JP2003075488A - Network analyzer, measurement method by the same, and component-sorting apparatus having the network analyzer - Google Patents

Network analyzer, measurement method by the same, and component-sorting apparatus having the network analyzer

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JP2003075488A
JP2003075488A JP2001271455A JP2001271455A JP2003075488A JP 2003075488 A JP2003075488 A JP 2003075488A JP 2001271455 A JP2001271455 A JP 2001271455A JP 2001271455 A JP2001271455 A JP 2001271455A JP 2003075488 A JP2003075488 A JP 2003075488A
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    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently perform measurement to a device having a small number of ports by a multi-port network analyzer. SOLUTION: The network analyzer comprises a single signal source O, a signal distribution means PS for distributing a signal from the signal source into a plurality of portions for supply, output ports 1-4 for connecting each of a plurality of ports at a plurality of measurement targets X1 and X2, signal path-switching means S1-S4 for switching between a state where a signal that is distributed by a signal distribution means is inputted and the inputted signal is selected and supplied to one corresponding output port among output ports and a state where a characteristic signal obtained from the measurement targets via the output port is transmitted to terminators T1-T4, and reception means D1-D4 that are inclined between the signal path-switching means and the output port to receive a characteristic signal obtained from the measurement target.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、4つ以上の測定用
のポートを備えるネットワークアナライザ、およびこの
ネットワークアナライザによる測定方法、並びにこのネ
ットワークアナライザを備える部品選別装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a network analyzer having four or more measurement ports, a measuring method using the network analyzer, and a component selection device having the network analyzer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、4つ以上の測定用のポートを備え
るマルチポートネットワークアナライザとしては、4つ
以上のポートを有するデバイスなどの測定対象に対して
特性測定を行うため、例えば、図7に示すように構成し
たものが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a multi-port network analyzer having four or more measurement ports, characteristic measurement is performed on a measurement target such as a device having four or more ports. The one configured as shown is known.

【0003】この図に示されたもののように、例えば4
つのデータサンプラD1〜D4を備える4ポートネット
ワークアナライザで2ポートデバイスXを測定する際に
は、4つあるデータサンプラD1〜D4のうち2つ(図
7においてはD1とD2)のみを用いて測定を行い、残
りの2つのデータサンプラD3,D4は未使用であっ
た。これは、4ポートネットワークアナイザを2ポート
ネットワークアナライザとして使用していることに相当
している。
As shown in this figure, for example, 4
When measuring a 2-port device X with a 4-port network analyzer including one data sampler D1 to D4, only two of the four data samplers D1 to D4 (D1 and D2 in FIG. 7) are used for measurement. The remaining two data samplers D3 and D4 were unused. This corresponds to using the 4-port network analyzer as a 2-port network analyzer.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、4ポートネ
ットワークアナライザは2ポートネットワークアナライ
ザよりも高価である。したがって、本来4ポートデバイ
ス用に使用しているのを、一つの2ポートデバイスの測
定にのみ使用することは、測定効率が低い。なお、この
従来の4ポートネットワークアナライザに4つあるデー
タサンプラを2組に分けてそれぞれの組で2ポートデバ
イスの測定を行うこととし、信号源にこれら2つの2ポ
ートデバイスを同時に接続したとしても、信号源のイン
ピーダンスとこれら2つのデバイスの並列接続回路のイ
ンピーダンスとが不整合となるため、正確な特性測定が
できない。
By the way, the 4-port network analyzer is more expensive than the 2-port network analyzer. Therefore, the measurement efficiency is low when the device originally used for the 4-port device is used only for the measurement of one 2-port device. In addition, it is assumed that the four data samplers in this conventional 4-port network analyzer are divided into two sets, and the measurement of the 2-port device is performed in each set, and even if these two 2-port devices are simultaneously connected to the signal source. Since the impedance of the signal source and the impedance of the parallel connection circuit of these two devices are mismatched, accurate characteristic measurement cannot be performed.

【0005】しかしながら、ユーザ側では、マルチポー
トネットワークアナライザとして4ポートデバイスにつ
いてその測定が行えるものは必要性があって、単に図8
に示すような2ポートネットワークアナライザのみを用
意するだけでは4ポートデバイスの測定はできない。
However, on the user side, there is a need for a multi-port network analyzer capable of measuring the 4-port device, and it is simply shown in FIG.
A 4-port device cannot be measured only by preparing a 2-port network analyzer as shown in (4).

【0006】本発明の目的は、マルチポートネットアナ
ライザで例えば2ポートデバイスのようなポートが少数
のデバイスに対する測定を効率的に行うことができるよ
うにしながらも、ポートが4つ以上のデバイスに対する
測定も可能とするネットワークアナライザ、およびこの
ネットワークアナライザによる測定方法、並びにこのネ
ットワークアナライザを備える部品選別装置を提供する
ことにある。
It is an object of the present invention to enable a multi-port net analyzer to efficiently perform a measurement on a device having a small number of ports such as a 2-port device, while measuring a device having four or more ports. Another object of the present invention is to provide a network analyzer capable of performing the above, a measuring method using the network analyzer, and a component selection device including the network analyzer.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
ネットワークアナライザは、単一の信号源と、該信号源
からの信号を複数に分配して供給する信号分配手段と、
測定対象における複数のポートを各別に接続可能な出力
ポートと、前記信号分配手段で分配された信号を入力
し、かつその入力された信号を前記出力ポートのうち対
応する一つに対して選択して供給する状態と、該出力ポ
ートを介して前記測定対象から得られる特性信号を終端
器に伝送する状態とに切り換え可能な信号経路切り換え
手段と、前記信号経路切り換え手段と前記出力ポートと
の間に介装され、前記測定対象から得られる特性信号を
受信する受信手段とを備えることを特徴とする。
A network analyzer according to claim 1 of the present invention comprises a single signal source, and signal distribution means for distributing and supplying a signal from the signal source to a plurality of signals.
An output port capable of separately connecting a plurality of ports in a measurement target and a signal distributed by the signal distribution means are input, and the input signal is selected for a corresponding one of the output ports. Between the signal path switching means and the output port, the signal path switching means being switchable between a state in which the characteristic signal obtained from the measurement target is transmitted to the terminator through the output port And receiving means for receiving a characteristic signal obtained from the measurement target.

【0008】本発明の請求項1に係る構成によれば、単
一の信号源からの信号を信号分配手段で分配した信号
を、1個または複数個の測定対象の各ポートをそれぞれ
出力ポートに接続した状態でその測定対象に供給して、
その結果得られる特性を測定することにより、従来少数
ポートの測定対象を一度に1個しか測定できなかったの
に比較して、同時に測定できる個数を増すことができる
分測定効率が向上することになる。また、信号分配手段
を介して測定対象ごとに特性測定用の信号が供給させる
ことができるので、互いの特性信号同士が影響しにくい
ものとなっているから、それぞれの測定対象ごとの特性
測定が精度良く行える。
According to the configuration of claim 1 of the present invention, the signal obtained by distributing the signal from the single signal source by the signal distribution means is output to each of the one or more ports to be measured as output ports. Supply it to the measurement target in the connected state,
By measuring the characteristics obtained as a result, it is possible to increase the number that can be measured at the same time as compared to the conventional case where only one target with a small number of ports can be measured at a time, which improves measurement efficiency. Become. In addition, since a signal for characteristic measurement can be supplied to each measurement object via the signal distribution unit, mutual characteristic signals are less likely to affect each other, so that the characteristic measurement for each measurement object can be performed. It can be done accurately.

