JP2003045341A - Plasma discharge display device - Google Patents

Plasma discharge display device

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JP2003045341A
JP2003045341A JP2001231285A JP2001231285A JP2003045341A JP 2003045341 A JP2003045341 A JP 2003045341A JP 2001231285 A JP2001231285 A JP 2001231285A JP 2001231285 A JP2001231285 A JP 2001231285A JP 2003045341 A JP2003045341 A JP 2003045341A
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JP
Japan
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discharge
electrode
display device
substrate
electrodes
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Application number
JP2001231285A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Kojima
繁 小島
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma discharge display device enabled to discharge at whole surface of a discharge sustain electrode, and to improve brightness and luminous efficiency, which is expected to have a prolonged life. SOLUTION: The plasma discharge display device comprises a first substrate 11, a second substrate 2 arranged so as to form a sealed plasma discharge space 4 between the first substrate 11 and itself, a dielectric layer 14 formed on the plasma discharge space side of the first substrate 11, at least a pair of striped discharge sustain electrodes 12 formed between the first substrate 11 and the dielectric substance layer 14, and a floating electrode 30 located between the discharge sustain electrodes 12, namely, between the first substrate 11 and the dielectric layer 14, which is not electrically connected with the discharge sustain electrodes 12 and external electrodes.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ放電表示
装置に係り、さらに詳しくは、安定な放電を実現し発光
ピーク輝度を向上させることができるプラズマ放電表示
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma discharge display device, and more particularly to a plasma discharge display device capable of realizing stable discharge and improving emission peak luminance.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在主流の陰極線管(CRT)に代わる
画像表示装置として、平面型(フラットパネル形式)の
表示装置が種々検討されている。このような平面型の表
示装置として、液晶表示装置(LCD)、エレクトロル
ミネッセンス表示装置(ELD)、プラズマ放電表示装
置(PDP:プラズマ・ディスプレイ)を例示すること
ができる。中でも、プラズマ放電表示装置は、大画面化
や広視野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振
動等の環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であ
ること等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公
共用の大型情報端末機器への適用が期待されている。
2. Description of the Related Art Various flat panel display devices have been studied as an image display device to replace a cathode ray tube (CRT) which is currently the mainstream. A liquid crystal display device (LCD), an electroluminescence display device (ELD), and a plasma discharge display device (PDP: plasma display) can be exemplified as such a flat display device. Among them, the plasma discharge display device has advantages such as relatively large screen and wide viewing angle, excellent resistance to environmental factors such as temperature, magnetism, and vibration, and long life. In addition to wall-mounted televisions for home use, it is expected to be applied to large-scale information terminal devices for public use.

【0003】プラズマ放電表示装置は、希ガスから成る
放電ガスを放電空間内に封入した放電セルに電圧を印加
して、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した紫外
線(UV)で放電セル内の蛍光体層を励起することによ
って発光を得る表示装置である。つまり、個々の放電セ
ルは蛍光灯に類似した原理で駆動され、放電セルが、通
常、数十万個のオーダーで集合して1つの表示画面が構
成されている。プラズマ放電表示装置は、放電セルへの
電圧の印加方式によって直流駆動型(DC型)と交流駆
動型(AC型)とに大別され、それぞれ一長一短を有す
る。
In a plasma discharge display device, a voltage is applied to a discharge cell in which a discharge gas composed of a rare gas is sealed in a discharge space, and ultraviolet rays (UV) generated by glow discharge in the discharge gas are generated in the discharge cell. Is a display device that emits light by exciting the phosphor layer. That is, the individual discharge cells are driven by a principle similar to that of a fluorescent lamp, and the discharge cells are usually assembled on the order of hundreds of thousands to form one display screen. Plasma discharge display devices are roughly classified into a DC drive type (DC type) and an AC drive type (AC type) according to a method of applying a voltage to a discharge cell, and each has advantages and disadvantages.

【0004】AC型プラズマ放電表示装置は、表示画面
内で個々の放電セルを仕切る役割を果たす隔壁を、たと
えばストライプ状に形成すればよいので、高精細化に適
している。しかも、放電のための電極の表面が誘電体層
で覆われているので、かかる電極が磨耗し難く、長寿命
であるといった長所を有する。
The AC type plasma discharge display device is suitable for high definition because the barrier ribs for partitioning the individual discharge cells in the display screen may be formed in stripes, for example. Moreover, since the surface of the electrode for discharging is covered with the dielectric layer, the electrode has advantages that it is hard to wear and has a long life.

【0005】このAC型プラズマ放電表示装置におい
て、対となる透明な放電維持電極の縁部に沿って、バス
電極が形成された表示装置も知られている。このバス電
極は、透明導電膜で構成される放電維持電極に比較して
電気抵抗が低い金属膜で構成される。これは、高抵抗の
放電維持電極単独では、放電維持電極の長手方向に沿っ
て抵抗値が大きく成りすぎ、大画面のディスプレイを製
造するには不利だからである。
In this AC type plasma discharge display device, there is also known a display device in which a bus electrode is formed along the edge of a pair of transparent discharge sustaining electrodes. The bus electrode is made of a metal film having a lower electric resistance than the discharge sustaining electrode made of a transparent conductive film. This is because the resistance value of the high-resistance discharge sustaining electrode alone becomes too large along the longitudinal direction of the discharge sustaining electrode, which is disadvantageous in manufacturing a large-screen display.

【0006】ところで、このようなAC型プラズマ放電
表示装置においては、通常の放電維持電極の構成では、
放電可能な封入ガスの封入圧を上げた場合、維持電極間
の間隙を狭めないと放電開始電圧が上がる。場合によっ
ては、放電ができなくなってしまう。
By the way, in such an AC type plasma discharge display device, in the structure of a usual discharge sustaining electrode,
When the filling pressure of the filling gas capable of discharging is increased, the discharge starting voltage increases unless the gap between the sustain electrodes is narrowed. In some cases, discharge cannot be performed.

【0007】そこで、維持電極の電極間隔を狭くするこ
とにより、Xe濃度を上げた放電ガスでの発光に成功し
ているが、放電は維持電極の間隙から始まりバス電極で
ある金属電極側に広がることが、時間分解2次元観察に
より確認されている。一般に、放電は維持電極の間隙か
ら始まりバス電極である金属電極側に広がるが、電極全
面での放電を生じさせることは難しい。
Therefore, by narrowing the electrode spacing of the sustain electrodes, light emission with a discharge gas having an increased Xe concentration has succeeded, but the discharge starts from the gap of the sustain electrodes and spreads to the metal electrode side which is the bus electrode. This has been confirmed by time-resolved two-dimensional observation. Generally, the discharge starts from the gap between the sustain electrodes and spreads to the metal electrode side which is the bus electrode, but it is difficult to cause the discharge on the entire surface of the electrode.

【0008】輝度および発光効率向上のためには、維持
電極全面での放電が望ましい。輝度向上あるいは発光効
率向上のために各社いろいろな工夫を凝らしている。T
字型電極(SID’99 DIGEST、pp268−
271)や、第2維持電極(特許第3111949)、
CSP構造(SID’00 DIGEST、pp102
−105)、電極間隔の検討(SID’00 DIGE
ST、pp106−108)などがある。
In order to improve brightness and luminous efficiency, it is desirable to discharge the entire sustain electrode. Each company is making various efforts to improve brightness and luminous efficiency. T
V-shaped electrode (SID'99 DIGEST, pp268-
271), the second sustaining electrode (Japanese Patent No. 3111949),
CSP structure (SID'00 DIGEST, pp102
-105), examination of electrode spacing (SID'00 DIGE
ST, pp106-108).

【0009】たとえば、CSP構造ではバス電極(金属
電極)の上に誘電体層を介して透明電極(ITO)を配
置して容量性の結合を生じさせ、放電領域を広げて、輝
度および効率を向上させようと試みている。しかしなが
ら、この技術では、輝度および発光効率の向上に成功し
ているが、時間分解2次元観察によるIR(828n
m)での結果の報告をみると、放電維持電極全面での発
光には至っていない。
For example, in the CSP structure, a transparent electrode (ITO) is arranged on a bus electrode (metal electrode) via a dielectric layer to cause capacitive coupling, thereby widening a discharge region to improve brightness and efficiency. I am trying to improve it. However, although this technology has succeeded in improving the brightness and the luminous efficiency, IR (828n
According to the report of the result in m), light emission has not been achieved on the entire surface of the discharge sustaining electrode.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
実状に鑑みてなされ、その目的は、安定な放電により放
電維持電極全面での発光を可能とし、輝度および発光効
率の向上を図ることが可能であり、しかも長寿命化も期
待できるプラズマ放電表示装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to enable stable discharge to cause light emission on the entire surface of the discharge sustaining electrode and to improve luminance and light emission efficiency. It is an object of the present invention to provide a plasma discharge display device that is capable of achieving a long life.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るプラズマ放電表示装置は、第1基板
と、前記第1基板との間に密封されたプラズマ放電空間
を形成するように配置された第2基板と、前記第1基板
における前記放電空間側の表面に形成された誘電体層
と、前記第1基板と誘電体層との間にストライプ状に形
成された少なくとも一対の放電維持電極と、前記第1基
板と誘電体層との間であって、前記一対の放電維持電極
の間に位置し、前記放電維持電極および外部の電極とは
電気的に接続されない浮遊電極と、を有することを特徴
とする。
In order to achieve the above object, the plasma discharge display device according to the present invention forms a sealed plasma discharge space between a first substrate and the first substrate. A second substrate disposed on the first substrate, a dielectric layer formed on the surface of the first substrate on the discharge space side, and at least a pair of stripes formed between the first substrate and the dielectric layer. A discharge sustaining electrode, a floating electrode located between the first substrate and the dielectric layer, between the pair of discharge sustaining electrodes, and not electrically connected to the discharge sustaining electrode and an external electrode; , Are included.

