JP2003005079A - Microscopic apparatus - Google Patents

Microscopic apparatus

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JP2003005079A
JP2003005079A JP2001187737A JP2001187737A JP2003005079A JP 2003005079 A JP2003005079 A JP 2003005079A JP 2001187737 A JP2001187737 A JP 2001187737A JP 2001187737 A JP2001187737 A JP 2001187737A JP 2003005079 A JP2003005079 A JP 2003005079A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscopic apparatus of a box type which enables an operator to safely set an observation object. SOLUTION: A casing of the microscopic apparatus which is housed with the respective elements of the microscope in the casing (10a) is formed with an inlet and outlet (10b) for putting at least the segment supporting the observation segment of a supporting base (11a) of a moving stage (11) into and out of the casing. The microscope apparatus is provided with detecting means (10g and 10f) for detecting the presence or absence of foreign matter in the inlet and outlet when the supporting base enters the inside of the casing. Accordingly, if there is a possibility that the foreign material is drawn into the casing, this possibility is previously detected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、結像光学系、観察
光学系、移動ステージなどを筐体内に収容してなる顕微
鏡装置(箱型の顕微鏡装置)に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microscope apparatus (box type microscope apparatus) in which an imaging optical system, an observation optical system, a moving stage and the like are housed in a housing.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、筐体内に、顕微鏡の光学系や機構
などの各要素を収容してなる箱型の顕微鏡装置が提案さ
れた。特開平8−271794号公報や特開平10−3
39845号公報に記載された顕微鏡装置などである。
箱型の顕微鏡装置は、対物レンズの切り替えやステージ
移動など、検鏡に関する駆動部を全て電動化し、また、
顕微鏡の光学系が形成する拡大画像を撮像素子などの画
像取得装置により電子化することで、操作者が各種操作
を全てコンピュータなどの制御装置上で行うことを可能
としている。
2. Description of the Related Art In recent years, a box-type microscope apparatus has been proposed in which various elements such as a microscope optical system and mechanism are housed in a housing. Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-271794 and Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-3
For example, the microscope device described in Japanese Patent No. 39845.
The box-type microscope device has electrified all drive units related to the speculum such as switching of objective lens and stage movement.
By digitizing an enlarged image formed by the optical system of the microscope by an image acquisition device such as an image sensor, the operator can perform all kinds of operations on a control device such as a computer.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ここで、一般に、顕微
鏡の操作者は、これから観察しようとしている観察物
(多くの場合、試料の滴下されたプレパラートであ
る。)を設定する必要がある。観察物の設定とは、対物
レンズに正対する観察位置に、観察物を配置することで
ある。
Here, in general, an operator of a microscope needs to set an observation object (in most cases, a preparation on which a sample is dropped) to be observed. Setting the observation object means arranging the observation object at an observation position facing the objective lens.

【0004】しかし、箱型の顕微鏡装置は、その観察位
置に操作者の手指を届かせることが困難なため、観察物
を筐体の外部から筐体の内部の観察位置にまで引き入れ
るための機構が必要となる。また、その機構を箱型の顕
微鏡装置に装備した場合には、駆動中の機構により操作
者の手指などの異物が誤って筐体の内部にまで引き込ま
れる可能性も生じるため、安全性を確保する工夫が必要
となる。
However, since it is difficult for the operator to reach the observation position of the box-type microscope apparatus, the mechanism for pulling the observation object from the outside of the casing to the observation position inside the casing. Is required. In addition, when the mechanism is installed in a box-type microscope device, foreign objects such as the operator's fingers may be accidentally drawn into the housing due to the mechanism being driven, ensuring safety. It is necessary to devise to do so.

【0005】そこで本発明は、操作者が観察物の設定を
安全に行うことのできる箱型の顕微鏡装置を提供するこ
とを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a box-shaped microscope apparatus which allows an operator to safely set an observation object.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】以下、課題を解決するた
めの手段を、請求項毎に説明する。なお、以下では、括
弧内に、図面に示す要素との対応関係を表す符号を付
す。但し、この符号は、本発明を限定するものではな
い。
Means for solving the problems will be described below for each claim. In the following, the reference numerals that represent the correspondence with the elements shown in the drawings will be given in parentheses. However, this code does not limit the present invention.

【0007】請求項1に記載の顕微鏡装置(10)は、
観察物(10A)を支持する支持台(11a)とその支
持台を移動させる機構(115)とからなる移動ステー
ジ(11)と、前記観察物の像を結像する結像光学系
(15,17)と、前記結像光学系により結像される前
記像を観察するための観察光学系(18)とが筐体(1
0a)内に収容されてなる顕微鏡装置において、前記筐
体には、前記機構により移動する前記支持台のうち少な
くとも前記観察物を支持している部分を、その筐体の内
外へ出入りさせるための出入口(10b)が形成され、
前記支持台が前記筐体の内部に入るときに、前記出入口
における異物の有無を検出する検出手段(10g,10
f)を備えたことを特徴とする。したがって、支持台の
引き込みの際に、筐体の内部に異物が引き込まれる可能
性があれば、それが事前に検知される。
The microscope apparatus (10) according to claim 1 is
A moving stage (11) including a support table (11a) for supporting the observation object (10A) and a mechanism (115) for moving the support table, and an imaging optical system (15, 15) for forming an image of the observation object. 17) and an observing optical system (18) for observing the image formed by the image forming optical system.
0a) in the microscope device, the housing is provided for moving at least a portion of the support table that is moved by the mechanism that supports the observation object in and out of the housing. A doorway (10b) is formed,
Detecting means (10g, 10g) for detecting the presence / absence of foreign matter at the entrance / exit when the support base enters the inside of the housing.
f) is provided. Therefore, when there is a possibility that a foreign matter may be drawn into the inside of the housing when the support base is drawn in, that is detected in advance.

【0008】請求項2に記載の顕微鏡装置は、請求項1
に記載の顕微鏡装置において、前記検出手段は、前記出
入口の近傍に取り付けられた可撓性部材(10f)と、
その可撓性部材の変形に応じて状態の変化するスイッチ
(10g)とからなることを特徴とする。請求項3に記
載の顕微鏡装置は、観察物(10A)を支持する支持台
(10a)とその支持台を移動させる機構(115)と
からなる移動ステージ(11)と、前記観察物の像を結
像する結像光学系(15,17)と、前記結像光学系に
より結像される前記像を観察するための観察光学系(1
8)とが筐体(10a)内に収容されてなる顕微鏡装置
において、前記筐体には、前記機構により移動する前記
支持台のうち少なくとも前記観察物を支持している部分
を、その筐体の内外へ出入りさせるための出入口(10
b)が形成され、前記支持台には、前記観察物に対する
採光のための開口部(11b)と、その支持台が前記筐
体の内部に入るときにその開口部の縁部により異物を引
き込むことを防止する引き込み防止部(21d,31
d,41d)とが形成されていることを特徴とする。し
たがって、支持台の引き込みの際に、一緒に異物が引き
込まれることは回避される。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a microscope apparatus according to the first aspect.
In the microscope apparatus described in the paragraph 1, the detection means includes a flexible member (10f) attached near the entrance and exit,
And a switch (10g) whose state changes according to the deformation of the flexible member. The microscope apparatus according to claim 3 includes a moving stage (11) including a support table (10a) for supporting the observation object (10A) and a mechanism (115) for moving the support table, and an image of the observation object. An image forming optical system (15, 17) for forming an image and an observation optical system (1 for observing the image formed by the image forming optical system.
8) and a housing (10a) housed in a housing, in the housing, at least a portion of the support table moving by the mechanism that supports the observation object is provided in the housing. Entrance (10) for entering and exiting
b) is formed, and an opening (11b) for lighting the observation object is drawn in the support, and a foreign substance is drawn in by the edge of the opening when the support enters the inside of the housing. The pull-in prevention portion (21d, 31
d, 41d) are formed. Therefore, when the support base is retracted, it is possible to prevent the foreign matter from being retracted together.

