわちX線受光面に
到達してこの面を露光する。
In this X-ray measurement system, the sample S whose internal crystal structure or the like is to be measured is supported by the gonio head 61, and the X-rays emitted from the X-ray source F1 are directed to the sample S by the pinhole collimator 62. Thus sample S
When X is irradiated with X-rays, diffracted X-rays, scattered X-rays, etc. are generated from the sample S corresponding to the crystal structure of the sample S. These X-rays reach the stimulable phosphor surface of the X-ray image holding body 17, that is, the X-ray receiving surface while being restricted by the divergence restricting slit 63, and expose this surface.

【0071】このX線露光により、X線像保持体17の
受光面、すなわち蓄積性蛍光体面には、回折X線の回折
角度に応じた座標位置、換言すれば試料Sの内部結晶構
造等に対応した座標位置にエネルギ潜像が形成される。
例えば、試料Sが粉末試料であれば、デバイリング64
がエネルギ潜像の形で蓄積される。こうしてエネルギ潜
像を保持するに至ったX線像保持体17に関して、図1
に示すX線画像読取り装置1によってダブルヘッドモー
ド下又はシングルヘッドモード下において潜像の読取り
処理を行う。
By this X-ray exposure, the light receiving surface of the X-ray image carrier 17, that is, the surface of the stimulable phosphor, has a coordinate position corresponding to the diffraction angle of the diffracted X-rays, in other words, an internal crystal structure of the sample S or the like. An energy latent image is formed at the corresponding coordinate position.
For example, if the sample S is a powder sample, the Debye ring 64
Are stored in the form of an energy latent image. As for the X-ray image holding member 17 which has thus held the energy latent image, FIG.
The latent image reading process is performed in the double head mode or the single head mode by the X-ray image reading apparatus 1 shown in FIG.

【0072】(ダブルヘッドモード)例えば図11に示
す測定系を用いた測定によって、試料Sの結晶構造に応
じた回折角度位置すなわち座標位置にエネルギ潜像を保
持するに至ったX線像保持体17に関して、測定精度は
高くなくても構わないが迅速に測定結果を得たいという
場合には、オペレータは図1のX線画像読取り装置1に
よってダブルヘッドモードの測定を行うことを選択す
る。
(Double Head Mode) For example, an X-ray image holding body which holds an energy latent image at a diffraction angle position, that is, a coordinate position according to the crystal structure of the sample S by measurement using a measurement system shown in FIG. With respect to 17, if the measurement accuracy does not have to be high but a quick measurement result is desired, the operator chooses to perform the double head mode measurement by the X-ray image reading apparatus 1 of FIG.

【0073】具体的には、オペレータは、図4において
操作入力装置56を通してCPU41にダブルヘッドモ
ードの測定を指示する。このダブルヘッドモードが選択
されると共に、図5のタイミングチャートのタイミング
T1においてオペレータによって読取り開始の指示が行
われると、CPU41はコンピュータの動作モードをM
dのようにダブルヘッドモードに設定する。
Specifically, the operator instructs the CPU 41 to measure the double head mode through the operation input device 56 in FIG. When the double head mode is selected and the operator gives an instruction to start reading at timing T1 in the timing chart of FIG. 5, the CPU 41 sets the operation mode of the computer to M.
Set to the double head mode as shown in d.

【0074】そして、CPU41は、タイミングT1の
読取りスタートに応じて図1の主走査回転駆動装置37
を作動して回転体4の回転を開始して、第1読取りヘッ
ドH1及び第2読取りヘッドH2を軸線X0を中心とし
て回転させる。このときの回転速度は、予め所定速度に
決められていて、CPU41はその回転速度が一定速度
を維持するように主走査回転駆動装置37の動作を制御
する。
Then, the CPU 41 responds to the reading start at the timing T1 and the main scanning rotation drive device 37 of FIG.
Is started to start the rotation of the rotator 4, and the first read head H1 and the second read head H2 are rotated about the axis X0. The rotation speed at this time is previously determined to be a predetermined speed, and the CPU 41 controls the operation of the main scanning rotation drive device 37 so that the rotation speed maintains a constant speed.

【0075】このように第1読取りヘッドH1及び第2
読取りヘッドH2が回転すると、図1に示したフォトセ
ンサ36から図5に示すようなインデックス信号及びEV
EN信号が出力される。インデックス信号は、図2におい
て第1読取りヘッドH1及び第2読取りヘッドH2の矢
印F方向への半回転ごと、すなわち180°の回転角度
ごとに出力される信号である。また、EVEN信号は、第1
読取りヘッドH1の矢印F方向への1回転ごと、すなわ
ち360°の回転角度ごとに出力される信号である。
In this way, the first read head H1 and the second read head H1
When the read head H2 rotates, the photo sensor 36 shown in FIG.
EN signal is output. The index signal is a signal output for each half rotation of the first read head H1 and the second read head H2 in the direction of arrow F in FIG. 2, that is, for each rotation angle of 180 °. The EVEN signal is the first
This is a signal output every one rotation of the read head H1 in the direction of the arrow F, that is, every rotation angle of 360 °.

【0076】その後、図5において、タイミングT2が
到来すると、図1のレーザ発生器27へ発光指令が送ら
れてレーザの発光が開始され、さらに、Z軸モータ駆動
パルスの出力が開始されて図1の副走査直進駆動装置3
8が作動を開始して、X線画像読取り装置1の全体が、
従って第1読取りヘッドH1及び第2読取りヘッドH2
の両方が、矢印Gのように軸線X0と平行の方向へ直進
移動を開始する。このときの第1読取りヘッドH1及び
第2読取りヘッドH2の直進移動速度は、Z軸モータ駆
動パルスのパルス幅によって決められる一定速度Vに制
御される。
Then, in FIG. 5, when timing T2 arrives, a light emission command is sent to the laser generator 27 of FIG. 1 to start the laser emission, and further the output of the Z-axis motor drive pulse is started. Sub-scanning linear drive device 1
8 starts to operate, and the entire X-ray image reading apparatus 1
Therefore, the first read head H1 and the second read head H2
Both start straight movement in a direction parallel to the axis X0 as indicated by an arrow G. The linear movement speed of the first read head H1 and the second read head H2 at this time is controlled to a constant speed V determined by the pulse width of the Z-axis motor drive pulse.

【0077】以上のようにして第1読取りヘッドH1及
び第2読取りヘッドH2が図1において矢印Fで示すよ
うに主走査回転を行い、同時に矢印Gで示すように副走
査直進移動を行うと、図7に示すように、X線像保持体
17は、当該X線像保持体17に交互に繰り返して到来
する第1読取りヘッドH1及び第2読取りヘッドH2に
よって、符号Pで示すように螺旋状に走査される。
As described above, when the first read head H1 and the second read head H2 carry out the main scanning rotation as shown by the arrow F in FIG. As shown in FIG. 7, the X-ray image carrier 17 is spiraled as indicated by the symbol P by the first read head H1 and the second read head H2 that alternately and repeatedly arrive at the X-ray image carrier 17. To be scanned.