【0012】なお、本発明において、「第1基板と誘電
体層との間」とは、誘電体層の内部も含む意味で用い
る。たとえば、本発明においては、放電維持電極または
浮遊電極は、第1基板と誘電体層との間で、必ずしも第
1基板に接することなく、誘電体層の内部に位置させて
も良い。
In the present invention, the term "between the first substrate and the dielectric layer" is used to include the inside of the dielectric layer. For example, in the present invention, the discharge sustaining electrode or the floating electrode may be located inside the dielectric layer between the first substrate and the dielectric layer, not necessarily in contact with the first substrate.

【0013】好ましくは、前記浮遊電極は、前記放電維
持電極と略平行にストライプ状に形成してある。また、
前記浮遊電極は、長手方向に沿って不連続なパターンで
あっても良い。さらに、前記浮遊電極は、前記一対の放
電維持電極の間で、二列以上のパターンで形成してもよ
い。
Preferably, the floating electrode is formed in a stripe shape substantially in parallel with the discharge sustaining electrode. Also,
The floating electrode may have a discontinuous pattern along the longitudinal direction. Further, the floating electrodes may be formed in a pattern of two or more rows between the pair of discharge sustaining electrodes.

【0014】前記浮遊電極は、前記放電維持電極と略同
一な平面位置に形成しても良いし、前記放電維持電極よ
りも、前記放電空間側の前記誘電体層の内部に位置させ
ても良い。
The floating electrode may be formed in the same plane position as the discharge sustaining electrode, or may be located inside the dielectric layer on the discharge space side with respect to the discharge sustaining electrode. .

【0015】通常、前記放電維持電極および浮遊電極
は、それぞれ透明電極で構成してある。そして、前記一
対の放電維持電極には、各放電維持電極の縁部の長手方
向に沿って、前記放電維持電極の電気抵抗よりも低い電
気抵抗を持つバス電極が、各放電維持電極に電気的に接
続するように形成してあることが好ましい。
Usually, the discharge sustaining electrode and the floating electrode are each composed of a transparent electrode. A bus electrode having an electrical resistance lower than the electrical resistance of the discharge sustaining electrodes is electrically connected to the pair of discharge sustaining electrodes along the longitudinal direction of the edge of each discharge sustaining electrode. It is preferably formed so as to be connected to.

【0016】[0016]

【作用】本発明では、放電維持電極間に、放電維持電極
および外部とは接続されていない浮遊電位の連続電極あ
るいは島状電極を配置することにより、短電極間放電の
利点、すなわち放電可能な放電ガス封入圧を高くできる
ことと、電極全面短時間安定放電を行うことが可能とな
る。その結果、紫外光(UV)の発光ピーク輝度を向上
させることができる。
In the present invention, by arranging the discharge sustaining electrode and the continuous electrode or the island electrode of the floating potential which is not connected to the outside between the discharge sustaining electrodes, the advantage of the short interelectrode discharge, that is, the discharge is possible. It is possible to increase the filling pressure of the discharge gas and to perform stable discharge over the entire surface of the electrode for a short time. As a result, the emission peak brightness of ultraviolet light (UV) can be improved.

【0017】この浮遊電位を持つ浮遊電極は、放電維持
電極と略同じ平面位置にあっても、または放電維持電極
よりも放電空間側の誘電体層の内部に位置にあったとし
ても、放電維持電極に対して容量性結合をしていれば同
等の働きをする。また、浮遊電極は、その長手方向に沿
って連続したパターン、あるいは不連続なパターン、さ
らには二列以上のパターンであったとしても、放電維持
電極に対して容量性結合をしていれば同等の働きをす
る。
The floating electrode having this floating potential is maintained in the same plane position as the discharge sustaining electrode, or even if it is positioned inside the dielectric layer on the discharge space side of the discharge sustaining electrode. If capacitively coupled to the electrodes, it works the same. Even if the floating electrode has a continuous pattern, a discontinuous pattern, or a pattern of two or more rows along the longitudinal direction, it is equivalent as long as it is capacitively coupled to the discharge sustaining electrode. To work.

【0018】放電維持電極と浮遊電位を持つ浮遊電極と
は容量性結合をしており、あたかも放電維持電極間の間
隔が狭い場合と同等の働きをする。また、この容量性の
結合のために、一旦放電が生じれば、一方の放電維持電
極全面で放電が起こる。この電極全面の放電は放電開始
から短時間で終わる。
The discharge sustaining electrode and the floating electrode having a floating potential are capacitively coupled, and have the same function as if the interval between the discharge sustaining electrodes is narrow. Further, because of this capacitive coupling, once discharge occurs, discharge occurs on the entire surface of one of the sustain electrodes. The discharge on the entire surface of the electrode is completed within a short time from the start of discharge.

【0019】本発明において、放電維持電極および浮遊
電極が透明である場合には、表示光を遮らないので、さ
らに都合がよい。しかも、各放電維持電極にバス電極を
具備させることで、放電維持電極の長手方向に沿った抵
抗値を下げ、大画面のディスプレイの製造を可能とす
る。
In the present invention, when the sustaining electrodes and the floating electrodes are transparent, the display light is not blocked, which is more convenient. Moreover, by providing each discharge sustaining electrode with a bus electrode, the resistance value along the longitudinal direction of the discharge sustaining electrode can be reduced, and a large-screen display can be manufactured.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面に示す実施
形態に基づき説明する。図1は本発明の一実施形態に係
るプラズマ放電表示装置の要部断面図、図2は図1に示
す第1パネルの要部断面図、図3は図2に示すIII−III
線に沿う放電維持電極、バス電極および浮遊電極の位置
関係を示す平面図、図4は本発明の他の実施形態に係る
プラズマ放電表示装置における第1パネルの要部断面
図、図5は本発明の他の実施形態に係るプラズマ放電表
示装置における放電維持電極、バス電極および浮遊電極
の位置関係を示す平面図、図6は本発明の他の実施形態
に係るプラズマ放電表示装置における放電維持電極、バ
ス電極および浮遊電極の位置関係を示す平面図、図7は
本発明の一実施例に係るプラズマ放電表示装置の発光状
態を示す写真である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described below based on the embodiments shown in the drawings. 1 is a cross-sectional view of a main part of a plasma discharge display device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the main part of a first panel shown in FIG. 1, and FIG.
FIG. 4 is a plan view showing the positional relationship between the discharge sustaining electrodes, bus electrodes, and floating electrodes along the line, FIG. 4 is a cross-sectional view of the main part of the first panel in the plasma discharge display device according to another embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6 is a plan view showing a positional relationship among a discharge sustain electrode, a bus electrode and a floating electrode in a plasma discharge display device according to another embodiment of the invention, and FIG. 6 is a discharge sustain electrode in a plasma discharge display device according to another embodiment of the present invention. FIG. 7 is a plan view showing a positional relationship between the bus electrode and the floating electrode, and FIG. 7 is a photograph showing a light emitting state of the plasma discharge display device according to the embodiment of the present invention.

【0021】プラズマ平面表示装置の全体構成 まず、図1に基づき、交流駆動型(AC)型平面プラズ
マ放電表示装置(以下、単に、プラズマ表示装置と呼ぶ
場合がある)の全体構成について説明する。図1に示す
AC型プラズマ表示装置2は、いわゆる3電極型に属
し、1対の放電維持(走査)電極12の間で放電が生じ
る。このAC型プラズマ表示装置2は、フロントパネル
に相当する第1パネル10と、リアパネルに相当する第
2パネル20とが貼り合わされて成る。第2パネル20
上の蛍光体層25R,25G,25Bの発光は、たとえ
ば、第1パネル10を通して観察される。すなわち、第
1パネル10が、表示面側となる。
Overall Structure of Plasma Flat Display Device First, the overall structure of an AC-driven (AC) type planar plasma discharge display device (hereinafter, may be simply referred to as a plasma display device) will be described with reference to FIG. The AC type plasma display device 2 shown in FIG. 1 belongs to a so-called three-electrode type, and a discharge is generated between a pair of discharge sustaining (scanning) electrodes 12. This AC type plasma display device 2 is formed by laminating a first panel 10 corresponding to a front panel and a second panel 20 corresponding to a rear panel. Second panel 20
The light emission of the upper phosphor layers 25R, 25G, 25B is observed, for example, through the first panel 10. That is, the first panel 10 is the display surface side.

【0022】第1パネル10は、透明な第1基板11
と、第1基板11上にストライプ状に設けられ、透明導
電材料から成る複数の一対の放電維持電極12と、放電
維持電極12のインピーダンスを低下させるために設け
られ、放電維持電極12よりも電気抵抗率の低い材料か
ら成るバス電極13と、バス電極13および放電維持電
極12上を含む第1の基板11上に形成された誘電体層
14と、その上に形成された保護層15とから構成され
ている。なお、保護層15は、必ずしも形成されている
必要はないが、形成されていることが好ましい。
The first panel 10 includes a transparent first substrate 11
And a plurality of pairs of discharge sustaining electrodes 12 made of a transparent conductive material, which are provided on the first substrate 11 in a stripe shape, and provided to reduce the impedance of the discharge sustaining electrodes 12. The bus electrode 13 made of a material having a low resistivity, the dielectric layer 14 formed on the first substrate 11 including the bus electrode 13 and the discharge sustaining electrode 12, and the protective layer 15 formed thereon. It is configured. The protective layer 15 is not necessarily formed, but is preferably formed.