【0009】請求項4に記載の顕微鏡装置は、請求項3
に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部は、
前記開口部を被覆する透過性部材(21d)からなるこ
とを特徴とする。請求項5に記載の顕微鏡装置は、請求
項3に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部
は、前記開口部から前記支持台の出入側端部までに至る
切り欠き部(31d)からなることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a microscope apparatus according to the third aspect.
In the microscope apparatus according to [1], the pull-in prevention unit is
It is characterized by comprising a transparent member (21d) covering the opening. The microscope apparatus according to a fifth aspect is the microscope apparatus according to the third aspect, wherein the pull-in prevention portion includes a cutout portion (31d) extending from the opening portion to the end of the support base on the inlet / outlet side. Is characterized by.

【0010】請求項6に記載の顕微鏡装置は、請求項3
に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部は、
前記開口部から前記支持台の出入側端部に向けて付与さ
れた外力に応じて、その開口部からその出入側端部まで
に至る前面部を開放する開放部(41d,41a)から
なることを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a microscope apparatus according to the third aspect.
In the microscope apparatus according to [1], the pull-in prevention unit is
It comprises an open part (41d, 41a) that opens a front part from the opening to the exit-side end according to an external force applied from the opening toward the exit-side end of the support base. Is characterized by.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態について説明する。 <第1実施形態>図1、図2、図3、図4、図5、図
6、図7、図8、図9、図10を参照して本発明の第1
実施形態について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. <First Embodiment> A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2, 3, 4, 5, 6, 6, 7, 8 and 9.
An embodiment will be described.

【0012】図1は、本実施形態の顕微鏡システム1の
全体構成図、図2は、顕微鏡システム1を構成する顕微
鏡装置10の鳥瞰図、図3は、顕微鏡装置10の構成図
である。図1に示すように、顕微鏡システム1は、顕微
鏡装置10、ホストコンピュータ50、表示装置60、
キーボード70aやマウス70b等の入力装置70を備
えている。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a microscope system 1 of the present embodiment, FIG. 2 is a bird's-eye view of a microscope device 10 that constitutes the microscope system 1, and FIG. 3 is a configuration diagram of the microscope device 10. As shown in FIG. 1, the microscope system 1 includes a microscope device 10, a host computer 50, a display device 60,
An input device 70 such as a keyboard 70a and a mouse 70b is provided.

【0013】ホストコンピュータ50の内部には、顕微
鏡装置10の制御ボード、CPU、メモリ、及びハード
ディスク等の不揮発性の記憶部などが備えられる。この
ホストコンピュータ50には、例えばGUI(Graphica
l User Interface)などのユーザインタフェースが搭載
されており、操作者は、入力装置70を介して顕微鏡装
置10に対する各種の指示を与えることができる(以
下、GUIが搭載されたとする。)。
Inside the host computer 50, a control board of the microscope apparatus 10, a CPU, a memory, and a non-volatile storage unit such as a hard disk are provided. The host computer 50 includes, for example, a GUI (Graphica).
A user interface such as a user interface) is installed, and the operator can give various instructions to the microscope device 10 via the input device 70 (hereinafter, it is assumed that a GUI is installed).

【0014】顕微鏡装置10は、図2、図3に示すよう
に、箱型の筐体10a内に各要素(符号11,17、1
5,14,16で示すものなど)を収納している。筐体
10a内において、移動ステージ11の支持台11a
(被検物試料10Aを支持する載物台)は、水平(以
下、XY平面とする。)に保たれる。ここで本実施形態
では、この支持台11aの水平面内の所定方向(以下、
X方向とする。)のストローク(最大移動量)は、十分
に長くとられる。その支持台11aのX方向の移動によ
って、被検物試料10Aを、通常の顕微鏡画像読み取り
領域E1(これが通常の観察位置である。)から筐体1
0aの外部へ向けて給送すること、及びその反対に、筐
体10aの外部から顕微鏡画像読み取り領域E1に向け
て給送することが可能である。
As shown in FIGS. 2 and 3, the microscope apparatus 10 includes elements (reference numerals 11, 17, 1) inside a box-shaped casing 10a.
5, 14, and 16) are stored. In the housing 10a, a support 11a for the moving stage 11
(The stage for supporting the sample 10A to be inspected) is kept horizontal (hereinafter referred to as the XY plane). Here, in the present embodiment, a predetermined direction in the horizontal plane of the support 11a (hereinafter,
The X direction. ) Stroke (maximum movement amount) is sufficiently long. By moving the support 11a in the X direction, the specimen sample 10A is moved from the normal microscope image reading area E1 (this is the normal observation position) to the housing 1.
0a, and vice versa, can be fed from the outside of the casing 10a to the microscope image reading area E1.

【0015】因みに、図3に示す給送路の一部に付与さ
れた符号E2は、被検物試料10Aの全体画像を全体画
像読み取り光学系17c及び撮像部18により取得する
ための位置を表している。また、筐体10aにおいて、
支持台11aの給送路に当たる箇所には、その支持台1
1aが筐体10aの内外に出入りできるよう、開閉自在
の挿脱口10bが形成されている。
Incidentally, reference numeral E2 given to a part of the feeding path shown in FIG. 3 represents a position for obtaining the whole image of the sample 10A to be inspected by the whole image reading optical system 17c and the image pickup section 18. ing. In the case 10a,
At a position corresponding to the feeding path of the support base 11a, the support base 1 is
An opening / closing opening 10b is formed so that 1a can move in and out of the housing 10a.

【0016】挿脱口10bは、図3に示すように(詳細
は、後述する図4、図8〜図10を参照のこと)、筐体
10aに形成された開口部10e、その開口部10eを
開閉自在に覆う蓋部10c、蓋部10cを開閉するため
の蝶番10d、筐体10aの内部側に貼付されたフレキ
シブル板10f、フレキシブル板10fの近傍に取り付
けられた異物センサ10gなどからなる。
As shown in FIG. 3, the insertion / removal opening 10b has an opening 10e formed in the housing 10a and an opening 10e formed in the housing 10a as shown in FIG. 4 and FIGS. It includes a lid portion 10c that opens and closes freely, a hinge 10d for opening and closing the lid portion 10c, a flexible plate 10f attached to the inside of the housing 10a, and a foreign matter sensor 10g attached near the flexible plate 10f.

