JP2002357622A - Contact probe and ic socket - Google Patents

Contact probe and ic socket

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JP2002357622A
JP2002357622A JP2001165298A JP2001165298A JP2002357622A JP 2002357622 A JP2002357622 A JP 2002357622A JP 2001165298 A JP2001165298 A JP 2001165298A JP 2001165298 A JP2001165298 A JP 2001165298A JP 2002357622 A JP2002357622 A JP 2002357622A
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JP
Japan
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contact
package
probe
spherical
socket
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Japanese (ja)
Inventor
Muneharu Kunioka
宗治 國岡
Satoshi Kaneko
聡 金子
Takuya Tsumoto
卓也 津本
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Yamaichi Electronics Co Ltd
NEC Corp
Original Assignee
Yamaichi Electronics Co Ltd
NEC Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make precise inspection at all times by suppressing damage of spherical bumps and production of solder chips even if an IC package is loaded in a displaced manner. SOLUTION: This contact probe is provided with a contact part press- contacting with the spherical bumps disposed in a grid shape in the bottom of the IC package. This contact probe is so formed that the contact part has multiple pointed projections projecting from the end part of the probe so that the spherical bump is seated inside the respective projections and the tips of the respective projections have blunt shaped by being chamfered.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、パッケージ底面
に多数の球状バンプを有するBGA,CSPなどのIC
パッケージを検査するためのICソケットなどに用いら
れるコンタクトプローブおよび該コンタクトプローブを
備えたICソケットに関し、更に詳しくは該コンタクト
プローブの先端部に配される球状バンプの接触部の形状
の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC such as BGA or CSP having a large number of spherical bumps on the bottom of a package.
The present invention relates to a contact probe used for an IC socket or the like for inspecting a package and an IC socket provided with the contact probe, and more particularly to an improvement in a shape of a contact portion of a spherical bump disposed at a tip portion of the contact probe.

【0002】[0002]

【従来の技術】BGA(Ball Grid Array),CSP(C
hip Size Package)などのICパッケージにおいては、
パッケージの底面に、半田などの低融点金属で形成され
る多数の半球状あるいは球形状の球状バンプをマトリッ
ク状に突設し、これら球状バンプをプリント配線基板の
配線パターンに融着することで、ICパッケージをプリ
ント配線基板に接続する。
2. Description of the Related Art BGA (Ball Grid Array), CSP (C
For IC packages such as hip size package)
On the bottom of the package, a large number of hemispherical or spherical spherical bumps made of low melting point metal such as solder are projected in a matrix shape, and these spherical bumps are fused to the wiring pattern of the printed wiring board, The IC package is connected to the printed wiring board.

【0003】このようなICパッケージを検査する検査
装置に用いられる検査用ICソケットにおいては、図5
に示すように、多数の弾性的に伸縮可能なコンタクトプ
ローブ10を立設している。これらコンタクトプローブ
10の先端側はICパッケージ1の球状バンプ2に対峙
され、コンタクトプローブ10の末端側はプリント配線
基板の配線パターンに対峙されている。これらコンタク
トプローブ10に対し、ICパッケージ1の球状バンプ
2を加圧接触させることで、コンタクトプローブ10を
介してICパッケージ1の球状バンプ2とプリント配線
基板の配線パターンとが導通される。
In an inspection IC socket used in an inspection apparatus for inspecting such an IC package, FIG.
As shown in FIG. 1, a large number of elastically expandable and contractable contact probes 10 are provided. The distal ends of the contact probes 10 face the spherical bumps 2 of the IC package 1, and the distal ends of the contact probes 10 face the wiring pattern of the printed wiring board. When the spherical bumps 2 of the IC package 1 are brought into pressure contact with the contact probes 10, the spherical bumps 2 of the IC package 1 and the wiring patterns of the printed wiring board are conducted through the contact probes 10.

【0004】このようなICソケットに搭載されるコン
タクトプローブ10の先端側に位置する球状バンプ2と
の接触部の形状としては、円管状など各種形状が採用さ
れているが、球状バンプ2の着座の際の安定性、球状バ
ンプ2と多点接触できるなどの面から、図5に示すよう
な複数の尖形突起がプローブ端面から突出された所謂王
冠形状を呈したものが多く採用されている。
Various shapes such as a tubular shape are adopted as the shape of the contact portion with the spherical bump 2 located on the tip side of the contact probe 10 mounted on such an IC socket. In many cases, a plurality of pointed projections projecting from the probe end face so-called a crown shape as shown in FIG. .

