JP2002367545A - Wire-grid type fluorescent character display tube - Google Patents
Wire-grid type fluorescent character display tubeInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本願発明は、ワイヤーグリッ
ド型蛍光表示管に関する。[0001] The present invention relates to a wire grid type fluorescent display tube.
【0002】[0002]
【従来の技術】図を参照して従来のワイヤーグリッド型
蛍光表示管について説明する。図5は、スペーサーを使
用してワイヤーグリッドを空間に張架するタイプの例で
ある。図5(a)は、ワイヤーグリッドを取付けたアノ
ード基板(一部)の平面図、図5(b)は、図5(a)
のX1−X1部分の断面図である。ガラスのアノード基
板51にアノード電極56を形成し、そのアノード電極
56に蛍光体をドット状に塗布して蛍光体層57を形成
してある。陰極用フィラメント(図示せず)とアノード
電極56の間には、陰極用フィラメントから蛍光体層5
7へ放射される電子を制御するワイヤーグリッド54を
張架してあり、ワイヤーグリッド54は、スペーサー5
5により所定の高さに保持されている。そしてワイヤー
グリッド54の両端部541(一方のみ図示)を、アノ
ード基板51と側面板52とで挟持した状態でフリット
ガラス(図示せず)により固着してある。なお53は、
側面板である。2. Description of the Related Art A conventional wire grid type fluorescent display tube will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is an example of a type in which a wire grid is stretched in space using a spacer. FIG. 5A is a plan view of an anode substrate (part) to which a wire grid is attached, and FIG. 5B is a plan view of FIG.
It is sectional drawing of X1-X1 part of. An anode electrode 56 is formed on a glass anode substrate 51, and a phosphor is applied to the anode electrode 56 in a dot shape to form a phosphor layer 57. Between the cathode filament (not shown) and the anode electrode 56, a phosphor layer 5 is provided from the cathode filament.
7, a wire grid 54 for controlling electrons emitted to the wire 7 is stretched.
5 is maintained at a predetermined height. Both ends 541 (only one is shown) of the wire grid 54 are fixed by frit glass (not shown) while being sandwiched between the anode substrate 51 and the side plate 52. 53 is
It is a side plate.
【0003】ワイヤーグリッド54は、フレーム543
を特殊な冶具に固定してタイトに張架し、スペーサー5
5に載せて位置合わせをし、図5(b)のように側面板
52を押し下げて基板51と側面板52との間に挟持し
て固着する。そのためワイヤーグリッド54の取付け作
業は、煩雑になる。ワイヤーグリッド54は、熱膨張に
起因する基板等のクラックの発生を防止するために、そ
の材料として熱膨張係数が基板等のガラスと略同じ42
6合金等を用い、その合金の板をエッチングにより形成
している。またワイヤーグリッド54は、固着後ハーフ
エッチング部542で切断して、フレーム543から切
り離す。切り離されたフレーム543は、廃棄する。そ
のためワイヤーグリッド54は、材料費や加工費が高く
なる。さらに、ワイヤーグリッド54は、空間に張架す
るから、振動や熱膨張に起因するたわみにより、他の電
極等と接触する恐れがあるため、他の電極等に接近して
配置できない。そのためワイヤーグリッド54は、蛍光
表示管の薄型化の障害になっている。またワイヤーグリ
ッド54は、高密度配置が難しいため、蛍光表示管の高
精細表示化が困難である。[0003] The wire grid 54 includes a frame 543.
Is fixed on a special jig and stretched tightly.
5, the positioning is performed, and the side plate 52 is pushed down as shown in FIG. 5B so as to be sandwiched and fixed between the substrate 51 and the side plate 52. Therefore, the work of attaching the wire grid 54 becomes complicated. The wire grid 54 is made of a material having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of glass of the substrate or the like in order to prevent the occurrence of cracks in the substrate or the like due to thermal expansion.
Six alloys or the like are used, and a plate of the alloy is formed by etching. Further, the wire grid 54 is cut at the half-etched portion 542 after fixing, and separated from the frame 543. The separated frame 543 is discarded. Therefore, the material cost and processing cost of the wire grid 54 increase. Further, since the wire grid 54 is stretched in a space, it may be in contact with another electrode or the like due to deflection due to vibration or thermal expansion, and therefore cannot be arranged close to the other electrode or the like. Therefore, the wire grid 54 hinders the thinning of the fluorescent display tube. Further, since it is difficult to arrange the wire grid 54 at high density, it is difficult to display a fluorescent display tube with high definition.
【0004】図5の蛍光表示管の問題点に対処するた
め、図6の蛍光表示管が提案されている。図6(a)
は、ワイヤーグリッドを取付けたアノード基板(一部)
の平面図、図6(b)は、図6(a)のX2−X2部分
の断面図である。アノード基板61にアノード電極6
6、絶縁層65、金属膜のグリッド64を順次積層し、
絶縁層65とグリッド64の開口部651,641内の
アノード電極66に蛍光体層67を形成してある。なお
62,63は、側面板である。グリッド64の高さは、
絶縁層65の高さ(層厚)により決まる。グリッド64
は、絶縁層65に密着しているから、図5におけるワイ
ヤーグリッド64の振動等の問題はない。In order to address the problems of the fluorescent display tube of FIG. 5, a fluorescent display tube of FIG. 6 has been proposed. FIG. 6 (a)
: Anode substrate with wire grid (part)
6B is a cross-sectional view taken along the line X2-X2 in FIG. 6A. The anode electrode 6 is provided on the anode substrate 61.
