JP2002340962A - Method and device for inspecting printed wiring board - Google Patents

Method and device for inspecting printed wiring board

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JP2002340962A
JP2002340962A JP2001141749A JP2001141749A JP2002340962A JP 2002340962 A JP2002340962 A JP 2002340962A JP 2001141749 A JP2001141749 A JP 2001141749A JP 2001141749 A JP2001141749 A JP 2001141749A JP 2002340962 A JP2002340962 A JP 2002340962A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and device for inspecting printed wiring boards capable of realizing space saving and a low cost and superior in productivity. SOLUTION: The inspection method inspects the printed wiring board 1 erecting electronic parts and a plurality of pins on a substrate having a circuit. A carrying-in process for carrying the printed wiring boards 1 to be inspected in a substrate jig 201 on a rotary table 20, an electric inspection process for performing continuity inspection of the printed wiring boards 1 and capacity inspection of the electronic parts, a visual examination process for performing visual examination of the pins, and a separation process for discharging the printed wiring boards 1 which are judged defective in the electric inspection process or the visual examination process and carrying out the printed wiring boards 1 which are judged nondefective to a next process are performed on each stage. The printed wiring boards 1 are successively transferred to each stage by the rotary table 20.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【技術分野】本発明は,プリント配線板の電気検査,及
び該プリント配線板に複数立設した導電性接続端子の外
観検査方法,及びこれに用いる検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrical inspection of a printed wiring board, a method for inspecting the appearance of a plurality of conductive connection terminals erected on the printed wiring board, and an inspection apparatus used for the method.

【0002】[0002]

【従来技術】従来より,図15(A)に示すような,電
子部品搭載用のプリント配線板9が知られている。該プ
リント配線板9の表面回路931はプリント配線板9内
部の対応する内部回路93と導通し,該内部回路932
は図15(B)に示すように,プリント配線板9の裏面
の対応する裏面端子933と導通するよう構成される。
なお,上記表面回路931,裏面端子933は半田バン
プより構成されている。プリント配線板9にフリップチ
ップ等の電子部品8を搭載する際,該電子部品8とプリ
ント配線板9の内部回路932とを導通させるために,
表面回路931と電子部品8に形成された半田バンプ8
1を介して接続する,フリップチップ方式で実装され
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a printed wiring board 9 for mounting electronic components as shown in FIG. The surface circuit 931 of the printed wiring board 9 conducts with the corresponding internal circuit 93 inside the printed wiring board 9, and the internal circuit 932
Are configured to be electrically connected to the corresponding back surface terminals 933 on the back surface of the printed wiring board 9 as shown in FIG.
The surface circuit 931 and the back terminal 933 are formed of solder bumps. When mounting an electronic component 8 such as a flip chip on the printed wiring board 9, in order to make the electronic component 8 and the internal circuit 932 of the printed wiring board 9 conductive,
Surface circuit 931 and solder bump 8 formed on electronic component 8
1 are connected in a flip-chip manner.

【0003】また,図16に示すごとく,上記プリント
配線板9は,基板91における裏面端子933に,複数
のピン912を立設してなる。該ピン912は,導電性
接続端子であって,ピン状のリード線を用いたものであ
る。これにより,電子部品8からの出力を半田バンプ9
10,内部回路932を経てプリント配線板9の裏面側
に引き出したり,裏面側からの入力を電子部品8に伝え
たりすることができる。なお,図15においては,ピン
912を省略してある。
[0006] As shown in FIG. 16, the printed wiring board 9 has a plurality of pins 912 erected on rear terminals 933 of a substrate 91. The pin 912 is a conductive connection terminal, and uses a pin-shaped lead wire. As a result, the output from the electronic component 8 is transferred to the solder bump 9
10, through the internal circuit 932, it can be pulled out to the back side of the printed wiring board 9 or an input from the back side can be transmitted to the electronic component 8. In FIG. 15, the pins 912 are omitted.

【0004】上記のようなプリント配線板9について
は,上記ピン912の導通検査,実装されたコンデンサ
等の容量検査,及び上記ピン912の外観検査を行なっ
ている。該外観検査とは,プリント配線板9において,
例えば図16に示すようなピン曲がりが生じたピン91
2aの有無等の検査をいう。そして,上記導通検査,容
量検査,外観検査は,それぞれ,導通検査機,容量検査
機,外観検査機を用いて行なう。
With respect to the printed wiring board 9 described above, a continuity test of the pins 912, a capacity test of mounted capacitors and the like, and an appearance test of the pins 912 are performed. The appearance inspection is performed on the printed wiring board 9.
For example, a pin 91 having a bent pin as shown in FIG.
This refers to inspection for the presence or absence of 2a. The continuity inspection, the capacitance inspection, and the appearance inspection are performed using a continuity inspection machine, a capacitance inspection machine, and an appearance inspection machine, respectively.

【0005】[0005]

【解決しようとする課題】しかしながら,上記各検査
は,上記導通検査機,容量検査機,外観検査機によっ
て,それぞれ個別に行なわれる。即ち,検査すべき上記
プリント配線板は,上記導通検査機,容量検査機,外観
検査機のそれぞれに,搬入・搬出を繰返す必要がある。
そのため,検査効率を向上させることが困難であり,充
分な生産性を確保することが困難である。また,各検査
機を個別に設置することにより,その設置スペースが大
きくなる。更には,各検査機間に設ける必要がある搬送
機等の付帯設備も多くなり,結果的に検査コストが高く
なるという問題がある。
However, the above inspections are individually performed by the continuity inspection machine, the capacitance inspection machine, and the appearance inspection machine. That is, the printed wiring board to be inspected needs to be repeatedly carried in and out of the continuity inspection machine, the capacity inspection machine, and the appearance inspection machine.
Therefore, it is difficult to improve the inspection efficiency, and it is difficult to secure sufficient productivity. In addition, installing each inspection machine individually increases the installation space. Further, there is a problem that ancillary equipment such as a transporter that needs to be provided between the inspection machines increases, and as a result, the inspection cost increases.

【0006】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,省スペース,低コストを実現し,かつ生
産性に優れたプリント配線板の検査方法及び検査装置を
提供しようとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to provide a method and an apparatus for inspecting a printed wiring board which realizes space saving, low cost, and is excellent in productivity. It is.

【0007】[0007]

【課題の解決手段】第1の発明は,回路を有する基板上
に電子部品及び複数の導電性接続端子が立設されたプリ
ント配線板を検査する方法において,検査すべき上記プ
リント配線板を,移送手段にセットされた基板治具に搬
入する搬入工程と,上記プリント配線板の導通検査及び
上記電子部品の容量検査を行う電気検査工程と,上記導
電性接続端子の外観検査を行なう外観検査工程と,上記
電気検査工程もしくは上記外観検査工程において不良品
と判定されたプリント配線板を上記移送手段から排出す
ると共に,良品と判定されたプリント配線板を上記移送
手段から次工程へ搬出する分別工程とをそれぞれのステ
ージにおいて行ない,かつ,上記移送手段によって,上
記プリント配線板を上記各ステージに移送することを特
徴とするプリント配線板の検査方法にある(請求項
1)。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a printed wiring board on which electronic components and a plurality of conductive connection terminals are erected on a substrate having a circuit, the method comprising: A carrying-in step of carrying in a substrate jig set on a transfer means, an electric inspection step of conducting a continuity inspection of the printed wiring board and a capacitance inspection of the electronic component, and an appearance inspection step of carrying out an appearance inspection of the conductive connection terminals And a separating step of discharging the printed wiring board determined to be defective in the electrical inspection step or the appearance inspection step from the transfer means and carrying out the printed wiring board determined to be non-defective from the transfer means to the next step. Wherein the printed wiring board is transferred to each of the stages by the transfer means. In the inspection method for one-plate (claim 1).

【0008】本発明においては,上記プリント配線板を
上記移送手段に搬入した後,導通検査,容量検査,外観
検査を行ない,その後プリント配線板を搬出又は排出す
る。そのため,上記導通検査工程,容量検査工程,外観
検査工程のそれぞれに,プリント配線板を搬入・搬出を
繰返す必要がない。それ故,検査効率が向上し,生産性
に優れたプリント配線板の検査方法を得ることができ
る。また,各検査工程の間に,多くの搬送機その他の付
帯設備を設ける必要がないため,検査工程における省ス
ペース,低コスト化を実現することができる。
In the present invention, after the printed wiring board is carried into the transfer means, a continuity test, a capacity test, and an appearance test are performed, and then the printed wiring board is carried out or discharged. Therefore, it is not necessary to repeat loading and unloading of the printed wiring board in each of the continuity inspection step, the capacitance inspection step, and the appearance inspection step. Therefore, the inspection efficiency is improved, and a method for inspecting a printed wiring board excellent in productivity can be obtained. Further, since it is not necessary to provide many transporters and other auxiliary equipment between each inspection process, it is possible to realize space saving and cost reduction in the inspection process.

【0009】以上のごとく,本発明によれば,省スペー
ス,低コストを実現し,かつ生産性に優れたプリント配
線板の検査方法を提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method for inspecting a printed wiring board which realizes space saving, low cost, and is excellent in productivity.

【0010】第2の発明は,回路を有する基板上に電子
部品及び複数の導電性接続端子が立設されたプリント配
線板を検査するための検査装置において,該検査装置
は,上記プリント配線板の導通検査を行なう導通検査機
と,上記電子部品の容量検査を行う容量検査機と,上記
導電性接続端子の外観検査を行なう外観検査機と,上記
プリント配線板を保持し移送する移送手段とを有し,上
記導通検査機,容量検査機,及び外観検査機は,上記移
送手段に沿って配されたそれぞれのステージに設けてあ
り,かつ,上記移送手段は,上記プリント配線板を上記
各ステージに移送するよう構成してあることを特徴とす
るプリント配線板の検査装置にある(請求項4)。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for inspecting a printed wiring board having electronic components and a plurality of conductive connection terminals erected on a substrate having a circuit. A continuity inspection machine for inspecting the continuity of the electronic component, a capacitance inspection machine for inspecting the capacitance of the electronic component, an appearance inspection machine for inspecting the appearance of the conductive connection terminal, and a transfer means for holding and transferring the printed wiring board. Wherein the continuity inspection machine, the capacitance inspection machine, and the appearance inspection machine are provided on respective stages arranged along the transfer means, and the transfer means mounts the printed wiring board on each of the stages. A printed wiring board inspection apparatus is configured to be transferred to a stage (Claim 4).

【0011】本発明の検査装置においては,上記移送手
段に沿って配されたそれぞれのステージに,上記導通検
査機,容量検査機,及び外観検査機を設けてなる。その
ため,上記移送手段に保持されたプリント配線板は,上
記各ステージに順次移送される。即ち,上記導通検査
機,容量検査機,外観検査機のそれぞれに,プリント配
線板を搬入・搬出を繰返す必要がない。それ故,検査効
率が向上し,生産性が向上する。また,各検査機の間
に,多くの搬送機その他の付帯設備を設ける必要がない
ため,検査工程における省スペース,低コスト化を実現
することができる。
In the inspection apparatus according to the present invention, the continuity inspection machine, the capacitance inspection machine, and the appearance inspection machine are provided on each stage arranged along the transfer means. Therefore, the printed wiring board held by the transfer means is sequentially transferred to each of the stages. That is, it is not necessary to repeat the loading and unloading of the printed wiring board to each of the continuity inspection machine, the capacity inspection machine, and the appearance inspection machine. Therefore, inspection efficiency is improved and productivity is improved. Further, since there is no need to provide many transporters and other ancillary equipment between the inspection machines, space and cost reduction in the inspection process can be realized.

【0012】以上のごとく,本発明によれば,省スペー
ス,低コストを実現し,かつ生産性に優れたプリント配
線板の検査装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide an inspection apparatus for a printed wiring board which realizes space saving, low cost, and is excellent in productivity.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】上記第1の発明(請求項1)にお
いて,上記導通検査とは,例えば,上記導電性接続端子
や基板上の回路の断線,短絡の有無の検査などをいう。
また,上記電子部品とは,例えば,コンデンサ等をい
う。そして,上記容量検査とは,例えば,コンデンサの
静電容量が適切か否かの検査等をいう。また,上記電気
検査工程においては,例えば,プリント配線板に実装し
た抵抗やインダクタンス等の電気特性を検査することも
できる。
In the first invention (claim 1), the continuity test refers to, for example, a test for the presence or absence of a disconnection or a short circuit of the conductive connection terminal or a circuit on a substrate.
Further, the above-mentioned electronic component refers to, for example, a capacitor or the like. The capacitance test is, for example, a test for determining whether or not the capacitance of the capacitor is appropriate. Further, in the above-described electrical inspection step, for example, electrical characteristics such as resistance and inductance mounted on the printed wiring board can be inspected.

【0014】また,外観検査とは,例えば,上記導電性
接続端子のピン曲がりやピン浮き等のピン不良の有無の
検査等をいう。上記ピン曲がりとは,上記ピンが上記基
板に対して斜めに立設されていること,及びピン自体が
曲がっていること等をいう。また,上記ピン浮きとは,
上記基板に立設したピンが,規定値よりも突出している
ことをいう。例えば,上記基板に形成された半田パッド
内の半田バンプに,上記ピンが不完全な状態で当接され
ている場合に生ずる不具合である。なお,上記外観検査
において,例えば,ピン曲がりの検査とピン浮きの検査
を同じ工程において行なってもよいし,別工程において
行なってもよい。上記の定義は以下においても同様であ
る。
The appearance inspection refers to, for example, an inspection for the presence or absence of a pin defect such as a bent or floating pin of the conductive connection terminal. The term "pin bending" means that the pins are set upright with respect to the substrate and that the pins themselves are bent. Also, the above pin lift is
It means that the pins erected on the substrate protrude beyond a specified value. For example, this is a problem that occurs when the pin is incompletely contacted with a solder bump in a solder pad formed on the substrate. In the appearance inspection, for example, the inspection of the pin bending and the inspection of the pin floating may be performed in the same step, or may be performed in different steps. The same applies to the following definitions.

【0015】また,上記電気検査工程と外観検査工程と
は,いずれを先に行なってもよく,順序は問わない。ま
た,上記分別工程は,上記電気検査工程と外観検査工程
の後にそれぞれ別個に行なってもよく,双方終了後に一
括して行なってもよい。
Further, any of the above-described electrical inspection step and appearance inspection step may be performed first, and the order does not matter. Further, the sorting step may be performed separately after the electrical inspection step and the appearance inspection step, or may be performed collectively after both steps are completed.

【0016】また,上記移送手段は回転テーブルである
ことが好ましい(請求項2)。この場合には,一層の省
スペース,低コストを実現し,生産性を一層向上させる
ことができる。
It is preferable that the transfer means is a rotary table. In this case, further space saving and lower cost can be realized, and productivity can be further improved.

