JP2002307691A - Ink jet head, and method and apparatus for manufacturing the same - Google Patents

Ink jet head, and method and apparatus for manufacturing the same

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JP2002307691A
JP2002307691A JP2001113335A JP2001113335A JP2002307691A JP 2002307691 A JP2002307691 A JP 2002307691A JP 2001113335 A JP2001113335 A JP 2001113335A JP 2001113335 A JP2001113335 A JP 2001113335A JP 2002307691 A JP2002307691 A JP 2002307691A
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JP
Japan
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nozzle plate
head
ink jet
adhesive
nozzle
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JP2001113335A
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Yoshinori Amano
良則 天野
Yasunori Tokuno
保典 得能
Masatomo Matsui
昌朋 松井
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/10Finger type piezoelectric elements

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet head, a method and an apparatus for manufacturing an ink jet head, in which an instability in discharging ink because of jointing failures of an adhesive and clogging nozzles can be reduced and the yield can be improved. SOLUTION: The adhesive 7 is applied to the whole face other than opening parts 4 of a nozzle plate attachment face 16a of a head body 16. The head body 16 and the nozzle plate 6 are set opposite to each other and positioned so that centers of openings 4 of the head body 16 and centers of nozzle holes 5 of the nozzle plate 6 agree with each other. The head body 16 is pressed towards the nozzle plate 6, and the adhesive 7 is set.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドの製造方法と製造装置およびインクジェットヘッド
に関するものである。
The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an ink jet head and an ink jet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットプリンタ装置に使用され
るインクジェットヘッドには、従来より、複数の圧力発
生手段に選択的に電気信号を印加してノズル孔からイン
クを吐出させ飛翔的な液滴記録を行う圧電形インクジェ
ットヘッドが用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electric signal is selectively applied to a plurality of pressure generating means to an ink jet head used in an ink jet printer to discharge ink from nozzle holes to perform flying droplet recording. A piezoelectric ink jet head is used.

【0003】圧電形インクジェットヘッドは、圧電素子
の変形により容積が変化する圧力室が複数形成されたヘ
ッド本体と、ステンレス材や樹脂シートなどからなる基
板にヘッド本体の圧力室と連通する複数のノズル孔が形
成されたノズル板とからなる。ヘッド本体とノズル板と
は、ヘッド本体の圧力室の開放端側に熱硬化性の接着剤
が塗布され、ノズル板が貼り合わされて、加圧および加
熱により接着剤が固着することにより一体化される。
A piezoelectric type ink jet head has a head body in which a plurality of pressure chambers whose volumes change due to deformation of a piezoelectric element are formed, and a plurality of nozzles communicating with the pressure chambers of the head body on a substrate made of stainless steel, a resin sheet or the like. And a nozzle plate in which holes are formed. The head body and the nozzle plate are integrated by applying a thermosetting adhesive to the open end side of the pressure chamber of the head body, bonding the nozzle plate, and fixing the adhesive by pressing and heating. You.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
構成されたインクジェットヘッドでは、ノズル板に形成
されたノズル孔の大きさが0.04mm〜0.06mm
程度と微小であるため、貼り付けに使用する接着剤がノ
ズル孔に流れ込んで目づまりが生じやすく、作業性が悪
くなるという問題がある。
However, in the ink jet head configured as described above, the size of the nozzle hole formed in the nozzle plate is 0.04 mm to 0.06 mm.
Since it is very small, the adhesive used for pasting flows into the nozzle holes, which is liable to cause clogging, resulting in poor workability.

【0005】このような問題を解決するものとして、国
際公開番号WO96141721号公報には、図6,図
7に示す圧電形インクジェットヘッドが提案されてい
る。図6(a),(b)に示すように、ヘッド本体16
の貼付面16aには、ノズル板6を貼り付けるための接
着剤により各種の接着層30a〜30cが形成されてい
る。接着層30aは、ヘッド本体16とノズル板6とが
対向する領域の外周縁に沿って任意の幅で環状に形成さ
れた外周気密層であり、接着層30bは、ノズル孔5お
よび圧力室3の開口部の外周を囲むように任意の幅で形
成されたノズルシール層であり、接着層30cは、外周
気密層とノズルシール層との中間部に散点状に形成され
た補強層である。
In order to solve such a problem, International Publication No. WO96141721 proposes a piezoelectric ink jet head shown in FIGS. As shown in FIGS. 6A and 6B, the head body 16
Various bonding layers 30a to 30c are formed on the bonding surface 16a by using an adhesive for bonding the nozzle plate 6. The adhesive layer 30a is an outer peripheral airtight layer formed in an annular shape with an arbitrary width along the outer peripheral edge of a region where the head main body 16 and the nozzle plate 6 face each other, and the adhesive layer 30b includes the nozzle hole 5 and the pressure chamber 3 Is a nozzle seal layer formed with an arbitrary width so as to surround the outer periphery of the opening, and the adhesive layer 30c is a reinforcing layer formed in a scattered manner at an intermediate portion between the outer peripheral airtight layer and the nozzle seal layer. .

【0006】しかし、上記のように形状の異なった各種
の接着層30a〜30cを形成すると、接着剤の塗布工
程が煩雑になり、加工工数がかかるという問題がある。
なお、図中の1は基台、22はカバー、23はインク供
給口、40はフレキシブルプリント基板、41は駆動導
電パターン、42は共通導電パターンである。
However, when the various types of adhesive layers 30a to 30c having different shapes are formed as described above, there is a problem that the step of applying the adhesive becomes complicated and the number of processing steps is increased.
In the drawing, 1 is a base, 22 is a cover, 23 is an ink supply port, 40 is a flexible printed circuit board, 41 is a drive conductive pattern, and 42 is a common conductive pattern.

【0007】また、上記のように接着剤が塗布されたヘ
ッド本体16とノズル板6とを貼り合わせる際には、図
7に示す吸着支持板80にノズル板6を載置し、治具に
保持されたヘッド本体16をノズル板6の側に押圧して
接着剤を硬化している。
When the nozzle body 6 is bonded to the head body 16 to which the adhesive has been applied as described above, the nozzle plate 6 is placed on the suction support plate 80 shown in FIG. The held head body 16 is pressed against the nozzle plate 6 to cure the adhesive.

