JP2003035303A

JP2003035303A - 流体圧駆動装置

Info

Publication number: JP2003035303A
Application number: JP2001222792A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Matsuda; 信一松田; Shigeo Kato; 重雄加藤
Original assignee: Fuji Photo Optical Co Ltd
Current assignee: Fujinon Corp
Priority date: 2001-07-24
Filing date: 2001-07-24
Publication date: 2003-02-07

Abstract

(57)【要約】【課題】小型で少ない流体の容積でありながら、流体を
短時間で多量に気化させて高い駆動力を得ることができ
る流体圧駆動装置を提供する。【解決手段】流体圧駆動装置である気液相アクチュエ−
タ１０は、ベロ−ズ１２と、ベロ−ズ１２に充填された
液化気化可能な作動流体１６と、作動流体１６を気化さ
せる熱を発生するヒ−タ１８とから構成される。また、
ヒータ１８は、ベローズ１２の軸方向に平行でベローズ
１２の中心軸１３に対して上方位置に取り付けられてい
る。これにより、ヒータ１８によって核沸騰域で気化さ
れた作動流体１６は、還流や反射などの過程を経ずに、
ベローズ１２の伸縮部位に迅速に供給される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は流体圧駆動装置に係
り、特にベローズ内に充填された流体を気化させてベロ
ーズを伸長させることにより駆動力を得る流体圧駆動装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】金属ベローズ内に作動流体を封入すると
ともにヒータを取り付け、ヒータによって作動流体を急
速加熱することで急速気化を生じさせ、これによって生
起させた急速膨張により、金属ベローズの軸方向推力を
得ることで高い駆動力を発生させる流体圧駆動装置が提
案されている。

【０００３】この流体圧駆動装置の構造及び動作原理を
図１７、図１８を参照して説明する。流体圧駆動装置１
のベローズ２は、その先端部２Ａが封止されるととも
に、その開放基端部２Ｂが固定部材３に取り付けられて
封止されている。また、ベローズ２内には作動流体４が
充填され、さらに、ヒータ５及びサーミスタ６がベロー
ズ２の軸方向に沿って取り付けられている。ヒータ５に
は、電線７を介して電流が供給されるようになってい
る。

【０００４】ベローズ２に充填される作動流体４には、
気液相変化を瞬時に行うことができるものが使用され
る。例えば、フッ素系不活性液体が作動流体４として用
いられ、その沸点は３０℃〜１０２℃のものがあり、用
途条件によって選択可能である。

【０００５】このように構成された流体圧駆動装置１
は、組立時においてはベローズ２に作動流体４が充填さ
れてベローズ２内が負圧に保持されている。したがっ
て、ベローズ２は、図１７の如く収縮している。この
後、ヒータ５に所定の電力を供給すると、作動流体４が
ヒータ５によって加熱され、気化することによりベロー
ズ２内に正圧が発生し、ベローズ２が図１７上で左方向
に伸長する。この伸長動作（推力）によって駆動力が発
生する。その後、電流を切ると、気化した作動流体４が
自然冷却されて再び液化し、ベローズ２が自己のバネ性
復元力で収縮するので、図１７に示した収縮状態に戻
る。

【０００６】一方、図１９には、前述の流体圧駆動装置
１よりも高い推力を発生させるように工夫がなされた流
体圧駆動装置が示されている。

【０００７】図１９に示す流体圧駆動装置は、ヒータ５
全体を耐熱性のある材料、例えば石英の筒（以下、「ヒ
ータシュラウド」と称する）８に収納し、加熱された作
動流体４から放出される蒸気泡９をジェット噴流として
金属ベローズ２の軸方に噴出させ、ベローズ２の素早い
膨張・伸長を図っている。

【０００８】噴出した作動流体４の補充のために、ヒー
タシュラウド８の基部には作動流体４の還流孔８Ａを開
口し、周辺からの作動流体４の還流・補充を図ってい
る。

【０００９】この流体圧駆動装置は、ベローズ２を電気
鋳造法によって精密に生成し、単層又は多層メッキ（例
えば、銅やニッケル）によって形成している。このた
め、メッキ膜が脆い性質であることから収縮運動に対し
ては耐久性が劣る。したがって、大きな打撃力や軸方向
推力は期待できない。

【００１０】そこで、本願出願人は、ステンレス鋼板を
打ち抜いて、これらの内周外周を交互に溶接した構造の
ベローズを製造することで、高い耐久性のあるベローズ
を提案している（特願２００１−１４６６４１号）。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の流体圧駆動装置は、素材であるステンレスの剛性が
ないことからベローズの膨張時の抵抗力が大きいので、
瞬時に駆動力を発揮することができず、また、所望の駆
動力を得るためには、多量の流体が必要になりまた大量
の気化を瞬時に得るために大電流をヒータに流す為、ヒ
ータの被覆材の耐熱性を高める必要があり流体圧駆動装
置全体が大型化するという欠点があった。

【００１２】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、気泡が還流によって運ばれるのではな
く、伸縮に寄与するベローズに直接配分され、膨張圧力
に基づく内部応力を均等に発生させるので、伸縮駆動に
膨張気体を効果的に利用できるようにし、小型で少ない
流体の容積でありながら、流体を短時間で多量に気化さ
せて高い駆動力を得ることができる流体圧駆動装置を提
供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、伸縮可能なベローズと、該ベローズに充
填された気液相変化流体と、該ベローズ内に取り付けら
れ、前記流体を気化させる熱量を発生してベローズ内の
圧力を高めることによりベローズを伸張動作させる発熱
手段とを備えた流体圧駆動装置において、前記発熱手段
は、前記ベローズの軸方向に平行でベローズの中心軸に
対して上方位置に取り付けられていることを特徴とす
る。

【００１４】請求項１に記載の発明によれば、発熱手段
を、ベローズの軸方向に平行でベローズの中心軸に対し
て上方位置に取り付けたので、発熱手段により核沸騰域
で気化された流体は、気泡吸収するサブクール沸騰（流
体中の長い経路をたどるときに流体の熱容量に気泡が吸
収される現象）を軽減し還流や反射などの過程を経ず
に、ベローズの伸縮部位に迅速に供給される。これによ
り、本発明は、小型で少ない作動流体の容積でありなが
ら、流体を短時間で多量に気化させて高い駆動力を得る
ことができる。

