JP2003056926A - Troubleshooting method and troubleshooting apparatus for cryogenic refrigerating machine - Google Patents

Troubleshooting method and troubleshooting apparatus for cryogenic refrigerating machine

Info

Publication number
JP2003056926A
JP2003056926A JP2001245438A JP2001245438A JP2003056926A JP 2003056926 A JP2003056926 A JP 2003056926A JP 2001245438 A JP2001245438 A JP 2001245438A JP 2001245438 A JP2001245438 A JP 2001245438A JP 2003056926 A JP2003056926 A JP 2003056926A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cryogenic
value
compressor
sensor
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001245438A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Minoru Yagi
実 八木
Kazuhiro Nomi
和博 乃美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority to JP2001245438A priority Critical patent/JP2003056926A/en
Publication of JP2003056926A publication Critical patent/JP2003056926A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a troubleshooting method for a cryogenic refrigerating machine comprising the steps of finding a refrigerating machine exhibiting a deteriorated refrigeration performance from among an enormous number of base stations, and executing maintenance and inspection in an early stage, and to provide a troubleshooting apparatus for the same. SOLUTION: The troubleshooting apparatus for the cryogenic refrigerating machine comprises a cold box 6, a cold stage 7a provided in the cold box 6, a cryogenic compressor 7c for cooling the cold stage 7a, circuit elements installed in the cold stage 7a, a sensor provided on an arbitrary one of the elements and having an arbitrary detecting function, and a controller 8 to which a detection signal of the sensor is inputted and which executes control for troubleshooting the cryogenic refrigerating machine 7 when the value of the input signal is judged to be abnormal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は冷凍機の故障修復装
置、特に、携帯電話機用の基地局の回路要素、例えば超
伝導フィルタの冷却などに供する極低温冷凍機の故障修
復装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a refrigerating machine failure repairing apparatus, and more particularly to a cryogenic refrigerating machine failure repairing apparatus used for cooling a circuit element of a base station for a mobile phone such as a superconducting filter.

【0002】[0002]

【従来技術】近年、携帯電話機やPHS(簡易型携帯電
話機)などによる移動体通信が増えることにより、通信
業者の数もまた増加してきている。このため、一つの回
線が占める周波数帯域を狭くし、また、通信業者の専有
する周波数領域毎の差を狭くすることにより、資源を有
効に利用する対策が検討されている。しかし、今までの
ようなフィルタを使用している状況では、通信業者の専
有する周波数領域毎の差を狭くすると、隣接する周波数
領域で隣接干渉が生じ、問題となる。この問題を解決す
るためには、より矩形に近い急峻な減衰特性を有し、ロ
スの少ない通過特性も兼ね備えたフィルタが要求され
る。超伝導フィルタは、このような要求を唯一満足でき
るフィルタとして知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, as the number of mobile communications using mobile phones, PHSs (simple mobile phones) and the like has increased, the number of carriers has also increased. Therefore, measures for effectively using resources are being considered by narrowing the frequency band occupied by one line and narrowing the difference between the frequency regions occupied by communication carriers. However, in the situation where the filter is used up to now, if the difference for each frequency domain occupied by the communication carrier is narrowed, adjacent interference occurs in the adjacent frequency domain, which causes a problem. In order to solve this problem, a filter having a steep attenuation characteristic closer to a rectangular shape and a pass characteristic with less loss is required. Superconducting filters are known to be the only filters that can meet these requirements.

【0003】マイクロ波帯域での超伝導体の表面抵抗は
常電導金属に比較して1桁以上低いため、この超伝導体
を移動体通信基地局用フィルタに適用すると、(1)一
定のQ値(共鳴の鋭さを表す量で、デバイスの品質パラ
メータに対応する)をもつ常電導装置の体積が100分
の1と小さくなり、(2)一定体積の装置では超伝導装
置のQ値は常電導装置の10〜30倍の大きさになるこ
とから注目されている。高温超伝導体を用いるフィルタ
では冷凍ペナルティが大幅に低減できるため、小型冷凍
機の進展と相まって開発が一層活発化している。
Since the surface resistance of a superconductor in the microwave band is lower than that of a normal conducting metal by one digit or more, when this superconductor is applied to a filter for a mobile communication base station, (1) a constant Q is obtained. The volume of the normal conducting device having a value (a quantity representing the sharpness of resonance and corresponding to the quality parameter of the device) is reduced to 1/100, and (2) the Q value of the superconducting device is usually constant in a device of a constant volume. It is attracting attention because it is 10 to 30 times as large as a conductive device. Since the refrigeration penalty can be greatly reduced in filters using high-temperature superconductors, the development is becoming more active along with the progress of small refrigerators.

【0004】上述のような急峻な減衰特性を所望通り得
るためには、精度の高い超伝導フィルタが必要となり、
それを製造する段階でフィルタの調整プロセスを必要と
する。この超伝導フィルタは、低温において所望の特性
を保持するために必要な極低温冷凍機の保守点検が欠か
せない。
In order to obtain the above-mentioned steep attenuation characteristics as desired, a highly accurate superconducting filter is required,
It requires a filter adjustment process at the manufacturing stage. This superconducting filter requires the maintenance and inspection of the cryogenic refrigerator required to maintain the desired characteristics at low temperatures.

【0005】そこで、まず、携帯電話機の通信回路のど
の部分に超伝導フィルタを使用するかを図4、5に示
す。
Therefore, first, FIGS. 4 and 5 show which part of the communication circuit of the mobile phone the superconducting filter is used for.

【0006】図4は従来の受信系の基地局のブロック構
成図である。図5は従来の基地局と携帯電話機との関係
を示す従来例を説明する概略図である。
FIG. 4 is a block diagram of a base station of a conventional receiving system. FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a conventional example showing a relationship between a conventional base station and a mobile phone.

【0007】携帯電話機1は、鉄塔やビルの屋上に設置
された基地局2のアンテナ3と送受信を行なうことによ
り相手方との通話を可能にする。
The mobile phone 1 enables communication with the other party by transmitting and receiving to and from the antenna 3 of the base station 2 installed on the roof of a steel tower or a building.

【0008】このアンテナ3は、受信と送信とに兼用す
るデュプレクサーとして構成される。アンテナ3で受信
した受信波は図4の受信系回路で処理され、アンテナ3
から送信される送信波は図示しない送信系回路で処理さ
れる。
The antenna 3 is constructed as a duplexer for both reception and transmission. The reception wave received by the antenna 3 is processed by the reception system circuit of FIG.
The transmission wave transmitted from is processed by a transmission system circuit (not shown).

【0009】受信系において、超伝導フィルタをアンテ
ナ直下の受信系に組み込むことで混信を効果的に防止す
ることができるので、アンテナ3は超伝導フィルタ4に
接続される。この超伝導フィルタ4には低雑音増幅器5
が接続され次段の受信信号処理系に接続される。その受
信信号処理系はさらに電話回線へと接続される。
In the receiving system, interference can be effectively prevented by incorporating the superconducting filter into the receiving system immediately below the antenna, so that the antenna 3 is connected to the superconducting filter 4. This superconducting filter 4 has a low noise amplifier 5
Are connected to the reception signal processing system of the next stage. The received signal processing system is further connected to a telephone line.

【0010】コールドボックス6は、例えば真空断熱に
より外部からの熱侵入を遮断する構造となっており、極
低温冷凍機7の一部を成すコールドステージ7a、回路
要素である超伝導フィルタ4及び低雑音増幅器5を収納
し、内気と外気との真空断熱状態を保ち、コールドステ
ージ7aの極低温冷却を可能とする。コールドボックス
6がなければ、大気中の水分は凝縮し、また大気の熱伝
導によって冷凍機への多量の熱侵入があり、極低温まで
冷却されることはない。
The cold box 6 has a structure for blocking heat invasion from the outside by, for example, vacuum heat insulation, and has a cold stage 7a forming a part of the cryogenic refrigerator 7, a superconducting filter 4 which is a circuit element, and a low temperature. The noise amplifier 5 is housed, the vacuum insulation between the inside air and the outside air is maintained, and the cold stage 7a can be cooled at an extremely low temperature. Without the cold box 6, moisture in the atmosphere is condensed, and a large amount of heat enters the refrigerator due to heat conduction in the atmosphere, so that it is not cooled to an extremely low temperature.

【0011】コールドボックス6の内部に封入された超
伝導フィルタ4及び低雑音増幅器5は極低温冷凍機7に
より、例えば液体窒素温度(77K以下)といった極め
て低い温度に冷却される。ここで極低温冷凍機7は、ヘ
リウムガス等の圧縮・膨張による熱交換サイクルを利用
することより、77K以下といった極めて低い温度を維
持できる極低温圧縮機7c、連結部材7b、コールドス
テージ7aおよびそれらを連結する配管から構成され
る。極低温圧縮機7cは、図示しない制御装置によっ
て、冷却するように運転されている。運転制御方式はフ
ィードバック制御方式、フィードフォアード制御方式、
ファジー制御方式等適宜選択することができる。コール
ドボックス6内は予め図示しない真空ポンプによって、
真空排気後密封され、超高真空が保たれる。
The superconducting filter 4 and the low noise amplifier 5 enclosed in the cold box 6 are cooled by the cryogenic refrigerator 7 to an extremely low temperature such as liquid nitrogen temperature (77 K or less). Here, the cryogenic refrigerator 7 uses a heat exchange cycle by compression / expansion of helium gas or the like to maintain an extremely low temperature of 77K or less, a cryogenic compressor 7c, a connecting member 7b, a cold stage 7a and those. It is composed of piping for connecting. The cryogenic compressor 7c is operated so as to be cooled by a control device (not shown). Operation control system is feedback control system, feed-forward control system,
A fuzzy control method or the like can be appropriately selected. The inside of the cold box 6 is previously set by a vacuum pump (not shown),
After vacuum evacuation, it is hermetically sealed to maintain an ultrahigh vacuum.

