JP2002326362A - Inkjet head - Google Patents

Inkjet head

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JP2002326362A
JP2002326362A JP2001133819A JP2001133819A JP2002326362A JP 2002326362 A JP2002326362 A JP 2002326362A JP 2001133819 A JP2001133819 A JP 2001133819A JP 2001133819 A JP2001133819 A JP 2001133819A JP 2002326362 A JP2002326362 A JP 2002326362A
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JP
Japan
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ink
frame
liquid chamber
bonding adhesive
pressurized liquid
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001133819A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideyuki Makita
秀行 牧田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inkjet head wherein an electrostatic type actuator section and a frame are accurately and readily bonded to each other. SOLUTION: The inkjet head 1 comprises a nozzle plate 6 bonded to the electrostatic actuator 5 and an ink passage 14 that supplies ink to a common liquid chamber passage 11 of the electrostatic actuator 5 by communicating with the common liquid chamber passage 11 and is formed on the frame 4. A preliminary adhesive applying region Ar to which a preliminary adhesive for positioning the electrostatic actuator 5 to the frame 4 is to be applied when the electrostatic actuator 5 is bonded to the frame 4, is formed on the frame 4 in the inkjet head 1. As a result, it is possible to apply the preliminary adhesive before the electrostatic actuator 5 is bonded to the frame 4 with a primary adhesive, to enhance the assembling property of the inkjet head 1 and to miniaturize the ink jet head 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関し、詳細には、静電方式のアクチュエータ部と
フレームとを高精度にかつ容易に接着接合するインクジ
ェットヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink-jet head, and more particularly, to an ink-jet head for easily and accurately bonding an electrostatic actuator unit and a frame to each other.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録装置は、現像・定着
等のプロセスを必要とせず、非接触で記録を行うことが
できるために、記録時の騒音が極めて小さいこと、高速
印字が可能であること、インクの自由度が高く、安価な
普通紙を使用できることなど多くの利点を有している。
インクジェット記録装置の中でも、記録を必要とすると
きにのみインク液滴を吐出する、いわゆるインク・オン
・デマンド方式のインクジェット記録装置が、記録に不
要なインク液滴の回収を必要せず、メインテナンスが容
易で、かつ、小型で、安価であることから、現在注目さ
れている。
2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus does not require processes such as development and fixing and can perform recording in a non-contact manner. Therefore, the noise at the time of recording is extremely low, and high-speed printing is possible. It has many advantages such as a high degree of freedom of ink and the ability to use inexpensive plain paper.
Among the ink jet recording apparatuses, a so-called ink-on-demand type ink jet recording apparatus which discharges ink droplets only when recording is necessary does not require collection of unnecessary ink droplets for recording, and maintenance is performed. Because of its simplicity, small size, and low cost, it is currently receiving attention.

【0003】また、最近のインクジェット記録装置に
は、高速・高印字品質が求められており、高速化・高印
字品質を達成するためには、ノズルをマルチ化、高密度
化する必要があり、このような要請に対応するものとし
て、静電方式のインクジェットヘッドが出現している。
[0003] Also, recent ink jet recording apparatuses are required to have high speed and high print quality, and in order to achieve high speed and high print quality, it is necessary to use multiple nozzles and high density. In response to such a demand, an electrostatic inkjet head has appeared.

【0004】この静電方式のインクジェットヘッドは、
加圧液室の振動板に対向して設けられた電極にパルス電
圧を印加して電極面の正電荷または負電荷と対応する振
動板面の負電荷または正電荷により該振動板を吸引して
撓ませる。次いで、この電極への電圧をオフにしたとき
の振動板の復元作用により、加圧液室の容積を減少さ
せ、加圧液室内の圧力を瞬間的に上昇させて、加圧液室
に連通するノズル孔からインク液滴を吐出させる。
This electrostatic type ink jet head is
A pulse voltage is applied to an electrode provided opposite to the diaphragm in the pressurized liquid chamber, and the diaphragm is attracted by the negative or positive charge on the diaphragm surface corresponding to the positive or negative charge on the electrode surface. Bend. Then, the volume of the pressurized liquid chamber is reduced by the restoring action of the diaphragm when the voltage to the electrode is turned off, and the pressure in the pressurized liquid chamber is instantaneously increased to communicate with the pressurized liquid chamber. Ink droplets are ejected from the corresponding nozzle holes.

【0005】このような静電方式のインクジェットヘッ
ドは、共通液室から抵抗流路を通して加圧液室にインク
を供給し、加圧液室の一部に設けられた振動板と当該振
動板に対向する個別電極が設けられて、個別電極に印加
される駆動電圧で発生する静電気力で振動板を変位させ
て、加圧液室に連通するノズル孔からインクを吐出させ
るアクチュエータ部と、当該アクチュエータ部の共通液
室に連通して当該共通液室にインクを供給するインク流
路の形成されたフレームと、が接合されることで形成さ
れており、この接合には、接着接合方式が用いられるこ
とが多い。
In such an electrostatic ink jet head, ink is supplied from a common liquid chamber to a pressurized liquid chamber through a resistance flow path, and a diaphragm provided in a part of the pressurized liquid chamber and a diaphragm provided to the diaphragm are provided. An actuator unit provided with opposed individual electrodes for displacing the diaphragm by electrostatic force generated by a driving voltage applied to the individual electrodes, thereby discharging ink from a nozzle hole communicating with the pressurized liquid chamber; And a frame provided with an ink flow path that supplies ink to the common liquid chamber in communication with the common liquid chamber of the unit, and is formed by bonding. For this bonding, an adhesive bonding method is used. Often.

