JP2002312906A - Magnetic head manufacturing method - Google Patents

Magnetic head manufacturing method

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JP2002312906A
JP2002312906A JP2001114970A JP2001114970A JP2002312906A JP 2002312906 A JP2002312906 A JP 2002312906A JP 2001114970 A JP2001114970 A JP 2001114970A JP 2001114970 A JP2001114970 A JP 2001114970A JP 2002312906 A JP2002312906 A JP 2002312906A
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JP
Japan
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temperature
magnetic head
magnetic
peak
head chip
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001114970A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Sugawara
彰 菅原
Naoyuki Kanayama
直行 金山
Masahiro Konno
昌広 今野
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the recording and reproducing performance of a magnetic head more by carrying out a heat treatment (annealing) which greatly improves the head characteristics. SOLUTION: When a heat treatment, in which the peak temperature is equal to or lower than the glass transition point, carried out for a magnetic head chip to eliminate internal distortion during the formation of the magnetic head chip, the heat treatment is carried out by a temperature pattern having peaks twice or more (S103, S109).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体の一つで
ある磁気テープに対して用いるための磁気ヘッドの製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head for use with a magnetic tape as one of recording media.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の磁気記録技術は、デジタル化の進
展に伴い、益々高記録密度化が要求されており、例えば
VTR(Video Tape Recorder)装置に用いられ磁気テ
ープを記録媒体とする磁気ヘッドについても、その使用
周波数帯域における記録再生能力(以下、単に「ヘッド
特性」という)の優れたものが望まれている。
2. Description of the Related Art In recent years, magnetic recording technology has been required to have higher and higher recording density with the progress of digitization. For example, a magnetic head using a magnetic tape as a recording medium for a VTR (Video Tape Recorder) device has been demanded. With respect to the above, there is a demand for a recording / reproducing capability (hereinafter, simply referred to as "head characteristics") in the used frequency band.

【0003】このような高記録密度化に対応し得る磁気
ヘッドとしては、例えばバルク型のMIG(Metal in G
ap)ヘッドが広く知られている。バルク型のMIGヘッ
ドは、例えば図5(a)および(b)に示すような磁気
ヘッドチップ10を用いて構成されたものである。この
磁気ヘッドチップ10は、フェライト等の磁性材料より
なる一対の磁気コア半体11を突き合わせ低融点ガラス
12を介して一体に接合されたもので、その突き合わせ
部分が磁気ギャップ13として機能するようになってい
る。そして、その磁気ギャップ13の近傍だけに、セン
ダスト等の強磁性材料からなる金属磁性薄膜14が配置
されており、これによりヘッド特性の向上が図られてい
る。また、磁気ヘッドチップ10は、磁気テープとの摺
動のために、磁気ギャップ13、その近傍の金属磁性薄
膜14、およびこれらを挟み込む一対の磁気コア半体1
1の一端縁が露出する、略円弧状に形成された摺動面1
5を備えている。さらには、一対の磁気コア半体11の
略央部に位置する巻線窓16と、それぞれの端縁に位置
する巻線ガイド溝17とをも備えている。そして、図6
に示すように、これら巻線窓16および巻線ガイド溝1
7を利用して、摺動面15と略平行な方向に沿ってコイ
ル線材20が巻回され、これによりMIGヘッドを構成
するようになっている。
As a magnetic head capable of coping with such a high recording density, for example, a bulk type MIG (Metal in G
ap) Heads are widely known. The bulk type MIG head is configured using a magnetic head chip 10 as shown in FIGS. 5A and 5B, for example. This magnetic head chip 10 is formed by joining a pair of magnetic core halves 11 made of a magnetic material such as ferrite and joining them together via a low-melting glass 12 so that the joined portion functions as a magnetic gap 13. Has become. A metal magnetic thin film 14 made of a ferromagnetic material such as sendust is disposed only in the vicinity of the magnetic gap 13, thereby improving the head characteristics. The magnetic head chip 10 includes a magnetic gap 13, a metal magnetic thin film 14 near the magnetic gap 13, and a pair of magnetic core halves 1 sandwiching the magnetic gap 13 for sliding with a magnetic tape.
1 is a sliding surface 1 formed in a substantially arc shape with one end edge exposed.
5 is provided. Furthermore, it also has a winding window 16 located at a substantially central portion of the pair of magnetic core halves 11, and a winding guide groove 17 located at each end edge. And FIG.
As shown in FIG.
The coil wire 20 is wound along the direction substantially parallel to the sliding surface 15 by utilizing the coil 7, thereby forming a MIG head.

