JP2003062742A - Polishing device for end face and method therefor - Google Patents

Polishing device for end face and method therefor

Info

Publication number
JP2003062742A
JP2003062742A JP2001250357A JP2001250357A JP2003062742A JP 2003062742 A JP2003062742 A JP 2003062742A JP 2001250357 A JP2001250357 A JP 2001250357A JP 2001250357 A JP2001250357 A JP 2001250357A JP 2003062742 A JP2003062742 A JP 2003062742A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
end surface
virtual disk
disk
surface polishing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001250357A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Minami
浩二 皆見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP2001250357A priority Critical patent/JP2003062742A/en
Priority to US10/199,818 priority patent/US20030040263A1/en
Publication of JP2003062742A publication Critical patent/JP2003062742A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/22Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B19/226Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/25Preparing the ends of light guides for coupling, e.g. cutting
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/38Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
    • G02B6/3807Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
    • G02B6/3833Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
    • G02B6/3863Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture fabricated by using polishing techniques

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polishing device for the end face of bar member and a method therefor which reduce a curvature eccentricity of the end face of bar member, decrease a cost and increase polishing efficiency by using an abrasive sheet efficiently. SOLUTION: The polishing device polishes the end face of a bar member which is mounted on a fixture plate, with an abrasive part 12 which is mounted on a polishing plate 10 being supported rotatably and rockably onto the device body 20. The fixture plate is fixed to a first virtual disk providing a prescribed diameter. A driving means drives the polishing plate 10 relatively with the fixture plate, so that the first virtual disk is revolved and also moved along the circumference of a second virtual disk, and the second virtual disk is revolved and also moved along the circumference of a third virtual disk.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバなどの
棒状部材の端面を研磨する端面研磨装置及び方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an end face polishing apparatus and method for polishing an end face of a rod-shaped member such as an optical fiber.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信用ファイバは、コネクタの主要部
材であるフェルールの中心孔内にファイバを接着固定し
た後、フェルール端面とファイバ端面とを同時に平滑に
研磨し鏡面に仕上げて使用される。この研磨仕上げした
フェルール及び光ファイバの研磨面が、フェルールの中
心軸と垂直な面でなかったり、あるいは、研磨面に傷が
あったりすると、フェルール同士が対向接続される光コ
ネクタにおいて、対向位置精度が劣化し損失が大きくな
ってしまう。そのため、光ファイバを含むフェルールの
研磨面は高精度に研磨仕上げする必要がある。
2. Description of the Related Art A fiber for optical communication is used by bonding and fixing the fiber in the center hole of a ferrule, which is a main member of a connector, and then polishing the end face of the ferrule and the end face of the fiber simultaneously to make them mirror-finished. If the polished surface of the ferrule and the optical fiber that have been polished is not a surface perpendicular to the center axis of the ferrule, or if the polished surface is scratched, the optical connector in which the ferrules are connected to each other will face each other with a matching position accuracy. Deteriorates and the loss increases. Therefore, it is necessary to polish the polished surface of the ferrule including the optical fiber with high accuracy.

【0003】従来の光ファイバ端面研磨装置として、例
えば、特開平3−26456号公報に開示されたものが
ある。この公報に開示された光ファイバ端面研磨装置
は、自転円盤の同心円上で回転する偏心盤を持ち、この
偏心盤に公転用のモータの回転を伝達する遊星歯車を持
ち、これらを研磨盤に結合させて研磨盤を自転及び公転
させる一方、この研磨盤に固定した研磨部材に対して、
治具盤に保持された多数のフェルールの端面を押し付け
て研磨するものである。
As a conventional optical fiber end face polishing apparatus, for example, there is one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-26456. The optical fiber end face polishing device disclosed in this publication has an eccentric disc that rotates on a concentric circle of a rotating disc, and has a planetary gear that transmits the rotation of a revolution motor to the eccentric disc, and couples these to the polishing disc. While rotating and revolving the polishing plate, the polishing member fixed to this polishing plate,
The end faces of a large number of ferrules held on a jig board are pressed and polished.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ここで、研磨部材とし
て研磨シートを用いて、フェルールの先端面を研磨した
際のフェルールの治具盤に対する相対移動を表す軌跡を
図10に示す。
FIG. 10 shows a locus representing the relative movement of the ferrule with respect to the jig plate when the tip surface of the ferrule is polished by using a polishing sheet as the polishing member.

【0005】図10(a)に示すように、従来の研磨盤
の治具盤に対する相対移動を表す軌跡は、第1の仮想円
盤110の円周にフェルールが固定されて、第1の仮想
円盤110が第2の仮想円盤111の円周に沿って自転
しながら移動するようになっている。このような相対移
動により、研磨盤の治具盤に対する相対移動を表す軌跡
は、図10(b)に示すように、内サイクロイドとな
り、研磨を継続すると軌跡は研磨盤の中心側が密とな
り、外側が疎となってしまう。
As shown in FIG. 10 (a), the locus representing the relative movement of the conventional polishing disk with respect to the jig disk is the first virtual disk with the ferrule fixed to the circumference of the first virtual disk 110. The 110 moves along the circumference of the second virtual disk 111 while rotating on its own axis. Due to such relative movement, the locus indicating the relative movement of the polishing plate with respect to the jig plate becomes an internal cycloid as shown in FIG. 10B, and when polishing is continued, the locus becomes dense on the center side of the polishing plate and outside. Becomes sparse.

【0006】このような研磨では、研磨の初期状態では
問題がないが、研磨を続けると内側の密の領域では研磨
能率が低下して、フェルールの両側、すなわち研磨シー
トの中心側と外側とで研磨量が異なってしまいフェルー
ルの曲率偏心が大きくなってしまうという問題がある。
[0006] In such polishing, there is no problem in the initial state of polishing, but if polishing is continued, the polishing efficiency decreases in the inner dense region, and the polishing efficiency decreases on both sides of the ferrule, that is, on the center side and outside of the polishing sheet. There is a problem that the eccentricity of the curvature of the ferrule becomes large because the polishing amount is different.

【0007】また、研磨シートを局部的に使用すること
により、研磨シートの消耗が激しく、研磨シートの交換
が頻繁で研磨コストがかかってしまうという問題があ
る。
Further, by locally using the polishing sheet, there is a problem that consumption of the polishing sheet is severe, replacement of the polishing sheet is frequent, and polishing cost increases.

【0008】さらに、従来の研磨装置では、研磨シート
上の端面の軌跡が円周上を移動する円からなり、研磨速
度を高めるためには公転又は自転の回転速度を高める必
要がある。このため、回転速度を上昇すると遠心力によ
る研磨液の飛散が発生し、研磨が困難になるという問題
がある。
Further, in the conventional polishing apparatus, the locus of the end face on the polishing sheet is composed of a circle moving on the circumference, and it is necessary to increase the revolution speed of revolution or rotation in order to increase the polishing speed. Therefore, when the rotation speed is increased, the polishing liquid is scattered due to the centrifugal force, and there is a problem that polishing becomes difficult.

【0009】本発明はこのような事情に鑑み、棒状部材
の端面の曲率偏心を減少させると共に研磨シートを効率
的に使用してコストを低減させて研磨効率を向上させた
端面研磨装置及び方法を提供することを課題とする。
In view of the above circumstances, the present invention provides an end surface polishing apparatus and method that reduces the curvature eccentricity of the end surface of a rod-shaped member and efficiently uses a polishing sheet to reduce cost and improve polishing efficiency. The challenge is to provide.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第1の態様は、装置本体に回転揺動可能に支持され
た研磨盤に装着された研磨部材により治具盤に装着され
た棒状部材を押し付けて研磨する端面研磨装置におい
て、前記治具盤を所定直径を有する第1の仮想円盤に固
定して、当該第1の仮想円盤を自転させながら第2の仮
想円盤の円周に沿って移動し且つ当該第2の仮想円盤を
自転させながら第3の仮想円盤の円周に沿って移動する
ように、前記研磨盤を前記治具盤に対して相対移動する
ように駆動する駆動手段を具備することを特徴とする端
面研磨装置にある。
According to a first aspect of the present invention for solving the above problems, a jig plate is mounted on a jig plate by a polishing member mounted on a polishing plate rotatably and swingably supported by an apparatus main body. In an end face polishing device for pressing and polishing a rod-shaped member, the jig plate is fixed to a first virtual disc having a predetermined diameter, and the first virtual disc is rotated around the circumference of the second virtual disc. Drive for driving the polishing disk so as to move relative to the jig disk so as to move along the circumference of the third virtual disk while rotating along the circumference of the second virtual disk. The end surface polishing apparatus is provided with a means.

