JP2002342016A - Ultrasonic touch panel - Google Patents

Ultrasonic touch panel

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JP2002342016A
JP2002342016A JP2001143246A JP2001143246A JP2002342016A JP 2002342016 A JP2002342016 A JP 2002342016A JP 2001143246 A JP2001143246 A JP 2001143246A JP 2001143246 A JP2001143246 A JP 2001143246A JP 2002342016 A JP2002342016 A JP 2002342016A
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JP
Japan
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ultrasonic
ultrasonic transducer
piezoelectric substrate
touch panel
adhesive layer
Prior art date
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Application number
JP2001143246A
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Japanese (ja)
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Hideki Kitajima
秀樹 北島
Fumio Kimura
文雄 木村
Takashi Sarada
孝史 皿田
Masataka Araogi
正隆 新荻
Koji Toda
耕司 戸田
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To uniformize the attenuation amount of ultrasonic waves generated in an adhesive layer between each ultrasonic transducer and a non-piezoelectric substrate and to improve the read accuracy of an ultrasonic touch panel. SOLUTION: In the ultrasonic touch panel for which the ultrasonic transducer 1 including a piezoelectric material 2 for which an interdigital electrode 3 is formed on a surface is provided facing one of the surfaces of the non- piezoelectric substrate 4, by mixing a spacer 6 keeping a fixed interval in an adhesive material 5 adhering the ultrasonic transducer 1 and the non- piezoelectric substrate 2, the film thickness of the adhesive layer is uniformized and the attenuation of the ultrasonic waves generated between each ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate is uniformized. Thus, sensitivity and read accuracy at the time of the contact of a finger or an indicator are improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波送受信装置
を非圧電基板に備えることにより、その非圧電基板に指
または物体が接触したことを検出する超音波タッチパネ
ルに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic touch panel provided with an ultrasonic transmitting / receiving device on a non-piezoelectric substrate to detect contact of a finger or an object with the non-piezoelectric substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の超音波タッチパネルにおける超音
波トランスデューサの接着方法としては、超音波トラン
スデューサとガラス等非圧電基板との間に熱硬化型接着
剤や紫外線硬化型接着剤を塗布若しくはディスペンサで
一定量を滴下し、接着する方式が一般的であった。
2. Description of the Related Art As a method of bonding an ultrasonic transducer in a conventional ultrasonic touch panel, a thermosetting adhesive or an ultraviolet curing adhesive is applied between the ultrasonic transducer and a non-piezoelectric substrate such as glass, or is fixed by a dispenser. A method of dropping an amount and bonding was common.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の超音波タッチパ
ネルにおける超音波トランスデューサの接着方法では、
接着層の厚さを正確に制御できないため、接着層におけ
る減衰量が不均一となり、超音波トランスデューサから
非圧電基板への超音波の伝搬特性に影響を与えていた。
In the conventional method of bonding an ultrasonic transducer in an ultrasonic touch panel,
Since the thickness of the adhesive layer cannot be accurately controlled, the amount of attenuation in the adhesive layer becomes nonuniform, which affects the propagation characteristics of ultrasonic waves from the ultrasonic transducer to the non-piezoelectric substrate.

【0004】また、超音波トランスデューサと非圧電基
板との接着において、荷重負荷をかける必要があるた
め、接着層の厚さが必要以上に薄くなる場合、余分な接
着剤が超音波トランスデューサ側面へはみ出し、弾性表
面波の伝搬特性に悪影響を与える恐れがあり、その余分
な接着剤を除去する必要があった。
In addition, since it is necessary to apply a load in bonding the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate, when the thickness of the adhesive layer becomes thinner than necessary, excess adhesive protrudes to the side of the ultrasonic transducer. There is a possibility that the propagation characteristics of the surface acoustic wave may be adversely affected, and it is necessary to remove the excess adhesive.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、圧電材料からなり、すだれ状電極を表面
に形成した超音波トランスデューサを含み、超音波トラ
ンスデューサと非圧電基板との間に所定の間隔を保持す
るスペーサを含む接着層を有するように超音波トランス
デューサを接着した。
Means for Solving the Problems As means for solving the above problems, there is provided an ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and having interdigital electrodes formed on the surface thereof, and a predetermined electrode is provided between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate. The ultrasonic transducer was adhered so as to have an adhesive layer including a spacer for maintaining the interval.

