JP2003060338A - Apparatus and method for mounting semiconductor component - Google Patents

Apparatus and method for mounting semiconductor component

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JP2003060338A
JP2003060338A JP2001248762A JP2001248762A JP2003060338A JP 2003060338 A JP2003060338 A JP 2003060338A JP 2001248762 A JP2001248762 A JP 2001248762A JP 2001248762 A JP2001248762 A JP 2001248762A JP 2003060338 A JP2003060338 A JP 2003060338A
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JP
Japan
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semiconductor component
lead
light beam
leads
irradiation
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JP2001248762A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshitaka Chigi
慶隆 千木
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M S TEC KK
Original Assignee
M S TEC KK
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solder a substrate, while avoiding adverse influence to an IC chip main body. SOLUTION: An elliptic mirror 3 converges the irradiation light of a xenon lamp 2 and converts in into a light beam. The irradiation position of the light beam can be moved to X direction and Y direction by an X-Y galvano mirror 5. A controller 7 controls the angle of the X-Y galvano mirror 5. Thus, a pad 17 part where the respective leads of an IC chip 10 are loaded is irradiated with the light beams. The controller 7 controls the X-Y galvano mirror 5, so that the light beams make circular scans of the respective leads for 100 times at the speed of 100 mm/second. Thus, respective solders in the pad part can be bonded almost simultaneously.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の技術分野】この発明は、複数のリードを有する
半導体部品の基板への取付方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method of mounting a semiconductor component having a plurality of leads on a substrate.

【0002】[0002]

【従来技術とその課題】複数のリードを備えたICチッ
プを基板に実装する装置として、YAGレーザを用いる
方法が提案されている。しかし、かかるレーザを用いた
加熱方法では、局所加熱になるので、はんだ部の温度ム
ラが大きく、はんだ部にクラックが発生したり、先には
んだ付けされた側が収縮して反対側が浮いてしまって、
うまくはんだ付けができない。さらに、レーザ光は局所
的にエネルギーが供給されるので、はんだが飛び散るお
それもある。
2. Description of the Related Art A method using a YAG laser has been proposed as an apparatus for mounting an IC chip having a plurality of leads on a substrate. However, in the heating method using such a laser, since the local heating is performed, the temperature unevenness of the solder part is large, the solder part cracks, or the side soldered earlier contracts and the opposite side floats. ,
I can't solder well. Further, since the laser light is locally supplied with energy, solder may be scattered.

【0003】かかる問題を回避するために、ICチップ
全体を温風等で暖めることも考えられるが、これでは、
ICチップ内の半導体部品自体にも熱が与えられるの
で、品質の劣化につながる。
In order to avoid such a problem, it is conceivable to heat the entire IC chip with warm air or the like.
Heat is also applied to the semiconductor components themselves in the IC chip, which leads to deterioration in quality.

【0004】この発明は上記の問題点を解決し、半導体
部分には悪影響がなく、かつ、複数のリードを有する半
導体部品を容易に取付基板に実装することができる実装
装置または実装能方法を提供することを目的とする。
The present invention solves the above problems and provides a mounting apparatus or mounting capability method that does not adversely affect the semiconductor portion and can easily mount a semiconductor component having a plurality of leads on a mounting substrate. The purpose is to do.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段および発明の効果】1)本
発明にかかる半導体部品実装装置は、本体および前記本
体から突出するように外装された複数のリードを備えた
半導体部品について、取付基板のリード接合部に前記各
リードをはんだ付けする半導体部品実装装置であって、
A)光ビームを照射する照射手段、B)前記照射された
光ビームの照射位置を移動可能な照射位置変更手段、
C)前記光ビームの照射位置が前記半導体部品の各リー
ド上を巡回走査するよう前記照射位置変更手段を制御す
る制御手段を備え、D)前記制御手段は、各リード接合
部に供給されたはんだを接合可能状態まで溶解するのに
必要なエネルギーが複数回に分配されて各リードに供給
されるように、前記照射位置変更手段を制御する。した
がって、各リード接合部に供給されたはんだがほぼ同時
に接合可能状態まで溶解できる。これにより、必要な部
分だけをむらなく暖めることができ、はんだの飛散等も
生じない。また、各リード接合部に供給されたはんだが
ほぼ同時に接合可能状態まで溶解することにより、片側
のリードだけが浮いてしまうなどの問題がなく、また、
半導体部品はセルフアライン作用で取付基板に位置決め
される。
1) A semiconductor component mounting apparatus according to the present invention is a semiconductor component mounting apparatus, in which a semiconductor component having a main body and a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body is mounted on a mounting substrate. A semiconductor component mounting device for soldering each of the leads to a lead joint part,
A) irradiation means for irradiating the light beam, B) irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam,
C) A control unit is provided to control the irradiation position changing unit so that the irradiation position of the light beam cyclically scans each lead of the semiconductor component, and D) the control unit is the solder supplied to each lead joint. The irradiation position changing means is controlled so that the energy required for melting the wafer to a bondable state is distributed to the leads in plural times. Therefore, the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state almost at the same time. As a result, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. Also, since the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, there is no problem that only one lead floats.
The semiconductor component is positioned on the mounting substrate by the self-aligning action.

【0006】2)本発明にかかる半導体部品実装装置に
おいては、前記制御手段は、あるリードに光ビーム照射
した後、つぎにそのリードに照射するまでに、そのリー
ド接合部のはんだの溶解が凝固方向にならない程度の巡
回走査速度で前記制御を行う。したがって、複数回に分
配されて各リードに溶解エネルギーを供給した場合に、
供給されているはんだを確実に溶解することができる。
2) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, the control means solidifies the melting of the solder at the lead joint portion after irradiating a certain lead with a light beam until the next irradiation of the lead. The control is performed at a cyclic scanning speed that does not cause the direction. Therefore, when the melting energy is supplied to each lead by dividing into multiple times,
The supplied solder can be reliably melted.

【0007】3)本発明にかかる半導体部品実装装置に
おいては、前記制御手段は、各リードに照射されるエネ
ルギー量と当該リードへの巡回走査数に応じて変化する
よう制御する。これにより、はんだ溶解の進行度に合わ
せた照射が可能となる。
3) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, the control means controls so as to change in accordance with the amount of energy applied to each lead and the number of cyclic scans to the lead. As a result, it becomes possible to perform irradiation in accordance with the progress of solder melting.