【0011】本発明の第2の態様は、第1の態様におい
て、前記駆動手段は、前記第2の仮想円盤の直径が前記
第3の仮想円盤の半径よりも小さくなるように前記研磨
盤を駆動することを特徴とする端面研磨装置にある。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the driving means drives the polishing disc so that the diameter of the second virtual disc is smaller than the radius of the third virtual disc. An end surface polishing apparatus characterized by being driven.

【0012】本発明の第3の態様は、第1又は2の態様
において、前記駆動手段は、前記第1の仮想円盤の直径
が前記第2の仮想円盤の半径よりも小さくなるように前
記研磨盤を駆動することを特徴とする端面研磨装置にあ
る。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the driving means performs the polishing so that the diameter of the first virtual disk is smaller than the radius of the second virtual disk. It is an end surface polishing device characterized by driving a board.

【0013】本発明の第4の態様は、第1〜3の何れか
の態様において、前記駆動手段は、前記第1の仮想円盤
が自転しながら前記第2の仮想円盤の円周上を滑ること
なく移動するように前記研磨盤を駆動することを特徴と
する端面研磨装置にある。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the driving means slides on the circumference of the second virtual disk while the first virtual disk rotates. In the end surface polishing apparatus, the polishing disk is driven so as to move without moving.

【0014】本発明の第5の態様は、第1〜4の何れか
の態様において、前記駆動手段は、前記第2の仮想円盤
が自転しながら前記第3の仮想円盤の円周上を滑ること
なく移動するように前記研磨盤を駆動することを特徴と
する端面研磨装置にある。
According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the driving means slides on the circumference of the third virtual disc while the second virtual disc rotates. In the end surface polishing apparatus, the polishing disk is driven so as to move without moving.

【0015】本発明の第6の態様は、第1〜5の何れか
の態様において、前記治具盤が前記第2の仮想円盤との
相対移動により描く軌跡が、ルーレット形状であること
を特徴とする端面研磨装置にある。
A sixth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to fifth aspects, a locus drawn by the jig plate relative to the second virtual disc is a roulette shape. It is in the end face polishing device.

【0016】本発明の第7の態様は、第6の態様におい
て、各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第1の
仮想円盤の円周上であり、前記ルーレット形状が内サイ
クロイドであることを特徴とする端面研磨装置にある。
According to a seventh aspect of the present invention, in the sixth aspect, the fixing position of each rod-shaped member to the polishing disc is on the circumference of the first virtual disc, and the roulette shape is an inner cycloid. The end surface polishing apparatus is characterized in that

【0017】本発明の第8の態様は、第6の態様におい
て、各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第1の
円盤の半径上又は半径方向外側の延長線上であり、前記
ルーレット形状が内トロコイドであることを特徴とする
端面研磨装置にある。
According to an eighth aspect of the present invention, in the sixth aspect, the fixing position of each rod-shaped member to the polishing disc is on the radius of the first disc or an extension line on the outer side in the radial direction, and the roulette. The end surface polishing apparatus is characterized in that the shape is an inner trochoid.

【0018】本発明の第9の態様は、第1〜8の何れか
の態様において、前記駆動手段は、前記研磨盤の中心か
ら偏心位置に接続された第1の公転軸と、該第1の公転
軸を回転中心とする自転軸と、該自転軸が偏心位置に設
けられた第2の公転軸とを具備することを特徴とする端
面研磨装置にある。
In a ninth aspect of the present invention, in any one of the first to eighth aspects, the drive means includes a first revolution shaft connected to an eccentric position from the center of the polishing plate, and the first revolution shaft. The end surface polishing apparatus is characterized by comprising a rotation axis having the revolution axis as the center of rotation and a second revolution axis provided at the eccentric position.

【0019】本発明の第10の態様は、第1〜8の何れ
かの態様において、前記駆動手段は、前記研磨盤の中心
に接続された自転軸と、該自転軸が偏心位置に設けられ
た第1の公転軸と、該第1の公転軸が偏心位置に設けら
れた第2の公転軸とを具備することを特徴とする端面研
磨装置にある。
In a tenth aspect of the present invention, in any one of the first to eighth aspects, the drive means is provided with a rotation shaft connected to the center of the polishing plate and the rotation shaft at an eccentric position. An end surface polishing apparatus comprising a first revolution shaft and a second revolution shaft provided with the first revolution shaft at an eccentric position.

【0020】本発明の第11の態様は、第9又は10の
態様において、前記駆動手段は、前記装置本体に固定さ
れた内歯車と、該内歯車に噛み合う第1の伝達歯車と、
該第1の伝達歯車側端部と反対側の端部に第2の伝達歯
車を有する回転軸と、前記第2の伝達歯車に噛み合う外
歯車とを具備することを特徴とする端面研磨装置にあ
る。
According to an eleventh aspect of the present invention, in the ninth or tenth aspect, the drive means includes an internal gear fixed to the apparatus main body, and a first transmission gear meshing with the internal gear.
An end surface polishing apparatus comprising: a rotary shaft having a second transmission gear at an end opposite to the first transmission gear side end; and an external gear meshing with the second transmission gear. is there.

【0021】本発明の第12の態様は、第8〜11の何
れかの態様において、前記第1の公転軸が公転用タイミ
ングベルトを介して駆動モータと接続されていることを
特徴とする端面研磨装置にある。
A twelfth aspect of the present invention is the end face according to any one of the eighth to eleventh aspects, characterized in that the first revolution shaft is connected to a drive motor via a revolution timing belt. It is in the polishing machine.

【0022】本発明の第13の態様は、第12の態様に
おいて、前記自転軸が自転用タイミングベルトを介して
前記駆動モータと接続されていることを特徴とする端面
研磨装置にある。
A thirteenth aspect of the present invention is the end face polishing apparatus according to the twelfth aspect, characterized in that the rotation shaft is connected to the drive motor via a rotation timing belt.

【0023】本発明の第14の態様は、装置本体に回転
揺動可能に支持された研磨盤に装着された研磨部材によ
り治具盤に装着された棒状部材を押し付けて研磨する端
面研磨方法において、前記治具盤を所定直径を有する第
1の仮想円盤に固定し、当該第1の仮想円盤を自転させ
ながら第2の仮想円盤の円周に沿って移動し且つ当該第
2の仮想円盤を自転させながら第3の仮想円盤の円周に
沿って移動するように前記治具盤に対して相対移動する
ように前記研磨盤を駆動して前記棒状部材を研磨するこ
とを特徴とする端面研磨方法にある。
A fourteenth aspect of the present invention is an end surface polishing method for polishing by pressing a rod-shaped member mounted on a jig plate by a polishing member mounted on a polishing plate rotatably and swingably supported by an apparatus main body. , Fixing the jig disk to a first virtual disk having a predetermined diameter, moving the first virtual disk around the circumference of the second virtual disk while rotating the first virtual disk, and moving the second virtual disk to the second virtual disk. End face polishing, characterized in that the polishing plate is driven so as to move relative to the jig plate so as to move along the circumference of the third virtual disk while rotating, and the rod-shaped member is polished. On the way.

【0024】本発明の第15の態様は、第14の態様に
おいて、前記研磨盤を前記第2の仮想円盤の直径が前記
第3の仮想円盤の半径よりも小さくなるように駆動する
ことを特徴とする端面研磨方法にある。
A fifteenth aspect of the present invention is characterized in that, in the fourteenth aspect, the polishing disc is driven so that the diameter of the second virtual disc is smaller than the radius of the third virtual disc. There is a method of polishing the end surface.

【0025】本発明の第16の態様は、第14又は15
の態様において、前記研磨盤を前記第1の仮想円盤の直
径が前記第2の仮想円盤の半径よりも小さくなるように
駆動することを特徴とする端面研磨方法にある。
The sixteenth aspect of the present invention is the fourteenth or fifteenth aspect.
In another aspect, there is provided an end surface polishing method characterized in that the polishing disk is driven so that the diameter of the first virtual disk becomes smaller than the radius of the second virtual disk.

【0026】本発明の第17の態様は、第14〜16の
何れかの態様において、前記研磨盤を前記第1の仮想円
盤が自転しながら前記第2の仮想円盤の円周上を滑るこ
となく移動するように駆動することを特徴とする端面研
磨方法にある。
In a seventeenth aspect of the present invention according to any one of the fourteenth to sixteenth aspects, the first virtual disk rotates on the polishing disk while rotating on the circumference of the second virtual disk. There is an end surface polishing method characterized by driving so as to move without movement.