【００１５】請求項２に記載の発明によれば、ベローズ
に取り付けられた温度測定手段と発熱手段との間に隔壁
を設けたので、発熱手段の幅射熱が温度測定手段に悪影
響を及ぼすのを防止できる。

【００１６】請求項３に記載の発明によれば、隔壁の発
熱手段側の面に、該発熱手段からの輻射熱を発熱手段側
に反射する熱反射膜を形成したので、温度測定手段に対
する輻射熱の影響を更に軽減することができる。

【００１７】本発明に係る、流体の瞬間的な気化現象に
依存する流体圧駆動装置は、沸騰が高い熱伝達力を持
ち、ヒータの熱が流体に伝わり、流体が瞬時に沸騰する
ことによって気化する現象に着目している。流体中のヒ
ータに通電し加熱する場合、流体は、その温度上昇に伴
って、自然対流、サブクール沸騰、飽和沸騰、ヒータの
バーンアウト、膜沸騰に順次移行する。ここでは、飽和
沸騰からヒータのバーンアウト直前の領域、すなわち、
核沸騰域において加熱条件を制御し、気化膨張・冷却収
縮の現象を利用するものである。また、沸騰が始まる
と、自然対流時と比べ熱伝導率が１００〜１０００倍に
増大することが知られているので、早期に沸騰状態を形
成することが効果的である。

【００１８】ここで、単位面積Ａ（ｍ²) 当たり単位時
間に移動する熱量の大きさは熱流束ｑと呼ばれ、このと
きに移動する全熱量Ｑ（Ｗ）との関係は、ｑ＝Ｑ／Ａで示される。

【００１９】ヒータの抵抗Ｒとそこにかかる電圧Ｖはオ
ームの法則からＱ＝ＩＶ＝Ｖ²／Ｒが求められ、これを上の式に代入するとｑ＝Ｖ²／ＡＲとなり、分母は流体圧駆動装置設計による固定条件であ
るから、電圧を大きくすると２乗で効き熱流束が大きく
なり、流体の気化が進み、結果としてベローズの素早い
膨張に寄与する。

【００２０】この傾向の現象は図２０に示すように、発
明者の実験でも確認されている。図２０の横軸は電圧印
加後の経過時間を示し、縦軸はベローズの変位量（ｍ
ｍ）を示している。同図の如く、一定のベローズ変位に
至る時間が高い電圧（２０Ｖ）で早く、低い電圧（１０
Ｖ）で大きく遅くなることが確認された。この実験によ
って、ヒータ自身のバーンアウト（焼損）温度に、ある
程度余裕を持った温度幅を差し引いた温度に対応する許
容限度の高い電圧を印加すれば、流体を最大限に気化で
きることが確認され、ベローズの素早い動作に寄与でき
る。

【００２１】また、急速に一定変位が得られる結果、流
体自身への蓄熱が最少で済み、パルス状の駆動間隔も小
さくできる。実用にあたっては、この自然放冷に加え若
干の強制空冷を補うことで更にパルス駆動間隔を小さく
できる。

【００２２】次に、図１７〜図１９の流体圧駆動装置に
見られるように、流体圧駆動装置の組み込み機器の小型
化にあわせ、流体圧駆動装置自身の小型化を図る必要が
あるため、ヒータ５はベローズ２と同軸で中央部に配置
されている。気化した作動流体４はベローズ２内で上昇
するので、ベローズ２の蛇腹状伸縮部位の外周は移動
し、ここでの膨張によって発生する圧力によってベロー
ズ伸縮部位を直接押し広げることになる。

【００２３】図２１には、流体圧駆動装置を水平に設置
した時の、気化した部分と液体の部分が示されている。
ベローズ２の先端の半球部２Ｃは推力に寄与せず、効率
を妨げる結果となっている。発明者らは、図１７、図１
８に示す半球部を無くした形状、すなわち、ベローズ２
の全てを伸縮部位で構成した構造を提案している。

【００２４】図２１においては、気泡を含んだ流体が、
ヒータシュラウド８から勢い良く吐出されて半球部２Ｃ
の内壁に当たり、跳ね返ってヒータシュラウド８の外周
に沿って還流し、各伸縮部位に気泡を運んで行くことを
狙っている。

【００２５】しかしながら、より高い駆動力や推力を瞬
時に得ようとすれば、還流のプロセスを廃止し、直接的
に気泡がベローズ２の伸縮部位に運ばれることが望まし
い。一方、往復動作を考えて、流体圧駆動装置として高
い利便性を得るためには、収縮が速やかに行なわれる必
要がある。金属製ベローズは、ばね定数を持っているの
で、内部圧力が低下すると収縮する。気化された流体が
冷却されて液体に戻るために、ベローズがヒートシンク
の機能を果たし放熱冷却される。ヒートシンク効果によ
って急速に冷却されるためには、ベローズ外の媒体、例
えば空気や水が流体の沸点に対し十分低いことが望まれ
る。この温度差の大きさが冷却収縮の早さに大きく関与
している。本発明の例では、Ｃ₅Ｆ₁₁ＮＯを用いて流体
の沸点は５０℃であり、金属ベローズ外の媒体を室温２
５℃の空気と考えた場合は、温度落差２５℃である。ま
た、塩素を持たないフッ素系不活性液体はいくつかの種
類があって、例えば１０２℃など、沸点の高いものも選
択できる。

【００２６】したがって、流体の沸点の選択と金属ベロ
ーズ周囲の媒体の選択によって、膨張・収縮の性能を選
択できる。

【００２７】しかしながら、気化した流体がベローズを
経由して周囲の媒体に熱伝達することは、時間を要す
る。そこで、流体圧駆動装置を構成する主な要素である
ベローズと封入された流体の熱容量は、パルス状に印加
された電圧によって生起されるパルス状の核沸騰におけ
る発生熱量を、電源ＯＦＦ直後に吸収できる十分な大き
さに設定される。ベローズは、極力薄くしなやかな動作
特性に寄与することから熱容量を大きくできない。むし
ろ、直接的に流体の熱容量、すなわち、体積を適切に設
定することが望ましい。従来の構造では、ヒータの大き
さに最少の容積を設定したが、本発明ではヒータを包含
する体積の２倍以上の内径を有する金属ベローズに流体
を封止することも特徴としている。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る流体圧駆動装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。

