JP2003057223A - ガス分析計 - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/60—Construction of the column
- G01N30/6095—Micromachined or nanomachined, e.g. micro- or nanosize
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パームトップサイズといった超小型、超軽量
でかつ消費電力が少なく、安価であり、各種のガスを高
精度に測定することのできるガス分析計を提供するこ
と。 【解決手段】 マイクロチップ１にガス導入部３および
これに連なるガス流路２を形成し、このガス流路２内
に、ガス導入部３から導入されたサンプルガスＳに含ま
れる特定の成分を各別に分離するマイクロカラム８およ
びマイクロカラム８を経たサンプルガスＳに接触される
半導体ガスセンサ９を設け、さらに、この半導体ガスセ
ンサ９を経たサンプルガスＳを下流側のガス導出部４よ
り排出するように構成するとともに、前記サンプルガス
Ｓが半導体ガスセンサ９に接触することによって半導体
ガスセンサ９から出力される信号におけるピーク位置に
基づいて前記サンプルガスＳにおける特定の成分を検出
するようにした。
でかつ消費電力が少なく、安価であり、各種のガスを高
精度に測定することのできるガス分析計を提供するこ
と。 【解決手段】 マイクロチップ１にガス導入部３および
これに連なるガス流路２を形成し、このガス流路２内
に、ガス導入部３から導入されたサンプルガスＳに含ま
れる特定の成分を各別に分離するマイクロカラム８およ
びマイクロカラム８を経たサンプルガスＳに接触される
半導体ガスセンサ９を設け、さらに、この半導体ガスセ
ンサ９を経たサンプルガスＳを下流側のガス導出部４よ
り排出するように構成するとともに、前記サンプルガス
Ｓが半導体ガスセンサ９に接触することによって半導体
ガスセンサ９から出力される信号におけるピーク位置に
基づいて前記サンプルガスＳにおける特定の成分を検出
するようにした。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガス分析計に関
する。 【０００２】 【従来の技術】従来、大気中や土壌中に含まれる揮発性
有機化合物（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏ
ｍｐｏｕｎｄｓ、以下、ＶＯＣｓという）を個々に定量
分析するのに、ＧＣ−ＭＳが使用されていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＧＣ−ＭＳは、高感度測定を行うことができるものの、
消費電力が大きいとともに、装置全体のサイズが大き
く、重量もかなりあり、ハンディなものではなく、現地
などへ持ち込んでフィールド分析を行うには不向きであ
り、さらには、高価であるといった不都合があった。 【０００４】これに対して、近時、ポータブルタイプと
して持ち運び可能なサイズのＧＣ−ＭＳが開発され市販
されつつあるが、依然として持ち運び可能なレベルでポ
ータブルといった代物ではない。なお、従来の通常のガ
ス分析計においても、重量としては１０ｋｇ以上もあ
り、この点においてＧＣ−ＭＳと同様である。 【０００５】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、パームトップサイズ（掌上に載
せられる程度のサイズ）といった超小型、超軽量でかつ
消費電力が少なく、安価であり、各種のガスを高精度に
測定することのできるガス分析計を提供することであ
る。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のガス分析計は、マイクロチップにガス導
入部およびこれに連なるガス流路を形成し、このガス流
路内に、ガス導入部から導入されたサンプルガスに含ま
れる特定の成分を各別に分離するマイクロカラムおよび
マイクロカラムを経たサンプルガスに接触される半導体
ガスセンサを設け、さらに、この半導体ガスセンサを経
たサンプルガスを下流側のガス導出部より排出するよう
に構成するとともに、前記サンプルガスが半導体ガスセ
ンサに接触することによって半導体ガスセンサから出力
される信号におけるピーク位置に基づいて前記サンプル
ガスにおける特定の成分を検出するようにしたことを特
徴としている。 【０００７】上記ガス分析計においては、例えば、厚さ
が０．５ｃｍ、長さが５ｃｍ，幅が３ｃｍといったマイ
クロチップ上に、ガスクロマトグラフィの技術と半導体
センサの技術とを巧みにまとめ上げたものであるので、
全体構成がパームトップサイズのコンパクトな形状にま
とまるとともに、超軽量でかつ消費電力が少なく、安価
であり、各種のガスを高精度に測定することができる。 【０００８】そして、半導体ガスセンサから出力される