【0012】このように、超伝導フィルタ4及び低雑音
増幅器5を極低温に冷却することにより、超伝導フィル
タ4及び低雑音増幅器5で発生する熱雑音を極限的に低
減することができる。その結果、従来の高感度無線受信
機の雑音指数は大幅に改善され、受信感度が大幅に改善
される。従って、このような高感度無線受信機を用いる
ことにより、低いレベルの受信信号に対しても例えば規
定されたC/N(搬送波電力/雑音電力)の受信出力を
得ることができる。また、規定されたC/Nの受信出力
を得るのに必要な送信側の送信電力が小さくて済む効果
を得ることができる。
As described above, by cooling the superconducting filter 4 and the low noise amplifier 5 to an extremely low temperature, the thermal noise generated in the superconducting filter 4 and the low noise amplifier 5 can be reduced to the utmost limit. As a result, the noise figure of the conventional high-sensitivity wireless receiver is significantly improved, and the reception sensitivity is significantly improved. Therefore, by using such a high-sensitivity radio receiver, it is possible to obtain a reception output of, for example, a prescribed C / N (carrier power / noise power) even for a low-level reception signal. Further, it is possible to obtain the effect that the transmission power on the transmission side required to obtain the specified C / N reception output is small.

【0013】ここで、極低温用の超伝導フィルタ4及び
低雑音増幅器5としては、液体窒素を用いて簡便かつ比
較的短時間に調整を行うことができることから、77K
以下で動作するように設計されるものが多い。
Since the superconducting filter 4 and the low noise amplifier 5 for cryogenic temperatures can be adjusted easily and in a relatively short time by using liquid nitrogen, 77K
Many are designed to work with:

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】従来の高感度無線受信
機において、77Kで動作するように設計されている低
雑音増幅器5、超伝導フィルタ4の各種温度特性の一例
をそれぞれ図6〜10に示す。
6 to 10 show examples of various temperature characteristics of the low noise amplifier 5 and the superconducting filter 4 which are designed to operate at 77K in the conventional high sensitivity radio receiver. Show.

【0015】図6は従来の高感度無線受信機において7
7Kで動作する受信系の低雑音増幅器のアンプ利得およ
びアンプ雑音指数の温度変化を示す図である。図7は従
来の高感度無線受信機における77Kでの受信帯域フィ
ルタの挿入損失の温度変化を示す図である。
FIG. 6 shows a conventional high-sensitivity radio receiver 7
It is a figure which shows the temperature change of the amplifier gain and amplifier noise figure of the low noise amplifier of the receiving system which operate | moves at 7K. FIG. 7 is a diagram showing a temperature change of the insertion loss of the reception band filter at 77K in the conventional high sensitivity wireless receiver.

【0016】低雑音増幅器5は図6に示すように温度が
低くなるほど雑音指数が低減し、利得が増加する。ま
た、超伝導フィルタ4も図7に示すように温度が低くな
るほど挿入損失が低減される。
As shown in FIG. 6, the low noise amplifier 5 has a lower noise figure and a higher gain as the temperature decreases. Also, in the superconducting filter 4, as shown in FIG. 7, the insertion loss is reduced as the temperature becomes lower.

【0017】このように極低温で動作する上記回路要素
はそれぞれの特性が温度変化する特徴を有する。
As described above, the circuit elements operating at extremely low temperatures are characterized in that their respective characteristics change with temperature.

【0018】また、超伝導フィルタ4はアンテナ1から
受信した電波を途中で受信用の信号処理系の回路へ分岐
し、この電波が混信のない状態になるよう、ノイズをカ
ットしている。この超伝導フィルタ4は、極低温に冷却
する必要があり、極低温冷凍機7のコールドステージ7
a上に設置されている。
Further, the superconducting filter 4 branches the radio wave received from the antenna 1 to the circuit of the signal processing system for reception on the way, and cuts the noise so that this radio wave is free from interference. This superconducting filter 4 needs to be cooled to a cryogenic temperature, and the cold stage 7 of the cryogenic refrigerator 7
It is installed on a.

【0019】受信信号は、超伝導フィルタ4を通過した
後、低雑音増幅器5によって増幅され、コールドボック
ス6を出て、受信信号の処理系へ送られる。低雑音増幅
器5もコールドステージ7a上に設置されている。極低
温冷凍機7は、ギホードマクマホン冷凍機、スターリン
グ冷凍機、パルス管冷凍機など極低温に冷却される蓄冷
式冷凍機であれば、どれを使用しても良い。コールドス
テージ7a、連結部材7b、極低温圧縮機7cおよびそ
れらの間の配管によって極低温冷凍機7を構成する。
The received signal passes through the superconducting filter 4, is amplified by the low noise amplifier 5, exits the cold box 6, and is sent to the received signal processing system. The low noise amplifier 5 is also installed on the cold stage 7a. The cryogenic refrigerator 7 may be any cold storage refrigerator, such as a Gifode McMahon refrigerator, a Stirling refrigerator, a pulse tube refrigerator, etc., as long as it is a cold storage refrigerator. The cold stage 7a, the connecting member 7b, the cryogenic compressor 7c and the piping between them constitute the cryogenic refrigerator 7.

【0020】スターリング冷凍機を例に挙げれば、ヘリ
ウムHeを冷媒として、対向型のピストンを有する圧縮
機で圧縮し、冷凍機側にはバネによって片端を支承され
たディスプレイサーをシリンダー内に内蔵し、そのディ
スプレイサーには低温で比熱の高い蓄冷材が詰めてあ
り、冷媒ガスの断熱膨張によって蓄冷材に蓄冷され、こ
れを繰り返すことにより、70K程度の極低温まで冷却
される。このサイクルは逆スターリングサイクルであ
る。冷却されるシリンダー先端には熱伝導の良い材質で
円盤状に形成されたコールドステージを固着し、前記超
伝導フィルタ4および低雑音増幅器5を設置して、冷却
している。
Taking a Stirling refrigerator as an example, helium He is used as a refrigerant for compression by a compressor having an opposed piston, and a refrigerator is equipped with a displacer whose one end is supported by a spring inside the cylinder. The displacer is filled with a cool storage material having a low specific heat at a low temperature, which is stored in the cool storage material by adiabatic expansion of the refrigerant gas, and by repeating this, it is cooled to an extremely low temperature of about 70K. This cycle is a reverse Stirling cycle. A disk-shaped cold stage made of a material having good heat conductivity is fixed to the tip of the cooled cylinder, and the superconducting filter 4 and the low noise amplifier 5 are installed to cool the cylinder.

【0021】従来、極低温冷凍機の用途として、クライ
オポンプ、半導体冷却装置、寒剤凝縮機等があり、工場
内使用など比較的緊急のメンテナンスを要望されるもの
はすくなかった。しかし、現在、膨大な数の基地局に超
伝導フィルタが使用される状況となり、このフィルタの
冷却には極低温冷凍機が使用されるため、極低温冷凍機
に故障が発生したときは、該当する極低温冷凍機をこの
膨大な数の基地局のなかから速やかに検知し、修理復旧
する必要がある。
Conventionally, as cryogenic refrigerators, cryopumps, semiconductor cooling devices, cryogen condensers, etc. have been used, and relatively few urgent maintenance requests such as in-plant use have been made. However, nowadays, superconducting filters are used in a huge number of base stations, and a cryogenic refrigerator is used to cool this filter. It is necessary to promptly detect the cryogenic refrigerator that is used in this vast number of base stations and repair and restore it.

【0022】本発明の目的は、このように膨大な数の基
地局の中から、冷凍性能の低下した冷凍機を見つけ出
し、すぐに保守点検処理を行う極低温冷凍機の故障修復
方法および故障修復装置を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to find a refrigerator with a low refrigerating performance from such a huge number of base stations and immediately perform maintenance and inspection processing. The purpose is to provide a device.

