JP2003073858A - 表面エネルギー制御による低摩擦化コーティング法 - Google Patents
表面エネルギー制御による低摩擦化コーティング法Info
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- JP2003073858A JP2003073858A JP2001257193A JP2001257193A JP2003073858A JP 2003073858 A JP2003073858 A JP 2003073858A JP 2001257193 A JP2001257193 A JP 2001257193A JP 2001257193 A JP2001257193 A JP 2001257193A JP 2003073858 A JP2003073858 A JP 2003073858A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超高真空中や紫外線照射下といった極限環境
においても摩擦力が増加せず材料の長寿命化を実現する
低摩擦化コーティング法を提供する。 【解決手段】 部材表面に複合材料からなるコーティン
グ膜を成膜することで部材表面の低摩擦化を行なう低摩
擦化コーティング法であって、部材表面にコーティング
膜を成膜した後、このコーティング膜に対してレーザー
光を照射する。
においても摩擦力が増加せず材料の長寿命化を実現する
低摩擦化コーティング法を提供する。 【解決手段】 部材表面に複合材料からなるコーティン
グ膜を成膜することで部材表面の低摩擦化を行なう低摩
擦化コーティング法であって、部材表面にコーティング
膜を成膜した後、このコーティング膜に対してレーザー
光を照射する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この出願の発明は、低摩擦化
コーティング法に関するものである。さらに詳しくは、
この出願の発明は、大気中および真空中で使用される部
材を低摩擦化するのに有用な低摩擦化コーティング法に
関するものである。
コーティング法に関するものである。さらに詳しくは、
この出願の発明は、大気中および真空中で使用される部
材を低摩擦化するのに有用な低摩擦化コーティング法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明の課題】従来、大気中および真空中
で使用される部材に対して複合材料を用いたコーティン
グ膜の低摩擦化が実施されてきたが、雰囲気圧力が広範
囲に変化するような環境化においては、必要とする低摩
擦性を有するコーティング膜を得ることは困難であっ
た。特に、宇宙空間などのように超高真空中や紫外線照
射下といった極限環境における材料の使用は、例えば原
子状酸素衝突による酸化や化学反応等といったコーティ
ング膜の変質により摩擦力が増加するといった現象が見
られ、部品の寿命が短くなるという問題が生じていた。
このため、紫外線照射下や真空中などにおいても摩擦力
の増加が発生しにくいコーティング膜の生成方法が求め
られてきた。
で使用される部材に対して複合材料を用いたコーティン
グ膜の低摩擦化が実施されてきたが、雰囲気圧力が広範
囲に変化するような環境化においては、必要とする低摩
擦性を有するコーティング膜を得ることは困難であっ
た。特に、宇宙空間などのように超高真空中や紫外線照
射下といった極限環境における材料の使用は、例えば原
子状酸素衝突による酸化や化学反応等といったコーティ
ング膜の変質により摩擦力が増加するといった現象が見
られ、部品の寿命が短くなるという問題が生じていた。
このため、紫外線照射下や真空中などにおいても摩擦力
の増加が発生しにくいコーティング膜の生成方法が求め
られてきた。
【０００３】そこで、この出願の発明は、以上の通りの
事情に鑑みてなされたものであり、超高真空中や紫外線
照射下といった極限環境においても摩擦力が増加せず材
料の長寿命化を実現する低摩擦化コーティング法を提供
することを課題としている。
事情に鑑みてなされたものであり、超高真空中や紫外線
照射下といった極限環境においても摩擦力が増加せず材
料の長寿命化を実現する低摩擦化コーティング法を提供
することを課題としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この出願の発明は、上記
の課題を解決するものとして、部材表面に複合材料から