信号におけるピーク位置に基づいてサンプルガスにおけ
る特定の成分を検出するようにしているので、サンプル
ガスにおける複数の成分を各別に精度よく検出すること
ができる。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。図１および図２は、この発明の一
つの実施の形態を示す。まず、図１は、この発明のガス
分析計の測定部の構成を概略的に示すもので、この図に
おいて、１は例えばガラス板１Ａ，１Ｂを例えば陽極接
合などの手法で気密に接合してなるマイクロチップであ
る。なお、図１においては、両者１Ａ，１Ｂを接合され
る前の分離した状態で示している。一方のガラス板１Ａ
は、長さＬが５ｃｍ、幅Ｍが３ｃｍ、厚みＮが０．５ｃ
ｍ程度の大きさであり、他方のガラス板１Ｂは、長さＬ
および幅Ｍがガラス板１Ａと同じで、厚みｃがやや薄く
例えば０．３ｃｍである。後述する説明から分かるよう
に、ガラス板１Ａはベース板としての機能を有し、ガラ
ス板１Ｂはこれの上面に設けられる蓋材としての機能を
有する。なお、ガラス板１Ａ，１Ｂは、透明、半透明、
不透明のいずれであってもよい。 【００１０】２はベース板１Ａの上面１ａに、適宜のマ
イクロマシニング加工技術を用いて形成される適宜の深
さおよび幅を有する溝で、蓋材１Ｂによってベース板１
Ａの上面１ａを気密に覆うことによってガス流路となる
もので、以下、ガス流路２という。 【００１１】そして、ガス流路２は、図示例では、ベー
ス板１Ａの長手方向の一端縁にサンプルガスＳの導入部
３を備え、ベース板１Ａの長手方向の他端縁にガス導出
部４を備えている。また、ベース板１Ａのサンプルガス
導入部３に近い端縁には、不活性ガスなどのキャリアガ
スＣＧの導入部５が形成され、これに連なる溝６がガス
流路２にサンプルガス導入部３に比較的近い点７におい
て合流している。なお、この溝６も蓋材１Ｂによってベ
ース板１Ａの上面１ａを気密に覆うことによってガス流
路となるもので、以下、キャリアガス流路６という。 【００１２】８は前記合流点７よりもやや下流側のガス
流路２内に形成されるマイクロカラムで、つづら折れ状
に複数回左右方向に往復するように屈曲しており、その
内部には測定対象成分（ガス種）に対応した吸着剤（図
示していない）が充填されている。このマイクロカラム
８は、ガスクロマトグラフの分離カラムと同様に、サン
プルガスＳに含まれる特定の成分を各別に分離すること
ができる。 【００１３】９は前記マイクロカラム８の下流側のガス
流路２のやや幅広の部分２ａに設けられる半導体ガスセ
ンサで、例えば、ＶＯＣｓやＣＯ、ＣＯ2 、ＮＯX 、Ｓ
ＯXなど各種のガスに感応する非選択的なセンサ素子よ
りなり、直径が１ｍｍ以下といったきわめて小さいもの
である。このような半導体ガスセンサ９として、例えば
エフアイエス社製のＳＢシリーズのガスセンサを好適に
用いることができる。このガスセンサは、ガス種によっ
て抵抗値が変化するもので、例えばＳｎＯ2 を主体とす
る感ガス材料を微小なビードに成形してなるものをセン
サ素子を組み込んでいる。１０は半導体ガスセンサ９の
信号取出しのための外部接続端子で、この外部接続端子
１０には、コンピュータなど演算制御装置（図示してい
ない）への接続線が接続される。なお、１１は半導体ガ
スセンサ９と外部接続端子１０との間の接続線である。 【００１４】１２は前記半導体ガスセンサ９が設けられ
た流路２ａよりも下流のガス流路２内に設けられる吸引
するマイクロポンプで、その下流側はガス導出口４に連
なっている。 【００１５】なお、半導体ガスセンサ９およびマイクロ
ポンプ１２の駆動電源は、図示してないが、適宜の手法
で電圧または電力が供給されるようにしてある。 【００１６】次に、上記構成のガス分析計の動作につい
て、図２をも参照しながら説明する。既に説明したよう
に、この実施の形態におけるガス分析計は、上面１ａに
ガス流路２、マイクロカラム８、半導体ガスセンサ９な
どが形成されたガラス板１Ａの前記上面１ａに蓋材１Ｂ
を気密に接合して、マイクロチップ１としたものであ
る。このように構成されたガス分析計において、サンプ
ルガスＳおよびキャリアガスＣＧを、それぞれサンプル
ガス導入部３およびキャリアガス導入部５を介してガス
流路２，６に導入する。これらのガスの導入（ガスサン
プリング）は、マイクロポンプ１２の吸引動作によって
行ってもよいが、マイクロシリンジを前記導入部３，５
に差し込んで、前記サンプルガスＳおよびキャリアガス
ＣＧを押し込むようにしてもよい。 【００１７】前記ガス流路２に導入されたサンプルガス
は、マイクロポンプ１２の動作により、流路２を下流側
に進む。そして、サンプルガスＳがマイクロカラム８を
通過する際、例えば６つの成分Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ
に分離されて、その状態で半導体ガスセンサ９方向に流
れる。そして、このように成分別に分離されたサンプル
ガスＳは、半導体ガスセンサ９を通過するが、この半導