【0027】本発明の第18の態様は、第14〜17の
何れかの態様において、前記研磨盤を前記第2の仮想円
盤が回転しながら前記第3の仮想円盤の円周上を滑るこ
となく移動するように駆動することを特徴とする端面研
磨方法にある。
In an eighteenth aspect of the present invention, in any one of the fourteenth to seventeenth aspects, the polishing disk is slid on the circumference of the third virtual disk while the second virtual disk is rotating. There is an end surface polishing method characterized by driving so as to move without movement.

【0028】本発明の第19の態様は、第14〜18の
何れかの態様において、前記研磨盤が前記第2の円盤と
の相対移動により描く軌跡が、ルーレット形状であるこ
とを特徴とする端面研磨研磨方法にある。
A nineteenth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the fourteenth to eighteenth aspects, a locus drawn by the relative movement of the polishing disc with the second disc is a roulette shape. End face polishing A polishing method.

【0029】本発明の第20の態様は、第19の態様に
おいて、各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第
1の仮想円盤の円周上であり、前記ルーレット形状が内
サイクロイドであることを特徴とする端面研磨方法にあ
る。
In a twentieth aspect of the present invention according to the nineteenth aspect, the position where each rod-shaped member is fixed to the polishing disc is on the circumference of the first virtual disc, and the roulette shape is an inner cycloid. There is an end surface polishing method characterized by the above.

【0030】本発明の第21の態様は、第19の態様に
おいて、各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第
1の仮想円盤の半径上又は半径方向外側の延長線上であ
り、前記ルーレット形状が内トロコイドであることを特
徴とする端面研磨方法にある。
In a twenty-first aspect of the present invention based on the nineteenth aspect, the position where each rod-shaped member is fixed to the polishing disc is on the radius of the first virtual disc or on an extension line radially outward. A method of polishing an end face is characterized in that the roulette shape is an inner trochoid.

【0031】本発明の第22の態様は、第14〜21の
何れかの態様において、前記駆動をX−Yテーブルで行
うことを特徴とする端面研磨方法にある。
A twenty-second aspect of the present invention is the end surface polishing method according to any one of the fourteenth to twenty-first aspects, characterized in that the driving is performed by an XY table.

【0032】本発明の第23の態様は、第14〜22の
何れかの態様において、前記研磨盤の駆動速度を可変す
ることを特徴とする端面研磨方法にある。
A twenty-third aspect of the present invention is the end face polishing method according to any one of the fourteenth to twenty-second aspects, characterized in that the drive speed of the polishing plate is varied.

【0033】かかる本発明では、棒状部材が研磨シート
上に描く軌跡に密又は疎の領域差をなくすことができ
る。これにより棒状部材の端面の研磨量が偏ることなく
曲率偏心を減少させると共に研磨シートの消耗を減少さ
せて研磨シートの寿命を延ばすことができる。
In the present invention, it is possible to eliminate a dense or sparse region difference in the trajectory drawn by the rod-shaped member on the polishing sheet. As a result, the curvature eccentricity can be reduced and the wear of the polishing sheet can be reduced without prolonging the polishing amount of the end surface of the rod-shaped member, and the life of the polishing sheet can be extended.

【0034】[0034]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0035】(実施形態1)図1は、本発明の実施形態
1に係る端面研磨装置の要部断面図である。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view of a main part of an end surface polishing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.

【0036】図1に示すように、研磨定盤10の上部に
は、装置本体20を介して弾性体11と、弾性体11上
に研磨シート12とが配置され、研磨シート12の上面
には棒状部材の端面が押圧され研磨を行う。
As shown in FIG. 1, an elastic body 11 and a polishing sheet 12 on the elastic body 11 are arranged on the upper surface of the polishing surface plate 10 through a main body 20 of the apparatus. The end surface of the rod-shaped member is pressed to perform polishing.

【0037】研磨定盤10の下側と、第1の公転軸30
上のフランジ部31とは、研磨定盤10の所定量偏心し
た位置に複数の固定ピン32を介して連結されており、
研磨定盤10は、第1の公転軸30により公転自在に支
持されている。また、第1の公転軸30は、自転軸40
内に自転軸40に対して所定量偏心した位置に伝達ユニ
ット41と固定ピン42とを介して接続されている。
The lower side of the polishing platen 10 and the first revolution shaft 30.
The upper flange portion 31 is connected to the polishing surface plate 10 at a position eccentric by a predetermined amount via a plurality of fixing pins 32,
The polishing platen 10 is rotatably supported by the first revolution shaft 30. Further, the first revolution shaft 30 is the rotation shaft 40.
A transmission unit 41 and a fixing pin 42 are connected to a position eccentric to the rotation shaft 40 by a predetermined amount.

【0038】また、第1の公転軸30の下部は、第1の
伝達歯車50に噛み合い、さらに第1の伝達歯車50は
第2の伝達歯車51に噛み合っている。また、第2の伝
達歯車51は、第3の伝達歯車52と同軸に接続されて
いる。この第3の伝達歯車52は、装置本体20の内歯
と噛み合うようになっている。
The lower portion of the first revolution shaft 30 meshes with the first transmission gear 50, and the first transmission gear 50 meshes with the second transmission gear 51. Further, the second transmission gear 51 is coaxially connected to the third transmission gear 52. The third transmission gear 52 meshes with the internal teeth of the device body 20.

【0039】自転軸40の下部は、駆動モータ60の駆
動軸61に接続された自転用プーリー62の外側に配置
された自転用タイミングベルト63を介して接続される
回転部53の内歯に噛み合うようになっている。
The lower part of the rotation shaft 40 meshes with the internal teeth of the rotating portion 53 connected via a rotation timing belt 63 arranged outside the rotation pulley 62 connected to the drive shaft 61 of the drive motor 60. It is like this.

【0040】また、第2の公転軸70は駆動モータ60
の駆動軸61に接続された公転用プーリー64と公転用
タイミングベルト65を介して接続される。そして第2
の公転軸70の内部には、所定量偏心した位置に自転軸
40が配置されている。
The second revolution shaft 70 is the drive motor 60.
The drive shaft 61 is connected to a revolving pulley 64 via a revolving timing belt 65. And the second
Inside the revolution shaft 70, the rotation shaft 40 is arranged at a position eccentric by a predetermined amount.

【0041】このような第1の公転軸30、自転軸40
及び第2の公転軸70等により研磨定盤10を駆動する
駆動手段が構成されている。
The first revolution shaft 30 and the rotation shaft 40 as described above.
Further, a driving means for driving the polishing platen 10 is constituted by the second revolution shaft 70 and the like.

【0042】ここで、本実施形態の端面研磨装置の駆動
手段の特徴部分について説明する。なお、図2は、端面
研磨装置の回転軸を示す概略図である。
Here, the characteristic portion of the drive means of the end surface polishing apparatus of this embodiment will be described. Note that FIG. 2 is a schematic view showing a rotary shaft of the end surface polishing apparatus.

【0043】図中、全体は公転回転RE1を行ってお
り、第2の公転軸70の回転中心と中心位置がR偏心し
内歯IG1に噛み合う外歯EG1で回転する自転軸40
の内部を、内歯IG2と噛み合う外歯EG2により駆動
される歯車G1に歯車G3を介して噛み合う歯車G2に
より自転軸40に対しての公転回転RE2を行う。
In the figure, the entire body makes an orbital revolution RE1, and the rotation shaft 40 which is eccentric to the center of rotation of the second revolution shaft 70 and is rotated by the external tooth EG1 meshing with the internal tooth IG1.
The inside of the above is revolved around the rotation shaft 40 by the gear G2 meshing with the gear G1 driven by the external tooth EG2 meshing with the internal tooth IG2 via the gear G3.

【0044】一方、装置本体20には、図3に示すよう
に支持機構21によってフェルールなどの複数の棒状部
材Wが固定された治具盤80が支持されている。なお、
図3は、治具盤の斜視図及び端面研磨装置の一部断面図
である。
On the other hand, a jig board 80 to which a plurality of rod-shaped members W such as ferrules are fixed by a support mechanism 21 is supported on the apparatus main body 20, as shown in FIG. In addition,
FIG. 3 is a perspective view of the jig board and a partial cross-sectional view of the end surface polishing apparatus.

【0045】治具盤80は、図3に示すように、各側面
に棒状部材Wの側面が嵌合する凹部91が二つずつ設け
られた多角形状、本実施形態では、6角形状を有する治
具盤本体90と、凹部91に対向する位置に治具盤本体
90の面方向に移動自在に設けられた保持部材100と
を具備する。
As shown in FIG. 3, the jig board 80 has a polygonal shape in which two concave portions 91 to which the side surfaces of the rod-shaped member W are fitted are provided on each side surface, in the present embodiment, a hexagonal shape. A jig board main body 90 and a holding member 100 provided at a position facing the recess 91 so as to be movable in the surface direction of the jig board main body 90 are provided.

