JP2002357538A - Plasmon sensor device - Google Patents

Plasmon sensor device

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JP2002357538A
JP2002357538A JP2001163746A JP2001163746A JP2002357538A JP 2002357538 A JP2002357538 A JP 2002357538A JP 2001163746 A JP2001163746 A JP 2001163746A JP 2001163746 A JP2001163746 A JP 2001163746A JP 2002357538 A JP2002357538 A JP 2002357538A
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JP
Japan
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optical fiber
light
sensor
plasmon
plate
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Application number
JP2001163746A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Uchiyama
兼一 内山
Tomomi Okamoto
智美 岡本
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Suzuki Motor Corp
Original Assignee
Suzuki Motor Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately measure a refractive index with a simple constitution and to realize reductions in size and cost. SOLUTION: A plasmon sensor device 10 comprises a sensor plate 13 connected to an incident optical fiber 11 and an emitting optical fiber 12, and thin films 13A and 13B provided on a pair of opposed both surfaces of the plate 13 to excite a surface plasmon. Thus, a light P for exciting the surface plasmon is incident from the fiber 11 and is irradiated from the fiber 12 through the plate 13. The plate 13 is made of a transparent plate. The fibers 11 and 12 are each a multi-mode optical fiber. The device 10 further comprises a polarizing film 14 provided between the fiber 11 and the plate 13.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、気体や液体の屈折
率を測定するための光学部品としてのプラズモンセンサ
装置に関する。
The present invention relates to a plasmon sensor device as an optical component for measuring the refractive index of a gas or liquid.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、被測定物質(以下「サンプル」と
いう。)の屈折率を測定する技術として、臨界角を測定
する技術、表面プラズモン(Kretschmann型)による技
術、表面プラズモン(光ファイバ型)による技術等が知
られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a technique for measuring the refractive index of a substance to be measured (hereinafter referred to as a "sample"), a technique for measuring a critical angle, a technique using surface plasmons (Kretschmann type), and a surface plasmon (optical fiber type) Are known.

【0003】臨界角を測定する技術は、発光素子、プリ
ズム及び受光素子により構成される光学部品を用い、プ
リズムとプリズムに接するサンプルとの境界で光が全反
射する臨界角を測定することにより、サンプルの屈折率
を求めるものである。
A technique for measuring the critical angle is to measure the critical angle at which light is totally reflected at the boundary between the prism and the sample in contact with the prism by using an optical component including a light emitting element, a prism, and a light receiving element. This is for determining the refractive index of the sample.

【0004】表面プラズモン(Kretschmann型)による
技術は、発光素子、プリズム及び受光素子により構成さ
れる光学部品を用い、共振角を求めることにより、サン
プルの屈折率を求めるものである。
The technique based on surface plasmon (Kretschmann type) is to obtain a refractive index of a sample by obtaining a resonance angle using an optical component including a light emitting element, a prism and a light receiving element.

【0005】表面プラズモン(光ファイバ型)による技
術は、光ファイバのコアを剥き出しにしてそのコアに金
を蒸着するとともに、光ファイバの先端を研磨加工して
その先端に銀を蒸着した光学部品を用い、光ファイバへ
入れる光と光ファイバから出てきた光とをビームスプリ
ッタによって分離し、光ファイバから出てきた光を分光
器にかけて得られたスペクトルにより、サンプルの屈折
率を求めるものである。
[0005] In the technology using surface plasmon (optical fiber type), an optical component in which a core of an optical fiber is exposed and gold is deposited on the core, and a tip of the optical fiber is polished to deposit silver on the tip. In this method, the light entering the optical fiber and the light coming out of the optical fiber are separated by a beam splitter, and the refractive index of the sample is obtained from the spectrum obtained by passing the light coming out of the optical fiber through a spectroscope.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来技術には、次のような問題があった。
However, the above-mentioned prior art has the following problems.

【0007】臨界角を測定する技術では、発光素子、プ
リズム及び受光素子の位置関係に高い精度が要求される
とともに、構造上ある程度の大きさが必要である。その
ため、製造コスト低減及び小型化が困難であった。
In the technique for measuring the critical angle, the positional relationship between the light-emitting element, the prism, and the light-receiving element is required to have high precision, and a certain size is required in terms of structure. Therefore, it has been difficult to reduce the manufacturing cost and reduce the size.

【0008】表面プラズモン(Kretschmann型)による
技術では、発光素子、プリズム及び受光素子の位置関係
に高い精度が要求されるとともに、構造上ある程度の大
きさが必要である。そのため、製造コスト低減及び小型
化が困難であった。これに加え、共振角を求めるために
高価な演算用マイクロコンピュータが必要であった。安
価な制御用マイクロコンピュータでは、計算能力が足り
ないからである。
In the technique using surface plasmons (Kretschmann type), a high precision is required for the positional relationship between the light emitting element, the prism, and the light receiving element, and a certain size is required in terms of structure. Therefore, it has been difficult to reduce the manufacturing cost and reduce the size. In addition, an expensive microcomputer for calculation was required to determine the resonance angle. This is because an inexpensive microcomputer for control does not have sufficient computing power.

【0009】表面プラズモン(光ファイバ型)による技
術では、光ファイバを用いたことにより、ある程度の小
型化を達成している。しかし、光ファイバに微細な加工
を施さなければならないので、かなりの製造コストを要
する。これに加え、ビームスプリッタ、分光器、演算用
マイクロコンピュータ等も必要であるので、極めて高価
なものになっていた。
In the technology based on surface plasmon (optical fiber type), a certain degree of miniaturization has been achieved by using an optical fiber. However, since the optical fiber must be finely processed, a considerable manufacturing cost is required. In addition to this, a beam splitter, a spectroscope, a microcomputer for calculation, and the like are required, so that it has been extremely expensive.

【0010】[0010]

【発明の目的】そこで、本発明の目的は、簡素な構成で
ありながら屈折率を正確に測定でき、これにより小型化
及び低価格化を実現したプラズモンセンサ装置を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a plasmon sensor device which can accurately measure a refractive index with a simple structure, thereby realizing miniaturization and low cost.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】請求項1記載のプラズモ
ンセンサ装置は、入射用光ファイバと出射用光ファイバ
との間にセンサプレートが接続され、このセンサプレー
トの少なくとも一部に表面プラズモン励起用の薄膜が設
けられ、表面プラズモン励起用の光が入射用光ファイバ
から入射しセンサプレートを通って出射用光ファイバか
ら出射するものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a plasmon sensor device, wherein a sensor plate is connected between an input optical fiber and an output optical fiber, and at least a part of the sensor plate is used for exciting surface plasmons. The light for exciting the surface plasmon enters from the input optical fiber, passes through the sensor plate, and exits from the output optical fiber.

【0012】表面プラズモン励起用の光は、入射用光フ
ァイバから導かれ、センサプレートを全反射を繰り返し
ながら伝搬し、出射用光ファイバから出てくる。光がセ
ンサプレート内を伝搬する際に、薄膜上に表面プラズモ
ンと呼ばれる電子の疎密波を励起するため、光のエネル
ギ一が減衰する。このときの減衰量は、薄膜と接するサ
ンプルの屈析率と相関を持っている。したがって、光の
透過光量を測定することにより、サンプルの屈折率を知
ることができる。また、光ファイバに対する微細な加
工、ビームスプリッタ、分光器、演算用マイクロコンピ
ュータ等も不要であるので、簡素な構成でありながら屈
折率を正確に測定できる。
The light for exciting the surface plasmon is guided from the optical fiber for incidence, propagates through the sensor plate while repeating total reflection, and emerges from the optical fiber for emission. When light propagates through the sensor plate, it excites compressional waves of electrons called surface plasmons on the thin film, so that the energy of the light is attenuated. The attenuation at this time has a correlation with the refraction rate of the sample in contact with the thin film. Therefore, the refractive index of the sample can be known by measuring the amount of transmitted light. In addition, since fine processing of the optical fiber, a beam splitter, a spectroscope, and a microcomputer for calculation are not required, the refractive index can be accurately measured with a simple configuration.