【0008】4)本発明にかかる半導体部品実装装置に
おいては、前記制御手段は、照射エネルギー程度は、当
該リードへの巡回走査数が少ないうちは小さく、多くな
ると大きくなるよう制御する。したがって、はんだが溶
け出すまでゆっくりと、溶け始めると一気に溶解させる
ことができる。
4) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, the control means controls the irradiation energy so that it is small when the number of cyclic scans to the lead is small and becomes large when it is large. Therefore, the solder can be melted slowly until it begins to melt, and once it begins to melt.

【0009】5)本発明にかかる半導体部品実装装置に
おいては、前記制御手段は、照射エネルギー程度は、前
記はんだが接合可能状態の溶解温度に達するまでは少な
目に、達する直前は多くなるよう制御する。したがっ
て、はんだが溶け出すまでゆっくりと、溶け始めると一
気に溶解させることができる。
5) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, the control means controls the irradiation energy so that the irradiation energy is low until the melting temperature of the solder is in a bondable state and is high immediately before the melting temperature. . Therefore, the solder can be melted slowly until it begins to melt, and once it begins to melt.

【0010】6)本発明にかかる半導体部品実装装置に
おいては、前記制御手段は、前記照射手段から照射され
る光ビームの強度を制御することにより照射エネルギー
を変化させる。したがって、照射エネルギーを簡易に変
えることができる。
6) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, the control means changes the irradiation energy by controlling the intensity of the light beam emitted from the irradiation means. Therefore, the irradiation energy can be easily changed.

【0011】7)本発明にかかる半導体部品実装装置に
おいては、前記照射手段は、キセノンランプおよびキセ
ノンランプの照射光を集光する楕円レンズを備えてい
る。したがって、簡易な機構で、照射手段を構成するこ
とができる。
7) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, the irradiation means includes a xenon lamp and an elliptical lens for converging the irradiation light of the xenon lamp. Therefore, the irradiation means can be configured with a simple mechanism.

【0012】8)本発明にかかる半導体部品実装装置に
おいては、A)1)ICチップパッケージ部および2)前記
パッケージ部から突出するように複数のリードが外装さ
れたICチップを、取付基板のパッドにはんだ付けする
ICチップ実装装置であって、B)光を照射するキセノ
ンランプ、C)キセノンランプの照射光を集光して光ビ
ームに変換する楕円ミラー、D)前記光ビームの照射位
置をX方向およびY方向に移動させるX−Yガルバノミ
ラー、E)前記光ビームの照射位置が前記ICチップの
全リード上を複数回巡回走査することにより、前記全パ
ッドに供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態に溶
解するように、前記X−Yガルバノミラーを制御するコ
ントローラを備えている。したがって、各パッドに供給
されたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解でき
る。これにより、必要な部分だけをむらなく暖めること
ができ、はんだの飛散等も生じない。また、各パッド部
に供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解
することにより、片側のリードだけが浮いてしまうなど
の問題がないとともに、前記ICチップをセルフアライ
ン作用で取付基板に位置決めすることができる。 9)本発明にかかる半導体部品実装装置においては、前
記制御手段は、ICチップ本体と前記各リードとの温度
差が許容量を超えないように、ICチップ本体上を前記
光ビームが走査するように、前記X−Yガルバノミラー
を制御する。したがって、IC本体と前記各リードとの
温度を適正範囲とし、これによりクラックの発生を防止
できる。
8) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, A) 1) an IC chip package part and 2) an IC chip having a plurality of leads so as to project from the package part is mounted on a pad of a mounting substrate. An IC chip mounting device for soldering to, wherein B) a xenon lamp for irradiating light, C) an elliptical mirror for converging the irradiation light of the xenon lamp and converting it into a light beam, and D) an irradiation position of the light beam. XY galvanometer mirrors that move in the X and Y directions, E) The irradiation position of the light beam scans all the leads of the IC chip a plurality of times so that the solder supplied to all the pads is almost simultaneously A controller for controlling the XY galvanometer mirror is provided so that the XY galvanometer mirror is melted in a joinable state. Therefore, the solder supplied to each pad can be melted to a joinable state almost at the same time. As a result, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. Further, since the solder supplied to each pad portion is melted to a joinable state almost at the same time, there is no problem that only one lead floats, and the IC chip is positioned on the mounting substrate by a self-aligning action. be able to. 9) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, the control means causes the light beam to scan the IC chip body so that the temperature difference between the IC chip body and each lead does not exceed an allowable amount. First, the XY galvanometer mirror is controlled. Therefore, the temperatures of the IC body and each of the leads are set within an appropriate range, and thus the occurrence of cracks can be prevented.

【0013】10)本発明にかかる半導体部品実装装置
においては、A)1)本体および2)前記本体から突出する
ように外装された複数のリードを備えた半導体部品につ
いて、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ
付けする半導体部品実装装置であって、B)光ビームを
照射する照射手段、C)前記照射された光ビームの照射
位置を移動可能な照射位置変更手段、D)前記光ビーム
の照射位置が前記半導体部品の各リード上を巡回走査す
るよう前記照射位置変更手段を制御する制御手段を備
え、E)前記制御手段は、各リード接合部に供給された
はんだが接合可能状態の溶解温度に達するまで、前記光
ビームを時系列分配照射するように、前記照射位置変更
手段を制御する。したがって、各リード接合部に供給さ
れたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解できる。
これにより、必要な部分だけをむらなく暖めることがで
き、はんだの飛散等も生じない。また、各リード接合部
に供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解
することにより、片側のリードだけが浮いてしまうなど
の問題がないとともに、前記半導体部品はセルフアライ
ン作用で取付基板に位置決めされる。
10) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, A) 1) a main body and 2) a semiconductor component having a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, the lead joint portion of the mounting substrate. A semiconductor component mounting apparatus for soldering each of the leads to, B) irradiation means for irradiating a light beam, C) irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam, and D) the light. Equipped with a control means for controlling the irradiation position changing means so that the irradiation position of the beam cyclically scans each lead of the semiconductor component, and E) the control means is in a state in which the solder supplied to each lead bonding portion can be bonded. The irradiation position changing means is controlled so as to irradiate the light beam in a time series manner until the melting temperature is reached. Therefore, the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state almost at the same time.
As a result, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. In addition, there is no problem that the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, so that only one lead floats, and the semiconductor component is self-aligned to the mounting substrate. To be done.

