JP2002334415A - Magnetic recording medium and magnetic storage device - Google Patents

Magnetic recording medium and magnetic storage device

Info

Publication number
JP2002334415A
JP2002334415A JP2001133878A JP2001133878A JP2002334415A JP 2002334415 A JP2002334415 A JP 2002334415A JP 2001133878 A JP2001133878 A JP 2001133878A JP 2001133878 A JP2001133878 A JP 2001133878A JP 2002334415 A JP2002334415 A JP 2002334415A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
layer
recording medium
recording
soft magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001133878A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Harumi Sakamoto
晴美 坂本
Satoru Matsunuma
悟 松沼
Akira Yano
亮 矢野
Takanobu Takayama
孝信 高山
Takeshi Konuma
剛 小沼
Masahiko Baba
正彦 馬場
Teruaki Takeuchi
輝明 竹内
Shioji Fujita
塩地 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Holdings Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
Priority to JP2001133878A priority Critical patent/JP2002334415A/en
Publication of JP2002334415A publication Critical patent/JP2002334415A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a perpendicular magnetic recording medium which exhibits excellent thermal stability in the recording magnetic domain where high density recording is carried out and of which the information can be reproduced with low noise and high S/N. SOLUTION: The magnetic recording medium is provided with an intrasurface soft magnetism layer 3, a perpendicular soft magnetism layer 4 and a recording layer 5 on a substrate 1. The magnetic flux from a recording magnetic domain 15 of the recording layer 5 first becomes aslant in the perpendicular soft magnetism layer 4, and is then oriented to an intrasurface direction in the intrasurface soft magnetism layer 3. Thus a magnetic loop of a horseshoe shape is easily formed between the intrasurface magnetism layer 3 and the recording layer 5. Consequently, the recording magnetic domain of the recording layer 5 is more stabilized than before. Furthermore, since the magnetic fluctuation of the intrasurface magnetism layer 3 is reduced and noise is made smaller, information can be reproduced with high S/N.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体及び
それを用いた磁気記憶装置に関し、更に詳細には、ハー
ドディスク、フロッピー(登録商標)ディスク等のよう
に磁気ヘッドが一時的あるいは定常的に接触するタイプ
の磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記憶装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium and a magnetic storage device using the same, and more particularly, to a magnetic head such as a hard disk, a floppy (registered trademark) disk, etc. The present invention relates to a magnetic recording medium of a contact type and a magnetic storage device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】大型サーバー、並列型コンピュータ、パ
ーソナルコンピュータ、ネットワークサーバー、ムービ
ーサーバー、モバイルPC等の大容量記憶装置として磁
気記憶装置が使用されている。磁気記憶装置には、情報
が磁気的に記録される磁気記録媒体と、情報を記録また
は再生するための磁気ヘッドとが設けられている。磁気
記録媒体は、円板状の基板を備え、この基板の上に記録
層として例えばコバルト合金などの強磁性薄膜がスパッ
タ法などにより形成されている。強磁性薄膜上には、耐
摺動性、耐食性を高めるために、保護膜及び潤滑膜が形
成されている。
2. Description of the Related Art Magnetic storage devices are used as large-capacity storage devices such as large servers, parallel computers, personal computers, network servers, movie servers, and mobile PCs. The magnetic storage device includes a magnetic recording medium on which information is magnetically recorded, and a magnetic head for recording or reproducing information. The magnetic recording medium includes a disk-shaped substrate, on which a ferromagnetic thin film such as a cobalt alloy is formed as a recording layer by a sputtering method or the like. On the ferromagnetic thin film, a protective film and a lubricating film are formed in order to improve sliding resistance and corrosion resistance.

【0003】近年、磁気記憶装置の大容量化のために、
磁気記録媒体に微細な記録磁区を記録して記録密度を向
上させる方法が進められている。記録磁区を微細に記録
するために、膜面に対して垂直な方向に磁化を有する記
録磁区を記録層に記録する、いわゆる垂直磁気記録方式
が提案されている。垂直磁気記録方式の実用化のために
は、記録磁区を微細にして記録密度を向上させつつ、情
報再生時に媒体から発生するノイズを低減させる必要が
ある。
In recent years, in order to increase the capacity of magnetic storage devices,
2. Description of the Related Art A method of recording a fine recording magnetic domain on a magnetic recording medium to improve a recording density has been advanced. In order to finely record the recording magnetic domains, a so-called perpendicular magnetic recording method has been proposed in which recording magnetic domains having magnetization in a direction perpendicular to the film surface are recorded on a recording layer. For the practical use of the perpendicular magnetic recording system, it is necessary to reduce the noise generated from the medium at the time of information reproduction while improving the recording density by making the recording magnetic domain fine.

【0004】媒体からのノイズを低減するための方法と
して、記録層の下地に、面内磁化を有する軟磁性層(以
下、面内軟磁性層という)を備える方法が有効であるこ
とが知られている。面内軟磁性層を記録層の下地として
形成すると、記録層の互いに逆向きの磁化を有する隣接
記録磁区からの漏洩磁界が面内軟磁性層内を通過する。
このとき、記録層と面内軟磁性層の断面においては、記
録層と面内軟磁性層との間で記録ビットからの漏洩磁界
が馬蹄型の磁気ループ(磁気回路)を形成している。か
かる漏洩磁界のループにより、記録磁区が磁気的に安定
化するため、媒体からのノイズは低減される。
As a method for reducing noise from a medium, it is known that a method in which a soft magnetic layer having in-plane magnetization (hereinafter, referred to as an in-plane soft magnetic layer) is provided under the recording layer is effective. ing. When the in-plane soft magnetic layer is formed as an underlayer of the recording layer, a leakage magnetic field from adjacent recording magnetic domains having magnetizations of opposite directions in the recording layer passes through the in-plane soft magnetic layer.
At this time, in the cross section of the recording layer and the in-plane soft magnetic layer, the leakage magnetic field from the recording bit forms a horseshoe-shaped magnetic loop (magnetic circuit) between the recording layer and the in-plane soft magnetic layer. Since the recording magnetic domain is magnetically stabilized by the loop of the leakage magnetic field, noise from the medium is reduced.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、記録層の下
地に面内軟磁性層を形成しても情報再生時に発生するノ
イズは十分に低減されていなかった。これは、面内磁化
を示す軟磁性材料から形成された面内軟磁性層を、垂直
磁化を示す記録層に接して形成したことにより面内軟磁
性層に磁気的な揺らぎ(磁化の揺らぎ)が発生している
ためであると考えられている。そこで、この面内軟磁性
層の磁気的な揺らぎに基づくノイズを防止するために、
面内軟磁性層と記録層との間に非磁性層を挟むことが提
案されている。
However, even if an in-plane soft magnetic layer is formed under the recording layer, noise generated during information reproduction has not been sufficiently reduced. This is because the in-plane soft magnetic layer formed of a soft magnetic material having in-plane magnetization is formed in contact with the recording layer having perpendicular magnetization, so that the in-plane soft magnetic layer has magnetic fluctuation (fluctuation of magnetization). It is thought that this is due to the occurrence of Therefore, in order to prevent noise due to the magnetic fluctuation of the in-plane soft magnetic layer,
It has been proposed to sandwich a non-magnetic layer between the in-plane soft magnetic layer and the recording layer.

