JP2003042946A - Surface plasmon resonance sensor, surface plasmon resonance sensor system using the surface plasmon resonance sensor - Google Patents

Surface plasmon resonance sensor, surface plasmon resonance sensor system using the surface plasmon resonance sensor

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JP2003042946A
JP2003042946A JP2001232169A JP2001232169A JP2003042946A JP 2003042946 A JP2003042946 A JP 2003042946A JP 2001232169 A JP2001232169 A JP 2001232169A JP 2001232169 A JP2001232169 A JP 2001232169A JP 2003042946 A JP2003042946 A JP 2003042946A
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Japan
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light
plasmon resonance
surface plasmon
resonance sensor
light source
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Withdrawn
Application number
JP2001232169A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromasa Inuzuka
博誠 犬塚
Atsushi Uchiumi
淳 内海
Satoshi Tawara
諭 田原
Takayuki Goto
崇之 後藤
Hiroyuki Nakayama
博之 中山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure and process a large number of samples at once, to measure with proper precision, and to reduce cost to enable disposable use due to its simple constitution. SOLUTION: This surface plasmon resonance sensor 20 is provided with a light guide panel 21 provided with a light reflecting face 21a, a light incident face 21b for making light beam get incident into the light reflecting face 21a, and a light-emitting face 21c for emitting reflected light of the light beam reflected by the light-reflecting face 21a. A metal thin film 23 for causing surface plasmon resonance, and a biochemical reaction detecting portion 24 provided on the metal thin film 23 to contact with a DNA sample 25, are provided in the light-reflecting face 21a. The surface plasmon resonance sensor 20 is also provided with a light-extracting part 22, arranged in the emitting face 21c of the light guide panel 21, and comprising a transparent thin film, such as resin having a refractive index which is higher than that of the light guide panel 21.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、生化学計測の対象
となる液体試料の微少質量変化を検出するするために、
表面プラズモン共鳴現象を利用した表面プラズモン共鳴
センサ装置に関し、特に、安価で使い捨てが可能であ
る、迅速に多数の試料を計測処理することのできる表面
プラズモン共鳴センサに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to detecting a minute mass change of a liquid sample which is a target of biochemical measurement.
The present invention relates to a surface plasmon resonance sensor device utilizing a surface plasmon resonance phenomenon, and more particularly, to a surface plasmon resonance sensor which is inexpensive, disposable, and capable of rapidly measuring and processing a large number of samples.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、生化学的反応の進行に伴う物
質の物理化学的な変化量を検出する方法として、表面プ
ラズモン共鳴現象を用いた表面プラズモン共鳴センサ装
置が知られている。これは、例えば、図6に示すよう
に、回折格子を備えた平行ガラス基板(またはガラスプ
リズム)1の表面に金や銀等の金属薄膜2を真空蒸着等
の成膜技術を用いて形成し、ガラス基板1の側から金属
薄膜2との界面に向かって全反射条件を満足する角度で
レーザ光線3を照射すると、特定の入射角θの時に、金
属薄膜2に表面プラズモン共鳴が励起されるというもの
である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a surface plasmon resonance sensor device using a surface plasmon resonance phenomenon has been known as a method for detecting the amount of physicochemical change of a substance with the progress of biochemical reaction. For example, as shown in FIG. 6, a metal thin film 2 of gold or silver is formed on the surface of a parallel glass substrate (or glass prism) 1 having a diffraction grating by using a film forming technique such as vacuum deposition. When the laser beam 3 is irradiated from the glass substrate 1 side toward the interface with the metal thin film 2 at an angle satisfying the total reflection condition, surface plasmon resonance is excited in the metal thin film 2 at a specific incident angle θ. That is.

【0003】表面プラズモン共鳴が励起されると、金属
薄膜2上のプラズモン波に光エネルギが吸収されるた
め、平行ガラス基板1と金属薄膜2との界面で反射する
反射光5の強度が鋭く低下する。図7に、入射角θと反
射光5の強度との関係を示す。ここで、表面プラズモン
共鳴が生じる入射角θは、金属薄膜2と接触している測
定部4の試料溶液など媒質の密度(すなわち、金属薄膜
表面の質量)に依存するという関係がある。
When surface plasmon resonance is excited, optical energy is absorbed by plasmon waves on the metal thin film 2, so that the intensity of the reflected light 5 reflected at the interface between the parallel glass substrate 1 and the metal thin film 2 sharply decreases. To do. FIG. 7 shows the relationship between the incident angle θ and the intensity of the reflected light 5. Here, there is a relation that the incident angle θ at which the surface plasmon resonance occurs depends on the density of the medium such as the sample solution of the measurement unit 4 in contact with the metal thin film 2 (that is, the mass of the metal thin film surface).

【0004】従って、この光学系から反射され反射光5
が特異的に低下する反射角を求めることにより、表面プ
ラズモン共鳴現象の有無、並びに、表面プラズモン共鳴
現象が生じている時の入射角θを求めることができ、結
果として媒質の密度、すなわち、金属薄膜表面の質量の
変化を求めることが可能となる。
Therefore, the reflected light 5 reflected from this optical system
By specifically determining the reflection angle at which the surface plasmon resonance phenomenon occurs, and the incident angle θ when the surface plasmon resonance phenomenon occurs, the density of the medium, that is, the metal It is possible to obtain the change in mass on the surface of the thin film.

【0005】このように、金属薄膜表面の質量の微少変
化は、金属薄膜の表面プラズモン共鳴吸収による大きな
光量変化として鋭敏に検知することができるようにな
る。従って、この表面プラズモン共鳴現象を応用した計
測法では、非常に微少な量を対象として計測が可能とな
り、通常、1ピコグラムの質量変化をも検出できる。そ
れゆえ、一般的な計測方法では計測できない微少量を扱
う生化学分にも応用されている。例えば、図7のよう
に、測定部4(図6参照)におけるDNA結合の有無
が、反射光5の強度が低下する入射角θの違いとなって
現れるので、DNAの結合による質量の微少変化を検知
することができる。
As described above, a minute change in the mass of the surface of the metal thin film can be sensitively detected as a large change in the amount of light due to surface plasmon resonance absorption of the metal thin film. Therefore, according to the measurement method to which the surface plasmon resonance phenomenon is applied, it is possible to measure an extremely small amount, and a mass change of 1 picogram can usually be detected. Therefore, it is also applied to biochemical components that handle minute amounts that cannot be measured by general measurement methods. For example, as shown in FIG. 7, the presence or absence of DNA binding in the measurement unit 4 (see FIG. 6) appears as a difference in the incident angle θ at which the intensity of the reflected light 5 decreases, and thus a slight change in mass due to DNA binding. Can be detected.