【0023】本実施形態では、図2および図3に示すよ
うに、各一対の放電維持電極12の間に、浮遊電極30
が、放電維持電極12と同一平面上で、且つ放電維持電
極12と略平行なストライプ状パターンで形成してあ
る。浮遊電極30は、放電維持電極12と同様な透明導
電材料で構成してあり、放電維持電極12を第1基板1
1の内面に所定パターンで形成する際に、同時に形成す
ることができる。浮遊電極30は、放電維持電極12ま
たはその他のいずれの電極とも電気的に接続されておら
ず、電位的には、浮遊電位となっている。なお、放電維
持電極12と浮遊電極30との位置関係などについて
は、後述する。
In this embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, the floating electrode 30 is provided between each pair of discharge sustaining electrodes 12.
However, it is formed in a stripe pattern on the same plane as the discharge sustaining electrodes 12 and substantially parallel to the discharge sustaining electrodes 12. The floating electrode 30 is made of the same transparent conductive material as the discharge sustaining electrode 12, and the discharge sustaining electrode 12 is formed on the first substrate 1
It can be formed simultaneously when forming a predetermined pattern on the inner surface of 1. The floating electrode 30 is not electrically connected to the discharge sustaining electrode 12 or any other electrode, and has a floating potential in terms of potential. The positional relationship between the discharge sustaining electrode 12 and the floating electrode 30 will be described later.

【0024】一方、第2パネル20は、第2基板21
と、第2基板21上にストライプ状に設けられた複数の
アドレス電極(データ電極とも呼ばれる)22と、アド
レス電極22上を含む第2基板21上に形成された誘電
体膜(図示省略)と、誘電体膜上であって隣り合うアド
レス電極22の間の領域にアドレス電極22と平行に延
びる絶縁性の隔壁24と、誘電体膜上から隔壁24の側
壁面上に亘って設けられた蛍光体層とから構成されてい
る。蛍光体層は、赤色蛍光体層25R、緑色蛍光体層2
5G、および青色蛍光体層25Bから構成されている。
On the other hand, the second panel 20 includes a second substrate 21.
A plurality of address electrodes (also referred to as data electrodes) 22 provided in stripes on the second substrate 21, and a dielectric film (not shown) formed on the second substrate 21 including the address electrodes 22. , An insulating partition wall 24 extending in parallel with the address electrode 22 in a region between the adjacent address electrodes 22 on the dielectric film, and fluorescent light provided over the dielectric film and the sidewall surface of the partition wall 24. It is composed of a body layer. The phosphor layers are the red phosphor layer 25R and the green phosphor layer 2
5G, and a blue phosphor layer 25B.

【0025】図1は、表示装置の一部分解斜視図であ
り、実際には、第2パネル20側の隔壁24の頂部が第
1パネル10側の保護層15に当接している。一対の放
電維持電極12と、2つの隔壁24の間に位置するアド
レス電極22とが重複する領域が、単一の放電セルに相
当する。そして、隣り合う隔壁24と蛍光体層25R,
25G,25Bと保護層15とによって囲まれた放電空
間4内には、放電ガスが封入されている。第1パネル1
0と第2パネル20とは、それらの周辺部において、フ
リットガラスを用いて接合されている。放電空間4内に
封入される放電ガスとしては、特に限定されないが、キ
セノン(Xe)ガス、ネオン(Ne)ガス、ヘリウム
(He)ガス、アルゴン(Ar)ガス、窒素(N)ガ
ス等の不活性ガス、あるいはこれらの不活性ガスの混合
ガスなどが用いられる。封入されている放電ガスの全圧
は、特に限定されないが、6×10Pa〜8×10
Pa程度である。
FIG. 1 is a partially exploded perspective view of the display device. Actually, the top of the partition wall 24 on the second panel 20 side is in contact with the protective layer 15 on the first panel 10 side. The region where the pair of discharge sustaining electrodes 12 and the address electrode 22 located between the two barrier ribs 24 overlap corresponds to a single discharge cell. Then, the adjacent partition wall 24 and the phosphor layer 25R,
A discharge gas is enclosed in the discharge space 4 surrounded by 25G and 25B and the protective layer 15. 1st panel 1
The 0 and the second panel 20 are joined at their peripheral portions by using frit glass. The discharge gas sealed in the discharge space 4 is not particularly limited, but may be xenon (Xe) gas, neon (Ne) gas, helium (He) gas, argon (Ar) gas, nitrogen (N 2 ) gas, or the like. An inert gas or a mixed gas of these inert gases is used. The total pressure of the enclosed discharge gas is not particularly limited, but is 6 × 10 3 Pa to 8 × 10 4
It is about Pa.

【0026】放電維持電極12の射影像が延びる方向と
アドレス電極22の射影像が延びる方向とは略直交(必
ずしも直交する必要はないが)しており、一対の放電維
持電極12と、3原色を発光する蛍光体層25R,25
G,25Bの1組とが重複する領域が1画素(1ピクセ
ル)に相当する。グロー放電が一対の放電維持電極12
間で生じることから、このタイプのプラズマ表示装置は
「面放電型」と称される。一対の放電維持電極12間に
電圧を印加する直前に、たとえば、放電セルの放電開始
電圧よりも低いパネル電圧をアドレス電極22に印加す
ることで、放電セル内に壁電荷が蓄積され(表示を行う
放電セルの選択)、見掛け上の放電開始電圧が低下す
る。次いで、一対の放電維持電極12の間で開始された
放電は、放電開始電圧よりも低い電圧にて維持され得
る。放電セルにおいては、放電ガス中でのグロー放電に
基づき発生した真空紫外線の照射によって励起された蛍
光体層が、その蛍光体層材料の種類に応じた特有の発光
色を呈する。なお、封入された放電ガスの種類に応じた
波長を有する真空紫外線が発生する。
The direction in which the projected image of the discharge sustaining electrodes 12 extends and the direction in which the projected image of the address electrodes 22 extends are substantially orthogonal (although they do not necessarily have to be orthogonal), and the pair of discharge sustaining electrodes 12 and the three primary colors. Emitting phosphor layers 25R, 25
An area where one set of G and 25B overlaps corresponds to one pixel (one pixel). Glow discharge is a pair of discharge sustaining electrodes 12
This type of plasma display device is referred to as a "surface discharge type" because it occurs in between. Immediately before applying a voltage between the pair of discharge sustaining electrodes 12, for example, by applying a panel voltage lower than the discharge starting voltage of the discharge cells to the address electrodes 22, wall charges are accumulated in the discharge cells (display Selection of discharge cells to be performed), the apparent discharge start voltage decreases. Then, the discharge started between the pair of discharge sustaining electrodes 12 may be maintained at a voltage lower than the discharge starting voltage. In the discharge cell, the phosphor layer excited by the irradiation of vacuum ultraviolet rays generated by glow discharge in the discharge gas exhibits a specific emission color according to the type of the phosphor layer material. In addition, vacuum ultraviolet rays having a wavelength corresponding to the type of the enclosed discharge gas are generated.

【0027】本実施形態のプラズマ表示装置2は、いわ
ゆる反射型プラズマ表示装置であり、蛍光体層25R,
25G,25Bの発光は、第1パネル10を通して観察
されるので、アドレス電極22を構成する導電性材料に
関して透明/不透明の別は問わないが、放電維持電極1
2および浮遊電極30を構成する導電性材料は透明であ
る必要がある。なお、ここで述べる透明/不透明とは、
蛍光体層材料に固有の発光波長(可視光域)における導
電性材料の光透過性に基づく。即ち、蛍光体層から射出
される光に対して透明であれば、放電維持電極やアドレ
ス電極を構成する導電性材料は透明であると言える。
The plasma display device 2 of the present embodiment is a so-called reflection type plasma display device, and includes a phosphor layer 25R,
Since the light emission of 25G and 25B is observed through the first panel 10, the conductive material forming the address electrode 22 may be transparent or opaque.
2 and the conductive material forming the floating electrode 30 need to be transparent. In addition, the transparency / opacity described here means
It is based on the light transmittance of the conductive material in the emission wavelength (visible light range) peculiar to the phosphor layer material. That is, if it is transparent to the light emitted from the phosphor layer, it can be said that the conductive material forming the discharge sustaining electrodes and the address electrodes is transparent.

【0028】不透明な導電性材料として、Ni,Al,
Au,Ag,Al,Pd/Ag,Cr,Ta,Cu,B
a,LaB,Ca0.2La0.8CrO等の材料
を、単独または適宜組み合わせて用いることができる。
透明な導電性材料としては、ITO(インジウム・錫酸
化物)やSnOを挙げることができる。放電維持電極
12、浮遊電極30またはアドレス電極22は、スパッ
タ法や、蒸着法、スクリーン印刷法、サンドブラスト
法、メッキ法、リフトオフ法等によって形成することが
できる。放電維持電極12の電極幅W1は、特に限定さ
れないが、40〜400μm程度である。また、これら
の対となる電極12相互間の距離(放電ギャップ)W2
は、特に限定されないが、好ましくは5〜150μm、
さらに好ましくは20〜100μm程度である。また、
アドレス電極22の幅は、たとえば40〜100μm程
度である。
As the opaque conductive material, Ni, Al,
Au, Ag, Al, Pd / Ag, Cr, Ta, Cu, B
Materials such as a, LaB 6 , Ca 0.2 La 0.8 CrO 3 and the like can be used alone or in appropriate combination.
Examples of the transparent conductive material include ITO (indium / tin oxide) and SnO 2 . The discharge sustaining electrode 12, the floating electrode 30, or the address electrode 22 can be formed by a sputtering method, a vapor deposition method, a screen printing method, a sandblast method, a plating method, a lift-off method, or the like. The electrode width W1 of the discharge sustaining electrode 12 is not particularly limited, but is about 40 to 400 μm. Further, the distance (discharge gap) W2 between the electrodes 12 forming the pair
Is not particularly limited, but is preferably 5 to 150 μm,
More preferably, it is about 20 to 100 μm. Also,
The width of the address electrode 22 is, for example, about 40 to 100 μm.