6, an insulating layer 65 and a grid 64 of a metal film are sequentially laminated,
A phosphor layer 67 is formed on the insulating layer 65 and the anode electrode 66 in the openings 651 and 641 of the grid 64. 62 and 63 are side plates. The height of the grid 64 is
It is determined by the height (layer thickness) of the insulating layer 65. Grid 64
Is in close contact with the insulating layer 65, so that there is no problem such as vibration of the wire grid 64 in FIG.
【0005】蛍光表示管は、グリッドの選択性を高くす
るため、一般にグリッドを蛍光体層よりも高い位置に配
置してある。図6の場合には、蛍光体層67の層厚、例
えば10〜40μmに対し、絶縁層65の層厚を、例え
ば200μm程度に形成して、グリッド64の上面を蛍
光体層67の上面よりも高い位置に配置してある。絶縁
層65は、層厚が200μm程度の場合には、一般にス
クリーン印刷法により形成するが、層厚を200μm程
度にするには、印刷を10回以上繰返さなければならな
いため、絶縁層65の形成に長時間を要する。また絶縁
層65は、蛍光体層67よりも高い位置にあるため、蛍
光体層67は、絶縁層65のチャージの影響を受けて表
示欠けを生じ、表示品質が低下する。[0005] In a fluorescent display tube, the grid is generally arranged at a position higher than the phosphor layer in order to increase the selectivity of the grid. In the case of FIG. 6, the thickness of the insulating layer 65 is formed to be, for example, about 200 μm with respect to the layer thickness of the phosphor layer 67, for example, 10 to 40 μm, and the upper surface of the grid 64 is made higher than the upper surface of the phosphor layer 67. Is also located at a higher position. The insulating layer 65 is generally formed by a screen printing method when the layer thickness is about 200 μm. However, when the layer thickness is about 200 μm, printing must be repeated 10 times or more. Takes a long time. In addition, since the insulating layer 65 is located at a position higher than the phosphor layer 67, the phosphor layer 67 is affected by the charge of the insulating layer 65, causing display chipping and deteriorating display quality.
【0006】そこでそれらの点を改善するため、図7の
構造の蛍光表示管も考えられる。図7は、図6の蛍光表
示管の変形例で、図6(b)に相当する部分の断面図で
ある。図6と同じ符号を用いている。図7の場合、アノ
ード電極66、絶縁層65、グリッド64は、全て薄膜
で形成するが、絶縁層65は薄い(低い)ため、蛍光体
膜67の上面(図示しない陰極用フィラメントから電子
が飛来する側)は、グリッド64よりも高くなる。その
結果、グリッド64の選択性が悪くなる。Therefore, in order to improve these points, a fluorescent display tube having the structure shown in FIG. 7 can be considered. FIG. 7 is a cross-sectional view of a modification of the fluorescent display tube of FIG. 6 and corresponding to FIG. 6B. The same reference numerals as in FIG. 6 are used. In the case of FIG. 7, the anode electrode 66, the insulating layer 65, and the grid 64 are all formed as thin films. However, since the insulating layer 65 is thin (low), electrons fly from the upper surface of the phosphor film 67 (cathode filament not shown). Is higher than the grid 64. As a result, the selectivity of the grid 64 deteriorates.
【0007】また図6、図7の場合、グリッド64は、
絶縁層65にアルミニウム等の金属膜を積層し、その金
属膜をフォトリソ法により所定の形状に加工しなければ
ならないから、工程が複雑になり、加工費が高くなる。In the case of FIGS. 6 and 7, the grid 64 is
Since a metal film such as aluminum is laminated on the insulating layer 65 and the metal film must be processed into a predetermined shape by a photolithography method, the process becomes complicated and the processing cost increases.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】前記した図5、図6、
図7の構造の蛍光表示管の問題点を解決し、安価なワイ
ヤーグリッドを簡単に取付けることができ、グリッドの
選択性が優れ、絶縁層のチャージの影響が小さく、かつ
構造が簡単で、薄型化、高精細表示に適した蛍光表示管
を提供することを目的とする。FIG. 5, FIG. 6, and FIG.