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記王
冠形状の接触部を有するコンタクトプローブにおいて
は、ICパッケージ1をICソケットに装填する際に、
ICパッケージ1の位置がずれたとき、図6に示すよう
に、コンタクトプローブ10の先端の尖形突起がICパ
ッケージ1の球状バンプ2に当たって、球状バンプ2を
損傷し、半田屑が発生し、検査に悪影響を与えるという
問題がある。
However, in the contact probe having the crown-shaped contact portion, when the IC package 1 is loaded into the IC socket,
When the position of the IC package 1 is displaced, as shown in FIG. 6, the pointed projection at the tip of the contact probe 10 hits the spherical bump 2 of the IC package 1, damaging the spherical bump 2 and generating solder dust. Has the problem of adversely affecting

【0006】この発明はこのような実情に鑑みてなされ
たもので、ICパッケージが位置ずれして装填されても
球状バンプの損傷、半田屑の発生を無くして常に正確な
検査をなし得るようにしたコンタクトプローブおよびI
Cソケットを提供することを解決課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to always perform an accurate inspection without damage to spherical bumps and generation of solder dust even when an IC package is mounted with a displacement. Contact probe and I
An object is to provide a C socket.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明の一形態では、
ICパッケージの底面に格子状に配列された球状バンプ
に加圧接触する接触部を有するコンタクトプローブにお
いて、前記接触部は、前記球状バンプが各突起の内側で
着座されるようにプローブ端部から突出された複数の尖
形の突起を有し、かつ前記各突起の先端部が面取りされ
ていることを特徴とする。
According to one aspect of the present invention,
In a contact probe having a contact portion that presses and contacts a spherical bump arranged in a lattice on the bottom surface of an IC package, the contact portion protrudes from an end of the probe such that the spherical bump is seated inside each protrusion. A plurality of pointed projections are provided, and the tip of each projection is chamfered.

【0008】この発明では、プローブ端部から突出され
た複数の突起の先端部を面取りして鈍ならせた形状とし
ているので、ICパッケージが位置ずれして装填されて
た場合でも、球状バンプの損傷、半田屑の発生が無くな
る。
According to the present invention, since the tips of the plurality of projections projecting from the probe end are chamfered to have a blunt shape, even if the IC package is misaligned and mounted, the spherical bumps are not removed. Damage and generation of solder dust are eliminated.

【0009】この発明の他の形態では、ICパッケージ
の底面に格子状に配列された球状バンプに加圧接触する
接触部を有するコンタクトプローブを備えたICソケッ
トにおいて、前記コンタクトプローブの接触部は、前記
球状バンプが各突起の内側で着座されるようにプローブ
端部から突出された複数の尖形の突起を有し、かつ前記
各突起の先端部が面取りされていることを特徴とする。
According to another aspect of the present invention, in an IC socket provided with a contact probe having a contact portion that presses into contact with spherical bumps arranged in a grid on the bottom surface of an IC package, the contact portion of the contact probe includes: The present invention is characterized in that the spherical bump has a plurality of pointed projections protruding from the probe end so as to be seated inside each projection, and the tip of each projection is chamfered.

【0010】この発明では、プローブ端部から突出され
た複数の突起の先端部を面取りなどによって鈍ならせた
形状としているので、ICパッケージが位置ずれてIC
ソケットに装填されてた場合でも、球状バンプの損傷、
半田屑の発生が無くなる。
In the present invention, since the tips of the plurality of projections protruding from the end of the probe are made blunt by chamfering or the like, the IC package is displaced and the IC package is displaced.
Damage to spherical bumps, even when loaded in sockets,
The generation of solder waste is eliminated.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を添付
図面にしたがって詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0012】図1は、IC検査用のICソケットの一実
施形態を示すものである。
FIG. 1 shows an embodiment of an IC socket for IC inspection.