体ガスセンサ９は、非選択性であるので、各成分Ａ〜Ｆ
に対して感度を有し、前述したように、ガス種（成分）
の種類によって抵抗値が変わるので、この半導体ガスセ
ンサ９の出力を演算制御装置（コンピュータ）において
処理することにより、図２において符号ａ〜ｆに示すよ
うに、各成分Ａ〜Ｆのピークが分離された信号が得られ
る。 【００１８】そして、前記ａ〜ｆのピークの表れる位置
（測定開始点ｔ0 からの経過時間）は、各成分Ａ〜Ｆに
固有のものであるので、測定対象成分が例えばＣ，Ｄで
ある場合には、図２において符号Ｗで示す時間幅（ウイ
ンドウ）を予め指定するしておく（具体的には、前記ウ
インドウＷの開始点ｔb と終了点ｔb を指定する。）こ
とにより、前記成分Ｃ，Ｄを測定することができる。こ
の場合、成分Ｃ，Ｄの濃度は、ピークｃ，ｄを含むハッ
チング部分の面積を計算し、これを所定の式に基づいて
換算することによって得ることができる。 【００１９】上述の説明から理解されるように、上記実
施の形態におけるガス分析計においては、ガスクロマト
グラフィの技術と半導体ガスセンサ９と組み合わせてい
るので、サンプルガスＳ中に複数（あるいは多数）の成
分が含まれていても、これらの成分を互いに分離して高
精度に定量分析することができる。そして、半導体ガス
センサ９の信号におけるピーク位置をウインドウ化する
ことにより、測定成分の変更や成分数を変更することが
できる。 【００２０】そして、上記ガス分析計においては、冒頭
に例示したポータブルのＧＣ−ＭＳと比較した場合、体
積比で約１／３００、重量比で約１／２００、消費電力
比で約１／１０００、価格比で約１／１００というよう
に、格段に小型・軽量化、省エネ化並びに低価格化され
る。 【００２１】また、上記ガス分析計においては、可視
光、赤外光、紫外光などといった光源を用いていないの
で、周囲が明るいところでも測定が可能で、上記小型・
軽量・低消費電力といった特質とあいまって、例えば大
気中や土壌中に含まれるＶＯＣｓなどのフィールドサイ
トにおける測定などに好適に用いることができる。 【００２２】なお、マイクロチップ１の素材として、Ｓ
ｉ基板を用いてもよい。また、半導体ガスセンサ９の信
号を処理する回路を、マイクロチップ１に設けてもよ
い。さらに、マイクロポンプ１２は必ずしも設ける必要
はない。 【００２３】 【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、パームトップサイズといった超小型、超軽量でかつ
消費電力が少なく、安価であり、各種のガスを高精度に
測定することのできるガス分析計を得ることができる。
する。 【０００２】 【従来の技術】従来、大気中や土壌中に含まれる揮発性
有機化合物（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏ
ｍｐｏｕｎｄｓ、以下、ＶＯＣｓという）を個々に定量
分析するのに、ＧＣ−ＭＳが使用されていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＧＣ−ＭＳは、高感度測定を行うことができるものの、
消費電力が大きいとともに、装置全体のサイズが大き
く、重量もかなりあり、ハンディなものではなく、現地
などへ持ち込んでフィールド分析を行うには不向きであ
り、さらには、高価であるといった不都合があった。 【０００４】これに対して、近時、ポータブルタイプと
して持ち運び可能なサイズのＧＣ−ＭＳが開発され市販
されつつあるが、依然として持ち運び可能なレベルでポ
ータブルといった代物ではない。なお、従来の通常のガ
ス分析計においても、重量としては１０ｋｇ以上もあ
り、この点においてＧＣ−ＭＳと同様である。 【０００５】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、パームトップサイズ（掌上に載
せられる程度のサイズ）といった超小型、超軽量でかつ
消費電力が少なく、安価であり、各種のガスを高精度に
測定することのできるガス分析計を提供することであ
る。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のガス分析計は、マイクロチップにガス導
入部およびこれに連なるガス流路を形成し、このガス流
路内に、ガス導入部から導入されたサンプルガスに含ま
れる特定の成分を各別に分離するマイクロカラムおよび
マイクロカラムを経たサンプルガスに接触される半導体
ガスセンサを設け、さらに、この半導体ガスセンサを経
たサンプルガスを下流側のガス導出部より排出するよう
に構成するとともに、前記サンプルガスが半導体ガスセ
ンサに接触することによって半導体ガスセンサから出力
される信号におけるピーク位置に基づいて前記サンプル
ガスにおける特定の成分を検出するようにしたことを特
徴としている。 【０００７】上記ガス分析計においては、例えば、厚さ
が０．５ｃｍ、長さが５ｃｍ，幅が３ｃｍといったマイ