It solves the problems of the fluorescent display tube having the structure shown in FIG. 7 and can easily mount an inexpensive wire grid, has excellent grid selectivity, has little influence of charging of the insulating layer, has a simple structure, and is thin. It is an object of the present invention to provide a fluorescent display tube suitable for high-definition display.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本願発明は、ドット状蛍
光体膜を形成したアノード電極とワイヤーグリッドとが
交差するように配置したワイヤーグリッド型蛍光表示管
において、基板上に形成したアノード電極、該アノード
電極を覆う絶縁膜、該絶縁膜上に固着したワイヤーグリ
ッドから成り、前記絶縁膜はドット状蛍光体膜が突出す
る開口部を有し、ワイヤーグリッドはガラスファイバー
の全周面に導電膜を形成してある。本願発明は、ドット
状蛍光体膜を形成したアノード電極とワイヤーグリッド
とが交差するように配置したワイヤーグリッド型蛍光表
示管において、基板上に形成したアノード電極、ワイヤ
ーグリッドに沿って該基板上に形成したワイヤーグリッ
ドの支持部材、該支持部材上に固着したワイヤーグリッ
ドから成り、ワイヤーグリッドはガラスファイバーの全
周面に導電膜を形成してある。ドット状蛍光体膜を形成
したアノード電極とワイヤーグリッドとが交差するよう
に配置したワイヤーグリッド型蛍光表示管において、ワ
イヤーグリッドはガラスファイバーの片面に導電膜を形
成してあり、該ガラスファイバーが基板上に形成したア
ノード電極と接するように前記ワイヤーグリッドを配置
し固着してある。本願発明は、ドット状蛍光体層を形成
したアノード電極とワイヤーグリッドとが交差するよう
に配置したワイヤーグリッド型蛍光表示管において、ワ
イヤーグリッドは金属線の片面に絶縁膜を形成してあ
り、該絶縁膜が基板上に形成したアノード電極と接する
ように前記ワイヤーグリッドを配置し固着してある。本
願発明は、ドット状蛍光体層を形成したアノード電極と
ワイヤーグリッドとが交差するように配置したワイヤー
グリッド型蛍光表示管において、ワイヤーグリッドは金
属線の片面に酸化膜を形成してあり、該酸化膜が基板上
に形成したアノード電極と接するように前記ワイヤーグ
リッドを配置し固着してある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-like phosphor film is formed and a wire grid intersect with each other. An insulating film covering the anode electrode, a wire grid fixed on the insulating film, the insulating film has an opening through which the dot-shaped phosphor film protrudes, and the wire grid is a conductive film on the entire peripheral surface of the glass fiber. Is formed. The present invention relates to a wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor film is formed and a wire grid are arranged to intersect with each other. It consists of a support member for the formed wire grid and a wire grid fixed on the support member, and the wire grid has a conductive film formed on the entire peripheral surface of the glass fiber. In a wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor film is formed and a wire grid intersect with each other, a wire grid has a conductive film formed on one surface of a glass fiber, and the glass fiber is formed on a substrate. The wire grid is arranged and fixed so as to be in contact with the anode electrode formed above. The present invention provides a wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor layer is formed and a wire grid intersect with each other, wherein the wire grid has an insulating film formed on one surface of a metal wire. The wire grid is arranged and fixed so that the insulating film is in contact with the anode electrode formed on the substrate. The present invention provides a wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor layer is formed and a wire grid intersect with each other, wherein the wire grid has an oxide film formed on one surface of a metal wire. The wire grid is arranged and fixed so that the oxide film is in contact with the anode electrode formed on the substrate.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】図1は、本願発明の第1実施形態
に係るワイヤーグリッド型蛍光表示管のアノード基板
(一部)の平面図と拡大断面図である。図1(a)は、
平面図、図1(b)は、図1(a)のY1−Y1部分の
拡大断面図、図1(c)は、図1(a)のY2−Y2部
分の拡大断面図である。図1において、11はガラスや
セラミック等の絶遠性を有するアノード基板、12,1
3はガラス等の側面板、21はアノード電極、211は
アノード電極のアノード配線部分、22はアノード電極
21に形成したドット状の蛍光体膜、23は絶縁膜(S
iOx,SiN等)、231は開口部、24はワイヤー
グリッド、25はグリッド配線である。アノード電極2
1とワイヤーグリッド24は、直交するように配置して
ある。アノード電極21はアルミニウム、ITO等から
成り、グリッド配線25はアルミニウムから成る。ワイ
ヤーグリッド24は、ガラスファイバー241の全周面
にアルミニウム、銅、ニッケル、ITO等の導電膜24
2を形成してある。FIG. 1 is a plan view and an enlarged sectional view of an anode substrate (part) of a wire grid type fluorescent display tube according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1 (a)
FIG. 1B is an enlarged sectional view of a Y1-Y1 portion of FIG. 1A, and FIG. 1C is an enlarged sectional view of a Y2-Y2 portion of FIG. In FIG. 1, reference numeral 11 denotes an anode substrate having an infinite distance such as glass or ceramic;
3 is a side plate made of glass or the like, 21 is an anode electrode, 211 is an anode wiring portion of the anode electrode, 22 is a dot-like phosphor film formed on the anode electrode 21, and 23 is an insulating film (S
iOx, SiN, etc.), 231 an opening, 24 a wire grid, and 25 a grid wiring. Anode electrode 2
1 and the wire grid 24 are arranged orthogonally. The anode electrode 21 is made of aluminum, ITO, or the like, and the grid wiring 25 is made of aluminum. The wire grid 24 includes a conductive film 24 of aluminum, copper, nickel, ITO, or the like on the entire peripheral surface of the glass fiber 241.
2 is formed.
【0011】基板11にアノード電極21、アノード配
線部分211、グリッド配線25を形成し、それらに絶
縁膜23を積層し形成してある。絶縁膜23の開口部2
31内のアノード電極21に蛍光体膜22を形成してあ
る。ワイヤーグリッド24は、蛍光体膜22と所定の間
隔をおいてアノード電極21と直交(なお90°に限ら
ず交差していればよい)する方向に配置し、フリットガ
ラス等により絶縁膜23に固着してある。ワイヤーグリ
ッド24の導電膜242は、絶縁膜23のスルーホール
232の導電材によりグリッド配線25と電気的に接続
している。導電膜242とグリッド配線25との接続
は、スルーホールに限らず、例えば両者を超音波ワイヤ
ーボンディングにより接続してもよい。An anode electrode 21, an anode wiring portion 211, and a grid wiring 25 are formed on a substrate 11, and an insulating film 23 is laminated thereon. Opening 2 of insulating film 23
A phosphor film 22 is formed on an anode electrode 21 in 31. The wire grid 24 is disposed at a predetermined distance from the phosphor film 22 in a direction orthogonal to the anode electrode 21 (it is not limited to 90 ° and may intersect), and is fixed to the insulating film 23 by frit glass or the like. I have. The conductive film 242 of the wire grid 24 is electrically connected to the grid wiring 25 by the conductive material of the through hole 232 of the insulating film 23. The connection between the conductive film 242 and the grid wiring 25 is not limited to the through hole, and for example, both may be connected by ultrasonic wire bonding.