【0029】バス電極13は、典型的には、金属材料、
たとえば、Ag,Au,Al,Ni,Cu,Mo,Cr
などの単層金属膜、あるいはCr/Cu/Crなどの積
層膜などから構成することができる。かかる金属材料か
ら成るバス電極13は、反射型のプラズマ表示装置にお
いては、蛍光体層から放射されて第1基板11を通過す
る可視光の透過光量を低減させ、表示画面の輝度を低下
させる要因となり得るので、放電維持電極全体に要求さ
れる電気抵抗値が得られる範囲内で出来る限り細く形成
することが好ましい。具体的には、バス電極13の電極
幅W3は、放電維持電極12の電極幅W1よりも小さ
く、たとえば30〜200μm程度である。バス電極1
3は、スパッタ法や、蒸着法、スクリーン印刷法、サン
ドブラスト法、メッキ法、リフトオフ法等によって形成
することができる。
The bus electrode 13 is typically a metallic material,
For example, Ag, Au, Al, Ni, Cu, Mo, Cr
It can be composed of a single layer metal film such as or a laminated film of Cr / Cu / Cr or the like. In the reflection type plasma display device, the bus electrode 13 made of such a metal material reduces the amount of visible light that is emitted from the phosphor layer and passes through the first substrate 11 to reduce the brightness of the display screen. Therefore, it is preferable to form the discharge sustaining electrode as thinly as possible within the range in which the required electric resistance value can be obtained. Specifically, the electrode width W3 of the bus electrode 13 is smaller than the electrode width W1 of the discharge sustaining electrode 12 and is, for example, about 30 to 200 μm. Bus electrode 1
3 can be formed by a sputtering method, a vapor deposition method, a screen printing method, a sandblast method, a plating method, a lift-off method, or the like.

【0030】ストライプ状の浮遊電極30は、放電維持
電極12と同様にして形成され、その電極幅W4は、放
電ギャップW2よりも小さく、好ましくは1μm以上で
ある。この浮遊電極30の電極幅W4が小さすぎると、
本発明の効果が小さい。また、また、浮遊電極30と放
電維持電極12との間の隙間W5は、好ましくは1〜4
0μmである。この隙間W5が小さすぎると、これらの
間で短絡が生じるおそれがあり、この隙間W5が大きす
ぎると、放電ギャップW2が大きく成りすぎることから
好ましくない。なお、その隙間W5は、浮遊電極30の
両側で、同じでも異なっていても良い。
The stripe-shaped floating electrode 30 is formed in the same manner as the discharge sustaining electrode 12, and its electrode width W4 is smaller than the discharge gap W2, preferably 1 μm or more. If the electrode width W4 of the floating electrode 30 is too small,
The effect of the present invention is small. Further, the gap W5 between the floating electrode 30 and the discharge sustaining electrode 12 is preferably 1 to 4
It is 0 μm. If the gap W5 is too small, a short circuit may occur between them, and if the gap W5 is too large, the discharge gap W2 becomes too large, which is not preferable. The gap W5 may be the same or different on both sides of the floating electrode 30.

【0031】放電維持電極12の表面に形成される誘電
体層14は、たとえば、電子ビーム蒸着法やスパッタ
法、蒸着法、スクリーン印刷法等に基づき、形成されて
いることが好ましい。誘電体層12を設けることによっ
て、放電空間4内で発生するイオンや電子が、放電維持
電極12と直接に接触することを防止することができ
る。その結果、放電維持電極12の磨耗を防ぐことがで
きる。誘電体層14は、放電によって発生する壁電荷を
蓄積する機能、いわゆるメモリ機能、過剰な放電電流を
制限する抵抗体としての機能を有する。誘電体層14
は、典型的には、低融点ガラスから構成することができ
るが、その他の誘電体材料を用いて形成することもでき
る。
The dielectric layer 14 formed on the surface of the discharge sustaining electrode 12 is preferably formed by, for example, an electron beam evaporation method, a sputtering method, an evaporation method, a screen printing method or the like. By providing the dielectric layer 12, it is possible to prevent ions and electrons generated in the discharge space 4 from coming into direct contact with the discharge sustaining electrode 12. As a result, wear of the discharge sustaining electrode 12 can be prevented. The dielectric layer 14 has a function of accumulating wall charges generated by discharge, a so-called memory function, and a function as a resistor that limits an excessive discharge current. Dielectric layer 14
Can typically be constructed from low melting glass, but can also be formed using other dielectric materials.

【0032】誘電体層14の放電空間側表面に形成して
ある保護層15は、イオンや電子と放電維持電極との直
接接触を防止する作用を奏する。その結果、放電維持電
極12の磨耗を効果的に防ぐことができる。また、保護
層15は、放電に必要な2次電子を放出する機能も有す
る。保護層15を構成する材料として、酸化マグネシウ
ム(MgO)、フッ化マグネシウム(MgF)、フッ
化カルシウム(CaF )を例示することができる。中
でも酸化マグネシウムは、化学的に安定であり、スパッ
タリング率が低く、蛍光体層の発光波長における光透過
率が高く、放電開始電圧が低い等の特色を有する好適な
材料である。なお、保護層15を、これらの材料から成
る群から選択された少なくとも2種類の材料から構成さ
れた積層膜構造としてもよい。
Formed on the surface of the dielectric layer 14 on the discharge space side
A certain protective layer 15 is provided between the ions and electrons and the discharge sustaining electrode.
It has the effect of preventing intimate contact. As a result,
Wear of the pole 12 can be effectively prevented. Also protection
The layer 15 also has a function of emitting secondary electrons necessary for discharging
It As a material for forming the protective layer 15, magnesium oxide is used.
(MgO), magnesium fluoride (MgF)Two),
Calcium oxide (CaF Two) Can be illustrated. During ~
But magnesium oxide is chemically stable,
Low tarring rate and light transmission at the emission wavelength of the phosphor layer
Suitable for having features such as high rate and low discharge starting voltage
It is a material. The protective layer 15 is made of these materials.
Composed of at least two materials selected from the group
It may have a laminated film structure.

【0033】第1基板11および第2基板21の構成材
料として、高歪点ガラス、ソーダガラス(NaO・C
aO・SiO)、硼珪酸ガラス(NaO・B
・SiO)、フォルステライト(2MgO・Si
)、鉛ガラス(NaO・PbO・SiO)を例
示することができる。第1基板11と第2基板21の構
成材料は、同じであっても異なっていてもよい。
As a constituent material of the first substrate 11 and the second substrate 21, high strain point glass and soda glass (Na 2 O.C) are used.
aO ・ SiO 2 ), borosilicate glass (Na 2 O ・ B 2 O 3
・ SiO 2 ), forsterite (2MgO ・ Si
O 2), can be exemplified lead glass (Na 2 O · PbO · SiO 2). The constituent materials of the first substrate 11 and the second substrate 21 may be the same or different.

【0034】蛍光体層25R,25G,25Bは、たと
えば、赤色を発光する蛍光体層材料、緑色を発光する蛍
光体層材料および青色を発光する蛍光体層材料から成る
群から選択された蛍光体層材料から構成され、アドレス
電極22の上方に設けられている。プラズマ表示装置が
カラー表示の場合、具体的には、たとえば、赤色を発光
する蛍光体層材料から構成された蛍光体層(赤色蛍光体
層25R)がアドレス電極22の上方に設けられ、緑色
を発光する蛍光体層材料から構成された蛍光体層(緑色
蛍光体層25G)が別のアドレス電極22の上方に設け
られ、青色を発光する蛍光体層材料から構成された蛍光
体層(青色蛍光体層25B)が更に別のアドレス電極2
2の上方に設けられており、これらの3原色を発光する
蛍光体層が1組となり、所定の順序に従って設けられて
いる。そして、前述したように、一対の放電維持電極1
2と、これらの3原色を発光する1組の蛍光体層25
R,25G,25Bとが重複する領域が、1画素(1表
示セル)に相当する。赤色蛍光体層、緑色蛍光体層およ
び青色蛍光体層は、ストライプ状に形成されていてもよ
いし、格子状に形成されていてもよい。
The phosphor layers 25R, 25G, 25B are, for example, phosphors selected from the group consisting of a phosphor layer material that emits red light, a phosphor layer material that emits green light, and a phosphor layer material that emits blue light. It is made of a layer material and is provided above the address electrode 22. When the plasma display device is a color display, specifically, for example, a phosphor layer (red phosphor layer 25R) made of a phosphor layer material that emits red light is provided above the address electrode 22 to display a green color. A phosphor layer (green phosphor layer 25G) composed of a phosphor layer material that emits light is provided above another address electrode 22, and a phosphor layer composed of a phosphor layer material that emits blue light (blue phosphor). Body layer 25B) is further address electrode 2
2 is provided above, and one set of phosphor layers that emit these three primary colors is provided in a predetermined order. Then, as described above, the pair of discharge sustaining electrodes 1
2 and a set of phosphor layers 25 that emit these three primary colors
The area where R, 25G, and 25B overlap corresponds to one pixel (one display cell). The red phosphor layer, the green phosphor layer, and the blue phosphor layer may be formed in a stripe shape or a grid shape.