【0006】一般に、上述した表面プラズモン共鳴セン
サ装置は、一つの検出部位で行われる生化学反応を対象
として、個々に計測を行なうものであり、計測の作業効
率が悪いため、多数の試料を計測するための多点検出装
置が開発されている。例えば、米国特許第562921
3号明細書に記載されているようなバイオセンサ装置が
ある。図8を用いて簡単に説明すると、このバイオセン
サ装置10は、試料部15を多数に分割して検査部11
のガラス基板13に蒸着された金属薄膜14上の同一平
面に配置し、光源17からの光ビームをコリメーティン
グレンズ18を介して平行光としてプリズム16に入射
させ、検査部11で反射した反射光を光検出器19で検
出することにより、一度に試料部15の個数だけ計測で
きるようになっている。
Generally, the above-mentioned surface plasmon resonance sensor device individually measures a biochemical reaction carried out at one detection site, and since the measurement work efficiency is low, a large number of samples are measured. Multi-point detectors have been developed. For example, US Pat. No. 5,629,921.
There are biosensor devices as described in US Pat. This will be briefly described with reference to FIG.
Are arranged on the same plane on the metal thin film 14 deposited on the glass substrate 13, and the light beam from the light source 17 is incident on the prism 16 as parallel light through the collimating lens 18 and reflected by the inspection unit 11. By detecting the light with the photodetector 19, it is possible to measure the number of sample portions 15 at one time.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、表面プ
ラズモン共鳴現象を生じさせるための導光板としてプリ
ズム16を使用し、且つ試料部15を多数に分割してい
るので、装置が大掛かりであると共に非常に高額となる
ため、被検査試料によっては使い捨てが望まれる場合が
あるが、使い捨てが不経済であるという問題点があっ
た。
However, since the prism 16 is used as the light guide plate for causing the surface plasmon resonance phenomenon and the sample portion 15 is divided into a large number, the apparatus is large-scale and very large. Since the cost is high, there is a case where disposable is desired depending on the sample to be inspected, but there is a problem that disposable is uneconomical.

【0008】また、導光板としてプリズム16を使用す
る場合に測定精度を保つには、プリズム16における光
源17からの入射光が入射する面と、反射光が出射する
面との二つの面を研磨しなければならず、加工に手間が
掛かるという不具合があった。さらに、多数に分割する
と、プリズム16の光経路中の断面幅が広くなり、測定
点において種々の反射光が混在して、測定精度が低下す
るという欠点もあった。
Further, in order to maintain the measurement accuracy when the prism 16 is used as the light guide plate, two surfaces of the prism 16 on which the incident light from the light source 17 is incident and on which the reflected light is emitted are polished. However, there was a problem that it took time to process. Further, when divided into a large number, the cross-sectional width in the optical path of the prism 16 becomes wide, various reflected lights are mixed at the measurement point, and the measurement accuracy is reduced.

【0009】従って、本発明は、上述した従来の技術の
問題を解決するためになされたもので、多数の試料を一
度に計測できると共に測定精度が良く、且つ、安価で使
い捨てが可能である表面プラズモン共鳴センサを提供す
ることを主な目的とするものである。
Therefore, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is possible to measure a large number of samples at a time, the measurement accuracy is good, and the surface is inexpensive and disposable. Its main purpose is to provide a plasmon resonance sensor.

【0010】また、本発明の別な目的は、上述した表面
プラズモン共鳴センサを用いて多数の試料を一度に計測
する表面プラズモン共鳴センサ装置を提供することであ
る。
Another object of the present invention is to provide a surface plasmon resonance sensor device for measuring a large number of samples at once using the above-mentioned surface plasmon resonance sensor.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、請求項1に記載の本発明に係る表面プラズモン共鳴
センサは、表面プラズモン共鳴を起こす薄膜と、該薄膜
上に設けられ且つ試料に接触する生化学的反応検出部位
とを有する光反射面、該光反射面に光ビームを入射させ
る光入射面、及び前記光反射面で反射された前記光ビー
ムの反射光が出射する出射面を備える板状の導光板と、
該導光板の前記出射面に配設され、前記導光板の屈折率
より高い屈折率を有する薄膜からなる光取出部と、を備
えることを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, a surface plasmon resonance sensor according to a first aspect of the present invention is a thin film that causes surface plasmon resonance, and a thin film provided on the thin film. A light-reflecting surface having a biochemical reaction detection site in contact with the light-reflecting surface, a light-incident surface for making a light beam incident on the light-reflecting surface, and an emission surface for emitting reflected light of the light beam reflected by the light-reflecting surface. A plate-shaped light guide plate,
And a light extraction part which is disposed on the emission surface of the light guide plate and is made of a thin film having a refractive index higher than that of the light guide plate.

【0012】前記生化学的反応検出部位は、前記光反射
面の前記薄膜上に複数個設けられていることが好まし
い。また、前記導光板の前記光入射面は、前記光反射面
に対して鋭角に傾斜していることが望ましい。なお、前
記光取出部を、透明な樹脂製にすることもできる。
It is preferable that a plurality of biochemical reaction detection sites are provided on the thin film of the light reflecting surface. Further, it is preferable that the light incident surface of the light guide plate is inclined at an acute angle with respect to the light reflecting surface. The light extraction part may be made of transparent resin.

【0013】本発明の別の局面によりと、請求項5に係
る表面プラズモン共鳴センサ装置は、請求項1乃至4の
内のいずれか1項記載の表面プラズモン共鳴センサと、
前記表面プラズモン共鳴センサに光ビームを照射する光
源部と、前記表面プラズモン共鳴センサからの反射光を
受光する光検出手段と、を備えることを特徴とする。
According to another aspect of the present invention, a surface plasmon resonance sensor device according to a fifth aspect includes the surface plasmon resonance sensor according to any one of the first to fourth aspects,
It is characterized by comprising a light source unit for irradiating the surface plasmon resonance sensor with a light beam, and a light detection unit for receiving the reflected light from the surface plasmon resonance sensor.

