JP2002350478A - 静電気対策装置及びこれを備えた生産装置 - Google Patents
静電気対策装置及びこれを備えた生産装置Info
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- JP2002350478A JP2002350478A JP2001162381A JP2001162381A JP2002350478A JP 2002350478 A JP2002350478 A JP 2002350478A JP 2001162381 A JP2001162381 A JP 2001162381A JP 2001162381 A JP2001162381 A JP 2001162381A JP 2002350478 A JP2002350478 A JP 2002350478A
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- JP
- Japan
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- human body
- grounding
- grounded
- static electricity
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- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較的簡単な装置で作業者の体が接地されて
いるかどうかを正確に検出して、作業者の体が接地され
ている場合のみ生産装置を稼働する静電気対策装置の実
現を課題とする。 【解決手段】 人体の接地を取る人体接地機器１を設
け、この人体接地機器１のインピーダンスを人体接地抵
抗測定装置２で判定して、人体に接地が取られていると
判定した場合のみ、加工／組立装置の本体３が稼働する
ように、加工／組立装置の制御ボックス４が制御を行
う。
いるかどうかを正確に検出して、作業者の体が接地され
ている場合のみ生産装置を稼働する静電気対策装置の実
現を課題とする。 【解決手段】 人体の接地を取る人体接地機器１を設
け、この人体接地機器１のインピーダンスを人体接地抵
抗測定装置２で判定して、人体に接地が取られていると
判定した場合のみ、加工／組立装置の本体３が稼働する
ように、加工／組立装置の制御ボックス４が制御を行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電気対策装置に
及びこれを備えた生産装置に関する。
及びこれを備えた生産装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体装置や電子部品などの精密
デバイスの生産装置において、装置操作者の静電気対策
として、アースバンドなどの静電気対策装置が用いら
れ、作業者の体をグランドに接地させるようにしてい
る。しかし、アースバンドの使用は作業者任せになりや
すく、作業中に作業者の体が確実に接地されていること
が保証できなかった。ア−スバンドなどの接地装置の接
地抵抗を監視して、ア−スバンドが外れた場合などのよ
うに使用中に接地抵抗が大きく変化したときに警報を出
す装置は存在しているが、作業者が最初からア−スバン
ドを取り付けていない場合には、検出は不可能であっ
た。
デバイスの生産装置において、装置操作者の静電気対策
として、アースバンドなどの静電気対策装置が用いら
れ、作業者の体をグランドに接地させるようにしてい
る。しかし、アースバンドの使用は作業者任せになりや
すく、作業中に作業者の体が確実に接地されていること
が保証できなかった。ア−スバンドなどの接地装置の接
地抵抗を監視して、ア−スバンドが外れた場合などのよ
うに使用中に接地抵抗が大きく変化したときに警報を出
す装置は存在しているが、作業者が最初からア−スバン
ドを取り付けていない場合には、検出は不可能であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、従来の
静電気対策装置には作業者の体が確実に接地されている
ことを保証する手段がなく、接地抵抗の変化を検出する
装置はあるものの、最初からア−スバンドを取り付けて
いない場合にはそれを検出する方法はなかった。本発明
は、比較的簡単な方法でこの問題を解決して、作業者の
体が接地されているかどうかを正確に検出して、作業者
の体が接地されていない場合には生産装置を稼働しない
ようにすることができる静電気対策装置の実現を課題と
する。
静電気対策装置には作業者の体が確実に接地されている
ことを保証する手段がなく、接地抵抗の変化を検出する
装置はあるものの、最初からア−スバンドを取り付けて
いない場合にはそれを検出する方法はなかった。本発明
は、比較的簡単な方法でこの問題を解決して、作業者の
体が接地されているかどうかを正確に検出して、作業者
の体が接地されていない場合には生産装置を稼働しない
ようにすることができる静電気対策装置の実現を課題と
する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、本発明は、精密デバイスや半導体装置の生産装置に
用いられる静電気対策装置において、人体の接地を取る