【0017】また,上記電気検査工程及び上記外観検査
工程においては,上記プリント配線板を複数個一組で検
査し,そのうちの一部のみが上記電気検査工程及び上記
外観検査工程で良品と判断された場合に,上記分別工程
においては,上記良品のプリント配線板を仮置きステー
ジに仮置きし,その後に検査される複数個一組のプリン
ト配線板のうちの一部のみが良品であった場合に,その
良品のプリント配線板と上記仮置きステージに仮置きさ
れていたプリント配線板とを合せて搬出することが好ま
しい(請求項3)。この場合には,不良品が生じた場合
にも,良品を複数個一組で次工程へ搬出することが可能
となるため,一層生産性を向上させることができる。
In the electric inspection step and the appearance inspection step, a plurality of the printed wiring boards are inspected in a set, and only a part of them is determined to be good in the electric inspection step and the appearance inspection step. In the above-mentioned separation process, the above-mentioned non-defective printed wiring board is temporarily placed on a temporary placing stage, and only a part of a set of a plurality of printed wiring boards to be inspected thereafter is non-defective. In addition, it is preferable that the non-defective printed wiring board and the printed wiring board temporarily placed on the temporary placement stage be brought out together (claim 3). In this case, even when a defective product occurs, a plurality of non-defective products can be carried out to the next process in a set, so that the productivity can be further improved.

【0018】例えば,上記プリント配線板を2個一組で
検査する場合は,そのうちの1個のみが良品と判断され
た場合に,その良品のプリント配線板を上記仮置きステ
ージに仮置きする。また,例えば,上記プリント配線板
を3個一組で検査する場合は,そのうちの1個又は2個
のみが良品と判断された場合に,その1個又は2個の良
品のプリント配線板を上記仮置きステージに仮置きす
る。
For example, in the case of inspecting two printed wiring boards in pairs, if only one of them is determined to be non-defective, the non-defective printed wiring board is temporarily placed on the temporary placement stage. Also, for example, in the case of inspecting a set of three of the above printed wiring boards, if only one or two of them are determined to be non-defective, the one or two non-defective printed wiring boards are replaced with the above-described one. Place temporarily on the temporary placement stage.

【0019】次に,上記第2の発明(請求項4)におい
て,上記導通検査機,容量検査機,外観検査機は,一台
であっても複数台であってもよい。また,上記移送手段
は回転テーブルであることが好ましい(請求項5)。こ
の場合には,一層の省スペース,低コストを実現し,生
産性を一層向上させることができる。
Next, in the second invention (claim 4), the number of the continuity inspection machine, the capacity inspection machine, and the appearance inspection machine may be one or plural. Preferably, the transfer means is a rotary table. In this case, further space saving and lower cost can be realized, and productivity can be further improved.

【0020】また,上記検査装置は,良品のプリント配
線板を仮置きする仮置きステージを有しており,上記導
通検査機,容量検査機,外観検査機は,上記プリント配
線板を複数個一組で検査し,そのうちの一部のみが各検
査機によって良品と判断された場合に,上記搬出機は,
上記良品のプリント配線板を上記仮置きステージに仮置
きし,その後に検査される複数個一組のプリント配線板
のうちの一部のみが良品であった場合に,その良品のプ
リント配線板と上記仮置きステージに仮置きされていた
プリント配線板とを合せて搬出するよう構成されている
ことが好ましい(請求項6)。この場合には,不良品が
生じた場合にも,良品を複数個一組で次工程へ搬出する
ことが可能となるため,一層生産性を向上させることが
できる。
The inspection apparatus has a temporary placement stage for temporarily placing a non-defective printed wiring board. The continuity inspection machine, the capacity inspection machine, and the appearance inspection machine include a plurality of the printed wiring boards. Inspection by a pair, if only a part of them is judged to be good by each inspection machine,
The non-defective printed wiring board is temporarily placed on the temporary placement stage, and if only a part of a plurality of sets of printed wiring boards to be inspected thereafter is non-defective, the non-defective printed wiring board is It is preferable that the printed wiring board temporarily placed on the temporary placement stage be taken out together with the printed wiring board (claim 6). In this case, even when a defective product occurs, a plurality of non-defective products can be carried out to the next process in a set, so that the productivity can be further improved.

【0021】[0021]

【実施例】(実施例1)本発明の実施例にかかるプリン
ト配線板の検査方法及び検査装置につき,図1〜図11
を用いて説明する。本例のプリント配線板の検査方法
は,図3に示すごとく,回路を有する基板11上に電子
部品16及び複数の導電性接続端子12が立設されたプ
リント配線板1を検査する方法である。上記導電性接続
端子12としては,ピン状のリード線を用いた端子(以
下,単に「ピン12」という。)を用いる。また,上記
電子部品16としてはコンデンサを用いる(以下,「コ
ンデンサ16」と表現する。)。
(Embodiment 1) FIGS. 1 to 11 show a method and an apparatus for inspecting a printed wiring board according to an embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, the method for inspecting a printed wiring board according to the present embodiment is a method for inspecting a printed wiring board 1 having an electronic component 16 and a plurality of conductive connection terminals 12 erected on a substrate 11 having a circuit. . As the conductive connection terminal 12, a terminal using a pin-shaped lead wire (hereinafter, simply referred to as "pin 12") is used. In addition, a capacitor is used as the electronic component 16 (hereinafter, referred to as “capacitor 16”).

【0022】上記検査方法は,以下の搬入工程と,電気
検査工程と,外観検査工程と,分別工程とを,それぞれ
のステージにおいて行なう(図1)。即ち,上記搬入工
程においては,検査すべき上記プリント配線板1を,移
送手段としての回転テーブル20にセットされた基板治
具201に搬入する。上記電気検査工程においては,上
記プリント配線板1の導通検査及び上記コンデンサ16
の容量検査を行う(図6,図7)。
In the above inspection method, the following loading step, electrical inspection step, appearance inspection step, and sorting step are performed at each stage (FIG. 1). That is, in the carrying-in step, the printed wiring board 1 to be inspected is carried into the substrate jig 201 set on the rotary table 20 as a transfer means. In the electrical inspection step, the continuity inspection of the printed wiring board 1 and the capacitor 16
(FIGS. 6 and 7).

【0023】上記外観検査工程においては,上記ピン1
2の外観検査を行なう(図8〜図11)。上記分別工程
においては,上記電気検査工程もしくは上記外観検査工
程において不良品と判定されたプリント配線板1を上記
回転テーブル20から排出すると共に,良品と判定され
たプリント配線板1を上記回転テーブル20から次工程
へ搬出する。そして,上記回転テーブル20によって,
上記プリント配線板1を上記各ステージに順次移送す
る。
In the visual inspection step, the pins 1
2 is carried out (FIGS. 8 to 11). In the sorting step, the printed wiring board 1 determined to be defective in the electrical inspection step or the appearance inspection step is discharged from the rotary table 20, and the printed wiring board 1 determined to be non-defective is removed from the rotary table 20. To the next process. And, by the above-mentioned rotary table 20,
The printed wiring board 1 is sequentially transferred to each of the stages.

【0024】上記電気検査工程は,上述のごとく,導通
検査工程と容量検査工程とからなる。そして,上記各ス
テージとは,搬入ステージ21,導通検査ステージ2
2,容量検査ステージ23,外観検査ステージ24,搬
出ステージ25,の5つのステージをいう。また,上記
導通検査とは,上記ピン12や基板11上の回路の断
線,短絡の有無の検査などをいう。また,上記容量検査
とは,上記コンデンサ16の静電容量が適切か否かの検
査等をいう。
As described above, the electrical inspection step includes a continuity inspection step and a capacitance inspection step. The above-mentioned stages are the carry-in stage 21 and the continuity inspection stage 2
2, five stages of a capacity inspection stage 23, a visual inspection stage 24, and a carry-out stage 25. In addition, the continuity test refers to a test for the presence or absence of a disconnection or short circuit of the circuit on the pin 12 or the substrate 11. In addition, the capacitance inspection refers to an inspection of whether or not the capacitance of the capacitor 16 is appropriate.

【0025】また,外観検査とは,例えば,ピン曲がり
やピン浮き等,ピン不良の有無の検査等をいう。上記ピ
ン曲がりとは,上記ピン12が上記基板11に対して斜
めに立設されていること(図9(A)の符号12a参
照),及びピン12自体が曲がっていること等をいう。
また,上記ピン浮きとは,上記基板11に立設したピン
12が,規定値よりも突出していることをいう(図11
(A)の符号12b参照)。例えば,上記基板11に形
成された半田パッド内の半田バンプに,上記ピン12が
不完全な状態で当接されている場合に生ずる不具合であ
る。なお,上記外観検査においては,ピン曲がりの検査
とピン浮きの検査を同じ工程において行なう。
The appearance inspection refers to, for example, an inspection for the presence or absence of a pin defect such as a bent or floating pin. The term "pin bend" means that the pins 12 are set up obliquely with respect to the substrate 11 (see reference numeral 12a in FIG. 9A), and that the pins 12 themselves are bent.
Also, the term “pin lifting” means that the pins 12 erected on the substrate 11 project beyond a specified value (FIG. 11).
(See reference numeral 12b in (A)). For example, this is a problem that occurs when the pins 12 abut incompletely on the solder bumps in the solder pads formed on the substrate 11. In the above-described appearance inspection, the inspection of the pin bending and the inspection of the pin floating are performed in the same process.

【0026】次に,上記プリント配線板1を検査するた
めの検査装置2について,図1を用いて説明する。該検
査装置2は,上記プリント配線板1の導通検査を行なう
導通検査機32と,上記コンデンサ16の容量検査を行
う容量検査機33と,上記ピン12の外観検査を行なう
外観検査機34と,上記プリント配線板1を保持し移送
する回転テーブル20とを有する。
Next, an inspection apparatus 2 for inspecting the printed wiring board 1 will be described with reference to FIG. The inspection apparatus 2 includes a continuity inspection machine 32 for inspecting the continuity of the printed wiring board 1, a capacitance inspection machine 33 for inspecting the capacitance of the capacitor 16, an appearance inspection machine 34 for inspecting the appearance of the pins 12, A rotary table 20 for holding and transferring the printed wiring board 1;

【0027】上記導通検査機32,容量検査機33,及
び外観検査機34は,上記回転テーブル20に沿って配
されたそれぞれのステージに設けてある。即ち,導通検
査機32は導通検査ステージ22に,容量検査機33は
容量検査ステージ23に,外観検査機34は外観検査ス
テージ24に,それぞれ配設されている。そして,上記
回転テーブル20は,上記プリント配線板1を上記各ス
テージに順次移送する。また,上記搬入ステージ21に
は搬入機31が,上記搬出ステージには搬出機35が配
置されている。また,各ステージに対応するように,検
査すべきプリント配線板1を載置するための基板治具2
01〜205が回転テーブル20上に設けてある。
The continuity inspection machine 32, the capacity inspection machine 33, and the appearance inspection machine 34 are provided on respective stages arranged along the rotary table 20. That is, the continuity inspection machine 32 is disposed on the continuity inspection stage 22, the capacitance inspection machine 33 is disposed on the capacitance inspection stage 23, and the appearance inspection machine 34 is disposed on the appearance inspection stage 24. Then, the turntable 20 sequentially transfers the printed wiring board 1 to each of the stages. A carry-in machine 31 is arranged on the carry-in stage 21 and a carry-out machine 35 is arranged on the carry-out stage. Further, a substrate jig 2 for mounting the printed wiring board 1 to be inspected so as to correspond to each stage.
Reference numerals 01 to 205 are provided on the turntable 20.

【0028】以下において,本例のプリント配線板1の
検査方法につき,詳細に説明する。図1に示すように,
本例の検査装置2は,円形の回転テーブル20を有し,
該回転テーブル20を回転駆動するための駆動系(図示
略)や制御系(図示略)より構成される。この回転テー
ブル20に対し各ステージは外周に沿って環状,等間隔
で配置される。これらの各ステージにおいて,プリント
配線板1の検査に必要な各処理(各工程)が時間的に並
列に,各プリント配線板1に対し行われる。
Hereinafter, a method for inspecting the printed wiring board 1 of the present embodiment will be described in detail. As shown in FIG.
The inspection device 2 of this example has a circular rotary table 20,
It comprises a drive system (not shown) for rotating and driving the rotary table 20 and a control system (not shown). The stages are arranged annularly at regular intervals along the outer circumference of the turntable 20. In each of these stages, each process (each process) required for inspection of the printed wiring board 1 is performed on each printed wiring board 1 in parallel in time.

【0029】また,各ステージと一対一で対応する5つ
の基板治具201〜205が回転テーブル20に等間隔
に配置されている。各基板治具201〜205は2つの
搭載部(図示略)を有し,2枚のプリント配線板1を同
時に搭載可能である。また図示を略したが,基板治具2
01〜205は,プリント配線板1を該基板治具201
〜205に固定するためのクランプを有する。
Further, five substrate jigs 201 to 205 corresponding to the respective stages in a one-to-one correspondence are arranged on the rotary table 20 at equal intervals. Each of the board jigs 201 to 205 has two mounting portions (not shown), and can mount two printed wiring boards 1 at the same time. Although not shown, the substrate jig 2
01 to 205, the printed wiring board 1 is
It has a clamp for fixing to ~ 205.

【0030】以下に本例の検査装置2の動作について説
明する。図2に示すごとく,まず,複数個(本例におい
ては8個)のプリント配線板1を搭載したパレット5
は,投入機40から投入され,搬送用のコンベア4によ
り搬入位置41まで搬送される。該搬入位置41へ搬送
されたパレット5上のプリント配線板1は,搬入機31
により,搬入ステージ21における回転テーブル20上
に設置された基板治具201上に移送される。
Hereinafter, the operation of the inspection apparatus 2 of the present embodiment will be described. As shown in FIG. 2, first, a pallet 5 on which a plurality of (eight in this example) printed wiring boards 1 are mounted.
Is fed from a charging machine 40 and is conveyed to a carry-in position 41 by a conveyor 4 for conveyance. The printed wiring board 1 on the pallet 5 transported to the loading position 41 is
Is transferred onto the substrate jig 201 installed on the rotary table 20 in the loading stage 21.

【0031】上記基板治具201に載置されたプリント
配線板1は,回転テーブル20を,図1,図2における
矢印A方向に一定角度(本例では72°)ごとに回転移
動を繰り返すことで,導通検査ステージ22,容量検査
ステージ23,外観検査ステージ24にてそれぞれ検査
を行い,該プリント配線板1が良品か否かを判別する。
The printed wiring board 1 placed on the substrate jig 201 repeats the rotational movement of the turntable 20 in the direction of arrow A in FIGS. 1 and 2 at a constant angle (72 ° in this example). Then, an inspection is performed in each of the continuity inspection stage 22, the capacitance inspection stage 23, and the appearance inspection stage 24, and it is determined whether or not the printed wiring board 1 is non-defective.

