JP2003075297A - 光学装置の検査装置 - Google Patents
光学装置の検査装置Info
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- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
- G01M11/33—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face
- G01M11/331—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face by using interferometer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 音や振動といった機械的なノイズに対する感
受性を低減させた測定ユニットを含むＤＵＴの測定装置
を提供すること。 【解決手段】 検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）(12
0)を測定する測定装置(100,10,140)は、ＤＵＴ(120)に
光信号を加える光信号源(100)と、該加えられた光信号
についてのＤＵＴ(120)の応答を測定する受光ユニット
(140)とを含む。測定ユニット(10)は、光信号源(100)と
受光ユニット(140)との間に結合される。測定ユニット
(10)は、ＤＵＴ(120)の測定のためにＤＵＴ(120)との間
で光信号を送受信する光学回路(20)を含み、このため該
光学回路(20)は機械的なノイズに対して極めて高い感受
性を示す光学要素(130)を含む。シールドユニット(30,4
0)は、光学回路(20)を受容し、機械的ノイズに対する光
学回路(20)及び／又はＤＵＴ(120)の少なくとも部分的
なシールドを提供する。
受性を低減させた測定ユニットを含むＤＵＴの測定装置
を提供すること。 【解決手段】 検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）(12
0)を測定する測定装置(100,10,140)は、ＤＵＴ(120)に
光信号を加える光信号源(100)と、該加えられた光信号
についてのＤＵＴ(120)の応答を測定する受光ユニット
(140)とを含む。測定ユニット(10)は、光信号源(100)と
受光ユニット(140)との間に結合される。測定ユニット
(10)は、ＤＵＴ(120)の測定のためにＤＵＴ(120)との間
で光信号を送受信する光学回路(20)を含み、このため該
光学回路(20)は機械的なノイズに対して極めて高い感受
性を示す光学要素(130)を含む。シールドユニット(30,4
0)は、光学回路(20)を受容し、機械的ノイズに対する光
学回路(20)及び／又はＤＵＴ(120)の少なくとも部分的
なシールドを提供する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学装置の検査に
関する。 【０００２】 【従来の技術】検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）は、
一般に該光学装置に光信号を加え、該加えられた光信号
に対する応答を測定することにより、検査され測定され
る。しかし、かかる測定は通常は、光学的、電気的、又
は機械的なノイズ源により生成されるノイズにさらされ
ることになる。 【０００３】特に、干渉計（例えばマイケルソン干渉計
その他の干渉計）を用いた干渉計による測定は、音によ
って生成されることすらある振動又は衝撃といった機械
的な外乱の影響を非常に受けやすいことがわかってい
る。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は光学要
素の改善された測定を提供することにある。該目的は独
立形式の請求項により達成される。好適な実施形態は従
属形式の請求項に示す。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、検査対
象となる光学装置（ＤＵＴ）を測定する測定装置は、例
えば音や振動といった機械的なノイズに対する感受性を
低減させた測定ユニットを含むものとなる。該測定ユニ
ットは、機械的なノイズに対して極めて高い感受性を示
す（すなわち敏感な）光学要素を用いた光学回路を含
む。かかる光学要素は、特に干渉計を構成する可能性の
高いものである。該光学回路は、機械的なノイズに対す
るシールドを形成するケーシング内に配設される。好適
には、該ケーシングに比較的高い重量を与え、これによ
り該ケーシングを機械的な振動により励振され難くす
る。それ故、該ケーシングは、重量のある板から構成
し、又は光学回路若しくはその構成要素に比べて重量の
ある材料により全体的に構成することが可能である。 【０００６】光学回路は、ケーシングの少なくとも一部
に直接取り付けることが可能であるが、光学回路とケー
シングとの間に振動緩衝手段又は振動減衰手段を配設す
ることが可能である。これは、光学回路とケーシングと
の間に例えばゴムシートを配設することにより実施する
ことが可能である。 【０００７】一好適実施形態では、測定ユニットは更