【0009】本発明の請求項2に係るネットワークアナ
イザは、請求項1に記載のものにおいて、前記信号分配
手段で分配された各信号を、前記出力ポートに接続され
る複数個の測定対象に対応して組となった複数の出力ポ
ートにおいて選択された一つに対して対応する前記信号
経路切り換え手段を介してそれぞれ供給する状態と、前
記信号源からの信号を前記信号分配手段で分配すること
なく、前記各信号経路切り換え手段に供給する状態とに
切り換え自在な切り換え手段を設けていることを特徴と
する。
A network analyzer according to a second aspect of the present invention is the network analyzer according to the first aspect, wherein each signal distributed by the signal distribution means is applied to a plurality of measurement targets connected to the output port. A state in which the signal from the corresponding signal source is supplied to the selected one of a plurality of corresponding output ports through the corresponding signal path switching means, and the signal from the signal source is distributed by the signal distribution means. It is characterized in that the switching means is provided so as to be freely switched to the state of being supplied to each of the signal path switching means.

【0010】本発明の請求項2に係る構成によれば、切
り換え手段によって、前者の状態に設定すると、ポート
が少数の測定対象を複数個同時に特性測定できることに
なり、一方、後者の状態に設定すると、ポート数が多い
測定対象に対して各ポートを出力ポートに接続した状態
で特性測定できることになるので、ポートが少数の測定
対象の特性測定を行う場合と、ポート数が多い測定対象
の特性測定を行う場合とに応じて使い分けることができ
る。
According to the configuration of claim 2 of the present invention, when the former state is set by the switching means, it becomes possible to simultaneously measure the characteristics of a plurality of measurement targets having a small number of ports, while the latter state is set. Then, it is possible to measure the characteristics of the measurement target with a large number of ports with each port connected to the output port. Therefore, when measuring the characteristics of a measurement target with a small number of ports and the characteristics of a measurement target with a large number of ports. It can be used properly depending on when the measurement is performed.

【0011】本発明の請求項3に係るネットワークアナ
ライザは、請求項1または2に記載のものにおいて、前
記信号分配手段と、前記信号経路切り換え手段との間に
該信号経路切り換え手段側から前記信号分配手段への反
射信号の伝達を抑制する絶縁器を介装していることを特
徴とする。
A network analyzer according to a third aspect of the present invention is the network analyzer according to the first or second aspect, wherein the signal path switching means is provided between the signal distribution means and the signal path switching means. It is characterized in that an insulator for suppressing the transmission of the reflected signal to the distribution means is interposed.

【0012】本発明の請求項3に係る構成によれば、絶
縁器によって信号分配手段側への反射信号が測定対象へ
の供給信号に重畳するような悪影響を抑制できるので、
複数の測定対象の特性測定において、一層精度の高い特
性測定が行えることになる。
According to the third aspect of the present invention, the adverse effect that the reflected signal to the signal distribution means side is superimposed on the supply signal to the measurement object can be suppressed by the insulator.
In the characteristic measurement of a plurality of measurement objects, the characteristic measurement with higher accuracy can be performed.

【0013】本発明の請求項4に係るネットワークアナ
ライザは、請求項1から3のいずれかに記載のものにお
いて、前記出力ポートに接続される測定対象は平衡ポー
トを有するデバイスであり、該デバイスの対応するポー
トと、前記出力ポートとの間に平衡ポートを不平衡ポー
トとして転換する手段を介装していることを特徴とす
る。
The network analyzer according to claim 4 of the present invention is the network analyzer according to any one of claims 1 to 3, wherein the measurement target connected to the output port is a device having a balanced port, Means for converting a balanced port as an unbalanced port is interposed between the corresponding port and the output port.

【0014】本発明の請求項4に係る構成によれば、平
衡ポートを複数有するデバイスであっても、平衡ポート
を不平衡ポートに転換する手段、例えば180°ハイブ
リッドやバランなどを介して出力ポートに接続すること
で、平衡ポート数と同じ数の不平衡ポートを有する測定
対象に転換して出力ポートに接続できることになり、そ
のデバイスを複数個同時に特性測定することが可能とな
って、測定効率を向上させることができる。
According to the configuration of claim 4 of the present invention, even in a device having a plurality of balanced ports, an output port is provided through a means for converting a balanced port into an unbalanced port, for example, a 180 ° hybrid or a balun. By connecting to the output port, it is possible to convert to a measurement target that has the same number of unbalanced ports as the number of balanced ports and connect it to the output port, and it becomes possible to measure the characteristics of multiple devices at the same time. Can be improved.

【0015】本発明の請求項5に係る部品選別装置は、
請求項1から4のいずれかに記載のネットワークアナラ
イザを備える部品選別装置であって、前記出力ポートに
接続され、かつ測定対象のポートに接触可能なプローブ
を備える測定ステーションを複数設けるとともに、各測
定ステーションに搬送された測定対象を同時に測定する
状態と、特定の測定ステーションにおける測定対象のみ
を測定する状態とに切り換え可能に構成し、該測定結果
に基づいて測定対象となる部品を選別する選別手段を備
えていることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a parts selection device,
It is a component selection device provided with the network analyzer in any one of Claim 1 to 4, Comprising: The measurement port is provided with multiple measurement stations provided with the probe connected to the said output port, and contactable to the port of a measurement object. Sorting means configured to be switchable between a state in which the measurement target conveyed to the station is measured at the same time and a state in which only the measurement target in a specific measurement station is measured, and a component to be the measurement target is selected based on the measurement result. It is characterized by having.

【0016】本発明の請求項5に係る構成によれば、部
品選別を行うのに、その選別される部品となる測定対象
が少数のポートを有するものの場合、複数個を同時に複
数の測定ステーションで測定し、測定対象がポート数の
多いものの場合、特定の測定ステーションでその各ポー
トに対する特性測定が行えるようにでき、それぞれの場
合において、精度良く、かつ効率良く特性測定ができ、
その結果に基づいて、例えば良品と不良品との選別など
が良好に行える。
According to the structure of claim 5 of the present invention, when parts are selected, when the objects to be selected as the parts to be measured have a small number of ports, a plurality of parts are simultaneously measured by a plurality of measuring stations. If you measure and have a large number of ports to be measured, you can enable the characteristic measurement for each port at a specific measurement station.In each case, you can measure the characteristics accurately and efficiently,
Based on the result, for example, good products and defective products can be favorably selected.

【0017】本発明の請求項6に係るネットワークアナ
ライザによる測定方法は、単一の信号源からの信号を複
数に分配して供給する信号分配手段の各供給ポートと、
測定対象における複数のポートを各別に接続可能な出力
ポートとの間に、前記測定対象の複数のポートのうち一
つを選択するとともにその選択されたポートに対して前
記供給ポートからの信号を供給する信号経路切り換え手
段と、該供給された信号により前記測定対象から得られ
る特性信号を受信する受信手段とを介装した状態で、複
数個の前記測定対象の各ポートを対応する前記出力ポー
トに接続することにより、複数個の前記測定対象の特性
を同時に測定することを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a network analyzer measuring method, wherein each supply port of a signal distributing means for distributing and supplying a signal from a single signal source into a plurality of signals,
Select one of the plurality of ports to be measured between the output ports to which a plurality of ports in the subject to be measured can be separately connected, and supply the signal from the supply port to the selected port. With a signal path switching means and a receiving means for receiving a characteristic signal obtained from the measurement object by the supplied signal, and a plurality of ports of the measurement object are connected to the corresponding output ports. It is characterized in that the characteristics of a plurality of the measuring objects are simultaneously measured by connecting them.