【0023】[0023]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために以下の手段を採用する。 (1)極低温冷凍機の故障修復装置において、コールド
ボックスと、該コールドボックス内に設けるコールドス
テージと、該コールドステージを冷却する極低温圧縮機
と、該コールドステージに設置する回路要素と、前記構
成要素の内の任意のものに設けた任意の検出機能のセン
サーと、該センサーの検出信号を入力し該検出信号の値
が異常と判断したとき前記極低温冷凍機を故障修復制御
する制御装置とを備えたことを特徴とする。 (2)上記(1)記載の極低温冷凍機の故障修復装置に
おいて、冷媒ガスタンクを冷媒ガス供給バルブを介して
前記極低温圧縮機に配管し、一端を大気に開放した冷媒
ガス放出バルブを他端で前記極低温圧縮機に配管し、前
記制御装置は前記故障修復制御により冷媒ガスの置換を
行うことを特徴とする。 (3)上記(1)または(2)記載の極低温冷凍機の故
障修復装置において、前記センサーを温度センサーと圧
力センサーとし、該温度センサーを前記回路要素と前記
コールドステージと前記極低温圧縮機に設け、該圧力セ
ンサーを前記極低温圧縮機に設けたことを特徴とする。 (4)上記(3)記載の極低温冷凍機の故障修復装置に
おいて、前記制御装置が、前記各センサーの内の任意の
センサーの検出信号の値と前記極低温圧縮機の給電電流
値とその電圧値とその圧力値の内の任意の検出値が異常
であると判断したとき、前記極低温圧縮機を停止制御
し、修理ステーションへ異常情報を送信し、前記検出値
が異常でないと判断したとき、ガス置換処理を行うこと
を特徴とする。 (5)上記(1)から(4)のいずれか1項記載の極低
温冷凍機の故障修復装置において、前記回路要素を超伝
導フィルタとしたことを特徴とする。 (6)極低温冷凍機の故障修復方法において、極低温圧
縮機がコールドボックス内に設けられ回路要素を載置す
るコールドステージを極低温に冷却するステップ、特定
検出機能のセンサーが構成要素の内の任意のものの特定
機能を検出するステップ、制御装置が、前記各センサー
の内の任意のセンサーの検出信号の値と前記極低温圧縮
機の給電電流値とその電圧値とその圧力値の内の任意の
検出値が異常であるか否か判断するステップ、前記ステ
ップにおいて前記検出値が異常であると判断したとき前
記極低温圧縮機を停止制御し、修理ステーションへ異常
情報を送信するステップ、前記ステップにおいて前記検
出値が異常でないと判断したとき、ガス置換処理を行う
ステップから構成されることを特徴とする。
The present invention employs the following means in order to achieve the above object. (1) In a failure repair device for a cryogenic refrigerator, a cold box, a cold stage provided in the cold box, a cryogenic compressor for cooling the cold stage, a circuit element installed in the cold stage, and A sensor having an arbitrary detection function provided in any of the constituent elements, and a control device for inputting a detection signal of the sensor and controlling failure repair of the cryogenic refrigerator when the value of the detection signal is determined to be abnormal It is characterized by having and. (2) In the cryogenic refrigerator failure repair device according to (1) above, a refrigerant gas tank is connected to the cryogenic compressor via a refrigerant gas supply valve, and a refrigerant gas discharge valve having one end open to the atmosphere is provided. The end is connected to the cryogenic compressor, and the control device replaces the refrigerant gas by the failure repair control. (3) In the cryogenic refrigerator failure repair device according to (1) or (2), the sensor is a temperature sensor and a pressure sensor, and the temperature sensor is the circuit element, the cold stage, and the cryogenic compressor. And the pressure sensor is provided in the cryogenic compressor. (4) In the failure repair device for a cryogenic refrigerator described in (3) above, the control device causes a value of a detection signal of an arbitrary sensor among the sensors, a value of a feeding current of the cryogenic compressor, and a value thereof. When it was determined that any detected value out of the voltage value and its pressure value was abnormal, the cryogenic compressor was stopped and controlled, abnormal information was transmitted to the repair station, and it was determined that the detected value was not abnormal. At this time, a gas replacement process is performed. (5) In the cryogenic refrigerator failure repair device according to any one of (1) to (4), the circuit element is a superconducting filter. (6) In the method of repairing a failure of a cryogenic refrigerator, a step of cooling a cold stage in which a cryogenic compressor is provided in a cold box and a circuit element is placed to a cryogenic temperature, and a sensor having a specific detection function is one of the constituent elements. A step of detecting a specific function of any of the above, a control device selects a value of a detection signal of any sensor of the respective sensors, a feed current value of the cryogenic compressor, a voltage value thereof and a pressure value thereof. Determining whether or not any detected value is abnormal, stopping control of the cryogenic compressor when determining that the detected value is abnormal in the step, and transmitting abnormal information to a repair station, When it is determined that the detected value is not abnormal in step, the gas replacement process is performed.

【0024】(本発明の実施例1)以下、本発明の実施
例1を図面に基づいて詳細に説明する。
First Embodiment of the Present Invention A first embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0025】図1は本発明の実施例1を示すブロック構
成図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention.

【0026】図1の回路は送信信号系と受信信号系を備
えたデュプレックス構成になっている。アンテナ3に回
路要素である超伝導フィルタ4および低雑音増幅器5を
接続して受信信号を出力する受信信号系において、コー
ルドボックス6内に収納した前記超伝導フィルタ4およ
び低雑音増幅器5をコールドステージ7aを介して極低
温圧縮機7cにより冷却する構成は図2のものと同じで
ある。
The circuit of FIG. 1 has a duplex configuration including a transmission signal system and a reception signal system. In a reception signal system that outputs a reception signal by connecting a superconducting filter 4 and a low noise amplifier 5 which are circuit elements to the antenna 3, the superconducting filter 4 and the low noise amplifier 5 housed in a cold box 6 are cold staged. The structure of cooling by the cryogenic compressor 7c via 7a is the same as that of FIG.

【0027】本発明は、回路要素である受信信号系の低
雑音増幅器5の後段に制御手段となる制御装置8等を設
けた故障修復装置により極低温冷凍機の故障検知および
修理・異常保護等の処理を行うようにしている。
According to the present invention, a failure repair device having a control device 8 or the like as a control unit provided after the low noise amplifier 5 of the received signal system, which is a circuit element, detects a failure of the cryogenic refrigerator, repairs and protects the abnormality. The processing of is performed.

【0028】故障修復装置は、制御装置8と、この制御
装置8の入力となる各種センサー21〜25および各セ
ンサーライン9a、10〜13と、この制御装置8の出
力となるバルブ操作ライン14および17並びに異常通
報ライン19とからなる。
The failure repair device includes a control device 8, various sensors 21 to 25 and respective sensor lines 9a and 10 to 13 which are inputs to the control device 8, and a valve operation line 14 which is an output from the control device 8. 17 and an abnormality notification line 19.

【0029】制御装置8は、各センサーの検出信号を入
力する入力回路、演算回路、判断基準データや各手順等
を記憶した記憶回路、および出力回路を有し、内蔵する
各種プログラムにより制御される。制御装置8の機能設
定は、ゲート回路の組合せによる機能設定、プログラム
による機能設定、マスクパターンの組合せによる機能設
定など、どのような形態での実現も可能である。
The control device 8 has an input circuit for inputting the detection signal of each sensor, an arithmetic circuit, a memory circuit for storing judgment reference data and each procedure, and an output circuit, and is controlled by various programs incorporated therein. . The function setting of the control device 8 can be realized in any form such as function setting by a combination of gate circuits, function setting by a program, and function setting by a combination of mask patterns.

【0030】極低温圧縮機7cから給電端子へは圧縮機
電源ライン9で接続する。この圧縮機としては種々ある
が、例えばスターリング圧縮機はその内部にコイルを有
する。このコイルに給電線からの交流電流を印加して磁
束を発生し、この磁束と図示しない磁石との吸引力によ
ってバネ力に打ち勝ってピストンを移動し、冷媒ガスの
圧縮を行なう。その状態で上記交流電流がゼロに変化す
れば、前記吸引力が消失し偏倚されていたバネカによっ
てピストンはもとの位置へ下がる。以上の繰り返しを行
う。
A compressor power supply line 9 connects the cryogenic compressor 7c to the power supply terminal. There are various compressors, for example, a Stirling compressor has a coil inside. An alternating current from a power supply line is applied to this coil to generate a magnetic flux, and the attraction force between the magnetic flux and a magnet (not shown) overcomes the spring force to move the piston and compress the refrigerant gas. If the alternating current changes to zero in that state, the attraction force disappears and the biased spring force causes the piston to move back to its original position. The above is repeated.

【0031】他の形式、例えば常に回転して圧力を発生
するスクロール形式の圧縮機でも同様に使用できる。
Other types, such as scroll type compressors that constantly rotate to generate pressure can be used as well.

【0032】制御装置8は、前記極低温圧縮機7cの電
圧値および電流値をモニターするために、圧縮機電源ラ
イン9の電圧値および電流値を圧縮機電流電圧センサー
ライン9aを介して入力する。スイッチ回路20は上記
圧縮機電源ライン9に設けられ該電源ライン9を開閉す
る。
The control device 8 inputs the voltage value and the current value of the compressor power supply line 9 through the compressor current voltage sensor line 9a in order to monitor the voltage value and the current value of the cryogenic compressor 7c. . The switch circuit 20 is provided in the compressor power supply line 9 to open and close the power supply line 9.

【0033】制御装置8は、圧縮機制御ライン9bを介
して前記スイッチ回路20を制御して極低温圧縮機7c
の運転・停止を操作する。
The controller 8 controls the switch circuit 20 via the compressor control line 9b to control the cryogenic compressor 7c.
Operate the start / stop of.

【0034】制御装置8は、極低温圧縮機7cに設けた
温度センサー24の検出温度情報を圧縮機温度センサー
ライン10を介して取り込む。
The control device 8 takes in the temperature information detected by the temperature sensor 24 provided in the cryogenic compressor 7c via the compressor temperature sensor line 10.

【0035】制御装置8は、コールドステージ7aに設
けた温度センサー21の温度検出データをコールドステ
ージ温度センサーライン11を介して取り込む。
The controller 8 fetches the temperature detection data of the temperature sensor 21 provided on the cold stage 7a via the cold stage temperature sensor line 11.

【0036】制御装置8は、コールドボックス6内の被
冷却物に設けた温度センサー22の検出温度情報を被冷
却物温度センサーライン12を介して取り込む。
The control device 8 takes in the temperature information detected by the temperature sensor 22 provided on the object to be cooled in the cold box 6 via the object temperature sensor line 12 to be cooled.

【0037】前記被冷却物は、回路要素等、例えば超伝
導フィルタ、低雑音増幅器、フィーダ線、コイル、等で
あり、極低温に冷却することにより、特性が大幅に改善
されるものが該当する。
The object to be cooled is a circuit element or the like, for example, a superconducting filter, a low noise amplifier, a feeder wire, a coil, or the like, and the one whose characteristics are greatly improved by cooling to an extremely low temperature is applicable. .

【0038】制御装置8は、極低温圧縮機7cに設けた
圧縮機圧力センサー23の圧縮機内部の冷媒ガス圧力値
を圧縮機圧力センサーライン13を介して取り込む。
The control device 8 takes in the refrigerant gas pressure value inside the compressor of the compressor pressure sensor 23 provided in the cryogenic compressor 7c through the compressor pressure sensor line 13.