【0008】吸着支持板80には、真空チャックを形成
する溝状の吸着孔84が形成された板状の弾性部材83
が設けられており、載置されたノズル板6を真空吸引し
て吸着固定するよう構成されている。また、治具に保持
されたヘッド本体16をノズル板6の側に押圧する際に
は、治具に形成されたガイドピンと位置決め孔を吸着支
持板80のガイド孔81と位置決めピン85にそれぞれ
係合させて位置決めしている。
A plate-like elastic member 83 having a groove-like suction hole 84 forming a vacuum chuck is formed on the suction support plate 80.
Are provided, and the mounted nozzle plate 6 is configured to be suction-fixed by vacuum suction. When the head body 16 held by the jig is pressed toward the nozzle plate 6, the guide pins and the positioning holes formed on the jig are engaged with the guide holes 81 and the positioning pins 85 of the suction support plate 80, respectively. Positioning.

【0009】このような位置決め方法では、吸着支持板
80のガイド孔81とガイドピンとのガタツキを調整す
るような微調整ができずノズル板6の接合不良を招くこ
とがあり、ヘッド本体16とノズル板6との正確な貼り
併せが難しく、得られたインクジェットヘッドは、吐出
するインク粒の吐出特性にばらつきが発生するという問
題がある。
In such a positioning method, fine adjustment such as adjusting the backlash between the guide hole 81 of the suction support plate 80 and the guide pin cannot be performed, which may result in poor connection of the nozzle plate 6 and the head body 16 and the nozzle. Accurate bonding with the plate 6 is difficult, and the obtained inkjet head has a problem that the ejection characteristics of the ejected ink particles vary.

【0010】本発明は前記問題点を解決し、接着剤の接
合不良やノズルの目詰まりによるインク吐出の不安定性
を低減でき、歩留まりの向上が図れるインクジェットヘ
ッドの製造方法と製造装置およびインクジェットヘッド
を提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems, and provides a method and an apparatus for manufacturing an ink-jet head which can reduce the instability of ink discharge due to defective bonding of an adhesive or clogging of nozzles, thereby improving the yield. The purpose is to provide.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、ヘ
ッド本体のノズル板の貼付面の全面に接着剤を塗布して
ノズル板と張り合わせることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing an ink jet head according to the present invention comprises applying an adhesive to the entire surface of a nozzle body of a head body to which the nozzle plate is attached, and bonding the nozzle body to the nozzle plate. It is characterized by the following.

【0012】この本発明によると、接着剤の塗布工程を
簡略化できる。また、本発明のインクジェットヘッドの
製造装置は、ノズル板を載置する支持板の構成と特殊に
してノズル板のノズル孔の中心とヘッド本体の開口部の
中心とを位置決めできるよう構成したことを特徴とす
る。
According to the present invention, the step of applying the adhesive can be simplified. Further, the apparatus for manufacturing an ink jet head of the present invention is configured so that the center of the nozzle hole of the nozzle plate and the center of the opening of the head main body can be positioned by specially configuring the support plate on which the nozzle plate is mounted. Features.

【0013】この本発明によると、ノズル孔への接着剤
の充填を低減でき、ヘッド本体とノズル板とを正確に貼
り合わせられる。上記の製造方法あるいは製造装置によ
り作成されたインクジェットヘッドは、インク粒の安定
した吐出性能を有するものとなる。
According to the present invention, the filling of the nozzle hole with the adhesive can be reduced, and the head body and the nozzle plate can be accurately bonded. The ink jet head manufactured by the above manufacturing method or manufacturing apparatus has a stable ejection performance of ink particles.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法は、圧電素子の変形により容積
が変化する圧力室が形成されたヘッド本体と、前記圧力
室に連通するノズル孔が形成されたノズル板とを接着剤
で貼り合わせてインクジェットヘッドを製造するに際
し、前記ヘッド本体のノズル板の貼付面に、圧力室の開
口端に形成された開口部以外の全面を覆うように接着剤
を塗布し、前記ヘッド本体とノズル板とを対向させ、ヘ
ッド本体の前記開口部の中心とノズル板のノズル孔の中
心とが一致するように前記ノズル板と前記ヘッド本体と
を位置決めし、前記ヘッド本体を前記ノズル板の側に押
圧して前記接着剤を硬化することを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet head, comprising: a head body having a pressure chamber whose volume changes due to deformation of a piezoelectric element; and a nozzle hole communicating with the pressure chamber. When manufacturing the ink jet head by bonding the formed nozzle plate with an adhesive, the head body is bonded to the bonding surface of the nozzle plate so as to cover the entire surface other than the opening formed at the opening end of the pressure chamber. Applying an agent, the head body and the nozzle plate are opposed to each other, and the nozzle plate and the head body are positioned so that the center of the opening of the head body and the center of the nozzle hole of the nozzle plate coincide with each other, The head body may be pressed against the nozzle plate to cure the adhesive.

【0015】この構成によると、ヘッド本体とノズル板
との貼り付けを容易にしかも正確に行え、信頼性の高い
インクジェットヘッドが得られる。本発明の請求項2記
載のインクジェットヘッドの製造方法は、請求項1にお
いて、ノズル板を吸着保持してヘッド本体との貼り合わ
せ位置に搬送し、弾性的に支持された支持板に前記ノズ
ル板との接着面側を押圧して載置することを特徴とす
る。
According to this configuration, the head body and the nozzle plate can be easily and accurately attached to each other, and a highly reliable ink jet head can be obtained. According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet head according to the first aspect, wherein the nozzle plate is suction-held and transferred to a bonding position with the head main body, and the nozzle plate is elastically supported by the support plate. And is placed by pressing the side of the adhesive surface.