【0018】本発明の請求項6に係る構成によれば、単
一の信号源からの信号を信号分配手段で分配した信号
を、複数の測定対象の各ポートをそれぞれ出力ポートに
接続した状態でその複数の測定対象に供給して、その結
果得られる特性を同時に測定することにより、従来少数
ポートの測定対象を一度に1個しか測定できなかったの
に比較して、同時に測定できる個数分測定効率が向上す
ることになる。また、信号分配手段を介して測定対象ご
とに特性測定用の信号が供給されることで、互いの特性
信号同士が影響しにくいものとなっているから、それぞ
れの測定対象ごとの特性測定が精度良く行える。
According to the configuration of claim 6 of the present invention, a signal obtained by distributing a signal from a single signal source by the signal distribution means is connected to each output port of a plurality of measurement targets. By supplying to multiple measurement targets and measuring the resulting characteristics at the same time, compared to the conventional case where only one measurement target with a small number of ports could be measured at a time, the number of measurements that can be measured simultaneously Efficiency will be improved. Further, since the characteristic measurement signal is supplied to each measurement target through the signal distribution means, mutual characteristic signals are less likely to affect each other, so that the characteristic measurement for each measurement target is accurate. You can do it well.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0020】図1、図2は、本発明の実施の形態を示す
ものであって、図1は、2個の2ポートデバイスの測定
を行っている4ポートネットワークアナライザの要部を
示す回路図、図2は、1個の4ポートデバイスの測定を
行っている4ポートネットワークアナライザの要部を示
す回路図である。
FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a circuit diagram showing a main part of a 4-port network analyzer for measuring two 2-port devices. FIG. 2 is a circuit diagram showing a main part of a 4-port network analyzer that measures one 4-port device.

【0021】図1は、例えばSAWフィルタなどのデバ
イスの特性を測定するマルチポートネットワークアナラ
イザにおける本発明に係る要部を示している。
FIG. 1 shows a main part according to the present invention in a multiport network analyzer for measuring the characteristics of a device such as a SAW filter.

【0022】図1に示すように、このマルチポートネッ
トワークアナライザは、リファレンスサンプラR以外に
受信手段としての4つのデータサンプラD1〜D4を有
する4ポートネットワークアナライザの各出力ポート
(コネクタ部)1〜4を備えている。そして、このネッ
トワークアナライザの単一の信号源Oに対して信号分配
手段としてのパワースプリッタPSを接続している。こ
れにより信号源Oからの信号はパワースプリッタPSの
2つの供給ポートとしての出力端子A,Bよりそれぞれ
出力される。前記各出力ポート1〜4にはそれぞれリレ
ーあるいはマルチプレクサなどのデバイスで構成される
信号経路切り換え手段としてのスイッチS1〜S4が接
続されており、それぞれのスイッチS1〜S4における
2つの固定端子のうち一方は終端器(ターミネータ)T
1〜T4に接続され、他方はパワースプリッタPSの出
力端子Aまたは出力端子Bに接続される。
As shown in FIG. 1, this multiport network analyzer includes output ports (connector sections) 1 to 4 of a 4-port network analyzer having four data samplers D1 to D4 as receiving means in addition to the reference sampler R. Is equipped with. A power splitter PS as a signal distribution means is connected to a single signal source O of this network analyzer. As a result, the signal from the signal source O is output from the output terminals A and B as two supply ports of the power splitter PS, respectively. Each of the output ports 1 to 4 is connected to a switch S1 to S4 as a signal path switching unit composed of a device such as a relay or a multiplexer, and one of two fixed terminals of each of the switches S1 to S4 is connected. Is a terminator T
1 to T4, and the other is connected to the output terminal A or the output terminal B of the power splitter PS.

【0023】そして、スイッチS1〜S4の可動側接点
と、各出力ポート1,2,3,4との間には、測定に伴
って得られる反射信号や透過信号を特性信号として得る
ための方向性結合器H1〜H4がそれぞれ設けられてい
る。各方向性結合器H1〜H4にはレシーバR1〜R4
が接続されており、この方向性結合器H1〜H4と、レ
シーバR1〜R4とにより前記データサンプラD1〜D
4がそれぞれ構成されている。なお、レシーバR1〜R
4で受信した特性信号は、図示しないネットワークアナ
ライザ本体での信号解析に供されることになる。
Between the movable contacts of the switches S1 to S4 and the output ports 1, 2, 3 and 4, a direction for obtaining a reflection signal or a transmission signal obtained by measurement as a characteristic signal is provided. The sex couplers H1 to H4 are provided respectively. Each of the directional couplers H1 to H4 has a receiver R1 to R4.
Are connected to the data samplers D1 to D4 by the directional couplers H1 to H4 and the receivers R1 to R4.
4 are configured respectively. In addition, receivers R1 to R
The characteristic signal received in 4 will be used for signal analysis in the network analyzer main body (not shown).

【0024】さらに、スイッチS1〜S4とパワースプ
リッタPSの出力端子A,Bとの間には、絶縁器の一例
としてのサーキュレータC1,C2が接続されており、
該サーキュレータC1,C2の第3端子には、無反射終
端器が接続されている。
Further, circulators C1 and C2 as an example of an insulator are connected between the switches S1 to S4 and the output terminals A and B of the power splitter PS,
A non-reflective terminator is connected to the third terminals of the circulators C1 and C2.

【0025】そして、パワースプリッタPSの出力端子
Bと出力ポート3,4とを接続する状態と、切断して開
放する状態とに切り換えるための切り換え手段10が設
けられている。また、スイッチS1,S2の固定接点端
子とスイッチS3,S4の固定接点端子とを接続する状
態と、切断して開放する状態とに切り換えるための切り
換え手段11が設けられている。これら切り換え手段1
0,11は、例えば、ジャンパ線をその断接箇所に対し
て抜き差しして断線状態と接続状態との切り換えを行え
るようにしても良いとともに、上記スイッチS1〜S4
のようにスイッチングを行える手段を設けても良い。こ
れら切り換え手段10,11を、図ではスイッチ記号で
示している。
A switching means 10 is provided for switching between a state in which the output terminal B of the power splitter PS and the output ports 3 and 4 are connected and a state in which the output terminal B is disconnected and opened. Further, switching means 11 is provided for switching between a state where the fixed contact terminals of the switches S1 and S2 and the fixed contact terminals of the switches S3 and S4 are connected and a state where they are cut and opened. These switching means 1
For 0 and 11, for example, a jumper wire may be inserted / removed into / from the connection / disconnection portion so as to switch between a disconnection state and a connection state, and the switches S1 to S4.
Means for performing switching may be provided. These switching means 10 and 11 are indicated by switch symbols in the figure.

【0026】以上の構成の4ポートネットワークアナラ
イザによる測定方法について、2つのポートを備える測
定対象の特性測定を行う場合と、4つのポートを備える
測定対象の特性測定を行う場合とにわけてそれぞれ以下
に説明する。
Regarding the measurement method using the 4-port network analyzer having the above-mentioned configuration, the characteristics of a measurement target having two ports are measured and the characteristics of a measurement target having four ports are measured respectively. Explained.

【0027】まず、図1を参照して、2つのポートを備
える測定対象の特性測定を行う場合について説明する。
First, with reference to FIG. 1, description will be given of a case where the characteristic measurement of a measuring object having two ports is performed.