【0012】アノード電極21、グリッド配線25、絶
縁膜23等は、夫々薄膜から成り、周知の薄膜形成方法
により形成できる。例えば、アノード電極21、グリッ
ド配線25は、スパッタ法により、絶縁膜23は、CV
D法により形成できる。蛍光体膜22は、スラリー法、
スクリーン印刷等により厚膜に形成できる。The anode electrode 21, the grid wiring 25, the insulating film 23, etc. are each formed of a thin film and can be formed by a known thin film forming method. For example, the anode electrode 21 and the grid wiring 25 are formed by sputtering, and the insulating film 23 is formed by CV.
It can be formed by Method D. The phosphor film 22 is formed by a slurry method,
It can be formed into a thick film by screen printing or the like.
【0013】アノード電極21の膜厚は、0.5〜2.
0μm程度、絶縁層23の膜厚は、0.2〜10μm程
度、蛍光体膜22の膜厚は、10〜30μm程度でよ
い。ワイヤーグリッド24の直径は、絶縁膜23と蛍光
体膜22の膜厚により変わるが、ワイヤーグリッド24
の上面(図示しない陰極用フィラメントから電子が飛来
する側)が、蛍光体膜22の上面よりも高くなるよう
に、例えば50μm程度に選定する。蛍光体膜22は、
大きさ150μm×150μmのものを、250μm離
して配置し、ワイヤーグリッド24は、蛍光体膜22と
50μm離して配置してある。ワイヤーグリッド24の
直径が50μmの場合、アノード電極21からワイヤー
グリッド24の上面までの距離は、50μmに絶縁膜2
3の膜厚を加算したものになり、蛍光体膜22の膜厚
(10〜30μm)面よりも大きくなる。したがってワ
イヤーグリッド24の上面は、蛍光体膜22の上面より
も高くなる。The thickness of the anode electrode 21 is 0.5-2.
The thickness of the insulating layer 23 may be about 0.2 to 10 μm, and the thickness of the phosphor film 22 may be about 10 to 30 μm. The diameter of the wire grid 24 varies depending on the thicknesses of the insulating film 23 and the phosphor film 22.
Is selected to be, for example, about 50 μm so that the upper surface (the side from which electrons fly from a cathode filament (not shown)) is higher than the upper surface of the phosphor film 22. The phosphor film 22
One having a size of 150 μm × 150 μm is arranged at a distance of 250 μm, and the wire grid 24 is arranged at a distance of 50 μm from the phosphor film 22. When the diameter of the wire grid 24 is 50 μm, the distance from the anode electrode 21 to the upper surface of the wire grid 24 is 50 μm.
3, which is larger than the thickness (10 to 30 μm) of the phosphor film 22. Therefore, the upper surface of the wire grid 24 is higher than the upper surface of the phosphor film 22.
【0014】本実施の形態のワイヤーグリッド24は、
ガラスファイバーに導電膜を形成したものであるから、
構造が簡単で、安価に製造でき、また特殊の冶具を使う
ことなく、絶縁膜23に直接固着できるから、ワイヤー
グリッドの取付けが極めて簡単になる。またワイヤーグ
リッド24の上面の高さは、ワイヤーグリッド24の直
径によって規定され、従来のように絶縁膜23の高さに
より規定されないから、アノード電極21、グリッド配
線25、絶縁膜23を、夫々薄膜で形成しても、ワイヤ
ーグリッド24は、蛍光体膜22よりも高い位置に配置
できる。したがってワイヤーグリッド24の選択性は高
くなる。また絶縁膜23は、蛍光体膜22よりも低い位
置にあるから、蛍光体膜22は、絶縁膜23のチャージ
による表示欠け等を発生しない。The wire grid 24 of the present embodiment is
Because the conductive film is formed on glass fiber,
Since the structure is simple, it can be manufactured at a low cost, and can be directly fixed to the insulating film 23 without using a special jig, the attachment of the wire grid becomes extremely simple. Since the height of the upper surface of the wire grid 24 is defined by the diameter of the wire grid 24 and is not defined by the height of the insulating film 23 as in the prior art, the anode electrode 21, the grid wiring 25, and the insulating film 23 are each formed of a thin film. , The wire grid 24 can be arranged at a position higher than the phosphor film 22. Therefore, the selectivity of the wire grid 24 increases. Further, since the insulating film 23 is located at a position lower than the phosphor film 22, the phosphor film 22 does not cause display defects or the like due to charging of the insulating film 23.
【0015】本実施の形態のワイヤーグリッドは、その
素材にガラスファイバーを用いているから、熱膨張係数
は、ガラスの基板11等と同じになる。したがって、ワ
イヤーグリッドの熱膨張により、基板11にクラックが
生じたり、基板11が反ったりすることはない。本実施
の形態は、アノード電極21、グリッド配線25、絶縁
膜23を、夫々薄膜で形成できるから、蛍光表示管の薄
型化、高精細表示が可能になる。Since the wire grid of the present embodiment uses glass fiber as its material, its thermal expansion coefficient is the same as that of the glass substrate 11 or the like. Accordingly, the substrate 11 does not crack or warp due to the thermal expansion of the wire grid. In this embodiment, since the anode electrode 21, the grid wiring 25, and the insulating film 23 can be formed as thin films, respectively, the thickness of the fluorescent display tube can be reduced and a high-definition display can be performed.