【００２９】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る
流体圧駆動装置１０の断面図である。同図に示す流体圧
駆動装置１０はステンレス製ベローズ１２を有し、この
ベローズ１２を水平方向に向けて、すなわち、ベローズ
１２の中心軸１３が水平になるように設置されて使用さ
れる。ベローズ１２は、その先端部１２Ａが封止板３０
によって封止されるとともに、その開放基端部１２Ｂが
固定部材１４に取り付けられて封止されている。また、
ベローズ１２内には作動流体（流体に相当）１６が充填
され、さらに、コイルヒータ（発熱手段に相当）１８が
ベローズ１２の軸方向に沿って配設されている。ヒータ
１８には、電線２０を介して電流が供給される。

【００３０】ベローズ１２に充填される作動流体１６に
は、塩素を含まない弗化炭素であるＣ₅Ｆ₁₁ＮＯが作動
流体１６として用いられ、その沸点は摂氏５０℃であ
る。

【００３１】このように構成された流体圧駆動装置１０
は、組立時においてはベローズ１２に作動流体１６が充
填されてベローズ１２内が負圧に保持されている。した
がって、ベローズ１２は、図１の如く収縮している。次
に、ヒータ１８に所定の電力を供給すると、作動流体１
６がヒータ１８によって加熱され、気化することにより
ベローズ１２内に正圧が発生し、ベローズ１２が図１上
で左方向に伸張する。その後、電流を切ると、気化した
作動流体１６が自然冷却されて再び液化し、ベローズ１
２が自己の復元力で収縮するので図１に示した収縮状態
に戻る。

【００３２】ステンレス製のベローズ１２は、半径方向
の膨張は僅少で、軸方向に大きく膨張変位することで駆
動力（推力）を発生する。同時に、ベローズ１２がステ
ンレスであることから、ばね常数に相当する膨張時の抵
抗力、すなわち冷却時の復元力が発生する。これによ
り、ヒータ１８の加熱と冷却とによって制御可能な往復
運動の動力源をなすことができる。この運動に、脈動す
る源はなく、専らベローズ１２の伸縮により駆動力が生
ずることから、振動も発生しない。

【００３３】このように構成された流体圧駆動装置１０
は、流体の気液相変化による圧力を利用して被動作部を
動作させるものであるから、以下、流体圧駆動装置１０
を気液相アクチュエータ１０と改称し、同一の符号を用
いて説明する。

【００３４】気液相アクチュエータ１０のベローズ先端
部１２Ａは、被動作部に駆動力を伝達することが可能な
構造に構成されている。例えば、体腔内施術装置等の打
撃子（被動作部）側と連結するための封止板３０は、ベ
ローズ１２と同一材料で形成される。封止板３０のベロ
ーズ１２側には、溶着のためにベローズ薄板と同一厚さ
の封止溶着部位が形成され、例えばＹＡＧレーザー等を
用いてベローズ先端部１２Ａとともに溶接封止される。
封止板３０のもう一方の端には、作動軸３２がベローズ
１２と同軸上に突設されるとともに、作動軸３２の先端
部には、打撃子側に連結される雄ねじ３４が形成されて
いる。

【００３５】封止板３０を有するベローズ１２のもう一
方の端においては、ベローズ１２と同一材料による取付
けフランジ３６が図２の如く溶着される。溶着封止の方
法は、封止板３０と同じ方法である。

【００３６】取付けフランジ３６には、気液相アクチュ
エータ１０を固定部に取り付けるための舌状片３８と、
この舌状片３８に開口されたねじ挿入用孔４０と、ヒー
タープラグ４２を取り付けるための雌ねじ４４とが形成
される。取付けフランジ３６に取り付けられるヒーター
プラグ４２は、雌ねじ４４にねじ込まれる雄ねじ４６、
密閉のためのＯリング４８、スパナ掛け部（図では六角
ナットの形状）５０、ヒータ１８及びサーミスタ（温度
測定手段に相当）５２を絶縁封止するハーメチックシー
ル５４、ヒータ用電極５６、５６及びサーミスタ用電極
５８、５８によって構成される。

【００３７】前述の作動流体１６であるＣ₅Ｆ₁₁ＮＯ
を、ベローズ１２内に一定量封入した後、ヒータープラ
グ４２を取り付けて気液相アクチュエータ１０を完成さ
せる。図３は完成した気液相アクチュエータ１０の斜視
図である。

【００３８】ところで、図１に示した気液相アクチュエ
ータ１０は、ヒータ１８がベローズ１２の軸方向に平行
で、ベローズ１２の中心軸１３に対して所定量上方位置
に設置されている（図４参照）。

【００３９】ベローズ１２を効率的に伸長させる場合に
は、ヒータ１８により核沸騰域で気化された作動流体１
６を、還流や反射などの過程を経ずに、ベローズ１２の
伸縮部位に迅速に供給すればよい。また、同様に伸縮部
位に充填された気体を、迅速に冷却することが、ベロー
ズ１２を効率的に収縮させる点で好ましい。このため、
ヒータ１８が図４の如く、ベローズ１２の軸方向に平行
で、中心軸１３から上方（天側）に所定量ずれた位置に
配置されている。

【００４０】この構成により、作動流体１６はヒータ１
８によって加熱されて核沸騰域で瞬時に気化し、ベロー
ズ１２の外郭１２Ｃと内郭１２Ｄとの間に形成される伸
縮部位１２Ｅに充填されて膨張する。気化による作動流
体１６の体積減少量と、金属ベローズ１２の伸びによっ
て形成される空間１２Ｆに気化した作動流体１６Ａが瞬
時に充填される。

【００４１】ベローズ１２の伸縮部位１２Ｅの拡大によ
って、気化した作動流体１６Ａの充填体積は瞬時に増大
し、そして、水位は下がり、気化した作動流体１６Ａの
占有体積が増加する。ヒータ１８によって生成された作
動流体１６の気体は、ヒータ１８が中心軸１３に対して
上方にあることと作動流体１６の水位が下がったことと
に相まって、作動流体１６に熱吸収されることなく安定
して気化される。また、作動流体１６の還流が軸対象に
形成されるが、比較的浅い還流となるために、気泡の生
じ易い温度の高い作動流体１６の還流となって、気泡が
発生し易い環境となる。