【0039】冷媒ガス置換バルブ15は冷媒ガスタンク
18と極低温圧縮機7cとを接続するガスチューブの途
中に設けられて、圧縮機運転中は閉じた状態となってい
る。
The refrigerant gas replacement valve 15 is provided in the middle of the gas tube connecting the refrigerant gas tank 18 and the cryogenic compressor 7c, and is in a closed state during the operation of the compressor.

【0040】制御装置8は、冷媒ガス置換バルブ15の
開閉を行なう操作信号を冷媒ガス置換バルブ操作ライン
14を介して前記バルブ15へ送信する。
The control device 8 sends an operation signal for opening and closing the refrigerant gas replacement valve 15 to the valve 15 via the refrigerant gas replacement valve operation line 14.

【0041】冷媒ガス放出バルブ16は、一端で極低温
圧縮機7cと接続し、他端で大気に開放している。該放
出バルブ16は通常閉じた状態となっている。
The refrigerant gas discharge valve 16 is connected to the cryogenic compressor 7c at one end and is open to the atmosphere at the other end. The discharge valve 16 is normally closed.

【0042】冷媒ガスは、例えばHeであり、不活性で
大気に放出しても問題ないが、放出できない場合は吸引
してタンクなどに溜める。
The refrigerant gas is, for example, He, which is inert and can be released into the atmosphere without any problem, but if it cannot be released, it is sucked and stored in a tank or the like.

【0043】制御装置8は、冷媒ガス放出バルブ操作ラ
イン17を介して冷媒ガス放出バルブ16の開閉を行な
う。
The controller 8 opens and closes the refrigerant gas discharge valve 16 via the refrigerant gas discharge valve operation line 17.

【0044】冷媒ガスタンク18は、冷媒ガスを蓄え、
冷媒ガス置換バルブ15を介して極低温圧縮機7cと接
続されている。
The refrigerant gas tank 18 stores the refrigerant gas,
It is connected to the cryogenic compressor 7c via the refrigerant gas replacement valve 15.

【0045】極低温圧縮機7cは、冷媒ガス置換バルブ
15と、このバルブ15に配管される冷媒ガスタンク1
8と、冷媒ガス放出バルブ16とを備えている。
The cryogenic compressor 7c includes a refrigerant gas replacement valve 15 and a refrigerant gas tank 1 connected to the valve 15.
8 and a refrigerant gas discharge valve 16.

【0046】制御装置8は、異常通報ライン19を介し
て受信信号処理系へ、さらに公衆電話回線などを通じて
修理ステーションへ接続する。
The control device 8 is connected to the received signal processing system via the abnormality notification line 19 and further to the repair station via a public telephone line or the like.

【0047】制御装置8はコールドボックス6の後段と
極低温圧縮機7cとの間に接続する。
The controller 8 is connected between the latter stage of the cold box 6 and the cryogenic compressor 7c.

【0048】コールドステージ温度センサーライン11
および被冷却物温度センサーライン12は、熱の進入を
嫌うコールドボックス6内に配線されることから、熱の
侵入を阻止するために光ケーブルを使用することも可能
である。
Cold stage temperature sensor line 11
Since the object temperature sensor line 12 to be cooled is wired in the cold box 6 which does not like the intrusion of heat, it is possible to use an optical cable to prevent the intrusion of heat.

【0049】各種センサーは状態検出の必要の程度に応
じてセンサーの種類、配置場所、数等が設定される。 (故障修復制御)図2は本発明の制御手段となる制御装
置における極低温冷凍機の故障修復装置の制御フローを
示す。
The types of sensors, the locations of the sensors, the number of sensors, etc. are set according to the degree of necessity of state detection. (Fault Repair Control) FIG. 2 shows a control flow of the fault repair device for the cryogenic refrigerator in the control device serving as the control means of the present invention.

【0050】制御装置8は、代表的な以下の極低温冷凍
機の故障修復装置の制御フローを実行する。
The controller 8 executes the following typical control flow of the failure repair device for the cryogenic refrigerator.

【0051】制御装置8は、この制御フローをスタート
し、 (1)被冷却物、実施例では超伝導フィルタ、に設けた
温度センサー22の検出温度情報Aをライン12を介し
て取り込む(ステップS15)。 (2)上記取り込んだ超伝導フィルタに設けた温度セン
サー22の検出温度情報Aが予め設定した冷却温度閾値
を超えているか否かを判断し、超えていないと判断した
とき、前記スタートへ戻る(ステップS16)。 (3)上記検出温度情報Aが前記冷却温度閾値を超えて
いると判断したとき、最も可能性がある原因を調べるた
めに、極低温圧縮機7cに設けた温度センサー24の検
出温度情報Cを読み込む(ステップS17)。 (4)上記検出温度情報Cの温度が予め設定した閾値を
超えていると判断したとき、ステップS36へ進む(ス
テップS18)。但し、前記閾値を超える温度範囲は自
動修復不可能な異常温度範囲を画定する。 (5)ステップS18で、前記極低温圧縮機7cの検出
温度情報Cが前記閾値を超えていないと判断したとき、
次に可能性の高い前記極低温圧縮機7cへの給電状況を
調べるために、給電線であるライン9の電流値をライン
9aを介して取り込む(ステップS19)。 (6)前記取り込んだライン9の電流値が閾値を超えて
いるか否か判断し、超えていると判断したとき、人によ
る修理によるほかないので、ステップS36へ進む(ス
テップS20)。 (7)ステップS20で、ライン9の電流値が閾値を超
えていないと判断したとき、ライン9の電圧値をライン
9aを介して取り込む(ステップS21)。 (8)前記取り込んだライン9の電圧値が閾値を超えて
いるか否か判断し、超えていると判断したとき、同じく
人による修理によるほかないので、ステップS36へ進
む(ステップS22)。 (9)ライン9の電圧値が閾値を超えていないと判断し
たとき、コールドステージ7aに設けた温度センサー2
1の検出温度情報Bを、ライン12を介して取り込む
(ステップS23)。 (10)上記取り込んだコールドステージ7aに設けた
温度センサー21の検出温度情報Bが予め設定した冷却
温度閾値を超えているか否かを判断し、超えているとき
ステップS36へ進む(ステップS24)。 (11)コールドステージ7aの検出温度が上記冷却温
度閾値を超えていないとき、コールドステージの温度が
正常であれば、被冷却物のインターフェイス部分の不良
や熱侵入によるものなどの、特に外乱を感知することが
できる。ここでコールドステージが冷却されていない場
合は、連結部材7bに封入されている冷媒ガスの圧力を
調べる必要があり、圧縮機圧力センサー23により検出
した前記極低温圧縮機7c内蔵の圧縮機の圧力を圧縮機
圧力センサーライン13を介して取り込む(ステップS
25)。 (12)上記圧縮機の圧力が閾値を超えると判断したと
き、ステップS36へ進む(ステップS26)。 (13)次にガス置換の手順に入る。まず、ガス置換と
は、連結部材7b等の内部にある不純物、不純ガスを追
い出し、冷媒ガスの純度を高めてやることを示す。これ
によって冷凍機の性能は格段に向上する。この、ガス置
換が必要になる原因としては、連結部材7bの摺動部分
から磨耗粉などがでたり、冷凍機内部の粉状の蓄冷材が
流出していることなどが考えられる。連結部材7bに無
理な外力が働き、本来接触しない筈の部分が接触するこ
となども考えられる。
The control device 8 starts this control flow, and takes in the temperature information A detected by the temperature sensor 22 provided on (1) the object to be cooled, the superconducting filter in the embodiment, via the line 12 (step S15). ). (2) It is determined whether or not the temperature information A detected by the temperature sensor 22 provided in the superconducting filter that has been taken in exceeds a preset cooling temperature threshold value. When it is determined that it does not exceed the threshold value, the process returns to the start ( Step S16). (3) When it is determined that the detected temperature information A exceeds the cooling temperature threshold value, the detected temperature information C of the temperature sensor 24 provided in the cryogenic compressor 7c is checked in order to investigate the most probable cause. It is read (step S17). (4) When it is determined that the temperature of the detected temperature information C exceeds the preset threshold value, the process proceeds to step S36 (step S18). However, a temperature range that exceeds the threshold value defines an abnormal temperature range that cannot be automatically repaired. (5) When it is determined in step S18 that the detected temperature information C of the cryogenic compressor 7c does not exceed the threshold value,
Next, in order to check the power supply status to the cryogenic compressor 7c, which has a high possibility, the current value of the power supply line 9 is fetched via the line 9a (step S19). (6) It is determined whether or not the current value of the fetched line 9 exceeds the threshold value. When it is determined that the current value exceeds the threshold value, the repair must be performed by a person, and the process proceeds to step S36 (step S20). (7) When it is determined in step S20 that the current value of the line 9 does not exceed the threshold value, the voltage value of the line 9 is fetched via the line 9a (step S21). (8) It is determined whether or not the voltage value of the fetched line 9 exceeds a threshold value. When it is determined that the voltage value exceeds the threshold value, the repair is also performed by a person, so the process proceeds to step S36 (step S22). (9) When it is determined that the voltage value of the line 9 does not exceed the threshold value, the temperature sensor 2 provided in the cold stage 7a
The detected temperature information B of 1 is fetched through the line 12 (step S23). (10) It is determined whether or not the temperature information B detected by the temperature sensor 21 provided in the cold stage 7a that has been taken in exceeds a preset cooling temperature threshold value, and if it exceeds, the process proceeds to step S36 (step S24). (11) When the detected temperature of the cold stage 7a does not exceed the cooling temperature threshold and the temperature of the cold stage is normal, disturbances such as those due to a defective interface portion of the object to be cooled or heat intrusion are detected. can do. Here, when the cold stage is not cooled, it is necessary to check the pressure of the refrigerant gas sealed in the connecting member 7b, and the pressure of the compressor incorporated in the cryogenic compressor 7c detected by the compressor pressure sensor 23. Is taken in through the compressor pressure sensor line 13 (step S
25). (12) When it is determined that the pressure of the compressor exceeds the threshold value, the process proceeds to step S36 (step S26). (13) Next, the procedure for gas replacement is started. First, gas replacement means that impurities and impure gas inside the connecting member 7b and the like are expelled to improve the purity of the refrigerant gas. This significantly improves the performance of the refrigerator. The reason why the gas replacement is necessary is considered that abrasion powder or the like is generated from the sliding portion of the connecting member 7b, or the powdery regenerator material inside the refrigerator flows out. It is also conceivable that an unreasonable external force acts on the connecting member 7b so that a portion that should not originally come into contact with the connecting member 7b.