【0006】上記課題を解決するための手段として、圧
電材料からなり、すだれ状電極を表面に形成した超音波
トランスデューサを含み、超音波トランスデューサ間を
伝搬する弾性表面波の伝搬路となる非圧電基板と、該非
圧電基板と人指若しくは指示器の接触による弾性表面波
の変化に基づき、前記人指若しくは指示器の位置を検出
する超音波タッチパネルにおいて、超音波トランスデュ
ーサと非圧電基板との間に所定の間隔を保持するスペー
サを含む接着層を有するように超音波タッチパネルを構
成した。
As a means for solving the above-mentioned problems, a non-piezoelectric substrate comprising an ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and having IDTs formed on the surface thereof and serving as a propagation path of a surface acoustic wave propagating between the ultrasonic transducers is provided. And an ultrasonic touch panel for detecting the position of the finger or indicator based on a change in surface acoustic waves due to contact between the non-piezoelectric substrate and the finger or indicator, wherein a predetermined distance is established between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate. The ultrasonic touch panel was configured so as to have an adhesive layer including a spacer for maintaining the distance between the substrates.

【0007】上記課題を解決するための手段として、圧
電材料からなり、すだれ状電極を表面に形成した超音波
トランスデューサが非圧電基板の一方の表面に対向して
配置され、かつ、対向する超音波トランスデューサ間を
伝搬する弾性表面波の伝搬路が互いに交差するように配
置され、超音波トランスデューサのすだれ状電極を選択
回路で選択し、人指若しくは指示器の接触による弾性表
面波の変化に基づき、前記人指若しくは指示器の位置を
検出する超音波タッチパネルにおいて、超音波トランス
デューサと非圧電基板との間に所定の間隔を保持するス
ペーサを含む接着層を有するように超音波タッチパネル
を構成した。
As means for solving the above problems, an ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and having interdigital electrodes formed on the surface thereof is disposed opposite to one surface of the non-piezoelectric substrate. The propagation paths of the surface acoustic waves propagating between the transducers are arranged so as to intersect with each other, the interdigital electrodes of the ultrasonic transducer are selected by a selection circuit, and based on a change in the surface acoustic waves due to the contact of a finger or an indicator, In the ultrasonic touch panel for detecting the position of the finger or the indicator, the ultrasonic touch panel is configured to have an adhesive layer including a spacer for maintaining a predetermined interval between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate.

【0008】上記課題を解決するための手段として、圧
電材料からなり、すだれ状電極を表面に形成した超音波
トランスデューサを含み、超音波トランスデューサ間を
伝搬する弾性表面波の伝搬路となる非圧電基板と、該非
圧電基板と人指若しくは指示器の接触による弾性表面波
の変化に基づき、前記人指若しくは指示器の位置を検出
する超音波タッチパネルにおいて、表面にすだれ状電極
若しくはすだれ状電極に接続された電極部を有する超音
波トランスデューサと、表面にITO(Indium Tin Oxi
de)若しくはアルミ等の導電性材料からなる電極部を有
する非圧電基板を含み、超音波トランスデューサと非圧
電基板との間に所定の間隔を保持する機能と、前記超音
波トランスデューサのすだれ状電極若しくはすだれ状電
極に接続された電極部と前記非圧電基板の電極部とを電
気的に接続する機能を持つ導電性スペーサを前記超音波
トランスデューサと非圧電基板との接着層に含むように
超音波タッチパネルを構成した。
As a means for solving the above problems, a non-piezoelectric substrate comprising an ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and having IDTs formed on the surface thereof and serving as a propagation path of a surface acoustic wave propagating between the ultrasonic transducers. In the ultrasonic touch panel for detecting the position of the finger or the indicator based on the change of the surface acoustic wave due to the contact between the non-piezoelectric substrate and the finger or the indicator, the surface is connected to the interdigital electrode or the interdigital electrode. An ultrasonic transducer having an electrode part and an ITO (Indium Tin Oxi)
de) or a non-piezoelectric substrate having an electrode portion made of a conductive material such as aluminum, a function of maintaining a predetermined distance between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate, and interdigital electrodes or An ultrasonic touch panel such that a conductive spacer having a function of electrically connecting an electrode portion connected to the interdigital electrode and an electrode portion of the non-piezoelectric substrate is included in an adhesive layer between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate. Was configured.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】図1に本発明における実施例の一
例である超音波タッチパネルの断面図を示す。1は超音
波トランスデューサ、2はPZT等の圧電材料、3は圧
電材料の表面に形成されたすだれ状電極、4は弾性表面
波を伝搬させるガラス等の非圧電基板、5は接着剤であ
り、6はスペーサである。
FIG. 1 is a sectional view of an ultrasonic touch panel according to an embodiment of the present invention. 1 is an ultrasonic transducer, 2 is a piezoelectric material such as PZT, 3 is an interdigital electrode formed on the surface of the piezoelectric material, 4 is a non-piezoelectric substrate such as glass for transmitting surface acoustic waves, 5 is an adhesive, 6 is a spacer.

