JP2003059015A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JP2003059015A JP2003059015A JP2001252317A JP2001252317A JP2003059015A JP 2003059015 A JP2003059015 A JP 2003059015A JP 2001252317 A JP2001252317 A JP 2001252317A JP 2001252317 A JP2001252317 A JP 2001252317A JP 2003059015 A JP2003059015 A JP 2003059015A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ヘッドの製造工程で、絶縁ギャップ層に
開口部を設けるにあたり、アフターコロージョンの発生
がなく、開口部のエッジ部に再付着層が形成されない、
開口部の加工方法を提供する。 【解決手段】 磁気ヘッドの製造方法は、Ｆｅ−Ｎｉか
らなる磁気シールド層５上にＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャ
ップ層６を配してなり前記絶縁ギャップ層６に開口部１
４を備える磁気ヘッドを製造する方法において、前記開
口部１４の形成をドライエッチングで行うこととして、
その条件が、前記絶縁ギャップ層６が形成された基板の
温度を６０℃〜１００℃に保持すること、反応ガスとし
て用いるＢＣｌ3とＣｌ2の混合ガス比を２：１〜１：０
に保持すること、および、前記混合ガスの圧力を０．５
Ｐａ〜２．０Ｐａに調圧すること、であることを特徴と
する。
開口部を設けるにあたり、アフターコロージョンの発生
がなく、開口部のエッジ部に再付着層が形成されない、
開口部の加工方法を提供する。 【解決手段】 磁気ヘッドの製造方法は、Ｆｅ−Ｎｉか
らなる磁気シールド層５上にＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャ
ップ層６を配してなり前記絶縁ギャップ層６に開口部１
４を備える磁気ヘッドを製造する方法において、前記開
口部１４の形成をドライエッチングで行うこととして、
その条件が、前記絶縁ギャップ層６が形成された基板の
温度を６０℃〜１００℃に保持すること、反応ガスとし
て用いるＢＣｌ3とＣｌ2の混合ガス比を２：１〜１：０
に保持すること、および、前記混合ガスの圧力を０．５
Ｐａ〜２．０Ｐａに調圧すること、であることを特徴と
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクド
ライブ（以下ＨＤＤと称す）等の磁気記録装置に用いら
れる磁気ヘッドの製造方法に関する。
ライブ（以下ＨＤＤと称す）等の磁気記録装置に用いら
れる磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＨＤＤは機器の小型化と記憶容量
の大容量化に伴い、記録密度が年々高密度化されつつあ
り、また、転送レートの高速化も進んでいる。高密度記
録のために、薄膜化した磁気抵抗素子（以下ＭＲと称
す）やスピンバルブ型の巨大磁気抵抗素子（以下ＧＭＲ
と称す）を用いた高感度化技術開発や記録および再生ト
ラック幅の微細加工技術を用いた狭トラック化開発が盛
んに取り組まれている。
の大容量化に伴い、記録密度が年々高密度化されつつあ
り、また、転送レートの高速化も進んでいる。高密度記
録のために、薄膜化した磁気抵抗素子（以下ＭＲと称
す）やスピンバルブ型の巨大磁気抵抗素子（以下ＧＭＲ
と称す）を用いた高感度化技術開発や記録および再生ト
ラック幅の微細加工技術を用いた狭トラック化開発が盛
んに取り組まれている。
【０００３】磁気ヘッドの製造工程中には、ウエハ上
に、Ｆｅ−Ｎｉからなる磁気シールド層とＡｌ2Ｏ3から
なる絶縁ギャップ層を形成した後、前記絶縁ギャップ層
に開口部を形成する工程がある。この開口部の形成法と
しては、１）ウェットエッチング法、２）イオンミリン
グ法、３）ドライエッチング法がある。ウェットエッチ