【0078】このときの走査回数、すなわち走査ライン
数は例えば3000ラインとなるように設定されてい
る。今考えているダブルヘッドモードの場合には、図1
の回転体4の1回転によって第1読取りヘッドH1及び
第2読取りヘッドH2のそれぞれによって1本づつ、合
計で2本の走査ラインが形成されるので、3000ライ
ンの走査ラインを形成するためには回転体4を1500
回転させれば良い。
The number of scans at this time, that is, the number of scan lines is set to be, for example, 3000 lines. In the case of the double head mode that we are thinking about now,
Since one rotation of the rotator 4 forms one scanning line by each of the first reading head H1 and the second reading head H2, a total of two scanning lines are formed. Therefore, in order to form 3000 scanning lines, Rotating body 4 1500
Just rotate it.

【0079】第1読取りヘッドH1及び第2読取りヘッ
ドH2が以上のようにX線像保持体17を走査する間、
図1においてレーザ発生器27から出射したレーザ光
は、プリズム28で反射して回転体4のレーザ光導入部
6に取り込まれ、さらにビームスプリッタ18によって
第1読取りヘッドH1と第2読取りヘッドH2へと分配
される。
While the first read head H1 and the second read head H2 scan the X-ray image carrier 17 as described above,
In FIG. 1, the laser light emitted from the laser generator 27 is reflected by the prism 28 and is taken into the laser light introducing portion 6 of the rotating body 4, and is further transmitted to the first read head H1 and the second read head H2 by the beam splitter 18. Is distributed.

【0080】第1読取りヘッドH1又は第2読取りヘッ
ドH2のいずれかがX線像保持体17の表面を走査する
とき、当該読取りヘッドへ供給されたレーザ光は当該読
取りヘッドを通過して、図7の走査ラインPに沿ってX
線像保持体17を露光する。こうしてレーザ光によって
露光されるX線像保持体17の露光部分にエネルギ潜像
が保持されていると、そのエネルギはレーザ光によって
励起されて外部へ光として出射し、その出射光はレーザ
光を出射した第1読取りヘッドH1又は第2読取りヘッ
ドH2によって受光される。
When either the first read head H1 or the second read head H2 scans the surface of the X-ray image holding member 17, the laser beam supplied to the read head passes through the read head and the figure X along the 7 scan lines P
The line image carrier 17 is exposed. When the energy latent image is held in the exposed portion of the X-ray image carrier 17 exposed by the laser light in this way, the energy is excited by the laser light and emitted as light to the outside, and the emitted light is the laser light. The emitted light is received by the first read head H1 or the second read head H2.

【0081】受光された光は回転体4のヘッド部7内で
ダイクロイックミラー26a又は26bで反射して光検
出装置11へ送られて、第1光電管16a及び第2光電
管16bによって受け取られ、それらの光電管の出力端
子に光に対応した信号が出力される。
The received light is reflected by the dichroic mirror 26a or 26b in the head portion 7 of the rotator 4 and sent to the photodetector 11, and is received by the first phototube 16a and the second phototube 16b. A signal corresponding to light is output to the output terminal of the phototube.

【0082】以上のようにX線像保持体17に対してレ
ーザ光が照射されている間、図5において、第1読取り
ヘッドH1及び第2読取りヘッドH2の半回転ごとに出
力されるインデックス信号に対応して図4においてパル
ス生成回路47の分周回路51のRESET端子にRESET信号
が伝送され、これにより、ロジック回路52の出力端子
に、図5に示すような、単発のENC-Z相パルス及び連続
するENC-A相パルスが出力される。
While the X-ray image holder 17 is being irradiated with the laser light as described above, the index signal output every half rotation of the first read head H1 and the second read head H2 in FIG. Corresponding to the above, in FIG. 4, the RESET signal is transmitted to the RESET terminal of the frequency dividing circuit 51 of the pulse generation circuit 47, which causes the output terminal of the logic circuit 52 to output a single ENC-Z phase as shown in FIG. A pulse and a continuous ENC-A phase pulse are output.

【0083】ENC-Z相パルスはインデックス信号から時
間tz後に発生するパルス信号である。また、ENC-A相
パルスは、ENC-Z相パルスの発生後から次のインデック
ス信号の発生まで、換言すれば、第1読取りヘッドH1
又は第2読取りヘッドH2が半回転(すなわち、180
°回転)する間に継続して発生するパルス信号である。
このENC-A相パルスは、図4に示す分周回路51の出力
パルスに従って、図6に示すように312.5KHzの
周波数を有するパルス信号であり、読取りヘッドの半回
転、すなわち1本の走査ライン内に3000パルスが発
生するようになっている。
The ENC-Z phase pulse is a pulse signal generated after time tz from the index signal. In addition, the ENC-A phase pulse is generated from the generation of the ENC-Z phase pulse until the generation of the next index signal, in other words, the first read head H1.
Alternatively, the second read head H2 is rotated one half turn (ie 180
This is a pulse signal that is continuously generated during the rotation.
The ENC-A phase pulse is a pulse signal having a frequency of 312.5 KHz as shown in FIG. 6 according to the output pulse of the frequency dividing circuit 51 shown in FIG. 3000 pulses are generated in the line.

【0084】図4の強度演算回路48は、ロジック回路
52から出力されるENC-A相パルスの1パルスごとに光
電管16a又は16bの出力を読取り、その読取り値は
RAM43の所定領域に記憶される。こうして、ENC-A
相パルスの1パルスに相当する1ピクセル分のデータが
サンプリングされる。なお、本実施形態では図7に示す
ように1ピクセルの幅は0.1mmに相当する。ここ
で、ENC-A相パルスは1走査ラインについて3000パ
ルス出力されるので、強度演算回路48は1走査ライン
を3000個に分割して得られる3000ピクセル分の
データをサンプリングする。
The intensity calculation circuit 48 of FIG. 4 reads the output of the photocell 16a or 16b for each pulse of the ENC-A phase pulse output from the logic circuit 52, and the read value is stored in a predetermined area of the RAM 43. . In this way, ENC-A
Data for one pixel corresponding to one pulse of the phase pulse is sampled. In this embodiment, as shown in FIG. 7, the width of one pixel corresponds to 0.1 mm. Here, since 3000 pulses of one ENC-A phase pulse are output for one scanning line, the intensity calculation circuit 48 samples data for 3000 pixels obtained by dividing one scanning line into 3000 pieces.