【0035】蛍光体層25R,25G,25Bを構成す
る蛍光体層材料としては、従来公知の蛍光体層材料の中
から、量子効率が高く、真空紫外線に対する飽和が少な
い蛍光体層材料を適宜選択して用いることができる。カ
ラー表示を想定した場合、色純度がNTSCで規定され
る3原色に近く、3原色を混合した際の白バランスがと
れ、残光時間が短く、3原色の残光時間がほぼ等しくな
る蛍光体層材料を組み合わせることが好ましい。
As the phosphor layer material forming the phosphor layers 25R, 25G and 25B, a phosphor layer material having a high quantum efficiency and a low saturation with respect to vacuum ultraviolet rays is appropriately selected from conventionally known phosphor layer materials. Can be used. In the case of color display, the color purity is close to the three primary colors specified by NTSC, the white balance is good when the three primary colors are mixed, the afterglow time is short, and the afterglow times of the three primary colors are almost equal. It is preferred to combine the layer materials.

【0036】蛍光体層材料の具体的な例示を次に示す。
たとえば赤色に発光する蛍光体層材料として、(Y
:Eu),(YBOEu),(YVO:Eu),
(Y 0.960.600.40:E
0.04),[(Y,Gd)BO:Eu],(Gd
BO:Eu),(ScBO:Eu),(3.5Mg
O・0.5MgF・GeO:Mn)、緑色に発光す
る蛍光体層材料として、(ZnSiO:Mn),(B
aA11219:Mn),(BaMgA116
27:Mn),(MgGa:Mn),(YB
:Tb),(LuBO:Tb),(SrSi
Cl:Eu)、青色に発光する蛍光体層材料とし
て、(YSiO:Ce),(CaWO:Pb),
CaWO,YP0.850.15,(BaMg
A11423:Eu),(Sr:Eu),
(Sr:Sn)などが例示される。
Specific examples of the phosphor layer material are shown below.
For example, as a phosphor layer material that emits red light, (YTwoO
Three: Eu), (YBOThreeEu), (YVOFour: Eu),
(Y 0.96P0.60V0.40OFour: E
u0.04), [(Y, Gd) BOThree: Eu], (Gd
BOThree: Eu), (ScBOThree: Eu), (3.5Mg
O ・ 0.5MgFTwo・ GeOTwo: Mn), emits green light
As a phosphor layer material forTwo: Mn), (B
aA112O19: Mn), (BaMgTwoA116O
27: Mn), (MgGaTwoOFour: Mn), (YB
OThree: Tb), (LuBOThree: Tb), (SrFourSiThree
O8ClFour: Eu), as a phosphor layer material that emits blue light
, (YTwoSiO5: Ce), (CaWOFour: Pb),
CaWOFour, YP0.85V0.15OFour, (BaMg
A114O23: Eu), (SrTwoPTwoO7: Eu),
(SrTwoPTwoO7: Sn) and the like.

【0037】蛍光体層25R,25G,25Bの形成方
法として、厚膜印刷法、蛍光体層粒子をスプレーする方
法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物質を付けて
おき、蛍光体層粒子を付着させる方法、感光性の蛍光体
層ペーストを使用し、露光および現像によって蛍光体層
をパターニングする方法、全面に蛍光体層を形成した後
に不要部をサンドブラスト法により除去する方法を挙げ
ることができる。
As the method of forming the phosphor layers 25R, 25G, 25B, a thick film printing method, a method of spraying phosphor layer particles, an adhesive substance is attached in advance to the site where the phosphor layer is to be formed, and the phosphor layer is formed. A method of attaching particles, a method of using a photosensitive phosphor layer paste, patterning the phosphor layer by exposure and development, and a method of forming a phosphor layer on the entire surface and then removing unnecessary portions by sandblasting You can

【0038】なお、蛍光体層25R,25G,25Bは
アドレス電極22の上に直接形成されていてもよいし、
アドレス電極22上から隔壁24の側壁面上に亘って形
成されていてもよい。あるいはまた、蛍光体層25R,
25G,25Bは、アドレス電極22上に設けられた誘
電体膜上に形成されていてもよいし、アドレス電極22
上に設けられた誘電体膜上から隔壁24の側壁面上に亘
って形成されていてもよい。更には、蛍光体層25R,
25G,25Bは、隔壁24の側壁面上にのみ形成され
ていてもよい。誘電体膜の構成材料として、たとえば低
融点ガラスやSiOを挙げることができる。
The phosphor layers 25R, 25G, 25B may be directly formed on the address electrode 22, or
It may be formed over the address electrode 22 and the side wall surface of the partition wall 24. Alternatively, the phosphor layer 25R,
25G and 25B may be formed on the dielectric film provided on the address electrode 22 or the address electrode 22.
It may be formed over the dielectric film provided on the sidewall surface of the partition wall 24. Furthermore, the phosphor layer 25R,
25G and 25B may be formed only on the side wall surface of the partition wall 24. Examples of the constituent material of the dielectric film include low melting point glass and SiO 2 .

【0039】第2基板21には、前述したように、アド
レス電極22と平行に延びる隔壁24(リブ)が形成さ
れている。なお、隔壁(リブ)24は、ミアンダ構造を
有していてもよい。誘電体膜が第2基板21およびアド
レス電極22上に形成されている場合には、隔壁24は
誘電体膜上に形成されている場合もある。隔壁24の構
成材料として、従来公知の絶縁材料を使用することがで
き、たとえば広く用いられている低融点ガラスにアルミ
ナ等の金属酸化物を混合した材料を用いることができ
る。隔壁24は、たとえば幅が50μm以下程度、好ま
しくは10〜35μmで、高さが300μm以下、好ま
しくは100〜200μm程度である。隔壁24のピッ
チ間隔は、たとえば50〜400μm程度、好ましくは
150μm以下である。隔壁24の形成方法について
は、後述する。
As described above, the partition walls 24 (ribs) extending in parallel with the address electrodes 22 are formed on the second substrate 21. The partition wall (rib) 24 may have a meander structure. When the dielectric film is formed on the second substrate 21 and the address electrode 22, the partition wall 24 may be formed on the dielectric film. As a constituent material of the partition wall 24, a conventionally known insulating material can be used. For example, a widely used low-melting glass mixed with a metal oxide such as alumina can be used. The partition wall 24 has a width of, for example, about 50 μm or less, preferably 10 to 35 μm, and a height of 300 μm or less, preferably about 100 to 200 μm. The pitch interval of the partition walls 24 is, for example, about 50 to 400 μm, preferably 150 μm or less. The method of forming the partition wall 24 will be described later.

【0040】第2基板21上に形成された一対の隔壁2
4と、一対の隔壁24によって囲まれた領域内を占める
放電維持電極12とアドレス電極22と蛍光体層25
R,25G,25Bによって1つの放電セルが構成され
る。そして、かかる放電セルの内部、より具体的には、
隔壁によって囲まれた放電空間の内部に、混合ガスから
成る放電ガスが封入されており、蛍光体層25R,25
G,25Bは、放電空間4内の放電ガス中で生じた交流
グロー放電に基づき発生した紫外線に照射されて発光す
る。
A pair of partition walls 2 formed on the second substrate 21.
4, the discharge sustaining electrode 12, the address electrode 22, and the phosphor layer 25 occupying the area surrounded by the pair of barrier ribs 24.
One discharge cell is composed of R, 25G, and 25B. And, inside such a discharge cell, more specifically,
A discharge gas composed of a mixed gas is enclosed in the discharge space surrounded by the partition walls, and the phosphor layers 25R, 25
G and 25B emit light by being irradiated with ultraviolet rays generated by the AC glow discharge generated in the discharge gas in the discharge space 4.

【0041】プラズマ表示装置の製造方法 次に、本発明の実施形態に係るプラズマ表示装置の製造
方法について説明する。 第1パネル10は、以下の方
法で作製することができる。まず、高歪点ガラスやソー
ダガラスから成る第1基板11の全面にたとえばスパッ
タリング法によりITO層を形成し、フォトリソグラフ
ィ技術およびエッチング技術によりITO層をストライ
プ状にパターニングすることによって、一対の放電維持
電極12と、その間に形成される浮遊電極30とを、複
数、形成する。放電維持電極12および浮遊電極30
は、第1の方向にストライプ状に延びている。
Manufacturing Method of Plasma Display Device Next, a manufacturing method of the plasma display device according to the embodiment of the present invention will be described. The first panel 10 can be manufactured by the following method. First, an ITO layer is formed on the entire surface of the first substrate 11 made of high strain point glass or soda glass by, for example, a sputtering method, and the ITO layer is patterned into stripes by a photolithography technique and an etching technique to maintain a pair of discharges. A plurality of electrodes 12 and a plurality of floating electrodes 30 formed between them are formed. Discharge sustaining electrode 12 and floating electrode 30
Extend in a stripe shape in the first direction.