【0016】この構成によると、ノズル板を面状に押圧
することでノズル板の形状変化が生じにくくなる。本発
明の請求項3記載のインクジェットヘッドの製造方法
は、請求項2において、前記支持板に粘着性を有する受
け部材を設け、前記ノズル板を前記受け部材に載置して
前記ノズル板を位置決めすることを特徴とする。
According to this configuration, the shape of the nozzle plate hardly changes due to the planar pressing of the nozzle plate. According to a third aspect of the present invention, in the method for manufacturing an inkjet head according to the second aspect, the support plate is provided with an adhesive receiving member, and the nozzle plate is placed on the receiving member to position the nozzle plate. It is characterized by doing.

【0017】この構成によると、支持板へのノズル板の
位置決め作業を容易に行える。本発明の請求項4記載の
インクジェットヘッドの製造装置は、圧電素子の変形に
より容積が変化する圧力室が形成されたヘッド本体と、
前記圧力室に連通するノズル孔が形成されたノズル板と
を接着剤で貼り合わせたインクジェットヘッドの製造装
置であって、前記ノズル板をヘッド本体との貼り合せ位
置に搬送する搬送手段と、搬送された前記ノズル板を弾
性的に支持する支持板と、前記圧力室の開口端に形成さ
れた開口部以外の全面を覆うようにノズル板の貼付面に
接着剤が塗布された前記ヘッド本体を保持する保持手段
と、前記保持手段に保持されたヘッド本体の前記開口部
の中心と、前記支持板に載置されたノズル板の前記ノズ
ル孔の中心とが一致するように前記ノズル板と前記ヘッ
ド本体とを位置決めする位置決め手段とを設け、位置決
めされた前記ヘッド本体を前記ノズル板の側に押圧して
前記接着剤を硬化するよう構成したことを特徴とする。
According to this configuration, the work of positioning the nozzle plate on the support plate can be easily performed. An apparatus for manufacturing an inkjet head according to claim 4 of the present invention includes a head body in which a pressure chamber whose volume changes due to deformation of a piezoelectric element is formed,
What is claimed is: 1. An inkjet head manufacturing apparatus, comprising: a nozzle plate having a nozzle hole communicating with said pressure chamber, bonded to said nozzle plate with an adhesive, comprising: a transport unit configured to transport the nozzle plate to a bonding position with a head body; A support plate for elastically supporting the nozzle plate, and the head main body having an adhesive applied to an affixed surface of the nozzle plate so as to cover the entire surface other than the opening formed at the opening end of the pressure chamber. Holding means for holding, the nozzle plate and the nozzle plate so that the center of the opening of the head body held by the holding means and the center of the nozzle hole of the nozzle plate placed on the support plate coincide. Positioning means for positioning the head body is provided, and the positioned head body is pressed toward the nozzle plate to cure the adhesive.

【0018】この構成によると、上記本発明の製造方法
を容易に実現できる。本発明の請求項5記載のインクジ
ェットヘッドの製造装置は、請求項4において、前記搬
送手段が、前記ノズル板のヘッド本体との接着面を吸着
保持するよう構成したことを特徴とする。
According to this configuration, the manufacturing method of the present invention can be easily realized. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an inkjet head manufacturing apparatus according to the fourth aspect, wherein the transporting means is configured to suck and hold an adhesive surface of the nozzle plate with the head body.

【0019】この構成によると、ノズル板のインクを吐
出する側を傷めることがなくなり、インク吐出の安定性
を確保できる。本発明の請求項6記載のインクジェット
ヘッドの製造装置は、請求項4において、前記支持板
に、前記搬送手段と当接する前記ノズル板の位置決め手
段を設けたことを特徴とする。
According to this structure, the ink ejection side of the nozzle plate is not damaged, and the stability of ink ejection can be ensured. According to a sixth aspect of the present invention, in the inkjet head manufacturing apparatus according to the fourth aspect, the support plate is provided with a means for positioning the nozzle plate in contact with the transport means.

【0020】この構成によると、支持板へのノズル板の
位置決め作業を容易に行える。本発明の請求項7記載の
インクジェットヘッドの製造装置は、請求項4におい
て、前記支持板と固定側との間に弾性体を設けたことを
特徴とする。
According to this configuration, the work of positioning the nozzle plate on the support plate can be easily performed. According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an inkjet head manufacturing apparatus according to the fourth aspect, wherein an elastic body is provided between the support plate and the fixed side.

【0021】この構成によると、ヘッド本体の押圧時に
接着剤にかかる力を緩和して接着剤の広がりを低減でき
る。本発明の請求項8記載のインクジェットヘッドの製
造方法は、請求項4において、前記位置決め手段が、前
記ノズル板を介して前記ヘッド本体とは反対側に設けら
れ、前記ノズル板と対向して配置された光学的手段と、
前記ノズル板と前記光学的手段の配列方向とは角度を持
って配置された光源とからなることを特徴とする。
According to this structure, the force applied to the adhesive when the head body is pressed can be reduced, and the spread of the adhesive can be reduced. In the method for manufacturing an ink jet head according to claim 8 of the present invention, in claim 4, the positioning means is provided on a side opposite to the head main body via the nozzle plate, and is disposed to face the nozzle plate. Optical means,
The light source is characterized in that the nozzle plate and the light source are arranged at an angle to the arrangement direction of the optical means.

【0022】この構成によると、支持板からの反射光を
避けることができ、ノズル板のノズル孔の中心と、ヘッ
ド本体の開口部の中心とを精度良く位置決めできる。本
発明の請求項9記載のインクジェットヘッドの製造装置
は、請求項4において、前記支持板に前記ノズル板を載
置する可撓性を有する透明な受け部材を設けたことを特
徴とする。
According to this configuration, the reflected light from the support plate can be avoided, and the center of the nozzle hole of the nozzle plate and the center of the opening of the head body can be accurately positioned. According to a ninth aspect of the present invention, in the inkjet head manufacturing apparatus according to the fourth aspect, a transparent transparent receiving member for mounting the nozzle plate on the support plate is provided.