【0085】この1走査ラインごとのサンプリングの状
況を見ると、図5のインデックス信号が基準パルスとな
って1走査ラインの毎行の先頭にRESET信号としてパル
ス生成回路47へ供給され、この基準パルスに基づいて
サンプリング用パルスとしてのENC-A相パルスが1ライ
ン分、すなわち3000パルス出力される。このように
基準パルスは1走査ラインごとに与えられるので、各走
査ラインは読取りヘッドH1及びH2の回転動作に正確
に同期する。
Looking at the sampling situation for each scanning line, the index signal of FIG. 5 becomes a reference pulse and is supplied to the pulse generating circuit 47 as a RESET signal at the head of every line of one scanning line. Based on, the ENC-A phase pulse as a sampling pulse is output for one line, that is, 3000 pulses are output. Thus, since the reference pulse is given for each scanning line, each scanning line is accurately synchronized with the rotational movement of the read heads H1 and H2.

【0086】また、サンプリング用パルスとしてのENC-
A相パルスは、読取りヘッドH1及びH2の回転に従っ
てエンコーダによって生成されたものでなく、極めて安
定した発振特性をもったクリスタル発振器49に基づい
て生成されたものである。従って、ENC-A相パルスは読
取りヘッドH1及びH2の回転に左右されない非常に安
定したサンプリング用パルスとして機能する。
ENC- as a sampling pulse
The A-phase pulse is not generated by the encoder according to the rotation of the read heads H1 and H2, but is generated by the crystal oscillator 49 having an extremely stable oscillation characteristic. Therefore, the ENC-A phase pulse functions as a very stable sampling pulse that is not affected by the rotation of the read heads H1 and H2.

【0087】以上により、1走査ラインに関する300
0ピクセル分のデータがサンプリングされた後、次の読
取りヘッドH1又はH2がX線像保持体17に対向する
位置に到来すると、その読取りヘッドH1又はH2によ
って副走査方向に関する次の走査ラインに関する300
0ピクセルのデータがサンプリングされる。そして、そ
れ以降、第1読取りヘッドH1と第2読取りヘッドH2
とによって交互に1走査ラインごとのデータサンプリン
グが繰り返して行われ、結果的に、副走査方向に関して
3000ライン分のデータがサンプリングされる。
From the above, 300 for one scanning line
When the next read head H1 or H2 arrives at a position facing the X-ray image carrier 17 after the data for 0 pixels is sampled, the read head H1 or H2 causes the next scan line 300 in the sub-scanning direction to be detected.
Data of 0 pixels is sampled. Then, after that, the first read head H1 and the second read head H2
Data sampling for each scanning line is alternately repeated by and, and as a result, 3000 lines of data are sampled in the sub-scanning direction.

【0088】以上により、図7において、X線像保持体
17の測定領域の全面に関する光強度データが読取られ
て、それらがX線像保持体17の座標値に対応させてR
AM43の所定領域にデータテーブルとして記憶され
る。このデータテーブルがとりもなおさず、X線像保持
体17に蓄積された潜像の読取り結果である。CPU4
1は、必要に応じてこの結果をディスプレイ54の画面
上に映像として表示したり、プリンタ53によって紙等
といった印材上に印写像として表示したりする。
As described above, in FIG. 7, the light intensity data on the entire surface of the measurement region of the X-ray image holding body 17 is read, and these are converted into R values corresponding to the coordinate values of the X-ray image holding body 17.
It is stored in a predetermined area of the AM 43 as a data table. This data table is the read result of the latent image accumulated in the X-ray image holding body 17 without exception. CPU4
1 displays the result as an image on the screen of the display 54 as necessary, or displays it as a print image on a printing material such as paper by the printer 53.

【0089】なお、ダブルヘッドモードの場合には、上
記の通り、第1読取りヘッドH1と第2読取りヘッドH
2の2個の読取りヘッドを交互に用いて読取り処理が行
われる。この場合、第1読取りヘッドH1による読取り
特性と第2読取りヘッドH2による読取り特性は必ずし
も一致していない。
In the double head mode, as described above, the first read head H1 and the second read head H1.
The reading process is performed by alternately using the two reading heads of 2. In this case, the read characteristics of the first read head H1 and the read characteristics of the second read head H2 do not necessarily match.

【0090】例えば、同じ対象物を第1読取りヘッドH
1を用いて読取ったときの光電管16a又は16bの出
力レベルと、第2読取りヘッドH2を用いて読取ったと
きの光電管16a又は16bの出力レベルは必ずしも一
致していない。また、図2において、第1読取りヘッド
H1と第2読取りヘッドH2は本来であれば厳密に18
0°の角度間隔で互いに対称の位置に置かれていなけれ
ばならないが、実際には加工精度や組み立て精度の誤差
に起因して180°からずれることが考えられる。
For example, when the same object is read by the first read head H
The output level of the phototube 16a or 16b when read using 1 does not necessarily match the output level of the phototube 16a or 16b when read using the second read head H2. Further, in FIG. 2, the first read head H1 and the second read head H2 are originally exactly 18
Although they must be placed at symmetrical positions with respect to each other at an angular interval of 0 °, it may actually deviate from 180 ° due to an error in processing accuracy or assembly accuracy.

【0091】従って、第1読取りヘッドH1を用いて得
られた読取りデータと、第2読取りヘッドH2を用いて
得られた読取りデータとの間で何等の補正も行わなけれ
ば、精度の高い読取りデータを得ることができない。そ
こで本実施形態において、図4のCPU41は、予め、
第1読取りヘッドH1と第2読取りヘッドとを用いて同
一の対象物に対して読取り処理を実行して両者の間での
読取り特性の違いをデータとして採取して、そのデータ
をRAM43へ補正データとして記憶しておく。
Therefore, if no correction is made between the read data obtained by using the first read head H1 and the read data obtained by using the second read head H2, highly accurate read data can be obtained. Can't get Therefore, in the present embodiment, the CPU 41 of FIG.
Using the first read head H1 and the second read head, a read process is performed on the same object, the difference in read characteristics between the two is collected as data, and the data is stored in the RAM 43 as correction data. Remember as.