【0010】図2に超音波タッチパネルにおける、超音
波トランスデューサの配置を示す。
FIG. 2 shows an arrangement of the ultrasonic transducers in the ultrasonic touch panel.

【0011】超音波トランスデューサ1は送信側を送信
側超音波トランスデューサTnとし、受信側を受信側超
音波トランスデューサRnとして、それぞれ対向して配
置されており、弾性表面波の減衰量に基づき、指7の接
触の有無及び指示位置を算出する。
The ultrasonic transducers 1 are arranged to face each other with the transmitting side being a transmitting side ultrasonic transducer Tn and the receiving side being a receiving side ultrasonic transducer Rn. The presence / absence of the contact and the designated position are calculated.

【0012】図3に超音波トランスデューサと非圧電基
板との接着方法の手順を示す。最初に接着剤5とスペー
サ6とを混合し、脱気する。ディスペンサを使用して一
定量を非圧電基板上に吐出し、超音波トランスデューサ
を配置して接着し、その後、荷重負荷を与えると同時
に、熱硬化を行う。
FIG. 3 shows a procedure of a method of bonding the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate. First, the adhesive 5 and the spacer 6 are mixed and degassed. Using a dispenser, a fixed amount is discharged onto the non-piezoelectric substrate, an ultrasonic transducer is arranged and bonded, and thereafter, a load is applied and heat curing is performed.

【0013】ここで、上記の条件で作成された超音波タ
ッチパネルに関して、弾性表面波の伝搬特性に与える影
響を評価するために、送信側超音波トランスデューサT
nと受信側超音波トランスデューサRn間の挿入損失を測
定する。
Here, regarding the ultrasonic touch panel prepared under the above conditions, in order to evaluate the influence on the propagation characteristics of the surface acoustic wave, the transmitting side ultrasonic transducer T
The insertion loss between n and the receiving ultrasonic transducer Rn is measured.

【0014】なお、スペーサ不使用の比較例として、圧
電材料としてとしてPZT(12mm×6mm×0.23m
m)を使用し、該圧電材料の表面にすだれ状電極(電極
対数6本、電極間隔0.25mm)を形成し、弾性表面波を
伝搬媒体である非圧電基板としてソーダライムガラス
(85mm×30mm×0.7mm)、接着剤として一液性熱
硬化型の長瀬産業株式会社製XNR4203を使用し、送信側
及び受信側超音波トランスデューサの中心間距離が27m
mとし、図8に示すように超音波タッチパネルを作成し
た。
As a comparative example in which no spacer is used, PZT (12 mm × 6 mm × 0.23 m) is used as a piezoelectric material.
m) is used to form an interdigital electrode (six electrode pairs, electrode spacing 0.25 mm) on the surface of the piezoelectric material, and a soda lime glass (85 mm × 30 mm × 0.7mm), One-part thermosetting type XNR4203 manufactured by Nagase & Co., Ltd. is used as the adhesive, and the center distance between the transmitting and receiving ultrasonic transducers is 27m.
m, and an ultrasonic touch panel was created as shown in FIG.