ング法（以下、Ｗ／Ｅと称す）を利用して磁気ヘッドを
製造する工程は、ウエハ上にＦｅ−Ｎｉからなる磁気シ
ールド層とＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャップ層を形成した
後、絶縁ギャップ層に開口部を形成する場合に、レジス
トでパターニングした絶縁ギャップ層に対して薬液を用
い、前記開口部に当たる位置のレジストを除去するよう
にする。一般に、Ｗ／Ｅは、後述するドライエッチング
法に比べ、エッチングが容易に行なえるという利点があ
るが、エッチング精度が劣ることから、微細なパターン
形成にはあまり利用されないのが現状である。イオンミ
リング法を利用した製造方法は、５インチ以上の大口径
のウエハ上に、精度良く均一に開口部を形成する方法
で、フォトレジストでパターニングした絶縁ギャップ層
を、アルゴンガスを用いて加工する工程である。イオン
ミリング法と同工程で、Ｆ系ガスを用いて加工するのが
ドライエッチング法である。上述する３つの方法のう
ち、ドライエッチング法を利用して絶縁ギャップ層に開
口部を形成する工程を図４を参照しつつ説明する。１は
Ａｌ2Ｏ3膜付きのＡｌＴｉＣ基板（図示せず）上に成
膜、パターン化されたＦｅ−Ｎｉ膜の下部シールド層、
２は絶縁ギャップ層となるＡｌ2Ｏ3膜である。３は絶縁
ギャップ層２上に塗布されたフォトレジストであって、
所定のパターンにパターニングされている。４は絶縁ギ
ャップ層２に加工された開口部であって、反応室内（図
示せず）でイオン化されたＡｒガスを照射してミリング
するか、アフターコロージョンの発生のないＣＨＦ3や
ＣＦ4などのＦ系の反応ガスを一定量反応室内（図示せ
ず）に供給・排気して所望の圧力に調整しつつ、エッチ
ング室内でプラズマを発生させることにより、絶縁ギャ
ップ層であるＡｌ2Ｏ3膜２の表面をエッチングすること
で形成する。
に、Ｆｅ−Ｎｉからなる磁気シールド層とＡｌ2Ｏ3から
なる絶縁ギャップ層を形成した後、前記絶縁ギャップ層
に開口部を形成する工程がある。この開口部の形成法と
しては、１）ウェットエッチング法、２）イオンミリン
グ法、３）ドライエッチング法がある。ウェットエッチ
ング法（以下、Ｗ／Ｅと称す）を利用して磁気ヘッドを
製造する工程は、ウエハ上にＦｅ−Ｎｉからなる磁気シ
ールド層とＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャップ層を形成した
後、絶縁ギャップ層に開口部を形成する場合に、レジス
トでパターニングした絶縁ギャップ層に対して薬液を用
い、前記開口部に当たる位置のレジストを除去するよう
にする。一般に、Ｗ／Ｅは、後述するドライエッチング
法に比べ、エッチングが容易に行なえるという利点があ
るが、エッチング精度が劣ることから、微細なパターン
形成にはあまり利用されないのが現状である。イオンミ
リング法を利用した製造方法は、５インチ以上の大口径
のウエハ上に、精度良く均一に開口部を形成する方法
で、フォトレジストでパターニングした絶縁ギャップ層
を、アルゴンガスを用いて加工する工程である。イオン
ミリング法と同工程で、Ｆ系ガスを用いて加工するのが
ドライエッチング法である。上述する３つの方法のう
ち、ドライエッチング法を利用して絶縁ギャップ層に開
口部を形成する工程を図４を参照しつつ説明する。１は
Ａｌ2Ｏ3膜付きのＡｌＴｉＣ基板（図示せず）上に成
膜、パターン化されたＦｅ−Ｎｉ膜の下部シールド層、
２は絶縁ギャップ層となるＡｌ2Ｏ3膜である。３は絶縁
ギャップ層２上に塗布されたフォトレジストであって、
所定のパターンにパターニングされている。４は絶縁ギ
ャップ層２に加工された開口部であって、反応室内（図
示せず）でイオン化されたＡｒガスを照射してミリング
するか、アフターコロージョンの発生のないＣＨＦ3や
ＣＦ4などのＦ系の反応ガスを一定量反応室内（図示せ
ず）に供給・排気して所望の圧力に調整しつつ、エッチ
ング室内でプラズマを発生させることにより、絶縁ギャ
ップ層であるＡｌ2Ｏ3膜２の表面をエッチングすること