【0014】11)本発明にかかる半導体部品実装装置
においては、A)1)本体および2)前記本体から突出する
ように外装された複数のリードを備えた半導体部品につ
いて、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ
付けする装置であって、B)光ビームを照射する照射手
段、C)前記照射された光ビームの照射位置を移動可能
な照射位置変更手段、D)前記光ビームの照射位置が前
記半導体部品の各リード上を巡回走査するよう前記照射
位置変更手段を制御する制御手段を備え、E)前記制御
手段は、各リード接合部に供給されたはんだを接合可能
状態に溶解するのに必要なエネルギーが複数回で各リー
ドに供給されるよう、前記光ビームを時系列分配照射す
る。したがって、各リード接合部に供給されたはんだが
ほぼ同時に接合可能状態まで溶解できる。これにより、
必要な部分だけをむらなく暖めることができ、はんだの
飛散等も生じない。また、各リード接合部に供給された
はんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解することによ
り、片側のリードだけが浮いてしまうなどの問題がない
とともに、前記半導体部品はセルフアライン作用で取付
基板に位置決めされる。 12)本発明にかかる半導体部品実装装置においては、
A)1)本体および2)前記本体から突出するように外装さ
れた複数のリードを備えた半導体部品について、取付基
板のリード接合部に前記各リードをはんだ付けする装置
であって、B)光ビームを照射する照射手段、C)前記
照射された光ビームの照射位置を移動可能な照射位置変
更手段、D)前記光ビームの照射位置が前記半導体部品
の各リード上を巡回走査するよう前記照射位置変更手段
を制御する制御手段を備え、E)前記制御手段は、各リ
ード接合部に供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状
態まで溶解できるように、前記照射位置変更手段を制御
する。したがって、必要な部分だけをむらなく暖めるこ
とができ、はんだの飛散等も生じない。また、各リード
接合部に供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態ま
で溶解することにより、片側のリードだけが浮いてしま
うなどの問題がないとともに、前記半導体部品はセルフ
アライン作用で取付基板に位置決めされる。
11) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention, A) 1) a main body and 2) a semiconductor component having a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, the lead joint portion of the mounting substrate. An apparatus for soldering each of the leads to B) an irradiation means for irradiating a light beam, C) an irradiation position changing means for moving an irradiation position of the irradiated light beam, and D) an irradiation of the light beam. Equipped with control means for controlling the irradiation position changing means so that the position cyclically scans on each lead of the semiconductor component, and E) the control means melts the solder supplied to each lead joining portion to a joinable state. The light beam is time-sequentially distributed and irradiated so that the energy necessary for the above is supplied to each lead a plurality of times. Therefore, the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state almost at the same time. This allows
Only necessary parts can be heated evenly, and solder scattering does not occur. In addition, there is no problem that the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, so that only one lead floats, and the semiconductor component is self-aligned to the mounting substrate. To be done. 12) In the semiconductor component mounting apparatus according to the present invention,
A) A device for soldering each of the leads to a lead joint portion of a mounting board for a semiconductor component having a plurality of leads that are packaged so as to project from the body 1) and the body 2). Irradiation means for irradiating a beam, C) irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam, and D) irradiation so that the irradiation position of the light beam cyclically scans each lead of the semiconductor component. E) The control means controls the irradiation position changing means so that the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state almost at the same time. Therefore, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. In addition, there is no problem that the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, so that only one lead floats, and the semiconductor component is self-aligned to the mounting substrate. To be done.

【0015】13)本発明にかかる半導体部品実装方法
においては、A)1)本体および2)前記本体から突出する
ように外装された複数のリードを備えた半導体部品につ
いて、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ
付けする実装方法であって、B)各リード接合部に供給
されたはんだを接合可能状態まで溶解するのに必要なエ
ネルギーが複数回に分配されて各リードに供給されるよ
うに、前記光ビームを前記半導体部品の各リード上で巡
回走査照射する。したがって、各リード接合部に供給さ
れたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解できる。
これにより、必要な部分だけをむらなく暖めることがで
き、はんだの飛散等も生じない。また、各リード接合部
に供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解
することにより、片側のリードだけが浮いてしまうなど
の問題がないとともに、前記半導体部品はセルフアライ
ン作用で取付基板に位置決めされる。
13) In the method of mounting a semiconductor component according to the present invention, A) 1) a main body and 2) a semiconductor component having a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, a lead joint portion of a mounting substrate. In the mounting method of soldering the leads to B, the energy required for melting the solder supplied to the lead joints to a joinable state is distributed to the leads in plural times. Thus, the light beam is cyclically irradiated on each lead of the semiconductor component. Therefore, the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state almost at the same time.
As a result, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. In addition, there is no problem that the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, so that only one lead floats, and the semiconductor component is self-aligned to the mounting substrate. To be done.

【0016】14)本発明にかかる半導体部品実装方法
においては、本体および前記本体から突出するように外
装された複数のリードを備えた半導体部品について、取
付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付けする
実装方法であって、各リード接合部に供給されたはんだ
が接合可能状態の溶解温度に達するまで、前記光ビーム
を時系列分配照射する。したがって、各リード接合部に
供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解で
きる。これにより、必要な部分だけをむらなく暖めるこ
とができ、はんだの飛散等も生じない。また、各リード
接合部に供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態ま
で溶解することにより、片側のリードだけが浮いてしま
うなどの問題がないとともに、前記半導体部品はセルフ
アライン作用で取付基板に位置決めされる。
14) In the semiconductor component mounting method according to the present invention, with respect to a semiconductor component having a main body and a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, each of the leads is soldered to a lead joint portion of a mounting substrate. In the mounting method of attaching, the light beam is radiated in a time-series distribution manner until the solder supplied to each lead joint reaches a melting temperature in a joinable state. Therefore, the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state almost at the same time. As a result, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. In addition, there is no problem that the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, so that only one lead floats, and the semiconductor component is self-aligned to the mounting substrate. To be done.