【0013】請求項2記載のプラズモンセンサ装置は、
第一及び第二の入射用光ファイバと第一及び第二の出射
用光ファイバとの間にセンサプレートが接続され、この
センサプレートの少なくとも一部に表面プラズモン励起
用の薄膜が設けられ、第一の表面プラズモン励起用の光
が第一の入射用光ファイバから入射しセンサプレートを
通って第一の出射用光ファイバから出射し、第二の表面
プラズモン励起用の光が第二の入射用光ファイバから入
射しセンサプレートを通って第二の出射用光ファイバか
ら出射するものである。そして、第一の表面プラズモン
励起用の光は、薄膜に接する被測定物質の屈折率の増加
に応じて透過光量が増加する性質を有する。これとは逆
に、第二の表面プラズモン励起用の光は、薄膜に接する
被測定物質の屈折率の増加に応じて透過光量が減少する
性質を有する。
[0013] The plasmon sensor device according to claim 2 is
A sensor plate is connected between the first and second input optical fibers and the first and second output optical fibers, and a thin film for surface plasmon excitation is provided on at least a part of the sensor plate. One surface plasmon excitation light enters from the first incident optical fiber, passes through the sensor plate and exits from the first exit optical fiber, and the second surface plasmon excitation light enters the second incidence optical fiber. The light enters from the optical fiber, passes through the sensor plate, and exits from the second exiting optical fiber. The first surface plasmon excitation light has such a property that the amount of transmitted light increases in accordance with an increase in the refractive index of the substance to be measured in contact with the thin film. Conversely, the second surface plasmon excitation light has such a property that the amount of transmitted light decreases as the refractive index of the substance to be measured in contact with the thin film increases.

【0014】第一の表面プラズモン励起用の光の透過光
量と、第二の表面プラズモン励起用の光の透過光量との
差は、それぞれの透過光量に比べて、被測定物質の屈折
率に対する変化が大きい。したがって、屈折率測定の感
度が向上する。
The difference between the transmitted light quantity of the first surface plasmon excitation light and the transmitted light quantity of the second surface plasmon excitation light is different from the respective transmitted light quantities with respect to the change in the refractive index of the substance to be measured. Is big. Therefore, the sensitivity of the refractive index measurement is improved.

【0015】また、センサプレートが透明な板材からな
る、としてもよい(請求項3)。入射用光ファイバ及び
出射用光ファイバがマルチモード光ファイバである、と
してもよい(請求項4)。入射用光ファイバとセンサプ
レートとの間に偏光フィルムが設けられた、としてもよ
い(請求項5)。
Further, the sensor plate may be made of a transparent plate. The input optical fiber and the output optical fiber may be a multi-mode optical fiber. A polarizing film may be provided between the incident optical fiber and the sensor plate (claim 5).

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係るプラズモンセ
ンサ装置の第一実施形態を示し、図1[1]は全体斜視
図、図1[2]は分解斜視図、図1[3]はセンサプレ
ートの斜視図である。以下、この図面に基づき説明す
る。
FIG. 1 shows a first embodiment of a plasmon sensor device according to the present invention. FIG. 1 [1] is an overall perspective view, FIG. 1 [2] is an exploded perspective view, and FIG. 1 [3]. FIG. 3 is a perspective view of a sensor plate. Hereinafter, description will be made based on this drawing.

【0017】第一実施形態のプラズモンセンサ装置10
は、入射用の光ファイバ11と出射用の光ファイバ12
との間にセンサプレート13が接続され、センサプレー
ト13の対向する一対の両面に表面プラズモン励起用の
薄膜13A,13Bが設けられ、表面プラズモン励起用
の光Pが光ファイバ11から入射しセンサプレート13
を通って光ファイバ12から出射するものである。ま
た、センサプレート13が透明な板材からなり、光ファ
イバ11,12がマルチモード光ファイバであり、光フ
ァイバ11とセンサプレート13との間に偏光フィルム
14が設けられている。
The plasmon sensor device 10 of the first embodiment
Are the input optical fiber 11 and the output optical fiber 12
And a pair of opposing surfaces of the sensor plate 13 are provided with thin films 13A and 13B for exciting surface plasmons, and light P for exciting surface plasmons is incident on the optical fiber 11 from the optical fiber 11. 13
Out of the optical fiber 12 through the optical fiber 12. Further, the sensor plate 13 is made of a transparent plate material, the optical fibers 11 and 12 are multi-mode optical fibers, and a polarizing film 14 is provided between the optical fiber 11 and the sensor plate 13.

【0018】センサプレート13は、透明なガラス板か
らなる。センサプレート13の矢印A,Bから見た面に
は、金(又は銀)からなる膜厚約50[nm]の薄膜1
3A,13Bが形成されている。このとき、ガラスと金
薄膜との間には、密着力を上げるためにCrからなる膜
厚約1nmの薄膜を設けてもよい。また、光ファイバ1
1,12、センサプレート13及び偏光フィルム14
は、ホルダ15A,15Bによって保持されている。
The sensor plate 13 is made of a transparent glass plate. A thin film 1 of gold (or silver) having a thickness of about 50 [nm]
3A and 13B are formed. At this time, a thin film of Cr having a thickness of about 1 nm may be provided between the glass and the gold thin film in order to increase the adhesion. Optical fiber 1
1, 12, sensor plate 13 and polarizing film 14
Is held by holders 15A and 15B.

【0019】プラズモンセンサ装置10は、屈折率を測
定するための光学部品であり、センサプレート13に表
面プラズモン励起用の光Pを入射させ、その透過光量に
基づきセンサプレート13と接するサンプルの屈折率を
求める。そして、光ファイバ11,12、センサブレー
ト13及び偏光板フィルタ14が、ホルダ15A,15
Bを介して一体となっている。
The plasmon sensor device 10 is an optical component for measuring a refractive index. The plasmon sensor device 10 causes light P for exciting surface plasmons to be incident on a sensor plate 13 and, based on the amount of transmitted light, a refractive index of a sample in contact with the sensor plate 13. Ask for. Then, the optical fibers 11 and 12, the sensor plate 13 and the polarizing plate filter 14 are attached to the holders 15A and 15A.
B are united.

【0020】図2は、図1[1]におけるII−II線横断
面図である。以下、この図面に基づき、プラズモンセン
サ装置10の動作を説明する。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. Hereinafter, the operation of the plasmon sensor device 10 will be described with reference to this drawing.

【0021】表面プラズモン励起用の光Pは、光ファイ
バ11から導かれ、偏光フィルタ14によってTMモー
ドの光となり、センサプレート13内を全反射を繰り返
しながら伝搬し、光ファイバ12から放射される。光P
がセンサプレート13内を伝搬する際に、薄膜13A,
13B上に表面プラズモンと呼ばれる電子の疎密波を励
起するため、光Pのエネルギ一が減衰する。このときの
減衰量は、薄膜13A,13Bと接するサンプルの屈析
率と相関を持っている。したがって、光Pの透過光量を
測定することにより、サンプルの屈折率を知ることがで
きる。
The light P for exciting the surface plasmon is guided from the optical fiber 11, becomes TM mode light by the polarization filter 14, propagates in the sensor plate 13 while repeating total reflection, and is emitted from the optical fiber 12. Light P
When the light propagates through the sensor plate 13, the thin film 13A,
In order to excite a compression wave of electrons called surface plasmon on 13B, the energy of light P is attenuated. The attenuation at this time has a correlation with the refraction rate of the sample in contact with the thin films 13A and 13B. Therefore, by measuring the amount of transmitted light P, the refractive index of the sample can be known.

【0022】光Pは、金からなる薄膜13A,13Bと
ガラス板からなるセンサプレート13板との界面で、全
反射する。このとき、薄膜13A,13B上に表面プラ
ズモンが励起する。そのため、ガラス板の屈析率はサン
プルの屈折率よりも大きくなければならない。センサプ
レート13の材質は、ガラスに限らず、透明な材料であ
れぱよく、例えば樹脂、石英、サファイアなどでもよ
い。
The light P is totally reflected at the interface between the thin films 13A and 13B made of gold and the sensor plate 13 made of a glass plate. At this time, surface plasmons are excited on the thin films 13A and 13B. Therefore, the refractive index of the glass plate must be larger than the refractive index of the sample. The material of the sensor plate 13 is not limited to glass, but may be a transparent material such as resin, quartz, and sapphire.

【0023】図3は第一実施形態のプラズモンセンサ装
置とともに用いられる投光ユニット及び受光ユニットの
一例を示す断面図であり、図3[1]は投光ユニット、
図3[2]は受光ユニットである。以下、図2及び図3
に基づき説明する。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a light projecting unit and a light receiving unit used together with the plasmon sensor device of the first embodiment.
FIG. 3B shows a light receiving unit. Hereinafter, FIGS. 2 and 3
It will be described based on.

【0024】投光ユニット20は、表面プラズモン励起
用の光Pを出力する発光素子21と、発光素子21の出
力をモニタする受光素子22と、発光素子21及び受光
素子22を収容するとともに光フアイバ11と接続する
ホルダ23とを備えている。受光ユニット24は、光P
を受光する受光素子25と、受光素子25を収容すると
ともに光フアイバ12と接続するホルダ26とを備えて
いる。発光素子21にはLEDや半導体レ一ザが用いら
れ、受光素子22,25にはフォトダイオードが適して
いる。
The light projecting unit 20 includes a light emitting element 21 for outputting light P for exciting surface plasmons, a light receiving element 22 for monitoring the output of the light emitting element 21, a light emitting element 21 and the light receiving element 22. 11 and a holder 23 for connection. The light receiving unit 24 receives the light P
And a holder 26 that accommodates the light receiving element 25 and connects to the optical fiber 12. An LED or a semiconductor laser is used for the light emitting element 21, and photodiodes are suitable for the light receiving elements 22 and 25.