【0046】治具盤本体90の略中央には、支持機構2
1によって研磨定盤10方向に付勢されると共に回転方
向の移動が規制されるボス部92が取り付けられてい
る。
In the approximate center of the jig board main body 90, the support mechanism 2
A boss portion 92 is attached which is urged toward the polishing platen 10 by 1 and whose movement in the rotational direction is restricted.

【0047】また、保持部材100は、固定ピン101
によって治具盤本体90の側面に固定されている。詳し
くは、固定ピン101を保持部材100を挿通し、先端
を治具盤本体90の側面に螺合させることで、保持部材
100は治具盤本体90の面方向に移動自在に保持され
ている。この保持部材100と凹部91との間で棒状部
材Wを挟持して固定することができる。
Further, the holding member 100 includes the fixing pin 101.
It is fixed to the side surface of the jig board main body 90 by. Specifically, the fixing pin 101 is inserted through the holding member 100, and the tip end is screwed onto the side surface of the jig board body 90, so that the holding member 100 is movably held in the surface direction of the jig board body 90. . The rod-shaped member W can be sandwiched and fixed between the holding member 100 and the recess 91.

【0048】また、このような治具盤80は、装置本体
20に固着された支持部21aに下方に向かって所定の
押圧力で付勢される押さえ軸22により支持されてい
る。ここで、押さえ軸22の先端は円錐部22aとなっ
ており、これが治具盤80の中央部に設けられたボス部
92のテーパ状嵌合穴92aと係合している。また、支
持部21aには押さえ軸22に平行に回転止めピン23
が設けられており、回転止めピン23の先端がボス部9
2の係止穴92bに挿入されることにより、治具盤80
の回転が規制されている。
Further, such a jig board 80 is supported by a holding shaft 22 which is urged downward by a predetermined pressing force on a supporting portion 21a fixed to the apparatus body 20. Here, the tip end of the pressing shaft 22 is a conical portion 22a, and this is engaged with the tapered fitting hole 92a of the boss portion 92 provided in the central portion of the jig board 80. Further, the support portion 21a has a rotation stop pin 23 parallel to the pressing shaft 22.
Is provided, and the tip of the rotation stop pin 23 has a boss portion 9
The jig board 80 is inserted into the second locking hole 92b.
Rotation is restricted.

【0049】以下に、このような端面研磨装置の駆動手
段が、研磨定盤を治具盤に対して相対移動させる駆動に
より描かれる軌跡について詳細に説明する。なお、図4
は、軌跡を描くための仮想の円盤を説明する図であり、
図5は、棒状部材の研磨シートに対する相対移動を示す
軌跡である。
The following is a detailed description of the locus drawn by the drive means of such an end surface polishing apparatus by the drive for moving the polishing platen relative to the jig plate. Note that FIG.
Is a diagram for explaining a virtual disk for drawing a locus,
FIG. 5 is a trajectory showing the relative movement of the rod-shaped member with respect to the polishing sheet.

【0050】図4に示すように、駆動手段は、前記治具
盤を所定直径を有する第1の仮想円盤110に固定して
第1の仮想円盤110を自転させながら第2の仮想円盤
111の円周に沿って移動し且つ第2の仮想円盤111
を自転させながら第3の仮想円盤112の円周に沿って
移動するように、研磨定盤10を治具盤に対して相対移
動するように駆動する。これにより、棒状部材Wの研磨
シートに対する相対移動を表す軌跡は、図5に示すよう
な軌跡が描かれる。
As shown in FIG. 4, the driving means fixes the jig disk to the first virtual disk 110 having a predetermined diameter and rotates the first virtual disk 110 while rotating the second virtual disk 111. A second virtual disk 111 that moves along the circumference and
The polishing surface plate 10 is driven so as to move relative to the jig plate so as to move along the circumference of the third virtual disk 112 while rotating. As a result, the locus indicating the relative movement of the rod-shaped member W with respect to the polishing sheet is drawn as shown in FIG.

【0051】ここで、第1の仮想円盤110の自転は自
転軸40の自転回転に対応し、第1の仮想円盤110の
第2の仮想円盤111の円周に沿っての移動は、第1の
公転軸30の公転回転RE2に対応する。また、第2の
仮想円盤111の自転は第1の公転軸30による公転回
転RE2に対応し、第2の仮想円盤111の第3の仮想
円盤112の円周に沿っての移動は、第2の公転軸70
の公転回転RE1に対応する。すなわち、第1の仮想円
盤110は自転軸40、第2の仮想円盤111は第1の
公転軸30内の自転軸40の偏心量、第3の仮想円盤1
12は第2の公転軸70内の第1の公転軸30の偏心量
によって自転半径及び偏心半径が決定される。なお、こ
のような自転軸、第1の公転軸及び第2の公転軸と第1
の仮想円盤、第2の仮想円盤及び第3の仮想円盤との関
係は、第1の仮想円盤の円周上に棒状部材Wが固定され
た場合であり、棒状部材Wが固定される位置が第1の仮
想円盤の半径上又は半径方向外側の延長線上である場合
は、これに限定されない。
Here, the rotation of the first virtual disk 110 corresponds to the rotation of the rotation shaft 40, and the movement of the first virtual disk 110 along the circumference of the second virtual disk 111 is the first. This corresponds to the revolution rotation RE2 of the revolution shaft 30 of. Further, the rotation of the second virtual disk 111 corresponds to the revolution rotation RE2 by the first revolution axis 30, and the movement of the second virtual disk 111 along the circumference of the third virtual disk 112 is the second. Revolution axis 70
It corresponds to the revolution revolution RE1 of. That is, the first virtual disk 110 is the rotation axis 40, the second virtual disk 111 is the eccentric amount of the rotation axis 40 in the first revolution axis 30, and the third virtual disk 1 is.
12, the rotation radius and the eccentric radius are determined by the eccentric amount of the first revolution shaft 30 in the second revolution shaft 70. It should be noted that such an axis of rotation, a first axis of revolution and a second axis of revolution
The relationship between the virtual disk, the second virtual disk, and the third virtual disk is when the rod-shaped member W is fixed on the circumference of the first virtual disk, and the position where the rod-shaped member W is fixed is It is not limited to this when it is on the radius of the first virtual disk or on the extension line outside in the radial direction.

【0052】また、駆動手段は治具盤を第2の仮想円盤
111の直径を第3の仮想円盤112の半径よりも小さ
くなるように駆動し、第1の仮想円盤110の直径を第
2の仮想円盤111の半径よりも小さくなるように駆動
するのが好ましい。すなわち、このような設定で駆動手
段の自転軸40、第1の公転軸30及び第2の公転軸7
0の半径及び偏心量等を設定するのが好ましい。これ
は、第2の仮想円盤111の直径が第3の仮想円盤11
2の半径よりも大きく、第1の仮想円盤110の直径が
第2の仮想円盤111の半径よりも大きい場合の駆動で
は、棒状部材Wの研磨シートに対する相対移動を表す軌
跡が重なりあって密となる領域が偏り、研磨シート12
の均一な利用ができないからである。
The driving means drives the jig disk so that the diameter of the second virtual disk 111 becomes smaller than the radius of the third virtual disk 112, and the diameter of the first virtual disk 110 becomes the second virtual disk. It is preferable to drive so that the radius is smaller than the radius of the virtual disk 111. That is, with such a setting, the rotation shaft 40, the first revolution shaft 30, and the second revolution shaft 7 of the drive means.
It is preferable to set a radius of 0 and an eccentricity amount. This is because the diameter of the second virtual disk 111 is the third virtual disk 11
2 is larger than the radius and the diameter of the first virtual disk 110 is larger than the radius of the second virtual disk 111, the loci representing the relative movement of the rod-shaped member W with respect to the polishing sheet overlap and are dense. Area becomes uneven, and the polishing sheet 12
This is because it cannot be used uniformly.

【0053】また、駆動手段が研磨定盤10を第1の仮
想円盤110を第2の仮想円盤111の円周に沿って自
転させながら移動させるとき、及び第2の仮想円盤11
1を第3の仮想円盤112の円周に沿って自転させなが
ら移動させるときに、円周と円周とが接して移動させる
ように駆動するよう各軸を設定してもよいし、互いに接
しないで移動させないように駆動するよう設定してもよ
く、また、互いに接する場合には相互に滑るように移動
するように駆動するよう各軸を設定してもよいし、滑ら
ないように移動するように駆動するよう各軸を設定して
もよい。
Further, when the driving means moves the polishing platen 10 while rotating the first virtual disk 110 along the circumference of the second virtual disk 111 and the second virtual disk 11 as well.
When 1 is moved while rotating around the circumference of the third virtual disk 112, the axes may be set so as to move so that the circumferences come into contact with each other, or they may contact each other. It may be set to drive so that it does not move without moving, or each axis may be set to drive so as to slide relative to each other when touching each other, or move so as not to slide Each axis may be set so as to be driven as described above.