【0032】判別されたプリント配線板1の中で良品と
みなされたものは,上記回転テーブル20の回転により
搬出ステージ25に到達した時点で,搬出機35により
良品用のコンベア4上に設置されたパレット5に移送さ
れる。そして,該パレット5における搭載部51全てに
良品のプリント配線板1が載置された時点で,コンベア
4上を受取機49へ向かって移動する。そして,受取機
49に搬入されたパレット5上のプリント配線板1は,
移載装置により,出荷用トレイに2個単位で収容され,
該トレイに空きがなくなると,トレイは実出荷トレイ搬
出部に移送される(図示略)。
The discriminated printed wiring board 1 which is regarded as a non-defective product is set on the non-defective conveyer 4 by the unloader 35 when it reaches the unloading stage 25 by the rotation of the rotary table 20. Is transferred to the pallet 5. When the non-defective printed wiring board 1 is placed on all of the mounting portions 51 of the pallet 5, the pallet 5 is moved on the conveyor 4 toward the receiver 49. Then, the printed wiring board 1 on the pallet 5 carried into the receiver 49 is
By the transfer device, it is stored in two units in the shipping tray,
When the tray runs out of space, the tray is transferred to an actual shipping tray unloading section (not shown).

【0033】なお,各ステージにおける検査工程の結
果,不良品と判断されたプリント配線板1については,
上記搬出機35により,不良品搬出用コンベア44上に
載置されたパレット5に,不良項目ごとに分類されて排
出される。即ち,上記不良品搬出用コンベア44は,導
通不良コンベア442,容量不良コンベア443,外観
不良コンベア444とからなる。そして,上記導通検査
工程において不良とされたプリント配線板1は,上記導
通不良コンベア442へ,上記容量検査工程において不
良とされたプリント配線板1は,上記容量不良コンベア
443へ,上記外観検査工程において不良とされたプリ
ント配線板1は,上記外観不良コンベア444へ,それ
ぞれ排出される。
The printed wiring board 1 determined to be defective as a result of the inspection process at each stage is:
The unloader 35 sorts out the defective items on the pallet 5 placed on the defective product unloading conveyor 44 and discharges them. That is, the defective product carrying conveyor 44 comprises a conduction defective conveyor 442, a capacity defective conveyor 443, and an appearance defective conveyor 444. Then, the printed wiring board 1 determined to be defective in the continuity inspection step is transferred to the continuity defective conveyor 442, and the printed wiring board 1 determined to be defective in the capacity inspection step is transferred to the defective capacity conveyor 443 to the appearance inspection step. The defective printed wiring board 1 is discharged to the appearance defect conveyor 444, respectively.

【0034】また,図1,図2に示すように,上記検査
装置2には良品を仮置きするための仮置きステージ26
が設置されている。図4(A)〜(D)に示すように,
上記パレット5は,搬出機35によってプリント配線板
1を2個ずつ処理することができるよう,搭載部51を
設けてある。即ち,上記搬出機35は,上記搬出ステー
ジ25から搬出した2個のプリント配線板1を,上記パ
レット5の短手方向に並んだ2個の搭載部511,51
2に,一度に搭載することができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, a temporary placement stage 26 for temporarily placing non-defective products is
Is installed. As shown in FIGS. 4A to 4D,
The pallet 5 is provided with a mounting part 51 so that the printed wiring board 1 can be processed two by two by the unloader 35. That is, the unloading machine 35 combines the two printed wiring boards 1 unloaded from the unloading stage 25 into two mounting units 511 and 51 arranged in the short direction of the pallet 5.
2 can be mounted at once.

【0035】しかしながら,各検査ステージでは,プリ
ント配線板1を2個単位で検査し,例えば1個のみが良
品として搬出ステージ25に移送される場合がある。こ
の場合,搬出機35は上記プリント配線板1を,図5
(A)に示すごとく,上記一対の搭載部511,512
のうち一方にのみ搭載することとなる。そして,次に搬
出されるプリント配線板1は,上記パレット5における
他の一対の搭載部511,512の双方或いは一方に搭
載される(図5(A)〜(D))。すると,上記パレッ
ト5には,図5(D)に示すように,上記プリント配線
板1が搭載されていない搭載部51が存在した状態で,
受取機49へ送られるため,生産性が落ちてしまう。
However, in each inspection stage, the printed wiring boards 1 are inspected in units of two, and for example, only one of them may be transferred to the carry-out stage 25 as a non-defective product. In this case, the unloader 35 transfers the printed wiring board 1
As shown in (A), the pair of mounting portions 511, 512
Will be mounted on only one of them. Then, the printed wiring board 1 to be carried out next is mounted on both or one of the other pair of mounting portions 511 and 512 of the pallet 5 (FIGS. 5A to 5D). Then, as shown in FIG. 5D, the pallet 5 has a mounting portion 51 on which the printed wiring board 1 is not mounted.
Since the data is sent to the receiver 49, the productivity is reduced.

【0036】そこで,上記搬出機35がプリント配線板
1を2個同時に処理できなくなった場合には,上記1個
の良品のプリント配線板1を,図1,図2に示すように
仮置きステージ26に一時的にストックしておく。そし
て,後に良品が1個だけ搬出ステージ25に移送されて
きた場合に,上記仮置きステージ26にストックしてお
いたプリント配線板1と合せて2個同時に,コンベア4
上のパレット5へ搬出する。
Therefore, when the unloader 35 cannot process two printed wiring boards 1 at the same time, the one good printed wiring board 1 is placed on the temporary placement stage as shown in FIGS. 26 temporarily. Then, when only one non-defective product is transferred to the unloading stage 25 later, two of the non-defective products together with the printed wiring board 1 stocked on the temporary placing stage 26 are simultaneously transferred to the conveyor 4.
It is carried out to the upper pallet 5.

【0037】このように仮置きステージ26を設けてい
れば,検査工程を経たプリント配線板1が搬出ステージ
に1個しか良品として移送されない場合でも,上述した
ように上記プリント配線板1が搭載されていない搭載部
51が存在した状態(図5(D))でパレット5を搬出
する必要がなくなる。
If the temporary placement stage 26 is provided as described above, even if only one printed wiring board 1 having undergone the inspection process is transferred to the unloading stage as a non-defective product, the printed wiring board 1 is mounted as described above. There is no need to carry out the pallet 5 in a state where there is no mounting portion 51 (FIG. 5D).

【0038】なお,本例においては,プリント配線板1
を2個一組で検査する例を示したが,本発明はこれに限
定されず,3個以上一組で検査することもできる。この
場合には,上記搬出機35,パレット5,仮置きステー
ジ26等の構成,或いはプリント配線板1の処理方法等
を,その検査方法(3個以上一組でプリント配線板を検
査する方法)に適宜対応させる。
In this embodiment, the printed wiring board 1
In the above, an example in which a pair is inspected as a set is shown, but the present invention is not limited to this, and an inspection can be performed in a set of three or more. In this case, the configuration of the unloader 35, the pallet 5, the temporary placement stage 26, and the like, or the processing method of the printed wiring board 1 and the like are determined by the inspection method (the method of inspecting the printed wiring board with a set of three or more). As appropriate.

【0039】各ステージについて,以下に説明する。図
1に示すごとく,搬入ステージ21においては,搬入機
31を備えており,該搬入機31によってコンベア4か
ら検査装置2内の回転テーブル20上に設けられた基板
治具201に未検査のプリント配線板1を搬入する(搬
入工程)。
Each stage will be described below. As shown in FIG. 1, the carry-in stage 21 is provided with a carry-in machine 31, and the carry-in machine 31 causes the uninspected printing on the substrate jig 201 provided on the rotary table 20 in the inspection device 2 from the conveyor 4. The wiring board 1 is carried in (a carrying-in step).

【0040】上記基板治具201上にプリント配線板1
が載置された状態で,回転テーブル20を図1の矢印A
方向に72°回転させ,該プリント配線板1が載置され
た基板治具201を導通検査ステージ22に移動させ
る。
The printed wiring board 1 is placed on the substrate jig 201.
Is placed on the rotary table 20, the arrow A in FIG.
Then, the substrate jig 201 on which the printed wiring board 1 is mounted is moved to the continuity inspection stage 22.

【0041】導通検査ステージ22においては,次のよ
うに,プリント配線板1の導通検査工程を行う。図1,
図6,図7に示すように,導通検査ステージ22には,
導通検査機32が備えられている。該導通検査機32
は,図6に示すように,プリント配線板1におけるピン
12と一対一で対応可能に構成された,プローブピン3
23を備えたチェッカーヘッド322と,該プローブピ
ン323と一対一で対応可能に構成された導線326
と,プリント配線板1の上面側に一定の圧力を加える,
押圧治具325とを備えている。
In the continuity inspection stage 22, the continuity inspection step of the printed wiring board 1 is performed as follows. Figure 1
As shown in FIGS. 6 and 7, the continuity inspection stage 22 includes:
A continuity inspection machine 32 is provided. The continuity inspection machine 32
As shown in FIG. 6, the probe pins 3 are configured so as to be able to correspond one-to-one with the pins 12 on the printed wiring board 1.
A checker head 322 provided with a probe 23 and a lead wire 326 configured to be able to correspond to the probe pin 323 one-to-one.
And apply a certain pressure to the upper surface side of the printed wiring board 1,
A pressing jig 325 is provided.

【0042】上記プローブピン323は弾力性を有して
おり,ピン12が当接すると図6における下方に沈み,
該ピン12は該プローブピン323に接続された導線3
26と導通する構造になっている(図7)。
The probe pin 323 has elasticity, and sinks downward in FIG.
The pin 12 is connected to the wire 3 connected to the probe pin 323.
26 (see FIG. 7).

【0043】導通検査機32は,下記の送出部や検出部
などを有している(図示略)。上記送出部は,プローブ
ピン323に電流等,導通検査を行うのに必要な信号や
電流,電圧等を与えるものである。また,上記検出部
は,チェッカーヘッド322がプローブピン323を介
して,ピン12に対し導通するか否かを検出して,導通
信号や非導通信号を検出する。
The continuity tester 32 has the following sending unit and detecting unit (not shown). The sending section supplies a signal, a current, a voltage, and the like necessary for conducting a continuity test, such as a current, to the probe pin 323. The detection unit detects whether the checker head 322 is conductive to the pin 12 via the probe pin 323, and detects a conductive signal or a non-conductive signal.

【0044】以下に,本導通検査機32を用いた,プリ
ント配線板1に立設されたピン12の導通検査方法を,
図6,図7を参照しながら説明する。なお,図6,図7
においては,コンデンサ16を省略してある。基板治具
202が上記導通検査ステージ22に移動したとき,図
6に示すように,基板11に立設されたピン12と上記
チェッカーヘッド322のプローブピン323とが,確
実に一体一の対応で当接されるように位置合わせされた
状態で上記プリント配線板1が基板治具202に支承さ
れている。
Hereinafter, a method of inspecting the continuity of the pins 12 erected on the printed wiring board 1 using the continuity inspection machine 32 will be described.
This will be described with reference to FIGS. 6 and 7
1, the capacitor 16 is omitted. When the substrate jig 202 moves to the continuity inspection stage 22, as shown in FIG. 6, the pins 12 erected on the substrate 11 and the probe pins 323 of the checker head 322 are surely integrated into one. The printed wiring board 1 is supported by a substrate jig 202 in a state where the printed wiring board 1 is positioned so as to be in contact with the printed wiring board 1.

【0045】この状態で,上記チェッカーヘッド322
を下方から図6に示す矢印F方向に上昇させ,開口部2
08を有する基板治具202上に載置されたプリント配
線板1の下面側14に対し,該チェッカーヘッド322
のプローブピン323を,それぞれ対応するピン12に
当接させつつ,該プリント配線板1を該基板治具202
から浮かせる。次に,上記押圧治具325を矢印Gに示
すごとく下降させることにより,該プリント配線板1の
上面13に一定の圧力を加える(図7)。
In this state, the checker head 322
Is raised from below in the direction of arrow F shown in FIG.
08 on the lower surface 14 of the printed wiring board 1 placed on the substrate jig 202 having the checker head 322.
Of the printed wiring board 1 while the probe pins 323 are in contact with the corresponding pins 12, respectively.
Float from. Next, a certain pressure is applied to the upper surface 13 of the printed wiring board 1 by lowering the pressing jig 325 as shown by the arrow G (FIG. 7).

【0046】上述したように,上記プローブピン323
は弾力性を有するため,上記ピン12と当接することに
より,下方に沈み上記導線326に当接する。上記ピン
12はプリント配線板1の導体回路113を介して特定
のピン同士で導通する構造になっているため,特定のピ
ンに電気を流すことで,正常に導通すれば該ピンは正常
に接続されていることが検出される。
As described above, the probe pin 323
Has a resiliency, so that it sinks downward by contact with the pin 12 and contacts the conductive wire 326. Since the pins 12 are configured to conduct between specific pins via the conductor circuit 113 of the printed wiring board 1, by passing electricity to the specific pins, the pins are normally connected if they are normally conducted. Is detected.

【0047】従って,導通するべきピン12が導通しな
い場合には,ピン12がなくなっている等の不良(OP
EN不良)が検出され,一方,導通するはずのないピン
同士が導通する場合には,製造工程の途中で余分なピン
12が付着していたり,またピン12を接続している半
田バンプ同士がつながっている等の不良(SHORT不
良)であることが検出される。以上の検査をピン全てに
対して行うことで,プリント配線板1に立設されたピン
12の導通検査が終了する。
Therefore, when the pin 12 to be turned on is not turned on, the defect (OP
EN failure) is detected, and if pins that should not be conductive are conductive, extra pins 12 are attached during the manufacturing process, or solder bumps connecting the pins 12 are not connected. It is detected that the connection is defective (SHORT failure). By performing the above inspection for all the pins, the continuity inspection of the pins 12 erected on the printed wiring board 1 is completed.

【0048】次に,回転テーブル20を図1の矢印A方
向に72°回転させ,上記導通検査工程を終えたプリン
ト配線板1を,容量検査ステージ23に移送する。該容
量検査ステージ23においては,次のように,容量検査
工程を行なう。容量検査機33の基本的な構造は上述し
た導通検査機32と同じであるため,説明は省略する。
プリント配線板1に実装されたコンデンサ16(図3)
は,一対のピン12と対応するように配線されているた
め,該ピン12に電圧をかけることでその容量を検査す
る。以下に容量検査の一例を示す。
Next, the rotary table 20 is rotated by 72 ° in the direction of arrow A in FIG. 1, and the printed wiring board 1 having undergone the continuity inspection step is transferred to the capacitance inspection stage 23. In the capacitance inspection stage 23, a capacitance inspection step is performed as follows. The basic structure of the capacitance inspection device 33 is the same as that of the above-described continuity inspection device 32, and thus the description thereof is omitted.
Capacitor 16 mounted on printed wiring board 1 (FIG. 3)
Are wired so as to correspond to the pair of pins 12, the capacitance is inspected by applying a voltage to the pins 12. The following is an example of a capacity test.