【0025】発光素子21から放射された光Pは、光フ
ァイバ11中を伝搬し偏光フィルタ14でTMモードに
変換されセンサプレート13を透過する。その透過光は
光ファイバ12を伝搬し、受光ユニット24中の受光素
子25に入射する。発光素子21の出力は受光素子22
で監視されているので、この出力と受光ユニット24の
受光素子25の出力とを比較することで、センサプレー
ト13で減衰する光量を求めることができる。
Light P emitted from the light emitting element 21 propagates through the optical fiber 11, is converted into a TM mode by the polarization filter 14, and transmits through the sensor plate 13. The transmitted light propagates through the optical fiber 12 and enters the light receiving element 25 in the light receiving unit 24. The output of the light emitting element 21 is the light receiving element 22
Therefore, by comparing this output with the output of the light receiving element 25 of the light receiving unit 24, the amount of light attenuated by the sensor plate 13 can be obtained.

【0026】図4は、第一実施形態のプラズモンセンサ
装置における、サンプルの屈折率と透過光量との関係を
示すグラフである。以下、図2、図3及び図4に基づき
説明する。
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the refractive index of a sample and the amount of transmitted light in the plasmon sensor device of the first embodiment. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 2, 3, and 4.

【0027】本測定例では、センサプレート13の材料
に板厚0.4[mm]、長さ30[mm]の合成石英
(屈折率1.4586)を使用し、発光素子21に57
4[nm]の光Pを放射するLEDを使用した。このと
き、サンプルの屈折率とともに、透過光量が変化するこ
とが確認された。
In this measurement example, a synthetic quartz (refractive index: 1.4586) having a thickness of 0.4 [mm] and a length of 30 [mm] is used as the material of the sensor plate 13, and the light emitting element 21 is made of 57 mm.
An LED emitting 4 [nm] light P was used. At this time, it was confirmed that the amount of transmitted light varied with the refractive index of the sample.

【0028】図5[1]は,本発明に係るプラズモンセ
ンサ装置の第二実施形態を示す全体斜視図である。以
下、この図面に基づき説明する。
FIG. 5A is an overall perspective view showing a second embodiment of the plasmon sensor device according to the present invention. Hereinafter, description will be made based on this drawing.

【0029】第二実施形態のプラズモンセンサ装置30
は、入射用の光ファイバ31a,31bと出射用の光フ
ァイバ32a,32bとの間にセンサプレート33が接
続され、センサプレート33の対向する一対の両面に表
面プラズモン励起用の薄膜33A,33B(33Bは図
示せず)が設けられ、表面プラズモン励起用の光Paが
光ファイバ31aから入射しセンサプレート33を通っ
て光ファイバ32aから出射し、表面プラズモン励起用
の光Pbが光ファイバ31bから入射しセンサプレート
33を通って光ファイバ32bから出射するものであ
る。そして、光Paは薄膜33A,33Bに接するサン
プルの屈折率の増加に応じて透過光量が増加する性質を
有し、光Pbは薄膜33A,33Bに接するサンプルの
屈折率の増加に応じて透過光量が減少する性質を有す
る。
The plasmon sensor device 30 of the second embodiment
The sensor plate 33 is connected between the optical fibers 31a and 31b for incidence and the optical fibers 32a and 32b for emission, and the thin films 33A and 33B for surface plasmon excitation ( 33B is provided), light Pa for surface plasmon excitation is incident from the optical fiber 31a, exits from the optical fiber 32a through the sensor plate 33, and light Pb for surface plasmon excitation is incident from the optical fiber 31b. Then, the light is emitted from the optical fiber 32b through the sensor plate 33. The light Pa has the property that the amount of transmitted light increases as the refractive index of the sample in contact with the thin films 33A and 33B increases, and the light Pb transmits the amount of transmitted light as the refractive index of the sample contacts the thin films 33A and 33B increases. Has the property of decreasing.

【0030】また、センサプレート33が透明な板材か
らなり、光ファイバ31a,31b,32a,32bが
マルチモード光ファイバであり、光ファイバ31a,3
1bとセンサプレート33との間に偏光フィルム(図示
せず)が設けられている。
The sensor plate 33 is made of a transparent plate, and the optical fibers 31a, 31b, 32a, and 32b are multimode optical fibers.
A polarizing film (not shown) is provided between 1b and the sensor plate 33.

【0031】センサプレート33は、透明なガラス板か
らなる。薄膜33A,33Bは、膜厚約50[nm]の
金(又は銀)からなる。光ファイバ31a,31b,3
2a,32b、センサプレート33及び偏光フィルム
(図示せず)は、ホルダ35A,35Bによって保持さ
れている。
The sensor plate 33 is made of a transparent glass plate. The thin films 33A and 33B are made of gold (or silver) having a thickness of about 50 [nm]. Optical fibers 31a, 31b, 3
2a, 32b, the sensor plate 33, and the polarizing film (not shown) are held by holders 35A, 35B.

【0032】第二実施形態では、表面プラズモンの励起
に二種類の波長の光Pa,Pbを使用する。光ファイバ
31a,31bにはそれぞれ異なる波長の光Pa,Pb
を放射する投光ユニット(図示せず)が接続され、光フ
ァイバ32a,32bにはそれぞれ別々の受光ユニット
(図示せず)が接続されており、一枚のセンサプレート
33を二種類の波長の光Pa,Pbが通過する構成とな
っている。すなわち、波長λ1の光Paを放射する投光
ユニットを光ファイバ31aに接続してセンサプレート
33に光Paを入射させ、透過した光量を光ファイバ3
2aに接続された受光ユニットで測定する。同様に、波
長λ2の光Pbを放射する投光ユニットを光ファイバ3
1bに接続してセンサプレート33に光Pbを入射さ
せ、透過した光量を光ファイバ32bに接続した受光ユ
ニットで測定する。
In the second embodiment, light Pa and Pb having two wavelengths are used for exciting surface plasmons. Optical fibers 31a and 31b have different wavelengths of light Pa and Pb, respectively.
A light projecting unit (not shown) that emits light is connected, and separate light receiving units (not shown) are connected to the optical fibers 32a and 32b, respectively. The light Pa and Pb are configured to pass therethrough. That is, a light projecting unit that emits light Pa of the wavelength λ1 is connected to the optical fiber 31a, the light Pa is made incident on the sensor plate 33, and the amount of transmitted light is measured by the optical fiber 3.
The measurement is performed by the light receiving unit connected to 2a. Similarly, a light projecting unit that emits light Pb of wavelength λ2 is
1b, the light Pb is incident on the sensor plate 33, and the amount of transmitted light is measured by a light receiving unit connected to the optical fiber 32b.

【0033】図6は、第二実施形態のプラズモンセンサ
装置における、サンプルの屈折率と透過光量との関係を
示すグラフである。図6[1]は異なる波長におけるサ
ンプルの屈折率と透過光量との関係を示すグラフであ
り、図6[2]はそれらの透過光量の差を示すグラフで
ある。以下、これらの図面に基づき説明する。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the refractive index of a sample and the amount of transmitted light in the plasmon sensor device of the second embodiment. FIG. 6 [1] is a graph showing the relationship between the refractive index of the sample and the amount of transmitted light at different wavelengths, and FIG. 6 [2] is a graph showing the difference between the amounts of transmitted light. Hereinafter, description will be made based on these drawings.

【0034】λ1として波長574[nm]、λ2とし
て波長660[nm]を使用した測定例が図6[1]で
ある。このときのセンサプレートは図4の測定例と同様
である。そして、(λ1の透過光量)−(λ2の透過光
量)+(適当なオフセット量)をプロットしたものが図
6[2]である。第二実施形態によれば、図4の測定例
と比較して屈折率の変化量に対する透過光量の変化量が
大きくなっているので、センサとしての感度を向上でき
る。
FIG. 6A shows an example of measurement using 574 [nm] as λ1 and 660 [nm] as λ2. The sensor plate at this time is the same as the measurement example in FIG. FIG. 6B illustrates a plot of (the amount of transmitted light of λ1) − (the amount of transmitted light of λ2) + (appropriate offset amount). According to the second embodiment, the amount of change in the amount of transmitted light with respect to the amount of change in the refractive index is larger than in the measurement example of FIG. 4, so that the sensitivity as a sensor can be improved.