【0013】このICソケットは、プリント配線基板上
に搭載されるもので、ソケット本体(絶縁基板)20
と、このソケット本体20に対し上下移動可能に設けら
れたIC位置決め台25とを備えている。ソケット本体
20には、中央部にIC位置決め台25が配置されるた
めの凹部21が形成されている。
This IC socket is mounted on a printed wiring board, and has a socket body (insulating board) 20.
And an IC positioning table 25 provided to be vertically movable with respect to the socket body 20. The socket body 20 is formed with a concave portion 21 in which a IC positioning table 25 is arranged at a central portion.

【0014】位置決め台25は、ソケット本体20との
間に介装されたコイルバネなどのバネ体(図示せず)に
よって上方へ付勢され、通常時(IC未装填のとき)に
はソケット本体20の上面から離間された状態でソケッ
ト本体20に保持されている。位置決め台25には、B
GA、CSPなどのICパッケージ1を装填するための
凹形状のIC載置部26が形成されている。IC載置部
26の底面には、図2に示すように、コンタクトプロー
ブ30の先端側の接触部32が挿入される貫通孔27が
マトリクス状に多数形成されている。
The positioning base 25 is urged upward by a spring body (not shown) such as a coil spring interposed between the positioning base 25 and the socket main body 20 in a normal state (when the IC is not loaded). Are held by the socket body 20 in a state of being separated from the upper surface of the socket. The positioning table 25 has B
A concave IC mounting portion 26 for mounting an IC package 1 such as GA or CSP is formed. As shown in FIG. 2, a large number of through holes 27 into which the contact portions 32 on the tip side of the contact probe 30 are inserted are formed in the bottom surface of the IC mounting portion 26 in a matrix.

【0015】ソケット本体20には、コンタクトプロー
ブ30が多数本マトリクス状に立設されている。
A large number of contact probes 30 are erected on the socket body 20 in a matrix.

【0016】各コンタクトプローブ30は、両端に開口
を有する円筒状のスリーブ31と、このスリーブ31の
両側から突出するようスリーブ31に挿入された接触部
32、33と、スリーブ31内で接触部32,33間に
介在されているばね体(図示せず)とを有している。
Each contact probe 30 has a cylindrical sleeve 31 having openings at both ends, contact portions 32 and 33 inserted into the sleeve 31 so as to protrude from both sides of the sleeve 31, and contact portions 32 in the sleeve 31. , 33 and a spring body (not shown).

【0017】これらコンタクトプローブ30において
は、先端側の接触部32は、図2に示すように、ソケッ
ト本体20の上面から突出可能となっており、また末端
側の接触部32はソケット本体20の底面から突出可能
となっている。
In these contact probes 30, the contact portion 32 on the distal end side can protrude from the upper surface of the socket body 20, as shown in FIG. It can be projected from the bottom.

【0018】ICソケットがプリント配線基板上に載置
されたときには、ソケット本体20の底面から突出され
ているコンタクトプローブ30の末端側の接触部32
は、プリント配線基板上の配線パターンと加圧接触され
る。
When the IC socket is mounted on the printed wiring board, the contact portion 32 on the terminal side of the contact probe 30 protruding from the bottom surface of the socket body 20.
Is brought into pressure contact with a wiring pattern on a printed wiring board.

【0019】また、ICパッケージ1が位置決め台25
のIC載置部26に適正に位置決めされたときには、図
2に示すように、ICパッケージ1の各球状バンプ2と
各コンタクトプローブ30の先端側の接触部32が1対
1に対峙するようになっている。
The IC package 1 is mounted on the positioning table 25.
2, the spherical bumps 2 of the IC package 1 and the contact portions 32 on the distal end sides of the contact probes 30 face one to one, as shown in FIG. Has become.