【0092】そして、第1読取りヘッドH1及び第2読
取りヘッドH2の両方を用いて測定を行って読取りデー
タを採取した後、その読取りデータを、予め記憶してお
いた上記の補正データに基づいてソフト的に補正するこ
とにより、第1読取りヘッドH1を用いて得た読取りデ
ータと第2読取りヘッドH2を用いて得た読取りデータ
をつなぎ合わせるための処理を行う。これにより、異な
る読取りヘッドを用いて得られた読取りデータに関する
信頼性を高めることができる。つまり、CPU41は、
読取りヘッド間の強度の誤差を補償するためのヘッド間
強度補正手段や、読取りヘッド間の角度位置のズレを補
償するためのヘッド間位置ズレ補正手段として機能す
る。
Then, after the measurement is performed by using both the first read head H1 and the second read head H2 to collect the read data, the read data is based on the correction data stored in advance. A process for connecting the read data obtained by using the first read head H1 and the read data obtained by using the second read head H2 is performed by the software correction. This can increase the reliability of read data obtained using different read heads. That is, the CPU 41
It functions as a head-to-head strength correction means for compensating for an error in strength between read heads, and a head-to-head position deviation correction means for compensating for angular position deviation between read heads.

【0093】(シングルヘッドモード)例えば図11に
示す測定系を用いた測定によって、試料Sの結晶構造に
応じた回折角度位置すなわち座標位置にエネルギ潜像を
保持するに至ったX線像保持体17に関して、時間は長
くかかっても構わないが高精度の測定結果を得たいとい
う場合には、オペレータは図1のX線画像読取り装置1
によってシングルヘッドモードの測定を行うことを選択
する。
(Single-head mode) For example, an X-ray image holding body which holds an energy latent image at a diffraction angle position, that is, a coordinate position according to the crystal structure of the sample S by measurement using a measurement system shown in FIG. With respect to 17, if it is desired to obtain a highly accurate measurement result although it may take a long time, the operator may use the X-ray image reading apparatus 1 shown in FIG.
Choose to perform single head mode measurements.

【0094】具体的には、オペレータは、図4において
操作入力装置56を通してCPU41にシングルヘッド
モードの測定を指示する。このシングルヘッドモードが
選択されると共に、図5のタイミングチャートのタイミ
ングT1においてオペレータによって読取り開始の指示
が行われると、CPU41はコンピュータの動作モード
をMsのようにシングルヘッドモードに設定する。
Specifically, the operator instructs the CPU 41 to measure the single head mode through the operation input device 56 in FIG. When the single head mode is selected and the operator gives an instruction to start reading at timing T1 in the timing chart of FIG. 5, the CPU 41 sets the operation mode of the computer to the single head mode like Ms.

【0095】そして、CPU41は、タイミングT1の
読取りスタートに応じて図1の主走査回転駆動装置37
を作動して回転体4の回転を開始して、第1読取りヘッ
ドH1及び第2読取りヘッドH2を軸線X0を中心とし
て回転させる。このときの回転速度は、ダブルヘッドモ
ードの場合と同じである。
Then, the CPU 41 responds to the reading start at the timing T1 and the main scanning rotation driving device 37 of FIG.
Is started to start the rotation of the rotator 4, and the first read head H1 and the second read head H2 are rotated about the axis X0. The rotation speed at this time is the same as that in the double head mode.

【0096】このように第1読取りヘッドH1及び第2
読取りヘッドH2が回転すると、ダブルヘッドモードの
場合と同様にして、図1に示したセンサ36から図5に
示すようなインデックス信号及びEVEN信号が出力され
る。
As described above, the first read head H1 and the second read head H1
When the read head H2 rotates, the index signal and the EVEN signal as shown in FIG. 5 are output from the sensor 36 shown in FIG. 1 as in the double head mode.

【0097】その後、図5において、タイミングT2が
到来すると、図1のレーザ発生器27へ発光指令が送ら
れてレーザの発光が開始され、さらに、Z軸モータ駆動
パルスの出力が開始されて図1の副走査直進駆動装置3
8が作動を開始して、X線画像読取り装置1の全体が、
従って第1読取りヘッドH1及び第2読取りヘッドH2
の両方が、矢印Gのように軸線X0と平行の方向へ直進
移動を開始する。このときの第1読取りヘッドH1及び
第2読取りヘッドH2の直進移動速度は、Z軸モータ駆
動パルスのパルス幅をダブルヘッドモードのときの1/
2にすることによって、ダブルヘッドモードの場合の一
定速度Vの1/2に制御される。
After that, when timing T2 arrives in FIG. 5, a light emission command is sent to the laser generator 27 of FIG. 1 to start the laser emission, and further the output of the Z-axis motor drive pulse is started. Sub-scanning linear drive device 1
8 starts to operate, and the entire X-ray image reading apparatus 1
Therefore, the first read head H1 and the second read head H2
Both start straight movement in a direction parallel to the axis X0 as indicated by an arrow G. The linear movement speed of the first read head H1 and the second read head H2 at this time is the pulse width of the Z-axis motor drive pulse 1 /
By setting to 2, it is controlled to 1/2 of the constant speed V in the double head mode.

【0098】また、ダブルヘッドモードの際には図5の
タイミングチャートに示す通り、レーザ発生器27への
信号をONのままに維持して、読取り処理の間、レーザ
光を常時発生させていた。これに対し、シングルヘッド
モードの際には図5のタイミングチャートに示す通り、
EVEN信号が発生してから次のインデックス信号が発生す
るまでの間、すなわち第1読取りヘッドH1がX線像保
持体17を走査する間だけ、レーザ発生器27へON信
号を送ってレーザ光を発生させている。そして、第2読
取りヘッドH2がX線像保持体17を走査する間はレー
ザ光を発生させないようにしている。これにより、図8
に示すように、X線像保持体17に対してレーザ光が照
射されて読取り処理が行われるのは、第1読取りヘッド
H1がX線像保持体17を走査する間だけであって、第
2読取りヘッドH2がX線像保持体17を走査する間は
読取り処理が行われないようになっている。
Further, in the double head mode, as shown in the timing chart of FIG. 5, the signal to the laser generator 27 is kept ON and the laser beam is constantly generated during the reading process. . On the other hand, in the single head mode, as shown in the timing chart of FIG.
Only after the EVEN signal is generated until the next index signal is generated, that is, while the first read head H1 scans the X-ray image holding body 17, the ON signal is sent to the laser generator 27 to emit the laser beam. Has been generated. The laser beam is not generated while the second read head H2 scans the X-ray image holding body 17. As a result, FIG.
As shown in FIG. 5, the reading process is performed by irradiating the X-ray image holding body 17 with the laser beam only while the first read head H1 scans the X-ray image holding body 17. 2 The reading process is not performed while the reading head H2 scans the X-ray image carrier 17.