で形成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術たる、イオン化したＡｒガスでミリングした場合やＦ
系の反応ガスを用いてＡｌ2Ｏ3膜をエッチングした際
に、開口部の側壁からレジストの側壁にかけての部分
に、エッチング除去時に発生したＡｌ2Ｏ3膜が付着して
再付着層５が形成される。結合力が強く、なおかつ、蒸
気圧が高く、指向性の強いイオン化したＡｒガスでミリ
ングする場合や、Ｆ系反応性ガスを用いてエッチングす
る場合、Ａｌ2Ｏ3は、そのまま除去され、指向性と高い
運動エネルギーをもって飛び出すため、側壁への再付着
が生じやすい。この再付着層５は、レジスト３を除去し
た後も、開口部の側壁から開口部上部にかけて残るた
め、絶縁ギャップ層上層に新たな膜（図示せず）を成膜
した際に、開口部のエッジ部周辺でのパターン断線の原
因となっていた。このため、磁気ヘッドの製造方法にお
いては、ウエハ面内に均一で、開口部のエッジ部に再付
着層のない、アフターコロージョンが発生しない、絶縁
ギャップ層の開口部形成方法が求められている。本発明
の課題は、アフターコロージョンの発生がなく、開口部
のエッジ部に再付着層が形成されない、磁気ヘッドの製
造方法を提供することにある。
術たる、イオン化したＡｒガスでミリングした場合やＦ
系の反応ガスを用いてＡｌ2Ｏ3膜をエッチングした際
に、開口部の側壁からレジストの側壁にかけての部分
に、エッチング除去時に発生したＡｌ2Ｏ3膜が付着して
再付着層５が形成される。結合力が強く、なおかつ、蒸
気圧が高く、指向性の強いイオン化したＡｒガスでミリ
ングする場合や、Ｆ系反応性ガスを用いてエッチングす
る場合、Ａｌ2Ｏ3は、そのまま除去され、指向性と高い
運動エネルギーをもって飛び出すため、側壁への再付着
が生じやすい。この再付着層５は、レジスト３を除去し
た後も、開口部の側壁から開口部上部にかけて残るた
め、絶縁ギャップ層上層に新たな膜（図示せず）を成膜
した際に、開口部のエッジ部周辺でのパターン断線の原
因となっていた。このため、磁気ヘッドの製造方法にお
いては、ウエハ面内に均一で、開口部のエッジ部に再付
着層のない、アフターコロージョンが発生しない、絶縁
ギャップ層の開口部形成方法が求められている。本発明
の課題は、アフターコロージョンの発生がなく、開口部
のエッジ部に再付着層が形成されない、磁気ヘッドの製
造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は、種々検討し
実験で確かめた結果、絶縁ギャップ層に開口部を形成す
る際に、真空容器内でプラズマを発生させて基板電極上
のウエハを処理するドライエッチング装置を用いること
として、そのときの基板温度や反応ガス組成と反応ガス
圧を特定の範囲に設定すれば、上記課題を解決すること
が出来ることを見出して、本発明を完成した。したがっ
て、本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法は、Ｆｅ−Ｎ
ｉからなる磁気シールド層上にＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギ
ャップ層を配してなり前記絶縁ギャップ層に開口部を備
える磁気ヘッドを製造する方法において、前記開口部の
形成をドライエッチングで行うこととして、その条件
が、前記絶縁ギャップ層が形成された基板の温度を６０
℃〜１００℃に保持すること、反応ガスとして用いるＢ
Ｃｌ3とＣｌ2の混合ガス比を２：１〜１：０に保持する
こと、および、前記混合ガスの圧力を０．５Ｐａ〜２．
０Ｐａに調圧すること、であること、を特徴とする。上
記において、前記絶縁ギャップ層の膜厚が５０ｎｍ〜１
００ｎｍになるまでエッチング処理を行ない、反応ガス
の成分を含む再付着層をＯ2またはＨ2Ｏのプラズマによ
って除去した後、純水を用いて前記基板をリンスするこ
とが好ましい。また、前記開口部の底に存在する前記絶
縁ギャップ層の残膜を、Ａｒガスによるプラズマミリン
グにより除去することが好ましい。
実験で確かめた結果、絶縁ギャップ層に開口部を形成す
る際に、真空容器内でプラズマを発生させて基板電極上
のウエハを処理するドライエッチング装置を用いること