に、ＤＵＴを支持するよう構成され、これにより、該Ｄ
ＵＴもまた、該測定ユニットにより提供される機械的な
ノイズの減衰又はシールドによる利益を享受することに
なる。ＤＵＴは、ケーシング内に収容された光学回路上
に直接配置することが可能であるが、例えばケーシング
の上部といったケーシングの外側に配置されるのが好ま
しい。これは、ＤＵＴを挿入するためにケーシングを開
放させる（これは測定の失敗の原因となり得る）必要が
ないという利点を有する。ケーシングの外側へのＤＵＴ
の配置は、測定値の高い再現性に通じるものとなる。こ
れは、測定環境が実質的に維持されているとみなすこと
ができるからである。好適には、ＤＵＴを保持するユニ
ットをケーシングの上部に配設する。これは、１つ又は
２つ以上のＤＵＴを設置し、配置し、又は結合させるた
めの手段を提供することが可能なものとなる。ＤＵＴを
保持するユニットは、例えば光ファイバ接続手段を使用
することにより、光学回路と光学的に接続される。 【０００８】別の好適実施形態では、測定ユニットは更
に、ケーシングの振動を吸収するための少なくとも１つ
の振動吸収装置を含む。１つ又は２つ以上の振動吸収装
置をケーシングの下方に配置することが可能である。各
振動吸収装置は、可撓性部材及びプラスチック部材の組
み合わせから構成され、これにより機械的な振動を減衰
させ又は吸収することが好ましい。 【０００９】更に別の好適実施形態では、光学回路は、
少なくとも所定の測定回数にわたり実質的にそれ自体の
振動を全く与えない（光学的、電気的、又は機械的な）
構成要素のみから構成される。 【００１０】測定ユニットは、好適には、ＤＵＴを測定
するための光信号を受信するための１つ又は２つ以上の
光学的な入力と、ＤＵＴと結合するための１つ又は２つ
以上の光学的な接点と、加えられた光学的な入力信号に
応じて光信号を提供するための１つ又は２つ以上の光学
的な出力とを有するものとなる。 【００１１】本発明の他の目的およびそれに付随する利
点の多くは、図面に関連して以下の詳細な説明を参照す
ることにより容易に評価され及び一層良好に理解されよ
う。該図面において、実質的に又は機能的に等しい構成
要素又は類似する構成要素には同じ符号を付してある。 【００１２】 【発明の実施の形態】図１において、測定ユニット10は
光学回路20を有し、該光学回路20は下側ケーシング部30
と上側ケーシング部40との間に配置されている。該光学
回路20は、１つ又は２つ以上の光学装置及び／又は光学
回路を含み、特にかかる光学装置又は光学回路は振動と
いった機械的なノイズの影響を受けやすいものである。 【００１３】測定ユニット10はまた、光学的なＤＵＴ
（図示せず）を受容するよう構成されたＤＵＴ保持ユニ
ット50を有している。回路基板20から該ＤＵＴ保持ユニ
ット50への光学的な結合のためのアダプタ60を配設する
ことが可能である。 【００１４】下側ケーシング部30は４つの振動吸収装置
70A〜70D上に配置され、このとき、該下側ケーシング部
30の各側に振動吸収装置70A〜70Dが１つずつ位置するよ
うにされる。図１の透視図では、４つの振動吸収装置の
うちの３つのみを見ることができる。上側及び下側ケー
シング部30,40は、回路基板20と比較して大幅に重い重
量部(mass parts)として配設される。一好適実施形態で
は、上側及び下側ケーシング部30,40の重量が約20kgで
ある一方、光学回路基板20の重量が１kg以下である。 【００１５】１つに組み立てられる際に、光学回路基板
20が下側ケーシング部30に取り付けられ、好適にはそれ
らの間にゴムシート80が挿入される。アダプタ60が光学
回路基板20に結合され、上側ケーシング部40が（例えば
ネジ又はそれと同様の取り付け手段を使用して）下側ケ
ーシング部30に取り付けられて、回路基板20が、上側及
び下側ケーシング部30,40からなるケーシング内に収容
されることになる。 【００１６】ＤＵＴ保持ユニット50は上側ケーシング部
40の上部に取り付けられる。該上側ケーシング部40は、
それ自体に１つ又は２つ以上の光学装置を結合し、及び
光学回路基板20上に配設された１つ又は２つ以上の光学
回路への光学的な結合を提供するよう構成されている。
前記ＤＵＴ保持ユニット50には好適には、当業界で周知
のような１つ又は２つ以上のＤＵＴの容易な配置を可能
にする適当な機構が配設される。 【００１７】回路基板20及びＤＵＴ保持ユニット50を含
む上側及び下側ケーシング部30,40を有するアセンブリ
全体は、該アセンブリの振動が吸収されるよう振動吸収
装置70A〜70D上に配置される。 【００１８】図２において、可変波長レーザ光源といっ
た光源100が測定ユニット10の入力110に光信号を結合さ
せる。ＤＵＴ120は干渉計130の一部に接続される。干渉
計130の両経路は光源100から光学的な入力信号を受容す
る。光検出器140が、干渉計130の出力に接続され、加え
られた入力信号に応じて干渉信号を検出する。 【００１９】測定ユニット10は、干渉計130により提供
される光学回路を含み、及び（図１に示すように）ＤＵ
Ｔ120を支持するものであるが、光源100並びに受光装置
140は、該測定ユニット10に対して外部の装置を表すも
のである。測定ユニット10は、入力110及び出力150を設