クロチップ上に、ガスクロマトグラフィの技術と半導体
センサの技術とを巧みにまとめ上げたものであるので、
全体構成がパームトップサイズのコンパクトな形状にま
とまるとともに、超軽量でかつ消費電力が少なく、安価
であり、各種のガスを高精度に測定することができる。 【０００８】そして、半導体ガスセンサから出力される
信号におけるピーク位置に基づいてサンプルガスにおけ
る特定の成分を検出するようにしているので、サンプル
ガスにおける複数の成分を各別に精度よく検出すること
ができる。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。図１および図２は、この発明の一
つの実施の形態を示す。まず、図１は、この発明のガス
分析計の測定部の構成を概略的に示すもので、この図に
おいて、１は例えばガラス板１Ａ，１Ｂを例えば陽極接
合などの手法で気密に接合してなるマイクロチップであ
る。なお、図１においては、両者１Ａ，１Ｂを接合され
る前の分離した状態で示している。一方のガラス板１Ａ
は、長さＬが５ｃｍ、幅Ｍが３ｃｍ、厚みＮが０．５ｃ
ｍ程度の大きさであり、他方のガラス板１Ｂは、長さＬ
および幅Ｍがガラス板１Ａと同じで、厚みｃがやや薄く
例えば０．３ｃｍである。後述する説明から分かるよう
に、ガラス板１Ａはベース板としての機能を有し、ガラ
ス板１Ｂはこれの上面に設けられる蓋材としての機能を
有する。なお、ガラス板１Ａ，１Ｂは、透明、半透明、
不透明のいずれであってもよい。 【００１０】２はベース板１Ａの上面１ａに、適宜のマ
イクロマシニング加工技術を用いて形成される適宜の深
さおよび幅を有する溝で、蓋材１Ｂによってベース板１
Ａの上面１ａを気密に覆うことによってガス流路となる
もので、以下、ガス流路２という。 【００１１】そして、ガス流路２は、図示例では、ベー
ス板１Ａの長手方向の一端縁にサンプルガスＳの導入部
３を備え、ベース板１Ａの長手方向の他端縁にガス導出
部４を備えている。また、ベース板１Ａのサンプルガス
導入部３に近い端縁には、不活性ガスなどのキャリアガ
スＣＧの導入部５が形成され、これに連なる溝６がガス
流路２にサンプルガス導入部３に比較的近い点７におい
て合流している。なお、この溝６も蓋材１Ｂによってベ
ース板１Ａの上面１ａを気密に覆うことによってガス流
路となるもので、以下、キャリアガス流路６という。 【００１２】８は前記合流点７よりもやや下流側のガス
流路２内に形成されるマイクロカラムで、つづら折れ状
に複数回左右方向に往復するように屈曲しており、その
内部には測定対象成分（ガス種）に対応した吸着剤（図
示していない）が充填されている。このマイクロカラム
８は、ガスクロマトグラフの分離カラムと同様に、サン
プルガスＳに含まれる特定の成分を各別に分離すること
ができる。 【００１３】９は前記マイクロカラム８の下流側のガス
流路２のやや幅広の部分２ａに設けられる半導体ガスセ
ンサで、例えば、ＶＯＣｓやＣＯ、ＣＯ2 、ＮＯX 、Ｓ
ＯXなど各種のガスに感応する非選択的なセンサ素子よ
りなり、直径が１ｍｍ以下といったきわめて小さいもの
である。このような半導体ガスセンサ９として、例えば
エフアイエス社製のＳＢシリーズのガスセンサを好適に
用いることができる。このガスセンサは、ガス種によっ
て抵抗値が変化するもので、例えばＳｎＯ2 を主体とす
る感ガス材料を微小なビードに成形してなるものをセン
サ素子を組み込んでいる。１０は半導体ガスセンサ９の
信号取出しのための外部接続端子で、この外部接続端子
１０には、コンピュータなど演算制御装置（図示してい
ない）への接続線が接続される。なお、１１は半導体ガ
スセンサ９と外部接続端子１０との間の接続線である。 【００１４】１２は前記半導体ガスセンサ９が設けられ
た流路２ａよりも下流のガス流路２内に設けられる吸引
するマイクロポンプで、その下流側はガス導出口４に連
なっている。 【００１５】なお、半導体ガスセンサ９およびマイクロ
ポンプ１２の駆動電源は、図示してないが、適宜の手法
で電圧または電力が供給されるようにしてある。 【００１６】次に、上記構成のガス分析計の動作につい
て、図２をも参照しながら説明する。既に説明したよう
に、この実施の形態におけるガス分析計は、上面１ａに
ガス流路２、マイクロカラム８、半導体ガスセンサ９な
どが形成されたガラス板１Ａの前記上面１ａに蓋材１Ｂ
を気密に接合して、マイクロチップ１としたものであ
る。このように構成されたガス分析計において、サンプ
ルガスＳおよびキャリアガスＣＧを、それぞれサンプル
ガス導入部３およびキャリアガス導入部５を介してガス
流路２，６に導入する。これらのガスの導入（ガスサン
プリング）は、マイクロポンプ１２の吸引動作によって
行ってもよいが、マイクロシリンジを前記導入部３，５
に差し込んで、前記サンプルガスＳおよびキャリアガス
ＣＧを押し込むようにしてもよい。 【００１７】前記ガス流路２に導入されたサンプルガス
は、マイクロポンプ１２の動作により、流路２を下流側