人体接地手段と、この人体接地手段のインピーダンスを
判定して人体に接地が取られていることを判定する接地
判定手段と、この接地判定手段の判定に応じて前記生産
装置の稼働を制御する稼働制御手段とを具備することを
特徴とする。これにより、作業者の体が接地されている
かどうかを検出して、作業者の体が接地されている場合
のみ生産装置を稼働するようにできる静電気対策装置を
実現することができる。
め、本発明は、精密デバイスや半導体装置の生産装置に
用いられる静電気対策装置において、人体の接地を取る
人体接地手段と、この人体接地手段のインピーダンスを
判定して人体に接地が取られていることを判定する接地
判定手段と、この接地判定手段の判定に応じて前記生産
装置の稼働を制御する稼働制御手段とを具備することを
特徴とする。これにより、作業者の体が接地されている
かどうかを検出して、作業者の体が接地されている場合
のみ生産装置を稼働するようにできる静電気対策装置を
実現することができる。
【０００５】また本発明は、静電気対策装置を設けた、
精密デバイスや半導体装置の生産装置であって、前記静
電気対策装置は、人体の接地を取る人体接地手段と、こ
の人体接地手段のインピーダンスを判定して人体に接地
が取られていることを判定する接地判定手段と、この接
地判定手段の判定に応じて当該生産装置の稼働を制御す
る稼働制御手段とを具備することを特徴とする生産装置
である。
精密デバイスや半導体装置の生産装置であって、前記静
電気対策装置は、人体の接地を取る人体接地手段と、こ
の人体接地手段のインピーダンスを判定して人体に接地
が取られていることを判定する接地判定手段と、この接
地判定手段の判定に応じて当該生産装置の稼働を制御す
る稼働制御手段とを具備することを特徴とする生産装置
である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる静電気対策
装置を添付図面を参照にして詳細に説明する。
装置を添付図面を参照にして詳細に説明する。
【０００７】図１に、本発明の静電気対策装置を設けた
生産装置の構成図を示す。図１において、符号１はアー
スバンドなどの人体接地機器、符号２は人体接地抵抗測
定装置、符号３は加工／組立装置の本体、符号４は加工
／組立装置の制御ボックス、符号５は作業者、符号６は
人体用アースライン、符号７は設備用アースラインであ
る。
生産装置の構成図を示す。図１において、符号１はアー
スバンドなどの人体接地機器、符号２は人体接地抵抗測
定装置、符号３は加工／組立装置の本体、符号４は加工
／組立装置の制御ボックス、符号５は作業者、符号６は
人体用アースライン、符号７は設備用アースラインであ
る。
【０００８】また、図２は、人体接地機器１の構成図で
ある。人体接地機器１は人体への接地を実現するため
に、電極と電極の２つの電極を有する２電極タイプ
で構成されている。この構成によって、確実に接地を取
ることができるとともに、接地を外れにくくすることが
でき、さらに、接地部分のインピーダンスの測定を容易
にすることができる。
ある。人体接地機器１は人体への接地を実現するため
に、電極と電極の２つの電極を有する２電極タイプ
で構成されている。この構成によって、確実に接地を取
ることができるとともに、接地を外れにくくすることが
でき、さらに、接地部分のインピーダンスの測定を容易
にすることができる。
【０００９】本発明の静電気対策装置の静電対策動作に
ついて説明する。図３は正常動作の場合を示す。図３に
おいて、人体接地抵抗測定装置２に人体接地機器１を接
続し、２つの電極で人体（例えば腕の部分）を挟むよう
にする。すると、人体接地抵抗測定装置２は人体接地機
器１の２本のケーブルと２つの電極に挟まれた人体との
全体の抵抗値を測定する。そうして、この抵抗値が所定
の設定範囲内にあれば、人体接地機器１を人体用アース
ライン６に接続して接地させるとともに、加工／組立装
置の制御ボックス４に動作を許可する信号を出力する。
この信号を受けて、制御ボックス４は加工／組立装置の
本体３の電源をオンにし（もしくはロックを解除するよ
うにし）、作業者が加工／組立装置の本体３を操作でき
るようにする。人体接地抵抗測定装置２は、以後常時人
体接地機器１の抵抗値を測定して監視する。
ついて説明する。図３は正常動作の場合を示す。図３に
おいて、人体接地抵抗測定装置２に人体接地機器１を接
続し、２つの電極で人体（例えば腕の部分）を挟むよう
にする。すると、人体接地抵抗測定装置２は人体接地機
器１の２本のケーブルと２つの電極に挟まれた人体との
全体の抵抗値を測定する。そうして、この抵抗値が所定
の設定範囲内にあれば、人体接地機器１を人体用アース
ライン６に接続して接地させるとともに、加工／組立装
置の制御ボックス４に動作を許可する信号を出力する。
この信号を受けて、制御ボックス４は加工／組立装置の
本体３の電源をオンにし（もしくはロックを解除するよ
うにし）、作業者が加工／組立装置の本体３を操作でき
るようにする。人体接地抵抗測定装置２は、以後常時人
体接地機器１の抵抗値を測定して監視する。
【００１０】図４に人体接地異常の場合を示す。人体接
地機器１がケーブルの断線や短絡で正常に動作をしてい
ない場合や、作業者が人体接地機器１を使用していない
