JP2003010846A - 流体の被除去物除去装置および流体の被除去物除去方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体の被除去物除去装置において、ポンプを
再開した際に、ポンプに空気が流入し、空回りするのを
防止する。 【解決手段】 ポンプ２３とフィルタ２とを接続するパ
イプの途中に液溜パイプ４３を設ける。ポンプ２３を停
止すると液溜パイプ４３内部に濾過水が滞留され、ポン
プを再開させると液溜パイプ４３内部の濾過水がポンプ
２３に流入する。このことによりポンプ２３の空回りを
防止することができる。また、ポンプ２３を停止させる
と、濾過水はフィルタ側に逆流するが、液溜パイプ４３
が有する屈折部を、逆流する濾過水が通過することによ
って逆流の勢いが低減する。このことにより、濾過水の
逆流によりフィルタ２作用する圧力を緩和することがで
き、第２のフィルタ膜の剥離を防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の被除去物除
去装置に関し、特に、フィルタから濾過された流体を取
り出すパイプに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、産業廃棄物を減らす事は、エコロ
ジーの観点から重要なテーマであり、企業課題である。
この産業廃棄物の中には、色々な排水や汚水がある。

【０００３】以下、水や薬品等の流体中に被除去物であ
る物質が含まれているものを排水と呼び説明する。これ
らの排水は、高価な濾過処理装置等で前記被除去物が取
り除かれ、排水がきれいな流体となり再利用されたり、
除去できずに残ったものを産業廃棄物として処理してい
る。特に水は、きれいな状態にして川や海等の自然界に
戻されたり、再利用される。

【０００４】この事からも判るように、排水処理の技術
は、環境汚染の意味からも、またリサイクルの点からも
重要な問題であり、低イニシャルコスト、低ランニング
コストのシステムが早急に望まれている。

【０００５】一例として、半導体分野に於ける排水処理
を以下に説明していく。一般に、金属、半導体、セラミ
ック等の板状体を研削または研磨する際、設備の温度上
昇防止、潤滑性向上、研削屑または切削屑の板状体への
付着等が考慮され、水等の流体が供給されている。

【０００６】一方、「環境に優しい」をテーマに、前記
半導体ウェハの研削屑または研磨屑が混入された排水
は、濾過されてきれいな水にして自然界に戻したり、あ
るいは再利用され、濃縮された排水は、回収されてい
る。

【０００７】現状の半導体製造に於いて、Ｓｉを主体と
する屑の混入された排水処理には、凝集沈殿法、フィル
タ濾過と遠心分離機を組み合わせた方法の二通りがあ
り、各半導体メーカーで採用している。

【０００８】しかし上記二通りの方法は、どちらともモ
ータの電気代やフィルタの交換費用等のランニングコス
トが非常に大きく、またイニシャルコストも非常に大き
いという問題があった。

【０００９】上記の問題に鑑みて、本出願人は特開２０
０１−０３８３５２号公報に示す如く、イニシャルコス
トとランニングコストが非常に安いシステムを開発し
た。以下にその概要を示す。

【００１０】最初に、このシステムの機構を説明する。

【００１１】図５における符号１は、原水タンクであ
る。このタンク１の上方には、原水供給手段としてパイ
プ１０が設けられている。このパイプ１０は、被除去物
が混入した流体の通過する所である。例えば、半導体分
野で説明すると、ダイシング装置、バックグラインド装
置、ミラーポリッシング装置またはＣＭＰ装置から流れ
出る被除去物が混入された排水（原水）が通過する所で
ある。尚、この排水は、ダイシング装置から流れるシリ
コン屑が混入された排水として説明していく。

【００１２】原水タンク１に貯められた原水６の中に
は、フィルタ２が複数個設置される。このフィルタ２の
下方には、例えばパイプに小さい孔を開けたような、バ
ブリング装置の如き、気泡発生装置４が設けられ、ちょ
うど第１のフィルタ膜の表面を通過するように孔の位置
が調整されている。５は、エアーブローである。