【0016】本実施の形態は、グリッドの支持部材とし
てアノード基板11の略全面に絶縁膜23を形成する例
について説明したが、ワイヤーグリッド24を配置する
部分にのみ絶縁膜を形成してもよいし、ワイヤーグリッ
ド24に沿って柱状或いは島状の絶縁膜を形成し、それ
らをワイヤーグリッド24の支持部材として使用するこ
ともできる。またワイヤーグリッド24に沿って、かつ
アノード電極間にアノード電極と絶縁を保って(アノー
ド電極と間隔をおいて)導電膜を形成することも可能で
ある。本実施の形態は、ワイヤーグリッド24を絶縁膜
23に直接固着しているが、絶縁膜23等にアルミニウ
ム等の金属膜を形成し、その金属膜にワイヤーグリッド
24を超音波溶接により固着することもできる。また溶
接用のアルミニウム等の金属片を用い、その金属片と前
記金属膜との間にワイヤーグリッド24を挟持し、金属
片を金属膜に超音波溶接することにより固着することも
できる。In this embodiment, an example is described in which the insulating film 23 is formed on substantially the entire surface of the anode substrate 11 as a grid support member. However, the insulating film may be formed only on the portion where the wire grid 24 is arranged. Then, a columnar or island-shaped insulating film may be formed along the wire grid 24 and used as a support member for the wire grid 24. It is also possible to form a conductive film along the wire grid 24 and between the anode electrodes while keeping the anode electrode insulated (at a distance from the anode electrode). In this embodiment, the wire grid 24 is directly fixed to the insulating film 23. However, a metal film such as aluminum is formed on the insulating film 23 and the like, and the wire grid 24 is fixed to the metal film by ultrasonic welding. Can also. Alternatively, it is also possible to use a metal piece such as aluminum for welding, hold the wire grid 24 between the metal piece and the metal film, and fix the metal piece to the metal film by ultrasonic welding.
【0017】図2は、本願発明の第2実施形態に係るワ
イヤーグリッド型蛍光表示管のアノード基板(一部)の
平面図と拡大断面図である。図2(a)は、平面図、図
2(b)は、図2(a)のY3−Y3部分の拡大断面
図、図2(c)は、図2(a)のY4−Y4部分の拡大
断面図である。図2は、図1と同じ部分は、同じ符号を
用いている。図2において、34はワイヤーグリッド、
341はガラスファイバー、342は導電膜である。ア
ノード電極21とワイヤーグリッド34は、直交するよ
うに配置してある。ワイヤーグリッド34は、ガラスフ
ァイバー341のアノード電極21と接触する側の片面
を除いてアルミニウム、ITO等の導電膜342を形成
してある。導電膜342は、導電膜342がアノード電
極21と接触しない範囲で、できるだけ広い範囲に形成
する方がよい。FIG. 2 is a plan view and an enlarged sectional view of an anode substrate (part) of a wire grid type fluorescent display tube according to a second embodiment of the present invention. 2A is a plan view, FIG. 2B is an enlarged sectional view of a Y3-Y3 portion of FIG. 2A, and FIG. 2C is a sectional view of a Y4-Y4 portion of FIG. It is an expanded sectional view. In FIG. 2, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. In FIG. 2, 34 is a wire grid,
341 is a glass fiber, and 342 is a conductive film. The anode electrode 21 and the wire grid 34 are arranged to be orthogonal. The wire grid 34 is formed with a conductive film 342 made of aluminum, ITO, or the like, except for one surface of the glass fiber 341 on the side in contact with the anode electrode 21. It is preferable that the conductive film 342 be formed in a range as wide as possible without the conductive film 342 being in contact with the anode electrode 21.
【0018】ワイヤーグリッド34は、ガラスファイバ
ー341の部分をアノード電極21に直接接触させて配
置し、フリットガラス等により固着してある。ワイヤー
グリッド34の導電膜342は、リード線31によりグ
リッド配線25に電気的に接続してある。リード線31
は、その両端を導電膜342とグリッド配線25に超音
波溶接してある。The wire grid 34 is disposed by directly contacting the glass fiber 341 with the anode electrode 21 and is fixed by frit glass or the like. The conductive film 342 of the wire grid 34 is electrically connected to the grid wiring 25 by the lead wire 31. Lead wire 31
Are ultrasonically welded to the conductive film 342 and the grid wiring 25 at both ends.
【0019】本実施の形態は、ガラスファイバー341
を、アノード電極21とグリッド用導電膜342との間
の絶縁材として使用し、図1の絶縁膜に相当するものを
設けないから、絶縁膜のチャージの影響はなく、かつ蛍
光表示管の構造及び製造工程が簡単になる。その他図1
と同様の効果を奏する。In this embodiment, a glass fiber 341 is used.
Is used as an insulating material between the anode electrode 21 and the conductive film for grid 342, and no equivalent to the insulating film in FIG. 1 is provided. And the manufacturing process is simplified. Other Figure 1
It has the same effect as.
【0020】図1、図2のワイヤーグリッドの導電膜の
形成には、PVD法、蒸着法、スパッタリング法や、ア
ルコキシド等の有機金属材を塗布する方法等が可能であ
るが、図2の場合には、PVD法が好ましい。図3は、
PVD法により図2のワイヤーグリッドの導電膜を形成
する方法を説明する図である。図3(a)は、平面図、
図3(b)は、図3(a)のY5−Y5部分の断面図で
ある。図3は、整列板41にガラスファイバー421を
隙間なく並べ、矢印方向から飛来するアルミニウム等の
金属粒子により、そのガラスファイバー421に導電膜
422を形成する。その際各ガラスファイバー421の
間には隙間がないから、金属粒子がガラスファイバー4
21の整列板41側に被着することはない。したがって
ガラスファイバー421は、金属粒子が飛来する側の略
片面に導電膜422が形成される。1 and 2 can be formed by a PVD method, a vapor deposition method, a sputtering method, or a method of applying an organic metal material such as an alkoxide. Is preferably a PVD method. FIG.