【0004】このような構成のMIGヘッドは、以下に
述べるような手順で製造されるのが一般的である。すな
わち、MIGヘッドの製造にあたっては、先ず、図7
(a)に示すように、一面にトラック幅規制溝群が加工
され、かつ、そのトラック幅規制溝群上に金属磁性薄膜
14がスパッタリングされた一対の磁気コア半体ブロッ
ク18を、その金属磁性薄膜14を挟んで突き合わせ
る。これら磁気コア半体ブロック18は、フェライト等
の磁性材料よりなるもので、後のスライス加工によって
磁気コア半体11となるものである。そして、その状態
でトラック幅規制溝群に低融点ガラス12を充填し、こ
れら一対の磁気コア半体ブロック18を互いに接合す
る。なお、このとき、磁気コア半体ブロック18には、
既に巻線窓16が加工されているものとする。
The MIG head having such a configuration is generally manufactured by the following procedure. That is, in manufacturing the MIG head, first, FIG.
As shown in (a), a pair of magnetic core half blocks 18 in which a track width regulating groove group is machined on one surface, and a metal magnetic thin film 14 is sputtered on the track width regulating groove group, The thin film 14 is sandwiched therebetween. These magnetic core half blocks 18 are made of a magnetic material such as ferrite, and become the magnetic core half 11 by slicing later. Then, in this state, the low melting glass 12 is filled in the track width regulating groove group, and the pair of magnetic core half blocks 18 are joined to each other. At this time, the magnetic core half block 18 includes:
It is assumed that the winding window 16 has already been processed.

【0005】磁気コア半体ブロック18同士を互いに接
合した後は、図7(b)に示すように、その接合体の両
側面に巻線ガイド溝17を加工したり、金属磁性薄膜1
4の端縁が露出している一面を摺動面15の形状に沿っ
て粗削りするといった、外形の成形切削加工を行う。そ
して、図7(c)に示すように、外形成形後の接合体を
各ヘッド毎に分離するようにスライスし、さらに粗削り
した摺動面15にラッピング仕上げを施して、磁気ヘッ
ドチップ10を形成する。その後、各磁気ヘッドチップ
10に対して、自動巻線機や手作業等により、巻線窓1
6および巻線ガイド溝17の部分にコイル線材20を巻
回する。このようにして、上述した構成のMIGヘッド
が完成することになる。
After the magnetic core half blocks 18 are joined to each other, as shown in FIG. 7B, winding guide grooves 17 are formed on both sides of the joined body,
Forming and cutting of the outer shape is performed, such as roughing one surface with the exposed edge of the surface 4 along the shape of the sliding surface 15. Then, as shown in FIG. 7 (c), the joined body after the outer shape is sliced so as to be separated for each head, and the rough-cut sliding surface 15 is subjected to lapping to form the magnetic head chip 10. I do. Thereafter, the winding window 1 is applied to each magnetic head chip 10 by an automatic winding machine, manual work, or the like.
The coil wire 20 is wound around the portion 6 and the winding guide groove 17. Thus, the MIG head having the above-described configuration is completed.

【0006】ところで、以上のようなMIGヘッドの製
造過程においては、ガラス溶融硬化時に発生する磁気コ
ア半体ブロック18、金属磁性薄膜14または低融点ガ
ラス12の間での熱膨張係数等の違いによる応力(歪)
や、磁気コア半体ブロック18または磁気ヘッドチップ
10に対する成形加工の際に発生する応力(歪)等が、
磁気ヘッドチップ10の内部または表面に残留してしま
うことが考えられる。このような、磁気ヘッドチップ1
0の内部または表面に残留する内部歪みは、ヘッド特性
に悪影響を及ぼすおそれがある。
In the manufacturing process of the MIG head as described above, the difference in the coefficient of thermal expansion between the magnetic core half block 18, the metal magnetic thin film 14, and the low melting point glass 12 generated during the glass melting and curing is caused. Stress (strain)
And stress (strain) generated at the time of forming the magnetic core half block 18 or the magnetic head chip 10, etc.
It is conceivable that the magnetic head chip 10 remains inside or on the surface. Such a magnetic head chip 1
Internal strain remaining inside or on the surface of 0 may adversely affect head characteristics.

【0007】このことから、通常、MIGヘッドの製造
過程においては、その最終段階に近い工程、具体的には
磁気ヘッドチップ10の形成後に、その磁気ヘッドチッ
プ10に対して、いわゆるアニール(焼鈍)と呼ばれる
熱処理を施し、その磁気ヘッドチップ10における内部
歪み等を緩和することが行われている。
For this reason, usually, in the process of manufacturing a MIG head, a so-called anneal (annealing) is performed on the magnetic head chip 10 after forming the magnetic head chip 10 in a process close to the final stage. Is performed to alleviate internal distortion and the like in the magnetic head chip 10.