けることによりかかる外部の装置と結合されるように構
成されたものである。図１から明らかなように、上側及
び下側ケーシング部30,40により与えられるケーシング
は、光学回路基板20のかかる外部の装置に結合するため
のスループット(throughput)200を設けることが可能で
ある。 【００２０】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 １．検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）(120)を測定す
るための測定装置(100,10,140)で用いるよう構成された
測定ユニット(10)であって、機械的なノイズに対して高
い感受性を示す１つ又は２つ以上の光学要素(130)を有
する光学回路(20)であって、前記ＤＵＴ(120)の測定を
行うために該ＤＵＴ(120)との間で光信号の送受信を行
うよう構成されている、光学回路(20)と、該光学回路(2
0)を受容し、該光学回路(20)を機械的なノイズに対して
少なくとも部分的にシールドするシールドユニット(30,
40)とを含む、測定ユニット(10)。 ２．前記シールドユニット(30,40)が、比較的大きな重
量を有しており、機械的な振動に対する感受性が一層低
いものである、前項１に記載の測定ユニット(10)。 ３．前記シールドユニット(30,40)が、前記光学回路(2
0)よりも大幅に重いものである、前項２に記載の測定ユ
ニット(10)。 ４．前記シールドユニット(30,40)が、重量のある板か
ら構成され、又は、光学回路(20)又は１つ若しくは２つ
以上の光学要素(130)と比べて一層重い材料から構成さ
れる、前項１ないし前項３の何れか一項に記載の測定ユ
ニット(10)。 ５．前記シールドユニット(30,40)が、上側ケーシング
部(40)及び下側ケーシング部(30)からなる、前項１ない
し前項４の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 ６．前記光学回路(20)が、前記シールドユニット(30,4
0)の少なくとも一部分に取り付けられる、前項１ないし
前項５の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 ７．振動減衰又はシールド装置(80)が前記光学回路(20)
と前記シールドユニット(30,40)との間に配設され、該
振動減衰又はシールド装置(80)が好ましくはゴムシート
である、前項６に記載の測定ユニット(10)。 ８．前記光学回路(20)が、少なくとも１つの干渉計(13
0)を含む、前項１ないし前項７の何れか一項に記載の測
定ユニット(10)。 ９．少なくとも測定時に前記ＤＵＴ(120)を受容するよ
う構成された受容装置(60)を備えている、前項１ないし
前項８の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 10．前記シールドユニット(30,40)が機械的なノイズに
対する前記ＤＵＴ(120)の少なくとも部分的なシールド
を提供するように前記受容装置(60)が前記シールドユニ
ット(30,40)に結合されている、前項９に記載の測定ユ
ニット(10)。 11．前記受容装置(60)が、前記シールドユニット(30,4
0)の外側に配設され、好適には該シールドユニット(30,
40)の上部に配設される、前項９又は前項10に記載の測
定ユニット(10)。 12．前記シールドユニット(30,40)の振動を吸収するた
めの少なくとも１つの振動吸収装置(70)を含む、前項１
ないし前項11の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 13．前記少なくとも１つの振動吸収装置(70)が、機械的
な振動を減衰させ又は吸収するための弾性部材及びプラ
スチック部材を含む、前項12に記載の測定ユニット(1
0)。 14．前記光学回路(20)に含まれる全ての光学的、電気
的、又は機械的な構成要素が、少なくとも測定時にそれ
自体で振動することの実質的にないものである、前項１
ないし前項13の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。
15．検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）(120)を測定す
るための測定装置(100,10,140)であって、前記ＤＵＴ(1
20)に光信号を加えるよう構成された光信号源(100)と、
加えられた前記信号についての前記ＤＵＴ(120)の応答
を測定するよう構成された受光ユニット(140)と、前記
光信号源(100)と前記受光ユニット(140)との間に結合さ
れた前項１ないし前項14の何れか一項に記載の測定ユニ
ット(10)とを含む、測定装置(100,10,140)。
関する。 【０００２】 【従来の技術】検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）は、
一般に該光学装置に光信号を加え、該加えられた光信号
に対する応答を測定することにより、検査され測定され
る。しかし、かかる測定は通常は、光学的、電気的、又