【0049】本例のプリント配線板1上には12個のコ
ンデンサ16が実装されており,該コンデンサ16は4
個のネットと8個のネットに分かれてつながっている。
本例においては,コンデンサ1個あたりの電気容量が
1.00μFのものを用いている。上記コンデンサ16
に交流1V,100Hzの電圧を印加した際に,上述し
た該コンデンサ16の電気容量の,80%〜120%の
容量を示したものを良品とする。つまり,上記4個のネ
ットが3.2〜4.8μF,8個のネットが6.4〜
9.6μFの範囲であれば良品とする。
Twelve capacitors 16 are mounted on the printed wiring board 1 of this embodiment.
It is divided and connected to 8 nets.
In this example, a capacitor having a capacitance of 1.00 μF per capacitor is used. The above capacitor 16
A capacitor which exhibits a capacity of 80% to 120% of the electric capacity of the capacitor 16 when an AC voltage of 1 V and 100 Hz is applied thereto is regarded as a non-defective product. That is, the four nets are 3.2 to 4.8 μF, and the eight nets are 6.4 to 6.4 μF.
If it is in the range of 9.6 μF, it is determined to be good.

【0050】次に,回転テーブル20を図1の矢印A方
向に72°回転させ,上記容量検査工程を終えたプリン
ト配線板1を,外観検査ステージ24に移動させる。該
外観検査ステージ24においては,次のように外観検査
工程を行なう。
Next, the rotary table 20 is rotated by 72 ° in the direction of arrow A in FIG. 1, and the printed wiring board 1 after the above-described capacitance inspection step is moved to the appearance inspection stage 24. In the appearance inspection stage 24, an appearance inspection step is performed as follows.

【0051】まず,外観検査ステージ24における,プ
リント配線板1に立設されたピン12の外観検査機34
につき,図8〜図10を用いて説明する。図8(B)に
示すごとく,上記外観検査機34は,上記複数のピン穴
342を有する検査治具340と,上記レーザー光34
1を走行させる透過型レーザーセンサ346とを有す
る。上記検査治具340には,上方から上記プリント配
線板1を,上記ピン穴342に上記ピン12を挿入させ
て載置する。
First, in the appearance inspection stage 24, an appearance inspection machine 34 for the pins 12 erected on the printed wiring board 1.
This will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 8B, the visual inspection machine 34 includes an inspection jig 340 having the plurality of pin holes 342 and the laser beam 34.
1 for transmitting the laser beam. The printed wiring board 1 is placed on the inspection jig 340 from above with the pins 12 inserted into the pin holes 342.

【0052】上記透過型レーザーセンサ346は,図9
(B),図11(B)に示すごとく,上記レーザー光3
41が,上記プリント配線板1によって遮断されたこと
を検知し,該検知信号により,上記プリント配線板1の
ピン曲がりが生じていることを検出する。また,上記ピ
ン穴342の開口部には,ピン12をピン穴342に挿
入する際の,プリント配線板1と検査治具340との微
小な位置ずれを調整するためのテーパ部345が設けて
ある。
The transmission type laser sensor 346 is shown in FIG.
(B), as shown in FIG.
41 detects that the printed wiring board 1 has been interrupted, and detects that the printed wiring board 1 is bent according to the detection signal. In the opening of the pin hole 342, a taper portion 345 for adjusting a minute displacement between the printed wiring board 1 and the inspection jig 340 when the pin 12 is inserted into the pin hole 342 is provided. is there.

【0053】上記透過型レーザーセンサ346は,図8
(B),図10に示すごとく,上記レーザー光341を
発射する投射体347と,上記レーザー光341を受光
する受光体348とを一対として有してなる。
The transmission type laser sensor 346 is shown in FIG.
(B), as shown in FIG. 10, a pair of a projecting body 347 that emits the laser light 341 and a light receiving body 348 that receives the laser light 341.

【0054】また,図10に示すごとく,上記レーザー
光341は,上記基板11の2つの対角線に沿って2本
走行させる。その手段として,図10に示すごとく,上
記透過型レーザーセンサ346を,上記基板11の2つ
の対角線の延長線上に2対配置する。即ち,方形の上記
基板11における隣り合う2つの角部111の外側に,
上記投射体347を各1個配置し,各投射体347に対
して,上記基板11の対角となる2つの角部112の外
側に,上記受光体348を各1個配置する。
As shown in FIG. 10, two laser beams 341 travel along two diagonal lines of the substrate 11. As means for this, as shown in FIG. 10, two pairs of the transmission type laser sensors 346 are arranged on an extension of two diagonal lines of the substrate 11. That is, outside the adjacent two corners 111 of the rectangular substrate 11,
One projecting body 347 is arranged, and one light receiving body 348 is arranged with respect to each projecting body 347 outside two corners 112 that are diagonal of the substrate 11.

【0055】また,図8(A),図9(A),図11
(A)に示すごとく,上記検査治具340の上記ピン穴
342は,底部344を有している。そして,図8
(B),図11(B)に示すごとく,該底部344に上
記ピン12の先端121を当接させる。このとき,図1
1(B)に示すごとく,上記レーザー光341が上記プ
リント配線板1によって遮断されたことにより,上記プ
リント配線板1のピン曲がりとピン浮きの少なくとも一
方が生じていることを検出する。
8 (A), 9 (A) and 11
As shown in (A), the pin hole 342 of the inspection jig 340 has a bottom 344. And FIG.
(B), as shown in FIG. 11B, the tip 121 of the pin 12 is brought into contact with the bottom 344. At this time, FIG.
As shown in FIG. 1B, it is detected that at least one of pin bending and pin lifting of the printed wiring board 1 has occurred due to the laser light 341 being blocked by the printed wiring board 1.

【0056】上記ピン浮きとは,図11(A)に示すご
とく,上記基板11に立設したピン12が,規定値より
も基板11から突出していることをいう。図11(A)
においては,右から2番目のピン12bがピン浮きの状
態となっている。例えば,上記基板11に形成された半
田パッド内の半田バンプ(図示略)に,上記ピン12が
不完全な状態で当接されている場合に生ずる不具合であ
る。また,上記規定値は,例えば,正常に立設されたピ
ンの突出長さLに対して,1.1Lの関係を有する。ま
た,上記ピン穴342の深さDは,正常に立設されたピ
ンの突出長さLに対して,D=L±0.1mmの関係を
有する。なお,より好ましくは,D=Lである。
The pin lifting means that the pins 12 erected on the substrate 11 protrude from the substrate 11 beyond a specified value, as shown in FIG. FIG. 11 (A)
In, the second pin 12b from the right is in a pin floating state. For example, this is a problem that occurs when the pins 12 abut incompletely on solder bumps (not shown) in the solder pads formed on the substrate 11. The specified value has, for example, a 1.1 L relationship with the protruding length L of the normally erected pin. Further, the depth D of the pin hole 342 has a relationship of D = L ± 0.1 mm with respect to the protruding length L of the normally erected pin. It is more preferable that D = L.

【0057】次に,本例のプリント配線板の検査方法の
手順につき,図8〜図11を用いて説明する。なお,図
8〜図11においては,コンデンサ16を省略してあ
る。また,コンデンサ16に対応して,上記検査治具3
40には座繰りが設けてある(図示略)。
Next, the procedure of the method for inspecting a printed wiring board according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 8 to 11, the capacitor 16 is omitted. In addition, the inspection jig 3 corresponds to the capacitor 16.
The counterbore 40 is provided with a counterbore (not shown).

【0058】まず,図8(A)に示すごとく,上記プリ
ント配線板1は,開口部209を有する基板治具204
に,上記ピン12が下向きになるように支承されてい
る。なお,上記検査治具340は,上記基板治具の下方
に配置されている。この状態から,図8(A)の矢印C
に示すごとく,上記検査治具340を上方へ移動させ
る。これにより,図8(B)に示すごとく,該検査治具
340の上面343に上記プリント配線板1を載置す
る。このとき,上記ピン穴342に上記ピン12を挿入
させる。
First, as shown in FIG. 8A, the printed wiring board 1 has a substrate jig 204 having an opening 209.
The pin 12 is supported so that the pin 12 faces downward. The inspection jig 340 is arranged below the substrate jig. From this state, the arrow C in FIG.
As shown in (2), the inspection jig 340 is moved upward. As a result, as shown in FIG. 8B, the printed wiring board 1 is placed on the upper surface 343 of the inspection jig 340. At this time, the pin 12 is inserted into the pin hole 342.

【0059】この状態で,上記透過型レーザーセンサ3
46により,上記プリント配線板1が上記検査治具34
0から規定値(M−N)よりも浮いているか,或いは浮
いていないかを判定する。即ち,図8(B)に示すごと
く,上記プリント配線板1が規定値(M−N)よりも浮
いていなければ,上記透過型レーザーセンサ346にお
ける投射体347から発射されたレーザー光341が,
上記プリント配線板1によって遮断されずに,上記受光
体348に達する。このとき,上記プリント配線板1は
良品と判断される。
In this state, the transmission type laser sensor 3
46, the printed wiring board 1 is connected to the inspection jig 34.
From 0, it is determined whether it is floating above the specified value (M-N) or not. That is, as shown in FIG. 8B, if the printed wiring board 1 is not floating above the specified value (M−N), the laser beam 341 emitted from the projection body 347 in the transmission type laser sensor 346 becomes
The light reaches the photoreceptor 348 without being blocked by the printed wiring board 1. At this time, the printed wiring board 1 is determined to be non-defective.

【0060】一方,図9(B),図11(B)に示すご
とく,上記プリント配線板1が規定値(M−N)よりも
浮いていれば,上記投射体347から発射されたレーザ
ー光341が,上記プリント配線板1によって遮断さ
れ,上記受光体348に達しない。このとき,上記プリ
ント配線板1は不良品と判断される。
On the other hand, as shown in FIGS. 9B and 11B, if the printed wiring board 1 is floating above the specified value (MN), the laser light emitted from the projecting body 347 341 is blocked by the printed wiring board 1 and does not reach the photoreceptor 348. At this time, the printed wiring board 1 is determined to be defective.

【0061】このように,上記透過型レーザーセンサ3
46が,上記プリント配線板1の上面13が検査治具3
40の上面33から所定距離Mよりも上方にあることを
検知したとき,ピン曲がり,或いはピン浮きが生じてい
ることを検出する。つまり,ピン曲がりもピン浮きも生
じていない場合には,図8(B)に示すごとく,上記ピ
ン12が,上記検査治具340のピン穴342に完全に
挿入される。
As described above, the transmission type laser sensor 3
46 is the upper surface 13 of the printed wiring board 1 and the inspection jig 3
When it is detected that the pin is above a predetermined distance M from the upper surface 33 of the pin 40, it is detected that the pin is bent or the pin is lifted. In other words, when neither pin bending nor pin lifting occurs, the pin 12 is completely inserted into the pin hole 342 of the inspection jig 340 as shown in FIG. 8B.

【0062】しかし,図9(A)に示すごとくピン曲が
りが生じている場合には,図9(B)に示すごとく,上
記ピン12aが上記ピン穴342の側壁に当接するなど
する。それ故,上記ピン12は上記ピン穴342に完全
に挿入されない。その結果,基板11が検査治具340
から浮いた状態になる。
However, when the pin is bent as shown in FIG. 9A, the pin 12a comes into contact with the side wall of the pin hole 342 as shown in FIG. 9B. Therefore, the pin 12 is not completely inserted into the pin hole 342. As a result, the substrate 11 is
Floating from.

【0063】また,図11(A)に示すごとくピン浮き
が生じている場合には,図11(B)に示すごとく,突
出量の大きい上記ピン12bが上記ピン穴342の底部
344に当接する。それ故,上記ピン12は上記ピン穴
342に完全に挿入されない。その結果,基板11が検
査治具340から浮いた状態になる。
In the case where a pin is lifted as shown in FIG. 11A, the pin 12b having a large protrusion comes into contact with the bottom 344 of the pin hole 342 as shown in FIG. . Therefore, the pin 12 is not completely inserted into the pin hole 342. As a result, the substrate 11 floats from the inspection jig 340.

【0064】従って,上記プリント配線板の上面13
が,上記検査治具340の上面33から所定距離Mより
も上方にあるとき,ピン曲がり及びピン浮きの少なくと
も一方が生じていることとなる。
Therefore, the upper surface 13 of the printed wiring board
Is above a predetermined distance M from the upper surface 33 of the inspection jig 340, it means that at least one of pin bending and pin lifting has occurred.

【0065】上記導通検査工程,容量検査工程,外観検
査工程を経たプリント配線板1を載置した基板治具20
5は,回転テーブル20が72°回転することにより,
搬出ステージ25に移動する。搬出ステージ25のプリ
ント配線板1は,図2に示すごとく,搬出機35によ
り,良品搬出用のコンベア4上に設置されたパレット5
上に移送される。該パレット5は,搭載部51全てに良
品のプリント配線板1が載置された時点(図4(D))
で,コンベア4上を受取機49へ向かって移動する。
The board jig 20 on which the printed wiring board 1 has been subjected to the continuity inspection step, the capacitance inspection step, and the appearance inspection step
5 is that the rotary table 20 is rotated by 72 °,
It moves to the unloading stage 25. As shown in FIG. 2, the printed wiring board 1 of the unloading stage 25 is palletized by the unloader 35 on the conveyer 4 for unloading non-defective products.
Transported up. When the non-defective printed wiring board 1 is placed on the entire mounting portion 51 (FIG. 4D)
Moves on the conveyor 4 toward the receiver 49.

【0066】一方,上記検査工程の結果,不良品と判断
されたプリント配線板1については,搬出ステージ25
において搬出機35により,不良項目ごとに分類され,
不良品排出用コンベア44上に載置されたパレット5に
収納,搬出される。
On the other hand, as for the printed wiring board 1 which is determined to be defective as a result of the inspection process, the unloading stage 25
Is classified by the unloader 35 for each defective item.
It is stored and carried out on a pallet 5 placed on a conveyor 44 for discharging defective products.

【0067】以降,上記工程が繰り返されることによ
り,順次検査すべき多数のプリント配線板1について,
導通検査,容量検査,外観検査が順次実施されていく。
また,搬入工程,分別工程,及び各検査工程は,時間的
に並行して行われる。
Thereafter, by repeating the above steps, a large number of printed wiring boards 1 to be sequentially inspected are obtained.
The continuity inspection, the capacitance inspection, and the appearance inspection are sequentially performed.
Further, the loading step, the sorting step, and each inspection step are performed in parallel in time.

【0068】次に,本例の作用効果につき説明する。本
例においては,上記プリント配線板1を上記回転テーブ
ル20に搬入した後,導通検査,容量検査,外観検査を
行ない,その後プリント配線板1を搬出又は排出する。
そのため,上記導通検査工程,容量検査工程,外観検査
工程のそれぞれに,プリント配線板1を搬入・搬出を繰
返す必要がない。それ故,検査効率が向上し,生産性に
優れたプリント配線板の検査方法を得ることができる。
また,各検査工程の間に,多くの搬送機その他の付帯設
備を設ける必要がないため,検査工程における省スペー
ス,低コスト化を実現することができる。
Next, the operation and effect of this embodiment will be described. In this embodiment, after the printed wiring board 1 is carried into the rotary table 20, a continuity inspection, a capacity inspection, and an appearance inspection are performed, and then the printed wiring board 1 is carried out or discharged.
Therefore, there is no need to repeatedly carry in and carry out the printed wiring board 1 in each of the continuity inspection step, the capacitance inspection step, and the appearance inspection step. Therefore, the inspection efficiency is improved, and a method for inspecting a printed wiring board excellent in productivity can be obtained.
Further, since it is not necessary to provide many transporters and other auxiliary equipment between each inspection process, it is possible to realize space saving and cost reduction in the inspection process.