【００４２】例えば、ベローズ１２の内郭である内径１
０ｍｍ、同様に外郭である外径１８ｍｍのステンレス製
ベローズ１２において、包括直径が３ｍｍのヒータ中心
を、ベローズ１２の軸中心１３に対し約１ｍｍずらし、
その方向を上として設定した場合、最高の出力を得るこ
とができた。その結果を図５に示す。

【００４３】図５の横軸は、ベローズ１２の中心軸１３
に対するヒータ１６の位置を示し、縦軸はベローズ１２
の推力を示している。同図の如く、ヒータ１６をベロー
ズ１２の中心軸１３に対して上下左右位置に設置して推
力を比較すると、中心軸１３の上方に設置した場合が最
も高い推力を得ることができた。具体的には、ヒータ１
６を中心軸１３の上方に設置した場合の推力を１００％
とした場合、左右位置の推力が約７５％であり、下位置
が６０％であった。

【００４４】図６〜図８は、第２の実施の形態の気液相
アクチュエータ６０を示しており、図１〜図４に示した
第１の実施の形態の気液相アクチュエータ１０と同一又
は類似の部材については同一の符号を付して説明する。

【００４５】気液相アクチュエータ６０は、ベローズ１
２内にサーミスタ５２等の温度センサを配置し、作動流
体１６の温度を測定して供給電圧のパルス幅を変え、ベ
ローズ１２内の作動流体１６の気化量を制御することで
動作を制御している。この場合、ヒータ１８の輻射熱が
サーミスタ５２に影響を及ぼすと制御上好ましくない。
そこで、図６〜図８のように、輻射熱を遮断する矩形状
の隔壁６２をヒータ１８とサーミスタ５２との間でベロ
ーズ１２の中心軸１３と平行に設置し、ヒータ１８の輻
射熱がサーミスタ５２に伝わらないようにしている。

【００４６】また、隔壁６２は図８の如く、ヒータ１８
の輻射熱によって、膨張に寄与しない作動流体１６の不
要な昇温を抑えることができる。また、隔壁６２によっ
て、ベローズ１２内が暖室１２Ｇと冷室１２Ｈに二分さ
れ、これにより、暖室１２Ｇと冷室１２Ｈに熱落差が生
じるので、収縮部位を円周状に還流する、熱せられた作
動流体１６は、冷室１２Ｈで短時間で冷却されることに
なる。よって、冷室１２Ｈで短時間で冷却された作動流
体１６は、ベローズ収縮時の熱吸収体として機能する。
また、隔壁６２には還流を促す孔６４が形成されてい
る。

【００４７】一方、図８に示す隔壁６２の断面形状は平
板であり、暖室１２Ｇと冷室１２Ｈの体積比がほぼ１：
１であるが、例えば図９に示すように、断面形状が円弧
やＶ字形状等の隔壁６６を使用し、暖室１２Ｇと冷室１
２Ｈの体積比を適宜変えることもできる。

【００４８】また、隔壁６２、６６は単なる暖室１２Ｇ
と冷室１２Ｈの区分けにとどまらず、さらに気化効率を
上げるために、表面または隔壁６２、６６が透明な場合
は、ヒータ１８側の面に反射部材の薄膜を形成し、遮熱
・遮光とともに熱反射の手段をとることが好ましい。こ
れにより、ヒータ１８の輻射熱の影響をより一層軽減す
ることができる。

【００４９】更に、隔壁６２、６６の断面を放物線や楕
円等を含め、ヒータ１８を焦点位置に置く最適化、また
ヒータ断面形状を考慮に入れて形状を最適化し、上方へ
の発熱効率を上げる形状を採用することが好ましい。

【００５０】また、ヒータ１８はコンスタンタン線など
をコイル状にし、作動流体１６との接触面積を最大化す
ることが一般的であるが、図１０の如くコイルの配列
を、ベローズ１２の軸方向に並列した複数の配列にする
ことによって、作動流体１６の気化を更に促進すること
ができる。もちろん、平板の形状断面が凹凸するヒータ
も適用できる。

【００５１】図１１は、気液相アクチュエータ６０を適
用した結石等破砕装置７０の断面構造図である。

【００５２】この結石等破砕装置７０は、気液相アクチ
ュエータ６０が内蔵された装置本体７２、及び結石に向
けて人体に挿入される挿入部７４から構成される。な
お、装置本体７２は、操作者が把持しやすい形状に形成
されている。

【００５３】挿入部７４の先端部には、金属製等の強固
な打撃子７６が設けられ、その先端は破壊に有利な形
状、例えば十字状にすり割りを入れた鋭利な先端部７７
を有するとともに、破壊された結石片を吸引し、吸入空
気の力によって外部へ搬出するための管路７８を有して
いる。この打撃子７６は、接着や圧入等の手段で確実に
ガイドチューブ８０と固着されている。

【００５４】ガイドチューブ８０は、人体における結石
部位からの距離に応じた適切な長さを有し、適度な圧縮
・引張抗力を有する素材、例えばフッ素系の樹脂が用い
られ、吸入圧に対し管路が変形しないような肉厚と硬さ
が選定されている。ガイドチューブ８０の他端は、金属
製または強化プラスチックを用いたプラグ８２に固着さ
れている。このプラグ８２は、交換着脱のためにねじ等
の結合部８３を有し、打撃子７６、ガイドチューブ８
０、及びプラグ８２の管路が砕石片で詰まったり、構造
的な損傷等があったりした場合に速やかに交換可能とな
っている。

【００５５】プラグ８２が係合する吸引バルブ８４は、
本体ケース８６の摺動孔８７に摺動するロッド形状の摺
動軸８８をなし、吸引された砕石片を吸引機（不図示）
に導く吸引チューブ９０が取り付けられている。吸引バ
ルブ８４が固定されている摺動軸８８は、図１１、図１
２に示す洗浄ブラシ９２等の補助具を挿入するための補
助具挿入孔９４と吸引時のための封止キャップ（不図
示）、補助具を固定する固定ねじ９８を併せもってい
る。

【００５６】図１２に示した洗浄ブラシ９２は、把持リ
ング９２Ａ、ブッシュ９２Ｂ、ガイドワイヤ９２Ｃ、及
びブラシ部９２Ｄから構成される。洗浄ブラシ９２は、
ブッシュ９２Ｂが図１１の如く補助具挿入孔９４に嵌合
された状態で使用される。