【0008】従来、磁気ヘッドチップ10に対するアニ
ールは、処理対象となる磁気ヘッドチップ10を炉内に
入れて行うが、その炉内のピーク(Max)温度が磁気
ヘッドとして機能を阻害しない温度、つまりガラス材で
ある低融点ガラス12の転移点(Tg)以下に設定され
るのが一般的である。そして、図8に示すように、炉内
をピーク温度まで昇温させ(図中A部参照)、一定時間
そのピーク温度に保持した後(図中B部参照)、徐冷す
る(図中C部参照)といった温度パターンで行われる。
このときのピーク温度保持時間、昇温時・降温時の変化
レート(例えば℃/分)は種々提案されているが、いず
れもその温度パターンは、ピークを1つとしている。
Conventionally, the magnetic head chip 10 is annealed by placing the magnetic head chip 10 to be processed in a furnace. The peak (Max) temperature in the furnace does not impair the function of the magnetic head, that is, Generally, the temperature is set to be equal to or lower than the transition point (Tg) of the low melting point glass 12 which is a glass material. Then, as shown in FIG. 8, the inside of the furnace is heated to a peak temperature (see part A in the figure), and after maintaining the peak temperature for a certain time (see part B in the figure), the furnace is gradually cooled (C in the figure). Section)).
At this time, various proposals have been made for the peak temperature holding time and the rate of change (for example, ° C./min) at the time of temperature rise / fall, but in each case the temperature pattern has one peak.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、アニールを
行ったことにより得られる効果は、磁気ヘッドチップ1
0での内部歪み等によるヘッド特性への悪影響を改善す
ることにある。ただし、磁気ヘッドチップ10における
内部歪み等を定量的に測定することは容易ではないた
め、通常は、MIGヘッドとして完成した後に記録再生
能力を測定し、その結果から内部歪み等による悪影響が
改善されているか否かを確認しているのに過ぎない。つ
まり、アニールによる記録再生能力向上は測定結果等か
ら把握できるものの、これによって完全に内部歪み等が
除去されたか否かについては確認が困難である。
By the way, the effect obtained by performing the annealing is as follows.
An object of the present invention is to improve the adverse effect on the head characteristics due to internal distortion at 0. However, since it is not easy to quantitatively measure the internal distortion or the like in the magnetic head chip 10, usually, the recording / reproducing ability is measured after the MIG head is completed, and as a result, the adverse effect due to the internal distortion or the like is improved. It is just checking whether it is. That is, although the improvement of the recording / reproducing ability by the annealing can be grasped from the measurement result or the like, it is difficult to confirm whether the internal distortion or the like is completely removed by this.

【0010】したがって、上述した従来のアニールで
は、内部歪み等によるヘッド特性への悪影響が完全に排
除されているか否か、すなわち本来的に磁気ヘッドが持
っている能力を全て発揮し得る状態にまで特性改善が図
られているか否かが、定かではないのである。このこと
から、本願の発明者は、従来のアニールでは、ヘッド特
性改善の度合いが、本来磁気ヘッドが持っている特性レ
ベルまで到達していないという結論に至った。
Therefore, in the above-described conventional annealing, it is determined whether or not the adverse effect on the head characteristics due to the internal distortion or the like is completely eliminated, that is, until the state where all the capabilities inherent to the magnetic head can be fully exhibited. It is not clear whether the characteristics are improved. From this, the inventor of the present application has concluded that the degree of improvement in the head characteristics has not reached the characteristic level originally possessed by the magnetic head in the conventional annealing.

【0011】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、従来よりもヘッド特性改善の度合いの高い熱処理
(アニール)を行うことで、より一層の記録再生能力向
上を図ることのできる磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and a magnetic head capable of further improving the recording / reproducing ability by performing a heat treatment (annealing) with a higher degree of improvement in head characteristics than in the past. It is an object of the present invention to provide a method for producing the same.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この目的達成のために、
本発明は、一対の磁気コア半体を突き合わせガラス材を
介して接合し、当該突き合わせ部分が磁気ギャップとし
て機能する磁気ヘッドチップを形成し、その後当該磁気
ヘッドチップを用いて磁気ヘッドを構成する、磁気ヘッ
ドの製造方法において、前記磁気ヘッドチップに対しガ
ラス転移点以下の温度をピークとする熱処理を行って当
該磁気ヘッドチップを成形した際の内部歪みを除去する
のにあたり、ピークを2回以上有する温度パターンで前
記熱処理を行うことを特徴とする。
In order to achieve this object,
The present invention joins a pair of magnetic core halves via a butt glass material, forms a magnetic head chip in which the butt portion functions as a magnetic gap, and then configures a magnetic head using the magnetic head chip. In the method of manufacturing a magnetic head, the magnetic head chip is subjected to a heat treatment having a peak at a temperature equal to or lower than the glass transition point to remove internal strain when the magnetic head chip is formed, and has two or more peaks. The heat treatment is performed in a temperature pattern.