として、そのときの基板温度や反応ガス組成と反応ガス
圧を特定の範囲に設定すれば、上記課題を解決すること
が出来ることを見出して、本発明を完成した。したがっ
て、本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法は、Ｆｅ−Ｎ
ｉからなる磁気シールド層上にＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギ
ャップ層を配してなり前記絶縁ギャップ層に開口部を備
える磁気ヘッドを製造する方法において、前記開口部の
形成をドライエッチングで行うこととして、その条件
が、前記絶縁ギャップ層が形成された基板の温度を６０
℃〜１００℃に保持すること、反応ガスとして用いるＢ
Ｃｌ3とＣｌ2の混合ガス比を２：１〜１：０に保持する
こと、および、前記混合ガスの圧力を０．５Ｐａ〜２．
０Ｐａに調圧すること、であること、を特徴とする。上
記において、前記絶縁ギャップ層の膜厚が５０ｎｍ〜１
００ｎｍになるまでエッチング処理を行ない、反応ガス
の成分を含む再付着層をＯ2またはＨ2Ｏのプラズマによ
って除去した後、純水を用いて前記基板をリンスするこ
とが好ましい。また、前記開口部の底に存在する前記絶
縁ギャップ層の残膜を、Ａｒガスによるプラズマミリン
グにより除去することが好ましい。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の好ましい実施の
形態を、詳しく説明する。
形態を、詳しく説明する。
【０００７】図１に代表的な磁気ヘッドの要部構造を示
す。図１において、５はＡｌ2Ｏ3膜付きのＡｌＴｉＣ基
板（図示せず）上に成膜、パターン化されたＦｅ−Ｎｉ
膜の下部シールド層、６は下部シールド層５上に成膜さ
れた、Ａｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャップ層である。７は、
絶縁ギャップ層６上に成膜されたスピンバルブ型のＧＭ
Ｒ層であって、電気的に接続されたリード部を左右に持
つ磁気抵抗素子である。左右で電気的に接続されたリー
ド部より電気信号を取り出す構造の磁気ヘッドにおい
て、ＧＭＲ層７は、ｎｍオーダーの薄膜の多層構造から
なっており、下から、Ｆｅ−Ｎｉ３ｎｍ／Ｃｏ１ｎｍ／
Ｃｕ２ｎｍ／ＣｏＦｅ２ｎｍ／反強磁性膜ＰｔＭｎ２５
ｎｍ／キャップ層Ｔａ５ｎｍの順で積層構成されてい
る。８は、ＧＭＲ層７の永久磁区制御層となるＣｏＰｔ
であって、リフトオフ法によりパターニングされてい
る。９は、磁気抵抗素子のＧＭＲ層７と電気的に直列接
続する一対のリード電極となるＴａであって、膜厚は１
５０ｎｍであり、リフトオフ法によりパターニングされ
ている。ＧＭＲ層７は別の絶縁ギャップ層１０で上面を
被覆されている。この第２の絶縁ギャップ層１０の上に
は、Ｆｅ−Ｎｉからなる別の磁気シールド層１１と、Ａ
ｌ2Ｏ3からなる第３の絶縁ギャップ層１２が積層形成さ
れている。第３の絶縁ギャップ層１２上には、開口部を
設けるためにパターニングしたレジストマスク１３が配
されている。本発明で採用する真空処理法によれば、ド
ライエッチング装置を用いて、Ａｌ 2Ｏ3からなる前記第
３の絶縁ギャップ層１２を、その残膜１７の厚みが５０
ｎｍ〜１００ｎｍになるまでエッチングして、上記の開
口部１４を形成する。Ｆｅ−Ｎｉからなる磁気シールド
層１１上にある絶縁ギャップ層１２上に記録用ヘッド
（図示せず）を形成する。この記録用ヘッドの磁気ヘッ
ドにおいて、電極の一部（図示せず）を開口部を通じて
磁気シールド層１１と電気的に導通させることにより、
磁気的ノイズに対する性能向上をはかっている。その
際、場合により、開口部１４の側壁１５からレジスト１
３の側壁にかけての部分には、僅かではあるが、反応ガ
ス成分を含む残滓（腐食性表面付着物）１６が付着する
ことがある（図２）。そのときには、この腐食性表面付
着物１６を、Ｏ2またはＨ2Ｏプラズマ放電中で除去し、
その後、純水（Ｈ2０）でリンスして、開口部１４内を
清浄にしておく（図１）。
す。図１において、５はＡｌ2Ｏ3膜付きのＡｌＴｉＣ基