【0020】そして、検査時には、ICソケットをプリ
ント配線基板上に載置し、かつICパッケージ1を位置
決め台25のIC載置部26に位置決めした状態で、押
圧体(図示せず)を用いてICパッケージ1を位置決め
台25と共に各コンタクトプローブ30のばね体の付勢
力に抗して下方に押し下げる。これにより、位置決め台
25の貫通孔27に嵌挿されているバンプ2は、貫通孔
27に挿入されているコンタクトプローブ30の先端側
の接触部32に接触しつつ接触部32をスリーブ31内
に押し込む。したがって、ICパッケージ1の球状バン
プ2とコンタクトプローブ30の先端側の接触部32と
が加圧接触され、これにより、球状バンプ2から、接触
部32、スリーブ31内のばね体および接触部33を介
してプリント配線基板に至る電気導通路が形成される。
At the time of inspection, a pressing body (not shown) is used with the IC socket mounted on the printed wiring board and the IC package 1 positioned on the IC mounting portion 26 of the positioning table 25. The IC package 1 is pushed down together with the positioning table 25 against the urging force of the spring body of each contact probe 30. As a result, the bump 2 inserted into the through hole 27 of the positioning table 25 contacts the contact portion 32 on the tip end side of the contact probe 30 inserted into the through hole 27 and moves the contact portion 32 into the sleeve 31. Push in. Accordingly, the spherical bump 2 of the IC package 1 and the contact portion 32 on the tip end side of the contact probe 30 are brought into pressure contact with each other, whereby the contact portion 32, the spring body in the sleeve 31 and the contact portion 33 are separated from the spherical bump 2. An electrical conduction path to the printed wiring board is formed through the conductive path.

【0021】ここで、コンタクトプローブ30の先端側
接触部32は、図2および図3に示すように、複数の尖
形突起40がプローブ端面から突出された王冠形状を呈
している。各尖形突起40は、接触部32と同径の外周
面40aと、角すいの側面と同形状をなす2つの内側面
40bとを有している。
Here, as shown in FIGS. 2 and 3, the tip side contact portion 32 of the contact probe 30 has a crown shape in which a plurality of pointed projections 40 are projected from the probe end face. Each pointed projection 40 has an outer peripheral surface 40a having the same diameter as the contact portion 32, and two inner side surfaces 40b having the same shape as the side surface of the corner.

【0022】コンタクトプローブ30の先端側接触部3
2において、ICパッケージ1の球状バンプ2を着座す
るための着座部は、尖形突起40の2つの内側面40b
の交線から成る4つの辺40cによって構成される。す
なわち、球状バンプ2は尖形突起40の内側に形成され
た4つの辺40c上に着座される。
The contact part 3 on the tip side of the contact probe 30
2, the seating portion for seating the spherical bump 2 of the IC package 1 includes two inner surfaces 40 b of the pointed projection 40.
Are formed by four sides 40c formed by the intersection lines of. That is, the spherical bump 2 is seated on the four sides 40 c formed inside the pointed projection 40.

【0023】ここで、各尖形突起40の頂点部は、この
場合平面状の面取り部50となっており、これによりI
Cパッケージ1の球状バンプ2に対する損傷が抑制され
るようにしている。したがって、ICパッケージ1が、
図4に示すように、位置ずれして装填されてた場合で
も、球状バンプ2への損傷が小さくなり、半田屑の発生
を少なくすることができる。
Here, the vertex of each pointed projection 40 is a flat chamfer 50 in this case.
Damage to the spherical bump 2 of the C package 1 is suppressed. Therefore, the IC package 1
As shown in FIG. 4, even when the bumps are loaded with displacement, damage to the spherical bumps 2 is reduced, and the generation of solder dust can be reduced.

【0024】なお、上記尖形突起40の頂点部の形状で
あるが、上記した平面での面取り50に限らず、頂点部
全体を丸くしたR面で面取りするようにしてもよい。要
は、頂点部を鈍ならせて球状バンプ2への損傷を小さく
できるものであれば、任意の形状を採用することができ
る。
The shape of the apex of the pointed projection 40 is not limited to the chamfer 50 in the above-mentioned plane, but the entire apex may be chamfered in a rounded R-plane. The point is that any shape can be adopted as long as the top portion is made dull and damage to the spherical bump 2 can be reduced.

【0025】また、球状バンプ2は三点以上で支持され
るのが好ましいので、尖形突起40は三個以上あるのが
望ましい。
Since the spherical bumps 2 are preferably supported at three or more points, it is desirable that there are three or more pointed projections 40.