【００１３】フィルタ２に固定されたパイプ１１は、フ
ィルタ２で濾過された濾過水が通過し、第１のバルブ２
２を介して原水タンク１側に向かうパイプ１２と、再利
用（または排水される）側に向かうパイプ１７に選択輸
送される。また原水タンク１の側壁および底面には、第
２のパイプ１３、第３のパイプ１４、第４のパイプ１５
および第５のパイプ１６が取り付けられている。

【００１４】パイプ１０から供給された原水６は、原水
タンク１に貯められ、フィルタ２により濾過される。こ
のフィルタに取り付けられた第１のフィルタ膜の表面
は、気泡が通過し、気泡の上昇力や破裂により、第１の
フィルタ膜にトラップしたシリコン屑を動かし、常にそ
の濾過能力が低下しないように維持されている。

【００１５】また第１のフィルタ膜が新規に取り付けら
れたり、休日により長期間停止された後に濾過を再開し
たり、またはパイプ１１にシリコン屑が混入されている
場合は、切替バルブ２２を使って、濾過水がパイプ１２
を介して原水タンク１に循環する様に設計されている。
それ以外は、バルブ２２は、パイプ１７に切り替えられ
ており、濾過水は再利用される。

【００１６】シリコン屑が所定の混入率よりも高かった
場合、濾過水は異常水と判断し、自動的に循環が開始し
たり、またはポンプが止められ濾過が停止される。また
循環する時は、排水がタンク１から溢れる事を考慮し
て、パイプ１０からタンク１への流体供給が停止されて
も良い。

【００１７】またセンサ２４は、シリコン屑を常時セン
シングしている。センサとして、受光・発光素子の付い
た光センサを用いて、濾過水の透明度を検出することに
より、濾過水中のシリコン屑の量を検出できる。発光素
子は、発光ダイオードやレーザが考えられる。またセン
サ２４は、パイプ１１の途中あるいはパイプ１２の途中
に取り付けても良い。

【００１８】一方、原水タンクは、時間とともに濃縮さ
れてくる。そして所望の濃度になった場合、濾過作業を
停止し、凝集沈殿させる。あるいは、この所望の濃度の
原水をフィルタプレス等に通過させ、原水の中のＳｉを
取り出し、リサイクルさせている。

【００１９】以上述べたように、図５のシステムでは、
原水タンク１、複数のフィルタ２、小型ポンプ２３で構
成される。

【００２０】次に、このシステムで採用するフィルタ２
の構造について説明する。

【００２１】図６（Ａ）に示す符号３０は、額縁の如き
形状の枠であり、この枠の両面には、第１のフィルタ膜
３１、３２が貼り合わされ固定されている。そして枠３
０、第１のフィルタ膜３１、３２で囲まれた内側の空間
３３には、パイプ１１を吸引する事により、第１のフィ
ルタ膜により濾過された濾過水が発生する。そして枠３
０にシールされて取り付けられているパイプ１１を介し
て濾過水が取り出されている。もちろん第１のフィルタ
膜３１、３２と枠３０は、排水が第１のフィルタ膜以外
から前記空間に侵入しないように完全にシールされてい
る。

【００２２】図６（Ａ）の第１のフィルタ膜３１，３２
は薄い樹脂膜であるため、吸引されると内側に反り、破
壊に至る場合もある。そのため、この空間をできるだけ
小さくし、濾過能力を大きくするために、この空間３３
を多数個形成する必要がある。これを示したものが、図
６（Ｂ）である。図では、空間３３が９個しか示されて
いないが、実際は数多く形成される。また実際に採用し
た第１のフィルタ膜３１，３２は、約０．１ｍｍ厚さの
ポリオレフィン系の高分子膜であり、図の如く、薄い第
１のフィルタ膜が袋状に形成されており、図６（Ｂ）で
は、ＦＴで示した。この袋状のフィルタＦＴの中に、パ
イプ５６が一体化された枠３０が挿入され、前記枠３０
と前記フィルタＦＴが貼り合わされている。符号ＲＧ
は、押さえ手段であり、第１のフィルタ膜３１、３２が
貼り合わされた枠を両側から押さえるものである。そし
て押さえ手段の開口部ＯＰからは、第１のフィルタ膜が
露出している。