【0042】次に、第1基板11の内面全面に、たとえ
ば蒸着法によりアルミニウム膜を形成し、フォトリソグ
ラフィ技術およびエッチング技術によりアルミニウム膜
をパターニングすることによって、各放電維持電極12
の縁部に沿ってバス電極13を形成する。その後、バス
電極13が形成された第1基板11の内面全面にSiO
から成る誘電体層14を形成し、その上に電子ビー
ム蒸着法あるいはスパッタリング法により厚さ0.6μ
mの酸化マグネシウム(MgO)から成る保護層15を
形成する。以上の工程により第1パネル10を完成する
ことができる。
Next, an aluminum film is formed on the entire inner surface of the first substrate 11 by, for example, a vapor deposition method, and the aluminum film is patterned by a photolithography technique and an etching technique.
The bus electrodes 13 are formed along the edges of the. Then, SiO 2 is formed on the entire inner surface of the first substrate 11 on which the bus electrodes 13 are formed.
A dielectric layer 14 composed of 2 is formed, and a thickness of 0.6 μm is formed on the dielectric layer 14 by electron beam evaporation or sputtering.
A protective layer 15 made of m magnesium oxide (MgO) is formed. The first panel 10 can be completed through the above steps.

【0043】また、第2パネル20を以下の方法で作製
する。先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第2
の基板21上に、たとえばスクリーン印刷法により銀ペ
ーストをストライプ状に印刷し、焼成を行うことによっ
て、アドレス電極22を形成する。アドレス電極22
は、第1の方向と直交する第2の方向に延びている。次
に、スクリーン印刷法により全面に低融点ガラスペース
ト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を焼成する
ことによって誘電体膜を形成する。
The second panel 20 is manufactured by the following method. First, the second one made of high strain point glass and soda glass
The address electrodes 22 are formed by printing a silver paste in a stripe shape on the substrate 21 by, for example, a screen printing method and baking the same. Address electrode 22
Extend in a second direction orthogonal to the first direction. Next, a low melting point glass paste layer is formed on the entire surface by a screen printing method, and the low melting point glass paste layer is baked to form a dielectric film.

【0044】その後、隣り合うアドレス電極22の間の
領域の上方の誘電体膜上に、微細なストライプパターン
の隔壁24を形成する。隔壁24の形成方法として、ス
クリーン印刷法、サンドブラスト法、ドライフィルム
法、感光法を例示することができる。ドライフィルム法
とは、基板上に感光性フィルムをラミネートし、露光お
よび現像によって隔壁形成予定部位の感光性フィルムを
除去し、除去によって生じた開口部に隔壁形成用の材料
を埋め込み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼
成によって燃焼、除去され、開口部に埋め込まれた隔壁
形成用の材料が残り、隔壁24となる。感光法とは、基
板上に感光性を有する隔壁形成用の材料層を形成し、露
光および現像によってこの材料層をパターニングした
後、焼成を行う方法である。
After that, the partition wall 24 having a fine stripe pattern is formed on the dielectric film above the region between the adjacent address electrodes 22. Examples of the method of forming the partition wall 24 include a screen printing method, a sandblast method, a dry film method, and a photosensitive method. The dry film method is a method of laminating a photosensitive film on a substrate, removing the photosensitive film at the planned partition wall formation site by exposure and development, embedding a partition wall forming material in the opening formed by the removal, and baking the material. Is. The photosensitive film is burned and removed by firing, and the partition wall forming material embedded in the openings remains to form partition walls 24. The photosensitive method is a method in which a material layer for forming partition walls having photosensitivity is formed on a substrate, the material layer is patterned by exposure and development, and then baking is performed.

【0045】次に、第2基板21に形成された隔壁24
の間に3原色の蛍光体層スラリーを順次印刷する。その
後、この第2基板21を、焼成炉内で焼成し、隔壁24
の間の誘電体膜上から隔壁24の側壁面上に亘って、蛍
光体層25R,25G,25Bを形成する。その時の焼
成(蛍光体焼成工程)温度は、510°C程度である。
焼成時間は、10分程度である。
Next, the partition wall 24 formed on the second substrate 21.
In the meantime, three primary color phosphor layer slurries are sequentially printed. Then, the second substrate 21 is baked in a baking furnace to form the partition wall 24.
Phosphor layers 25R, 25G, and 25B are formed on the dielectric film between and on the side wall surface of the partition wall 24. The firing (fluorescent substance firing step) temperature at that time is about 510 ° C.
The firing time is about 10 minutes.

【0046】次に、プラズマ表示装置の組み立てを行
う。即ち、先ず、たとえばスクリーン印刷により、第2
パネル20の周縁部にシール層を形成する。次に、図1
に示すように、第1パネル10と第2パネル20とを貼
り合わせ、焼成してシール層を硬化させる。その後、第
1パネル10と第2パネル20との間に形成された空間
を排気した後、放電ガスを封入し、かかる空間を封止
し、プラズマ表示装置2を完成させる。
Next, the plasma display device is assembled. That is, first, for example, by screen printing, the second
A sealing layer is formed on the peripheral portion of the panel 20. Next, FIG.
As shown in, the first panel 10 and the second panel 20 are bonded together and fired to cure the seal layer. After that, the space formed between the first panel 10 and the second panel 20 is evacuated, then the discharge gas is filled, and the space is sealed to complete the plasma display device 2.

【0047】かかる構成を有するプラズマ表示装置の交
流グロー放電動作の一例を説明する。先ず、たとえば、
全ての一方の放電維持電極12に、放電開始電圧Vbd
よりも高いパネル電圧を短時間印加する。これによって
グロー放電が生じ、一方の放電維持電極の近傍の誘電体
層14の表面に誘電分極に起因して壁電荷が発生し、壁
電荷が蓄積し、見掛けの放電開始電圧が低下する。その
後、アドレス電極22に電圧を印加しながら、表示をさ
せない放電セルに含まれる一方の放電維持電極12に電
圧を印加することによって、アドレス電極22と一方の
放電維持電極12との間にグロー放電を生じさせ、蓄積
された壁電荷を消去する。この消去放電を各アドレス電
極22において順次実行する。一方、表示をさせる放電
セルに含まれる一方の放電維持電極には電圧を印加しな
い。これによって、壁電荷の蓄積を維持する。その後、
全ての一対の放電維持電極12間に所定のパルス電圧を
印加することによって、壁電荷が蓄積されていたセルに
おいては一対の放電維持電極12の間でグロー放電が開
始し、放電セルにおいては、放電空間内における放電ガ
ス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線の照射
によって励起された蛍光体層が、蛍光体層材料の種類に
応じた特有の発光色を呈する。なお、一方の放電維持電
極と他方の放電維持電極に印加される放電維持電圧の位
相は半周期ずれており、電極の極性は交流の周波数に応
じて反転する。
An example of the AC glow discharge operation of the plasma display device having such a configuration will be described. First, for example,
The discharge start voltage Vbd is applied to all one of the sustaining electrodes 12.
A higher panel voltage is applied for a short time. This causes glow discharge, wall charges are generated on the surface of the dielectric layer 14 near one of the discharge sustaining electrodes due to dielectric polarization, the wall charges are accumulated, and the apparent discharge start voltage is lowered. Thereafter, while applying a voltage to the address electrode 22, a voltage is applied to one of the discharge sustaining electrodes 12 included in the discharge cell which is not displayed, whereby a glow discharge is generated between the address electrode 22 and the one sustaining electrode 12. And the accumulated wall charges are erased. This erase discharge is sequentially executed at each address electrode 22. On the other hand, no voltage is applied to one of the sustain electrodes included in the discharge cell for displaying. This maintains the accumulation of wall charges. afterwards,
By applying a predetermined pulse voltage between all the pair of discharge sustaining electrodes 12, glow discharge starts between the pair of discharge sustaining electrodes 12 in the cell in which the wall charges are accumulated, and in the discharge cell, The phosphor layer excited by the irradiation of the vacuum ultraviolet rays generated by the glow discharge in the discharge gas in the discharge space exhibits a unique emission color according to the type of the phosphor layer material. Note that the phases of the discharge sustaining voltages applied to the one discharge sustaining electrode and the other discharge sustaining electrode are shifted by a half cycle, and the polarities of the electrodes are inverted according to the alternating current frequency.

【0048】本実施形態に係るプラズマ放電表示装置2
の製造方法によれば、次に示す作用を奏する。すなわ
ち、放電維持電極12間に、放電維持電極12および外
部とは接続されていない浮遊電位の浮遊電極30を配置
することにより、短電極間放電の利点、すなわち放電可
能な放電ガス封入圧を高くできることと、電極全面短時
間放電を行うことが可能となる。その結果、紫外光(U
V)の発光ピーク輝度を向上させることができる。
Plasma discharge display device 2 according to the present embodiment
According to the manufacturing method of (1), the following effects are exhibited. That is, by arranging the discharge sustaining electrode 12 and the floating electrode 30 having a floating potential that is not connected to the outside between the discharge sustaining electrodes 12, the advantage of short-electrode discharge, that is, the dischargeable gas filling pressure capable of discharging is increased. As a result, the entire surface of the electrode can be discharged for a short time. As a result, ultraviolet light (U
The emission peak brightness of V) can be improved.

【0049】この浮遊電位を持つ浮遊電極30は、放電
維持電極12に対して容量性結合をしており、あたかも
放電維持電極12間の間隔が狭い場合と同等の働きをす
る。また、この容量性の結合のために、一旦放電が生じ
れば、一方の放電維持電極12の全面で放電が起こる。
この電極全面の放電は放電開始から短時間で終わる。た
とえば放電開始から0.1μ秒程度で電極全面での放電
が生じ、0.2〜0.7μ秒後には、電極全面の放電が
終了する。
The floating electrode 30 having this floating potential is capacitively coupled to the discharge sustaining electrodes 12, and functions as if the space between the discharge sustaining electrodes 12 is narrow. Further, due to this capacitive coupling, once discharge occurs, discharge occurs on the entire surface of one sustain electrode 12.
The discharge on the entire surface of the electrode is completed within a short time from the start of discharge. For example, the discharge is generated on the entire surface of the electrode in about 0.1 μsec after the start of discharge, and the discharge of the entire surface of the electrode is finished after 0.2 to 0.7 μsec.