【0013】上記手順の磁気ヘッドの製造方法によれ
ば、ピークを2回以上有する温度パターンで熱処理を行
うので、例えば磁気ヘッドチップが磁気コア半体を形成
する磁性材やガラス材等といった複合材料によって構成
されていても各材料の内部歪みを緩和し得るようにな
り、その結果磁気ヘッドチップの内部や表面等に残留す
る内部歪みが十分に緩和されることになる。
According to the method of manufacturing a magnetic head according to the above procedure, the heat treatment is performed in a temperature pattern having two or more peaks. Therefore, for example, the magnetic head chip is formed of a composite material such as a magnetic material or a glass material forming a magnetic core half. Thus, the internal strain of each material can be reduced, and as a result, the internal strain remaining in the inside, the surface, and the like of the magnetic head chip can be sufficiently reduced.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明に係る
磁気ヘッドの製造方法について説明する。ただし、ここ
では、従来における磁気ヘッドの製造方法との相違点に
ついてのみ説明するものとする。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for manufacturing a magnetic head according to the present invention will be described below with reference to the drawings. However, here, only differences from the conventional magnetic head manufacturing method will be described.

【0015】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、従
来と磁気ヘッドチップに対して行うアニール処理が異な
る。なお、製造する磁気ヘッド(例えばMIGヘッド)
の構成(図5,6参照)およびアニール処理以外の製造
手順(図7参照)については従来と略同様であるため、
ここではその説明を省略する。
The method of manufacturing a magnetic head according to the present invention differs from the conventional method in the annealing process performed on the magnetic head chip. The magnetic head to be manufactured (for example, a MIG head)
(See FIGS. 5 and 6) and the manufacturing procedure other than the annealing process (see FIG. 7) are substantially the same as in the prior art.
Here, the description is omitted.

【0016】本発明におけるアニール処理も、従来の場
合と略同様、磁気ヘッドチップ10の形成後に、その磁
気ヘッドチップ10を炉内に入れた状態で行われる。そ
して、処理対象となる磁気ヘッドチップ10に対して、
ガラス転移点(Tg)以下の温度をピークとして加熱お
よび徐冷を行って、その磁気ヘッドチップ10を成形し
た際の内部歪みを除去する。
The annealing process of the present invention is also performed in a state where the magnetic head chip 10 is placed in a furnace after the formation of the magnetic head chip 10, as in the conventional case. Then, for the magnetic head chip 10 to be processed,
Heating and gradual cooling are performed with the temperature equal to or lower than the glass transition point (Tg) as a peak, and the internal distortion when the magnetic head chip 10 is formed is removed.

【0017】ところで、磁気ヘッドチップ10は、上述
のように複合材料(例えば、フェライト等の磁性材やガ
ラス等の非磁性材)で構成されている。個々の材料に起
因する応力(内部歪み)を軽減させるためには各々の材
料に合わせたアニール条件が存在するが、磁気ヘッドチ
ップ10として構成された後は、アニール処理のピーク
温度の上限として磁気ヘッドとしての機能を阻害しない
温度が選択される。通常は、ガラス転移点がこれに該当
する。ところが、このようなガラス転移点を超えない温
度をピークとした場合、そのピークが従来のように1つ
のみであると、ヘッド特性改善の度合いが、本来磁気ヘ
ッドが持っている特性レベルまで到達しないと考えられ
る。これは、ガラス材に起因する内部歪みについてはあ
る程度緩和されるものの、例えば他に高融点のガラス材
を使用している場合やガラス以外の材料(フェライト
材、金属磁性薄膜、ギャップ材等)に起因する内部歪み
については充分に緩和できていない可能性があるからで
ある。このことは、ピークを1つとした温度パターンの
中で、ピーク温度を微妙に変化させたりピーク温度保持
時間を変化させてアニール処理を行った結果、あまり顕
著な改善が見られなかったことからも明らかである。
The magnetic head chip 10 is made of a composite material (for example, a magnetic material such as ferrite or a non-magnetic material such as glass) as described above. In order to reduce the stress (internal strain) caused by each material, there is an annealing condition suitable for each material. However, after the magnetic head chip 10 is configured, the upper limit of the peak temperature of the annealing process is set as a magnetic field. A temperature that does not impair the function of the head is selected. Usually, this is the glass transition point. However, when the temperature at which the glass transition point is not exceeded is set as a peak, the degree of improvement in the head characteristics reaches the characteristic level originally possessed by the magnetic head if there is only one peak as in the conventional case. It is not considered. This is because although the internal strain caused by the glass material is moderated to some extent, for example, when a glass material having a high melting point is used or a material other than glass (a ferrite material, a metal magnetic thin film, a gap material, etc.) is used. This is because there is a possibility that the resulting internal strain may not be sufficiently reduced. This is because, as a result of performing the annealing treatment by changing the peak temperature delicately or changing the peak temperature holding time in the temperature pattern having one peak, no remarkable improvement was observed. it is obvious.