【００２３】図７に、このフィルタ２の動作を概念的に
示す。ここでは、パイプ１１側をポンプ等で吸引すれ
ば、ハッチング無しの矢印のように、水が流れ濾過され
ることになる。

【００２４】また第１の第１のフィルタ膜３１，３２お
よびこの膜３１、３２で捕獲されたシリコン屑の層でシ
リコン屑が捕獲されることにより、縦置きにされたフィ
ルタに第２のフィルタ膜３３が形成されることになる。
この際、第２のフィルタ膜３３は、シリコン屑が付着し
たものであるため、第２のフィルタ膜３３に外力を加え
ることで、第２フィルタ３３を取り除いたり、また第２
のフィルタ膜３３の表層を取り除いたりすることができ
る。またこの取り除きは、気泡の上昇力、水流、音波、
超音波振動、機械的振動、スキージを使って表面をこす
る、あるいは攪拌機等で簡単に実現できる。そしてこの
外力により第２フィルタ膜３３の濾過能力は、常時リフ
レッシュし、ほぼ一定の値を維持することになる。

【００２５】また、フィルタ２は、原水に完全に浸され
ている必要がある。第２フィルタ膜は、長時間空気に触
れると膜が乾燥し、剥がれたり、崩れたりするからであ
る。また空気に触れている所が少しでも有ると、フィル
タ２は空気を吸引するため、濾過能力が低下してしま
う。

【００２６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ポンプ
２３による吸引を再開させると、パイプ１１内部には液
体は無いのでポンプ２３が空回りをしてしまい、ポンプ
２３が破損してしまう問題が発生する。

【００２７】更に、図５を参照して、ポンプ２３が停止
された場合、フィルタ２から濾過水を取り出すパイプ１
１に於いて、原水６の水面よりも上方に位置するパイプ
１１内部の濾過水の一部は、フィルタ２に逆流すること
になる。この逆流により、フィルタ２内部には内側から
の圧力が作用する。

【００２８】ここで、図７を参照して、フィルタ２は、
薄いポリオレフィン系の高分子膜からなる薄い膜である
第１のフィルタ膜３１，３２と、このフィルタ膜３１，
３２の表面に付着したシリコン屑からなる第２のフィル
タ膜３３から形成されている。従って、パイプ１１内部
の濾過水の逆流により、フィルタ２に内部からの圧力が
作用した場合、第１のフィルタ膜３１，３２の表面に付
着している第２のフィルタ膜３３が剥がれてしまう問題
が発生する。

【００２９】ポンプを停止した度に第２のフィルタ膜が
剥がれてしまうと、ポンプを再開する度に排水を循環さ
せて、第２のフィルタ膜を形成しなければならないの
で、このことにより装置のランニングコストが高くな
る。

【００３０】そこで、本発明では、ポンプ２３を停止し
た際にフィルタの第２のフィルタ膜が第１のフィルタ膜
から剥がれず、尚かつ、ポンプ２３による吸引を再開し
た際にポンプ２３が空回りを起こさない流体の被除去物
除去装置およびその方法を提供するのが目的である。

【００３１】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した問題に
鑑みてなされたもので、本発明の被除去物除去装置は、
被除去物を含む流体内に浸漬されたフィルタと、前記フ
ィルタで前記被除去物を除去した前記流体をパイプを介
して外部に取り出すポンプと、前記パイプと前記ポンプ
との間に、前記被除去物を含む前記流体の液面より下に
位置する液溜パイプとを有することを特徴とする。ここ
で、液溜パイプとはフィルタから流体を取り出すパイプ
の一部である。ポンプを用いてフィルタから流体の取り
出しを行う間は液溜パイプ内部も流体が通過し、ポンプ
が休止している間は液溜パイプ内部に流体が貯留され
る。そして、ポンプを再開したら液溜パイプ内の流体が
ポンプに流入する。