【0028】前記切り換え手段10を開放状態にしてお
き、切り換え手段11を接続状態にしておく。そして、
予めフル2ポート補正等の通常の校正をした状態にし
て、2つのポートを備える一つの測定対象X1の各ポー
トを対応する出力ポート1,2に接続し、同一品種の測
定対象X2の各ポートを対応する出力ポート3,4に接
続する。なお、この場合、予め、出力ポート1と信号源
O側とが接続され、出力ポート2と終端器T2とが接続
されるよう、スイッチS1,S2が設定され、出力ポー
ト3と信号源O側とが接続され、出力ポート4と終端器
T4とが接続されるよう、スイッチS3,S4が設定さ
れている。
The switching means 10 is left open and the switching means 11 is connected. And
After performing normal calibration such as full 2-port correction in advance, connect each port of one measurement target X1 equipped with two ports to the corresponding output ports 1 and 2, and connect each port of the measurement target X2 of the same type. Are connected to the corresponding output ports 3 and 4. In this case, the switches S1 and S2 are set in advance so that the output port 1 and the signal source O side are connected and the output port 2 and the terminator T2 are connected, and the output port 3 and the signal source O side are connected. The switches S3 and S4 are set so that and are connected, and the output port 4 and the terminator T4 are connected.

【0029】そして、信号源Oからの信号がパワースプ
リッタPSを介してその出力端子A,Bからそれぞれ出
力されるように分配される。このとき、出力端子Aから
の信号が出力ポート1に供給され、その信号の供給によ
って測定対象X1で反射した反射信号は出力ポート1お
よび方向性結合器H1を通してレシーバR1に受信され
る。一方、供給された信号によって測定対象X1を透過
して出力ポート2を通して得られる透過信号は方向性結
合器H2を通してレシーバR2に受信される。また、出
力ポート3,4にそれぞれ各ポートを接続した測定対象
X2についても、同様である。すなわち、出力端子Bか
らの信号が出力ポート3に供給され、その供給された信
号が測定対象X2で反射した反射信号は出力ポート3お
よび方向性結合器H3を通してレシーバR3に受信され
る。一方、供給された信号によって測定対象X2を透過
して出力ポート4を通して得られる透過信号は方向性結
合器H4を通してレシーバR4に受信される。
Then, the signal from the signal source O is distributed so as to be output from the output terminals A and B via the power splitter PS, respectively. At this time, the signal from the output terminal A is supplied to the output port 1, and the reflected signal reflected by the measurement target X1 by the supply of the signal is received by the receiver R1 through the output port 1 and the directional coupler H1. On the other hand, the transmission signal transmitted through the measurement target X1 by the supplied signal and obtained through the output port 2 is received by the receiver R2 through the directional coupler H2. The same applies to the measurement target X2 in which the output ports 3 and 4 are connected to the respective ports. That is, the signal from the output terminal B is supplied to the output port 3, and the reflected signal obtained by reflecting the supplied signal on the measurement target X2 is received by the receiver R3 through the output port 3 and the directional coupler H3. On the other hand, the transmission signal transmitted through the measurement target X2 by the supplied signal and obtained through the output port 4 is received by the receiver R4 through the directional coupler H4.

【0030】次に、スイッチS1において、出力ポート
1と出力端子Aとの接続状態を、出力ポート1と終端器
T1との接続状態に切り換え、スイッチS2において、
出力ポート2と終端器T2との接続状態を、出力ポート
2と出力端子Aとの接続状態に切り換え、スイッチS3
において、出力ポート3と出力端子Bとの接続状態を、
出力ポート3と終端器T3との接続状態に切り換え、ス
イッチS4において、出力ポート4と終端器T4との接
続状態を、出力ポート4と出力端子Bとの接続状態に切
り換える。そして、この状態で、信号源Oからの信号
は、パワースプリッタPSを介してその出力端子A,B
より出力ポート2,4へそれぞれ供給される。出力端子
Aからの信号の供給によって測定対象で反射した反射信
号は出力ポート2および方向性結合器H2を通してレシ
ーバR2に受信される。一方、供給された信号によって
測定対象を透過して出力ポート1を通して得られる透過
信号は方向性結合器H1を通してレシーバR1に受信さ
れる。また、出力ポート3,4に各ポートを接続した測
定対象についても、同様である。すなわち、出力端子B
からの信号の供給によって測定対象で反射した反射信号
は出力ポート4および方向性結合器H4を通してレシー
バR4に受信される。一方、供給された信号によって測
定対象を透過して出力ポート3を通して得られる透過信
号は方向性結合器H3を通してレシーバR3に受信され
る。
Next, in the switch S1, the connection state between the output port 1 and the output terminal A is switched to the connection state between the output port 1 and the terminator T1, and in the switch S2,
The connection state between the output port 2 and the terminator T2 is switched to the connection state between the output port 2 and the output terminal A, and the switch S3
At, in the connection state between the output port 3 and the output terminal B,
The connection state between the output port 3 and the terminator T3 is switched, and the switch S4 switches the connection state between the output port 4 and the terminator T4 to the connection state between the output port 4 and the output terminal B. Then, in this state, the signal from the signal source O is output through the power splitter PS to its output terminals A and B.
Are supplied to the output ports 2 and 4, respectively. The reflected signal reflected by the measurement target due to the supply of the signal from the output terminal A is received by the receiver R2 through the output port 2 and the directional coupler H2. On the other hand, the transmission signal transmitted through the measurement target by the supplied signal and obtained through the output port 1 is received by the receiver R1 through the directional coupler H1. The same applies to a measurement target in which each port is connected to the output ports 3 and 4. That is, the output terminal B
The reflected signal reflected by the measurement target due to the supply of the signal from the receiver is received by the receiver R4 through the output port 4 and the directional coupler H4. On the other hand, the transmission signal transmitted through the measurement target by the supplied signal and obtained through the output port 3 is received by the receiver R3 through the directional coupler H3.

【0031】以上の2回の測定によりこれら測定対象の
測定工程は完了し、その受信結果に基づいてネットワー
クアナライザにおいては、それぞれの測定対象の例えば
振幅特性や位相特性などが測定される。
The measurement process of these measurement objects is completed by the above-mentioned two measurements, and based on the reception result, the network analyzer measures, for example, the amplitude characteristic and the phase characteristic of each measurement object.

【0032】なお、出力ポート1,2を一組とし、出力
ポート3,4を別の組とするといった組み合わせは任意
であり、例えば、出力ポート1,3を一組とし、出力ポ
ート2,4を別の組とするように組み合わせて測定して
も良い。
The combination of the output ports 1 and 2 as one set and the output ports 3 and 4 as another set is arbitrary. For example, the output ports 1 and 3 as one set and the output ports 2 and 4 as a set. May be combined and measured as a different set.

【0033】上記構成により、4ポートのマルチポート
ネットワークアナライザで2ポートのデバイスを測定す
る際に、同時に2つの2ポートデバイスを測定すること
ができるため、一度に1つのデバイスを測定するだけの
場合と比較して処理能力が倍増するように向上する。
With the above configuration, when measuring a 2-port device with a 4-port multi-port network analyzer, two 2-port devices can be measured at the same time, so that only one device can be measured at a time. Compared with, the processing capacity is improved to be doubled.

【0034】なお、この場合、パワースプリッタPSか
ら出力された信号は、サーキュレータC1,C2とこれ
に接続された終端器とにより測定対象側へ伝えられる
が、測定対象からの反射波はパワースプリッタPS側へ
伝えることなく終端器によって熱にエネルギー変換して
しまうので、たとえ同時に測定している測定対象の一方
が短絡しているような場合でも、他方の試料はその影響
無く測定できる。
In this case, the signal output from the power splitter PS is transmitted to the measurement target side by the circulators C1 and C2 and the terminator connected thereto, but the reflected wave from the measurement target is the power splitter PS. Since energy is converted to heat by the terminator without being transmitted to the side, even if one of the measurement targets being measured at the same time is short-circuited, the other sample can be measured without its influence.