板（図示せず）上に成膜、パターン化されたＦｅ−Ｎｉ
膜の下部シールド層、６は下部シールド層５上に成膜さ
れた、Ａｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャップ層である。７は、
絶縁ギャップ層６上に成膜されたスピンバルブ型のＧＭ
Ｒ層であって、電気的に接続されたリード部を左右に持
つ磁気抵抗素子である。左右で電気的に接続されたリー
ド部より電気信号を取り出す構造の磁気ヘッドにおい
て、ＧＭＲ層７は、ｎｍオーダーの薄膜の多層構造から
なっており、下から、Ｆｅ−Ｎｉ３ｎｍ／Ｃｏ１ｎｍ／
Ｃｕ２ｎｍ／ＣｏＦｅ２ｎｍ／反強磁性膜ＰｔＭｎ２５
ｎｍ／キャップ層Ｔａ５ｎｍの順で積層構成されてい
る。８は、ＧＭＲ層７の永久磁区制御層となるＣｏＰｔ
であって、リフトオフ法によりパターニングされてい
る。９は、磁気抵抗素子のＧＭＲ層７と電気的に直列接
続する一対のリード電極となるＴａであって、膜厚は１
５０ｎｍであり、リフトオフ法によりパターニングされ
ている。ＧＭＲ層７は別の絶縁ギャップ層１０で上面を
被覆されている。この第２の絶縁ギャップ層１０の上に
は、Ｆｅ−Ｎｉからなる別の磁気シールド層１１と、Ａ
ｌ2Ｏ3からなる第３の絶縁ギャップ層１２が積層形成さ
れている。第３の絶縁ギャップ層１２上には、開口部を
設けるためにパターニングしたレジストマスク１３が配
されている。本発明で採用する真空処理法によれば、ド
ライエッチング装置を用いて、Ａｌ 2Ｏ3からなる前記第
３の絶縁ギャップ層１２を、その残膜１７の厚みが５０
ｎｍ〜１００ｎｍになるまでエッチングして、上記の開
口部１４を形成する。Ｆｅ−Ｎｉからなる磁気シールド
層１１上にある絶縁ギャップ層１２上に記録用ヘッド
（図示せず）を形成する。この記録用ヘッドの磁気ヘッ
ドにおいて、電極の一部（図示せず）を開口部を通じて
磁気シールド層１１と電気的に導通させることにより、
磁気的ノイズに対する性能向上をはかっている。その
際、場合により、開口部１４の側壁１５からレジスト１
３の側壁にかけての部分には、僅かではあるが、反応ガ
ス成分を含む残滓（腐食性表面付着物）１６が付着する
ことがある（図２）。そのときには、この腐食性表面付
着物１６を、Ｏ2またはＨ2Ｏプラズマ放電中で除去し、
その後、純水（Ｈ2０）でリンスして、開口部１４内を
清浄にしておく（図１）。
【０００８】上記の開口部加工は、例えば、以下のよう
にして行われる。第３の絶縁ギャップ層１２上にレジス
トマスク１３を形成しておいたウエハを、ロードロック
室を介して、高密度プラズマを発生させることができ微
細加工が可能な誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）ドライエッ
チング装置の真空反応室に投入して、温度を６０℃〜１
００℃の温度（例えば８０℃）に保った基板電極上に置
く。次に、真空反応室に混合比２：１〜１：０のＢＣｌ
3とＣｌ2ガスを適宜の流速（例えば８０ｃｃ／分の速
度）で導入して、反応室内の圧力を２．０Ｐａ〜０．５
Ｐａの圧力（例えば０．８Ｐａ）に調圧した後、ＩＣＰ
プラズマ源と基板ステージにＲＦ電力を、例えばそれぞ
れ６００Ｗ、２００Ｗの電力を投入して、プラズマを発
生させる。このようにして、絶縁ギャップ層１２の材料
であるＡｌ2Ｏ3の残膜の厚みが５０ｎｍ〜１００ｎｍに
なるまで（例えば１００ｎｍになるまで）エッチングす
る。そうすると、開口部１４の側壁１５にエッチングし
たＡｌ2Ｏ3膜が再付着することなくエッチングすること
が出来る（図１）。
にして行われる。第３の絶縁ギャップ層１２上にレジス
トマスク１３を形成しておいたウエハを、ロードロック
室を介して、高密度プラズマを発生させることができ微
細加工が可能な誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）ドライエッ
チング装置の真空反応室に投入して、温度を６０℃〜１
００℃の温度（例えば８０℃）に保った基板電極上に置
く。次に、真空反応室に混合比２：１〜１：０のＢＣｌ
3とＣｌ2ガスを適宜の流速（例えば８０ｃｃ／分の速