は機械的なノイズ源により生成されるノイズにさらされ
ることになる。 【０００３】特に、干渉計（例えばマイケルソン干渉計
その他の干渉計）を用いた干渉計による測定は、音によ
って生成されることすらある振動又は衝撃といった機械
的な外乱の影響を非常に受けやすいことがわかってい
る。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は光学要
素の改善された測定を提供することにある。該目的は独
立形式の請求項により達成される。好適な実施形態は従
属形式の請求項に示す。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、検査対
象となる光学装置（ＤＵＴ）を測定する測定装置は、例
えば音や振動といった機械的なノイズに対する感受性を
低減させた測定ユニットを含むものとなる。該測定ユニ
ットは、機械的なノイズに対して極めて高い感受性を示
す（すなわち敏感な）光学要素を用いた光学回路を含
む。かかる光学要素は、特に干渉計を構成する可能性の
高いものである。該光学回路は、機械的なノイズに対す
るシールドを形成するケーシング内に配設される。好適
には、該ケーシングに比較的高い重量を与え、これによ
り該ケーシングを機械的な振動により励振され難くす
る。それ故、該ケーシングは、重量のある板から構成
し、又は光学回路若しくはその構成要素に比べて重量の
ある材料により全体的に構成することが可能である。 【０００６】光学回路は、ケーシングの少なくとも一部
に直接取り付けることが可能であるが、光学回路とケー
シングとの間に振動緩衝手段又は振動減衰手段を配設す
ることが可能である。これは、光学回路とケーシングと
の間に例えばゴムシートを配設することにより実施する
ことが可能である。 【０００７】一好適実施形態では、測定ユニットは更
に、ＤＵＴを支持するよう構成され、これにより、該Ｄ
ＵＴもまた、該測定ユニットにより提供される機械的な
ノイズの減衰又はシールドによる利益を享受することに
なる。ＤＵＴは、ケーシング内に収容された光学回路上
に直接配置することが可能であるが、例えばケーシング
の上部といったケーシングの外側に配置されるのが好ま
しい。これは、ＤＵＴを挿入するためにケーシングを開
放させる（これは測定の失敗の原因となり得る）必要が
ないという利点を有する。ケーシングの外側へのＤＵＴ
の配置は、測定値の高い再現性に通じるものとなる。こ
れは、測定環境が実質的に維持されているとみなすこと
ができるからである。好適には、ＤＵＴを保持するユニ
ットをケーシングの上部に配設する。これは、１つ又は
２つ以上のＤＵＴを設置し、配置し、又は結合させるた
めの手段を提供することが可能なものとなる。ＤＵＴを
保持するユニットは、例えば光ファイバ接続手段を使用
することにより、光学回路と光学的に接続される。 【０００８】別の好適実施形態では、測定ユニットは更
に、ケーシングの振動を吸収するための少なくとも１つ
の振動吸収装置を含む。１つ又は２つ以上の振動吸収装
置をケーシングの下方に配置することが可能である。各
振動吸収装置は、可撓性部材及びプラスチック部材の組
み合わせから構成され、これにより機械的な振動を減衰
させ又は吸収することが好ましい。 【０００９】更に別の好適実施形態では、光学回路は、
少なくとも所定の測定回数にわたり実質的にそれ自体の
振動を全く与えない（光学的、電気的、又は機械的な）
構成要素のみから構成される。 【００１０】測定ユニットは、好適には、ＤＵＴを測定
するための光信号を受信するための１つ又は２つ以上の
光学的な入力と、ＤＵＴと結合するための１つ又は２つ
以上の光学的な接点と、加えられた光学的な入力信号に
応じて光信号を提供するための１つ又は２つ以上の光学
的な出力とを有するものとなる。 【００１１】本発明の他の目的およびそれに付随する利
点の多くは、図面に関連して以下の詳細な説明を参照す
ることにより容易に評価され及び一層良好に理解されよ
う。該図面において、実質的に又は機能的に等しい構成
要素又は類似する構成要素には同じ符号を付してある。 【００１２】 【発明の実施の形態】図１において、測定ユニット10は
光学回路20を有し、該光学回路20は下側ケーシング部30
と上側ケーシング部40との間に配置されている。該光学
回路20は、１つ又は２つ以上の光学装置及び／又は光学
回路を含み、特にかかる光学装置又は光学回路は振動と
いった機械的なノイズの影響を受けやすいものである。 【００１３】測定ユニット10はまた、光学的なＤＵＴ
（図示せず）を受容するよう構成されたＤＵＴ保持ユニ
ット50を有している。回路基板20から該ＤＵＴ保持ユニ
ット50への光学的な結合のためのアダプタ60を配設する
ことが可能である。 【００１４】下側ケーシング部30は４つの振動吸収装置
70A〜70D上に配置され、このとき、該下側ケーシング部
30の各側に振動吸収装置70A〜70Dが１つずつ位置するよ
うにされる。図１の透視図では、４つの振動吸収装置の
うちの３つのみを見ることができる。上側及び下側ケー
シング部30,40は、回路基板20と比較して大幅に重い重
量部(mass parts)として配設される。一好適実施形態で
は、上側及び下側ケーシング部30,40の重量が約20kgで