【0023】この構成によると、接着剤の塗布ムラなど
によるノズル板とヘッド本体との間の空孔や未接着領域
の形成などの接着不良を低減してノズル板とヘッド本体
との安定した接着強度が得られ、また、ヘッド本体の押
圧時に接着剤にかかる力を緩和して接着剤の広がりを低
減でき、さらに貼り付け時のノズル板の姿勢に対してノ
ズルの並びを悪化させる外力を低減できる。
According to this configuration, it is possible to reduce the adhesion failure such as the formation of a void or an unbonded area between the nozzle plate and the head body due to uneven application of the adhesive or the like, and to stably bond the nozzle plate to the head body. Strength is obtained, and the force applied to the adhesive when the head body is pressed can be reduced to reduce the spread of the adhesive. Furthermore, the external force that worsens the arrangement of the nozzles with respect to the nozzle plate attitude at the time of attachment is reduced it can.

【0024】本発明の請求項10記載のインクジェット
ヘッドの製造装置は、請求項9において、前記受け部材
の厚みを、前記支持板の平面度とヘッド部材の貼付面の
平面度との和よりも大きくしたことを特徴とする。
According to a tenth aspect of the present invention, in the inkjet head manufacturing apparatus according to the ninth aspect, the thickness of the receiving member is set to be greater than the sum of the flatness of the support plate and the flatness of the attaching surface of the head member. It is characterized by being enlarged.

【0025】この構成によると、ノズル板のウネリや受
け部材の平面度にかかわらず正確なノズル板の貼り付け
が実現できる。本発明の請求項11記載のインクジェッ
トヘッドの製造装置は、請求項9において、前記受け部
材が粘着性を有するシート材であることを特徴とする。
According to this configuration, accurate attachment of the nozzle plate can be realized regardless of the undulation of the nozzle plate and the flatness of the receiving member. According to an eleventh aspect of the present invention, in the inkjet head manufacturing apparatus of the ninth aspect, the receiving member is a sheet material having adhesiveness.

【0026】この構成によると、ノズル板は受け部材の
粘着性により保持されるためインクの吐出側を傷めにく
くなり、インク吐出の安定性を確保できる。本発明の請
求項12記載のインクジェットヘッドの製造装置は、請
求項11において、前記受け部材がシリコーンゴムなど
の粘着性を有する材料からなることを特徴とする。
According to this structure, the nozzle plate is held by the adhesiveness of the receiving member, so that the ink ejection side is hardly damaged, and the stability of ink ejection can be secured. According to a twelfth aspect of the present invention, in the ink jet head manufacturing apparatus of the eleventh aspect, the receiving member is made of an adhesive material such as silicone rubber.

【0027】本発明の請求項13記載のインクジェット
ヘッドは、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の方法
にて形成されたことを特徴とする。この構成によると、
接着剤がノズル板のノズル孔に流れ込むのを低減でき、
ノズル孔に付着した接着剤によるインク吐出性の低下を
低減できる。
An ink jet head according to a thirteenth aspect of the present invention is formed by the method according to any one of the first to third aspects. According to this configuration,
Adhesive can be reduced from flowing into the nozzle holes of the nozzle plate,
It is possible to reduce a decrease in ink dischargeability due to the adhesive attached to the nozzle holes.

【0028】以下、本発明の実施の形態を図1〜図5を
用いて説明する。なお、上記従来例を示す図6,図7と
同様の構成をなすものには同一の符号を付けて説明す
る。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 6 and 7 showing the above-described conventional example will be described with the same reference numerals.

【0029】図1と図2は、本発明の実施の形態におけ
る圧電形インクジェットヘッド17を示す。ヘッド本体
16は、圧電素子からなる基台1の変形によって圧力室
3の容積を変化させ、圧力室3に充填されたインクを開
口部4へ送り出すよう構成されている。圧力室3が形成
された基台1には圧電セラミックスが積層されて電極2
が形成されており、電極2は、基台1の後方にあるワイ
ヤボンディング領域の電極部9に至るまで引き出されて
いる。ヘッド本体16のノズル板6の貼付面16aに
は、圧力室3の開放端の周囲に形成されノズル板6のノ
ズル孔5と連通する開口部4が形成されている。22は
カバー、23はインク供給口である。
FIGS. 1 and 2 show a piezoelectric ink jet head 17 according to an embodiment of the present invention. The head body 16 is configured to change the volume of the pressure chamber 3 by deforming the base 1 made of a piezoelectric element, and to send out the ink filled in the pressure chamber 3 to the opening 4. A piezoelectric ceramic is laminated on a base 1 in which a pressure chamber 3 is formed, and an electrode 2 is formed.
Are formed, and the electrode 2 is drawn out to the electrode portion 9 in the wire bonding area behind the base 1. An opening 4 that is formed around the open end of the pressure chamber 3 and communicates with the nozzle hole 5 of the nozzle plate 6 is formed on the attachment surface 16 a of the nozzle plate 6 of the head body 16. 22 is a cover, and 23 is an ink supply port.

【0030】一方、ステンレス材や樹脂シートなどから
形成されるノズル板6は、ヘッド本体16の開口部4を
介して圧力室3に連通するノズル孔5が形成されてい
る。上記のように構成されたヘッド本体16の貼付面1
6aには、スクリーン印刷法や転写法により開口部4以
外の全面を覆うように熱硬化性のエポキシ樹脂などの接
着剤7が塗布され、ヘッド本体16の開口部4の中心と
ノズル板6のノズル孔5の中心とが重なりあうように位
置決めして貼り合わされる。
On the other hand, a nozzle plate 6 formed of a stainless steel material or a resin sheet has a nozzle hole 5 communicating with the pressure chamber 3 through the opening 4 of the head body 16. Adhering surface 1 of head body 16 configured as described above
An adhesive 7 such as a thermosetting epoxy resin is applied to 6a by a screen printing method or a transfer method so as to cover the entire surface other than the opening 4, and the center of the opening 4 of the head body 16 and the nozzle plate 6 are coated. It is positioned and bonded so that the center of the nozzle hole 5 overlaps.