【0069】また,上記プリント配線板1の移送手段が
回転テーブル20であるため,一層の省スペース,低コ
ストを実現し,生産性を一層向上させることができる。
また,上記検査装置2は,仮置きステージ26を有する
ため,上述のごとく,不良品が生じた場合にも,良品の
プリント配線板1を複数個一組(本例の場合は2個一
組)で次工程へ搬出することが可能となるため,一層生
産性を向上させることができる。
Further, since the means for transferring the printed wiring board 1 is the rotary table 20, further space saving, lower cost can be realized, and productivity can be further improved.
In addition, since the inspection device 2 has the temporary placing stage 26, as described above, even if a defective product occurs, a plurality of non-defective printed wiring boards 1 (two in this example, one set) ) Can be carried out to the next process, so that the productivity can be further improved.

【0070】以上のごとく,本例によれば,省スペー
ス,低コストを実現し,かつ生産性に優れたプリント配
線板の検査方法及び検査装置を提供することができる。
As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a method and an apparatus for inspecting a printed wiring board which achieves space saving, low cost, and excellent productivity.

【0071】(実施例2)本例は,図12〜図14に示
すごとく,本発明の検査方法により検査されるプリント
配線板についての,具体的な例である。図12に示すよ
うに,上記プリント配線板1は,基板11上に導体回路
113と層間樹脂絶縁層143とを順次形成してなる。
該プリント配線板1を構成する基板11の,上面(チッ
プ搭載面)13及び下面(ドータボード,マザーボード
との接続面)14の表層には,内部回路113を保護す
るためのソルダーレジスト層136が形成されている。
該ソルダーレジスト層136上の複数箇所には開口部1
5が形成されている。該開口部15には導体回路113
の一部が配置され,半田バンプ形成用の半田パッド13
7が形成されている。
(Embodiment 2) This embodiment is a specific example of a printed wiring board to be inspected by the inspection method of the present invention, as shown in FIGS. As shown in FIG. 12, the printed wiring board 1 is formed by sequentially forming a conductive circuit 113 and an interlayer resin insulating layer 143 on a substrate 11.
A solder resist layer 136 for protecting the internal circuit 113 is formed on a surface layer of an upper surface (chip mounting surface) 13 and a lower surface (connection surface with a daughter board and a mother board) 14 of the substrate 11 constituting the printed wiring board 1. Have been.
Openings 1 are provided at a plurality of positions on the solder resist layer 136.
5 are formed. A conductor circuit 113 is provided in the opening 15.
Are partially arranged, and solder pads 13 for forming solder bumps are provided.
7 are formed.

【0072】上記開口部15はプリント配線板1の上面
13,下面14の両面に形成されている。プリント配線
板1の上面13には,上記開口部15上にICチップ接
続用の半田バンプ110が形成されている。一方,プリ
ント配線板1の下面14側には,該開口部15上に導電
性接着剤となる半田バンプ110を介して,導電性を有
する接続用のピン12が接続されている。該ピン12
は,専用のピン整列治具に複数立設された状態から,上
記基板11に接続される。
The openings 15 are formed on both the upper surface 13 and the lower surface 14 of the printed wiring board 1. On the upper surface 13 of the printed wiring board 1, a solder bump 110 for connecting an IC chip is formed on the opening 15 described above. On the other hand, on the lower surface 14 side of the printed wiring board 1, conductive connection pins 12 are connected to the openings 15 via solder bumps 110 serving as a conductive adhesive. The pin 12
Are connected to the substrate 11 from a state in which a plurality of pins are erected on a dedicated pin alignment jig.

【0073】上記ソルダーレジスト層136を開口し
て,上記開口部15を形成する方法としては,例えば,
炭酸ガス(CO2)レーザー,紫外線レーザー,エキシ
マレーザーを用いる方法が挙げられる。なお,上記エキ
シマレーザーを用いる場合,ホログラム方式のレーザー
を用いることが望ましい。この方式のレーザーを用い,
マスクを介してレーザー光を照射することにより,一度
の照射でソルダーレジスト層136に,多数の開口部1
5を効率的に形成することができる。上記ホログラム方
式とは,レーザー光をホログラム,集光レンズ,レーザ
ーマスク,転写レンズなどを介して目的物に照射する方
法である。
As a method of forming the opening 15 by opening the solder resist layer 136, for example,
A method using a carbon dioxide (CO 2 ) laser, an ultraviolet laser, and an excimer laser can be used. When the above-mentioned excimer laser is used, it is desirable to use a hologram laser. Using this type of laser,
By irradiating a laser beam through a mask, a large number of openings 1 are formed in the solder resist layer 136 by one irradiation.
5 can be formed efficiently. The hologram method is a method of irradiating a target object with a laser beam through a hologram, a condenser lens, a laser mask, a transfer lens, and the like.

【0074】また,ソルダーレジスト組成物として感光
性のソルダーレジスト組成物を使用した場合には,ソル
ダーレジスト層136を形成した後,該ソルダーレジス
ト層136上にフォトレジストを載置し,露光,現像処
理を施すことにより,ソルダーレジスト層136を開口
することができる。
When a photosensitive solder resist composition is used as the solder resist composition, after a solder resist layer 136 is formed, a photoresist is placed on the solder resist layer 136 and exposed and developed. By performing the process, the solder resist layer 136 can be opened.

【0075】上記ソルダーレジスト層136を開口する
ことにより露出した導体回路113部分は,脱脂液で処
理することによって洗浄した後,ニッケル,パラジウ
ム,金,銀,白金などの耐食性金属により被覆すること
が望ましい。具体的には,ニッケル−金,ニッケル−
銀,ニッケル−パラジウム,ニッケル−パラジウム−金
等の金属により被覆層を形成することが望ましい。この
中では,特にニッケル−金が適している。上記被覆層
は,めっき,蒸着,電着により形成することができる
が,これらの中では,被覆層の均一性に優れるという点
からめっきが望ましい。
The portion of the conductor circuit 113 exposed by opening the solder resist layer 136 may be washed with a degreasing solution and then coated with a corrosion-resistant metal such as nickel, palladium, gold, silver, and platinum. desirable. Specifically, nickel-gold, nickel-
It is desirable to form the coating layer with a metal such as silver, nickel-palladium, nickel-palladium-gold, and the like. Among them, nickel-gold is particularly suitable. The coating layer can be formed by plating, vapor deposition, and electrodeposition. Among these, plating is preferable because of excellent uniformity of the coating layer.

【0076】上記の方法によると,ニッケルめっき層の
厚さは,0.5μm〜20μmであることがよく,特
に,3μm〜10μmであることがよい。0.5μm未
満であると,半田バンプとニッケルメッキ層との接続を
図ることが困難になるおそれがある。逆に,20μmを
超えると,半田バンプ110が開口部15内に完全に収
まらず,半田バンプ110が剥離しやすくなるおそれが
ある。
According to the above method, the thickness of the nickel plating layer is preferably 0.5 μm to 20 μm, and particularly preferably 3 μm to 10 μm. If the thickness is less than 0.5 μm, it may be difficult to establish a connection between the solder bump and the nickel plating layer. Conversely, if the thickness exceeds 20 μm, the solder bumps 110 may not completely fit in the openings 15 and the solder bumps 110 may be easily peeled.

【0077】次いで,ニッケルメッキ層上には,電解金
メッキによって厚さ0.03μm程度の金メッキ層が形
成される。以上により,半田パッド137が形成され
る。該半田パッド137に,例えば厚さ25〜150μ
mのマスクを介して,半田ペーストを充填した後,半田
バンプ110を形成する。
Next, a gold plating layer having a thickness of about 0.03 μm is formed on the nickel plating layer by electrolytic gold plating. As described above, the solder pad 137 is formed. For example, the solder pad 137 has a thickness of 25 to 150 μm.
After the solder paste is filled through the mask m, the solder bumps 110 are formed.

【0078】上記マスクの厚さが25μm未満では,上
記半田パッド137に充填することができる半田ペース
トの量が少なくなるおそれがある。そのため,半田バン
プ110を形成した後,プリント配線板1とICチップ
等とを半田バンプ110を介して接続した際に,未接続
の部分が発生するおそれがある。
If the thickness of the mask is less than 25 μm, the amount of solder paste that can be filled in the solder pad 137 may be reduced. Therefore, when the printed wiring board 1 and an IC chip or the like are connected via the solder bumps 110 after the formation of the solder bumps 110, unconnected portions may be generated.

【0079】一方,150μmを超えると,マスクに形
成された開口部における半田ペーストの抜け性が低下す
るおそれがある。そのため,半田パッド137内に充填
することができる半田ペーストの量が少なくなり,多層
プリント配線板1とICチップ等とを半田バンプ110
を介して接続した際に未接続の部分が発生するおそれが
ある。また,マスクのソルダーレジスト層側(以下,こ
ちら側をマスクの裏側といい,この反対側をマスクの表
側という)での半田ペーストのにじみによる回り込みが
発生し,半田ペーストが半田パッド137以外の部分に
付着し,ソルダーレジスト層136の汚れや,得られた
多層プリント配線板に短絡が発生する原因となるおそれ
がある。そのため,上記マスクの厚さは,上記範囲に限
定されることが好ましい。なお,更に望ましい上記マス
クの厚さは,30〜75μmである。
On the other hand, if it exceeds 150 μm, there is a possibility that the solder paste may be hardly removed from the openings formed in the mask. Therefore, the amount of the solder paste that can be filled in the solder pad 137 is reduced, and the multilayer printed wiring board 1 and the IC chip and the like are soldered to the solder bump 110.
There is a possibility that an unconnected portion may be generated when the connection is made via the. In addition, wraparound of the solder paste on the solder resist layer side of the mask (hereinafter, this side is referred to as the back side of the mask, and the opposite side is referred to as the front side of the mask) occurs. To the solder resist layer 136 and a short circuit in the obtained multilayer printed wiring board. Therefore, it is preferable that the thickness of the mask be limited to the above range. A more desirable thickness of the mask is 30 to 75 μm.

【0080】上記マスクの材質としては特に限定され
ず,プリント配線板の製造用印刷マスクやその他の印刷
マスクに用いられているものが挙げられる。具体的に
は,ニッケル合金,ニッケル−コバルト合金,SUS等
からなるメタルマスク,エポキシ樹脂,ポリイミド樹脂
などからなるプラスチックマスク等が挙げられる。上記
マスクの開口部の製造方法としては,エッチング,アデ
ィティブ加工,レーザー加工等が挙げられる。これらの
中では,アディティブ加工が望ましい。
The material of the mask is not particularly limited, and examples thereof include those used for a print mask for manufacturing a printed wiring board and other print masks. Specific examples include a metal mask made of a nickel alloy, a nickel-cobalt alloy, SUS, or the like, and a plastic mask made of an epoxy resin, a polyimide resin, or the like. Examples of a method for manufacturing the opening of the mask include etching, additive processing, and laser processing. Among these, additive processing is desirable.

【0081】上記マスクに形成された開口部には,ソル
ダーレジスト層136側に拡径する形態のテーパが形成
されていてもよい。該テーパを形成することにより,開
口部における半田ペーストの抜け性が向上する。
The opening formed in the mask may have a taper whose diameter is increased toward the solder resist layer 136. By forming the taper, the removability of the solder paste in the opening is improved.

【0082】また,上記マスクに形成された開口部の径
は,上記半田パッド137の径と同一か,またはこれよ
りも大きいことが望ましい。開口部の径を大きくするこ
とで,基板11の半田パッド137とマスクに形成され
た開口部に微小なズレが生じていても,適切に半田パッ
ド137内に半田ペーストを充填することができるから
である。上記マスクに形成された開口部の直径は特に限
定されず,半田バンプ110の大きさを考慮して適宜選
択すればよいが,通常,100〜300μmが望まし
い。
It is preferable that the diameter of the opening formed in the mask is equal to or larger than the diameter of the solder pad 137. Increasing the diameter of the opening allows the solder pad 137 to be properly filled with the solder paste even if a slight displacement occurs between the solder pad 137 of the substrate 11 and the opening formed in the mask. It is. The diameter of the opening formed in the mask is not particularly limited, and may be appropriately selected in consideration of the size of the solder bump 110. Usually, the diameter is preferably 100 to 300 μm.

【0083】上記のようなマスクを上記ソルダーレジス
ト層136に載置した状態で,マスク上面から複数の開
口部内に,半田ペーストを印刷充填する。該半田ペース
トを印刷する場合,上記マスクは上記ソルダーレジスト
層136上にしっかり密着するように載置することが望
ましい。マスクとソルダーレジスト層136とがしっか
り接触した状態で印刷を行うことにより,マスク下面側
での半田ペーストのにじみによる回り込みが発生しにく
くなる。その結果,ソルダーレジスト層136の表面が
汚れたり,得られたプリント配線板1に短絡が発生した
りすることを防止することができる。
With the above-described mask placed on the solder resist layer 136, the solder paste is printed and filled into the plurality of openings from the top surface of the mask. When printing the solder paste, it is preferable that the mask be placed on the solder resist layer 136 so as to be tightly adhered thereto. By performing printing in a state where the mask and the solder resist layer 136 are in firm contact with each other, it is difficult for the solder paste to wrap around on the lower surface side of the mask due to bleeding. As a result, it is possible to prevent the surface of the solder resist layer 136 from being stained, and to prevent the obtained printed wiring board 1 from being short-circuited.

【0084】上記半田ペーストを印刷する際には,通
常,印刷用スキージ(図示略)を用いる。該印刷用スキ
ージの材料としては特に限定されず,ポリエチレン等の
ゴム,鉄,ステンレス等の金属,セラミック等の一般に
プリント配線板の印刷に用いられる材質を使用すること
ができる。これらの中では,目減りしにくく,磨耗によ
る半田ペーストへの異物混入が起こりにくい点から金属
が望ましい。
When printing the solder paste, a printing squeegee (not shown) is usually used. The material of the printing squeegee is not particularly limited, and materials generally used for printing a printed wiring board, such as rubber such as polyethylene, metal such as iron and stainless steel, and ceramic can be used. Among them, metal is preferable because it is difficult to reduce the weight and it is difficult for foreign matters to be mixed into the solder paste due to abrasion.

【0085】上記スキージの形状としては,平型,角型
等の様々な形状が挙げられる。このような形状のスキー
ジには,適時切れ込みを入れることにより半田ペースト
の充填性を向上させることもできる。上記スキージの厚
さは特に限定されないが,通常,10〜30mmが望ま
しく,15〜25mmがより望ましい。繰り返し印刷を
行っても,反りやたわみが生じ難いからである。また,
金属性のスキージの場合は,その厚さは50〜300μ
mが望ましい。
As the shape of the squeegee, there are various shapes such as a flat type and a square type. The squeegee having such a shape can be cut in time to improve the filling property of the solder paste. Although the thickness of the squeegee is not particularly limited, it is usually preferably 10 to 30 mm, more preferably 15 to 25 mm. This is because even if printing is repeatedly performed, warping and bending are unlikely to occur. Also,
For metal squeegees, the thickness is 50-300μ
m is desirable.