【0035】次に、図2を参照して、上記4ポートネッ
トワークアナライザによって4ポートデバイスの特性測
定を行う工程について説明する。
Next, with reference to FIG. 2, a process of measuring the characteristics of a 4-port device by the 4-port network analyzer will be described.

【0036】切り換え手段10を開放状態から接続状態
に切り換え、切り換え手段11を接続状態から開放状態
に切り換える。また、各スイッチS1〜S4のうち、ま
ずスイッチS1において、出力ポート1と信号入力側固
定端子とが接続されるように設定し、スイッチS2,S
3,S4において、出力ポート2,3,4がそれぞれ終
端器T2,T3,T4に接続されるように設定してお
く。そして、出力ポート1,2,3,4には、4ポート
を備える測定対象X3の対応するポートをそれぞれ接続
しておく。
The switching means 10 is switched from the open state to the connected state, and the switching means 11 is switched from the connected state to the open state. Of the switches S1 to S4, first, in the switch S1, setting is made so that the output port 1 and the signal input side fixed terminal are connected, and the switches S2 and S4 are connected.
In S3 and S4, the output ports 2, 3 and 4 are set to be connected to the terminators T2, T3 and T4, respectively. Then, the output ports 1, 2, 3, and 4 are respectively connected to the corresponding ports of the measurement target X3 having four ports.

【0037】この状態で、信号源Oから信号を出力する
と、その信号は、パワースプリッタPSで分配されるこ
となく出力端子Aから各スイッチS1〜S4へ出力さ
れ、スイッチS1を介して出力ポート1にのみ供給され
る。出力端子Aからの信号の供給によって測定対象X3
で反射した反射信号は出力ポート1および方向性結合器
H1を通してレシーバR1に受信される。一方、供給さ
れた信号によって測定対象X3を透過して出力ポート
2,3,4を通して得られる透過信号は方向性結合器H
2,H3,H4をそれぞれ通してレシーバR2,R3,
R4にそれぞれ受信される。
When a signal is output from the signal source O in this state, the signal is output from the output terminal A to each of the switches S1 to S4 without being distributed by the power splitter PS, and the output port 1 via the switch S1. Will be supplied only to. Measurement target X3 by the signal supplied from output terminal A
The reflected signal reflected by is received by the receiver R1 through the output port 1 and the directional coupler H1. On the other hand, the transmitted signal transmitted through the measurement object X3 by the supplied signal and obtained through the output ports 2, 3 and 4 is a directional coupler H.
2, H3, H4 through receivers R2, R3 respectively
Each is received by R4.

【0038】以下、スイッチS1〜S4の切り換えを行
って、出力端子Aからの信号が出力ポート2,3,4を
それぞれ通して得られる各反射信号や透過信号をそれぞ
れのレシーバR1〜R4で受信して測定する。
Thereafter, the switches S1 to S4 are switched so that the reflected signals and the transmitted signals obtained from the signal from the output terminal A through the output ports 2, 3 and 4 are received by the respective receivers R1 to R4. And measure.

【0039】これにより、4ポートデバイスの各ポート
へそれぞれ信号を入力したときの特性測定用のデータを
得る工程が完了し、その得られたデータに基づいてネッ
トワークアナライザにおいて特性の解析を行う。
This completes the process of obtaining data for characteristic measurement when signals are input to the respective ports of the 4-port device, and the characteristic is analyzed in the network analyzer based on the obtained data.

【0040】したがって、このマルチポートネットワー
クアナライザにおいては、4ポートデバイスの特性測定
を行うことも可能であるとともに、2ポートデバイスの
特性測定を行うことも可能であり、2ポートデバイスの
特性測定においては同時に2個の測定対象を測定できる
ことになる。
Therefore, in this multi-port network analyzer, it is possible to measure the characteristics of a 4-port device, and it is also possible to measure the characteristics of a 2-port device. Two measurement targets can be measured at the same time.

【0041】以下に、別の実施の形態を列記する。Other embodiments will be listed below.

【0042】(1)図3に示すように、6データサンプ
ラを備える6ポートマルチポートネットワークアナライ
ザの単一の信号源Oに信号を3つに分配するパワースプ
リッタPSを接続し、パワースプリッタPSの出力それ
ぞれにサーキュレータC1〜C3、スイッチS1〜S
6、終端器(アッテネータ)T1〜T6を接続して2ポ
ートの試料3つを同時に測定する。
(1) As shown in FIG. 3, a power splitter PS for dividing a signal into three signals is connected to a single signal source O of a 6-port multiport network analyzer equipped with a 6-data sampler. Circulators C1 to C3 and switches S1 to S for each output
6. Terminators (attenuators) T1 to T6 are connected to measure 3 samples of 2 ports at the same time.

【0043】このようにすることにより、6ポートのマ
ルチポートネットワークアナライザで2ポートのデバイ
スを測定する際に、同時に3つのデバイスを測定するこ
とができるため、単一のデバイスのみ測定する場合と比
較して、処理能力が3倍に向上する。したがって、パワ
ースプリッタPSの各供給ポートとしての出力端子A,
B,Cからのそれぞれの信号で2回のサンプリングを行
って測定が完了する。すなわち、6ポートであっても6
回のサンプリングが必要となるわけではない。
By doing this, when measuring a 2-port device with a 6-port multi-port network analyzer, it is possible to measure 3 devices at the same time. As a result, the processing capacity is tripled. Therefore, the output terminals A as the supply ports of the power splitter PS,
Measurement is completed by performing sampling twice for each signal from B and C. That is, even with 6 ports, 6
It does not require sampling twice.

【0044】(2)図示しないが、6データサンプラを
備える6ポートマルチポートネットワークアナライザの
単一の信号源Oに2分割のパワースプリッタPSを接続
し、パワースプリッタPSの出力それぞれに二つのサー
キュレータC1,C2、6つのスイッチS1〜S6、6
つの終端器T1〜T6を接続して不平衡3ポートの試料
を同時に測定する。
(2) Although not shown, a power splitter PS of two divisions is connected to a single signal source O of a 6-port multiport network analyzer equipped with a 6-data sampler, and two circulators C1 are provided at each output of the power splitter PS. , C2, six switches S1 to S6, 6
The two terminators T1 to T6 are connected to simultaneously measure an unbalanced 3-port sample.

【0045】このようにすることにより、6ポートのマ
ルチポートネットワークアナライザで3ポートのデバイ
スを測定する際に、同時に2つのデバイスを測定するこ
とができるため、単一のデバイスのみ測定する場合と比
較して、処理能力が2倍に向上する。したがって、各デ
バイスの3つのポートのそれぞれに信号を供給する3回
のサンプリングで測定が完了する。すなわち、6ポート
であっても6回のサンプリングが必要となるわけではな
い。
By doing this, when measuring a 3-port device with a 6-port multi-port network analyzer, it is possible to measure two devices at the same time. As a result, the processing capacity is doubled. Therefore, the measurement is completed with three samplings supplying signals to each of the three ports of each device. That is, even with 6 ports, 6 samplings are not required.

【0046】(3)6ポートよりも多くの出力ポートを
有するマルチポートネットワークアナライザについて
も、例えば9ポートのマルチポートネットワークアナラ
イザであれば、3ポートのデバイスを3つ同時に測定す
ることが可能である。あるいは、2ポートのデバイスを
4つ同時に測定することが可能である。この場合、出力
ポートが1つ余ることになる。さらに、4ポートのデバ
イスを2つ同時に測定することが可能である。
(3) For a multi-port network analyzer having more than 6 output ports, for example, a 9-port multi-port network analyzer can measure three 3-port devices at the same time. . Alternatively, it is possible to measure four 2-port devices simultaneously. In this case, one output port is left. Furthermore, it is possible to measure two 4-port devices simultaneously.