【0017】15)本発明にかかる半導体部品実装方法
においては、本体および前記本体から突出するように外
装された複数のリードを備えた半導体部品について、取
付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付けする
実装方法であって、各リード接合部に供給されたはんだ
を接合可能状態に溶解するのに必要なエネルギーが複数
回で各リードに供給されるよう、光ビームを時系列分配
照射する。したがって、各リード接合部に供給されたは
んだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解できる。これに
より、必要な部分だけをむらなく暖めることができ、は
んだの飛散等も生じない。また、各リード接合部に供給
されたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで溶解するこ
とにより、片側のリードだけが浮いてしまうなどの問題
がないとともに、前記半導体部品はセルフアライン作用
で取付基板に位置決めされる。 16)本発明にかかる半導体部品実装方法においては、
本体および前記本体から突出するように外装された複数
のリードを備えた半導体部品について、取付基板のリー
ド接合部に前記各リードをはんだ付けする実装方法であ
って、各リード接合部に供給されたはんだがほぼ同時に
接合可能状態まで溶解できるように、光ビームを照射す
る。したがって、必要な部分だけをむらなく暖めること
ができ、はんだの飛散等も生じない。また、各リード接
合部に供給されたはんだがほぼ同時に接合可能状態まで
溶解することにより、片側のリードだけが浮いてしまう
などの問題がないとともに、前記半導体部品はセルフア
ライン作用で取付基板に位置決めされる。
15) In the semiconductor component mounting method according to the present invention, with respect to a semiconductor component having a main body and a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, each of the leads is soldered to a lead joint portion of a mounting substrate. In the mounting method, the light beam is time-divisionally distributed and irradiated so that the energy required to melt the solder supplied to each lead joint portion to a bondable state is supplied to each lead a plurality of times. Therefore, the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state almost at the same time. As a result, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. In addition, there is no problem that the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, so that only one lead floats, and the semiconductor component is self-aligned to the mounting substrate. To be done. 16) In the semiconductor component mounting method according to the present invention,
A semiconductor component having a main body and a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, is a mounting method of soldering each of the leads to a lead joint of a mounting substrate, and is supplied to each lead joint. The light beam is irradiated so that the solder can be melted to a bondable state almost at the same time. Therefore, it is possible to uniformly heat only a necessary portion, and the solder is not scattered. In addition, there is no problem that the solder supplied to each lead joint melts to a joinable state almost at the same time, so that only one lead floats, and the semiconductor component is self-aligned to the mounting substrate. To be done.

【0018】この発明において、「時系列分配照射」と
は、あるリードに照射を行い、そこで溶解に必要なエネ
ルギーを照射するのではなく、他のリードにも照射し
て、時間的に分割して、溶解に必要なエネルギーを複数
回に分けて照射することをいう。
In the present invention, "time-series distributed irradiation" does not mean that one lead is irradiated and the energy necessary for melting is not irradiated there, but other leads are also irradiated and divided in time. And irradiating the energy necessary for dissolution in a plurality of times.

【0019】また「巡回走査」とは、あるリードに照射
を行い、順次他のリードにも照射して、ふたたび、前記
あるリードにも照射することをいう。
The term "circular scanning" means that a certain lead is irradiated, then other leads are sequentially irradiated, and again the certain lead is irradiated.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1に、この発明の一実施形態に
よるICチップ実装装置の全体構成を示す。ICチップ
実装装置1は、ICチップ10を、取付基板15のパッ
ド17部に、はんだ付けして実装する装置であって、光
ビーム出射部2、X−Yガルバノミラー5、コントロー
ラ7を備えている。
FIG. 1 shows the overall configuration of an IC chip mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. The IC chip mounting device 1 is a device for mounting the IC chip 10 on the pads 17 of the mounting substrate 15 by soldering, and includes a light beam emitting unit 2, an XY galvanometer mirror 5, and a controller 7. There is.

【0021】ICチップ10は、ICチップパッケージ
部11および複数のリード12(12a、12b,12c,
・・・・、12n-1、12n)を備えている。各リードは
パッケージ部11から突出するように外装されている。
The IC chip 10 includes an IC chip package portion 11 and a plurality of leads 12 (12a, 12b, 12c,
..., 12n-1, 12n). Each lead is packaged so as to project from the package portion 11.

【0022】光ビーム出射部2は、キセノンランプおよ
び楕円ミラー(ともに図示せず)を備えている。本実施
形態においては、100Wのキセノンランプを採用し
た。楕円ミラーはキセノンランプの照射光を集光して光
ビームに変換する。
The light beam emitting section 2 is provided with a xenon lamp and an elliptical mirror (both not shown). In this embodiment, a 100 W xenon lamp is used. The elliptical mirror collects the irradiation light of the xenon lamp and converts it into a light beam.

【0023】X−Yガルバノミラー5は、ガルバノミラ
ー5a,5bで構成されている。ガルバノミラー5a,5
bによって光ビームの照射位置がX方向およびY方向に
移動可能である。
The XY galvanometer mirror 5 is composed of galvanometer mirrors 5a and 5b. Galvano mirror 5a, 5
The irradiation position of the light beam can be moved in the X and Y directions by b.

【0024】コントローラ7は、スキャン速度800mm
/秒で、図2に示すように、軌跡41のように、光ビー
ムが各リードの上を巡回走査するようX−Yガルバノミ
ラー5を制御する。これにより、ICチップ10の各リ
ードに光ビームを照射することができる。本実施形態に
おいては、はんだを溶解させるために、地点41a、4
1b、41c、41d、41aを1回として、これを1
00回繰り返すこととした。
The controller 7 has a scanning speed of 800 mm
2, the XY galvanometer mirror 5 is controlled so that the light beam cyclically scans over each lead, as shown in the locus 41, as shown in FIG. As a result, each lead of the IC chip 10 can be irradiated with the light beam. In the present embodiment, in order to melt the solder, the points 41 a, 4
1b, 41c, 41d, 41a is set as 1 time, and this is 1
It was decided to repeat it 00 times.

【0025】本装置を用いたICチップ10の取付基板
15への実装方法について説明する。取付基板15のパ
ッド17部にソルダーペーストを塗布し、ICチップ1
0を、図1に示すようにパッド17部に対応するリード
が位置するように、載置する。コントローラ7は、ビー
ム出射部2に照射開始指令を行うとともに、X−Yガル
バノミラー5を制御する。これにより、ICチップ10
の各リードに光ビームが照射され、各パッド部に塗布さ
れたソルダーペーストが溶け始める。
A method of mounting the IC chip 10 on the mounting substrate 15 using this device will be described. The solder paste is applied to the pads 17 of the mounting substrate 15 to form the IC chip 1
0 is placed so that the lead corresponding to the pad 17 portion is located as shown in FIG. The controller 7 issues an irradiation start command to the beam emitting unit 2 and controls the XY galvanometer mirror 5. As a result, the IC chip 10
The respective leads are irradiated with a light beam, and the solder paste applied to the respective pad portions begins to melt.

【0026】かかる状態変化を図3に示す。図3Aは溶
解前であり、図3Bが溶解時の状態である。本実施形態
においては、各リード上を光ビームをスキャンして複数
回照射によって、はんだを溶解するようにしているの
で、各パット部に塗布されたはんだは、ほぼ同時に図3
Bに示すような、溶解状態となる。
FIG. 3 shows such a state change. FIG. 3A shows a state before dissolution, and FIG. 3B shows a state during dissolution. In the present embodiment, the solder is melted by scanning the light beam on each lead and irradiating the leads a plurality of times, so that the solder applied to each pad portion is almost at the same time.
As shown in B, it will be in a dissolved state.