【００５７】また、摺動軸８８は、水平に設置された気
液相アクチュエータ６０の雄ねじ３４に締結されてい
る。これにより、気液相アクチュエータ６０の推力が摺
動軸８８、吸引バルブ８４、プラグ８２、及びガイドチ
ューブ８０を介して打撃子７６に伝達し、砕石に必要な
打撃力を結石に与える。

【００５８】気液相アクチュエータ６０は、フランジ１
０２を介してハウジング１０４に固定され、作動軸３２
が摺動可能で且つ膨張量を規制するストッパの役目をな
すハウジング端１０６が形成される。

【００５９】気液相アクチュエータ６０の作動流体１６
をヒータ１８で加熱すると、瞬時に５０℃を越えて作動
流体１６が気化膨張し、ベローズ１２が伸長することに
より推力が水平方向に発生する。ベローズ１２は蛇腹状
なのでヒートシンクの機能を持ち、加熱された作動流体
１６を放熱冷却するとともに、ばね用ステンレス鋼板を
用いた多段ばねとして形成され、ベローズ１２全体では
ばね定数を持ち、一旦加熱によって気化された作動流体
が冷却され、５０℃を下回って液相に戻る時、自ら収縮
の運動をなす。この際、ハウジング１０２に設けられた
冷却ガス噴射孔１０８から冷気を供給すると、急速に液
相が再現され収縮が迅速に行われる。急速冷却に用いた
ガスの排出は、ハウジング１０２に設けられた排出孔１
１０を経由し、排気管１１２を介して排気スリット１１
４から外部に放出される。

【００６０】冷却に用いるガスは、外部から連続供給さ
れるガスを使用することも可能であるが、図１１ではボ
ンベ１１６等の圧力容器に収納され交換可能な状態に組
み込まれた例を示している。

【００６１】結石等破砕装置７０の操作者が、本体ケー
ス８６から露出する揺動スイッチ１１８の上端側１１８
Ａを時計周り方向に回動させ、ボンベ１１６のノズルヘ
ッド１１７を押すと、ノズルヘッド１１７に内蔵された
閉止弁（不図示）が開放することによりボンベ１１６内
のガスが放出され、放出停止はノズルヘッド１１７の無
負荷の時に前記閉止弁が自動的に閉止する。

【００６２】一方、揺動スイッチ１１８の下端側１１８
Ｂを反時計周り方向に回動させると、無負荷状態では離
間しているメインスイッチＳＷ２の接点が閉じ、メイン
スイッチＳＷ２がオンされる。メインスイッチＳＷ２が
オンされると、装置本体７２内の駆動ユニット１２４に
より後述のようにベローズ１２内のヒータ１８に電圧が
印加され、打撃力が発生する。

【００６３】メインスイッチ１１８に隣接して設けられ
たロータリースイッチノブ１２０は、図１３に示すよう
にＯＦＦ、単発、連発のいずれかを選択するためのもの
で、ＯＦＦが選択されている場合には、上記メインスイ
ッチＳＷ２をオンしても、ベローズ１２内のヒータ１８
には電圧が印加されず、気液相アクチェータ６０は駆動
されない。一方、単発が選択されている場合には、メイ
ンスイッチＳＷ２をオンすると、単発のパルス電圧がベ
ローズ１２内のヒータ１８に印加され、単発の打撃力が
発生する。連発が選択されている場合には、メインスイ
ッチＳＷ２をオンすると、３連発のパルス電圧がベロー
ズ１２内のヒータ１８に印加され、３連発の打撃力が発
生する。

【００６４】これらの動作に必要な電源、すなわち、駆
動ユニット１２４内の回路部品やベローズ１２内のヒー
タ１８等に供給する電源には、本体ケース８６に収納さ
れる電池１２２が用いられる。なお、ＡＣ／ＤＣコンバ
ータ等を経由した外部電源を用いることもできる。電池
１２２等からの電源供給を有効にする場合には、電源ス
イッチＳＷ１をオンにする。図１１において符号１２８
は、吸引チューブ９０のクリップであり、符号１３０は
クリップねじ、また、符号１３２は、電池キャップであ
る。

【００６５】図１４は、気液相アクチュエータ６０を駆
動する上記駆動ユニット１２４の構成を示したブロック
図である。

【００６６】同図に示すように駆動ユニット１２４は、
電池１２２により充電される複数の２次電源部２０６、
２０８、２１０を備えており、これらの２次電源部２０
６、２０８、２１０により気液相アクチュエータ６０の
ヒータ１８にパルス電圧（電流）を供給する構成となっ
ている。なお、上述のように商用交流電源等の外部電源
をＡＣ／ＤＣコンバータにより直流電源に変換し、その
直流電源を電池１２２の代わりとしてもよい。また、各
２次電源部２０６、２０８、２１０を区別していう場合
には、それぞれ初段２次電源部２０６、２段２次電源部
２０８、３段２次電源部２１０という。

【００６７】同図の電源スイッチＳＷ１は、電池１２２
からの電源供給を有効／無効に切り替えるスイッチであ
り、電源スイッチＳＷ１をオンにすると、電池１２２か
ら出力された電圧がＤＣ／ＤＣコンバータ回路２１６に
より昇圧され、その昇圧された電圧が各２次電源部２０
６〜２１０に供給され、また、その他の各回路部品に供
給される。

【００６８】各２次電源部２０６、２０８、２１０は、
充電用のコンデンサ（後述）を備えており、電池１２２
から供給された電荷がそれらのコンデンサに蓄積され、
各２次電源部２０６、２０８、２１０の充電が行われ
る。なお、各２次電源部２０６、２０８、２１０の充電
が完了した場合には、各２次電源部２０６、２０８、２
１０に対応して設けられる表示ＬＥＤ２１８、２２０、
２２２が点灯する。

【００６９】同図に示すロータリースイッチＳＲは、図
１１に図示したロータリースイッチノブ１２０に連動す
るスイッチであり、気液相アクチュエータ６０の動作に
ついて単発か連発かを選択し、又は、安全確保等のため
の動作オフを選択するスイッチである。同図に示すメイ
ンスイッチＳＷ２は、図１１に図示した揺動スイッチ１
１８によりオン／オフされるスイッチであり、ロータリ
ースイッチＳＲで選択された動作内容により気液相アク
チュエータ６０を実際に起動させるスイッチである。