【0006】しかしながら、面内軟磁性層と記録層の間
に非磁性層を挟むことによって面内軟磁性層の磁気的な
揺らぎに基づくノイズは低減させることができるもの
の、記録層の記録磁区の磁気的安定性、特に熱安定性が
低下するという問題があった。
However, by interposing a non-magnetic layer between the in-plane soft magnetic layer and the recording layer, noise due to magnetic fluctuation of the in-plane soft magnetic layer can be reduced, but the recording magnetic domain of the recording layer can be reduced. There is a problem that magnetic stability, especially thermal stability, is reduced.

【0007】本発明は、上記従来技術の問題を解決する
ためになされたものであり、その目的は、記録磁区の熱
安定性に優れ、低ノイズで情報を再生できる垂直磁気記
録媒体を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a perpendicular magnetic recording medium which has excellent thermal stability of recording magnetic domains and can reproduce information with low noise. It is in.

【0008】本発明の第2の目的は、熱揺らぎに強く、
高い面記録密度で記録された情報を高S/Nで再生可能
な磁気記憶装置を提供することにある。
A second object of the present invention is to withstand thermal fluctuations,
An object of the present invention is to provide a magnetic storage device capable of reproducing information recorded at a high areal recording density at a high S / N.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様に従
えば、磁気記録媒体において、垂直磁化を有する記録層
と、面内軟磁性層と、上記記録層と面内軟磁性層との間
に位置する垂直軟磁性層とを備えることを特徴とする磁
気記録媒体が提供される。
According to a first aspect of the present invention, in a magnetic recording medium, a recording layer having perpendicular magnetization, an in-plane soft magnetic layer, the recording layer and the in-plane soft magnetic layer, And a perpendicular soft magnetic layer located therebetween.

【0010】本発明の磁気記録媒体は、垂直磁化を有す
る記録層と面内軟磁性層との間に、上述した従来の磁気
記録媒体の非磁性層の代わりに、垂直軟磁性層を備えて
いる。垂直軟磁性層は、例えば、10℃〜200℃の温
度範囲において垂直磁化を示す軟磁性材料から形成され
る。かかる垂直軟磁性層を、非磁性層の代わりに設けた
ことにより、面内軟磁性層の磁気的揺らぎに基づくノイ
ズを低減すると同時に記録磁区の熱安定性を高めること
ができた。その理由を以下に説明する。
The magnetic recording medium of the present invention comprises a perpendicular soft magnetic layer between the recording layer having perpendicular magnetization and the in-plane soft magnetic layer, instead of the above-described non-magnetic layer of the conventional magnetic recording medium. I have. The perpendicular soft magnetic layer is formed of, for example, a soft magnetic material exhibiting perpendicular magnetization in a temperature range of 10 ° C to 200 ° C. By providing such a perpendicular soft magnetic layer in place of the nonmagnetic layer, it was possible to reduce the noise due to the magnetic fluctuation of the in-plane soft magnetic layer and to increase the thermal stability of the recording magnetic domain. The reason will be described below.

【0011】垂直軟磁性層は、磁化が磁界の方向に容易
に向くような磁気特性を有するため、図2に示すよう
に、垂直軟磁性層4の記録層5側に存在する磁化12
は、垂直磁化を有する記録層5との交換結合力により膜
面に対して垂直な方向で安定化し、一方、面内軟磁性層
3側に存在する磁化13は、面内方向に磁化を有する面
内軟磁性層3との交換結合力のために膜面に対して傾い
て安定化している。このように、垂直軟磁性層4の面内
軟磁性層3側に存在する磁化13は面内成分を含んでい
る。ここで、軟磁性材料から形成されている面内軟磁性
層3の垂直軟磁性層4側に存在する磁化14も、垂直軟
磁性層4との交換結合力によって膜面に対して斜めに傾
いている。すなわち、垂直軟磁性層4と面内軟磁性層3
の境界部分においては、垂直軟磁性層4と面内軟磁性層
3のそれぞれの磁化13及び14が、互いに膜面に対し
て斜めに同じ方向に配向している。そして、垂直軟磁性
層4から遠ざかるに従って面内軟磁性層3の磁化は徐々
に面内方向に配向する。したがって、記録層5の記録磁
区15から発生する膜面に対して垂直方向の磁束は、垂
直軟磁性層4において斜めに向いた後、面内軟磁性層3
において面内方向となる。すなわち、垂直軟磁性層3の
存在により、磁束の向きが垂直方向から面内方向に段階
的に変化するため、記録層5に形成された記録磁区1
5、16及び17の下方では、図2に示すような馬蹄型
の磁束のループが容易に形成されることになる。このよ
うに本発明の磁気記録媒体は、かかる馬蹄型の磁束のル
ープが容易に形成されるために、記録層の記録磁区を安
定に保持することが可能となり、記録磁区の熱安定性が
高められている。
Since the perpendicular soft magnetic layer has magnetic properties such that the magnetization is easily directed to the direction of the magnetic field, as shown in FIG.
Is stabilized in the direction perpendicular to the film surface by the exchange coupling force with the recording layer 5 having perpendicular magnetization, while the magnetization 13 existing on the in-plane soft magnetic layer 3 has magnetization in the in-plane direction. Due to the exchange coupling force with the in-plane soft magnetic layer 3, the layer is inclined and stabilized with respect to the film surface. As described above, the magnetization 13 existing on the in-plane soft magnetic layer 3 side of the perpendicular soft magnetic layer 4 includes an in-plane component. Here, the magnetization 14 existing on the side of the perpendicular soft magnetic layer 4 of the in-plane soft magnetic layer 3 made of the soft magnetic material also tilts obliquely with respect to the film surface due to the exchange coupling force with the perpendicular soft magnetic layer 4. ing. That is, the perpendicular soft magnetic layer 4 and the in-plane soft magnetic layer 3
In the boundary portion, the magnetizations 13 and 14 of the perpendicular soft magnetic layer 4 and the in-plane soft magnetic layer 3 are oriented in the same direction obliquely with respect to the film surface. Then, the magnetization of the in-plane soft magnetic layer 3 is gradually oriented in the in-plane direction as the distance from the perpendicular soft magnetic layer 4 increases. Therefore, the magnetic flux in the direction perpendicular to the film surface generated from the recording magnetic domain 15 of the recording layer 5 is directed obliquely in the perpendicular soft magnetic layer 4,
In the in-plane direction. That is, the presence of the perpendicular soft magnetic layer 3 causes the direction of the magnetic flux to change stepwise from the perpendicular direction to the in-plane direction.
Below 5, 16, and 17, a horseshoe-shaped magnetic flux loop as shown in FIG. 2 is easily formed. As described above, since the horseshoe-shaped magnetic flux loop is easily formed in the magnetic recording medium of the present invention, it is possible to stably hold the recording magnetic domain of the recording layer, and to improve the thermal stability of the recording magnetic domain. Have been.