に進む。そして、サンプルガスＳがマイクロカラム８を
通過する際、例えば６つの成分Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ
に分離されて、その状態で半導体ガスセンサ９方向に流
れる。そして、このように成分別に分離されたサンプル
ガスＳは、半導体ガスセンサ９を通過するが、この半導
体ガスセンサ９は、非選択性であるので、各成分Ａ〜Ｆ
に対して感度を有し、前述したように、ガス種（成分）
の種類によって抵抗値が変わるので、この半導体ガスセ
ンサ９の出力を演算制御装置（コンピュータ）において
処理することにより、図２において符号ａ〜ｆに示すよ
うに、各成分Ａ〜Ｆのピークが分離された信号が得られ
る。 【００１８】そして、前記ａ〜ｆのピークの表れる位置
（測定開始点ｔ0 からの経過時間）は、各成分Ａ〜Ｆに
固有のものであるので、測定対象成分が例えばＣ，Ｄで
ある場合には、図２において符号Ｗで示す時間幅（ウイ
ンドウ）を予め指定するしておく（具体的には、前記ウ
インドウＷの開始点ｔb と終了点ｔb を指定する。）こ
とにより、前記成分Ｃ，Ｄを測定することができる。こ
の場合、成分Ｃ，Ｄの濃度は、ピークｃ，ｄを含むハッ
チング部分の面積を計算し、これを所定の式に基づいて
換算することによって得ることができる。 【００１９】上述の説明から理解されるように、上記実
施の形態におけるガス分析計においては、ガスクロマト
グラフィの技術と半導体ガスセンサ９と組み合わせてい
るので、サンプルガスＳ中に複数（あるいは多数）の成
分が含まれていても、これらの成分を互いに分離して高
精度に定量分析することができる。そして、半導体ガス
センサ９の信号におけるピーク位置をウインドウ化する
ことにより、測定成分の変更や成分数を変更することが
できる。 【００２０】そして、上記ガス分析計においては、冒頭
に例示したポータブルのＧＣ−ＭＳと比較した場合、体
積比で約１／３００、重量比で約１／２００、消費電力
比で約１／１０００、価格比で約１／１００というよう
に、格段に小型・軽量化、省エネ化並びに低価格化され
る。 【００２１】また、上記ガス分析計においては、可視
光、赤外光、紫外光などといった光源を用いていないの
で、周囲が明るいところでも測定が可能で、上記小型・
軽量・低消費電力といった特質とあいまって、例えば大
気中や土壌中に含まれるＶＯＣｓなどのフィールドサイ
トにおける測定などに好適に用いることができる。 【００２２】なお、マイクロチップ１の素材として、Ｓ
ｉ基板を用いてもよい。また、半導体ガスセンサ９の信
号を処理する回路を、マイクロチップ１に設けてもよ
い。さらに、マイクロポンプ１２は必ずしも設ける必要
はない。 【００２３】 【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、パームトップサイズといった超小型、超軽量でかつ
消費電力が少なく、安価であり、各種のガスを高精度に
測定することのできるガス分析計を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のガス分析計の一例を概略的に示す分
解斜視図である。 【図２】前記ガス分析計の動作説明のための図である。 【符号の説明】 １…マイクロチップ、２…ガス流路、３…ガス導入部、
４…ガス導出部、８…マイクロカラム、９…半導体ガス
センサ、Ｓ…サンプルガス。
解斜視図である。 【図２】前記ガス分析計の動作説明のための図である。 【符号の説明】 １…マイクロチップ、２…ガス流路、３…ガス導入部、
４…ガス導出部、８…マイクロカラム、９…半導体ガス
センサ、Ｓ…サンプルガス。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G046 AA11 AA12 AA13 AA14 AA34
BA02 BG04 DB04 DC14 DC16
DC17 DC18 FB02 FE39
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 マイクロチップにガス導入部およびこれ
に連なるガス流路を形成し、このガス流路内に、ガス導
入部から導入されたサンプルガスに含まれる特定の成分
を各別に分離するマイクロカラムおよびマイクロカラム
を経たサンプルガスに接触される半導体ガスセンサを設
け、さらに、この半導体ガスセンサを経たサンプルガス
を下流側のガス導出部より排出するように構成するとと
もに、前記サンプルガスが半導体ガスセンサに接触する
ことによって半導体ガスセンサから出力される信号にお
けるピーク位置に基づいて前記サンプルガスにおける特
定の成分を検出するようにしたことを特徴とするガス分