【0099】なお、シングルヘッドモードにおける副走
査方向(すなわち、図1の矢印G方向)へのX線画像読
取り装置1の移動速度はダブルヘッドモードにおける移
動速度の1/2になっており、それにもかかわらず、主
走査方向への回転体4の回転速度はシングルヘッドモー
ドとダブルヘッドモードとの間で同じに設定されている
ので、シングルヘッドモードにおける1本の走査ライン
の傾斜角度はダブルヘッドモードにおける1本の走査ラ
インの傾斜角度θ(図7参照)の1/2となる。
The moving speed of the X-ray image reading apparatus 1 in the sub-scanning direction (that is, the direction of arrow G in FIG. 1) in the single head mode is 1/2 of the moving speed in the double head mode. Nevertheless, since the rotation speed of the rotating body 4 in the main scanning direction is set to be the same between the single head mode and the double head mode, the inclination angle of one scanning line in the single head mode is the double head. It is 1/2 of the inclination angle θ (see FIG. 7) of one scanning line in the mode.

【0100】また、シングルヘッドモードにおける副走
査方向への移動速度はダブルヘッドモードにおける副走
査移動速度の1/2に設定されるので、同じサイズのX
線像保持体17を読取るための読取り時間は、シングル
ヘッドモードの場合がダブルヘッドモードの場合の2倍
かかることになる。
Further, since the moving speed in the sub-scanning direction in the single head mode is set to 1/2 of the sub-scanning moving speed in the double head mode, X of the same size is used.
The reading time for reading the line image holder 17 is twice as long in the single head mode as in the double head mode.

【0101】なお、シングルヘッドモードの場合も、必
要となる走査回数、すなわち走査ライン数はダブルヘッ
ドモードの場合と同じライン数、例えば3000ライン
に設定される。今考えているシングルヘッドモードの場
合には、図1の回転体4の1回転によって第1読取りヘ
ッドH1だけによって1本の走査ラインが形成されるの
で、3000ラインの走査ラインを形成するためには回
転体4を3000回転、すなわちダブルヘッドモードの
場合の2倍だけ回転させる。
Even in the single head mode, the required number of scans, that is, the number of scanning lines is set to the same number of lines as in the double head mode, for example, 3000 lines. In the case of the single head mode which is being considered now, one scan line is formed only by the first read head H1 by one rotation of the rotating body 4 of FIG. 1, and therefore, in order to form 3000 scan lines. Rotates the rotator 4 3000 times, that is, twice as much as in the double head mode.

【0102】第1読取りヘッドH1が以上のようにX線
像保持体17を走査する間、図1においてレーザ発生器
27から出射したレーザ光が第1読取りヘッドH1を通
過して、図8の走査ラインPに沿ってX線像保持体17
を露光する。こうしてレーザ光によって露光されるX線
像保持体17の露光部分にエネルギ潜像が保持されてい
ると、そのエネルギはレーザ光によって励起されて外部
へ光として出射し、その出射光はレーザ光を出射した第
1読取りヘッドH1によって受光される。
While the first read head H1 scans the X-ray image carrier 17 as described above, the laser light emitted from the laser generator 27 in FIG. 1 passes through the first read head H1 and the laser beam shown in FIG. The X-ray image holder 17 is arranged along the scanning line P.
To expose. When the energy latent image is held in the exposed portion of the X-ray image carrier 17 exposed by the laser light in this way, the energy is excited by the laser light and emitted as light to the outside, and the emitted light is the laser light. The emitted light is received by the first read head H1.

【0103】受光された光は回転体4のヘッド部7内で
ダイクロイックミラー26aで反射して光検出装置11
へ送られて、第1光電管16a及び第2光電管16bに
よって受け取られ、それらの光電管の出力端子に光に対
応した信号が出力される。
The received light is reflected by the dichroic mirror 26a in the head portion 7 of the rotating body 4 and is reflected by the photodetector 11
Sent to the first phototube 16a and the second phototube 16b, and a signal corresponding to light is output to the output terminals of those phototubes.

【0104】以上のようにX線像保持体17に対してレ
ーザ光が照射されている間、図5において、第1読取り
ヘッドH1の1回転ごとに出力されるEVEN信号に対応し
て図4においてパルス生成回路47の分周回路51のRE
SET端子にRESET信号が伝送され、これにより、ロジック
回路52の出力端子に、図5に示すような、単発のENC-
Z相パルス及び連続するENC-A相パルスが個々のEVEN信号
に対応して出力される。
As described above, while the X-ray image carrier 17 is being irradiated with the laser light, in FIG. 5, the EVEN signal corresponding to each rotation of the first read head H1 is output as shown in FIG. RE of the frequency dividing circuit 51 of the pulse generating circuit 47
The RESET signal is transmitted to the SET terminal, which causes the output terminal of the logic circuit 52 to output a single ENC- signal as shown in FIG.
Z-phase pulse and continuous ENC-A phase pulse are output corresponding to each EVEN signal.

【0105】ENC-Z相パルスはEVEN信号から時間tz後
に発生するパルス信号である。また、ENC-A相パルス
は、ENC-Z相パルスの発生後から次のインデックス信号
の発生まで、換言すれば、第1読取りヘッドH1が半回
転(すなわち、180°回転)する間に継続して発生す
るパルス信号である。このENC-A相パルスは、図4に示
す分周回路51の出力パルスに従って、図6に示すよう
に312.5KHzの周波数を有するパルス信号であ
り、第1読取りヘッドH1の半回転、すなわち1本の走
査ライン内に3000パルスが発生するようになってい
る。
The ENC-Z phase pulse is a pulse signal generated after time tz from the EVEN signal. Further, the ENC-A phase pulse continues after the generation of the ENC-Z phase pulse until the generation of the next index signal, in other words, while the first read head H1 makes a half rotation (that is, 180 ° rotation). It is a pulse signal that is generated. This ENC-A phase pulse is a pulse signal having a frequency of 312.5 KHz as shown in FIG. 6 according to the output pulse of the frequency dividing circuit 51 shown in FIG. 3000 pulses are generated within one scan line.

【0106】図4の強度演算回路48は、ダブルヘッド
モードの場合と同様にして、ロジック回路52から出力
されるENC-A相パルスの1パルスごとに光電管16a又
は16bの出力を読取り、その読取り値はRAM43の
所定領域に記憶される。こうして、ENC-A相パルスの1
パルスに相当する1ピクセル分のデータがサンプリング
される。ここで、ENC-A相パルスは1走査ラインについ
て3000パルス出力されるので、強度演算回路48は
1走査ラインを3000個に分割して得られる3000
ピクセル分のデータをサンプリングする。
The intensity calculation circuit 48 shown in FIG. 4 reads the output of the photocell 16a or 16b for each pulse of the ENC-A phase pulse output from the logic circuit 52 in the same manner as in the double head mode, and reads it. The value is stored in a predetermined area of the RAM 43. Thus, one of the ENC-A phase pulses
Data for one pixel corresponding to a pulse is sampled. Here, since 3000 pulses of ENC-A phase pulses are output for one scanning line, the intensity calculation circuit 48 obtains 3000 by dividing one scanning line into 3000.
Sample pixel data.