【００７０】ロータリースイッチＳＲによって連発を選
択した場合、メインスイッチＳＷ２をオンすると、ＤＣ
／ＤＣコンバータ２１６から供給される電圧がメインス
イッチＳＷ２及びロータリースイッチＳＲを介して初段
２次電源部２０６に起動信号（High電圧）として与えら
れる。これによって、まず、初段２次電源部２０６のコ
ンデンサに充電されている電荷が放電され、初段２次電
源部２０６から駆動部２０４にパルス電圧が供給され
る。駆動部２０４は、後述のように気液相アクチュエー
タ６０の動作を保障するための回路であり、正常時に
は、初段２次電源部２０６から供給されたパルス電圧が
そのまま駆動部２０４を介してヒータ１８に供給され
る。これにより、ベローズ１２が伸張し、まず、打撃子
７６による１発目の打撃力が発生する。

【００７１】初段２次電源部２０６のコンデンサに蓄積
された電荷が放電された結果、そのコンデンサの充電電
圧が減少すると、ヒータ１８に印加される電圧が減少
し、ベローズ１２が元の状態に収縮すると共に、コンデ
ンサの充電電圧が所定電圧より小さくなると、次いで初
段２次電源部２０６から２段２次電源部２０８に起動信
号（High電圧）が与えられる。これによって、初段２次
電源部２０６と同様に２段２次電源部２０８のコンデン
サに蓄積された電荷が放電され、駆動部２０４を介して
ヒータ１８にパルス電圧が供給される。これにより、ベ
ローズ１２が再度伸張し、打撃子７６による２発目の打
撃力が発生する。

【００７２】続いて、２段２次電源部２０８のコンデン
サに蓄積された電荷が放電された結果、そのコンデンサ
の充電電圧が減少すると、ヒータ１８に印加される電圧
が減少し、ベローズ１２が元の状態に収縮すると共に、
コンデンサの充電電圧が所定電圧より小さくなると、次
いで２段２次電源部２０８から３段２次電源部２１０に
起動信号（High電圧）が与えられる。これによって、初
段２次電源部２０６、２段２次電源部２０８と同様に３
段２次電源部２１０のコンデンサに蓄積された電荷が放
電され、駆動部２０４を介してヒータ１８にパルス電圧
が供給される。これにより、ベローズ１２が再度伸張
し、打撃子７６による３発目の打撃力が発生する。

【００７３】３段２次電源部２０８のコンデンサに蓄積
された電荷が放電された結果、そのコンデンサの充電電
圧が減少すると、ヒータ１８に印加される電圧が減少
し、ベローズ１２が元の状態に収縮し、気液相アクチュ
エータ６０の連発動作が終了する。このように、初段か
ら３段までの各２次電源部２０６、２０８、２１０から
ヒータ１８に順次パルス電圧が供給されることにより３
連発の打撃動作が実行される。なお、各パルス電圧は約
１秒間隔で発生する。

【００７４】一方、ロータリースイッチＳＲによって単
発を選択した場合、メインスイッチＳＷ２をオンする
と、ＤＣ／ＤＣコンバータ２１６から供給される電圧が
メインスイッチＳＷ２及びロータリースイッチＳＲを介
して３段２次電源部２１０に起動信号（High電圧）とし
て与えられる。これによって、上述と同様に３段２次電
源部２１０のコンデンサに充電されている電荷が放電さ
れ、３段２次電源部２１０から駆動部２０４を介してヒ
ータ１８にパルス電圧が供給される。３段２次電源部２
１０のコンデンサに蓄積された電荷が放電されると、ヒ
ータ１８へのパルス電圧の供給が終了する。このように
ロータリースイッチＳＲによって単発を選択した場合に
は、３段２次電源部２１０からのみ単発のパルス電圧が
ヒータ２０２に供給され、単発の打撃動作が実行され
る。

【００７５】上記駆動部２０４は上述のように各２次電
源部２０６、２０８、２１０から与えられるパルス電圧
をヒータ１８に供給するとともに、気液相アクチュエー
タ６０の動作保障のため所定の条件のときにはヒータ１
８への電圧供給を強制的に禁止する。気液相アクチュエ
ータ６０のベローズ１２内には上述のようにサーミスタ
５２が設置されており、サーミスタ５２からの信号に基
いてベローズ１２内の温度が過熱保護検出部２３２によ
って検出されている。その検出された温度が一定温度以
上になった場合には、過熱保護検出部２３２からＯＲ回
路２３８に停止信号（High信号）が与えられ、そうでな
ければ許可信号（Law 信号）が与えられる。

【００７６】一方、図１１に示したように装置本体７２
には、姿勢検出センサー１２６が設置されており、その
信号に基いて装置本体７２の姿勢が姿勢保護検出部２３
６によって検出されている。もし、検出された姿勢が不
適切の場合、例えば、装置本体６２の天地が逆になって
いるような場合には、姿勢保護検出部２３６からＯＲ回
路２３８に停止信号（High信号）が与えられ、そうでな
ければ許可信号（Law信号）が与えられる。

【００７７】ＯＲ回路２３８は、過熱保護検出部２３２
と姿勢保護検出部２３６の両方から許可信号（Law 信
号）が与えられているときには、駆動部２０４に許可信
号（例えばHigh信号）を与え、駆動部２０４に対してヒ
ータ１８への電圧供給を許可する。一方、過熱保護検出
部２３２と姿勢保護検出部２３６のうち少なくともいず
れか一方から停止信号（High信号）が与えられていると
きには、駆動部２０４に停止信号（例えば、Law 信号）
を与え、駆動部２０４に対してヒータ１８への電圧供給
を停止させる。この場合、駆動部２０４は、各２次電源
部２０６、２０８、２１０から電圧が供給されていると
きでもヒータ１８への電圧供給を停止する。なお、過熱
保護検出部２３２と姿勢保護検出部２３６のうち少なく
ともいずれか一方から停止信号（High信号）が出力され
ているときには、所定の警告ランプが点灯するようにし
てもよい。

【００７８】図１５は、図１４のブロック図の各部の構
成を具体的に示した回路図である。同図において各２次
電源部２０６、２０８、２１０の基本的な構成は等し
く、まず、初段２次電源部２０６の各回路部品と同一作
用を有する２段２次電源部２０８及び３段２次電源部２
１０の各回路部品を適宜括弧書きにして初段２次電源部
２０６の具体的構成について説明する。