【0052】ガス置換の手順は、まず、上記圧縮機の圧
力が閾値を超えないと判断したとき、冷媒ガスタンク1
8の残っているガス量を置換ガス量の何回分か演算す
る。例えば、冷媒ガスタンク18へ満充填した場合、置
換ガス量の何回分か予め求めておき、使用回数を減算し
て求めるか、または冷媒ガスタンク18の圧力値を検出
して該タンク体積から置換ガス量の何回分か予め求めて
おくことができる。求めた置換ガス量が閾値を超えない
とき、ステップS36へ進む(ステップS28)。 (14)求めた置換ガス量が閾値を超え、不純物、不純
ガスを追い出し冷媒ガスの純度を高くするガス置換が可
能と判断したとき、ライン9bを介して停止信号をスイ
ッチ回路20へ出力し該スイッチ回路20をオフにして
圧縮機を停止する(ステップS29)。 (15)次に、圧縮機圧力センサー23の検出圧力値を
ライン13を介して取り込み、該検出圧力値が大気圧以
上に設定した所定閾値を超えることを確認しながら冷媒
ガス放出バルブ16に開指令を出力して該バルブ16を
大気中に開放し、汚れた冷媒ガスを極低温圧縮機7cか
ら大気中に放出する(ステップS30)。 (16)その後、冷媒ガス放出バルブ16を閉じる指令
を出力して該バルブ16を閉じ、冷媒ガス置換バルブ1
5を開放する指令をライン14に出力し、該バルブ15
を開けて冷媒ガスタンク18に内蔵する純度の高い冷媒
ガスを極低温圧縮機7c内に充填する(ステップS3
1)。 (17)このとき、圧縮機圧力センサー23の圧力検出
値を圧縮機圧力センサーライン13を介して取り込み、
該圧力検出値が所定圧力値に達した時点で該冷媒ガス置
換バルブ15を閉じる指令を出力し該冷媒ガス置換バル
ブ15を閉じる(ステップS32)。 (18)次に、圧縮機制御ライン9bを介してスイッチ
回路20にオン信号を出力し、極低温圧縮機7cの運転
を開始する(ステップS33)。 (19)次に、被冷却物である超伝導フィルタに設けた
温度センサー22の検出温度情報を取り込む(ステップ
S34)。 (20)該検出温度が閾値を超えているか否か判断し、
閾値を超えていると判断したとき、ステップS28へ戻
り、閾値を超えていないと判断したとき、ステップS3
7へ進む(ステップS35)。 (21)人によらなければ修復できない異常状態と判断
したとき、即ち、ステップS18で圧縮機温度が異常で
あるとき、ステップS20およびS22で圧縮機の給電
電流および給電電圧が異常であると判断したとき、ステ
ップS24でコールドステージ温度が異常であると判断
したとき、ステップS26で圧縮機圧力が異常であると
判断したとき、ステップS28で冷媒ガスタンクの置換
ガス量が不足すると判断したときに、前記極低温圧縮機
7cへの圧縮機電源ライン9に設けたスイッチ回路20
を圧縮機制御ライン9bに出力した制御信号によりオフ
に切り換え、極低温圧縮機7cを停止させる(ステップ
S36)。 (22)前記停止制御後、制御装置8は、この温度異常
に関する情報、保守、修理等の情報を異常通報ライン1
9を介して修理ステーションヘ送信する(ステップS3
7)。
The procedure for gas replacement is as follows. First, when it is determined that the pressure of the compressor does not exceed the threshold value, the refrigerant gas tank 1
The remaining gas amount of 8 is calculated for the number of times of the replacement gas amount. For example, when the refrigerant gas tank 18 is fully filled, the replacement gas amount is calculated in advance and the number of times of use is subtracted, or the pressure value of the refrigerant gas tank 18 is detected and the replacement gas amount is calculated from the tank volume. It is possible to obtain in advance how many times. When the calculated replacement gas amount does not exceed the threshold value, the process proceeds to step S36 (step S28). (14) When the determined replacement gas amount exceeds the threshold value and it is determined that gas replacement can be performed to drive out impurities and impure gas and increase the purity of the refrigerant gas, a stop signal is output to the switch circuit 20 via the line 9b. The switch circuit 20 is turned off to stop the compressor (step S29). (15) Next, the pressure value detected by the compressor pressure sensor 23 is taken in through the line 13, and the refrigerant gas release valve 16 is opened while confirming that the detected pressure value exceeds a predetermined threshold value set above atmospheric pressure. A command is output to open the valve 16 to the atmosphere, and the contaminated refrigerant gas is discharged from the cryogenic compressor 7c to the atmosphere (step S30). (16) Thereafter, a command to close the refrigerant gas discharge valve 16 is output to close the valve 16 and the refrigerant gas replacement valve 1
A command to open 5 is output to the line 14 and the valve 15
The refrigerant gas tank 18 is opened and a high-purity refrigerant gas contained in the refrigerant gas tank 18 is filled in the cryogenic compressor 7c (step S3).
1). (17) At this time, the pressure detection value of the compressor pressure sensor 23 is taken in via the compressor pressure sensor line 13,
When the detected pressure value reaches a predetermined pressure value, a command to close the refrigerant gas replacement valve 15 is output to close the refrigerant gas replacement valve 15 (step S32). (18) Next, an ON signal is output to the switch circuit 20 via the compressor control line 9b to start the operation of the cryogenic compressor 7c (step S33). (19) Next, the temperature information detected by the temperature sensor 22 provided in the superconducting filter which is the object to be cooled is fetched (step S34). (20) Judge whether the detected temperature exceeds a threshold value,
When it is determined that the threshold value is exceeded, the process returns to step S28, and when it is determined that the threshold value is not exceeded, step S3.
7 (step S35). (21) When it is determined that an abnormal state cannot be repaired without the assistance of a person, that is, when the compressor temperature is abnormal in step S18, it is determined that the power supply current and voltage of the compressor are abnormal in steps S20 and S22. When it is determined that the cold stage temperature is abnormal in step S24, the compressor pressure is abnormal in step S26, and the replacement gas amount in the refrigerant gas tank is insufficient in step S28, Switch circuit 20 provided in the compressor power supply line 9 to the cryogenic compressor 7c
Is turned off by the control signal output to the compressor control line 9b, and the cryogenic compressor 7c is stopped (step S36). (22) After the stop control, the control device 8 sends information about the temperature abnormality, information about maintenance, repair, etc. to the abnormality notification line 1
9 to the repair station (step S3)
7).

【0053】この結果、このフローのステップS28〜
S37までの制御は以下の様になる。
As a result, step S28-
The control up to S37 is as follows.

【0054】冷凍機を運転して、被冷却物が冷えるかど
うか確認し、冷えればこの情報を念の為に異常通報ライ
ン19によって修理ステーションヘ送る。冷えない場合
は再度ガス置換の手順に戻り冷媒ガスタンク18内のガ
スがなくなるまで続ける。それでもだめな場合は、連結
部材7bを停止して異常通報ライン19によって修理ス
テーションヘこの情報を送ることになる。 (本発明の極低温冷凍機の故障修復方法)本発明の極低
温冷凍機の故障修復方法は、実施例1に則すれば、具体
的には上記のステップからなるが、これをまとめると以
下のようになる。。
The refrigerator is operated to confirm whether or not the object to be cooled is cooled, and if cooled, this information is sent to the repair station via the abnormality notification line 19 just in case. If it does not cool down, the procedure for gas replacement is returned to and continues until there is no more gas in the refrigerant gas tank 18. If it is still unsuccessful, the connection member 7b is stopped and this information is sent to the repair station through the abnormality notification line 19. (Cryogenic Refrigerator Failure Repair Method of the Present Invention) The cryogenic refrigerator failure repair method of the present invention specifically includes the above steps according to the first embodiment. become that way. .