【0015】一方、実施例としては、接着剤の中にスペ
ーサとして積水ファインケミカル株式会社製ミクロパー
ルSP(粒子径4μm)を重量比0.5%混入し、図1に示
すように超音波タッチパネルを作成した。
On the other hand, as an example, 0.5% by weight of Micropearl SP (particle size: 4 μm) manufactured by Sekisui Fine Chemical Co., Ltd. was mixed as a spacer into an adhesive to produce an ultrasonic touch panel as shown in FIG. .

【0016】最初に、挿入損失の評価について説明す
る。挿入損失の評価方法に関しては、Hewlett Packard
社製ネットワークアナライザ8153Bを使用し、出力に送
信側超音波トランスデューサを接続し、入力に受信側超
音波トランスデューサを接続し、6MHzにおける送信
側超音波トランスデューサT1〜5と受信側超音波トラン
スデューサR1〜5との間の挿入損失を測定した。
First, evaluation of insertion loss will be described. For information on how to evaluate insertion loss, see Hewlett Packard
Using a network analyzer 8153B manufactured by the company, a transmitting ultrasonic transducer is connected to the output, a receiving ultrasonic transducer is connected to the input, and the transmitting ultrasonic transducers T1 to T5 and the receiving ultrasonic transducer R1 to R5 at 6 MHz are connected. Was measured.

【0017】表1に各トランスデューサ間の挿入損失の
測定結果を示す。
Table 1 shows the measurement results of the insertion loss between the transducers.

【0018】[0018]

【表1】 [Table 1]

【0019】次に接着層の膜厚の評価について説明す
る。接着層の膜厚の評価方法に関しては、接着層を含む
断面をアルミナ研磨後、金属顕微鏡にて端面を測定し
た。
Next, the evaluation of the thickness of the adhesive layer will be described. Regarding the evaluation method of the film thickness of the adhesive layer, the cross section including the adhesive layer was polished with alumina, and the end face was measured with a metallographic microscope.

【0020】表2に各超音波トランスデューサとガラス
基板との接着層の膜厚の測定結果を示す。
Table 2 shows the measurement results of the thickness of the adhesive layer between each ultrasonic transducer and the glass substrate.

【0021】[0021]

【表2】 [Table 2]

【0022】図4に接着層の膜厚の平均値と各超音波ト
ランスデューサ間の挿入損失の関係を示す。図4に示さ
れる比較例の膜厚は実施例の膜厚に対して標準偏差が大
きく、更に膜厚が厚いほど挿入損失が悪化する傾向が見
られる。
FIG. 4 shows the relationship between the average value of the thickness of the adhesive layer and the insertion loss between the ultrasonic transducers. The standard deviation of the film thickness of the comparative example shown in FIG. 4 is larger than the film thickness of the example, and the insertion loss tends to be worse as the film thickness is larger.

【0023】表2の結果に基づき、スペーサを使用する
ことにより接着層の膜厚が均一化され、更に表1の結果
より、膜厚が均一化された実施例の構成によって、挿入
損失の標準偏差が少なくなることから、接着層の膜厚を
制御することが挿入損失の特性向上、更に指若しくは指
示器接触時の感度及び読取精度の向上に有効であること
がわかる。
Based on the results in Table 2, the thickness of the adhesive layer was made uniform by using the spacers. Further, from the results in Table 1, the standardized insertion loss was obtained by the structure of the embodiment in which the film thickness was made uniform. Since the deviation is reduced, it can be understood that controlling the thickness of the adhesive layer is effective for improving the characteristics of insertion loss, and for improving the sensitivity and reading accuracy at the time of contact with a finger or an indicator.

【0024】本発明において、前述した接着剤の代わり
に、ニ液性の熱硬化型接着剤や紫外線硬化型接着剤を使
用しても接着層の膜厚制御が可能であり、挿入損失の特
性向上に有効である。
In the present invention, the thickness of the adhesive layer can be controlled by using a two-component thermosetting adhesive or an ultraviolet-curing adhesive instead of the above-mentioned adhesive, and the insertion loss characteristics can be controlled. It is effective for improvement.

【0025】次に、超音波トランスデューサと非圧電基
板との間に接着層の間隔を保持するとともに導通を確保
できるよう、導電性スペーサを使用した第2の構成につ
いて、図5〜6に基づき説明する。
Next, a second configuration using conductive spacers so as to maintain the gap between the adhesive layer between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate and to ensure conduction will be described with reference to FIGS. I do.