【0018】このことから、本発明におけるアニール処
理では、磁気ヘッドとしての機能を阻害しないため、ピ
ーク温度はガラス転移点以下であるが、そのピーク回数
を2回以上としている。
From the above, in the annealing treatment in the present invention, the peak temperature is equal to or lower than the glass transition point because the function as the magnetic head is not hindered, but the number of peaks is set to 2 or more.

【0019】具体的には、例えば図1に示すように、ピ
ークを2回とした温度パターンが考えられる。すなわ
ち、炉内の温度をピーク温度(例えば410℃程度)ま
で昇温し(ステップ101,102、以下ステップを
「S」と略す)、そのピーク温度を一定時間(例えば1
0分以上)保持した後(S103)、一旦所定温度(例
えばピーク温度−20℃程度)まで徐冷する(S10
4,105)。そして、一定時間経過後(S106)、
再び略同一のピーク温度まで昇温して(S107,10
8)、そのピーク温度を略同一時間保持した後に(S1
09)、常温まで徐冷する(S110,111)。
Specifically, for example, as shown in FIG. 1, a temperature pattern having two peaks can be considered. That is, the temperature in the furnace is raised to a peak temperature (for example, about 410 ° C.) (steps 101 and 102; steps are abbreviated as “S”), and the peak temperature is kept for a certain time (for example, 1 ° C.).
(S103) and then slowly cooled to a predetermined temperature (for example, a peak temperature of about −20 ° C.) (S10).
4, 105). After a lapse of a predetermined time (S106),
The temperature is raised again to substantially the same peak temperature (S107, 10
8) After maintaining the peak temperature for substantially the same time (S1
09), and gradually cooled to normal temperature (S110, 111).

【0020】このときの昇温レートおよび降温レート
は、例えば0.3〜2.0℃/分とする。ただし、ピー
ク温度までの昇温時とピーク温度からの降温時とでは、
徐冷を行うことから、降温レートのほうが小さい(温度
カーブが緩やか)であることはいうまでもない。
At this time, the heating rate and the cooling rate are, for example, 0.3 to 2.0 ° C./min. However, when the temperature rises to the peak temperature and when the temperature falls from the peak temperature,
It goes without saying that since the cooling is performed, the cooling rate is smaller (the temperature curve is gentler).

【0021】また、ピーク温度までの昇温時およびピー
ク温度からの降温時における温度勾配は、各々2種類の
レートが設定されている。すなわち、ピーク温度近傍は
温度勾配が緩やかなレートとなっており(S102,1
04,108,110)、他はピーク温度近傍に比べて
急なレートとなっている(S101,105,107,
111)。なお、2種類のレートの変化点となる温度
は、ピークとなる温度や炉の性能等を考慮して、適宜設
定すればよい。
Further, two types of rates are set for the temperature gradient when the temperature is raised to the peak temperature and when the temperature is lowered from the peak temperature. That is, the temperature gradient has a gentle rate near the peak temperature (S102, 1).
04, 108, and 110), and the others have sharper rates than near the peak temperature (S101, 105, 107, and 110).
111). The temperature at which the two types of rates change may be appropriately set in consideration of the peak temperature, furnace performance, and the like.

【0022】以上のように、ピークを2回とした温度パ
ターンによれば、ガラス転移点を基準としたアニール処
理を2回繰り返すのと略同様となるので、磁気ヘッドチ
ップ10が複合材料によって構成されていても、ガラス
材をはじめとする各材料の内部歪みをいずれも緩和し得
るようになる。その結果、磁気ヘッドチップの内部や表
面等に残留する内部歪みが十分に緩和され、磁気ヘッド
を構成した際の磁気記録再生特性が従来よりもさらに改
善し得るようになる。
As described above, according to the temperature pattern having two peaks, it is almost the same as repeating the annealing process based on the glass transition point twice, so that the magnetic head chip 10 is made of a composite material. Even if it is performed, it becomes possible to alleviate the internal strain of each material including the glass material. As a result, internal distortion remaining inside or on the surface of the magnetic head chip is sufficiently mitigated, and the magnetic recording / reproducing characteristics when the magnetic head is formed can be further improved than before.