【0086】また,半田ペーストの印刷は,密閉式のス
キージユニットによる印刷を行ってもよい。このような
スキージとしては,エアー圧入型,ローラー圧入型,ピ
ストン圧入型等が挙げられる。
The solder paste may be printed by a closed squeegee unit. Examples of such a squeegee include an air press-fit type, a roller press-fit type, and a piston press-fit type.

【0087】なお,半田パッド137を平面視した際の
形状は特に限定されず,円形,長円形,正方形,長方形
が挙げられるが,半田パッド137の形状の安定性,設
計の自由度(半田パッド間のスペースが広くなり,配線
を通すことができる),半田バンプ形状の安定性などの
点から円形が望ましい。
The shape of the solder pad 137 in plan view is not particularly limited, and may be a circle, an ellipse, a square, or a rectangle. However, the stability of the shape of the solder pad 137 and the degree of design freedom (the solder pad 137) The space between them is widened, and wiring can be passed), and the circular shape is desirable from the viewpoint of the stability of the shape of the solder bump.

【0088】半田バンプ110の形成のための半田ペー
ストとしては,プリント配線板に一般的に使用されてい
るものを用いることができる。具体的には,Sn−Pb
系のもの(例えばSn:Pbが9:1〜6:4の範囲内
にあるもの),Sn−Ag系のもの,Sn−Ag−Cu
系のもの,Sn−Cu系のもの,Sn−Sb系のものが
挙げられる。接着強度のバラツキも小さく,ヒートサイ
クル条件下やICチップの実装の熱によっても,後述す
るドータボード等の外部電子部品と接続するためのピン
12の接着強度低下もなく,ピン12の脱落,傾きを引
き起こさず,電気的接続も確保することが可能となる。
この中では,Sn−Pb系が望ましい。長期間に渡るヒ
ートサイクルにおいても半田バンプにクラックが発生す
ることがなく,接着強度に優れるためである。
As a solder paste for forming the solder bumps 110, a solder paste generally used for a printed wiring board can be used. Specifically, Sn-Pb
(Eg, Sn: Pb in the range of 9: 1 to 6: 4), Sn—Ag, Sn—Ag—Cu
System, Sn-Cu system, and Sn-Sb system. The variation in the adhesive strength is small, and even under the heat cycle condition or the heat of mounting the IC chip, the adhesive strength of the pin 12 for connecting to an external electronic component such as a daughter board, which will be described later, does not decrease. It is possible to secure the electrical connection without causing it.
Among them, Sn-Pb is preferable. This is because cracks do not occur in the solder bumps even in a long heat cycle, and the bonding strength is excellent.

【0089】半田ペーストの融点は180℃〜280℃
であることが望ましい。融点が180℃未満であると,
ピン12に必要な接着強度2.0kg/pin以上を確
保することができず,ヒートサイクル条件下やICチッ
プ実装の際にかかる熱によって,導電性接続ピンの脱
落,傾きが生じるおそれがある。一方,融点が280℃
を超えると,樹脂絶縁層143やソルダーレジスト層1
36に使用される樹脂が溶解して,樹脂絶縁層143や
導体回路113の剥離,導体回路113の断線などを生
じるおそれがある。また,加熱に要する時間がかかるた
め,作業性が悪くなる。
The melting point of the solder paste is 180 ° C. to 280 ° C.
It is desirable that If the melting point is below 180 ° C,
The required bonding strength of 2.0 kg / pin or more for the pin 12 cannot be secured, and the heat applied during the heat cycle condition or the mounting of the IC chip may cause the conductive connection pin to drop or tilt. On the other hand, the melting point is 280 ° C
Is exceeded, the resin insulating layer 143 and the solder resist layer 1
There is a possibility that the resin used for 36 may be dissolved, and the resin insulating layer 143 and the conductor circuit 113 may be peeled off, and the conductor circuit 113 may be disconnected. In addition, since the time required for heating is long, workability is deteriorated.

【0090】半田ペーストの粘度は100Pa・S〜3
00Pa・Sに設定されることが好ましい。粘度が10
0Pa・S未満であると,半田バンプ110を所望の形
状に保持することができなくなるおそれがある。逆に,
粘度が300Pa・Sを超えると,半田ペーストを開口
部15内へ効率よく充填できなくなるおそれがある。
The viscosity of the solder paste is 100 Pa · S to 3
It is preferably set to 00 Pa · S. Viscosity is 10
If the pressure is less than 0 Pa · S, the solder bump 110 may not be able to be maintained in a desired shape. vice versa,
If the viscosity exceeds 300 Pa · S, there is a possibility that the solder paste cannot be efficiently filled into the opening 15.

【0091】その後,温度250℃,時間30秒〜2分
間で,窒素雰囲気下においてリフローを行うことによ
り,半田バンプ110が半田パッド137に固定された
状態となる。この時点では半田バンプ110は半球状を
呈している。また,リフローを行う際に,半田ペースト
内に形成された気泡を抜くことができる。半田ペースト
をリフローする温度としては,180℃〜280℃が好
ましい。これにより,適切に半田バンプ110を形成す
ることが可能となる。
Thereafter, the solder bumps 110 are fixed to the solder pads 137 by performing reflow under a nitrogen atmosphere at a temperature of 250 ° C. for a time of 30 seconds to 2 minutes. At this point, the solder bump 110 has a hemispherical shape. In addition, when performing the reflow, bubbles formed in the solder paste can be removed. The temperature at which the solder paste is reflowed is preferably 180 ° C to 280 ° C. This makes it possible to form the solder bumps 110 appropriately.

【0092】半田ペーストをリフローする温度は,半田
組成により異なり,半田の融点により設定する。融点+
0℃〜+30℃の温度が望ましい。これにより,適切に
半田バンプ110を形成することが可能となる。通常
は,180℃〜280℃を加えることが好ましい。な
お,Sn:Pb=63:37という組成の共晶半田を用
いた場合,リフローは180℃〜210℃で行われるこ
とが好ましい。
The temperature at which the solder paste is reflowed depends on the solder composition and is set according to the melting point of the solder. Melting point +
Temperatures between 0 ° C and + 30 ° C are desirable. This makes it possible to form the solder bumps 110 appropriately. Usually, it is preferable to add 180 ° C to 280 ° C. In the case where eutectic solder having a composition of Sn: Pb = 63: 37 is used, it is preferable that reflow is performed at 180 ° C. to 210 ° C.

【0093】次に,図13(A),(B)に示すような
一対の上治具61と下治具62を用いて半田バンプ11
0の頂部の厚さ方向に加熱,加圧処理を加えるフラッタ
ニング処理を行う。これにより,半田バンプ110の頂
部を平坦化して均一な高さに揃える。このように半田バ
ンプ110の頂部の高さを揃えることで,ICチップと
プリント配線板1とを確実に接合することができるよう
になる。プリント配線板1の下面14側を押圧するため
の下治具62としては,ステンレスのように硬質かつ耐
圧性の金属材料からなるものが望ましい。もっとも,硬
質かつ耐圧性のものであれば,窒化珪素のようなセラミ
ックス材料を用いることもできる。
Next, as shown in FIGS. 13A and 13B, the solder bumps 11 are
A flattening process of applying a heating and pressing process in the thickness direction of the top of the zero is performed. As a result, the tops of the solder bumps 110 are flattened to have a uniform height. By making the heights of the tops of the solder bumps 110 uniform in this way, the IC chip and the printed wiring board 1 can be securely joined. The lower jig 62 for pressing the lower surface 14 side of the printed wiring board 1 is preferably made of a hard and pressure-resistant metal material such as stainless steel. However, a ceramic material such as silicon nitride can be used as long as it is hard and pressure-resistant.

【0094】フラッタニング処理の際の温度は,60℃
から使用する半田の融点より10℃低い温度(液相線・
固相線がある場合,液相線よりも10℃低い温度)に設
定されることが好ましい。60℃未満であると,半田バ
ンプ110が充分に軟化しないので,大きな押圧力を負
荷する必要が生じ,半田バンプ110の破損につながる
おそれがある。一方,半田の融点を超えると,半田バン
プ110が溶融してしまい,半田バンプとしての好適な
形状が損なわれるおそれがある。なお,共晶半田(S
n:Pb=63:37)を選択した場合には,上記温度
は100℃〜160℃に設定されていることが望まし
い。
The temperature during the fluttering treatment is 60 ° C.
10 ° C lower than the melting point of the solder used
If there is a solidus line, it is preferable to set the temperature to 10 ° C. lower than the liquidus line). When the temperature is lower than 60 ° C., the solder bumps 110 are not sufficiently softened, so that a large pressing force needs to be applied, which may lead to breakage of the solder bumps 110. On the other hand, if the melting point of the solder is exceeded, the solder bump 110 is melted, and a suitable shape as the solder bump may be damaged. The eutectic solder (S
When (n: Pb = 63: 37) is selected, the temperature is desirably set to 100 ° C. to 160 ° C.

【0095】フラッタニング処理の際の押圧力は10〜
150kgf/cm2の範囲内で設定されることが好ま
しい。上記の範囲内であれば,半田バンプ110の頂部
を最も効率よく平坦化することができるからである。押
圧力が10kgf/cm2未満であると,半田バンプ1
10の頂部を確実に平坦化することができないおそれが
ある。一方,押圧力が150kgf/cm2を超える
と,半田バンプ110が破損するおそれがある。なお,
押圧力は30〜100kgf/cm2の範囲内で設定さ
れることがより望ましい。
The pressing force in the fluttering process is 10 to
It is preferable to set within the range of 150 kgf / cm 2 . This is because the top of the solder bump 110 can be flattened most efficiently within the above range. If the pressing force is less than 10 kgf / cm 2 , the solder bump 1
There is a possibility that the top of 10 cannot be reliably flattened. On the other hand, if the pressing force exceeds 150 kgf / cm 2 , the solder bump 110 may be damaged. In addition,
More preferably, the pressing force is set within a range of 30 to 100 kgf / cm 2 .

【0096】上治具61と下治具62によって加圧され
る時間は2分以内に設定されることがよく,好ましくは
1分以内に設定されることがよい。加圧時間が2分を超
えると,生産性が低下することに加え,熱が伝わりすぎ
て半田バンプ110の破損につながるおそれがある。
The time during which pressure is applied by the upper jig 61 and the lower jig 62 is preferably set within 2 minutes, and more preferably, within 1 minute. If the pressing time exceeds 2 minutes, the productivity may decrease, and in addition, heat may be excessively transmitted, which may lead to breakage of the solder bump 110.

【0097】フラッタニング処理を経た時点での半田バ
ンプ110の頂部の高さ(具体的にはソルダーレジスト
層136から露出した導体回路113を基準としたとき
の頂部の高さ)は,0μm〜100μmであることが望
ましく,特に10〜50μmであることが望ましい。上
記突出部分が0μm未満であると,半田バンプ110と
ICチップ側の端子とが未接続になりやすくなり,10
0μmを超えると,半田バンプ110の頂部の高さを均
一にしにくくなる。しかも半田バンプ110自体を大き
くしなければならず,加熱後に短絡が発生しやすくな
る。
The height of the top of the solder bump 110 after the fluttering process (specifically, the height of the top based on the conductor circuit 113 exposed from the solder resist layer 136) is 0 μm to 100 μm. Preferably, the thickness is particularly 10 to 50 μm. If the protruding portion is less than 0 μm, the solder bump 110 and the terminal on the IC chip side are apt to be unconnected.
If it exceeds 0 μm, it is difficult to make the height of the top of the solder bump 110 uniform. In addition, the size of the solder bump 110 itself must be increased, and a short circuit is likely to occur after heating.

【0098】このような半田バンプ110を用いてIC
チップをプリント配線板1上に搭載することにより,I
Cチップ側とプリント配線板1側とが電気的に接続され
るようになっている。なお,図13(B)における符号
16はコンデンサを表す。
An IC using such a solder bump 110
By mounting the chip on the printed wiring board 1,
The C chip side and the printed wiring board 1 side are electrically connected. Note that reference numeral 16 in FIG. 13B represents a capacitor.

【0099】次に,複数(3または4以上)のプリント
配線板1を形成する基板を2枚以上に切断する「分割」
を経て,1枚の分割基板を切断して2枚以上にする「個
片化」を行う。切断工程を分割,個片化の2回に分けて
行うことにより,製造工程中の熱履歴により基板に反り
が発生していても,正確な位置で基板を切断することが
でき,また切断時の基板の損傷を防止できる。そのた
め,切断時に基板の割れや導体回路113の断線が生じ
ることはない。また,基板は設計通りに正確に切断され
るため,切断後の個片化基板に対して半田バンプ110
を形成しているので,半田バンプ110を正確な位置に
接合できる。
Next, a "division" is performed in which a substrate on which a plurality of (three or more) printed wiring boards 1 are formed is cut into two or more sheets.
After that, “singulation” is performed in which one divided substrate is cut into two or more substrates. By dividing the cutting process into two steps, dividing and dividing, even if the substrate is warped due to the heat history during the manufacturing process, the substrate can be cut at the correct position. The substrate can be prevented from being damaged. Therefore, there is no occurrence of cracking of the substrate or disconnection of the conductor circuit 113 during cutting. Further, since the substrate is cut exactly as designed, the solder bump 110
Is formed, the solder bumps 110 can be bonded at accurate positions.

【0100】基板には,配線板形成部が,捨て耳部を介
して複数配置されている。該捨て耳部は,上記分割の際
または個片化の際に切断除去することが好ましい。これ
により,基板搬送時の基板の欠け,傷を防止できる。な
お,捨て耳部は,基板の片側の側面だけに設けてもよい
し,相対する一対の両側面に設けてもよい。また,基板
を囲む全ての側面に設けてもよい。上記捨て耳部の幅
は,5〜15mmであることが好ましい。5mm未満の
場合には基板搬送時に基板端に欠け,傷が発生するおそ
れがあり,15mmを超える場合には基板の捨て部分が
多くなり生産コスト高につながる。
On the substrate, a plurality of wiring board forming portions are arranged via the discarded ear portions. It is preferable that the discarded ears be cut and removed at the time of the division or at the time of singulation. As a result, chipping and damage of the substrate during the transfer of the substrate can be prevented. The discard ears may be provided only on one side surface of the substrate, or may be provided on a pair of opposite side surfaces. Also, it may be provided on all side surfaces surrounding the substrate. Preferably, the width of the discarded ear portion is 5 to 15 mm. If it is less than 5 mm, the edge of the substrate may be chipped or damaged during the transfer of the substrate.

【0101】上記分割基板とは,基板を切断して得られ
た基板であり,プリント配線板1を形成すべき配線板形
成部を2以上有する。個片化基板とは,分割基板を切断
して得られた基板であり,プリント配線板1を形成すべ
き配線板形成部を1のみ有する。上記分割,個片化は,
ダイシング,シングル刃またはマルチ刃によるダイシン
グルーター加工等により行うことができる。
The divided board is a board obtained by cutting the board, and has two or more wiring board forming portions on which the printed wiring board 1 is to be formed. The singulated substrate is a substrate obtained by cutting a divided substrate, and has only one wiring board forming portion on which the printed wiring board 1 is to be formed. The above division and singulation
Dicing, dicing router processing with a single blade or a multi-blade, or the like can be performed.