【0006】そして、このようなインクジェットヘッド
は、ヘッドが主走査方向に移動するキャリッジに着脱可
能に搭載され、キャリッジにより主走査方向に移動され
つつ、インクを吐出して印字動作を行う。
[0006] Such an ink jet head is detachably mounted on a carriage in which the head moves in the main scanning direction, and performs a printing operation by discharging ink while being moved in the main scanning direction by the carriage.

【0007】このインクジェットヘッドにおいては、ノ
ズル孔の形成されているノズルプレートと加圧液室の形
成されているアクチュエータ部は、高精度な位置決めを
する必要があり、ノズルプレートとアクチュエータ部の
位置が決まると、アクチュエータ部の接合されるフレー
ムの基準とキャリッジの基準を突き当てて位置決めをす
ることができる。したがって、上述のように、インクジ
ェットヘッドとキャリッジが脱着可能な構成となってい
る。
In this ink jet head, the nozzle plate in which the nozzle holes are formed and the actuator section in which the pressurized liquid chamber is formed need to be positioned with high precision. Once determined, positioning can be performed by abutting the reference of the frame to which the actuator section is joined and the reference of the carriage. Therefore, as described above, the inkjet head and the carriage are configured to be detachable.

【0008】そして、インクジェットヘッドの製造にお
いては、静電アクチュエータにノズルプレートの接合さ
れたアクチュエータユニットとフレームとを接合する
が、この接合においては、フレームの接合面に本接着剤
を塗布し、CCD(Charge Coupled Device )カメラ等
でノズルプレート及びフレームの基準を撮像して、ノズ
ルプレートとフレームと位置合わせを行って接合してい
る。
In the manufacture of an ink jet head, an actuator unit in which a nozzle plate is joined to an electrostatic actuator and a frame are joined. In this joining, a main adhesive is applied to a joining surface of the frame, and a CCD is attached. (Charge Coupled Device) The nozzle plate and the frame are imaged with a camera or the like, and the nozzle plate and the frame are aligned and joined.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インク
ジェットヘッドにおいては、静電アクチュエータに接合
されたノズルプレートとフレームとは、高精度な位置決
めを行う必要があるが、従来、静電アクチュエータにノ
ズルプレートの接合されたアクチュエータユニットとフ
レームとを接合する際には、フレームの接合面に本接着
剤を塗布し、CCDカメラ等でノズルプレート及びフレ
ームの基準を撮像して、ノズルプレートとフレームとの
位置合わせを行っているため、作業性が悪く、高精度な
位置合わせが困難で、インクジェットヘッドの小型化が
困難であるという問題があった。
However, in an ink jet head, it is necessary to position the nozzle plate and the frame joined to the electrostatic actuator with high precision. When joining the joined actuator unit and frame, apply this adhesive to the joint surface of the frame, image the nozzle plate and frame reference with a CCD camera, etc., and align the nozzle plate and frame. Therefore, there is a problem that workability is poor, high-precision alignment is difficult, and miniaturization of the inkjet head is difficult.

【0010】そこで、請求項1記載の発明は、ノズルプ
レートの接合されたアクチュエータ部と、当該アクチュ
エータ部の共通液室に連通して当該共通液室にインクを
供給するインク流路の形成されたフレームとを接合する
に際して、当該フレームに、アクチュエータ部との位置
決め用の仮接合接着剤の塗布される仮接合接着剤塗布領
域を形成することにより、アクチュエータ部とフレーム
を本接合接着剤で接合する前に仮接合接着剤を塗布する
ことができ、組立性能を向上させることができるととも
に、小型化することのできるインクジェットヘッドを提
供することを目的としている。
Therefore, according to the first aspect of the present invention, an actuator section to which the nozzle plate is joined and an ink flow path which communicates with the common liquid chamber of the actuator section and supplies ink to the common liquid chamber are formed. When joining the frame and the frame, the actuator section and the frame are joined by the final joining adhesive by forming a temporary joining adhesive application area where the temporary joining adhesive for positioning with the actuator section is applied to the frame. It is an object of the present invention to provide an ink jet head which can apply a temporary bonding adhesive beforehand, can improve assembling performance, and can be downsized.

【0011】請求項2記載の発明は、フレームに、仮接
合接着剤塗布領域と本接合接着剤の塗布される本接合接
着剤塗布領域との間に所定幅で所定深さの溝を形成する
ことにより、仮接合接着剤と本接合接着剤を同時に塗布
しても両接着剤が混合して硬化不良が発生することを防
止し、接着剤の硬化不良を防止しつつ仮接合接着剤と本
接合接着剤を同時に塗布して、組立性能をさらに向上さ
せることができるとともに、性能の良好なインクジェッ
トヘッドを提供することを目的としている。
According to a second aspect of the present invention, a groove having a predetermined width and a predetermined depth is formed between the temporary bonding adhesive application area and the main bonding adhesive application area to which the main bonding adhesive is applied. As a result, even if the temporary bonding adhesive and the final bonding adhesive are applied at the same time, it is possible to prevent the two adhesives from being mixed and to cause poor curing, and to prevent the poor curing of the adhesive and the temporary bonding adhesive and the final bonding adhesive. It is an object of the present invention to provide an ink jet head which can improve the assembling performance by simultaneously applying a bonding adhesive, and has good performance.