【0023】しかも、ピークを2回とした温度パターン
によるアニール処理を行うのにあたって、各々2種類の
温度勾配によってピーク温度までの昇温およびピーク温
度からの降温を行うことで、ピーク温度近傍では緩やか
な温度勾配で、その他の温度領域では急な温度勾配で、
それぞれ昇降温を行うことが可能となる。したがって、
ガラス転移点を基準としたアニール処理を2回繰り返す
ことになっても、極力生産性が悪化してしまうのを抑え
つつ、磁気ヘッドを構成した際の磁気記録再生特性を十
分に改善し得るようになる。これは、ガラス転移点近傍
については、できるだけゆっくり昇降温したほうが(温
度勾配を小さくしたほうが)内部歪みを除去する上で好
適であるが、その他の温度領域では、生産性を考慮して
速い昇降温(大きい温度勾配)のほうが好ましいからで
ある。
In addition, in performing the annealing process with the temperature pattern having two peaks, the temperature is raised to the peak temperature and lowered from the peak temperature by two types of temperature gradients, respectively, so that the temperature is moderate near the peak temperature. A steep temperature gradient in other temperature ranges,
It is possible to raise and lower the temperature respectively. Therefore,
Even if the annealing process based on the glass transition point is repeated twice, it is possible to sufficiently improve the magnetic recording / reproducing characteristics when the magnetic head is configured, while suppressing the deterioration of the productivity as much as possible. become. This is because, in the vicinity of the glass transition point, it is preferable to raise and lower the temperature as slowly as possible (reducing the temperature gradient) in order to eliminate internal strain, but in other temperature regions, it is preferable to raise and lower the temperature in consideration of productivity. This is because a temperature (a large temperature gradient) is more preferable.

【0024】これらのことから、上述した温度パターン
によるアニール処理を行えば、その結果得られるMIG
ヘッドは、従来のアニール処理(図8参照)によって得
られるMIGヘッドに比べて、優れたヘッド特性を十分
に実現できるといえる。具体的には、従来のものに比べ
て、記録再生出力(周波数帯域〜20MHz)が0.5
〜1.0dB程度向上することが分かった。
From these facts, if the annealing process is performed according to the above-mentioned temperature pattern, the resulting MIG can be obtained.
It can be said that the head can sufficiently realize excellent head characteristics as compared with the MIG head obtained by the conventional annealing treatment (see FIG. 8). Specifically, the recording / reproducing output (frequency band to 20 MHz) is 0.5
It was found to improve by about 1.0 dB.

【0025】また、上述したアニール処理は、温度パタ
ーンのみが従来と異なるため、従来と同様の設備(炉
等)を用いて行うことができ、新たな構成等を必要とす
ることなく、磁気ヘッドのヘッド特性の向上を図れるよ
うになる。
Since only the temperature pattern is different from the conventional one, the above-described annealing can be performed using the same equipment (furnace or the like) as the conventional one, and the magnetic head can be used without requiring a new configuration or the like. The head characteristics can be improved.

【0026】なお、上述した温度パターンにおいて、温
度増減幅、昇温レート、降温レート、ピーク温度保持時
間等については、上述した具体例(例えばピーク温度で
あれば410℃程度)のように設定することが好まし
い。これは、ヘッド特性の向上を確実なものとするため
の他に、これ以外の条件で行った場合には本来の改善効
果を抑制(例えば従来のアニール条件で実施した場合よ
りヘッド特性が悪化する、生産性が悪化する等)する可
能性があるからである。
In the above-described temperature pattern, the temperature increase / decrease range, the temperature rising rate, the temperature decreasing rate, the peak temperature holding time, and the like are set as in the above specific example (for example, about 410 ° C. for the peak temperature). Is preferred. This is to ensure the improvement of the head characteristics and to suppress the original improvement effect when performed under other conditions (for example, the head characteristics are worse than when performed under the conventional annealing conditions). , And the productivity may be deteriorated).

【0027】また、本発明におけるアニール処理は、上
述した温度パターン、すなわち同一のピーク温度を2回
繰り返す温度パターンに限定されるものではない。ここ
で、本発明におけるアニール処理の他の温度パターンに
ついて説明する。
The annealing treatment in the present invention is not limited to the above-mentioned temperature pattern, that is, a temperature pattern in which the same peak temperature is repeated twice. Here, another temperature pattern of the annealing process in the present invention will be described.