【００３２】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記フィルタは、第１のフィルタ膜と、流体中に含
まれる被除去物の一部または被除去物と異なる固形物か
ら形成されることを特徴とする。ここで、第２のフィル
タ膜は第１のフィルタ膜の表面に付着した被除去物から
形成されるものである。

【００３３】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記第１のフィルタ膜は、袋状であることを特徴と
する。

【００３４】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記パイプは、前記フィルタから前記流体を取り出
す取り出しパイプと、前記取り出しパイプに連続する収
集パイプと、前記収集パイプに連続する液溜パイプと、
前記液溜パイプに連続する合流パイプと、前記合流パイ
プに連続する放出パイプとから形成されることを特徴と
する。ここで、上記した掲げた全てのパイプは連続して
おり、フィルタで濾過した流体をポンプまで輸送する働
きを有する。

【００３５】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記収集パイプは、前記流体の液面よりも上に位置
し、前記フィルタの両端に設置されることを特徴とす
る。ここで、収集パイプはフィルタの整列方向に対して
必ずしも平行である必要はなく、複数個の各フィルタか
ら濾過された流体を取り出す、取り出しパイプが収集パ
イプに接続できるような延在方向であれば良い。

【００３６】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記液溜パイプは、前記液溜パイプは、前記フィル
タの両端に設置されることを特徴とする。

【００３７】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記液溜パイプは、屈折部を有することを特徴とす
る。ここで、液溜パイプは収集パイプで収集された濾過
水を一旦、流体の液面より下に引き込むような屈折部を
有する。

【００３８】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記合流パイプは、前記流体の液面よりも下に位置
し、両端が前記液溜パイプの最下部の中央付近に接続さ
れることを特徴とする。このことにより、両端に位置す
る２つの液溜パイプ内部の流体を合流させることができ
る。

【００３９】更に、本発明の被除去物除去装置に於い
て、前記放出パイプは前記合流パイプの中央付近に接続
し、前記流体の前記液面よりも上部まで延在した後、ポ
ンプに接続することを特徴とする。

【００４０】本発明の被除去物除去方法は、被除去物を
含む流体をタンク内に導入し、前記タンク内の前記流体
内に浸漬されたフィルタに前記流体を通過させ、前記フ
ィルタで前記被除去物を除いた前記流体をポンプにより
タンク外に取り出すことにより、前記被除去物を除去し
た前記流体を前記被除去物を含む流体の液面より下に位
置する液溜パイプを介して、前記被除去物を除いた前記
流体を外部に取り出すことを特徴とする。

【００４１】更に、本発明の被除去物除去方法に於い
て、前記ポンプの吸引力により前記流体を取り出すこと
を特徴とする。

【００４２】

【発明の実施の形態】図１〜図４は、本発明の実施の形
態を説明するものである。また図中、従来例と同一の符
号で示した部分は同一物を表わしており、液体から被除
去物を除去する機構は従来の構造と同様である。従っ
て、本発明の装置およびその方法は上記したので、詳細
な説明は割愛する。

【００４３】最初に、本発明の流体の被除去物除去装置
を、図１〜図３を参照して説明する。

【００４４】本発明の流体の被除去物除去装置は、原水
タンク１に浸漬されたフィルタ２と、フィルタ２で被除
去物を除去した濾過水をパイプを介して原水タンク１の
外部に取り出すポンプ２３と、フィルタ２とポンプ２３
との間に設けられる液溜パイプ４３を設けることを特徴
とする。

【００４５】図１は本発明の流体の被除去物除去装置の
平面図である。図２は図１のＡ−Ａ線における断面図で
ある。図３は図１のＢ−Ｂ線における断面図である。な
お、図３に於いては、１本のパイプがフィルタの周りを
取り囲むように見えるが、実際は液溜パイプ４３はＵ字
形を形成し、合流パイプ４４は液溜パイプ４３の最下部
に接続している。