【0027】100回の走査が終了すると、コントロー
ラ7は、ビーム出射部2に光ビームの照射を中止する指
令を与える。これにより、はんだが冷えて固まり、IC
チップ10が取付基板15に実装される。はんだはほぼ
同じよう冷えることにより、ほぼ同じように凝固する。
したがって、そのときの収縮で全てのリードがパッドの
中央に引き寄せられ、セルフアライン作用によって、I
Cチップ10は適正位置にはんだ付けされる。
When the scanning of 100 times is completed, the controller 7 gives the beam emitting unit 2 a command to stop the irradiation of the light beam. As a result, the solder cools and solidifies, and the IC
The chip 10 is mounted on the mounting substrate 15. Cooling the solder in about the same way solidifies it in about the same way.
Therefore, the contraction at that time pulls all the leads to the center of the pad, and the self-aligning action causes I
The C chip 10 is soldered to the proper position.

【0028】このように、ICチップ10の必要な部分
にだけ熱を供給することができるので、ICチップパッ
ケージ部11内の半導体部品について不必要な熱が供給
されることがない。これより、耐熱性が劣った半導体部
品を内蔵したICチップの実装に適する。
In this way, heat can be supplied only to the necessary parts of the IC chip 10, so that unnecessary heat is not supplied to the semiconductor components in the IC chip package part 11. Therefore, it is suitable for mounting an IC chip containing a semiconductor component having poor heat resistance.

【0029】また、一旦取付基板に実装されたICチッ
プが不良で、これを取り外す場合には、全リード部のは
んだを溶解状態とする必要がある。従来は、かかる場合
に、高温の炉の中に入れたり、熱風をかけることにより
取り外していたが、この場合、ICチップパッケージ部
11もかなりの高温となり、マニュピュレーター等を用
いたとしても、ICチップパッケージ部11を保持する
のが困難であった。これに対して、本実施形態において
は、一旦取付基板に実装されたICチップを取り外す場
合には、必要な部分のみ光ビームが当たるだけなので、
ICチップパッケージ部11がそれほど高温にならな
い。したがって、このような交換作業にも適している。
Further, when the IC chip once mounted on the mounting substrate is defective and the IC chip is to be removed, it is necessary to melt the solder in all the lead portions. Conventionally, in such a case, it was put in a high temperature furnace or removed by applying hot air, but in this case, the IC chip package portion 11 also becomes a considerably high temperature, and even if a manipulator or the like is used, It was difficult to hold the IC chip package unit 11. On the other hand, in the present embodiment, when the IC chip once mounted on the mounting substrate is removed, the light beam only hits the necessary portion,
The IC chip package portion 11 does not become so hot. Therefore, it is also suitable for such replacement work.

【0030】本実施形態においては、炉を用いた場合の
ように、複数のICチップを複数の基板にまとめてはん
だ付けすることができない。一方、時間短縮のために、
むやみにはんだを溶解させると、はんだの飛び散りなど
の問題がある。そこで、以下のようにすることにより、
飛散を防止しつつ、実装時間をより短縮することができ
る。
In this embodiment, a plurality of IC chips cannot be collectively soldered to a plurality of substrates as in the case of using a furnace. On the other hand, to save time,
If the solder is unnecessarily melted, there is a problem such as scattering of the solder. So, by doing the following,
It is possible to further reduce the mounting time while preventing the scattering.

【0031】図4にはんだの温度と時間との関係を示
す。用いるはんだによって溶解に至るまでの適切な温度
条件が異なるが、一般的には以下のようである。1)予熱
温度(この場合80度)までは冷えた状態からのエネル
ギー供給であるので、はんだに高エネルギーを供給して
も、はんだが飛び散ったりすることはない。2)その後
は、所定時間(例えば10秒程度)、予熱温度またはそ
れよりもやや高い程度の温度とする。3)かかる保留時間
経過後は一気に温度を溶解温度(例えば200度)を超
えるまで上げる。このように、予熱温度までは一気に、
その後保留時間を設け、保留時間経過後は一気に温度を
上昇させることにより、飛散を防止しつつ、より高速に
はんだ付けをすることができる。
FIG. 4 shows the relationship between solder temperature and time. The appropriate temperature condition until melting depends on the solder used, but it is generally as follows. 1) Energy is supplied from a cold state up to the preheating temperature (80 degrees in this case), so even if high energy is supplied to the solder, the solder will not scatter. 2) After that, the preheating temperature or a temperature slightly higher than the preheating temperature is set for a predetermined time (for example, about 10 seconds). 3) After the holding time has elapsed, raise the temperature all at once until it exceeds the melting temperature (for example, 200 degrees). In this way, up to the preheat temperature,
After that, a holding time is provided, and after the holding time elapses, the temperature is raised at once, so that the soldering can be performed at a higher speed while preventing the scattering.

【0032】このような温度変化がおこるように照射エ
ネルギーおよびまたはスキャン速度を変更するようにす
ればよい。照射エネルギーは、例えば、ランプの出力1
00%でスタートし、予熱温度まで上昇する程度その状
態でスキャンし、その後、しばらく出力50%で保留
し、その後は再び100%までを調整するようにすれば
よい。
Irradiation energy and / or scan speed may be changed so that such a temperature change occurs. The irradiation energy is, for example, the output 1 of the lamp.
It is possible to start at 00%, scan in that state until the preheat temperature rises, hold for a while at output 50%, and then adjust again up to 100%.

【0033】なお、パッド部に供給されたエネルギー
は、取付基板およびICチップパッケージを介して、放
熱される。したがって、かかる放熱量を考慮して、供給
エネルギーを決定するようにすればよい。
The energy supplied to the pad portion is radiated through the mounting substrate and the IC chip package. Therefore, the supplied energy may be determined in consideration of the heat radiation amount.

【0034】また、図4において示したグラフは本実施
形態において用いたはんだ用のグラフであり、はんだの
種類が変われば溶解温度、予熱温度、保留時間などは変
わるのでそれに併せた照射が行われるようにコントロー
ラによる制御を変更すればよい。
Further, the graph shown in FIG. 4 is a graph for solder used in the present embodiment, and the melting temperature, the preheating temperature, the holding time, etc. are changed if the type of the solder is changed, and therefore irradiation is performed in accordance therewith. The control by the controller may be changed as follows.