【0054】本実施形態では、駆動手段が研磨定盤10
を第1の仮想円盤110と第2の仮想円盤111及び第
2の仮想円盤111と第3の仮想円盤112とを滑らな
いように移動するように駆動できるよう各軸を設定し
た。この場合、第1の仮想円盤110と第2の仮想円盤
111との相対移動による軌跡はルーレット形状とな
る。ここで、ルーレット形状とは、固定された一つの定
曲線上をすべることなく、別の定曲線がころがるとき、
後者の定曲線に固定された一点が描き出す曲線のことを
言う。
In this embodiment, the driving means is the polishing platen 10.
Each axis is set so that the first virtual disk 110 and the second virtual disk 111 and the second virtual disk 111 and the third virtual disk 112 can be driven so as not to slip. In this case, the locus of the relative movement of the first virtual disk 110 and the second virtual disk 111 has a roulette shape. Here, the roulette shape means that when another fixed curve rolls without sliding on one fixed fixed curve,
The latter is a curve drawn by a fixed point on a fixed curve.

【0055】さらに、本実施形態では、各棒状部材Wの
第1の仮想円盤110に固定される位置が、第1の仮想
円盤110の円周上とすることで、第1の仮想円盤11
0と第2の仮想円盤111との相対移動する軌跡が、図
5に示すような略菱形の内サイクロイドとなるようにし
た。
Further, in the present embodiment, the position of each rod-shaped member W fixed to the first virtual disk 110 is on the circumference of the first virtual disk 110, so that the first virtual disk 11 is formed.
The locus of relative movement between 0 and the second virtual disk 111 is set to be a substantially rhombic inner cycloid as shown in FIG.

【0056】すなわち、本実施形態では、棒状部材Wの
研磨シート12に対する相対移動を表す軌跡が、第1の
仮想円盤110及び第2の仮想円盤111とによって内
サイクロイドとなった軌跡を第3の仮想円盤112の円
周に沿って自転させながら滑らないように移動させるこ
とで、図5(b)に示すような軌跡となるようにした。
That is, in the present embodiment, the locus representing the relative movement of the rod-shaped member W with respect to the polishing sheet 12 becomes the inner cycloid by the first virtual disk 110 and the second virtual disk 111. By moving along the circumference of the virtual disk 112 without rotating while rotating on its own axis, the locus shown in FIG. 5B was obtained.

【0057】このような軌跡とすることで、各棒状部材
Wの研磨シートに対する相対移動を表す軌跡の密度が偏
るのを防止して、研磨シート12を均一に使用すること
ができ、研磨シート12の局部的な消耗を減少させるこ
とができる。これにより研磨コストを低減することがで
きる。また、棒状部材Wの研磨を均一に消耗した研磨シ
ート12で行うことができるため、棒状部材Wの先端の
研磨量の偏りを低減させて高精度研磨を行うことができ
る。このため、棒状部材Wとしてフェルールを研磨した
際など、フェルールの両側、すなわち研磨シート12の
中心側と外側とで研磨量の差を減少させてフェルールの
曲率偏心を小さくすることができる。
With such a locus, the density of the loci representing the relative movement of each rod-shaped member W with respect to the polishing sheet can be prevented from being biased, and the polishing sheet 12 can be used uniformly. It is possible to reduce the local consumption of. Thereby, the polishing cost can be reduced. Further, since the polishing of the rod-shaped member W can be performed by the uniformly worn polishing sheet 12, it is possible to reduce the deviation of the polishing amount at the tip of the rod-shaped member W and perform high-precision polishing. Therefore, when the ferrule is polished as the rod-shaped member W, it is possible to reduce the difference in the polishing amount between the both sides of the ferrule, that is, between the center side and the outer side of the polishing sheet 12 and reduce the eccentricity of the curvature of the ferrule.

【0058】なお、このような端面研磨装置では、駆動
手段による治具盤の駆動をX−Yテーブルで行うことが
できるため、従来の自公転のための遊星歯車等の複雑な
回転系の駆動機構を使用することなく、端面研磨装置を
設計することができる。さらに移動距離の大きなX−Y
テーブルを使用することにより、研磨シート12を棒状
部材Wから大きく離し、研磨の途中で棒状部材Wの端面
の状態を確認してX−Yテーブルの他の領域に粗さの異
なる研磨シート12を配置して粗研磨から仕上げ研磨ま
で一連の研磨工程を同一の装置を使用して行うことがで
きる。
Incidentally, in such an end surface polishing apparatus, the jig plate can be driven by the driving means by the XY table, so that the complicated rotation system such as the planetary gear for the conventional self-revolution is driven. The end face polishing apparatus can be designed without using a mechanism. XY, which has a longer travel distance
By using the table, the polishing sheet 12 is largely separated from the rod-shaped member W, the state of the end face of the rod-shaped member W is confirmed during polishing, and the polishing sheets 12 having different roughness are placed in other regions of the XY table. A series of polishing steps from placement to rough polishing to finish polishing can be performed using the same apparatus.

【0059】また、単一又は複数の研磨シート12を使
用して、駆動の速度を可変することにより、初期状態の
粗研磨時には研磨速度を下げ、摩擦抵抗の大きい状態で
の駆動系への負荷を減少させることができる。さらに、
仕上げ研磨の際は、摩擦抵抗が少ないため、駆動速度を
上げ、研磨速度を高めることにより全体の研磨時間を減
少させることができる。このように、研磨シート12等
によって駆動速度を可変させることにより、研磨液等の
飛散を低減させて研磨効率を向上し、高効率の研磨を行
うことができる。
Further, by using a single or a plurality of polishing sheets 12 and varying the drive speed, the polishing speed is lowered during rough polishing in the initial state, and the load on the drive system in the state where the frictional resistance is large. Can be reduced. further,
Since the frictional resistance is small during the finish polishing, the entire polishing time can be reduced by increasing the driving speed and the polishing speed. In this way, by varying the drive speed with the polishing sheet 12 or the like, it is possible to reduce scattering of the polishing liquid or the like, improve polishing efficiency, and perform highly efficient polishing.

【0060】(実施形態2)図6は、実施形態2に係る
棒状部材の研磨シートに対する相対移動を表す軌跡を示
す図である。
(Embodiment 2) FIG. 6 is a diagram showing a locus representing relative movement of a rod-shaped member with respect to a polishing sheet according to Embodiment 2.

【0061】実施形態2では、棒状部材の第1の仮想円
盤110に固定する位置を第1の仮想円盤110の半径
方向外側の延長線上とした例であり、これにより研磨定
盤10が第2の仮想円盤111との相対移動により描く
軌跡は、図6に示すように、第1の仮想円盤110と第
2の仮想円盤111との相対移動による軌跡が内トロコ
イドとなる。
The second embodiment is an example in which the position where the rod-shaped member is fixed to the first virtual disk 110 is on the extension line on the outer side in the radial direction of the first virtual disk 110. As shown in FIG. 6, the locus drawn by the relative movement of the first virtual disk 111 and the second virtual disk 111 is an inner trochoid.

【0062】このような軌跡を描く駆動手段としても、
勿論、上述した実施形態1と同様の効果を得ることがで
きる。
Even as a driving means for drawing such a locus,
Of course, the same effect as that of the above-described first embodiment can be obtained.

【0063】(実施形態3)図7は、実施形態3に係る
棒状部材の研磨シートに対する相対移動を表す軌跡を示
す図である。
(Embodiment 3) FIG. 7 is a diagram showing a locus indicating relative movement of a rod-shaped member with respect to a polishing sheet according to Embodiment 3.

【0064】実施形態3では、実施形態2に比べて端面
研磨装置の第1の公転軸30の公転半径Rを小さくした
例であり、このような端面研磨装置では、研磨定盤10
が第2の仮想円盤111との相対移動により描く軌跡
が、図7に示すような細かな内トロコイドとなってい
る。
The third embodiment is an example in which the revolution radius R of the first revolution shaft 30 of the end surface polishing apparatus is made smaller than that of the second embodiment. In such an end surface polishing apparatus, the polishing surface plate 10 is used.
The locus drawn by the relative movement with respect to the second virtual disk 111 is a fine inner trochoid as shown in FIG.