【0017】なお、言うまでもないが、開口部10e
は、支持台11aを筐体10aの内外へ出入りさせるの
に十分な大きさを有している。図4は、筐体10aの内
部から見た挿脱口10bの周辺の拡大図である(X−Z
平面で切断した断面図については、図8〜図10に示し
たとおりである。)。フレキシブル板10fには、筐体
10aに形成された開口部10eと略同型、かつ開口部
10eよりも若干小さい開口部10hが形成されてい
る。この開口部10hのサイズは、支持台11のZ−Y
平面での断面の大きさよりも若干大きく採られる。
Needless to say, the opening 10e
Is large enough to allow the support 11a to move in and out of the housing 10a. FIG. 4 is an enlarged view of the periphery of the insertion / removal opening 10b as seen from inside the housing 10a (XZ.
The sectional views taken along the plane are as shown in FIGS. 8 to 10. ). The flexible plate 10f is provided with an opening 10h having substantially the same shape as the opening 10e formed in the housing 10a and slightly smaller than the opening 10e. The size of the opening 10h is Z-Y of the support base 11.
It is slightly larger than the size of the cross section in the plane.

【0018】フレキシブル板10fは、その開口部10
hの中心を筐体10aの開口部10eの中心に合わせた
状態で、筐体10aの内側面に貼付されている。貼付箇
所は、フレキシブル板10fと筐体10aとが当接する
面全体とするのではなく、開口部10hからなるべく離
れた箇所(フレキシブル板10fの周縁部)とする。こ
れは、フレキシブル板10fに対し、後述する撓みの生
じ得る余裕を持たせるためである。
The flexible plate 10f has an opening 10 formed therein.
It is affixed to the inner surface of the housing 10a with the center of h aligned with the center of the opening 10e of the housing 10a. The sticking place is not the entire surface where the flexible plate 10f and the housing 10a come into contact with each other, but the place (peripheral portion of the flexible plate 10f) as far away as possible from the opening 10h. This is to allow the flexible plate 10f to have a margin in which bending, which will be described later, may occur.

【0019】ここで、フレキシブル板10fは、少なく
とも面に垂直な方向に可撓性を有している可撓性部材
(金属など)である。開口部10hの縁などに筐体10
aの外部から内部の方向への外力が与えられると、フレ
キシブル板10fには撓みが生じる。因みに、前記した
蓋部10c(図3、図8〜図10参照)は、このフレキ
シブル板10fに、蝶番10d(図3、図8〜図10参
照)を介して取り付けられる。また、蓋部10cとフレ
キシブル板10fとの間には、不図示の弾性部材(コイ
ルバネなど)が介在しており、蓋部10cは、その弾性
部材の弾性力によって開口部10eを閉じる方向に付勢
されている。
Here, the flexible plate 10f is a flexible member (metal or the like) having flexibility at least in the direction perpendicular to the surface. The casing 10 is provided on the edge of the opening 10h.
When an external force is applied from the outside to the inside of a, the flexible plate 10f is bent. Incidentally, the lid portion 10c (see FIGS. 3 and 8 to 10) is attached to the flexible plate 10f via a hinge 10d (see FIGS. 3 and 8 to 10). An elastic member (coil spring or the like) not shown is interposed between the lid portion 10c and the flexible plate 10f, and the lid portion 10c is attached in a direction of closing the opening 10e by the elastic force of the elastic member. It is energized.

【0020】ところで、前記したように本実施形態の挿
脱口10bには、このフレキシブル板10fの撓みを検
出する異物センサ10gが取り付けられる。異物センサ
10gは、メカスイッチセンサなどであり、(必要があ
ればL字板などを介して)筐体10a側に固定され、か
つ、その電気接点を、フレキシブル板10fが撓んだと
きにのみONされるような位置に配置している(図8〜
図10参照)。
By the way, as described above, the foreign matter sensor 10g for detecting the bending of the flexible plate 10f is attached to the insertion / removal opening 10b of this embodiment. The foreign matter sensor 10g is a mechanical switch sensor or the like, is fixed to the side of the housing 10a (via an L-shaped plate or the like if necessary), and has its electrical contact only when the flexible plate 10f is bent. It is placed in a position where it is turned on (Fig. 8 ~
(See FIG. 10).

【0021】そして、異物センサ10gの接続状態を示
す出力は、コネクタ19(図3参照)を介してホストコ
ンピュータ50の制御ボードへと接続される。したがっ
て、フレキシブル板10fの撓みを示す信号が、ホスト
コンピュータ50によって検知される。なお、異物セン
サ10gの配置位置については、フレキシブル板10f
が撓んだときにのみOFFされるような位置であっても
よい。その場合には、ホストコンピュータ50は、異物
センサ10gがOFFされたことによって、フレキシブ
ル板10fの撓みを検知する。
The output indicating the connection state of the foreign matter sensor 10g is connected to the control board of the host computer 50 via the connector 19 (see FIG. 3). Therefore, the signal indicating the bending of the flexible plate 10f is detected by the host computer 50. Regarding the arrangement position of the foreign matter sensor 10g, the flexible plate 10f
The position may be such that the switch is turned off only when is bent. In that case, the host computer 50 detects the bending of the flexible plate 10f by turning off the foreign matter sensor 10g.

【0022】図5は、移動ステージ11の支持台11a
の斜視図である。移動ステージ11の支持台11aに
は、被検物試料10Aに対する採光のための開口部11
bが形成される。この開口部11bを覆うようにして、
被検物試料10Aが載置される。なお、挿脱口10bに
形成された異物センサ10gとコネクタ19との間を電
気的に接続するための配線の経路は、図3では、光路を
横切っているかのごとく表されているが、実際には検鏡
の妨げとならないよう適切に選択される。
FIG. 5 shows a support 11a of the moving stage 11.
FIG. The support 11a of the moving stage 11 has an opening 11 for lighting the sample 10A to be inspected.
b is formed. By covering the opening 11b,
The sample 10A to be inspected is placed. The wiring path for electrically connecting the foreign matter sensor 10g formed in the insertion / removal opening 10b and the connector 19 is shown as if it crosses the optical path in FIG. Are properly selected so that they do not interfere with the speculum.

【0023】図6は、ホストコンピュータ50が表示装
置60に表示する操作画面を示す図である。操作画面に
は、被検物試料10Aの画像72、74の他に、操作者
による各種の入力を受け付けるための画像も表示され
る。本実施形態では、この操作画面に、顕微鏡装置10
の筐体10aの内部にある支持台11aを外部に引き出
し、また、筐体10aの外部に引き出された支持台11
aを筐体10aの内部へ引き入れるための試料挿脱釦7
1が配置されている。
FIG. 6 is a diagram showing an operation screen displayed by the host computer 50 on the display device 60. On the operation screen, in addition to the images 72 and 74 of the sample 10A to be inspected, images for receiving various inputs by the operator are also displayed. In the present embodiment, the microscope screen 10 is displayed on this operation screen.
Of the support base 11a inside the housing 10a, and the support base 11 pulled out of the housing 10a.
sample insertion / removal button 7 for pulling a into the housing 10a
1 is arranged.