【0026】図5は、接着前の圧電材料2の下面に形成
したすだれ状電極3と非圧電基板4の上面に形成した電
極部9を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing the interdigital transducer 3 formed on the lower surface of the piezoelectric material 2 before bonding and the electrode portion 9 formed on the upper surface of the non-piezoelectric substrate 4.

【0027】図6は、導電性スペーサを使用した第2の
構成を示した断面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing a second configuration using a conductive spacer.

【0028】1は超音波トランスデューサで、PZT等
の圧電材料2、圧電材料の表面に形成されたすだれ状電
極3を含む。4は弾性表面波を伝搬するガラス等で構成
される非圧電基板、5は接着剤であり、8は導電性スペ
ーサである。9は非圧電基板上に形成されたITO等で
構成される電極部である。
Reference numeral 1 denotes an ultrasonic transducer, which includes a piezoelectric material 2 such as PZT, and interdigital electrodes 3 formed on the surface of the piezoelectric material. Reference numeral 4 denotes a non-piezoelectric substrate made of glass or the like that propagates surface acoustic waves, 5 denotes an adhesive, and 8 denotes a conductive spacer. Reference numeral 9 denotes an electrode portion made of ITO or the like formed on a non-piezoelectric substrate.

【0029】超音波トランスデューサ1と非圧電基板4
を接着する際に、導電性スペーサを使用することによ
り、すだれ状電極3と電極部9とを電気的に接続するこ
とが可能となる。したがって、接着層の膜厚制御による
挿入損失の特性向上に加えて、ワイヤボンディングやフ
レキシブル基板の使用量及び工程を削減できる。
Ultrasonic transducer 1 and non-piezoelectric substrate 4
When the conductive spacers are used for bonding, the IDTs 3 and the electrode portions 9 can be electrically connected. Therefore, in addition to the improvement of the insertion loss characteristics by controlling the thickness of the adhesive layer, it is possible to reduce the amount of wire bonding and the amount of the flexible substrate used and the number of steps.

【0030】最後に複数のすだれ状電極を含む超音波ト
ランスデューサを使用した第3の構成について、図7に
基づき説明する。
Finally, a third configuration using an ultrasonic transducer including a plurality of interdigital electrodes will be described with reference to FIG.

【0031】1は超音波トランスデューサ、2aはPZ
T等の圧電材料、3は圧電材料の表面に形成されたすだ
れ状電極である。4は弾性表面波を伝搬させるガラス等
の非圧電基板である。1つの圧電材料表面に複数のすだ
れ状電極を含んでおり、それぞれ対向するすだれ状電極
を選択し、送信側と受信側の超音波トランスデューサと
の伝搬特性を電気的に検出することにより、指若しくは
指示器の接触の有無を判断する。
1 is an ultrasonic transducer, 2a is PZ
A piezoelectric material 3 such as T is an interdigital electrode formed on the surface of the piezoelectric material. Reference numeral 4 denotes a non-piezoelectric substrate made of glass or the like for transmitting a surface acoustic wave. A single piezoelectric material surface includes a plurality of interdigital transducers, each of which selects an opposing interdigital transducer, and electrically detects the propagation characteristics between the transmitting side and the receiving side ultrasonic transducers. It is determined whether or not the indicator has been touched.