【0065】このような軌跡を描く駆動手段としても、
勿論、上述した実施形態1と同様の効果を得ることがで
きる。
As a driving means for drawing such a locus,
Of course, the same effect as that of the above-described first embodiment can be obtained.

【0066】(実施形態4)上述した実施形態1〜3で
は、端面研磨装置として、自転軸40の内側に第1の公
転軸30を有し、自転軸40の外側に第2の公転軸70
がある端面研磨装置を例示したが、本実施形態では、駆
動手段の各軸の配置を変更した例である。
(Embodiment 4) In Embodiments 1 to 3 described above, as the end surface polishing apparatus, the first revolution shaft 30 is provided inside the rotation shaft 40, and the second revolution shaft 70 is provided outside the rotation shaft 40.
Although there is an example of the end surface polishing apparatus, this embodiment is an example in which the arrangement of each shaft of the driving means is changed.

【0067】図8は、本発明の実施形態4に係る端面研
磨装置の軸構造を示す概略断面図である。
FIG. 8 is a schematic sectional view showing the shaft structure of an end surface polishing apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.

【0068】図8に示すように、実施形態4の端面研磨
装置の駆動手段は、第2の公転軸70内の所定量偏心し
た位置に第1の公転軸30が配置され、第1の公転軸3
0内の所定量偏心した位置に自転軸40が配置されてい
る。
As shown in FIG. 8, in the drive means of the end surface polishing apparatus of the fourth embodiment, the first revolution shaft 30 is arranged at a position eccentric by a predetermined amount in the second revolution shaft 70, and the first revolution shaft is rotated. Axis 3
The rotation shaft 40 is arranged at a position decentered by a predetermined amount within 0.

【0069】このような軸構造の端面研磨装置として
も、勿論、上述した実施形態1〜3の軌跡となるように
研磨定盤10を駆動することができる。
Even with the end surface polishing apparatus having such a shaft structure, the polishing surface plate 10 can be driven so as to follow the loci of Embodiments 1 to 3 described above.

【0070】(実施形態5)図9は、本発明の実施形態
5に係る端面研磨装置の軸構造を示す概略断面図であ
る。
(Embodiment 5) FIG. 9 is a schematic sectional view showing the shaft structure of an end surface polishing apparatus according to Embodiment 5 of the present invention.

【0071】実施形態5では、上述した実施形態1〜4
とは異なる軸構造とした例である。
In the fifth embodiment, the above-mentioned first to fourth embodiments are provided.
This is an example of a shaft structure different from.

【0072】図示するように、実施形態5の駆動軸は、
第2の公転軸70の所定量偏心した位置に第1の公転軸
30が配置され、第1の公転軸30の研磨定盤10側に
自転軸の替わりに自転歯車40Aが配置されている。こ
の自転歯車40Aは、第2の公転軸70の所定量偏心し
た位置に配置された伝達軸43と噛み合うことで自転回
転を行うようになっている。
As shown, the drive shaft of the fifth embodiment is
The first revolution shaft 30 is arranged at a position eccentric to the second revolution shaft 70 by a predetermined amount, and a rotation gear 40A is arranged on the polishing surface plate 10 side of the first revolution shaft 30 instead of the rotation shaft. The rotation gear 40A is adapted to rotate on its own axis by meshing with the transmission shaft 43 arranged at a position eccentric to the second revolution shaft 70 by a predetermined amount.

【0073】このような軸構造の端面研磨装置として
も、勿論、上述した実施形態1〜3の軌跡となるように
研磨定盤10を駆動することができる。
Even with the end surface polishing apparatus having such a shaft structure, the polishing surface plate 10 can of course be driven so as to follow the loci of Embodiments 1 to 3 described above.

【0074】このように、本発明の端面研磨装置の軸構
造は、特に限定されるものではない。
As described above, the axial structure of the end surface polishing apparatus of the present invention is not particularly limited.

【0075】(他の実施形態)以上、本発明の各実施形
態1〜5を説明したが、端面研磨装置及び端面研磨方法
の基本的構成は上述したものに限定されるものではな
い。
(Other Embodiments) The first to fifth embodiments of the present invention have been described above, but the basic structure of the end face polishing apparatus and the end face polishing method is not limited to the above.

【0076】例えば、上述した実施形態1〜3では、研
磨定盤が第2の仮想円盤111との相対移動により描く
軌跡が、内サイクロイド又は内トロコイドとしたが、こ
れに限定されず、例えば、外サイクロイド又は外トロコ
イドとなるような軌跡としてもよい。
For example, in the above-described first to third embodiments, the locus drawn by the relative movement of the polishing platen with the second virtual disc 111 is the inner cycloid or the inner trochoid, but the present invention is not limited to this. The locus may be an outer cycloid or an outer trochoid.

【0077】また、上述した実施形態1〜3では、駆動
手段が、第1の仮想円盤110及び第2の仮想円盤11
1と、第2の仮想円盤111及び第3の仮想円盤112
とが滑ることなく自転しながら移動するように研磨定盤
10を駆動して、それぞれの相対移動による軌跡がルー
レット形状となるようにしたが、これに限定されず、そ
れぞれ自転しながら滑るように移動するように研磨定盤
を駆動するようにしてもよい。このように駆動手段が研
磨定盤を駆動しても、上述した実施形態1〜5と同様の
効果を得ることができる。
In the first to third embodiments described above, the drive means is the first virtual disk 110 and the second virtual disk 11
1, the second virtual disk 111 and the third virtual disk 112
The polishing surface plate 10 was driven so that and move while rotating without rotating, and the trajectory of each relative movement was made to be a roulette shape. However, the present invention is not limited to this, and sliding while rotating. The polishing platen may be driven so as to move. Even if the driving means drives the polishing platen in this manner, the same effects as those of the above-described first to fifth embodiments can be obtained.

【0078】[0078]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の端面研磨
装置及び端面研磨方法によれば、治具盤を所定直径を有
する第1の仮想円盤に固定し、第1の仮想円盤を自転さ
せながら第2の仮想円盤の円周に沿って移動し且つ第2
の仮想円盤を自転させながら第3の仮想円盤の円周に沿
って移動するように治具盤に対して相対移動するように
研磨盤を駆動する駆動手段を設けるようにしたため、研
磨シートの寿命を長くすることができると共に棒状部材
の研磨精度を向上することができる。また、研磨シート
を効率よく使用することで、研磨時間を短縮することが
できる。
As described above, according to the end surface polishing apparatus and the end surface polishing method of the present invention, the jig disk is fixed to the first virtual disk having a predetermined diameter, and the first virtual disk is rotated. While moving along the circumference of the second virtual disk and
Since the driving means for driving the polishing disk is provided so as to move relative to the jig disk so as to move along the circumference of the third virtual disk while rotating the virtual disk of FIG. Can be lengthened and the accuracy of polishing the rod-shaped member can be improved. Further, by using the polishing sheet efficiently, the polishing time can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施形態1に係る端面研磨装置の要部
断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of an end surface polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態1に係る端面研磨装置の駆動
手段の特徴部を示す概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a characteristic portion of a driving unit of the end surface polishing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施形態1に係る治具盤の斜視図及び
端面研磨装置の要部断面図である。
FIG. 3 is a perspective view of a jig board and a cross-sectional view of a main part of an end surface polishing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.

【図4】本発明の実施形態1に係る軌跡を描くための仮
想の円盤を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a virtual disk for drawing a trajectory according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施形態1に係る棒状部材の研磨シー
トに対する相対移動を表す軌跡を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a locus indicating relative movement of the rod-shaped member with respect to the polishing sheet according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施形態2に係る棒状部材の研磨シー
トに対する相対移動を表す軌跡を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a locus indicating relative movement of a rod-shaped member with respect to a polishing sheet according to a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施形態3に係る棒状部材の研磨シー
トに対する相対移動を表す軌跡を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a locus indicating relative movement of a rod-shaped member with respect to a polishing sheet according to a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施形態4に係る端面研磨装置の軸構
造を示す概略断面図である。
FIG. 8 is a schematic sectional view showing a shaft structure of an end surface polishing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施形態5に係る端面研磨装置の軸構
造を示す概略断面図である。
FIG. 9 is a schematic sectional view showing a shaft structure of an end surface polishing apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.