ある一方、光学回路基板20の重量が１kg以下である。 【００１５】１つに組み立てられる際に、光学回路基板
20が下側ケーシング部30に取り付けられ、好適にはそれ
らの間にゴムシート80が挿入される。アダプタ60が光学
回路基板20に結合され、上側ケーシング部40が（例えば
ネジ又はそれと同様の取り付け手段を使用して）下側ケ
ーシング部30に取り付けられて、回路基板20が、上側及
び下側ケーシング部30,40からなるケーシング内に収容
されることになる。 【００１６】ＤＵＴ保持ユニット50は上側ケーシング部
40の上部に取り付けられる。該上側ケーシング部40は、
それ自体に１つ又は２つ以上の光学装置を結合し、及び
光学回路基板20上に配設された１つ又は２つ以上の光学
回路への光学的な結合を提供するよう構成されている。
前記ＤＵＴ保持ユニット50には好適には、当業界で周知
のような１つ又は２つ以上のＤＵＴの容易な配置を可能
にする適当な機構が配設される。 【００１７】回路基板20及びＤＵＴ保持ユニット50を含
む上側及び下側ケーシング部30,40を有するアセンブリ
全体は、該アセンブリの振動が吸収されるよう振動吸収
装置70A〜70D上に配置される。 【００１８】図２において、可変波長レーザ光源といっ
た光源100が測定ユニット10の入力110に光信号を結合さ
せる。ＤＵＴ120は干渉計130の一部に接続される。干渉
計130の両経路は光源100から光学的な入力信号を受容す
る。光検出器140が、干渉計130の出力に接続され、加え
られた入力信号に応じて干渉信号を検出する。 【００１９】測定ユニット10は、干渉計130により提供
される光学回路を含み、及び（図１に示すように）ＤＵ
Ｔ120を支持するものであるが、光源100並びに受光装置
140は、該測定ユニット10に対して外部の装置を表すも
のである。測定ユニット10は、入力110及び出力150を設
けることによりかかる外部の装置と結合されるように構
成されたものである。図１から明らかなように、上側及
び下側ケーシング部30,40により与えられるケーシング
は、光学回路基板20のかかる外部の装置に結合するため
のスループット(throughput)200を設けることが可能で
ある。 【００２０】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 １．検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）(120)を測定す
るための測定装置(100,10,140)で用いるよう構成された
測定ユニット(10)であって、機械的なノイズに対して高
い感受性を示す１つ又は２つ以上の光学要素(130)を有
する光学回路(20)であって、前記ＤＵＴ(120)の測定を
行うために該ＤＵＴ(120)との間で光信号の送受信を行
うよう構成されている、光学回路(20)と、該光学回路(2
0)を受容し、該光学回路(20)を機械的なノイズに対して
少なくとも部分的にシールドするシールドユニット(30,
40)とを含む、測定ユニット(10)。 ２．前記シールドユニット(30,40)が、比較的大きな重
量を有しており、機械的な振動に対する感受性が一層低
いものである、前項１に記載の測定ユニット(10)。 ３．前記シールドユニット(30,40)が、前記光学回路(2
0)よりも大幅に重いものである、前項２に記載の測定ユ
ニット(10)。 ４．前記シールドユニット(30,40)が、重量のある板か
ら構成され、又は、光学回路(20)又は１つ若しくは２つ
以上の光学要素(130)と比べて一層重い材料から構成さ
れる、前項１ないし前項３の何れか一項に記載の測定ユ
ニット(10)。 ５．前記シールドユニット(30,40)が、上側ケーシング
部(40)及び下側ケーシング部(30)からなる、前項１ない
し前項４の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 ６．前記光学回路(20)が、前記シールドユニット(30,4
0)の少なくとも一部分に取り付けられる、前項１ないし
前項５の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 ７．振動減衰又はシールド装置(80)が前記光学回路(20)
と前記シールドユニット(30,40)との間に配設され、該
振動減衰又はシールド装置(80)が好ましくはゴムシート
である、前項６に記載の測定ユニット(10)。 ８．前記光学回路(20)が、少なくとも１つの干渉計(13
0)を含む、前項１ないし前項７の何れか一項に記載の測
定ユニット(10)。 ９．少なくとも測定時に前記ＤＵＴ(120)を受容するよ
う構成された受容装置(60)を備えている、前項１ないし
前項８の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 10．前記シールドユニット(30,40)が機械的なノイズに
対する前記ＤＵＴ(120)の少なくとも部分的なシールド
を提供するように前記受容装置(60)が前記シールドユニ
ット(30,40)に結合されている、前項９に記載の測定ユ
ニット(10)。 11．前記受容装置(60)が、前記シールドユニット(30,4
0)の外側に配設され、好適には該シールドユニット(30,