【0012】また、本発明の磁気記録媒体は、記録層と
面内軟磁性層との間に垂直軟磁性層を形成したことによ
り、面内軟磁性層の磁気的な揺らぎを低減できた。これ
は、軟磁性材料からなる垂直軟磁性層を面内軟磁性層に
接して形成したことにより、垂直軟磁性層と面内軟磁性
層の境界部分において垂直軟磁性層と面内軟磁性層のそ
れぞれの磁化が互いに同じ方向に向いて、垂直軟磁性層
の磁束が面内軟磁性層内に確実に入り込むことができた
ためであると考えられる。従来の、面内軟磁性層と記録
層とが接している磁気記録媒体では、面内軟磁性層の磁
化に対して記録層の磁化は垂直に向いているために、記
録層の磁束は面内軟磁性層内に十分に入り込むことがで
きず、そのため、面内軟磁性層に磁気的な揺らぎが発生
していたものと考えられる。本発明の磁気記録媒体は、
垂直軟磁性層により、面内軟磁性層の磁気的な揺らぎを
低減できるので、それに基づくノイズを低減することが
できる。
Further, in the magnetic recording medium of the present invention, the magnetic fluctuation of the in-plane soft magnetic layer can be reduced by forming the perpendicular soft magnetic layer between the recording layer and the in-plane soft magnetic layer. This is because the perpendicular soft magnetic layer made of a soft magnetic material is formed in contact with the in-plane soft magnetic layer, so that the perpendicular soft magnetic layer and the in-plane soft magnetic layer are formed at the boundary between the perpendicular soft magnetic layer and the in-plane soft magnetic layer. It is considered that the magnetizations of the vertical soft magnetic layer were directed in the same direction, and the magnetic flux of the perpendicular soft magnetic layer could surely enter the in-plane soft magnetic layer. In a conventional magnetic recording medium in which the in-plane soft magnetic layer and the recording layer are in contact with each other, the magnetization of the recording layer is perpendicular to the magnetization of the in-plane soft magnetic layer. It is probable that it was not possible to sufficiently penetrate into the inner soft magnetic layer, so that magnetic fluctuation occurred in the in-plane soft magnetic layer. The magnetic recording medium of the present invention comprises:
The vertical soft magnetic layer can reduce the magnetic fluctuation of the in-plane soft magnetic layer, so that noise based on the fluctuation can be reduced.

【0013】本発明の磁気記録媒体において、記録層の
磁化が垂直軟磁性層の磁化に追従しないようにするため
に、垂直軟磁性層は、200Oe以下の保磁力、100
emu/cc以上の飽和磁化、5kOe以下の垂直磁気
異方性磁界を有することが好ましい。また、垂直軟磁性
層の膜厚は5nm〜20nmであることが望ましい。
In the magnetic recording medium of the present invention, in order to prevent the magnetization of the recording layer from following the magnetization of the perpendicular soft magnetic layer, the perpendicular soft magnetic layer has a coercive force of 200 Oe or less, 100
It is preferable to have a saturation magnetization of emu / cc or more and a perpendicular magnetic anisotropic magnetic field of 5 kOe or less. The thickness of the perpendicular soft magnetic layer is desirably 5 nm to 20 nm.

【0014】本明細書において、用語「異方性磁界」と
は、磁界を磁化困難軸方向に印加したときに、磁化が飽
和する磁界をいう。なお、垂直磁性膜において、磁化困
難軸方向は面内方向である。
In the present specification, the term "anisotropic magnetic field" refers to a magnetic field at which magnetization is saturated when a magnetic field is applied in the direction of hard magnetization. In the perpendicular magnetic film, the direction of the hard axis is an in-plane direction.

【0015】垂直軟磁性層は、例えば、Fe、Co及び
Niのうちから選ばれる少なくとも一つの遷移金属元素
と、Pd、Pt、Pr、Tb、Gd、Cr及びTaから
選ばれる少なくとも一つの元素とから形成されることが
好ましく、特に、Co、Pdの組成比や各層の厚さなど
を変えることにより磁気特性を容易に微調整することが
できるという理由から、Co/Pd人工格子層であるこ
とが好ましい。かかる材料以外に、例えば、Co−Cr
合金薄膜、Tb−Fe−Co合金薄膜、Fe−Pt規則
合金薄膜を用いることもできる。
The perpendicular soft magnetic layer comprises, for example, at least one transition metal element selected from Fe, Co and Ni, and at least one element selected from Pd, Pt, Pr, Tb, Gd, Cr and Ta. It is preferably a Co / Pd artificial lattice layer because magnetic properties can be easily fine-tuned by changing the composition ratio of Co and Pd, the thickness of each layer, and the like. Is preferred. Other than such materials, for example, Co-Cr
An alloy thin film, a Tb-Fe-Co alloy thin film, or an Fe-Pt ordered alloy thin film can also be used.

【0016】本発明において、垂直軟磁性層の垂直方向
の透磁率は面内方向の透磁率よりも大きいことが好まし
く、垂直方向の透磁率は、垂直軟磁性層の記録層側に存
在する磁化の向きを、記録層の磁化の向きに容易に追従
させるために100以上であることが好ましい。
In the present invention, the perpendicular magnetic permeability of the perpendicular soft magnetic layer is preferably larger than the in-plane magnetic permeability, and the perpendicular magnetic permeability is determined by the magnetization existing on the recording layer side of the perpendicular soft magnetic layer. Is preferably 100 or more in order to easily follow the direction of magnetization of the recording layer.