【００７９】初段２次電源部２０６には、上述のように
ヒータ１８にパルス電圧を供給するための充電用のコン
デンサＣ１（Ｃ２、Ｃ３）が含まれ、そのコンデンサＣ
１（Ｃ２、Ｃ３）は、ダイオードＤ１（２段２次電源部
２０８はダイオードＤ１及びＤ２、３段２次電源部２１
０はダイオードＤ１、Ｄ２及びＤ３）及び抵抗Ｒ１（Ｒ
２、Ｒ３）を介してＤＣ／ＤＣコンバータ回路２１６に
接続される。したがって、電源スイッチＳＷ１をオンす
ると、電池１２２から電源スイッチＳＷ１及びＤＣ／Ｄ
Ｃコンバータ回路２１６を介して出力された電流がコン
デンサＣ１（Ｃ２、Ｃ３）に流れ込み、コンデンサＣ１
（Ｃ２、Ｃ３）に電荷が蓄積される。

【００８０】また、コンデンサＣ１（Ｃ２、Ｃ３）の正
極側は、サイリスタThy １（Thy ２、Thy ３）を介して
駆動部２０４のトランジスタ（ＮＰＮトランジスタ）Tr
に接続される。サイリスタThy １のゲートは、ロータリ
ースイッチＳＲにおける連発動作選択時の接点端子に接
続されており、ロータリースイッチＳＲが連発に選択さ
れている場合にメインスイッチＳＷ２がオンされると、
起動信号（High信号）がサイリスタThy １のゲートに印
加される。これによって、サイリスタThy １がオンさ
れ、コンデンサＣ１に蓄積された電荷が駆動部２０４に
放電される。なお、３段２次電源部２１０のサイリスタ
Thy ３のゲートは、ロータリースイッチＳＲにおける単
発動作選択時の接点端子に接続されており、ロータリー
スイッチＳＲが単発に選択されている場合にメインスイ
ッチＳＷ２がオンされると、起動信号（High信号）がサ
イリスタThy ３のゲートに印加される。これによってサ
イリスタThy ３がオンされ、コンデンサＣ３に蓄積され
た電荷が駆動部２０４に放電される。

【００８１】また、コンデンサＣ１（Ｃ２、Ｃ３）の正
極側には、コンパレータＯＰ１Ａ（ＯＰ２Ａ、ＯＰ３
Ａ）の一方の入力端子が接続される。コンパレータＯＰ
１Ａ（ＯＰ２Ａ、ＯＰ３Ａ）の他方の入力端子には、ツ
ェナダイオードＺＤ１Ａ（ＺＤ２Ａ、ＺＤ３Ａ）が接続
されて所定の基準電圧（充電完了となる電圧）が与えら
れる。これによって、コンデンサＣ１（Ｃ２、Ｃ３）の
充電電圧がその基準電圧に達すると、コンパレータＯＰ
１Ａ（ＯＰ２Ａ、ＯＰ３Ａ）の出力端子からHigh電圧が
出力され、ＬＥＤ２１８（２２０、２２２）に電流が供
給されてＬＥＤ２１８（２２０、２２２）が点灯する。

【００８２】また、コンデンサＣ１（Ｃ２）の正極側に
は、コンパレータＯＰ１Ｂ（ＯＰ２Ｂ）の一方の入力端
子が接続される。コンパレータＯＰ１Ｂ（ＯＰ２Ｂ）の
他方の入力端子には、ツェナダイオードＺＤ１Ｂ（ＺＤ
２Ｂ）が接続されて所定の基準電圧（次段の２次電源部
の放電を開始するための前段のコンデンサの充電電圧レ
ベル）が与えられる。コンパレータＯＰ１Ｂ（ＯＰ２
Ｂ）の出力端子は、２段２次電源部２０８のサイリスタ
Thy ２（３段２次電源部２１０のサイリスタThy３）の
ゲートに接続される。これによって、コンデンサＣ１
（Ｃ２）の充電電圧がその基準電圧より小さくなると、
コンパレータＯＰ１Ｂ（ＯＰ２Ｂ）の出力端子からサイ
リスタThy ２（Thy ３）にHigh電圧が出力され、サイリ
スタThy ２（Thy ３）がオンされる。従って、ロータリ
ースイッチＳＲが連発に選択された状態でメインスイッ
チＳＷ２がオンされた場合において初段２次電源部２０
６のコンデンサＣ１から放電が開始されたときには、順
次、２段２次電源部２０８のコンデンサＣ２、３段２次
電源部２１０のコンデンサＣ３から放電が開始される。

【００８３】次に、駆動部２０４の構成について説明す
ると、同図に示すように駆動部２０４は、トランジスタ
（ＮＰＮトランジスタ）Trを備え、そのコレクターエミ
ッタ間で各２次電源部２０６、２０８、２１０の各コン
デンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３とヒータ１８間を接続する。ト
ランジスタTrのオン／オフは、ベースに接続されるＯＲ
回路２３８によって切り替えられる。ＯＲ回路２３８
は、上述のように過熱保護温度検出部２３２と姿勢保護
検出部２３６のいずれからも停止信号が与えられていな
い場合には、トランジスタTrのベースにHigh信号を出力
し、トランジスタTrをオンにする。従って、この場合に
は、２次電源部２０６、２０８、２１０の各コンデンサ
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３から放電されたパルス電流がヒータ１
８に供給される。一方、過熱保護温度検出部２３２と姿
勢保護検出部２３６のうち少なくともいずれか一方から
停止信号が与えられている場合には、トランジスタTrの
ベースにLaw 信号を出力し、トランジスタTrをオフにす
る。従って、この場合には、２次電源部２０６、２０
８、２１０の各コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３の蓄積電荷
が放電されてもヒータ１８に電流は供給されない。

【００８４】図１５は、駆動ユニット１２４における動
作手順を示したフローチャートである。まず、ユーザが
電源スイッチＳＷ１をオンすると（ステップＳ１０
０）、各２次電源部２０６、２０８、２１０のコンデン
サＣ１〜Ｃ３の充電が開始される（ステップＳ１０２、
１０４、１０６）。充電が完了すると、各２次電源部２
０６、２０８、２１０に対応して配設されたＬＥＤ２１
８、２２０、２２２が点灯する（ステップＳ１０８、１
１０、１１２）。