【0050】その他の実施形態 なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるもので
はなく、本発明の範囲内で種々に改変することができ
る。
Other Embodiments The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but can be variously modified within the scope of the present invention.

【0051】たとえば、本発明では、図4に示すよう
に、浮遊電極30aは、放電維持電極12よりも放電空
間側の誘電体層14の内部に位置させても良い。その場
合でも、浮遊電極30aは、放電維持電極12に対して
容量性結合をしているので、図1〜図3に示す実施形態
と同等の働きをする。
For example, in the present invention, as shown in FIG. 4, the floating electrode 30a may be located inside the dielectric layer 14 on the discharge space side of the discharge sustaining electrode 12. Even in that case, since the floating electrode 30a is capacitively coupled to the discharge sustaining electrode 12, the floating electrode 30a functions similarly to the embodiment shown in FIGS.

【0052】また、図5に示すように、浮遊電極30b
は、その長手方向に沿って不連続な島状パターンでも良
い。その島状パターンの長手方向の隙間W6は、1つの
表示セル当たりに、少なくとも一つの島状パターンの浮
遊電極30bが形成されるように決定される。その場合
でも、浮遊電極30bは、放電維持電極12に対して容
量性結合をしているので、図1〜図3に示す実施形態と
同等の働きをする。
Further, as shown in FIG. 5, the floating electrode 30b
May have a discontinuous island pattern along the longitudinal direction. The longitudinal gap W6 of the island pattern is determined such that at least one island-shaped floating electrode 30b is formed for each display cell. Even in that case, since the floating electrode 30b is capacitively coupled to the discharge sustaining electrode 12, the floating electrode 30b has the same function as that of the embodiment shown in FIGS.

【0053】また、図6に示すように、二列以上のパタ
ーンを持つ浮遊電極30cであっても良い。この場合に
は、各浮遊電極30cの間の間隔W6は、浮遊電極30
cと放電維持電極12との間の間隔W5よりも狭いこと
が好ましい。この場合でも、浮遊電極30cは、放電維
持電極12に対して容量性結合をしているので、図1〜
図3に示す実施形態と同等の働きをする。
Further, as shown in FIG. 6, a floating electrode 30c having a pattern of two or more rows may be used. In this case, the distance W6 between the floating electrodes 30c is equal to
It is preferable that the distance W5 between c and the sustaining electrode 12 is narrower. Even in this case, since the floating electrode 30c is capacitively coupled to the discharge sustaining electrode 12, as shown in FIG.
It functions in the same way as the embodiment shown in FIG.

【0054】また、本発明において、プラズマ表示装置
の具体的な構造は、図1に示す実施形態に限定されず、
その他の構造であっても良い。たとえば、上述した実施
形態のプラズマ表示装置は、第1パネル10が表示パネ
ル側となり、いわゆる反射型のプラズマ表示装置である
が、本発明のプラズマ表示装置は、いわゆる透過型のプ
ラズマ表示装置であっても良い。ただし、透過型のプラ
ズマ表示装置では、蛍光体層の発光は第2パネル20を
通して観察されるので、放電維持電極を構成する導電性
材料に関して透明/不透明の別は問わないが、アドレス
電極22を第2基板21上に設けるので、アドレス電極
は透明である必要がある。
In the present invention, the specific structure of the plasma display device is not limited to the embodiment shown in FIG.
Other structures may be used. For example, in the plasma display device of the above-described embodiment, the first panel 10 is the display panel side and is a so-called reflection type plasma display device, but the plasma display device of the present invention is a so-called transmission type plasma display device. May be. However, in the transmissive plasma display device, since the light emission of the phosphor layer is observed through the second panel 20, it does not matter whether the conductive material forming the discharge sustaining electrode is transparent or opaque. Since the address electrodes are provided on the second substrate 21, the address electrodes need to be transparent.

【0055】[0055]

【実施例】以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づ
き説明するが、本発明は、これら実施例に限定されな
い。
EXAMPLES The present invention will be described below based on more detailed examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0056】実施例1 第1パネル10は、以下の方法で作製した。先ず、高歪
点ガラスやソーダガラスから成る第1基板11の全面に
たとえばスパッタリング法によりITO層を形成し、フ
ォトリソグラフィ技術およびエッチング技術によりIT
O層をストライプ状にパターニングすることによって、
一対の放電維持電極12と、その間に形成される浮遊電
極30を、複数、形成した。
Example 1 The first panel 10 was manufactured by the following method. First, an ITO layer is formed on the entire surface of the first substrate 11 made of high strain point glass or soda glass by, for example, a sputtering method, and IT is formed by a photolithography technique and an etching technique.
By patterning the O layer in a stripe pattern,
A pair of discharge sustaining electrodes 12 and a plurality of floating electrodes 30 formed between them were formed.

【0057】次に、第1基板11の内面全面に、たとえ
ば蒸着法によりアルミニウム膜を形成し、フォトリソグ
ラフィ技術およびエッチング技術によりアルミニウム膜
をパターニングすることによって、各放電維持電極12
の縁部に沿ってバス電極13を形成した。
Next, an aluminum film is formed on the entire inner surface of the first substrate 11 by, for example, a vapor deposition method, and the aluminum film is patterned by a photolithography technique and an etching technique.
The bus electrode 13 was formed along the edge of the.

【0058】その後、バス電極13が形成された第1基
板11の内面全面にシリコン酸化物(SiO)層から
成る誘電体層14を形成した。次に、このシリコン酸化
物層から成る誘電体層14の上に電子ビーム蒸着法によ
り厚さ0.6μmの酸化マグネシウム(MgO)から成
る保護層15を形成した。以上の工程により第1パネル
10を完成することができた。
After that, a dielectric layer 14 made of a silicon oxide (SiO 2 ) layer was formed on the entire inner surface of the first substrate 11 on which the bus electrodes 13 were formed. Next, a protective layer 15 made of magnesium oxide (MgO) having a thickness of 0.6 μm was formed on the dielectric layer 14 made of the silicon oxide layer by an electron beam evaporation method. The first panel 10 was completed through the above steps.

【0059】また、第2パネル20を以下の方法で作製
した。先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第2
の基板21上に、たとえばスクリーン印刷法により銀ペ
ーストをストライプ状に印刷し、焼成を行うことによっ
て、アドレス電極22を形成した。アドレス電極22
は、第1の方向と直交する第2の方向に延びている。次
に、スクリーン印刷法により全面に低融点ガラスペース
ト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を形成し、
この低融点ガラスペースト層を焼成することによって誘
電体膜を形成した。
The second panel 20 was manufactured by the following method. First, the second one made of high strain point glass and soda glass
The address electrode 22 was formed on the substrate 21 by printing a silver paste in a stripe shape by, for example, a screen printing method and baking it. Address electrode 22
Extend in a second direction orthogonal to the first direction. Next, a low melting point glass paste layer is formed on the entire surface by a screen printing method, and this low melting point glass paste layer is formed,
A dielectric film was formed by firing this low melting point glass paste layer.

【0060】その後、隣り合うアドレス電極22の間の
領域の上方の誘電体膜上に、たとえばスクリーン印刷法
により低融点ガラスペーストを印刷した。その後、この
第2基板21を、焼成炉内で焼成し、隔壁24を形成し
た。この時の焼成(隔壁焼成工程)は、空気中で行い、
焼成温度は、560°C程度、焼成時間は、2時間程度
であった。
Then, a low melting point glass paste was printed on the dielectric film above the region between the adjacent address electrodes 22 by, for example, a screen printing method. Then, the second substrate 21 was fired in a firing furnace to form the partition wall 24. The firing (partition wall firing step) at this time is performed in air,
The firing temperature was about 560 ° C, and the firing time was about 2 hours.

【0061】次に、第2基板21に形成された隔壁24
の間に3原色の蛍光体層スラリーを順次印刷した。その
後、この第2基板21を、焼成炉内で焼成し、隔壁24
の間の誘電体膜上から隔壁24の側壁面上に亘って、蛍
光体層25R,25G,25Bを形成し、510°Cお
よび10分の焼成を行い、第2パネル20を完成させ
た。
Next, the partition wall 24 formed on the second substrate 21.
In the meantime, three primary color phosphor layer slurries were sequentially printed. Then, the second substrate 21 is baked in a baking furnace to form the partition wall 24.
The phosphor layers 25R, 25G, and 25B were formed on the dielectric film between them and on the side wall surfaces of the partition walls 24, and baked at 510 ° C. for 10 minutes to complete the second panel 20.

【0062】次に、プラズマ表示装置の組み立てを行っ
た。即ち、先ず、スクリーン印刷により、第2パネル2
0の周縁部にシール層を形成した。次に、第1パネル1
0と第2パネル20とを貼り合わせ、焼成してシール層
を硬化させた。その後、第1パネル10と第2パネル2
0との間に形成された空間を排気した後、Ne−Xeガ
ス(Ne:96容積%/Xe:4容積%)から成る放電
ガスを、ガス圧66.6kPaで封入し、プラズマ表示
装置2を完成させた。
Next, the plasma display device was assembled. That is, first, by screen printing, the second panel 2
A seal layer was formed on the peripheral portion of 0. Next, the first panel 1
0 and the second panel 20 were attached and fired to cure the seal layer. Then, the first panel 10 and the second panel 2
After evacuating the space formed between the plasma display device 2 and the plasma display device 2, a discharge gas composed of Ne-Xe gas (Ne: 96% by volume / Xe: 4% by volume) is sealed at a gas pressure of 66.6 kPa. Was completed.