【0024】また、本実施形態の顕微鏡装置10には、
この試料挿脱釦71と同様の機能を有する釦として、筐
体10aの外側面における挿脱口10bの近傍に、リミ
ットスイッチなどの機械スイッチからなる試料挿脱釦7
8(図1、図2、図3参照)が設けられている。この試
料挿脱釦78の接続状態を示す出力は、コネクタ19
(図3参照)を介してホストコンピュータ50の制御ボ
ードへと接続される。
Further, the microscope apparatus 10 of the present embodiment is provided with
As a button having the same function as the sample insertion / removal button 71, a sample insertion / removal button 7 including a mechanical switch such as a limit switch is provided in the vicinity of the insertion / removal opening 10b on the outer surface of the housing 10a.
8 (see FIGS. 1, 2, and 3) are provided. The output indicating the connection state of the sample insertion / removal button 78 is the connector 19
(See FIG. 3) to the control board of the host computer 50.

【0025】ホストコンピュータ50は、試料挿脱釦7
1が選択されるか、又は試料挿脱釦78が押下される
と、顕微鏡装置10内のアクチュエータ115(移動ス
テージ11を駆動するアクチュエータである。図2、図
3参照。)に指示を出すことにより、支持台11aが筐
体10aの内部にあるときには、その支持台11aを筐
体10aの外部に向けて移動させ、また、支持台11a
が筐体10aの外部にあるときには、その支持台11a
を支持台11aの内部に向けて移動させる。
The host computer 50 uses the sample insertion / removal button 7
When 1 is selected or the sample insertion / ejection button 78 is pressed, an instruction is issued to the actuator 115 (an actuator that drives the moving stage 11; see FIGS. 2 and 3) in the microscope apparatus 10. Thus, when the support base 11a is inside the housing 10a, the support base 11a is moved toward the outside of the housing 10a, and the support base 11a
Is outside the housing 10a, its support 11a
Are moved toward the inside of the support base 11a.

【0026】すなわち、操作者は、操作画面上の試料挿
脱釦71を選択するか、又は、筐体10aの外側面上の
試料挿脱釦78を押下することによって、支持台11a
を筐体10aの内外へ出入りさせることができる。図7
は、顕微鏡装置10の制御プログラムに基づいて動作す
るホストコンピュータ50の動作フローチャートであ
る。なお、この制御プログラムは、ホストコンピュータ
50に予めインストールされている。
That is, the operator selects the sample insertion / removal button 71 on the operation screen or depresses the sample insertion / removal button 78 on the outer surface of the housing 10a, to thereby support the support base 11a.
Can be moved in and out of the housing 10a. Figure 7
3 is an operation flowchart of the host computer 50 that operates based on the control program of the microscope apparatus 10. The control program is installed in the host computer 50 in advance.

【0027】なお、図7では、ホストコンピュータ50
の動作のうち、支持台11aの出し入れに関する処理の
みを記載した。実際には、ホストコンピュータ50は、
この処理の他に、操作画面(図6参照)上で操作者から
与えられる各種の指示に従って、顕微鏡装置10内の各
部を駆動し、検鏡に関する各種の処理を実行する(例え
ば、全体画像や詳細画像を取り込んで表示装置60に表
示したり、顕微鏡装置10の設定内容、すなわち、光源
ランプ16aの駆動電圧、減光フィルタ16bの減光
度、特殊フィルタ16cのフィルタ種類、視野絞り16
dの絞り径、開口絞り16eの絞り径、支持台11aの
X方向の位置及びY方向の位置及びZ方向の位置、観察
倍率などを変更したりする。)。
In FIG. 7, the host computer 50
Among the above operations, only the processing relating to taking in and out of the support base 11a is described. In reality, the host computer 50
In addition to this processing, each unit in the microscope apparatus 10 is driven according to various instructions given by the operator on the operation screen (see FIG. 6), and various processing relating to the speculum is executed (for example, the whole image or A detailed image is captured and displayed on the display device 60, or the setting contents of the microscope device 10, that is, the drive voltage of the light source lamp 16a, the dimming degree of the dimming filter 16b, the filter type of the special filter 16c, and the field stop 16.
The diaphragm diameter of d, the diaphragm diameter of the aperture diaphragm 16e, the X-direction position, the Y-direction position and the Z-direction position of the support 11a, the observation magnification, and the like are changed. ).

【0028】以下、図8〜図10を参照しつつ図7に示
す処理について説明する。先ず、ステップS1が実行さ
れる前には、例えば図8に示すように、支持台11a
は、筐体10aの内部に位置しているとする。この状態
で、ホストコンピュータ50は、試料挿脱釦78が押さ
れた、又は試料挿脱釦71が選択されたことを認識する
と(ステップS1YES、又はステップS2YES)、支持台
11aをX方向に移動させて、例えば図9に示すよう
に、操作者が手指で被検物試料10Aを載置できるよう
な位置まで支持台11aを挿脱口10bの外部に突出さ
せる(ステップS3)。
The processing shown in FIG. 7 will be described below with reference to FIGS. First, before step S1 is executed, as shown in FIG.
Is located inside the housing 10a. In this state, when the host computer 50 recognizes that the sample insertion / ejection button 78 is pressed or the sample insertion / ejection button 71 is selected (step S1YES or step S2YES), the support base 11a is moved in the X direction. Then, as shown in FIG. 9, for example, the support 11a is projected to the outside of the insertion / removal opening 10b to a position where the operator can place the sample 10A to be inspected with his / her fingers (step S3).

【0029】その後、試料挿脱釦78が押された、又
は、試料挿脱釦71が選択されたことを認識すると(ス
テップS4YES、又はステップS5YES)、図10に示す
ように、ホストコンピュータ50は支持台11aをX方
向に移動させて筐体10aの内部へ収納し始める(ステ
ップS6)。ところで、このようにして支持台11aが
筐体10aの内部に引き込まれる際、仮に、被検物試料
10Aが載置されておらず、しかも、支持台11aに形
成された開口部11bに操作者の手指などの異物が掛け
られていた場合には、その異物が筐体10aの内部に一
緒に引き込まれて事故の起きる可能性がある。
After that, when recognizing that the sample insertion / ejection button 78 is pressed or the sample insertion / ejection button 71 is selected (step S4 YES or step S5 YES), the host computer 50, as shown in FIG. The support 11a is moved in the X direction and starts to be stored inside the housing 10a (step S6). By the way, when the support base 11a is pulled into the inside of the housing 10a in this way, it is assumed that the sample 10A to be inspected is not placed on the support base 11a and that the operator does not use the opening 11b formed in the support base 11a. When foreign matter such as the fingers of the person is hung, the foreign matter may be drawn into the housing 10a together and an accident may occur.

【0030】すなわち、顕微鏡用の移動ステージ11に
おいては、被検物試料10Aを高精度に微小移動させる
必要があるために、支持台11aの重量は重くなる傾向
にあり、また、それを移動させるアクチュエータ115
のパワーも大きくなり、操作者が腕力により抵抗するこ
とができないほどである。したがって、例えば、操作者
の手指が引き込まれると、顕微鏡装置10を構成する各
部材から衝撃を受けて怪我をする可能性が高い。また、
同時に、顕微鏡装置10内の光学系や機構が故障する可
能性も高い。
That is, in the moving stage 11 for a microscope, the weight of the support base 11a tends to be heavy because the sample 10A to be inspected needs to be finely moved with high precision, and it is also moved. Actuator 115
The power of the robot also becomes so great that the operator cannot resist it due to his / her physical strength. Therefore, for example, when the operator's finger is pulled in, there is a high possibility of being injured by being impacted by each member constituting the microscope apparatus 10. Also,
At the same time, there is a high possibility that the optical system or mechanism in the microscope apparatus 10 will fail.