なるコーティング膜を成膜することで部材表面の低摩擦
化を行なう低摩擦化コーティング法であって、部材表面
にコーティング膜を成膜した後、このコーティング膜に
対してレーザー光を照射することを特徴とする低摩擦化
コーティング法を提供する。
の課題を解決するものとして、部材表面に複合材料から
なるコーティング膜を成膜することで部材表面の低摩擦
化を行なう低摩擦化コーティング法であって、部材表面
にコーティング膜を成膜した後、このコーティング膜に
対してレーザー光を照射することを特徴とする低摩擦化
コーティング法を提供する。
【０００５】上記の低摩擦化コーティング法は、照射す
るレーザー光が紫外パルスレーザー光であること、部材
表面に複合材料からなるコーティング膜を成膜している
間に、部材表面の温度を変化させることで部材表面の表
面エネルギーを調整すること、および、コーティング膜
が、窒化ホウ素と銅の複合コーティングからなることを
特徴とする。
るレーザー光が紫外パルスレーザー光であること、部材
表面に複合材料からなるコーティング膜を成膜している
間に、部材表面の温度を変化させることで部材表面の表
面エネルギーを調整すること、および、コーティング膜
が、窒化ホウ素と銅の複合コーティングからなることを
特徴とする。
【０００６】また、この出願の発明は、部材表面に成膜
される複合材料からなる低摩擦コーティング膜であっ
て、部材表面に成膜された後にレーザー光が照射される
ことを特徴とする低摩擦コーティング膜を提供する。
される複合材料からなる低摩擦コーティング膜であっ
て、部材表面に成膜された後にレーザー光が照射される
ことを特徴とする低摩擦コーティング膜を提供する。
【０００７】この低摩擦コーティング膜は、照射される
レーザー光が紫外パルスレーザー光であること、表面温
度が経時的に変化している部材表面上に成膜されるこ
と、窒化ホウ素と銅の複合コーティングからなることを
特徴とする。
レーザー光が紫外パルスレーザー光であること、表面温
度が経時的に変化している部材表面上に成膜されるこ
と、窒化ホウ素と銅の複合コーティングからなることを
特徴とする。
【０００８】さらに、この出願の発明は、以上で示した
低摩擦コーティング膜が表面に成膜されていることを特
徴とする部材をも提供する。
低摩擦コーティング膜が表面に成膜されていることを特
徴とする部材をも提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】この出願の発明は、上記のとおり
の特徴をもつものであるが、以下に、その実施の形態に
ついて説明する。
の特徴をもつものであるが、以下に、その実施の形態に
ついて説明する。
【００１０】この出願の発明である低摩擦化コーティン
グ法においては、部材表面に対して複合材料からなるコ
ーティング膜を成膜し、次いで、このコーティング膜に
対してレーザー光を照射することで、部材表面の表面エ
ネルギーを制御し、部材表面の低摩擦化を実現する。
グ法においては、部材表面に対して複合材料からなるコ
ーティング膜を成膜し、次いで、このコーティング膜に
対してレーザー光を照射することで、部材表面の表面エ
ネルギーを制御し、部材表面の低摩擦化を実現する。
【００１１】部材表面に成膜されたコーティング膜に対
して照射されるレーザー光は、紫外パルスレーザー光で
あり、レーザー照射は複数回、具体的には１００回以上
実施されることが好ましい。
して照射されるレーザー光は、紫外パルスレーザー光で
あり、レーザー照射は複数回、具体的には１００回以上
実施されることが好ましい。
【００１２】また、この出願の発明である低摩擦化コー
ティング法においては、部材表面に複合材料からなるコ
ーティング膜を成膜する時間を変え、部材表面の温度を
変化させることで、部材表面の表面エネルギーが制御さ
れ、部材表面の低摩擦化を行なうことも可能である。具
体的には、例えば、部材表面に複合材料からなるコーテ
ィング膜を蒸着する際に、蒸着時間を変えることで、部
材表面の温度を変化させる。
ティング法においては、部材表面に複合材料からなるコ
ーティング膜を成膜する時間を変え、部材表面の温度を
変化させることで、部材表面の表面エネルギーが制御さ
れ、部材表面の低摩擦化を行なうことも可能である。具
体的には、例えば、部材表面に複合材料からなるコーテ
ィング膜を蒸着する際に、蒸着時間を変えることで、部
材表面の温度を変化させる。
【００１３】コーティング膜は複合材料による複合コー
ティングによって成膜され、具体的な材料としては、以