【0035】図5[2]は、本発明に係るプラズモンセ
ンサ装置の第三実施形態を示す全体斜視図である。以
下、この図面に基づき説明する。ただし、図5[1]と
同じ部分は同じ符号を付すことにより説明を省略する。
FIG. 5B is an overall perspective view showing a third embodiment of the plasmon sensor device according to the present invention. Hereinafter, description will be made based on this drawing. However, the same parts as those in FIG. 5A are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0036】第三実施形態のプラズモンセンサ装置40
は、入射用の光ファイバ31a,31bと出射用の光フ
ァイバ32a,32bとの間にセンサプレート33が接
続され、センサプレート33の対向する一対の両面に表
面プラズモン励起用の薄膜33A,33B(33Bは図
示せず)が設けられ、表面プラズモン励起用の光Paが
ファイバ31aから入射しセンサプレート33を通って
光ファイバ32aから出射し、表面プラズモン励起用の
光Pbが光ファイバ31bから入射しセンサプレート3
3を通って光ファイバ32bから出射するものである。
ホルダ45A,45Bには光Pa,Pbに対応させて開
口窓が二つ設けられ、これらの開口窓が測定部位46
a,46bとなっている。光Pa,Pbは同じ波長でも
異なる波長でもよい。
The plasmon sensor device 40 of the third embodiment
The sensor plate 33 is connected between the optical fibers 31a and 31b for incidence and the optical fibers 32a and 32b for emission, and the thin films 33A and 33B for surface plasmon excitation ( 33B is provided), surface plasmon excitation light Pa enters from the fiber 31a, exits from the optical fiber 32a through the sensor plate 33, and surface plasmon excitation light Pb enters from the optical fiber 31b. Sensor plate 3
3 and exits from the optical fiber 32b.
The holder 45A, 45B is provided with two opening windows corresponding to the light Pa, Pb, and these opening windows
a, 46b. The light Pa and Pb may have the same wavelength or different wavelengths.

【0037】プラズモンセンサ装置40は、バイオセン
サとして利用することも可能であり、薄膜33A,33
B表面にゲルの薄膜を介して抗体を固定化させれば免疫
センサとなる。抗体の種類を複数用意すれば、同時に二
種類の抗原濃度を知ることができる。すなわち、測定部
位46a,46bを一体化し、測定部位46a,46b
にそれぞれ別々の抗体を固定化することにより、同時に
二種類の抗原検出が可能となる。このように、複数の測
定部位を一体化することにより、センサプレート33、
ホルダ45A,45B及び偏光フィルム等が一つであり
ながら、複数のサンプルを同時に測定できる。
The plasmon sensor device 40 can be used as a biosensor, and the thin film 33A, 33
If an antibody is immobilized on the B surface via a gel thin film, an immunosensor can be obtained. If a plurality of types of antibodies are prepared, two types of antigen concentrations can be known at the same time. That is, the measurement parts 46a, 46b are integrated, and the measurement parts 46a, 46b are integrated.
By immobilizing separate antibodies respectively, two types of antigens can be detected simultaneously. Thus, by integrating a plurality of measurement sites, the sensor plate 33,
A plurality of samples can be measured simultaneously while using only one holder 45A, 45B and one polarizing film.

【0038】なお、本発明は、言うまでもなく、上記第
一乃至第三実施形態に限定されるものではない。例え
ば、薄膜は、センサプレートの両面ではなく、どちらか
一方だけに設けてもよい。光ファイバとホルダとを着脱
自在とする着脱機構を設けてもよい。偏光フィルムは省
略してもよい。
It is needless to say that the present invention is not limited to the first to third embodiments. For example, the thin film may be provided on only one of the sensor plates, not on both sides. An attachment / detachment mechanism for detachably attaching the optical fiber and the holder may be provided. The polarizing film may be omitted.

【0039】以下に、本発明に係るプラズモンセンサ装
置の応用例について説明する。
An application example of the plasmon sensor device according to the present invention will be described below.

【0040】[0040]

【第一応用例】エンジンの強制循環式水冷装置に用いら
れる冷却水には、厳寒時の凍結を防ぐため不凍液が混合
されている。不凍液濃度が高ければ、凍結温度が低くな
る一方、冷却能力が低下する。したがって、不凍液濃度
は、適正な範囲内にあることが望ましい。不凍液濃度を
モニタするには、フロートを用いて比重を測定する技術
や、試薬を用いる技術が知られている。しかしながら、
フロートを用いる技術では、フロートがエンジンや車体
の振動の影響を受けてしまうため、車載用には適さな
い。また、試薬を用いる技術では、冷却水をサンプリン
グして試験管内で反応させるため、車載用には適さな
い。そこで、第一応用例の目的は、エンジンの強制循環
式水冷装置に用いられる車載用の不凍液濃度センサを提
供することにある。
[First application example] The cooling water used for the forced circulation type water cooling device of the engine is mixed with an antifreeze liquid to prevent freezing in severe cold. If the antifreeze concentration is high, the freezing temperature will be low, while the cooling capacity will be low. Therefore, it is desirable that the antifreeze concentration be within an appropriate range. In order to monitor the antifreeze concentration, a technique of measuring a specific gravity using a float and a technique of using a reagent are known. However,
The technique using a float is not suitable for use in a vehicle because the float is affected by vibration of an engine or a vehicle body. Further, in the technique using a reagent, cooling water is sampled and reacted in a test tube, so that it is not suitable for in-vehicle use. Therefore, an object of a first application example is to provide a vehicle-mounted antifreeze concentration sensor used in a forced-circulation water cooling device for an engine.

【0041】図7は、本発明に係るプラズモンセンサ装
置の第一応用例を示す構成図である。以下、この図面に
基づき説明する。
FIG. 7 is a configuration diagram showing a first application example of the plasmon sensor device according to the present invention. Hereinafter, description will be made based on this drawing.

【0042】第一応用例は、エンジンの強制循環式水冷
装置用の不凍液濃度センサとして、本発明に係るプラズ
モンセンサ装置(以下、「SRPセンサ」という。)を
使用した例である。ラジエータ51を冷却するためのフ
ァン52には、冷却水Wを循環するためのウォータボン
プ53が直結されている。冷却水Wは、ウォーオータポ
ンプ53によって、ラジエータ51とエンジン内のジャ
ケット54と呼ばれる流路との間を循環している。ま
た、冷却水Wの体積膨張を緩衝するためのリザーブタン
ク55が取り付けられている。リザーブタンク55内に
は、SPRセンサ10と、冷却水Wの温度を測定するた
めの温度センサ57とが取り付けられている。また別の
場所には、外気温度測定用の温度センサ58が配置され
ている。
The first application example is an example in which a plasmon sensor device (hereinafter, referred to as "SRP sensor") according to the present invention is used as an antifreeze concentration sensor for a forced circulation type water cooling device for an engine. A water pump 53 for circulating the cooling water W is directly connected to a fan 52 for cooling the radiator 51. The cooling water W is circulated by the water heater pump 53 between the radiator 51 and a flow path called a jacket 54 in the engine. Further, a reserve tank 55 for buffering the volume expansion of the cooling water W is attached. In the reserve tank 55, the SPR sensor 10 and a temperature sensor 57 for measuring the temperature of the cooling water W are attached. In another place, a temperature sensor 58 for measuring the outside air temperature is arranged.

【0043】SPRセンサ10は、図1に示すように光
ファイバとセンサプレートとが一体となっていて、光フ
ァイバの端面はリザーブタンク55の外まで延びてお
り、そこで投光ユニット(図3[1])と受光ユニット
(図3[2])とに接続されている。受光ユニットから
の出力信号は、ADコンバータでディジタル信号に変換
された後、自動車などに搭載された演算装置(CPU)
で演算されるとともに冷却水温測定用の温度センサ57
の出力信号で補正され、冷却水Wの凍結温度を予測する
ために用いられる。SPRセンサ10の金からなる薄膜
上には、浮遊粒子の付着を防止するためアルカンチオー
ルなどの高分子薄膜が設けられている。
In the SPR sensor 10, as shown in FIG. 1, the optical fiber and the sensor plate are integrated, and the end face of the optical fiber extends to the outside of the reserve tank 55, where the light emitting unit (FIG. 1]) and a light receiving unit (FIG. 3 [2]). An output signal from the light receiving unit is converted into a digital signal by an AD converter, and thereafter, an arithmetic unit (CPU) mounted on an automobile or the like
And a temperature sensor 57 for measuring the cooling water temperature.
And is used to predict the freezing temperature of the cooling water W. On the gold thin film of the SPR sensor 10, a polymer thin film such as alkanethiol is provided to prevent adhesion of suspended particles.

【0044】次に、SPRセンサ10の作用を図2及び
図7に基づき説明する。
Next, the operation of the SPR sensor 10 will be described with reference to FIGS.