【0055】「極低温圧縮機がコールドボックス内に設
けられ回路要素を載置するコールドステージを極低温に
冷却するステップ、特定検出機能のセンサーが構成要素
の内の任意のものの特定機能を検出するステップ、制御
装置が、前記各センサーの内の任意のセンサーの検出信
号の値と前記極低温圧縮機の給電電流値とその電圧値と
その圧力値の内の任意の検出値が異常であるか否か判断
するステップ、前記ステップにおいて前記検出値が異常
であると判断したとき前記極低温圧縮機を停止制御し、
修理ステーションへ異常情報を送信するステップ、前記
ステップにおいて前記検出値が異常でないと判断したと
き、ガス置換処理を行うステップから構成されることを
特徴とする極低温冷凍機の故障修復方法」。 (上記制御フローの一部修正例) (a)上記ステップS18では、閾値を異常温度値とし
たが、計測時のみの変化である可能性が払拭できないこ
とから、下記の計測条件をさらに追加することも可能で
ある。 前記閾値を超える時間間隔をサンプリングしておき、
その時間間隔の閾値と比べた長短を判断する手法。 〔前記検出値−前記閾値=偏差値〕を演算し、その偏
差値の時間変化、例えば漸次増加する異常傾向、漸次減
少する修復可能傾向等を判断する手法。 (b)上記ステップS20および22では、圧縮機を駆
動する電動モーターの制御態様が考慮されていないが、
下記の計測条件をさらに追加することも可能である。 モーターの制御態様、即ち、全電圧駆動か、ソフトス
タート駆動か等を前提条件として検出時の電流および電
圧の閾値を演算で求める手法。 (c)上記フローでは上記ステップS15からステップ
S26までは各検出値をステップ順に異常判断している
が、このステップ順に行う必要およびこれら全てを行う
必要は制御態様の設計に応じて決められる。したがっ
て、上記ステップS15からステップS26までの任意
の検出値の異常判断のみを実行する。 (d)上記(c)の説明を踏まえると、前記フローの内
の上記ステップS15からステップS26までをすべて
実行せず、そのうちの任意のステップのみを実行してそ
のステップで異常と判断したとき、途中のステップを省
略してステップS27からステップS32までのガス置
換を行うフローとすることも可能である。 (被冷却物の温度検知の実施例)本発明の被冷却物は、
その発熱が問題となる上記超伝導フィルタ、低雑音増幅
器、フィーダ線、発信器等が該当する。
“Step of cooling a cold stage in which a cryogenic compressor is provided in a cold box and mounting a circuit element to a cryogenic temperature, a sensor having a specific detection function detects a specific function of any one of the components. Whether the value of the detection signal of any one of the sensors, the power supply current value of the cryogenic compressor, its voltage value, and its pressure value is abnormal, Step of determining whether or not, when it is determined that the detected value is abnormal in the step, stop control of the cryogenic compressor,
A method of repairing a failure of a cryogenic refrigerator, comprising: a step of transmitting abnormality information to a repair station; and a step of performing gas replacement processing when it is determined that the detected value is not abnormal in the step ". (Partial modification example of the control flow) (a) In step S18, the threshold value is set to the abnormal temperature value, but since the possibility that it is a change only during measurement cannot be eliminated, the following measurement condition is further added. It is also possible. Sampling a time interval exceeding the threshold,
A method to judge the length of the time interval compared with the threshold. A method of calculating [detection value−threshold value = deviation value] and determining a time change of the deviation value, for example, an abnormal tendency that gradually increases, a repairable tendency that gradually decreases, and the like. (B) In steps S20 and S22, the control mode of the electric motor for driving the compressor is not taken into consideration.
The following measurement conditions can be further added. A method of calculating the thresholds of the current and voltage at the time of detection on the precondition that the control mode of the motor, that is, full voltage drive or soft start drive is a prerequisite. (C) In the above flow, from step S15 to step S26, each detected value is determined to be abnormal in the order of steps. However, it is necessary to perform this step order or all of them in accordance with the design of the control mode. Therefore, only the abnormality determination of any detected value from step S15 to step S26 is executed. (D) Based on the explanation of (c) above, when all of the steps S15 to S26 in the flow are not executed and only any of the steps is executed and it is determined that there is an abnormality, It is also possible to omit the intermediate steps and use a flow for performing gas replacement from step S27 to step S32. (Example of temperature detection of cooled object) The cooled object of the present invention is
The above-mentioned superconducting filter, low-noise amplifier, feeder line, oscillator, etc., whose heat generation is a problem, correspond to this.

【0056】代表的な超伝導フィルタについて温度検知
の手法を説明する。まず、超伝導フィルタの特性につい
て述べる。 (超伝導フィルタ)本発明の被冷却物を代表する超伝導
フィルタは、以下説明する各種の特性が温度によって変
化する。 (ア)超伝導フィルタは、本実施例においては、そのマ
イクロストリップ回路が、誘電体基板の両面に形成され
た導体の一方を導体線路、他方をグランドとして構成さ
れている。このとき、低損失のマイクロストリップ回路
を実現するためには、両面の導体の表面抵抗を低減させ
る必要がある。そこで、MgO基板の両面にイットリウ
ム系(YBCO)酸化物超伝導(以下、「YBCO」と
いう。)薄膜を形成したものを用いる。次にこの表面抵
抗の温度変化を示す。
A method of temperature detection for a typical superconducting filter will be described. First, the characteristics of the superconducting filter will be described. (Superconducting Filter) In the superconducting filter that represents the object to be cooled of the present invention, various characteristics described below change with temperature. (A) In the superconducting filter, in this embodiment, the microstrip circuit is configured with one of the conductors formed on both surfaces of the dielectric substrate as the conductor line and the other as the ground. At this time, in order to realize a low-loss microstrip circuit, it is necessary to reduce the surface resistance of the conductors on both sides. Therefore, a yttrium (YBCO) oxide superconducting (hereinafter referred to as “YBCO”) thin film is formed on both surfaces of the MgO substrate. Next, the temperature change of this surface resistance is shown.

【0057】図8は、30GHz帯におけるYBCO薄
膜の表面抵抗の温度変化を示す図である。具体的には、
Cuと超伝導フィルタとなるYBCO薄膜の表面抵抗の
温度変化を示す図で、横軸は温度(K)、縦軸は表面抵
抗値(Ω)である。この図によれば、YBCOの表面抵
抗は80K付近から温度の低下とともに著しく低下し、
20K付近では400μΩ程度の値が得られた。この特
性図についていえば、超伝導フィルタの表面抵抗が解れ
ば、この特性図から温度が解ることになる。 (イ)次に述べる特性は、超伝導フィルタの無負荷Q値
の温度変化である。
FIG. 8 is a diagram showing the temperature change of the surface resistance of the YBCO thin film in the 30 GHz band. In particular,
FIG. 3 is a diagram showing temperature changes in surface resistance of Cu and a YBCO thin film that serves as a superconducting filter. The horizontal axis represents temperature (K) and the vertical axis represents surface resistance value (Ω). According to this figure, the surface resistance of YBCO decreases remarkably as the temperature decreases from around 80K,
A value of about 400 μΩ was obtained at around 20K. Regarding this characteristic diagram, if the surface resistance of the superconducting filter is known, the temperature can be known from this characteristic diagram. (A) The characteristic described below is the temperature change of the unloaded Q value of the superconducting filter.

【0058】図9はYBCO薄膜を用いたマイクロスト
リップ共振器の20GHzにおける無負荷Q値(縦軸)
の温度(横軸)変化を示す図である。
FIG. 9 shows an unloaded Q value (vertical axis) at 20 GHz of a microstrip resonator using a YBCO thin film.
It is a figure which shows the temperature (horizontal axis) change of.

【0059】この特性図においては、マイクロストリッ
プ共振器は、直線共振器の長さが半波長に対応してお
り、基本共振周波数は20GHz程度である。特性上、
図9に見られるように、60K付近で20,000程度
の非常に高い無負荷Q値が実現される。この特性図か
ら、超伝導フィルタの無負荷Q値が解れば、温度(K)
が解ることになる。 (ウ)次に述べる特性は、超伝導フィルタの挿入損失の
温度変化である。
In this characteristic diagram, in the microstrip resonator, the length of the linear resonator corresponds to a half wavelength, and the fundamental resonance frequency is about 20 GHz. Due to its characteristics,
As shown in FIG. 9, a very high no-load Q value of about 20,000 is realized near 60K. If the unloaded Q value of the superconducting filter is known from this characteristic diagram, the temperature (K)
Will be understood. (C) The characteristic described below is the temperature change of the insertion loss of the superconducting filter.

【0060】図10は、超伝導フィルタの帯域中心周波
数における挿入損失の温度変化を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing the temperature change of the insertion loss at the band center frequency of the superconducting filter.

【0061】この特性図によれば、YBCO薄膜が超伝
導状態になる90K付近から挿入損失が著しく低下し、
77K以下では1dB以下になる。この温度変化は表面
抵抗の温度変化とよく対応している。また、70K以下
に冷却すれば0.5dB以下の非常に小さい挿入損失が
得られることがわかる。挿入損失が解れば、温度(K)
が解ることになる。 (各種の特性に基づく温度測定方法)超伝導フィルタに
直接温度センサーを設けて温度を測定する手法の他に、
上記各種の特性から下記のように温度を測定することが
可能である。 (ア’)サファイア円柱共振器を用いた2共振器法によ
って超伝導フィルタの表面抵抗値を測定し、図8の特性
図において測定した表面抵抗値から温度(K)を求め閾
値と比較する方法。 (イ’)回路を超伝導フィルタと電源の無負荷回路に設
定し、回路電流を回路共振周波数を含む周波数変化特性
図として計測し、最大電流値から−3dBとなる最大電
流の1/((2)1/2)のときの(共振周波数f0からの
偏差Δf)を求め、無負荷Q値=f0/2Δfとして求
める。図9の特性図において求めたQ値から温度(K)
を求め閾値と比較する方法。但し、前記共振周波数は温
度(K)の変化に応じて漸減又は漸増する、例えば70
Kと20Kでは共振周波数が2MHz程度変化するの
で、上記共振周波数もこの特性に応じて修正する必要が
ある。 (ウ’)超伝導フィルタを帯域中心周波数で動作させな
がら、該フィルタ前後の入力電力および出力電力を求
め、挿入損失を求める。図10の特性図において求めた
挿入損失値から温度(K)を求め閾値と比較する方法。 (本発明の実施例2)図3は衛星搭載用ミリ波通信シス
テムへ超伝導フィルタ等の高温超伝導デバイスを適用
し、さらに前記本発明の実施例1における制御装置を設
ける実施例を示す図である。
According to this characteristic diagram, the insertion loss remarkably decreases from around 90 K where the YBCO thin film becomes superconducting,
It becomes 1 dB or less at 77 K or less. This temperature change corresponds well with the temperature change of the surface resistance. Also, it can be seen that if cooled to 70 K or less, a very small insertion loss of 0.5 dB or less can be obtained. If the insertion loss is known, the temperature (K)
Will be understood. (Temperature measurement method based on various characteristics) In addition to the method of measuring temperature by directly providing a temperature sensor on the superconducting filter,
From the above various characteristics, it is possible to measure the temperature as follows. (A ') A method of measuring the surface resistance value of the superconducting filter by the two-resonator method using a sapphire cylindrical resonator, and obtaining the temperature (K) from the surface resistance value measured in the characteristic diagram of FIG. 8 and comparing it with a threshold value. . (A ') The circuit is set as a superconducting filter and a no-load circuit of the power supply, and the circuit current is measured as a frequency change characteristic diagram including the circuit resonance frequency. From the maximum current value, 1 / (( 2) (Difference Δf from the resonance frequency f 0 ) in the case of 1/2 ) is obtained, and is obtained as the no-load Q value = f 0 / 2Δf. From the Q value obtained in the characteristic diagram of FIG.
And a method of comparing with a threshold value. However, the resonance frequency gradually decreases or increases according to the change of the temperature (K), for example, 70
Since the resonance frequency changes by about 2 MHz between K and 20K, the resonance frequency also needs to be corrected according to this characteristic. (C) While operating the superconducting filter at the center frequency of the band, the input power and output power before and after the filter are obtained, and the insertion loss is obtained. A method of obtaining the temperature (K) from the insertion loss value obtained in the characteristic diagram of FIG. 10 and comparing it with a threshold value. (Embodiment 2 of the present invention) FIG. 3 is a diagram showing an embodiment in which a high temperature superconducting device such as a superconducting filter is applied to a millimeter-wave communication system for mounting on a satellite, and further the control device in the embodiment 1 of the present invention is provided Is.