【0017】本発明の磁気記録媒体の記録層は、外部か
らの熱や磁場などに対して記録ビット(記録磁区)が安
定で且つ十分な再生出力を発生させるために2kOe以
上の保磁力及び200emu/cc以上の飽和磁化を有
することが好ましい。記録層の膜厚は、情報再生時に十
分な再生出力を得ることができるようにするとともに、
情報記録時に磁気ヘッドからの記録磁界を記録層に十分
印加できるようにするために10nm〜100nmであ
ることが好ましい。
The recording layer of the magnetic recording medium of the present invention has a coercive force of at least 2 kOe and a coercivity of 200 emu so that a recording bit (recording magnetic domain) is stable against external heat or a magnetic field and a sufficient reproduction output is generated. / Cc or more. The thickness of the recording layer allows a sufficient reproduction output to be obtained during information reproduction,
The thickness is preferably 10 nm to 100 nm so that a recording magnetic field from the magnetic head can be sufficiently applied to the recording layer during information recording.

【0018】記録層を形成する材料には、例えば、Tb
FeCo、DyFeCo、TbDyFeCo、Co/P
d人工格子層、CoCr、FePtなどを用いることが
でき、特に、(1)記録磁区のサイズが小さく高密度記
録に適している、(2)角型比が高く熱安定性に優れて
いるという2つの理由からCo/Pd人工格子層が好ま
しい。
Materials for forming the recording layer include, for example, Tb
FeCo, DyFeCo, TbDyFeCo, Co / P
d artificial lattice layer, CoCr, FePt, etc. can be used. In particular, (1) the size of the recording magnetic domain is small and suitable for high-density recording, and (2) the squareness ratio is high and the thermal stability is excellent. A Co / Pd artificial lattice layer is preferred for two reasons.

【0019】本発明の磁気記録媒体において、垂直軟磁
性層と記録層との間に、更に非磁性の中間層を形成して
も良い。非磁性の中間層は、垂直軟磁性層を構成する比
較的大きな粒径の磁性粒子が記録層に反映されることを
防止することができるため、記録層の磁性粒子を微小に
することができる。非磁性の中間層には、例えば、S
i、Pd、In、Sn、C、B、Al、Cu、Zn、P
t、Ru、Ag、Au、Ti、Gd、Tb、Er、D
y、Cr、Mn、Ta、Nb及びZrから選ばれる少な
くとも一つの元素から形成された薄膜、若しくは、これ
らの元素に窒素または酸素を添加して形成された窒化物
または酸化物からなる薄膜を用いることができる。
In the magnetic recording medium of the present invention, a non-magnetic intermediate layer may be further formed between the perpendicular soft magnetic layer and the recording layer. Since the non-magnetic intermediate layer can prevent the magnetic particles having a relatively large particle diameter constituting the perpendicular soft magnetic layer from being reflected on the recording layer, the magnetic particles of the recording layer can be made minute. . In the non-magnetic intermediate layer, for example, S
i, Pd, In, Sn, C, B, Al, Cu, Zn, P
t, Ru, Ag, Au, Ti, Gd, Tb, Er, D
A thin film formed of at least one element selected from y, Cr, Mn, Ta, Nb, and Zr, or a thin film formed of a nitride or oxide formed by adding nitrogen or oxygen to these elements is used. be able to.

【0020】本発明の磁気記録媒体において、面内軟磁
性層は、10℃〜200℃の温度範囲において面内磁化
を示す軟磁性材料から形成され、例えば、ErFeC
o、TmFeCo、GdFeCoなどの希土類−遷移金
属材料、FeTaC、CoNbZr、CoTaZr、F
eAlSiなどの材料を用い得る。
In the magnetic recording medium of the present invention, the in-plane soft magnetic layer is formed of a soft magnetic material exhibiting in-plane magnetization in a temperature range of 10 ° C. to 200 ° C.
o, rare earth-transition metal materials such as TmFeCo, GdFeCo, FeTaC, CoNbZr, CoTaZr, F
Materials such as eAlSi may be used.

【0021】本発明の第2の態様に従えば、請求項1〜
8のいずれか一項に記載の磁気記録媒体と、情報の記録
及び再生のための磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記
磁気記録媒体に対して相対移動するための移動手段と、
前記磁気ヘッドに入力する記録信号及び磁気ヘッドから
の再生信号を信号処理するための信号処理手段を有する
ことを特徴とした磁気記憶装置が提供される。
According to a second aspect of the present invention, claims 1 to 1 are provided.
8, a magnetic head for recording and reproducing information, and moving means for relatively moving the magnetic head with respect to the magnetic recording medium;
There is provided a magnetic storage device characterized by having signal processing means for performing signal processing on a recording signal input to the magnetic head and a reproduction signal from the magnetic head.

【0022】本発明の磁気記憶装置は、本発明の磁気記
録媒体を備えるので、熱安定性に優れ、高い面記録密度
で記録された情報を高S/Nで再生することができる。
Since the magnetic storage device of the present invention includes the magnetic recording medium of the present invention, it has excellent thermal stability and can reproduce information recorded at a high areal recording density with a high S / N.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明に従う磁気記録媒体
の実施例について、図面を参照して具体的に説明する。
以下の実施例では、磁気記録媒体として、磁気ディスク
(ハードディスク)を作製したが、本発明は、フロッピ
ーディスク、磁気テープ、磁気カードなど、記録再生時
に磁気ヘッドと接触するタイプの磁気記録媒体にも適用
できる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the magnetic recording medium according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.
In the following embodiments, a magnetic disk (hard disk) was manufactured as a magnetic recording medium. However, the present invention is also applicable to a magnetic recording medium such as a floppy disk, a magnetic tape, and a magnetic card that comes in contact with a magnetic head during recording and reproduction. Applicable.

【0024】実施例1 図1に、本発明の磁気記録媒体の概略断面図を示す。磁
気記録媒体9は、基板1上に、密着層(非磁性層)2、
面内軟磁性層3、垂直軟磁性層4、記録層5、保護層
6、潤滑層7を備える。かかる構造を有する磁気記録媒
体9を次のような方法により製造した。
Embodiment 1 FIG. 1 shows a schematic sectional view of a magnetic recording medium of the present invention. The magnetic recording medium 9 includes an adhesive layer (nonmagnetic layer) 2
An in-plane soft magnetic layer 3, a perpendicular soft magnetic layer 4, a recording layer 5, a protective layer 6, and a lubricating layer 7 are provided. The magnetic recording medium 9 having such a structure was manufactured by the following method.