【0031】また、仮に、開口部11bに操作者の手指
以外の異物が掛かっていた場合にも、光学系や機構が故
障する可能性はある。そこで、ホストコンピュータ50
は、ステップS6における筐体10aの収納が開始され
ると、異物センサ10gの出力を監視し始める(ステッ
プS7)。そして、異物センサ10gがONされない限
りは、挿脱口10bに異物が存在しないとみなされ(ス
テップS7NO)、支持台11aはそのまま筐体10aの
内部に引き込まれる(ステップS8NO)。
Further, even if foreign matter other than the operator's fingers is caught in the opening 11b, the optical system and mechanism may be broken. Therefore, the host computer 50
When the housing 10a starts to be stored in step S6, the output of the foreign matter sensor 10g starts to be monitored (step S7). Unless the foreign matter sensor 10g is turned on, it is considered that there is no foreign matter in the insertion / removal opening 10b (step S7NO), and the support base 11a is directly drawn into the housing 10a (step S8NO).

【0032】しかし、図10に示すように、支持台11
aが被検物試料10Aを載置しないまま引き込まれ、支
持台11aの開口部11bに操作者の手指又は異物が掛
けられたままこの引き込みが続けられると、その手指又
は異物が挿脱口10bのフレキシブル板10fに当接す
ることとなるので、フレキシブル板10fが撓み、異物
センサ10gがONされる。
However, as shown in FIG.
When a is pulled in without placing the sample 10A to be inspected and the operator's finger or foreign object is hung on the opening portion 11b of the support 11a, the finger or foreign object is removed from the insertion port 10b. Since it comes into contact with the flexible plate 10f, the flexible plate 10f bends and the foreign matter sensor 10g is turned on.

【0033】このようなとき、ホストコンピュータ50
は、異物センサ10gがONされたことを検知し(ステ
ップS7YES)、即座に、例えば図9に示したような安
全な位置まで支持台11aを移動させ(ステップS
9)、その後は、ステップS4に戻り、再び操作者から
支持台11aを内部に引き込む指示がなされるまで待機
する。一方、異物センサ10gがOFFされたまま(ス
テップS7NO)支持台11aの全部が筐体10aの内部
にまで引き込まれたとき(ステップS8YES)には、ス
テップS1に戻り、再び操作者から支持台11aを外部
に引き出す指示がなされるまで待機する。
In such a case, the host computer 50
Detects that the foreign matter sensor 10g is turned on (step S7 YES), and immediately moves the support base 11a to a safe position as shown in FIG. 9 (step S7).
9) After that, the process returns to step S4, and waits again until the operator issues an instruction to pull the support base 11a inside. On the other hand, when the foreign matter sensor 10g is turned off (NO in step S7) and the entire support 11a is retracted into the housing 10a (step S8YES), the process returns to step S1 and the operator again supports the support 11a. Wait until you are instructed to pull out.

【0034】以上説明したように、本実施形態の顕微鏡
システム1では、顕微鏡装置10を構成する筐体10a
に挿脱口10bが形成され、かつ、その挿脱口10bに
は異物の有無を検出する異物センサ10gが取り付けら
れている。したがって、支持台11aが引き込まれる際
に、筐体10aの内部に異物が引き込まれる可能性があ
れば、それが事前に検知される。
As described above, in the microscope system 1 of this embodiment, the housing 10a constituting the microscope apparatus 10 is used.
An insertion / removal opening 10b is formed in the housing, and a foreign matter sensor 10g for detecting the presence / absence of a foreign matter is attached to the insertion / removal opening 10b. Therefore, when there is a possibility that a foreign substance is drawn into the housing 10a when the support base 11a is drawn, it is detected in advance.

【0035】そして、その検知がなされると、即座に支
持台11aの引き込みが停止し、しかも安全な位置にま
で支持台11aが移動する。したがって、支持台11a
の引き込みの際に事故の起きる危険性が回避され、しか
も、即座に操作者が異物を取り除くことが可能となる。
この結果、操作者は、顕微鏡装置10に対する被検物試
料10Aの設定を、安全に行うことができる。
When the detection is made, the pulling of the support base 11a is immediately stopped, and the support base 11a is moved to a safe position. Therefore, the support base 11a
This avoids the risk of an accident during the retraction of the, and allows the operator to immediately remove the foreign material.
As a result, the operator can safely set the specimen sample 10A for the microscope device 10.

【0036】なお、本実施形態において、ホストコンピ
ュータ50(ホストコンピュータ50にインストールさ
れる制御プログラム)を、次のように変更することも可
能である。すなわち、図7のステップS9における手順
を、支持台11aを停止させるものとすると共に、ステ
ップS9の次に実行されるステップを、ステップS1と
する。
In this embodiment, the host computer 50 (control program installed in the host computer 50) can be changed as follows. That is, the procedure in step S9 in FIG. 7 is to stop the support base 11a, and the step executed after step S9 is step S1.

【0037】この場合、支持台11aが安全な位置にま
で自動的に戻ることはないが、少なくとも停止するの
で、事故の起きる可能性は無くなる。また、停止しただ
けでは支持台11aに掛かっていた異物を取り除けなか
ったとしても、操作者が、続いて試料挿脱釦78又は試
料挿脱釦71を選択すれば、支持台11aを安全な位置
にまで戻すこともできるので問題はない。
In this case, the support base 11a does not automatically return to the safe position, but at least it stops, so there is no possibility of an accident. Even if the foreign matter on the support base 11a cannot be removed only by stopping, if the operator subsequently selects the sample insertion / removal button 78 or the sample insertion / removal button 71, the support base 11a can be placed at a safe position. There is no problem because it can be returned to.

【0038】また、本実施形態では、異物センサ10g
としてメカスイッチセンサを用いているが、フレキシブ
ル板10fの撓みを検出できるのであれば、フォトイン
タラプタなど他のセンサを用いてもよい。また、本実施
形態で説明したフレキシブル板10fとしては、十分な
可撓性を有するのであれば、金属の他、ゴム、フィルム
などの如何なる材料からなる部材を使用してもよい。
Further, in the present embodiment, the foreign matter sensor 10g
Although a mechanical switch sensor is used as the above, other sensors such as a photo interrupter may be used as long as the bending of the flexible plate 10f can be detected. Further, as the flexible plate 10f described in the present embodiment, a member made of any material such as rubber, film or the like may be used other than metal as long as it has sufficient flexibility.

【0039】また、本実施形態では、蓋部10cの取り
付け箇所がフレキシブル板10fとされているが、筐体
10aの側としてもよい。その場合には、フレキシブル
板10fに要求される剛性は低くなるので、そのフレキ
シブル板10fの材料を選択する際の自由度が高まるこ
とは言うまでもない。また、本実施形態においては、顕
微鏡装置10を、異物センサ10gの出力に応じて、フ
レキシブル板10fの撓みが検出された場合に警告ブザ
ーの発音や警告灯の点灯などを行う構成とすることもで
きる。
Although the flexible plate 10f is attached to the lid 10c in this embodiment, it may be attached to the housing 10a. In that case, since the rigidity required for the flexible plate 10f is low, it goes without saying that the degree of freedom in selecting the material of the flexible plate 10f is increased. In addition, in the present embodiment, the microscope device 10 may be configured to emit a warning buzzer or turn on a warning light when the bending of the flexible plate 10f is detected according to the output of the foreign matter sensor 10g. it can.