【0031】このように、ノズル板6の貼付面16aの
全面に接着剤7を塗布することで、上記従来例に比べ容
易の接着剤7の塗布が行え、しかもノズルシールとして
の気密性を確保でき、十分な接着強度が得られるため、
信頼性の高いノズル板6とヘッド本体16との貼り合わ
せを実現できる。
As described above, by applying the adhesive 7 over the entire surface 16a of the nozzle plate 6, the adhesive 7 can be applied more easily than in the conventional example, and the airtightness as a nozzle seal is secured. And sufficient adhesive strength can be obtained.
The highly reliable bonding of the nozzle plate 6 and the head body 16 can be realized.

【0032】図3〜図5は、本発明のインクジェットヘ
ッドの製造方法を実現するインクジェットヘッドの製造
装置を示す。図3(a)に示すように、固定台18に吸
着部材13がセットされ、吸着部材13にノズル板6が
載置される。吸着部材13の吸着孔24はポンプなどの
吸引装置(図示せず)に連結されている。
FIGS. 3 to 5 show an ink jet head manufacturing apparatus for realizing the ink jet head manufacturing method of the present invention. As shown in FIG. 3A, the suction member 13 is set on the fixed base 18, and the nozzle plate 6 is placed on the suction member 13. The suction hole 24 of the suction member 13 is connected to a suction device (not shown) such as a pump.

【0033】吸着部材13に吸着保持されたノズル板6
は、ヘッド本体16との貼り合わせ位置に搬送され、図
3(b)に示すように、弾性体12により弾性的に支持
された支持板11に配置された受け部材10の側に押圧
される。ノズル板6は吸着部材13により吸着された状
態から、ポンプの電源をオフにすることで吸着力が弱ま
り、吸着部材13とノズル板6とを離間させることでノ
ズル板6は受け部材10に載置される。
The nozzle plate 6 suction-held by the suction member 13
Is conveyed to a position where it is bonded to the head body 16 and pressed against the receiving member 10 disposed on the support plate 11 elastically supported by the elastic body 12 as shown in FIG. . When the power of the pump is turned off, the suction force of the nozzle plate 6 is reduced from the state of being suctioned by the suction member 13, and the nozzle plate 6 is placed on the receiving member 10 by separating the suction member 13 and the nozzle plate 6. Is placed.

【0034】ノズル板6を載置する支持板11にはパイ
レックス(登録商標)ガラスなどの透明部材からが用い
られ、受部材10には、可撓性を有する透明な部材が使
用される。この受け部材10は粘着性を有することが好
ましく、具体的には、シリコーンゴムなどからなる透明
なシート材などが使用される。
The support plate 11 on which the nozzle plate 6 is mounted is made of a transparent member such as Pyrex (registered trademark) glass, and the receiving member 10 is a transparent member having flexibility. The receiving member 10 preferably has adhesiveness. Specifically, a transparent sheet material made of silicone rubber or the like is used.

【0035】また、ノズル板6の位置決めは、図3
(c)に示すように、吸着部材13のエッジと位置決め
部材14とのエッジを合致させてアライメントライン2
5が決められる。
The positioning of the nozzle plate 6 is performed as shown in FIG.
As shown in (c), the edge of the suction member 13 and the edge of the positioning member 14 are aligned with each other so that the alignment line 2 is aligned.
5 is determined.

【0036】上記のようにノズル板6を吸着保持してヘ
ッド本体16との貼り合わせ位置に搬送し、ノズル板6
の接着面側を押圧すると、ノズル板6は面状に押圧され
るため、形状変化が生じにくくなる。また、受け部材1
0として粘着性を有するものを使用すると、ノズル板6
の内周部のみを押圧して外周部に位置決めのための当て
などを行わず、押圧力を作用させなくてもずれなどを生
じることなく支持板11に載置できる。
As described above, the nozzle plate 6 is suction-held and transported to the position where the nozzle plate 6 is bonded to the head body 16.
When the adhesive surface side is pressed, the nozzle plate 6 is pressed in a planar shape, so that a change in shape hardly occurs. Also, receiving member 1
When a material having adhesiveness is used as 0, the nozzle plate 6
Can be placed on the support plate 11 without causing any displacement or the like without applying a pressing force to the outer peripheral portion without pressing only the inner peripheral portion.

【0037】従って、ノズル板6はヘッド本体16との
貼り付け面側のみが吸着部材13により押圧されるた
め、インクを突出する側を傷つけにくくなり、安定した
インク吐出性を確保できる。なお、ノズル板6の押圧さ
れていない外周部はノズル板6のつかみ代となるもので
あり、ヘッド本体16への貼り付け後に切断される。
Accordingly, since only the side of the nozzle plate 6 to be attached to the head body 16 is pressed by the suction member 13, the side from which the ink protrudes is less likely to be damaged, and stable ink ejection can be secured. The unpressed outer peripheral portion of the nozzle plate 6 serves as a margin for gripping the nozzle plate 6 and is cut after being attached to the head body 16.

【0038】支持板11にノズル板6が載置されると、
図4に示すように、上記のように接着剤7が塗布された
ヘッド本体16が保持手段としての保持治具21に保持
され、ノズル板6と対向するように配置される。
When the nozzle plate 6 is placed on the support plate 11,
As shown in FIG. 4, the head body 16 to which the adhesive 7 has been applied as described above is held by a holding jig 21 as holding means, and is arranged so as to face the nozzle plate 6.

【0039】支持板11は、固定側に設けられたベース
部材11aとの間に介装されたバネなどの弾性体12に
より、治具本体21と接近離間の方向に移動可能に構成
されている。
The support plate 11 is configured to be movable in the direction of approaching and separating from the jig body 21 by an elastic body 12 such as a spring interposed between the support plate 11 and a base member 11a provided on the fixed side. .