【0032】この第3の構成においても接着層の厚みが
変動すると、選択するすだれ状電極によって伝搬特性に
大きな差が発生するため、スペーサを使用して接着層の
厚みを均一化し、伝搬特性を均一化させることにより、
指若しくは指示器の感度及び読取精度を向上させること
が可能となる。
Also in the third configuration, if the thickness of the adhesive layer varies, a large difference occurs in the propagation characteristics depending on the selected IDT. Therefore, the thickness of the adhesive layer is made uniform by using a spacer to improve the propagation characteristics. By making it uniform,
It is possible to improve the sensitivity and reading accuracy of the finger or the indicator.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明によれば、超音波トランスデュー
サと非圧電基板との間にスペーサを含む接着層を持つこ
とにより、超音波の減衰率が低く、超音波トランスデュ
ーサ間の挿入損失のバラツキが少なくなるため、指や指
示器の接触時の感度が向上し、指や指示器の指示位置の
読取精度を向上させることが可能である。更に、超音波
トランスデューサと非圧電基板との間に、導電性スペー
サを含む接着層を持つことにより、ワイヤボンディング
等の電気的な接続工程を削減することが可能であるた
め、低コスト化が可能となる。
According to the present invention, by providing the adhesive layer including the spacer between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate, the attenuation rate of the ultrasonic wave is low, and the variation of the insertion loss between the ultrasonic transducers is reduced. Since the number is reduced, the sensitivity at the time of contact with the finger or the indicator is improved, and the reading accuracy of the position indicated by the finger or the indicator can be improved. Furthermore, by providing an adhesive layer including a conductive spacer between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate, it is possible to reduce the number of electrical connection steps such as wire bonding, thereby reducing costs. Becomes

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明における超音波タッチパネルの構成を示
す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an ultrasonic touch panel according to the present invention.

【図2】本発明による超音波タッチパネルの構成を示す
概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of an ultrasonic touch panel according to the present invention.

【図3】超音波トランスデューサと非圧電基板との接着
方法を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view showing a method of bonding an ultrasonic transducer and a non-piezoelectric substrate.

【図4】接着層の膜厚と挿入損失との関係を示すグラフ
である。
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the thickness of an adhesive layer and insertion loss.

【図5】導電性スペーサを使用した超音波タッチパネル
の電極配置を示する斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing an electrode arrangement of an ultrasonic touch panel using a conductive spacer.

【図6】本発明における導電性スペーサを使用した超音
波タッチパネルの構成を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an ultrasonic touch panel using a conductive spacer according to the present invention.

【図7】本発明における複数のすだれ状電極を含む超音
波トランスデューサからなる超音波タッチパネルの構成
を示す概略図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration of an ultrasonic touch panel including an ultrasonic transducer including a plurality of interdigital electrodes according to the present invention.

【図8】従来の超音波タッチパネルの構成を示す断面図
である。
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a conventional ultrasonic touch panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ・・・超音波トランスデューサ 2、2a ・・・圧電材料 3 ・・・すだれ状電極 4 ・・・非圧電基板 5 ・・・接着剤 6 ・・・スペーサ 7 ・・・指 8 ・・・導電性スペーサ 9 ・・・電極部 Tn ・・・送信側超音波トランスデューサ Rn ・・・受信側超音波トランスデューサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ultrasonic transducer 2, 2a ... Piezoelectric material 3 ... Interdigital electrode 4 ... Non-piezoelectric substrate 5 ... Adhesive 6 ... Spacer 7 ... Finger 8 ... Conduction Spacer 9 ・ ・ ・ Electrode part Tn ・ ・ ・ Transmitting ultrasonic transducer Rn ・ ・ ・ Receiving ultrasonic transducer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 文雄 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 皿田 孝史 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 新荻 正隆 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 戸田 耕司 神奈川県横須賀市二葉1丁目49番18号 戸 田 耕司内 Fターム(参考) 5B068 AA04 AA32 BB22 BC03 BC07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Fumio Kimura 1-8-8 Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba Prefecture Inside SIIR D Center (72) Inventor Takashi Sarada 1 Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba 8-8 chome S.I.R.D Center Center (72) Inventor Masataka Shinogi 1-8-8 Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba Seiko Instruments Inc. (72) Inventor Koji Toda Futaba, Yokosuka-shi, Kanagawa 1-49-18 Toda Kojinai F-term (reference) 5B068 AA04 AA32 BB22 BC03 BC07