【0040】<第2実施形態>次に、図1、図2、図
3、図7、図11を参照して本発明の第2実施形態につ
いて説明する。ここでは、第1実施形態との相違点につ
いてのみ説明し、同一の部分については説明を省略す
る。
<Second Embodiment> Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2, 3, 7, and 11. Here, only the differences from the first embodiment will be described, and description of the same parts will be omitted.

【0041】本実施形態の顕微鏡システムでは、図1、
図2、図3に示した第1実施形態の顕微鏡システム1と
は異なり、異物センサ10g(第1実施形態では、顕微
鏡装置10の挿脱口10bに設けられていた。)が省か
れる。このため、本実施形態のホストコンピュータが実
行する手順については、図7に示したような、異物セン
サ10gの出力に応じて実行される各ステップ(ステッ
プS7、S8、S9)が省かれる。
In the microscope system of this embodiment, as shown in FIG.
Unlike the microscope system 1 of the first embodiment shown in FIGS. 2 and 3, the foreign matter sensor 10g (in the first embodiment, the foreign matter sensor 10g is provided in the insertion / removal opening 10b of the microscope device 10) is omitted. Therefore, in the procedure executed by the host computer of the present embodiment, each step (steps S7, S8, S9) executed according to the output of the foreign matter sensor 10g as shown in FIG. 7 is omitted.

【0042】その代わり、本実施形態の顕微鏡装置に配
置される移動ステージの支持台は、図11に示すような
支持台21aとなる。図11は、本実施形態の支持台2
1aを説明する図である。図11(a)は、支持台21
aの斜視図、図11(b)は、図11(a)におけるV
−V’線により切断した断面図である。
Instead, the support of the moving stage arranged in the microscope apparatus of this embodiment is a support 21a as shown in FIG. FIG. 11 shows the support base 2 of this embodiment.
It is a figure explaining 1a. FIG. 11A shows a support base 21.
11A is a perspective view and FIG. 11B is V in FIG. 11A.
It is sectional drawing cut | disconnected by the -V 'line.

【0043】本実施形態の支持台21aには、第1実施
形態の支持台11aと同様、採光のための開口部11b
が形成されているが、その開口部11bには、その開口
部11bを被覆する透明ガラス21dが填め込まれてい
る点において、第1実施形態の支持台11aとは異な
る。なお、支持台21aは、筐体10aから引き出され
たり引き込まれたりする際に誤って外れることのないよ
う、その透明ガラス21dを固定している。
The support base 21a of this embodiment has an opening 11b for lighting, similar to the support base 11a of the first embodiment.
However, the opening 11b is different from the support base 11a of the first embodiment in that the transparent glass 21d that covers the opening 11b is filled in the opening 11b. The support 21a has its transparent glass 21d fixed so as not to accidentally come off when it is pulled out or pulled in from the housing 10a.

【0044】支持台21aは、例えば、開口部が形成さ
れた部材21ahと、その開口部と略同様の開口部が形
成された部材21asとからなり、それらの部材21a
h、21asによって透明ガラス21dを両面から峡持
することで、その透明ガラス21dを固定する。このよ
うに、本実施形態の支持台21aは、その開口部11b
が透明ガラス21dにより覆われているので、被検物試
料10Aに対する採光の機能を果たしつつも、支持台2
1aが筐体10aの外部に引き出されているときに、操
作者の手指などの異物を掛けることは無い。
The support base 21a comprises, for example, a member 21ah having an opening formed therein and a member 21as having an opening substantially similar to the opening formed therein.
By holding the transparent glass 21d from both sides by h and 21as, the transparent glass 21d is fixed. As described above, the support base 21a of the present embodiment has the opening 11b.
Since it is covered with the transparent glass 21d, the support base 2 can be used while performing the function of collecting light for the sample 10A to be inspected.
When the 1a is pulled out of the housing 10a, no foreign matter such as fingers of the operator is hung.

【0045】したがって、支持台21aが筐体10aの
内部に引き込まれる際にも、異物がその筐体10aの内
部に一緒に引き込まれる危険は無くなる。なお、本実施
形態では、透明ガラス21dに代えて、透過性を有した
他の部材(プラスチックなど)を使用してもよい。この
部材は、少なくとも、顕微鏡装置に使用される照明光
を、十分な光量で被検物試料10Aに対し採光すること
ができるだけの特性を有していればよい。
Therefore, even when the support base 21a is drawn into the housing 10a, there is no danger of foreign matter being drawn into the housing 10a together. In addition, in the present embodiment, other transparent member (plastic or the like) may be used instead of the transparent glass 21d. It is sufficient that this member has at least the characteristic that illumination light used in the microscope apparatus can be collected by the sufficient amount of light for the sample 10A to be inspected.

【0046】<第3実施形態>次に、図12を参照して
本発明の第3実施形態について説明する。ここでは、第
2実施形態との相違点についてのみ説明し、同一の部分
については説明を省略する。本実施形態の顕微鏡装置に
配置される移動ステージの支持台は、図12に示すよう
な支持台31aである。
<Third Embodiment> Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, only the differences from the second embodiment will be described, and description of the same parts will be omitted. The support base of the moving stage arranged in the microscope apparatus of this embodiment is a support base 31a as shown in FIG.

【0047】図12は、本実施形態の支持台31aを説
明する図である。本実施形態の支持台31aには、第2
実施形態の支持台21aと同様、採光のための開口部1
1bが形成されているが、その開口部11bに透明ガラ
ス21dが埋め込まれる代わりに、その開口部11bか
ら支持台31aの出入側端部(筐体10aの内部に在る
状態で最も挿脱口10bに近い側の端部である。)まで
に至る前面部が、切り欠かれている(切り欠き部31
d)。
FIG. 12 is a view for explaining the support base 31a of this embodiment. The support base 31a of the present embodiment has a second
Similar to the support base 21a of the embodiment, the opening 1 for lighting is provided.
1b is formed, but instead of the transparent glass 21d being embedded in the opening 11b, the entrance / exit end of the support base 31a from the opening 11b (the most insertion / extraction opening 10b in the state of being inside the housing 10a). Is cut out (notch portion 31).
d).

【0048】なお、図12では、この切り欠き部31d
のY方向の幅が、開口部11bのY方向の幅と同じであ
るような支持台31aを示した。このように、切り欠き
部31dが形成されていれば、支持台31aが筐体10
aの外部に引き出されているときに、操作者の手指など
の異物を開口部11bの周縁などに掛けたとしても、支
持台31aが筐体10aの内部に引き込まれる際には、
その異物を、切り欠き部31dを経由して筐体10aの
外部に逃がすことができる。
In FIG. 12, the cutout portion 31d is formed.
The support base 31a has the same width in the Y direction as the width of the opening 11b in the Y direction. In this way, if the cutout portion 31d is formed, the support base 31a is not attached to the housing 10.
Even when a foreign substance such as a finger of the operator is hung on the periphery of the opening 11b or the like while being pulled out of the a, when the support base 31a is pulled into the housing 10a,
The foreign matter can escape to the outside of the housing 10a via the cutout portion 31d.