【0047】このようにすることにより、単一のデバイ
スのみ測定する場合と比較して、処理能力が2倍、3
倍、4倍と向上することになる。
By doing so, the processing capacity is doubled and tripled as compared with the case where only a single device is measured.
It will be doubled and quadrupled.

【0048】(4)6ポート以上の出力ポートを備える
マルチポートネットワークアナライザを用いた場合にお
いて、不平衡3ポートデバイスの代わりに、不平衡1ポ
ート+平衡1ポートのデバイスを測定する。平衡1ポー
トは不平衡2ポートに相当するので、不平衡4ポートデ
バイスの代わりに平衡2ポートデバイスを測定する。こ
の場合、測定結果の解析は、数学的バラン法を利用す
る。
(4) When a multiport network analyzer having 6 or more output ports is used, an unbalanced 1 port + balanced 1 port device is measured instead of the unbalanced 3 port device. Since a balanced 1-port corresponds to an unbalanced 2-port, a balanced 2-port device is measured instead of an unbalanced 4-port device. In this case, the analysis of the measurement results uses the mathematical balun method.

【0049】このようにすることにより、マルチポート
ネットワークアナライザを少数ポートの測定対象を複数
個同時に測定できるネットワークアナライザとして用い
ることができる利点を有しつつ、数学的バラン法を用い
ることで、平衡デバイスの測定を実現できる。
By doing so, the multi-port network analyzer has the advantage that it can be used as a network analyzer capable of simultaneously measuring a plurality of objects having a small number of ports, while using the mathematical balun method, a balanced device can be obtained. Can be realized.

【0050】(5)図4に示すように、上記実施の形態
で示した4つの出力ポートを備えるマルチポートネット
ワークアナライザ(図4では図示していない)におい
て、2つの同一品種の測定対象DUT1,DUT2を同
時に測定できる状態にして、一つの平衡4ポートの測定
対象DUT1の両端の二つのポートそれぞれと、出力ポ
ート1,2とを、180°ハイブリッド20を介して接
続し、もう一つの平衡4ポートの測定対象DUT2の両
端の二つのポートそれぞれと、出力ポート3,4とを、
180°ハイブリッド21を介して接続することによ
り、2つの平衡4ポートの測定対象DUT1,DUT2
をそれぞれ不平衡ポートとして転換して同時に一台のマ
ルチポートネットワークアナライザでその特性測定を行
うようにしても良い。
(5) As shown in FIG. 4, in the multi-port network analyzer (not shown in FIG. 4) having the four output ports shown in the above-mentioned embodiment, two measurement target DUT1s of the same type are used. The DUT2 is made to be able to be measured at the same time, and the two ports at both ends of the DUT1 to be measured of one balanced 4 port and the output ports 1 and 2 are connected via the 180 ° hybrid 20 to obtain another balanced 4 port. The two ports at both ends of the DUT 2 to be measured and the output ports 3 and 4,
By connecting via 180 ° hybrid 21, two balanced 4-port measurement targets DUT1, DUT2
May be converted as unbalanced ports and the characteristics thereof may be simultaneously measured by one multiport network analyzer.

【0051】この場合、信号の供給は2方向のみ変える
だけでよく、2回のサンプリングで済むことになり、1
80°ハイブリッド20,21を介装しないで測定する
場合に比較しても、測定回数が少なくなること、及び同
時に2個の測定対象DUT1,DUT2を測定できるこ
とから、効率が4倍に向上する。
In this case, it is only necessary to change the signal supply in two directions, and it is sufficient to perform sampling twice.
Even when compared with the case where the 80 ° hybrids 20 and 21 are not interposed, the number of times of measurement is reduced, and since two measurement targets DUT1 and DUT2 can be measured at the same time, the efficiency is improved four times.

【0052】(6)上記各実施の形態では、サーキュレ
ータを絶縁器として備えるものを示したが、サーキュレ
ータに代えて減衰器(アッテネータ)やアイソレータを
用いても良い。
(6) In each of the above embodiments, the circulator is provided as an insulator, but an attenuator or an isolator may be used instead of the circulator.

【0053】なお、パワースプリッタが一方の出力に接
続される測定対象の試料によって他方の出力に表れる信
号が影響を受けないような特性を有している場合、サー
キュレータは不要であり、コストを低減できる。減衰器
をサーキュレータの代わりに用いると試料に与える信号
が減衰するなどの不都合もあるが、一般にサーキュレー
タよりも安価でコストを低減できるとともに、サーキュ
レータよりも広帯域に対応することが容易である。アイ
ソレータは、サーキュレータを用いる場合とほとんど同
じであるが、試料の反射波を再び試料側に反射する点の
みが異なる。
If the power splitter has a characteristic that the signal to be measured at the other output is not affected by the sample to be measured connected to the one output, the circulator is not necessary and the cost is reduced. it can. When an attenuator is used instead of the circulator, there are disadvantages such as that the signal given to the sample is attenuated. However, it is generally cheaper than the circulator and can reduce the cost, and it is easy to support a wider band than the circulator. The isolator is almost the same as the one using the circulator, except that the reflected wave of the sample is reflected to the sample side again.

【0054】(7)図5,図6に、本発明の測定方法を
用いた電子部品の特性を測定してその良否を判定して選
別する部品選別装置の一例を示している。
(7) FIG. 5 and FIG. 6 show an example of a component selection apparatus for measuring characteristics of electronic components by using the measuring method of the present invention, determining whether the components are good or not, and selecting the components.

【0055】この部品選別装置は、選別対象のデバイス
30(この場合チップ部品)を個別に収納保持した状態
で載せて回転できるターンテーブル31と、該ターンテ
ーブル31上のデバイス30の端子に対して測定用プロ
ーブ32を接触させて特性測定を行うマルチポートネッ
トワークアナライザ33と、該マルチポートネットワー
クアナライザ33で特性測定された後のデバイス30を
該測定結果に基づいて良品と不良品とで選別する選別機
構34とを備えて構成している。
In this component sorting apparatus, a device 30 to be sorted (in this case, a chip component) is placed on a turntable 31 which can be placed and rotated individually, and a terminal of the device 30 on the turntable 31. A multi-port network analyzer 33 that performs characteristic measurement by contacting the measurement probe 32, and a selection that sorts the device 30 whose characteristic has been measured by the multi-port network analyzer 33 into a good product and a defective product based on the measurement result. And the mechanism 34.

【0056】ターンテーブル31は、1個のデバイス3
0のみを一時的に収納する大きさの切欠き部35を外周
縁部に周方向に一定間隔おきに形成して備える円盤状の
回転テーブル部31aと、この回転テーブル部31aの
下側に位置して切欠き部35に収納されたデバイス30
が下方に落ちないように載せておくための固定テーブル
31bと、デバイス30が切欠き部35から飛び出した
りしないように全切欠き部35上方を覆うカバー31c
と、回転テーブル部31aを1ピッチ分、もしくは所定
複数ピッチ分微小角度回転作動させた後一時停止する動
作を繰り返すように作動させる電動モータなどの駆動手
段(図示せず)やその作動を制御する制御装置38を設
けて構成している。
The turntable 31 includes one device 3
A disk-shaped rotary table portion 31a provided with cutout portions 35 of a size for temporarily storing only 0 at the outer peripheral edge portion at regular intervals in the circumferential direction, and a position below the rotary table portion 31a. And the device 30 stored in the notch 35
And a fixed table 31b for placing the device 30 so that the device 30 does not fall downward, and a cover 31c for covering the entire upper part of the cutout 35 so that the device 30 does not jump out of the cutout 35.
And a driving means (not shown) such as an electric motor for activating the rotary table portion 31a for one pitch or for rotating a small number of predetermined pitches and then temporarily stopping the operation, and its operation are controlled. A control device 38 is provided and configured.