【0045】投光ユニットから放射された光Pは、光フ
ァイバ11中を伝搬して偏光フィルム14によりTMモ
ード光に変換され、センサプレート13内を全反射を繰
り返して伝搬する。そのとき、光Pは、金からなる薄膜
13A,13B上に電子の疎密波である表面プラズモン
波を励起することにより、一部のエネルギーを失う。し
たがって、センサプレート13に入射させた光の強度
と、センサプレート13から透過してきた光の強度とを
測定することにより、表面プラズモン励起に消費された
光エネルギーを知ることができる。この励起条件は薄膜
13A,13Bが接する冷却水Wの屈折率の影響を受け
るため、センサプレート13で消費された光エネルギー
量から冷却水Wの屈折率を知ることができる(図4参
照)。
The light P emitted from the light projecting unit propagates through the optical fiber 11, is converted into TM mode light by the polarizing film 14, and propagates in the sensor plate 13 by repeating total reflection. At this time, the light P loses a part of energy by exciting a surface plasmon wave which is a compressional wave of electrons on the thin films 13A and 13B made of gold. Therefore, by measuring the intensity of light incident on the sensor plate 13 and the intensity of light transmitted from the sensor plate 13, it is possible to know the light energy consumed for surface plasmon excitation. Since this excitation condition is affected by the refractive index of the cooling water W in contact with the thin films 13A and 13B, the refractive index of the cooling water W can be known from the amount of light energy consumed by the sensor plate 13 (see FIG. 4).

【0046】図8[1]は第一応用例における不凍液濃
度と屈折率との関係を示すグラフであり、図8[2]は
第一応用例における凍結温度と屈折率との関係を示すグ
ラフである。以下、これらの図面に基づき説明する。
FIG. 8A is a graph showing the relationship between the antifreeze concentration and the refractive index in the first application example, and FIG. 8B is a graph showing the relationship between the freezing temperature and the refractive index in the first application example. It is. Hereinafter, description will be made based on these drawings.

【0047】冷却水Wには、厳寒時の凍結を防ぐため、
エチレングリコールを主成分とする不凍液が混合されて
いる。エチレングリコール濃度と冷却水Wの屈折率とは
相関関係があり(図8[1])、エチレングリコール濃
度と冷却水Wの凍結温度とにも相関関係がある(図8
[2])。したがって、冷却水Wの屈折率を測定するこ
とにより、冷却水Wの凍結温度を予測することが可能で
ある。第一応用例では、冷却水の屈折率測定手段にSP
Rセンサ10を用いている。
In the cooling water W, in order to prevent freezing in severe cold,
An antifreeze containing ethylene glycol as a main component is mixed. There is a correlation between the ethylene glycol concentration and the refractive index of the cooling water W (FIG. 8A), and there is also a correlation between the ethylene glycol concentration and the freezing temperature of the cooling water W (FIG. 8).
[2]). Therefore, the freezing temperature of the cooling water W can be predicted by measuring the refractive index of the cooling water W. In the first application example, the refractive index measuring means of the cooling water is SP
An R sensor 10 is used.

【0048】図8[2]から明らかなように、冷却水W
の屈折率を1.33から1.38の範囲で測定できれ
ば、凍結温度を−30℃まで予測できることがわかる。
この屈折率の範囲をSPRセンサ10で測定した例を、
図4に示す。この測定例では、屈折率1.4586、厚
さ0.4[mm]、長さ15[mm]の材料で作られた
センサプレートと、波長574[nm]の光とを用い
た。また、予測された冷却液Wの凍結温度と、温度セン
サ58で測定された外気温度とを比較することにより、
冷却液Wの凍結を運転者に予め知らせることができる。
この凍結の報知は、カーナビゲーション装置に表示させ
るようにしてもよい。
As is clear from FIG. 8B, the cooling water W
It can be seen that if the refractive index can be measured in the range of 1.33 to 1.38, the freezing temperature can be predicted up to -30 ° C.
An example in which this range of the refractive index is measured by the SPR sensor 10 is as follows.
As shown in FIG. In this measurement example, a sensor plate made of a material having a refractive index of 1.4586, a thickness of 0.4 [mm] and a length of 15 [mm], and light having a wavelength of 574 [nm] were used. Further, by comparing the predicted freezing temperature of the coolant W with the outside air temperature measured by the temperature sensor 58,
The driver can be notified in advance of the freezing of the coolant W.
This notification of freezing may be displayed on a car navigation device.

【0049】第一応用例によれば、エンジンの強制循環
式水冷装置用の不凍液濃度センサとして、本発明に係る
SRPセンサを使用したことにより、次の効果を奏す
る。第一に、振動及び電気ノイズの影響を受けないの
で、車載用として好適な不凍液濃度センサを提供でき
る。第二に、電気的インタフェースが単純であるため、
CPU(コンピュータ)との組み合わせを容易化でき
る。
According to the first application example, the use of the SRP sensor according to the present invention as an antifreeze concentration sensor for a forced circulation type water cooling device for an engine has the following effects. First, since it is not affected by vibration and electric noise, it is possible to provide an antifreeze concentration sensor suitable for use in vehicles. Second, due to the simplicity of the electrical interface,
Combination with a CPU (computer) can be facilitated.

【0050】[0050]

【第二応用例】第二応用例は、温水暖房装置用の不凍液
濃度センサとして、本発明に係るSRPセンサを使用し
た例である。温水暖房機の循環水(熱媒体)には、厳寒
時の凍結を防ぐため、及び低温の外気との熱交換のため
に不凍液が混入されている。この不凍液は、施工業者や
メンテナンス業者によって必要に応じて注入される。し
かしながら、不凍液濃度を管理できるようなセンサがな
いので、不凍液が低濃度過ぎるために循環水が凍結した
り、不凍液が高濃度過ぎるために循環水に藻や微生物が
繁殖したりすることがあった。そこで、第二応用例の目
的は、簡素な構成でありながら正確に測定できる、温水
暖房装置用の不凍液濃度センサを提供することにある。
[Second application example] A second application example is an example in which the SRP sensor according to the present invention is used as an antifreeze concentration sensor for a hot water heating apparatus. An antifreeze is mixed into the circulating water (heat medium) of the hot water heater in order to prevent freezing in severe cold and to exchange heat with low-temperature outside air. This antifreeze is injected by a construction company or a maintenance company as needed. However, since there is no sensor that can control the concentration of antifreeze, circulating water may freeze due to too low concentration of antifreeze, or algae and microorganisms may propagate in circulating water due to too high concentration of antifreeze. . Therefore, an object of a second application example is to provide an antifreeze solution concentration sensor for a hot water heating device that has a simple configuration and can accurately measure.

【0051】図9は、本発明に係るSPRセンサの第二
応用例を示す構成図である。以下、この図面に基づき説
明する。
FIG. 9 is a configuration diagram showing a second application example of the SPR sensor according to the present invention. Hereinafter, description will be made based on this drawing.

【0052】循環ポンプ61により、温水タンク62の
温水(循環水W)が熱交換器64を通り循環される。循
環水Wの温度は、温度センサ69により測定される。温
水タンク62内にはSPRセンサ10と水温測定用の温
度センサ69とが取り付けられ、別の場所には外気温度
測定用の温度センサ60が取り付けられている。
The circulating pump 61 circulates hot water (circulating water W) in a hot water tank 62 through a heat exchanger 64. The temperature of the circulating water W is measured by the temperature sensor 69. The SPR sensor 10 and the temperature sensor 69 for measuring the water temperature are mounted in the hot water tank 62, and the temperature sensor 60 for measuring the outside air temperature is mounted in another place.

【0053】また、温水暖房機には、注入口62a、オ
ーバーフロー62b、水位センサ63、発熱体65、温
度センサ66、制御装置67、暖房スイッチ67a等が
設けられている。
The hot water heater includes an inlet 62a, an overflow 62b, a water level sensor 63, a heating element 65, a temperature sensor 66, a control device 67, a heating switch 67a, and the like.

【0054】SPRセンサ10は、図1に示すように、
光ファイバとセンサプレートとが一体となっている。光
ファイバの端面は、温水タンク62の外まで延びてお
り、そこで投光ユニット(図3[1])と受光ユニット
(図3[2])とに接続されている。受光ユニットから
の出力信号は、ADコンバータでディジタル信号に変換
された後、演算装置(CPU)で演算されるとともに水
温測定用の温度センサ69の出カ信号で補正されること
により、温水タンク62の凍結温度を予測するために用
いられる。
The SPR sensor 10, as shown in FIG.
The optical fiber and the sensor plate are integrated. The end face of the optical fiber extends out of the hot water tank 62, where it is connected to the light emitting unit (FIG. 3A) and the light receiving unit (FIG. 3B). The output signal from the light receiving unit is converted into a digital signal by an AD converter, and thereafter, is calculated by an arithmetic unit (CPU) and corrected by an output signal of a temperature sensor 69 for measuring a water temperature, thereby obtaining a hot water tank 62. Used to predict the freezing temperature of

【0055】温水暖房装置の熱媒体として用いられる循
環水Wには、厳寒時の凍結を防ぐためエチレングリコー
ルを主成分とする不凍液が混合されている。したがっ
て、第二応用例も第一応用例と同等の作用及び効果を奏
するので、詳しい説明は省略する。
The circulating water W used as a heat medium of the hot water heating apparatus is mixed with an antifreeze containing ethylene glycol as a main component to prevent freezing in severe cold. Therefore, the second application example also has the same operation and effect as the first application example, and a detailed description is omitted.