【００４６】これらの図に於いて、ハッチングが施され
ている部分がパイプであり、パイプは複雑なパスを描く
ため、それぞれの役割に応じて名前が付けてある。

【００４７】つまり、前記パイプは、フィルタ２と収集
パイプをつなぐ取り出しパイプ４１と、フィルタ２の上
方に位置する収集パイプ４２と、収集パイプ４２からフ
ィルタ４の下方に延在される液溜パイプ４３と、液溜パ
イプ４３から放出パイプ４５へ延在する合流パイプ４４
と、合流パイプ４４のセンターに接続された放出パイプ
４５とから形成されており、この順番に濾過水をフィル
タ２からポンプ２３まで輸送している。

【００４８】以下に本発明に於ける、個々のパイプの構
成および働きを説明する。

【００４９】図１を参照して、取り出しパイプ４１は原
水６に浸漬された複数のフィルタ２の全てに接続されて
おり、フィルタ２で濾過した濾過水を取り出す働きを有
する。

【００５０】収集パイプは、複数のフィルタ２の配列方
向に平行に２本設けられ、取り出しパイプから濾過水を
収集する働きを有する。図２を参照して、収集パイプ４
２は原水６の液面よりも上方に位置する。このことによ
り、取り出しパイプ４１と収集パイプ４２の接続部を、
原水６の液面よりも上方に設けることができる。よっ
て、この接続部の着脱を簡易なものにすることによっ
て、フィルタ２の交換が容易になる。

【００５１】液溜パイプ４３については、図１および図
２を参照して説明する。この液溜パイプ４３は各収集パ
イプ４２の両端に接続され、フィルタ２の面と同じ方向
に設けられる。さらに、複数の屈折部を有し、原水６内
部のフィルタ２の下方へ延在することが可能なようにＵ
字形を形成している。このことにより、ポンプ２３が停
止し、空気がパイプ内にリークした場合でも、液溜パイ
プ４３中の濾過水、特に原水面より下方にある濾過水
は、そこに留まることができる。

【００５２】図２に示すように、本発明に於いて液溜パ
イプ４３は、フィルタ２を挟むように延在している収集
パイプに接続するので、Ｕ字形を形成している。しか
し、液溜パイプ４３の形状は必ずしもＵ字形である必要
は無い。その形状は、ポンプ２３が停止した際に、内部
に濾過水が滞留できるような形状であればそれで良い。

【００５３】また、本発明は、液溜パイプ４３に濾過水
を留めるのが目的であり、特に、液溜パイプ４３（特に
Ｕ字形の底）をフィルタ２の下方まで延在させる必要は
無く、フィルタ２の途中となる部分に位置させても良
い。この液溜パイプ４３の屈折部および液溜パイプ７３
内部に滞留する濾過水の作用は後述する。

【００５４】合流パイプ４４については、図１および図
３を参照して説明する。２つの液溜パイプ４３の最下部
に、この合流パイプ４４が接続され、両端に位置する液
溜パイプ４３内部の濾過水は、原水タンク１の中央付近
で合流される。

【００５５】放出パイプ４５については、図１および図
２を参照して説明する。この放出パイプ４５は、合流パ
イプ４４の中央部で接続され、真上に原水６の液面上部
まで延在した後、原水タンク１の外部に位置するポンプ
２３に接続している。そして、濾過水を原水タンク１の
外に放出する働きを有する。

【００５６】以上、説明したように本発明のパイプは、
従来のパイプと比較すると複雑な構造を有している。そ
して、特に特徴とすることは、液溜パイプ４３が原水６
の液面の下方に延在し、複数の屈折部を有していること
である。これらのことによる作用は後述する。

【００５７】次に、本発明の流体の被除去物除去方法を
説明する。

【００５８】本発明の流体の被除去物除去方法は、原水
６を原水タンク１内に導入し、原水タンク１内の原水６
に浸漬されたフィルタ２に原水６を通過させ、フィルタ
２で被除去物を除いた濾過水をポンプ２３の吸引力によ
り原水タンク１外に取り出している。また別の表現をす
れば、濾過水を原水６の液面より下に位置する液溜パイ
プ４３に通過させた後に、原水タンク１の外部に取り出
すことを特徴とする。