【0012】請求項3記載の発明は、仮接合接着剤とし
て、瞬間接着剤を用いることにより、接合装置からイン
クジェットヘッドを取り外す時間を短縮し、生産効率を
向上させて、より一層組立性能の良好なインクジェット
ヘッドを提供することを目的としている。
According to a third aspect of the present invention, an instant adhesive is used as the temporary bonding adhesive, so that the time for removing the ink jet head from the bonding apparatus is reduced, the production efficiency is improved, and the assembling performance is further improved. It is intended to provide a simple inkjet head.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明のイ
ンクジェットヘッドは、インクの充填される複数の加圧
液室と、前記各加圧液室に抵抗流路で連通され前記各加
圧液室に前記インクを供給する共通液室と、前記各加圧
液室の一部に設けられた振動板と、前記各振動板に所定
のギャップをおいて対向して配設された個別電極とを有
し、前記各加圧液室に連通して当該加圧液室内の前記イ
ンクを吐出する複数のノズル孔の形成されたノズルプレ
ートと接合されるアクチュエータ部と、前記アクチュエ
ータ部の前記共通液室に連通して当該共通液室に前記イ
ンクを供給するインク流路の形成されたフレームと、を
備え、前記アクチュエータ部と前記フレームが接合され
て、前記フレームの前記インク流路から前記アクチュエ
ータ部の前記共通液室及び前記抵抗流路を通して前記各
加圧液室に前記インクを供給し、前記振動板と前記個別
電極との間に印加される電圧で生じる静電気力で前記振
動板を変形させて前記加圧液室に圧力を発生させ、当該
加圧液室内の前記インクを前記ノズル孔から吐出させる
インクジェットヘッドにおいて、前記前記フレームは、
前記ノズルプレートの接合されたアクチュエータ部との
位置決め用の仮接合接着剤の塗布される仮接合接着剤塗
布領域が設けられていることにより、上記目的を達成し
ている。
According to the first aspect of the present invention, there is provided an ink jet head comprising: a plurality of pressurized liquid chambers filled with ink; A common liquid chamber for supplying the ink to the liquid chamber, a diaphragm provided in a part of each of the pressurized liquid chambers, and an individual electrode disposed to face each of the vibration plates with a predetermined gap therebetween An actuator unit that is connected to a nozzle plate having a plurality of nozzle holes that communicate with the pressurized liquid chambers and discharge the ink in the pressurized liquid chambers, and the common part of the actuator unit A frame formed with an ink flow path that communicates with the liquid chamber and supplies the ink to the common liquid chamber. The actuator section and the frame are joined, and the actuator is moved from the ink flow path of the frame to the common liquid chamber. Division of the common Supplying the ink to each of the pressurized liquid chambers through the chamber and the resistance flow path, deforming the vibration plate by an electrostatic force generated by a voltage applied between the vibration plate and the individual electrode, and performing the pressurization. In an ink jet head that generates pressure in a liquid chamber and discharges the ink in the pressurized liquid chamber from the nozzle hole, the frame includes:
The above object is achieved by providing a temporary bonding adhesive application region to which a temporary bonding adhesive for positioning with the actuator unit bonded to the nozzle plate is applied.

【0014】上記構成によれば、ノズルプレートの接合
されたアクチュエータ部と、当該アクチュエータ部の共
通液室に連通して当該共通液室にインクを供給するイン
ク流路の形成されたフレームとを接合するに際して、当
該フレームに、アクチュエータ部との位置決め用の仮接
合接着剤の塗布される仮接合接着剤塗布領域を形成して
いるので、アクチュエータ部とフレームを本接合接着剤
で接合する前に仮接合接着剤を塗布することができ、組
立性能を向上させることができるとともに、小型化する
ことができる。
According to the above construction, the actuator section to which the nozzle plate is joined is joined to the frame having an ink flow path which communicates with the common liquid chamber of the actuator section and supplies ink to the common liquid chamber. Since the temporary bonding adhesive application area for applying the temporary bonding adhesive for positioning with the actuator portion is formed on the frame, the temporary bonding adhesive is applied before the actuator portion and the frame are bonded with the final bonding adhesive. The bonding adhesive can be applied, and the assembling performance can be improved, and the size can be reduced.

【0015】この場合、例えば、請求項2に記載するよ
うに、前記フレームは、前記仮接合接着剤塗布領域と本
接合接着剤の塗布される本接合接着剤塗布領域との間に
所定幅で所定深さの溝が形成されていてもよい。
In this case, for example, as set forth in claim 2, the frame has a predetermined width between the temporary bonding adhesive application area and the main bonding adhesive application area where the main bonding adhesive is applied. A groove having a predetermined depth may be formed.

【0016】上記構成によれば、フレームに、仮接合接
着剤塗布領域と本接合接着剤の塗布される本接合接着剤
塗布領域との間に所定幅で所定深さの溝を形成している
ので、仮接合接着剤と本接合接着剤を同時に塗布しても
両接着剤が混合して硬化不良が発生することを防止する
ことができ、接着剤の硬化不良を防止しつつ仮接合接着
剤と本接合接着剤を同時に塗布して、組立性能をさらに
向上させることができるとともに、性能を向上させるこ
とができる。
According to the above configuration, a groove having a predetermined width and a predetermined depth is formed in the frame between the temporary bonding adhesive application area and the main bonding adhesive application area where the main bonding adhesive is applied. Therefore, even if the temporary bonding adhesive and the final bonding adhesive are applied at the same time, it is possible to prevent the two adhesives from being mixed and causing poor curing, and to prevent the poor curing of the adhesive while temporarily bonding the adhesive. And the final bonding adhesive can be simultaneously applied to further improve the assembling performance and improve the performance.