【0056】第二応用例によれば、温水暖房装置用の不
凍液濃度センサとして、本発明に係るSRPセンサを使
用したことにより、次の効果を奏する。第一に、簡素な
構成でありながら正確に測定できる、温水暖房装置用の
不凍液濃度センサを提供できる。第二に、電気的インタ
フェースが単純であるため、CPU(コンピュータ)と
の組み合わせを容易化できる。
According to the second application example, the use of the SRP sensor according to the present invention as an antifreeze concentration sensor for a hot water heating apparatus has the following effects. Firstly, it is possible to provide an antifreeze concentration sensor for a hot water heating device which has a simple configuration and can accurately measure. Second, since the electrical interface is simple, it can be easily combined with a CPU (computer).

【0057】[0057]

【第三応用例】第三応用例は、ヒーティングタワー用の
不凍液濃度センサとして、本発明に係るSRPセンサを
使用した例である。ヒーティングタワーの循環水でも、
低温の外気から採熱するために外気温よりも低温にする
必要があるので、凍結を防ぐための不凍液が用いられ
る。そのため、従来の温水暖房機(第二応用例)と同じ
ような問題があった。そこで、第三応用例の目的は、簡
素な構成でありながら正確に測定できる、ヒーティング
タワー用の不凍液濃度センサを提供することにある。
[Third application example] A third application example is an example in which the SRP sensor according to the present invention is used as an antifreeze concentration sensor for a heating tower. Even in the circulating water of the heating tower,
Since it is necessary to make the temperature lower than the outside air temperature in order to collect heat from the low temperature outside air, an antifreeze liquid for preventing freezing is used. Therefore, there was a problem similar to that of the conventional hot water heater (second application example). Therefore, an object of a third application example is to provide an antifreeze concentration sensor for a heating tower which has a simple configuration and can accurately measure.

【0058】図10は、本発明に係るSPRセンサの第
三応用例を示す構成図である。以下、この図面に基づき
説明する。
FIG. 10 is a configuration diagram showing a third application example of the SPR sensor according to the present invention. Hereinafter, description will be made based on this drawing.

【0059】ヒーティングタワー71は開放冷却塔と同
じような構成である。散水装置72から充填物層73に
向けて循環水Wが散液され、ファン74の駆動によって
充填物層73内を通過する外気と循環水Wとが直接的に
気液接触する。これによって低温の循環水Wは外気と熱
交換して外気温度近くまで昇温し、下部水槽75に溜ま
る。散水装置73にはSPRセンサ10と水温測定用の
温度センサ84とが取り付けられ、別の場所には外気温
度測定用の温度センサ85が取り付けられている。
The heating tower 71 has the same configuration as the open cooling tower. The circulating water W is sprayed from the water spray device 72 toward the filling layer 73, and the outside air passing through the inside of the filling layer 73 and the circulating water W come into direct gas-liquid contact by driving the fan 74. As a result, the low-temperature circulating water W exchanges heat with the outside air, rises to a temperature close to the outside air temperature, and is accumulated in the lower water tank 75. An SPR sensor 10 and a temperature sensor 84 for measuring a water temperature are attached to the watering device 73, and a temperature sensor 85 for measuring the outside air temperature is attached to another location.

【0060】また、ヒーティングタワー71の他に、ヒ
ートポンプ装置76、圧縮機77、凝縮器78、膨張弁
79、蒸発器80、ポンプ81、循環路82、熱交換器
86等が設けられている。
In addition to the heating tower 71, a heat pump device 76, a compressor 77, a condenser 78, an expansion valve 79, an evaporator 80, a pump 81, a circulation path 82, a heat exchanger 86 and the like are provided. .

【0061】SPRセンサ10は、図1に示すように、
光ファイバとセンサプレートとが一体となっている。光
ファイバの端面は、ヒーティングタワー71の外まで延
びており、そこで投光ユニット(図3[1])と受光ユ
ニット(図3[2])とに接続されている。受光ユニッ
トからの出力信号は、ADコンバータでディジタル信号
に変換された後、演算装置(CPU)で演算されるとと
もに水温測定用の温度センサ84の出カ信号で補正され
ることにより、ヒーティングタワー71の凍結温度を予
測するために用いられる。
The SPR sensor 10, as shown in FIG.
The optical fiber and the sensor plate are integrated. The end face of the optical fiber extends to the outside of the heating tower 71, where it is connected to a light emitting unit (FIG. 3A) and a light receiving unit (FIG. 3B). An output signal from the light receiving unit is converted into a digital signal by an AD converter, and thereafter, is calculated by an arithmetic unit (CPU) and corrected by an output signal of a temperature sensor 84 for measuring a water temperature, so that a heating tower is obtained. Used to predict the freezing temperature of 71.

【0062】ヒーティングタワー71の熱媒体として用
いられる循環水Wには、厳寒時の凍結を防ぐためエチレ
ングリコールを主成分とする不凍液が混合されている。
したがって、第三応用例も第一応用例と同等の作用及び
効果を奏するので、詳しい説明は省略する。
The circulating water W used as a heat medium of the heating tower 71 is mixed with an antifreeze containing ethylene glycol as a main component to prevent freezing in severe cold.
Therefore, the third application example has the same operation and effect as the first application example, and thus the detailed description is omitted.

【0063】第三応用例によれば、ヒーティングタワー
用の不凍液濃度センサとして、本発明に係るSRPセン
サを使用したことにより、次の効果を奏する。第一に、
簡素な構成でありながら正確に測定できる、ヒーティン
グタワー用の不凍液濃度センサを提供できる。第二に、
電気的インタフェースが単純であるため、CPU(コン
ピュータ)との組み合わせを容易化できる。
According to the third application example, the following effects can be obtained by using the SRP sensor according to the present invention as the antifreeze concentration sensor for the heating tower. Primarily,
An antifreeze concentration sensor for a heating tower can be provided which has a simple configuration and can accurately measure. Secondly,
Since the electrical interface is simple, the combination with the CPU (computer) can be facilitated.

【0064】[0064]

【第四応用例】第四応用例は、燃料タンク用の燃料種判
別センサとして、本発明に係るSRPセンサを使用した
例である。ガソリンエンジン車へ軽油を入れてしまった
り、ディーゼルエンジン車へガソリンを入れてしまった
りする、燃料の入れ間違いは少なくない。ガソリンエン
ジン車へ軽油の混じったガソリンが供給されると、エン
ジンの出力が低下し、エンジンの停止に至る。また、デ
ィーゼルエンジン車へガソリンを供給した場合も、エン
ジンの出力が低下し、燃料噴射ノズルの交換が必要にな
る。自動車に燃料を給油する際には、作業者が軽油かガ
ソリンかを判別するため、どうしても人的ミスが発生し
てしまう。燃料を入れ間違えても、エンジンを始動する
前に気が付けば、燃料を入れ換えるだけでトラブルが避
けられる。しかしながら、従来の燃料タンクには燃料の
種類を判別する機能がないため、燃料の入れ間違いに気
付かずにエンジンを始動することにより、トラブルが発
生してしまうことがあった。そこで、第四応用例の目的
は、簡素な構成でありながら燃料の種類を正確に判別で
きる、燃料タンク用の燃料種判別センサを提供すること
にある。
[Fourth Application Example] A fourth application example is an example in which the SRP sensor according to the present invention is used as a fuel type determination sensor for a fuel tank. There are many mistakes in putting fuel, such as putting light oil into a gasoline engine car or putting gasoline into a diesel engine car. When gasoline mixed with light oil is supplied to a gasoline engine vehicle, the output of the engine decreases and the engine stops. Also, when gasoline is supplied to a diesel engine vehicle, the output of the engine decreases, and the fuel injection nozzle needs to be replaced. When refueling a car, a human error is inevitably generated because the worker determines whether the fuel is light oil or gasoline. Even if you make the wrong fuel, if you notice before starting the engine, just replace the fuel and you can avoid the trouble. However, since the conventional fuel tank does not have a function of discriminating the type of fuel, starting the engine without noticing that the fuel is not correctly inserted may cause a trouble. Therefore, an object of a fourth application example is to provide a fuel type determination sensor for a fuel tank, which has a simple configuration and can accurately determine the type of fuel.

【0065】図11は本発明に係るSPRセンサの第四
応用例を示す構成図であり、図11[1]は全体図、図
11[2]は部分拡大斜視図である。以下、この図面に
基づき説明する。
FIG. 11 is a configuration diagram showing a fourth application example of the SPR sensor according to the present invention. FIG. 11 [1] is an overall view, and FIG. 11 [2] is a partially enlarged perspective view. Hereinafter, description will be made based on this drawing.