【0035】また、取り付けた後、冷却すると収縮がお
こり、はんだ付けがとれてしまうことがある。これは、
取付基板、パッド部、リード、ICチップパッケージが
それぞれ収縮率が異なること、および暖まり度等が異な
るからである。例えば、本実施形態においては、リード
周辺に付与された照射エネルギーは、パッド部にも与え
られるが、一部は取付基板に吸収され、さらにその一部
は放熱される。ICチップパッケージについても同様で
ある。このような状況下では、はんだが溶解した状態で
セルフアラインされても、各部の収縮程度が異なること
により、はんだ部に亀裂(クラック)ができるおそれが
ある。その1つの要因は、本実施形態においては、IC
チップパッケージがほとんど加熱されない点にある。そ
こで、かかる問題を防止するために、内部部品に影響を
与えない程度、ICチップパッケージに光ビームを照射
するようにしてもよい。
When it is cooled after it is attached, shrinkage may occur and soldering may be lost. this is,
This is because the mounting substrate, the pad portion, the lead, and the IC chip package have different shrinkage rates and different warming degrees. For example, in the present embodiment, the irradiation energy applied to the periphery of the leads is also applied to the pad portion, but part of it is absorbed by the mounting substrate and part of it is dissipated. The same applies to the IC chip package. Under such circumstances, even if the solder is self-aligned in a molten state, cracks may occur in the solder portion due to different shrinkage of each portion. One of the factors is IC in this embodiment.
The point is that the chip package is hardly heated. Therefore, in order to prevent such a problem, the IC chip package may be irradiated with the light beam to the extent that the internal components are not affected.

【0036】なお、本実施形態においては、各リードに
ついて光ビームを複数回照射している。したがって、適
正な予熱を与えることができるので、はんだが飛散する
ことを防止できる。
In this embodiment, each lead is irradiated with the light beam a plurality of times. Therefore, since proper preheating can be applied, it is possible to prevent the solder from scattering.

【0037】このように、前記光ビームの照射位置が前
記ICチップの全リード上を複数回巡回走査することに
より、前記全パッドに供給されたはんだがほぼ同時に接
合可能状態に溶解するように、前記X−Yガルバノミラ
ーを制御する。したがって、各パッドと各リードがほぼ
同時に接合可能状態となる。これにより、局所的に高温
になったり、接続された側のみ収縮して逆側が浮いたり
するという問題なく、はんだ付けすることができる。
As described above, the irradiation position of the light beam scans all the leads of the IC chip a plurality of times so that the solders supplied to all the pads are melted into a bondable state almost at the same time. Control the XY galvanometer mirror. Therefore, each pad and each lead can be bonded almost simultaneously. As a result, the soldering can be performed without the problem that the temperature becomes locally high or only the connected side contracts and the opposite side floats.

【0038】なお、上記実施形態においては、ICチッ
プの側面4箇所にリードが設けられている場合について
説明したが、複数のリードが存在するICチップであれ
ば、どのようなタイプのものでも適用可能である。例え
ば、側面2箇所にリードが存在するものについても同様
に適用することができる。
In the above embodiment, the case where the leads are provided at the four side surfaces of the IC chip has been described, but any type of IC chip having a plurality of leads is applicable. It is possible. For example, the same can be applied to a case where leads are present at two side surfaces.

【0039】なお、前記巡回走査速度を変化させること
により照射エネルギーを変化させるようにしてもよい。
The irradiation energy may be changed by changing the cyclic scanning speed.

【0040】本実施形態においては、ガルバノミラーを
用いて走査するようにしたが、各リード部をスキャン照
射できるものであればどのようなものであってもよく、
例えば、光ビーム照射部2をX−Yステージに取り付け
て、スキャンする、光源は固定して置いて、ICチップ
の載置された取付基板自体をX−Yステージに取り付け
てスキャンする、ランプは固定しておき、楕円ミラーの
みを動かして、X−Y方向にスキャンする等でもよい。
In the present embodiment, the galvanomirror is used for scanning, but any type may be used as long as it can scan and irradiate each lead portion.
For example, the light beam irradiation unit 2 is mounted on an XY stage for scanning, the light source is fixed and placed, and the mounting substrate itself on which the IC chip is mounted is mounted on the XY stage for scanning. It is also possible to fix it and move only the elliptical mirror to scan in the XY directions.

【0041】なお、照射エネルギーの調整については、
カメラの絞り機構のようなものをキセノンランプと楕円
レンズとの間に設け、一部の照射をカットするようにし
てもよい。
Regarding the adjustment of irradiation energy,
A part such as a camera diaphragm mechanism may be provided between the xenon lamp and the elliptical lens to cut off a part of the irradiation.

【0042】また、ソルダーペーストは塗布ではなく、
ディスペンサーで供給するようにしてもよい。
The solder paste is not applied, but
You may make it supply with a dispenser.

【0043】なお、本実施形態においては、光ビーム出
射部の光源として、キセノンランプを用いたが、他のラ
ンプ、例えば、メタルハライドランプやハロゲンランプ
等を採用することもできる。
In this embodiment, the xenon lamp is used as the light source of the light beam emitting section, but other lamps such as a metal halide lamp and a halogen lamp may be used.

【0044】なお、光源としては最終的な照射面におい
て、直径2〜3mm程度となる照射が可能な光源がもっと
も望ましい。光源の特性としては、上記のうち放電灯の
場合は、電極間距離1〜2mm程度のもの、フィラメント
を用いている場合には、発光部の大きさが1〜2mm程度
のものが望ましい。なお、最終的な照射面において、直
径1〜5mm程度となる照射が可能な光源を採用してもよ
い。
As the light source, a light source capable of performing irradiation having a diameter of about 2 to 3 mm on the final irradiation surface is most desirable. Regarding the characteristics of the light source, in the case of the discharge lamp, the distance between the electrodes is about 1 to 2 mm, and when the filament is used, the size of the light emitting portion is about 1 to 2 mm. In addition, you may employ | adopt the light source which can be irradiated to a diameter of 1-5 mm on the final irradiation surface.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明にかかるICチップ実装装置1の概要
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an outline of an IC chip mounting apparatus 1 according to the present invention.

【図2】ICチップへの巡回走査を説明するための図で
ある。
FIG. 2 is a diagram for explaining a cyclic scan on an IC chip.

【図3】図2におけるA−A断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.