【0014】前記光検出手段は、前記表面プラズモン共
鳴センサの前記光取出部の長手方向に延びるアレイセン
サであることが好ましい。また、前記光源部から照射さ
れる前記光ビームは、少なくとも前記生化学的反応検査
部位の幅を覆う幅の平行光であることが望ましい。な
お、前記光源部の光源を波長可変光源とすることもでき
る。
The light detecting means is preferably an array sensor extending in the longitudinal direction of the light extraction portion of the surface plasmon resonance sensor. The light beam emitted from the light source unit is preferably parallel light having a width that covers at least the width of the biochemical reaction test site. The light source of the light source unit may be a variable wavelength light source.

【0015】また、前記表面プラズモン共鳴センサを、
前記光ビームの光経路に対して垂直方向の軸回りに揺動
させると共に、前記光検出手段を、該表面プラズモン共
鳴センサと一体的に揺動させることもできる。
Further, the surface plasmon resonance sensor is
It is possible to swing the light beam around an axis perpendicular to the optical path of the light beam, and swing the light detection unit integrally with the surface plasmon resonance sensor.

【0016】さらに、前記光源部が、光源と、該光源か
ら照射される前記光ビームを前記表面プラズモン共鳴セ
ンサへ反射させる反射板とを備え、該記反射板を、前記
光源からの光ビームを前記生化学的反応検査部位の長手
方向に沿って偏向させるように揺動させるようにするこ
とも好ましい。
Further, the light source unit includes a light source and a reflection plate for reflecting the light beam emitted from the light source to the surface plasmon resonance sensor, and the reflection plate is used for reflecting the light beam from the light source. It is also preferable that the biochemical reaction inspection site is swung so as to be deflected along the longitudinal direction.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】次に、本発明の好適な実施の形態
を、添付図面を参照しながら説明するが、図中、同一符
号は、同一又は対応部分を示すものとする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

【0018】まず、図1を用いて、本発明に係る表面プ
ラズモン共鳴センサの一実施形態を説明する。表面プラ
ズモン共鳴センサ20は、ガラスや樹脂などで形成され
る板状の導光板21と、この導光板21の光出射面21
cに取付けられた光取出部22とを備えている。
First, an embodiment of a surface plasmon resonance sensor according to the present invention will be described with reference to FIG. The surface plasmon resonance sensor 20 includes a plate-shaped light guide plate 21 formed of glass or resin, and a light emitting surface 21 of the light guide plate 21.
and a light extraction part 22 attached to c.

【0019】導光板21は、ほぼ台形形状をしており、
平行な二面の内の長い方の面を光反射面21a、その短
い方が光り出射面21c、そして、斜面が光入射面21
bを構成している。光反射面21aは、平坦な面であ
り、そこに、金や銀などの金属薄膜23が、例えば、イ
オンプレーティング法、スパッタ法、蒸着法等の周知の
方法を用いて成膜されている。なお、薄膜としては、金
属だけでなく、例えばシリコンからなるような半導体薄
膜を使用することもできる。この金属薄膜23を有する
光反射面21aに、特定に入射角を有する光ビームが入
射した時に、表面プラズモン共鳴現象が励起される。
The light guide plate 21 has a substantially trapezoidal shape,
The longer one of the two parallel surfaces is the light reflecting surface 21a, the shorter one is the light emitting surface 21c, and the inclined surface is the light incident surface 21.
b. The light reflection surface 21a is a flat surface, and a metal thin film 23 such as gold or silver is formed thereon by a well-known method such as an ion plating method, a sputtering method, or a vapor deposition method. . As the thin film, not only a metal but also a semiconductor thin film made of, for example, silicon can be used. When a light beam having a specific incident angle is incident on the light reflection surface 21a having the metal thin film 23, the surface plasmon resonance phenomenon is excited.

【0020】金属薄膜23の下側、すなわち開放面側に
は、被検査DNAである液体のDNA試料25と接触す
る生化学的反応検出部位24が、導光板21の光反射面
21aの長手方向に亙って、複数個、本実施形態では6
個、一列状に設けられている。生化学的反応検出部位2
4は、金属薄膜23の上に、高分子等の物質(試薬)を
付着することにより形成される。また、平坦な面に形成
されているため、一列状に配置された生化学的反応検出
部位24の隣接する部位同士の間隔を、10μm〜1c
m程度の任意の間隔で、非常に近接して配置させること
ができる。
On the lower side of the metal thin film 23, that is, on the open side, a biochemical reaction detection site 24 that comes into contact with a liquid DNA sample 25 to be inspected is provided in the longitudinal direction of the light reflecting surface 21a of the light guide plate 21. Therefore, a plurality, in this embodiment, 6
They are arranged in a row. Biochemical reaction detection site 2
4 is formed by depositing a substance (reagent) such as a polymer on the metal thin film 23. In addition, since it is formed on a flat surface, the interval between adjacent parts of the biochemical reaction detection parts 24 arranged in a line is 10 μm to 1 c.
They can be arranged very close to each other at an arbitrary interval of about m.

【0021】導光板21の光入射面21bは、光反射面
21aに対して鋭角に傾斜している。この光反射面21
aに対する光入射面21bの角度αは、光源部30の光
源31から照射され、レンズ32を介して少なくとも総
ての生化学的反応検査部位23を覆う幅の平行光となっ
た光ビームが、光反射面21aで全反射する角度である
のが好ましい。光源31からの光ビームの利用効率が良
くなるからである。なお、光入射面21bは傾斜してい
るので、光源31からの光ビームが光反射面21aで全
反射する角度に簡単に調節することができる。
The light incident surface 21b of the light guide plate 21 is inclined at an acute angle with respect to the light reflecting surface 21a. This light reflecting surface 21
The angle α of the light incident surface 21b with respect to a is radiated from the light source 31 of the light source unit 30, and the light beam that has become parallel light with a width that covers at least all biochemical reaction test sites 23 via the lens 32, It is preferable that the angle is such that the light is totally reflected by the light reflecting surface 21a. This is because the utilization efficiency of the light beam from the light source 31 is improved. Since the light incident surface 21b is inclined, it is possible to easily adjust the angle at which the light beam from the light source 31 is totally reflected by the light reflecting surface 21a.