【0040】支持板11のノズル板6の載置面とは反対
側には、ノズル板6と対向するようにノズル板6とヘッ
ド本体16との位置決め手段が配置される。位置決め手
段は、ノズル板6と対向するように配置された顕微鏡や
CCD素子などの光学的手段26と、平行に配置された
ノズル板6と光学的手段26と交差する方向と角度を有
する方向から光を照射する光ファイバーなどの光源15
とからなる。
Positioning means for positioning the nozzle plate 6 and the head main body 16 is disposed on the side of the support plate 11 opposite to the surface on which the nozzle plate 6 is mounted, so as to face the nozzle plate 6. The positioning means includes an optical means 26 such as a microscope or a CCD element arranged so as to face the nozzle plate 6, and a direction intersecting with the direction intersecting the nozzle means 6 and the optical means 26 arranged in parallel. Light source 15 such as an optical fiber for irradiating light
Consists of

【0041】このようにノズル板6と光学的手段26と
の配列方向に対し、角度を持った方向から光を照射する
ことで、支持板11からの反射光を避けることができ、
ノズル板6のノズル孔5の中心と、ヘッド本体16の開
口部4の中心とを精度良く位置決めできる。
By irradiating light from a direction having an angle with respect to the arrangement direction of the nozzle plate 6 and the optical means 26 in this manner, reflected light from the support plate 11 can be avoided,
The center of the nozzle hole 5 of the nozzle plate 6 and the center of the opening 4 of the head main body 16 can be accurately positioned.

【0042】位置決めされたヘッド本体16は、保持部
材21によりノズル板6の側に押圧され、ヘッド本体1
6の貼付面16aにノズル板6が重ね合わされる。そし
て、図5に示すように、クランプ20により保持部材2
1と支持板11とが一体的に加圧され、加熱されて接着
剤7が硬化される。
The positioned head body 16 is pressed by the holding member 21 toward the nozzle plate 6 and the head body 1
The nozzle plate 6 is superimposed on the attachment surface 16a of the nozzle 6. Then, as shown in FIG.
1 and the support plate 11 are integrally pressed and heated to cure the adhesive 7.

【0043】このとき、ノズル板6は支持板11に設け
られた弾性体12により弾性的に支持されているため、
ヘッド本体16の押圧力が緩衝されて接着剤7のつぶれ
を低減でき、ノズル孔5への接着剤7の充填を低減でき
る。
At this time, since the nozzle plate 6 is elastically supported by the elastic body 12 provided on the support plate 11,
The pressing force of the head main body 16 is buffered, so that the crushing of the adhesive 7 can be reduced and the filling of the nozzle 7 with the adhesive 7 can be reduced.

【0044】また、ノズル板6と支持部材11との間に
介装された受け部材10によっても、接着剤7のつぶれ
を緩和できる。さらに、受け部材10の厚みが、支持板
11の平面度とヘッド部材16の貼付面16aの平面度
との和よりも大きくなるようにした場合には、ヘッド本
体16の貼付面16aの平面度が悪い場合でも、接着剤
7のつぶれを緩和できる。具体的には、受け部材10の
厚みは支持板11の平面度とヘッド部材16の貼付面1
6aの平面度との和の約10倍あれば良く、現状では、
支持板11の平面度を5μm以下、インクジェットヘッ
ドの吐出特性に影響を与えるヘッド部材16の貼付面1
6aの平面度は10μm以下として、支持板11の平面
度とヘッド部材16の貼付面16aの平面度との和が1
0μm程度、受け部材10の厚みが300μm程度とな
るようにしている。
The crush of the adhesive 7 can also be reduced by the receiving member 10 interposed between the nozzle plate 6 and the support member 11. Further, when the thickness of the receiving member 10 is set to be larger than the sum of the flatness of the support plate 11 and the flatness of the sticking surface 16a of the head member 16, the flatness of the sticking surface 16a of the head body 16 is adjusted. Is poor, the crushing of the adhesive 7 can be alleviated. Specifically, the thickness of the receiving member 10 depends on the flatness of the support plate 11 and the attaching surface 1 of the head member 16.
About 10 times the sum of the flatness of 6a and the flatness is sufficient.
The flatness of the support plate 11 is 5 μm or less.
6a is 10 μm or less, and the sum of the flatness of the support plate 11 and the flatness of the attaching surface 16a of the head member 16 is 1
The thickness is about 0 μm, and the thickness of the receiving member 10 is about 300 μm.

【0045】得られた圧電形インクジェットヘッドは、
ノズル孔6の内面に付着した熱硬化型エポキシ系接着剤
7による親水性の低下を低減でき、インク粒の安定した
吐出特性が得られる。
The obtained piezoelectric ink jet head is
A decrease in hydrophilicity due to the thermosetting epoxy adhesive 7 attached to the inner surface of the nozzle hole 6 can be reduced, and stable ejection characteristics of ink particles can be obtained.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上のように本発明のインクジェットヘ
ッド装置によると、圧電素子の変形により容積が変化す
る圧力室が形成されたヘッド本体と、前記圧力室に連通
するノズル孔が形成されたノズル板とを接着剤で貼り合
わせてインクジェットヘッドを製造するに際し、前記ヘ
ッド本体の前記ノズル板の貼付面に、前記圧力室の開口
端に形成された開口部以外の全面を覆うように接着剤を
塗布し、対向して配置したヘッド本体の前記貼付面と前
記ノズル板とを、前記ノズル板を介して前記ヘッド本体
とは反対側に配置された位置決手段により前記ヘッド本
体の前記開口部の中心と前記ノズル板の前記ノズル孔の
中心とが一致するように前記ノズル板と前記ヘッド本体
とを位置決めし、前記ヘッド本体を前記ノズル板の側に
押圧して接着剤を硬化することで、容易にしかもヘッド
本体とノズル板とが位置ずれすることなく正確にかつ強
固に一体化でき、しかもノズル孔への接着剤の流入によ
るノズル孔の封止を低減できる。
As described above, according to the ink jet head apparatus of the present invention, the head body in which the pressure chamber whose volume changes due to the deformation of the piezoelectric element, and the nozzle in which the nozzle hole communicating with the pressure chamber is formed. At the time of manufacturing an ink jet head by bonding the plate and the adhesive with an adhesive, an adhesive is applied to the surface of the head body to which the nozzle plate is attached, so as to cover the entire surface other than the opening formed at the opening end of the pressure chamber. The applied surface of the head body and the nozzle plate, which are coated and opposed to each other, are positioned on the opening of the head body by positioning means arranged on the side opposite to the head body via the nozzle plate. Position the nozzle plate and the head body such that the center and the center of the nozzle hole of the nozzle plate coincide with each other, and press the head body toward the nozzle plate to apply the adhesive. By reduction, it can easily and the head body and the nozzle plate can be accurately and firmly integrated without positional deviation, yet reduces the sealing of the nozzle hole by inflow of the adhesive to the nozzle hole.