FIG. 3 is a diagram illustrating a method of forming a conductive film of the wire grid of FIG. 2 by a PVD method. FIG. 3A is a plan view,
FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line Y5-Y5 of FIG. In FIG. 3, glass fibers 421 are arranged on the alignment plate 41 without gaps, and a conductive film 422 is formed on the glass fibers 421 by metal particles such as aluminum flying from the arrow direction. At this time, since there is no gap between the glass fibers 421, the metal particles
21 is not attached to the alignment plate 41 side. Therefore, in the glass fiber 421, the conductive film 422 is formed on substantially one surface on the side where the metal particles fly.
【0021】図4は、図1、図2以外の実施の形態に係
るワイヤーグリッドを取付けた蛍光表示管のアノード基
板(一部)の断面図である。図1及び図2と同じ部分
は、同じ符号を用いている。FIG. 4 is a sectional view of an anode substrate (part) of a fluorescent display tube to which a wire grid according to an embodiment other than FIGS. 1 and 2 is attached. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.
【0022】図4(a)は、ワイヤーグリッドにアルミ
ニウム等の金属線を用い、その金属線の一部に絶縁膜を
形成した例で、金属線441のアノード電極21側の片
面に絶縁膜442を形成してある。絶縁膜442は、例
えば、スクリーン印刷法により形成する。絶縁膜442
は、金属線441がアノード電極21と接触しない範囲
で、できるだけ狭い範囲に形成する方がよい。ワイヤー
グリッド44の素材は、金属線であるが、金属線441
とアノード電極21の間には、絶縁膜442が介在する
から、アノード電極21に絶縁層を積層することなく、
ワイヤーグリッド44をアノード電極21に直接固着す
ることができる。したがって蛍光表示管の構造及びワイ
ヤーグリッドの取付けは、簡単になる。なお絶縁膜は、
金属線441の片面に線状に形成してあるが、アノード
電極21との絶縁がとれれば、例えば、島状等に部分的
に形成することも可能である。FIG. 4A shows an example in which a metal wire such as aluminum is used for the wire grid and an insulating film is formed on a part of the metal wire. Is formed. The insulating film 442 is formed by, for example, a screen printing method. Insulating film 442
It is preferable that the metal wire 441 be formed in a range as small as possible without contact with the anode electrode 21. The material of the wire grid 44 is a metal wire.
Since the insulating film 442 is interposed between the anode electrode 21 and the anode electrode 21, the insulating layer 442 is not laminated on the anode electrode 21,
The wire grid 44 can be directly fixed to the anode electrode 21. Therefore, the structure of the fluorescent display tube and the installation of the wire grid are simplified. The insulating film is
The metal wire 441 is linearly formed on one surface, but may be partially formed into, for example, an island shape if insulation from the anode electrode 21 is obtained.
【0023】図4(b)は、ワイヤーグリッドにアルミ
ニウム等の金属線を用い、その金属線の一部に酸化膜を
形成した例で、ワイヤーグリッド45の金属線451の
アノード電極21側の片面に酸化膜452を形成してあ
る。酸化膜452は、例えば陽極酸化法により形成す
る。酸化膜452は、金属線451の非酸化部分がアノ
ード電極21と接触しない範囲で、できるだけ狭い範囲
に形成する方がよい。ワイヤーグリッド45の素材は、
金属線であるが、金属線451の非酸化部分とアノード
電極21の間には、酸化膜452が介在するから、図4
(a)と同様に、アノード電極21に絶縁層を積層する
ことなく、ワイヤーグリッド44をアノード電極21に
直接固着することができる。したがって蛍光表示管の構
造及びワイヤーグリッドの取付けが簡単になる。なお酸
化膜452は、ワイヤーグリッド45に沿った線状でも
よいし、島状等に部分的に形成することも可能である・
図4の場合には、絶縁膜がないから、絶縁膜のチャージ
の影響はない。FIG. 4B shows an example in which a metal wire such as aluminum is used for the wire grid and an oxide film is formed on a part of the metal wire. One side of the metal wire 451 of the wire grid 45 on the anode electrode 21 side is shown. An oxide film 452 is formed on the substrate. The oxide film 452 is formed by, for example, an anodic oxidation method. It is preferable that the oxide film 452 be formed in a range as small as possible within a range where the non-oxidized portion of the metal line 451 does not contact the anode electrode 21. The material of the wire grid 45 is
Although a metal wire is used, an oxide film 452 intervenes between the non-oxidized portion of the metal wire 451 and the anode electrode 21.
As in (a), the wire grid 44 can be directly fixed to the anode electrode 21 without laminating an insulating layer on the anode electrode 21. Therefore, the structure of the fluorescent display tube and the installation of the wire grid are simplified. Note that the oxide film 452 may be linear in shape along the wire grid 45 or partially formed in an island shape or the like.
In the case of FIG. 4, since there is no insulating film, there is no influence of the charge of the insulating film.