【0022】光出射面21cには、光取出部22が設け
られている。光取出部22は、導光板21の屈折率より
高い屈折率を有する樹脂などの透明な材料の薄膜から構
成されている。また、光取出部22は、光反射面21a
で反射した反射光が光出射面21cから出射する長さに
亙って、光出射面21cの長手方向に沿って取付けられ
ている。
A light extraction portion 22 is provided on the light emitting surface 21c. The light extraction part 22 is composed of a thin film of a transparent material such as resin having a refractive index higher than that of the light guide plate 21. In addition, the light extraction part 22 has a light reflection surface 21a.
It is attached along the longitudinal direction of the light emitting surface 21c over the length of the reflected light reflected by the light emitting surface 21c.

【0023】表面プラズモン共鳴センサ20の導光板2
1は、一般的な板状のガラス基板や樹脂基板であり、幅
方向断面は薄くなっている。このような薄い断面の導光
板21を用いると、光源からの光ビームが入射されてか
ら出射されるまでに、二次元的な経路を通過するため、
光の広がりを狭めることができ、不要な反射光が混在し
なくなる。そのため、従来のようにプリズムを使用する
場合に比して、測定精度が良くなる。なお、導光板21
の板厚としては、薄ければ薄いほど不要な反射光が混在
しなくなるので好ましいが、実際的には、0.3〜1.
0mm程度の板厚であるのが好ましい。
Light guide plate 2 of surface plasmon resonance sensor 20
Reference numeral 1 is a general plate-shaped glass substrate or resin substrate having a thin cross section in the width direction. When the light guide plate 21 having such a thin cross section is used, since the light beam from the light source passes through a two-dimensional path from being incident to being emitted,
The spread of light can be narrowed, and unnecessary reflected light does not mix. Therefore, the measurement accuracy is improved as compared with the case where a prism is used as in the related art. The light guide plate 21
As for the plate thickness, the thinner it is, the more unnecessary reflected light is not mixed, which is preferable, but in practice, it is 0.3 to 1.
The plate thickness is preferably about 0 mm.

【0024】また、表面プラズモン共鳴センサ20の導
光板21は、一般的なガラス基板や樹脂基板を、一般的
な精密切断を行うだけで、非常に単純に製造することが
できる。このような精密切断をするだけで、光入射面2
1b及び光出射面21cとして必要十分な精度が得られ
る。但し、金属薄膜23を蒸着する光反射面21aだけ
は、研磨する必要がある。しかしながら、従来のように
プリズムを使用する場合には、光入射面及び光反射面の
二面を研磨する必要があり、本願の導光板21は、研磨
すべき面が一面のみであるため、加工が容易である。
The light guide plate 21 of the surface plasmon resonance sensor 20 can be manufactured very simply by performing general precision cutting on a general glass substrate or resin substrate. The light incident surface 2 can be simply cut by such precision cutting.
It is possible to obtain the necessary and sufficient accuracy for the 1b and the light emitting surface 21c. However, only the light reflection surface 21a on which the metal thin film 23 is deposited needs to be polished. However, when a prism is used as in the prior art, it is necessary to polish two surfaces, a light incident surface and a light reflecting surface, and the light guide plate 21 of the present application has only one surface to be polished, so Is easy.

【0025】このように単純な加工のみで形成された導
光板21に、金属薄膜23を蒸着すると共に、光取出部
22として機能する例えば樹脂を塗布するのみで、本願
発明に係る表面プラズモン共鳴センサ20を形成するこ
とができる。従って、センサ本体を非常に安価で作成す
ることができ、複数の試料を検出する表面プラズモン共
鳴センサの使い捨てを可能にすることができる。
The surface plasmon resonance sensor according to the present invention is obtained by vapor-depositing the metal thin film 23 on the light guide plate 21 formed only by such simple processing, and by coating, for example, resin which functions as the light extraction portion 22. 20 can be formed. Therefore, the sensor main body can be made very inexpensively, and the surface plasmon resonance sensor for detecting a plurality of samples can be disposable.

【0026】次に、このような構成の表面プラズモン共
鳴センサ20を用いた表面プラズモン共鳴センサ装置を
説明する。再び、図1を参照するに、表面プラズモン共
鳴センサ装置は、表面プラズモン共鳴センサ20と、表
面プラズモン共鳴センサ20に光ビームを照射する光源
部30と、表面プラズモン共鳴センサ20の光取出部2
2から出射する反射光を受光する光検出手段40とを備
えている。
Next, a surface plasmon resonance sensor device using the surface plasmon resonance sensor 20 having such a configuration will be described. Referring again to FIG. 1, the surface plasmon resonance sensor device includes a surface plasmon resonance sensor 20, a light source unit 30 that irradiates the surface plasmon resonance sensor 20 with a light beam, and a light extraction unit 2 of the surface plasmon resonance sensor 20.
2 and a light detecting means 40 for receiving the reflected light emitted from the light source 2.

【0027】光源部30は、光反射面21aに対して種
々の入射角が得られるような光ビームを照射する光源3
1と、この光源31からの光ビームを少なくとも総ての
生化学的反応検査部位23を覆う幅の平行光にするレン
ズ32とを備える。一方、光取出部22側に配設された
光検出手段40は、この光取出部22の長手方向に延び
るアレイセンサである。すなわち、光検出手段たるアレ
イセンサ40は、光反射面21aで反射された光ビーム
の反射光を種々の反射角毎に受光できる方向に延びて配
設されている。
The light source unit 30 irradiates the light reflecting surface 21a with a light beam for obtaining various incident angles.
1 and a lens 32 for converting the light beam from the light source 31 into parallel light having a width that covers at least all biochemical reaction test sites 23. On the other hand, the light detection means 40 arranged on the light extraction section 22 side is an array sensor extending in the longitudinal direction of the light extraction section 22. That is, the array sensor 40 as the light detecting means is arranged so as to extend in a direction in which the reflected light of the light beam reflected by the light reflecting surface 21a can be received at various reflection angles.