【図4】はんだの溶解を説明するグラフである。FIG. 4 is a graph illustrating melting of solder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・・ICチップ実装装置 2・・・・・ビーム出力部 5・・・・・X−Yガルバノミラー 7・・・・・コントローラ 10・・・・ICチップ 11・・・・ICチップパッケージ部 12・・・・リード 15・・・・取付基板 17・・・・パッド部 1 ... IC chip mounting device 2 ... Beam output section 5 ... XY Galvano Mirror 7 ... Controller 10 ... IC chip 11 ... IC chip package part 12 ... Lead 15 ... Mounting board 17 ... Pad part

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成13年9月14日(2001.9.1
4)
[Submission date] September 14, 2001 (2001.9.1)
4)

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】全図[Correction target item name] All drawings

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図1】 [Figure 1]

【図2】 [Fig. 2]

【図3】 [Figure 3]

【図4】 [Figure 4]

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】1)本体および2)前記本体から突出するよう
に外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする半導体部品実装装置であって、 光ビームを照射する照射手段、 前記照射された光ビームの照射位置を移動可能な照射位
置変更手段、 前記光ビームの照射位置が前記半導体部品の各リード上
を巡回走査するよう前記照射位置変更手段を制御する制
御手段、 を備え、 前記制御手段は、各リード接合部に供給されたはんだを
接合可能状態まで溶解するのに必要なエネルギーが複数
回に分配されて各リードに供給されるように、前記照射
位置変更手段を制御すること、 を特徴とする半導体部品実装装置。
1. A semiconductor component mounting apparatus for soldering 1) a main body and 2) a semiconductor component having a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, to solder the leads to a lead joint portion of a mounting board. An irradiation means for irradiating a light beam, an irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam, the irradiation so that the irradiation position of the light beam cyclically scans on each lead of the semiconductor component. Control means for controlling the position changing means, wherein the control means supplies the energy necessary for melting the solder supplied to each lead joint to a joinable state to the leads in plural times. So that the irradiation position changing means is controlled.
【請求項2】請求項1の半導体部品実装装置において、 前記制御手段は、あるリードに光ビーム照射した後、つ
ぎにそのリードに照射するまでに、そのリード接合部の
はんだの溶解が凝固方向にならない程度の巡回走査速度
で前記制御を行うこと、 を特徴とするもの。
2. The semiconductor component mounting apparatus according to claim 1, wherein the control means melts the solder at the lead joint portion after irradiating a certain lead with a light beam until the lead is next irradiated with the light beam. The above-mentioned control is performed at a cyclic scanning speed that does not result in
【請求項3】請求項1または請求項2の半導体部品実装
装置において、 前記制御手段は、各リードに照射されるエネルギー量と
当該リードへの巡回走査数に応じて変化するよう制御す
ること、 を特徴とするもの。
3. The semiconductor component mounting apparatus according to claim 1 or 2, wherein the control means controls so as to change according to the amount of energy applied to each lead and the number of cyclic scans to the lead. Characterized by.
【請求項4】請求項1または請求項2の半導体部品実装
装置において、 前記制御手段は、照射エネルギー程度は、当該リードへ
の巡回走査数が少ないうちは小さく、多くなると大きく
なるよう制御すること、 を特徴とするもの。
4. The semiconductor component mounting apparatus according to claim 1 or 2, wherein the control means controls the irradiation energy so that it is small when the number of cyclic scans to the lead is small, and is large when the number is large. , Characterized by.
【請求項5】請求項1または請求項2の半導体部品実装
装置において、 前記制御手段は、照射エネルギー程度は、前記はんだが
接合可能状態の溶解温度に達するまでは少な目に、達す
る直前は多くなるよう制御すること、 を特徴とするもの。
5. The semiconductor component mounting apparatus according to claim 1 or 2, wherein the irradiation energy of the control means is small until the melting temperature at which the solder can be joined is reached, and is increased immediately before it is reached. It is characterized by controlling.
【請求項6】請求項3〜5のいずれかの半導体部品実装
装置において、 前記制御手段は、前記照射手段から照射される光ビーム
の強度を制御することにより照射エネルギーを変化させ
ること、 を特徴とするもの。
6. The semiconductor component mounting apparatus according to claim 3, wherein the control unit changes the irradiation energy by controlling the intensity of the light beam emitted from the irradiation unit. What to do.
【請求項7】請求項1の半導体部品実装装置において、 前記照射手段は、キセノンランプおよびキセノンランプ
の照射光を集光する楕円レンズを備えていること、 を特徴とするもの。
7. The semiconductor component mounting apparatus according to claim 1, wherein the irradiation unit includes a xenon lamp and an elliptical lens that condenses irradiation light of the xenon lamp.
【請求項8】1)ICチップパッケージ部および2)前記パ
ッケージ部から突出するように複数のリードが外装され
たICチップを、取付基板のパッドにはんだ付けするI
Cチップ実装装置であって、 光を照射するキセノンランプ、 キセノンランプの照射光を集光して光ビームに変換する
楕円ミラー、 前記光ビームの照射位置をX方向およびY方向に移動さ
せるX−Yガルバノミラー、 前記光ビームの照射位置が前記ICチップの全リード上
を複数回巡回走査することにより、前記全パッドに供給
されたはんだがほぼ同時に接合可能状態に溶解するよう
に、前記X−Yガルバノミラーを制御するコントロー
ラ、 を備えたICチップ実装装置。
8. A 1) IC chip package part and 2) An IC chip, on which a plurality of leads are packaged so as to project from the package part, is soldered to a pad of a mounting board.
A C-chip mounting device, which comprises a xenon lamp for irradiating light, an elliptical mirror for converging the irradiation light of the xenon lamp into a light beam, and an X- for moving the irradiation position of the light beam in the X direction and the Y direction. Y galvanometer mirror, the irradiation position of the light beam scans all the leads of the IC chip a plurality of times so that the solder supplied to all the pads is melted into a bondable state almost at the same time. An IC chip mounting device including a controller for controlling the Y galvanometer mirror.
【請求項9】請求項8の半導体部品実装装置において、 前記制御手段は、ICチップ本体と前記各リードとの温
度差が許容量を超えないように、ICチップ本体上を前
記光ビームが走査するように、前記X−Yガルバノミラ
ーを制御すること、を特徴とするもの。
9. The semiconductor component mounting apparatus according to claim 8, wherein the control means scans the IC chip body with the light beam so that a temperature difference between the IC chip body and each lead does not exceed an allowable amount. And controlling the XY galvanometer mirror.
【請求項10】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする半導体部品実装装置であって、 光ビームを照射する照射手段、 前記照射された光ビームの照射位置を移動可能な照射位
置変更手段、 前記光ビームの照射位置が前記半導体部品の各リード上
を巡回走査するよう前記照射位置変更手段を制御する制
御手段、 を備え、 前記制御手段は、各リード接合部に供給されたはんだが
接合可能状態の溶解温度に達するまで、前記光ビームを
時系列分配照射するように、前記照射位置変更手段を制
御すること、 を特徴とする半導体部品実装装置。
10. A semiconductor component mounting apparatus for soldering each lead to a lead joint portion of a mounting substrate for a semiconductor component having 1) a main body and 2) a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body. An irradiation means for irradiating a light beam, an irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam, the irradiation so that the irradiation position of the light beam cyclically scans on each lead of the semiconductor component. A control means for controlling the position changing means, wherein the control means irradiates the light beam in a time-series distribution manner until the solder supplied to each lead joint reaches a melting temperature in a bondable state, A semiconductor component mounting apparatus characterized by controlling irradiation position changing means.