下に示される材料グループＡのいずれかひとつの材料と
材料グループＢのいずれかひとつの材料とを組み合わせ
て用いられる。 材料グループＡ：窒化ホウ素、Ｓｉ3Ｎ4、（ＣＦ）ｎ、
黒鉛、ＴｉＮ、ＷＳ2、ＭｏＳ2 材料グループＢ：Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、テフロン
（登録商標） また、上記の材料グループＡのいずれかひとつの材料と
材料グループＢのいずれかひとつの材料とを組み合わせ
て複合材料基板を生成し、生成された複合材料基板表面
に紫外線パルスレーザーを照射することで、低い摩擦係
数を持つ材料として利用することも可能である。
ティングによって成膜され、具体的な材料としては、以
下に示される材料グループＡのいずれかひとつの材料と
材料グループＢのいずれかひとつの材料とを組み合わせ
て用いられる。 材料グループＡ：窒化ホウ素、Ｓｉ3Ｎ4、（ＣＦ）ｎ、
黒鉛、ＴｉＮ、ＷＳ2、ＭｏＳ2 材料グループＢ：Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、テフロン
（登録商標） また、上記の材料グループＡのいずれかひとつの材料と
材料グループＢのいずれかひとつの材料とを組み合わせ
て複合材料基板を生成し、生成された複合材料基板表面
に紫外線パルスレーザーを照射することで、低い摩擦係
数を持つ材料として利用することも可能である。
【００１４】この出願の発明の低摩擦化コーティング法
により成膜されたコーティング膜は、摩擦係数が極めて
低く、さらには、紫外線が照射されるような環境化にあ
る場合や材料酸化が発生した場合においても、摩擦力の
増加を防止することが可能である。したがって、この低
摩擦コーティング膜により部材をコーティングすること
で、部材を長寿命化することが可能となり、メンテナン
スコストの低減に役立つものと考えられる。
により成膜されたコーティング膜は、摩擦係数が極めて
低く、さらには、紫外線が照射されるような環境化にあ
る場合や材料酸化が発生した場合においても、摩擦力の
増加を防止することが可能である。したがって、この低
摩擦コーティング膜により部材をコーティングすること
で、部材を長寿命化することが可能となり、メンテナン
スコストの低減に役立つものと考えられる。
【００１５】この出願の発明は、以上の特徴を持つもの
であるが、以下に実施例を示し、さらに具体的に説明す
る。
であるが、以下に実施例を示し、さらに具体的に説明す
る。
【００１６】
【実施例】真空スパッタ共蒸着により窒化ホウ素と銅の
複合コーティングをＳＵＳ３０４鋼表面に施し、蒸着が
行なわれている時間を変えることで、ＳＵＳ３０４鋼基
板表面温度を変化させ、表面エネルギーを調整した。図
２は、蒸着時間と基板温度の関係について示したグラフ
である。さらに、コーティング後のＳＵＳ３０４鋼表面
に対して、波長２４８ｎｍ、パルス幅３０ｎ秒、強度５
０ｍＪｃｍ-2、照射タイミング１Ｈｚの紫外光パルスレ
ーザーを照射し、コーティング膜表面の酸化を行い、表
面エネルギーを調整した。図１は、紫外光パルスレーザ
ーの照射回数と真空中および大気中におけるＳＵＳ３０
４鋼表面の摩擦係数との関係について示したグラフであ
る。レーザー照射により、ＳＵＳ３０４鋼表面における
摩擦力の大幅な低下が見られ、低摩擦材料が得られてい
ることがわかる。
複合コーティングをＳＵＳ３０４鋼表面に施し、蒸着が
行なわれている時間を変えることで、ＳＵＳ３０４鋼基
板表面温度を変化させ、表面エネルギーを調整した。図
２は、蒸着時間と基板温度の関係について示したグラフ
である。さらに、コーティング後のＳＵＳ３０４鋼表面
に対して、波長２４８ｎｍ、パルス幅３０ｎ秒、強度５
０ｍＪｃｍ-2、照射タイミング１Ｈｚの紫外光パルスレ
ーザーを照射し、コーティング膜表面の酸化を行い、表
面エネルギーを調整した。図１は、紫外光パルスレーザ
ーの照射回数と真空中および大気中におけるＳＵＳ３０
４鋼表面の摩擦係数との関係について示したグラフであ
る。レーザー照射により、ＳＵＳ３０４鋼表面における
摩擦力の大幅な低下が見られ、低摩擦材料が得られてい
ることがわかる。
【００１７】
【発明の効果】この出願の発明によって、以上詳しく説
明したとおり、超高真空中や紫外線照射下といった極限
環境においても摩擦力が増加せず材料の長寿命化を実現
する低摩擦化コーティング法が提供される。
明したとおり、超高真空中や紫外線照射下といった極限