【0047】また、本発明のインクジェットヘッドの製
造装置によると、圧電素子の変形により容積が変化する
圧力室が形成されたヘッド本体と、前記圧力室に連通す
るノズル孔が形成されたノズル板とを接着剤で貼り合わ
せたインクジェットヘッドの製造装置であって、前記ノ
ズル板を前記ヘッド本体との貼り合せ位置に搬送する搬
送手段と、前記搬送手段により搬送された前記ノズル板
を支持する支持板と、前記支持板に設けられた弾性体
と、前記ノズル板の貼付面に接着剤が塗布された前記ヘ
ッド本体を保持する保持手段と、前記保持手段に保持さ
れたヘッド本体の前記圧力室の開口端に形成された開口
部の中心と、前記支持板に載置された前記ノズル板のノ
ズル孔の中心とが一致するように前記ノズル板と前記ヘ
ッド本体とを位置決めする位置決め手段とを設け、前記
保持手段に保持された前記ヘッド本体を前記支持板に載
置された前記ノズル板の側に押圧して前記接着剤を硬化
するよう構成することで、上記のインクジェットヘッド
の製造方法が容易に実現できる。
According to the inkjet head manufacturing apparatus of the present invention, the head body in which the pressure chamber whose volume changes due to the deformation of the piezoelectric element is formed, and the nozzle plate in which the nozzle hole communicating with the pressure chamber is formed. A manufacturing apparatus for an ink jet head, wherein the nozzle plate is transported to a bonding position with the head body, and a support plate that supports the nozzle plate transported by the transport unit. An elastic body provided on the support plate, holding means for holding the head body having an adhesive applied to the sticking surface of the nozzle plate, and a pressure chamber of the head body held by the holding means. The nozzle plate and the head body are positioned so that the center of the opening formed at the opening end and the center of the nozzle hole of the nozzle plate placed on the support plate coincide with each other. And a positioning unit that presses the head body held by the holding unit against the side of the nozzle plate placed on the support plate to cure the adhesive. A head manufacturing method can be easily realized.

【0048】さらに、上記の製造方法により作成された
インクジェットヘッドまたは上記の製造装置を用いて作
成したインクジェットヘッドは、インク粒の安定した吐
出特性を有するものとなる。
Further, an ink jet head manufactured by the above-described manufacturing method or an ink jet head manufactured by using the above-described manufacturing apparatus has a stable ejection characteristic of ink particles.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態における圧電形インクジェ
ットヘッドの分解斜視図
FIG. 1 is an exploded perspective view of a piezoelectric inkjet head according to an embodiment of the present invention.

【図2】同実施の形態における圧電形インクジェットヘ
ッドの圧力室の長手方向に沿う断面図
FIG. 2 is a cross-sectional view along a longitudinal direction of a pressure chamber of the piezoelectric inkjet head according to the embodiment.

【図3】同実施の形態におけるノズル板の支持板への位
置決めを説明する模式図
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating positioning of a nozzle plate on a support plate in the embodiment.

【図4】同実施の形態におけるヘッド本体とノズル板と
の位置合わせを説明する断面図
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating alignment between the head body and the nozzle plate in the embodiment.

【図5】同実施の形態におけるノズル板とヘッド本体と
の加圧による貼り合わせを説明する断面図
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating bonding of the nozzle plate and the head body by pressing in the embodiment.

【図6】従来の圧電形インクジェットヘッドの一部を切
り欠いた分解斜視図と接着剤の塗布状態を示す正面図
FIG. 6 is an exploded perspective view of a conventional piezoelectric ink jet head with a portion cut away, and a front view showing an applied state of an adhesive.

【図7】従来のヘッド本体とノズル板との貼り合わせに
使用する押圧板の底面図
FIG. 7 is a bottom view of a conventional pressing plate used for bonding the head body and the nozzle plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 圧力室 4 開口部 5 ノズル孔 6 ノズル板 7 接着剤 8 搬送手段 10 受け部材 11 支持板 12 弾性体 13 吸着部材 15 光源 16 ヘッド本体 16a 貼付面 17 圧電形インクジェットヘッド 20 クランプ 21 保持治具 24 吸着孔 26 光学的手段 3 Pressure Chamber 4 Opening 5 Nozzle Hole 6 Nozzle Plate 7 Adhesive 8 Conveying Means 10 Receiving Member 11 Supporting Plate 12 Elastic Body 13 Adsorbing Member 15 Light Source 16 Head Body 16a Adhering Surface 17 Piezoelectric Inkjet Head 20 Clamp 21 Holding Jig 24 Suction hole 26 Optical means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松井 昌朋 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF72 AF93 AG12 AG45 AP13 AP25 AP72 BA05 BA14  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Masatomo Matsui 8-1, Koshinmachi, Takamatsu-shi, Kagawa Prefecture Matsushita Hisashi Denshi Kogyo Co., Ltd. F-term (reference) 2C057 AF72 AF93 AG12 AG45 AP13 AP25 AP72 BA05 BA14