度）で導入して、反応室内の圧力を２．０Ｐａ〜０．５
Ｐａの圧力（例えば０．８Ｐａ）に調圧した後、ＩＣＰ
プラズマ源と基板ステージにＲＦ電力を、例えばそれぞ
れ６００Ｗ、２００Ｗの電力を投入して、プラズマを発
生させる。このようにして、絶縁ギャップ層１２の材料
であるＡｌ2Ｏ3の残膜の厚みが５０ｎｍ〜１００ｎｍに
なるまで（例えば１００ｎｍになるまで）エッチングす
る。そうすると、開口部１４の側壁１５にエッチングし
たＡｌ2Ｏ3膜が再付着することなくエッチングすること
が出来る（図１）。
【０００９】このとき、ＢＣｌ3に対するＣｌ2ガスの混
合比を増すと、エッチング速度が増し、レジストエッチ
ング速度に対するＡｌ2Ｏ3エッチング速度（レジスト選
択比）が増すが、２：１以上になると、エッチング除去
したＡｌ2Ｏ3膜が、開口部１４の側壁１５からレジスト
１３の側壁にかけて、付着して、再付着層４を形成する
（図４）という問題が生じる。
合比を増すと、エッチング速度が増し、レジストエッチ
ング速度に対するＡｌ2Ｏ3エッチング速度（レジスト選
択比）が増すが、２：１以上になると、エッチング除去
したＡｌ2Ｏ3膜が、開口部１４の側壁１５からレジスト
１３の側壁にかけて、付着して、再付着層４を形成する
（図４）という問題が生じる。
【００１０】エッチング圧力が０．５Ｐａ未満になる
と、プラズマの発生が不安定となり、ウエハ全体にわた
って均一なエッチングができなくなるという問題が生じ
る。エッチング圧力２．０Ｐａを超えると、エッチング
速度が大きくなり過ぎて、開口部１４の側壁１５からレ
ジスト１３の側壁にかけて、再付着層５が形成される
（図４）という問題が生じる。
と、プラズマの発生が不安定となり、ウエハ全体にわた
って均一なエッチングができなくなるという問題が生じ
る。エッチング圧力２．０Ｐａを超えると、エッチング
速度が大きくなり過ぎて、開口部１４の側壁１５からレ
ジスト１３の側壁にかけて、再付着層５が形成される
（図４）という問題が生じる。
【００１１】基板電極温度を６０℃未満にすると、この
場合も、開口部１４の側壁１５からレジスト１３の側壁
にかけて、再付着層５が形成される（図４）という問題
が生じる。基板電極温度が１００℃を超えると、エッチ
ング時にレジスト１３が熱変質し、エッチング後におい
て除去不可能という問題が生じる。エッチングを終えた
ウエハは、ロードロック室を介して、真空反応室に連結
されたダウンフロー型のアッシング室に大気に触れるこ
となく搬送投入して、腐食性表面付着物１６の除去を行
う。この工程は、例えば、温度を６０℃に保った基板電
極上で、Ｏ2ガスであれば、１３３Ｐａの圧力領域で調
圧し、プラズマ源となるコイルに１５００ｗのＲＦ電力
を投入し、Ｈ2０であれば、６０Ｐａの圧力領域で調圧
し、プラズマ源となるコイルに１５００ｗのＲＦ電力を
投入し、６０秒アッシングすることで、行われる。この
ようにして、開口部１４の側壁１５からレジスト１３の
側壁にかけて付着している、腐食性表面付着物１６を除
去することにより、ウエハは大気取り出し可能となる。
場合も、開口部１４の側壁１５からレジスト１３の側壁
にかけて、再付着層５が形成される（図４）という問題
が生じる。基板電極温度が１００℃を超えると、エッチ
ング時にレジスト１３が熱変質し、エッチング後におい
て除去不可能という問題が生じる。エッチングを終えた
ウエハは、ロードロック室を介して、真空反応室に連結
されたダウンフロー型のアッシング室に大気に触れるこ
となく搬送投入して、腐食性表面付着物１６の除去を行
う。この工程は、例えば、温度を６０℃に保った基板電
極上で、Ｏ2ガスであれば、１３３Ｐａの圧力領域で調
圧し、プラズマ源となるコイルに１５００ｗのＲＦ電力
を投入し、Ｈ2０であれば、６０Ｐａの圧力領域で調圧
し、プラズマ源となるコイルに１５００ｗのＲＦ電力を
投入し、６０秒アッシングすることで、行われる。この
ようにして、開口部１４の側壁１５からレジスト１３の
側壁にかけて付着している、腐食性表面付着物１６を除
去することにより、ウエハは大気取り出し可能となる。
【００１２】次に、大気に取り出したウエハは、例え
ば、純水中で２分間リンスした後、Ｎ 2ガスブローを２