【0049】したがって、支持台31aが筐体10aの
内部に引き込まれる際にも、異物がその筐体10aの内
部に一緒に引き込まれる危険は回避される。 <第4実施形態>次に、図13、図14を参照して本発
明の第4実施形態について説明する。ここでは、第2実
施形態との相違点についてのみ説明し、同一の部分につ
いては説明を省略する。
Therefore, even when the support base 31a is pulled into the inside of the housing 10a, the risk of foreign matter being pulled into the inside of the housing 10a is avoided. <Fourth Embodiment> Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, only the differences from the second embodiment will be described, and description of the same parts will be omitted.

【0050】本実施形態の顕微鏡装置に配置される移動
ステージの支持台は、図13、図14に示すような支持
台41aである。図13は、本実施形態の支持台41a
の構成を説明する図であり、図14は、本実施形態の動
作を説明する図である。本実施形態の支持台41aに
は、第2実施形態の支持台21aと同様、採光のための
開口部11bが形成されているが、その開口部11bに
透明ガラス21dが埋め込まれる代わりに、開口部11
bから前面部41eに向けて付与された外力に応じて、
その前面部41eを開放するような構造となっている。
The support table of the moving stage arranged in the microscope apparatus of this embodiment is a support table 41a as shown in FIGS. FIG. 13 shows the support base 41a of this embodiment.
14 is a diagram for explaining the configuration of FIG. 14, and FIG. 14 is a diagram for explaining the operation of the present embodiment. Like the support base 21a of the second embodiment, the support base 41a of the present embodiment is provided with an opening 11b for light collection. However, instead of the transparent glass 21d being embedded in the opening 11b, an opening is formed. Part 11
Depending on the external force applied from b toward the front surface portion 41e,
The front surface portion 41e is open.

【0051】例えば、支持台41aは、図13に示すよ
うに、筐体10aの奥側の部分と出入側の部分とが別の
部材からなり、さらに、出入側の部分が、X方向に延び
る中心線によって2つの別の部材からなる(筐体10a
の奥側の部材を部材41ac、出入側の2つの部材を、
それぞれ部材41aL、部材41aRと称す。)。部材
41aL、41aRは、それぞれZ方向に回動軸を有し
た蝶番41dL、41dRを介して回動自在に部材41
acに取り付けられている。
For example, in the support base 41a, as shown in FIG. 13, a rear side portion and a moving-in side portion of the housing 10a are formed of different members, and the moving-in side portion extends in the X direction. It consists of two separate members depending on the centerline (housing 10a
The member on the back side of the member is a member 41ac, and the two members on the entrance and exit sides are
They are referred to as a member 41aL and a member 41aR, respectively. ). The members 41aL and 41aR are rotatably supported by hinges 41dL and 41dR each having a rotation axis in the Z direction.
It is attached to the ac.

【0052】したがって、部材41aL、部材41aR
が、それぞれ蝶番41dL、蝶番41dRの回動軸を中
心として回動すると、前面部41eが開放されたり、閉
鎖されたりする。また、蝶番41dL、蝶番41dRの
それぞれは、スプリング蝶番などからなり、全面部41
eを閉鎖する方向に、部材41aL、41aRのそれぞ
れを付勢している。
Therefore, the member 41aL and the member 41aR
However, when the hinge 41dL and the hinge 41dR are rotated about their respective rotation axes, the front surface portion 41e is opened or closed. Further, each of the hinge 41dL and the hinge 41dR is composed of a spring hinge, etc.
Each of the members 41aL and 41aR is biased in the direction of closing e.

【0053】したがって、支持台41aに外力が加えら
れなければ、図14(a)に示すように、前面部41e
は閉鎖された状態となる。そして、支持台41aが筐体
10aの外部に引き出されているときに、操作者の手指
などを開口部11bの周縁などに掛けたとすると、支持
台41aが筐体10aの内部に引き込まれる際には、そ
の手指によって開口部11bから前面部41eに向けて
力が付与される。
Therefore, if no external force is applied to the support base 41a, as shown in FIG.
Is closed. If the operator's fingers are hung on the peripheral edge of the opening 11b when the support base 41a is pulled out of the housing 10a, when the support base 41a is pulled into the housing 10a. Is applied by the fingers from the opening 11b to the front surface 41e.

【0054】そのとき、支持台41aは、図14(b)
に示すように、その力に応じてその前面部41eを開放
するので、手指を筐体10aの外部に逃がすことができ
る。そして、手指を逃がした後は、前記したように付勢
されている部材41aLと部材41aRとが、図14
(c)に示すように前面部41eを閉鎖する。すなわ
ち、本実施形態によれば、支持台41aが筐体10aの
内部に引き込まれる際にも、手指などがその筐体10a
の内部に一緒に引き込まれて事故の起きる危険は回避さ
れる。
At this time, the support base 41a is shown in FIG.
As shown in, the front surface portion 41e is opened according to the force, so that the fingers can be released to the outside of the housing 10a. After the finger is released, the member 41aL and the member 41aR that are urged as described above are
As shown in (c), the front surface portion 41e is closed. That is, according to the present embodiment, even when the support base 41a is pulled into the inside of the housing 10a, fingers and the like are held in the housing 10a.
The danger of an accident being drawn inside is avoided.

【0055】<その他>前述した第1実施形態の顕微鏡
システムにおいては、第2実施形態〜第4実施形態の何
れかを組み合わせて適用することもできる。このように
組み合わせれば、安全性がより確実に確保される。
<Others> In the microscope system of the first embodiment described above, any of the second to fourth embodiments can be combined and applied. If combined in this way, safety can be ensured more reliably.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
操作者が観察物の設定を安全に行うことのできる箱型の
顕微鏡装置が実現する。
As described above, according to the present invention,
A box-shaped microscope device that enables an operator to safely set an observation object is realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施形態の顕微鏡システム1の全体構成図
である。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a microscope system 1 according to a first embodiment.

【図2】顕微鏡システム1を構成する顕微鏡装置10の
鳥瞰図である。
FIG. 2 is a bird's-eye view of a microscope device 10 that constitutes the microscope system 1.

【図3】顕微鏡装置10の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a microscope device 10.

【図4】筐体10aの内部から見た挿脱口10bの周辺
の拡大図である。
FIG. 4 is an enlarged view of the periphery of an insertion / removal opening 10b as seen from inside the housing 10a.

【図5】移動ステージ11の支持台11aの斜視図であ
る。
5 is a perspective view of a support base 11a of the moving stage 11. FIG.

【図6】ホストコンピュータ50が表示装置60に表示
する操作画面を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an operation screen displayed on the display device 60 by the host computer 50.

【図7】顕微鏡装置10の制御プログラムに基づいて動
作するホストコンピュータ50の動作フローチャートで
ある。
7 is an operation flowchart of a host computer 50 that operates based on a control program of the microscope device 10. FIG.

【図8】第1実施形態の動作を説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating the operation of the first embodiment.

【図9】第1実施形態の動作を説明する図である。FIG. 9 is a diagram illustrating the operation of the first embodiment.

【図10】第1実施形態の動作を説明する図である。FIG. 10 is a diagram illustrating the operation of the first embodiment.