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】圧電素子の変形により容積が変化する圧力
室が形成されたヘッド本体と、前記圧力室に連通するノ
ズル孔が形成されたノズル板とを接着剤で貼り合わせて
インクジェットヘッドを製造するに際し、 前記ヘッド本体のノズル板の貼付面に、圧力室の開口端
に形成された開口部以外の全面を覆うように接着剤を塗
布し、 前記ヘッド本体とノズル板とを対向させ、ヘッド本体の
前記開口部の中心とノズル板のノズル孔の中心とが一致
するように前記ノズル板と前記ヘッド本体とを位置決め
し、 前記ヘッド本体を前記ノズル板の側に押圧して前記接着
剤を硬化するインクジェットヘッドの製造方法。
An ink jet head is produced by bonding a head body having a pressure chamber whose volume changes due to deformation of a piezoelectric element to a nozzle plate having a nozzle hole communicating with the pressure chamber with an adhesive. In doing so, an adhesive is applied to the surface of the head body to which the nozzle plate is to be adhered, so as to cover the entire surface other than the opening formed at the opening end of the pressure chamber. Positioning the nozzle plate and the head body such that the center of the opening of the main body and the center of the nozzle hole of the nozzle plate coincide with each other, and pressing the head body toward the nozzle plate to apply the adhesive A method for manufacturing an inkjet head that cures.
【請求項2】ノズル板を吸着保持してヘッド本体との貼
り合わせ位置に搬送し、弾性的に支持された支持板に前
記ノズル板との接着面側を押圧して載置する請求項1記
載のインクジェットヘッドの製造方法。
2. The nozzle plate is attracted and held, is conveyed to a position where the nozzle plate is bonded to the head body, and is placed on an elastically supported support plate by pressing an adhesive surface side with the nozzle plate. The manufacturing method of the inkjet head according to the above.
【請求項3】前記支持板に粘着性を有する受け部材を設
け、前記ノズル板を前記受け部材に載置して前記ノズル
板を位置決めする請求項2記載のインクジェットヘッド
の製造方法。
3. A method for manufacturing an ink jet head according to claim 2, wherein a receiving member having adhesiveness is provided on said support plate, and said nozzle plate is placed on said receiving member to position said nozzle plate.
【請求項4】圧電素子の変形により容積が変化する圧力
室が形成されたヘッド本体と、前記圧力室に連通するノ
ズル孔が形成されたノズル板とを接着剤で貼り合わせた
インクジェットヘッドの製造装置であって、 前記ノズル板をヘッド本体との貼り合せ位置に搬送する
搬送手段と、 搬送された前記ノズル板を弾性的に支持する支持板と、 前記圧力室の開口端に形成された開口部以外の全面を覆
うようにノズル板の貼付面に接着剤が塗布された前記ヘ
ッド本体を保持する保持手段と、 前記保持手段に保持されたヘッド本体の前記開口部の中
心と、前記支持板に載置されたノズル板の前記ノズル孔
の中心とが一致するように前記ノズル板と前記ヘッド本
体とを位置決めする位置決め手段とを設け、 位置決めされた前記ヘッド本体を前記ノズル板の側に押
圧して前記接着剤を硬化するよう構成したインクジェッ
トヘッドの製造装置。
4. A method for manufacturing an ink jet head, comprising: a head body having a pressure chamber whose volume changes due to deformation of a piezoelectric element; and a nozzle plate having a nozzle hole communicating with the pressure chamber, bonded with an adhesive. An apparatus, comprising: a conveying unit that conveys the nozzle plate to a bonding position with a head body; a support plate that elastically supports the conveyed nozzle plate; and an opening formed at an opening end of the pressure chamber. Holding means for holding the head main body having an adhesive applied to the sticking surface of the nozzle plate so as to cover the entire surface other than the portion, a center of the opening of the head main body held by the holding means, and the support plate Positioning means for positioning the nozzle plate and the head body so that the center of the nozzle hole of the nozzle plate mounted on the nozzle plate coincides with the center of the nozzle hole. Manufacturing apparatus of an ink jet head constructed such that by pressing on the side of hardening the adhesive.
【請求項5】前記搬送手段が、前記ノズル板のヘッド本
体との接着面を吸着保持するよう構成した請求項4記載
のインクジェットヘッドの製造装置。
5. An apparatus for manufacturing an ink jet head according to claim 4, wherein said transfer means sucks and holds an adhesive surface of said nozzle plate with a head body.
【請求項6】前記支持板に、前記搬送手段と当接する前
記ノズル板の位置決め手段を設けた請求項4記載のイン
クジェットヘッドの製造装置。
6. An apparatus for manufacturing an ink jet head according to claim 4, wherein said support plate is provided with means for positioning said nozzle plate in contact with said transport means.
【請求項7】前記支持板と固定側との間に弾性体を設け
た請求項4記載のインクジェットヘッドの製造装置。
7. An apparatus for manufacturing an ink jet head according to claim 4, wherein an elastic body is provided between said support plate and a fixed side.
【請求項8】前記位置決め手段が、前記ノズル板を介し
て前記ヘッド本体とは反対側に設けられ、前記ノズル板
と対向して配置された光学的手段と、前記ノズル板と前
記光学的手段の配列方向とは角度を持って配置された光
源とからなる請求項4記載のインクジェットヘッドの製
造装置。
8. The optical device, wherein the positioning means is provided on the side opposite to the head body via the nozzle plate, and is arranged opposite to the nozzle plate; 5. The apparatus for manufacturing an ink jet head according to claim 4, comprising: a light source arranged at an angle to the arrangement direction of the ink jet head.
【請求項9】前記支持板に前記ノズル板を載置する可撓
性を有する透明な受け部材を設けた請求項4記載のイン
クジェットヘッドの製造装置。
9. An apparatus for manufacturing an ink jet head according to claim 4, wherein a flexible transparent receiving member for mounting said nozzle plate on said support plate is provided.
【請求項10】前記受け部材の厚みを、前記支持板の平
面度とヘッド部材の貼付面の平面度との和よりも大きく
した請求項9記載のインクジェットヘッドの製造装置。
10. An ink jet head manufacturing apparatus according to claim 9, wherein the thickness of said receiving member is larger than the sum of the flatness of said support plate and the flatness of the attaching surface of said head member.
【請求項11】前記受け部材が粘着性を有するシート材
である請求項9記載のインクジェットヘッドの製造装
置。
11. The apparatus according to claim 9, wherein said receiving member is a sheet material having adhesiveness.
【請求項12】前記受け部材がシリコーンゴムなどの粘
着性を有する材料からなる請求項11記載のインクジェ
ットヘッドの製造装置。
12. An apparatus according to claim 11, wherein said receiving member is made of an adhesive material such as silicone rubber.
【請求項13】請求項1〜請求項3のいずれかに記載の
方法にて形成されたインクジェットヘッド。
13. An ink jet head formed by the method according to claim 1.
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