場合、人体接地抵抗測定装置２は人体接地機器１の抵抗
値を測定して、この抵抗値が所定の設定範囲内に無いこ
とを検知すると、加工／組立装置の制御ボックス４に動
作を認めない信号を出力する。この信号を受けて、制御
ボックス４は加工／組立装置の本体３の電源をオフする
（もしくは装置をロックする）。これにより、作業者は
加工／組立装置の本体３を操作することができない。人
体接地抵抗測定装置２は、以後常時人体接地機器１の抵
抗値を測定して監視し、抵抗値が所定の設定範囲内に戻
れば、加工／組立装置の制御ボックス４に動作許可信号
を出力する。
地機器１がケーブルの断線や短絡で正常に動作をしてい
ない場合や、作業者が人体接地機器１を使用していない
場合、人体接地抵抗測定装置２は人体接地機器１の抵抗
値を測定して、この抵抗値が所定の設定範囲内に無いこ
とを検知すると、加工／組立装置の制御ボックス４に動
作を認めない信号を出力する。この信号を受けて、制御
ボックス４は加工／組立装置の本体３の電源をオフする
（もしくは装置をロックする）。これにより、作業者は
加工／組立装置の本体３を操作することができない。人
体接地抵抗測定装置２は、以後常時人体接地機器１の抵
抗値を測定して監視し、抵抗値が所定の設定範囲内に戻
れば、加工／組立装置の制御ボックス４に動作許可信号
を出力する。
【００１１】このように、本発明によれば、作業者が人
体接地機器１を使用しその抵抗値が所定の範囲内に無い
場合は、生産装置である加工／組立装置本体３を使用す
ることができないようにするため、作業者の人体の帯電
による生産ラインでの精密デバイスの静電破壊を防止す
ることができる。以上では、人体接地抵抗測定装置２は
人体を挟んだ人体接地機器１の抵抗を測定して接地を検
出するように説明したが、人体を挟んだ人体接地機器１
の容量値を検出するようにしてもよく、あるいは人体を
挟んだ人体接地機器１の抵抗と容量を含んだインピーダ
ンスを検出するようにしてもよい。
体接地機器１を使用しその抵抗値が所定の範囲内に無い
場合は、生産装置である加工／組立装置本体３を使用す
ることができないようにするため、作業者の人体の帯電
による生産ラインでの精密デバイスの静電破壊を防止す
ることができる。以上では、人体接地抵抗測定装置２は
人体を挟んだ人体接地機器１の抵抗を測定して接地を検
出するように説明したが、人体を挟んだ人体接地機器１
の容量値を検出するようにしてもよく、あるいは人体を
挟んだ人体接地機器１の抵抗と容量を含んだインピーダ
ンスを検出するようにしてもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１の
発明は、人体の接地を取る人体接地手段のインピーダン
スを判定して人体に接地が取られていることを接地判定
手段が判定し、この接地判定手段の判定に応じて生産装
置の稼働を制御するようにしている。したがって、比較
的簡単な装置で作業者の体が接地されているかどうかを
正確に検出して、作業者の体が接地されている場合のみ
生産装置を稼働する静電気対策装置を実現することがで
きる。
発明は、人体の接地を取る人体接地手段のインピーダン
スを判定して人体に接地が取られていることを接地判定
手段が判定し、この接地判定手段の判定に応じて生産装
置の稼働を制御するようにしている。したがって、比較
的簡単な装置で作業者の体が接地されているかどうかを
正確に検出して、作業者の体が接地されている場合のみ
生産装置を稼働する静電気対策装置を実現することがで
きる。
【００１３】本発明の請求項２の発明は、人体接地手段
はそれぞれラインに接続された２つの電極間で人体の一
部を挟んで接地を取るように構成する。これにより、確
実に接地を取ることができるとともに、接地を外れにく
くすることができ、さらに、接地部分のインピーダンス
の測定を容易にすることができる。
はそれぞれラインに接続された２つの電極間で人体の一
部を挟んで接地を取るように構成する。これにより、確
実に接地を取ることができるとともに、接地を外れにく
くすることができ、さらに、接地部分のインピーダンス
の測定を容易にすることができる。
【００１４】また本発明は、精密デバイスや半導体装置
の生産装置であって、前記構成の静電気対策装置を設け
たものである。したがって、この生産装置では、前記静
電気対策装置による効果が得られる。
の生産装置であって、前記構成の静電気対策装置を設け
たものである。したがって、この生産装置では、前記静
電気対策装置による効果が得られる。
【図１】本発明の静電気対策装置を設けた生産装置の構
成図。
成図。
【図２】図１の静電気対策装置の人体接地機器の構成
図。
図。
【図３】本発明の静電気対策装置の正常動作の場合の説
明図。
明図。
【図４】本発明の静電気対策装置の異常動作の場合の説
明図。
明図。
１…人体接地機器、２…人体接地抵抗測定装置、３…加
工／組立装置の本体、４…加工／組立装置の制御ボック
ス、５…作業者、６…人体用アースライン、７…設備用
アースライン。
工／組立装置の本体、４…加工／組立装置の制御ボック
ス、５…作業者、６…人体用アースライン、７…設備用