【図11】第2実施形態の支持台21aを説明する図で
ある。
FIG. 11 is a diagram illustrating a support base 21a of the second embodiment.

【図12】第3実施形態の支持台31aを説明する図で
ある。
FIG. 12 is a diagram illustrating a support base 31a according to a third embodiment.

【図13】第4実施形態の支持台41aの構成を説明す
る図である。
FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of a support base 41a according to a fourth embodiment.

【図14】第4実施形態の動作を説明する図である。FIG. 14 is a diagram for explaining the operation of the fourth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 顕微鏡システム 10 顕微鏡装置 50 ホストコンピュータ 60 表示装置 70 入力装置 80 作業ベンチ 10a 筐体 10b 挿脱口 10c 蓋部 10d,41d 蝶番 10e 開口部 10f フレキシブル板 10g 異物センサ 10A 被検物試料 11 移動ステージ 11a,21a,31a,41a 支持台 11b 開口部 21d 透明ガラス 31d 切り欠き部 41e 前面部 15 対物レンズホルダ部 16 透過照明部 16a 光源ランプ 16b 減光フィルタ 16c 特殊フィルタ 16d 視野絞り 16e 開口絞 116b,116c,116d,116e,115,1
11,117 アクチュエータ 126b,126c,126d,126e,125,1
21,127 位置センサ 17 光学系支持部 17a 高倍率の詳細画像観察光学系 17b 低倍率の詳細画像観察光学系 17c 全体画像読み取り光学系 18 撮像部 19 コネクタ E1 顕微鏡画像読み取り領域 E2 全体画像読み取り領域 71,78 試料挿脱釦 72 全体画像 73 カーソル 74 詳細画像 75,76 ラジオ釦 77 スライダ群 77a ランプ調整バー 77b 減光度調整バー 77d 視野絞り調整バー 77e 開口絞り調整バー 77x X位置調整バー 77y Y位置調整バー 77z 焦点調整バー 77f ズーム調整バー
1 Microscope System 10 Microscope Device 50 Host Computer 60 Display Device 70 Input Device 80 Work Bench 10a Housing 10b Insertion / Extraction Port 10c Lids 10d, 41d Hinge 10e Opening 10f Flexible Plate 10g Foreign Material Sensor 10A Specimen Sample 11 Moving Stage 11a, 21a, 31a, 41a Support 11b Opening 21d Transparent glass 31d Notch 41e Front part 15 Objective lens holder 16 Transmission illumination 16a Light source lamp 16b Light reduction filter 16c Special filter 16d Field stop 16e Aperture stop 116b, 116c, 116d , 116e, 115, 1
11,117 Actuators 126b, 126c, 126d, 126e, 125, 1
21, 127 Position sensor 17 Optical system support 17a High-magnification detailed image observation optical system 17b Low-magnification detailed image observation optical system 17c Whole image reading optical system 18 Imaging unit 19 Connector E1 Microscope image reading area E2 Whole image reading area 71 , 78 Sample insertion / removal button 72 Overall image 73 Cursor 74 Detailed image 75, 76 Radio button 77 Slider group 77a Lamp adjustment bar 77b Attenuation adjustment bar 77d Field diaphragm adjustment bar 77e Aperture diaphragm adjustment bar 77x X position adjustment bar 77y Y position adjustment Bar 77z Focus adjustment bar 77f Zoom adjustment bar

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 観察物を支持する支持台とその支持台を
移動させる機構とからなる移動ステージと、 前記観察物の像を結像する結像光学系と、 前記結像光学系により結像される前記像を観察するため
の観察光学系とが筐体内に収容されてなる顕微鏡装置に
おいて、 前記筐体には、前記機構により移動する前記支持台のう
ち少なくとも前記観察物を支持している部分を、その筐
体の内外へ出入りさせるための出入口が形成され、 前記支持台が前記筐体の内部に入るときに、前記出入口
における異物の有無を検出する検出手段を備えたことを
特徴とする顕微鏡装置。
1. A moving stage including a support table for supporting an observation object and a mechanism for moving the support table, an imaging optical system for forming an image of the observation object, and an image formation by the imaging optical system. In a microscope apparatus in which an observation optical system for observing the image is housed in a housing, the housing supports at least the observation object of the support table that is moved by the mechanism. A doorway is formed to allow a part to move in and out of the housing, and when the support enters the housing, a detection unit is provided for detecting the presence or absence of foreign matter in the doorway. Microscope device.
【請求項2】 請求項1に記載の顕微鏡装置において、 前記検出手段は、 前記出入口の近傍に取り付けられた可撓性部材と、その
可撓性部材の変形に応じて状態の変化するスイッチとか
らなることを特徴とする顕微鏡装置。
2. The microscope apparatus according to claim 1, wherein the detection means includes a flexible member attached near the doorway, and a switch whose state changes according to deformation of the flexible member. A microscope device comprising:
【請求項3】 観察物を支持する支持台とその支持台を
移動させる機構とからなる移動ステージと、 前記観察物の像を結像する結像光学系と、 前記結像光学系により結像される前記像を観察するため
の観察光学系とが筐体内に収容されてなる顕微鏡装置に
おいて、 前記筐体には、前記機構により移動する前記支持台のう
ち少なくとも前記観察物を支持している部分を、その筐
体の内外へ出入りさせるための出入口が形成され、 前記支持台には、前記観察物に対する採光のための開口
部と、その支持台が前記筐体の内部に入るときにその開
口部の縁部により異物を引き込むことを防止する引き込
み防止部とが形成されていることを特徴とする顕微鏡装
置。
3. A moving stage including a support table for supporting an observation object and a mechanism for moving the support table, an imaging optical system for forming an image of the observation object, and an image formation by the imaging optical system. In a microscope apparatus in which an observation optical system for observing the image is housed in a housing, the housing supports at least the observation object of the support table that is moved by the mechanism. A port is formed to allow the portion to move in and out of the housing, and the support base has an opening for collecting light for the observation object, and the support base when the support base enters the interior of the housing. A microscope apparatus comprising: a pull-in prevention portion that prevents a foreign substance from being drawn in by an edge portion of the opening.
【請求項4】 請求項3に記載の顕微鏡装置において、 前記引き込み防止部は、 前記開口部を被覆する透過性部材からなることを特徴と
する顕微鏡装置。
4. The microscope apparatus according to claim 3, wherein the pull-in prevention unit is made of a transparent member that covers the opening.
【請求項5】 請求項3に記載の顕微鏡装置において、 前記引き込み防止部は、 前記開口部から前記支持台の出入側端部までに至る切り
欠き部からなることを特徴とする顕微鏡装置。
5. The microscope apparatus according to claim 3, wherein the pull-in prevention unit includes a cutout portion extending from the opening portion to an end of the support base on an inlet / outlet side.
【請求項6】 請求項3に記載の顕微鏡装置において、 前記引き込み防止部は、 前記開口部から前記支持台の出入側端部に向けて付与さ
れた外力に応じて、その開口部からその出入側端部まで
に至る前面部を開放する開放部からなることを特徴とす
る顕微鏡装置。
6. The microscope apparatus according to claim 3, wherein the pull-in prevention unit is configured to move in and out of the opening according to an external force applied from the opening toward an end of a side of the support base. A microscope apparatus comprising an open part that opens a front part up to a side end part.
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