分かけてウエハ表面の純水を除去するようにする。
ば、純水中で２分間リンスした後、Ｎ 2ガスブローを２
分かけてウエハ表面の純水を除去するようにする。
【００１３】このとき、絶縁ギャップ層１２の残膜１７
厚みは５０ｎｍ以上有るので、Ｆｅ−Ｎｉからなる磁気
シールド層１１はエッチングの過程で腐食性表面付着物
１６に直接に接触することはなく、そのため、アフター
コロージョンが発生しない。
厚みは５０ｎｍ以上有るので、Ｆｅ−Ｎｉからなる磁気
シールド層１１はエッチングの過程で腐食性表面付着物
１６に直接に接触することはなく、そのため、アフター
コロージョンが発生しない。
【００１４】次に、上のようにして加工された開口部１
４の残膜１７を除く。これは例えば、以下のようにして
行う。ウエハをＡｒミリング装置に投入し、加工するこ
とによって、残膜１７を除くのである。例えば、ウエハ
を自転させながら、志向性のあるＡｒプラズマで、ウエ
ハに対し垂直〜４５°の方向から加工して、開口部１４
底部のＡｌ2Ｏ3残膜１７を除去するようにする。残膜１
７厚が１００ｎｍまでであり、Ａｌ2Ｏ3残膜１７を除去
する際には上述のようにウエハを自転させながら指向性
Ａｒプラズマでウエハに垂直〜４５°の方向から加工す
るため、ミリング加工で除去されたＡｌ2Ｏ3膜が開口部
１４の側壁１５に付着することがなく、また、ミリング
加工で除去されたＡｌ2Ｏ3膜１８が残ることがあっても
開口部１４の底にとどまる（図３）。そのため、開口部
１４のエッジ部周辺での上層パターン断線は起きない。
Ａｒミリング装置でのＡｌ2Ｏ3残膜１７除去後、レジス
ト剥離液で、フォトレジスト１３の剥離を行う。上記実
施例の結果によれば、アフターコロージョンの発生がな
く、開口部のエッジ部に再付着層が形成されない開口部
を加工することができた。
４の残膜１７を除く。これは例えば、以下のようにして
行う。ウエハをＡｒミリング装置に投入し、加工するこ
とによって、残膜１７を除くのである。例えば、ウエハ
を自転させながら、志向性のあるＡｒプラズマで、ウエ
ハに対し垂直〜４５°の方向から加工して、開口部１４
底部のＡｌ2Ｏ3残膜１７を除去するようにする。残膜１
７厚が１００ｎｍまでであり、Ａｌ2Ｏ3残膜１７を除去
する際には上述のようにウエハを自転させながら指向性
Ａｒプラズマでウエハに垂直〜４５°の方向から加工す
るため、ミリング加工で除去されたＡｌ2Ｏ3膜が開口部
１４の側壁１５に付着することがなく、また、ミリング
加工で除去されたＡｌ2Ｏ3膜１８が残ることがあっても
開口部１４の底にとどまる（図３）。そのため、開口部
１４のエッジ部周辺での上層パターン断線は起きない。
Ａｒミリング装置でのＡｌ2Ｏ3残膜１７除去後、レジス
ト剥離液で、フォトレジスト１３の剥離を行う。上記実
施例の結果によれば、アフターコロージョンの発生がな
く、開口部のエッジ部に再付着層が形成されない開口部
を加工することができた。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、ウエハ上に、Ｆｅ−Ｎ
ｉからなる磁気シールド層とＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャ
ップ層を形成し、前記絶縁ギャップ層に開口部を設ける
際に、アフターコロージョンの発生がなく、開口部のエ
ッジ部に再付着層が形成されない開口部を加工すること
ができて、特性、品質の良い磁気ヘッドを得ることがで
きる。
ｉからなる磁気シールド層とＡｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャ
ップ層を形成し、前記絶縁ギャップ層に開口部を設ける
際に、アフターコロージョンの発生がなく、開口部のエ
ッジ部に再付着層が形成されない開口部を加工すること
ができて、特性、品質の良い磁気ヘッドを得ることがで
きる。
【図１】本発明の一実施の形態によって得られる、磁気
ヘッドの要部の一部を示す断面図
ヘッドの要部の一部を示す断面図
【図２】上記磁気ヘッドを得る過程での、図１に対応す
る断面構造を示す図
る断面構造を示す図