アースライン。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G014 AA01 AA02 AA04 AB62 AC17 2G028 AA00 BB10 BC07 CG05 CG08 HN01 KQ02 MS03 MS05
Claims (3)
- 【請求項１】 精密デバイスや半導体装置の生産装置に
用いられる静電気対策装置において、 人体の接地を取る人体接地手段と、 この人体接地手段のインピーダンスを判定して人体に接
地が取られていることを判定する接地判定手段と、 この接地判定手段の判定に応じて前記生産装置の稼働を
制御する稼働制御手段とを具備することを特徴とする静
電気対策装置。 - 【請求項２】 前記人体接地手段はそれぞれラインに接
続された２つの電極間で人体の一部を挟んで接地を取る
ことを特徴とする請求項１に記載の静電気対策装置。 - 【請求項３】 静電気対策装置を設けた、精密デバイス
や半導体装置の生産装置であって、前記静電気対策装置
は、 人体の接地を取る人体接地手段と、 この人体接地手段のインピーダンスを判定して人体に接
地が取られていることを判定する接地判定手段と、 この接地判定手段の判定に応じて当該生産装置の稼働を
制御する稼働制御手段とを具備することを特徴とする生
産装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001162381A JP2002350478A (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 静電気対策装置及びこれを備えた生産装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001162381A JP2002350478A (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 静電気対策装置及びこれを備えた生産装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002350478A true JP2002350478A (ja) | 2002-12-04 |
Family
ID=19005520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001162381A Pending JP2002350478A (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 静電気対策装置及びこれを備えた生産装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002350478A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100439932C (zh) * | 2004-11-17 | 2008-12-03 | 华为技术有限公司 | 一种多功能接地监控系统 |
| KR101205302B1 (ko) | 2011-06-29 | 2012-11-27 | 김진영 | 접지감시시스템 |
| JP2016537625A (ja) * | 2013-11-21 | 2016-12-01 | デスコ インダストリーズ， インコーポレイテッド | 接地監視装置 |
| KR20180125066A (ko) * | 2017-05-11 | 2018-11-22 | 주식회사 메텔 | 인체 전압 측정 및 그라운드 장치 |
| JPWO2021152768A1 (ja) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 |
-
2001
- 2001-05-30 JP JP2001162381A patent/JP2002350478A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100439932C (zh) * | 2004-11-17 | 2008-12-03 | 华为技术有限公司 | 一种多功能接地监控系统 |
| KR101205302B1 (ko) | 2011-06-29 | 2012-11-27 | 김진영 | 접지감시시스템 |
| JP2016537625A (ja) * | 2013-11-21 | 2016-12-01 | デスコ インダストリーズ， インコーポレイテッド | 接地監視装置 |
| KR20180125066A (ko) * | 2017-05-11 | 2018-11-22 | 주식회사 메텔 | 인체 전압 측정 및 그라운드 장치 |
| KR102027325B1 (ko) * | 2017-05-11 | 2019-10-02 | 주식회사 메텔 | 인체 전압 측정 및 그라운드 장치 |
| JPWO2021152768A1 (ja) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | ||
| JP7328583B2 (ja) | 2020-01-30 | 2023-08-17 | 日本電信電話株式会社 | 対地電圧測定における測定個人差補正システム |
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