【００８５】次に、ユーザは、ロータリースイッチＳＲ
を単発、又は、連発に設定する（ステップＳ１１４）。
なお、ユーザは動作オフを選択することもできるが、こ
の場合の動作手順については省略する。まず、連発に設
定した場合（ステップＳ１１６）、メインスイッチＳＷ
２をオンすると（ステップＳ１１８）、動作姿勢が正常
か否かが検出され（ステップＳ１２０）、正常でない場
合には、気液相アクチュエータ６０の動作が停止される
（ステップＳ１３４）。すなわち、駆動部２０４のトラ
ンジスタTrがオフされ、ヒータ１８への電流の供給が禁
止される。そして、この場合、電源スイッチＳＷ１の再
投入によってステップＳ１００からの処理に戻る。

【００８６】一方、ステップＳ１２０において正常と判
断された場合には連発で気液相アクチュエータ６０が動
作する（ステップＳ１２２）。すなわち、各２次電源部
２０６、２０８、２１０から順次パルス電圧がヒータ１
８に供給される。そして、次に、気液相アクチュエータ
６０のベローズ１２の内部温度が正常か否かが検出され
（ステップＳ１２４）、正常でない場合には、上述と同
様に気液相アクチュエータ６０の動作が停止される（ス
テップＳ１３４）。正常であれば、上記ステップＳ１０
２、１０４、１０６からの動作手順が繰り返し実行され
る。

【００８７】ステップＳ１１４のロータリースイッチＳ
Ｒの設定においてユーザが単発に設定した場合（ステッ
プＳ１２６）、次いで、ユーザがメインスイッチＳＷ２
をオンすると（ステップＳ１２８）、動作姿勢が正常か
否かが検出され（ステップＳ１３０）、正常でない場合
には、気液相アクチュエータ６０の動作が停止される
（ステップＳ１３４）。そして、この場合、上述のよう
に電源スイッチＳＷ１の再投入によってステップＳ１０
０からの処理に戻る。一方、正常の場合には単発で気液
相アクチュエータ６０が動作する（ステップＳ１３
２）。すなわち、３段２次電源部２１０からのみパルス
電圧がヒータ１８に供給される。そして、気液相アクチ
ュエータ６０のベローズ１２の内部温度が正常か否かが
検出され（ステップＳ１２４）、正常でない場合には、
上述と同様に気液相アクチュエータ６０の動作が停止さ
れる（ステップＳ１３４）。正常であれば、上記ステッ
プＳ１０２、１０４、１０６からの動作手順が繰り返し
実行される。

【００８８】以上、上記実施の形態では、気液相アクチ
ュエータ６０のヒ−タ１８に印加するパルス電圧のパル
ス幅や電圧値は特に変更できるようにしなかったが、パ
ルス幅や電圧値を調整することによって、ベロ−ズ１２
の伸び量や推力（打撃力）を調整することができるた
め、ヒ−タ１８に印加するパルス電圧のパルス幅や電圧
値をユ−ザ等が適宜調整する調整手段を設けるようにし
てもよい。

【００８９】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る流体圧
駆動装置によれば、発熱手段を、ベローズの軸方向に平
行でベローズの中心軸に対して上方位置に取り付けたの
で、発熱手段により核沸騰域で気化された流体は、還流
や反射などの過程を経ずに、ベローズの伸縮部位に迅速
に供給される。これにより、本発明は、小型で少ない流
体の容積でありながら、流体を短時間で多量に気化させ
て高い駆動力を得ることができる。

【００９０】また、本発明によれば、ベローズに取り付
けられた温度測定手段と発熱手段との間に隔壁を設けた
ので、発熱手段の幅射熱が温度測定手段に悪影響を及ぼ
すのを防止できる。

【００９１】更に、本発明によれば、隔壁の発熱手段側
の面に、該発熱手段からの輻射熱を発熱手段側に反射す
る熱反射膜を形成したので、輻射熱の影響を更に軽減す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の気液相アクチュエ
ータの断面図

【図２】図１に示した気液相アクチュエータの組立斜視
図

【図３】図１に示した気液相アクチュエータの全体斜視
図

【図４】図１に示した気液相アクチュエータの要部断面
図

【図５】ヒータの位置と推力との関係を示す図

【図６】本発明の第２の実施の形態の気液相アクチュエ
ータの組立斜視図

【図７】図６に示した気液相アクチュエータの一部破断
部を含む全体斜視図

【図８】図６に示した気液相アクチュエータの要部断面
図

【図９】図６に示した気液相アクチュエータの変形例を
示す要部断面図

【図１０】図９に示した気液相アクチュエータの変形例
を示す要部断面図

【図１１】気液相アクチュエータを適用した結石等破砕
装置の構造図

【図１２】洗浄ブラシの構造図

【図１３】ロ−タリースイッチノブの説明図

【図１４】駆動ユニットの構成を示したブロック図

【図１５】駆動ユニットの具体的構成を示した回路図

【図１６】駆動ユニットの動作手順を示したフロ−チャ
−ト

【図１７】従来の流体圧駆動装置の断面図

【図１８】図１７に示した流体圧駆動装置の組立斜視図

【図１９】ヒータシュラウドが適用された従来の流体圧
駆動装置の断面図

【図２０】ヒータに対する供給電圧とベローズの変位と
の関係を示す図

【図２１】従来の流体圧駆動装置の断面図

【符号の説明】

１０、６０…流体圧駆動装置、気液相アクチュエータ、
１２…ベローズ、１６…作動流体、１８…ヒータ、５２
…サーミスタ、６２、６６…隔壁、７０…結石等破砕装
置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】伸縮可能なベローズと、該ベローズに充
填された気液相変化流体と、該ベローズ内に取り付けら
れ、前記流体を気化させる熱量を発生してベローズ内の
圧力を高めることによりベローズを伸張動作させる発熱
手段とを備えた流体圧駆動装置において、前記発熱手段は、前記ベローズの軸方向に平行でベロー
ズの中心軸に対して上方位置に取り付けられていること
を特徴とする流体圧駆動装置。
【請求項２】前記ベローズには、前記流体の温度を測
定する温度測定手段が設けられるとともに、該温度測定
手段と前記発熱手段との間には隔壁が設けられているこ
とを特徴とする請求項１に記載の流体圧駆動装置。
【請求項３】前記隔壁の前記発熱手段側の面には、該
発熱手段からの熱を発熱手段側に反射する熱反射膜が形
成されていることを特徴とする請求項２に記載の流体圧
駆動装置。