析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001246728A JP2003057223A (ja) | 2001-08-15 | 2001-08-15 | ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001246728A JP2003057223A (ja) | 2001-08-15 | 2001-08-15 | ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003057223A true JP2003057223A (ja) | 2003-02-26 |
Family
ID=19076210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001246728A Pending JP2003057223A (ja) | 2001-08-15 | 2001-08-15 | ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003057223A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004053404A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | New Cosmos Electric Corp | 都市ガス検知装置 |
| WO2005068989A1 (ja) * | 2004-01-20 | 2005-07-28 | Suntory Limited | ガス検出方法および検出装置 |
| JP2007248323A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 分子検出センサ |
| JP2008232799A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Shimadzu Corp | 熱分解ガスクロマトグラフ装置 |
| JP2010517001A (ja) * | 2007-01-17 | 2010-05-20 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 流体導入用の側面開口部を有するマイクロ流体チップ |
| JP2011163818A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Sharp Corp | ガス分析装置 |
| JP2011163819A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Sharp Corp | ガス分析装置 |
| JP2011524536A (ja) * | 2008-06-17 | 2011-09-01 | トライコーンテック コーポレイション | 医療用途のためのハンドヘルドガス分析システム |
| JP2016520823A (ja) * | 2013-04-30 | 2016-07-14 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー．Ｈｅｗｌｅｔｔ‐Ｐａｃｋａｒｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏｍｐａｎｙ， Ｌ．Ｐ． | マイクロ流体センシング装置及びシステム |
| US9658196B2 (en) | 2009-07-31 | 2017-05-23 | Tricorntech Corporation | Gas collection and analysis system with front-end and back-end pre-concentrators and moisture removal |
| US9683974B2 (en) | 2009-07-07 | 2017-06-20 | Tricorntech Corporation | Cascaded gas chromatographs (CGCs) with individual temperature control and gas analysis systems using same |
| US9921192B2 (en) | 2010-04-23 | 2018-03-20 | Tricorntech Corporation | Gas analyte spectrum sharpening and separation with multi-dimensional micro-GC for gas chromatography analysis |
-
2001
- 2001-08-15 JP JP2001246728A patent/JP2003057223A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004053404A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | New Cosmos Electric Corp | 都市ガス検知装置 |