【図10】従来技術に係る棒状部材の研磨シートに対す
る相対移動を表す軌跡を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a locus representing relative movement of a rod-shaped member with respect to a polishing sheet according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 研磨定盤 11 弾性体 12 研磨シート 20 装置本体 30 第1の公転軸 31 フランジ部 40 自転軸 40A 自転歯車 50、51、52 伝達歯車 60 駆動モータ 70 第2の公転軸 80 治具盤 90 治具盤本体 100 保持部材 110 第1の仮想円盤 111 第2の仮想円盤 112 第3の仮想円盤 10 Polishing surface plate 11 elastic body 12 Polishing sheet 20 Device body 30 First revolution axis 31 Flange 40 rotation axis 40A rotating gear 50, 51, 52 transmission gears 60 drive motor 70 Second revolution axis 80 jig board 90 Jig board body 100 holding member 110 First virtual disk 111 Second virtual disk 112 Third virtual disk

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 6/00 335 G02B 6/00 335 Fターム(参考) 2H038 CA22 3C034 AA07 AA19 BB01 BB21 BB26 CB20 DD08 3C043 BC00 CC04 CC07 DD02 3C049 AA07 AA11 AB08 CA01 3C058 AA07 AA11 AA16 CA01 CB01 CB03 DA09 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G02B 6/00 335 G02B 6/00 335 F term (reference) 2H038 CA22 3C034 AA07 AA19 BB01 BB21 BB26 CB20 DD08 3C043 BC00 CC04 CC07 DD02 3C049 AA07 AA11 AB08 CA01 3C058 AA07 AA11 AA16 CA01 CB01 CB03 DA09

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 装置本体に回転揺動可能に支持された研
磨盤に装着された研磨部材により治具盤に装着された棒
状部材を押し付けて研磨する端面研磨装置において、 前記治具盤を所定直径を有する第1の仮想円盤に固定し
て、当該第1の仮想円盤を自転させながら第2の仮想円
盤の円周に沿って移動し且つ当該第2の仮想円盤を自転
させながら第3の仮想円盤の円周に沿って移動するよう
に、前記研磨盤を前記治具盤に対して相対移動するよう
に駆動する駆動手段を具備することを特徴とする端面研
磨装置。
1. An end surface polishing apparatus for pressing and polishing a rod-shaped member mounted on a jig plate by a polishing member mounted on a polishing plate, which is rotatably and rotatably supported by an apparatus body, wherein the jig plate is predetermined. It is fixed to a first virtual disk having a diameter, moves along the circumference of the second virtual disk while rotating the first virtual disk, and rotates while rotating the second virtual disk to the third virtual disk. An end surface polishing apparatus comprising a drive means for driving the polishing disk so as to move relative to the jig disk so as to move along the circumference of a virtual disk.
【請求項2】 請求項1記載の端面研磨装置において、
前記駆動手段は、前記第2の仮想円盤の直径が前記第3
の仮想円盤の半径よりも小さくなるように前記研磨盤を
駆動することを特徴とする端面研磨装置。
2. The end surface polishing apparatus according to claim 1,
In the driving means, the diameter of the second virtual disk is the third
2. An end surface polishing apparatus which drives the polishing disk so as to be smaller than the radius of the virtual disk.
【請求項3】 請求項1又は2記載の端面研磨装置にお
いて、前記駆動手段は、前記第1の仮想円盤の直径が前
記第2の仮想円盤の半径よりも小さくなるように前記研
磨盤を駆動することを特徴とする端面研磨装置。
3. The end surface polishing apparatus according to claim 1, wherein the driving unit drives the polishing disk so that a diameter of the first virtual disk is smaller than a radius of the second virtual disk. An end surface polishing device characterized by:
【請求項4】 請求項1〜3の何れか記載の端面研磨装
置において、前記駆動手段は、前記第1の仮想円盤が自
転しながら前記第2の仮想円盤の円周上を滑ることなく
移動するように前記研磨盤を駆動することを特徴とする
端面研磨装置。
4. The end surface polishing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the drive means moves without sliding on the circumference of the second virtual disk while the first virtual disk rotates. An end surface polishing apparatus, characterized in that the polishing disk is driven so that
【請求項5】 請求項1〜4の何れか記載の端面研磨装
置において、前記駆動手段は、前記第2の仮想円盤が自
転しながら前記第3の仮想円盤の円周上を滑ることなく
移動するように前記研磨盤を駆動することを特徴とする
端面研磨装置。
5. The end surface polishing apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the driving unit moves without sliding on the circumference of the third virtual disk while the second virtual disk rotates. An end surface polishing apparatus, characterized in that the polishing disk is driven so that
【請求項6】 請求項1〜5の何れか記載の端面研磨装
置において、前記治具盤が前記第2の仮想円盤との相対
移動により描く軌跡が、ルーレット形状であることを特
徴とする端面研磨装置。
6. The end surface polishing apparatus according to claim 1, wherein a locus drawn by the jig plate relative to the second virtual disk has a roulette shape. Polishing equipment.
【請求項7】 請求項6記載の端面研磨装置において、
各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第1の仮想
円盤の円周上であり、前記ルーレット形状が内サイクロ
イドであることを特徴とする端面研磨装置。
7. The end surface polishing apparatus according to claim 6,
An end surface polishing apparatus, wherein a fixing position of each rod-shaped member to the polishing disk is on a circumference of the first virtual disk, and the roulette shape is an inner cycloid.
【請求項8】 請求項6記載の端面研磨装置において、
各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第1の円盤
の半径上又は半径方向外側の延長線上であり、前記ルー
レット形状が内トロコイドであることを特徴とする端面
研磨装置。
8. The end surface polishing apparatus according to claim 6,
An end surface polishing apparatus, wherein a fixing position of each rod-shaped member to the polishing disk is on a radius of the first disk or on an extension line outside in the radial direction, and the roulette shape is an inner trochoid.
【請求項9】 請求項1〜8の何れか記載の端面研磨装
置において、前記駆動手段は、前記研磨盤の中心から偏
心位置に接続された第1の公転軸と、該第1の公転軸を
回転中心とする自転軸と、該自転軸が偏心位置に設けら
れた第2の公転軸とを具備することを特徴とする端面研
磨装置。
9. The end surface polishing apparatus according to claim 1, wherein the drive means includes a first revolution shaft connected to an eccentric position from the center of the polishing plate, and the first revolution shaft. An end surface polishing apparatus comprising: a rotation shaft having a rotation center as a rotation center; and a second revolution shaft having the rotation shaft provided at an eccentric position.
【請求項10】 請求項1〜8の何れか記載の端面研磨
装置において、前記駆動手段は、前記研磨盤の中心に接
続された自転軸と、該自転軸が偏心位置に設けられた第
1の公転軸と、該第1の公転軸が偏心位置に設けられた
第2の公転軸とを具備することを特徴とする端面研磨装
置。
10. The end surface polishing apparatus according to any one of claims 1 to 8, wherein the drive means has a rotation shaft connected to the center of the polishing plate and a first rotation shaft provided at an eccentric position. And an orbital revolving shaft, and a second revolving shaft having the first orbital revolving shaft provided at an eccentric position.
【請求項11】 請求項9又は10記載の端面研磨装置
において、前記駆動手段は、前記装置本体に固定された
内歯車と、該内歯車に噛み合う第1の伝達歯車と、該第
1の伝達歯車側端部と反対側の端部に第2の伝達歯車を
有する回転軸と、前記第2の伝達歯車に噛み合う外歯車
とを具備することを特徴とする端面研磨装置。
11. The end surface polishing apparatus according to claim 9, wherein the driving means includes an internal gear fixed to the apparatus main body, a first transmission gear meshed with the internal gear, and the first transmission. An end surface polishing apparatus comprising: a rotating shaft having a second transmission gear at an end opposite to a gear-side end; and an external gear that meshes with the second transmission gear.
【請求項12】 請求項8〜11の何れか記載の端面研
磨装置において、前記第1の公転軸が公転用タイミング
ベルトを介して駆動モータと接続されていることを特徴
とする端面研磨装置。
12. The end surface polishing apparatus according to claim 8, wherein the first revolving shaft is connected to a drive motor via a revolving timing belt.
【請求項13】 請求項12記載の端面研磨装置におい
て、前記自転軸が自転用タイミングベルトを介して前記
駆動モータと接続されていることを特徴とする端面研磨
装置。
13. The end surface polishing apparatus according to claim 12, wherein the rotation shaft is connected to the drive motor via a rotation timing belt.
【請求項14】 装置本体に回転揺動可能に支持された
研磨盤に装着された研磨部材により治具盤に装着された
棒状部材を押し付けて研磨する端面研磨方法において、 前記治具盤を所定直径を有する第1の仮想円盤に固定
し、当該第1の仮想円盤を自転させながら第2の仮想円
盤の円周に沿って移動し且つ当該第2の仮想円盤を自転
させながら第3の仮想円盤の円周に沿って移動するよう
に前記治具盤に対して相対移動するように前記研磨盤を
駆動して前記棒状部材を研磨することを特徴とする端面
研磨方法。
14. An end surface polishing method in which a rod-shaped member mounted on a jig plate is pressed by a polishing member mounted on a polishing plate, which is rotatably and oscillatably supported by an apparatus main body, to polish the jig plate. It is fixed to a first virtual disk having a diameter, moves along the circumference of the second virtual disk while rotating the first virtual disk, and rotates while rotating the second virtual disk to the third virtual disk. An end surface polishing method comprising: driving the polishing plate so as to move relative to the jig plate so as to move along the circumference of the disk to polish the rod-shaped member.
【請求項15】 請求項14記載の端面研磨方法におい
て、前記研磨盤を前記第2の仮想円盤の直径が前記第3
の仮想円盤の半径よりも小さくなるように駆動すること
を特徴とする端面研磨方法。
15. The end surface polishing method according to claim 14, wherein the polishing disk has a diameter of the second virtual disk that is the third virtual disk.
The end surface polishing method is characterized by driving so as to be smaller than the radius of the virtual disk.
【請求項16】 請求項14又は15記載の端面研磨方
法において、前記研磨盤を前記第1の仮想円盤の直径が
前記第2の仮想円盤の半径よりも小さくなるように駆動
することを特徴とする端面研磨方法。
16. The end surface polishing method according to claim 14, wherein the polishing disk is driven so that the diameter of the first virtual disk is smaller than the radius of the second virtual disk. End face polishing method.
【請求項17】 請求項14〜16の何れか記載の端面
研磨方法において、前記研磨盤を前記第1の仮想円盤が
自転しながら前記第2の仮想円盤の円周上を滑ることな
く移動するように駆動することを特徴とする端面研磨方
法。
17. The end surface polishing method according to any one of claims 14 to 16, wherein the polishing disk is moved without sliding on the circumference of the second virtual disk while the first virtual disk rotates. A method for polishing an end surface, characterized in that the end surface polishing method comprises:
【請求項18】 請求項14〜17の何れか記載の端面
研磨方法において、前記研磨盤を前記第2の仮想円盤が
回転しながら前記第3の仮想円盤の円周上を滑ることな
く移動するように駆動することを特徴とする端面研磨方
法。
18. The end surface polishing method according to claim 14, wherein the polishing disk is moved without sliding on the circumference of the third virtual disk while the second virtual disk is rotating. A method for polishing an end surface, characterized in that the end surface polishing method comprises:
【請求項19】 請求項14〜18の何れか記載の端面
研磨方法において、前記研磨盤が前記第2の円盤との相
対移動により描く軌跡が、ルーレット形状であることを
特徴とする端面研磨研磨方法。
19. The end surface polishing method according to claim 14, wherein a locus drawn by the relative movement of the polishing disk with respect to the second disk has a roulette shape. Method.
【請求項20】 請求項19記載の端面研磨方法におい
て、各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第1の
仮想円盤の円周上であり、前記ルーレット形状が内サイ
クロイドであることを特徴とする端面研磨方法。
20. The end surface polishing method according to claim 19, wherein the fixing position of each rod-shaped member to the polishing disk is on the circumference of the first virtual disk, and the roulette shape is an inner cycloid. A characteristic end surface polishing method.
【請求項21】 請求項19記載の端面研磨方法におい
て、各棒状部材の前記研磨盤への固定位置が前記第1の
仮想円盤の半径上又は半径方向外側の延長線上であり、
前記ルーレット形状が内トロコイドであることを特徴と
する端面研磨方法。
21. The end surface polishing method according to claim 19, wherein a fixing position of each rod-shaped member to the polishing disk is on a radius of the first virtual disk or an extension line on an outer side in a radial direction,
An end surface polishing method, wherein the roulette shape is an inner trochoid.
【請求項22】 請求項14〜21の何れか記載の端面
研磨方法において、前記駆動をX−Yテーブルで行うこ
とを特徴とする端面研磨方法。
22. The end surface polishing method according to any one of claims 14 to 21, wherein the driving is performed by an XY table.
【請求項23】 請求項14〜22の何れか記載の端面
研磨方法において、前記研磨盤の駆動速度を可変するこ
とを特徴とする端面研磨方法。
23. The end surface polishing method according to any one of claims 14 to 22, wherein the drive speed of the polishing disk is varied.
JP2001250357A 2001-08-21 2001-08-21 Polishing device for end face and method therefor Withdrawn JP2003062742A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001250357A JP2003062742A (en) 2001-08-21 2001-08-21 Polishing device for end face and method therefor
US10/199,818 US20030040263A1 (en) 2001-08-21 2002-07-19 End face polishing apparatus and method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001250357A JP2003062742A (en) 2001-08-21 2001-08-21 Polishing device for end face and method therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003062742A true JP2003062742A (en) 2003-03-05