【0028】光源31及びアレイセンサ40は、図示し
ない計測部、演算部等へ電気的に接続されており、アレ
イセンサ40で検出された表面プラズモン共鳴角が生じ
る入射角を検出することにより、DNA試料25の中に
DNAの特定の成分が存在するか否かを識別することが
できるようになっている。
The light source 31 and the array sensor 40 are electrically connected to a measuring unit, an arithmetic unit, etc., which are not shown, and the DNA is detected by detecting the incident angle at which the surface plasmon resonance angle detected by the array sensor 40 is generated. It is possible to identify whether or not a specific component of DNA is present in the sample 25.

【0029】このように構成した表面プラズモン共鳴セ
ンサ装置を用いた計測方法を説明する。最初に、生化学
的反応検査部位23に、被検査用のDNA試料25を付
着させる。その方法を、図2を用いて説明すると、DN
A試料25を少量いれた検査容器26に、表面プラズモ
ン共鳴センサ20を浸潤させる。その際、生化学的反応
検査部位23と検査容器26の底面との隙間を100μ
m程度として、マイクロ流路を形成することにより、被
検査DNAを生化学的反応検査部位23に迅速に付着さ
せる。なお、生化学的反応検出部位27に予め付着させ
ておく物質としては、抗体や酵素等のタンパク質、DN
A等の生体由来物質、あるいは、その他の物質を選択的
に吸着あるいは物体と反応する様々な物質が考えられ
る。
A measuring method using the surface plasmon resonance sensor device configured as described above will be described. First, the DNA sample 25 to be inspected is attached to the biochemical reaction inspection site 23. The method will be described with reference to FIG.
The surface plasmon resonance sensor 20 is infiltrated in the inspection container 26 containing a small amount of the A sample 25. At that time, the gap between the biochemical reaction inspection site 23 and the bottom of the inspection container 26 is 100 μm.
By setting a microchannel to about m, the test DNA is quickly attached to the biochemical reaction test site 23. The substances to be attached to the biochemical reaction detection site 27 in advance include proteins such as antibodies and enzymes, DN
Various substances such as A-derived substances or other substances that selectively adsorb or react with other substances can be considered.

【0030】次に、DNA試料25が付着した表面プラ
ズモン共鳴センサ20を表面プラズモン共鳴センサ装置
の光学系の所定位置に着脱自在に取付ける。次に、光源
31から光ビームを照射し、レンズ32を通過した光ビ
ームを、DNA試料25が付着した複数の生化学的反応
検出部位24の上側の光反射面21aで反射させる。そ
して、反射して光取出部22を通過した反射光をアレイ
センサ40で受光する。そして、受光した反射光の強度
の違いを検出し、表面プラズモン共鳴が生じたか否かを
検出する。この表面プラズモン共鳴が生じる入射角θの
位相のずれから、金属薄膜23の上の物質の微小質量変
化を検出する。これにより、生化学的反応検出部位24
に付着したDNA試料25に、特定の成分が存在したか
否かを識別する。
Next, the surface plasmon resonance sensor 20 to which the DNA sample 25 is attached is detachably attached to a predetermined position of the optical system of the surface plasmon resonance sensor device. Next, a light beam is emitted from the light source 31, and the light beam that has passed through the lens 32 is reflected by the light reflecting surface 21a above the plurality of biochemical reaction detection sites 24 to which the DNA sample 25 is attached. Then, the reflected light that has been reflected and passed through the light extraction unit 22 is received by the array sensor 40. Then, the difference in the intensity of the received reflected light is detected to detect whether surface plasmon resonance has occurred. From the phase shift of the incident angle θ at which this surface plasmon resonance occurs, the minute mass change of the substance on the metal thin film 23 is detected. As a result, the biochemical reaction detection site 24
It is discriminated whether or not a specific component was present in the DNA sample 25 attached to the.

【0031】この実施形態においては、DNA試料の中
の検出すべき特定の成分毎に特有の特異角(表面プラズ
モン共鳴が生じる角度)で、光源31からの光ビームを
入射させ、角度一定の場合における各検査部位からの反
射光の強度の違いを調べた。しかしながら、光源からの
入射光の入射角を変化させることにより、色々な成分の
検出が可能となる。
In this embodiment, when the light beam from the light source 31 is made incident at a specific angle (angle at which surface plasmon resonance occurs) peculiar to each specific component to be detected in the DNA sample, the angle is constant. The difference in the intensity of the reflected light from each inspected part in was examined. However, it is possible to detect various components by changing the incident angle of the incident light from the light source.

【0032】次に、図3を参照しながら、表面プラズモ
ン共鳴センサ20を用いた多点検出装置の他の実施形態
を説明する。図3において、表面プラズモン共鳴センサ
20及び光検出手段40は、従前の実施形態と構成が同
一であるので、その説明は省略する。
Next, another embodiment of the multipoint detecting device using the surface plasmon resonance sensor 20 will be described with reference to FIG. In FIG. 3, the surface plasmon resonance sensor 20 and the light detection means 40 have the same configurations as those of the previous embodiment, and therefore their explanations are omitted.

【0033】光源部30’は、波長可変光源31と、こ
の波長可変光源31からの光ビームを表面プラズモン共
鳴センサ20へ反射させる反射板34とから構成されて
いる。なお、図面では単一光として記載されているが、
光源から照射される光ビームは、従前の実施形態と同様
に、複数個取付けられた生化学的反応検出部位24を総
て覆う幅の平行光になっている。なお、波長可変光源3
1と光検出手段40とは、処理装置50に接続されてい
る。
The light source section 30 'is composed of a variable wavelength light source 31 and a reflection plate 34 for reflecting the light beam from the variable wavelength light source 31 to the surface plasmon resonance sensor 20. Although it is described as a single light in the drawings,
The light beam emitted from the light source is parallel light having a width that entirely covers the plurality of biochemical reaction detection sites 24 attached, as in the previous embodiments. The variable wavelength light source 3
1 and the light detection means 40 are connected to the processing device 50.