【0102】上記分割基板の面積は,5.1×10-3
6.0×10-22の範囲であることが好ましい。5.
1×10-32未満の場合には,分割基板に損傷が生じ
るおそれがある。また,6.0×10-22を超える場
合には,熱履歴による反りの程度が大きく,半田バンプ
の形成,ICチップ実装などの精度が低下するおそれが
ある。上記分割基板の面積は配線板形成部だけでなく,
後述の捨て耳部を含む場合は該捨て耳部をも含む面積で
ある。
The area of the divided substrate is 5.1 × 10 -3 to
It is preferably in the range of 6.0 × 10 −2 m 2 . 5.
If it is less than 1 × 10 −3 m 2 , the divided substrate may be damaged. If it exceeds 6.0 × 10 −2 m 2 , the degree of warpage due to thermal history is large, and the accuracy of solder bump formation, IC chip mounting, and the like may be reduced. The area of the divided substrate is not only the area where the wiring board is formed,
In the case where a discarded ear portion described later is included, the area includes the discarded ear portion.

【0103】上記個片化基板の面積は,1.0×10-4
〜5.0×10-32の範囲であることが好ましい。
1.0×10-42未満の場合には,個片化基板に損傷
が生じるおそれがある。また,5.0×10-32を超
える場合には,ICチップ実装等の精度が低下するおそ
れがある。上記個片化の面積は,捨て耳部を除去した,
配線板形成部のみの面積である。
The area of the singulated substrate is 1.0 × 10 −4.
It is preferably 5.0 in the range of × 10 -3 m 2.
If it is less than 1.0 × 10 −4 m 2 , the singulated substrate may be damaged. On the other hand, if it exceeds 5.0 × 10 −3 m 2 , there is a possibility that the accuracy of mounting an IC chip or the like may be reduced. The area of the above singulation was obtained by removing the discarded ears.
This is the area of only the wiring board formation part.

【0104】次に,プリント配線板1の下面14(ドー
タボード,マザーボードとの接続面)に半田バンプ11
0及びピン12を配設する方法につき詳説する。まず,
上記プリント配線板1の下面14におけるソルダーレジ
スト層136上に,上述したものと同様の方法で導電性
接着剤としての半田ペーストを印刷する。
Next, the solder bumps 11 are formed on the lower surface 14 of the printed wiring board 1 (the connection surface with the daughter board and the motherboard).
The method of arranging the pins 0 and the pins 12 will be described in detail. First,
A solder paste as a conductive adhesive is printed on the solder resist layer 136 on the lower surface 14 of the printed wiring board 1 by the same method as described above.

【0105】半田ペーストの粘度は100〜300Pa
・Sに設定されることが好ましい。粘度が100Pa・
S未満であると,半田バンプ110を所望の形状に保持
することができなくなるおそれがある。逆に,粘度が3
00Pa・Sを超えると,半田ペーストを開口部15内
へ効率よく充填できなくなるおそれがある。
The viscosity of the solder paste is 100 to 300 Pa
-Preferably set to S. Viscosity 100Pa ・
If it is less than S, the solder bump 110 may not be able to be maintained in a desired shape. Conversely, if the viscosity is 3
If it exceeds 00 Pa · S, there is a possibility that the solder paste cannot be efficiently filled into the opening 15.

【0106】さらに,ピン12を適当なピン整列治具に
よって支持し,該ピン12を半田パッド137内の導電
性接着剤としての半田バンプ110に当接させてリフロ
ーを行い,ピン12を半田バンプ110に固定する(図
12)。
Further, the pins 12 are supported by an appropriate pin alignment jig, and the pins 12 are brought into contact with the solder bumps 110 serving as a conductive adhesive in the solder pads 137 to perform reflow. It is fixed to 110 (FIG. 12).

【0107】プリント配線板1の下面14側(ドータボ
ード,マザーボードとの接続面側)に形成される半田ペ
ーストとしては,半田(Sn−Pb,Sn−Sb,Sn
−Ag−Cu等),導電性樹脂,導電性ペーストを挙げ
ることができる。この中では,半田で形成するのが最も
好ましい。ピン12との接着強度に優れているととも
に,熱にも強く,接着作業を行いやすいからである。
Solder paste (Sn-Pb, Sn-Sb, Sn) formed on the lower surface 14 side of the printed wiring board 1 (the connection surface side with the daughter board and the motherboard) is used.
-Ag-Cu, etc.), a conductive resin, and a conductive paste. Among these, it is most preferable to form with solder. This is because the bonding strength with the pin 12 is excellent, and it is resistant to heat, and the bonding work is easy to perform.

【0108】導電性接着剤は,融点が180〜280℃
の範囲のものを用いることがよい。これにより,ピン1
2の接着強度として例えば2.0kg/pin以上が確
保され,ヒートサイクル条件下や実装の際にかかる熱に
よるピン12の脱落,傾きがなくなり,電気的接続も確
保される。融点が180℃未満であると,ピン12の接
合後の加熱によって導電性接着剤層が再溶融・軟化しや
すくなるため,導電性接着剤層に充分な接着強度を確保
することが困難になる。従って,ピン12の傾きや位置
ずれ,導電性接着剤層の破壊を回避できなくなる場合が
生じるおそれがある。一方,融点が280℃を超える
と,樹脂絶縁層143やソルダーレジスト層136に使
用される樹脂が溶解して,樹脂絶縁層143や導体回路
113の剥離,導体回路113の断線などを生じるおそ
れがある。
The conductive adhesive has a melting point of 180 to 280 ° C.
It is good to use the thing of the range. As a result, pin 1
For example, 2.0 kg / pin or more is secured as the adhesive strength of No. 2, and the pins 12 do not fall off or tilt due to heat cycle conditions or heat applied during mounting, and electrical connection is also secured. If the melting point is less than 180 ° C., the conductive adhesive layer is likely to be re-melted and softened by heating after the bonding of the pins 12, so that it is difficult to secure sufficient adhesive strength to the conductive adhesive layer. . Therefore, there is a possibility that the inclination or displacement of the pin 12 and the destruction of the conductive adhesive layer cannot be avoided. On the other hand, when the melting point exceeds 280 ° C., the resin used for the resin insulating layer 143 and the solder resist layer 136 is dissolved, and the resin insulating layer 143 and the conductor circuit 113 may be peeled off, and the conductor circuit 113 may be disconnected. is there.

【0109】導電性接着剤を半田で形成する場合,基板
の下面14側(ドータボード,マザーボードとの接続面
側)に形成する半田バンプ110には,プリント配線板
1の上面13側(ICチップ接続側)に形成した半田バ
ンプ110よりも融点の高いものを用いるのが望まし
い。従って,基板11の上面13側にSn−Pb系(融
点180℃)のものを用いた場合,基板11の下面14
側にはSn−Sb系(融点240℃)よりなる半田を使
用するのが望ましい。
When the conductive adhesive is formed by soldering, the solder bumps 110 formed on the lower surface 14 side of the substrate (connection surface side with the daughter board and the motherboard) are connected to the upper surface 13 side of the printed wiring board 1 (IC chip connection). It is desirable to use one having a higher melting point than the solder bump 110 formed on the (side) side. Therefore, when an Sn—Pb (melting point: 180 ° C.) is used on the upper surface 13 side of the substrate 11, the lower surface 14
It is desirable to use a solder made of Sn—Sb (melting point 240 ° C.) on the side.

【0110】その理由は,後に上面13側の半田バンプ
110にリフローを行うことによってICチップを接続
する際,下面14側に用いる半田ペーストの融点が上面
13側のものと同じ,あるいは低いと,下面14側に形
成したピン12を固定していた半田ペーストが溶融して
しまい,該ピン12の傾きや脱落を生じさせてしまうか
らである。
The reason is that when the IC chip is connected by reflowing the solder bumps 110 on the upper surface 13 later, if the melting point of the solder paste used on the lower surface 14 is the same as or lower than that on the upper surface 13, This is because the solder paste that fixes the pins 12 formed on the lower surface 14 is melted, and the pins 12 tilt or fall off.

【0111】なお,図12に示すように,ソルダーレジ
スト層136上に形成される半田パッド137は,該半
田パッド137を部分的に露出させる開口部15が形成
されたソルダーレジスト層(有機樹脂絶縁層)136に
より被覆されており,開口部15から露出した半田パッ
ド137に導電性接着剤としての半田バンプ110を介
してピン12の固定部が固定されていることが望まし
い。
As shown in FIG. 12, the solder pad 137 formed on the solder resist layer 136 is made of a solder resist layer (organic resin insulation) in which an opening 15 for partially exposing the solder pad 137 is formed. It is preferable that the fixing portion of the pin 12 is fixed to the solder pad 137 which is covered with the layer 136 and is exposed from the opening 15 via the solder bump 110 as a conductive adhesive.

【0112】図14に示すように,このソルダーレジス
ト層(有機樹脂絶縁層)136は,半田パッド137の
周囲を押さえるように被覆しているので,ヒートサイク
ル時やプリント配線板1をマザーボードへ装着する際な
どに,ピン12に応力が加わっても,半田パッド137
の破壊及び層間樹脂絶縁層143との剥離を防止でき
る。また,金属と樹脂という異なった素材同士の接着に
おいても剥離し難くなっている。なお,ここでは,層間
樹脂絶縁層が形成された多層のプリント配線板1を例示
したが,1枚の基板のみから成るプリント配線板にも適
用することができる。
As shown in FIG. 14, since this solder resist layer (organic resin insulating layer) 136 covers the periphery of the solder pad 137, the solder resist layer (organic resin insulating layer) 136 is mounted on the motherboard at the time of heat cycle. Even when stress is applied to the pin 12 during the
And delamination from the interlayer resin insulating layer 143 can be prevented. Also, it is difficult to peel off even when bonding between different materials such as metal and resin. Here, the multilayer printed wiring board 1 on which the interlayer resin insulating layer is formed is illustrated, but the present invention can be applied to a printed wiring board composed of only one substrate.

【0113】上記のようにして印刷した半田ペースト
に,温度250℃,時間30秒〜2分間で窒素雰囲気下
においてリフローを行うことにより,半田バンプ110
が開口部15内に固定された状態となる。このとき,こ
の時点では半田バンプ110は半球状を呈している。な
お,リフローを行った際に半田ペースト内に形成された
気泡を抜くことができる。半田ペーストをリフローする
温度としては,180〜280℃が好ましい。これによ
り,適切に半田バンプ110を形成することが可能とな
る。
The solder paste printed as described above is subjected to reflow under a nitrogen atmosphere at a temperature of 250 ° C. for a time period of 30 seconds to 2 minutes, so that the solder bumps 110 are formed.
Is fixed in the opening 15. At this time, the solder bump 110 has a hemispherical shape at this time. Note that air bubbles formed in the solder paste when reflow is performed can be removed. The temperature for reflowing the solder paste is preferably from 180 to 280C. This makes it possible to form the solder bumps 110 appropriately.

【0114】その後,ピン12を適当なピン保持装置に
取りつけて支持し,ピン12の固定部44を半田パッド
137内の半田バンプ110に当接させる。上記ピン1
2は,基本的に頭部125と脚部126とからなる。脚
部126は断面略円形状の棒状態であり,一般的にはマ
ザーボード等の外部基板側に設けられたソケットのピン
挿入穴に挿入可能になっている。図14に示すごとく,
上記頭部125は脚部126の上端面側に位置してい
る。より詳細にいうと,頭部125の下面125cは脚
部126の上端面126cに対して一体的に連結されて
いる。円盤状をなす頭部125は,脚部126よりも大
径になっている。また,頭部125の肉厚の大きさは,
脚部126の長さよりも相当小さいものとなっている。
以上のことから,本例の導電性接続用のピン12はT型
ピン(または釘状ピン)と呼ばれるべき形態を有してい
る。
After that, the pins 12 are attached to and supported by an appropriate pin holding device, and the fixing portions 44 of the pins 12 are brought into contact with the solder bumps 110 in the solder pads 137. Pin 1 above
2 basically comprises a head 125 and a leg 126. The leg portion 126 has a rod shape having a substantially circular cross section, and is generally insertable into a pin insertion hole of a socket provided on an external substrate such as a motherboard. As shown in FIG.
The head 125 is located on the upper end side of the leg 126. More specifically, the lower surface 125c of the head 125 is integrally connected to the upper end surface 126c of the leg 126. The disk-shaped head 125 has a larger diameter than the legs 126. The thickness of the head 125 is
It is considerably smaller than the length of the leg 126.
From the above, the conductive connection pin 12 of this example has a form to be called a T-shaped pin (or a nail-shaped pin).

【0115】また,本例のピン12は,銅,銅合金,
鉄,スズ,亜鉛,アルミニウム,貴金属から選ばれる,
少なくとも一種類以上の導電性金属を用いて形成され
る。その中でも,特に銅を主成分とするコバールや,鉄
を主成分とするアロイ等の合金を選択することが望まし
い。その理由は,これらの合金は,ピン用金属材料とし
て信頼性が高いからである。
The pin 12 of this embodiment is made of copper, copper alloy,
Selected from iron, tin, zinc, aluminum and precious metals,
It is formed using at least one or more kinds of conductive metals. Among them, it is particularly desirable to select an alloy such as Kovar having copper as a main component or an alloy having iron as a main component. The reason is that these alloys are highly reliable as metal materials for pins.

【0116】ピン12の頭部125の上面125bは,
ピン接合時に半田パッド137に対面するように配置さ
れ,かつ導電性接着剤層内に完全に埋没した状態とな
る。つまり,頭部125の上面125bはピン12にお
ける被接合面である。
The upper surface 125b of the head 125 of the pin 12
At the time of pin bonding, it is arranged so as to face the solder pad 137 and is completely buried in the conductive adhesive layer. That is, the upper surface 125b of the head 125 is the surface to be joined of the pin 12.

【0117】ピン12の頭部125の直径は,半田パッ
ド137の直径の0.8倍〜1.2倍であることが望ま
しい。そのような条件に設定すれば,半田パッド137
内における接合エリアが確保されるため,多層プリント
配線板1に対してピン12を垂直に立てることが容易と
なるからである。
The diameter of the head 125 of the pin 12 is preferably 0.8 to 1.2 times the diameter of the solder pad 137. If such conditions are set, the solder pads 137
This is because the bonding area in the inside is secured, so that the pins 12 can be easily set upright with respect to the multilayer printed wiring board 1.