【図３】図２の工程に続く後加工をしたときの磁気ヘッ
ドの断面構造を示す図
ドの断面構造を示す図
【図４】従来の加工による問題点を表している、図１に
対応する断面構造図
対応する断面構造図
５ Ｆｅ−Ｎｉ下部シールド層（ＡｌＴｉＣ基板上）
６ 絶縁ギャップ層
７ 磁気抵抗素子部（ＧＭＲ層）
８ 永久磁区制御層
９ リード電極
１０ 絶縁ギャップ層
１１ Ｆｅ−Ｎｉシールド層
１２ 絶縁ギャップ層
１３ レジストマスク
１４ 開口部
１７ Ａｌ2Ｏ3の残膜
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 木村 忠司
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
Ｆターム(参考） 5D033 BB21 BB43 DA08 DA31
5D034 BA02 BA15 BB09 CA05 DA07
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｆｅ−Ｎｉからなる磁気シールド層上に
Ａｌ2Ｏ3からなる絶縁ギャップ層を配してなり前記絶縁
ギャップ層に開口部を備える磁気ヘッドを製造する方法
において、 前記開口部の形成をドライエッチングで行うこととし
て、その条件が、 前記絶縁ギャップ層が形成された基板の温度を６０℃〜
１００℃に保持すること、 反応ガスとして用いるＢＣｌ3とＣｌ2の混合ガス比を
２：１〜１：０に保持すること、および、 前記混合ガスの圧力を０．５Ｐａ〜２．０Ｐａに調圧す
ること、であること、を特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項２】 前記絶縁ギャップ層の膜厚が５０ｎｍ〜
１００ｎｍになるまでエッチング処理を行ない、反応ガ
スの成分を含む再付着層をＯ2またはＨ2Ｏのプラズマに
よって除去した後、純水を用いて前記基板をリンスす
る、請求項１に記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記開口部の底に存在する前記絶縁ギャ
ップ層の残膜を、Ａｒガスによるプラズマミリングによ
り除去する、請求項１または２に記載の磁気ヘッドの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001252317A JP2003059015A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001252317A JP2003059015A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003059015A true JP2003059015A (ja) | 2003-02-28 |
Family
ID=19080817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001252317A Pending JP2003059015A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003059015A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006165030A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Ulvac Japan Ltd | トンネル接合素子のエッチング加工方法および装置 |
-
2001
- 2001-08-23 JP JP2001252317A patent/JP2003059015A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006165030A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Ulvac Japan Ltd | トンネル接合素子のエッチング加工方法および装置 |
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