【0034】このように構成された表面プラズモン共鳴
センサ装置の計測方法を説明すると、波長可変光源31
より所定波長の光ビームを照射し、各生化学的反応検出
部位毎における反射光の強度を計測する。そして、波長
可変光源31から照射される光ビームの波長を順次変化
させることにより、各波長に対する各生化学的反応検出
部位毎における反射光の強度変化を計測し、表面プラズ
モン共鳴が生じた波長を求める。これは、表面プラズモ
ン共鳴が光の振動数に依存する属性を利用したものであ
り、図7に示したグラフと同様な関係を導き出すことが
できる。それにより、表面プラズモン共鳴が生じる入射
光の波長のずれから、生化学的反応検出部位24に付着
したDNA試料25に、特定の成分が存在したか否かを
識別する。なお、この実施形態では、反射板34を用い
たが、光ビームを波長可変光源33から直接、表面プラ
ズモン共鳴センサ20へ照射させても良い。
The measuring method of the surface plasmon resonance sensor device thus constructed will be described.
A light beam having a predetermined wavelength is irradiated, and the intensity of reflected light at each biochemical reaction detection site is measured. Then, by sequentially changing the wavelength of the light beam emitted from the variable wavelength light source 31, the change in the intensity of the reflected light at each biochemical reaction detection site for each wavelength is measured, and the wavelength at which the surface plasmon resonance occurs is measured. Ask. This utilizes the attribute that the surface plasmon resonance depends on the frequency of light, and the same relationship as the graph shown in FIG. 7 can be derived. Thereby, whether or not a specific component is present in the DNA sample 25 attached to the biochemical reaction detection site 24 is discriminated from the deviation of the wavelength of incident light that causes surface plasmon resonance. Although the reflecting plate 34 is used in this embodiment, the light beam may be directly emitted from the variable wavelength light source 33 to the surface plasmon resonance sensor 20.

【0035】次に、図4を参照しながら、表面プラズモ
ン共鳴センサ20を用いた多点検出装置のさらに別の実
施形態を説明する。図4において、表面プラズモン共鳴
センサ20、光検出手段40及び処理装置50は、先の
実施形態と構成が同一であるので、その説明は省略す
る。
Next, still another embodiment of the multipoint detecting device using the surface plasmon resonance sensor 20 will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the surface plasmon resonance sensor 20, the light detection means 40, and the processing device 50 have the same configurations as those of the previous embodiment, and therefore their explanations are omitted.

【0036】この実施形態では、光源部30’’は、単
一光の光源35と、この光源35からの光ビームを表面
プラズモン共鳴センサ20へ反射させる反射板36とか
ら構成されているが、この反射板36は、図示しない駆
動手段により、揺動するようになっている。詳述する
に、反射板は、光源35からの光ビームを生化学的反応
検査部位の長手方向に沿って偏向させるように揺動す
る。すなわち、個々の生化学的反応検出部位に対して、
入射光の入射角が表面プラズモン共鳴が励起される角度
の±5°の範囲で振れるように構成されている。なお、
駆動手段としては、圧電素子などが用いられる。
In this embodiment, the light source section 30 ″ is composed of a single light source 35 and a reflection plate 36 for reflecting the light beam from the light source 35 to the surface plasmon resonance sensor 20. The reflecting plate 36 is adapted to swing by a driving means (not shown). More specifically, the reflector is swung so as to deflect the light beam from the light source 35 along the longitudinal direction of the biochemical reaction test site. That is, for each biochemical reaction detection site,
The incident angle of incident light is configured to swing within ± 5 ° of the angle at which surface plasmon resonance is excited. In addition,
A piezoelectric element or the like is used as the driving means.

【0037】このように構成された表面プラズモン共鳴
センサ装置で計測方法を説明する。光源35から光ビー
ムが照射される毎に、その時の反射板36の角度情報
は、駆動手段を制御する制御信号として処理装置50に
入力される。また、同時に光検出手段40からは、反射
光の強度情報も処理装置50に入力されると共に、さら
に光検出手段40の幅情報の信号も処理装置50へ入力
される。この幅情報により、特定位置で検出した反射光
の強度が、駆動手段により入射光の傾きがずれたもので
あるか、あるいは実際に表面プラズモン共鳴が励起され
たことによりずれたものであるかを補正する。このよう
にして、複数のDNA試料を一度に検査することが可能
となる。
A measuring method of the surface plasmon resonance sensor device configured as described above will be described. Each time the light beam is emitted from the light source 35, the angle information of the reflection plate 36 at that time is input to the processing device 50 as a control signal for controlling the driving unit. At the same time, the intensity information of the reflected light is also input to the processing device 50 from the light detection means 40, and the signal of the width information of the light detection means 40 is also input to the processing device 50. Based on this width information, it is determined whether the intensity of the reflected light detected at the specific position is the one in which the inclination of the incident light is shifted by the driving means or the one in which the surface plasmon resonance is actually excited. to correct. In this way, it is possible to test a plurality of DNA samples at once.

【0038】さらに、図5を参照しながら、表面プラズ
モン共鳴センサ20を用いた多点検出装置のさらにまた
別の実施形態を説明する。図5において、表面プラズモ
ン共鳴センサ20、光源35及び処理装置50は、先の
実施形態と構成が同一であるので、その説明は省略す
る。この実施形態が、先の実施形態と異なる点は、図4
に示したものは、表面プラズモン共鳴角を検出するため
に、反射板を揺動させたが、この実施形態では、表面プ
ラズモン共鳴センサを揺動する点である。
Further, still another embodiment of the multipoint detecting device using the surface plasmon resonance sensor 20 will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the surface plasmon resonance sensor 20, the light source 35, and the processing device 50 have the same configurations as those of the previous embodiment, and therefore the description thereof will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that FIG.
In the example shown in (1), the reflecting plate is swung in order to detect the surface plasmon resonance angle, but in this embodiment, the surface plasmon resonance sensor is swung.