【0017】また、例えば、請求項3に記載するよう
に、前記仮接合接着剤は、瞬間接着剤であってもよい。
Further, for example, the temporary bonding adhesive may be an instantaneous adhesive.

【0018】上記構成によれば、仮接合接着剤として、
瞬間接着剤を用いているので、接合装置からインクジェ
ットヘッドを取り外す時間を短縮することができ、生産
効率を向上させて、より一層組立性能を向上させること
ができる。
According to the above configuration, as the temporary bonding adhesive,
Since the instant adhesive is used, the time for removing the inkjet head from the joining device can be reduced, the production efficiency can be improved, and the assembling performance can be further improved.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the embodiments described below are preferred embodiments of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are added. However, the scope of the present invention is not limited to the following description. The embodiments are not limited to these embodiments unless otherwise specified.

【0020】図1〜図8は、本発明のインクジェットヘ
ッドの一実施の形態を示す図であり、図1は、本発明の
インクジェットヘッドの一実施の形態を適用した静電方
式のインクジェットヘッド1の分解斜視図、図2は、図
1のインクジェットヘッド1の主要部断面図である。
FIGS. 1 to 8 show an embodiment of the ink jet head of the present invention. FIG. 1 shows an electrostatic ink jet head 1 to which an embodiment of the ink jet head of the present invention is applied. FIG. 2 is a sectional view of a main part of the inkjet head 1 of FIG.

【0021】図1において、インクジェットヘッド1
は、インク供給タンクまたはインクカートリッジからイ
ンクを供給するためのジョイント部2上に、その下面に
フィルタ3が熱溶着されたフレーム4が接着接合され、
フレーム4上に、図2に示すように、静電アクチュエー
タ5上にノズルプレート6の接着接合されたアクチュエ
ータユニット7が接着接合されている。
In FIG. 1, the ink-jet head 1
A frame 4 having a filter 3 heat-welded to its lower surface on a joint 2 for supplying ink from an ink supply tank or an ink cartridge;
As shown in FIG. 2, an actuator unit 7 in which a nozzle plate 6 is adhesively bonded to an electrostatic actuator 5 is adhesively bonded on the frame 4.

【0022】静電アクチュエータ(アクチュエータ部)
5は、例えば、シリコンをエッチング処理することで形
成されており、静電アクチュエータ5には、その上面に
複数の個別電極8が形成されている。この個別電極8上
の対向する位置に加圧液室9が形成されており、この加
圧液室9の底面に、振動板10が形成されている。静電
アクチュエータ5の中央部には、共通液室流路(共通液
室)11が形成されている。静電アクチュエータ5とノ
ズルプレート6との間には、共通液室流路11と各加圧
液室9を連通する流体抵抗12が画成されており、後述
するように、流体抵抗12は、共通液室流路11内のイ
ンクを各加圧液室9に供給する。
Electrostatic actuator (actuator section)
5 is formed, for example, by etching silicon. The electrostatic actuator 5 has a plurality of individual electrodes 8 formed on the upper surface thereof. A pressurized liquid chamber 9 is formed at an opposing position on the individual electrode 8, and a diaphragm 10 is formed on the bottom surface of the pressurized liquid chamber 9. A common liquid chamber flow path (common liquid chamber) 11 is formed in the center of the electrostatic actuator 5. Between the electrostatic actuator 5 and the nozzle plate 6, a fluid resistance 12 communicating the common liquid chamber flow path 11 and each pressurized liquid chamber 9 is defined. As will be described later, the fluid resistance 12 The ink in the common liquid chamber flow path 11 is supplied to each pressurized liquid chamber 9.

【0023】ノズルプレート6は、一般に、Ni電鋳法
により形成されており、ノズルプレート6には、各加圧
液室9に連通するノズル孔13が形成されている。ノズ
ルプレート6は、加圧液室9内のインクをノズル孔13
から用紙等の記録媒体に吐出する。
The nozzle plate 6 is generally formed by a Ni electroforming method, and the nozzle plate 6 is formed with a nozzle hole 13 communicating with each pressurized liquid chamber 9. The nozzle plate 6 allows the ink in the pressurized liquid chamber 9 to pass through the nozzle holes 13.
From a recording medium such as paper.

【0024】フレーム4には、共通液室流路11と連通
するインク流路14が形成されているとともに、挿入溝
15が形成されており、インク流路14には、インク供
給タンクまたはインクカートリッジからジョイント部2
を通してインクが供給されて、インク流路14は、当該
供給されるインクを静電アクチュエータ5の共通液室流
路11に供給する。
The frame 4 has an ink flow path 14 communicating with the common liquid chamber flow path 11 and an insertion groove 15. The ink flow path 14 has an ink supply tank or an ink cartridge. To joint 2
Is supplied through the ink passage 14, and the ink flow path 14 supplies the supplied ink to the common liquid chamber flow path 11 of the electrostatic actuator 5.