【0026】また、上記実施形態では、コンタクトプロ
ーブ30は、スリーブ31の両側の接触部32,33が
スリーブに対し可動としたが、一方の、特にプリント配
線基板側の接触部33をスリーブに対し固定としてもよ
い。
In the above-described embodiment, the contact probe 30 has the contact portions 32 and 33 on both sides of the sleeve 31 movable with respect to the sleeve. It may be fixed.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
プローブ端部から突出された複数の突起の先端部を面取
りして鈍ならせた形状としているので、ICパッケージ
が位置ずれして装填されてた場合でも、球状バンプの損
傷、半田屑の発生を抑制することができ、これによりI
C検査への悪影響も防止される。
As described above, according to the present invention,
Since the tips of the multiple protrusions protruding from the probe end are chamfered and blunted, even if the IC package is misaligned and mounted, damage to the spherical bumps and generation of solder dust will occur. Can be suppressed, so that I
The adverse effect on the C inspection is also prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明にかかるICソケットの実施形態を示
す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an IC socket according to the present invention.

【図2】この発明にかかるコンタクトプローブの要部の
実施形態を示す側面図である。
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of a main part of the contact probe according to the present invention.

【図3】この発明にかかるコンタクトプローブの要部の
実施形態を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an embodiment of a main part of the contact probe according to the present invention.

【図4】この発明にかかるコンタクトプローブとずれて
装填されたICパッケージの球状バンプとの当接状態を
示す側面図である。
FIG. 4 is a side view showing an abutting state of a contact probe according to the present invention with a spherical bump of an IC package mounted shifted.

【図5】従来のコンタクトプローブを示す側面図であ
る。
FIG. 5 is a side view showing a conventional contact probe.

【図6】従来のコンタクトプローブとずれて装填された
ICパッケージの球状バンプとの当接状態を示す側面図
である。
FIG. 6 is a side view showing the state of contact with a spherical bump of an IC package loaded shifted from a conventional contact probe.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ICパッケージ1 2 球状バンプ 10 コンタクトプローブ 20 ソケット本体 21 凹部 25 IC位置決め台 26 IC載置部 27 貫通孔 30 コンタクトプローブ30 31 スリーブ 32 先端側の接触部 33 末端側接触部 40 尖形突起 40a 外周面 40b 内側面 40c 辺 50 面取り部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 IC package 1 2 Spherical bump 10 Contact probe 20 Socket main body 21 Concave part 25 IC positioning stand 26 IC mounting part 27 Through hole 30 Contact probe 30 31 Sleeve 32 Tip side contact part 33 Terminal side contact part 40 Pointed projection 40a Outer perimeter Surface 40b Inner surface 40c Side 50 Chamfer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 聡 東京都港区芝五丁目7−1 日本電気株式 会社内 (72)発明者 津本 卓也 東京都港区芝五丁目7−1 日本電気株式 会社内 Fターム(参考) 2G003 AA07 AG01 AG12 2G011 AA15 AA21 AB01 AC13 AC14 AE22 AF02 5E024 CB05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Satoshi Kaneko 5-7-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation (72) Inventor Takuya Tsumoto 5-7-1 Shiba 5-minute, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation F term (for reference) 2G003 AA07 AG01 AG12 2G011 AA15 AA21 AB01 AC13 AC14 AE22 AF02 5E024 CB05

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ICパッケージの底面に格子状に配列さ
れた球状バンプに加圧接触する接触部を有するコンタク
トプローブにおいて、前記接触部は、 前記球状バンプが各突起の内側で着座されるようにプロ
ーブ端部から突出された複数の尖形の突起を有し、 かつ前記各突起の先端部が面取りされていることを特徴
とするコンタクトプローブ。
1. A contact probe having a contact portion that presses and contacts spherical bumps arranged in a grid on a bottom surface of an IC package, wherein the contact portion is configured such that the spherical bump is seated inside each protrusion. A contact probe comprising a plurality of pointed projections protruding from an end of a probe, and a tip of each of the projections is chamfered.
【請求項2】 ICパッケージの底面に格子状に配列さ
れた球状バンプに加圧接触する接触部を有するコンタク
トプローブを備えたICソケットにおいて、 前記コンタクトプローブの接触部は、 前記球状バンプが各突起の内側で着座されるようにプロ
ーブ端部から突出された複数の尖形の突起を有し、 かつ前記各突起の先端部が面取りされていることを特徴
とするICソケット。
2. An IC socket provided with a contact probe having a contact portion that presses and contacts a spherical bump arranged in a grid on the bottom surface of an IC package, wherein the contact portion of the contact probe is formed by a protrusion. An IC socket comprising: a plurality of pointed projections protruding from an end of a probe so as to be seated inside the probe; and a tip of each of the projections is chamfered.
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