【0039】この実施形態では、光源部30’’’は、
単一光の光源35と、この光源35からの光ビームを表
面プラズモン共鳴センサ20へ反射させる反射板38と
から構成されている。一方、表面プラズモン共鳴センサ
20は、図示しない駆動手段により、光源35からの光
ビームの光経路に対して垂直方向の軸回りに±5°揺動
させられる。また、光検出手段40’も、図示しない駆
動手段により、表面プラズモン共鳴センサ20と一体的
に同期して揺動させられる。このように、表面プラズモ
ン共鳴センサ20を揺動させることにより、光反射面自
体が揺動し、その部分での光の入射角が所定範囲で振れ
るように構成されているので、図4の実施形態と同様の
作用効果が得られる。
In this embodiment, the light source section 30 '''is
It is composed of a single light source 35 and a reflection plate 38 that reflects the light beam from the light source 35 to the surface plasmon resonance sensor 20. On the other hand, the surface plasmon resonance sensor 20 is oscillated by ± 5 ° around an axis in the direction perpendicular to the optical path of the light beam from the light source 35 by a driving unit (not shown). Further, the light detecting means 40 'is also swung in synchronization with the surface plasmon resonance sensor 20 in synchronization with the surface plasmon resonance sensor 20 by a driving means (not shown). As described above, by swinging the surface plasmon resonance sensor 20, the light reflecting surface itself swings, and the incident angle of light at that portion swings within a predetermined range. The same effect as that of the form can be obtained.

【0040】本実施形態においては、生化学的反応検出
部位24に付着したDNA試料25に特定の成分が存在
したか否かを識別したが、上述したように、生化学的反
応検出部位24に付着させた物質(試薬)の種類によ
り、タンパク質や核酸のハイブリダイゼーション、抗体
アッセイ、DNAチップ(あるいはDNAアレイ)を検
出することができる。
In this embodiment, whether or not a specific component was present in the DNA sample 25 attached to the biochemical reaction detection site 24 was identified. Depending on the type of substance (reagent) attached, protein or nucleic acid hybridization, antibody assay, or DNA chip (or DNA array) can be detected.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明に係る表面プラズモン共鳴センサ
は、板状の導光板と、この導光板の屈折率より高い屈折
率を有する薄膜からなる光取出部とを備えるため、幅方
向断面が薄くなり不要な反射光が混在しなくなり測定精
度が良くなると共に、単純な精密切断だけで加工できる
ので構成が単純となり安価で使い捨てが可能となる
Since the surface plasmon resonance sensor according to the present invention includes the plate-shaped light guide plate and the light extraction portion formed of a thin film having a refractive index higher than that of the light guide plate, the cross section in the width direction is thin. Since unnecessary reflected light does not mix and the measurement accuracy improves, it can be processed by simple precision cutting, so the structure is simple and it can be inexpensive and disposable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施形態に係る表面プラズモン共
鳴を用いた表面プラズモン共鳴センサの概要図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a surface plasmon resonance sensor using surface plasmon resonance according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図1の表面プラズモン共鳴センサにDNA試
料を付着させる方法を示す概要図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a method of attaching a DNA sample to the surface plasmon resonance sensor of FIG.

【図3】 図1の表面プラズモン共鳴センサを利用す
る、本発明の一実施形態に係る表面プラズモン共鳴セン
サ装置の概要図である。
FIG. 3 is a schematic view of a surface plasmon resonance sensor device according to an embodiment of the present invention, which uses the surface plasmon resonance sensor of FIG.

【図4】 図1の表面プラズモン共鳴センサを利用す
る、本発明の別の実施形態に係る表面プラズモン共鳴セ
ンサ装置の概要図である。
FIG. 4 is a schematic diagram of a surface plasmon resonance sensor device according to another embodiment of the present invention, which uses the surface plasmon resonance sensor of FIG. 1.

【図5】 図1の表面プラズモン共鳴センサを利用す
る、本発明のさらに別の実施形態に係る表面プラズモン
共鳴センサ装置の概要図である。
5 is a schematic view of a surface plasmon resonance sensor device according to still another embodiment of the present invention, which uses the surface plasmon resonance sensor of FIG.

【図6】 表面プラズモン共鳴を利用した検出原理の概
要図である。
FIG. 6 is a schematic diagram of a detection principle using surface plasmon resonance.

【図7】 図6における表面プラズモン共鳴における光
入射角と反射光強度との関係を示す特性図である。
7 is a characteristic diagram showing a relationship between a light incident angle and a reflected light intensity in the surface plasmon resonance in FIG.

【図8】 従来の多数の試料計測用のバイオセンサ装置
の概要図である。
FIG. 8 is a schematic diagram of a conventional biosensor device for measuring a large number of samples.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ガラス基板、2…金属薄膜、3…レーザ光線、4…
測定部、5…反射光、10…バイオセンサ装置、11…
検査部、13…ガラス基板、14…金属薄膜、15…試
料部、16…プリズム、17…光源、18…コリメーテ
ィングレンズ、19…光検出器、20…表面プラズモン
共鳴センサ、21…導光板、22…光取出部、23…金
属薄膜、24…生化学的反応検出部位、25…DNA試
料、26…容器、30,30’,30’’,30’’’
…光源部、31…光源、32…レンズ、33…波長可変
光源、34…反射板、35…光源、36…反射板、4
0,40’…光検出部(アレイセンサ)、50…処理装
置、α…角度。
1 ... Glass substrate, 2 ... Metal thin film, 3 ... Laser beam, 4 ...
Measuring unit, 5 ... Reflected light, 10 ... Biosensor device, 11 ...
Inspection part, 13 ... Glass substrate, 14 ... Metal thin film, 15 ... Sample part, 16 ... Prism, 17 ... Light source, 18 ... Collimating lens, 19 ... Photodetector, 20 ... Surface plasmon resonance sensor, 21 ... Light guide plate , 22 ... Light extraction part, 23 ... Metal thin film, 24 ... Biochemical reaction detection site, 25 ... DNA sample, 26 ... Container, 30, 30 ′, 30 ″, 30 ″ ′
... light source part, 31 ... light source, 32 ... lens, 33 ... variable wavelength light source, 34 ... reflector, 35 ... light source, 36 ... reflector, 4
0, 40 '... Photodetector (array sensor), 50 ... Processing device, α ... Angle.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田原 諭 神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目8番地1 三菱重工業株式会社基盤技術研究所内 (72)発明者 後藤 崇之 神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目8番地1 三菱重工業株式会社基盤技術研究所内 (72)発明者 中山 博之 神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目8番地1 三菱重工業株式会社基盤技術研究所内 Fターム(参考) 2G059 AA01 BB13 DD12 DD13 EE02 FF03 GG04 JJ17 JJ21 KK04 PP10    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Satoshi Tahara             1-8 Koura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa               Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Basic Technology Research Center (72) Inventor Takayuki Goto             1-8 Koura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa               Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Basic Technology Research Center (72) Inventor Hiroyuki Nakayama             1-8 Koura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa               Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Basic Technology Research Center F term (reference) 2G059 AA01 BB13 DD12 DD13 EE02                       FF03 GG04 JJ17 JJ21 KK04                       PP10