【0025】フレーム4の挿入溝15には、ドライバI
C16がワイヤーボンディングで搭載されているFPC
ケーブル17が挿入され、FPCケーブル17は、異方
性導電膜によって静電アクチュエータ5の個別電極8に
電気的に接続されている。
The insertion groove 15 of the frame 4 has a driver I
FPC with C16 mounted by wire bonding
The cable 17 is inserted, and the FPC cable 17 is electrically connected to the individual electrodes 8 of the electrostatic actuator 5 by an anisotropic conductive film.

【0026】上記静電アクチュエータ5とノズルプレー
ト6との間の振動板10の外側部分には、個別電極8と
振動板10との間の圧力室を封止するために、振動板ギ
ャップ封止剤18が塗布され、また、ノズルプレート6
の角部とフレーム4との間には、ノズル板封止剤19が
塗布されている。
In order to seal a pressure chamber between the individual electrode 8 and the diaphragm 10, a diaphragm gap sealing is provided on an outer portion of the diaphragm 10 between the electrostatic actuator 5 and the nozzle plate 6. Agent 18 is applied and the nozzle plate 6
A nozzle plate sealant 19 is applied between the corners of the frame and the frame 4.

【0027】次に、静電アクチュエータ5とノズルプレ
ート6の接合例を説明する。静電アクチュエータ5とノ
ズルプレート6を接合するために、静電アクチュエータ
5の上面、すなわち、加圧液室9の形成されているシリ
コン液室の上面に接着剤を塗布するが、ノズルプレート
6との接合時に接着剤のはみ出しが発生すると、インク
噴射特性に影響を与えるため、接着剤の塗布膜厚を、1
μm前後にする。この場合の静電アクチュエータ5の加
圧液室9の形成された上面に接着剤を塗布する方法とし
ては、例えば、転写法を用いることができる。転写法で
は、例えば、ローラーにドクターブレードで接着剤を薄
膜化し、ローラーから転写パッドに接着剤を転写して、
さらに転写パッドから静電アクチュエータ5の上面に接
着剤を転写する。
Next, an example of joining the electrostatic actuator 5 and the nozzle plate 6 will be described. In order to join the electrostatic actuator 5 and the nozzle plate 6, an adhesive is applied to the upper surface of the electrostatic actuator 5, that is, the upper surface of the silicon liquid chamber in which the pressurized liquid chamber 9 is formed. When the adhesive runs out during bonding of the adhesive, the ink ejection characteristics are affected.
It should be around μm. In this case, as a method of applying an adhesive to the upper surface of the electrostatic actuator 5 where the pressurized liquid chamber 9 is formed, for example, a transfer method can be used. In the transfer method, for example, the adhesive is thinned to a roller with a doctor blade, and the adhesive is transferred from the roller to a transfer pad.
Further, the adhesive is transferred from the transfer pad to the upper surface of the electrostatic actuator 5.

【0028】次に、静電アクチュエータ5とノズルプレ
ート6との間の振動板10の外側部分に、上述のよう
に、振動板ギャップ封止剤18を塗布する。振動板ギャ
ップ封止剤18を塗布するのは、振動板10のギャップ
(振動室の入り口)を封止して、振動室内部に湿気が入
り込んで振動板10が変位しなくなるのを防止するため
である。
Next, the diaphragm gap sealant 18 is applied to the outer portion of the diaphragm 10 between the electrostatic actuator 5 and the nozzle plate 6 as described above. The diaphragm gap sealant 18 is applied to seal the gap (the entrance of the vibration chamber) of the diaphragm 10 to prevent moisture from entering the inside of the vibration chamber and displacing the diaphragm 10. It is.

【0029】また、ノズルプレート6の角部とフレーム
4との間に、ノズル板封止剤19を塗布して、ノズルプ
レート6と静電アクチュエータ5の位置決めをする。こ
のノズル板封止剤19は、仮接合用の紫外線硬化型接着
剤または瞬間接着剤を用いる。
A nozzle plate sealant 19 is applied between the corners of the nozzle plate 6 and the frame 4 to position the nozzle plate 6 and the electrostatic actuator 5. As the nozzle plate sealant 19, an ultraviolet-curing adhesive or an instant adhesive for temporary joining is used.

【0030】そして、Ni電鋳により形成されたノズル
プレート6と、上記接着剤がその上面に塗布された静電
アクチュエータ5を位置合わせし、仮加圧を行なう。こ
の場合、使用する接着剤が紫外線硬化型接着剤である
と、紫外線(UV)を照射して接着剤を硬化させ、本加
圧を行って加熱硬化させて、ノズルプレート6と静電ア
クチュエータ5を接合して、アクチュエータユニット7
を組み立てる。この加熱接合する際に、静電アクチュエ
ータ5が長いと、静電アクチュエータ5を形成している
シリコンと、通常NiまたはSUSで形成されているノ
ズルプレート6と、が線膨張係数の差により反りが発生
する。この反りが発生すると、内部応力により静電アク
チュエータ5を破壊するおそれがある。
Then, the nozzle plate 6 formed by Ni electroforming and the electrostatic actuator 5 having the adhesive applied on its upper surface are aligned with each other, and a temporary pressurization is performed. In this case, if the adhesive to be used is an ultraviolet-curable adhesive, the adhesive is cured by irradiating ultraviolet (UV), and is subjected to main pressure to be heated and cured, so that the nozzle plate 6 and the electrostatic actuator 5 And the actuator unit 7
Assemble. If the electrostatic actuator 5 is long at the time of the heat bonding, the silicon forming the electrostatic actuator 5 and the nozzle plate 6 usually formed of Ni or SUS are warped due to a difference in linear expansion coefficient. appear. When this warpage occurs, the electrostatic actuator 5 may be broken due to internal stress.