【0024】前記各実施の形態は、蛍光体膜と蛍光体膜
との間にワイヤーグリッドを2個設けてあるが1個でも
よい。前記各実施の形態のワイヤーグリッドは、断面形
状が円形のものについて説明したが、円形以外の、例え
ば半円形や多角形等のものであってもよい。In each of the above embodiments, two wire grids are provided between the phosphor films, but may be one. Although the wire grid according to each of the above embodiments has been described as having a circular cross-sectional shape, the wire grid may have a shape other than a circle, such as a semicircle or a polygon.
【0025】前記各実施の形態は、ワイヤーグリッドと
交差する方向に配置した帯状のアノード電極に蛍光体膜
をドット状に形成した例について説明したが、ドット状
蛍光体膜毎に独立したアノード電極を、ワイヤーグリッ
ドと交差する方向に配置したものであってもよい。そこ
で本願発明は、ワイヤーグリッドと交差する方向に配置
した複数個のアノード電極列を含めて、ワイヤーグリッ
ドに交差するアノード電極と呼ぶ。In each of the embodiments described above, the example in which the phosphor film is formed in a dot shape on the strip-shaped anode electrode arranged in the direction intersecting with the wire grid, but the independent anode electrode is provided for each dot-shaped phosphor film. May be arranged in a direction crossing the wire grid. Therefore, in the present invention, an anode electrode intersecting the wire grid is referred to, including a plurality of anode electrode rows arranged in a direction intersecting the wire grid.
【0026】[0026]
【発明の効果】本願発明のワイヤーグリッドは、金属線
又はガラスファイバーを素材にしているから、安価にな
る。またワイヤーグリッドは、特殊な冶具により空間に
張架することなく、絶縁膜やアノード電極等に直接固着
するから、振動やたわみの問題がなく、かつワイヤーグ
リッドの取付けが簡単になる。本願発明は、ワイヤーグ
リッドを部品として別途製造し、その別途製造したもの
を絶縁膜等に取付けるから、従来のアノード基板等に形
成した絶縁層に金属膜を積層し、その金属層をフォトリ
ソ法により所定の形状に加工するものよりも、加工費が
安くなる。The wire grid of the present invention is made of metal wire or glass fiber, so that it is inexpensive. Further, since the wire grid is directly fixed to the insulating film, the anode electrode, or the like without being stretched in a space by a special jig, there is no problem of vibration or bending, and the mounting of the wire grid is simplified. Since the present invention separately manufactures a wire grid as a component and attaches the separately manufactured product to an insulating film or the like, a metal film is laminated on an insulating layer formed on a conventional anode substrate or the like, and the metal layer is formed by a photolithographic method. Processing cost is lower than that of processing into a predetermined shape.
【0027】本願発明は、アノード電極、グリッド配
線、絶縁膜等を薄膜で形成できるから、本願発明のワイ
ヤーグリッドの構造と相俟って、蛍光表示管の薄型化と
高精細表示が可能になる。また絶縁膜は薄膜であって
も、グリッドの上面は、蛍光体膜の上面よりも高い位置
に配置できるから、グリッドの選択性に優れ、表示欠け
のない表示品質の高い蛍光表示管を実現できる。According to the present invention, the anode electrode, the grid wiring, the insulating film and the like can be formed in a thin film. Therefore, in combination with the structure of the wire grid of the present invention, the fluorescent display tube can be made thin and high-definition display can be performed. . Further, even if the insulating film is a thin film, the upper surface of the grid can be arranged at a position higher than the upper surface of the phosphor film, so that a fluorescent display tube with excellent grid selectivity and high display quality without display defects can be realized. .
【0028】本願発明の絶縁膜は、薄膜であるからスク
リーン印刷を何回も繰返す必要がない。したがって絶縁
膜の形成が簡単になり、かつ絶縁膜は、蛍光体膜の上面
よりも低い位置にあるから絶縁膜のチャージの影響が小
さくなる。また本願発明は、ワイヤーグリッドとして、
ガラスファイバーの片面に導電膜を形成するか、或いは
金属線の片面に絶縁膜又は酸化膜を形成したものを用い
て、ワイヤーグリッドをアノード電極に直接固着できる
から、アノード電極に絶縁膜を積層する必要がない。し
たがってこの場合には、チャージの影響はさらに小さく
なる。Since the insulating film of the present invention is a thin film, it is not necessary to repeat screen printing many times. Therefore, the formation of the insulating film is simplified, and the influence of the charging of the insulating film is reduced because the insulating film is located at a position lower than the upper surface of the phosphor film. In addition, the present invention, as a wire grid,
A wire grid can be directly fixed to an anode electrode by using a conductive film formed on one surface of a glass fiber or an insulating film or an oxide film formed on one surface of a metal wire, so that an insulating film is laminated on the anode electrode. No need. Therefore, in this case, the influence of the charge is further reduced.
【0029】[0029]
【図1】本願発明の第1実施形態に係る蛍光表示管のア
ノード基板(一部)の平面図と断面図である。FIG. 1 is a plan view and a sectional view of an anode substrate (part) of a fluorescent display tube according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本願発明の第2実施形態に係る蛍光表示管のア
ノード基板(一部)の平面図と断面図である。FIG. 2 is a plan view and a sectional view of an anode substrate (part) of a fluorescent display tube according to a second embodiment of the present invention.
【図3】本願発明のワイヤーグリッドの絶縁膜の形成方
法を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a method for forming an insulating film of a wire grid according to the present invention.
【図4】図1、図2以外の実施の形態に係るワイヤーグ
リッドを取付けた蛍光表示管のアノード基板(一部)断
面図である。FIG. 4 is a sectional view of an anode substrate (part) of a fluorescent display tube to which a wire grid according to an embodiment other than FIGS. 1 and 2 is attached.