【0025】まず、直径65mmのガラス基板1を用意
し、ガラス基板1上に連続スパッタ装置を用いて、密着
層として膜厚5nmのTiからなる非磁性層2を成膜し
た。次いで、非磁性層2上に、面内軟磁性層3として、
Fe79Ta12を膜厚400nmにて成膜した。
更に、成膜されたFe79Ta12を真空中でカー
ボンヒーターにより450℃の温度で30秒加熱した
後、徐冷して、Fe微結晶構造を膜中に含有する面内軟
磁性層3を形成した。得られた面内軟磁性層3の保磁力
は0.5〔Oe〕、飽和磁化は1200〔emu/c
c〕、透磁率は2800であった。
First, a glass substrate 1 having a diameter of 65 mm was prepared, and a nonmagnetic layer 2 made of Ti having a film thickness of 5 nm was formed as an adhesion layer on the glass substrate 1 by using a continuous sputtering apparatus. Next, on the non-magnetic layer 2, as an in-plane soft magnetic layer 3,
Fe 79 Ta 9 C 12 was formed to a thickness of 400 nm.
Further, the formed Fe 79 Ta 9 C 12 is heated in a vacuum at a temperature of 450 ° C. for 30 seconds by a carbon heater, and then gradually cooled to obtain an in-plane soft magnetic layer containing an Fe microcrystalline structure in the film. 3 was formed. The obtained in-plane soft magnetic layer 3 has a coercive force of 0.5 [Oe] and a saturation magnetization of 1200 [emu / c].
c], the magnetic permeability was 2800.

【0026】次に、Arガス中で、CoターゲットとP
dターゲットのシャッターを交互に開閉しながらDCス
パッタすることによって、Co層とPd層とが交互に積
層された人工格子構造の垂直軟磁性層4を形成した。C
o層の1層あたりの膜厚は、0.063nm、Pd層の
1層あたりの膜厚は0.69nmであり、Co層とPd
層の積層数はそれぞれ10層であった。得られた垂直軟
磁性層4の保磁力は120〔Oe〕、飽和磁化は110
〔emu/cc〕、垂直異方性磁界は3〔kOe〕、透
磁率は100であった。
Next, in an Ar gas, a Co target and P
By performing DC sputtering while alternately opening and closing the shutters of the d target, the perpendicular soft magnetic layer 4 having an artificial lattice structure in which Co layers and Pd layers were alternately stacked was formed. C
The film thickness per layer of the o layer is 0.063 nm, the film thickness per layer of the Pd layer is 0.69 nm, and the Co layer and the Pd
The number of stacked layers was 10 each. The obtained perpendicular soft magnetic layer 4 has a coercive force of 120 [Oe] and a saturation magnetization of 110 [Oe].
[Emu / cc], the vertical anisotropic magnetic field was 3 [kOe], and the magnetic permeability was 100.

【0027】次いで、Arガス中で、Coターゲットと
Pdターゲットのシャッターを交互に開閉しながらDC
スパッタさせることによって、Co層とPd層とが交互
に積層された人工格子構造の記録層5を形成した。Co
層の1層あたりの膜厚は、0.12nm、Pd層の1層
あたりの膜厚は0.85nmであり、Co層とPd層の
積層数はそれぞれ26層であった。
Next, in Ar gas, while alternately opening and closing the shutters of the Co target and the Pd target, DC
By sputtering, the recording layer 5 having an artificial lattice structure in which Co layers and Pd layers were alternately stacked was formed. Co
The thickness of each layer was 0.12 nm, the thickness of each Pd layer was 0.85 nm, and the number of layers of the Co layer and the Pd layer was 26 each.

【0028】得られた記録層の保磁力は3〔kOe〕、
飽和磁化は230〔emu/cc〕、垂直異方性磁界は
14〔kOe〕、透磁率は3.5であった。
The coercive force of the obtained recording layer is 3 kOe,
The saturation magnetization was 230 [emu / cc], the perpendicular anisotropic magnetic field was 14 [kOe], and the magnetic permeability was 3.5.

【0029】次いで、記録層5上に、アモルファスカー
ボン保護層6をプラズマCVD法により膜厚3nmにて
形成した後、基板を成膜装置から取り出した。最後に、
保護層6上にパーフルオロポリエーテル系潤滑剤を1n
mの厚さで溶液塗布して潤滑膜7を形成した。
Next, after forming an amorphous carbon protective layer 6 on the recording layer 5 to a thickness of 3 nm by a plasma CVD method, the substrate was taken out of the film forming apparatus. Finally,
1 n of a perfluoropolyether lubricant on the protective layer 6
The lubricating film 7 was formed by applying the solution with a thickness of m.

【0030】こうして図1に示す積層構造を有する磁気
記録媒体を作製した。
Thus, a magnetic recording medium having the laminated structure shown in FIG. 1 was manufactured.

【0031】実施例2 この実施例では、垂直軟磁性層と記録層との間に非磁性
の中間層を形成した以外は、実施例1と同様にして磁気
記録媒体を作製した。中間層は、80at%のPd、1
5at%のSi及び5at%のNからなり、Arガス雰
囲気中で、PdターゲットとSiNターゲットを同時ス
パッタリングすることにより2nmの膜厚にて形成され
た。
Example 2 In this example, a magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a nonmagnetic intermediate layer was formed between the perpendicular soft magnetic layer and the recording layer. The intermediate layer is composed of 80 at% Pd, 1
It was made of 5 at% Si and 5 at% N, and was formed to a thickness of 2 nm by simultaneously sputtering a Pd target and a SiN target in an Ar gas atmosphere.

【0032】実施例3 実施例1で作製した磁気記録媒体を、図3に示すような
概略平面構造を有する磁気記憶装置200に組み込ん
だ。磁気記憶装置200は、磁気記録媒体9と、磁気記
録媒体9を回転駆動するための回転駆動部8と、単磁極
型書き込み素子とGMR読み込み素子を搭載した磁気ヘ
ッド10と、磁気ヘッド10を磁気記録媒体に対して相
対移動させるヘッド駆動装置11と、磁気記録媒体9に
記録するデータの符号化及び磁気記録媒体9からの再生
信号を復号する記録再生信号処理装置12を備える。
Example 3 The magnetic recording medium manufactured in Example 1 was incorporated in a magnetic storage device 200 having a schematic plane structure as shown in FIG. The magnetic storage device 200 includes a magnetic recording medium 9, a rotation driving unit 8 for rotationally driving the magnetic recording medium 9, a magnetic head 10 having a single-pole type write element and a GMR read element, and a magnetic head 10. The head drive device 11 moves relatively to the recording medium, and the recording / reproduction signal processing device 12 encodes data to be recorded on the magnetic recording medium 9 and decodes a reproduction signal from the magnetic recording medium 9.