【0062】図3のシステムは、フェーズドアレーアン
テナなどを用いたベントパイプ中継機であり、超伝導フ
ィルタ、低雑音増幅器、周波数変換器、および、フィー
ダ系に高温超伝導ミリ波デバイス、極低温冷凍機、制御
装置を利用する。
The system shown in FIG. 3 is a vent pipe repeater using a phased array antenna or the like, and has a superconducting filter, a low noise amplifier, a frequency converter, and a feeder system including a high temperature superconducting millimeter wave device and a cryogenic refrigeration. Machine, control device.

【0063】図3における超伝導フィルタ、冷却LNA
(増幅器)は実施例1で述べた前記極低温冷凍機の構成
を用いて冷却する。この極低温冷凍機の制御は前記制御
装置が前記フローのとおり行う。
Superconducting filter and cooling LNA in FIG.
The (amplifier) is cooled by using the configuration of the cryogenic refrigerator described in the first embodiment. The control of the cryogenic refrigerator is performed by the control device according to the flow.

【0064】この構成を採用することによる性能増加分
をすべて通信容量(伝送速度)に振り向けると、衛星1
機当たりの通信容量を数倍向上させることができる。さ
らには動画像通信が可能になる。また、故障修復処理を
自動で行うこともできる。
If all the performance increase due to adopting this configuration is directed to the communication capacity (transmission speed), the satellite 1
The communication capacity per machine can be improved several times. Furthermore, moving image communication becomes possible. Further, the failure repair processing can be automatically performed.

【0065】[0065]

【発明の効果】本発明は、コールドボックス内の回路要
素の温度異常を常に監視でき、異常時にはすぐに修理等
の修復処理を行うことができる。
According to the present invention, the temperature abnormality of the circuit element in the cold box can be constantly monitored, and when the abnormality occurs, the repair processing such as the repair can be immediately performed.

【0066】本発明は、膨大な数の基地局の中から、冷
凍性能の低下した冷凍機を見つけ出し、修復処理を行う
ことができる。
According to the present invention, it is possible to find a refrigerator having a low refrigerating performance from a huge number of base stations and perform a repair process.

【0067】本発明は、被冷却物を含む構成要素の異常
を調べ、異常状態になったとき修復を行うようにしたの
で、常時は遠方監視を行うので保守点検の人手や費用を
要さず、異常状態になったときのみ必要な修復を行うこ
とができる。これにより、常時は人手を要しないので基
地局を人手を考えず必要な数設けることができる。ま
た、修復処理は自動で行うことができる。
According to the present invention, the abnormality of the components including the object to be cooled is checked and the abnormality is repaired. Therefore, since the remote monitoring is always performed, the labor and cost for maintenance and inspection are not required. The necessary repair can be performed only when an abnormal condition occurs. As a result, since manpower is not required at all times, the required number of base stations can be provided without considering manpower. In addition, the repair process can be performed automatically.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の受信系の実施例1を示すブロック構成
図である。
FIG. 1 is a block configuration diagram showing a first embodiment of a receiving system of the present invention.

【図2】本発明の制御装置における極低温冷凍機の故障
修復装置の制御フロー図である。
FIG. 2 is a control flow chart of a failure repair device for a cryogenic refrigerator in the control device of the present invention.

【図3】本発明の衛星搭載用ミリ波通信システムへ超伝
導フィルタ等の高温超伝導デバイスを適用する実施例2
を示すブロック構成図である。
FIG. 3 is a second embodiment in which a high temperature superconducting device such as a superconducting filter is applied to the satellite-mounted millimeter-wave communication system of the present invention.
It is a block configuration diagram showing.

【図4】従来の受信系の基地局のブロック構成図であ
る。
FIG. 4 is a block diagram of a base station of a conventional receiving system.

【図5】従来の基地局と携帯電話機の関係を示す概略図
である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a relationship between a conventional base station and a mobile phone.

【図6】従来の高感度無線受信機において77Kで動作
する受信系の低雑音増幅器のアンプ利得およびアンプ雑
音指数の温度変化を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing temperature changes of an amplifier gain and an amplifier noise figure of a low noise amplifier of a receiving system which operates at 77K in a conventional high sensitivity wireless receiver.

【図7】従来の高感度無線受信機における77Kでの受
信帯域フィルタの挿入損失の温度変化を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a temperature change of insertion loss of a reception band filter at 77K in a conventional high sensitivity wireless receiver.

【図8】30GHz帯におけるYBCO薄膜の表面抵抗
の温度変化を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a temperature change of surface resistance of a YBCO thin film in a 30 GHz band.

【図9】YBCO薄膜を用いたマイクロストリップ共振
器の20GHzにおける無負荷Q値の温度変化を示す図
である。
FIG. 9 is a view showing a temperature change of an unloaded Q value at 20 GHz of a microstrip resonator using a YBCO thin film.

【図10】超伝導フィルタの帯域中心周波数における挿
入損失の温度変化を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a temperature change of insertion loss at a band center frequency of a superconducting filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 携帯電話機 2 基地局 3 アンテナ 4 超伝導フィルタ 5 増幅器 6 コールドボックス 7 極低温冷凍機 7a コールドステージ 7b 連結部材 7c 極低温圧縮機 8 制御装置 9 圧縮機電源ライン 9a 圧縮機電流電圧センサーライン 9b 圧縮機制御ライン 10 圧縮機温度センサーライン 11 コールドステージ温度センサーライン 12 被冷却物温度センサーライン 13 圧縮機圧カセンサーライン 14 冷媒ガス置換バルブ操作ライン 15 冷媒ガス置換バルブ 16 冷媒ガス放出バルブ 17 冷媒ガス放出バルブ操作ライン 18 冷媒ガスタンク 19 異常通報ライン 20 スイッチ回路 21、22、24 温度センサー 23 圧縮機圧力センサー 25 電圧電流検出センサー 1 mobile phone 2 base stations 3 antennas 4 Superconducting filter 5 amplifier 6 cold box 7 Cryogenic refrigerator 7a cold stage 7b Connection member 7c Cryogenic compressor 8 control device 9 Compressor power line 9a Compressor current voltage sensor line 9b Compressor control line 10 Compressor temperature sensor line 11 Cold stage temperature sensor line 12 Coolant temperature sensor line 13 Compressor pressure sensor line 14 Refrigerant gas replacement valve operation line 15 Refrigerant gas replacement valve 16 Refrigerant gas release valve 17 Refrigerant gas release valve operation line 18 Refrigerant gas tank 19 Abnormality report line 20 switch circuits 21, 22, 24 Temperature sensor 23 Compressor pressure sensor 25 Voltage / current detection sensor