【0028】他の温度パターンとしては、例えば図2に
示すように、上述した場合と同様、ピークの回数は2回
であるが、それぞれのピーク温度(S203,209)
が互いに異なる例が挙げられる。この場合には、磁気ヘ
ッドチップ10が複合材料で構成されていても、各ピー
ク温度を各々の材料に合わせて設定するといったことが
可能になる。
As another temperature pattern, as shown in FIG. 2, for example, as in the case described above, the number of peaks is two, but each peak temperature (S203, 209)
Are different from each other. In this case, even if the magnetic head chip 10 is made of a composite material, each peak temperature can be set according to each material.

【0029】また、他の温度パターンとしては、例えば
図3に示すように、上述した場合と同様、ピークの回数
が2回であり、しかもその温度が互いに略同一であるが
(S303,310)、それぞれのピーク到達後に同一
温度が保持されずになだらかに下降する(S304,3
11)例が挙げられる。この場合には、ピーク到達後に
なだらかに温度が下降することから、同一温度を保持す
る場合に比べて降温に要する時間を若干短縮することが
でき、更なる生産性の向上が図れるようになる。
As another temperature pattern, for example, as shown in FIG. 3, as in the case described above, the number of peaks is two, and the temperatures are substantially the same (S303, 310). After the respective peaks are reached, the same temperature is not maintained and gradually decreases (S304, 3).
11) Examples are given. In this case, since the temperature gradually decreases after reaching the peak, the time required for cooling can be slightly shortened as compared with the case where the same temperature is maintained, and the productivity can be further improved.

【0030】また、さらに他の温度パターンとしては、
例えば図4に示すように、ピーク温度に到達後(S40
3)、それ以降の温度の振幅(S404〜S415)を
波状に設定した例が挙げられる。これにより、ピークの
回数は2回以上(例えば4回)となるので、磁気ヘッド
チップ10が多種の複合材料で構成されている場合に、
各ピーク温度やその保持時間を各々の材料に合わせて設
定するといった柔軟な対応が可能となる。
Further, as another temperature pattern,
For example, as shown in FIG.
3) There is an example in which the subsequent temperature amplitudes (S404 to S415) are set in a wave shape. As a result, the number of peaks becomes two or more times (for example, four times). Therefore, when the magnetic head chip 10 is made of various types of composite materials,
It is possible to flexibly cope with setting each peak temperature and its holding time according to each material.

【0031】これらの各例は、いずれもピークを2回以
上とした温度パターンとなっているので、上述した同一
のピーク温度を2回繰り返す温度パターンの場合と全く
同様に、従来より磁気ヘッドのヘッド特性向上が図れる
ようになる。
Since each of these examples has a temperature pattern in which the peak is repeated twice or more, the same as the above-described temperature pattern in which the same peak temperature is repeated twice, the conventional magnetic head has The head characteristics can be improved.

【0032】ただし、いずれの例もピークを2回以上有
する温度パターンとなっているが、ピーク間(谷間部
分)における温度は、各ピークによる繰り返し効果を確
実なものとするためにも、ピーク温度に対してある程度
の差(例えば−20℃以上)があるほうが好ましい。ま
た、各ピークの間は、温度下降後に長時間(例えば数時
間)放置したり、あるいは常温まで降温しても構わな
い。このようにしても、各ピークによる繰り返し効果が
得られるようになる。
In each of the examples, the temperature pattern has two or more peaks. However, the temperature between the peaks (valleys) is determined by the peak temperature in order to ensure the repetitive effect of each peak. It is preferable that there is a certain difference (for example, −20 ° C. or more). In addition, between each peak, the temperature may be left for a long time (for example, several hours) after the temperature has dropped, or the temperature may be lowered to room temperature. Even in this case, the repetitive effect of each peak can be obtained.

【0033】なお、本実施形態では、いずれの温度パタ
ーンの例も、処理対象となる磁気ヘッドチップ10がM
IGヘッドを構成するためのものである場合を例に挙げ
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、一対の磁気コア半体を突き合わせガラス材を介して
接合した複合材料からなるバルク型磁気ヘッドであれ
ば、他の磁気ヘッドであっても全く同様に適用すること
が可能である。
In the present embodiment, the magnetic head chip 10 to be processed is M
The case of forming an IG head has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and a composite material in which a pair of magnetic core halves are joined via a butt glass material is used. As long as it is a bulk type magnetic head, other magnetic heads can be applied in exactly the same manner.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の磁気ヘ
ッドの製造方法によれば、ピークを2回以上有する温度
パターンで熱処理(アニール)を行うので、従来よりも
ヘッド特性改善の度合いの高い熱処理を実現することが
でき、より一層磁気ヘッドの記録再生能力の向上を図る
ことができる。
As described above, according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, heat treatment (annealing) is performed in a temperature pattern having two or more peaks. High heat treatment can be realized, and the recording / reproducing ability of the magnetic head can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るアニール処理の一例における温度
パターンを示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a temperature pattern in an example of an annealing process according to the present invention.