Family

ID=19079191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001250357A Withdrawn JP2003062742A (en) 2001-08-21 2001-08-21 Polishing device for end face and method therefor

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20030040263A1 (en)
JP (1) JP2003062742A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008246671A (en) * 2008-07-24 2008-10-16 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical connector end surface processing device
JP2014073538A (en) * 2012-10-02 2014-04-24 Sanshin Seiki:Kk Grinding apparatus
JP2016030310A (en) * 2014-07-28 2016-03-07 株式会社三井ハイテック Punch polishing device and punch polishing method
CN113211211A (en) * 2021-05-24 2021-08-06 深圳意创通讯科技有限公司 Portable multicore fiber connector grinding device

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7217174B1 (en) * 2006-04-07 2007-05-15 Mf Lightwave, Inc Portable optical fiber polisher
CN204094611U (en) * 2014-07-02 2015-01-14 深圳日海通讯技术股份有限公司 A kind of fiber end face mill
CN107639487B (en) * 2017-11-03 2023-10-13 福建省华隆机械有限公司 Stone polishing machine
US20200009701A1 (en) * 2018-07-09 2020-01-09 Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Polishing protocol for zirconium diboride based ceramics to be implemented into optical systems
CN109176301B (en) * 2018-10-12 2023-09-15 济南大学 Automatic grinding device for test piece
CN113953956A (en) * 2020-07-28 2022-01-21 苏州君达金属制品有限公司 Polishing mechanism for aluminum alloy anodic oxidation
CN115319544B (en) * 2022-08-22 2023-07-14 邯郸新兴特种管材有限公司 Simple device for improving surface finish of extruded short blank by using common lathe
CN115741415B (en) * 2022-12-07 2023-06-16 西可装备制造(衡阳)有限公司 Novel polishing equipment

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008246671A (en) * 2008-07-24 2008-10-16 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical connector end surface processing device
JP2014073538A (en) * 2012-10-02 2014-04-24 Sanshin Seiki:Kk Grinding apparatus
JP2016030310A (en) * 2014-07-28 2016-03-07 株式会社三井ハイテック Punch polishing device and punch polishing method
CN113211211A (en) * 2021-05-24 2021-08-06 深圳意创通讯科技有限公司 Portable multicore fiber connector grinding device

Also Published As

Publication number Publication date
US20030040263A1 (en) 2003-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002210644A (en) End surface polishing device
JP2003062742A (en) Polishing device for end face and method therefor
EP0900630A2 (en) End-face polishing and cleaning apparatus
KR101527961B1 (en) grinding apparatus of optical fiver
KR20040019918A (en) Polishing machine
EP1415762B1 (en) Apparatus for and method of machining of optical connector end
US6471570B1 (en) End surface polishing machine
JP2001259987A (en) End face polishing device
KR102390794B1 (en) Gear apparatus, manufacturing method of involute gear, and manufacturing method of gear apparatus
JP3074377B2 (en) End face polishing apparatus and polishing method
JP2000301444A (en) Polishing member
US6800021B2 (en) End face polishing apparatus
JP3233262B2 (en) Edge polishing machine
JPH10235542A (en) End face grinding method and device therefor
JP3773072B2 (en) Polishing apparatus and polishing method
JP3074376B2 (en) Edge polishing machine
CN110394697B (en) Steel pipe equipment of polishing
JPH0418991B2 (en)
JP2001179600A (en) Dresser
JP3587505B2 (en) Polishing carrier
JPH03234457A (en) Polishing device for connected end face of optical fiber
JP2002018691A (en) Polisher
JPS63300857A (en) Polisher
JP2001030154A (en) End surface polishing device
JPH0929599A (en) Spherically processing method and device therefor

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20040303

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20051021

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20070730

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080806

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090430

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090512

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090915