【0031】そこで、接着剤としては、硬化温度が低い
方がよいため、2液混合型(常温硬化型)のエポキシ系
接着剤が望ましい。接着剤の硬化温度としては、低いほ
ど良いが、40℃〜100℃が望ましい。
Therefore, as the adhesive, it is preferable that the curing temperature is low, so that a two-component mixed type (room temperature curing type) epoxy adhesive is desirable. As the curing temperature of the adhesive, the lower the better, the better, but preferably from 40C to 100C.

【0032】そして、上記ノズルプレート6と静電アク
チュエータ5との接合に際して、ノズルプレート6と静
電アクチュエータ5との位置合わせを容易にかつ正確に
行うために、図3に示すようにノズルプレート6の短辺
方向両端部上面に位置合わせ用に形成されている貫通孔
20と、図4に示すように静電アクチュエータ(シリコ
ン液室基板)5の上面の短辺方向両端部に形成されてい
るアライメントマーク21と、を、図5に示すように、
合わせることで、ノズルプレート6と静電アクチュエー
タ5とを高精度に位置合わせする。なお、静電アクチュ
エータ5に形成されているアライメントマーク21は、
シリコン液室基板が110面であるため、図5に示すよ
うに、六角形となっている。
At the time of joining the nozzle plate 6 and the electrostatic actuator 5, in order to easily and accurately align the nozzle plate 6 with the electrostatic actuator 5, as shown in FIG. And through holes 20 formed on the upper surface of both ends in the short side direction for alignment, and as shown in FIG. 4, formed in both ends of the upper surface of the electrostatic actuator (silicon liquid chamber substrate) 5 in the short side direction. As shown in FIG. 5, the alignment mark 21 is
By aligning, the nozzle plate 6 and the electrostatic actuator 5 are positioned with high accuracy. Note that the alignment mark 21 formed on the electrostatic actuator 5 is
Since the silicon liquid chamber substrate has 110 surfaces, it has a hexagonal shape as shown in FIG.

【0033】上述のようにして静電アクチュエータ5と
ノズルプレート6を接合して、アクチュエータユニット
7を組み立てると、次に、ジョイント部2と、フィルタ
3が熱溶着されたフレーム4を接着接合し、ジョイント
部2との接合を行ったフレーム4上面に、アクチュエー
タユニット7を接着接合するために接着剤を塗布して、
アクチュエータユニット7との位置合わせをして、フレ
ーム4上面にアクチュエータユニット7を接着接合す
る。
When the actuator unit 7 is assembled by joining the electrostatic actuator 5 and the nozzle plate 6 as described above, next, the joint 2 and the frame 4 to which the filter 3 is heat-welded are bonded and joined. An adhesive is applied to the upper surface of the frame 4 that has been joined to the joint portion 2 in order to adhesively join the actuator unit 7,
The actuator unit 7 is aligned with the actuator unit 7 and bonded to the upper surface of the frame 4 by adhesive bonding.

【0034】そして、本実施の形態のインクジェットヘ
ッド1は、フレーム4の接合面(上面)の両端部に、図
6に一点鎖線で示すように、仮接合接着剤領域Arが設
けられており、アクチュエータユニット7とフレーム4
との接合においては、アクチュエータユニット7とフレ
ーム4とを接合する前に、まず、仮接合接着剤領域Ar
に仮接合用の接着剤を塗布する。次に、フレーム4の上
面に本接合用接着剤を塗布し、図7に示すノズルプレー
ト6と静電アクチュエータ5との接合されたアクチュエ
ータユニット7とフレーム4との位置合わせをして、フ
レーム4上面にアクチュエータユニット7を接着接合す
る。
In the ink jet head 1 of the present embodiment, a temporary bonding adhesive region Ar is provided at both ends of the bonding surface (upper surface) of the frame 4 as shown by a dashed line in FIG. Actuator unit 7 and frame 4
In joining with the actuator unit 7 and the frame 4, first, the temporary joining adhesive area Ar
Is coated with an adhesive for temporary bonding. Next, a permanent bonding adhesive is applied to the upper surface of the frame 4, and the actuator unit 7 in which the nozzle plate 6 and the electrostatic actuator 5 shown in FIG. The actuator unit 7 is adhesively bonded to the upper surface.

【0035】この場合、フレーム4のアクチュエータユ
ニット7との接合面の両端部には、図8に示すように、
仮接合接着剤領域Arと本接合用接着剤の塗布される本
接合接着剤領域Br(2点差線で示す領域)との間に、
所定深さ(例えば、1mm程度)で、所定幅(例えば、
0.5mm程度)の分離溝30を形成してもよい。
In this case, as shown in FIG. 8, at both ends of the joint surface of the frame 4 with the actuator unit 7,
Between the temporary bonding adhesive region Ar and the final bonding adhesive region Br (region indicated by the two-dot line) to which the final bonding adhesive is applied,
A predetermined depth (for example, about 1 mm) and a predetermined width (for example,
A separation groove 30 of about 0.5 mm) may be formed.