【0118】そして,上記構成のピン12を上記基板1
1に接合するに当っては,専用のピン整列治具により複
数個のピン12を立設した状態で整列する。この後,頭
部125の上面125bを導電性接着剤層としての半田
バンプ110に仮固定した状態でリフローを行うことに
より,導電性接着剤層を再溶融させ,複数のピン12を
半田パッド137に対して一括的に接合する。
Then, the pins 12 having the above configuration are connected to the substrate 1.
At the time of joining, the plurality of pins 12 are aligned in an upright state by a dedicated pin alignment jig. Thereafter, reflow is performed while the upper surface 125b of the head 125 is temporarily fixed to the solder bump 110 serving as a conductive adhesive layer, so that the conductive adhesive layer is re-melted, and the plurality of pins 12 are connected to the solder pads 137. Jointly.

【0119】次に,温度250℃,時間30秒〜2分間
でリフローを行うことにより,上記ピン12を半田バン
プ110に固定する。これにより,リフロー時における
ピン12への半田のずり上がりを防ぐことができ,ピン
12を適切に取りつける(半田付けする)ことが可能と
なる。
Next, the pins 12 are fixed to the solder bumps 110 by performing reflow at a temperature of 250 ° C. for a time of 30 seconds to 2 minutes. Thereby, it is possible to prevent the solder from rising to the pins 12 at the time of reflow, and it is possible to appropriately mount (soldering) the pins 12.

【0120】このように半田ペーストをリフローして半
田バンプ110を形成した後に,ピン12を半田バンプ
110に当接させ,再びリフローをしてピン12を取り
つけるのは,半田ペーストを印刷する時点で紛れ込む気
泡を除去するためである。半田内に残留した気泡は,電
子部品の動作時に発生した熱により,拡散あるいは膨張
したりする。これにより,ピン12の接続強度が弱くな
り,接続性,信頼性に影響を与えることがある。また,
最悪の場合には,ドータボードのソケットの抜き差しに
おいてピンが外れてしまうおそれがある。
After the solder paste is reflowed to form the solder bumps 110, the pins 12 are brought into contact with the solder bumps 110, and the pins are reflowed and the pins 12 are attached again when the solder paste is printed. This is to remove the bubbles that enter. Bubbles remaining in the solder are diffused or expanded by heat generated during operation of the electronic component. As a result, the connection strength of the pin 12 is reduced, which may affect the connectivity and reliability. Also,
In the worst case, the pins may come off when the daughter board socket is inserted or removed.

【0121】そのため,半田ペーストをリフローして半
田バンプ110を形成する際に,半田ペースト内に形成
された気泡を抜き取り,その後,再びリフローをしてピ
ン12を取りつける。こうすることにより,リフローの
際のピン12への半田のずり上がりを防ぐことができ,
プリント配線板1の接続信頼性を向上させることが可能
となる。
For this reason, when the solder paste is reflowed to form the solder bumps 110, bubbles formed in the solder paste are extracted, and then the pins 12 are mounted again by reflowing. By doing so, it is possible to prevent the solder from slipping onto the pin 12 during reflow.
The connection reliability of the printed wiring board 1 can be improved.

【0122】なお,本例では上面13側の半田形成を行
った後に下面14側の半田形成を行ったが,上面13側
と下面14側の,両面の半田バンプ110を同時に形成
してもよい。
In this embodiment, the solder on the lower surface 14 is formed after the solder on the upper surface 13 is formed. However, the solder bumps 110 on both surfaces of the upper surface 13 and the lower surface 14 may be formed simultaneously. .

【0123】次に,上記工程を経て製造したプリント配
線板1のソルダーレジスト層136上に,製品を識別す
るための表示文字,認識文字などの様々な文字や記号
を,文字印刷またはバーコード印刷により行う。印刷方
法としては,基板治具及びマスクの印刷位置を検出,自
動補正手段を有する印刷装置を用いて,レーザー加工等
により行う。
Next, on the solder resist layer 136 of the printed wiring board 1 manufactured through the above steps, various characters and symbols such as display characters for identifying products and recognition characters are printed by character printing or bar code printing. Performed by As a printing method, the printing position of the substrate jig and the mask is detected, and the printing is performed by laser processing or the like using a printing apparatus having automatic correction means.

【0124】上述した工程を経て作成したプリント配線
板1について,実施例1に示すような,配線回路の導通
検査,及び実装されたコンデンサ16の容量検査,また
該プリント配線板1に接続したピン12の外観検査を行
なう。
With respect to the printed wiring board 1 produced through the above-described steps, the continuity test of the wiring circuit and the capacity test of the mounted capacitor 16 and the pins connected to the printed wiring board 1 as shown in Embodiment 1 are performed. Twelve appearance inspections are performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1における,プリント配線板の検査装置
の上面図。
FIG. 1 is a top view of a printed wiring board inspection apparatus according to a first embodiment.

【図2】実施例1における,プリント配線板の検査装置
とその周辺設備の上面図。
FIG. 2 is a top view of a printed wiring board inspection apparatus and peripheral equipment according to the first embodiment.

【図3】実施例1における,プリント配線板の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the printed wiring board according to the first embodiment.

【図4】実施例1における,パレットにプリント配線板
を搭載する方法を説明する上面図。
FIG. 4 is a top view illustrating a method for mounting a printed wiring board on a pallet in the first embodiment.

【図5】実施例1における,仮置きステージを設けない
とした場合に,パレットにプリント配線板が搭載される
様子を説明する上面図。
FIG. 5 is a top view illustrating a state in which a printed wiring board is mounted on a pallet in the case where no temporary placement stage is provided in the first embodiment.

【図6】実施例1における,検査前のプリント配線板と
導通検査機の断面説明図。
FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view of the printed wiring board and a continuity tester before inspection in the first embodiment.

【図7】実施例1における,検査時のプリント配線板と
導通検査機の断面説明図。
FIG. 7 is an explanatory cross-sectional view of a printed wiring board and a continuity tester at the time of inspection in the first embodiment;

【図8】実施例1における,(A)プリント配線板を検
査治具に載置する前の状態,(B)検査を行っている状
態,をそれぞれ表す断面説明図。
FIG. 8 is a cross-sectional explanatory view showing (A) a state before the printed wiring board is placed on the inspection jig and (B) a state in which the inspection is performed in the first embodiment.

【図9】実施例1における,(A)ピン曲がりの生じて
いるプリント配線板を検査治具に載置する前の状態,
(B)検査においてピン曲がりを検出した状態,をそれ
ぞれ表す断面説明図。
FIG. 9A shows a state before mounting a printed wiring board having bent pins on an inspection jig in the first embodiment,
(B) Explanatory sectional drawing showing the state which detected the bending of the pin in the inspection, respectively.

【図10】実施例1における,検査時のプリント配線板
と外観検査機の上面図。
FIG. 10 is a top view of the printed wiring board and the appearance inspection device during inspection according to the first embodiment.

【図11】実施例1における,(A)ピン浮きの生じて
いるプリント配線板を検査治具に載置する前の状態,
(B)検査においてピン浮きを検出した状態,をそれぞ
れ表す断面説明図。
FIG. 11 (A) shows a state before mounting a printed wiring board having a pin lift on an inspection jig according to the first embodiment.
(B) Explanatory sectional drawing showing the state which detected the pin lift in the test | inspection, respectively.

【図12】実施例2における,プリント配線板の断面説
明図。
FIG. 12 is an explanatory sectional view of a printed wiring board according to the second embodiment.

【図13】実施例2における,フラッタニング処理の
(A)斜視説明図,(B)(A)のA−A線矢視断面
図。
13A is a perspective explanatory view of the fluttering process and FIG. 13B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.

【図14】実施例2における,ピン周辺のプリント配線
板の断面説明図。
FIG. 14 is an explanatory cross-sectional view of a printed wiring board around pins in Example 2.

【図15】従来例における,電子部品を搭載したプリン
ト配線板の(A)平面図,(B)断面図。
15A is a plan view and FIG. 15B is a cross-sectional view of a printed wiring board on which electronic components are mounted in a conventional example.

【図16】従来例における,ピン曲がりの生じたプリン
ト配線板の断面説明図。
FIG. 16 is an explanatory cross-sectional view of a printed wiring board having bent pins in a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1...プリント配線板, 11...基板, 12...ピン(導電性接続端子), 2...検査装置, 20...回転テーブル(移送手段), 21...搬入ステージ, 22...導通検査ステージ, 23...容量検査ステージ, 24...外観検査ステージ, 25...搬出ステージ, 26...仮置きステージ, 31...搬入機, 32...導通検査機, 33...容量検査機, 34...外観検査機, 35...搬出機, 1. . . Printed wiring board, 11. . . Substrate, 12. . . 1. pins (conductive connection terminals); . . Inspection device, 20. . . Rotary table (transporting means), 21. . . Loading stage, 22. . . Continuity inspection stage, 23. . . Capacity inspection stage, 24. . . Appearance inspection stage, 25. . . Carry-out stage, 26. . . Temporary stage, 31. . . Loading machine, 32. . . Continuity tester, 33. . . Capacity inspection machine, 34. . . Appearance inspection machine, 35. . . Unloader,

フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA01 AA31 AA51 BB01 BB05 CC01 CC28 DD02 DD06 FF02 GG04 HH04 HH15 JJ01 JJ15 PP13 QQ04 SS04 2G011 AA01 AB08 AC09 AE01 2G014 AA13 AB59 AC10 2G132 AA20 AF14 AL12 3F079 AD06 CA23 CA37 CB21 CB25 CB31 CB35 CC01 DA02 DA11 DA30 Continuation of the front page F term (reference) 2F065 AA01 AA31 AA51 BB01 BB05 CC01 CC28 DD02 DD06 FF02 GG04 HH04 HH15 JJ01 JJ15 PP13 QQ04 SS04 2G011 AA01 AB08 AC09 AE01 2G014 AA13 AB59 AC10 2G132 AA20AF79 CB21 DA02 DA11 DA30

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回路を有する基板上に電子部品及び複数
の導電性接続端子が立設されたプリント配線板を検査す
る方法において,検査すべき上記プリント配線板を,移
送手段にセットされた基板治具に搬入する搬入工程と,
上記プリント配線板の導通検査及び上記電子部品の容量
検査を行う電気検査工程と,上記導電性接続端子の外観
検査を行なう外観検査工程と,上記電気検査工程もしく
は上記外観検査工程において不良品と判定されたプリン
ト配線板を上記移送手段から排出すると共に,良品と判
定されたプリント配線板を上記移送手段から次工程へ搬
出する分別工程とをそれぞれのステージにおいて行な
い,かつ,上記移送手段によって,上記プリント配線板
を上記各ステージに移送することを特徴とするプリント
配線板の検査方法。
In a method of inspecting a printed wiring board on which electronic components and a plurality of conductive connection terminals are erected on a substrate having a circuit, the printed wiring board to be inspected is placed on a substrate set on a transfer means. A loading process for loading into the jig,
An electrical inspection step of conducting a continuity inspection of the printed wiring board and a capacitance inspection of the electronic component, an appearance inspection step of performing an appearance inspection of the conductive connection terminal, and a defective product in the electrical inspection step or the appearance inspection step Discharging the printed wiring board from the transfer means, and separating the printed wiring board determined to be non-defective from the transfer means to the next step in each stage, and performing the separation by the transfer means. A method for inspecting a printed wiring board, comprising transferring the printed wiring board to each of the stages.
【請求項2】 請求項1において,上記移送手段は回転
テーブルであることを特徴とするプリント配線板の検査
方法。
2. A method according to claim 1, wherein said transfer means is a rotary table.
【請求項3】 請求項1又は2において,上記電気検査
工程及び上記外観検査工程においては,上記プリント配
線板を複数個一組で検査し,そのうちの一部のみが上記
電気検査工程及び上記外観検査工程で良品と判断された
場合に,上記分別工程においては,上記良品のプリント
配線板を仮置きステージに仮置きし,その後に検査され
る複数個一組のプリント配線板のうちの一部のみが良品
であった場合に,その良品のプリント配線板と上記仮置
きステージに仮置きされていたプリント配線板とを合せ
て搬出することを特徴とするプリント配線板の検査方
法。
3. The electric inspection step and the appearance inspection step according to claim 1 or 2, wherein a plurality of the printed wiring boards are inspected in a set, and only a part of the plurality of printed wiring boards is inspected. If it is determined in the inspection process that the printed circuit board is non-defective, in the separating step, the non-defective printed circuit board is temporarily placed on a temporary placement stage, and then a part of a set of a plurality of printed circuit boards to be inspected is checked. A method for inspecting a printed wiring board, characterized in that when only the non-defective product is a non-defective product, the non-defective printed wiring board and the printed wiring board temporarily placed on the temporary placement stage are brought out together.
【請求項4】 回路を有する基板上に電子部品及び複数
の導電性接続端子が立設されたプリント配線板を検査す
るための検査装置において,該検査装置は,上記プリン
ト配線板の導通検査を行なう導通検査機と,上記電子部
品の容量検査を行う容量検査機と,上記導電性接続端子
の外観検査を行なう外観検査機と,上記プリント配線板
を保持し移送する移送手段とを有し,上記導通検査機,
容量検査機,及び外観検査機は,上記移送手段に沿って
配されたそれぞれのステージに設けてあり,かつ,上記
移送手段は,上記プリント配線板を上記各ステージに移
送するよう構成してあることを特徴とするプリント配線
板の検査装置。
4. An inspection apparatus for inspecting a printed wiring board on which electronic components and a plurality of conductive connection terminals are erected on a substrate having a circuit, wherein the inspection apparatus performs a continuity inspection of the printed wiring board. A continuity tester for performing a continuity test, a capacity tester for performing a capacity test of the electronic component, an appearance tester for performing a visual test of the conductive connection terminal, and a transfer means for holding and transferring the printed wiring board; The continuity inspection machine,
A capacity inspection machine and a visual inspection machine are provided on each stage arranged along the transfer means, and the transfer means is configured to transfer the printed wiring board to each of the stages. A printed wiring board inspection apparatus, characterized in that:
【請求項5】 請求項4において,上記移送手段は回転
テーブルであることを特徴とするプリント配線板の検査
装置。
5. An apparatus according to claim 4, wherein said transfer means is a rotary table.
【請求項6】 請求項4又は5において,上記検査装置
は,良品のプリント配線板を仮置きする仮置きステージ
を有しており,上記導通検査機,容量検査機,外観検査
機は,上記プリント配線板を複数個一組で検査し,その
うちの一部のみが各検査機によって良品と判断された場
合に,上記搬出機は,上記良品のプリント配線板を上記
仮置きステージに仮置きし,その後に検査される複数個
一組のプリント配線板のうちの一部のみが良品であった
場合に,その良品のプリント配線板と上記仮置きステー
ジに仮置きされていたプリント配線板とを合せて搬出す
るよう構成されていることを特徴とするプリント配線板
の検査装置。
6. The inspection device according to claim 4 or 5, wherein the inspection device has a temporary placement stage for temporarily placing a non-defective printed wiring board. When a plurality of printed wiring boards are inspected in a set and only a part of them is judged to be good by each inspection machine, the unloader temporarily places the good printed wiring boards on the temporary placement stage. If only a part of a plurality of printed wiring boards to be inspected thereafter is non-defective, the non-defective printed wiring board and the printed wiring board temporarily placed on the temporary placement stage are separated. An inspection device for a printed wiring board, wherein the inspection device is configured to be carried out together.
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