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】コールドボックスと、該コールドボックス
内に設けるコールドステージと、該コールドステージを
冷却する極低温圧縮機と、該コールドステージに設置す
る回路要素と、前記構成要素の内の任意のものに設けた
任意の検出機能のセンサーと、該センサーの検出信号を
入力し該検出信号の値が異常と判断したとき前記極低温
冷凍機を故障修復制御する制御装置とを備えたことを特
徴とする極低温冷凍機の故障修復装置。
1. A cold box, a cold stage provided in the cold box, a cryogenic compressor for cooling the cold stage, a circuit element installed in the cold stage, and any of the constituent elements. And a control device for inputting a detection signal of the sensor and controlling the failure repair of the cryogenic refrigerator when the value of the detection signal is judged to be abnormal. Cryogenic refrigerator failure repair device.
【請求項2】請求項1記載の極低温冷凍機の故障修復装
置において、冷媒ガスタンクを冷媒ガス供給バルブを介
して前記極低温圧縮機に配管し、一端を大気に開放した
冷媒ガス放出バルブを他端で前記極低温圧縮機に配管
し、前記制御装置は前記故障修復制御により冷媒ガスの
置換を行うことを特徴とする極低温冷凍機の故障修復装
置。
2. A cryogenic refrigerator failure repair apparatus according to claim 1, wherein a refrigerant gas tank is connected to said cryogenic compressor through a refrigerant gas supply valve, and a refrigerant gas discharge valve having one end open to the atmosphere is provided. A failure repair device for a cryogenic refrigerator, characterized in that the other end is connected to the cryogenic compressor, and the controller replaces the refrigerant gas by the failure repair control.
【請求項3】請求項1または2記載の極低温冷凍機の故
障修復装置において、前記センサーを温度センサーと圧
力センサーとし、該温度センサーを前記回路要素と前記
コールドステージと前記極低温圧縮機に設け、該圧力セ
ンサーを前記極低温圧縮機に設けたことを特徴とする極
低温冷凍機の故障修復装置。
3. The cryogenic refrigerator failure repair apparatus according to claim 1, wherein the sensor is a temperature sensor and a pressure sensor, and the temperature sensor is the circuit element, the cold stage, and the cryogenic compressor. A failure repair device for a cryogenic refrigerator, characterized in that the pressure sensor is provided in the cryogenic compressor.
【請求項4】請求項3記載の極低温冷凍機の故障修復装
置において、前記制御装置が、前記各センサーの内の任
意のセンサーの検出信号の値と前記極低温圧縮機の給電
電流値とその電圧値とその圧力値の内の任意の検出値が
異常であると判断したとき、前記極低温圧縮機を停止制
御し、修理ステーションへ異常情報を送信し、前記検出
値が異常でないと判断したとき、ガス置換処理を行うこ
とを特徴とする極低温冷凍機の故障修復装置。
4. The cryogenic refrigerator failure repair apparatus according to claim 3, wherein the controller controls a value of a detection signal of an arbitrary sensor among the sensors and a power supply current value of the cryogenic compressor. When it is determined that any detected value among the voltage value and the pressure value is abnormal, the cryogenic compressor is stopped and controlled, abnormal information is transmitted to a repair station, and it is determined that the detected value is not abnormal. A repair device for a cryogenic refrigerator, which is characterized by performing a gas replacement process at the time.
【請求項5】請求項1から4のいずれか1項記載の極低
温冷凍機の故障修復装置において、前記回路要素を超伝
導フィルタとしたことを特徴とする極低温冷凍機の故障
修復装置。
5. A failure repair apparatus for a cryogenic refrigerator according to claim 1, wherein the circuit element is a superconducting filter.
【請求項6】極低温圧縮機がコールドボックス内に設け
られ回路要素を載置するコールドステージを極低温に冷
却するステップ、特定検出機能のセンサーが構成要素の
内の任意のものの特定機能を検出するステップ、制御装
置が、前記各センサーの内の任意のセンサーの検出信号
の値と前記極低温圧縮機の給電電流値とその電圧値とそ
の圧力値の内の任意の検出値が異常であるか否か判断す
るステップ、前記ステップにおいて前記検出値が異常で
あると判断したとき前記極低温圧縮機を停止制御し、修
理ステーションへ異常情報を送信するステップ、前記ス
テップにおいて前記検出値が異常でないと判断したと
き、ガス置換処理を行うステップから構成されることを
特徴とする極低温冷凍機の故障修復方法。
6. A step of cooling a cold stage in which a cryogenic compressor is provided in a cold box and mounting a circuit element to a cryogenic temperature, and a sensor of a specific detection function detects a specific function of any one of the constituent elements. Step, the control device, the value of the detection signal of any sensor of the above-mentioned each sensor, the feeding current value of the cryogenic compressor, its voltage value and any detected value of its pressure value is abnormal Determining whether or not the detected value is abnormal in the step, stopping the cryogenic compressor and transmitting abnormality information to a repair station, the detected value is not abnormal in the step When it is determined that the above, the method for repairing a failure of a cryogenic refrigerator is characterized by comprising a step of performing a gas replacement process.
JP2001245438A 2001-08-13 2001-08-13 Troubleshooting method and troubleshooting apparatus for cryogenic refrigerating machine Pending JP2003056926A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001245438A JP2003056926A (en) 2001-08-13 2001-08-13 Troubleshooting method and troubleshooting apparatus for cryogenic refrigerating machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001245438A JP2003056926A (en) 2001-08-13 2001-08-13 Troubleshooting method and troubleshooting apparatus for cryogenic refrigerating machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003056926A true JP2003056926A (en) 2003-02-26

Family

ID=19075185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001245438A Pending JP2003056926A (en) 2001-08-13 2001-08-13 Troubleshooting method and troubleshooting apparatus for cryogenic refrigerating machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003056926A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006329359A (en) * 2005-05-27 2006-12-07 Iwatani Industrial Gases Corp Gas supply facility and gas supply method
JP2011208645A (en) * 2011-07-15 2011-10-20 Sumitomo Heavy Ind Ltd Evacuation system
JP2015061993A (en) * 2013-08-19 2015-04-02 住友重機械工業株式会社 Monitoring method and cooling system
US10054114B2 (en) 2009-07-22 2018-08-21 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryopump and method of monitoring cryopump

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6419257A (en) * 1987-07-09 1989-01-23 Fuji Electric Co Ltd Abnormality detector for gas engine refrigerating machine
JPS6433475A (en) * 1987-07-29 1989-02-03 Aisin Seiki Working-gas replacing device for refrigerator
JPH0248759U (en) * 1988-09-30 1990-04-04
JPH1089787A (en) * 1996-09-13 1998-04-10 Idoutai Tsushin Sentan Gijutsu Kenkyusho:Kk Fault predicting unit for refrigerator
JPH11173691A (en) * 1997-12-15 1999-07-02 Daikin Ind Ltd Superconductive magnet cooling device
JP2000018747A (en) * 1998-07-03 2000-01-18 Sanyo Electric Co Ltd Stirling chiller
JP2000257970A (en) * 1999-03-12 2000-09-22 Idotai Tsushin Sentan Gijutsu Kenkyusho:Kk Pulse pipe-refrigerating machine
JP2001022438A (en) * 2000-01-01 2001-01-26 Hitachi Ltd Monitor system
JP2001108322A (en) * 1999-10-08 2001-04-20 Fuji Electric Co Ltd Pulse tube refrigerator

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6419257A (en) * 1987-07-09 1989-01-23 Fuji Electric Co Ltd Abnormality detector for gas engine refrigerating machine
JPS6433475A (en) * 1987-07-29 1989-02-03 Aisin Seiki Working-gas replacing device for refrigerator
JPH0248759U (en) * 1988-09-30 1990-04-04
JPH1089787A (en) * 1996-09-13 1998-04-10 Idoutai Tsushin Sentan Gijutsu Kenkyusho:Kk Fault predicting unit for refrigerator
JPH11173691A (en) * 1997-12-15 1999-07-02 Daikin Ind Ltd Superconductive magnet cooling device
JP2000018747A (en) * 1998-07-03 2000-01-18 Sanyo Electric Co Ltd Stirling chiller
JP2000257970A (en) * 1999-03-12 2000-09-22 Idotai Tsushin Sentan Gijutsu Kenkyusho:Kk Pulse pipe-refrigerating machine
JP2001108322A (en) * 1999-10-08 2001-04-20 Fuji Electric Co Ltd Pulse tube refrigerator
JP2001022438A (en) * 2000-01-01 2001-01-26 Hitachi Ltd Monitor system

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006329359A (en) * 2005-05-27 2006-12-07 Iwatani Industrial Gases Corp Gas supply facility and gas supply method
US10054114B2 (en) 2009-07-22 2018-08-21 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryopump and method of monitoring cryopump
JP2011208645A (en) * 2011-07-15 2011-10-20 Sumitomo Heavy Ind Ltd Evacuation system
JP2015061993A (en) * 2013-08-19 2015-04-02 住友重機械工業株式会社 Monitoring method and cooling system
US10047977B2 (en) 2013-08-19 2018-08-14 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Monitoring method and cooling system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6571110B1 (en) Cryoelectronic receiver front end for mobile radio systems
EP0797059B1 (en) Cryogenic cooling apparatus and cryogenic cooling method for cooling object to very low temperatures
Simon et al. Superconducting microwave filter systems for cellular telephone base stations
US6212404B1 (en) Cryogenic filters
US6754510B2 (en) MEMS-based bypass system for use with a HTS RF receiver
US6205340B1 (en) Cryoelectronic receiver front end for mobile radio systems
Willemsen HTS filter subsystems for wireless telecommunications
JP2001174085A (en) Electronic equipment
US6622028B1 (en) Receiver front-end having a high-temperature superconducting filter and a bypass path
JP2003056926A (en) Troubleshooting method and troubleshooting apparatus for cryogenic refrigerating machine
US20040005871A1 (en) RF receiver switches
US6711912B2 (en) Cryogenic devices
JP3616978B2 (en) Highly reliable wireless receiver
US20020053215A1 (en) Cryogenic devices
JP4267324B2 (en) Superconducting filter device and radio reception amplifying device
JP2003078491A (en) Method and device for fault detection and fault transmission of cryogenic refrigerator cooling circuit element
US6609290B1 (en) Superconductor filter device and manufacturing method thereof
US6999741B2 (en) Signal processor and cooling method of the same, and radio receiver including the signal processor and cooling method of the same
US20020178742A1 (en) Cryogenic devices
Ueno et al. High-temperature superconducting receiving filter subsystem for mobile telecommunication base station
JP2001144635A (en) Wireless receiver
KR100617239B1 (en) Apparatus and Method for Tuning of Intermediate Frequency in Superconductiny Filter
Jacob et al. Precise Microwave Characterisation of YBa 2 Cu 3 O 7− δ Films on Sapphire and Lanthanum Aluminate Substrates
JP2001136083A (en) Radio receiver
Phillips et al. An integrated 11 GHz cryogenic downconverter

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20060906

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20060929

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091201

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100330