【0033】かかる磁気記憶装置を駆動し、磁気的スペ
ーシング(磁気ヘッド10の主磁極表面と磁気記録媒体
9の記録層表面との距離)を13nmに維持しながら、
線記録密度1000kBPI、トラック密度150kT
PIの条件にて情報を記録し、記録した情報を再生して
記録再生特性を評価したところ、トータルSNRとして
24.5dBo−p/rmsを得た。更に、面記録密度
150ギガビット/平方インチの記録密度にて記録再生
することができた。
By driving such a magnetic storage device, the magnetic spacing (the distance between the main pole surface of the magnetic head 10 and the recording layer surface of the magnetic recording medium 9) is maintained at 13 nm.
Linear recording density 1000kBPI, track density 150kT
Information was recorded under the conditions of PI, and the recorded information was reproduced to evaluate the recording / reproducing characteristics. As a result, a total SNR of 24.5 dBo-p / rms was obtained. Further, recording and reproduction could be performed at an areal recording density of 150 gigabit / square inch.

【0034】比較例1 この比較例では、垂直軟磁性層の代わりに膜厚8nmの
Pd層を形成した以外は、実施例1と同様にして磁気記
録媒体を作製した。
Comparative Example 1 In this comparative example, a magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a Pd layer having a thickness of 8 nm was formed instead of the perpendicular soft magnetic layer.

【0035】比較例2 この比較例では、面内軟磁性層と記録層との間に垂直軟
磁性層を形成しないで、面内軟磁性層上に直接記録層を
形成した以外は、実施例1と同様にして磁気記録媒体を
作製した。
Comparative Example 2 In this comparative example, the recording layer was formed directly on the in-plane soft magnetic layer without forming the perpendicular soft magnetic layer between the in-plane soft magnetic layer and the recording layer. In the same manner as in Example 1, a magnetic recording medium was produced.

【0036】比較例3 比較例1で作製した磁気記録媒体を実施例3と同様に図
3に示す磁気記憶装置に組み込み、実施例3と同様の条
件で記録再生特性を評価したところ、トータルSNRと
して18.5dBo−p/rmsとなり十分な記録再生
ができなかった。更に、面記録密度150ギガビット/
平方インチの記録密度にて記録再生すると、内周から外
周までのヘッドシーク試験10万回後のビットエラー数
は150ビット/面以下であり、平均故障間隔で19万
時間であった。
Comparative Example 3 The magnetic recording medium manufactured in Comparative Example 1 was incorporated into the magnetic storage device shown in FIG. 3 in the same manner as in Example 3, and the recording and reproducing characteristics were evaluated under the same conditions as in Example 3. Was 18.5 dBo-p / rms, and sufficient recording and reproduction could not be performed. Furthermore, areal recording density of 150 Gbit /
When recording and reproducing at a recording density of square inches, the number of bit errors after 100,000 head seek tests from the inner circumference to the outer circumference was 150 bits / plane or less, and the average failure interval was 190,000 hours.

【0037】つぎに、実施例1及び2並びに比較例1及
び2で作製したそれぞれの磁気記録媒体の電磁変換特性
を、スピンスタンドの記録再生試験機を用いて測定し
た。記録再生試験機の磁気ヘッドとしては単磁極型書き
込み素子とGMR読み取り素子の複合型ヘッドを使用し
た。単磁極型書き込み素子の単磁極メインポールの実効
書き込みトラック幅は110nm、Bsは2.1Tであ
った。また、GMR素子の実効トラック幅は97nm、
シールド間隔は45nmであった。記録再生試験の際の
磁気ヘッドのヘッド主磁極表面と磁気記録媒体の磁性層
表面との間隔を13nmとした。測定結果を表1に示
す。
Next, the electromagnetic conversion characteristics of each of the magnetic recording media prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were measured using a recording / reproducing tester of a spin stand. As a magnetic head of the recording / reproducing tester, a composite head of a single-pole type write element and a GMR read element was used. The single-pole main pole of the single-pole type write element had an effective write track width of 110 nm and Bs of 2.1T. The effective track width of the GMR element is 97 nm,
The shield spacing was 45 nm. The distance between the surface of the main magnetic pole of the magnetic head and the surface of the magnetic layer of the magnetic recording medium during the recording / reproducing test was 13 nm. Table 1 shows the measurement results.

【0038】[0038]

【表1】 [Table 1]

【0039】表1において、S/Ndは500kFCI
におけるS/Nである。表1から明らかなように、実施
例1及び2の磁気記録媒体では、良好なS/Nが得られ
ているのに対して、比較例1及び2の磁気記録媒体では
10dBo−p/rmsに満たないS/Nしか得られな
かった。
In Table 1, S / Nd is 500 kFCI.
Is the S / N. As is clear from Table 1, good S / N was obtained in the magnetic recording media of Examples 1 and 2, whereas 10 dBo-p / rms was obtained in the magnetic recording media of Comparative Examples 1 and 2. Only less than S / N was obtained.

【0040】次いで、実施例1及び2並びに比較例1及
び2の磁気記録媒体について熱減磁率を測定した。熱減
磁率は、24℃の環境下において、線記録密度100k
FCIにて記録した信号を再生したときの再生信号振幅
の時間に対する変化の割合とし、1トラックの平均再生
出力を約4000秒まで測定することにより得た。図4
に、実施例1及び比較例1の磁気記録媒体について上記
測定の結果、即ち、測定時間に対する再生信号出力の変
化の様子を示した。図4より、実施例1の磁気記録媒体
では4000秒の測定時間の間、再生信号出力はほぼ一
定であり、熱減磁がなかったことがわかる。一方、比較
例1の磁気記録媒体では、時間の経過とともに徐々に再
生信号出力が低下し、熱減磁が起っていることが分か
る。上記表1にそれぞれの磁気記録媒体について上記の
ようにして求めた熱減磁率の値を示した。実施例1及び
2の磁気記録媒体では熱減磁率がゼロであったのに対し
て、比較例1及び2の磁気記録媒体では熱減磁率が−
5.0を超えていた。
Next, the thermal demagnetization rates of the magnetic recording media of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were measured. The thermal demagnetization rate is a linear recording density of 100 k in an environment of 24 ° C.
It was obtained by measuring the average reproduction output of one track up to about 4000 seconds as the rate of change of the reproduction signal amplitude with respect to time when reproducing a signal recorded by FCI. FIG.
The results of the above-described measurement, that is, how the output of the reproduced signal changes with the measurement time for the magnetic recording media of Example 1 and Comparative Example 1 are shown below. From FIG. 4, it can be seen that in the magnetic recording medium of Example 1, the reproduction signal output was almost constant during the measurement time of 4000 seconds, and there was no thermal demagnetization. On the other hand, in the magnetic recording medium of Comparative Example 1, it can be seen that the reproduction signal output gradually decreases with time and thermal demagnetization occurs. Table 1 shows the values of the thermal demagnetization rates obtained as described above for the respective magnetic recording media. In the magnetic recording media of Examples 1 and 2, the thermal demagnetization rate was zero, whereas in the magnetic recording media of Comparative Examples 1 and 2, the thermal demagnetization rate was −
It was over 5.0.