【請求項11】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする装置であって、 光ビームを照射する照射手段、 前記照射された光ビームの照射位置を移動可能な照射位
置変更手段、 前記光ビームの照射位置が前記半導体部品の各リード上
を巡回走査するよう前記照射位置変更手段を制御する制
御手段、 を備え、 前記制御手段は、各リード接合部に供給されたはんだを
接合可能状態に溶解するのに必要なエネルギーが複数回
で各リードに供給されるよう、前記光ビームを時系列分
配照射すること、 を特徴とする半導体部品実装装置。
11. A device for soldering each of the leads to a lead joint portion of a mounting substrate for a semiconductor component having 1) a main body and 2) a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, Irradiation means for irradiating a light beam, irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam, and irradiation position changing means so that the irradiation position of the light beam cyclically scans each lead of the semiconductor component. Controlling means for controlling the light beam so that the energy necessary for melting the solder supplied to each lead joint portion into a bondable state is supplied to each lead a plurality of times. A semiconductor component mounting apparatus, which is characterized by performing time-sequential distributed irradiation.
【請求項12】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする装置であって、 光ビームを照射する照射手段、 前記照射された光ビームの照射位置を移動可能な照射位
置変更手段、 前記光ビームの照射位置が前記半導体部品の各リード上
を巡回走査するよう前記照射位置変更手段を制御する制
御手段、 を備え、 前記制御手段は、各リード接合部に供給されたはんだが
ほぼ同時に接合可能状態まで溶解できるように、前記照
射位置変更手段を制御すること、 を特徴とする半導体部品実装装置。
12. A device for soldering each of the leads to a lead joint portion of a mounting substrate for a semiconductor component having 1) a main body and 2) a plurality of leads which are packaged so as to project from the main body, Irradiation means for irradiating a light beam, irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam, and irradiation position changing means so that the irradiation position of the light beam cyclically scans each lead of the semiconductor component. A control means for controlling the irradiation position changing means so that the solder supplied to the lead joints can be melted to a joinable state substantially at the same time. Component mounting equipment.
【請求項13】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする実装方法であって、 各リード接合部に供給されたはんだを接合可能状態まで
溶解するのに必要なエネルギーが複数回に分配されて各
リードに供給されるように、前記光ビームを前記半導体
部品の各リード上で巡回走査照射すること、 を特徴とする半導体部品実装方法。
13. A mounting method for soldering each of said leads to a lead joint portion of a mounting substrate for a semiconductor component having 1) a main body and 2) a plurality of leads which are packaged so as to project from said main body. , So that the energy required to melt the solder supplied to each lead joint portion to a joinable state is distributed to the leads in a plurality of times and is supplied to the leads of the semiconductor component. A semiconductor component mounting method, characterized in that cyclic scanning irradiation is performed.
【請求項14】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする実装方法であって、 各リード接合部に供給されたはんだが接合可能状態の溶
解温度に達するまで、前記光ビームを時系列分配照射す
ること、 を特徴とする半導体部品実装方法。
14. A mounting method for soldering each of the leads to a lead joint portion of a mounting substrate for a semiconductor component having 1) a main body and 2) a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body. A semiconductor component mounting method comprising: irradiating the light beam in time-series distribution until the solder supplied to each lead bonding portion reaches a melting temperature in a bondable state.
【請求項15】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする実装方法であって、 各リード接合部に供給されたはんだを接合可能状態に溶
解するのに必要なエネルギーが複数回で各リードに供給
されるよう、光ビームを時系列分配照射すること、 を特徴とする半導体部品実装方法。
15. A mounting method for soldering each of the leads to a lead joint portion of a mounting substrate for a semiconductor component having 1) a main body and 2) a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body. A semiconductor component characterized by irradiating the leads with a light beam in a time-series manner so that the energy required to melt the solder supplied to the lead joints into a bondable state is supplied to the leads at multiple times. How to implement.
【請求項16】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする実装方法であって、 各リード接合部に供給されたはんだがほぼ同時に接合可
能状態まで溶解できるように、光ビームを照射するこ
と、 を特徴とする半導体部品実装方法。
16. A mounting method, comprising: 1) a main body and 2) a semiconductor component having a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, by soldering each of the leads to a lead joint portion of a mounting substrate. The semiconductor component mounting method is characterized in that a light beam is irradiated so that the solder supplied to each lead bonding portion can be melted to a bondable state almost at the same time.
【請求項17】1)本体および2)前記本体から突出するよ
うに外装された複数のリードを備えた半導体部品につい
て、取付基板のリード接合部に前記各リードをはんだ付
けする半導体部品実装装置であって、 光ビームを照射する照射手段、 前記照射された光ビームの照射位置を移動可能な照射位
置変更手段、 前記光ビームの照射位置が前記半導体部品の各リード上
を巡回走査するよう前記照射位置変更手段を制御する制
御手段、 を備えた半導体部品実装装置に、各リード接合部に供給
されたはんだを接合可能状態まで溶解するのに必要なエ
ネルギーが複数回に分配されて各リードに供給されるよ
うに、前記照射位置変更手段を制御するためのコンピュ
ータプログラム。
17. A semiconductor component mounting apparatus for soldering 1) a main body and 2) a semiconductor component having a plurality of leads that are packaged so as to project from the main body, to solder the respective leads to a lead joint portion of a mounting substrate. An irradiation means for irradiating a light beam, an irradiation position changing means for moving the irradiation position of the irradiated light beam, the irradiation so that the irradiation position of the light beam cyclically scans on each lead of the semiconductor component. The energy required to melt the solder supplied to each lead joint to a joinable state is distributed to the semiconductor component mounting device equipped with a control unit that controls the position changing unit, and is supplied to each lead. And a computer program for controlling the irradiation position changing means.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU183152U1 (en) * 2017-11-07 2018-09-12 ООО "Евроинтех" LASER SOLDER INSTALLATION

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