【図5】従来の蛍光表示管のアノード基板(一部)の平
面図と断面図である。FIG. 5 is a plan view and a sectional view of an anode substrate (part) of a conventional fluorescent display tube.
【図6】従来の別の蛍光表示管のアノード基板(一部)
の平面図と断面図である。FIG. 6 shows another conventional anode substrate of a fluorescent display tube (part).
1 is a plan view and a sectional view of FIG.
【図7】図6の蛍光表示管の変形に係る蛍光表示管の断
面図である。7 is a sectional view of a fluorescent display according to a modification of the fluorescent display of FIG. 6;
11 アノード基板 12,13 側面板 21 アノード電極 211 アノード電極の配線部分 22 蛍光体膜 23 絶縁膜 231 開口部 232 スルーホール 24,34,44,45 ワイヤーグリッド 241,421 ガラスファイバー 242,342,422 導電膜 25 グリッド配線 41 整列板 441,451 金属線 442 絶縁膜 452 酸化膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Anode substrate 12, 13 Side plate 21 Anode electrode 211 Wiring part of anode electrode 22 Phosphor film 23 Insulating film 231 Opening 232 Through hole 24, 34, 44, 45 Wire grid 241, 421 Glass fiber 242, 342, 422 Conductivity Film 25 Grid wiring 41 Alignment plate 441, 451 Metal wire 442 Insulating film 452 Oxide film
フロントページの続き (72)発明者 川崎博明 千葉県茂原市大芝629双葉電子工業株式会 社内 Fターム(参考) 5C036 EE14 EF02 EF06 EG15 EG28 EH04 Continued on front page (72) Inventor Hiroaki Kawasaki 629 Futaba Electronics Industry Co., Ltd. Futaba Electronics Industry Co., Ltd. 629 Futaba Electronics Industry Co., Ltd. 5C036 EE14 EF02 EF06 EG15 EG28 EH04
Claims (5)
極とワイヤーグリッドとが交差するように配置したワイ
ヤーグリッド型蛍光表示管において、基板上に形成した
アノード電極、該アノード電極を覆う絶縁膜、該絶縁膜
上に固着したワイヤーグリッドから成り、前記絶縁膜は
ドット状蛍光体膜が突出する開口部を有し、ワイヤーグ
リッドはガラスファイバーの全周面に導電膜を形成して
あることを特徴とするワイヤーグリッド型蛍光表示管。1. A wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor film is formed and a wire grid intersect with each other, wherein an anode electrode formed on a substrate, an insulating film covering the anode electrode, A wire grid fixed on the insulating film, the insulating film has an opening from which the dot-shaped phosphor film protrudes, and the wire grid has a conductive film formed on the entire peripheral surface of the glass fiber. Wire grid type fluorescent display tube.
極とワイヤーグリッドとが交差するように配置したワイ
ヤーグリッド型蛍光表示管において、基板上に形成した
アノード電極、ワイヤーグリッドに沿って該基板上に形
成したワイヤーグリッドの支持部材、該支持部材上に固
着したワイヤーグリッドから成り、ワイヤーグリッドは
ガラスファイバーの全周面に導電膜を形成してあること
を特徴とするワイヤーグリッド型蛍光表示管。2. In a wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor film is formed and a wire grid are arranged to intersect, the anode electrode formed on the substrate and the wire grid A wire grid type fluorescent display tube, comprising: a support member for a wire grid formed as described above; and a wire grid fixed on the support member, wherein the wire grid has a conductive film formed on the entire peripheral surface of the glass fiber.
極とワイヤーグリッドとが交差するように配置したワイ
ヤーグリッド型蛍光表示管において、ワイヤーグリッド
はガラスファイバーの片面に導電膜を形成してあり、該
ガラスファイバーが基板上に形成したアノード電極と接
するように前記ワイヤーグリッドを配置し固着してある
ことを特徴とするワイヤーグリッド型蛍光表示管。3. A wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor film is formed and a wire grid are arranged to intersect, wherein the wire grid has a conductive film formed on one surface of a glass fiber, The wire grid type fluorescent display tube, wherein the wire grid is arranged and fixed so that the glass fiber is in contact with an anode electrode formed on a substrate.
極とワイヤーグリッドとが交差するように配置したワイ
ヤーグリッド型蛍光表示管において、ワイヤーグリッド
は金属線の片面に絶縁膜を形成してあり、該絶縁膜が基
板上に形成したアノード電極と接するように前記ワイヤ
ーグリッドを配置し固着してあることを特徴とするワイ
ヤーグリッド型蛍光表示管。4. A wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor layer is formed and a wire grid are arranged to intersect, wherein the wire grid has an insulating film formed on one surface of a metal wire, The wire grid type fluorescent display tube, wherein the wire grid is arranged and fixed so that the insulating film is in contact with an anode electrode formed on the substrate.
極とワイヤーグリッドとが交差するように配置したワイ
ヤーグリッド型蛍光表示管において、ワイヤーグリッド
は金属線の片面に酸化膜を形成してあり、該酸化膜が基
板上に形成したアノード電極と接するように前記ワイヤ
ーグリッドを配置し固着してあることを特徴とするワイ
ヤーグリッド型蛍光表示管。5. A wire grid type fluorescent display tube in which an anode electrode on which a dot-shaped phosphor layer is formed and a wire grid intersect with each other, wherein the wire grid has an oxide film formed on one surface of a metal wire; The wire grid type fluorescent display tube, wherein the wire grid is arranged and fixed so that the oxide film is in contact with an anode electrode formed on a substrate.
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---|---|---|---|
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