| WO2005068989A1 (ja) * | 2004-01-20 | 2005-07-28 | Suntory Limited | ガス検出方法および検出装置 |
| US7493795B2 (en) | 2004-01-20 | 2009-02-24 | Suntory Limited | Gas detection method and gas detection apparatus |
| JP2007248323A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 分子検出センサ |
| JP2010517001A (ja) * | 2007-01-17 | 2010-05-20 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 流体導入用の側面開口部を有するマイクロ流体チップ |
| JP2008232799A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Shimadzu Corp | 熱分解ガスクロマトグラフ装置 |
| JP2011524536A (ja) * | 2008-06-17 | 2011-09-01 | トライコーンテック コーポレイション | 医療用途のためのハンドヘルドガス分析システム |
| JP2014232110A (ja) * | 2008-06-17 | 2014-12-11 | トライコーンテック コーポレイション | 医療用途のためのハンドヘルドガス分析システム |
| US9683974B2 (en) | 2009-07-07 | 2017-06-20 | Tricorntech Corporation | Cascaded gas chromatographs (CGCs) with individual temperature control and gas analysis systems using same |
| US9658196B2 (en) | 2009-07-31 | 2017-05-23 | Tricorntech Corporation | Gas collection and analysis system with front-end and back-end pre-concentrators and moisture removal |
| JP2011163819A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Sharp Corp | ガス分析装置 |
| JP2011163818A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Sharp Corp | ガス分析装置 |
| US9921192B2 (en) | 2010-04-23 | 2018-03-20 | Tricorntech Corporation | Gas analyte spectrum sharpening and separation with multi-dimensional micro-GC for gas chromatography analysis |
| US11035834B2 (en) | 2010-04-23 | 2021-06-15 | TricornTech Taiwan | Gas analyte spectrum sharpening and separation with multi-dimensional micro-GC for gas chromatography analysis |
| US11796515B2 (en) | 2010-04-23 | 2023-10-24 | Tricorntech Corporation | Gas analyte spectrum sharpening and separation with multi-dimensional micro-GC for gas chromatography analysis |
| JP2016520823A (ja) * | 2013-04-30 | 2016-07-14 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー．Ｈｅｗｌｅｔｔ‐Ｐａｃｋａｒｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏｍｐａｎｙ， Ｌ．Ｐ． | マイクロ流体センシング装置及びシステム |
| US10272428B2 (en) | 2013-04-30 | 2019-04-30 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic sensing device and system |
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