環境においても摩擦力が増加せず材料の長寿命化を実現
する低摩擦化コーティング法が提供される。
【００１８】この出願の発明により、部材表面の摩擦力
の大小を自由に制御できるため、摺動して利用される部
材においては、摺動部分ごとに必要な低摩擦係数を与え
るコーティングを実施でき、エネルギー効率の高い機器
の構築に貢献できるものと期待される。
の大小を自由に制御できるため、摺動して利用される部
材においては、摺動部分ごとに必要な低摩擦係数を与え
るコーティングを実施でき、エネルギー効率の高い機器
の構築に貢献できるものと期待される。
【００１９】さらに、この出願の発明により提供される
低摩擦コーティング膜は、紫外線照射や表面酸化などに
より摩擦力が増加することがないことから、宇宙ステー
ションや航空機の摺動部部材へなどへの低摩擦コーティ
ング膜として最適であると考えられる。もちろん、これ
以外にも様々な分野への適用が期待され、機器のメンテ
ナンスコストの削減に貢献するものと期待される。
低摩擦コーティング膜は、紫外線照射や表面酸化などに
より摩擦力が増加することがないことから、宇宙ステー
ションや航空機の摺動部部材へなどへの低摩擦コーティ
ング膜として最適であると考えられる。もちろん、これ
以外にも様々な分野への適用が期待され、機器のメンテ
ナンスコストの削減に貢献するものと期待される。
【図１】 紫外光パルスレーザーの照射回数と真空中お
よび大気中におけるＳＵＳ３０４鋼表面の摩擦係数との
関係について示したグラフである。
よび大気中におけるＳＵＳ３０４鋼表面の摩擦係数との
関係について示したグラフである。
【図２】 蒸着時間と基板温度の関係について示したグ
ラフである。
ラフである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 吉原 一紘
茨城県つくば市千現１丁目２番１号 独立
行政法人物質・材料研究機構内
Ｆターム(参考） 4K029 BA01 BA04 BA05 BA13 BA34
BA42 BA51 BA58 BA59 BA62
BA64 BC00 CA05 DC16 GA01
4K044 AA03 AB02 AB10 BA06 BA08
BA18 BA19 BA20 BA21 BB01
BC01 CA41 CA53
Claims (11)
- 【請求項１】 部材表面に複合材料からなるコーティン
グ膜を成膜することで部材表面の低摩擦化を行なうコー
ティング法であって、部材表面にコーティング膜を成膜
した後、このコーティング膜に対してレーザー光を照射
することを特徴とする低摩擦化コーティング法。 - 【請求項２】 照射するレーザー光が紫外パルスレーザ
ー光であることを特徴とする請求項１記載の低摩擦化コ
ーティング法。 - 【請求項３】 部材表面に複合材料からなるコーティン
グ膜を成膜している間に、部材表面の温度を変化させる
ことで部材表面の表面エネルギーを調整することを特徴
とする請求項１または２の低摩擦化コーティング法。 - 【請求項４】 コーティング膜が、窒化ホウ素、Ｓｉ3
Ｎ4、（ＣＦ）ｎ、黒鉛、ＴｉＮ、ＷＳ2、ＭｏＳ2の内
のいずれかひとつの材料と、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、
テフロン(登録商標）の内のいずれかひとつの材料との
複合コーティングからなることを特徴とする請求項１乃
至３いずれかの低摩擦化コーティング法。 - 【請求項５】 部材表面に成膜される複合材料からなる
低摩擦コーティング膜であって、部材表面に成膜された
後にレーザー光が照射されることを特徴とする低摩擦コ
ーティング膜。 - 【請求項６】 照射されるレーザー光が紫外パルスレー
ザー光であることを特徴とする請求項５記載の低摩擦コ
ーティング膜。 - 【請求項７】 表面温度が経時的に変化している部材表
面上に成膜されることを特徴とする請求項５または６の
低摩擦コーティング膜。 - 【請求項８】 窒化ホウ素、Ｓｉ3Ｎ4、（ＣＦ）ｎ、黒
鉛、ＴｉＮ、ＷＳ2、ＭｏＳ2の内のいずれかひとつの材
料と、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、テフロン（登録商標）
の内のいずれかひとつの材料との複合コーティングから
なることを特徴とする請求項５乃至７いずれかの低摩擦
コーティング膜。 - 【請求項９】 請求項５乃至８いずれかの低摩擦コーテ
ィング膜が表面に成膜されていることを特徴とする部
材。 - 【請求項１０】 窒化ホウ素、Ｓｉ3Ｎ4、（ＣＦ）ｎ、