【0036】このようにすると、仮接合接着剤領域Ar
に塗布する仮接合用接着剤と、本接合接着剤領域Brに
塗布する本接合用接着剤と、が混ざり合うことを防止す
ることができ、接合時にこれら2つの接着剤が混合し
て、硬化不良が発生することを防止することができる。
In this manner, the temporary bonding adhesive region Ar
Can be prevented from being mixed with the temporary bonding adhesive applied to the final bonding adhesive and the final bonding adhesive applied to the final bonding adhesive region Br, and the two adhesives can be mixed and cured at the time of bonding. The occurrence of defects can be prevented.

【0037】そして、仮接合用接着剤として、加圧・加
熱を必要としない瞬間接着剤を用いると、インクジェッ
トヘッドを接合装置から数秒で取り外すことができ、作
業効率を向上させることができる。
When an instant adhesive that does not require pressurizing and heating is used as the temporary bonding adhesive, the inkjet head can be removed from the bonding apparatus in a few seconds, and the working efficiency can be improved.

【0038】このようにして、インクジェットヘッド1
を組み立てられたインクジェットヘッド1は、個別電極
8にパルス電圧が印加されと、振動板10が静電気力に
よって個別電極8側に変形して体積が増加した加圧液室
9内に、共通液室流路11から流体抵抗12を通ってイ
ンクが流入する。ここで、個別電極8に印加されていた
パルス電圧が解除されると、振動板10に作用していた
静電気力が無くなり、振動板10がもとの状態に戻る。
この振動板10の弾性力によって加圧液室9内の圧力が
上昇し、ノズル孔13からインクが噴射される。
As described above, the ink jet head 1
When the pulse voltage is applied to the individual electrode 8, the diaphragm 10 is deformed toward the individual electrode 8 by the electrostatic force and the volume of the pressurized liquid chamber 9 is increased. The ink flows from the flow path 11 through the fluid resistance 12. Here, when the pulse voltage applied to the individual electrode 8 is released, the electrostatic force acting on the diaphragm 10 disappears, and the diaphragm 10 returns to the original state.
The pressure in the pressurized liquid chamber 9 increases due to the elastic force of the vibration plate 10, and ink is ejected from the nozzle holes 13.

【0039】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
Although the invention made by the present inventors has been specifically described based on the preferred embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the gist of the invention. It goes without saying that it is possible.

【0040】[0040]

【発明の効果】請求項1記載の発明のインクジェットヘ
ッドによれば、ノズルプレートの接合されたアクチュエ
ータ部と、当該アクチュエータ部の共通液室に連通して
当該共通液室にインクを供給するインク流路の形成され
たフレームとを接合するに際して、当該フレームに、ア
クチュエータ部との位置決め用の仮接合接着剤の塗布さ
れる仮接合接着剤塗布領域を形成しているので、アクチ
ュエータ部とフレームを本接合接着剤で接合する前に仮
接合接着剤を塗布することができ、組立性能を向上させ
ることができるとともに、小型化することができる。
According to the first aspect of the present invention, there is provided an ink jet head which communicates with an actuator portion to which a nozzle plate is joined and a common liquid chamber of the actuator portion to supply ink to the common liquid chamber. When joining the frame with the road, the temporary joining adhesive application area for applying the temporary joining adhesive for positioning with the actuator section is formed on the frame. The temporary bonding adhesive can be applied before joining with the bonding adhesive, so that the assembling performance can be improved and the size can be reduced.

【0041】請求項2記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、フレームに、仮接合接着剤塗布領域と本接
合接着剤の塗布される本接合接着剤塗布領域との間に所
定幅で所定深さの溝を形成しているので、仮接合接着剤
と本接合接着剤を同時に塗布しても両接着剤が混合して
硬化不良が発生することを防止することができ、接着剤
の硬化不良を防止しつつ仮接合接着剤と本接合接着剤を
同時に塗布して、組立性能をさらに向上させることがで
きるとともに、性能を向上させることができる。
According to the second aspect of the invention, the frame has a predetermined width and a predetermined depth between the temporary bonding adhesive application area and the main bonding adhesive application area where the main bonding adhesive is applied. Since the grooves are formed, even if the temporary bonding adhesive and the main bonding adhesive are applied at the same time, it is possible to prevent mixing of the two adhesives and to prevent poor curing. By simultaneously applying the temporary bonding adhesive and the final bonding adhesive while preventing the assembly, the assembly performance can be further improved and the performance can be improved.

【0042】請求項3記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、仮接合接着剤として、瞬間接着剤を用いて
いるので、接合装置からインクジェットヘッドを取り外
す時間を短縮することができ、生産効率を向上させて、
より一層組立性能を向上させることができる。
According to the ink jet head of the third aspect of the present invention, since the instant adhesive is used as the temporary bonding adhesive, the time for removing the ink jet head from the bonding apparatus can be shortened, and the production efficiency can be improved. Let me
The assembling performance can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェットヘッドの一実施の形態
を適用したインクジェットヘッドの分解斜視図。
FIG. 1 is an exploded perspective view of an inkjet head to which an embodiment of an inkjet head according to the present invention is applied.

【図2】図1のインクジェットヘッドの主要部断面図。FIG. 2 is a sectional view of a main part of the inkjet head of FIG. 1;

【図3】図1のノズルプレートの拡大平面図。FIG. 3 is an enlarged plan view of the nozzle plate of FIG. 1;

【図4】図1の静電アクチュエータの拡大平面図。FIG. 4 is an enlarged plan view of the electrostatic actuator of FIG. 1;

【図5】図3のノズルプレートの貫通孔と図4のアライ
メントマークの拡大平面図。
5 is an enlarged plan view of a through hole of the nozzle plate of FIG. 3 and an alignment mark of FIG. 4;

【図6】アクチュエータユニットとの接合面に仮接合接
着剤領域の形成された図1のフレームの拡大平面図。
FIG. 6 is an enlarged plan view of the frame of FIG. 1 in which a temporary bonding adhesive region is formed on a bonding surface with an actuator unit.