【００５９】このことにより本発明では、ポンプ２３を
停止した場合でも液溜パイプ内に濾過水を保有させ、ポ
ンプ２３を再開すると液溜パイプ４３内部の濾過水を最
初にポンプ２３内に流入させることができる。

【００６０】具体的には、図４を参照して説明する。ポ
ンプ２３を停止した場合、原水６の液面よりも上方に位
置する放出パイプ４５の内部の濾過水は、フィルタ２側
に逆流する。従って、放出パイプ４５のポンプ２３から
原水６の液面に到達する部分までの間は、パイプ内部に
濾過水を保有していない状態になっている。尚、図４は
ポンプ２３を停止した場合のパイプ内部の濾過水の様子
を示している。ここで、ハッチングが施してあるパイプ
はその内部に流体を保有していることを意味し、ハッチ
ング無しのパイプはその内部に濾過水を保有していない
ことを意味する。

【００６１】従来に於いては、放出パイプが直接フィル
タに接続している形になっていたため、吸引を再開した
ポンプ２３がパイプ内の空気を吸い込んでしまい、空回
りする問題があった。

【００６２】しかし、本発明に於いては、ポンプ２３が
吸引を再開すると液溜パイプ４３内に保有された濾過水
が最初にポンプ２３に流れ込むのでポンプ２３が空回り
するのを防止することが出来る。

【００６３】また本発明では、以下の現象を防止してい
る。つまり、図４は、ポンプ２３が停止した場合を示
し、ポンプ２３は停止するためパイプ内は、吸引力が無
くなる。よって、原水６の液面より上方に延在している
放出パイプ４５内部の濾過水は、取り出しパイプ４１を
介してフィルタ側に逆流することとなる。

【００６４】従来に於いては、液溜パイプ４３を介さ
ず、濾過水を外部に取り出すパイプがフィルタ２に直接
接続していたので、放出パイプ４５内の濾過水が逆流し
た場合、フィルタ２内部に強い圧力が作用してしまい、
第２のフィルタ膜が剥がれてしまう問題があった。これ
は第２のフィルタが固形物の集合層であるからである。

【００６５】しかしながら、液溜パイプ４３を設けたた
め、放出パイプ４５内部の濾過水がフィルタ２側に逆流
しようとしても、パイプの経路には複数の屈折部が設け
られてあるために、その逆流しようとする力を弱めるこ
とができる。

【００６６】更に、放出パイプ４５内部の濾過水は、合
流パイプ４４，液溜パイプ４３，収集パイプ４２および
取り出しパイプ４１を通過して、フィルタ２に到達す
る。従って、これらのパイプ内壁と逆流する濾過水との
間にある程度の抵抗が発生することにより、更に逆流の
勢いを弱くすることができる。

【００６７】以上のことにより、逆流による圧力は緩和
され、固形物または原水に含まれる被除去物からなる第
２のフィルタ膜が剥がれることが無くなる。

【００６８】特に第２のフィルタは、原水の中に入れら
れた固形物または被除去物を吸引して形成する。この吸
引時間、吸引圧力により、第２のフィルタは、密な層と
なり、しっかりと第１のフィルタに付着するようにな
る。よってこの付着力により前述した剥がれが大きく左
右されるが、放出パイプの中の逆流に耐えうる第２のフ
ィルタが形成されていることになる。

【００６９】仮に、第２のフィルタがこの逆流により破
壊した場合、図５に於いて、循環を繰り返して、第２の
フィルタの再生を行う必要がある。しかし本発明の構造
により、第２のフィルタは、破壊されていないため、即
座に吸引を再開することができる。よってランニングコ
ストを安くすることができる。

【００７０】尚、本発明は、上述の図示例にのみ限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得ることは勿論である。

【００７１】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
以下に示すような優れた効果を奏し得る。

【００７２】第１に、ポンプが停止した際に液溜パイプ
内部に流体を保有させ、ポンプが再開した際に液溜パイ
プ内部の流体を最初にポンプに流入させることによっ
て、吸引を再開したポンプが空回りすることを防止する
ことができる。