【0041】実施例1及び2の磁気記録媒体に比べて、
比較例1及び2の磁気記録媒体ではS/Nが低く、熱減
磁が発生している原因は、実施例1及び2の磁気記録媒
体では磁化遷移領域の形状が明瞭な線形性を有している
のに対して、比較例1及び2の磁気記録媒体では磁化遷
移領域の形状が乱れており、それが熱的に外乱を受けや
すいためである。
As compared with the magnetic recording media of Examples 1 and 2,
The S / N was low in the magnetic recording media of Comparative Examples 1 and 2, and the cause of the thermal demagnetization was that the magnetic recording media of Examples 1 and 2 had a clear linearity in the shape of the magnetization transition region. On the other hand, in the magnetic recording media of Comparative Examples 1 and 2, the shape of the magnetization transition region is disordered, which is likely to be thermally disturbed.

【0042】また、実施例1及び2並びに比較例1及び
2の磁気記録媒体について、オントラックで1000k
BPIにてエラーレートを測定したところ、実施例1及
び2の磁気記録媒体では1×10−5以下であるのに対
して、比較例1及び2の磁気記録媒体では1×10−4
以上でありエラーレートが増加していた。
The magnetic recording media of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were set to 1000 k on track.
When the error rate was measured by the BPI, the error rate was 1 × 10 −5 or less for the magnetic recording media of Examples 1 and 2, whereas the error rate was 1 × 10 −4 for the magnetic recording media of Comparative Examples 1 and 2.
As described above, the error rate was increasing.

【0043】以上、本発明の磁気記録媒体について実施
例により具体的に説明したが、本発明はこれに限定され
ない。
Although the magnetic recording medium of the present invention has been described in detail with reference to the embodiments, the present invention is not limited thereto.

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、記録層と面内
軟磁性層との間に垂直磁化を示す軟磁性材料から形成さ
れた垂直軟磁性層を備えるために、記録層と面内軟磁性
層との間に安定した磁気ループが形成され、記録磁区の
熱安定性が向上するとともに、面内軟磁性層の磁気的揺
らぎに基づくノイズが低減される。かかる磁気記録媒体
を備える本発明の磁気記憶装置は、150ギガビット/
平方インチの高い面記録密度で記録された情報を高S/
Nで再生できる。
The magnetic recording medium of the present invention has a perpendicular soft magnetic layer formed of a soft magnetic material exhibiting perpendicular magnetization between the recording layer and the in-plane soft magnetic layer. A stable magnetic loop is formed between the magnetic layer and the soft magnetic layer, so that the thermal stability of the recording magnetic domain is improved and noise due to the magnetic fluctuation of the in-plane soft magnetic layer is reduced. The magnetic storage device of the present invention including such a magnetic recording medium has a capacity of 150 Gbit / s.
Information recorded at a high areal recording density of square inches
N can be played.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に従う磁気記録媒体の概略断面図であ
る。
FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium according to the present invention.

【図2】本発明に従う磁気記録媒体の記録層と垂直軟磁
性層と面内軟磁性層の磁化の様子を模式的に示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram schematically showing the state of magnetization of a recording layer, a perpendicular soft magnetic layer, and an in-plane soft magnetic layer of a magnetic recording medium according to the present invention.

【図3】本発明に従う磁気記憶装置の概略平面図であ
る。
FIG. 3 is a schematic plan view of a magnetic storage device according to the present invention.

【図4】実施例1及び比較例1の磁気記録媒体の時間に
対する再生信号出力のグラフである。
FIG. 4 is a graph of a reproduction signal output with respect to time of the magnetic recording media of Example 1 and Comparative Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 非磁性層 3 面内軟磁性層 4 垂直軟磁性層 5 記録層 6 保護膜層 7 潤滑膜層 8 回転駆動部 9 磁気記録媒体 10 磁気ヘッド 11 磁気ヘッド駆動部 12 信号処理回路部 200 磁気記憶装置 REFERENCE SIGNS LIST 1 glass substrate 2 nonmagnetic layer 3 in-plane soft magnetic layer 4 perpendicular soft magnetic layer 5 recording layer 6 protective film layer 7 lubricating film layer 8 rotation drive unit 9 magnetic recording medium 10 magnetic head 11 magnetic head drive unit 12 signal processing circuit unit 200 magnetic storage device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 5/738 G11B 5/738 H01F 10/08 H01F 10/08 10/16 10/16 (72)発明者 矢野 亮 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 高山 孝信 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 小沼 剛 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 馬場 正彦 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 竹内 輝明 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 藤田 塩地 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 Fターム(参考) 5D006 BB01 BB07 BB08 CA01 CA03 CA06 DA03 EA03 FA04 5E049 AA04 BA06 GC01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11B 5/738 G11B 5/738 H01F 10/08 H01F 10/08 10/16 10/16 (72) Inventor Ryo Yano, 1-88 Ushitora, Ibaraki-shi, Osaka Prefecture, Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Inventor Takanobu Takayama 1-188, Ushitora, Ibaraki City, Osaka Prefecture, Hitachi, Ltd. 1-88 Ushitora, Ibaraki-shi, Osaka, Hitachi Maxell, Ltd. 1-88 Ushitora, Ibaraki-shi Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Inventor Fujita Shioji 1-88 Ushitora, Ibaraki-shi, Osaka F-term in Hitachi Maxell Co., Ltd. Remarks) 5D006 BB01 BB07 BB08 CA01 CA03 CA06 DA03 EA03 FA04 5E049 AA04 BA06 GC01