【図2】本発明に係るアニール処理の他の例における温
度パターンを示す説明図(その1)である。
FIG. 2 is an explanatory diagram (part 1) illustrating a temperature pattern in another example of the annealing process according to the present invention.

【図3】本発明に係るアニール処理の他の例における温
度パターンを示す説明図(その2)である。
FIG. 3 is an explanatory diagram (part 2) illustrating a temperature pattern in another example of the annealing process according to the present invention.

【図4】本発明に係るアニール処理の他の例における温
度パターンを示す説明図(その3)である。
FIG. 4 is an explanatory diagram (part 3) illustrating a temperature pattern in another example of the annealing process according to the present invention.

【図5】従来の磁気ヘッドの一例の概要を示す図であ
り、(a)はその斜視図、(b)はその部分拡大図であ
る。
5A and 5B are diagrams showing an outline of an example of a conventional magnetic head, wherein FIG. 5A is a perspective view thereof, and FIG. 5B is a partially enlarged view thereof.

【図6】コイル線材が巻回された状態の磁気ヘッドの一
具体例を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a specific example of a magnetic head in a state where a coil wire is wound.

【図7】一般的な磁気ヘッドの製造手順の一例を示す斜
視図であり、(a)は一対の磁気コア半体ブロックを接
合した後の状態を示す図、(b)は外形の成形切削加工
後の状態を示す図、(c)は各ヘッド毎に分離スライス
した後の状態を示す図である。
FIGS. 7A and 7B are perspective views showing an example of a general magnetic head manufacturing procedure, in which FIG. 7A is a view showing a state after a pair of magnetic core half blocks are joined, and FIG. FIG. 3C is a diagram illustrating a state after processing, and FIG. 3C is a diagram illustrating a state after separation and slicing for each head.

【図8】従来のアニール処理の一例における温度パター
ンを示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a temperature pattern in an example of a conventional annealing process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…磁気ヘッドチップ、11…磁気コア半体、12…
低融点ガラス、13…磁気ギャップ、15…摺動面、S
103,S109,S203,S209,S303,S
310,S403,S407,S411,S415…ピ
ーク温度
10 magnetic head chip, 11 magnetic core half, 12 ...
Low melting point glass, 13: magnetic gap, 15: sliding surface, S
103, S109, S203, S209, S303, S
310, S403, S407, S411, S415 ... peak temperature

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今野 昌広 宮城県登米郡中田町宝江新井田字加賀野境 30番地 ソニー宮城株式会社内 Fターム(参考) 5D093 AA01 FA09 FA21 HB15  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Masahiro Konno 30th Kagano Border, Takae Niida, Nakata-cho, Tome-gun, Miyagi Prefecture Sony Miyagi Co., Ltd. F-term (reference) 5D093 AA01 FA09 FA21 HB15

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一対の磁気コア半体を突き合わせガラス
材を介して接合し、当該突き合わせ部分が磁気ギャップ
として機能する磁気ヘッドチップを形成し、その後当該
磁気ヘッドチップを用いて磁気ヘッドを構成する、磁気
ヘッドの製造方法において、 前記磁気ヘッドチップに対しガラス転移点以下の温度を
ピークとする熱処理を行って当該磁気ヘッドチップを成
形した際の内部歪みを除去するのにあたり、ピークを2
回以上有する温度パターンで前記熱処理を行うことを特
徴とする磁気ヘッドの製造方法。
1. A pair of magnetic core halves are joined via an abutting glass material to form a magnetic head chip whose abutting portion functions as a magnetic gap, and thereafter, a magnetic head is formed using the magnetic head chip. In the method of manufacturing a magnetic head, a heat treatment is performed on the magnetic head chip with a peak at a temperature equal to or lower than the glass transition point to remove internal strain when the magnetic head chip is formed.
A method for manufacturing a magnetic head, wherein the heat treatment is performed in a temperature pattern having at least two times.
【請求項2】 ピーク温度までの昇温時およびピーク温
度からの降温時における温度勾配を各々2種類以上有す
る温度パターンで前記熱処理を行うことを特徴とする請
求項1記載の磁気ヘッドの製造方法。
2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the heat treatment is performed in a temperature pattern having at least two types of temperature gradients when the temperature is raised to a peak temperature and when the temperature is lowered from the peak temperature. .
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