【0057】回転テーブル部31aの所定回転位相の部
品受け入れ位置において、切欠き部35に対して横側の
開口箇所からデバイス30が1個のみフィーダFから供
給されて収納されるようにしている。
Only one device 30 is supplied from the feeder F from the opening on the side of the cutout portion 35 at the component receiving position of the rotary table portion 31a in a predetermined rotation phase and accommodated therein.

【0058】ターンテーブル31において部品受け入れ
位置よりも回転方向での下手側には、デバイス30の特
性測定を行う2つの測定ステーション36,37を配置
している。各測定ステーション36,37には、2本の
測定用プローブ32が、固定テーブル31bに穿設され
た上下貫通孔を通して切欠き部35内に上下に出退自在
に設けられている。各測定用プローブ32は、制御装置
38で制御されて回転テーブル部31aの回転作動時は
下方に退避し、回転テーブル部31aが停止していると
き、上方に突出してデバイス30の対応するポートに接
触するように制御されている。そして、各測定用プロー
ブ32は、マルチポートネットワークアナライザ33の
対応する出力ポート1〜4にそれぞれ接続されている。
Two measurement stations 36 and 37 for measuring the characteristics of the device 30 are arranged on the turntable 31 on the lower side in the rotational direction than the component receiving position. Two measuring probes 32 are provided in each of the measuring stations 36 and 37 so as to be vertically movable into and out of the cutout portion 35 through the vertical through holes formed in the fixed table 31b. Each of the measurement probes 32 is controlled by the control device 38 and retracts downward when the rotary table portion 31a is rotating, and protrudes upward when the rotary table portion 31a is stopped to the corresponding port of the device 30. Controlled to touch. Each measurement probe 32 is connected to the corresponding output port 1 to 4 of the multiport network analyzer 33.

【0059】ターンテーブル31において測定ステーシ
ョン36,37位置よりも回転方向での下手側には、マ
ルチポートネットワークアナライザ33による測定結果
に基づいて良品と不良品とでデバイス30を選別する選
別機構34を配置している。
On the turntable 31 on the lower side in the direction of rotation than the positions of the measurement stations 36 and 37, a sorting mechanism 34 for sorting the devices 30 between good and defective based on the measurement result by the multiport network analyzer 33. It is arranged.

【0060】制御装置38は、ターンテーブル31を2
ピッチ回転させるごとに、測定ステーション36,37
に位置するそれぞれのデバイス30に対して前述の実施
の形態で説明した特性測定を同時に行うように、マルチ
ポートネットワークアナライザ33を含めて、制御す
る。そして、制御装置38は、マルチポートネットワー
クアナライザ33の測定結果に基づいてデバイス30の
良品と不良品とを選別機構34で選別する。この場合、
2個のデバイス30の特性測定を同時に行うから、その
測定の効率が高く、その結果自動的な良不良の選別も効
率的に行える。
The control device 38 controls the turntable 31 to move to two.
Measuring stations 36 and 37 each time the pitch is rotated
The multi-port network analyzer 33 is included in the control so that the characteristics measurement described in the above-described embodiment is simultaneously performed on the respective devices 30 located at. Then, the control device 38 selects the good product and the defective product of the device 30 by the selection mechanism 34 based on the measurement result of the multiport network analyzer 33. in this case,
Since the characteristics of the two devices 30 are measured at the same time, the efficiency of the measurement is high, and as a result, automatic good / defective selection can be efficiently performed.

【0061】この部品選別装置を利用して、4ポートの
デバイスについて特性測定を行って例えば良不良の選別
を行う場合には、測定ステーション36の測定用プロー
ブ32を4本測定に供されるようにそのユニットを交換
するか、予め4本の測定用プローブ32を備えたものの
うち2本のみ作動させていたのを4本作動させるように
して、一つの測定ステーション36でデバイスの4ポー
トとマルチポートネットワークアナライザ33の出力ポ
ートとがそれぞれ接続されるように切り換え、ネットワ
ークアナライザ33側も4ポートのデバイスの特性測定
を行えるように切り換える。この測定は、ターンテーブ
ル31の送りピッチが1ピッチごとに行われることにな
る。したがって、この場合、制御装置38は、ターンテ
ーブル31の送りピッチを2ピッチから1ピッチに切り
換える。
When the characteristics of a 4-port device is measured by using this component sorting apparatus, for example, sorting of good and bad, it is necessary to use four measuring probes 32 of the measuring station 36. Either replace the unit with a new one, or activate four of the four probes with four measuring probes 32 that were previously activated. The output ports of the port network analyzer 33 are switched so that they are connected to each other, and the network analyzer 33 side is also switched so as to be able to measure the characteristics of the 4-port device. This measurement is performed at every feed pitch of the turntable 31. Therefore, in this case, the control device 38 switches the feed pitch of the turntable 31 from 2 pitches to 1 pitch.

【0062】この部品選別装置では、同時に同一仕様の
複数個のデバイスを1台のマルチポートネットワークア
ナライザで測定できるので、安価で測定能力の高い部品
選別装置となることはもちろんであるが、ポート数の多
いデバイスに対しては同時に1つのデバイスを測定する
ように測定ステーションを変更するだけで対応できると
いう、多品種少量生産に向いた設備とすることができ
る。つまり、商品ごとに新たな設備を用意する必要が無
いので設備投資を抑制できる。
In this parts sorter, since a plurality of devices having the same specifications can be simultaneously measured by one multi-port network analyzer, it goes without saying that the parts sorter is inexpensive and has a high measurement capability. A device suitable for low-volume production of a wide variety of products can be provided by simply changing the measurement station so that one device can be measured at the same time for a large number of devices. In other words, there is no need to prepare new equipment for each product, so equipment investment can be suppressed.

【0063】なお、本発明は、SAWフィルタや、セラ
ミックコンデンサなどの素子のみならず、各種回路網の
特性測定を行うために利用することができる。
The present invention can be used to measure characteristics of various circuit networks as well as elements such as SAW filters and ceramic capacitors.

【0064】[0064]

【発明の効果】本発明によれば、単一の信号源からの信
号を信号分配手段で分配した信号を、1個または複数個
の測定対象の各ポートをそれぞれ出力ポートに接続した
状態でその測定対象に供給して、その結果得られる特性
を測定することにより、従来少数ポートの測定対象を一
度に1個しか測定できなかったのに比較して、同時に測
定できる個数を増すことができる分測定効率が向上する
ことになる。また、信号分配手段を介して測定対象ごと
に特性測定用の信号が供給させることができるので、互
いの特性信号同士が影響しにくいものとなっているか
ら、それぞれの測定対象ごとの特性測定が精度良く行え
る。
According to the present invention, a signal obtained by distributing a signal from a single signal source by the signal distribution means is output in the state where one or a plurality of ports to be measured are connected to the output ports, respectively. By supplying the measurement target and measuring the characteristics obtained as a result, it is possible to increase the number that can be measured at the same time compared to the conventional case where only one measurement target with a small number of ports can be measured at a time. The measurement efficiency will be improved. In addition, since a signal for characteristic measurement can be supplied to each measurement object via the signal distribution unit, mutual characteristic signals are less likely to affect each other, so that the characteristic measurement for each measurement object can be performed. It can be done accurately.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 2個の2ポートデバイスの測定を行っている
4ポートネットワークアナライザの要部を示す回路図
FIG. 1 is a circuit diagram showing a main part of a 4-port network analyzer that measures two 2-port devices.