【００７３】第２に、フィルタにより被除去物を除去し
た流体をポンプまで輸送するパイプの途中に複数の屈折
部を有する液溜パイプを設け、ポンプが停止してパイプ
内部の流体がフィルタ側に逆流した場合に、逆流する流
体が液溜パイプの屈折部を通過することによってその勢
いを低減させることができる。従って、逆流する流体に
よりフィルタ内部に係る圧力を緩和することができ、被
除去からなる第２のフィルタ膜が剥がれることを防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のパイプの構造を説明する平面図であ
る。

【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ線における断面図であるである。

【図４】本発明のパイプ内における濾過水の様子を説明
した図である。

【図５】本発明および従来の流体の被除去物除去装置の
機構を説明する図である。

【図６】本発明に採用するフィルタの構造を説明する図
である。

【図７】本発明に採用するフィルタの構造を説明する図
である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｄ 37/02 Ｂ０１Ｄ 29/10 ５１０Ａ ５１０Ｅ ５３０Ａ 29/14 Ａ Ｆターム(参考） 4D006 HA93 KA12 KA43 KA67 MA04 MA16 MC22 PA01 PB08 PB15 PB70 PC01 4D066 BB20 CA13 CB17

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被除去物を含む流体内に浸漬されたフィ
   ルタと、 前記フィルタで前記被除去物を除去した前記流体をパイ
   プを介して外部に取り出すポンプと、 前記フィルタと前記ポンプとの間に、前記被除去物を含
   む前記流体の液面より下に位置する液溜パイプとを有す
   ることを特徴とする流体の被除去物除去装置。
2. 【請求項２】 前記フィルタは、第１のフィルタ膜と、
   流体中に含まれる被除去物の一部または被除去物と異な
   る固形物から形成される第２のフィルタ膜から形成され
   ることを特徴とする請求項１記載の流体の被除去物除去
   装置。
3. 【請求項３】 前記第１のフィルタ膜は、袋状であるこ
   とを特徴とする請求項２記載の流体の被除去物除去装
   置。
4. 【請求項４】 前記パイプは、前記フィルタから前記流
   体を取り出す取り出しパイプと、前記取り出しパイプに
   連続する収集パイプと、前記収集パイプに連続する液溜
   パイプと、前記液溜パイプに連続する合流パイプと、前
   記合流パイプに連続する放出パイプとから形成されるこ
   とを特徴とする請求項1記載の流体の被除去物除去装
   置。
5. 【請求項５】 前記収集パイプは、前記流体の液面より
   も上に位置し、前記フィルタの整列方向に対して平行
   で、且つ、両端に設置されることを特徴とする請求項４
   記載の流体の被除去物除去装置。
6. 【請求項６】 前記液溜パイプは、前記フィルタの両端
   に設置されることを特徴とする請求項４記載の流体の被
   除去物除去装置。
7. 【請求項７】 前記液溜パイプは、屈折部を有すること
   を特徴とする請求項６記載の流体の被除去物除去装置。
8. 【請求項８】 前記合流パイプは、前記流体の液面より
   も下に位置し、両端が前記液溜パイプの最下部に接続さ
   れることを特徴とする請求項４記載の流体の被除去物除
   去装置。
9. 【請求項９】 前記放出パイプは前記合流パイプに接続
   し、前記流体の前記液面よりも上部まで延在した後、前
   記ポンプに接続することを特徴とする請求項４記載の流
   体の被除去物除去装置。
10. 【請求項１０】 被除去物を含む流体をタンク内に導入
    し、 前記タンク内の前記流体内に浸漬されたフィルタに前記
    流体を通過させ、 前記フィルタで前記被除去物を除いた前記流体をポンプ
    によりタンク外に取り出すことにより、前記被除去物を
    除去した前記流体を前記被除去物を含む流体の液面より
    下に位置する液溜パイプを介して、前記被除去物を除い
    た前記流体を外部に取り出すことを特徴とする流体の被
    除去物除去方法。
11. 【請求項１１】 前記ポンプの吸引力により前記流体を
    タンク外に取り出すことを特徴とする請求項１０記載の
    流体の被除去物除去方法。