【0107】この1走査ラインごとのサンプリングの状
況を見ると、図5のEVEN信号が基準パルスとなって1走
査ラインの毎行の先頭にRESET信号としてパルス生成回
路47へ供給され、この基準パルスに基づいてサンプリ
ング用パルスとしてのENC-A相パルスが1ライン分、す
なわち3000パルス出力される。このように基準パル
スは1走査ラインごとに与えられるので、各走査ライン
は第1読取りヘッドH1の回転動作に正確に同期する。
Looking at the sampling situation for each one scanning line, the EVEN signal of FIG. 5 becomes a reference pulse and is supplied to the pulse generation circuit 47 as a RESET signal at the head of every line of one scanning line. Based on, the ENC-A phase pulse as a sampling pulse is output for one line, that is, 3000 pulses are output. In this way, since the reference pulse is given for each scanning line, each scanning line is accurately synchronized with the rotating operation of the first read head H1.

【0108】また、サンプリング用パルスとしてのENC-
A相パルスは、第1読取りヘッドH1の回転に従ってエ
ンコーダによって生成されたものでなく、極めて安定し
た発振特性をもったクリスタル発振器49に基づいて生
成されたものである。従って、ENC-A相パルスは第1読
取りヘッドH1の回転に左右されない非常に安定したサ
ンプリング用パルスとして機能する。
Also, ENC- as a sampling pulse
The A-phase pulse is not generated by the encoder according to the rotation of the first read head H1, but is generated based on the crystal oscillator 49 having an extremely stable oscillation characteristic. Therefore, the ENC-A phase pulse functions as a very stable sampling pulse that is not affected by the rotation of the first read head H1.

【0109】以上により、第1読取りヘッドH1による
1走査ラインに関する3000ピクセル分のデータがサ
ンプリングされた後、第2読取りヘッドH2がX線像保
持体17に対向する位置に到来したとき、図5に示すタ
イミングチャートの通り、ENC-Z相パルス及びENC-A相パ
ルスは出力されない。またこの時には、レーザ信号もO
FFとなっていて、第2読取りヘッドH2からのレーザ
光の照射も行われない。従って、第2読取りヘッドH2
に関してはデータの採取は行われない。
As described above, when the second reading head H2 arrives at the position facing the X-ray image holding body 17 after the data of 3000 pixels for one scanning line by the first reading head H1 is sampled, FIG. As the timing chart shown in, the ENC-Z phase pulse and ENC-A phase pulse are not output. At this time, the laser signal is also O
Since it is FF, laser light is not emitted from the second read head H2. Therefore, the second read head H2
No data will be collected for.

【0110】その後、第1読取りヘッドH1の1回転ご
とに1走査ラインにわたる3000ピクセルのデータが
サンプリングが繰り返して行われ、結果的に、副走査方
向に関して3000ライン分のデータがサンプリングさ
れる。以上により、図8において、X線像保持体17の
測定領域の全面に関する光強度データが読取られて、そ
れらがX線像保持体17の座標値に対応させてRAM4
3の所定領域にデータテーブルとして記憶される。
After that, data of 3000 pixels over one scanning line is repeatedly sampled for each rotation of the first read head H1, and as a result, data for 3000 lines in the sub-scanning direction is sampled. As described above, in FIG. 8, the light intensity data on the entire surface of the measurement region of the X-ray image holding body 17 is read, and these are associated with the coordinate values of the X-ray image holding body 17 and stored in the RAM4.
3 is stored as a data table in a predetermined area.

【0111】以上に説明したシングルヘッドモードの測
定によれば、測定を行うのは第1読取りヘッドH1だけ
であって第2読取りヘッドH2からはデータの採取が行
われない。従って、第1読取りヘッドH1を用いたとき
の読取り特性と、第2読取りヘッドH2を用いたときの
読取り特性との違いに起因して測定誤差が生じるという
状況が生じることが無くなり、それ故、非常に高精度の
測定を行うことができる。
According to the single head mode measurement described above, the measurement is performed only by the first read head H1 and no data is collected from the second read head H2. Therefore, the situation in which a measurement error occurs due to the difference between the read characteristic when the first read head H1 is used and the read characteristic when the second read head H2 is used does not occur. Very accurate measurements can be made.

【0112】なお、シングルヘッドモードにおいては、
図5に示すように、レーザ発生器27のON/OFFが
EVEN信号とインデックス信号の発生ごとに繰り返され
る。このとき、レーザ発生器27にON信号が送られて
レーザ発生器27の作動が開始しても定格強度のレーザ
光は直ぐには発生せず、レーザ光の出力が定格の大きさ
に安定するまでには少しの時間の経過が必要である。図
5に示すように、EVEN信号が発生したときに即座にENC-
A相パルスを出すのではなく、tzの猶予時間、例えば
122パルス分の400μSの時間を設けるのは、立ち
上がったレーザ光が定格の大きさに安定するまでの時間
を確保するためである。
In the single head mode,
As shown in FIG. 5, ON / OFF of the laser generator 27 is
It is repeated every time the EVEN signal and the index signal are generated. At this time, even if the ON signal is sent to the laser generator 27 and the operation of the laser generator 27 is started, the laser beam having the rated intensity is not immediately generated and the output of the laser beam is stabilized at the rated level. Requires some time to pass. As shown in Fig. 5, when the EVEN signal is generated, the ENC-
Instead of issuing the A-phase pulse, a grace period of tz, for example, a time of 400 μS for 122 pulses is provided in order to secure the time until the rising laser light stabilizes at the rated level.

【0113】以上に説明したように、本実施形態のX線
画像読取り装置によれば、ダブルヘッドモード及びシン
グルヘッドモードのいずれの場合にも、サンプリング用
パルスであるENC-A相パルスは、読取りヘッドH1,H
2の回転軸に設けられたエンコーダから発生されるので
はなくて、読取りヘッドH1,H2の回転に影響されな
い独立したパルス発生源である発振器49から得られる
ので、常に安定したサンプリング用パルスを得ることが
でき、それ故、信頼性の高い読取りデータを得ることが
できる。
As described above, according to the X-ray image reading apparatus of this embodiment, the ENC-A phase pulse which is the sampling pulse is read in both the double head mode and the single head mode. Heads H1, H
Since it is not generated by the encoder provided on the second rotation axis but is obtained from the oscillator 49 which is an independent pulse generation source not affected by the rotation of the read heads H1 and H2, a stable sampling pulse is always obtained. Therefore, it is possible to obtain highly reliable read data.