【0063】なお、浮遊電極のパターンとしては、図5
に示すような島状パターンの浮遊電極30bを用いた。
また、この浮遊電極30bの電極幅W4は、30μmで
あり、放電ギャップW2は、70μmであり、浮遊電極
30bと放電維持電極12との間の間隔W5は20μm
であった。
The pattern of the floating electrode is shown in FIG.
The floating electrode 30b having an island pattern as shown in FIG.
The electrode width W4 of the floating electrode 30b is 30 μm, the discharge gap W2 is 70 μm, and the distance W5 between the floating electrode 30b and the discharge sustaining electrode 12 is 20 μm.
Met.

【0064】このプラズマ表示装置2について、印加電
圧244Vおよび周期8μ秒の条件で駆動試験を行い、
発光現象を写真に撮影して観察した。147nmの紫外
発光と同等といわれている828nmの発光状態(放電
開始から0.9μ秒後)を、図7に示す。0.1μ秒以
内で、維持(走査)電極の全面に発光が広がっているこ
とが確認できた。また、放電開始後0.2〜0.7μ秒
後には、電極全面の放電が終了することが確認できた。
A driving test was conducted on this plasma display device 2 under the conditions of an applied voltage of 244 V and a cycle of 8 μsec.
The luminescence phenomenon was photographed and observed. FIG. 7 shows an emission state at 828 nm (0.9 μsec after the start of discharge) which is said to be equivalent to ultraviolet emission at 147 nm. It was confirmed that the light emission spreads over the entire surface of the sustain (scan) electrode within 0.1 μsec. It was also confirmed that the discharge on the entire surface of the electrode was completed 0.2 to 0.7 μs after the start of discharge.

【0065】これは、島状の浮遊電極の効果である。こ
のことからも、表示装置において、輝度の向上が期待で
きることが確認された。
This is the effect of the island-shaped floating electrode. From this, it was confirmed that the display device can be expected to have improved brightness.

【0066】[0066]

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、放電維持電極の全面での放電発光が起こるので、飛
躍的な輝度の向上が望める。同様に、発光効率の向上も
望める。
As described above, according to the present invention, since discharge light emission occurs on the entire surface of the discharge sustaining electrode, a dramatic improvement in brightness can be expected. Similarly, improvement in luminous efficiency can be expected.

【0067】また、本発明では、短時間に電極全面での
発光が起こるので、放電領域を広げるためのパルス維持
時間が短縮されるので、サスティン周波数を上げられ、
さらに輝度の向上が望める。また、飛躍的な輝度向上が
可能であるので、同じ輝度であれば表示の時間区間が短
縮できるので表示のサブフィールド数の増加が見込め
る。さらに、本発明では、放電維持電極での放電領域が
拡大するために、放電スパッタによる保護膜および/ま
たは誘電体層の破壊を減少させ、表示装置の長寿命化が
期待できる。
Further, in the present invention, since light emission occurs on the entire surface of the electrode in a short time, the pulse sustaining time for expanding the discharge region is shortened, and the sustain frequency can be raised.
Further improvement in brightness can be expected. Further, since the brightness can be dramatically improved, the display time period can be shortened if the brightness is the same, and the number of display subfields can be expected to increase. Further, according to the present invention, since the discharge region of the discharge sustaining electrode is expanded, the breakdown of the protective film and / or the dielectric layer due to discharge sputtering is reduced, and the life of the display device can be expected to be extended.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 図1は本発明の一実施形態に係るプラズマ放
電表示装置の要部断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of essential parts of a plasma discharge display device according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図2は図1に示す第1パネルの要部断面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part of the first panel shown in FIG.

【図3】 図3は図2に示すIII−III線に沿う放電維持
電極、バス電極および浮遊電極の位置関係を示す平面図
である。
FIG. 3 is a plan view showing the positional relationship between the discharge sustaining electrodes, the bus electrodes and the floating electrodes along the line III-III shown in FIG.

【図4】 図4は本発明の他の実施形態に係るプラズマ
放電表示装置における第1パネルの要部断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of an essential part of a first panel in a plasma discharge display device according to another embodiment of the present invention.

【図5】 図5は本発明の他の実施形態に係るプラズマ
放電表示装置における放電維持電極、バス電極および浮
遊電極の位置関係を示す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing a positional relationship among discharge sustain electrodes, bus electrodes and floating electrodes in a plasma discharge display device according to another embodiment of the present invention.

【図6】 図6は本発明の他の実施形態に係るプラズマ
放電表示装置における放電維持電極、バス電極および浮
遊電極の位置関係を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing a positional relationship among discharge sustain electrodes, bus electrodes and floating electrodes in a plasma discharge display device according to another embodiment of the present invention.

【図7】 図7は本発明の一実施例に係るプラズマ放電
表示装置の発光状態を示す写真である。
FIG. 7 is a photograph showing a light emitting state of a plasma discharge display device according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2… プラズマ表示装置 4… 放電空間 10… 第1パネル 11… 第1基板 12… 放電維持電極 13… バス電極 14… 誘電体層 15… 保護層 20… 第2パネル 21… 第2基板 22… アドレス電極 24… 隔壁 25R,25G,25B… 蛍光体層 30,30a,30b,30c… 浮遊電極 2 ... Plasma display device 4 ... Discharge space 10 ... First panel 11 ... First substrate 12 ... Discharge sustaining electrode 13 ... Bus electrode 14 ... Dielectric layer 15 ... Protective layer 20 ... Second panel 21 ... Second substrate 22 ... Address electrode 24 ... Partition wall 25R, 25G, 25B ... Phosphor layer 30, 30a, 30b, 30c ... Floating electrodes

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1基板と、 前記第1基板との間に密封されたプラズマ放電空間を形
成するように配置された第2基板と、 前記第1基板における前記放電空間側の表面に形成され
た誘電体層と、 前記第1基板と誘電体層との間にストライプ状に形成さ
れた少なくとも一対の放電維持電極と、 前記第1基板と誘電体層との間であって、前記一対の放
電維持電極の間に位置し、前記放電維持電極および外部
の電極とは電気的に接続されない浮遊電極と、を有する
プラズマ放電表示装置。
1. A first substrate, a second substrate disposed so as to form a sealed plasma discharge space between the first substrate, and a surface of the first substrate on the discharge space side. A dielectric layer formed between the first substrate and the dielectric layer, at least a pair of discharge sustaining electrodes formed in stripes between the first substrate and the dielectric layer, and between the first substrate and the dielectric layer, And a floating electrode that is located between the discharge sustaining electrodes and is not electrically connected to the discharge sustaining electrodes and external electrodes.
【請求項2】 前記浮遊電極は、前記放電維持電極と略
平行にストライプ状に形成してある請求項1に記載のプ
ラズマ放電表示装置。
2. The plasma discharge display device according to claim 1, wherein the floating electrode is formed in a stripe shape substantially in parallel with the discharge sustaining electrode.
【請求項3】 前記浮遊電極は、長手方向に沿って不連
続なパターンである請求項1または2に記載のプラズマ
放電表示装置。
3. The plasma discharge display device according to claim 1, wherein the floating electrode has a discontinuous pattern along the longitudinal direction.
【請求項4】 前記浮遊電極は、前記一対の放電維持電
極の間で、二列以上のパターンで形成してある請求項1
〜3のいずれかに記載のプラズマ放電表示装置。
4. The floating electrodes are formed in a pattern of two or more rows between the pair of discharge sustaining electrodes.
4. The plasma discharge display device according to any one of 3 to 3.
【請求項5】 前記浮遊電極は、前記放電維持電極と略
同一な平面位置に形成してある請求項1〜4のいずれか
に記載のプラズマ放電表示装置。
5. The plasma discharge display device according to claim 1, wherein the floating electrode is formed at a substantially same plane position as the discharge sustaining electrode.
【請求項6】 前記浮遊電極は、前記放電維持電極より
も、前記放電空間側の前記誘電体層の内部に位置する請
求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ放電表示装置。
6. The plasma discharge display device according to claim 1, wherein the floating electrode is located inside the dielectric layer on the discharge space side with respect to the discharge sustaining electrode.
【請求項7】 前記放電維持電極および浮遊電極が、そ
れぞれ透明電極で構成してある請求項1〜6のいずれか
に記載のプラズマ放電表示装置。
7. The plasma discharge display device according to claim 1, wherein the discharge sustaining electrode and the floating electrode are each formed of a transparent electrode.
【請求項8】 前記一対の放電維持電極には、各放電維
持電極の縁部の長手方向に沿って、前記放電維持電極の
電気抵抗よりも低い電気抵抗を持つバス電極が、各放電
維持電極に電気的に接続するように形成してある請求項
7に記載のプラズマ放電表示装置。
8. A bus electrode having an electric resistance lower than the electric resistance of the discharge sustaining electrodes is provided in the pair of discharge sustaining electrodes along a longitudinal direction of an edge portion of each of the discharge sustaining electrodes. The plasma discharge display device according to claim 7, wherein the plasma discharge display device is formed so as to be electrically connected to.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2011161876A1 (en) * 2010-06-23 2011-12-29 パナソニック株式会社 Plasma display device

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WO2011161876A1 (en) * 2010-06-23 2011-12-29 パナソニック株式会社 Plasma display device

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