40)の上部に配設される、前項９又は前項10に記載の測
定ユニット(10)。 12．前記シールドユニット(30,40)の振動を吸収するた
めの少なくとも１つの振動吸収装置(70)を含む、前項１
ないし前項11の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。 13．前記少なくとも１つの振動吸収装置(70)が、機械的
な振動を減衰させ又は吸収するための弾性部材及びプラ
スチック部材を含む、前項12に記載の測定ユニット(1
0)。 14．前記光学回路(20)に含まれる全ての光学的、電気
的、又は機械的な構成要素が、少なくとも測定時にそれ
自体で振動することの実質的にないものである、前項１
ないし前項13の何れか一項に記載の測定ユニット(10)。
15．検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）(120)を測定す
るための測定装置(100,10,140)であって、前記ＤＵＴ(1
20)に光信号を加えるよう構成された光信号源(100)と、
加えられた前記信号についての前記ＤＵＴ(120)の応答
を測定するよう構成された受光ユニット(140)と、前記
光信号源(100)と前記受光ユニット(140)との間に結合さ
れた前項１ないし前項14の何れか一項に記載の測定ユニ
ット(10)とを含む、測定装置(100,10,140)。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による好ましい一実施形態を示す分解斜
視図である。 【図２】本発明による光学的な測定装置の一実施形態を
示す説明図である。 【符号の説明】 10 測定ユニット 20 光学回路 30 シールドユニット 40 シールドユニット 100,10,140 測定装置 120 検査対象となる光学装置 130 光学要素
視図である。 【図２】本発明による光学的な測定装置の一実施形態を
示す説明図である。 【符号の説明】 10 測定ユニット 20 光学回路 30 シールドユニット 40 シールドユニット 100,10,140 測定装置 120 検査対象となる光学装置 130 光学要素
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ジークフリード・マイラエンデル
ドイツ国72074プフロンドルフ，ユント
レ・ホーベルクシュトラーセ・18
(72)発明者 マルテ・シュルター
ドイツ国70771リーンフェルデン，ヌフェ
ンシュトラーセ・35
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】検査対象となる光学装置（ＤＵＴ）(120)
を測定するための測定装置(100,10,140)で用いるよう構
成された測定ユニット(10)であって、 機械的なノイズに対して高い感受性を示す１つ又は２つ
以上の光学要素(130)を有する光学回路(20)であって、
前記ＤＵＴ(120)の測定を行うために該ＤＵＴ(120)との
間で光信号の送受信を行うよう構成されている、光学回
路(20)と、 該光学回路(20)を受容し、該光学回路(20)を機械的なノ
イズに対して少なくとも部分的にシールドするシールド
ユニット(30,40)とを含む、測定ユニット(10)。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP01117060A EP1191322B1 (en) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | Testing arrangement for optical devices |
| EP01117060.2 | 2001-07-13 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP2003075297A5 JP2003075297A5 (ja) | 2005-10-27 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| EP (1) | EP1191322B1 (ja) |
| JP (1) | JP2003075297A (ja) |
| DE (1) | DE60111151T2 (ja) |
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| US5675412A (en) * | 1995-11-24 | 1997-10-07 | On-Line Technologies, Inc. | System including unified beamsplitter and parallel reflecting element, and retroreflecting component |
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- 2002-07-08 JP JP2002198762A patent/JP2003075297A/ja not_active Withdrawn
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