【0114】また、サンプリング用パルスの発生の基準
となるタイミングT2は、読取りヘッドH1,H2の位
置を基準として発生される基準パルス、すなわちインデ
ックス信号又はEVEN信号によってもたらされるので、デ
ータのサンプリングタイミングが読取りヘッドH1,H
2の回転、すなわちX線像保持体17に対する走査のタ
イミングからずれる心配は全くない。
Further, since the timing T2 which is the reference of the generation of the sampling pulse is brought by the reference pulse which is generated with the position of the read heads H1 and H2 as the reference, that is, the index signal or the EVEN signal, the data sampling timing is Read heads H1, H
There is no fear of deviation from the timing of rotation of 2, that is, the scanning timing with respect to the X-ray image holding body 17.

【0115】(その他の実施形態)以上、好ましい実施
形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形
態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明
の範囲内で種々に改変できる。
(Other Embodiments) The present invention has been described above with reference to the preferred embodiments, but the present invention is not limited to the embodiments and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims. Can be modified to

【0116】例えば、図1に示した実施形態では、2つ
の読取りヘッドH1及びH2のうち第2読取りヘッドH
2を使用しないことによってシングルヘッドモードを実
現することにし、そのために、使用しないこととする第
2読取りヘッドH2がX線像保持体17を走査するとき
にはレーザ発生器27からのレーザ光の発生を中止する
ことにした。
For example, in the embodiment shown in FIG. 1, the second read head H of the two read heads H1 and H2.
The single head mode is realized by not using 2, and therefore, when the second read head H2, which is not used, scans the X-ray image holding body 17, the generation of laser light from the laser generator 27 is prevented. I decided to cancel.

【0117】しかしながら、第2読取りヘッドH2を使
用しないこととするための方策は、そのようなレーサ光
の中断だけに限られるものでなく、例えば、図9に示す
ように、ビームスプリッタ18と第2読取りヘッドH2
との間の光路上にビームストッパ又はシャッタ59を設
け、このビームストッパ又はシャッタ59によって第2
読取りヘッドH2へのレーザ光の進行を阻止するという
方策によっても実現できる。
However, the measure for not using the second read head H2 is not limited to such interruption of the laser light, and, for example, as shown in FIG. 2 read head H2
A beam stopper or shutter 59 is provided on the optical path between the beam stopper and the shutter 59.
It can also be realized by a measure of blocking the progress of the laser beam to the read head H2.

【0118】また、上記の実施形態は、読取りヘッドを
2個使用する構造のダブルヘッド方式のX線画像読取り
装置に本発明を適用したものであるが、本発明は、3個
以上の読取りヘッドを使用する構造のマルチヘッド方式
のX線画像読取り装置にも適用できる。
In the above embodiment, the present invention is applied to a double-head type X-ray image reading apparatus having a structure using two read heads. However, the present invention has three or more read heads. The present invention can also be applied to a multi-head type X-ray image reading device having a structure using.

【0119】[0119]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るX線画像読取り装置によれば、サンプリング用パ
ルスは、読取りヘッドの回転軸に設けられたエンコーダ
から発生されるのではなくて、読取りヘッドの回転に影
響されない独立したパルス発生源から得られるので、常
に安定したサンプリング用パルスを得ることができ、そ
れ故、信頼性の高い読取りデータを得ることができる。
As is apparent from the above description, according to the X-ray image reading apparatus of the present invention, the sampling pulse is not generated from the encoder provided on the rotary shaft of the reading head. Since it is obtained from an independent pulse generation source which is not affected by the rotation of the read head, it is possible to always obtain a stable sampling pulse, and thus to obtain highly reliable read data.

【0120】また、サンプリング用パルスの発生の基準
となるタイミングは、読取りヘッドの位置を基準として
発生される基準パルスによってもたらされるので、デー
タのサンプリングタイミングが読取りヘッドの回転、す
なわちX線像保持体に対する走査のタイミングからずれ
る心配は全くない。
Further, since the timing serving as the reference for generating the sampling pulse is brought about by the reference pulse generated with reference to the position of the read head, the data sampling timing is rotated by the read head, that is, the X-ray image holding member. There is no concern about deviation from the scanning timing for.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るX線画像読取り装置の一実施形態
を示す側面断面図である。
FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of an X-ray image reading apparatus according to the present invention.

【図2】(a)は図1のII−II線に従った平面断面
図であり、(b)は図1のIII−III線に従った平
面断面図である。
2A is a plan sectional view taken along line II-II in FIG. 1, and FIG. 2B is a plan sectional view taken along line III-III in FIG.

【図3】図1の装置に用いられるビームスプリッタを示
す図である。
3 is a diagram showing a beam splitter used in the apparatus of FIG.

【図4】本発明に係るX線画像読取り装置で用いられる
電気制御系の一実施形態を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing an embodiment of an electric control system used in the X-ray image reading apparatus according to the present invention.

【図5】図4の電気制御系によって実行される制御のタ
イミングチャートを示す図である。
5 is a diagram showing a timing chart of control executed by the electric control system of FIG.

【図6】図5の要部を示すタイミングチャートである。6 is a timing chart showing a main part of FIG.

【図7】ダブルヘッドモードにおける読取り走査の状態
を模式的に示す図である。
FIG. 7 is a diagram schematically showing a read scanning state in a double head mode.

【図8】シングルヘッドモードにおける読取り走査の状
態を模式的に示す図である。
FIG. 8 is a diagram schematically showing a read scanning state in a single head mode.

【図9】本発明に係るX線画像読取り装置の他の実施形
態を示す側面断面図である。
FIG. 9 is a side sectional view showing another embodiment of the X-ray image reading apparatus according to the present invention.

【図10】従来のX線画像読取り装置の一例を示す斜視
図である。
FIG. 10 is a perspective view showing an example of a conventional X-ray image reading apparatus.