黒鉛、ＴｉＮ、ＷＳ 2、ＭｏＳ2の内のいずれかひとつの
材料と、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、テフロン(登録商
標）の内のいずれかひとつの材料とを混合して生成され
る複合材料であって、生成された後に表面にレーザー光
を照射されることを特徴とする低摩擦複合材料。 - 【請求項１１】 照射されるレーザー光が紫外パルスレ
ーザー光であることを特徴とする請求項１０記載の低摩
擦複合材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001257193A JP3632076B2 (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | 表面エネルギー制御によるコーティング膜の低摩擦化法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001257193A JP3632076B2 (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | 表面エネルギー制御によるコーティング膜の低摩擦化法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003073858A true JP2003073858A (ja) | 2003-03-12 |
| JP3632076B2 JP3632076B2 (ja) | 2005-03-23 |
Family
ID=19084898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001257193A Expired - Lifetime JP3632076B2 (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | 表面エネルギー制御によるコーティング膜の低摩擦化法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3632076B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010185098A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Mitsubishi Electric Corp | 鉄系材料および鉄系材料の表面処理方法 |
| CN108411263A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-08-17 | 东莞理工学院 | 一种梯度复合润滑涂层及其制备方法 |
-
2001
- 2001-08-28 JP JP2001257193A patent/JP3632076B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010185098A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Mitsubishi Electric Corp | 鉄系材料および鉄系材料の表面処理方法 |
| CN108411263A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-08-17 | 东莞理工学院 | 一种梯度复合润滑涂层及其制备方法 |
| CN108411263B (zh) * | 2018-03-13 | 2020-02-14 | 东莞理工学院 | 一种梯度复合润滑涂层及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3632076B2 (ja) | 2005-03-23 |
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|---|---|---|---|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
| A02 | Decision of refusal |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041014 |
|
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