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電材料からなり、すだれ状電極を表面
に形成した超音波トランスデューサを含み、超音波トラ
ンスデューサと非圧電基板との間に所定の間隔を保持す
るスペーサを含む接着層を有する超音波トランスデュー
サの接着方法。
An ultrasonic wave comprising an ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and having interdigital electrodes formed on a surface thereof, and having an adhesive layer including a spacer for maintaining a predetermined distance between the ultrasonic transducer and a non-piezoelectric substrate. Transducer bonding method.
【請求項2】 圧電材料からなり、すだれ状電極を表面
に形成した超音波トランスデューサを含み、超音波トラ
ンスデューサ間を伝搬する弾性表面波の伝搬路となる非
圧電基板と、該非圧電基板と人指若しくは指示器の接触
による弾性表面波の変化に基づき、前記人指若しくは指
示器の位置を検出する超音波タッチパネルにおいて、 超音波トランスデューサと非圧電基板との間に所定の間
隔を保持するスペーサを含む接着層を有する超音波タッ
チパネル。
2. A non-piezoelectric substrate which includes an ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and has IDTs formed on the surface thereof, and serves as a propagation path of a surface acoustic wave propagating between the ultrasonic transducers. Or, in an ultrasonic touch panel for detecting the position of the finger or the indicator based on a change in the surface acoustic wave due to the contact of the indicator, including a spacer for maintaining a predetermined interval between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate An ultrasonic touch panel having an adhesive layer.
【請求項3】 圧電材料からなり、すだれ状電極を表面
に形成した超音波トランスデューサが非圧電基板の一方
の表面に対向して配置され、かつ、対向する超音波トラ
ンスデューサ間を伝搬する弾性表面波の伝搬路が互いに
交差するように配置され、超音波トランスデューサのす
だれ状電極を選択回路で選択し、人指若しくは指示器の
接触による弾性表面波の変化に基づき、前記人指若しく
は指示器の位置を検出する超音波タッチパネルにおい
て、 超音波トランスデューサと非圧電基板との間に所定の間
隔を保持するスペーサを含む接着層を有する超音波タッ
チパネル。
3. An ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and having an interdigital transducer formed on the surface thereof is disposed facing one surface of a non-piezoelectric substrate, and the surface acoustic wave propagates between the opposed ultrasonic transducers. Are arranged so that the propagation paths intersect each other, the interdigital transducer of the ultrasonic transducer is selected by a selection circuit, and the position of the finger or the indicator is determined based on a change in the surface acoustic wave caused by the contact of the finger or the indicator. An ultrasonic touch panel, comprising: an adhesive layer including a spacer for maintaining a predetermined distance between an ultrasonic transducer and a non-piezoelectric substrate.
【請求項4】 圧電材料からなり、すだれ状電極を表面
に形成した超音波トランスデューサを含み、超音波トラ
ンスデューサ間を伝搬する弾性表面波の伝搬路となる非
圧電基板と、該非圧電基板と人指若しくは指示器の接触
による弾性表面波の変化に基づき、前記人指若しくは指
示器の位置を検出する超音波タッチパネルにおいて、 表面にすだれ状電極若しくはすだれ状電極に接続された
電極部を有する超音波トランスデューサと、表面にIT
O(Indium Tin Oxide)若しくはアルミ等の導電性材料
からなる電極部を有する非圧電基板を含み、超音波トラ
ンスデューサと非圧電基板との間に所定の間隔を保持す
る機能と、前記超音波トランスデューサのすだれ状電極
若しくはすだれ状電極に接続された電極部と前記非圧電
基板の電極部とを電気的に接続する機能を持つ導電性ス
ペーサを前記超音波トランスデューサと非圧電基板との
接着層に含むように構成した超音波タッチパネル。
4. A non-piezoelectric substrate including an ultrasonic transducer made of a piezoelectric material and having interdigital electrodes formed on the surface thereof, and serving as a propagation path of a surface acoustic wave propagating between the ultrasonic transducers. Or, in an ultrasonic touch panel for detecting the position of the finger or the indicator based on a change in surface acoustic waves caused by contact of the indicator, an ultrasonic transducer having an interdigital electrode or an electrode portion connected to the interdigital electrode on the surface. And IT on the surface
A non-piezoelectric substrate having an electrode portion made of a conductive material such as O (Indium Tin Oxide) or aluminum; a function of maintaining a predetermined distance between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate; A conductive spacer having a function of electrically connecting an interdigital electrode or an electrode portion connected to the interdigital electrode and the electrode portion of the non-piezoelectric substrate may be included in an adhesive layer between the ultrasonic transducer and the non-piezoelectric substrate. Ultrasonic touch panel.
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