【0066】燃料タンク91内には、燃料Fの液面を測
定するためのフロート92がフロートアーム93を介し
て取り付けられている。燃料Fの液面に合わせて、フロ
ート92は上下する。フロート92の下面には、SPR
センサ10が取り付けられている。
In the fuel tank 91, a float 92 for measuring the liquid level of the fuel F is mounted via a float arm 93. The float 92 moves up and down in accordance with the liquid level of the fuel F. On the lower surface of the float 92, SPR
A sensor 10 is attached.

【0067】SPRセンサ10は、図1に示すように、
光ファイバとセンサプレートとが一体となっている。光
ファイバの端面は、燃料タンク91の外まで延びてお
り、そこで投光ユニット(図3[1])と受光ユニット
(図3[2])とに接続されている。受光ユニットから
の出力信号は、ADコンバータでディジタル信号に変換
された後、演算装置(CPU)で演算されることによ
り、燃料タンク91の燃料の種類を判別するために用い
られる。
The SPR sensor 10, as shown in FIG.
The optical fiber and the sensor plate are integrated. The end surface of the optical fiber extends to the outside of the fuel tank 91, where it is connected to a light emitting unit (FIG. 3A) and a light receiving unit (FIG. 3B). The output signal from the light receiving unit is converted into a digital signal by an AD converter, and thereafter, is calculated by a calculation device (CPU), and is used to determine the type of fuel in the fuel tank 91.

【0068】図12は、第四応用例における屈折率とS
PRセンサ出力との関係を示すグラフである。以下、図
2、図11及び図12に基づき、SPRセンサ10の作
用を説明する。
FIG. 12 shows the refractive index and S in the fourth applied example.
It is a graph which shows the relationship with PR sensor output. Hereinafter, the operation of the SPR sensor 10 will be described based on FIG. 2, FIG. 11, and FIG.

【0069】投光ユニットから放射された光Pは、光フ
ァイバ11中を伝搬して偏光フィルム14によりTMモ
ード光に変換され、センサプレート13内を全反射を繰
り返して伝搬する。そのとき、光Pは、金からなる薄膜
13A,13B上に電子の疎密波である表面プラズモン
波を励起することにより、一部のエネルギーを失う。し
たがって、センサプレート13に入射させた光の強度
と、センサプレート13から透過してきた光の強度とを
測定することにより、表面プラズモン励起に消費された
光エネルギーを知ることができる。この励起条件は薄膜
13A,13Bが接する燃料Fの屈折率の影響を受ける
ため、センサプレート13で消費された光エネルギー量
から燃料Fの屈折率を知ることができる。
The light P emitted from the light projecting unit propagates through the optical fiber 11, is converted into TM mode light by the polarizing film 14, and propagates through the sensor plate 13 with repeated total reflection. At this time, the light P loses a part of energy by exciting a surface plasmon wave which is a compressional wave of electrons on the thin films 13A and 13B made of gold. Therefore, by measuring the intensity of light incident on the sensor plate 13 and the intensity of light transmitted from the sensor plate 13, it is possible to know the light energy consumed for surface plasmon excitation. Since the excitation conditions are affected by the refractive index of the fuel F in contact with the thin films 13A and 13B, the refractive index of the fuel F can be known from the amount of light energy consumed by the sensor plate 13.

【0070】自動車に使用される燃料Fはガソリン及び
軽油である。それらの屈析率nは、次のとおりである。 ・ガソリン(レギュラー)…n=1.425(室温での
実測値) ・ガソリン(ハイオク)…n=1.433(室温での実
測値) ・軽油…n=1.467(室温での実測値)
The fuel F used for the automobile is gasoline and light oil. The refractive index n is as follows.・ Gasoline (regular) ... n = 1.425 (measured at room temperature) ・ Gasoline (high octane) ... n = 1.433 (measured at room temperature) ・ Diesel oil ... n = 1.467 (measured at room temperature) )

【0071】ガソリン及び軽油はともに複数成分の混合
物であるため、それらの屈折率は燃料メーカ間で若千異
なる。しかし、ガソリンと軽油との屈折率の差は明確で
ある。すなわち、屈折率の小数点以下2桁目が区別でき
れば、ガソリンと軽油とを十分に判別できる。
Since both gasoline and light oil are a mixture of a plurality of components, their refractive indices differ slightly among fuel manufacturers. However, the difference in the refractive index between gasoline and light oil is clear. That is, if the second decimal place of the refractive index can be distinguished, gasoline and light oil can be sufficiently distinguished.

【0072】図12の測定例では、屈折率1.517、
厚さ0.4[mm]、長さ15[mm]の材料で作られ
たセンサプレートと、波長644[nm]の光とを用い
ている。図12から明らかなように、ガソリンの屈析率
と軽油の屈折率とを明確に区別することができる。
In the measurement example shown in FIG. 12, the refractive index is 1.517,
A sensor plate made of a material having a thickness of 0.4 [mm] and a length of 15 [mm] and light having a wavelength of 644 [nm] are used. As is clear from FIG. 12, the refractive index of gasoline and the refractive index of gas oil can be clearly distinguished.

【0073】第四応用例によれば、燃料タンク用の燃料
種判別センサとして本発明に係るSRPセンサを使用し
たことにより、簡素な構成でありながら燃料の種類を正
確に判別できる、燃料タンク用の燃料種判別センサを提
供できる。したがって、燃料の入れ間違えをエンジン始
動前に知ることができるので、燃料の入れ間違えによる
トラブルを未然に防止できる。
According to the fourth application example, by using the SRP sensor according to the present invention as a fuel type discriminating sensor for a fuel tank, it is possible to accurately discriminate the type of fuel while having a simple structure. Can be provided. Therefore, the fuel injection error can be known before starting the engine, so that the trouble caused by the fuel error can be prevented.

【0074】また、SRPセンサを燃料タンクの底に設
置することにより、水の混入も検出できる。SRPセン
サによって、燃料がなくなったことも検出できる。燃料
タンク内に、燃料の温度を測定する温度センサを設ける
ことにより、SPRセンサの出力信号を補正するように
してもよい。
Further, by installing the SRP sensor at the bottom of the fuel tank, the entry of water can be detected. The SRP sensor can also detect that the fuel has run out. By providing a temperature sensor for measuring the temperature of the fuel in the fuel tank, the output signal of the SPR sensor may be corrected.

【0075】[0075]

【発明の効果】本発明に係るプラズモンセンサ装置によ
れば、入射用光ファイバと出射用光ファイバとの間にセ
ンサプレートが接続され、このセンサプレートの少なく
とも一部に表面プラズモン励起用の薄膜が設けられ、表
面プラズモン励起用の光が入射用光ファイバから入射し
センサプレートを通って出射用光ファイバから出射する
ことにより、簡素な構成でありながら屈折率を正確に測
定できるので、小型化及び低価格化を実現できる。
According to the plasmon sensor device of the present invention, a sensor plate is connected between an input optical fiber and an output optical fiber, and a thin film for exciting surface plasmons is provided on at least a part of the sensor plate. The light for surface plasmon excitation is provided from the input optical fiber and is output from the output optical fiber through the sensor plate, so that the refractive index can be accurately measured in a simple configuration, so that the size and the size can be reduced. The price can be reduced.

【0076】また、光ファイバの長さを自由に選ぶこと
ができるので、例えばタンクの底などにセンサプレート
を置き、投光ユニット及び受光ユニットを別の場所に設
置することができる。更に、センサプレートと電気系統
とを分離できるので、ノイズの多い環境(例えば工場、
エンジン等)での測定や、ガソリンなどの引火性の液体
の屈折率の測定が可能である。したがって、家庭電化製
品や自動車への広い範囲での応用を実現できる。
Further, since the length of the optical fiber can be freely selected, for example, the sensor plate can be placed at the bottom of the tank or the like, and the light emitting unit and the light receiving unit can be installed at different places. Furthermore, since the sensor plate and the electric system can be separated, a noisy environment (for example, a factory,
Engine) and the refractive index of flammable liquids such as gasoline. Therefore, a wide range of applications to home appliances and automobiles can be realized.

【0077】請求項2記載のプラズモンセンサ装置によ
れば、第一の表面プラズモン励起用の光は薄膜に接する
被測定物質の屈折率の増加に応じて透過光量が増加する
性質を有し、第二の表面プラズモン励起用の光は薄膜に
接する被測定物質の屈折率の増加に応じて透過光量が減
少する性質を有するので、それらの透過光量の差をとる
ことにより、屈折率測定の感度を向上できる。
According to the plasmon sensor device of the second aspect, the first surface plasmon excitation light has the property that the amount of transmitted light increases in accordance with the increase in the refractive index of the substance to be measured in contact with the thin film. Second, the surface plasmon excitation light has the property that the amount of transmitted light decreases as the refractive index of the substance to be measured in contact with the thin film increases.Therefore, by taking the difference between the amounts of transmitted light, the sensitivity of the refractive index measurement can be increased. Can be improved.