【図2】 1個の4ポートデバイスの測定を行っている
4ポートネットワークアナライザの要部を示す回路図
FIG. 2 is a circuit diagram showing a main part of a 4-port network analyzer that measures one 4-port device.

【図3】 3個の2ポートデバイスの測定を行っている
6ポートネットワークアナライザの要部を示す回路図
FIG. 3 is a circuit diagram showing a main part of a 6-port network analyzer that measures three 2-port devices.

【図4】 平衡ポートを有する2つのデバイスを4ポー
トネットワークアナライザの出力ポートに180°ハイ
ブリッドを介して接続した状態を示す回路図
FIG. 4 is a circuit diagram showing a state in which two devices having balanced ports are connected to an output port of a 4-port network analyzer via a 180 ° hybrid.

【図5】 部品選別装置の概略を示す一部破断平面図FIG. 5 is a partially cutaway plan view showing an outline of a parts selection device.

【図6】 図5における測定ステーションの縦断面およ
びマルチネットワークアナライザなどを示す説明図
FIG. 6 is an explanatory view showing a vertical cross section of the measurement station in FIG. 5 and a multi-network analyzer.

【図7】 従来の4ポートネットワークアナライザの要
部を示す回路図
FIG. 7 is a circuit diagram showing a main part of a conventional 4-port network analyzer.

【図8】 従来の2ポートネットワークアナライザの要
部を示す回路図
FIG. 8 is a circuit diagram showing a main part of a conventional 2-port network analyzer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1〜4 出力ポート 10,11 切り換え手段 20,21 180°ハイブリッド A,B 出力端子(供給ポート) C1,C2 サーキュレータ(絶縁器) D1〜D4 受信手段 O 信号源 PS パワースプリッタ(信号分配手段) S1〜S4 信号経路切り換え手段 X1,X2 測定対象 1-4 output ports 10, 11 Switching means 20,21 180 ° hybrid A, B output terminal (supply port) C1, C2 circulator (insulator) D1-D4 receiving means O signal source PS power splitter (signal distribution means) S1-S4 signal path switching means X1, X2 measurement target

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 単一の信号源と、 該信号源からの信号を複数に分配して供給する信号分配
手段と、 測定対象における複数のポートを各別に接続可能な出力
ポートと、 前記信号分配手段で分配された信号を入力し、かつその
入力された信号を前記出力ポートのうち対応する一つに
対して選択して供給する状態と、該出力ポートを介して
前記測定対象から得られる特性信号を終端器に伝送する
状態とに切り換え可能な信号経路切り換え手段と、 前記信号経路切り換え手段と前記出力ポートとの間に介
装され、前記測定対象から得られる特性信号を受信する
受信手段とを備えることを特徴とするネットワークアナ
ライザ。
1. A single signal source, a signal distribution unit that distributes and supplies a signal from the signal source to a plurality of units, an output port to which a plurality of ports of a measurement target can be separately connected, and the signal distribution unit. State in which the signal distributed by the means is input, and the input signal is selectively supplied to the corresponding one of the output ports, and characteristics obtained from the measurement target through the output port Signal path switching means capable of switching to a state of transmitting a signal to a terminator, and receiving means interposed between the signal path switching means and the output port for receiving a characteristic signal obtained from the measurement target. A network analyzer comprising:
【請求項2】 請求項1に記載のネットワークアナライ
ザにおいて、 前記信号分配手段で分配された各信号を、前記出力ポー
トに接続される複数個の測定対象に対応して組となった
複数の出力ポートにおいて選択された一つに対して対応
する前記信号経路切り換え手段を介してそれぞれ供給す
る状態と、前記信号源からの信号を前記信号分配手段で
分配することなく、前記各信号経路切り換え手段に供給
する状態とに切り換え自在な切り換え手段を設けている
ことを特徴とするネットワークアナライザ。
2. The network analyzer according to claim 1, wherein each of the signals distributed by the signal distribution means is grouped into a plurality of outputs corresponding to a plurality of measurement targets connected to the output port. A state in which the signal selected from the ports is supplied via the corresponding signal path switching means, and a signal from the signal source is distributed to the signal path switching means without being distributed by the signal distribution means. A network analyzer characterized by being provided with a switching means capable of switching between a supply state and a supply state.
【請求項3】 請求項1または2に記載のネットワーク
アナライザにおいて、 前記信号分配手段と、前記信号経路切り換え手段との間
に該信号経路切り換え手段側から前記信号分配手段への
反射信号の伝達を抑制する絶縁器を介装していることを
特徴とするネットワークアナライザ。
3. The network analyzer according to claim 1, wherein the reflected signal is transmitted from the signal path switching means side to the signal distribution means between the signal distribution means and the signal path switching means. A network analyzer having a suppressor interposed.
【請求項4】 請求項1から3のいずれかに記載のネッ
トワークアナライザにおいて、 前記出力ポートに接続される測定対象は平衡ポートを有
するデバイスであり、該デバイスの対応するポートと、
前記出力ポートとの間に平衡ポートを不平衡ポートとし
て転換する手段を介装していることを特徴とするネット
ワークアナライザ。
4. The network analyzer according to claim 1, wherein the measurement target connected to the output port is a device having a balanced port, and the corresponding port of the device,
A network analyzer, wherein a means for converting a balanced port as an unbalanced port is provided between the output port and the output port.
【請求項5】 請求項1から4のいずれかに記載のネッ
トワークアナライザを備える部品選別装置であって、 前記出力ポートに接続され、かつ測定対象のポートに接
触可能なプローブを備える測定ステーションを複数設け
るとともに、 各測定ステーションに搬送された測定対象を同時に測定
する状態と、特定の測定ステーションにおける測定対象
のみを測定する状態とに切り換え可能に構成し、 該測定結果に基づいて測定対象となる部品を選別する選
別手段を備えていることを特徴とする部品選別装置。
5. A component selection apparatus including the network analyzer according to claim 1, wherein a plurality of measurement stations each including a probe connected to the output port and capable of contacting a port to be measured. In addition to being installed, it is possible to switch between a state in which the measurement target conveyed to each measurement station is measured at the same time and a state in which only the measurement target at a specific measurement station is measured, and the component to be the measurement target based on the measurement result. A parts selection device comprising a selection means for selecting.
【請求項6】 単一の信号源からの信号を複数に分配し
て供給する信号分配手段の各供給ポートと、測定対象に
おける複数のポートを各別に接続可能な出力ポートとの
間に、前記測定対象の複数のポートのうち一つを選択す
るとともにその選択されたポートに対して前記供給ポー
トからの信号を供給する信号経路切り換え手段と、該供
給された信号により前記測定対象から得られる特性信号
を受信する受信手段とを介装した状態で、複数個の前記
測定対象の各ポートを対応する前記出力ポートに接続す
ることにより、複数個の前記測定対象の特性を同時に測
定することを特徴とするネットワークアナライザによる
測定方法。
6. A signal distribution means for distributing and supplying a signal from a single signal source to a plurality of supply ports, and an output port to which a plurality of ports of a measurement target can be separately connected. Signal path switching means for selecting one of a plurality of ports to be measured and supplying a signal from the supply port to the selected port, and characteristics obtained from the measurement target by the supplied signal The characteristics of the plurality of measurement targets are simultaneously measured by connecting each of the plurality of measurement target ports to the corresponding output port while interposing a receiving unit that receives a signal. Measuring method with a network analyzer.
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