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面プラズモン共鳴を起こす薄膜と、該
薄膜上に設けられ且つ試料に接触する生化学的反応検出
部位とを有する光反射面、 該光反射面に光ビームを入射させる光入射面、及び前記
光反射面で反射された前記光ビームの反射光が出射する
出射面を備える板状の導光板と、 該導光板の前記出射面に配設され、前記導光板の屈折率
より高い屈折率を有する薄膜からなる光取出部と、を備
えることを特徴とする表面プラズモン共鳴センサ。
1. A light reflecting surface having a thin film that causes surface plasmon resonance, and a biochemical reaction detection portion provided on the thin film and in contact with a sample, and a light incident surface for making a light beam incident on the light reflecting surface. And a plate-shaped light guide plate having an emission surface through which the reflected light of the light beam reflected by the light reflection surface is emitted, and a light guide plate disposed on the emission surface of the light guide plate and having a refractive index higher than that of the light guide plate. A surface plasmon resonance sensor, comprising: a light extraction section made of a thin film having a refractive index.
【請求項2】 前記生化学的反応検出部位は、前記光反
射面の前記薄膜上に複数個設けられている請求項1記載
の表面プラズモン共鳴センサ。
2. The surface plasmon resonance sensor according to claim 1, wherein a plurality of the biochemical reaction detection portions are provided on the thin film of the light reflecting surface.
【請求項3】 前記導光板の前記光入射面は、前記光反
射面に対して鋭角に傾斜している請求項1記載の表面プ
ラズモン共鳴センサ。
3. The surface plasmon resonance sensor according to claim 1, wherein the light incident surface of the light guide plate is inclined at an acute angle with respect to the light reflecting surface.
【請求項4】 前記光取出部は、透明な樹脂製である請
求項1乃至3の内のいずれか1項記載の表面プラズモン
共鳴センサ。
4. The surface plasmon resonance sensor according to claim 1, wherein the light extraction portion is made of a transparent resin.
【請求項5】 請求項1乃至4の内のいずれか1項記載
の表面プラズモン共鳴センサと、 前記表面プラズモン共鳴センサに光ビームを照射する光
源部と、 前記表面プラズモン共鳴センサからの反射光を受光する
光検出手段と、を備える表面プラズモン共鳴センサ装
置。
5. The surface plasmon resonance sensor according to claim 1, a light source unit for irradiating the surface plasmon resonance sensor with a light beam, and a reflected light from the surface plasmon resonance sensor. A surface plasmon resonance sensor device comprising: a light detecting unit that receives light.
【請求項6】 前記光検出手段は、前記表面プラズモン
共鳴センサの前記光取出部の長手方向に延びるアレイセ
ンサである請求項5記載の表面プラズモン共鳴センサ装
置。
6. The surface plasmon resonance sensor device according to claim 5, wherein the light detection means is an array sensor extending in the longitudinal direction of the light extraction portion of the surface plasmon resonance sensor.
【請求項7】 前記光源部から照射される前記光ビーム
は、少なくとも前記生化学的反応検査部位の幅を覆う幅
の平行光である請求項6記載の表面プラズモン共鳴セン
サ装置。
7. The surface plasmon resonance sensor device according to claim 6, wherein the light beam emitted from the light source unit is parallel light having a width that covers at least the width of the biochemical reaction test site.
【請求項8】 前記光源部は、波長可変光源を備える請
求項7記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
8. The surface plasmon resonance sensor device according to claim 7, wherein the light source unit includes a variable wavelength light source.
【請求項9】 前記表面プラズモン共鳴センサは、前記
光ビームの光経路に対して垂直方向の軸回りに揺動する
と共に、前記光検出手段は、該表面プラズモン共鳴セン
サと一体的に揺動する請求項7記載の表面プラズモン共
鳴センサ装置。
9. The surface plasmon resonance sensor oscillates about an axis perpendicular to the optical path of the light beam, and the light detecting means oscillates integrally with the surface plasmon resonance sensor. The surface plasmon resonance sensor device according to claim 7.
【請求項10】 前記光源部は、光源と、該光源から照
射される前記光ビームを前記表面プラズモン共鳴センサ
へ反射させる反射板とを備えており、該反射板は、前記
光源からの光ビームを前記生化学的反応検査部位の長手
方向に沿って偏向させるように揺動する請求項7記載の
表面プラズモン共鳴センサ装置。
10. The light source unit includes a light source, and a reflection plate that reflects the light beam emitted from the light source to the surface plasmon resonance sensor, and the reflection plate includes the light beam from the light source. 8. The surface plasmon resonance sensor device according to claim 7, wherein the surface plasmon resonance sensor device is swung so as to be deflected along the longitudinal direction of the biochemical reaction test site.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006003217A (en) * 2004-06-17 2006-01-05 Kyoto Univ Sensor chip and sensor device using it
JP2008268146A (en) * 2007-04-25 2008-11-06 Optoquest Co Ltd Prismless spr sensor and refractive index measuring apparatus using same
US8960915B2 (en) 2010-03-30 2015-02-24 Nec Corporation Optical element, light source device, and projection display device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006003217A (en) * 2004-06-17 2006-01-05 Kyoto Univ Sensor chip and sensor device using it
JP2008268146A (en) * 2007-04-25 2008-11-06 Optoquest Co Ltd Prismless spr sensor and refractive index measuring apparatus using same
US8960915B2 (en) 2010-03-30 2015-02-24 Nec Corporation Optical element, light source device, and projection display device
JP5737284B2 (en) * 2010-03-30 2015-06-17 日本電気株式会社 Optical element, light source device, and projection display device

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