【図11】X線測定装置の一例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing an example of an X-ray measuring apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 X線画像読取り装置 4 回転体 6 レーザ光導入部 7 ヘッド部 8 光導出部 11 光検出装置 14 光フィルタ 16a,16b 光電管 17 X線像保持体 18 ビームスプリッタ 26a,26b ダイクロイックミラー 27 レーザ発生器 29 回転盤(基準パルスを発生する手段) 36 フォトセンサ(基準パルスを発生する
手段) 47 パルス生成回路(サンプリング用パル
ス生成手段) 48 強度演算回路(サンプリング手段) 59 ビームストッパ又はシャッタ H1 第1読取りヘッド H2 第2読取りヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray image reading device 4 Rotating body 6 Laser light introduction part 7 Head part 8 Light derivation part 11 Photodetection device 14 Optical filters 16a, 16b Phototube 17 X-ray image holder 18 Beam splitters 26a, 26b Dichroic mirror 27 Laser generator 29 rotary disk (means for generating reference pulse) 36 photosensor (means for generating reference pulse) 47 pulse generation circuit (sampling pulse generation means) 48 intensity calculation circuit (sampling means) 59 beam stopper or shutter H1 first reading Head H2 Second read head

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G083 AA03 BB04 CC10 DD20 2H013 AC03 AC06 5B047 AA05 BA02 BB02 CA06 CA12 CB09 CB17 5C072 AA01 BA13 BA20 UA09 UA14 VA01    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 2G083 AA03 BB04 CC10 DD20                 2H013 AC03 AC06                 5B047 AA05 BA02 BB02 CA06 CA12                       CB09 CB17                 5C072 AA01 BA13 BA20 UA09 UA14                       VA01

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 X線像保持体からデータを採取する読取
りヘッドと、 該読取りヘッドを前記X線像保持体の走査のために移動
させる走査駆動手段と、 前記読取りヘッドの位置を基準として基準パルスを発生
する手段と、 前記基準パルスを基準とするサンプリング用パルスを生
成するサンプリング用パルス生成手段と、 前記読取りヘッドによって採取したデータを前記サンプ
リング用パルスに従ってサンプリングするサンプリング
手段と、を有し、 前記サンプリング用パルス生成手段は、前記走査駆動手
段から独立してサンプリング用パルスを生成することを
特徴とするX線画像読取り装置。
1. A read head for collecting data from an X-ray image carrier, a scanning drive means for moving the read head to scan the X-ray image carrier, and a reference based on the position of the read head. A means for generating a pulse, a sampling pulse generation means for generating a sampling pulse with the reference pulse as a reference, and a sampling means for sampling the data collected by the read head according to the sampling pulse, The X-ray image reading device, wherein the sampling pulse generating means generates a sampling pulse independently of the scan driving means.
【請求項2】 請求項1において、 前記読取りヘッドは複数設けられ、 前記走査駆動手段は、前記複数の読取りヘッドが互いに
異なるタイミングで前記X線像保持体を走査するように
それら複数の読取りヘッドを移動させることを特徴とす
るX線画像読取り装置。
2. The read heads according to claim 1, wherein a plurality of the read heads are provided, and the scan driving unit causes the plurality of read heads to scan the X-ray image holding body at different timings. An X-ray image reading device, characterized in that the X-ray image reading device is moved.
【請求項3】 請求項2において、 前記読取りヘッドは、互いに180°の角度間隔で2個
が互いに対称の位置に配置され、 前記走査駆動手段は、 前記2個の読取りヘッドを回転駆動する回転駆動手段
と、 前記2個の読取りヘッドを前記回転駆動手段による前記
読取りヘッドの回転面に対して直角方向へ直進移動させ
る直進駆動手段とを有することを特徴とするX線画像読
取り装置。
3. The read head according to claim 2, wherein the two read heads are arranged at symmetrical positions with respect to each other at an angular interval of 180 °, and the scan driving means rotates the two read heads. An X-ray image reading apparatus comprising: a driving unit; and a linear driving unit that linearly moves the two reading heads in a direction perpendicular to a rotation surface of the reading head by the rotary driving unit.
【請求項4】 請求項3において、 前記読取りヘッドの位置を基準として基準パルスを発生
する手段は、 前記回転駆動される読取りヘッドの回転軸に取り付けら
れた回転盤と、 該回転盤の回転に応じてパルス信号を出力するフォトセ
ンサとを有することを特徴とするX線画像読取り装置。
4. The means for generating a reference pulse with reference to the position of the read head according to claim 3, wherein the rotary disk is attached to a rotary shaft of the read head that is rotationally driven, and the rotary disk is rotated. An X-ray image reading device having a photosensor that outputs a pulse signal in response to the X-ray image reading device.
【請求項5】 請求項1から請求項4の少なくともいず
れか1つにおいて、 前記読取りヘッドの位置を基準として基準パルスを発生
する手段は、複数の走査ラインの毎行の先頭で前記基準
パルス発生するX線画像読取り装置。
5. The means for generating a reference pulse with reference to the position of the read head according to claim 1, wherein the reference pulse is generated at the beginning of every row of a plurality of scan lines. X-ray image reading device.
【請求項6】 請求項1から請求項5の少なくともいず
れか1つにおいて、 前記サンプリング用パルス生成手段は、 前記サンプリング用パルスの周波数よりも高い周波数を
発振する原発振手段と、 該原発振手段の出力パルスを分周する分周回路とを有す
ることを特徴とするX線画像読取り装置。
6. The original oscillating means for oscillating a frequency higher than the frequency of the sampling pulse, according to at least one of claims 1 to 5, And a frequency dividing circuit for frequency-dividing the output pulse of 1.
【請求項7】 請求項6において、 前記原発振手段は、前記サンプリング用パルスの周波数
の10倍以上の周波数の発振を出力することを特徴とす
るX線画像読取り装置。
7. The X-ray image reading apparatus according to claim 6, wherein the original oscillating means outputs an oscillation having a frequency 10 times or more the frequency of the sampling pulse.
【請求項8】 請求項6又は請求項7において、前記原
発振手段はクリスタル発振源を有することを特徴とする
X線画像読取り装置。
8. The X-ray image reading apparatus according to claim 6 or 7, wherein the original oscillation means has a crystal oscillation source.
【請求項9】 請求項6から請求項8の少なくともいず
れか1つにおいて、 前記原発振手段は5MHzを発振し、前記サンプリング
用パルスは312.5KHzであることを特徴とするX
線画像読取り装置。
9. The X according to claim 6, wherein the original oscillating means oscillates 5 MHz, and the sampling pulse has a frequency of 312.5 KHz.
Line image reader.
【請求項10】 請求項1から請求項9の少なくともい
ずれか1つにおいて、 前記X線像保持体は蓄積性蛍光体によって形成されたX
線保持面を有し、さらに 前記1つ又は複数の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給す
る出射光学系と、 前記X線像保持体から放射される光を前記1つ又は複数
の読取りヘッドを通して受光してその受光に対応して電
気信号を出力する受光光学系とを有し、 前記受光光学系の出力信号を前記サンプリング手段によ
ってサンプリングすることを特徴とするX線画像読取り
装置。
10. The X-ray image carrier according to claim 1, wherein the X-ray image carrier is made of a stimulable phosphor.
An emission optical system which has a line holding surface and supplies stimulated excitation light to the one or more read heads, and light emitted from the X-ray image carrier through the one or more read heads. An X-ray image reading apparatus comprising: a light receiving optical system that receives light and outputs an electric signal in response to the received light, wherein the output signal of the light receiving optical system is sampled by the sampling means.
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