【0078】請求項3記載のプラズモンセンサ装置によ
れば、センサプレートが透明な板材からなることによ
り、金属(Au、Agなど)の蒸着が容易、プリズムよ
りも安価で小型、光軸合わせが不要で量産性が高い、等
の効果を奏する。
According to the plasmon sensor device of the third aspect, since the sensor plate is made of a transparent plate material, metal (Au, Ag, etc.) can be easily deposited, it is cheaper and smaller than a prism, and does not require optical axis alignment. And has the effect of high mass productivity.

【0079】請求項4記載のプラズモンセンサ装置によ
れば、入射用光ファイバ及び出射用光ファイバがマルチ
モード光ファイバであることにより、低価格化を達成で
きるとともに、光軸合わせを容易化できる。
According to the plasmon sensor device of the fourth aspect, since the input optical fiber and the output optical fiber are multi-mode optical fibers, the cost can be reduced and the optical axis can be easily aligned.

【0080】請求項5記載のプラズモンセンサ装置によ
れば、入射用光ファイバとセンサプレートとの間に偏光
フィルムが設けられたことにより、SN比を向上できる
ので、分解能を向上できる。
According to the plasmon sensor device of the fifth aspect, since the polarizing film is provided between the incident optical fiber and the sensor plate, the SN ratio can be improved, so that the resolution can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るプラズモンセンサ装置の第一実施
形態を示し、図1[1]は全体斜視図、図1[2]は分
解斜視図、図1[3]はセンサプレートの斜視図であ
る。
1 shows a first embodiment of a plasmon sensor device according to the present invention, wherein FIG. 1 [1] is an overall perspective view, FIG. 1 [2] is an exploded perspective view, and FIG. 1 [3] is a perspective view of a sensor plate. It is.

【図2】図1[1]におけるII−II線横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1 [1].

【図3】第一実施形態のプラズモンセンサ装置とともに
用いられる投光ユニット及び受光ユニットの一例を示す
断面図であり、図3[1]は投光ユニット、図3[2]
は受光ユニットである。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of a light emitting unit and a light receiving unit used together with the plasmon sensor device of the first embodiment. FIG. 3 [1] is a light emitting unit, and FIG.
Is a light receiving unit.

【図4】第一実施形態のプラズモンセンサ装置におけ
る、サンプルの屈折率と透過光量との関係を示すグラフ
である。
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the refractive index of a sample and the amount of transmitted light in the plasmon sensor device of the first embodiment.

【図5】図5[1]は本発明に係るプラズモンセンサ装
置の第二実施形態を示す全体斜視図である。図5[2]
は、本発明に係るプラズモンセンサ装置の第三実施形態
を示す全体斜視図である。
FIG. 5 [1] is an overall perspective view showing a second embodiment of the plasmon sensor device according to the present invention. Fig. 5 [2]
FIG. 3 is an overall perspective view showing a third embodiment of the plasmon sensor device according to the present invention.

【図6】第二実施形態のプラズモンセンサ装置におけ
る、サンプルの屈折率と透過光量との関係を示すグラフ
である。図6[1]は異なる波長におけるサンプルの屈
折率と透過光量との関係を示すグラフであり、図6
[2]はそれらの透過光量の差を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the refractive index of a sample and the amount of transmitted light in the plasmon sensor device of the second embodiment. FIG. 6A is a graph showing the relationship between the refractive index of the sample and the amount of transmitted light at different wavelengths.
[2] is a graph showing the difference between the transmitted light amounts.

【図7】本発明に係るプラズモンセンサ装置の第一応用
例を示す構成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram showing a first application example of the plasmon sensor device according to the present invention.

【図8】図8[1]は第一応用例における不凍液濃度と
屈折率との関係を示すグラフであり、図8[2]は第一
応用例における凍結温度と屈折率との関係を示すグラフ
である。
FIG. 8 [1] is a graph showing the relationship between the antifreeze concentration and the refractive index in the first application example, and FIG. 8 [2] is the graph showing the relationship between the freezing temperature and the refractive index in the first application example. It is a graph.

【図9】本発明に係るプラズモンセンサ装置の第二応用
例を示す構成図である。
FIG. 9 is a configuration diagram showing a second application example of the plasmon sensor device according to the present invention.

【図10】本発明に係るプラズモンセンサ装置の第三応
用例を示す構成図である。
FIG. 10 is a configuration diagram showing a third application example of the plasmon sensor device according to the present invention.

【図11】本発明に係るプラズモンセンサ装置の第四応
用例を示す構成図である。
FIG. 11 is a configuration diagram showing a fourth application example of the plasmon sensor device according to the present invention.

【図12】第四応用例における屈折率とSPRセンサ出
力との関係を示すグラフである。
FIG. 12 is a graph showing a relationship between a refractive index and an output of an SPR sensor in a fourth application example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,30,40 プラズモンセンサ装置 11,31a,31b 入射用の光ファイバ 12,32a,32b 出射用の光ファイバ 13,33 センサプレート 13A,13B,33A,33B 薄膜 14 偏光フィルム 10, 30, 40 Plasmon sensor device 11, 31a, 31b Optical fiber for incidence 12, 32a, 32b Optical fiber for emission 13, 33 Sensor plate 13A, 13B, 33A, 33B Thin film 14 Polarizing film

フロントページの続き Fターム(参考) 2G059 AA02 BB01 BB04 BB12 CC16 EE01 EE02 EE05 EE11 FF07 GG01 GG02 GG04 HH02 HH06 JJ17 JJ19 KK01 MM01 MM09 MM14 PP04 Continued on the front page F term (reference) 2G059 AA02 BB01 BB04 BB12 CC16 EE01 EE02 EE05 EE11 FF07 GG01 GG02 GG04 HH02 HH06 JJ17 JJ19 KK01 MM01 MM09 MM14 PP04

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入射用光ファイバと出射用光ファイバと
の間にセンサプレートが接続され、このセンサプレート
の少なくとも一部に表面プラズモン励起用の薄膜が設け
られ、表面プラズモン励起用の光が前記入射用光ファイ
バから入射し前記センサプレートを通って前記出射用光
ファイバから出射する、 プラズモンセンサ装置。
1. A sensor plate is connected between an input optical fiber and an output optical fiber, a thin film for exciting surface plasmons is provided on at least a part of the sensor plate, and light for exciting surface plasmons is provided. A plasmon sensor device, wherein the plasmon sensor device enters from an input optical fiber, passes through the sensor plate, and exits from the output optical fiber.
【請求項2】 第一及び第二の入射用光ファイバと第一
及び第二の出射用光ファイバとの間にセンサプレートが
接続され、このセンサプレートの少なくとも一部に表面
プラズモン励起用の薄膜が設けられ、第一の表面プラズ
モン励起用の光が前記第一の入射用光ファイバから入射
し前記センサプレートを通って前記第一の出射用光ファ
イバから出射し、第二の表面プラズモン励起用の光が前
記第二の入射用光ファイバから入射し前記センサプレー
トを通って前記第二の出射用光ファイバから出射し、前
記第一の表面プラズモン励起用の光は前記薄膜に接する
被測定物質の屈折率の増加に応じて透過光量が増加する
性質を有し、前記第二の表面プラズモン励起用の光は前
記被測定物質の屈折率の増加に応じて透過光量が減少す
る性質を有する、 プラズモンセンサ装置。
2. A sensor plate is connected between the first and second input optical fibers and the first and second output optical fibers, and a thin film for exciting surface plasmons is provided on at least a part of the sensor plate. Is provided, light for exciting the first surface plasmon is incident from the first input optical fiber, exits from the first emitting optical fiber through the sensor plate, and excites the second surface plasmon. Is incident from the second incident optical fiber, exits from the second exit optical fiber through the sensor plate, and the first surface plasmon excitation light is the substance to be measured in contact with the thin film. The second surface plasmon excitation light has a property that the amount of transmitted light decreases with an increase in the refractive index of the substance to be measured. Razumonsensa apparatus.
【請求項3】 前記センサプレートが透明な板材からな
る請求項1又は2記載のプラズモンセンサ装置。
3. The plasmon sensor device according to claim 1, wherein said sensor plate is made of a transparent plate.
【請求項4】 前記入射用光ファイバ及び前記出射用光
ファイバがマルチモード光ファイバである、 請求項1、2又は3記載のプラズモンセンサ装置。
4. The plasmon sensor device according to claim 1, wherein the input optical fiber and the output optical fiber are multimode optical fibers.
【請求項5】 前記入射用光ファイバと前記センサプレ
ートとの間に偏光フィルムが設けられた、 請求項1、2、3又は4記載のプラズモンセンサ装置。
5. The plasmon sensor device according to claim 1, wherein a polarizing film is provided between the incident optical fiber and the sensor plate.
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