【図7】図1の静電アクチュエータ及びノズルプレート
の接合されたアクチュエータユニットの平面図。
FIG. 7 is a plan view of an actuator unit in which the electrostatic actuator and the nozzle plate of FIG. 1 are joined.

【図8】アクチュエータユニットとの接合面の仮接合接
着剤領域と本接合接着剤領域との間に分離溝の形成され
た図6のフレームの拡大平面図。
FIG. 8 is an enlarged plan view of the frame of FIG. 6 in which a separation groove is formed between a temporary bonding adhesive region and a main bonding adhesive region on a bonding surface with an actuator unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インクジェットヘッド 2 ジョイント部 3 フィルタ 4 フレーム 5 静電アクチュエータ 6 ノズルプレート 7 アクチュエータユニット 8 個別電極 9 加圧液室 10 振動板 11 共通液室流路 12 流体抵抗 13 ノズル孔 14 インク流路 15 挿入溝 16 ドライバIC 17 FPCケーブル 18 振動板ギャップ封止剤 19 ノズル板封止剤 20 貫通孔 21 アライメントマーク 22 位置決め穴 30 分離溝 Ar 仮接合接着剤領域 Br 本接合接着剤領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ink jet head 2 Joint part 3 Filter 4 Frame 5 Electrostatic actuator 6 Nozzle plate 7 Actuator unit 8 Individual electrode 9 Pressurized liquid chamber 10 Vibrating plate 11 Common liquid chamber flow path 12 Fluid resistance 13 Nozzle hole 14 Ink flow path 15 Insertion groove Reference Signs List 16 driver IC 17 FPC cable 18 diaphragm gap sealant 19 nozzle plate sealant 20 through hole 21 alignment mark 22 positioning hole 30 separation groove Ar temporary bonding adhesive area Br final bonding adhesive area

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】インクの充填される複数の加圧液室と、前
記各加圧液室に抵抗流路で連通され前記各加圧液室に前
記インクを供給する共通液室と、前記各加圧液室の一部
に設けられた振動板と、前記各振動板に所定のギャップ
をおいて対向して配設された個別電極とを有し、前記各
加圧液室に連通して当該加圧液室内の前記インクを吐出
する複数のノズル孔の形成されたノズルプレートと接合
されるアクチュエータ部と、前記アクチュエータ部の前
記共通液室に連通して当該共通液室に前記インクを供給
するインク流路の形成されたフレームと、を備え、前記
アクチュエータ部と前記フレームが接合されて、前記フ
レームの前記インク流路から前記アクチュエータ部の前
記共通液室及び前記抵抗流路を通して前記各加圧液室に
前記インクを供給し、前記振動板と前記個別電極との間
に印加される電圧で生じる静電気力で前記振動板を変形
させて前記加圧液室に圧力を発生させ、当該加圧液室内
の前記インクを前記ノズル孔から吐出させるインクジェ
ットヘッドにおいて、前記前記フレームは、前記ノズル
プレートの接合されたアクチュエータ部との位置決め用
の仮接合接着剤の塗布される仮接合接着剤塗布領域が設
けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。
1. A plurality of pressurized liquid chambers filled with ink, a common liquid chamber communicated with each of the pressurized liquid chambers via a resistance flow path, and supplies the ink to each of the pressurized liquid chambers; A vibrating plate provided in a part of the pressurized liquid chamber, and an individual electrode disposed to face each of the vibrating plates with a predetermined gap therebetween, and communicate with each of the pressurized liquid chambers. An actuator unit connected to a nozzle plate having a plurality of nozzle holes for discharging the ink in the pressurized liquid chamber, and supplying the ink to the common liquid chamber by communicating with the common liquid chamber of the actuator unit A frame having an ink flow path formed therein, wherein the actuator section and the frame are joined to each other, and the ink passages from the ink flow path of the frame pass through the common liquid chamber and the resistance flow path of the actuator section. Supply the ink to the pressure chamber Deforming the vibrating plate with electrostatic force generated by a voltage applied between the vibrating plate and the individual electrodes to generate pressure in the pressurized liquid chamber, and causing the ink in the pressurized liquid chamber to be ejected by the nozzle In the inkjet head that discharges from the holes, the frame is provided with a temporary bonding adhesive application area to which a temporary bonding adhesive for positioning with the actuator unit bonded to the nozzle plate is applied. Inkjet head.
【請求項2】前記フレームは、前記仮接合接着剤塗布領
域と本接合接着剤の塗布される本接合接着剤塗布領域と
の間に所定幅で所定深さの溝が形成されていることを特
徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
2. The frame according to claim 1, wherein a groove having a predetermined width and a predetermined depth is formed between the temporary bonding adhesive application area and the main bonding adhesive application area to which the final bonding adhesive is applied. The ink-jet head according to claim 1, wherein:
【請求項3】前記仮接合接着剤は、瞬間接着剤であるこ
とを特徴とする請求項1または請求項2記載のインクジ
ェットヘッド。
3. The ink jet head according to claim 1, wherein the temporary bonding adhesive is an instantaneous adhesive.
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