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気記録媒体において、 垂直磁化を有する記録層と、 面内軟磁性層と、 前記記録層と面内軟磁性層との間に位置する垂直軟磁性
層とを備えることを特徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium, comprising: a recording layer having perpendicular magnetization; an in-plane soft magnetic layer; and a perpendicular soft magnetic layer located between the recording layer and the in-plane soft magnetic layer. Magnetic recording medium.
【請求項2】 前記垂直軟磁性層は、200Oe以下の
保磁力と、100emu/cc以上の飽和磁化と、5k
Oe以下の垂直異方性磁界とを有することを特徴とする
請求項1に記載の磁気記録媒体。
2. The perpendicular soft magnetic layer has a coercive force of 200 Oe or less, a saturation magnetization of 100 emu / cc or more,
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium has a perpendicular anisotropic magnetic field of Oe or less.
【請求項3】 前記垂直軟磁性層は、5nm〜20nm
の膜厚を有することを特徴とする請求項1または2に記
載の磁気記録媒体。
3. The vertical soft magnetic layer has a thickness of 5 nm to 20 nm.
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium has a film thickness.
【請求項4】 前記記録層は、Coからなる層とPdか
らなる層とを交互に積層した構造を有する人工格子層で
あることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記
載の磁気記録媒体。
4. The recording layer according to claim 1, wherein the recording layer is an artificial lattice layer having a structure in which layers made of Co and layers made of Pd are alternately stacked. Magnetic recording medium.
【請求項5】 前記垂直軟磁性層は、Fe、Co及びN
iからなる群から選ばれる少なくとも一種の遷移金属元
素と、Pd、Pt、Pr、Tb、Gd、Cr及びTaか
らなる群から選ばれる少なくとも一種の元素とから形成
されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一
項に記載の垂直磁気記録媒体。
5. The perpendicular soft magnetic layer comprises Fe, Co and N
and at least one transition metal element selected from the group consisting of i and at least one element selected from the group consisting of Pd, Pt, Pr, Tb, Gd, Cr, and Ta. Item 5. The perpendicular magnetic recording medium according to any one of items 1 to 4.
【請求項6】 前記垂直軟磁性層は、Coからなる層と
Pdからなる層とを交互に積層した構造を有する人工格
子層であることを特徴とする請求項5に記載の磁気記録
媒体。
6. The magnetic recording medium according to claim 5, wherein the perpendicular soft magnetic layer is an artificial lattice layer having a structure in which layers made of Co and layers made of Pd are alternately stacked.
【請求項7】 更に、非磁性層を、前記記録層と垂直軟
磁性層との間に備えることを特徴とする請求項1〜6の
いずれか一項に記載の磁気記録媒体。
7. The magnetic recording medium according to claim 1, further comprising a nonmagnetic layer between the recording layer and the perpendicular soft magnetic layer.
【請求項8】 前記記録層は、2kOe以上の保磁力、
及び、200emu/cc以上の飽和磁化を有すること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁気
記録媒体。
8. The recording layer has a coercive force of 2 kOe or more,
8. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium has a saturation magnetization of 200 emu / cc or more.
【請求項9】 請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁
気記録媒体と、 情報の記録及び再生のための磁気ヘッドと、 前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して相対移動す
るための移動手段と、 前記磁気ヘッドに入力する記録信号及び磁気ヘッドから
の再生信号を信号処理するための信号処理手段を有する
ことを特徴とした磁気記憶装置。
9. A magnetic recording medium according to claim 1, a magnetic head for recording and reproducing information, and a magnetic head for moving the magnetic head relative to the magnetic recording medium. And a signal processing means for performing signal processing on a recording signal input to the magnetic head and a reproduction signal from the magnetic head.
【請求項10】 更に、前記磁気記録媒体を回転駆動す
るための駆動装置を備えることを特徴とする請求項9に
記載の磁気記憶装置。
10. The magnetic storage device according to claim 9, further comprising a driving device for rotationally driving the magnetic recording medium.
JP2001133878A 2001-05-01 2001-05-01 Magnetic recording medium and magnetic storage device Withdrawn JP2002334415A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001133878A JP2002334415A (en) 2001-05-01 2001-05-01 Magnetic recording medium and magnetic storage device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001133878A JP2002334415A (en) 2001-05-01 2001-05-01 Magnetic recording medium and magnetic storage device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002334415A true JP2002334415A (en) 2002-11-22

Family

ID=18981664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001133878A Withdrawn JP2002334415A (en) 2001-05-01 2001-05-01 Magnetic recording medium and magnetic storage device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002334415A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007164836A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Hitachi Maxell Ltd Magnetic recording medium and magnetic recording device
US7498093B2 (en) 2004-02-24 2009-03-03 Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. Perpendicular magnetic recording medium and method for manufacturing the same
US7510788B2 (en) 2004-03-02 2009-03-31 Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. Perpendicular magnetic recording medium utilizing a first cobalt magnetic layer and a second Pd-SiOx layer and method of manufacturing same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7498093B2 (en) 2004-02-24 2009-03-03 Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. Perpendicular magnetic recording medium and method for manufacturing the same
US7510788B2 (en) 2004-03-02 2009-03-31 Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. Perpendicular magnetic recording medium utilizing a first cobalt magnetic layer and a second Pd-SiOx layer and method of manufacturing same
JP2007164836A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Hitachi Maxell Ltd Magnetic recording medium and magnetic recording device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7070870B2 (en) Magnetic media with improved exchange coupling
JP5892213B2 (en) Magnetic recording method
US7038873B2 (en) Magnetic recording medium having a specific relation of coercive force HC and residual magnetization MR in perpendicular direction to substrate surface
EP1302931A1 (en) Magnetic recording medium
JP2007200548A (en) Perpendicular magnetic recording disk
JP2000507023A (en) High areal density magnetic recording medium having double magnetic layer
JP3730627B2 (en) Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing apparatus
KR20050008461A (en) Magnetic recording medium, magnetic storage apparatus and recording method
JPH07169037A (en) In-surface type magnetic recording medium and its manufacture and magnetic recorder employing the medium
JPH07503337A (en) Magnetic recording media using soft magnetic materials
US6815097B2 (en) Magnetic recording medium
Jubert et al. Evaluation of sputtered tape media with hard disk drive components
JP2002334415A (en) Magnetic recording medium and magnetic storage device
JP3913967B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recording / reproducing apparatus
JP4740787B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium, recording method and reproducing method thereof, and magnetic storage device
JP4197707B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage device
Ando et al. Exchange-coupled CoZrNb/CoSm underlayer for perpendicular recording media
JP2001283419A (en) Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage device
JP2006190485A (en) Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage device
JP2000067423A (en) Intra-surface magnetic recording medium and magnetic storage using the same
JP2865731B2 (en) In-plane magnetic recording medium and magnetic storage device
JP2001043523A (en) Magnetic recording medium and magnetic recording device
Tanaka et al. Perpendicular Magnetic Recording
JP3544832B2 (en) Magnetic recording / reproducing method and apparatus
Nakamura The Long Journey in Perpendicular Magnetic Recording-From the Beginning to the Future

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080701